Entwicklung, Herstellung und Charakterisierung piezoelektrischer Mikrospiegel

Inhaltsverzeichnis

Danksagung

Veröffentlichungsliste

Kurzfassung

Abkürzungen und Symbole

1 Einleitung

1.1 Anwendungsbeispiele

1.1.1 Torsionsmode: Konfokales Laser-Scanning-Mikroskop

1.1.2 Translatorische Mode: Fourier-Transformations-Infrarotspektrometer

1.2 Gliederung

2 Stand der Technik

2.1 PZT-Grundlagen und Bauelemente

2.1.1 Piezoelektrische Eigenschaft

2.1.2 Ferroelektrische Eigenschaft

2.1.3 PZT-Bauelemente

2.2 Überblick über Mikrospiegel

2.2.1 Elektrostatische Mikrospiegel

2.2.2 Magnetische Mikrospiegel

2.2.3 Thermische Mikrospiegel

2.2.4 Piezoelektrische Mikrospiegel

2.2.5 Vergleich der verschiedenen Antriebskonzepte

3 Designentwicklung

3.1 1D-Spiegel

3.1.1 Resonante Mikrospiegel mit einfachen Torsionsfedern

3.1.2 Resonante Mikrospiegel mit doppelten Torsionsfedern

3.2 2D-Spiegel

3.2.1 Resonante 2D-Mikrospiegel mit vier PZT-Aktuatoren

3.2.2 Kardanisch aufgehängte 2D-Mikrospiegel

4 Funktionsprinzipien der Positionsdetektion

4.1 Optische Positionserfassung

4.2 Piezoresistiver Effekt

4.2.1 Halbleitende piezoresistive Sensoren

4.2.2 Metallische Dehnungsmessstreifen

4.3 Kapazitive Positionserfassung

4.3.1 Kammelektrode

4.3.2 Plattenelektrode

4.4 Direkter piezoelektrischer Effekt

4.5 Zusammenfassung

5 Herstellung

5.1 Überblick über PZT-Abscheidungstechnologien

5.2 Herstellungsprozess der PZT-Mikrospiegel

5.2.1 Mikrospiegel mit einer einheitlichen poly-Si-Schichtdicke

5.2.2 Mikrospiegel mit verschiedenen poly-Si-Schichtdicken

6 Charakterisierung

6.1 Messaufbau

6.2 1D-Mikrospiegel

6.2.1 Mikrospiegel mit einfachen Torsionsfedern

6.2.2 Mikrospiegel mit doppelten Torsionsfedern

6.3 2D-Mikrospiegel

6.3.1 2D-Mikrospiegel mit Quadpod-Designs

6.3.2 Kardanisch aufgehängte Mikrospiegel

6.4 Implementierte Sensorelemente

6.4.1 Kapazitive Messung

6.4.2 Metallische Dehnungsmessstreifen

6.4.3 Direkter piezoelektrischer Effekt

6.4.4 Gegenüberstellung

7 Abschlussbetrachtung

7.1 Zusammenfassung

7.1.1 1D-Mikrospiegel

7.1.2 2D-Mikrospiegel

7.1.3 Positionssensorelemente

7.2 Ausblick

Danksagung

Diese Arbeit wurde am Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie (ISIT) in den Jahren 2011 bis 2015 angefertigt. Für das hochinteressante Thema sowie meinen Arbeitsplatz möchte ich mich zuerst bei Herrn Professor Dr. Wolfgang Benecke, dem ersten Gutachter dieser Arbeit, herzlich bedanken. Diese Arbeit wurde von ihm stets aufmerksam begleitet und durch zahlreiche fachliche Diskussionen und seine Anregungen unterstützt.

Mein besonderer Dank gilt auch Herrn Professor Dr. Walter Lang, dem zweiten Gutachter dieser Arbeit. Genauso wie Herr Benecke hat Herr Lang während meines Diplomstudiums durch seine spannenden Vorlesungen mein Interesse an der Mikrosystemtechnik geweckt. Die Erfahrungen aus meiner Studienzeit inspirieren und motivieren mich bis heute.

Ich danke Herrn Benecke und Herrn Lang auch für die Übernahme der Verantwortung, die Arbeit zu begutachten.

Für die immer geduldige, hilfsbereite und sachkundige Betreuung bin ich Herrn Hans-Joachim Quenzer äußerst dankbar. Während der gesamten Arbeit konnte ich mir stets seiner fachlichen Unterstützung sicher sein, gleichzeitig gab er mir aber auch umfassende Freiheiten bei der Ausgestaltung und Umsetzung meiner Ideen. Diese hervorragende Betreuung hat sich sehr positiv auf meine Entwicklung ausgewirkt und stark zum Gelingen dieser Arbeit beigetragen.

Auch meinen Kollegen am Fraunhofer ISIT möchte ich meinen speziellen Dank für die Hilfe und Zuarbeit aussprechen. Besonders hervorheben möchte ich dabei das Reinraum-Team, ohne dessen tatkräftige Unterstützung die Ergebnisse dieser Arbeit nicht möglich gewesen wären.

Zuletzt möchte ich mich ganz besonders bei meinem allerbesten Ehemann Fabian Stoppel bedanken. Als mein bester Freund und gleichzeitig bester Kollege hat er mir viele hilfreiche Ratschläge für die Arbeit gegeben und mich zu jeder Zeit geduldig seelisch unterstützt. Ich hoffe, dass auch ich ihm diese Unterstützung bieten kann und wünsche ihm viel Erfolg für seine Dissertation.

Veröffentlichungsliste

Im Rahmen dieser Arbeit sind viele Veröffentlichungen und Patente entstanden, die im Folgenden aufgelistet sind.

Bereits erschienene Veröffentlichungen:

S. Gu-Stoppel, D. Kaden, H. J. Quenzer, U. Hofmann, and W. Benecke, High Speed Piezoelectric Microscanners with Large Deflection using Mechanical Leverage Amplification, Procedia Eng., vol. 47, pp. 56–59, 2012.

S. Gu-Stoppel, J. Janes, H. J. Quenzer, U. Hofmann, and W. Benecke, Hocheffizienter piezoelektrischer Mikrospiegel mit hohen Frequenzen und Amplituden, Mikrosystemtechnik 2013, 2013.

S. Gu-Stoppel, J. Janes, D. Kaden, H. J. Quenzer, U. Hofmann, and W. Benecke, Piezoelectric resonant micromirror with high frequency and large deflection applying mechanical leverage amplification, SPIE Micromachining and Microfabrication Process Technology XVIII, vol. 8612, pp. 86120I–86120I–8, 2013.

S. Gu-Stoppel, J. Janes, H. J. Quenzer, U. Hofmann, D. Kaden, B. Wagner, and W. Benecke, Design, fabrication and characterization of low-voltage piezoelectric two-axis gimbal-less microscanners, 2013 Transducers Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS EUROSENSORS XXVII), pp. 2489–2492, 2013.

S. Gu-Stoppel, J. Janes, H. J. Quenzer, C. Eisermann, F. Heinrich, and W. Benecke, High Frequency 1D Piezoelectric Resonant Microscanners with Large Displacements, Procedia Eng., vol. 87, pp. 1593–1596, 2014.

S. Gu-Stoppel, J. Janes, H. J. Quenzer, U. Hofmann, and W. Benecke, Two-dimensional scanning using two single-axis low-voltage PZT resonant micromirrors, SPIE MOEMS and Miniaturized Systems XIII, vol. 8977, 2014, pp. 897706, 2014.

S. Gu-Stoppel, H. J. Quenzer, F. Heinrich, J. Janes, and W. Benecke, A study of integrated position sensors for PZT resonant micromirrors, SPIE MOEMS and Miniaturized Systems XIV, vol. 9375, pp. 93750B–93750B, 2015.

S. Gu-Stoppel, H. J. Quenzer and W. Benecke, Design, fabrication and characterization of piezoelectrically actuated gimbal-mounted 2D micromirrors, 2015 Transducers XXVIII: The 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, pp. 851-854, 2015.

S. Gu-Stoppel, H. J. Quenzer and W. Benecke, Design, Fabrikation und Charakterisierung piezoelektrisch angetriebener 2D-Mikrospiegel für Rasterscanner, Mikrosystemtechnik 2015, 2015.

D. Kaden, S. Gu-Stoppel, H. J. Quenzer, D. Kaltenbacher, B. Wagner, and R. Dudde, Optimised piezoelectric PZT thin film production on 8 silicon wafers for micromechanical applications," Nanotechnology 2012: Electronics, Devices, Fabrication, MEMS, Fluidics and Computational, vol. 2, pp. 176–179, 2012.

H. J. Quenzer, S. Gu-Stoppel, F. Stoppel, J. Janes, U. Hofmann, and W. Benecke, Piezoelectrically driven translatory optical MEMS actuator with 7mm apertures and large displacements, SPIE MOEMS and Miniaturized Systems XIV, vol. 9375, p. 93750O–93750O–7, 2015.

S. Rombach, M. Marx, Y. Manoli and S. Gu-Stoppel, Low power closed-loop driving circuit for Piezoelectric Microscanners based on Tuneable Capacitive Position Sensors, Proceeding Eurosensors XXIX, 2015.

S. Rombach, M. Marx, S. Gu-Stoppel and Y. Manoli, Low-Power Elektronik für MEMS Mikrospiegel, Mikrosystemtechnik 2015, 2015.

In Kürze erscheinende Veröffentlichungen:

S. Rombach, M. Marx, S. Gu-Stoppel and Y. Manoli, Low power and highly precise closed-loop driving circuit for piezoelectric micromirrors with embedded capacitive position sensors, SPIE MOEMS and Miniaturized Systems XV, vol. 9760, 2016.

T. v. Wantoch, S. Gu-Stoppel, F. Senger, C. Mallas, U. Hofmann, and W. Benecke, Modelling of biaxial gimbal-less MEMS scanning mirrors, SPIE MOEMS and Miniaturized Systems XV, vol. 9760, 2016.

Eingereichte Patente:

S. Gu-Stoppel, H. J. Quenzer und J. Janes, Vorrichtung mit einem schwingfähig aufgehängten optischen Element, Veröffentlichungsnummer: DE102013209234A1, EP 2803633 A1, CN104166232A und US20140340726 A1.

S. Gu-Stoppel, H. J. Quenzer und U. Hofmann, Vorrichtung mit einem schwingfähig aufgehängten optischen Element und Verfahren zum Auslenken desselben, Veröffentlichungsnummer: DE102013206788 A1 und WO 2014170155 A1.

S. Gu-Stoppel, H. J. Quenzer und U. Hofmann, Vorrichtung mit einer Feder und einem daran aufgehängten Element und Verfahren zum Herstellen desselben, Veröffentlichungsnummer: DE 102013209238 A1, EP2803635 A2, CN104167433 A und US20140339658 A1.

S. Gu-Stoppel, C. Eisermann und D. Kaden, Vorrichtung mit einer Feder und einem daran aufgehängten optischen Element, Veröffentlichungsnummer: DE 102013210059 A1, EP2808720 A1, CN104216110 A US20140355092 A1.

S. Gu-Stoppel, H. J. Quenzer, J. Janes und F. Heinrich, Piezoelektrischer Positionssensor für Piezoelektrisch angetriebene resonante Mikrospiegel, Einreichungsnummer: 800358106, Einreichungsdatum: 05. Sep. 2014.

Erteiltes Patent:

S. Gu-Stoppel, H. J. Quenzer und J. Janes, Vorrichtung mit einem schwingfähig aufgehängten optischen Element, Veröffentlichungsnummer: EP2803633 B1, Veröffentlichungsdatum: 19. Aug. 2015.

Kurzfassung

Im Mittelpunkt dieser Arbeit stand die Entwicklung piezoelektrisch angetriebener Mikrospiegel. Hierbei handelt es sich um miniaturisierte, optische Bauteile zur Ablenkung von Laserstrahlen, mit denen sich z. B. Bildprojektionen realisieren lassen. Die Arbeit umfasst die Design- und Technologieentwicklung derartiger Mikrospiegel, sowie die Entwicklung von Sensoren zur Spiegelpositionserfassung. Darüber hinaus bildet die eingehende Charakterisierung einen weiteren Schwerpunkt dieser Arbeit. Insgesamt wurden 30 verschiedene 1D-Mikrospiegel, elf verschiedene 2D-Mikrospiegel sowie drei unterschiedliche Sensor-Typen entworfen, hergestellt und untersucht.

Für die resonanten 1D-Mikrospiegel stellen die erreichbaren Scanwinkel und Resonanzfrequenzen die charakteristischen Größen dar. Die aus dieser Arbeit hervorgegangenen 1D-Spiegel erreichen sehr große Scanwinkel von bis zu 106° und hohe Resonanzfrequenzen von über 60 kHz. Diese Werte gehören zu den höchsten Scanwinkeln und Frequenzen aller bislang realisierten Mikrospiegel.

Bei den 2D-Mikrospiegeln sind die Kombinationen verschiedener Spiegelbewegungsmoden für die Realisierung unterschiedlicher Laserstrahl-Trajektorien von besonders großer Bedeutung. Dabei wurden zwei Designkonzepte für die 2D-Mikrospiegel untersucht und realisieret: Die sogenannten Quadpod-Designs und die kardanisch aufgehängten Mikrospiegel. Die Quadpod-Mikrospiegel realisieren zwei lineare Torsionsmoden, die senkrecht zueinander orientiert sind und dicht beieinanderliegende Eigenfrequenzen aufweisen. Somit lassen sich kreisförmige und rechteckige Ausleuchtungen durch die resultierenden Lissajous-Figuren erzeugen. Darüber hinaus sind derartige Mikrospiegel auch für Translationsbewegungen geeignet. An einem Spiegeltyp mit 7 mm Spiegeldurchmesser wurden so z. B. translatorische Amplituden von bis zu 1600 µm nachgewiesen, welche zu den höchsten an Mikrospiegeln gemessenen vertikalen Amplituden gehören. Die kardanisch aufgehängten 2D-Mikrospiegel weisen dagegen Aktuatoren mit unterschiedlichen Substratdicken auf. Dabei erlauben die dünnen und weichen Aktuatoren des Mikrospiegels quasi-statisch angetriebene Torsionsbewegungen, sodass ein kompletter Rasterscanner auf einem Chip realisiert werden kann.

Die resonanten 1D- und 2D-Mikrospiegel erfordern die Regelung zum Adressieren jedes projizierten Punktes. Hierfür wurden unterschiedliche Messprinzipien untersucht. Dabei erwiesen sich die kapazitiven und piezoelektrischen PZT-Sensoren aufgrund der guten Signalqualität mit hohem Rauschabstand als am besten geeignet für die Positionserfassung dynamischer Bewegungen. Anhand der Messsignale wurde das Auflösungsvermögen von den PZT-Sensoren und den implementierten kapazitiven Messelementen auf mehr als 12 Bit abgeschätzt. Statische Positionen des Mikrospiegels lassen sich dagegen besonders gut mit metallischen DMS, z. B. aus Pt, erfassen.

Die Ergebnisse der im Rahmen dieser Arbeit entwickelten Mikrospiegel und Sensorelemente veranschaulichen das Potential piezoelektrischer Mikrospiegel und zeigen, dass sich PZT hervorragend als Antriebs- und Sensormaterial eignet. Durch die Verfolgung verschiedenster Designansätze konnten viele Erkenntnisse und Erfahrungen gewonnen werden, die die Entwicklung neuer Mikrospiegel und Sensorelemente für unterschiedlichste Anwendungen ermöglichen. Auch wenn noch viele Herausforderungen und Aufgaben, wie z. B. die Realisierung einer Reglung, zu bewältigen sind, haben piezoelektrische Mikrospiegel das Potential schon bald in kommerziellen Produkten Eingang zu finden.

Abkürzungen und Symbole

Abkürzungen

Symbole