Tcnicas basadas en la interaccin de electrones con una muestra

En esta seccin veremos bsicamente dos tcnicas: la microscopa electrnica de barrido (en ingls SEM, Scanning Electron Microscopy) y la microscopa electrnica de transmisin (TEM, Transmission Electron Microscopy. El TEM fue inventado en el ao 1931 y su rango de operacin va desde aproximadamente 100 micras hasta la resolucin atmica, normalmente 0.1 nm. El SEM fue inventado un poco despus en 1942 y su rango de operacin va desde alrededor las 500 micras hasta 1 a 2 nm. Como se puede observar un aspecto muy relevante de las microscopas en base a electrones es su poder resolutivo. Cuando discutimos la microscopa ptica llegamos a la conclusin que un microscopio ptico puede tener una resolucin mxima de 0.2 micras (de acuerdo a la relacin, Resolucin = 0.61/NA). Tambin podemos considerar esta ecuacin para las tcnicas con electrones. De Broglie mostr que una partcula movindose a una velocidad cercana a la de la luz tena una asociada con ella. Esta relacin est expresada por:

donde es la longitud de onda, h la constante de Planck, m la masa de la partcula y v su velocidad. Por lo tanto si la partcula es un electrn y su velocidad 1/3 de la velocidad de la luz, = 0.05 . que es 100.000 veces ms corta que la luz verde del visible. Por lo tanto, la resolucin de un microscopio que emplee este tipo de radiacin ser mucho mejor que la de un microscopio ptico. Esa longitud de onda ser ms corta cuanto mayor sea la velocidad a la que se mueven los electrones, es decir cuanto mayor sea su voltaje de aceleracin. La resolucin terica sera un nmero mucho ms pequeo que el informado arriba pero esa resolucin terica est limitada por la calidad de las lentes electromagnticas1 que se usan en ambas tcnicas.

Generalmente las lentes presentan aberraciones que limitan la resolucin de la tcnica

Figura 1. Intervalo de operacin del SEM y TEM en comparacin con la microscopa ptica.

Interacciones electrones-muestra
Cuando un haz de electrones de un microscopio incide sobre la muestra se produce una serie de interacciones que delimitan un volumen de interaccin (muchas veces llamado pera de interaccin). Esas interacciones son por una parte son responsables como veremos ms delante de las imgenes observadas y por otra parte originan distintas radiaciones secundarias que pueden utilizarse para obtener una informacin complementaria. Si la muestra es lo suficientemente delgada una gran fraccin de los electrones incidentes lograrn atravesarla (electrones transmitidos). Parte de los electrones incidentes pueden ser retro-dispersados (o retro-reflejados) por los ncleos del propio material alcanzando la superficie desde zonas profundas del material (en ingls se conocen como backscattered electrons). Como resultado de la interaccin de los electrones incidentes o del haz de electrones retro-dispersado con la muestra, algunos electrones de la superficie de la muestra pueden ser expulsados lo que se conoce como haz de electrones secundarios. Tambin como resultado de esa interaccin y expulsin los tomos que forman el material buscan el estado electrnico de equilibrio o de relajacin dando lugar a la emisin de rayos X o a la expulsin de electrones de orbitales externos (electrones Auger).

Figura 2. Interacciones electrn/muestra. Volumen de interaccin mostrando algunas de las seales que se pueden producir.

La profundidad de esa pera de interaccin depender del nmero atmico que tenga la muestra y del voltaje de aceleracin de los electrones que forman el haz. Cuanto ms grande es el voltaje de aceleracin ms grande ser la zona de penetracin y cuanto ms grande sea el nmero atmico ms pequea ser el rea de interaccin.

Figura 3. Volumen de interaccin en funcin del voltaje de aceleracin del haz de electrones y del nmero atmico de la muestra.

SEM y TEM: dispositivo experimental

Ambos microscopios cuentan con una columna que debe estar en vaco2 donde se encuentran los siguientes componentes: 1. Can de electrones 2. Sistema de lentes electromagnticas 3. Detectores El can de electrones, es la fuente emisora del haz de electrones. Est constituido por un filamento (ctodo) que se calienta por el pasaje de una corriente, emitiendo electrones que son acelerados hacia un nodo con apertura circular que deja pasar el haz de electrones hacia la columna del microscopio.3 Cuanto mayor sea la energa de aceleracin, menor ser la longitud de onda, aumentando la resolucin la resolucin de la tcnica. El voltaje de aceleracin de un microscopio electrnico de barrido se encuentra entre 2kV y 50 kV. En cambio en el TEM puede ir desde 100 kV hasta 1250 kV. El sistema de lentes est formado bsicamente por lentes condensadores y objetivo. En el caso del TEM, las lentes condensadores focalizan el haz de electrones, mientras que la lente objetivo forma la imagen. En el caso del SEM las lentes condensadora y objetivo estn encargadas de focalizar y reducir a un dimetro muy pequeo el haz de electrones producido por el filamento. En el SEM la columna tiene tambin unas bobinas de barrido que permiten que el haz pueda escanear la muestra. Encima de la muestra se encuentra los detectores tanto de los electrones secundarios como los retro-reflejados, que son bsicamente las dos seales tpicas que forman las imgenes de SEM. En el caso del TEM la deteccin se puede hacer a travs de una pantalla fluorescente ubicada por debajo de la muestra. La pantalla del microscopio electrnico de transmisin est recubierta por una pintura de fluoruros de Zn y Cd, que fluoresce cuando es bombardeada por electrones, generando una imagen en el rango de las longitudes de onda del visible. La captura de la imagen se puede hacer con una cmara fotogrfica o una cmara CCD ubicada por debajo de la pantalla fluorescente (la cual debe retirarse cada vez que se realiza una foto).

Trabajar en vaco es una obligacin ya que sino los electrones no llegara a la muestra o de llegar lo haran muy frenados y sufriendo muchas aberraciones. 3 Hoy en da tambin existen otros filamentos que no necesitan ser calentados para emitir electrones, slo lo hacen con la aplicacin de un voltaje y son los llamados filamentos de emisin de campo.

Figura 4. Esquema de la isntrumentacin SEM y TEM.

Microscopa electrnica de Barrido (SEM)

El microscopio electrnico de barrido es una herramienta poderosa para el estudio de la morfologa y topografa de las superficies. Tambin puede dar informacin composicional y representa una herramienta de grandsima utilidad para la nanofabricacin. Ya discutimos la gran resolucin que tiene el SEM comparado con un microscopio ptico pero tambin la microscopia electrnica presenta otra gran ventaja que es la gran profundidad de campo. La profundidad de campo es la capacidad de tener enfocados a la vez dos puntos que se encuentran a distinta altura. Esta capacidad permite, por ejemplo, realizar estudios de superficies de fractura a grandes aumentos, que sera imposible en microscopa ptica. La microscopa electrnica de barrido se basa en la deteccin de los electrones secundarios y los electrones retro-dispersados. Como ya se mencion los electrones secundarios son los electrones que son expulsados de las capas ms externas de los tomos superficiales por el haz incidente. Estos electrones emergen de la superficie con una energa inferior a 50 eV. La seal de los electrones secundarios es la que se emplea normalmente para obtener una imagen de la muestra y nos da una imagen ms real de la topografa de la muestra ya que esta seal es meramente superficial. La seal de los electrones retro-dispersados est compuesta por aquellos electrones que emergen de la muestra con una energa superior a 50 eV. Estos electrones proceden del haz incidente que rebota en el material despus de diferentes interacciones con los

ncleos de los tomos de la muestra. La intensidad de la seal de retro-dispersados, para una energa dada del haz, depende del nmero atmico del material (a mayor numero atmico mayor intensidad) Este hecho permite distinguir fases de un material de diferente composicin qumica. Las zonas con menor Z se vern ms oscuras que las zonas que tienen mayor nmero atmico. Esta es la aplicacin principal de la seal de retro-dispersados.

Figura 5. Los electrones secundarios y electrones retro-dispersados son la base para la generacin de imagen en SEM.

Figura 6. Ejemplos de imgenes de SEM: a) composites de nanotubos de carbono, b) autoensamblado de nanoesferas de poliestireno, c) copolimero, d) Nanotubos verticalmente orientados formando bloques, e) nanotubos de carbono verticalmente orientados, f) dispositivo en base a un nanotubo para uso en resonadores. Una de las limitaciones de los microscopios electrnicos es el alto vaco. El vaco puede modificar la morfologa o topografa de la muestra (sobre todo en las muestras biolgicas que tienen alto contenido acuoso y que al hacer vaco en esas muestras puede conllevar a estados de colapsamiento y cambios en sus estructuras). Por lo tanto en la actualidad se estn desarrollando microscopios electrnicos de barrido ambiental que superan esa limitacin permitiendo el estudio de materiales que contengan cierto contenido de agua (materiales hmedos). Este tipo de microscopio se ha diseado de tal manera que la columna sigue estando a alto vaco (10-7 torr)4 mientras que la cmara donde se encuentra la muestra el vaco es muy bajo (10 a 20 torr).

Figura 7. Esquema de un SEM medioambiental, donde se pueden tomar imgenes sin que se colapse la muestra o cambie su estructura. Este microscopio permite estudiar muestras hmedas sin usar ningn tratamiento5 y es de especial inters en biologa.

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1 atmsfera corresponde a 760 torr Es comn en el caso del SEM recubrir la muestra con una capa fina de oro o carbono para hacer la muestra conductora. Si la muestra es aislante no se podr obtener buenas imgenes ya que se cargan de electrones.

Figura 8. Resumen de las seales principales que forma la imagen en el SEM

Microscopia electrnica de transmisin

La microscopa electrnica de transmisin proporciona informacin estructural de la muestra, informacin cristalogrfica (organizacin atmica, planos cristalinos) y composicin qumica. Esta tcnica permite obtener imgenes directas de la estructura de secciones delgadas del material en base a los electrones transmitidos, llegando a la resolucin atmica. Por lo tanto para esta tcnica las muestras tienen que ser muy delgadas (espesores inferiores a 100 nm) para poder recolectar esos electrones transmitidos responsables de la imagen TEM.

Figura 9. Distintos ejemplos de imgenes TEM donde se obtiene la estructura de secciones planas. En la parte superior se observan nanotubos de multicapa, en una de las imgenes se puede ver la partcula catalizadora (cobalto) y las lneas son las distintas capas de carbono. Abajo se ven nanotubos con nanopartculas adsorbidas y tambin el detalle de una nanopartcula con resolucin atmica (cada punto es un tomo). Una de las particularidades del TEM es la posibilidad de hacer difraccin de electrones que proporciona informacin cristalogrfica, similar a la difraccin de rayos X. En este caso los electrones son considerados como ondas. En base a los principios bsicos de la difraccin de rayos X, cuando un haz de electrones incide sobre un material, constituido por un arreglo de tomos en planos cristalinos separados una distancia d puede ocurrir que estos electrones sean dispersados satisfaciendo la ley de Bragg6. Cuando se cumpla la condicin de Bragg, los haces difractados estarn en fase (interferencia constructiva) generando el patrn de interferencias a partir del cual se puede obtener la informacin cristalogrfica.

Recordar que en la condicin de Bragg se dijo que los haces de radiacin dispersados estarn en fase siempre y cuando el camino ptico recorrido por los haces dentro de la muestra es igual a un nmero entero de la longitud de onda.

Figura 10. Esquema representando el fenmeno de difraccin electrnica. Abajo: patrn de interferencias (spots o puntos) que corresponden a la interaccin con planos cristalinos. En un monocristal, la cantidad de spots es pequea. A medida que la muestra se va haciendo policristalina, el patrn de interferencias adquiere la forma de anillos concntricos.

Figura 11. Ejemplo de difraccin electrnica para un nanoalambre monocristalino de oro (parte superior) y para nanoalambres de oro policristalinos.

Figura 12. Otro ejemplo donde se muestran los anillos de difraccin para un material policristalino. En la actualidad hay muchos TEM que estn modificados de tal manera que pueden permitir la monitorizacin in-situ de procesos. Por otro lado una de las limitaciones de los TEM convencionales es la poca profundidad de campo comparada con el SEM lo que hace que no se puedan obtener imgenes tridimensionales. Pero en la actualidad esa limitacin puede ser superada con la tomografa TEM. La tcnica consiste en tomas imgenes TEM a distintos ngulos de la muestra y despus se hace, por software, una reconstruccin tridimensional obteniendo as imgenes en tres dimensiones.

Figura 13. Monitorizacin de procesos con el TEM: crecimiento de nanotubos de carbono, coalescencia de nanopartculas, proceso de estabilizacin de partculas (aplicando altas temperaturas sobre una membrana de grafito).

Figura 14. El SEM tiene un gran profundidad de campo mientras que en el TEM convencional solo se obtienen imgenes de secciones planas.

Figura 14. Tomografa TEM: consiste en inclinar la muestra y obtener imgenes a cada ngulo para posteriormente hacer una reconstruccin tridimensional.

Figura 15. Imgenes de tomografa de TEM. En el caso del virus de la gripe, como fondo de imagen se puede observar la tpica imagen del virus con TEM convencional conjuntamente con su imagen reconstruida tridimensional. Tambin se observa una imagen 3D de una clula eucariota y distintas estructuras 3D de nanopartculas de oro.

Microanlisis qumico con TEM y SEM

Tanto el SEM como el TM son capaces de realizar microanlisis qumico. Como ya se mencion anteriormente el haz de electrones incidente tiene suficiente energa como para arrancar electrones de las capas ms internas del tomo. El tomo queda excitado y

se dice que est ionizado. Este sistema es inestable y en un tiempo muy corto volver a su situacin de mnima energa. Esto puede ocurrir mediante varios procesos: a) Un electrn de una rbita superior cae a la capa interna emitiendo un fotn de rayos X, de energa caracterstica del elemento. Evidentemente estos rayos X pueden acceder a la superficie del material desde profundidades elevadas y como estos rayos X son caractersticos del tomo que ha participado en la interaccin, esto nos permitir identificar el material a nivel elemental. La deteccin de estos rayos X constituye la llamada tcnica de Anlisis de rayos X por dispersin de Energas (EDS) o longitudes de onda (WDS). La emisin de rayos X caractersticos permite, bien analizar muestras muy pequeas o estudiar reas muy pequeas de muestras mayores. Ya que las tcnicas convencionales de anlisis no permiten esto, el anlisis de rayos X en microscopa electrnica se ha convertido en una tcnica muy importante para la caracterizacin de todo tipo de materiales slidos. b) La otra posibilidad es que la energa en exceso sea cedida a un tercer electrn de una capa externa originando la expulsin de este tercer electrn (llamado electrn Auger) el cual volver a ser caracterstico del tomo. La medida de la energa de estos electrones constituye la tcnica Espectroscopia Auger.

Figura 16. Esquema mostrando los dos procesos de relajacin cuando se arranca electrones de la capa interna de la muestra. Uno de los procesos es la emisin de rayos X caractersticos al caer un electrn de las capas externa a la interna. El otro proceso es emisin de electrones Auger : un electrn de la capa ms externa cae en la capa interna y el exceso de energa es cedido a un electrn de las capa ms externa producindose su expulsin. Estas dos seales son caractersticas de cada elemento pero la radiacin de rayos X es ms sensible para el anlisis elemental de muestras con nmero atmicos altos mientras que los electrones Auger es ms sensible para anlisis de elementos de nmero atmico bajo.

Figura 17. Estas seales son recogidas como espectros. En este caso se muestra un espectro de rayos X (intensidad de los rayos X vs la energa de los mismos). Cada seal de emisin de rayos X es caracterstica de un elemento y a su vez cada elemento puede tener asociadas distintas seales de emisin de rayos X que aparecen a determinados valores de energa. Estas seales pueden proporcionar informacin cuantitativa y obtener un anlisis porcentual de los elementos presentes en una muestra.

Estas dos tcnicas son complementarias. La espectroscopia Auger es ms sensible para la caracterizacin de elementos livianos y la deteccin de rayos X es ms sensible a elementos pesados. En el caso de la emisin de rayos X, la medida de la longitud de onda o de la energa del fotn emitido permite determinar los elementos que estn presentes en la muestras, es decir hacer un anlisis cualitativo. La medida de la cantidad de rayos X emitidos por segundo permite realizar un anlisis cuantitativo pudindose cuantificar la composicin porcentual de elementos en una muestra. En el caso de la tcnica de rayos X tambin se pueden hacer mapeos de rayos X y obtener una imagen de rayos X. Esto es bastante til para muestras heterogneas, uno podra localizar fsicamente elementos en una muestra.

Figura 18. Ejemplo de unas nanobarras compuestas de diferentes materiales (Ag, Au, Pt y Ti). Espectro de emisin y composicin porcentual de elementos en la muestra.

Figura 19. Mapeos de rayos X en una mezcla heterognea. Parte superior un nanohilo semiconductor de Sb/Ge/Te donde se puede observar la distribucin homognea de estos elementos en la barra. Abajo una muestra heterognea donde se ha hecho un barrido de rayos X para localizar distintos elementos C, O, Fe y Pd.