PENDAHULUAN

Polusi udara adalah masuknya substansi fisik, kimia dan biologis di atmosfer yang dapat
nerubah tatanan lingkungan yang dapat mengganggu kehidupan. Program langit biru
merupakan usaha pemerintah untuk meniadakan atau memperkecil polusi udara. Secara alami
didalam udara sudah mengandung material -material yang menyerap panas diantaranya
karbon dioksida, uap air, oksigen, dan ozon sehingga lapisan boisfer tetap hangat dan cocok.
untuk kondisi lingkungan semua organism.

Polutan yang lepas ke udara menambah

konsentrasi material yang sudah ada dan masuknya material baru seperti nitrogen oksida,
karbon monooksida, sulfur dioksida, dan metana sehingga atmosfer menjadi lebih pekat dan
berefek negative terhadap kehidupan. Di kota-kota besar seperti Jakarta, Surabaya, Medan,
dan Bandung akibat polusi, sejak tahun 2003 kualitas udara turun 28 % . Konsentrasi material
yang pekat menghalangi sinar gelombang panjang ( diatas 700 milimikron) keluar dari
atmosfer sehingga tetap berada didalam dan ini disebut efek rumah kaca. Sinar matahari
gelombang panjang berfungsi sebagai pemanas dan yang terperangkap pada lapisan udara
akan menaikkan suhu disekitarny sehingg menjadi lebih panas dari biasanya, sampai akhir
tahun 2100 temperatur atmosfer naik kisaran 1,4-5,8 derajat Celsius. Dampat efek rumah
kaca terhadap organisme tertentu dimuka bumi adalah perubahan siklus hidup,

mutasi

genetik, dan munculnya jenis penyakit baru.

PENYEBAB POLUSI UDARA
Polusi udara dibedakan menjadi pencemar primer dan pencemar sekunder Pencemar primer
adalah substansi pencemar yang ditimbulkan langsung dari sumberpencemaran udara. Karbon
monoksida adalah sebuah contoh dari pencemar udara primerkarena ia . merupakan hasil dari
pembakaran. Pencemar sekunder adalah substansi pencemar yang terbentuk dari reaksi
pencemar-pencemar primer di atmosfer. Pembentukan ozon dalam asap dan kabut fotokimia
adalah sebuah contoh dari pencemaran udar sekunder. Beberapa kegiatan manusia yang dapat
menimbulkan polusi udara adalah transportasi, industri, pembangkit listrik, pembakaran
(perapian, kompor, furnace, insinerator dengan berbagai jenis bahan bakar). Gas buang pabrik
yang menghasilkan gas berbahaya seperti klorofluorcarbon (CFC), nitrogen dioksida, dan
sulfur trioksida (Cmmittee on Environmental Healt, 2009). Industri peternakan, rawa-rawa,
lahan uruk, pembuangan sampah akhir, nitrifikasi dan denitrifikasi biologis
mengeluarkan gas metana dan senyawa nitrogen lain,

dapat

Polutan yamg berada di udara adalah senyawa yang berat molekulnya kecil dan substansi
yang terhembus dari permukaan bumi. Kepekatan polutan berangsur menurun dengan
bertambahnya ketinggian dari permukaan bumi. Stratifikasi lapisan atmosfer dari bawah
keatas adalah troposfer, stratosfer, termosfer, dan ionosfer.
a.. Karbon Dioksida (CO2)
Karbon dioksida berasal dari pembakaran sempurna hidrokarbon diantaranya adalah minyak
bumi dan gas alam. Sebagai contoh pembakaran oktana yang merupakan salah satu
komponen bensin dengan reaksi seperti berikut : 2 C8H18 + 25 O2 - > 16 CO2 + 18
H2O. Sebenarnya gas karbon dioksida tidak berbahaya bagi manusia namun, kenaikan
kadar CO2 di udara penyebab utamapeningkatan suhu di permukaan bumi . Karbon dioksida
di udara dapat dilewati sinar ultra ungu dan sinar tampak, tetapi menahan sinar infra merah
yang dipantulkan dari bumi.
Karbon Monoksida (CO)
Gas karbon monoksida berasal dari pembakaran tak sempurna bahan bakar dalam kendaraan
bermotor. Gas buang hasil pembakaran bensin dari kendaraan bermotor mengandung 10.000
sampai 40.000 ppm CO .

Gas ini tidak berwarna dan tidak berbau, oleh karena itu,

kehadirannya tidak segera diketahui. Gas itu bersifat racun, dapat menimbulkan rasa sakit
pada mata, saluran pernafasan, dan paru-paru. Bila masuk ke dalam darah melalui pernafasan,
CO bereaksi dengan hemoglobin dalam darah membentuk COHb (karboksihemoglobin)
dengan reaksi sebagai berikut :
CO + Hb .>COHb. Hemoglobin ini seharusnya bereaksi dengan oksigen menjadi
O2Hb (oksihemoglobin) dan membawa oksigen yang diperlukan ke sel-sel jaringan tubuh
dengan reaksi sebagai berikut : O2O2Hb. Ikatan CO dengan Hb lebih kuat dibanding O2,
dengan Hb+ Hb, sehingga menghalangi fungsi vital Hb untuk membawa oksigen beredar ke
seluruh jaringan tubuh.
c. Oksida Belerang (SO2 dan SO3)
Senyawa-senyawa belerang yang bertindak sebagai zat pencemar yang berbahaya adalah gasgasa SO2 dan SO3. Gas SO2 di atmosfer sebagian besar berasal dari hasil pembakaran
minyak bumi dan batubara yang mengandung belerang, di samping ada juga yang berasal dari
hasil oksidasi bijih-bijih sulfida di industri. Udara yang mengadungSO2 dalam kadar cukup

tinggi dapat menyebabkan radang paru-paru dan tenggorokanpada manusia serta khlorosis
(kepucatan) pada daun-daun. Oksidasi SO2 akanmenyebabkan terbentuknya SO3. Sulfur
trioksida bila bereaksi dengan uap air akan menyebabkan hujan asam . Nilai pH air hujan
yang mengandung oksida belerang akan turun menjadi 3 4. Hal ini berakibatnya timbulnya
korosi logam-logam, kerusakan bangunan yang terbuat dari batu pualam dan memudarnya
cat-cat pada lukisan. Sulfur dioksida ( SO2) apabila terisap oleh pernafasan, akan bereaksi
dengan air dalam saluran pernafasan dan membentuk asam sulfit yang akan merusak jaringan
dan menimbulkan rasa sakit. Senyawa SO3 yang terisap, maka yang terbentuk adalah asam
sulfat, dan asam ini lebih berbahaya (Committee on Environmental Healt, 2004).
d. Oksida Nitrogen (NO dan NO2)
Dalam beberapa dasawarsa terakhir, jumlah kendaraan bermotor yang meningkat
telahmenimbulkan

sejenis

pencemaran

udara

yang

tidak

pernah

dialami

oleh

peradabansebelumnya. Pencemaran ini ditimbulkan oleh oksida nitrogen. Sumber utama

oksida nitrogen adalah pembakaran bahan bakar dalam industri dan kendaraan
bermotorNitrogen dan oksigen tidak bereaksi pada suhu rendah, tetapi pada suhu tinggi,
kedua gas tersebut dimungkinkan bereaksi sebagai berikut :N2 + O2 - 2NO. Sekitar 10%
dari gas NO yang dihasilkan, teroksidasi lebih lanjut membentuk NO2. Campuran NO dan
NO2 sebagai pencemar udara biasa ditandai dengan lambang NOx. NOx di udara tidak
beracun secara langsung pada manusia, tetapi NOx ini bereaksi dengan bahan-bahan
pencemar lain dan menimbulkan fenomena asbut (asap-kabut) atau smog (Inggris). Asbut ini
mengakibatkan mata perih, nafas sesak dan tanaman layu. Asbut adalah campuran rumit yang
terdiri dari berbagai gas dan partikel-partikel zat cair dan zat padat.
Asbut dihasilkan dari serentetan reaksi fotokimia , yaitu reaksi kimia di bawah pengaruh sinar
matahari. Senyawa NO2 dalam motor bakar, menghasilkan hidrokarbon yang tidak terbakar
akibat reaksi pembakaran di dalam motor kurang sempurna. Hidrokarbon ini dapat bereaksi
dengan atom oksigen yang dihasilkan dari dekomposisi fotokimia NO2. Reaksi ini
menghasilkan radikal hidrokarbon bebas yang sangat reaktif. Radikal ini bereaksi dengan
NO dan menghasilkan NO2 lagi, dan serentetan reaksi berulang lagi dan menghasilkan ozon.
Radikal bebas itu juga bereaksi dengan O2 dan N2 dan menghasilkan senyawa yang disebut
peroksiasilnitrat (PAN)dan memberi efek asbut menimbulkan rasa perih di mata.
e. Pencemar Butiran

Di antara pencemar butiran, yang paling mencolok adalah asap dan butir-butir karbon sisa
pembakaran. Bahan pencemar itu dapat berasal dari pembangkit listrik, industri dan
kendaraan bermotor. Pencemar butiran dapat mengganggu pernafasan, daya pandang dan
mempengaruhi cuaca.
f. Pencemaran Timbal di udara
Timbal (Pb) merupakan pencemar udara yang berasal dari gas buangan kendaraan bermotor.
Untuk menghasilkan pembakaran yang baik dan meningkatkan efisiensi motor
bakar, bensin diberi zat tambahan, yaitu Pb(C2H5)4 atau tetra etil timbale. Pembakaran di
dalam motor, timbal dilepas ke udara dalam bentuk oksida timbal. Timbal merupakan racun
keras yang bila menumpuk di dalam tubuh akan menimbulkan kerusakan permanen pada
otak, darah dan organ tubuh lainnya.

OksidasiOksidasi adalah proses pembentukan lapisan SiO2diatas permukaan wafer silikon.

Oksidasi padafabrikasi ini menggunakan metoda temperatur tinggi.Ada dua oksidasi thermal
yang dilakukan, yaitu oksidasi basah dan oksidasi kering. Oksidasi basah dilakukan dengan
mengalirkan gas oksigen murni bubbler 2O yang didihkan, kemudian uap airnya dialirkan
kedalam tungku yang berisi wafer yang akan dioksidasi. Oksidasi ini field Oxide masker pada
saat proses difusi. Reaksi kimia yangterjadi adalah :Si(solid)+ 2H2O(liquid) SiO2 (solid)+
2H2(gas) Oksidasi kering dilakukan dengan mengalirkan gas O2 murni dan kering kedalam
tungku oksidasi yang berisi wafer. Pertumbuhan oksida lambat, tetapi kualitas dielektriknya
baik. Reaksi kimia yang terjadi adalah :Si(solid)+ O2(gas) SiO2(solid)Difusi
Ketidakmurnian dapat diberikan pada subtrats ilikon menggunakan difusi maupun implantasi
ion.Ketidakmurniandidifusikandaripermukaansemikonduktor kedalam bulk yang dipanaskan
padatemperatur tinggi. Difusi terjadi pada suhu 800-1400oC. Difusi dibagi menjadi
predeposisi dan drive-in.1. Predeposisisolid sourceoleh gas nitrogen sebagai gas pembawa.
Prosespredeposisi bergantung pada tercapai tidaknyasolid Solubilitypada permukaan Silikon.
Jika sudah tercapai makabahan pengedop akan berdifusi sebagai fungsi darikoefisien difusi
serta waktu. Hal ini sesuai denganhukum Fick kedua :2xNDtN=(4)dimana : D =
konstanta

difusiSolusi

hukum

Fick

diatas

menghasilkan

persamaankonsentrasi

ketidakmurnian :=DtxerfcCtxCs),((5)solid solubilitydoping, x =

kedalaman sambungan, t = lamanyadifusi2. Drive-inDrive-insource dopantatom-atom

ketidakmurnian tersebut lebih masukkedalam substratdan memperbaiki profil difusi.Solusi
hukum Fick kedua : =DtxDtQtxC4exp),(2(6)dimana : Q = jumlah
atom ketidakmurnian,=3,14159 dengan :DtQCs=adalah konsentrasipermukaan setelah
drive-in.Kedalaman

sambungan

setelah

drive-inDtCQDtXjBln4=(7)Fotolitografi

dan

EtsaFotolitografi merupakan proses pemindahan poladari masker kelapisan fotoresist yang

terbuat daribahan yang peka terhadap radiasi cahaya, umumnyadaerah ultraviolet. Sedangkan
pemindahan pola darilapisan fotoresist ke lapisan di bawahnya, dilakukanmelalui proses etsa.
Terdapat dua jenis resist yang digunakan yaitu resist positif dan resist negatif.Penggunaanya
tergantung pada pola yang diinginkan. Pada waktu pencetakan setelah penyinaranultraviolet,
bagian resist dari tipe positif setelahdisinari akan hilang sedangkan bagian yang tertutupoleh
masker masih ada. Pada resist negatif terjadisebaliknya.Teknik fotolitografi meliputi :
pelapisan fotoresistmenggunakan spinner, proses selanjutya adalahprebakemenambah daya
adhesi antara resist dengan lapisandibawahnya, pelurusan dan penyinaran menggunakanmask
aligner, Selanjutnya adalah developer(pengembangan) untuk menimbulkan pola padaresist,
dan proses fotolitografi terakhir adalahpostbakemenguatkan resist.Sesudah fotolitografi maka
langkah selanjutnyaadalah etsa. Tujuan dilakukan etsa adalah untukmembuka lapisan pada
tempat-tempat yang tidaktertutup oleh resist. Resist yang masih ada harusdibuang karena
tidak

berguna

dan

akan

mengotoriproses

selanjutnya

dengan

menggunakan

stripperresist.Deposisi PolisilikonPolisilikon di gunakan untuk elektroda gatesebagai penganti

metal, sebagai konduktor untukmultilevel metalizationsebagai bahan aktif dalam sensor
temperatur, danuntuk interkoneksi. Di gunakan polisilikon untukgate karena polisilikon dapat
diatur harga resistivitas,dengan cara mendoping polisilikon. DeposisiLowPressure Chemical
Vapour

Deposition).Metalisasi

AluminiumMetalisasi

digunakan

untuk

interkoneksi

danmembentuk kontak dengan dunia luar. Bahan yangdigunakan untuk metalisasi adalah
aluminium (Al).Prosesnya yaitu dengan cara penembakan target yangberada pada chamber
sangat vakum. DeposisiAluminium digunakan Sputtering.Langkah-Langkah Fabrikasi
Masked-Read OnlyMemory dengan Teknologi NMOSFET.