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turbomoleculares
EXT
Bombas turbomoleculares EXT
Bomba turbomolecular EXT75DX
Bomba turbomolecular EXT255DX
Bomba turbomolecular EXT70
Bomba molecular compuesta EXT70H
Bomba molecular compuesta EXT255H
Bomba turbomolecular EXT250M
Bomba molecular compuesta EXT555H
Grficos de desempeo de la bomba EXT
5-4
5-5
5-6
5-7
5-8
5-9
5-10
5-11
5-12
5-14
5-20
Accesorios EXT
5-26
5-28
5
PGINA
1
5
PGINA
2
Aplicaciones corrosivas
Enfriamiento
Ventilacin
Orificio de purga
Criba de entrada
Se instala una criba de entrada como equipamiento estndar a todas las
bombas EXT. La criba de entrada impide que la suciedad caiga en la entrada de
la bomba. Adems, la criba de entrada impide que haga contacto con las paletas
de la bomba mientras est desconectada de su sistema de vaco.
5
PGINA
3
BRIDA DE ENTRADA
ISO63/100
63CF
DN40NW
61
57
53
61
57
53
42
49
48
Una bomba de refuerzo ms grande puede ser necesaria para el mximo rendimiento. Tambin
puede utilizarse una bomba de diafragma adecuada con una presin final de <5 mbar.
2
Superada esta presin de entrada, la velocidad de rotacin desciende por debajo de la nominal.
3
Lmite de potencia fijada a 80 W.
41 Presin final 48 horas despus del desecado con una bomba de refuerzo de aleta rotativa de 2 etapas.
411 Presin final 48 horas despus del desecado con Pb <5 mbar (500 Pa)
Caractersticas y ventajas
Bombasturbomolecular
Bomba
turbomoleculares
EXT75DX
EXT
5
PGINA
4
DATOS TCNICOS
Brida de entrada
Relacin de compresin
N2
He
H2
Brida de salida
Orificio entre etapas (Variantes Hi)
Bomba de refuerzo recomendada1
Orificio de ventilacin
Orificio de purga
Presin mxima de entrada continua
(bombeo de gases livianos) 2
enfriamiento por agua (agua a 15 C, temp.
ambiente a 40 C)
enfriado por aire forzado,
temp. ambiente a 35 C
Velocidad de rotacin nominal
Velocidad de rotacin en espera
Tiempo de arranque al 90% de velocidad3
Mtodo de enfriamiento
Temperatura ambiente para enfriamiento por
aire forzado
Velocidad mnima del flujo de agua de
enfriamiento (agua a 15 C)
Rango de temperatura del agua
Temperatura mxima de la brida de entrada
Orientacin de operacin
Nivel de ruido a 1 metro
Campo magntico mximo
Controlador recomendado
Potencia quiescente
Velocidad de bombeo entre etapas
(Variantes Hi)
2 10-2 mbar
1 10-2 mbar
90000 rpm
Variable de 49500 a 90000 rpm
(63000 rpm por defecto)
110 s
Aire forzado / agua
5 35 C
A
B
C
D
15 l h-1
10 20 C
100 C
Vertical y recta, hasta horizontal
<50 dB(A)
5 mT
Accionado por el controlador
TIC100 para bombas
turbomoleculares o para bombas
turbomoleculares e instrumentos
10 W
Bomba
EXT75DX ISO63
EXT75DX CF63
EXT75DX NW40
EXT75DX ISO100
EXT75iDX ISO63
(entre etapas)
Brida de entrada
DN63ISO
DN63CF
DN40NW
DN100ISO
DN63ISO (principal)
DN25NW (entre etapas)
ACCESORIOS
10
NMERO DE PEDIDO
B72241000
B72242000
B72243000
B72245000
B72238000
NMERO DE PEDIDO
B58053075
B73600121
BRIDA DE ENTRADA
DN100ISO-K
DN100CF
220
230
180
220
230
180
<5 10-9
<5 10-10
<5 10-8
<5 10-9
6,25
8,6
Una bomba de refuerzo ms grande puede ser necesaria para el mximo rendimiento. Tambin puede
utilizarse una bomba de diafragma adecuada con una presin final de <5 mbar.
2
Superada esta presin de entrada, la velocidad de rotacin desciende por debajo de la nominal.
3
Lmite de potencia fijada a 160 W.
41 Presin final 48 horas despus del desecado con una bomba de refuerzo de aleta rotativa de 2 etapas.
411 Presin final 48 horas despus del desecado con Pb <5 mbar (500 Pa)
Caractersticas y ventajas
Bomba turbomolecular EXT255DX
5
PGINA
5
Brida de entrada
DN100ISO-K, DN100CF
Relacin de compresin
N2
>1 108
He
4 x 105
H2
1,6 x 104
Brida de salida
DN25NW
Orificio entre etapas (Variantes Hi)
DN25NW
Bomba de refuerzo recomendada1
RV3
Orificio de ventilacin
!/8 pulg. BSP hembra
Orificio de purga
!/8 pulg. BSP hembra
Presin mxima de entrada continua
(bombeo de gases livianos) 2
enfriamiento por agua (agua a 15 C,
temp. ambiente a 40 C)
5 10-3 mbar
enfriado por aire forzado, temp. ambiente
a 35 C
5 10-3 mbar
Velocidad de rotacin nominal
60000 rpm
Velocidad de rotacin en espera
Variable de 33000 a 60000 rpm
(42000 rpm por defecto)
Tiempo de arranque al 90% de velocidad3
80 s
Mtodo de enfriamiento
Aire forzado / agua
Temperatura ambiente para enfriamiento por
aire forzado
5 35 C
Velocidad mnima del flujo de agua de
enfriamiento (agua a 15 C)
15 l h-1
Rango de temperatura del agua
10 20 C
Temperatura mxima de la brida de entrada
100 C
Orientacin de operacin
Vertical y recta, hasta horizontal
Nivel de ruido a 1 metro
<50 dB(A)
Campo magntico mximo
5 mT
Controlador recomendado
Accionado por el controlador
TIC200 para bombas
turbomoleculares o para bombas
turbomoleculares e instrumentos
Potencia quiescente
25 W
Velocidad de bombeo entre etapas
(Variantes Hi)
10
A
B
C
D
E
F
G
Orificio de refuerzo
Toma del conector del pdulo
Espacio para el conector de cable de ngulo recto
Punto de conexin a tierra
Bomba
EXT2555DX ISO100
EXT255DX CF100
EXT2555iDX ISO100
(entre etapas)
Brida de entrada
DN100ISO-K
DN100CF
DN100ISO-K (principal)
DN25NW (entre etapas)
ACCESORIOS
NMERO DE PEDIDO
B75311000
B75312000
B75313000
NMERO DE PEDIDO
B58053160
B73600121
DATOS TCNICOS
BRIDA DE
ENTRADA
DN40NW
DN50NW
DN63CF
DN63ISO-K
60
56
48
65
60
50
65
60
50
<5 10-9
1,4
<5 10-10
3,4
<5 10-9
1,5
1 Una bomba de refuerzo ms grande puede ser necesaria para el mximo rendimiento.
2 Superada esta presin de entrada, la velocidad de rotacin desciende por debajo de la nominal.
3 Las velocidades de bombeo se indican sin una criba de entrada. Las cribas de entrada se suministran
instaladas y reducen la velocidad en aproximadamente un 10%.
4 Presin final 48 horas despus del desecado con una bomba rotativa de 2 etapas.
DN63ISO-K
NW40
DN63CF
NW50
92.1
DATOS TCNICOS
113
164.05
75
32.6
157.05
74
108
109.55
55
D
G
-2
3 10 mbar
94
1 10-2 mbar
F=112
6 10-3 mbar
90000 rpm
63000 rpm
90 s
Conveccin libre o aire
forzado o agua
100 C
4 x M4 x 6
A
NW16
45
PGINA
6
95
>1 108
6000
500
DN16NW
E2M0.7
!/8 pulg. BSP hembra
157.05
Relacin de compresin
N2
He
H2
Brida de salida
Bomba de refuerzo recomendada1
Orificio de ventilacin
Presin mxima de entrada continua 2
enfriamiento por agua a 15 C, temp.
ambiente a 40 C
enfriamiento por aire, temp.
ambiente a 35 C
conveccin libre a una temp.
ambiente a 30 C
Velocidad de rotacin nominal
Velocidad de rotacin en espera
Tiempo de arranque al 90% de velocidad
Mtodo de enfriamiento
8 x 8.4
DN40NW, DN50NW,
DN63CF o DN63ISO-K
0.8
Brida de entrada
50
106
0 30 C
0 35 C
63
10 20 C
15 l h-1
Vertical y recta, hasta horizontal
<50 dB(A)
5 mT
EXC100 o EXC120
10 W
A
C
D
Bomba
EXT70
EXT70
EXT70
EXT70
Brida de entrada
DN40NW
DN50NW
DN63CF
DN63ISO-K
NMERO DE PEDIDO
B72203000
B72204000
B72202000
B72201000
1 Una bomba de refuerzo ms grande puede ser necesaria para el mximo rendimiento. Tambin puede
utilizarse una bomba de diafragma adecuada con una presin final de <5 mbar.
2 Con una presin de refuerzo de <0,1 mbar. Superada esta presin de entrada, la velocidad de rotacin
desciende por debajo de la nominal.
3 Las velocidades de bombeo se indican sin una criba de entrada. Las cribas de entrada se suministran
instaladas y reducen la velocidad en aproximadamente un 10%.
4 Presin final 48 horas despus del desecado con una bomba rotativa de 2 etapas.
5 Utilizando una bomba de diafragma con una presin final de <5 mbar.
DN63ISO-K
DN63CF
NW40
92.1
8 x 8.4
DATOS TCNICOS
183
81
G
A
4 x M4 x 6
F=112
PGINA
7
A
NW16
45
>1 108
4 105
3 104
33.5
94
1.5
33.5
9 10-1 mbar
9 10-2 mbar
9 10-3 mbar
90000 rpm
63000 rpm
90 s
Conveccin libre o aire forzado o
agua
Temperatura mxima de la brida de entrada 100 C
Rango de operacin de temperatura ambiente
con enfriamiento por conveccin libre 0 30C
con enfriamiento por aire forzado
0 35C
Rango de temperatura del agua
(para enfriamiento por agua)
10 20 C
Velocidad mnima del flujo de agua (a 15 C) 15 l h-1
Orientacin de operacin
Vertical y recta, hasta horizontal
Nivel de ruido a 1 metro
<50 dB(A)
Campo magntico mximo
5 mT
Controlador recomendado (80 V)
EXC100 o EXC120
(24 V c.c.)
EXDC80 y TIC
Potencia quiescente
10 W
Velocidad de bombeo entre etapas
(Variantes Hi)
N2
6 l s-1
DN40NW
DN63CF
DN63ISO-K
52
53
46
65
60
50
65
60
50
<5 10-9
<5 10-8
2,8
<5 10-10
<5 10-8
4,7
<5 10-9
<5 10-8
2,8
50
106
63
A
C
D
E
F
G
Bomba
Brida de entrada
EXT70H
DN40NW
EXT70H
DN63CF
EXT70H
DN63ISO-K
EXT70Hi
DN63CF
EXT70Hi
DN63ISO-K
Unidades compatibles con TIC* (24 V c.c.)
EXT70H
DN63-ISOK
EXT70H
DN63CF
EXT70H
DN40NW
NMERO DE PEDIDO
B72223000
B72222000
B72221000
B72228000
B72229000
B72221991
B72222991
B72223991
* Tambin se requiere el mdulo de control EXDC-80 (P/N D39645000). Consulte el artculo acerca del
controlador de bombas turbomoleculares e instrumentos TIC al final de esta seccin para obtener ms
informacin.
Brida de entrada
Brida de salida
Bomba de refuerzo recomendada1
Orificio de ventilacin
Relacin de compresin
N2
He
H2
Presin mxima de entrada continua2
enfriamiento por agua a 15 C
enfriamiento por aire a 35 C
conveccin libre a 30 C
Velocidad de rotacin nominal
Velocidad de rotacin en espera
Tiempo de arranque al 90% de velocidad
Mtodo de enfriamiento
76
G
A
BRIDA DE ENTRADA
D
176
127
176
55
128.5
74
113
135.5
95
BRIDA DE ENTRADA
DN100ISO-K
DN100CF
<5 10-9
<5 10-8
5,6
<5 10-10
<5 10-9
8,2
Las velocidades de bombeo se indican sin una criba de entrada. Las cribas de entrada se suministran
instaladas y reducen la velocidad en aproximadamente un 10%.
Una bomba de refuerzo ms grande puede ser necesaria para el mximo rendimiento. Tambin puede
utilizarse una bomba de diafragma adecuada con una presin final de <5 mbar.
Con una presin de refuerzo de <0,1 mbar. Superada esta presin de entrada, la velocidad de rotacin
desciende por debajo de la nominal.
Presin final 48 horas despus del desecado con una bomba rotativa de 2 etapas.
Utilizando una bomba de diafragma con una presin final de <5 mbar.
DN100ISO-K
DN100CF
130.2
17
16 x 8.4
130
131
190.8
190.8
68
28
152
45
17
B
NW10
4 x M5 x 20
86
A
NW25
14
1
58.5
PGINA
8
Brida de entrada
DN100ISO-K o DN100CF
Brida de salida
DN25NW
Orificio de ventilacin
!/8 pulg. BSP hembra
Orificio de purga
!/8 pulg. BSP hembra
Velocidad de bombeo1
N2
220 l s-1
He
230 l s-1
H2
180 l s-1
Relacin de compresin
N2
>1 108
He
4 105
H2
1,6 104
Bomba de refuerzo recomendada2
RV3
Presin mxima de entrada continua3
enfriamiento por agua a 15 C, temp.
5 10-3 mbar
ambiente a 40 C
enfriamiento por aire a temp.
5 10-3 mbar
ambiente a 35 C
conveccin libre a temp.
4 10-4 mbar
ambiente a 40 C
Velocidad de rotacin nominal
60000 rpm
Velocidad de rotacin en espera
42000 rpm
Tiempo de arranque al 90% de velocidad
EXC100E
190 s
EXC120
130 s
EXC300
100 s
Mtodo de enfriamiento
Aire forzado o agua
Temperatura mxima de la brida de entrada 100 C
Rango de operacin de temperatura ambiente
con enfriamiento por aire forzado
0 35 C
Rango de temperatura del agua
(para enfriamiento por agua)
10 20 C
Velocidad mnima del flujo de agua (a 15 C) 15 l h-1
Orientacin de operacin
Vertical y recta, hasta horizontal
Nivel de ruido a 1 metro
<50 dB(A)
Campo magntico mximo
5 mT
Controlador recomendado (80 V)
EXC100, EXC120 o EXC300
(24 V c.c.)
EXDC80 y EXDC160
Otro controlador compatible
EXC300
Potencia quiescente
25 W
Velocidad de bombeo entre etapas (Variante Hi)
N2
10 l s-1
H2
10 l s-1
1.5
152
94
DATOS TCNICOS
91
A
B
C
D
E
F
G
Vlvula de ventilacin
Conector de agua de enfriamiento
Espacio para el conector de cable de ngulo recto
Punto de conexin a tierra
Bomba
Brida de entrada
EXT255H
DN100ISO-K
EXT255H
DN100CF
EXT255Hi
DN100ISO-K
Unidades compatibles con TIC* (24 V c.c.)
EXT255H
DN100ISO-K
EXT255H
DN100CF
EXT255Hi
DN100ISO-K
NMERO DE PEDIDO
B75301000
B75302000
B75303000
B75301991
B75302991
B75303991
* Tambin se requiere el mdulo de control EXDC-160 (P/N D39646000). Consulte el artculo acerca del
controlador de bombas turbomoleculares e instrumentos TIC al final de esta seccin para obtener ms
informacin.
DN100ISO-K
DN100CF
130.2
30
16 x 8.4
94
152
125
130
212.8
212.8
145
A
B
0.8
DATOS TCNICOS
152
DN100ISO-K o DN100CF
DN25NW
!/8 pulg. BSP hembra
!/8 pulg. BSP hembra
30
45
37.5
B
NW10
240 l s-1
250 l s-1
190 l s-1
A
NW25
20
>1 108
2 104
1500
<5 10-9 (ISO-K) o <5 10-10 (CF)
RV5
3 10-1 mbar
3 10-2 mbar
60000 rpm
42000 rpm
90 s
1 min.
11 min.
Conveccin libre o aire
forzado o agua
100 C
0 35 C
0 40 C
5 30 C
15 l h-1
Cualquier orientacin
8,5 Kg.
11 Kg.
<50 dB(A)
5 mT
EXC300M
15 W
11
4 x M6 x 7
91
A
B
C
PGINA
9
F = 141
D
E
F
Vlvula de ventilacin
Conector de agua de enfriamiento
Espacio para el conector de cable de ngulo recto
Las velocidades de bombeo se indican sin una criba de entrada. Las cribas de entrada se suministran
instaladas y reducen la velocidad en aproximadamente un 10%.
Presin final 48 horas despus del desecado con una bomba rotativa de 2 etapas.
Una bomba de refuerzo ms grande puede ser necesaria para el mximo rendimiento.
Superada esta presin, la velocidad de rotacin cae por debajo de la nominal.
El tiempo de frenado sin ventilacin se reducir si el controlador EXC300M brinda el suministro
elctrico para un enfriador por aire o vlvula de ventilacin.
NMERO DE PEDIDO
B73521010
B73521030
B73521050
B73522010
B73522030
B73522050
Brida de entrada
Brida de salida
Orificio de ventilacin
Orificio de purga
Velocidad de bombeo1
N2
He
H2
Relacin de compresin
N2
He
H2
Presin final (mbar)2
Bomba de refuerzo recomendada
Presin mxima de entrada continua4
EXC300M, enfriamiento por
agua a 15 C
enfriamiento por aire a 35 C
Velocidad de rotacin nominal
Velocidad de rotacin en espera
Tiempo de arranque al 90% de velocidad
Tiempo de frenado
con ventilacin
sin ventilacin5
Mtodo de enfriamiento
Controladores recomendados
Consumo de potencia quiescente
*
EXC250, EXC300
35 W
Medido sin criba de entrada. Las cribas de entrada se suministran instaladas y reducen la velocidad
hasta un 20%
**
Con una presin de refuerzo de < 0,3 mbar. Superada esta presin de entrada, la velocidad de
rotacin desciende.
DN160CF
DN160ISO-K
180
18
20 x 8.4
202.4
180
254.1
248.1
DATOS TCNICOS
127.6
Brida de salida
Orificio entre etapas (Variantes Hi)
Orificio de ventilacin
Orificio de purga
Velocidad de bombeo de entrada*
N2
He
H2
Ar
Velocidad de bombeo entre etapas (Variantes Hi)
N2
He
H2
Relacin de compresin
N2
He
H2
Ar
Presin final (variante CF)
Bomba de refuerzo recomendada
Presin mxima de entrada continua (N2, He, H2)**
enfriado por aire forzado, temp. ambiente a 30 C
enfriado por aire forzado, temp. ambiente a 35 C
enfriamiento por agua a 15 C
Velocidad de rotacin nominal
Tiempo de arranque al 90% de velocidad
EXC250
EXC300
EXDC160
Mtodo de enfriamiento
Temperatura ambiente para enfriamiento
por aire forzado
Velocidad del flujo de agua de enfriamiento
recomendada (agua a 15 C)
Temperatura del agua
Temperatura mxima de la brida de entrada
Nivel de ruido a 1m
Campo magntico mximo (camisas estndar)
Axial
Radial
Campo magntico mximo (camisas martensticas)
Axial
Radial
29
DN160ISO-K /
DN160CF
DN25NW
DN25NW
1/8 pulg. BSP
1/8 pulg. BSP
PGINA
10
210
45
540 l s-1
580 l s-1
500 l s-1
510 l s-1
45
122
39
22.5
4 x M8 x 25
8 l s-1
6 l s-1
8 l s-1
>1010
108
106
>1010
<10-10 mbar
RV12
1x10-3 mbar
5x10-4 mbar
2x10-3 mbar
50000 rpm
5 min.
6,5 min.
8 min.
aire forzado / agua
0 C 35 C
15 l h-1
10 20 C
80 C
<60 dBA
< 7 mT
< 3 mT
68
A
B
C
D
Orificio de escape
Orificio entre etapas
Conector de suministro elctrico
Orificio de ventilacin
E
F
G
Bomba
EXT555H
EXT555H
EXT555Hi
Camisa martenstica
EXT555HF
EXT555HF
NMERO DE PEDIDO
Brida de entrada
DN160ISO-K
DN160CF
DN160ISO-K (exhibido)
B77701000
B77702000
B77705000
DN160ISO-K
DN160CF
B77707000
B77708000
ACCESORIOS
NMERO DE PEDIDO
Para una operacin segura y confiable, el EXT555H requiere uno de los siguientes accesorios
externos de enfriamiento.
ACX555
Accesorio para enfriamiento por aire
B58053561
WCX555
Accesorio para enfriamiento por agua
B58067003
< 50 mT
< 50 mT
GRFICOS DE DESEMPEO DE LA
BOMBA EXT
Grficos de desempeo de la bomba EXT
Helio
EXT555H
N2
10
500
ls -1
400
10
300
EXT250M/255H/255DX
EXT555H
EXT250M/255H/255DX
200
0
-6
10
10
-5
10
-4
10
-3
-2
10
10
-1
10
mbar ls -1
EXT70/70H/75DX
100
10
mbar
EXT70/70H/75DX
10
10
-4
10
-3
10
-2
10
-1
10
10
10
-1
Pa
Helio
10
-2
He
600
He
EXT555H
10
500
-3
10
-4
10
-3
10
-2
10
-1
10
mbar
ls -1
400
10
300
-2
10
-1
10
10
10
Pa
Nitrgeno
200
EXT70/70H/75DX
100
10
0
-6
10
10
10
-4
10
-5
10
-3
10
-4
10
-2
10
-3
10
-1
10
-2
10
10
-1
10
10
mbar
10
Pa
EXT555H
600
H2
EXT555H
500
10
EXT250M/255H/255DX
EXT70/70H/75DX
10
400
PGINA
11
mbar ls -1
Hidrgeno
ls -1
EXT250M/255H/255DX
-1
300
EXT250M/255H/255DX
200
100
10
-2
N2
EXT70/70H/75DX
0
-6
10
10
10
-4
10
-5
10
-3
10
-4
10
-2
10
-3
10
-1
10
-2
10
10
-1
10
10
10
mbar
-3
-4
10
Pa
10
-2
10
10
-3
10
-1
10
-2
10
10
-1
10
10
mbar
Pa
10
CR
10
10
10
10
He
10
10
H2
4
10
10
10
N2
10
10
10
He
5
10
H2
4
N2
10
10
10
10
10
10
10
10
10
-3
-1
10
10
-2
10
10
EXT75DX
*N 2 Compression >10
-1
10
10
10
10
10
H2
10
10
10
mbar
10
Pa
10
-3
-1
10
10
-2
EXT70
12
10
10
-1
10
10
10
10
EXT70H
10
He
5
10
He
10
10
N2
He
10
N2
8
10
CR
10
10
CR
10
CR
10
10
H2
H2
10
10
10
mbar
10
Pa
10
-3
-1
10
10
-2
EXT250M
10
10
-1
10
10
10
10
EXT255H/
EXT255DX
10
He
H2
mbar
10
Pa
10
-3
-1
10
10
-2
10
10
-1
EXT555H
12
* N 2 Compression >10
10
10
10
10
mbar
Pa
Caractersticas y ventajas
CONTROLADORES EXC
5
PGINA
12
CARACTERSTICA
EXC100E/L EXC250E/L
Control remoto
Espera
Interruptor de la banda de
desecado en el panel frontal
Rel de conmutacin de la
bomba rotativa
Contador de horas
Funciones de visualizacin disponibles:
Suministro elctrico
Velocidad (grfico de barras
de 4 segmentos)
Bomba encendida
Bomba esperando
enclavamiento
Falla de la bomba
Emergencia axial de la bomba
Espera encendida
Banda de desecado encendida
(bombeo normal)
Bombas turbomoleculares compatibles:
EXT70, EXT70H
EXT255H
EXT250M
Serie EXT555H
Conexin directa posible para:
Indicador Active
EXC120
EXC300
EXC300M
EXC100E
EXC100L
EXC250E
EXC250L
EXC120
EXC300
Cables de suministro elctrico
Sin enchufe, 2 m
Enchufe RU, 2 m
Enchufe EE.UU., 2 m
Enchufe para Europa del Norte, 2 m
NMERO DE PEDIDO
D39620000
D39622000
D39635000
D39636000
D39616000
D39614000
D40013020
D40013025
D40013120
D40013030
DATOS TCNICOS
EXC100E/L
90 264
EXC250E/L
90 264
EXC120
90 264
EXC300M
90 132
y 180 264
47 63
47 63
47 63
260
1003
0 40
IP20
EN61326 clase B
EN61326
440
250
0 40
IP20
EN61326 clase B
EN61326
410
260
110
0 40
IP20
EN61326 clase B
EN61326
700
550
290
0 40
IP20
EN61326 clase B
EN61326
700
550
290
0 40
IP20
EN61326 clase B
EN61326
0,9
2,0
15
250
2,0
15
250
4,6
15
250
4,6
1 30
8
1 30
8
1 30
8
1 30
8
1 30
8
no
no
no
no
no
65 95
80
65 95
80
65 95
80
65 95
80
65 95
80
50% de velocidad
50% de velocidad
50% de velocidad
50% de velocidad
50% de velocidad
50% de velocidad
50% de velocidad
50% de velocidad
50% de velocidad
50% de velocidad
50% de velocidad
50% de velocidad
50% de velocidad
50% de velocidad
50% de velocidad
2s
2s
2s
2s
2s
2s
2s
2s
2s
2s
2s
Sin ventilacin
EXC100E/L
3 Bomba de 80 W + accesorios de 20 W
15
EXC250E/L
A
15
100
F
6.85
115
75
227.35
M3
13.4
115.5
15
15
M3
88.9
52
246.65
7.6
88.9
13
75
F
E
261
G
E
G
1.6
261.2
1.6
EXC300/EXC300M
EXC120
A
B
127
132.5
132.5
122.5
15
122.5
F
C
142
246
198.1
75
15
3.5
3.5
4.9
213
3.5
5.35
112.7
198.1
208.8
Panel frontal
Vista superior
296
75
5.35
137.7
A
B
C
D
E
F
4.9
127
122.5
112.7
3.5
D
122.5
Vista lateral
Espacio para ventilacin
5
PGINA
13
47 63
EXC300
90 132
y 180 264
47 63
CONTROLADOR DE BOMBAS
TURBOMOLECULARES E INSTRUMENTOS TIC
5
PGINA
14
Caractersticas y ventajas
Controlador universal de bombas turbomoleculares e
instrumentos
El TIC reconoce automticamente y controla hasta tres indicadores
Active y una bomba turbomolecular de 24 V de las familias DX o EXDC.
La versin de 200 W brinda suficiente potencia para asegurar el
desempeo ptimo de las bombas turbomoleculares 255 de mayor
tamao. Las bombas turbomoleculares DX tienen una comunicacin total
por puerto serial con el TIC y ambos pueden configurarse y reportar su
estado por medio del TIC.
Soporte para bombas de refuerzo
Tanto las bombas de refuerzo conectadas a la red principal como las de
24 V pueden controlarse con el TIC. La versin de 200 W soporta la
nueva bomba seca de diafragma XDD1. Para sistemas de vaco ms
grandes, tanto la versin de 100 W como la de 200 W pueden controlar
bombas de refuerzo conectadas a la red principal incluyendo la XDS10 y
hasta la RV12, por medio de una caja de rels opcional.
Opciones de rel
Tres cajas de rels opcionales estn disponibles para usar con el TIC.
Entre ellas se incluye una versin con tres rels de transferencia de 250 V
y 3 A, activados por las salidas de punto de control de apertura del
colector internas del TIC. Otra versin controla una bomba de refuerzo
conectada a la red principal, la banda de calentador de la bomba
DATOS TCNICOS
BOMBA TURBOMOLECULAR 24 V
VARIANTE TIC
100 W
200 W
OPCIONES DE BOMBA
TURBOMOLECULAR
EXT75DX
EXT70H y EXDC80
EXT255H y EXDC80*
EXT255H y EXDC160
EXT255DX
Rpida
Rpida
Lenta
N/D
Lenta**
**
Interfaz lgica
Entradas de control
Arranque/parada de la bomba
turbomolecular*
Espera de la bomba
turbomolecular
Activacin de
indicadores 1, 2, 3
Arranque/parada de la
bomba de refuerzo*
Rpida
Rpida
Lenta
Rpida
Rpida
Interruptor de enclavamiento
del sistema SYSI
Salidas de control
Control de la vlvula de
ventilacin
Control de la banda
calentadora
Control de la bomba
de refuerzo
Enfriador por aire
Salidas de estado
Salida analgica
Punto de control A, B, C
Velocidad normal de la bomba
turbomolecular
Alarma
Interfaz serial
EDW
ARD
S
INSTRUMENTOS
INSTRUMENTOS
DEL CONTROLADOR DEL CONTROLADOR
DE BOMBAS
DE BOMBAS
TURBOMOLECULARES TURBOMOLECULARES
TIC 100 W RS232
TIC 200 W RS232
Perno de tierra
90 a 264 V c.a. 47 a 63 Hz
215 VA
350 VA
Interfaces externas
Terminales auxiliares
Ventilador de enfriamiento por aire
Vlvula de ventilacin
Cables de interfaz
Dimensiones
Alojamiento del sistema electrnico
Panel frontal
Peso
Controlador de bombas
turbomoleculares e instrumentos
de 100 W RS232
Controlador de bombas
turbomoleculares e instrumentos
de 200 W RS232
Temperatura de operacin
Temperatura de almacenamiento
Humedad ambiente de operacin mxima
Mxima altitud operativa
Diseo electrnico
Compatibilidad electromagntica
Capacidad del alojamiento
2,75 kg
3,5 kg
+0 a +40 C
-30 a +70 C
90% RH sin condensacin a 40 C
3000 m
EN 61010-1
EN 61326 Ubicacin industrial,
Emisiones clase B
IP20
5
PGINA
15
Entrada de la red
Suministro elctrico
Consumo de energa
(mx)
Mxima corriente de
irrupcin
Fusible
BOC
EDW
ARD
S
Los tres rels de punto de control, que son resaltados cuando se activan,
pueden estar conectados a cualquier indicador.
5
PGINA
16
1
2
3
4
5
6
7
8
9
*
Interfaz de la pantalla
Instrumentos de la caja de rels del TIC
Caja de rels del TIC y bomba de refuerzo
pequea
Instrumentos de la caja de rels del TIC y
bomba de refuerzo pequea
Bomba de refuerzo
pequea
Bomba de refuerzo de 24 V
Banda calentadora y
vlvula de aislamiento
de la lnea de
refuerzo.
3
9
Rels de
transferencia
(3 de 250 V c.a. y 3 A)
2
3
4
10
Las configuraciones del sistema TIC pueden crearse y guardarse para su uso
posterior, ahorrando de esa manera tiempo de programacin.
El software de PC incluye un utilitario de actualizacin, el cual permite que el
software del TIC pueda actualizarse por medio de la conexin al puerto serial
a partir de archivos suministrados electrnicamente.
5
PGINA
17
Ejemplos de configuraciones
COMPONENTE
NMERO DE
PEDIDO
DESCRIPCIN
D39722000
D40013025
D14701000
A74601991
B72241000
B58053075
D39700836
D39700836
D40001005
C
D
E
F
G
H
J
WRG-S-NW25
XDD1 - Bomba de diafragma de 24 V c.c.
EXT75DX ISO63
* Al utilizarse con una bomba XDD1, la bomba turbomolecular debera estar controlada por un indicador
o estar sujeta a una demora en el arranque.
A
C
PGINA
18
COMPONENTE
NMERO DE
PEDIDO
DESCRIPCIN
D39721000
B
C
D
E
F
G
H
J
K
L
M
N
P
Q
R
S
T
*
D40013025
D39711805
D02372000
D04850000
D14701000
A65201903
B72241000
B58052060
B58066010
B58053075
D39700833
D39700831
D39700833
D39700836
D39700834
D40001020
N/D
G
H
K
APGX-M-NW25 STST
AIGX-S-NW25
WRG-S-NW25
M
EXT75DX ISO63
BX70 - Banda calentadora 240 V 60 W*
Tav5 - Vlvula de ventilacin
P
R
B
E
Ejemplos de configuraciones
K
H
J
G
M
L
P
N
Q
R
A
D
B
E
NMERO DE
PEDIDO
DESCRIPCIN
D39722000
D40013025
D39711805
D02371000
D04850000
D14701000
A72701903
D75301991
D39646000
B58066010
B58053160
D39700831
D39700833
D39700836
D39700834
D40001010
N/D
C
D
E
F
G
H
J
K
L
M
N
P
Q
R
S
NMERO DE PEDIDO
D39721000
D39722000
D39700804
D39711805
D39721806
D40013025
D40013120
D40013030
D39700831
D39700832
D39700833
D39700834
D39700835
D39700836
D39700837
D40001005
D40001010
D40001030
D40001050
D40001100
D40001150
D40005150
D40001250
D40005300
D40001500
D40001999
D39700803
5
PGINA
19
COMPONENTE
CONTROLADOR DE BOMBAS
TURBOMOLECULARES TIC
5
PGINA
20
Instrumento compacto
TIC se presenta en un gabinete compacto y puede montarse en un panel
o en un bastidor (bastidor 3U de 19"). Con la adicin de un marco, se
transforma en un atractivo instrumento para montar en un banco.
Interfaz grfica del usuario clara y fcil de usar
La gran pantalla LCD retroiluminada de 128 x 64 pxeles y el sistema de
mens similar al de un telfono celular simplifica la programacin y una
eleccin de pantallas de resumen asegura la excelente visibilidad de los
parmetros en pantalla.
Suministro elctrico universal
TIC operar con suministros de la red con una tensin que oscila entre
90 y 264 V c.a., y frecuencias entre 47 y 63 Hz. No se requiere la
intervencin del usuario.
Comunicaciones por puerto serial
Para permitir una integracin completa a los procedimientos controlados
por PC y PLC, todas las variantes del TIC incluyen interfaces RS232 y
RS485 como estndar.
WindowsTM Programa para PC
TIC se suministra con un nuevo programa para PC con WindowsTM que
permite una configuracin y control totales desde una PC mediante la
interfaz RS232.
Actualizaciones de software
A medida que se lanzan nuevos productos compatibles, el software del
TIC puede actualizarse de manera sencilla mediante el utilitario especial
suministrado con el programa de PC para WindowsTM.
Las actualizaciones de software del TIC estarn disponibles por medio de
correo electrnico e Internet.
DATOS TCNICOS
BOMBA TURBOMOLECULAR 24 V
VARIANTE TIC
100 W
200 W
OPCIONES DE LA BOMBA
TURBOMOLECULAR
EXT75DX
EXT70H y EXDC80
EXT255H y EXDC80*
EXT255H y EXDC160
Rpida
Rpida
Lenta
Rpida
Interfaz lgica
Caractersticas y ventajas
Controlador universal de bombas turbomoleculares e
instrumentos
El TIC reconoce automticamente y controla una bomba turbomolecular
de 24 V de las familias DX o EXDC. La versin de 200 W brinda suficiente
potencia para asegurar el desempeo ptimo de las bombas 255 de mayor
tamao. Las bombas turbomoleculares DX tienen una comunicacin total
por puerto serial con el TIC y ambos pueden configurarse y reportar su
estado por medio del TIC.
Soporte para bombas de refuerzo
Tanto las bombas de refuerzo conectadas a la red principal como las de
24 V pueden controlarse con el TIC. La versin de 200 W soporta la
nueva bomba seca de diafragma XDD1. Para sistemas de vaco ms
grandes, tanto la versin de 100 W como la de 200 W pueden controlar
bombas de refuerzo conectadas a la red principal incluyendo la XDS10 y
hasta la RV12, por medio de una caja de rels opcional.
Opciones de rel
La caja de rels externa opcional permite que las bombas de refuerzo de
la red principal puedan ser controladas y tambin brinda interfaces para
una banda calentadora de la bomba turbomolecular, una vlvula de
aislamiento para la lnea de refuerzo y un equipo de derivacin lgica.
Todas las cajas de rels incluyen un equipo de derivacin lgica para una
mayor integracin del sistema.
Configuracin de un sistema simple
En la mayora de las instancias, los sistemas TIC pueden configurarse de
manera sencilla y rpida mediante el uso de la gran variedad de cables
estndar en oferta, por lo tanto, no hay necesidad de que el cliente
prepare conjuntos de cables o cajas de rels e interfaces especiales.
Rpida
Rpida
Lenta
N/D
Entradas de control
Arranque/parada de la bomba
turbomolecular*
Espera de la bomba
turbomolecular
Arranque/parada de la bomba
de refuerzo*
Interruptor de enclavamiento
del sistema SYSI
Salidas de control
Control de la vlvula de
ventilacin
Control de la banda calentadora
Control de la bomba de
refuerzo
Enfriador por aire
Salidas de estado
Salida analgica
Punto de control A, B, C
Velocidad normal de la bomba
turbomolecular/alarma
Interfaz serial
INSTRUMENTOS
INSTRUMENTOS
DEL CONTROLADOR DEL CONTROLADOR
DE BOMBAS
DE BOMBAS
TURBOMOLECULARES TURBOMOLECULARES
TIC 100 W RS232
TIC 200 W RS232
Entrada de la red
Suministro elctrico
Consumo de energa
(mx)
Mxima corriente de
irrupcin
Fusible
Perno de tierra
90 a 264 V c.a. 47 a 63 Hz
215 VA
350 VA
Interfaces externas
5
PGINA
21
Botn Enter/Seleccionar
Botn Men/Volver
Botn Ciclar
Terminales auxiliares
Ventilador de enfriamiento por aire 24 V c.c. 3 W mx, ACX70, ACX75 y
ACX250H
Vlvula de ventilacin
24 V c.c. 2 W mx, TYAV5 y TAV6
Cables de interfaz
Utilice los cables que se especifican en la
"informacin sobre pedidos"
Dimensiones
Alojamiento de electrnica
110 mm de alto x 105 mm de ancho x
245 mm de profundidad
Panel frontal
106 mm de ancho x 128 mm de alto
Peso
Controlador de bombas
turbomoleculares TIC 100 W
2,75 kg
RS232
Controlador de bombas
turbomoleculares TIC 200 W
3,5 kg
RS232
Temperatura de operacin
+0 a +40 C
Temperatura de almacenamiento
-30 a +70 C
Humedad ambiente de operacin
mxima
90% RH sin condensacin a 40 C
Mxima altitud operativa
3000 m
Diseo electrnico
EN 61010-1
Compatibilidad electromagntica
EN 61326 (Ubicacin industrial,
Emisiones clase B)
Capacidad del alojamiento
IP20
BOC
EDW
ARD
S
Bomba de refuerzo de 24 V
(Para obtener informacin sobre el soporte de la bomba de refuerzo
conectada a la red elctrica, vea a continuacin.)
Las variantes del TIC que soportan bombas turbomoleculares de 200 W
reconocen y controlan las siguientes bombas de refuerzo de 24 V:
XDD1
PGINA
22
Bomba de refuerzo de 24 V
Bomba turbomolecular de 24 V
Interfaz lgica
RS232/485
Perno de tierra
Entrada de la red elctrica
Interruptor de encendido/apagado de la red elctrica
Suministro auxiliar de las terminales de ventilacin (24 V)
Disponible en versiones de 200 W solamente
5
Toma 'D' de 15 clavijas *
Toma 'D' de 15 clavijas *
Toma D de 25 clavijas
Toma 'D' de 9 clavijas
M4
Enchufe CEE/IEC 320
vlvula y ventilador
Terminal de 4 clavijas con tornillos
Interfaz de la pantalla
MAINS IN
ISOLATION
VALVE
3
9
BACKING PUMP
LOGIC INTERFACE
30V MAX
1
2
3
4
5
6
7
8
*
Bomba de refuerzo
pequea
Banda calentadora y
vlvula de aislamiento
de la lnea de
refuerzo.
Rels de
transferencia
(3 de 250 V c.a. y 3 A)
F1
7
F2
HEATER
USER
6
1
2
3
4
5
6
7
8
9
TIC
4
Enchufe CEE/IEC 320
Toma DIN de 3 clavijas
Toma 'D' de 25 clavijas
Toma 'D' de 25 clavijas
M4
Toma CEE/IEC 320
Toma CEE/IEC 320
5
PGINA
23
Las configuraciones del sistema TIC pueden crearse y guardarse para su uso
posterior, ahorrando de esa manera tiempo de programacin.
El software de PC incluye un utilitario de actualizacin, el cual permite que el
software incorporado del TIC pueda actualizarse por medio de la conexin al
puerto serial a partir de archivos suministrados electrnicamente.
Ejemplos de configuraciones
COMPONENTE
NMERO DE
PEDIDO
DESCRIPCIN
D39712000
D40013025
A74601991
B72241000
B58053075
D39700836
D39700836
C
D
E
F
G
* Al utilizarse una bomba XDD1, la bomba turbomolecular debera estar sujeta a una corta demora.
PGINA
24
COMPONENTE
NMERO DE
PEDIDO
DESCRIPCIN
D39712000
D40013025
D39711805
A74601991
B72241000
B58052060
B58066010
B58053075
D39700833
D39700836
D39700836
D39700834
N/D
C
D
E
F
G
H
J
K
L
M
N
E
G
D
EXT75DX ISO63
BX70 -Banda calentadora 240 V 60 W*
TAV5 - Vlvula de ventilacin
ACX75 - Enfriador por aire
Cable para interfaz lgica del TIC, 2 m
Ejemplos de configuraciones
E
G
H
D
K
J
COMPONENTE
NMERO DE
PEDIDO
DESCRIPCIN
D39711000
D40013025
D39711805
A37122919
B72221991
D39645000
B58066010
B58053075
D39700833
D39700836
D39700834
N/D
C
D
E
F
G
H
J
K
L
M
D39711000
D39712000
D39711805
D40013025
D40013120
D40013030
D39700831
D39700832
D39700833
D39700834
D39700835
D39700836
D39700837
5
PGINA
25
D39700803
NMERO DE PEDIDO
ACCESORIOS EXT
Accesorios EXT
2
13
12
DESCRIPCIN DEL
PRODUCTO
ACX75
ACX250
ACX250H
ACX555H
NMERO DE PEDIDO
B58053075
B58053150
B58053160
B58053561
BANDA DE DESECADO BX
5
11
6
7
10
Un enfriador por aire ACX se utiliza para enfriar una bomba EXT cuando un
suministro de agua para enfriamiento adecuado no est disponible o para una
bomba EXT en un sistema de bombeo mvil. El enfriador por aire ACX es un
conjunto de ventilador elctrico encerrado y mnsula de sujecin que se
instala fcilmente en los orificios para pernos en la base de la bomba.
El enfriador por aire ACX tiene un motor de 24 V c.c. que puede ser
alimentado y controlado desde una toma en el panel trasero en el controlador
EXC/TIC o bomba DX. Se suministra con 3 m de cable elctrico.
9
8
PGINA
26
Aislador de vibracin
Banda de desecado BX
Sello de la brida de entrada
(suministrado con la bomba)
Criba de entrada
(suministrada con la bomba)
Bomba EXT
Orificio de purga
(Adaptador NW10 instalado)
7
8
9
10
11
12
Cable de 1 m
Cable de 3 m
Cable de 5 m
NMERO DE PEDIDO
D39618010
D39618030
D39618050
DESCRIPCIN DEL
PRODUCTO
BX70, 110 V, 30 W
BX70, 240 V, 30 W
BX250, 110 V, 60 W
BX250, 240 V, 60 W
BX501, 110 V, 100 W
BX501, 240 V, 100 W
NMERO DE PEDIDO
B58052040
B58052060
B58052041
B58052061
B58052044
B58052064
NMERO DE PEDIDO
B58065001
46
VRX10
VRX20
VRX30
VRX50
VRX70
NMERO DE PEDIDO
0,1
0,2
0,3
0,5
0,7
B58066021
B58066022
B58066023
B58066024
B58066025
REPUESTOS EXT
INFORMACIN SOBRE PEDIDOS
DESCRIPCIN DEL PRODUCTO
NMERO DE PEDIDO
B58066010
B58066020
NMERO DE PEDIDO
B58066011
AISLADOR DE VIBRACIN
Un aislador de vibracin puede instalarse en una brida de entrada de la bomba
EXT para reducir la transmisin de la pequea cantidad de vibracin generada
por la bomba en su sistema de vaco. El aislador de vibracin tiene dos bridas
separadas por un fuelle flexible de acero inoxidable y un collar exterior de
goma antivibracin.
El aislador de vibracin est diseado para utilizarse slo con bombas
montadas verticalmente.
DN63CF
DN63ISO-K
DN100ISO-K
DN160ISO-K
DN100CF
DN160CF
Este adaptador macho BSP a DN10NW de !/8 pulg puede utilizarse para
reemplazar la vlvula de ventilacin TAV5 o la vlvula manual instalada en las
bombas EXT. Permite que el orificio de ventilacin roscado de la bomba (y el
orificio de purga roscado en la EXT255H, EXT555H y la EXT250M) pueda
convertirse en una brida DN10NW.
El adaptador del orificio de ventilacin se suministra con un restrictor de flujo
removible y un anillo "O" para sellar el adaptador a la bomba.
NMERO DE PEDIDO
B58101000
B58115000
B58120000
B58125000
B58105000
B58110000
5
PGINA
27
TIPO DE BOMBA
PARA INSTALARSE EN
ESTE TAMAO DE
BRIDA DE ENTRADA
NMERO DE PEDIDO
B27158453
B27158466
B27158170
B27158171
B27158074
C10007490
C10009290
C10011290
B58051005
B58051001
B72240860
B58051007
B58051008
B73501164
B73600121
B58067003
EXT70DX
EXT255DX
EXT70H
EXT255H
Tipo de brida
1 DN40NW
2 DN63ISO-K
3 DN63CF
4 DN100ISO-K
5 DN100CF
Bomba de refuerzo
1 E2M0.7
2 E2M1.5
3 RV3
4 RV5
5 RV8
6 RV12
A XDD1
B XDS5
C XDS10
Montaje
1 EXPT1
2 EXPT2
Caractersticas y ventajas
Totalmente montadas y listas para usar
Arranque/parada del sistema desde el panel de control
Control tanto de la bomba turbomolecular como de los indicadores*
desde el TIC integrado
Puerto serial de comunicaciones disponible con RS232 y RS485
Opciones de bombeo seco con XDD1, XDS5 y XDS10
5
PGINA
28
Para Amrica del Norte y Brasil, vea las fotografas que aparecen a
continuacin. Comunquese con nuestro Centro nacional de ventas al
800-848-9800. Tome en cuenta que estos sistemas de carro slo estn
disponibles en Amrica del Norte y Brasil. Para todos los dems territorios,
consulte la informacin antedicha.
1
2
3
4
0
1
2
3
4
5
6
7
8
0
1
3
5
Suministro elctrico
220-240 V 50/60 Hz (Europa)
110-120 V 50/60 Hz (EE.UU.)
100 V 50/60 Hz (Japn)
220-240 V 50/60 Hz (RU)
1
2
3
4