Captulo IV

Clculo de Sistemas de Vcuo

Fontes de gs em sistemas de vcuo Um sistema de vcuo um conjunto de componentes usados para obter, para medir e para manter o vcuo em uma cmara ou dispositivo. Qualquer sistema de vcuo consiste de uma ou mais bombas de vcuo, de medidores de vcuo e de tubos conectando-os. O sistema tambm dever conter vlvulas, armadilhas e/ou anteparos, selos diversos, passantes eltricos e mecnicos, e outros elementos. A Fig. 4 mostra um sistema tpico para alto vcuo, como j esquematizado na Fig. 1.1, mas mostrando seus componentes em maior detalhe.

Fig. 4.1: esquema de sistema de alto vcuo. 1 bomba rotativa (primria); 2 armadilha para umidade; 3 vlvula para entrada de ar ("quebrar o vcuo"); 4 vlvula (para isolao da bomba primria; 5 linha para vcuo de apoio difusora; 6 vlvula para vcuo primrio; 7 linha de vcuo primrio; 8 medidor de vcuo tipo Pirani; 9 vlvula para isolar a bomba difusora; 10 bomba difusora; 11 vlvula para isolar a bomba difusora da cmara de vcuo; 12 cmara de vcuo; 13 passante eltrico; 14 eixo selado; 15 medidor de vcuo tipo Penning; 16 janela ptica. (Fig. 3.35, pg. 124 Roth)

Para poder descrever o comportamento de um sistema de vcuo, necessrio considerar todas as possveis fontes de gs que, a qualquer momento, podero estar em equilbrio com a ao das bombas de vcuo. As fontes de gs so: as molculas de gs da atmosfera inicial dentro do sistema, ou seja, a fase gasosa no volume do sistema (Q) o gs que penetra no sistema como resultado de vazamentos (QL).

o gs proveniente de dessoro das paredes, ou seja, a fase adsorvida (Qd). os gases ou vapores originrios da presso de vapor dos diferentes materiais dentro do sistema (Qev). o gs que penetra no sistema por permeao atravs das paredes, janelas e selos (QD).

Com excesso da primeira, as demais fontes de gs so funo da construo do sistema. O tpico de vazamentos especialmente importante, e ser tratado no final deste captulo. Para a discusso a seguir, vamos considerar que a totalidade das vazes de massa QT destas fontes constante para o intervalo de tempo que considerarmos, ou seja: Q T Q L Q d Q ev Q D cte (1).

Bombeamento no regime viscoso Vamos supor que a velocidade de bombeamento Sb das bombas (ou bomba) constante no intervalo de presses de interesse. Como estamos tratando do regime viscoso, a menor presso a ser atingida dever estar ao redor de 10-2 torr, o que usualmente pode ser conseguido utilizando-se uma bomba mecnica. De acordo com a eq. 13 do Cap. 2, a velocidade de bombeamento S obtida na Sb C boca da cmara atravs da condutncia C ligando-a bomba dada por S (2). Se a Sb C

presso suficientemente alta para termos fluxo viscoso, a condutncia do tubo ligando a bomba cmara dada P Pb D4 D4 P E P E pela eq. 33 do Cap. 2, ou seja: C (3), com E , 128 L 128 L 2 P a presso na cmara e Pb a presso na entrada da bomba. Substituindo a eq. 3 na eq. 2, obtemos P Pb Sb E 2 (4), da qual obtemos a vazo de massa S P Pb Sb E 2

2 desprezando QT por ser desprezvel frente a Q. Como Pb tambm uma funo de P, escrevemos dP (6), uma vez que a vazo de massa a mesma em todas as partes do sistema Q P b Sb V dt de vcuo (sistema em srie). Ou seja, obtemos

( ) ( ) ( ) ( ) 
P Sb E E P Pb PS 2 Sb P Pb

dP dt

(5). Nesta equao V o volume da cmara, e estamos

( )( )
V Sb
2

dP dt

2V E

( )
Pb P dP dt
2

V dP Sb dt 0

(7), e levando esta expresso eq. 5, A

(8).Colocando

2V , e B E

( )
V Sb

resolvendo a equao 8, obtemos

dP dt

A
2

decresce com o tempo, apenas a soluo com 2B A

A
2

dP 4BP
2

dt (10),ou seja,

Integrando esta equao, obtemos

com K = constante de integrao. Usando a condio de contorno que para t = 0 P = Pi (a presso inicial), obtemos K

B ln P i

[ ] [ ]
2B A A 4BP 4 B P2
2 2

dP dt

A 4BP 2B

(9). Uma vez que a presso

0 real, temos

dP

dt (11).

A 2P

[
2 i

A2 2 P 4B P

ln P

A2 4B

(12), K

A 4B

A 2 Pi 4B Pi

A (13). 2P i

Como

A2 4B

( ) ( ) ( )
2V E 2V Sb
2

Sb E

(14),

temos

t V

[ ]
1 E 1 P 1 Pi

1 Sb

( ) ( )
Sb E
2

Sb E

2 i

Pi

1 ln Sb

[ ( )]
Pi P Sb E
2

( (

Sb E

) )
2

P2 i

(14).

P2

Esta equao colocada, na Fig. 4.2, em forma de grfico, parametrizada pelo parmetro -2 D 4 128 E (15) e considerando Pi = 760 torr e P = 7,6 10 torr, que o intervalo de presses L para o qual se pode considerar o escoamento do gs como viscoso. Se um volume V = 100 l evacuado por uma bomba com velocidade de bombeamento de Sb = 2 l/s atravs de um tubo de dimetro D = 2 cm e comprimento L = 200 cm, ento cm3. Na curva rotulada 8.10-2 na Fig. 4.2 obtemos, para Sb = 2 l/s,

t 6 s/l. Assim, o tempo V requerido para o volume de 100 l t = 600 s. Se a cmara ligada diretamente bomba, sem a 4 t 4,5 s, ou seja, para o volume de 100 l, o intermediao do tubo, a linha D fornece V L tempo agora 450 s. interessante notar que quando a bomba ligada diretamente cmara, L = 0

D4 L

8 10

e E , e a eq. 14 reduz-se a

( ) ( )
V ln Sb Pi P

(16), que a mesma equao que descreve o

tempo de bombeamento no escoamento molecular, para o qual a condutncia no funo da presso.

Fig. 4.2: Tempo requerido para abaixar a presso de 760 torr at 7,6.10-2 torr em um volume V (l) conectado por tubo de dimetro D (cm) e comprimento L (cm) a uma bomba de velocidade de bombeamento Sp (l/s). (Fig. 3.36, pg. 127 Roth)

Bombeamento no regime molecular Neste regime o bombeamento limitado pelo equilbrio entre a vazo de massa residual QT (eq. 1) e a velocidade de bombeamento da bomba empregada tanto na prpria bomba quanto na cmara que est sendo evacuada. Chamamos de carga de gs a soma de QT com o gs que vem do processo em si sendo realizado dentro da cmara de vcuo (secagem a vcuo, degaseificao, etc). No que se segue, vamos considerar apenas QT como definido pela equao 1. Aqui, necessrio levar em conta uma outra contribuio para a carga de gs, a que vem da bomba propriamente, e que constituda de vazamentos no corpo da bomba e retro-difuso do fluido de bombeamento da bomba (se ele existe) ou retro-difuso dos gases bombeados pela bomba, o que pode acontecer em presses muito baixas. Vamos designar este retro-fluxo de Q0. Se a velocidade de bombeamento terica (nominal) St, a vazo de massa ser Q0 Q St P b Q 0 St P b 1 (17), para a qual Pb a presso na boca da bomba. A menor St P b

presso P0 que a bomba atingir ser quando a vazo de massa Q = 0, ou seja, velocidade real de bombeamento da bomba Sb ser dada por

Q0

St P 0 (18). A

Sb

bombeamento

massa na cmara dP dt

tempo requerido para abaixar a presso do seu valor inicial Pi ao valor P, que dado por V 1 St Sp ln C

tempo t dada por

) ( )  ( ) ( )  ( ) ) ( ) ( ) ( ) ( ( ) ( ) ( ) [ ( ) ( ) ]
Q Pb St 1 Q0 St P b St 1 P0 Pb S Sb C Sb C Q SP P Sb C Sb C V dP dt V QT St P T P0 (22), e como Sb P b SP dt V 1 Sb C dP St P 1 Sb P C 0 1 Sb Q T C St Sb C

(19). Na cmara de vcuo, a velocidade de

(20), e a carga de gs QT dada pela eq. 1. Portanto, a vazo de Q T (21). Ou seja, podemos escrever Sb C P (23), temos que Sb C

(24). Desta equao podemos obter o

Pi

Sb P0 C

QT St

Sb P0 C

Sb C

(25). A presso alcanada aps o

Pi

Sb P0 C

Sb C

QT exp St

( )
St t V Sb 1 C Sb C

Sb P C 0

Sb Q T (26). C St

Se a condutncia C muito grande, isto e, se bomba (presso final) devido carga de gs escritas como Pi P0 V t ln St P P0

P u,b

1 , e se a presso mais baixa atingvel na QT as equaes 25 e 26 podem ser reSt

( )
P u,b P u,b

(27) e

Pi P0 P u,b e
St t V

P0

P u,b (28).

Quando uma condutncia C liga a bomba cmara, a presso final na cmara Pu devido carga de gs dada por

Pu

) ( ( )
QT S QT Sb C Sb C 1 Sb C 1 P0 Pb V 1 St St ln C

P u,b

(29). Levando esta ltima equao na equao 25,

obtemos

( )

Pi P

presso mais baixa da bomba P0 muito menor que Pu (e Pb), torna-se St Pi Pu V t 1 ln (31). St C P Pu Integrando a equao 21 considerando Sb constante e independente de P, obtemos t

( ) [ ]
V 1 Sb Sb ln C Pi Pu P Pu

( ) ( ) ( ) ( )
1 Sb P0 C 1 1 Sb P0 C 1

P0 Pu Pb

P0 Pu Pb

(30), que, para um sistema para o qual a

( ) [ ]
Pi Pu e

(32), que idntica eq. 31, a menos que na eq. 31 consideramos

a velocidade terica de bombeamento St, e na eq. 32 consideramos a velocidade efetiva de bombeamento Sb. Explicitando a presso P, obtemos

P u (33). Esta equao mostra que aps um longo tempo de bombeamento a presso tende presso final Pu determinada pela carga de gs (eq. 29). Ou seja, a eq. 33 descreve tanto o bombeamento transiente dado por estacionrio final dado por P

Sb t V Sb 1 C

QT (35). Esta ltima relao diz que teremos uma presso S final constante se QT constante, provocado por um vazamento, por exemplo, ou uma presso final decrescente no tempo se QT varivel, como quando no temos vazamento e a carga do gs devida dessoro ou permeao. A fig. 4.3 ilustra ambos os casos. A Fig. 4.3 ilustra tambm o significado das diferentes constantes de tempo que caracterizam o sistema de vcuo. Estas constantes de tempo do o tempo para reduzir a presso de uma dada V frao. O tempo requerido para reduzir a presso a e-1 = 0,367 do valor original (36), e S ser chamada de constante de tempo do sistema. O tempo para reduzir a presso metade do valor V 0,693 0,693 (37), e o tempo para reduzir a presso a inicial, a meia-vida, dado por 1 2 S Pu

Pi e

S t V

(34) quanto o estado

0,1 do valor inicial (reduzir de uma dcada) dado por

1 10

2,3

V S

2,3

(38). Note que 6

todos estes tempos so diretamente proporcionais ao volume sendo bombeado e so inversamente proporcionais velocidade de bombeamento, o que intuitivo.

Fig. 4.3: Variao da presso no regime transiente e no regime estacionrio (fig. 3.37, pg. 130 Roth)

Estado estacionrio com carga de gs distribuda A presso final de estado estacionrio em um sistema de vcuo dada pela eq. 35. No caso de uma cmara, a presso uniforme. No entanto, se temos um tubo comprido, de modo que a carga de gs distribuda ao longo do tubo, o estado estacionrio caracterizado por um gradiente de presso ao longo do tubo. Consideremos a Fig. 4.4a, onde se mostra que a bomba est evacuando um tubo longo fechado

Fig. 4.4: Carga de gs distribuda a) em sistema fechado em um lado; b) sistema aberto longo (Fig. 3.38 pg. 132 Roth)

em uma extremidade, de condutncia C e comprimento L. Vamos designar a taxa de degaseificao 7

por unidade de rea por qd. A carga de gs devida a um trecho elementar de comprimento dx dada dQ q d B dx (39). Nesta equao B designa a medida do permetro do tubo, e o sinal por negativo indica fluxo na direo -x. A vazo de massa no elemento dx Diferenciando esta expresso, obtemos obtemos dQ Q

qd B qd B d2 P dP (42). Integrando, obtemos x K 1 (43), com K1 2 CL dx CL dx constante de integrao. Podemos usar a condio de contorno que, na extremidade do tubo x = L qd B dP (44). Assim, a equao 43 fica 0 K1 dx C dP dx

( )
C

L dP (40). dx

d2 P CL dx (41). Da igualdade das eq. 39 e 41, dx 2

P x

presso P x

longo do tubo parablica, sendo mxima na extremidade fechada, com o valor dado por 1 1 (49). A queda de presso entre uma posio x e a bomba dada por PL qd B L Sb 2 C P x P0 qd B x C

qd B L (51), que mostra que esta queda de presso independente da velocidade de 2C bombeamento, ou seja, mesmo utilizando uma bomba muito grande, a presso no cair abaixo dos valores dados pelas equaes 50 e 51. Por esta razo, o bombeamento de tubos longos, por exemplo, para aceleradores de partculas, deve ser feito colocando-se um certo nmero de bombas ao longo do comprimento do tubo. O nmero de bombas, o seu tipo e a queda de presso so interligados pelas equaes 47 a 51. Se o tipo de bomba conhecido (escolhido), o espaamento Lp P 0 Sb entre bombas adjacentes (Fig. 4.5b) pode ser determinado da eq. 47 como sendo L p (52), qd B P L P0 e, usando Lp (53), obtm-se da eq. 51 a queda de presso. 2 Se a queda de presso PL P0 dada, a distncia entre as bombas Lp = 2 L pode ser obtida da eq. 51 colocando-se nesta a condutncia C. O valor de Lp determina ento, pela eq. 47, o tipo de bomba (P0, Sb) a ser usada. L 8

  ( ( (
qd B x CL qd B 2 x 2CL P0 qd B L Sb

qd B C

qd B 1 C

qd B x C

qd B L Sb x C

( )
x L

(45).

Integrando

novamente,

obtemos

K 2 (46). Outra condio de contorno que, na boca da bomba, a Ou seja, a equao 46 pode ser re-escrita

K 2 (47).

x2 2CL

(48). Esta equao mostra que a distribuio de presso ao

x2 2CL

(50) enquanto a queda de presso para todo o tubo dada por