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s p a n n e n d e w e lt d e r m i k r o e l e k t r o n i k

ingolf seifert h e n ry wo j c i k

Liebe Leserinnen und Leser,

eure Generation steht vor Herausforderungen, die in vielerlei Hinsicht übertreffen, was vorangegangene Generationen bewältigen mussten: Die Atmosphäre erwärmt sich – mit ­drastischen Folgen für das Klima. Die fossilen Energieträger Öl und Gas gehen allmählich zur Neige. Die Weltbevölkerung wächst weiter rasant, und in den armen Ländern gelingt es bisher nicht menschenwürdige Bedingungen für alle sicherzustellen. In den reichen Ländern des Nordens stehen wir vor dem Problem einer im Durchschnitt immer älteren Bevölkerung, unsere Position im wirtschaftlichen Wettbewerb mit Asien verschlechtert sich ­ beständig, und wir laufen Gefahr, künftig schmerzliche Abstriche am Lebensstandard hinnehmen zu müssen. Gleichzeitig hatte keine Generation vor euch so große Möglichkeiten, die Welt zu gestalten. Wissenschaft und Technik sind zu Beginn dieses Jahrhunderts auf einem Stand, der zu großer Hoffnung berechtigt. Wir verfügen schon heute über Technologien, die es möglich machen, die globale Erwärmung zu stoppen und den Energiebedarf mit Hilfe erneuerbarer Energien zu ­decken, den Hunger auf der Welt zu besiegen und Bildung bis in die letzte »Hütte« Afrikas zu tragen. Das heißt, eure Eltern und Großeltern geben euch auch starke ­Werkzeuge an die Hand, um all die großen Herausforderungen des 21. Jahrhunderts zu meistern. Die Mikroelektronik und von ihr abgeleitete Technologien, wie die Mikrosystemtechnik, gehören zu diesen Werkzeugen. Mit ihrer Hilfe pflanzen wir technischen Geräten und Systemen Intelligenz ein. Es gibt für die Leistungsfähigkeit der Mikroelektronik viele beeindruckende Beispiele. Einige werdet ihr in diesem Buch kennenlernen. Von mehr als 100 sächsischen Firmen und Forschungsinstituten im Rahmen des Spitzenclusters »Cool Silicon« entwickelt und realisiert, belegen sie, wie moderne Mikroelektronik zum weltweiten Klimaschutz beitragen kann (siehe Kapitel »Cool Silicon. Klimaschutz auf Ingenieursart« ab Seite 73). Die Mikroelektronik ist eine Querschnittstechnologie – das heißt, sie ist auf allen Feldern der Wissenschaft, der Technik und der Gesellschaft präsent, beeinflusst sie und entwickelt sich mit ihnen weiter. Ob Mikrobiologen einen genetischen Code knacken, Chemiker neue Materialien designen oder engagierte Menschen sich mit Hilfe der Online-Medien auf neue Art organisieren – sie alle bedienen sich technischer Geräte, die ihre Funktion und Leistungsfähigkeit der Mikroelektronik verdanken. Dieses Buch soll dich motivieren die Herausforderungen unserer Zeit anzunehmen und an den Lösungen für die Zukunft mitzuarbeiten. Entscheidest du dich am Ende deines Schulweges für einen Beruf in der Mikroelektronik, um als Ingenieur oder Facharbeiter an neuen Technologien mitzuarbeiten, die das Leben verbessern, ohne die Umwelt zu beschädigen, so wartet ein spannendes, sinnerfülltes Leben auf dich. Wir zählen auf Dich! Euer Thomas Mikolajick

nanoscout  spannende welt der mikroelektronik

inhalt

einführung Wir brauchen dich Geleitwort 3 Globale Erwärmung Die Luft, die wir atmen 8 Die Keeling Story 11 Klimaforschung Elektronik im Dienste der Klimaforschung 14 Rolle der Elektronik Vorstoß in die gefrorene Vergangenheit 18

Basics Ein wenig Grundlagenwissen Porträt Das Zucchini-Experiment Klimaschutz  Ökostrom plus Elektronik Das intelligente Haus Die Zukunft des Wohnens Sensoren und elektronische Systeme Wenn leblose Technik lebendig wird Halbleiter Silizium & Co. Halbleiter Wandernde Löcher und freie Elektronen Waferfertigung Vom Sand zur Siliziumscheibe Elektronische Bauelemente So funktioniert ein Transistor Digitale Logik So rechnen Computer 22 24 26 28 30 32 34 36 38

Fertigung So entsteht ein Mikrochip Nanokosmos Wie viel Meter sind 90 Nanometer? 42 Was ist ein Reinraum? Rein, reiner, am reinsten 44 Chipherstellung im Überblick Chipburger: Schicht für Schicht zum Mikrochip 46 Fotolithografie Nicht ohne Schablone 48 UV-Licht: Der Schlüssel zum Nanokosmos 50 Ionen-Implantation Silizium unter Teilchenbeschuss 53 Diffusion  1.000° Celsius in 12 Sekunden! 56 Chemische Schichterzeugung Chemie in der Chipfertigung 58 Ätzen Das präziseste »Messer« der Welt 60 Leitbahn-Herstellung Die Zähmung des Kupfers 62 Porträt Dr. Guntrade Roll Forschen für die übernächste Chipgeneration 66 Porträt Dr. Henry Wojcik Vom Versuch, der Natur in die Karten zu schauen 67 Physikalische Schichtabscheidung Atomares Sandstrahlen 68 Physikalische Schichtabscheidung Mehrere 1.000 Kontakte 70

Cool Silicon Klimaschutz auf Ingenieursart Porträt Cool Silicon e.   V.  Kühles Silizium 74 Mikro- und Nanotechnologien Kühle Rechner 76 Sensornetzwerke Smart Materials – Kunststoffe mit Köpfchen 80 Kommunikationssysteme So funktioniert Mobilfunk 88 Porträt Fabian Diehm  Per du mit Funkwellen 93 Interview Dirk Gnewekow  Gefragte Berufe 94 Impressum / Bild- und Textnachweis 96

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inhalt
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legende

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Globale Erwärmung

der treibhauseffekt

Die Luft, die wir atmen
An dieser Stelle möchten wir dich auf behutsame Weise mit dem großen Thema Mikroelektronik bekannt machen. Die Geschichte, die wir dir zu Beginn dieses Buches erzählen, handelt von der Luft, die wir atmen, und einem wissenschaftlichen ­ Unternehmen, das eine Revolution ausgelöst hat.
sonneneinstrahlung

8 einführung

1957 wagten sich Wissenschaftler des Scripps Institutes für Ozeanografie aus La Jolla (Kalifornien) an die Überprüfung einer Vorhersage, die 50 Jahre zuvor der Schwede Svante Arrhenius aufgestellt hatte: Der Chemiker hatte die Rolle des Kohlendioxids (CO2) in der Atmosphäre untersucht und war dabei zu erstaunlichen Erkenntnissen gelangt.

­Schluss­ folgerung, dass die Menschheit die CO2- Menge in der Atmosphäre allmählich steigere. Und weil die Stärke des Treibhauseffektes (ein Begriff, den der schwedische Chemiker noch nicht benutzte) mit der Menge des CO2 in der Atmosphäre zunimmt, rechnete Arrhenius mit einer weltweiten Klimaerwärmung.  →

ein teil der wärme entweicht ins weltall treibhausgase absorbieren die wärmerückstrahlung und erwärmen die atmo­sphäre wolken, gletscher, meere, wüsten und bebaute ober­ flächen reflektieren einen teil der sonneneinstrahlung

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Wunderbares Spurengas
Obwohl CO2 in der Lufthülle nur in Spuren vorkommt, hat es enormen Einfluss auf die Atmosphäre. Trifft das Licht der Sonne auf die Erde, so erwärmt es die Erdoberfläche. Die wiederum gibt einen Teil der Wärmeenergie wieder ab. Jene Wärme-Rückstrahlung würde nun eigentlich vollständig wieder ins All entweichen, gäbe es in unserer Atmo­ sphäre nicht ein Spurengas, das die wunderbare Eigenschaft besitzt, Wärme zu binden: das CO2. Dies hat zur Folge, dass sich die Lufthülle der Erde erwärmt, und so herrscht auf unserem Planeten jene freundliche Durchschnittstemperatur, die das Leben ermöglicht. Kurzum: Wir verdanken dem CO2, dass es Leben auf der Erde gibt. Svante Arrhenius hatte diese Wirkung des CO2 Anfang des 20. Jahrhunderts als erster beschrieben und mathematisch berechnet. Heute nennen Wissenschaftler sie den Treib­ hauseffekt. Das Wort besagt, dass sich unsere Atmosphäre wegen ihres CO2- Gehaltes wie die Glashülle eines Gewächshauses verhält: Sie lässt die Strahlen der Sonne ins Haus hinein, lässt die Wärme, die im Haus entsteht, aber nicht wieder hinaus. Arrhenius’ Studien zur Rolle des Kohlendioxids gipfelten in der Vorhersage, dass die Menschheit einer Zeit mit wärmerem Klima entgegengehe. Denn: Zu Beginn des 20. Jahrhunderts, als Arrhenius lebte, erzeugte die Menschheit die Energie, die sie benötigte, hauptsächlich mit der Verbrennung von Kohle. Bei der Kohleverbrennung entsteht Kohlendioxid. Über Schornsteine gelangt das Treib­ hausgas in die Luft. Arrhenius zog daraus die
Seit 1906 hat sich die Atmosphäre um 0,8 Grad Celsius erwärmt. Wir zeigen euch hier die gefährlichsten Treibhausgase, ihren Anteil an der globalen Erwärmung, und wie der Mensch sie freisetzt:

Die gefährlichsten treibhausgase

wärmerückstrahlung boden erwärmt sich

Kohlendioxid CO2
43 % Anteil CO2 entsteht bei der Verbrennung von Kohle, Öl und Gas – hauptsächlich in Kraftwerksturbinen und Verbrennungsmotoren (z. B. von Autos), bei der Brandrodung von Wäldern und der Verbrennung landwirtschaftlicher Abfälle.

Methan CH4
27 % Anteil Hauptverursacher ist die Massentierhaltung: Millionen Kühe pupsen, was das Zeug hält. Ihren Mägen entweicht Methan. Auch Reispflanzen und Mülldeponien setzen CH4 frei. Methan entsteht auch bei der Kohle-, Öl- und Gas-Verarbeitung.

Rußpartikel
12 % Anteil Rußpartikel entstehen überall, wo es brennt – bei der Brandrodung von Wäldern, bei Graslandbränden, in Küchenherden und Kohleöfen – vor allem in den armen Ländern. Rund ein Drittel stammt aus Dieselmotoren ohne Partikelfilter.

Tetrafluorethan CH2FCF3 (Halone)
8 % Anteil Die Chemieindustrie produziert eine Reihe halogenierter Kohlen­ wasserstoffe, darunter die so genannten FCKW, die für das Ozonloch verantwortlich sind.

CO und VOCS
7 % Anteil Kohlenmonoxid (CO) stammt vor allem aus Automotoren. Flüchtige organische Verbindungen (VOCS) aus der Industrie tragen zur Bildung von bodennahem Ozon bei – einem starken Treibhausgas.

Distickstoffoxid N2O (Lachgas)
4 % Anteil Bodenbakterien bauen Stickstoffdünger ab dabei entsteht N2O. Die industrielle Landwirtschaft setzt massenhaft Stickstoffdünger ein entsprechend groß sind die Lachgas-Emissionen.

Klimaforschung
Elektronik im Dienst der Klimaforschung
Die Klimaforschung hat in den vergangenen 50 Jahren gewaltige Fortschritte gemacht. Auch wenn noch viele Fragen offen sind, wissen die Wissenschaftler heute ziemlich genau, wie das Klima der Erde zustande kommt, wie das komplexe Zusammenspiel von Atmosphäre, Erdoberfläche, Pflanzenwelt (Biosphäre) und Ozeanen (Hydrosphäre) funktioniert, welchen Einfluss die Sonne, das Erdmagnetfeld und Vulkanausbrüche haben – und wie der Mensch das Klima verändert. Ohne moderne Mikroelektronik wären all diese Fortschritte nicht möglich gewesen. Denn das Wissen der Klimaforscher beruht auf Daten, die sie mit leistungsstarken elektronischen Messinstrumenten sammeln und mit den besten Supercomputern der Welt auswerten. Auf dieser Doppelseite stellen wir die elektronischen Helfer der Klimaforscher vor.
windstärke

windrichtung

mikrochip

drucksensor temperatur-/ feuchtesensor

14 einführung

Wettersatelliten erfassen mit ihren Sensoren die Licht­strahlung der Erde im sichtbaren und InfrarotBereich. Das sichtbare Licht liefert Informationen über Wolken und Wetterfronten, die Infrarotstrahlung zeigt die Temperatur- und Wasserdampfverteilung in der Atmosphäre. So erhalten Meteorologen und Klimaforscher ein dreidimensionales Bild der globalen Wetterküche.

Zweimal täglich startet der Deutsche Wetterdienst (DWD) von neun Punkten in Deutschland und vier Handelsschiffen Wetterballone. Mit Gas gefüllt, steigen sie bis in 35 Kilometer Höhe auf. Dabei messen sie Druck, Temperatur und Feuchtigkeit der Luft und funken die Werte an die Erde. Aus den Daten ergibt sich ein dreidimensio­ nales Schnittbild der Atmosphäre, das die Schichtung der Lufthülle zeigt. Die Drift des Ballons gibt über Richtung und Stärke des Windes Auskunft.

Diese kleine vollautomatische Wetterstation erfasst ­ gleichzeitig die Windrichtung und Windgeschwindigkeit, die Lufttemperatur, den Luftdruck sowie die Luftfeuchtigkeit. Ein leistungsstarker Mikroprozessor übersetzt die physikalischen Messwerte, die das Gerät mit seinen Sensoren erfasst, in digitale Daten, damit Computer sie lesen und auswerten können. Per Standleitung gelangen die Daten zur DWD-Zentrale in Offenbach, wo Supercomputer aus ihnen das aktuelle Wettergeschehen errechnen.

Mit 30 Blitzsensoren registriert die Firma NowCast Mobile im Auftrag des DWD jedes Gewitter. Gewitterblitze senden Funksignale aus. Die netzartig über Deutschland verteilten Sensoren empfangen die Signale in einem Radius von 1.500 Kilometern. Weil die Funksignale der Blitze die Sensoren zu unterschiedlichen Zeitpunkten erreichen, können Computer aus der Zeitdifferenz errechnen, wo sich das Gewitter befindet.

Mit 16 Wetter-Radarstationen erfasst der DWD, wo und wie stark es in Deutschland regnet, hagelt oder schneit. Regentropfen und Hagelkörner reflektieren Radarwellen sehr gut. Die Radarstationen senden Radarwellen mit einer Wellenlänge von 5 bis 6 Zentimetern aus – das ist klein genug, um Regentropfen und Hagelkörner zu erfassen. Computer errechnen aus dem Echo die Entfernung und Richtung von Niederschlagszellen.

Der DWD beobachtet das Wetter mit 175 Wetterstationen. Elek­tronische Messgeräte erfassen dort permanent u. a. die Luft- und Bodentemperatur, Luftdruck und Luftfeuchtigkeit, Windrichtung und –stärke, Menge und Dauer von Niederschlägen, die Wolkenuntergrenze und die Sichtweite.

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Die Wettersatelliten senden sämtliche Daten an die nächsten Rechenzentrum. atmosphäre

Mit Sensoren erfassen weltweit 7.000 Handelsschiffe sowie sämtliche Flugzeuge meterologische Messdaten und funken sie an die nächsten Wettersatelliten. biosphäre

Die Gletscher Grönlands und der Antarktis enthalten in Gestalt kleiner Luftbläschen Reste der Atmosphäre früherer Zeiten. Mit Eisbohrungen bringen sich die ­ Klimafoscher in den Besitz solcher Luftreste aus der Vergangenheit. Im Labor bestimmen sie ihre Zusammensetzung, darunter den CO2-Gehalt, und können so rekonstruieren, wie sich das Klima in den vergangenen rund 900.000 Jahren entwickelt hat. Mehr dazu erfährst du auf Seite 18.

hydrosphäre

In ihren Instituten berechnen die Klimaforscher mit Supercomputern die verschiedensten Szenarien, wie sich das Klima der Erde in der Zukunft verändern könnte. Auf Basis globaler Wetterdaten der vergangenen Jahrzenhnte spielen die Computer das komplexe Zusammenspiel der vielen physikalischen und chemischen Faktoren durch, die das Klima bestimmen – und je nachdem, wie die Forscher diese Faktoren modifizieren (welchen CO2-Gehalt sie z. B. in die Berechnung einfließen lassen), errechnen die Computer ein anderes Ergebnis – sprich eine mehr oder weniger starke globale Erwärmung.

Abseits der großen Schifffahrtsrouten sammeln weltweit 750 Driftbojen auf Meeren und Ozeanen Seewetterdaten. So messen sie die Temperatur der Luft und des Wassers und funken die Werte an den nächsten Wettersatelliten. Die Positionsdaten der Bojen geben Auskunft über Stärke und Richtung von Meeresströmungen.

Porträt

Das Zucchini-Experiment
Wie eine 15jährige Schülerin aus Darmstadt ein Problem lösen will, das so alt ist wie die Kochkunst – und wie sie damit »nebenbei« auch zur Energiewende beiträgt.
Im Februar 2009 konnte man Regina Hartfiel beobachten, wie sie nach der Schule am häuslichen Herd Hähnchenfleisch und Zucchini in einer Pfanne absichtlich anbrennen ließ. Zufrieden war die 1 ­ 5jährige mit ihrer Kochkunst erst, wenn brenzliger Geruch die Wohnung erfüllte und das Essen nicht mehr zu retten war. Reginas Mutter, die sich im Normalfall über angekokeltes Kochgeschirr und misslungene Speisen ärgert, war ihrer Tochter nicht böse. Denn: Regina versuchte sich zum ersten Mal als Erfinderin! In ihrer Schule – dem Justus-Liebig-Gymnasium in Darmstadt – hatte sie zu Beginn jenes Monats ein Plakat entdeckt, auf dem der Verband Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik e.  V. (VDE) zum bundesweiten Schülerwettbewerb »INVENT-a-CHIP« einlud – auf deutsch: Erfinde einen Mikrochip! Bis Ende März, so informierte der VDE, könnten Schüler Ideen einreichen, wie sie beliebige Alltagsprobleme mit Hilfe moderner Elektronik lösen würden. Die Schüler mit den zwölf besten Vorschlägen könnten ihre Idee dann bis Ende September in »Hardware gießen« – das heißt: betreut von professionellen Chipdesignern würden sie eine Schaltung entwickeln, die geeignet sei, das jeweilige Alltagsproblem zu lösen. »Das gefiel mir«, sagt Regina. »Da wollte ich unbedingt dabei sein.« Auf der Suche nach einem geeigneten Thema wälzte sie Tage lang diverse Ideen im Kopf. Dann kam ihr der ­Gedanke, ein elektronisches System zu entwickeln, das verhindert, dass Speisen beim Garen anbrennen. »Das Problem kennt jeder«, sagt sie, »es ist so alt wie die Kochkunst, aber es gibt bis heute keine Lösung dafür.«

Energieeffizienz liegt im Trend
Weil Temperatursensoren im Unterschied zu CO2Sensoren sehr preiswert sind, hatte Regina damit eine bezahlbare Lösung für die wirksame Überwachung des ­ Garvorgangs gefunden. Unterstützt von Dr. Thomas Jambor, dem Geschäftsführer der Firma TecEd in Hannover, entwickelte sie die Schaltungslogik ihres Anti-AnbrennSystems. Im Info-Kasten »Anti-Annbrenn-System« kannst du nach­ lesen, wie das System funktioniert. Als der VDE im Oktober 2009 die besten Lösungen jenes Wettbewerbsjahres kürte, war Regina Hartfiel, ausgewählt von einer hochkarätigen Jury, unter den Gewinnern. »Reginas Anti-Anbrenn-Chip ist eine wegweisende Idee«, sagt Thomas Jambor. »Vergleichbare Lösungen werden sicher bald Eingang in die Küchentechnik finden. Brennen Speisen nicht mehr an, ist das ein Gewinn an Lebensqualität, und gleichzeitig hilft es, Nahrungsmittel und Energie nicht zu verschwenden. Als Regina ihre Idee entwickelte, hatte sie den Energieaspekt noch gar nicht im Blick. Doch gerade er entscheidet immer häufiger über den Produkt­ erfolg. Haben Käufer die Wahl zwischen zwei sonst gleichwertigen Produkten, geben sie wegen steigender Energie-

Regina Hartfiel war 2009 mit ihrem Modell eines Anti-Anbrenn-Chips Preisträgerin im VDE-Wettbewerb »INVENT-a-CHIP«.

Invent-a-chip

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preise und dank des wachsenden Umweltbewusstseins immer häufiger dem Erzeugnis mit der besseren Energiebilanz den Vorzug – auch wenn es etwas teurer ist.« Mit ihrem Anti-Anbrenn-Chip liegt Regina voll im Trend. In Sorge um den weltweiten Klimawandel arbeiten Tausende Ingenieure, Unternehmer und Politiker in Deutschland an der Energiewende – und Reginas Beispiel zeigt, dass auch Jugendliche schon erfolgreich daran mitwirken können. Auf der nächsten Doppelseite erfährst du, was es mit der Energiewende auf sich hat. →

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So tastete sich Regina an ihre Lösung heran

anti-anbrenn-system

»Wenn Nahrungsmittel auf dem Herd anbrennen, dann zucchini-expriment: Temperaturkurve passieren charakteristische Dinge. Es entsteht zum BeiDie Zacken der Temperaturkurve jen- oben markieren Momente, in denen spiel Kohlendioxid (CO ) als Verbrennungsprodukt. Meine 2 seits der 75-Grad-Grenze erklären sich sehr viele Wassertröpfchen schlagarerste Idee war deshalb, mit einem Sensor den CO2-Gehalt damit, dass Nahrungsmittel Wasser tig verdampfen. Die kurzen Abkühenthalten. Beim Garen dehnt sich das lungsphasen dazwischen erklären sich der Luft über dem brutzelnden Fleisch und Gemüse zu Wasser aus, tritt in Tröpfchen aus den damit, dass nach jeder »Tröpfchenex- messen. Würde der Sensor kein CO2 registrieren, wäre alPoren an der Oberfläche der Speise plosion« erst neues Wasser aus dem les in Ordnung, stellte er jedoch CO2 fest, wäre dies ein heraus und ist dann direkt der heißen Gemüse heraustreten muss, ehe die Garflüssigkeit ausgesetzt – dem sie- nächste »Explosionswelle« stattfinden Zeichen, dass der Prozess der Verbrennung begonnen denden Öl oder der heißen Butter. Die kann. Dabei muss sich das Wasser im- ­ hatte. Der Sensor würde die CO2-Messwerte an einen Garflüssigkeit erhitzt nun die Wasser- mer erst durch die Kruste kämpfen, die Chip übermitteln. Und sobald die Werte eine kritische tröpfchen so schnell und so stark, dass sich auf dem Essen bildet, wenn es verGrenze überschreiten, würde der Chip den Herd abschalsie explosionsartig verdampfen. Die brennt – was eine Weile dauert. Zacken der Temperaturkurve nach ten. Soweit mein erster Plan. Doch ich musste feststellen, dass ein geeigneter CO2-Sensor teuer ist. Und so verwarf °C ich diesen Lösungsansatz wegen der Kosten.« 80 80 74 80 Auf der Suche nach Alternativen zur CO2-Messung kam 78 70 Regina auf die Idee, jene kritische Grenze, bei der das Es73 sen verbrennt, über die Temperaturkurve zu ermitteln. In 60 einer Pfanne ließ sie dafür zuerst Zucchini und dann HähnPhase des Anbrennens 50 chenfleisch verbrennen, maß dabei ständig die Oberflächentemperatur der Nahrungsmittel und trug die Werte 40 in Diagramme ein. Das Diagramm links zeigt den Tempera30 turverlauf ihres Zucchini-Experiments. Das Gemüse be20 ginnt bei einer Oberflächentemperatur von zirka 75 Grad Celsius zu verbrennen. Die Temperaturkurve zeigt von da 10 an schnelle Ausschläge von vier bis acht Grad Celsius 0 nach oben bzw. nach unten – ein sicheres Zeichen für den 3:30 8:00 min Verbrennungsvorgang.

Sensor Sensor aktoren

AD-Wandler physik. Größe (Stromstärke)

Display Lampe »Chip an« Lampe »Alarm«

Binärzahlen

Mikrochip Logik und Steuerung

Alarm-Signal

Der Temperatursensor misst die Oberflächentemperatur des brutzelnden Essens. Das funktioniert so: Im stabförmigen »Fühler« des Sensors befindet sich ein stromdurchflossener Draht. Je heißer die Speise ist, umso heißer wird auch der Draht, umso größer wird der elek­ trische Widerstand des Drahtes, und umso schwächer wird der Strom, der durch den Draht fließt. Denn: Wärme versetzt die Atome des Drahtes in Schwingungen. Die Elektronen, die den Draht durchfließen, prallen dann häufiger auf die schwingenden Atome – womit die Stromstärke im Draht sinkt. Und so gibt die Stromstärke

so funktioniert reginas anti-anbrenn-lösung 

Auskunft über die Temperatur der Speise. Der Mikrochip ist die Steuerungszentrale – das »Gehirn« – des AntiAnbrenn-Systems. Der Chip liest und bewertet die Messwerte, die der Sensor ihm schickt, und zeigt sie auf einem Display an. Überschreiten die Werte eine kritische Grenze, löst der Chip Alarm aus, indem er ein Warnlämpchen blinken lässt und per Lautsprecher einen Warnton abgibt. Gleichzeitig schaltet er den Herd ab und verhindert so, dass die Speise verbrennt. Display, Warnlämpchen, Lautsprecher und Herdschalter sind die so genannten Aktoren. Der Chip realisiert damit

das eigentliche Ziel des Systems: er verhindert, dass die Speisen anbrennen. Alle übrigen Komponenten dienen der Kommunikation zwischen dem Sensor, dem Chip und den Aktoren. So übersetzt der Analog-DigitalWandler (AD-Wandler) die physikalischen (analogen) Messwerte in binäre Zahlen – in Ziffernfolgen aus Nullen und Einsen –, weil der Mikrochip nur binäre Zahlen lesen und auswerten kann. Das Bussystem (in der Funktionsgrafik oben die braunen Pfeile) wiederum ist für den Transport der Signale und Daten zwischen den Komponenten des elektronischen Systems zuständig.

Sensoren und elektronische Systeme

Wenn leblose Technik lebendig wird
Intelligente Häuser ergreifen Energiesparmaßnahmen, wenn Energie knapp ist. Doch wie funktioniert das? Elektronische Systeme sind der Schlüssel dafür.
Indem wir leblose technische Dinge mit Sensoren und elektronischen Steuerungen ausstatten, versetzen wir sie in die Lage, wie lebendige Wesen zu handeln: Sie erkennen ihre Umwelt selbst und reagieren selbständig darauf. Tiere sind in der Lage, zielgerichtet zu handeln – in einer Weise, die ihrer Selbsterhaltung dient. Sie besorgen sich Nahrung, wenn sie Hunger empfinden, und bringen sich in Sicherheit, wenn sie Gefahr sehen. Aber kann auch ein Haus sich selbst Energie beschaffen, wenn es »Energiehunger« spürt? Und kann es selbst Feuer löschen, wenn es in seinen Mauern brennt? Die Antwort lautet: ja – wenn wir es mit einem passenden elektronischen System ausstatten. Auf dieser Doppelseite machen wir dich mit dem Aufbau elektronischer Systeme vertraut und erklären dir, wie sie funktionieren. Danach wirst du dich in der Welt der Elektronik viel leichter zurechtfinden. Du kannst dir jedes elektronische System als eine Art künstliches Nervensystem vorstellen. Das Nervensystem aller höher entwickelten Tiere umfasst folgende Organe: • die Sinnesorgane: Der Organismus nimmt damit seine Umwelt wahr (er sieht, hört, riecht und schmeckt, fühlt die Beschaffenheit von Gegenständen, empfindet Wärme und Kälte), und er überwacht sich selbst (er fühlt zum Beispiel Hunger und Schmerz); • die Nervenbahnen (Dendriten) übertragen die Sinnes­ reize an das Gehirn; • das Gehirn bewertet die Sinnesreize und leitet daraus die Reaktionen des Organismus ab; • die ausführenden Nerven: Mit ihnen steuert das Gehirn Muskeln und Gliedmaßen – der Organismus reagiert. Elektronische Systeme besitzen eine ähnliche Organi­ sation. Sie bestehen aus: • den Sensoren: Sie entsprechen den Sinneszellen natürlicher Organismen. Das technische Gerät bzw. System nimmt mit ihnen seine Umwelt wahr und überwacht sich selbst. • der elektronischen Steuerung (in der Regel ist das ein integrierter Schaltkreis – und zwar meistens ein Mikrocontroller): die Steuerung entspricht dem »Gehirn« natürlicher Organismen. Sie wertet die Signale der Sensoren aus und leitet daraus die Reaktion des technischen Gerätes bzw. Systems ab. • den Aktoren: Das sind die Bauteile, mit denen das System Aktionen ausführt. Indem die elektronische Steuerung die Aktoren eines Gerätes dirigiert (z. B. die Gliedmaßen eines Roboters steuert), verhält sich das Gerät in einer Weise, die seiner Aufgabe entspricht. • dem Bussystem: Es entspricht den Nervenbahnen natürlicher Organismen. Das Bussystem verbindet die Sensoren mit der elektronischen Steuerung und die Steuerung mit den Aktoren. Es dient dem Transport von Signalen und Daten. Woher aber weiß die elektronische Steuerung, wie sie Sensor-Signale bewerten muss, und welche Aktionen sie auslösen soll? Ganz einfach: Wir geben ihr ein Programm mit – eine Handlungsanweisung, die alle Situationen berücksichtigt, vor denen das technische Gerät bzw. System stehen kann. Dem Programm liegt meist eine mehr oder weniger umfangreiche Wenn-dann-Logik zugrunde. Du erinnerst dich an Reginas Anti-Anbrenn-System? Die Wenn-dann-Logik des Programms, dem ihr Steuerungschip folgt, lautet: Wenn die Temperatur, die der Temperatursensor meldet, 75 Grad Celsius übersteigt und in kurzen Intervallen um vier bis acht Grad Celsius pendelt, dann schlage Alarm und schalte den Herd ab! Der »Wenn«-Teil der Programm-Logik definiert die Bedingungen, die gegeben sein müssen, damit das technische Gerät bzw. System aktiv wird, während der »Dann«-Teil bestimmt, wie (mit welchen Aktionen) das Gerät reagieren soll. Die Programme, die elektronische Systeme leiten, sagen der Steuerung, wann und wie sie einen bestimmten IstZustand (das ist der tatsächliche Zustand des Gerätes und seiner Umwelt) in einen bestimmten Soll-Zustand (das ist der erwünschte Zustand) verwandeln soll. Der Programmierer muss sich also zunächst überlegen, welchen SollZustand er herstellen möchte (welches Ziel er mit dem technischen Gerät oder System verfolgt), und welche Merkmale diesen Soll-Zustand kennzeichnen. Im Verlauf des Programm-Vollzugs vergleicht die elektronische Steuerung dann auf Basis der Sensor-Daten permanent den Ist-Zustand des Gerätes bzw. Systems mit dem Soll- (Ziel-) Zustand. Entspricht der Ist-Zustand dem Soll-Zustand, ist alles in Ordnung; die elektronische Steuerung hält dann den Status des Gerätes bzw. Systems einfach aufrecht. Weisen die Sensor-Daten aber eine Diskrepanz zwischen

28 basics

dem Ist- und dem Soll-Zustand aus, besteht Handlungsbedarf und die Steuerung korrigiert den Ist-Zustand mit geeigneten Aktionen so lange, bis er (wieder) dem Soll-Zustand entspricht. Regina Hartfiel zum Beispiel möchte mit ihrer Lösung erreichen, dass Speisen beim Garen nicht anbrennen (­Seite  22 / 23). Solange die Oberflächentemperatur des brutzelnden Essens nicht eine kritische Grenze überschreitet, stimmt der Ist-Zustand des Essens mit dem Soll-Zustand überein. Überschreitet die Temperatur des Essens aber jene kritische Grenze, laufen Ist- und SollZustand auseinander und es entsteht Handlungsbedarf. Der Controller schaltet dann den Herd ab.

Auf den nächsten Doppelseiten erfährst du, wie i ­ ntegrierte Schaltkreise (Mikrochips) als »Gehirn« elektronischer Systeme aufgebaut sind und funktionieren. Weil Chips ihre Fähigkeiten den Halbleitern verdanken, aus denen sie bestehen, machen wir dich zunächst mit dem wichtigsten Halbleiter der Mikroelektronik bekannt, dem Silizium. Wir erklären dir dann, wie ein Transistor – das wichtigste Bauelement integrierter Schaltungen – funktioniert, und lüften schließlich das »Geheimnis«, wie Chips mit Hilfe ihrer Transistoren logische Operationen von unglaublicher Komplexität ausführen, technische Geräte und Systeme steuern oder sekundenschnell schwierige Mathematik­ aufgaben lösen können. 

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asimos sensoren zur wahrnehmung der Umwelt und selbstkontrolle

Der Körper besteht aus einer sehr leichten, stabilem Magnesium-Legierung

Kamera  Mit ihrer Hilfe erkennt Asimo sein Ziel und seine Bewegungsrichtung

Antenne Damit kann Asimo drahtlos Daten austauschen

Der Roboter »Asimo«, entwickelt vom japanischen Motorenhersteller Honda, hat menschenähnliche Fähigkeiten. Er kann laufen, Treppen steigen, Gegenstände greifen, tragen und wieder abstellen. In einem Krankenhaus könnte »Asimo« mit diesen Begabungen ein­ fache Pfleger-Aufgaben übernehmen: Er könnte zum ­Beispiel Patienten das Essen bringen. Der kleine Roboter verdankt seine Fähigkeiten erstens künstlichen Sinnes­ organen, zweitens Programmen, die ein breites Spek­ trum menschlicher Handlungen abbilden, und drittens leistungsstarken Mikrochips, die »Asimos« Körper – den besagten Programmen folgend – zuverlässig ­ steuern.

Asimo 

Batterie Damit kann Asimo zirka 40 Minuten lang gehen

6-Achsen-Kraftsensoren Sie messen die Richtung und Stärke der Kräfte, die auf Hände und Füße wirken, und erlauben es damit Asimo, sicher zu greifen und zu laufen

Kreisel- und Beschleunigungssensor Er erlaubt es Asimo, sich zu neigen und zu beschleunigen

Aktuator Ein Servo­ motor und ein Drehzahl­min­derer übernehmen die Auf­ gabe menschlicher Muskeln

Halbleiter

silizium & co.
Wusstest du schon, dass Sand zu den bedeutendsten Rohstoffen unseres Elektronik-Zeitalters zählt? Er enthält nämlich in großen Mengen Silizium – das wichtigste »Baumaterial« für elektronische Schaltkreise!

Atome bestehen aus einem Kern und einer Hülle. Die Elektronen umkreisen den Atomkern auf verschiedenen Umlaufbahnen (Orbitalen) – die energiereichsten Elektronen besetzen dabei das äußerste Orbital und heißen Valenzelektronen.

siliziumatom

ordnungszahl

14

2/8/4

elektronenkonfiguration

Silizium (chemisches Symbol Si) steht im Periodensystem der Elemente in der 4. Hauptgruppe.

silizium

symbol

name atommasse

Silicium
28,086

valenzelektron

30 basics

Fast alle Mikrochips, die in Handys und Computern stecken, bestehen aus Silizium, und die aufwändige Herstellung eines Chips beginnt tatsächlich damit, dass Chemieunternehmen aus Sand und anderen silikathaltigen Rohstoffen absolut reines Silizium gewinnen. Das schmelzen sie in Tiegeln, ziehen aus der Schmelze zylinderförmige Kristalle und zersägen die Kristalle in Scheiben. Die Chiphersteller verwandeln die Siliziumscheiben in ihren Fabriken schließlich in die Mikrochips. Im Kapitel »Herstellung integrierter Schalt­ kreise« erfährst du, wie das funktioniert. Auf dieser Doppel­ seite beantworten wir die Frage, warum sich Silizium so gut für integrierte Schaltkreise eignet. Silizium ist ein Halbleiter. Es gehört damit zur großen ­Gruppe der chemischen Elemente und Verbindungen, die zwischen den elektrischen Leitern und den Nichtleitern stehen. Leiter transportieren elektrischen Strom sehr gut, Nichtleiter hingegen gar nicht. Die Leitfähigkeit von Halbleitern wächst mit ihrer Temperatur. Stark abgekühlt, verhalten sie sich wie Nichtleiter, stark erhitzt dagegen wie gute Leiter. Silizium bildet bei normalen Temperaturen, wie sie auf der Erdoberfläche herrschen, Kristalle, die exakt die gleiche Struktur wie Diamanten besitzen. Innerhalb dieser ­Kristalle verbindet sich jedes Siliziumatom mit vier weiteren, was daran liegt, dass Silizium vier Außenelektronen besitzt. Durch die Beimischung fremder Atome – ein Vorgang, der in der Fachsprache Dotierung heißt – können die Chiphersteller die elektrischen Eigenschaften des Siliziums zielgerichtet beeinflussen. Pflanzen sie Fremdatome in das Kristallgitter ein, die mehr Außenelektronen als Silizium besitzen, zum Beispiel Phosphor, so erzeugen sie damit im Kristall eine Zone, die einen Vorrat an frei beweglichen Elektronen aufweist. Solche Kristallzonen heißen n-dotiert, weil die frei beweglichen Elektronen negativ geladen sind. Pflanzen die Chiphersteller dagegen Fremdatome ein, die weniger Außenelektronen als Silizium besitzen, zum Beispiel Bor, so schaffen sie damit im Kristallgitter eine Zone, die sich durch ein Reservoir an positiven Ladungen – so genannten Löchern – auszeichnet. Wegen der positiven Ladung der Löcher heißen diese Zonen p-dotiert.

Die elektronischen Bauelemente eines integrierten Schaltkreises entstehen aus der Kombination solcher n- und p-dotierten Kristallzonen auf engstem Raum. Die Chipher­ steller erzeugen zum Beispiel eine Diode, indem sie im Siliziumkristall direkt nebeneinander eine winzige n- und eine winzige p-dotierte Zone erzeugen. Transistoren – die wichtigsten Bauelemente integrierter Schaltungen – sind etwas komplizierter aufgebaut, bestehen aber ebenfalls aus winzigen n- und p-dotierten Kristallzonen in einer ganz bestimmten Anordnung. Aus der elektrischen Wechselwirkung dieser Kristallzonen ergibt sich die Funktionsweise der elektronischen Bauelemente. Durch mikroskopisch dünne Leiterbahnen miteinander verbunden, bilden die Bauelemente schließlich einen kompletten Schaltkreis. Integrierte Schaltkreise heißen so, weil die Chiphersteller alle elektronischen Bauelemente des Schaltkreises in einem Stück Silizium erzeugen – die Bauelemente sind in das ­Silizium eingebunden (integriert). Heute sind 99 Prozent aller elektronischen Schaltkreise integrierte Schaltkreise. Bis zur Erfindung des Mikrochips im Jahr 1958 waren elektronische Schaltkreise noch auf Leiterplatten gelötet, und jedes elektronische Bauelement besaß noch ein eigenes Gehäuse! Entsprechend viel Platz benötigte die Elektronik. Neben dem Silizium gibt es noch viele weitere Halbleiter, die sich für die Herstellung integrierter Schaltkreise eignen. Sie alle lassen sich durch die Impfung (Dotierung) mit fremden Stoffen bzw. Atomen manipulieren – und einige von ihnen machen sogar noch schnellere Chips möglich als Silizium. Trotzdem hat kein anderer Halbleiter auch nur annähernd so große Bedeutung erlangt wie Silizium. Und das hat unter anderem folgenden Grund: Silizium bildet eine schützende Oxidschicht, sobald es mit Luft in Berührung kommt. Diese Schicht bewahrt den Kristall vor ungewollter Verunreinigung. Ohne diese Schicht würden Fremdatome aus der Luft unkontrolliert in das Silizium einsickern und seine elektrischen Eigenschaften negativ beeinflussen. Die meisten anderen Halbleiter bilden keine schützende Oxidschicht. Sie sind deshalb nur schwer kontrollierbar, was die Herstellung integrierter Schaltkreise aus ihnen verteuert. →

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14+

31
elektron

Steine, die beinahe vollständig aus Silizium bestehen, wie der Rosenquarz und der Bergkristall, verdanken ihre Transparenz (Durchsichtigkeit) und schöne Gestalt der regelmäßigen Struktur des Siliziumkristalls. Durch die tunnelartigen Zwischenräume im Atomgitter des Siliziums kann das Licht ungehindert den gesamten Kristall durchdringen.

rosenquarz

Atome schließen sich mit anderen Atomen zusammen, indem sie mit Hilfe ihrer Valenzelektronen gemeinsame Elektronenpaare bilden. Beide Elektronen des Paares umkreisen dann beide Atome – und ketten sie so gewissermaßen aneinander. Die Anzahl der Atome, mit denen sich ein Atom verbinden kann, entspricht exakt der Anzahl seiner Valenzelektronen. Weil Silizium vier Valenzelektronen besitzt, kann es sich – wie links zu sehen – mit vier weiteren Atomen verbinden.

elementarzelle eines silizium­ kristalls

aufbau eines silizium­kristalls

Nanokosmos

Wie viel meter sind 90 Nanometer ?
Bei Infineon Technologies in Dresden trafen wir Hagen Rötz. Er erklärte uns, wie aus einer Siliziumscheibe ein integrierter Schaltkreis entsteht (der englische Name lautet Integrated Circuit – IC).
Infineon Technologies betreibt in der sächsischen Landeshauptstadt gleich zwei Chipfabriken. Als ich die Firma besuche, wartet am Eingang ein junger Mann auf mich: Hagen Rötz gehört zu den Infineon-Mitarbeitern, die sich in der Chipfertigung um die Qualitätssicherung kümmern. Dafür betrachtet er Chips, die frisch aus der Produktion kommen, unter dem Mikroskop – vermisst ihre Strukturen und gibt die Messergebnisse an die Fertigungsabteilungen zurück. Hagen wird mir heute Infineon zeigen und auf einer Tour durch die Chipfabrik erklären, wie ein integrierter Schaltkreis entsteht. 90  Nanometer breite Gates. 90 Nanometer entsprechen einer Reihe aus 120 Atomen in einem Siliziumkristall. Deshalb brauchen wir hier Mikroskope mit atomarer Auflösung. Wir könnten die Gates unserer Transistoren sonst gar nicht in Augenschein nehmen.« »Kannst du dir vorstellen, wie klein 90 Nanometer sind?«, fragt Hagen. Ich schüttle den Kopf. »Ich kann es auch nicht«, sagt Hagen. »Unsere Ingenieure versuchen es gelegentlich mit Vergleichen. Sie sagen zum Beispiel: 90 Nanometer entsprechen dem 1.000tel Durchmesser eines Menschenhaares. Das ist zwar richtig, hilft aber der Vorstellung nicht wirklich auf die Sprünge. 90 Nanometer liegen einfach außerhalb menschlicher Vorstellungskraft.« »Wenn wir über integrierte Schaltkreise sprechen, gibt es aber noch viele andere, kaum fassbare Zahlen«, sagt Hagen. »Wir stellen in Dresden zum Beispiel Mikroprozessoren her, die Motoren steuern. Obwohl sie so klein sind wie ein Fingernagel, enthalten sie 300 Millionen Transistoren! Kannst du dir so viele Transistoren vorstellen?« »Nein«, gebe ich zu. »Ich auch nicht«, pflichtet ­Hagen mir abermals bei, »aber sie befinden sich tatsächlich auf dem Chip. Es ist eine große ingenieurtechnische Herausforderung, ein solches Produkt industriell herzustellen – das heißt: viele tausend Mal, kostengünstig und absolut zuverlässig. Das gelingt nur mit den neusten Verfahren der Nanotechnologie. Die benutzen wir hier – und eben das macht Chip-Herstellung so spannend.«  → infineons chipfabriken

Hagen Rötz (31), Infineon Technologies, Dresden Hagen Rötz leitet eine Gruppe von Ingenieuren und Fach­ar­bei­tern, die sich bei Infineon um die Qualitätssicherung kümmern.

Reporter Ingolf Seifert besuchte für den Nanoscout die ­ Infineon-Chipfabriken in Dresden.

42 fertigung

Transmissionselektronenmikroskope (TEM) erzeugen Bilder, indem sie die Probe mit einem Elektronenstrahl »abrastern«. Der Elektronenstrahl streicht dabei zeilenweise über die Probe. Von den Elektronen angeregt (getroffen), antworten die Atome u.a. damit, dass sie selbst Elektronen aussenden. Das Mikroskop sammelt diese Elektronen ein, wertet sie aus und generiert daraus das Bild. Da Elektronenstrahlen viel kleiner sind als Lichtwellen, erreichen Elektronenmikroskope eine viel höhere Auflösung als optische Mikroskope.

Transmissionselektronenmikroskop

43
infineon prozessor tricore 50 × 50 mm

Wie klein sind 90 Nanometer?
Erste Station der Tour ist Hagens Labor. Dort zeigt er mir die Aufnahme eines Chips, den er gerade mit einem Transmissionselektronenmikroskop (TEM) begutachtet. Auf dem Bild sind dunkelgraue Kugeln zu erkennen, die sich zu einem regelmäßigen Muster fügen. Die Kugeln haben keine scharfen Umrisse – sie gleichen eher Schattengebilden. »Das sind Siliziumatome«, sagt Hagen. ›Wow!‹, denke ich. Als physikinteressierter Mensch habe ich gelegentlich versucht, mir Atome vorzustellen. Dass es Mikroskope gibt, die Atome sichtbar machen können, ist mir neu! Doch ich staune noch mehr, als Hagen mir die Bilder erklärt. »Die Aufnahme zeigt das Gate eines Transistors«, sagt er. »Wenn du von oben auf einen integrierten Schaltkreis blickst, sind die Transistorgates immer die schmalsten ­Teile des gesamten Chips. Wir produzieren hier in Dresden

300 Millionen Transistoren
TEM-Aufnahme eines Gate-Ausschnitts

Das Foto zeigt die Infineon-Chipfabriken in Dresden: Die 200-Millimeter-Fabrik umfasst zwei ­ ­Fertigungsmodule – im Bild die beiden großen ­Hallen mit gewölbten Dächern. Das Unternehmen stellt dort auf 200 Millimeter großen Silizumscheiben (daher der Name »200-Millimeter-Fabrik«) ein breites Sortiment an Logikchips her. In der 300-Millimeter-Fabrik produziert Infineon auf 300  Millimeter großen Siliziumscheiben Spezialchips, die hohe Ströme vertragen – darunter Schaltkreise, die Wechsel- in Gleichstrom wandeln (so genannte Gleichrichter). Sie kommen zum Beispiel in Windkraftanlagen zum Einsatz. ­

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ein transistor
gate

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30

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ein silizium-atom

90 nm 1 Gate-Breite

Fotolithografie

waferstepper

UV-Licht: Der Schlüssel zum Nanokosmos
Wie kommen eine halbe Milliarde Transistoren auf ein Stück Silizium von der Größe eines Fingernagels?
»Hast du ein Smartphone?«, fragt mich Hagen unvermittelt. »Na klar«, sage ich. »Wenn es zu den leistungsstärkeren Geräten zählt, dann vereinigt sein Mikroprozessor auf einem fingernagelgroßen Stück Silizium wahrscheinlich rund eine halbe Milliarde Transistoren, und das Netz seiner Leiterbahnen dürfte etwa so komplex sein wie das gesamte Straßennetz Europas«, klärt Hagen mich auf. ›Wow‹, denke ich, ›wieder so eine Zahl zum Staunen.‹ »Wie ist es möglich«, fragt Hagen jetzt, »auf einer so kleinen Fläche dermaßen viele elektronische Bauelemente unterzubringen? Das Verfahren dafür stammt aus der Drucktechnik

die fotolithograf ie, schritt für schritt
1

1

fotolack wafer

So funktioniert die Fotolithografie
1  Die Schablone entsteht aus einem lichtempfindlichen Lack. Ein Spin Coater spritzt den Lack auf die Siliziumscheibe (im Info-Kasten auf Seite 52 kannst du nachlesen, wie das geschieht). Danach kommt der Wafer auf eine Heizplatte. Dort härtet der Lack aus. Jetzt brauchen wir ›nur noch‹ die Fenster in die Lackschicht zu ›schneiden‹. Das geschieht mit ultraviolettem Licht (UV-Licht)! Wir benutzen dafür eine sogenannte Maske. 2  Das ist eine ­Scheibe aus Quarzglas, die mit einer lichtundurchlässigen Chromschicht versehen ist. In diese Chromschicht ätzen die Maskenhersteller Fenster (Öffnungen), deren Lage und Form der Position und Gestalt der n-Wannen auf dem Wafer entspricht. An diesen Stellen ist die Maske dann lichtdurchlässig. Mit ihrer Fensterstruktur bildet die Maske ähnlich wie ein Diapositiv das geplante Chip-Layout ab. Als Abbildungsmaßstab wählen die Chiphersteller meist ein Verhältnis von 1:4«, sagt Hagen. »Das heißt: Die Maske bildet den Schaltkreis in vierfacher Vergrößerung ab. Die Maske und die lackierte Siliziumscheibe kommen dann in einen Automaten, der Waferstepper heißt (das Bild rechts zeigt, wie so ein Waferstepper aussieht). Wir platzieren die Maske dort über dem Wafer. 3  Der Stepper durchleuchtet die Maske von oben mit ultraviolettem Licht. Am Ende seines Weges trifft das Licht auf die lackierte Siliziumscheibe. Weil das Licht die Maske aber nur dort durchdringen kann, wo sich in der Chromschicht die Fenster befinden, trifft es auch nur dort auf den Wafer, wo die n-Wannen entstehen sollen. So erscheint das Layout der Schaltung als Lichtbild auf dem Wafer. Auf seinem Weg zum Wafer passiert das Licht eine komplizierte Projektionsoptik. Die besteht aus vielen Linsen, ist wie ein Kameraobjektiv aufgebaut und funktioniert auch so, erreicht aber eine viel höhere Auflösung – das heißt, sie kann unvorstellbar kleine Dinge gestochen scharf abbilden. Die Optik verkleinert das Lichtbild der Schaltung auf seinem Weg von der Maske zum Wafer um den Faktor vier. So erscheint es in der richtigen Größe auf dem Wafer. Ohne Verkleinerungsoptik würde das Layout des Chips genau so groß auf dem Wafer erscheinen wie die Maske es vorzeichnet – vierfach vergrößert. Wir können den Waferstepper also mit einem Diaprojektor vergleichen, dem wir die Optik umgedreht haben, so dass er Bilder nicht vergrößert, sondern verkleinert.  →

Fotolack kommt auf die Siliziumscheibe

50 fertigung

maske

2

2 Die Maske enthält das Layout des Chips

51
so funktioniert  ein waferstepper
Ein ultravioletter Lichtstrahl (UV-Licht) 1 durchleuchtet die Maske  2  und projiziert das Layout der Schaltung auf den Wafer  3 Eine Optik aus zahlreichen Linsen  4  verkleinert das Lichtbild der Schaltung, so dass es scharf und in der richtigen Größe auf dem Wafer erscheint.

maske

3
belichteter fotolack

uv-licht

licht

maske lichtdurchlässige ab­bildung des chiplayouts

UV-Licht überträgt das Chiplayout von der Maske auf den Wafer

4

4

entwickelter fotolack

1 3

lichtbild des chiplayouts projektionsfläche (wafer)

Behandlung des Fotolacks mit Entwicklerflüssigkeit …

schablone

5

und heißt Fotolithografie.« Am Beispiel unseres Musterchips erklärt Hagen dann, wie die Fotolithografie funktioniert. Was das Ziel dieses Fertigungsschrittes ist, habe ich bereits gelernt: Die Chiphersteller verpassen der Siliziumscheibe damit eine Schablone, die dafür sorgt, dass sie den Wafer stets an den richtigen Stellen bearbeiten. Die Produktion unseres Musterchips beginnt mit der Herstellung der n-Wanne des pMOS-Transistors. »Wir realisieren diesen Teil des Chips, indem wir den Wafer mit Fremdatomen beschießen«, sagt Hagen. »Dafür brauchen wir eine Schablone, die die Fremdatome nur dort an das Silizium heranlässt, wo die n-Wannen entstehen sollen.

… und Beseitigung der belichteten Lackpartien mit ätzenden Flüssigkeiten

beschuss mit fremdatomen

6

Herstellung der n-Wanne per Ionen-Implantation

Der Stepper durchleuchtet die Maske mit ultraviolettem Licht, das Layout der n-Wanne erscheint als Lichtbild auf dem lackierten Wafer.

Herstellung der Schablone für die n-Wanne

Porträt

Porträt

66 fertigung

forschen für die über­nächste chipgeneration
Beruf extrem wichtig. Im NaMLab arbeiten deshalb viele Berufsgruppen und Fachleute aus den verschiedensten Ländern zusammen, darunter nicht wenige Frauen. Das konfrontiert mich immer wieder mit neuen Ideen, Leuten Ich heiße Guntrade Roll und arbeite im Nano-electronic und Aufgaben. Weil integrierte Schaltungen komplizierte Materials Laboratory (NaMLab) in Dresden. Wir forschen Produkte sind, die nicht an jeder Ecke hergestellt werden, hier in enger Kooperation mit der TU Dresden an der ist der internationale Wissensaustausch in unserem Beruf übernächsten Chip-Generation. Das NaMLab beschäftigt extrem wichtig – und so stellen wir die Ergebnisse unserer sich zum Beispiel mit neuen Materialien für schnelle per­ Arbeit oft in anderen Ländern vor. Gute ­Englischkenntnisse manente Speicher oder blaue LEDs. Während meiner sind dafür natürlich unabdingbar. Doktorarbeit am NaMLab habe ich den Stromverbrauch Wegen der vielen hier ansässigen Halbleiterfirmen sind miniaturisierter Bauelemente untersucht. Mit der fort­ unsere Berufschancen in Sachsen außerordentlich gut. schreitenden Miniaturisierung ändern sich der Aufbau Kurzum: Mein Job garantiert immer interessante neue und die Materialwahl zum Beispiel für Kondensatoren und Aufgaben. Transistoren. Das macht mobile Anwendungen wie iPADs Ich komme aus einer Naturwissenschaftlerfamilie. Schon oder Smartphones überhaupt erst möglich. Der Strom­ zu meiner Schulzeit faszinierte mich, »was die Welt im verbrauch oder die Ausfallwahrscheinlichkeit elektro­ ­Innersten zusammenhält« (Goethe: »Faust«). Dabei kam nischer Bauelemente sinken im Zuge der Miniaturisierung mir entgegen, dass man in Fächern wie Physik oder Mathe aber nicht automatisch mit – das galt es zu untersuchen. nur wenig auswendig lernen musste. Also studierte ich Besonders interessant dabei war für mich zu erleben, wie Angewandte Naturwissenschaften an der TU Freiberg schon kleine Änderungen im Herstellungsprozess den und entschied mich später für den Schwerpunkt Mikro­ Unter­ schied zwischen einem funktionierenden End­ elektronik. Meine Sitznachbarin im Büro, Annett Freese, produkt und einem Fehlschlag ausmachen können. Und hat Materialwissenschaften studiert und beschäftigt sich der Herstellungsprozess für einen einfachen DRAM-­ mit der Herstellung von immer besseren Isolator­ schichten. Als wir über diesen Artikel sprachen, betonte Speicher besteht aus mehreren hundert Schritten! Um herauszufinden, welche Auswirkungen Änderungen sie, dass ihr besonders das Kreative an der Arbeit gefalle: im Fertigungsprozess auf die Bauelemente haben, muss Um die besten Ergebnisse zu erzielen, sind neue Ideen ge­ man verschiedenste Wissensgebiete und Analysemetho­ fragt – Fleiß allein genügt nicht. Wichtige Stellschrauben den verbinden. Ohne Kenntnisse in Chemie, Physik und bei der Herstellung neuartiger Isolatorschichten sind die Materialwissenschaft geht es nicht. Sollen die Funktionen Fertigungsgeräte und -methoden, aber auch das Schicht­ vieler Chips untersucht werden, sind elektrische Messun­ material selbst und die Material-»Unterlage« sind ent­ gen das bevorzugte Mittel – das erfordert Kenntnisse der scheidend, und überall sind kreative Ideen gefragt. Elektrotechnik. In Einzelfällen untersuchen wir Bauele­ In meiner Freizeit treibe ich viel Sport, spiele Fußball und mente auch mit dem Rasterelektronenmikroskop, was fahre viel Fahrrad. Außerdem lese ich sehr gerne. Sport aber zeitaufwendig und teuer ist. Wegen der Vielzahl der ist mir sehr wichtig, um den Kopf frei zu bekommen und Fachgebiete, die wir brauchen, ist Teamwork in unserem dann neu anpacken zu können. Wissenschaftliche Mitarbeiterin für Halb­ leitertechnik, NaMLab gGmbH, TU Dresden

vom versuch, der Natur in die Karten zu schauen
Dr. Henry Wojcik (33 Jahre)
Entwickler für chipFertigungstechnologie Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik, TU Dresden Ich bin ein Ingenieur, der an der Entwicklung neuer Chip­ fertigungstechnologien mitwirkt. Mit meinen Kollegen aus der Forschung und der Chipfertigung versuche ich herauszufinden, wie sich mit neuen Materialien und Ver­ fahren neue Chipgenerationen herstellen lassen. Elek­ tronische Geräte werden immer kleiner und leistungs­ stärker – die Technik im Inneren der Geräte wird deshalb immer winziger, muss aber trotzdem stets zuverlässig funktionieren. Das alles stets aufs Neue hinzubekom­ men, ist unser Job. Mein Fachgebiet sind die hauchdünnen Kupferleitbahnen der Mikrochips. Sie herzustellen wird wegen der fort­ schreitenden Miniaturisierung immer schwieriger. Teil­ weise sind die Leitbahnen nur noch 50 Nanometer breit – das entspricht einem Tausendstel der Dicke eines Menschenhaares! Die Herausforderung bei der Leitbahn­ herstellung sind groß: das Kupfer muss gut haften, es darf nicht »wandern« (diffundieren), es dürfen keine Löcher in der Leitbahn entstehen, und die Kupfer-Kristalle müssen eine ganz bestimmte Ausrichtung und Größe haben. Das erfordert eine unglaubliche, fast schon atomare Präzision. Doch gerade das macht großen Spaß. Meine Arbeit ist al­ les andere als ein trockener Bürojob. Ich gehe jeden Tag ins Labor oder den Reinraum, um spielerisch zu versu­ chen, der Natur in die Karten zu schauen. Die Stoffe, die wir untersuchen, werden immer exotischer: Edelmetalle, seltene Erden, neue Legierungen. Die Herstellungsverfah­ ren werden immer aufwändiger und teurer – kleinste Feh­ ler können große Auswirkung auf die Funktionstüchtigkeit des gesamten Chips haben. Das zu untersuchen, ist eine spannende Sache, und der Teufel steckt wie stets im ­ etail. Dass ich mal Elektrotechnik studieren, in der Mik­ D roelektronik landen und auf diesem Gebiet sogar meine Doktorarbeit schreiben würde, hätte ich als Schüler nie gedacht. Am Gymnasium wählte ich ein sprachliches Pro­ fil, war ein As in Französisch und dachte an ein Studium in Frankreich. Ich wollte Musiker werden und mit einer Band durch die Welt ziehen! Doch dann sah ich mir am »Tag der offenen Tür« die Fakul­ tät Elektrotechnik der Technischen Universität Dresden an. Und was ich dort über dieses Fachgebietes erfuhr, reizte mich so sehr, dass ich meine bisherigen Pläne über den Haufen warf. Von nun an wollte ich dieses Fach stu­ dieren. Das fiel mir am Anfang gar nicht leicht: Physik hat­ te ich nur bis zur 10. Klasse, Chemie und Biologie aus der Oberstufe halfen mir nicht weiter, und der Mathe-Leis­ tungskurs lag zwei Jahre zurück. Ich hatte mich freiwillig länger bei der Bundeswehr verpflichtet, dann auf dem Bau und in einem Callcenter gearbeitet, um Geld zu verdienen. Das Elektrotechnik-Studium hieß nun: rein ins kalte Was­ ser und schwimmen. Ich hatte am Anfang sehr zu kämp­ fen, an Einsen war erst einmal nicht zu denken. Aber die intellektuelle Herausforderung spornte mich an. Es gibt für mich nichts Schöneres als das Gefühl, eine komplizier­ te Sache rundum verstanden zu haben und nicht mehr im Trüben fischen zu müssen. Und zwar nicht, weil ich etwas auswendig gelernt, sondern weil ich etwas begriffen habe, woraus sich Vieles ableiten lässt. Ich bereue es nicht, mich trotz meines Faibles für Musik und Französisch für diesen Weg entschieden zu haben. Ich mag meinen Job sehr, weil er immer wieder spannend ist: Ich schreibe wissenschaftliche Artikel, halte Vorträge und kann mich auf internationalen Konferenzen mit Kollegen aus aller Welt austauschen. Parallel zu meiner Arbeit spiele ich immer noch mit meiner Band – und zwar oft. ­ Und meine jüngste Konferenz führte mich nach Grenoble in Frankreich!

67

Dr. Guntrade Roll (28 Jahre)

Porträt cool silicon e. V.

Firmen der sächsischen Halbleiterindustrie

74 cool silicon

Quelle: Silicon Saxony e. V.

75

Kühles Silizium
Wie sächsische Firmen mit moderner Mikroelektronik zur Bewältigung des Klimaproblems beitragen.
Smartphones, Tablet-Computer, Blu-ray-Rekorder und LCDFernseher: Die Welt der Unterhaltungselektronik und der Computertechnik wird immer größer, bunter und schöner. Und wer wollte sie nicht besitzen – die schicken neuen Geräte mit den klangvollen Markennamen, die uns so Vieles, was Spaß macht und bildet (!), jederzeit und überall direkt vor die Nase beamen? Coole Musik downloaden, unterwegs mit Freunden chatten, auf klugen Internet-Seiten interessante Themen recherchieren – wer will und kann da seiner Zeit und seinen Schulfreunden schon hinter­herlaufen? Fasziniert von Smartphones, Tablet-PCs, 3D-Fernsehern & Co. geben immer mehr Menschen immer mehr Geld dafür aus. Das Ergebnis: Unterhaltungselektronik und Computertechnik tragen immer stärker zum weltweiten CO2-Ausstoß bei. Rund ein Viertel des Energieverbrauches deutscher Haushalte entfällt inzwischen auf diese Gerätegruppe! Und wie fällt die Energiebilanz der Welt erst aus, wenn 1,3 Milliarden Chinesen, fast ebenso viele Inder und knapp 200 Millionen Brasilianer die gleiche Technik-Ausstattung für sich in Anspruch nehmen? Kurzum: Die schiere Menge der Geräte, das rasante Wachstum ihrer Zahl, wird immer stärker zum Teil des weltweiten Klimaproblems. Ein Blick auf die Energiebilanz aller hochentwickelten Länder zeigt, dass dieser Trend jedoch nicht nur für die Unterhaltungselektronik und Computertechnik gilt, sondern längst auch alle übrigen Lebensbereiche erfasst hat: Ob Fahrzeugoder Maschinenbau, Medizin- oder Energietechnik, Bankensektor oder Landwirtschaft - unsere Gesellschaft erlebt eine immer rasantere Elektronisierung. Elektronische Steuerungen und Geräte kommen überall immer häufiger und zahlreicher zum Einsatz. Vor diesem Hintergrund arbeiten über 100 sächsische Firmen und Forschungsinstitute – organisiert im Cool Silicon e. V. – seit nunmehr fünf Jahren intensiv an Lösungen, die dafür sorgen sollen, dass elektronische Geräte deutlich weniger Strom verbrauchen. Die Ingenieure und Wissenschaftler aus Sachsen handeln dabei in der Überzeugung, dass die Energiewende (Seiten 24 / 25) nur gelingen kann, wenn der Energieverbrauch in allen Technik- und Lebensbereichen sinkt, anstatt immer weiter zu steigen. Die Entstehungsgeschichte des Cool Silicon e.  V. ist schnell erzählt: 2007 forderte der Bund alle Regionen Deutschlands mit Führungspositionen auf wichtigen Technologiefeldern auf, Konzepte zu entwickeln, wie sie ihre Führungsposition ausbauen könnten. Professor Gerhard Fettweis, der an der Technischen Universität (TU) Dresden auf dem Gebiet des Mobilfunks lehrt und forscht, vollbrachte das Kunststück, rund 100 Firmen und Forschungsinstitute der sächsischen Halbleiterindustrie auf ein ambitioniertes Ziel einzuschwören: nämlich Mikroelektronik energieeffizienter zu machen und damit weltweit Maßstäbe in Sachen klimafreundlicher Elektronik zu setzen. Mit den Technischen Universitäten in Dresden, Chemnitz und Freiberg schlossen sich die Firmen und Institute zu einem Konsortium zusammen, vertieften sich ein Jahr in die Planung und legten schließlich ein Konzept mit dem Titel »Cool Silicon« vor – »kühles Silizium«. Das Konzept umfasst drei Forschungsschwerpunkte: Bedeutung. Mitglieder des Cool Silicon e.V. arbeiten an neuen Designs und Technologien, die eine deutliche Steigerung der Energieeffizienz integrierter Schaltkreise ermöglichen – mit ihnen sollen sich zum Beispiel sogenannte Leckströme wirksam unterbinden lassen (siehe ab Seite  78). Gleichzeitig arbeiten die Cool-Silicon-Mitglieder an neuen Fertigungsverfahren zur Herstellung der Chips. Die Cluster-Mitglieder versprechen sich von diesen Innovationen eine große Breitenwirkung, weil sie sich auf Chips ganz verschiedener ­ Anwendungsgebiete übertragen lassen. Als Testfall dienen Computer: Ihre Leistung soll sich mit den Innovationen aus Sachsen verdoppeln, ohne dass der Energieverbrauch steigt.

2. Kommunikationssysteme (area 2)
Smartphones und Tablet-Computer haben das mobile Internet möglich gemacht. Die Folge: In den vergangenen fünf Jahren ist die Nachfrage nach mobilen Datendiensten explodiert. Das stellt die Netzbetreiber vor große Probleme: Mit einer begrenzten Zahl von Mobilfunkfrequenzen müssen sie eine wachsende Datenmenge (»Traffic«) transportieren. Sächsische Firmen und Wissenschaftler suchen deshalb im Rahmen des Cool-Silicon-Programms nach Lösungen, wie sich der Datenverkehr bewältigen lässt, ohne dass der Energieverbrauch der Netze und Geräte steigt.

sind damit ein Schlüssel, um den Benzin-, Diesel- und KerosinVerbrauch von Autos, Lokomotiven und Flugzeugen zu senken. Doch diese vielversprechende Werkstoffgruppe hat auch einen Nachteil: Sie kann brechen, und niemand weiß bislang ganz genau, unter welchen Bedingungen das geschieht. Forscher des Cool-Silicon-Netzwerkes statten deshalb Verbundwerkstoffe mit Sensoren aus, die Alarm schlagen, sobald das Material auch nur kleinste Risse zeigt. Unter den 38 Regionen, die 2007 am Spitzencluster-Wettbewerb des Bundes teilnahmen, schaffte es das sächsische Konsortium mit seiner Konzeption in die Gruppe der fünf Gewinner. Mit der Entscheidung des Bundes für das sächsische Cluster schlug auch die Geburtsstunde des Cool Silicon e. V., heute von Professor Thomas Mikolajick, Chef des Dresdner Nano-electronic Materials Laboratory (NaMLab) geleitet, denn die Kooperation so vieler Unternehmen braucht eine koordinierende Hand. Fünf Jahre fördern der Bund und Sachsen mit 70 Millionen Euro die Arbeit an den Forschungsthemen, die auf der Agenda des sächsischen Clusters stehen. Und in diesem Kapitel machen wir dich mit den Forschungsschwerpunkten bekannt. Dabei gehen wir im Fall der Sensornetzwerke (»area 3«) recht tief ins Detail, während wir die Fragestellungen und Lösungsansätze im Fall der Mikro- und Nanotechnologie sowie der Mobilfunktechnik (»areas 1 und 2«) »nur« anreißen können.  stromverbrauch der privaten HAushalte
Der Stromverbrauch privater Haushalte in Deutschland verteilt sich auf folgende Bereiche: ó TV / Audio und Computertechnik (24,6 %), ó Kühlen und Gefrieren (16,1 %), ó Waschen, Trocknen, Spülen (13,8 %), ó Warmes Wasser (12,9 %), ó Kochen (9,7 %), ó Licht (8,5 %), ó Übrige: Klima, Wellness, Garten und Sonstiges (14,4 %) Quelle: Energieagentur NRW, www.energieagentur.nrw.de, Stand 2012

3. Sensornetzwerke (area 3)
Die Fahrzeugindustrie stellt Karossorien von Autos, Flugzeugen und Bahnen immer häufiger aus Verbundwerkstoffen her. Aus Kohle- und Glasfasern, Kunst- und Naturharzen gefertigt, sind sie genauso belastbar wie Stahl – aber deutlich leichter. Das macht auch die Fahrzeuge viel leichter, und so verbrauchen sie weniger Kraftstoff. Verbundwerkstoffe

1. Mikro- und Nanotechnologien (area 1)
Für die Energieeffizienz integrierter Schaltkreise sind der Aufbau und die Materialauswahl der Transistoren und Leitbahnen - das Desgin der Bauelemente - von entscheidender

24,6 %

16,1 %

13,8 %

12,9 %

9,7 % 8,5 %

14,4 %

Mikro- und nanotechnologien

Hast du dich schon mal gefragt, warum Computer und Smartphones so schnell immer besser werden?
In Sachen Innovationstempo sind Handys und Computer echte Formel-1-Wagen: Kein anderes Produkt entwickelt sich so rasant wie sie, erfährt so schnell so viele technische Verbesserungen, während sein Preis so schnell fällt. Warum ist das so? Weil kein anderes technisches Produkt mit vergleichbarem Preis von so vielen Menschen begehrt wird, und weil die Handy- und Computer-Industrie eben deshalb sehr viel Geld damit verdient. In 2013 – so schätzen Branchenbeob­ achter – werden die Smartphone-Hersteller weltweit knapp eine Milliarde Geräte absetzen, was einem Umsatz von 100 Milli­ arden Dollar entspricht! Aus diesem gewaltigen Dollar-Kuchen möchten sich alle Hersteller natürlich ein großes Stück herausschneiden. Ein knallharter technologischer Wettbewerb ist die Folge: Wer die besten Geräte günstig anbieten kann, verkauft am meisten und verdient maximal! Und genau deshalb entwickeln sich Handys und Computer so schnell. Aber wie erreichen Computer- und Handy-Hersteller ein so hohes Entwicklungstempo? Die Antwort findest du in deinem Smartphone: Handys und PC verdanken ihre Leistung den weltmarkt für smart handheld devices (2008 – 2013) Quelle: IDC’s Worldwide Black Book Query Tool, 2010 wachstum (in %)
25 20 15 10 5 0

kühle rechner

60 cool silicon

Chips auf ihrer Hauptplatine. Sie bilden die »Gehirne« der Geräte. Wer die Leistung eines Smartphones (oder PC) steigern will, muss ihnen ein möglichst starkes Gehirn verpassen – das heißt, er braucht Chips, die sehr komplexe Operationen möglichst schnell ausführen. Die Chipleistung aber steht und fällt mit der Zahl der Transistoren. Je mehr Transistoren ein Chip hat, umso stärker ist er – die Transistoren bilden quasi die Gehirnzellen des Schaltkreises. Und weil das so ist (weil zwischen Chipleistung und Transistorzahl ein so enger Zusammenhang besteht), bevorzugen Smartphone- und Computer-Hersteller Chiplieferanten, die ihnen zu einem guten Preis die Chips mit der besten Transistor-Ausstattung anbieten. Und weil auch die Chiphersteller möglichst viel vom Dollar-Kuchen abhaben wollen, liefern auch sie sich einen ­ knallharten Wettbewerb. Gewinner ist in ihrem Fall, wer die Zahl seiner Transistoren am schnellsten zu steigern vermag. Doch wie lässt sich die Zahl der Transistoren steigern – ohne dass die Chipfläche und die Fertigungskosten ausufern? Na klar: Indem die Transistoren immer kleiner werden! Der Wettbewerb der Chiphersteller um Gewinne und Markterfolg äußert sich daher im technologischen Wettlauf um Miniaturisierung – um noch winzigere Transistoren und Leitbahnen. Dieser Wettlauf hat bewirkt, dass Transistoren heute über 1.000mal kleiner sind als vor 40 Jahren, und dass sich die Zahl der Transistoren (und mit ihr die Chipleistung) aller 20 Monate verdoppelt. Gordon Moore, Mitgründer des ChipRiesen Intel, sah diese Entwicklung schon 1965 voraus – und sie hält bis heute an. Kurzum: Es war vor allem die stete Miniaturisierung der Transistoren und Leitbahnen, die all die großen Fortschritte der Computer- und Mobilfunktechnik bewirkt hat, die wir heute bestaunen. Gewinner sind dabei auch die Verbraucher. Das hohe Innovationstempo hat nämlich zur Freude vieler Käufer auch einen rasanten Preisverfall zur Folge: Neue Geräte, die heute noch das Nonplusultra sind, gibt es in einem Jahr oft schon zum halben Preis.
Anbieter digitaler Dienste nutzen riesige Rechen­ zentren. Das Google-Rechenzentrum in Council Bluffs (Iowa, USA) ist über 10.000 Quadratmeter groß. Es ist das Rückgrat von Diensten wie der Google-Suche und YouTube. Solche Serverräume ­ ­rfordern viel Platz und eine effiziente Energie­ e nutzung. 2011 hat Google 2,67 Milliarden Kilowatt­ stunden Elektroenergie verbraucht. In Deutschland entspräche das dem Stromverbrauch von ca. 430.000 bis 530.000 ­ Vier-Personen-Haushalten. ­ oogle kompensiert seinen CO2-Ausstoß mit Maß­ G nahmen wie dem Kauf von »grünem Strom« und massiven Investitionen in Projekte der erneuerbaren Energien (mehr Infos unter: www.google.de/green). (Quellen: Google, Energieagentur NRW)

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Anzahl der Transistoren

ausgaben (in mrd. US$)
90,8 78,7 65,6 51 52,4

103,8

Der Preis der Miniaturisierung
Steigende Energie- und Umweltkosten trüben jedoch die Erfolgsgeschichte: Mit der Leistung wächst nämlich der Stromverbrauch vieler Chips und Geräte. Warum? Die Miniaturisierung hat zwei gegenläufige Folgen: Einerseits sinkt der Stromverbrauch je Transistor, andererseits wächst der Stromverlust, der aufgrund des elektrischen Widerstands des Leitbahnmetalls entsteht. Denn: Mit der fortschreitenden Miniaturisierung schrumpft der Querschnitt der Leitbahnen, damit wächst im gleichen Verhältnis ihr Widerstand. Physikalisch betrachtet, geschieht Folgendes:

Wenn sich Elektronen durch Leitbahnen bewegen, prallt ein Teil von ihnen auf die Atome des Leitbahnmetalls. Das Metall bremst also die Elektronen aus – es entsteht Stromverlust (Fachbegriff: Verlustleistung). Dieser Verlust wächst mit der Miniaturisierung der Leitbahnen, weil damit auch die Häufigkeit von Elektronen-Kollisionen zunimmt. Was ist die Folge? Prallt ein Elektron auf ein Atom, so verwandelt sich seine Bewegungsenergie in Wärme. Chips produzieren deshalb umso mehr Wärme, je komplexer ihr Leitbahnsystem ist und je dünner die Leitbahnen werden. Die Wärme wiederum muss abgeführt werden. Der Chip würde sonst bersten oder verglühen. Die Hersteller müssen die Chips deshalb immer aufwändiger kühlen. Die Kühlsysteme (meist Lüfter) aber verbrauchen Strom. Übertrifft nun der Strom-Mehreinsatz für die Kühlung den Stromgewinn auf Transistorebene, so steigt der Stromverbrauch des Chips an. Vor allem bei leistungsstarken PC- und Grafik-Prozessoren ist das häufig so. Leistungsstarke Workstations und Netzwerk-Rechner (Server) sind deshalb bislang mit fast jeder neuen Chip-Generation stromhungriger geworden, und heute übertreffen ihre Stromkosten oft schon nach zwei Jahren den Kaufpreis. Trotzdem bewerten die Chiphersteller die Geschichte der Miniaturisierung auch unter dem Aspekt des Stromverbrauchs als Erfolg. Zu Recht. Denn: Chips mit so vielen T ­ ransistoren und so großer Leistung wie heute wären gar nicht realisierbar, hätte es die Miniaturisierung nicht ­ gegeben. Bei gleicher

Transistorgröße wie vor 20 oder 30 Jahren wäre der Stromverbrauch heutiger Chips so groß, wären ihre Verlustleistung und Hitzeproduktion so enorm, dass sie sofort verdampfen würden! →

Das Mooresche Gesetz
besagt, dass sich die Transistorzahl je cm2 Chipfläche etwa alle 20 Monate verdoppelt. (Quelle: http://de.wikipedia.org/wiki/Mooresches_Gesetz)
Six Core Core i7

2,6 Milliarden 1 Milliarde 100 Millionen 10 Millionen 1 Million 100 Tausend 10 Tausend 2,3 Tausend
4004 80286 Pentium 68000 8086 80386 80186 Pentium 4 AMD K6-III / K7

AMD K10 AMD K8

Core 2 Duo

80486

Pentium II / III

2008

2009

2010

2011

2012

2013

1971 1980 1990 2000 2011 Intel- und AMD-Prozessoren: Einführungsjahr

Sensornetzwerke

Smart Materials – Kunststoffe mit Köpfchen
Ingenieure und Wissenschaftler des Cool-Silicon-Netzwerkes setzen sich intensiv mit einer neuen, vielversprechenden Materialgruppe auseinander – den Verbundwerkstoffen – und entwickeln wegweisende Lösungen dafür, indem sie die besagten Werkstoffe mit elektronischer Intelligenz ausstatten.

wozu verbundwerkstoffe ?
Überall auf der Welt arbeitet die Fahrzeugindustrie mit Hochdruck an Autos, Flugzeugen und Bahnen, die weniger Treibstoff benötigen. Verbundwerkstoffe bilden neben neuen Antriebskonzepten den Schlüssel für mehr Sparsamkeit auf der S ­ traße, in der Luft und auf der Schiene, denn sie sind deutlich leichter als Stahl, aber genauso belastbar! Die Hersteller können damit leichtere Karosserien bauen – und wenn Autos, Flugzeuge und Bahnen weniger wiegen, dann verbrauchen sie weniger Kraftstoff! Abbildung rechts: Kohlefasergewebe verleihen den kohlefaserverstärkten Kunststoffen (CFK) besondere Festigkeit, was diese Materialgruppe vor allem für den Fahrzeugbau interessant macht.

82 cool silicon

Mit 250 ­Stundenkilometern (km/h) Spitzengeschwindigkeit und über 350 Pferdestärken (PS) ist der BMW i8 Concept ein echtes Kraftpaket – doch er wäre nur ein Sportwagen unter vielen, hätte er nicht diesen sensationell niedrigen Benzinverbrauch: Drei L ­ iter Kraftstoff genügen dem Straßenflitzer je 100 Kilometer Fahrstrecke, um seine Qualitäten zu entfalten  – so sparsam waren bisher nicht einmal Kleinwagen! Um so viel Leistung mit so wenig Kraftstoff zu realisieren, hat der bayerische Autobauer alles aufgeboten, was moderne Automobiltechnik hergibt. Neben einem Plug-In­ Hybridantrieb (einer Kombination aus Benzin- und ElektroMotor) hat er dem BMW i8 Concept u.a. eine Leichtbau-Karosserie aus kohlefaserverstärktem Kunststoff verpasst! Und damit sind wir beim eigentlichen Thema: bei den Verbundwerkstoffen (zu denen auch die kohlefaserverstärkten Kunst­ stoffe ­ zählen) und bei einem Forschungsprojekt, das dieser neuen M ­ aterialgruppe den Weg ebnen soll.

­hnen besondere Eigenschaften. Zu den Verbundwerkstofi fen gehören z.  B. faserverstärkte Kunststoffe – sie bestehen aus Kunstharz und einem Gewebekern, der sie besonders widerstandsfähig gegen Zugkräfte macht. Besteht der Gewebekern – wie beim BMW i8 Concept – aus Kohlefasern, spricht man von kohlefaserverstärktem Kunststoff, besteht er aus Glasfasern, spricht man von glasfaserverstärktem Kunststoff. Verbundwerkstoffe bilden – neben neuen Antriebskonzepten – den Schlüssel für mehr Sparsamkeit auf der ­ Straße, in der Luft und auf der Schiene, denn sie sind deutlich leichter als Stahl – aber genauso belastbar! Die Hersteller von Autos, Flugzeugen und Bahnen können damit leichtere Karosserien bauen – und wenn ihre Fahrzeuge weniger wiegen, verbrauchen sie auch weniger Kraftstoff!

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Der Schwachpunkt
Havarien von Windkraftanlagen, bei denen Rotorblätter bei Sturm und Gewitter plötzlich brachen, zeigen jedoch, dass der Siegeszug der Verbundwerkstoffe kein glatter Durchmarsch ist. »Wir haben viel Erfahrung mit Metallen und können z.  B. exakt vorhersagen, wann Stahl bricht«, sagt der Materialforscher Dr. Dieter Hentschel vom Dresdner Fraunhofer-Institut für Zerstörungsfreie Prüfverfahren (IZFP). »Verbundwerkstoffe dagegen sind noch ein ganz junges Gebiet. Wir beginnen gerade erst, Erfahrungen damit zu sammeln, und wissen deshalb in vielen Fällen nicht so genau, wann diese Materialien ihre Belastungsgrenze erreichen.« →
Gleichzeitig müssen die Rotorblätter relativ schmal sein – werden sie nämlich zu breit, wird die Windlast zu groß – und dann können die Blätter brechen. Schließlich müssen die Rotorblätter möglichst leicht sein, damit auch schwacher Wind sie schon in Bewegung setzen kann. Mit glas-und kohle­ faserverstärktem Kunststoff lassen sich all diese Eigenschaften hervorragend realisieren – Holz dagegen erlaubt nicht so lange Rotorblätter, während Metalle als Konstruktionsmaterial zu schwer und / oder zu teuer sind. 1

Wozu Verbundwerkstoffe?
Kunst- oder Naturharze geben den Verbundwerkstoffen ihre Form und Festigkeit, spezielle Beimischungen ­ verleihen Anwendungsfall Windräder

Produzenten von Windkraftanlagen waren – und sind – Pioniere beim Einsatz der neuen Materialien: Seit Anfang der 70er Jahre besitzen faktisch alle Windkraftanlagen Rotorblätter aus einem Verbundwerkstoff, der aus glas- und kohlefaserverstärktem Kunststoff besteht (Grafik). Und das hat folgende Gründe: Die Rotorblätter müssen möglichst lang sein, denn mehr Länge bedeutet eine g ­ rößere Flügelfläche – und damit eine bessere Ausnutzung des Windes als A ­ ntriebskraft.

des Verbundwerkstoffes, aus dem die Windräder von Windkraftanlagen bestehen 1 Polyuretan 3 Epoxidharz 4 Kohlefaser

Schichtaufbau

2 3 4 1

2 Glasfaser

Kommunikationssysteme

Wenn immer mehr Menschen mobil telefonieren, simsen, surfen, posten ...
Als Anja mit ihrer Freundin Conny telefoniert, fährt sie mit der Straßenbahn durch Dresden, während Conny durch Leipzig schlendert. »Anja hier!« meldet sich die 14jährige. Am Wochenende will sie ihre Freundin in Leipzig besuchen, und so machen die beiden jetzt schon Pläne. Als Conny ihr Telefonat beendet, denkt sie: ›Cool: Ich kann mit Anja re­ den, als säße sie direkt neben mir.‹

So funktioniert Mobilfunk
Energieverluste schwächen jedoch jede Schallwelle, kaum ist sie entstanden, schon wieder ab. Deshalb verlieren akustische Wellen an Lautstärke, je weiter sie sich von ihrer Quelle entfernen. Die Mobilfunktechnik schafft ­ diesen engen Ausbreitungsradius der akustischen Wellen ­ nicht ab  – sie kann die natürliche Reichweite der Geräu­ sche und Töne nicht vergrößern. Aber: Sie kann eine akustische ­ ­ Welle an verschiedenen Orten reproduzieren! Spricht Anja in Dresden in ihr Handy, so sorgt moderne Mobilfunktechnik dafür, dass Connys Handy in Leipzig eine zweite akustische Welle erzeugt, die genauso klingt wie Anjas Stimme – eine Kopie der Originalwelle. Und in diesem Kapitel erfährst du, wie das geschieht. Der Trick ist einfach: Für den Klang eines Tones sind die Frequenz und die Amplitude der akustischen Welle verant­ wortlich. Je höher die Frequenz der Welle ist (das ist die Zahl ihrer Schwingungen pro Sekunde, gemessen in Hertz), umso höher klingt der Ton (auch Anjas Stimme also), wäh­ rend die Amplitude (das ist die Höhe der Schwingung) die Lautstärke bestimmt: je größer die Amplitude, umso lauter ein Ton. Wer also in Leipzig eine akustische Welle erzeugen will, die genauso klingen soll wie Anjas Stimme in Dresden, muss dieser Welle die gleiche Frequenz und Amplitude wie dem Original in Dresden verpassen. Handys und digitale

Mobilfunknetze sind die Lösung dieser Herausforderung. Du kannst dir die gesamte Mobilfunktechnik, die sich zwi­ schen Anja in Dresden und Conny in Leipzig befindet, wie eine Kette von Dominosteinen vorstellen, die nur dazu dient, Anjas Stimme in Leipzig mit der richtigen Frequenz und Amplitude zu reproduzieren – und zwar kabellos und selbst dann, wenn Anja und Conny unterwegs sind. Und diese Kette ist gar nicht so kompliziert. Verfolgst du Anjas Stimme auf ihrem Weg nach Leipzig und siehst dir die wichtigsten Stationen etwas näher an, wirst du leicht verstehen, wie diese Kette funktioniert! Begleiten wir also Anjas Stimme auf ihrer Reise nach Leipzig – wir starten in Dresden.

auch die Spule ihre Schwingungsrichtung ändert. Ein digitaler Signalprozessor (DSP) – das ist ein spezieller ­ Mikrochip – misst nun 16.000 Mal pro Sekunde die Stärke ­ und Richtung dieses Induktionsstroms, übersetzt die Messwerte in Binärzahlen (ein Vorgang, der »Digitali­ sierung« heißt) und schreibt die Binärzahlen (sprich: die Stromstärke-Messwerte) in seinen Speicher. Könntest du die Stromimpulse selbst messen, die Anja mit ihrer Stimme in der Drahtspule auslöst, so würdest du feststellen, dass sie exakt der Frequenz und Amplitude ihrer Stimme entsprechen. Je lauter Anja spricht, um so ­ größer wird die Amplitude des Schalls ihrer Stimme, und umso stärker fließt im gleichen Verhältnis der Strom, den die Schallwelle in der Drahtspule auslöst. Spricht Anja mit höherer Stimme, wächst die Frequenz der Schallwelle – und damit wächst im gleichen Verhältnis das Tempo, mit dem der Induktionsstrom in der Spule seine Richtung wechselt. Kurzum: Die Stromstärke-Messwerte geben exakt über Anjas Stimme Auskunft! ­ Bei der Digitalisierung geht diese Information auf die Binärzahlen über. Das funktioniert so: Der Digitalisierung ­ liegt eine Skala zugrunde, die das Stromstärkespektrum in der Drahtspule des Handymikrofons beschreibt – vom Minimum bis zum theoretischen Maximum (sagen wir: von ­ -1 bis +1 Milliampere). Diese Stromstärkeskala unterglie­ dert sich in 256 achtstellige Binärzahlen (sprich in Binär­

88 cool silicon

Anja glaubt nicht an Wunder, aber die Leistung moderner Mobilfunktechnik erstaunt sie, ist doch die Reichweite der menschlichen Stimme begrenzt. Liegen nur 1.000 Meter zwischen zwei Menschen, so können sie sich ohne Technik schon nicht mehr verständigen, was daran liegt, dass sich unsere Stimme als Schallwelle ausbreitet. Schallwellen entstehen, weil Teilchen in Schwingung geraten und weil sich die Schwingungen auf benachbarte Teilchen über­ tragen. Im Fall unserer Stimme versetzen wir mit unseren Stimmbändern die Teilchen unserer Atemluft in ­Schwingung. Vor unserem Mund übertragen sich die Schwingungen der Atemluftteilchen auf benachbarte Luftteilchen, von dort auf die nächsten Luftteilchen usw. ­ So bewegt sich die akustische Welle in den Raum hinaus, erreicht das Ohr unseres Gesprächspartners, versetzt ­ dort das Trommelfell in Schwingung, und so hört unser ­Gesprächspartner, was wir sagen.

89

Die wundersame Reise der Stimme
Station Nummer eins ist natürlich Anja mit ihrem Handy. Wenn Anja spricht, verlässt ihre Stimme als Schallwelle ihren Mund, trifft auf das Mikrofon ihres Handys und ­ bringt dort mit ihrem Schalldruck eine Membran zum Schwingen. Die Schwingungen der Membran übertragen sich auf eine kleine Drahtspule, die einen Dauermagneten umschließt, und bringen auch sie zum Schwingen. Dem physikalischen Gesetz der elektromagnetischen Induktion folgend, löst das Magnetfeld des Dauermagneten in den Windungen der Drahtspule einen winzigen elektrischen Strom aus, sobald die Spule schwingt, und dieser winzige Induktionsstrom wechselt jedes Mal die Richtung, wenn

so funktioniert mobilfunk

Übertragung des Funksignals vom Mobiltelefon zur nächstgelegenen Basis­ station via Antenne
basisstation

Conny empfängt über ihr Mobiltelefon Anjas Stimme
1
basisstation

2
basisstation

3

Dresden

Leipzig

4

Anja spricht in ihr Mobiltelefon

andere mobiltelefone

membran membran kabelnetz internet / festnetz schallwelle spule, magnet schallwelle

spule, magnet

Umwandlung von Schall (akustische Welle) in elektrischen Strom

Umwandlung von elektrischem Strom in Schall

ausbildung & beruf
übersicht möglicher berufe Einstiegsgehälter (Jahresgehalt) Universitätsabsolventen: ab 50.000 Euro Fachhochschulabsolventen: 40.000 – 50.000 Euro Ausbildungsabsolventen: 20.000 – 24.000 Euro (jeweils abhängig vom Berufsbild und der Größe des Unternehmens) Auswahl von Studiengängen, deren Absolventen in der Halbleiterindustrie gebraucht werden: • Elektro- und Informationstechnik • Mechatronik und Mikrotechnik • Informatik • Maschinenbau, Schwerpunkt Konstruktion • Nachrichtentechnik • Verfahrens- und Chemietechnik • Automatisierungs- und Produktionstechnik • Wirtschaftsingenieurwesen, Schwerpunkt Logistik Auswahl von Ausbildungsberufen, deren Absolventen in der Halbleiterindustrie gebraucht werden: • Elektroniker/-in (z. B. Automatisierungsoder Informationstechnik) • Fachinformatiker/-in (z. B. für Anwendungsentwicklung) • Industrietechnologe/-technologin (z. B. Automatisierungs- / Nachrichtentechnik) • IT-System-Elektroniker/-in • Industriemechaniker/-in • Informationselektroniker/-in Duales Studium (Studium mit integrierter Berufsausbildung an einer Berufsakademie): • Ingenieur für Mechatronik • Ingenieur für technische Informatik • Ingenieur für Fahrzeugelektronik

ausbildung & beruf

94 cool silicon

Gefragte Berufe
Einen Beruf in der Mikroelektronik zu ergreifen, bedeutet, sich täglich mit hochkom­ plexen Sytemen zu beschäftigen … Wir sprachen mit Dirk Gnewekow über die Job-­ Situation in der sächsischen Mikroelektronik und baten ihn um Tipps für Jugendliche.
Herr Gnewekow, Sie beschäftigen sich seit Jahren intensiv mit den Jobs der sächsichen Mikroelektronik. Wo stecken denn hier die großen Chancen – welche Berufe werden künftig dringend gebraucht? Dirk Gnewekow  Gefragt sind alle Ausbildungswege, die sich mit Mechanik, Elektrik und Elektronik befassen. Also Berufe, wie der Mechatroniker, der Mikrotechnologe, Industriemechaniker oder IT-Systemelektroniker, die es in den verschiedensten Varianten gibt. Dazu kommen kaufmännische Ausbildungen mit dem Schwerpunkt IT, wie der IT-SystemKaufmann oder die Informatik-Kauffrau, die sich mit Softwarelösungen und Kommunikationssystemen beschäftigen. Und natürlich alle ingenieursnahen Studiengänge, die sich mit diesen Themen wissenschaftlich auseinandersetzen. Wo können sich denn Technikbegeisterte hier in der Region ausbilden lassen? Die interessanten Adressen für potenzielle Studenten sind die Technischen Universitäten und Hochschulen in Dresden, Chemnitz und Freiberg, die Fachhochschulen in Mittweida und Senftenberg sowie die HTW Dresden. Wer einen betrieblichen Ausbildungsplatz sucht, kann sich z.B. bei den ­ Unternehmen der Halbleiterbranche in Dresden, Chemnitz und Freiberg, den Autozulieferern und Logistikfirmen rund um Zwickau, Leipzig und Chemnitz oder bei Bombardier und Siemens in Bautzen und Görlitz bewerben. Neben diesen großen Ausbildern suchen auch viele kleine Firmen nach ­fähigem Fachkräftenachwuchs. Sie sprechen regelmäßig mit Personalchefs großer Firmen. Was erwarten die von ihren künftigen Mit­ arbeitern – über reines Fachwissen hinaus? Gefragt sind vor allem Eigeninitiative und Lernwilligkeit. Die Chefs wollen spüren, dass man Lust auf den Job hat und Interesse dafür mitbringt, täglich etwas Neues zu l ­ernen. ­ iele dieser Jobs verlangen außerdem Teamarbeit. Man V sollte also in der Lage sein, mit wechselnden Kollegen zu kooperieren, um gemeinsam komplexe Frage­ stellungen zu bearbeiten. Das geschieht vor allem über Kommuni­ kation und ist die Grundlage für eine positive Arbeitsatmosphäre. Zu den Basics sollten außerdem gute Englischkenntnisse und Sicherheit im Umgang mit einem PC gehören. Wie gelingt Schülern und ­ Studenten der optimale Berufseinstieg? Kleine Unternehmen bieten oft große Chancen. Wer hier als Praktikant, Werksstudent oder Diplomand gute Arbeit leistet, hat beste Aussichten auf einen direkten Berufseinstieg nach Ausbildung oder Studium. Doch diese Angebote hängen nur selten an den Hochschulen und Berufsschulen aus, weil viele Arbeitgeber gar nicht wissen, wo überall potenzieller Nachwuchs ausgebildet wird. Hier lohnt es sich für Schüler und Studenten, selbst aktiv zu werden und direkt bei den Unternehmen nachzufragen. Welche Tipps möchten Sie dem ­Nachwuchs noch mit auf den Weg geben? Ich empfehle immer, die Ausbildung oder das Studium möglichst schnell abzuschließen und dabei möglichst viel Praxis­ erfahrung zu sammeln – durch Praktika, Schnuppertage, Ferien- oder Nebenjobs. Bewerber, die schon Praxiserfahrung haben, finden nach der Ausbildug oft nahtlos in den Job. Wichtig ist auch, Kontakte in der Branche zu knüpfen und sich in Netzwerken zu engagieren. Hier fließen die Informationen oft schneller als anderswo. Wer den Fokus auf die Karriere legt, sollte zudem auch ein Semester oder Praktikum im Ausland absolviert haben. Und ich möchte die Berufsanwärter ermuntern, ihre Stärken zu finden und sich darauf zu konzentrieren. Tiefes Fachwissen zählt mehr als breites Allgemeinwissen.

Unternehmensberater bei Mercuri ­Urval, Leiter des Arbeitskreises Personal­ entwicklung beim Silicon Saxony e. V. • Studium der Sozialarbeit und Soziologie •T  ätigkeiten als Projekt- und Bereichsleiter in der Marktforschung sowie als Senior Re­cruit­ment Manager eines internationalen ­Halb­leiterkonzerns • Unternehmensberater bei Mercuri Urval •D  irector, Manager Products & Services • Beratungsschwerpunkte: u.a. Suche / Auswahl von Fach- und Führungskräften, Potenzial­ analysen, interne Personalentwicklung

Dirk Gnewekow

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Elbe

leipzig

Dresden

Freiberg

chemnitz Ausbildung Forschung

ausbildung und forschung in sachsen Dresden Ausbildung Technische Universität Dresden dresden chip academy (dca) Forschung »Nanoelektronische Technologien« am Fraunhofer-Institut IPMS, Dresden Nanoelectronic Materials Laboratory gGmbH (NaMLab), Dresden Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e. V. (HZDR) Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (FEP), Dresden Zentrum für mikrotechnische Produktion (ZμP), Dresden Vodafone Stiftungslehrstuhl für Mobile Nachrichtensysteme, Dresden Fraunhofer IZM – All Silicon System Integration Dresden (ASSID) Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS), Dresden Institut für Angewandte Photophysik (IAPP), TU Dresden Fraunhofer-Einrichtung für Organik, Materialien und ­ Elektronische ­Bauelemente (COMEDD), Dresden Leipzig Ausbildung Hochschule für Telekommunikation Leipzig (HfTL) Chemnitz Ausbildung Technische Universität Chemnitz Forschung Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM), TU Chemnitz Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme (ENAS), Chemnitz Institut für Print- und Medientechnik der Technischen Universität Chemnitz (pmTUC) Freiberg Ausbildung Technische Universität Bergakademie Freiberg Forschung Helmholtz-Institut Freiberg für Ressourcentechnologie Fraunhofer-Technologiezentrum Halbleitermaterialien (THM), Freiberg

impressum Copyright der deutschsprachigen Ausgabe © 2013 by 3D Infotainment Technologies UG (haftungsbeschränkt) Dieses Buch wurde gestaltet und produziert von 3D Infotainment Technologies UG (haftungsbeschränkt), Bayreuther Str. 32, D-01187 Dresden, Telefon: 0049 351 470 84 26, www.3dit.de Titel der deutschsprachigen Ausgabe »NanoScout. Spannende Welt der Mikroelektronik« Auftraggeber Technischen Universität Dresden, www.tu-dresden.de produziert im Rahmen des Bildungsprojektes des Cool Silicon e.  V., www.cool-silicon.de/projekte/ Gefördert vom Bundesministerium für Bildung und Forschung, www.bmbf.de Konzeption, Redaktion und Autor: Ingolf Seifert Fachcoach Mikroelektronik: Dr. Henry Wojcik Texte: Guntrade Roll, Henry Wojcik (S. 66, 67), Berit Tolke ­ (S. 93-95), Ingolf Seifert (übrige Seiten) Grafiken: Ingolf Seifert, Arne Rein, Lorenz Wieseke, Stefan Schmutz, Frank Zimmer Grafikdesign und Layout: Arne Rein Das Werk einschließlich aller seiner Teile ist urheberrechtlich geschützt. Jede Verwertung außerhalb des Urhebergesetzes ist ohne Zustimmung des Verlages unzulässig und strafbar. Das gilt insbesondere für Vervielfältigungen, Übersetzungen, Mikroverfilmungen und die Einspeicherung und Verarbeitung in elektronischen Systemen. Es ist deshalb nicht gestattet, Abbildungen dieses Buches zu scannen, in PCs oder auf CDs zu speichern oder in Computern zu verändern oder einzeln oder zusammen mit anderen Bildvorlagen zu manipulieren, es sei denn mit schriftlicher Genehmigung des Verlages. Bei der Anwendung in Beratungsgesprächen, im Unterricht und in Kursen ist auf dieses Buch hinzuweisen. Jede gewerbliche Nutzung der Arbeiten und Entwürfe ist nur mit Genehmigung von Verfasser und Verlag gestattet. Wichtiger Hinweis  Die Verfasser und der Verlag haben die im Buch veröffentlichten Inhalte mit größter Sorgfalt erarbeitet und geprüft. Eine Garantie kann dennoch nicht übernommen werden. Ebenso ist eine Haftung der Verfasser und des Verlages und ihrer Beauftragten für Personen-, Sach- oder Vermögensschäden ausgeschlossen. Printed in Germany ISBN 978-3-00-041950-8 Bitte besuchen Sie uns auch im Internet unter der Adresse: www.3dit.de Das Mikrochip-ABC Für eine menschliche Welt und einen grünen Planeten Alles über integrierte Schaltkreise: Einsatz, Herstellung, Berufs­ chancen, Handbuch, Homepage, Unterrichtsleitfaden und Lernsoftware für Schüler, Lehrer und Studenten → erscheint 2014, www.mikrochip-abc.de Abbildungsverzeichnis Organisation / Firma / Vorname Name (Archiv) [Seitenzahl] Kapitel 1 – Einführung: Die Welt braucht dich Thomas Mikolajick / Cool Silicon e.  V. [3], Iakov Kalinin, Sasha Radosavljevic (@ istockphoto) [6], Alexey Khrulev (@wikipedia. de), Infineon Dresden, Globalfoundries [4/5], Iakov Kalinin, Sasha Radosavljevic (@ istockphoto) [6], Armin Kübelbeck (@wikipedia. de) [8/9], Corbis [10], SIO Scripps Institution of Oceanography (UC San Diego) [11], NGDC (GLCF/USGS/DLR) [12], SIO [12], AWI Alfred-Wegener-Institut [14], Falk Blümel (@pixelio.de) [15], 3Dit [16/17], AWI Sepp Kipfstuhl, Hannes Grobe [18/19] Kapitel 2 – Basics: Ein wenig Grundlagenwissen Alexey Khrulev (@wikipedia.de) [20], Regina Hartfiel (privat) [22], Siemens-Pressebild (#SOICSG201201-01) [24], BMVBS [26], Jacobo Cortés Ferreira (@cgtextures.com) [30] Kapitel 3 – Fertigung: So entsteht ein Mikrochip Infineon Dresden [40], Infineon Dresden [42], Hagen Rötz [43], Purdue University [43], Birgit Tippelt (@Infineon Dresden) [43], Infineon Dresden [44], Namlab [66], Katharina Knaut [67] Kapitel 4 – Cool Silicon: Klimaschutz auf Ingenieursart GLOBALFOUNDRIES [72, 79], Fraunhofer IPMS, SAW, Infineon [74], silicon saxony [75], Areasur (@istockphoto) [75], Google [77], Intel [77], BMW GROUP [83], IZFP [84], uniball (@istockphoto) [87], Katharina Knaut [93] [94], Dirk Gnewekow [95], Sebastian Bernhard (@pixelio.de) [95] Umschlag José Manuel Ferrão (@istockphoto) [U2], Agricultural Research Service [U3] alle weiteren Fotos, Abbildungen und 3D-Darstellungen © 3Dit, 2013

Die Welt steht vor einer epochalen Umwälzung. Die globale Erwärmung zwingt die Menschheit, das System ihrer Energieerzeugung bis zum Jahr 2050 vollständig auf Sonne, Wind und Erd­ wärme umzustellen – eine technische Revolution kündigt sich an, die in ihrer Tragweite wohl alles Dagewe­ sene übertrifft. Die Ingenieure der elektronischen Industrie werden in vorderster Reihe an dieser Revolution mitwirken – denn eine Gesellschaft, in der Wohlstand und Fortschritt nicht auf Umweltzerstörung und rück­ sichtsloser Ressourcenausbeutung beruhen, ist ohne Mikroelektronik nicht denkbar. Wir müssen viele der nützlichen Geräte, die wir schon heute im Alltag benutzen, in Zukunft sehr viel mehr mit Intelligenz versehen. Wir brauchen zum Beispiel Computer, die von selbst ihren Stromverbrauch drosseln, wenn sie nicht so viel zu tun haben, und Kühlschränke, die sich automatisch für ein bis zwei Stunden abschalten, wenn die Solar­ anlage auf dem Dach mal nicht genug Strom liefert. In diesem Buch erfährst du, wie solche Lösungen möglich sind. Wir erklären dir, wie Elektronik-Ingenieure technische Geräte und Systeme mit der Fähigkeit ausstatten, selbständig und zielgerichtet zu handeln, sich selbst zu überwachen und auf ihre Umwelt zu reagieren. Damit du verstehst, wie solche Lösungen funktio­ nieren, »impfen« wir dich im Kapitel »Bascis« ein wenig mit Grundlagenwissen. Du erfährst, was ein Halb­ leiter ist, wie ein Transistor funktioniert, und wie ein Mikrochip logische Operationen ausführt. Im Kapitel »Fertigung« reisen wir mit dir durch den Fertigungsprozess eines integrierten Schaltkreises. Und im Kapitel »Cool Silicon« erfährst du schließlich, wie sächsische Ingenieure zur globalen Energie-Wende beitragen.

Der NanoScout ist ein Gemeinschaftsprojekt der folgenden Partner: