CARRERA DE INGENIERIA MECANICA

AUTOMOTRIZ.
MATERIA:
DISEO MECANICO
5to CICLO.
INTEGRANTES:
AGUILAR ROMERO ANGEL YASMANY
DELGADO CALLE ESTEBAN HOMERO.
RIVERA CARAVAJO JUAN ANDRES

PROFESOR:
M.I. Jonathan Pozo Palacios.

Octubre 2014- Marzo 2015.

INTRODUCCION
1. Objetivos
1.1 Objetivo General

1.2

Objetivos Especficos

2. Marco Terico

2.1. Sistemas microelectromecnicos (MEMS)

2.1.1

Qu son?

Los Sistemas Microelectromecnicos (Microelectromechanical Systems, MEMS) se

refieren a la tecnologa electromecnica, micromtrica y sus productos, y a escalas
relativamente ms pequeas (escala nanomtrica) se fusionan en sistemas
nanoelectromecnicos (Nanoelectromechanical Systems, NEMS) y Nanotecnologa.
(wikipedia).

http://es.wikipedia.org/wiki/Sistemas_microelectromec%C3%A1nicos#Procesos_MEMS

El anlisis de elementos finitos es una parte importante del diseo de MEMS. La

tecnologa de sensores ha hecho progresos significativos debido a los MEMS. La
complejidad y el rendimiento avanzado de los sensores MEMS han ido evolucionando
con las diferentes generaciones de sensores MEMS. (wikipedia)
http://es.wikipedia.org/wiki/Sistemas_microelectromec%C3%A1nicos#Procesos_MEMS

Se refieren a los sistemas en pequea escala que utilizan componentes mecnicos,

pueden incluir tambin componentes electrnicos. Aquellos sistemas MEMS que
utilizan componentes biolgicos o alteran una variable biolgica se conocen como BIOMEMS.
Los MEMS son dispositivos fabricados a micro escala en un proceso por lotes (circuitos
integrados y microestructuras) que convierten una seal mecnica o bilgica en elctrica
y viceversa. En la figura se muestra el ejemplo de un MEMS que es un sistema de
engranes. (saberesyciencias)

Figura1. Sistemas Microelectromecnicos. (saberesyciencias)

http://www.saberesyciencias.com.mx/sitio/component/content/article/10-portada/280sistemas-micro-electromecanicos
Desarrolladas para la industria de los circuitos integrados para aadir elementos
mecnicos tales como vigas, engranajes, diafragmas y resortes a los dispositivos.

Figura2. Sistemas Microelectromecnicos en la industria.

2.1.1.1

Ventajas de MEMS

Procesos de fabricacin en lotes para grandes volmenes de componentes a bajo

coste.
Producir dispositivos mecnicos ms pequeos, livianos, en versiones ms
rpidas, con mayor precisin, consumos de energa reducidos, biocompatibles.
Producir sensores, aprovechando las propiedades electro mecnicas del Si,
donde las caractersticas elctricas cambian en respuesta a cambios de
parmetros particulares externos como: temperatura, presin, aceleracin,
humedad y radiacin. (Las nuevas tecnologas de Sistemas, 2012)

2.1.2

Para qu sirven?

Estos sistemas pueden detector, controlar y activar procesos mecnicos en la escala de

micras, y funcionar de forma individual o en arreglos para generar efectos en la escala
macro. La tecnologa de fabricacin en escala micromtrica permite la fabricacin de
una gran cantidad de conjuntos de dispositivos, que individualmente realizan tareas
sencillas, pero en combinacin pueden realizar funciones complicadas.
Aplicacin de Memes son las siguientes:

Figura3. MEMS con superficies rotatorias

y engranes de interferencia.

Figura4. MEMS motor rotatorio

electroesttico.

En un sistema, los circuitos integrados son la parte "pensante", mientras que, los MEMS
complementan esa inteligencia con una percepcin activa y con funciones de control.
Segn esto, hay dos clases de MEMS: sensores y actuadores. Los sensores son los
dispositivos que detectan informacin. Esa informacin puede ser de diversos tipos,
como por ejemplo: informacin de procesos fsicos, biolgicos, qumicos y pticos. Por
otro lado, los actuadores son los dispositivos que responden o actan segn el anlisis
realizado por la electrnica del aparato. Esas respuestas se traducen en movimientos,
filtrados, etctera, basados en una instruccin previamente diseada. (ingeniatic, 2013)
http://ingeniatic.euitt.upm.es/index.php/tecnologias/item/516-memsmicroelectromechanical-systems

2.1.3

Cmo es el proceso de diseo?

Los procesos de fabricacin relacionados con los Sistemas Micro

Electro Mecnicos (MEMS) y los sectores de la microelectrnica se
basan en tecnologas planas o 2D. Esto con lleva que se produzcan
componentes o productos dentro o sobre obleas planas.
Los componentes MEMS parten de una oblea preparada normalmente
de silicio, limpia y oxidada. Una vez preparada, las obleas se procesan
generando estructuras en capas diferentes. Esta estructuracin
consiste en proyectar mediante tcnicas fotogrficas la estructura
deseada sobre una capa fotosensible que cubre la oblea, seguido de
un proceso qumico o fsico que elimina o aade material con el fin de
crear una estructura. El diagrama bsico del proceso de micro
mecanizado MEMS se muestra en

Figura5. Mico mecanizado de MEMS.

Tcnicas similares, como la litografa de rayos X, litografa por haz de

partculas cargadas, litografa ultravioleta extrema, etc. Por otra parte
resulta muy importante la tendencia al alza de nuevas tecnologas de
litografa, como la microesterolitografa, que presenta la capacidad de
generar microestructuras con gran repetibilidad en 3D
La microfabricacin de MEMS se divide actualmente en tres
tecnologas principales que son el micromecanizado en volumen, el
micromecanizado superficial y el micromoldeo (LIGA). Estas tcnicas
agrupan
diferentes
tecnologas
previamente
mencionadas. (micromanufacturing, 2011)

http://www.micromanufacturing.net/didactico/Desarollo/microtechnologies_es/1-7clasificacion/1-7-1-mems-processes
La fotolitografa y el micromaquinado, son tcnicas fundamentales para la fabricacin
de MEMS
Adems, uno de los elementos bsicos en el procesamiento de MEMS es la capacidad
de depsito de pelculas delgadas de materiales, que pueden tener un espesor de entre
unos pocos nanmetros a unos 100 micrmetros. Los procesos de deposicin de uso
comn son: Electroenchapado (Electroplating), Deposicin Pulverizada (Sputter
deposition), ladeposicin de vapor: fsica (PVD) y qumica (CVD). (academia.edu,
2011)

http://repositorio.espe.edu.ec/bitstream/21000/3475/1/T-ESPE-031205.pdf
2.1.3.1

Grabado hmedo

El ataque sobre el material se produce por la accin de un lquido. Puede ser:

Isotrpico
Anisotrpico

Figura6. Proceso grado hmedo.

2.1.3.2 Grabado en seco

Grabado de un slido por un plasma o gas
Tipos:
Fsico: bombardeo de iones (Physical Sputtering)
Qumico: reaccin en la superficie (Plasma Etching)
Combinacin fsica/qumica (Reactive Ion Etching)

Figura7. Proceso Grado Seco.

2.1.3.3 Liga
Se fabrica un molde grueso de fotorresina de rayos X.
El molde se rellena con metal.
El metal puede ser el producto final, o a su vez un molde para
plstico.

Figura 8. Proceso liga.

2.4 Cmo es el proceso de manufactura?

El proceso de manufactura para los MEMS se emplea mtodos qumicos,
electrnicos, con lser.
2.4.1 Maquinado qumico

Se desarrolla con base en la observacin que algunas atacan a los metales

y lo corroen, quitando pequeas, micro cantidades de materiales de la
superficie. Este proceso se efecta por disolucin qumica, usando
sustancias reactivas y ataque, pueden ser soluciones acida o alcalinas.
(Fundamentosdemanufactura)
El proceso de maquinado qumico consta de varios pasos. Las diferencias
en las aplicaciones y las secuencias en que se realizan las etapas
establecen las diferentes formas del CHM. Los pasos son los siguientes:
1) Limpieza. El primer paso es un opreacion de limpieza para asegurar
que el material se remueva en forma uniforme de las superficies que
se van a atacar.
2) Enmascarillado. Un recubrimiento protector se aplica a ciertas zonas
de la arte. Este protector esta hecho de material qumicamente
resistente al material de ataque qumico ( el termino resistente se unas
para el material protector). Por lo tanto solamente se aplica a aquellas
porciones de la superficie de trabajo que no se va a atacar.
(Fundamentosdemanufactura)
3) Ataque qumico. Este es el proceso de remocin de material. La
pieza de trabajo se sumerge en un material de ataque qumico que
afecta aquellas porciones de la superficie de pieza que no estn
protegidas. En el mtodo normal de ataque, el material de trabajo se
convierte en una sal que se disuelve dentro del material de ataque
qumico, y posteriormente se remueve de la superficie. Una vez que
se ha removido el material, se retira la parte del material de ataque
qumico
y
se
enjuaga
para
detener
el
proceso.
(Fundamentosdemanufactura)
4) Desenmascarillado. Se retira el protector de la parte.

2.5 Aplicaciones
Producir dispositivos mecnicos ms pequeos, livianos, en versiones ms
rpidas, con mayor precisin, consumos de energa reducidos, biocompatibles.
Producir sensores, aprovechando las propiedades electro mecnicas del Si,
donde las caractersticas elctricas cambian en respuesta a cambios de
parmetros particulares externos como: temperatura, presin, aceleracin,
humedad y radiacin.
El uso de materiales y procesos comunes, que integran la microelectrnica con
componentes micromecnicos, para lograr mejoras en el funcionamiento y en los
costos.
Poder desarrollar procesos tecnolgicos para incluir materiales y tcnicas no
utilizadas en microelectrnica, pero que ofrecen ventajas especificas en la
elaboracin de dispositivos micromecnicos.
Automocin.
En la actualidad los vehculos incorporan microsensores de presin en el sistema de
control electrnico del motor y acelermetros en el airbag.
Nuevas aplicaciones potenciales en materia de gestin del motor, control de la calidad
del aire y de los gases de escape, cajas de cambio, ABS, control de la dinmica del

vehculo y antideslizante, control de navegacin adaptativo (ACC), airbag, deteccin de

obstculos y mejoras en la visibilidad, etc.

Figura 9. MEMS en airbag.

Industria Aeroespacial Y Militar

La NASA se han desarrollado microsismmetros para su utilizacin y uncionamiento en
Marte, as como sismmetros y acelermetros para estudios de microgravedad y
planetarios, otras aplicaciones en el sector que han sido desarrolladas son:
microinstrumentos y microelectrnica para misiones espaciales, microhigrmetros,
micromotores de propulsin, fotodetectores de infrarrojos, microrobots, medidores de
presin de aire, aceleracin, sensores de humedad, presin, gas, temperatura,
estabilizadores, etc.
Medicina
La medicina y la bioqumica son sectores en los que la miniaturizacin es esencial,
gracias a las microtecnologas las nuevas tcnicas en este sector tienden a ser menos
invasivas, ms baratas y con una mayor rapidez y portabilidad en los diagnsticos.
En estas reas se han abierto en los ltimos tiempos lneas de aplicacin novedosas
como las que se indican a continuacin:
Descubrimiento, desarrollo y produccin de frmacos: microreactores, matrices para
muestras con gran nmero de celdas, etc.
Sistemas de dosificacin de medicamentos: pldoras inteligentes, jeringuillas sin aguja,
bombas implantables, inhaladores, etc.
Anlisis de ADN para diagnstico, terapia gentica, caracterizacin e ingeniera
gentica y medicina forense.
Mquinas Herramienta.
La fabricacin de microsistemas requiere utillaje y herramientas adecuados a su tamao
por lo que son necesarios microtaladros y microbrocas de diamante o metales duros, as
mismo para la manipulacin y ensamblado se utilizan herramientas miniaturizadas
como micropinzas, microrobots, etc.

Figura 10. MEMS en mquinas.

Aceites
Tambin se han investigado los lubricantes. Por ejemplo, se sabe que rodear el
dispositivo MEMS con un aceite de silicio prcticamente elimina el desgaste adhesivo,
pero
al
mismo
tiempo
limita
el
desempeo
del
dispositivo.
La tribologa (friccin, desgaste y lubricacin) de los dispositivos MEMS sigue siendo
la principal barrera tecnolgica para que su uso tenga una gran difusin.

Figura 11. MEMS en sensores de presion.

Fueron introducidos en los 60s para aplicaciones militares y aeroespaciales, hoy en da,
juegan un rol muy importante especialmente en la industria biomdica y automotriz.
DEVENTAJAS DE MEMS
Uno de los mayores problemas de los MEMS autnomos es la ausencia de micro

fuentes de energa con alta densidad de corriente, potencia y capacidad elctrica.

(euroresidentes, 2014)
http://www.euroresidentes.com/futuro/nanotecnologia/diccionario/MEMS.htm

2.6 Empresas
INICIA MXICO PRODUCCIN DE TECNOLOGA MEMS PARA LA INDUSTRIA
PRIVADA

El valor del mercado de los MEMS es de 8 billones de dlares y registra un

crecimiento constante de 20% al ao.

UNAM (UNIVERSSIDAD NACIONAL AUTONOMA DE MEXICO).

Latin American Assiciation of Natioanl Academics of Medicine. Bogota- Colombia

MEMS.

Eduardo Robles Belmont. Las Fundaciones en el desarrollo de tecnologas

emergentes: desarrollo de los MEMS en Mxico. VIII Jornadas Latinoamericanas de
Estudios Sociales de la Ciencia y Tecnologa, Jul 2010, Buenos Aires, Argentina.
pp.n/a. <halshs-00507810>

Figura 12. MEMS en sensores.

IMPORTANTW
http://www.gte.us.es/ASIGN/SEA/MEMS3_PROC1_GENERALES_MEMS.pdf
http://www.gdl.cinvestav.mx/ofelia/uploads/JJC2011/Presentaciones/4%20MEMS%20Vida
%20diariaSusanaJJC2011.pdf
http://www.gdl.cinvestav.mx/ofelia/uploads/JJC2011/Presentaciones/4%20MEMS%20Vida
%20diariaSusanaJJC2011.pdf

http://www.cmm.org.mx/index.php/microsistemas/tecnologia-mems

Bibliografia

academia.edu. (29 de Marzo de 2011). Recuperado el 28 de Diciembre de

2014, de academia.edu:
https://www.academia.edu/2115935/MICROTECNOLOG
%C3%8DA_CONCEPTOS_Y_EVOLUCI%C3%93N
micromanufacturing. (12 de Febrero de 2011). Recuperado el 11 de
Diciembre de 2014, de micromanufacturing:
http://www.micromanufacturing.net/didactico/Desarollo/microtechnolo
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de Diciembre de 2014, de Las nuevas tecnologas de Sistemas:
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http://www.euroresidentes.com/futuro/nanotecnologia/diccionario/ME
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Fundamentosdemanufactura. (s.f.). Obtenido de
Fundamentosdemanufactura: https://books.google.com.ec/books?
id=tcV0l37tUr0C&pg=PA700&lpg=PA700&dq=ataque+quimico+proc
eso+de+manufactura&source=bl&ots=7YMub_czUB&sig=N2L1krubB
RBIIpfALGu7tX71Gc0&hl=es&sa=X&ei=miCoVKyMHcqvggSz8oLAAw&
sqi=2&ved=0CCIQ6AEwAQ#v=onepage&q=ataque%20quimico%
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wikipedia. (s.f.). Recuperado el 21 de Diciembre de 2014, de wikipedia:
http://es.wikipedia.org/wiki/Sistemas_microelectromec
%C3%A1nicos#Procesos_MEMS
wikipedia. (s.f.). Recuperado el 21 de Diciembre de 2014, de wikipedia:
http://es.wikipedia.org/wiki/Sistemas_microelectromec
%C3%A1nicos#Procesos_MEMS

Conclusiones
Los MEMS son importantsimos en la actualidad como se ve en el mundo de
aplicaciones que se mencionan en el texto, es increble cmo estamos rodeados de ellos
sin saberlo, cmo estn cambiando el mundo a la vez que se vuelven ms y ms

pequeos, y viendo la historia de su desarrollo me sorprendi que prcticamente se

acu su terminologa hace solo 20 aos, por lo que su crecimiento ao con ao es
increble.
Observ tambin como se integran los temas que hemos visto en la clase hasta ahora
con el tema de los MEMS, lo que ayud a la comprensin del texto y al enriquecimiento
de lo visto en clase. Es impresionante que dispositivos tan pequeos puedan ser creados
y funcionales sin que siquiera podamos verlos, y que dichos dispositivos ahora se
enfocarn a la escala nano, aumentando ms an el nmero de dispositivos en un rea
reducida.