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Pompes transfert de gaz

Pompes cintiques
par

Jean LECLERC
Ingnieur de lcole suprieure de chimie industrielle de Lyon
Docteur 3e cycle chimie minrale et structurale
Consultant

1.

Dfinition normative ...............................................................................

2.
2.1
2.2

Pompes cintiques fluide moteur ....................................................


Pompe vide jecteur..............................................................................
Pompe diffusion........................................................................................
2.2.1 Principe ................................................................................................
2.2.2 Caractristiques ..................................................................................
2.2.3 Mise en uvre ....................................................................................
Pompe diffusion et jecteur (booster vapeur dhuile) .....................

2
2
2
2
3
5
6

Pompes cintiques entranement mcanique ..............................


Dpresseurs turbine .................................................................................
3.1.1 Dpresseurs flux axial .....................................................................
3.1.2 Dpresseurs flux radial ...................................................................
Pompes molculaires ..................................................................................
Pompes turbomolculaires.........................................................................
3.3.1 Principe ................................................................................................
3.3.2 Caractristiques ..................................................................................
Pompes turbomolculaires hybrides .........................................................
Pompes turbomolculaires cryogniques.................................................

6
6
7
7
8
9
9
10
12
12

2.3
3.
3.1

3.2
3.3

3.4
3.5

BM 4 272 - 2

Pour en savoir plus ........................................................................................... Doc. BM 4273

ans larticle sur les pompes volumtriques paru dans les Techniques de
lIngnieur, on a pu remarquer que ces pompes avaient pour principe uniquement la compression par variation de volume. Ce nest pas le seul principe
physique permettant dvacuer ou de transfrer des gaz ou des vapeurs dune
enceinte pour la mettre sous vide .
Le second principe utilis consiste changer le vecteur vitesse des molcules
pour les entraner dans un autre milieu. Ce changement peut tre obtenu de plusieurs faons par voie mcanique, en imprimant aux molcules des composantes de vitesse pour les faire circuler o bon nous semble. Ces moyens diffrent
les uns des autres du macroscopique (ailettes de turbine...) au microscopique
(chocs de molcules dun fluide sur les molcules pomper...). Cela nous donnera les diffrents types de pompes :
pompes fluide moteur (jecteur...) ;
pompes entranement mcanique (pompe turbomolculaire, turbine
axiale et canal latral).

Pour de plus amples renseignements sur la production du vide et les pompes volumtriques,
on se reportera aux articles [BM 4 270] et [BM 4 271] de ce trait [1] [4].

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Techniques de lIngnieur, trait Gnie mcanique

BM 4272 1

POMPES TRANSFERT DE GAZ ___________________________________________________________________________________________________________

1. Dfinition normative

Air
comprim

Clapet

La norme NF X 10-501 donne la dfinition suivante dune pompe


cintique :

Refoulement

Pompe vide dans laquelle une quantit de mouvement est


communique au gaz ou aux molcules de faon telle que le gaz
est transfr de ladmission vers le refoulement. On distingue
les pompes cintiques fluide moteur et les pompes cintiques
entranement mcanique.

Ces deux groupes sont tudis par la suite.

2. Pompes cintiques fluide


moteur
Ce groupe comprend plusieurs types de pompes bass sur le
mme principe physique.
Nous distinguerons deux sous-groupes :
le premier, essentiellement destin au vide industriel (ou vide
grossier), couvrant le domaine des pressions depuis une atmosphre jusquaux environs de quelques pascals ;
le second allant de quelques pascals au vide pouss et lultravide.

2.1 Pompe vide jecteur


Dfinition normative : Pompe cintique qui utilise la dpression cre par un effet Venturi et dans laquelle le gaz est
entran dans un jet grande vitesse vers le refoulement. Un
jecteur fonctionne correctement dans les conditions dun
rgime visqueux ou intermdiaire.

Aspiration
Figure 1 jecteur (doc. PIAB)

2.2 Pompe diffusion


Dfinition normative : Pompe cintique dans laquelle une
nappe de vapeur faible pression anime dune grande vitesse
sert de fluide dentranement. Les molcules de gaz diffusent
dans cette nappe et sont entranes vers le refoulement. Le
nombre volumique de molcules de gaz est toujours faible dans
la nappe de vapeur. Une pompe diffusion fonctionne correctement en rgime molculaire .

Le terme pompe diffusion nest pas correct car le mot diffusion


na rien voir avec le mode de fonctionnement. Cest une habitude
des techniciens du vide : il faut parler de pompe jets de vapeur.
Ce sont essentiellement des pompes secondaires pour le vide
pouss et lultravide. Elles ne peuvent fonctionner que prvides
par une pompe primaire qui abaissera pralablement la pression
dans le domaine intermdiaire et molculaire o le libre parcours
moyen des molcules pomper sera suprieur quelques centimtres (une dizaine de pascals).

2.2.1 Principe
Pour une tude dtaille sur les jecteurs, le lecteur se reportera
larticle [B 4 250] de ce trait [5].
Suivant la nature du fluide, nous aurons trois types de pompes :
la trompe vide : jecteur qui utilise un liquide (habituellement de leau) comme fluide dentranement ;
ljecteur gaz pour le vide : jecteur qui utilise un gaz non
condensable comme fluide dentranement ;
ljecteur vapeur pour le vide : jecteur qui utilise une
vapeur (deau, de mercure ou dhuile) comme fluide dentranement .
Remarque : lindustrie de la manutention a dvelopp des petits
jecteurs air comprim compacts plusieurs tages (figure 1).
Ces jecteurs peuvent aussi tre utiliss comme pompe primaire
pour amorcer des pompes molculaires et turbomolculaires hybrides (cf. 3.2) [1].

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La figure 2 schmatise une telle pompe dun modle le plus courant.


Dans un rservoir dans lequel on fait un vide pralable, on chauffe
environ 200 C une huile de masse molaire leve (suprieure
250) dont la pression de vapeur temprature ambiante est trs faible (de lordre de 105 Pa et mme moins) et qui aura, une temprature de 200 C, une pression de vapeur relativement leve (de
lordre de 100 Pa).
La vapeur dhuile monte dans les collecteurs et est envoye dans
le rservoir par des tuyres qui lui donnent une vitesse supersonique. Le jet de vapeur atteint la paroi refroidie par circulation deau.
La vapeur sy condense, coule sur la paroi et, par gravit, revient
la chaudire. Lhuile en phase vapeur et liquide travaille donc en circuit ferm.
Pendant leur trajet dans le rservoir, les molcules du jet de
vapeur entrent en collision avec celles du gaz pomper.

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Aspiration
(basse pression)

Fluide
de pompage
Molcules
de gaz

POMPES TRANSFERT DE GAZ

Dbit-volume
(units arbitraires)

H2

Rfrigrant

He
1er tage

Vapeur
de dcomposition
du fluide

N2
Ar

Refoulement
(haute pression)

2e tage

Vapeur du fluide
de pompage

Chicanes
3e tage
1013

Retour
des vapeurs
condenses
4e tage
(jecteur)

1011

109

107

105

103
101
Pression (hPa)

Figure 3 Dbit-volume dune pompe diffusion


en fonction des gaz pomps

Bouilloire
Fluide
de pompage

Chauffage
lectrique
Figure 2 Pompe diffusion : mcanisme (doc. Varian)

La quantit de mouvement de la molcule de vapeur dhuile


(masse leve, grande vitesse) est considrablement plus grande
que celle du gaz pomper ; la molcule du gaz pomper est donc
renvoye principalement dans la direction du jet de vapeur.
La combinaison de laction de trois jets (parfois quatre) produit
leffet de pompage dsir.
Le gaz pomp est extrait de la partie infrieure du rservoir par
une canalisation munie de chicanes afin dviter lentranement
dhuile en communication avec laspiration de la pompe primaire.

2.2.2 Caractristiques
Taux de compression et dbit-volume
Comme toute pompe transfert (ou dextraction), une pompe
diffusion peut se caractriser par son taux de compression dbit
nul K0 et par son dbit-volume pour un taux de compression
unit S0 .
En gnral, dans la presque totalit des applications, le taux K0 ,
fort lev, nest pas pris en considration.
Quant au dbit-volume S0 , il est constant dans une trs large
gamme de pression et cest lui qui sert caractriser la pompe (cf.
article [BM 4 270, figure 11]). Il est fonction du diamtre de la pompe
et, thoriquement, proportionnel la surface dentre.
Le dbit-volume maximal thorique Smax est donn par (cf. article
[B 4 020] de ce trait) [6] :

Smax = 11,6 A
avec

surface dentre (cm2),

Smax

exprim en dm3/s pour de lair 20 C.

On dfinit alors un facteur de Ho [12] :

H = S0 /Smax

qui caractrise lefficacit de la pompe. Les pompes rcentes ont un


facteur de Ho suprieur 0,5.
Exemple : une pompe de diamtre 100 mm a un dbit-volume pour
le diazote 20 C de 2 500 dm3/s et une pompe de diamtre 600 mm
un dbit-volume de 10 000 dm3/s (on parle plutt couramment en litres
par seconde).
On nutilise plus gure aujourdhui de pompes diffusion de
grands diamtres (on a fabriqu pour certaines enceintes de simulation spatiales des pompes de 1 500 mm de diamtre). On prfre
actuellement, pour des dbits-volumes suprieurs 10 000 dm3/s,
utiliser des pompes cryogniques (cf. article [B 2 382] du trait
Gnie nergtique) [7].
Il est indispensable de prendre en compte dautres caractristiques spcifiques. Comme le montre la figure 3, le dbit-volume est
fonction de la nature des gaz pomps. Dans une pompe diffusion,
les gaz lgers (dihydrogne, hlium) seront plus facilement pomps
que les gaz lourds masse molaire leve (hydrocarbures) et la
pression limite sera plus mauvaise. Le dbit-volume (ou vitesse de
pompage) est inversement proportionnel la racine carre de la
masse molaire du gaz. Cela est une consquence directe du mode
de fonctionnement.
Rtrodiffusion dhuile
Bien que le jet de vapeur soit dirig par lorientation des tuyres
vers les parois du corps de pompe, une trs faible partie de celui-ci
est disperse dans toutes les directions et, notamment, vers
lenceinte.
Si faible soit-elle, cette rtrodiffusion de vapeur dhuile est gnralement considre comme inadmissible.
Toutes les pompes diffusion sont donc surmontes de dispositifs destins piger ces vapeurs ; ce sont en gnral des structures
chevrons (figure 4) refroidies leau, appeles baffles. Ces baffles
doivent tre optiquement tanches, cest--dire ne pouvoir tre traverss directement par les molcules qui, en rgime molculaire, se
propagent en ligne droite comme un rayon lumineux. Certaines
pompes ont cette structure directement intgre dans la pompe
elle-mme (figure 5).
Pour abaisser encore, sil est ncessaire, la pression de vapeur
saturante de lhuile dans lenceinte, on interpose sur le circuit de
pompage un pige diazote liquide ou un baffle refroidi trs
basse temprature par un circuit frigorifique (procd Polycold ).
Avec de telles prcautions, la rtrodiffusion dhuile peut tomber
des niveaux trs bas, infrieurs aux valeurs mesurables (ne pas

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POMPES TRANSFERT DE GAZ ___________________________________________________________________________________________________________

Assemblage des chevrons


optiquement tanche

Entre et sortie
d'eau

Entre et sortie
d'eau

Pression limite
Cest, en premire analyse, la pression partielle du fluide moteur
qui dterminera la pression limite quon pourra atteindre.
La pression limite est donc dpendante des systmes de pigeage
de lhuile (baffles et piges diazote liquide) que lon aura associs
la pompe elle-mme. Le dgazage des parties internes de la
pompe, des baffles et des piges cre un flux parasite qui peut, lui
aussi, se rpercuter sur la pression limite.
Lhuile, par laction conjugue de la temprature et des gaz pomps, se dgrade en produisant des espces molculaires dont les
pressions partielles de vapeur seront plus ou moins leves. Ainsi,
des masses molaires comprises entre 300 et 600 peuvent exister
dans le rservoir de la pompe. La pression limite de la pompe sera
donne par lespce ayant la plus forte pression partielle. Aussi,
pour amoindrir ce phnomne, on a construit des pompes diffusion fractionnante.

Figure 4 Baffle chevrons

Rservoir
de diazote
liquide

Exemple : une pompe de dbit-volume pour le diazote de


150 dm3/s aura un dbit-volume de 60 dm3/s avec son baffle refroidi
par leau et un dbit-volume de 30 dm3/s avec un pige refroidi au diazote liquide. Avec un tel montage, la rtrodiffusion sera infrieure
109 mg/cm2 min.

Conduite
en cuivre
refroidie
Disque
refroidi
au diazote
liquide

Dfinition normative. Pompe diffusion vapeur dhuile


plusieurs tages, dans laquelle ltage la plus basse pression
est aliment par les lments les plus denses, basse pression
de vapeur, du fluide moteur, tandis que les tages pression
plus leve sont aliments par les lments les moins denses,
de pression de vapeur plus leve .

Le principe consiste faire revenir lhuile dans le bouilleur par


une srie de canaux concentriques. Chaque jet est aliment par une
rgion diffrente du bouilleur. Les jets les plus prs de lextrieur
reoivent les condensats de vapeur les plus lgers et ltage central
reoit le fluide dont la tension de vapeur est la plus basse (figure 6).
Les structures avec peu de brides et des brides joints mtalliques permettent datteindre de meilleures performances.
Le tableau 1 donne une ide des moyens employer pour atteindre le but recherch.
Pression de flux maximal
Au-dessus dune certaine pression p1 dite de flux maximal, le
dbit-volume de la pompe nest plus constant : il dcrot rapidement
et la pompe aspire alors flux constant.
La pression de flux maximal se situe aux environs de 101 Pa.
Cette pression est plus leve pour les pompes de petit diamtre
(2 3 101 Pa pour une pompe de diamtre 100 mm) que pour les
grosses pompes (5 102 Pa pour une pompe de 500 mm).
Pression damorage
Figure 5 Pompe diffusion avec baffles intgrs
et refroidissement au diazote liquide

oublier que la contamination peut provenir du pompage primaire


(cf. article [BM 4 040]) [3].
Ces baffles et ces piges, par leur conductance, rduisent le dbitvolume dune faon trs importante. Aussi les constructeurs donnent-ils dans leurs catalogues la conductance des baffles ainsi que
les valeurs de rtrodiffusion obtenues, qui dpendent dailleurs des
huiles utilises.

BM 4272 4

Ce rgime flux constant cesse pour une pression dite damorage p2 au-dessous de laquelle la vitesse de pompage est nulle. Les
pressions damorage se situent selon les constructeurs de pompes
entre 30 et 50 Pa. Il est intressant de disposer dune pompe diffusion pression damorage leve lorsque la pompe est destine
pomper des flux levs car cest elle qui conditionne le dbitvolume de la pompe primaire associer la pompe diffusion. Certains constructeurs ajoutent dailleurs un petit jecteur entre la tubulure de refoulement et le corps de pompe. Ce dispositif permet
dobtenir une pression damorage plus leve (de lordre de
100 Pa).

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POMPES TRANSFERT DE GAZ

Tableau 1 Mise en uvre de structures en fonction de la pression et du dgazage dsirs


Conditions oprationnelles
Pression
souhaite
(Pa)

102

Dgazage
de lenceinte

Huile

Joints

Baffles

Minrale
ou
Silicone
DC 704

Perbunan

eau
simple

Non

Non

2 105

Dgazage fort

Minrale
ou
Silicone
DC 704

Perbunan

eau double

Oui
avec ou sans
alimentation
automatique

Non

2 105

Dgazage faible

Silicone
DC 705
ou
Santovac 5

Viton

eau double

Oui
avec ou sans
alimentation
automatique

120

3 107

Dgazage faible

Silicone
DC 705
ou
Santovac 5

Mtal

eau double

Oui
avec ou sans
alimentation
automatique

500

3 109

Dgazage
moyen et faible
Dgazage faible
Rtrodiffusion
faible

105
106
107

jecteurs

Tubes
concentriques

Condenseur

tuvage
(C)

Pression
limite
(Pa)

Pige azote
liquide

103
104

Mise en uvre

Tableau 2 Pression damorage obtenue


avec diffrentes huiles
Fluide

Pression critique
damorage
(hPa)

Pression limite avec


pige cryognique
(hPa)

Santovac 5

0,6

5 109

Silicone DC 702

1,2

7 106

Apiezon C

0,7

4 108

Silicone DC 705

0,6

7 109

Silicone DC 704 EU

0,8

6 108

jecteur

2.2.3 Mise en uvre


Rchauffeur

Une pompe diffusion est donc aujourdhui toujours quipe


dun baffle, sauf dans les structures dites intgres, ainsi que dun
pige cryognique. Cela est insuffisant pour la mise en uvre et le
systme exige un jeu de trois robinets (ou vannes) (figure 7) :
vanne secondaire A ;
vanne srie B ;
vanne de by-pass C.

cran protecteur

Circulation du fluide
dans la bouilloire
Figure 6 Pompe diffusion fractionnante

Cette pression damorage dpend de la nature de lhuile comme


le montre le tableau 2.
Quand la pompe se dsamorce, une rtrodiffusion trs importante a lieu et contamine gravement lenceinte vacuer.

La mise en uvre de cet ensemble est conduit de la manire


suivante : vanne A et C fermes, B ouverte, on fait, avec la pompe
primaire, le vide lintrieur de la pompe diffusion pendant que
celle-ci est mise en chauffe. Lorsque lhuile est chaude, aprs une
priode de 15 30 min selon la dimension de la pompe, on ferme la
vanne B. On peut alors prvider lenceinte en pompant avec la
pompe primaire, vanne C ouverte. Lorsque la pression dans
lenceinte est infrieure la pression damorage de la pompe diffusion (0,3 0,8 hPa), on ferme C et on ouvre A et B. La pompe
secondaire est alors en service.
Larrt de la pompe ncessite lui aussi une certaine squence. On
ferme la vanne A et on peut faire une entre dair ou de gaz neutre
sec dans lenceinte laide dun robinet.

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Manomtre
secondaire

Entre
Jets annulaires
(type pompe
diffusion)

Vanne
d'entre d'air

Enceinte

Manomtre
primaire

Condenseur
tage
d'jecteur

A
Manomtre
primaire
B

Pompe
diffusion

Retour d'huile

Pompe
primaire

Bouilloire

Figure 7 Mise en uvre dune pompe diffusion


Chaufferette

Domaine dutilisation : pompage secondaire jusquau vide


extrme.

Figure 8 Pompe diffusion et jecteur (booster pump)


(doc. BOC Edwards)

Pression : 1 Pa 1010 Pa.


Dbit-volume : pour le diazote, de 12,5 dm3/s 5 104 dm3/s ;
: pour le dihydrogne, de 15 dm3/s 8 104 dm3/s.

2.3 Pompe diffusion et jecteur


(booster vapeur dhuile)
Dfinition normative : Pompe cintique plusieurs tages
dans laquelle un ou plusieurs tages ayant les caractristiques
dune pompe diffusion sont suivis par un ou plusieurs tages
ayant les caractristiques dun jecteur .

La figure 8 montre un tel arrangement.


Cette pompe est constitue par une partie identique celle dune
pompe diffusion deux tages de jets annulaires suivis dun jecteur vapeur dhuile contenus dans une structure unique refroidie
par des serpentins deau. Une huile beaucoup moins volatile que
pour une pompe diffusion, dont la pression de vapeur 20 C est
de 104 hPa, est utilise. La pression dans le rservoir est comprise
entre 25 et 50 hPa. Cela permet dobtenir un grand dbit-volume et
un trs fort flux gazeux entre 0,5 et 104 hPa.
Domaine dutilisation : pompage secondaire.
Pression : 104 hPa.
Dbit-volume : pour le diazote, de 4 000 dm3/s 12 500 dm3/s ;
: pour le dihydrogne, de 6 000 dm3/s 15 000 dm3/s.

BM 4272 6

3. Pompes cintiques
entranement
mcanique
Ce groupe comporte divers types de pompes aux performances et
aux domaines dutilisation extrmement diffrents, puisque le vide
produit va de la dpression dune dizaine de milliers de pascals au
vide extrme (1010 Pa).

3.1 Dpresseurs turbine


Dfinition normative : Pompe cintique tournante dans
laquelle le transfert de grandes quantits de gaz est obtenu
laide dun dispositif tournant grande vitesse. Ltanchit
dynamique est obtenue sans frottement. La circulation de gaz se
fait, soit selon laxe de la pompe (dpresseur flux axial), soit
perpendiculairement laxe de la pompe (dpresseur flux
radial) .

Ce sont des pompes utilises par le vide industriel qui ne ncessite pas des pressions limites faibles. Certains les classent plutt
dans les dpresseurs mais, ds que lon est au-dessous de la pression atmosphrique, on a affaire une pompe vide . Les caractristiques sont donnes de manire diffrente : on parle en
dpression de quelques dizaines quelques centaines de millibars
(50 300 hPa). Lexemple le plus rpandu est bien sr celui de laspirateur mnager (vacuum cleaner aux tats-Unis) qui est quelquefois

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Aspiration

Enceinte de travail
section circulaire
Roue

POMPES TRANSFERT DE GAZ

Canal latral

Sortie

Roue

Diffuseur

Interruption
du canal
latral

Palier

Arbre

Prise pour
pompe vide

Moteur

Refroidissement
Palier

Pompe
huile

CC

Aubes

Figure 9 Pompe flux axial (turbine centrifuge) (doc. Leybold)

utilis par les oprateurs en dtection de fuite pour vider une


enceinte souple.
Ces pompes sont aussi utilises pour faire circuler un gaz de
refroidissement dans les lasers, pour la manutention...

Enceinte
de travail

3.1.1 Dpresseurs flux axial


Appels aussi turbines centrifuges, ils sont bass sur un systme
dynamique dans lequel le gaz est comprim et entran par la rotation de la roue (figure 9).
Sortie

Le gaz se dplace radialement vers lextrieur de la roue. Il en


rsulte un effet daspiration au centre qui provoque un flux dair
dans lentre. Le flux est dvi par les aubes fixes au moyeu et renvoy vers la priphrie de la roue.
En schappant de la roue, le gaz pntre dans le carter centrifuge
o sa vitesse se rduit. De ce fait, une partie de lnergie cintique
est transforme en pression. Le flux dair en surpression sort du carter spiral par la tubulure de sortie.

Interruption
du canal latral

AA

Entre

Entre

Sortie

BB

principe du canal latral (doc. Rietschle)

Domaine dutilisation : Dpression par rapport la pression


ambiante jusqu 100 hPa.
Dbit-volume pression atmosphrique : de 600 m3/h
2 500 m3/h.

3.1.2 Dpresseurs flux radial


Appels aussi pompes canal latral, cest un systme de pompe
dans lequel le gaz est comprim par la turbine dans une enceinte de
travail annulaire dont la section est circulaire (figure 10 a ).
Lenceinte est constitue dun ct par la roue avec ses aubes et, de
lautre, par un lment fixe appel canal latral. Celui-ci possde
une interruption entre lentre et la sortie. Le gaz entrant la partie
infrieure est entran et acclr par la force centrifuge. Quand il
est expuls lextrieur des aubes, il entre dans le canal latral qui
le dvie nouveau vers lintrieur. Ainsi le processus dacclration
des molcules de gaz se rpte. Il se renouvelle dautant plus souvent que le flux dair est trangl laspiration ou lchappement.
On reprsente la trajectoire des molcules de gaz lintrieur de
lenceinte annulaire comme une spirale (figure 10 b ) dont le pas
diminue avec ltranglement. Le dbit est plus faible que celui dune
turbine flux axial de mme dimension en raison de la section du
canal annulaire.

trajectoire des molcules dans un dpresseur


canal latral (doc. Siemens)

Figure 10 Dpresseur canal latral

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POMPES TRANSFERT DE GAZ ___________________________________________________________________________________________________________

Sortie Entre

concept selon Gaede


Entre

Entre

Sortie

Sortie

Sortie

concept selon Holweck

Domaine dutilisation : dpression.


Dpression : de 105 Pa 2 104 Pa.
Dbit-volume : de 80 dm3/s 160 dm3/s (250 m3/h 600 m3/h).

3.2 Pompes molculaires


Dfinition normative : Pompe cintique dans laquelle une
quantit de mouvement est communique aux molcules de
gaz par leur contact avec la surface dun rotor tournant grande
vitesse, ceci ayant pour effet de diriger les molcules de gaz vers
le refoulement .

concept selon Siegbahn

Figure 11 Principe de lentranement


des molcules

pompage. Ces concepts ayant entran des ralisations fort utiles


(fabrication de tubes lectroniques pour la radiodiffusion pendant la
Premire Guerre mondiale) furent repris dans les annes 1970 et,
grce aux progrs de llectrotechnique dune part et de la mcanique (paliers) dautre part, les constructeurs ont pu raliser de nouvelles pompes vide vocation industrielle dites pompes
molculaires (drag pumps en anglais). Lintrt primordial de ces
pompes est de pouvoir refouler haute pression (20 30 hPa), donc
dtre amorces avec des pompes primaires sches membrane
ou piston (voire avec des jecteurs air comprim) et davoir un
dbit-volume important dans le domaine du rgime dcoulement
intermdiaire. Elles constituent dsormais, chez de nombreux
constructeurs, ltage final des pompes turbomolculaires dites
hybrides (cf. 3.3 et 3.4).
Les vitesses de rotation sont denviron 40 000 tr/min et lespace
entre les parois tournantes est infrieur un millimtre.

Le concept de lentranement des molcules entre un stator et un


rotor tournant grande vitesse date de 1913 (Gaede, figure 11 a ), de
1922 (Holweck, figure 11 b ) et de 1943 (Siegbahn, figure 11 c ).
Les molcules frappant une paroi ne sont pas immdiatement
renvoyes mais restent adsorbes un certain temps, appel temps
de sjour , avant de retourner dans la phase gazeuse et dtre radsorbes nouveau (cf. thorie cintique des gaz). la dsorption,
elles acquirent une vitesse molculaire propre correspondant la
temprature de la paroi suivant leurs coefficients daccommodation
(cf. article [B 4 110], de ce trait) [8] et dans une direction donne par
la loi de Lambert. Si la paroi elle-mme est anime dune vitesse
propre, les molcules acquirent alors une composante de vitesse
qui sajoute leur propre vitesse. Ainsi une paroi mobile entrane les
molcules et cre un flux gazeux capable deffectuer une action de

BM 4272 8

La figure 12 reprsente une vue en coupe dune pompe actuelle.


La figure 13 donne les caractristiques dbit-volume en fonction
de la pression pour diffrents gaz.
Domaine dutilisation : pompage en vide intermdiaire et en vide
pouss.
Pression : de 20 hPa 106 hPa.
Dbit-volume : pour le diazote, de 7,5 dm3/s 27 dm3/s ;
: pour le dihydrogne, de 3 dm3/s 15 dm3/s.

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POMPES TRANSFERT DE GAZ

Aspiration

Aspiration
Arbre
tape
d'attaque

Rotor

Roulement
billes

Sillons
du stator

Joint
dynamique

Moteur
Stator
Holweck
Refoulement

Roulement
billes

Prise moteur

Refoulement
Figure 12 Pompe molculaire (principe Holweck) (doc. AlcatelVacuum Technology)
Figure 14 Pompe turbomolculaire (doc. Alcatel-Vacuum Technology)

Dbit-volume S (L /s)
10

applications, elles ont supplant celles-ci pour leur facilit dexploitation sauf dans les utilisations industrielles ncessitant de trs
grands dbits-volumes.

N2

Les efforts des constructeurs se sont ports sur celles-ci afin


dobtenir une grande fiabilit. La ncessit de vide propre dans le
domaine du vide pouss et extrme pour de nombreuses applications les ont rendues indispensables.

6
He

H2

3.3.1 Principe

0
106

Plusieurs thories ont t labores et nous retiendrons celle tablie en 1960 par Krger et Shapiro du MIT [13]. On peut sen faire
une ide sommaire par le raisonnement suivant.
2

105

104

103

102

101
Pression (hPa)

Figure 13 Caractristiques dbit-volume en fonction de la pression


pour les pompes molculaires suivant la nature du gaz
(doc. Alcatel-Vacuum Technology)

3.3 Pompes turbomolculaires


Dfinition normative : Pompe molculaire mcanique dont
le rotor comporte des disques, dans lesquels sont mnages
des fentes ou des ailettes, qui tournent entre des disques analogues ports par le stator. La vitesse linaire dun point de la priphrie du rotor est de lordre de grandeur de la vitesse des
molcules du gaz. Une pompe turbomolculaire fonctionne correctement en rgime molculaire .
Ces pompes (figure 14) sont utilises dans les mmes domaines
de pression que les pompes diffusion. Dans de trs nombreuses

Considrons, vue de dessus, une roue aubes (figure 15). Elle


spare lespace en deux rgions I et II.
Dans un premier temps (figure 15 a ) considrons laubage arrt
et deux molcules M et M qui tombent sur les aubage perpendiculaires la roue. M vient de lespace I, M vient de lespace II.
M peut tre renvoye :
soit vers I dans langle ;
soit vers II dans langle ;
soit sur lailette dans langle

M peut tre renvoye :


soit vers II dans langle ;
soit vers I dans langle ;
soit sur lailette dans langle ;
et lon a

= ,

= , = .

Au total, il y a autant de molcules transmises de I vers II que de


II vers I.
Considrons maintenant (figure 15 b) les aubages anims dune
grande vitesse. Comme, sur le dessin, on ne peut pas reprsenter
laubage autrement que fixe, cest la reprsentation des molcules
M et M que nous allons incliner en leur transposant la composante

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BM 4272 9

POMPES TRANSFERT DE GAZ ___________________________________________________________________________________________________________

'

1011

1010

'

'

Taux de compression K

109

'

108

'

'

Ar
N2

CH4

107

V
V
106

II

M'

II

I, II
M, M' molcules

M'

105

rgions de l'espace
vitesse des aubages

vitesse des molcules

principe

He

104
H2
103
102
10
1
105

104

103

102

101
1
10
Pression p (hPa)

Figure 16 Courbe caractristique dune pompe turbomolculaire


(cours UISTAV)

Les pompes disponibles sur le march ont toutes un taux de compression dbit-volume nul K0 lev (1012 pour le diazote est une
valeur courante).
Le dbit-volume des pompes est pratiquement constant sur un
trs large domaine de pression. Il est fonction du diamtre de la
pompe et sensiblement proportionnel la surface dentre (rgime
molculaire).
b

aubage

Figure 15 Principe du pompage dans les pompes turbomolculaires

de vitesse v, de sorte que les molcules ne semblent plus tomber


perpendiculairement au plan de la roue, mais dans une direction
incline.
Dans ces conditions, si nous gardons , et
mme signification que ci-dessus, on voit que :
> ;

et

, et

la

> et >

On conoit donc quil puisse y avoir un transfert de molcules de


la rgion I vers la rgion II.

3.3.2 Caractristiques
La caractristique dbit-volume/pression dune pompe turbomolculaire suit la loi gnrale valable pour les pompes transfert de
gaz.

BM 4272 10

Exemple : 140 dm3/s pour le diazote pour une pompe de 100 mm


de diamtre ;
: 1 000 dm3/s pour le diazote pour une pompe de 300 mm
de diamtre.
Les caractristiques de base (figure 16), pression p et taux de
compression K , sont fortement dpendantes de la nature des gaz
pomps (cf. [figure 10 de larticle BM 4 270]).
On ne saurait sen tonner. Lefficacit de la pompe tant lie au
mouvement mcanique de la structure, on conoit que les vitesses
entre la structure et les molcules puissent avoir une influence.
En fait, une pompe turbomolculaire nest efficace que si la
vitesse mcanique des aubages est du mme ordre de grandeur que
celles des molcules.
Exemple : la plupart des pompes ont des vitesses daubages voisines de 250 m/s, soit environ la moiti de la vitesse des molcules de
diazote temprature ambiante. Ce besoin entrane des vitesses de
rotation leves entre 15 000 et 60 000 tr/min.
On sait (cf. article [B 4 020] de ce trait [6]) que la vitesse moyenne
des molcules est inversement proportionnelle leur masse
molaire.

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La thorie, trs bien vrifie par lexprience, prvoit que le logarithme du taux de compression K0 dune pompe turbomolculaire
est proportionnel la racine carre de la masse molaire du gaz
pomp.
Il rsulte immdiatement de cette loi deux consquences importantes pour lutilisation pratique de ces pompes :
le taux de compression pour les gaz lgers, notamment le
dihydrogne que lon rencontre principalement dans les enceintes
du type ultravide, est relativement faible ; ainsi, une pompe qui a
un taux de compression lev pour le diazote (valeur courante 1012)
na, pour le dihydrogne, quun taux de compression de 103,2 ;
le taux de compression pour les gaz lourds, notamment les
vapeurs dhuile, est trs vite considrable ; ainsi la pompe mentionne ci-dessus aurait pour une huile de masse molaire 250 un taux de
compression de 1036.
La pompe turbomolculaire offre donc un barrage trs efficace
la rtrodiffusion des vapeurs dhuile vers lenceinte [3]. Cela constitue un des avantages majeurs de ce type de pompe que lon qualifie
alors de pompe sche.
Il faut noter toutefois que ce barrage nest efficace quautant que
la pompe est en rotation. Des prcautions doivent tre prises,
notamment au moment des rentres de gaz dans lenceinte, pour
viter de venir polluer la structure de la pompe par un entranement
intempestif de vapeur dhuile.
En ce qui concerne le dbit-volume S0 pour un taux de compression unit, la thorie laisse prvoir que celui-ci est indpendant de la
nature du gaz pomp pour autant que tous les tages de la pompe
aient la mme structure daubages. Ce nest jamais le cas en
pratique ; les pompes sont en effet constitues avec des aubages de
structure variable (figure 17).
Les tages vers laspiration (nous sommes en rgime molculaire) sont conus pour avoir de forts dbits-volumes avec de faibles taux de compression, alors que cest linverse pour les tages
voisins du refoulement. Il sensuit que les pompes disponibles sur le
march ont des dbits-volumes diffrents selon la nature des gaz
pomps et cela en fonction de leur construction. Lutilisateur ne peut
rien prvoir si le constructeur ne lui fournit pas les caractristiques
dbit-volume/pression pour les gaz considrs. Nanmoins, les diffrences sont, en gnral, faibles et le plus souvent avantagent les
gaz lgers.

POMPES TRANSFERT DE GAZ

Vide pouss

tages
basse
pression

R
tages
moyenne
pression

R
R
tages
haute
pression

R
R
R

Vide primaire
R

rotor

Figure 17 Empilement des aubages dans une pompe


turbomolculaire (doc. Varian)

Construction et aspects mcaniques


Entre

Deux configurations de pompes turbomolculaires existent : la


premire double flux axial horizontal et la seconde, la plus rpandue actuellement, simple flux axial.
Les roulements billes lubrifies par de lhuile dans un petit
rservoir empchent dinstaller les pompes dans nimporte quelle
position. Aussi on a cherch remplacer ces roulements par des
roulements graisss puis par des billes en cramiques non graisses. La qualit du vide rclam par de nombreux utilisateurs (pas
de vapeurs ni de particules indsirables) a pouss les constructeurs
remplacer ces roulements par des paliers magntiques et lon a
ainsi obtenu des pompes parfaitement sches sans aucune trace
dhydrocarbure ni de matriau lubrifiant et sans aucune poussire
mme submicronique.

Rotor
Stator
Roulement
de scurit

Moteur

Selon les modles, les paliers magntiques sont contrls et pilots suivant trois ou cinq axes (figure 18).
Certains modles de pompes comportent des dispositifs de purge
dont le but est de diminuer la corrosion et/ou la formation de dpt
et aussi, parfois, de refroidir paliers et moteur.

Sortie
des gaz

Domaine dapplication : pompe secondaire sche pour vide


pouss et extrme.
Pression : de 103 hPa 1010 hPa.
Dbit-volume (pour diazote) : de 35 dm3/s 6 000 dm3/s.

Capteur
radial
Bobine
radiale

Aimant
lectromagntique
(bobine axiale)
Aimant
permanent
Capteur
axial

Figure 18 Pompe turbomolculaire palier magntique (doc. SEIKO


SEIKI)

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BM 4272 11

POMPES TRANSFERT DE GAZ ___________________________________________________________________________________________________________

Sortie

Figure 20 Pompe turbomolculaire hybride (dispositif Holweck)


(doc. Balzers)

Figure 19 clat de la partie basse dune pompe turbomolculaire


hybride (principe de Gaede/Siegbahn) (doc. Varian)

3.4 Pompes turbomolculaires hybrides


La ncessit de pomper des flux levs dans le domaine de
rgime intermdiaire (entre 102 hPa et une dizaine de pascals) a
pouss les constructeurs associer les pompes molculaires avec
les pompes turbomolculaires. On a conu alors des pompes dites
hybrides. Celles-ci sont de deux types suivant le systme retenu
pour le pompage molculaire :
dispositif avec disques de Gaede ou Siegbahn (figure 19) ;
dispositif avec vis Holweck (figure 20).
Ces pompes tendent remplacer les pompes turbomolculaires
dans presque toutes les applications et comportent aussi, pour la
plupart, des paliers magntiques, des dispositifs de purges, des colliers de chauffage pour viter les dpts par condensation.
Domaine dutilisation : pompe secondaire sche pour vide
pouss et extrme.
Pression de : 20 hPa 1010 Pa (suivant la pompe primaire).
Dbit-volume (pour le diazote) : 60 dm3/s 2 000 dm3/s.

3.5 Pompes turbomolculaires


cryogniques

Figure 21 Pompe turbomolculaire avec premier tage


cryognique et compresseur cryognique (doc. EBARA)

cile. Leau (M = 18) nchappe pas cette rgle. Or il est bien connu
que la pression partielle de la vapeur deau est prpondrante dans
une enceinte en rgime intermdiaire. Il est aussi connu que les piges cryogniques sont trs efficaces pour le pompage de la vapeur
deau (cf. article [B 2 382] dans le trait Gnie nergtique) [7]. Aussi
lide dassocier les deux tait vidente. La solution dutiliser un
cryognrateur a t retenue et a donn naissance de nouvelles
gnrations de pompes (figure 21).
Domaine dutilisation : pompe secondaire sche pour vide
pouss et extrme.
Pression : 100 Pa 107 Pa.

Ces pompes sont le rsultat de lassemblage dune pompe turbomolculaire classique avec un pige cryognique lentre. On a vu
que le pompage des molcules de masse molaire faible tait diffi-

BM 4272 12

Dbit-volume : pour le diazote, 300 800 dm3/s ;


: pour la vapeur deau, 1 700 3 200 dm3/s.

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