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s p a n n e n d e w e lt d e r m i k r o e l e k t r o n i k

ingolf seifert h e n ry wo j c i k

Liebe Leserinnen und Leser,

eure Generation steht vor Herausforderungen, die in vielerlei Hinsicht bertreffen, was vorangegangene Generationen bewltigen mussten: Die Atmosphre erwrmt sich mit drastischen Folgen fr das Klima. Die fossilen Energietrger l und Gas gehen allmhlich zur Neige. Die Weltbevlkerung wchst weiter rasant, und in den armen Lndern gelingt es bisher nicht menschenwrdige Bedingungen fr alle sicherzustellen. In den reichen Lndern des Nordens stehen wir vor dem Problem einer im Durchschnitt immer lteren Bevlkerung, unsere Position im wirtschaftlichen Wettbewerb mit Asien verschlechtert sich bestndig, und wir laufen Gefahr, knftig schmerzliche Abstriche am Lebensstandard hinnehmen zu mssen. Gleichzeitig hatte keine Generation vor euch so groe Mglichkeiten, die Welt zu gestalten. Wissenschaft und Technik sind zu Beginn dieses Jahrhunderts auf einem Stand, der zu groer Hoffnung berechtigt. Wir verfgen schon heute ber Technologien, die es mglich machen, die globale Erwrmung zu stoppen und den Energiebedarf mit Hilfe erneuerbarer Energien zu decken, den Hunger auf der Welt zu besiegen und Bildung bis in die letzte Htte Afrikas zu tragen. Das heit, eure Eltern und Groeltern geben euch auch starke Werkzeuge an die Hand, um all die groen Herausforderungen des 21. Jahrhunderts zu meistern. Die Mikroelektronik und von ihr abgeleitete Technologien, wie die Mikrosystemtechnik, gehren zu diesen Werkzeugen. Mit ihrer Hilfe pflanzen wir technischen Gerten und Systemen Intelligenz ein. Es gibt fr die Leistungsfhigkeit der Mikroelektronik viele beeindruckende Beispiele. Einige werdet ihr in diesem Buch kennenlernen. Von mehr als 100 schsischen Firmen und Forschungsinstituten im Rahmen des Spitzenclusters Cool Silicon entwickelt und realisiert, belegen sie, wie moderne Mikroelektronik zum weltweiten Klimaschutz beitragen kann (siehe Kapitel Cool Silicon. Klimaschutz auf Ingenieursart ab Seite 73). Die Mikroelektronik ist eine Querschnittstechnologie das heit, sie ist auf allen Feldern der Wissenschaft, der Technik und der Gesellschaft prsent, beeinflusst sie und entwickelt sich mit ihnen weiter. Ob Mikrobiologen einen genetischen Code knacken, Chemiker neue Materialien designen oder engagierte Menschen sich mit Hilfe der Online-Medien auf neue Art organisieren sie alle bedienen sich technischer Gerte, die ihre Funktion und Leistungsfhigkeit der Mikroelektronik verdanken. Dieses Buch soll dich motivieren die Herausforderungen unserer Zeit anzunehmen und an den Lsungen fr die Zukunft mitzuarbeiten. Entscheidest du dich am Ende deines Schulweges fr einen Beruf in der Mikroelektronik, um als Ingenieur oder Facharbeiter an neuen Technologien mitzuarbeiten, die das Leben verbessern, ohne die Umwelt zu beschdigen, so wartet ein spannendes, sinnerflltes Leben auf dich. Wir zhlen auf Dich! Euer Thomas Mikolajick

nanoscout spannende welt der mikroelektronik

inhalt

einfhrung Wir brauchen dich Geleitwort 3 Globale ErwrmungDie Luft, die wir atmen 8 Die Keeling Story 11 Klimaforschung Elektronik im Dienste der Klimaforschung 14 Rolle der Elektronik Vorsto in die gefrorene Vergangenheit 18

Basics Ein wenig Grundlagenwissen PortrtDas Zucchini-Experiment Klimaschutz kostrom plus Elektronik Das intelligente Haus Die Zukunft des Wohnens Sensoren und elektronische Systeme Wenn leblose Technik lebendig wird HalbleiterSilizium & Co. Halbleiter Wandernde Lcher und freie Elektronen Waferfertigung Vom Sand zur Siliziumscheibe Elektronische Bauelemente So funktioniert ein Transistor Digitale LogikSo rechnen Computer 22 24 26 28 30 32 34 36 38

Fertigung So entsteht ein Mikrochip Nanokosmos Wie viel Meter sind 90 Nanometer? 42 Was ist ein Reinraum? Rein, reiner, am reinsten 44 Chipherstellung im berblick Chipburger: Schicht fr Schicht zum Mikrochip 46 Fotolithografie Nicht ohne Schablone 48 UV-Licht: Der Schlssel zum Nanokosmos 50 Ionen-Implantation Silizium unter Teilchenbeschuss 53 Diffusion 1.000 Celsius in 12 Sekunden! 56 Chemische Schichterzeugung Chemie in der Chipfertigung 58 tzenDas prziseste Messer der Welt 60 Leitbahn-Herstellung Die Zhmung des Kupfers 62 PortrtDr. Guntrade Roll Forschen fr die bernchste Chipgeneration 66 PortrtDr. Henry Wojcik Vom Versuch, der Natur in die Karten zu schauen 67 Physikalische Schichtabscheidung Atomares Sandstrahlen 68 Physikalische Schichtabscheidung Mehrere 1.000 Kontakte 70

Cool Silicon Klimaschutz auf Ingenieursart Portrt Cool Silicon e.  V. Khles Silizium 74 Mikro- und Nanotechnologien Khle Rechner 76 Sensornetzwerke Smart Materials Kunststoffe mit Kpfchen 80 Kommunikationssysteme So funktioniert Mobilfunk 88 Portrt Fabian Diehm Per du mit Funkwellen 93 Interview Dirk Gnewekow Gefragte Berufe 94 Impressum / Bild- und Textnachweis 96

inhalt
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legende

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Globale Erwrmung

der treibhauseffekt

Die Luft, die wir atmen


An dieser Stelle mchten wir dich auf behutsame Weise mit dem groen Thema Mikroelektronik bekannt machen. Die Geschichte, die wir dir zu Beginn dieses Buches erzhlen, handelt von der Luft, die wir atmen, und einem wissenschaftlichen Unternehmen, das eine Revolution ausgelst hat.
sonneneinstrahlung

8 einfhrung

1957 wagten sich Wissenschaftler des Scripps Institutes fr Ozeanografie aus La Jolla (Kalifornien) an die berprfung einer Vorhersage, die 50 Jahre zuvor der Schwede Svante Arrhenius aufgestellt hatte: Der Chemiker hatte die Rolle des Kohlendioxids (CO2) in der Atmosphre untersucht und war dabei zu erstaunlichen Erkenntnissen gelangt.

Schluss folgerung, dass die Menschheit die CO2-Menge in der Atmosphre allmhlich steigere. Und weil die Strke des Treibhauseffektes (ein Begriff, den der schwedische Chemiker noch nicht benutzte) mit der Menge des CO2 in der Atmosphre zunimmt, rechnete Arrhenius mit einer weltweiten Klimaerwrmung.

ein teil der wrme entweicht ins weltall treibhausgase absorbieren die wrmerckstrahlung und erwrmen die atmosphre wolken, gletscher, meere, wsten und bebauteober flchen reflektieren einen teil der sonneneinstrahlung

Wunderbares Spurengas
Obwohl CO2 in der Lufthlle nur in Spuren vorkommt, hat es enormen Einfluss auf die Atmosphre. Trifft das Licht der Sonne auf die Erde, so erwrmt es die Erdoberflche. Die wiederum gibt einen Teil der Wrmeenergie wieder ab. Jene Wrme-Rckstrahlung wrde nun eigentlich vollstndig wieder ins All entweichen, gbe es in unserer Atmo sphre nicht ein Spurengas, das die wunderbare Eigenschaft besitzt, Wrme zu binden: das CO2. Dies hat zur Folge, dass sich die Lufthlle der Erde erwrmt, und so herrscht auf unserem Planeten jene freundliche Durchschnittstemperatur, die das Leben ermglicht. Kurzum: Wir verdanken dem CO2, dass es Leben auf der Erde gibt. Svante Arrhenius hatte diese Wirkung des CO2 Anfang des 20. Jahrhunderts als erster beschrieben und mathematisch berechnet. Heute nennen Wissenschaftler sie den Treib hauseffekt. Das Wort besagt, dass sich unsere Atmosphre wegen ihres CO2-Gehaltes wie die Glashlle eines Gewchshauses verhlt: Sie lsst die Strahlen der Sonne ins Haus hinein, lsst die Wrme, die im Haus entsteht, aber nicht wieder hinaus. Arrhenius Studien zur Rolle des Kohlendioxids gipfelten in der Vorhersage, dass die Menschheit einer Zeit mit wrmerem Klima entgegengehe. Denn: Zu Beginn des 20. Jahrhunderts, als Arrhenius lebte, erzeugte die Menschheit die Energie, die sie bentigte, hauptschlich mit der Verbrennung von Kohle. Bei der Kohleverbrennung entsteht Kohlendioxid. ber Schornsteine gelangt das Treib hausgas in die Luft. Arrhenius zog daraus die
Seit 1906 hat sich die Atmosphre um 0,8 Grad Celsius erwrmt. Wir zeigen euch hier die gefhrlichsten Treibhausgase, ihren Anteil an der globalen Erwrmung, und wie der Mensch sie freisetzt:

Die gefhrlichsten treibhausgase

wrmerckstrahlung boden erwrmt sich

Kohlendioxid CO2
43 % Anteil CO2 entsteht bei der Verbrennung von Kohle, l und Gas hauptschlich in Kraftwerksturbinen und Verbrennungsmotoren (z.B. von Autos), bei der Brandrodung von Wldern und der Verbrennung landwirtschaftlicher Abflle.

Methan CH4
27 % Anteil Hauptverursacher ist die Massentierhaltung: Millionen Khe pupsen, was das Zeug hlt. Ihren Mgen entweicht Methan. Auch Reispflanzen und Mlldeponien setzen CH4 frei. Methan entsteht auch bei der Kohle-, l- und Gas-Verarbeitung.

Rupartikel
12 % Anteil Rupartikel entstehen berall, wo es brennt bei der Brandrodung von Wldern, bei Graslandbrnden, in Kchenherden und Kohlefen vor allem in den armen Lndern. Rund ein Drittel stammt aus Dieselmotoren ohne Partikelfilter.

Tetrafluorethan CH2FCF3 (Halone)


8 % Anteil Die Chemieindustrie produziert eine Reihe halogenierterKohlen wasserstoffe, darunter die so genannten FCKW, die fr das Ozonloch verantwortlich sind.

CO und VOCS
7 % Anteil Kohlenmonoxid (CO) stammt vor allem aus Automotoren. Flchtige organische Verbindungen (VOCS) aus der Industrie tragen zur Bildung von bodennahem Ozon bei einem starkenTreibhausgas.

Distickstoffoxid N2O (Lachgas)


4 % Anteil Bodenbakterien bauen Stickstoffdngerabdabei entsteht N2O. Die industrielleLandwirtschaft setzt massenhaft Stickstoffdngereinentsprechend gro sind die Lachgas-Emissionen.

Klimaforschung
Elektronik im Dienst der Klimaforschung
Die Klimaforschung hat in den vergangenen 50 Jahren gewaltige Fortschritte gemacht. Auch wenn noch viele Fragen offen sind, wissen die Wissenschaftler heute ziemlich genau, wie das Klima der Erde zustande kommt, wie das komplexe Zusammenspiel von Atmosphre, Erdoberflche, Pflanzenwelt (Biosphre) und Ozeanen (Hydrosphre) funktioniert, welchen Einfluss die Sonne, das Erdmagnetfeld und Vulkanausbrche haben und wie der Mensch das Klima verndert. Ohne moderne Mikroelektronik wren all diese Fortschritte nicht mglich gewesen. Denn das Wissen der Klimaforscher beruht auf Daten, die sie mit leistungsstarken elektronischen Messinstrumenten sammeln und mit den besten Supercomputern der Welt auswerten. Auf dieser Doppelseite stellen wir die elektronischen Helfer der Klimaforscher vor.
windstrke

windrichtung

mikrochip

drucksensor temperatur-/ feuchtesensor

14 einfhrung

Wettersatelliten erfassen mit ihren Sensoren die Lichtstrahlung der Erde im sichtbaren und InfrarotBereich. Das sichtbare Licht liefert Informationen ber Wolken und Wetterfronten, die Infrarotstrahlung zeigt die Temperatur- und Wasserdampfverteilung in der Atmosphre. So erhalten Meteorologen und Klimaforscher ein dreidimensionales Bild der globalen Wetterkche.

Zweimal tglich startet der Deutsche Wetterdienst (DWD) von neun Punkten in Deutschland und vier Handelsschiffen Wetterballone. Mit Gas gefllt, steigen sie bis in 35Kilometer Hhe auf. Dabei messen sie Druck, Temperatur und Feuchtigkeit der Luft und funken die Werte an die Erde. Aus den Daten ergibt sich ein dreidimensio nales Schnittbild der Atmosphre, das die Schichtung der Lufthlle zeigt. Die Drift des Ballons gibt ber Richtung und Strke des Windes Auskunft.

Diese kleine vollautomatische Wetterstation erfasst gleichzeitig die Windrichtung und Windgeschwindigkeit, die Lufttemperatur, den Luftdruck sowie die Luftfeuchtigkeit. Ein leistungsstarker Mikroprozessor bersetzt die physikalischen Messwerte, die das Gert mit seinen Sensoren erfasst, in digitale Daten, damit Computer sie lesen und auswerten knnen. Per Standleitung gelangen die Daten zur DWD-Zentrale in Offenbach, wo Supercomputer aus ihnen das aktuelle Wettergeschehen errechnen.

Mit 30 Blitzsensoren registriert die Firma NowCast Mobile im Auftrag des DWD jedes Gewitter. Gewitterblitze senden Funksignale aus. Die netzartig ber Deutschland verteilten Sensoren empfangen die Signale in einem Radius von 1.500 Kilometern. Weil die Funksignale der Blitze die Sensoren zu unterschiedlichen Zeitpunkten erreichen, knnen Computer aus der Zeitdifferenz errechnen, wo sich das Gewitter befindet.

Mit 16 Wetter-Radarstationen erfasst der DWD, wo und wie stark es in Deutschland regnet, hagelt oder schneit. Regentropfen und Hagelkrner reflektieren Radarwellen sehr gut. Die Radarstationen senden Radarwellen mit einer Wellenlnge von 5 bis 6 Zentimetern aus das ist klein genug, um Regentropfen und Hagelkrner zu erfassen. Computer errechnen aus dem Echo die Entfernung und Richtung von Niederschlagszellen.

Der DWD beobachtet das Wetter mit 175Wetterstationen. Elektronische Messgerte erfassen dort permanent u.a. die Luft- und Bodentemperatur, Luftdruck und Luftfeuchtigkeit, Windrichtung und strke, Menge und Dauer von Niederschlgen, die Wolkenuntergrenze und die Sichtweite.

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Die Wettersatelliten senden smtliche Daten an die nchsten Rechenzentrum. atmosphre

Mit Sensoren erfassen weltweit 7.000 Handelsschiffe sowie smtliche Flugzeuge meterologische Messdaten und funken sie an die nchsten Wettersatelliten. biosphre

Die Gletscher Grnlands und der Antarktis enthalten in Gestalt kleiner Luftblschen Reste der Atmosphre frherer Zeiten. Mit Eisbohrungen bringen sich die Klimafoscher in den Besitz solcher Luftreste aus der Vergangenheit. Im Labor bestimmen sie ihre Zusammensetzung, darunter den CO2-Gehalt, und knnen so rekonstruieren, wie sich das Klima in den vergangenen rund 900.000 Jahren entwickelt hat. Mehr dazu erfhrst du auf Seite 18.

hydrosphre

In ihren Instituten berechnen die Klimaforscher mit Supercomputern die verschiedensten Szenarien, wie sich das Klima der Erde in der Zukunft verndern knnte. Auf Basis globaler Wetterdaten der vergangenen Jahrzenhnte spielen die Computer das komplexe Zusammenspiel der vielen physikalischen und chemischen Faktoren durch, die das Klima bestimmen und je nachdem, wie die Forscher diese Faktoren modifizieren (welchen CO2-Gehalt sie z.B. in die Berechnung einflieen lassen), errechnen die Computer ein anderes Ergebnis sprich eine mehr oder weniger starke globale Erwrmung.

Abseits der groen Schifffahrtsrouten sammeln weltweit 750 Driftbojen auf Meeren und Ozeanen Seewetterdaten. So messen sie die Temperatur der Luft und des Wassers und funken die Werte an den nchsten Wettersatelliten. Die Positionsdaten der Bojen geben Auskunft ber Strke und Richtung von Meeresstrmungen.

Portrt

Das Zucchini-Experiment
Wie eine 15jhrige Schlerin aus Darmstadt ein Problem lsen will, das so alt ist wie die Kochkunst und wie sie damit nebenbei auch zur Energiewende beitrgt.
Im Februar 2009 konnte man Regina Hartfiel beobachten, wie sie nach der Schule am huslichen Herd Hhnchenfleisch und Zucchini in einer Pfanne absichtlich anbrennen lie. Zufrieden war die 1 5jhrige mit ihrer Kochkunst erst, wenn brenzliger Geruch die Wohnung erfllte und das Essen nicht mehr zu retten war. Reginas Mutter, die sich im Normalfall ber angekokeltes Kochgeschirr und misslungene Speisen rgert, war ihrer Tochter nicht bse. Denn: Regina versuchte sich zum ersten Mal als Erfinderin! In ihrer Schule dem Justus-Liebig-Gymnasium in Darmstadt hatte sie zu Beginn jenes Monats ein Plakat entdeckt, auf dem der Verband Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik e. V. (VDE) zum bundesweiten Schlerwettbewerb INVENT-a-CHIP einlud auf deutsch: Erfinde einen Mikrochip! Bis Ende Mrz, so informierte der VDE, knnten Schler Ideen einreichen, wie sie beliebige Alltagsprobleme mit Hilfe moderner Elektronik lsen wrden. Die Schler mit den zwlf besten Vorschlgen knnten ihre Idee dann bis Ende September in Hardware gieen das heit: betreut von professionellen Chipdesignern wrden sie eine Schaltung entwickeln, die geeignet sei, das jeweilige Alltagsproblem zu lsen. Das gefiel mir, sagt Regina. Da wollte ich unbedingt dabei sein. Auf der Suche nach einem geeigneten Thema wlzte sie Tage lang diverse Ideen im Kopf. Dann kam ihr der Gedanke, ein elektronisches System zu entwickeln, das verhindert, dass Speisen beim Garen anbrennen. Das Problem kennt jeder, sagt sie, es ist so alt wie die Kochkunst, aber es gibt bis heute keine Lsung dafr.

Energieeffizienz liegt im Trend


Weil Temperatursensoren im Unterschied zu CO2Sensoren sehr preiswert sind, hatte Regina damit eine bezahlbare Lsung fr die wirksame berwachung des Garvorgangs gefunden. Untersttzt von Dr. Thomas Jambor, dem Geschftsfhrer der Firma TecEd in Hannover, entwickelte sie die Schaltungslogik ihres Anti-AnbrennSystems. Im Info-Kasten Anti-Annbrenn-System kannst du nach lesen, wie das System funktioniert. Als der VDE im Oktober 2009 die besten Lsungen jenes Wettbewerbsjahres krte, war Regina Hartfiel, ausgewhlt von einer hochkartigen Jury, unter den Gewinnern. Reginas Anti-Anbrenn-Chip ist eine wegweisende Idee, sagt Thomas Jambor. Vergleichbare Lsungen werden sicher bald Eingang in die Kchentechnik finden. Brennen Speisen nicht mehr an, ist das ein Gewinn an Lebensqualitt, und gleichzeitig hilft es, Nahrungsmittel und Energie nicht zu verschwenden. Als Regina ihre Idee entwickelte, hatte sie den Energieaspekt noch gar nicht im Blick. Doch gerade er entscheidet immer hufiger ber den Produkt erfolg. Haben Kufer die Wahl zwischen zwei sonst gleichwertigen Produkten, geben sie wegen steigender Energie-

Regina Hartfiel war 2009 mit ihrem Modell eines Anti-Anbrenn-Chips Preistrgerin im VDE-Wettbewerb INVENT-a-CHIP.

Invent-a-chip

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preise und dank des wachsenden Umweltbewusstseins immer hufiger dem Erzeugnis mit der besseren Energiebilanz den Vorzug auch wenn es etwas teurer ist. Mit ihrem Anti-Anbrenn-Chip liegt Regina voll im Trend. In Sorge um den weltweiten Klimawandel arbeiten Tausende Ingenieure, Unternehmer und Politiker in Deutschland an der Energiewende und Reginas Beispiel zeigt, dass auch Jugendliche schon erfolgreich daran mitwirken knnen. Auf der nchsten Doppelseite erfhrst du, was es mit der Energiewende auf sich hat.

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So tastete sich Regina an ihre Lsung heran

anti-anbrenn-system

Wenn Nahrungsmittel auf dem Herd anbrennen, dann zucchini-expriment: Temperaturkurve passieren charakteristische Dinge. Es entsteht zum BeiDie Zacken der Temperaturkurve jen- oben markieren Momente, in denen spiel Kohlendioxid (CO ) als Verbrennungsprodukt. Meine 2 seits der 75-Grad-Grenze erklren sich sehr viele Wassertrpfchen schlagarerste Idee war deshalb, mit einem Sensor den CO2-Gehalt damit, dass Nahrungsmittel Wasser tig verdampfen. Die kurzen Abkhenthalten. Beim Garen dehnt sich das lungsphasen dazwischen erklren sich der Luft ber dem brutzelnden Fleisch und Gemse zu Wasser aus, tritt in Trpfchen aus den damit, dass nach jeder Trpfchenex- messen. Wrde der Sensor kein CO2 registrieren, wre alPoren an der Oberflche der Speise plosion erst neues Wasser aus dem les in Ordnung, stellte er jedoch CO2 fest, wre dies ein heraus und ist dann direkt der heien Gemse heraustreten muss, ehe die Garflssigkeit ausgesetzt dem sie- nchste Explosionswelle stattfinden Zeichen, dass der Prozess der Verbrennung begonnen denden l oder der heien Butter. Die kann. Dabei muss sich das Wasser im- hatte. Der Sensor wrde die CO2-Messwerte an einen Garflssigkeit erhitzt nun die Wasser- mer erst durch die Kruste kmpfen, die Chip bermitteln. Und sobald die Werte eine kritische trpfchen so schnell und so stark, dass sich auf dem Essen bildet, wenn es verGrenze berschreiten, wrde der Chip den Herd abschalsie explosionsartig verdampfen. Die brennt was eine Weile dauert. Zacken der Temperaturkurve nach ten. Soweit mein erster Plan. Doch ich musste feststellen, dass ein geeigneter CO2-Sensor teuer ist. Und so verwarf C ich diesen Lsungsansatz wegen der Kosten. 80 80 74 80 Auf der Suche nach Alternativen zur CO2-Messung kam 78 70 Regina auf die Idee, jene kritische Grenze, bei der das Es73 sen verbrennt, ber die Temperaturkurve zu ermitteln. In 60 einer Pfanne lie sie dafr zuerst Zucchini und dann HhnPhase des Anbrennens 50 chenfleisch verbrennen, ma dabei stndig die Oberflchentemperatur der Nahrungsmittel und trug die Werte 40 in Diagramme ein. Das Diagramm links zeigt den Tempera30 turverlauf ihres Zucchini-Experiments. Das Gemse be20 ginnt bei einer Oberflchentemperatur von zirka 75 Grad Celsius zu verbrennen. Die Temperaturkurve zeigt von da 10 an schnelle Ausschlge von vier bis acht Grad Celsius 0 nach oben bzw. nach unten ein sicheres Zeichen fr den 3:30 8:00 min Verbrennungsvorgang.

Sensor Sensor aktoren

AD-Wandler physik. Gre (Stromstrke)

Display Lampe Chip an Lampe Alarm

Binrzahlen

Mikrochip Logik und Steuerung

Alarm-Signal

Der Temperatursensor misst die Oberflchentemperatur des brutzelnden Essens. Das funktioniert so: Im stabfrmigen Fhler des Sensors befindet sich ein stromdurchflossener Draht. Je heier die Speise ist, umso heier wird auch der Draht, umso grer wird der elek trische Widerstand des Drahtes, und umso schwcher wird der Strom, der durch den Draht fliet. Denn: Wrme versetzt die Atome des Drahtes in Schwingungen. Die Elektronen, die den Draht durchflieen, prallen dann hufiger auf die schwingenden Atome womit die Stromstrke im Draht sinkt. Und so gibt die Stromstrke

so funktioniert reginas anti-anbrenn-lsung 

Auskunft ber die Temperatur der Speise. Der Mikrochip ist die Steuerungszentrale das Gehirn des AntiAnbrenn-Systems. Der Chip liest und bewertet die Messwerte, die der Sensor ihm schickt, und zeigt sie auf einem Display an. berschreiten die Werte eine kritische Grenze, lst der Chip Alarm aus, indem er ein Warnlmpchen blinken lsst und per Lautsprecher einen Warnton abgibt. Gleichzeitig schaltet er den Herd ab und verhindert so, dass die Speise verbrennt. Display, Warnlmpchen, Lautsprecher und Herdschalter sind die so genannten Aktoren. Der Chip realisiert damit

das eigentliche Ziel des Systems: er verhindert, dass die Speisen anbrennen. Alle brigen Komponenten dienen der Kommunikation zwischen dem Sensor, dem Chip und den Aktoren. So bersetzt der Analog-DigitalWandler (AD-Wandler) die physikalischen (analogen) Messwerte in binre Zahlen in Ziffernfolgen aus Nullen und Einsen , weil der Mikrochip nur binre Zahlen lesen und auswerten kann. Das Bussystem (in der Funktionsgrafik oben die braunen Pfeile) wiederum ist fr den Transport der Signale und Daten zwischen den Komponenten des elektronischen Systems zustndig.

Sensoren und elektronische Systeme

Wenn leblose Technik lebendig wird


Intelligente Huser ergreifen Energiesparmanahmen, wenn Energie knapp ist. Doch wie funktioniert das? Elektronische Systeme sind der Schlssel dafr.
Indem wir leblose technische Dinge mit Sensoren und elektronischen Steuerungen ausstatten, versetzen wir sie in die Lage, wie lebendige Wesen zu handeln: Sie erkennen ihre Umwelt selbst und reagieren selbstndig darauf. Tiere sind in der Lage, zielgerichtet zu handeln in einer Weise, die ihrer Selbsterhaltung dient. Sie besorgen sich Nahrung, wenn sie Hunger empfinden, und bringen sich in Sicherheit, wenn sie Gefahr sehen. Aber kann auch ein Haus sich selbst Energie beschaffen, wenn es Energiehunger sprt? Und kann es selbst Feuer lschen, wenn es in seinen Mauern brennt? Die Antwort lautet: ja wenn wir es mit einem passenden elektronischen System ausstatten. Auf dieser Doppelseite machen wir dich mit dem Aufbau elektronischer Systeme vertraut und erklren dir, wie sie funktionieren. Danach wirst du dich in der Welt der Elektronik viel leichter zurechtfinden. Du kannst dir jedes elektronische System als eine Art knstliches Nervensystem vorstellen. Das Nervensystem aller hher entwickelten Tiere umfasst folgende Organe: die Sinnesorgane: Der Organismus nimmt damit seine Umwelt wahr (er sieht, hrt, riecht und schmeckt, fhlt die Beschaffenheit von Gegenstnden, empfindet Wrme und Klte), und er berwacht sich selbst (er fhlt zum Beispiel Hunger und Schmerz); die Nervenbahnen (Dendriten) bertragen die Sinnes reize an das Gehirn; das Gehirn bewertet die Sinnesreize und leitet daraus die Reaktionen des Organismus ab;  die ausfhrenden Nerven: Mit ihnen steuert das Gehirn Muskeln und Gliedmaen der Organismus reagiert. Elektronische Systeme besitzen eine hnliche Organi sation. Sie bestehen aus: den Sensoren: Sie entsprechen den Sinneszellen natrlicher Organismen. Das technische Gert bzw. System nimmt mit ihnen seine Umwelt wahr und berwacht sich selbst. der elektronischen Steuerung (in der Regel ist das einintegrierter Schaltkreis und zwar meistens ein Mikrocontroller): die Steuerung entspricht dem Gehirn natrlicher Organismen. Sie wertet die Signale der Sensoren aus und leitet daraus die Reaktion des technischen Gertes bzw. Systems ab. den Aktoren: Das sind die Bauteile, mit denen das System Aktionen ausfhrt. Indem die elektronische Steuerung die Aktoren eines Gertes dirigiert (z.B. die Gliedmaen eines Roboters steuert), verhlt sich das Gert in einer Weise, die seiner Aufgabe entspricht. dem Bussystem: Es entspricht den Nervenbahnen natrlicher Organismen. Das Bussystem verbindet die Sensoren mit der elektronischen Steuerung und die Steuerung mit den Aktoren. Es dient dem Transport von Signalen und Daten. Woher aber wei die elektronische Steuerung, wie sie Sensor-Signale bewerten muss, und welche Aktionen sie auslsen soll? Ganz einfach: Wir geben ihr ein Programm mit eine Handlungsanweisung, die alle Situationen bercksichtigt, vor denen das technische Gert bzw. System stehen kann. Dem Programm liegt meist eine mehr oder weniger umfangreiche Wenn-dann-Logik zugrunde. Du erinnerst dich an Reginas Anti-Anbrenn-System? Die Wenn-dann-Logik des Programms, dem ihr Steuerungschip folgt, lautet: Wenn die Temperatur, die der Temperatursensor meldet, 75 Grad Celsius bersteigt und in kurzen Intervallen um vier bis acht Grad Celsius pendelt, dann schlage Alarm und schalte den Herd ab! Der Wenn-Teil der Programm-Logik definiert die Bedingungen, die gegeben sein mssen, damit das technische Gert bzw. System aktiv wird, whrend der Dann-Teil bestimmt, wie (mit welchen Aktionen) das Gert reagieren soll. Die Programme, die elektronische Systeme leiten, sagen der Steuerung, wann und wie sie einen bestimmten IstZustand (das ist der tatschliche Zustand des Gertes und seiner Umwelt) in einen bestimmten Soll-Zustand (das ist der erwnschte Zustand) verwandeln soll. Der Programmierer muss sich also zunchst berlegen, welchen SollZustand er herstellen mchte (welches Ziel er mit dem technischen Gert oder System verfolgt), und welche Merkmale diesen Soll-Zustand kennzeichnen. Im Verlauf des Programm-Vollzugs vergleicht die elektronische Steuerung dann auf Basis der Sensor-Daten permanent den Ist-Zustand des Gertes bzw. Systems mit dem Soll- (Ziel-) Zustand. Entspricht der Ist-Zustand dem Soll-Zustand, ist alles in Ordnung; die elektronische Steuerung hlt dann den Status des Gertes bzw. Systems einfach aufrecht. Weisen die Sensor-Daten aber eine Diskrepanz zwischen

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dem Ist- und dem Soll-Zustand aus, besteht Handlungsbedarf und die Steuerung korrigiert den Ist-Zustand mit geeigneten Aktionen so lange, bis er (wieder) dem Soll-Zustand entspricht. Regina Hartfiel zum Beispiel mchte mit ihrer Lsung erreichen, dass Speisen beim Garen nicht anbrennen (Seite 22/23). Solange die Oberflchentemperatur des brutzelnden Essens nicht eine kritische Grenze berschreitet, stimmt der Ist-Zustand des Essens mit dem Soll-Zustand berein. berschreitet die Temperatur des Essens aber jene kritische Grenze, laufen Ist- und SollZustand auseinander und es entsteht Handlungsbedarf. Der Controller schaltet dann den Herd ab.

Auf den nchsten Doppelseiten erfhrst du, wie i ntegrierte Schaltkreise (Mikrochips) als Gehirn elektronischer Systeme aufgebaut sind und funktionieren. Weil Chips ihre Fhigkeiten den Halbleitern verdanken, aus denen sie bestehen, machen wir dich zunchst mit dem wichtigsten Halbleiter der Mikroelektronik bekannt, dem Silizium. Wir erklren dir dann, wie ein Transistor das wichtigste Bauelement integrierter Schaltungen funktioniert, und lften schlielich das Geheimnis, wie Chips mit Hilfe ihrer Transistoren logische Operationen von unglaublicher Komplexitt ausfhren, technische Gerte und Systeme steuern oder sekundenschnell schwierige Mathematik aufgaben lsen knnen.

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asimos sensoren zur wahrnehmung der Umwelt und selbstkontrolle

Der Krper besteht aus einer sehr leichten, stabilem Magnesium-Legierung

Kamera Mit ihrer Hilfe erkennt Asimo sein Ziel und seine Bewegungsrichtung

Antenne Damit kann Asimo drahtlos Daten austauschen

Der Roboter Asimo, entwickelt vom japanischen Motorenhersteller Honda, hat menschenhnliche Fhigkeiten. Er kann laufen, Treppen steigen, Gegenstnde greifen, tragen und wieder abstellen. In einem Krankenhaus knnte Asimo mit diesen Begabungen ein fache Pfleger-Aufgaben bernehmen: Er knnte zum Beispiel Patienten das Essen bringen. Der kleine Roboter verdankt seine Fhigkeiten erstens knstlichen Sinnes organen, zweitens Programmen, die ein breites Spek trum menschlicher Handlungen abbilden, und drittens leistungsstarken Mikrochips, die Asimos Krper den besagten Programmen folgend zuverlssig steuern.

Asimo 

Batterie Damit kann Asimo zirka 40 Minuten lang gehen

6-Achsen-Kraftsensoren Sie messen die Richtung und Strke der Krfte, die auf Hnde und Fe wirken, und erlauben es damit Asimo, sicher zu greifen und zu laufen

Kreisel- und Beschleunigungssensor Er erlaubt es Asimo, sich zu neigen und zu beschleunigen

Aktuator Ein Servo motor und ein Drehzahlminderer bernehmen die Auf gabe menschlicher Muskeln

Halbleiter

silizium & co.


Wusstest du schon, dass Sand zu den bedeutendsten Rohstoffen unseres Elektronik-Zeitalters zhlt? Er enthlt nmlich in groen Mengen Silizium das wichtigste Baumaterial fr elektronische Schaltkreise!

Atome bestehen aus einem Kern und einer Hlle. Die Elektronen umkreisen den Atomkern auf verschiedenen Umlaufbahnen (Orbitalen) die energiereichsten Elektronen besetzen dabei das uerste Orbital und heien Valenzelektronen.

siliziumatom

ordnungszahl

14

2/8/4

elektronenkonfiguration

Silizium (chemisches Symbol Si) steht im Periodensystem der Elemente in der 4. Hauptgruppe.

silizium

symbol

name atommasse

Silicium
28,086

valenzelektron

30 basics

Fast alle Mikrochips, die in Handys und Computern stecken, bestehen aus Silizium, und die aufwndige Herstellung eines Chips beginnt tatschlich damit, dass Chemieunternehmen aus Sand und anderen silikathaltigen Rohstoffen absolut reines Silizium gewinnen. Das schmelzen sie in Tiegeln, ziehen aus der Schmelze zylinderfrmige Kristalle und zersgen die Kristalle in Scheiben. Die Chiphersteller verwandeln die Siliziumscheiben in ihren Fabriken schlielich in die Mikrochips. Im Kapitel Herstellung integrierter Schalt kreise erfhrst du, wie das funktioniert. Auf dieser Doppel seite beantworten wir die Frage, warum sich Silizium so gut fr integrierte Schaltkreise eignet. Silizium ist ein Halbleiter. Es gehrt damit zur groen Gruppe der chemischen Elemente und Verbindungen, die zwischen den elektrischen Leitern und den Nichtleitern stehen. Leiter transportieren elektrischen Strom sehr gut, Nichtleiter hingegen gar nicht. Die Leitfhigkeit von Halbleitern wchst mit ihrer Temperatur. Stark abgekhlt, verhalten sie sich wie Nichtleiter, stark erhitzt dagegen wie gute Leiter. Silizium bildet bei normalen Temperaturen, wie sie auf der Erdoberflche herrschen, Kristalle, die exakt die gleiche Struktur wie Diamanten besitzen. Innerhalb dieser Kristalle verbindet sich jedes Siliziumatom mit vier weiteren, was daran liegt, dass Silizium vier Auenelektronen besitzt. Durch die Beimischung fremder Atome ein Vorgang, der in der Fachsprache Dotierung heit knnen die Chiphersteller die elektrischen Eigenschaften des Siliziums zielgerichtet beeinflussen. Pflanzen sie Fremdatome in das Kristallgitter ein, die mehr Auenelektronen als Silizium besitzen, zum Beispiel Phosphor, so erzeugen sie damit im Kristall eine Zone, die einen Vorrat an frei beweglichen Elektronen aufweist. Solche Kristallzonen heien n-dotiert, weil die frei beweglichen Elektronen negativ geladen sind. Pflanzen die Chiphersteller dagegen Fremdatome ein, die weniger Auenelektronen als Silizium besitzen, zum Beispiel Bor, so schaffen sie damit im Kristallgitter eine Zone, die sich durch ein Reservoir an positiven Ladungen so genannten Lchern auszeichnet. Wegen der positiven Ladung der Lcher heien diese Zonen p-dotiert.

Die elektronischen Bauelemente eines integrierten Schaltkreises entstehen aus der Kombination solcher n- und p-dotierten Kristallzonen auf engstem Raum. Die Chipher steller erzeugen zum Beispiel eine Diode, indem sie im Siliziumkristall direkt nebeneinander eine winzige n- und eine winzige p-dotierte Zone erzeugen. Transistoren die wichtigsten Bauelemente integrierter Schaltungen sind etwas komplizierter aufgebaut, bestehen aber ebenfalls aus winzigen n- und p-dotierten Kristallzonen in einer ganz bestimmten Anordnung. Aus der elektrischen Wechselwirkung dieser Kristallzonen ergibt sich die Funktionsweise der elektronischen Bauelemente. Durch mikroskopisch dnne Leiterbahnen miteinander verbunden, bilden die Bauelemente schlielich einen kompletten Schaltkreis. Integrierte Schaltkreise heien so, weil die Chiphersteller alle elektronischen Bauelemente des Schaltkreises in einem Stck Silizium erzeugen die Bauelemente sind in das Silizium eingebunden (integriert). Heute sind 99 Prozent aller elektronischen Schaltkreise integrierte Schaltkreise. Bis zur Erfindung des Mikrochips im Jahr 1958 waren elektronische Schaltkreise noch auf Leiterplatten geltet, und jedes elektronische Bauelement besa noch ein eigenes Gehuse! Entsprechend viel Platz bentigte die Elektronik. Neben dem Silizium gibt es noch viele weitere Halbleiter, die sich fr die Herstellung integrierter Schaltkreise eignen. Sie alle lassen sich durch die Impfung (Dotierung) mit fremden Stoffen bzw. Atomen manipulieren und einige von ihnen machen sogar noch schnellere Chips mglich als Silizium. Trotzdem hat kein anderer Halbleiter auch nur annhernd so groe Bedeutung erlangt wie Silizium. Und das hat unter anderem folgenden Grund: Silizium bildet eine schtzende Oxidschicht, sobald es mit Luft in Berhrung kommt. Diese Schicht bewahrt den Kristall vor ungewollter Verunreinigung. Ohne diese Schicht wrden Fremdatome aus der Luft unkontrolliert in das Silizium einsickern und seine elektrischen Eigenschaften negativ beeinflussen. Die meisten anderen Halbleiter bilden keine schtzende Oxidschicht. Sie sind deshalb nur schwer kontrollierbar, was die Herstellung integrierter Schaltkreise aus ihnen verteuert.

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31
elektron

Steine, die beinahe vollstndig aus Silizium bestehen, wie der Rosenquarz und der Bergkristall, verdanken ihre Transparenz (Durchsichtigkeit) und schne Gestalt der regelmigen Struktur des Siliziumkristalls. Durch die tunnelartigen Zwischenrume im Atomgitter des Siliziums kann das Licht ungehindert den gesamten Kristall durchdringen.

rosenquarz

Atome schlieen sich mit anderen Atomen zusammen, indem sie mit Hilfe ihrer Valenzelektronen gemeinsame Elektronenpaare bilden. Beide Elektronen des Paares umkreisen dann beide Atome und ketten sie so gewissermaen aneinander. Die Anzahl der Atome, mit denen sich ein Atom verbinden kann, entspricht exakt der Anzahl seiner Valenzelektronen. Weil Silizium vier Valenzelektronen besitzt, kann es sich wie links zu sehen mit vier weiteren Atomen verbinden.

elementarzelle eines silizium kristalls

aufbau eines siliziumkristalls

Nanokosmos

Wie viel meter sind 90 Nanometer?


Bei Infineon Technologies in Dresden trafen wir Hagen Rtz. Er erklrte uns, wie aus einer Siliziumscheibe ein integrierter Schaltkreis entsteht (der englische Name lautet Integrated Circuit IC).
Infineon Technologies betreibt in der schsischen Landeshauptstadt gleich zwei Chipfabriken. Als ich die Firma besuche, wartet am Eingang ein junger Mann auf mich: Hagen Rtz gehrt zu den Infineon-Mitarbeitern, die sich in der Chipfertigung um die Qualittssicherung kmmern. Dafr betrachtet er Chips, die frisch aus der Produktion kommen, unter dem Mikroskop vermisst ihre Strukturen und gibt die Messergebnisse an die Fertigungsabteilungen zurck. Hagen wird mir heute Infineon zeigen und auf einer Tour durch die Chipfabrik erklren, wie ein integrierter Schaltkreis entsteht. 90 Nanometer breite Gates. 90 Nanometer entsprechen einer Reihe aus 120 Atomen in einem Siliziumkristall. Deshalb brauchen wir hier Mikroskope mit atomarer Auflsung. Wir knnten die Gates unserer Transistoren sonst gar nicht in Augenschein nehmen. Kannst du dir vorstellen, wie klein 90 Nanometer sind?, fragt Hagen. Ich schttle den Kopf. Ich kann es auch nicht, sagt Hagen. Unsere Ingenieure versuchen es gelegentlich mit Vergleichen. Sie sagen zum Beispiel: 90 Nanometer entsprechen dem 1.000tel Durchmesser eines Menschenhaares. Das ist zwar richtig, hilft aber der Vorstellung nicht wirklich auf die Sprnge. 90 Nanometer liegen einfach auerhalb menschlicher Vorstellungskraft. Wenn wir ber integrierte Schaltkreise sprechen, gibt es aber noch viele andere, kaum fassbare Zahlen, sagt Hagen. Wir stellen in Dresden zum Beispiel Mikroprozessoren her, die Motoren steuern. Obwohl sie so klein sind wie ein Fingernagel, enthalten sie 300 Millionen Transistoren! Kannst du dir so viele Transistoren vorstellen? Nein, gebe ich zu. Ich auch nicht, pflichtet Hagen mir abermals bei, aber sie befinden sich tatschlich auf dem Chip. Es ist eine groe ingenieurtechnische Herausforderung, ein solches Produkt industriell herzustellen das heit: viele tausend Mal, kostengnstig und absolut zuverlssig. Das gelingt nur mit den neusten Verfahren der Nanotechnologie. Die benutzen wir hier und eben das macht Chip-Herstellung so spannend. infineons chipfabriken

Hagen Rtz (31), Infineon Technologies, Dresden Hagen Rtz leitet eine Gruppe von Ingenieuren undFacharbeitern, die sich bei Infineon um die Qualittssicherung kmmern.

Reporter Ingolf Seifert besuchte fr den Nanoscout die Infineon-Chipfabriken in Dresden.

42 fertigung

Transmissionselektronenmikroskope (TEM) erzeugen Bilder, indem sie die Probe mit einem Elektronenstrahl abrastern. Der Elektronenstrahl streicht dabei zeilenweise ber die Probe. Von den Elektronen angeregt (getroffen), antworten die Atome u.a. damit, dass sie selbst Elektronen aussenden. Das Mikroskop sammelt diese Elektronen ein, wertet sie aus und generiert daraus das Bild. Da Elektronenstrahlen viel kleiner sind als Lichtwellen, erreichen Elektronenmikroskope eine viel hhere Auflsung als optische Mikroskope.

Transmissionselektronenmikroskop

43
infineon prozessor tricore 5050 mm

Wie klein sind 90 Nanometer?


Erste Station der Tour ist Hagens Labor. Dort zeigt er mir die Aufnahme eines Chips, den er gerade mit einem Transmissionselektronenmikroskop (TEM) begutachtet. Auf dem Bild sind dunkelgraue Kugeln zu erkennen, die sich zu einem regelmigen Muster fgen. Die Kugeln haben keine scharfen Umrisse sie gleichen eher Schattengebilden. Das sind Siliziumatome, sagt Hagen. Wow!, denke ich. Als physikinteressierter Mensch habe ich gelegentlich versucht, mir Atome vorzustellen. Dass es Mikroskope gibt, die Atome sichtbar machen knnen, ist mir neu! Doch ich staune noch mehr, als Hagen mir die Bilder erklrt. Die Aufnahme zeigt das Gate eines Transistors, sagt er. Wenn du von oben auf einen integrierten Schaltkreis blickst, sind die Transistorgates immer die schmalsten Teile des gesamten Chips. Wir produzieren hier in Dresden

300 Millionen Transistoren


TEM-Aufnahme eines Gate-Ausschnitts

Das Foto zeigt die Infineon-Chipfabriken in Dresden: Die 200-Millimeter-Fabrik umfasst zwei Fertigungsmodule im Bild die beiden groen Hallen mit gewlbten Dchern. Das Unternehmen stellt dort auf 200 Millimeter groen Silizumscheiben (daher der Name 200-Millimeter-Fabrik) ein breites Sortiment an Logikchips her. In der 300-Millimeter-Fabrik produziert Infineon auf 300 Millimeter groen Siliziumscheiben Spezialchips, die hohe Strme vertragen darunter Schaltkreise, die Wechsel- in Gleichstrom wandeln (so genannte Gleichrichter). Sie kommen zum Beispiel in Windkraftanlagen zum Einsatz.

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-f ab

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ein transistor
gate

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30

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20

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ein silizium-atom

90 nm 1 Gate-Breite

Fotolithografie

waferstepper

UV-Licht: Der Schlssel zum Nanokosmos


Wie kommen eine halbe Milliarde Transistoren auf ein Stck Silizium von der Gre eines Fingernagels?
Hast du ein Smartphone?, fragt mich Hagen unvermittelt. Na klar, sage ich. Wenn es zu den leistungsstrkeren Gerten zhlt, dann vereinigt sein Mikroprozessor auf einem fingernagelgroen Stck Silizium wahrscheinlich rund eine halbe Milliarde Transistoren, und das Netz seiner Leiterbahnen drfte etwa so komplex sein wie das gesamte Straennetz Europas, klrt Hagen mich auf. Wow, denke ich, wieder so eine Zahl zum Staunen. Wie ist es mglich, fragt Hagen jetzt, auf einer so kleinen Flche dermaen viele elektronische Bauelemente unterzubringen? Das Verfahren dafr stammt aus der Drucktechnik

die fotolithografie, schritt fr schritt


1

fotolack wafer

So funktioniert die Fotolithografie


1 Die Schablone entsteht aus einem lichtempfindlichen Lack. Ein Spin Coater spritzt den Lack auf die Siliziumscheibe (im Info-Kasten auf Seite 52 kannst du nachlesen, wie das geschieht). Danach kommt der Wafer auf eine Heizplatte. Dort hrtet der Lack aus. Jetzt brauchen wir nur noch die Fenster in die Lackschicht zu schneiden. Das geschieht mit ultraviolettem Licht (UV-Licht)! Wir benutzen dafr eine sogenannte Maske. 2 Das ist eine Scheibe aus Quarzglas, die mit einer lichtundurchlssigen Chromschicht versehen ist. In diese Chromschicht tzen die Maskenhersteller Fenster (ffnungen), deren Lage und Form der Position und Gestalt der n-Wannen auf dem Wafer entspricht. An diesen Stellen ist die Maske dann lichtdurchlssig. Mit ihrer Fensterstruktur bildet die Maske hnlich wie ein Diapositiv das geplante Chip-Layout ab. Als Abbildungsmastab whlen die Chiphersteller meist ein Verhltnis von 1:4, sagt Hagen. Das heit: Die Maske bildet den Schaltkreis in vierfacher Vergrerung ab. Die Maske und die lackierte Siliziumscheibe kommen dann in einen Automaten, der Waferstepper heit (das Bild rechts zeigt, wie so ein Waferstepper aussieht). Wir platzieren die Maske dort ber dem Wafer. 3 Der Stepper durchleuchtet die Maske von oben mit ultraviolettem Licht. Am Ende seines Weges trifft das Licht auf die lackierte Siliziumscheibe. Weil das Licht die Maske aber nur dort durchdringen kann, wo sich in der Chromschicht die Fenster befinden, trifft es auch nur dort auf den Wafer, wo die n-Wannen entstehen sollen. So erscheint das Layout der Schaltung als Lichtbild auf dem Wafer. Auf seinem Weg zum Wafer passiert das Licht eine komplizierte Projektionsoptik. Die besteht aus vielen Linsen, ist wie ein Kameraobjektiv aufgebaut und funktioniert auch so, erreicht aber eine viel hhere Auflsung das heit, sie kann unvorstellbar kleine Dinge gestochen scharf abbilden. Die Optik verkleinert das Lichtbild der Schaltung auf seinem Weg von der Maske zum Wafer um den Faktor vier. So erscheint es in der richtigen Gre auf dem Wafer. Ohne Verkleinerungsoptik wrde das Layout des Chips genau so gro auf dem Wafer erscheinen wie die Maske es vorzeichnet vierfach vergrert. Wir knnen den Waferstepper also mit einem Diaprojektor vergleichen, dem wir die Optik umgedreht haben, so dass er Bilder nicht vergrert, sondern verkleinert.

Fotolack kommt auf die Siliziumscheibe

50 fertigung

maske

2 Die Maske enthlt das Layout des Chips

51
so funktioniert  ein waferstepper
Ein ultravioletter Lichtstrahl (UV-Licht) 1 durchleuchtet die Maske 2 und projiziert das Layout der Schaltung auf den Wafer 3Eine Optik aus zahlreichen Linsen 4 verkleinert das Lichtbild der Schaltung, so dass es scharf und in der richtigen Gre auf dem Wafer erscheint.

maske

3
belichteter fotolack

uv-licht

licht

maske lichtdurchlssige abbildung des chiplayouts

UV-Licht bertrgt das Chiplayout von der Maske auf den Wafer

entwickelter fotolack

1 3

lichtbild des chiplayouts projektionsflche (wafer)

Behandlung des Fotolacks mit Entwicklerflssigkeit

schablone

und heit Fotolithografie. Am Beispiel unseres Musterchips erklrt Hagen dann, wie die Fotolithografie funktioniert. Was das Ziel dieses Fertigungsschrittes ist, habe ich bereits gelernt: Die Chiphersteller verpassen der Siliziumscheibe damit eine Schablone, die dafr sorgt, dass sie den Wafer stets an den richtigen Stellen bearbeiten. Die Produktion unseres Musterchips beginnt mit der Herstellung der n-Wanne des pMOS-Transistors. Wir realisieren diesen Teil des Chips, indem wir den Wafer mit Fremdatomen beschieen, sagt Hagen. Dafr brauchen wir eine Schablone, die die Fremdatome nur dort an das Silizium heranlsst, wo die n-Wannen entstehen sollen.

und Beseitigung der belichteten Lackpartien mit tzenden Flssigkeiten

beschuss mit fremdatomen

Herstellung der n-Wanne per Ionen-Implantation

Der Stepper durchleuchtet die Maske mit ultraviolettem Licht, das Layout der n-Wanne erscheint als Lichtbild auf dem lackierten Wafer.

Herstellung der Schablone fr die n-Wanne

Portrt

Portrt

66 fertigung

forschen fr die bernchste chipgeneration


Beruf extrem wichtig. Im NaMLab arbeiten deshalb viele Berufsgruppen und Fachleute aus den verschiedensten Lndern zusammen, darunter nicht wenige Frauen. Das konfrontiert mich immer wieder mit neuen Ideen, Leuten Ich heie Guntrade Roll und arbeite im Nano-electronic und Aufgaben. Weil integrierte Schaltungen komplizierte Materials Laboratory (NaMLab) in Dresden. Wir forschen Produkte sind, die nicht an jeder Ecke hergestellt werden, hier in enger Kooperation mit der TU Dresden an der ist der internationale Wissensaustausch in unserem Beruf bernchsten Chip-Generation. Das NaMLab beschftigt extrem wichtig und so stellen wir die Ergebnisse unserer sich zum Beispiel mit neuen Materialien fr schnelle per Arbeit oft in anderen Lndern vor. Gute Englischkenntnisse manente Speicher oder blaue LEDs. Whrend meiner sind dafr natrlich unabdingbar. Doktorarbeit am NaMLab habe ich den Stromverbrauch Wegen der vielen hier ansssigen Halbleiterfirmen sind miniaturisierter Bauelemente untersucht. Mit der fort unsere Berufschancen in Sachsen auerordentlich gut. schreitenden Miniaturisierung ndern sich der Aufbau Kurzum: Mein Job garantiert immer interessante neue und die Materialwahl zumBeispiel fr Kondensatoren und Aufgaben. Transistoren. Das macht mobile Anwendungen wie iPADs Ich komme aus einer Naturwissenschaftlerfamilie. Schon oder Smartphones berhaupt erst mglich. Der Strom zu meiner Schulzeit faszinierte mich, was die Welt im verbrauch oder die Ausfallwahrscheinlichkeit elektro Innersten zusammenhlt (Goethe: Faust). Dabei kam nischer Bauelemente sinken im Zuge der Miniaturisierung mir entgegen, dass man in Fchern wie Physik oder Mathe aber nicht automatisch mit das galt es zu untersuchen. nur wenig auswendig lernen musste. Also studierte ich Besonders interessant dabei war fr mich zu erleben, wie Angewandte Naturwissenschaften an der TU Freiberg schon kleine nderungen im Herstellungsprozess den und entschied mich spter fr den Schwerpunkt Mikro Unter schied zwischen einem funktionierenden End elektronik. Meine Sitznachbarin im Bro, Annett Freese, produkt und einem Fehlschlag ausmachen knnen. Und hat Materialwissenschaften studiert und beschftigt sich der Herstellungsprozess fr einen einfachen DRAM- mit der Herstellung von immer besseren Isolator schichten. Als wir ber diesen Artikel sprachen, betonte Speicher besteht aus mehreren hundert Schritten! Um herauszufinden, welche Auswirkungen nderungen sie, dass ihr besonders das Kreative an der Arbeit gefalle: im Fertigungsprozess auf die Bauelemente haben, muss Um die besten Ergebnisse zu erzielen, sind neue Ideen ge man verschiedenste Wissensgebiete und Analysemetho fragt Flei allein gengt nicht. Wichtige Stellschrauben den verbinden. Ohne Kenntnisse in Chemie, Physik und bei der Herstellung neuartiger Isolatorschichten sind die Materialwissenschaft geht es nicht. Sollen die Funktionen Fertigungsgerte und -methoden, aber auch das Schicht vieler Chips untersucht werden, sind elektrische Messun material selbst und die Material-Unterlage sind ent gen das bevorzugte Mittel das erfordert Kenntnisse der scheidend, und berall sind kreative Ideen gefragt. Elektrotechnik. In Einzelfllen untersuchen wir Bauele In meiner Freizeit treibe ich viel Sport, spiele Fuball und mente auch mit dem Rasterelektronenmikroskop, was fahre viel Fahrrad. Auerdem lese ich sehr gerne. Sport aber zeitaufwendig und teuer ist. Wegen der Vielzahl der ist mir sehr wichtig, um den Kopf frei zu bekommen und Fachgebiete, die wir brauchen, ist Teamwork in unserem dann neu anpacken zu knnen. Wissenschaftliche Mitarbeiterin fr Halb leitertechnik, NaMLab gGmbH, TU Dresden

vom versuch, der Natur in die Karten zu schauen


Dr. Henry Wojcik (33 Jahre)
Entwickler fr chipFertigungstechnologie Institut fr Halbleiter- und Mikrosystemtechnik, TU Dresden Ich bin ein Ingenieur, der an der Entwicklung neuer Chip fertigungstechnologien mitwirkt. Mit meinen Kollegen aus der Forschung und der Chipfertigung versuche ich herauszufinden, wie sich mit neuen Materialien und Ver fahren neue Chipgenerationen herstellen lassen. Elek tronische Gerte werden immer kleiner und leistungs strker die Technik im Inneren der Gerte wird deshalb immer winziger, muss aber trotzdem stets zuverlssig funktionieren. Das alles stets aufs Neue hinzubekom men, ist unser Job. Mein Fachgebiet sind die hauchdnnen Kupferleitbahnen der Mikrochips. Sie herzustellen wird wegen der fort schreitenden Miniaturisierung immer schwieriger. Teil weise sind die Leitbahnen nur noch 50 Nanometer breit das entspricht einem Tausendstel der Dicke eines Menschenhaares! Die Herausforderung bei der Leitbahn herstellung sind gro: das Kupfer muss gut haften, es darf nicht wandern (diffundieren), es drfen keine Lcher in der Leitbahn entstehen, und die Kupfer-Kristalle mssen eine ganz bestimmte Ausrichtung und Gre haben. Das erfordert eine unglaubliche, fast schon atomare Przision. Doch gerade das macht groen Spa. Meine Arbeit ist al les andere als ein trockener Brojob. Ich gehe jeden Tag ins Labor oder den Reinraum, um spielerisch zu versu chen, der Natur in die Karten zu schauen. Die Stoffe, die wir untersuchen, werden immer exotischer: Edelmetalle, seltene Erden, neue Legierungen. Die Herstellungsverfah ren werden immer aufwndiger und teurer kleinste Feh ler knnen groe Auswirkung auf die Funktionstchtigkeit des gesamten Chips haben. Das zu untersuchen, ist eine spannende Sache, und der Teufel steckt wie stets im etail. Dass ich mal Elektrotechnik studieren, in der Mik D roelektronik landen und auf diesem Gebiet sogar meine Doktorarbeit schreiben wrde, htte ich als Schler nie gedacht. Am Gymnasium whlte ich ein sprachliches Pro fil, war ein As in Franzsisch und dachte an ein Studium in Frankreich. Ich wollte Musiker werden und mit einer Band durch die Welt ziehen! Doch dann sah ich mir am Tag der offenen Tr die Fakul tt Elektrotechnik der Technischen Universitt Dresden an. Und was ich dort ber dieses Fachgebietes erfuhr, reizte mich so sehr, dass ich meine bisherigen Plne ber den Haufen warf. Von nun an wollte ich dieses Fach stu dieren. Das fiel mir am Anfang gar nicht leicht: Physik hat te ich nur bis zur 10. Klasse, Chemie und Biologie aus der Oberstufe halfen mir nicht weiter, und der Mathe-Leis tungskurs lag zwei Jahre zurck. Ich hatte mich freiwillig lnger bei der Bundeswehr verpflichtet, dann auf dem Bau und in einem Callcenter gearbeitet, um Geld zu verdienen. Das Elektrotechnik-Studium hie nun: rein ins kalte Was ser und schwimmen. Ich hatte am Anfang sehr zu kmp fen, an Einsen war erst einmal nicht zu denken. Aber die intellektuelle Herausforderung spornte mich an. Es gibt fr mich nichts Schneres als das Gefhl, eine komplizier te Sache rundum verstanden zu haben und nicht mehr im Trben fischen zu mssen. Und zwar nicht, weil ich etwas auswendig gelernt, sondern weil ich etwas begriffen habe, woraus sich Vieles ableiten lsst. Ich bereue es nicht, mich trotz meines Faibles fr Musik und Franzsisch fr diesen Weg entschieden zu haben. Ich mag meinen Job sehr, weil er immer wieder spannend ist: Ich schreibe wissenschaftliche Artikel, halte Vortrge und kann mich auf internationalen Konferenzen mit Kollegen aus aller Welt austauschen. Parallel zu meiner Arbeit spiele ich immer noch mit meiner Band und zwar oft. Und meine jngste Konferenz fhrte mich nach Grenoble in Frankreich!

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Dr. Guntrade Roll (28 Jahre)

Portrt cool silicon e.V.

Firmen der schsischen Halbleiterindustrie

74 cool silicon

Quelle: Silicon Saxony e.V.

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Khles Silizium
Wie schsische Firmen mit moderner Mikroelektronik zur Bewltigung des Klimaproblems beitragen.
Smartphones, Tablet-Computer, Blu-ray-Rekorder und LCDFernseher: Die Welt der Unterhaltungselektronik und der Computertechnik wird immer grer, bunter und schner. Und wer wollte sie nicht besitzen die schicken neuen Gerte mit den klangvollen Markennamen, die uns so Vieles, was Spa macht und bildet (!), jederzeit und berall direkt vor die Nase beamen? Coole Musik downloaden, unterwegs mit Freunden chatten, auf klugen Internet-Seiten interessante Themen recherchieren wer will und kann da seiner Zeit und seinen Schulfreunden schon hinterherlaufen? Fasziniert von Smartphones, Tablet-PCs, 3D-Fernsehern & Co. geben immer mehr Menschen immer mehr Geld dafr aus. Das Ergebnis: Unterhaltungselektronik und Computertechnik tragen immer strker zum weltweiten CO2-Aussto bei. Rund ein Viertel des Energieverbrauches deutscher Haushalte entfllt inzwischen auf diese Gertegruppe! Und wie fllt die Energiebilanz der Welt erst aus, wenn 1,3 Milliarden Chinesen, fast ebenso viele Inder und knapp 200 Millionen Brasilianer die gleiche Technik-Ausstattung fr sich in Anspruch nehmen? Kurzum: Die schiere Menge der Gerte, das rasante Wachstum ihrer Zahl, wird immer strker zum Teil des weltweiten Klimaproblems. Ein Blick auf die Energiebilanz aller hochentwickelten Lnder zeigt, dass dieser Trend jedoch nicht nur fr die Unterhaltungselektronik und Computertechnik gilt, sondern lngst auch alle brigen Lebensbereiche erfasst hat: Ob Fahrzeugoder Maschinenbau, Medizin- oder Energietechnik, Bankensektor oder Landwirtschaft - unsere Gesellschaft erlebt eine immer rasantere Elektronisierung. Elektronische Steuerungen und Gerte kommen berall immer hufiger und zahlreicher zum Einsatz. Vor diesem Hintergrund arbeiten ber 100 schsische Firmen und Forschungsinstitute organisiert im Cool Silicone.V. seit nunmehr fnf Jahren intensiv an Lsungen, die dafr sorgen sollen, dass elektronische Gerte deutlich weniger Strom verbrauchen. Die Ingenieure und Wissenschaftler aus Sachsen handeln dabei in der berzeugung, dass die Energiewende (Seiten 24/25) nur gelingen kann, wenn der Energieverbrauch in allen Technik- und Lebensbereichen sinkt, anstatt immer weiter zu steigen. Die Entstehungsgeschichte des Cool Silicon e. V. ist schnell erzhlt: 2007 forderte der Bund alle Regionen Deutschlands mit Fhrungspositionen auf wichtigen Technologiefeldern auf, Konzepte zu entwickeln, wie sie ihre Fhrungsposition ausbauen knnten. Professor Gerhard Fettweis, der an der Technischen Universitt (TU) Dresden auf dem Gebiet des Mobilfunks lehrt und forscht, vollbrachte das Kunststck, rund 100 Firmen und Forschungsinstitute der schsischen Halbleiterindustrie auf ein ambitioniertes Ziel einzuschwren: nmlich Mikroelektronik energieeffizienter zu machen und damit weltweit Mastbe in Sachen klimafreundlicher Elektronik zu setzen. Mit den Technischen Universitten in Dresden, Chemnitz und Freiberg schlossen sich die Firmen und Institute zu einem Konsortium zusammen, vertieften sich ein Jahr in die Planung und legten schlielich ein Konzept mit dem Titel Cool Silicon vor khles Silizium. Das Konzept umfasst drei Forschungsschwerpunkte: Bedeutung. Mitglieder des Cool Silicon e.V. arbeiten an neuen Designs und Technologien, die eine deutliche Steigerung der Energieeffizienz integrierter Schaltkreise ermglichen mit ihnen sollen sich zum Beispiel sogenannte Leckstrme wirksam unterbinden lassen (siehe ab Seite 78). Gleichzeitig arbeiten die Cool-Silicon-Mitglieder an neuen Fertigungsverfahren zur Herstellung der Chips. Die Cluster-Mitglieder versprechen sich von diesen Innovationen eine groe Breitenwirkung, weil sie sich auf Chips ganz verschiedener Anwendungsgebiete bertragen lassen. Als Testfall dienen Computer: Ihre Leistung soll sich mit den Innovationen aus Sachsen verdoppeln, ohne dass der Energieverbrauch steigt.

2. Kommunikationssysteme (area 2)
Smartphones und Tablet-Computer haben das mobile Internet mglich gemacht. Die Folge: In den vergangenen fnf Jahren ist die Nachfrage nach mobilen Datendiensten explodiert. Das stellt die Netzbetreiber vor groe Probleme: Mit einer begrenzten Zahl von Mobilfunkfrequenzen mssen sie eine wachsende Datenmenge (Traffic) transportieren. Schsische Firmen und Wissenschaftler suchen deshalb im Rahmen des Cool-Silicon-Programms nach Lsungen, wie sich der Datenverkehr bewltigen lsst, ohne dass der Energieverbrauch der Netze und Gerte steigt.

sind damit ein Schlssel, um den Benzin-, Diesel- und KerosinVerbrauch von Autos, Lokomotiven und Flugzeugen zu senken. Doch diese vielversprechende Werkstoffgruppe hat auch einen Nachteil: Sie kann brechen, und niemand wei bislang ganz genau, unter welchen Bedingungen das geschieht. Forscher des Cool-Silicon-Netzwerkes statten deshalb Verbundwerkstoffe mit Sensoren aus, die Alarm schlagen, sobald das Material auch nur kleinste Risse zeigt. Unter den 38 Regionen, die 2007 am Spitzencluster-Wettbewerb des Bundes teilnahmen, schaffte es das schsische Konsortium mit seiner Konzeption in die Gruppe der fnf Gewinner. Mit der Entscheidung des Bundes fr das schsische Cluster schlug auch die Geburtsstunde des Cool Silicone.V., heute von Professor Thomas Mikolajick, Chef des Dresdner Nano-electronic Materials Laboratory (NaMLab) geleitet, denn die Kooperation so vieler Unternehmen braucht eine koordinierende Hand. Fnf Jahre frdern der Bund und Sachsen mit 70 Millionen Euro die Arbeit an den Forschungsthemen, die auf der Agenda des schsischen Clusters stehen. Und in diesem Kapitel machen wir dich mit den Forschungsschwerpunkten bekannt. Dabei gehen wir im Fall der Sensornetzwerke (area 3) recht tief ins Detail, whrend wir die Fragestellungen und Lsungsanstze im Fall der Mikro- und Nanotechnologie sowie der Mobilfunktechnik (areas 1 und 2) nur anreien knnen. stromverbrauch der privaten HAushalte
Der Stromverbrauch privater Haushalte in Deutschland verteilt sich auf folgende Bereiche: TV / Audio und Computertechnik (24,6%), Khlen und Gefrieren (16,1%), Waschen, Trocknen, Splen (13,8%), Warmes Wasser (12,9%), Kochen (9,7%), Licht (8,5%), brige: Klima, Wellness, Garten und Sonstiges (14,4%) Quelle: Energieagentur NRW, www.energieagentur.nrw.de, Stand 2012

3. Sensornetzwerke (area 3)
Die Fahrzeugindustrie stellt Karossorien von Autos, Flugzeugen und Bahnen immer hufiger aus Verbundwerkstoffen her. Aus Kohle- und Glasfasern, Kunst- und Naturharzen gefertigt, sind sie genauso belastbar wie Stahl aber deutlich leichter. Das macht auch die Fahrzeuge viel leichter, und so verbrauchen sie weniger Kraftstoff. Verbundwerkstoffe

1. Mikro- und Nanotechnologien (area 1)


Fr die Energieeffizienz integrierter Schaltkreise sind der Aufbau und die Materialauswahl der Transistoren und Leitbahnen - das Desgin der Bauelemente - von entscheidender

24,6%

16,1%

13,8%

12,9%

9,7% 8,5%

14,4%

Mikro- und nanotechnologien

Hast du dich schon mal gefragt, warum Computer und Smartphones so schnell immer besser werden?
In Sachen Innovationstempo sind Handys und Computer echte Formel-1-Wagen: Kein anderes Produkt entwickelt sich so rasant wie sie, erfhrt so schnell so viele technische Verbesserungen, whrend sein Preis so schnell fllt. Warum ist das so? Weil kein anderes technisches Produkt mit vergleichbarem Preis von so vielen Menschen begehrt wird, und weil die Handy- und Computer-Industrie eben deshalb sehr viel Geld damit verdient. In 2013 so schtzen Branchenbeob achter werden die Smartphone-Hersteller weltweit knapp eine Milliarde Gerte absetzen, was einem Umsatz von 100 Milli arden Dollar entspricht! Aus diesem gewaltigen Dollar-Kuchen mchten sich alle Hersteller natrlich ein groes Stck herausschneiden. Ein knallharter technologischer Wettbewerb ist die Folge: Wer die besten Gerte gnstig anbieten kann, verkauft am meisten und verdient maximal! Und genau deshalb entwickeln sich Handys und Computer so schnell. Aber wie erreichen Computer- und Handy-Hersteller ein so hohes Entwicklungstempo? Die Antwort findest du in deinem Smartphone: Handys und PC verdanken ihre Leistung den weltmarkt fr smart handheld devices (2008 2013) Quelle: IDCs Worldwide Black Book Query Tool, 2010 wachstum (in %)
25 20 15 10 5 0

khle rechner

60 cool silicon

Chips auf ihrer Hauptplatine. Sie bilden die Gehirne der Gerte. Wer die Leistung eines Smartphones (oder PC) steigern will, muss ihnen ein mglichst starkes Gehirn verpassen das heit, er braucht Chips, die sehr komplexe Operationen mglichst schnell ausfhren. Die Chipleistung aber steht und fllt mit der Zahl der Transistoren. Je mehr Transistoren ein Chip hat, umso strker ist er die Transistoren bilden quasi die Gehirnzellen des Schaltkreises. Und weil das so ist (weil zwischen Chipleistung und Transistorzahl ein so enger Zusammenhang besteht), bevorzugen Smartphone- und Computer-Hersteller Chiplieferanten, die ihnen zu einem guten Preis die Chips mit der besten Transistor-Ausstattung anbieten. Und weil auch die Chiphersteller mglichst viel vom Dollar-Kuchen abhaben wollen, liefern auch sie sich einen knallharten Wettbewerb. Gewinner ist in ihrem Fall, wer die Zahl seiner Transistoren am schnellsten zu steigern vermag. Doch wie lsst sich die Zahl der Transistoren steigern ohne dass die Chipflche und die Fertigungskosten ausufern? Na klar: Indem die Transistoren immer kleiner werden! Der Wettbewerb der Chiphersteller um Gewinne und Markterfolg uert sich daher im technologischen Wettlauf um Miniaturisierung um noch winzigere Transistoren und Leitbahnen. Dieser Wettlauf hat bewirkt, dass Transistoren heute ber 1.000mal kleiner sind als vor 40 Jahren, und dass sich die Zahl der Transistoren (und mit ihr die Chipleistung) aller 20 Monate verdoppelt. Gordon Moore, Mitgrnder des ChipRiesen Intel, sah diese Entwicklung schon 1965 voraus und sie hlt bis heute an. Kurzum: Es war vor allem die stete Miniaturisierung der Transistoren und Leitbahnen, die all die groen Fortschritte der Computer- und Mobilfunktechnik bewirkt hat, die wir heute bestaunen. Gewinner sind dabei auch die Verbraucher. Das hohe Innovationstempo hat nmlich zur Freude vieler Kufer auch einen rasanten Preisverfall zur Folge: Neue Gerte, die heute noch das Nonplusultra sind, gibt es in einem Jahr oft schon zum halben Preis.
Anbieter digitaler Dienste nutzen riesige Rechen zentren. Das Google-Rechenzentrum in Council Bluffs (Iowa, USA) ist ber 10.000 Quadratmeter gro. Es ist das Rckgrat von Diensten wie der Google-Suche und YouTube. Solche Serverrume rfordern viel Platz und eine effiziente Energie e nutzung. 2011 hat Google 2,67 Milliarden Kilowatt stunden Elektroenergie verbraucht. In Deutschland entsprche das dem Stromverbrauch von ca. 430.000 bis 530.000 Vier-Personen-Haushalten. oogle kompensiert seinen CO2-Aussto mit Ma G nahmen wie dem Kauf von grnem Strom und massiven Investitionen in Projekte der erneuerbaren Energien (mehr Infos unter: www.google.de/green). (Quellen: Google, Energieagentur NRW)

61

Anzahl der Transistoren

ausgaben (in mrd. US$)


90,8 78,7 65,6 51 52,4

103,8

Der Preis der Miniaturisierung


Steigende Energie- und Umweltkosten trben jedoch die Erfolgsgeschichte: Mit der Leistung wchst nmlich der Stromverbrauch vieler Chips und Gerte. Warum? Die Miniaturisierung hat zwei gegenlufige Folgen: Einerseits sinkt der Stromverbrauch je Transistor, andererseits wchst der Stromverlust, der aufgrund des elektrischen Widerstands des Leitbahnmetalls entsteht. Denn: Mit der fortschreitenden Miniaturisierung schrumpft der Querschnitt der Leitbahnen, damit wchst im gleichen Verhltnis ihr Widerstand. Physikalisch betrachtet, geschieht Folgendes:

Wenn sich Elektronen durch Leitbahnen bewegen, prallt ein Teil von ihnen auf die Atome des Leitbahnmetalls. Das Metall bremst also die Elektronen aus es entsteht Stromverlust (Fachbegriff: Verlustleistung). Dieser Verlust wchst mit der Miniaturisierung der Leitbahnen, weil damit auch die Hufigkeit von Elektronen-Kollisionen zunimmt. Was ist die Folge? Prallt ein Elektron auf ein Atom, so verwandelt sich seine Bewegungsenergie in Wrme. Chips produzieren deshalb umso mehr Wrme, je komplexer ihr Leitbahnsystem ist und je dnner die Leitbahnen werden. Die Wrme wiederum muss abgefhrt werden. Der Chip wrde sonst bersten oder verglhen. Die Hersteller mssen die Chips deshalb immer aufwndiger khlen. Die Khlsysteme (meist Lfter) aber verbrauchen Strom. bertrifft nun der Strom-Mehreinsatz fr die Khlung den Stromgewinn auf Transistorebene, so steigt der Stromverbrauch des Chips an. Vor allem bei leistungsstarken PC- und Grafik-Prozessoren ist das hufig so. Leistungsstarke Workstations und Netzwerk-Rechner (Server) sind deshalb bislang mit fast jeder neuen Chip-Generation stromhungriger geworden, und heute bertreffen ihre Stromkosten oft schon nach zwei Jahren den Kaufpreis. Trotzdem bewerten die Chiphersteller die Geschichte der Miniaturisierung auch unter dem Aspekt des Stromverbrauchs als Erfolg. Zu Recht. Denn: Chips mit so vielen T ransistoren und so groer Leistung wie heute wren gar nicht realisierbar, htte es die Miniaturisierung nicht gegeben. Bei gleicher

Transistorgre wie vor 20 oder 30 Jahren wre der Stromverbrauch heutiger Chips so gro, wren ihre Verlustleistung und Hitzeproduktion so enorm, dass sie sofort verdampfen wrden!

Das Mooresche Gesetz


besagt, dass sich die Transistorzahl je cm2 Chipflche etwa alle 20 Monate verdoppelt. (Quelle: http://de.wikipedia.org/wiki/Mooresches_Gesetz)
Six Core Core i7

2,6 Milliarden 1 Milliarde 100 Millionen 10 Millionen 1 Million 100 Tausend 10 Tausend 2,3 Tausend
4004 80286 Pentium 68000 8086 80386 80186 Pentium 4 AMD K6-III / K7

AMD K10 AMD K8

Core 2 Duo

80486

Pentium II / III

2008

2009

2010

2011

2012

2013

1971 1980 1990 2000 2011 Intel- und AMD-Prozessoren: Einfhrungsjahr

Sensornetzwerke

Smart Materials Kunststoffe mit Kpfchen


Ingenieure und Wissenschaftler des Cool-Silicon-Netzwerkes setzen sich intensiv mit einer neuen, vielversprechenden Materialgruppe auseinander den Verbundwerkstoffen und entwickeln wegweisende Lsungen dafr, indem sie die besagten Werkstoffe mit elektronischer Intelligenz ausstatten.

wozu verbundwerkstoffe ?
berall auf der Welt arbeitet die Fahrzeugindustrie mit Hochdruck an Autos, Flugzeugen und Bahnen, die weniger Treibstoff bentigen. Verbundwerkstoffe bilden neben neuen Antriebskonzepten den Schlssel fr mehr Sparsamkeit auf der S trae, in der Luft und auf der Schiene, denn sie sind deutlich leichter als Stahl, aber genauso belastbar! Die Hersteller knnen damit leichtere Karosserien bauen und wenn Autos, Flugzeuge und Bahnen weniger wiegen, dann verbrauchen sie weniger Kraftstoff! Abbildung rechts: Kohlefasergewebe verleihen den kohlefaserverstrkten Kunststoffen (CFK) besondere Festigkeit, was diese Materialgruppe vor allem fr den Fahrzeugbau interessant macht.

82 cool silicon

Mit 250Stundenkilometern(km/h) Spitzengeschwindigkeit und ber 350 Pferdestrken (PS) ist der BMW i8 Concept ein echtes Kraftpaket doch er wre nur ein Sportwagen unter vielen, htte er nicht diesen sensationell niedrigen Benzinverbrauch: Drei L iter Kraftstoff gengen dem Straenflitzer je 100 Kilometer Fahrstrecke, um seine Qualitten zu entfalten so sparsam waren bisher nicht einmal Kleinwagen! Um so viel Leistung mit so wenig Kraftstoff zu realisieren, hat der bayerische Autobauer alles aufgeboten, was moderne Automobiltechnik hergibt. Neben einem Plug-In Hybridantrieb (einer Kombination aus Benzin- und ElektroMotor) hat er dem BMW i8 Concept u.a. eine Leichtbau-Karosserie aus kohlefaserverstrktem Kunststoff verpasst! Und damit sind wir beim eigentlichen Thema: bei den Verbundwerkstoffen (zu denen auch die kohlefaserverstrkten Kunst stoffe zhlen) und bei einem Forschungsprojekt, das dieser neuen M aterialgruppe den Weg ebnen soll.

hnen besondere Eigenschaften. Zu den Verbundwerkstofi fen gehren z. B. faserverstrkte Kunststoffe sie bestehen aus Kunstharz und einem Gewebekern, der sie besonders widerstandsfhig gegen Zugkrfte macht. Besteht der Gewebekern wie beim BMW i8 Concept aus Kohlefasern, spricht man von kohlefaserverstrktem Kunststoff, besteht er aus Glasfasern, spricht man von glasfaserverstrktem Kunststoff. Verbundwerkstoffe bilden neben neuen Antriebskonzepten den Schlssel fr mehr Sparsamkeit auf der Strae, in der Luft und auf der Schiene, denn sie sind deutlich leichter als Stahl aber genauso belastbar! Die Hersteller von Autos, Flugzeugen und Bahnen knnen damit leichtere Karosserien bauen und wenn ihre Fahrzeuge weniger wiegen, verbrauchen sie auch weniger Kraftstoff!

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Der Schwachpunkt
Havarien von Windkraftanlagen, bei denen Rotorbltter bei Sturm und Gewitter pltzlich brachen, zeigen jedoch, dass der Siegeszug der Verbundwerkstoffe kein glatter Durchmarsch ist. Wir haben viel Erfahrung mit Metallen und knnen z. B. exakt vorhersagen, wann Stahl bricht, sagt der Materialforscher Dr.Dieter Hentschel vom Dresdner Fraunhofer-Institut fr Zerstrungsfreie Prfverfahren (IZFP). Verbundwerkstoffe dagegen sind noch ein ganz junges Gebiet. Wir beginnen gerade erst, Erfahrungen damit zu sammeln, und wissen deshalb in vielen Fllen nicht so genau, wann diese Materialien ihre Belastungsgrenze erreichen.
Gleichzeitig mssen die Rotorbltter relativ schmal sein werden sie nmlich zu breit, wird die Windlast zu gro und dann knnen die Bltter brechen. Schlielich mssen die Rotorbltter mglichst leicht sein, damit auch schwacher Wind sie schon in Bewegung setzen kann. Mit glas-und kohle faserverstrktem Kunststoff lassen sich all diese Eigenschaften hervorragend realisieren Holz dagegen erlaubt nicht so lange Rotorbltter, whrend Metalle als Konstruktionsmaterial zu schwer und/oder zu teuer sind. 1

Wozu Verbundwerkstoffe?
Kunst- oder Naturharze geben den Verbundwerkstoffen ihre Form und Festigkeit, spezielle Beimischungen verleihen Anwendungsfall Windrder

Produzenten von Windkraftanlagen waren und sind Pioniere beim Einsatz der neuen Materialien: Seit Anfang der 70er Jahre besitzen faktisch alle Windkraftanlagen Rotorbltter aus einem Verbundwerkstoff, der aus glas- und kohlefaserverstrktem Kunststoff besteht (Grafik). Und das hat folgende Grnde: Die Rotorbltter mssen mglichst lang sein, denn mehr Lnge bedeutet eine g rere Flgelflche und damit eine bessere Ausnutzung des Windes als A ntriebskraft.

des Verbundwerkstoffes, aus dem die Windrder von Windkraftanlagen bestehen 1 Polyuretan 3 Epoxidharz 4 Kohlefaser

Schichtaufbau

2 3 4 1

2 Glasfaser

Kommunikationssysteme

Wenn immer mehr Menschen mobil telefonieren, simsen, surfen, posten...


Als Anja mit ihrer Freundin Conny telefoniert, fhrt sie mit der Straenbahn durch Dresden, whrend Conny durch Leipzig schlendert. Anja hier! meldet sich die 14jhrige. Am Wochenende will sie ihre Freundin in Leipzig besuchen, und so machen die beiden jetzt schon Plne. Als Conny ihr Telefonat beendet, denkt sie: Cool: Ich kann mit Anja re den, als se sie direkt neben mir.

So funktioniert Mobilfunk
Energieverluste schwchen jedoch jede Schallwelle, kaum ist sie entstanden, schon wieder ab. Deshalb verlieren akustische Wellen an Lautstrke, je weiter sie sich von ihrer Quelle entfernen. Die Mobilfunktechnik schafft diesen engen Ausbreitungsradius der akustischen Wellen nicht ab sie kann die natrliche Reichweite der Geru sche und Tne nicht vergrern. Aber: Sie kann eine akustische Welle an verschiedenen Orten reproduzieren! Spricht Anja in Dresden in ihr Handy, so sorgt moderne Mobilfunktechnik dafr, dass Connys Handy in Leipzig eine zweite akustische Welle erzeugt, die genauso klingt wie Anjas Stimme eine Kopie der Originalwelle. Und in diesem Kapitel erfhrst du, wie das geschieht. Der Trick ist einfach: Fr den Klang eines Tones sind die Frequenz und die Amplitude der akustischen Welle verant wortlich. Je hher die Frequenz der Welle ist (das ist die Zahl ihrer Schwingungen pro Sekunde, gemessen in Hertz), umso hher klingt der Ton (auch Anjas Stimme also), wh rend die Amplitude (das ist die Hhe der Schwingung) die Lautstrke bestimmt: je grer die Amplitude, umso lauter ein Ton. Wer also in Leipzig eine akustische Welle erzeugen will, die genauso klingen soll wie Anjas Stimme in Dresden, muss dieser Welle die gleiche Frequenz und Amplitude wie dem Original in Dresden verpassen. Handys und digitale

Mobilfunknetze sind die Lsung dieser Herausforderung. Du kannst dir die gesamte Mobilfunktechnik, die sich zwi schen Anja in Dresden und Conny in Leipzig befindet, wie eine Kette von Dominosteinen vorstellen, die nur dazu dient, Anjas Stimme in Leipzig mit der richtigen Frequenz und Amplitude zu reproduzieren und zwar kabellos und selbst dann, wenn Anja und Conny unterwegs sind. Und diese Kette ist gar nicht so kompliziert. Verfolgst du Anjas Stimme auf ihrem Weg nach Leipzig und siehst dir die wichtigsten Stationen etwas nher an, wirst du leicht verstehen, wie diese Kette funktioniert! Begleiten wir also Anjas Stimme auf ihrer Reise nach Leipzig wir starten in Dresden.

auch die Spule ihre Schwingungsrichtung ndert. Ein digitaler Signalprozessor (DSP) das ist ein spezieller Mikrochip misst nun 16.000 Mal pro Sekunde die Strke und Richtung dieses Induktionsstroms, bersetzt die Messwerte in Binrzahlen (ein Vorgang, der Digitali sierung heit) und schreibt die Binrzahlen (sprich: die Stromstrke-Messwerte) in seinen Speicher. Knntest du die Stromimpulse selbst messen, die Anja mit ihrer Stimme in der Drahtspule auslst, so wrdest du feststellen, dass sie exakt der Frequenz und Amplitude ihrer Stimme entsprechen. Je lauter Anja spricht, um so grer wird die Amplitude des Schalls ihrer Stimme, und umso strker fliet im gleichen Verhltnis der Strom, den die Schallwelle in der Drahtspule auslst. Spricht Anja mit hherer Stimme, wchst die Frequenz der Schallwelle und damit wchst im gleichen Verhltnis das Tempo, mit dem der Induktionsstrom in der Spule seine Richtung wechselt. Kurzum: Die Stromstrke-Messwerte geben exakt ber Anjas Stimme Auskunft! Bei der Digitalisierung geht diese Information auf die Binrzahlen ber. Das funktioniert so: Der Digitalisierung liegt eine Skala zugrunde, die das Stromstrkespektrum in der Drahtspule des Handymikrofons beschreibt vom Minimum bis zum theoretischen Maximum (sagen wir: von -1 bis +1 Milliampere). Diese Stromstrkeskala unterglie dert sich in 256 achtstellige Binrzahlen (sprich in Binr

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Anja glaubt nicht an Wunder, aber die Leistung moderner Mobilfunktechnik erstaunt sie, ist doch die Reichweite der menschlichen Stimme begrenzt. Liegen nur 1.000 Meter zwischen zwei Menschen, so knnen sie sich ohne Technik schon nicht mehr verstndigen, was daran liegt, dass sich unsere Stimme als Schallwelle ausbreitet. Schallwellen entstehen, weil Teilchen in Schwingung geraten und weil sich die Schwingungen auf benachbarte Teilchen ber tragen. Im Fall unserer Stimme versetzen wir mit unseren Stimmbndern die Teilchen unserer Atemluft in Schwingung. Vor unserem Mund bertragen sich die Schwingungen der Atemluftteilchen auf benachbarte Luftteilchen, von dort auf die nchsten Luftteilchen usw. So bewegt sich die akustische Welle in den Raum hinaus, erreicht das Ohr unseres Gesprchspartners, versetzt dort das Trommelfell in Schwingung, und so hrt unser Gesprchspartner, was wir sagen.

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Die wundersame Reise der Stimme


Station Nummer eins ist natrlich Anja mit ihrem Handy. Wenn Anja spricht, verlsst ihre Stimme als Schallwelle ihren Mund, trifft auf das Mikrofon ihres Handys und bringt dort mit ihrem Schalldruck eine Membran zum Schwingen. Die Schwingungen der Membran bertragen sich auf eine kleine Drahtspule, die einen Dauermagneten umschliet, und bringen auch sie zum Schwingen. Dem physikalischen Gesetz der elektromagnetischen Induktion folgend, lst das Magnetfeld des Dauermagneten in den Windungen der Drahtspule einen winzigen elektrischen Strom aus, sobald die Spule schwingt, und dieser winzige Induktionsstrom wechselt jedes Mal die Richtung, wenn

so funktioniert mobilfunk

bertragung des Funksignals vom Mobiltelefon zurnchstgelegenen Basis station via Antenne
basisstation

Conny empfngt ber ihr Mobiltelefon Anjas Stimme


1
basisstation

2
basisstation

Dresden

Leipzig

Anja spricht in ihr Mobiltelefon

andere mobiltelefone

membran membran kabelnetz internet / festnetz schallwelle spule, magnet schallwelle

spule, magnet

Umwandlung von Schall (akustische Welle) in elektrischen Strom

Umwandlung von elektrischem Strom in Schall

ausbildung & beruf


bersicht mglicher berufe Einstiegsgehlter (Jahresgehalt) Universittsabsolventen: ab 50.000 Euro Fachhochschulabsolventen: 40.000 50.000 Euro Ausbildungsabsolventen: 20.000 24.000 Euro (jeweils abhngig vom Berufsbild und der Gre des Unternehmens) Auswahl von Studiengngen, deren Absolventen in der Halbleiterindustrie gebraucht werden:  Elektro- und Informationstechnik  Mechatronik und Mikrotechnik  Informatik  Maschinenbau, Schwerpunkt Konstruktion  Nachrichtentechnik  Verfahrens- und Chemietechnik  Automatisierungs- und Produktionstechnik  Wirtschaftsingenieurwesen, Schwerpunkt Logistik Auswahl von Ausbildungsberufen, deren Absolventen in der Halbleiterindustrie gebraucht werden:  Elektroniker/-in (z.B. Automatisierungsoder Informationstechnik)  Fachinformatiker/-in (z.B. fr Anwendungsentwicklung)  Industrietechnologe/-technologin (z.B. Automatisierungs- / Nachrichtentechnik)  IT-System-Elektroniker/-in  Industriemechaniker/-in  Informationselektroniker/-in Duales Studium (Studium mit integrierter Berufsausbildung an einer Berufsakademie):  Ingenieur fr Mechatronik  Ingenieur fr technische Informatik  Ingenieur fr Fahrzeugelektronik

ausbildung & beruf

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Gefragte Berufe
Einen Beruf in der Mikroelektronik zu ergreifen, bedeutet, sich tglich mit hochkom plexen Sytemen zu beschftigen Wir sprachen mit Dirk Gnewekow ber die Job- Situation in der schsischen Mikroelektronik und baten ihn um Tipps fr Jugendliche.
Herr Gnewekow, Sie beschftigen sich seit Jahren intensiv mit den Jobs der schsichen Mikroelektronik. Wo stecken denn hier die groen Chancen welche Berufe werden knftig dringend gebraucht? Dirk Gnewekow Gefragt sind alle Ausbildungswege, die sich mit Mechanik, Elektrik und Elektronik befassen. Also Berufe, wie der Mechatroniker, der Mikrotechnologe, Industriemechaniker oder IT-Systemelektroniker, die es in den verschiedensten Varianten gibt. Dazu kommen kaufmnnische Ausbildungen mit dem Schwerpunkt IT, wie der IT-SystemKaufmann oder die Informatik-Kauffrau, die sich mit Softwarelsungen und Kommunikationssystemen beschftigen. Und natrlich alle ingenieursnahen Studiengnge, die sich mit diesen Themen wissenschaftlich auseinandersetzen. Wo knnen sich denn Technikbegeisterte hier in der Region ausbilden lassen? Die interessanten Adressen fr potenzielle Studenten sind die Technischen Universitten und Hochschulen in Dresden, Chemnitz und Freiberg, die Fachhochschulen in Mittweida und Senftenberg sowie die HTW Dresden. Wer einen betrieblichen Ausbildungsplatz sucht, kann sich z.B. bei den Unternehmen der Halbleiterbranche in Dresden, Chemnitz und Freiberg, den Autozulieferern und Logistikfirmen rund um Zwickau, Leipzig und Chemnitz oder bei Bombardier und Siemens in Bautzen und Grlitz bewerben. Neben diesen groen Ausbildern suchen auch viele kleine Firmen nach fhigem Fachkrftenachwuchs. Sie sprechen regelmig mit Personalchefs groer Firmen. Was erwarten die von ihren knftigen Mit arbeitern ber reines Fachwissen hinaus? Gefragt sind vor allem Eigeninitiative und Lernwilligkeit. Die Chefs wollen spren, dass man Lust auf den Job hat und Interesse dafr mitbringt, tglich etwas Neues zu l ernen. iele dieser Jobs verlangen auerdem Teamarbeit. Man V sollte also in der Lage sein, mit wechselnden Kollegen zu kooperieren, um gemeinsam komplexe Frage stellungen zu bearbeiten. Das geschieht vor allem ber Kommuni kation und ist die Grundlage fr eine positive Arbeitsatmosphre. Zu den Basics sollten auerdem gute Englischkenntnisse und Sicherheit im Umgang mit einem PC gehren. Wie gelingt Schlern und Studenten der optimale Berufseinstieg? Kleine Unternehmen bieten oft groe Chancen. Wer hier als Praktikant, Werksstudent oder Diplomand gute Arbeit leistet, hat beste Aussichten auf einen direkten Berufseinstieg nach Ausbildung oder Studium. Doch diese Angebote hngen nur selten an den Hochschulen und Berufsschulen aus, weil viele Arbeitgeber gar nicht wissen, wo berall potenzieller Nachwuchs ausgebildet wird. Hier lohnt es sich fr Schler und Studenten, selbst aktiv zu werden und direkt bei den Unternehmen nachzufragen. Welche Tipps mchten Sie dem Nachwuchs noch mit auf den Weg geben? Ich empfehle immer, die Ausbildung oder das Studium mglichst schnell abzuschlieen und dabei mglichst viel Praxis erfahrung zu sammeln durch Praktika, Schnuppertage, Ferien- oder Nebenjobs. Bewerber, die schon Praxiserfahrung haben, finden nach der Ausbildug oft nahtlos in den Job. Wichtig ist auch, Kontakte in der Branche zu knpfen und sich in Netzwerken zu engagieren. Hier flieen die Informationen oft schneller als anderswo. Wer den Fokus auf die Karriere legt, sollte zudem auch ein Semester oder Praktikum im Ausland absolviert haben. Und ich mchte die Berufsanwrter ermuntern, ihre Strken zu finden und sich darauf zu konzentrieren. Tiefes Fachwissen zhlt mehr als breites Allgemeinwissen.

Unternehmensberater bei MercuriUrval, Leiter des Arbeitskreises Personal entwicklung beim Silicon Saxony e.V. Studium der Sozialarbeit und Soziologie T  tigkeiten als Projekt- und Bereichsleiter in der Marktforschung sowie als SeniorRecruitment Manager eines internationalenHalbleiterkonzerns Unternehmensberater bei Mercuri Urval D  irector, Manager Products & Services  Beratungsschwerpunkte: u.a. Suche/Auswahl von Fach- und Fhrungskrften, Potenzial analysen, interne Personalentwicklung

Dirk Gnewekow

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Elbe

leipzig

Dresden

Freiberg

chemnitz Ausbildung Forschung

ausbildung und forschung in sachsen Dresden Ausbildung Technische Universitt Dresden dresden chip academy (dca) Forschung Nanoelektronische Technologien am Fraunhofer-Institut IPMS, Dresden Nanoelectronic Materials Laboratory gGmbH (NaMLab), Dresden Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V. (HZDR) Fraunhofer-Institut fr Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (FEP), Dresden Zentrum fr mikrotechnische Produktion (ZP), Dresden Vodafone Stiftungslehrstuhl fr Mobile Nachrichtensysteme, Dresden Fraunhofer IZM All Silicon System Integration Dresden (ASSID) Fraunhofer-Institut fr Photonische Mikrosysteme (IPMS), Dresden Institut fr Angewandte Photophysik (IAPP), TU Dresden Fraunhofer-Einrichtung fr Organik, Materialien und Elektronische Bauelemente (COMEDD), Dresden Leipzig Ausbildung Hochschule fr Telekommunikation Leipzig (HfTL) Chemnitz Ausbildung Technische Universitt Chemnitz Forschung Zentrum fr Mikrotechnologien (ZfM), TU Chemnitz Fraunhofer-Institut fr Elektronische Nanosysteme (ENAS), Chemnitz Institut fr Print- und Medientechnik der Technischen Universitt Chemnitz (pmTUC) Freiberg Ausbildung Technische Universitt Bergakademie Freiberg Forschung Helmholtz-Institut Freiberg fr Ressourcentechnologie Fraunhofer-Technologiezentrum Halbleitermaterialien (THM), Freiberg

impressum Copyright der deutschsprachigen Ausgabe 2013 by 3D Infotainment Technologies UG (haftungsbeschrnkt) Dieses Buch wurde gestaltet und produziert von 3D Infotainment Technologies UG (haftungsbeschrnkt), Bayreuther Str.32, D-01187 Dresden, Telefon: 0049 351 470 84 26, www.3dit.de Titel der deutschsprachigen Ausgabe NanoScout. Spannende Welt der Mikroelektronik Auftraggeber Technischen Universitt Dresden, www.tu-dresden.de produziert im Rahmen des Bildungsprojektes des Cool Silicon e. V., www.cool-silicon.de/projekte/ Gefrdert vom Bundesministerium fr Bildung und Forschung, www.bmbf.de Konzeption, Redaktion und Autor: Ingolf Seifert Fachcoach Mikroelektronik: Dr. Henry Wojcik Texte: Guntrade Roll, Henry Wojcik (S. 66, 67), Berit Tolke (S. 93-95), Ingolf Seifert (brige Seiten) Grafiken: Ingolf Seifert, Arne Rein, Lorenz Wieseke, Stefan Schmutz, Frank Zimmer Grafikdesign und Layout: Arne Rein Das Werk einschlielich aller seiner Teile ist urheberrechtlich geschtzt. Jede Verwertung auerhalb des Urhebergesetzes ist ohne Zustimmung des Verlages unzulssig und strafbar. Das gilt insbesondere fr Vervielfltigungen, bersetzungen, Mikroverfilmungen und die Einspeicherung und Verarbeitung in elektronischen Systemen. Es ist deshalb nicht gestattet, Abbildungen dieses Buches zu scannen, in PCs oder auf CDs zu speichern oder in Computern zu verndern oder einzeln oder zusammen mit anderen Bildvorlagen zu manipulieren, es sei denn mit schriftlicher Genehmigung des Verlages. Bei der Anwendung in Beratungsgesprchen, im Unterricht und in Kursen ist auf dieses Buch hinzuweisen. Jede gewerbliche Nutzung der Arbeiten und Entwrfe ist nur mit Genehmigung von Verfasser und Verlag gestattet. Wichtiger Hinweis Die Verfasser und der Verlag haben die im Buch verffentlichten Inhalte mit grter Sorgfalt erarbeitet und geprft. Eine Garantie kann dennoch nicht bernommen werden. Ebenso ist eine Haftung der Verfasser und des Verlages und ihrer Beauftragten fr Personen-, Sach- oder Vermgensschden ausgeschlossen. Printed in Germany ISBN 978-3-00-041950-8 Bitte besuchen Sie uns auch im Internet unter der Adresse: www.3dit.de Das Mikrochip-ABC Fr eine menschliche Welt und einen grnen Planeten Alles ber integrierte Schaltkreise: Einsatz, Herstellung, Berufs chancen, Handbuch, Homepage, Unterrichtsleitfaden und Lernsoftware fr Schler, Lehrer und Studenten erscheint 2014, www.mikrochip-abc.de Abbildungsverzeichnis Organisation / Firma / Vorname Name (Archiv) [Seitenzahl] Kapitel 1 Einfhrung: Die Welt braucht dich Thomas Mikolajick / Cool Silicon e. V. [3], Iakov Kalinin, Sasha Radosavljevic (@istockphoto) [6], Alexey Khrulev (@wikipedia. de), Infineon Dresden, Globalfoundries [4/5], Iakov Kalinin, Sasha Radosavljevic (@istockphoto) [6], Armin Kbelbeck (@wikipedia. de) [8/9], Corbis [10], SIO Scripps Institution of Oceanography (UCSan Diego) [11], NGDC (GLCF/USGS/DLR) [12], SIO [12], AWI Alfred-Wegener-Institut [14], Falk Blmel (@pixelio.de) [15], 3Dit [16/17], AWI Sepp Kipfstuhl, Hannes Grobe [18/19] Kapitel 2 Basics: Ein wenig Grundlagenwissen Alexey Khrulev (@wikipedia.de) [20], Regina Hartfiel (privat) [22], Siemens-Pressebild (#SOICSG201201-01) [24], BMVBS [26], Jacobo Corts Ferreira (@cgtextures.com) [30] Kapitel 3 Fertigung: So entsteht ein Mikrochip Infineon Dresden [40], Infineon Dresden [42], Hagen Rtz [43], Purdue University [43], Birgit Tippelt (@Infineon Dresden) [43], Infineon Dresden [44], Namlab [66], Katharina Knaut [67] Kapitel 4 Cool Silicon: Klimaschutz auf Ingenieursart GLOBALFOUNDRIES [72, 79], Fraunhofer IPMS, SAW, Infineon [74], silicon saxony [75], Areasur (@istockphoto) [75], Google [77], Intel [77], BMW GROUP [83], IZFP [84], uniball (@istockphoto) [87], Katharina Knaut [93] [94], Dirk Gnewekow [95], Sebastian Bernhard (@pixelio.de) [95] Umschlag Jos Manuel Ferro (@istockphoto) [U2], Agricultural Research Service [U3] alle weiteren Fotos, Abbildungen und 3D-Darstellungen 3Dit, 2013

Die Welt steht vor einer epochalen Umwlzung. Die globale Erwrmung zwingt die Menschheit, das System ihrer Energieerzeugung bis zum Jahr 2050 vollstndig auf Sonne, Wind und Erd wrme umzustellen eine technische Revolution kndigt sich an, die in ihrer Tragweite wohl alles Dagewe sene bertrifft. Die Ingenieure der elektronischen Industrie werden in vorderster Reihe an dieser Revolution mitwirken denn eine Gesellschaft, in der Wohlstand und Fortschritt nicht auf Umweltzerstrung und rck sichtsloser Ressourcenausbeutung beruhen, ist ohne Mikroelektronik nicht denkbar. Wir mssen viele der ntzlichen Gerte, die wir schon heute im Alltag benutzen, in Zukunft sehr viel mehr mit Intelligenz versehen. Wir brauchen zum Beispiel Computer, die von selbst ihren Stromverbrauch drosseln, wenn sie nicht so viel zu tun haben, und Khlschrnke, die sich automatisch fr ein bis zwei Stunden abschalten, wenn die Solar anlage auf dem Dach mal nicht genug Strom liefert. In diesem Buch erfhrst du, wie solche Lsungen mglich sind. Wir erklren dir, wie Elektronik-Ingenieure technische Gerte und Systeme mit der Fhigkeit ausstatten, selbstndig und zielgerichtet zu handeln, sich selbst zu berwachen und auf ihre Umwelt zu reagieren. Damit du verstehst, wie solche Lsungen funktio nieren, impfen wir dich im Kapitel Bascis ein wenig mit Grundlagenwissen. Du erfhrst, was ein Halb leiter ist, wie ein Transistor funktioniert, und wie ein Mikrochip logische Operationen ausfhrt. Im Kapitel Fertigung reisen wir mit dir durch den Fertigungsprozess eines integrierten Schaltkreises. Und im Kapitel Cool Silicon erfhrst du schlielich, wie schsische Ingenieure zur globalen Energie-Wende beitragen.

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