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Dalias Towouo*, Janvier 2015

Weiterentwicklung des Aerosol-Jet-Druckverfahrens


Fr einen Einsatz des Aerosol-Jet-Druckverfahrens in der Massenproduktion ist es wichtig alle
Einflussparameter zu identifizieren. Bis jetzt wurde das Verfahren nur empirisch beschrieben. Um das
Verfahren weiterzuentwickeln wird eine Modellierung und Simulation durchgefhrt. Der Einfluss der
Zerstubung auf das Druckergebnis und die Ergebnisse der Simulation werden experimentell untersucht.

1.

Das Aerosol-Jet-Druckverfahren

Das Aerosol-Jet-Druckverfahren wird zur


funktionellen Beschichtung von
Substratoberflchen angewandt. Die Mglichkeit
mit diesem Verfahren 3D Strukturen zu drucken ist
einzigartig. Das kontaktlose Verfahren erlaubt die
Beschichtung von druckempfindlichen Substraten.
Der Einsatz des Aerosol-Jet-Druckverfahrens in der
Solarzellen Herstellung sowie in der gedruckten
Elektronik ist viel versprechend. Das AerosolDruckverfahren kann in vier Verfahrensschritten
unterteilt werden:

die Zerstubung der Tinte


die Konditionierung
die Fokussierung
die Abscheidung

wie im Grundfliebild (Abb. 1) dargestellt.

Prozessgas

Tinte

Zerstubung

Aerosol

Konditionierung

Aerosol geringere Dichte


und Trpfchengre

Aerosol mit hheren Trpfchendichte


und schweren Trpfchen
Fokussierung

Fokussiergas

Fokussiertes Aerosol im
freien Raum
Abluft

Abscheidung auf den


Substrat

Abb. 1: Grundfliebild des Aeros ol-Jet-Druckverfahrens

Bei der Zerstubung entsteht ein 3-Phasen-Aerosol


aus festen flssigen und gasfrmigen Teilchen. Es
wird angestrebt, ein monodisperses Aerosol zu
erzeugen. Bei einem monodispersen Aerosol
haben die Trpfchen annhend die gleiche
Oberflche, die gleiche Masse und das gleiche
Volumen. Demzufolge hat man den Vorteil, dass
die Krfte, die auf jedes Teilchen wirken nahezu
gleich sind. Ein monodisperses Aerosol ist
deswegen leichter zu leiten, zu fokussieren und auf
den Substrat abzuscheiden, als ein polydisperses
Aerosol. Da die Erzeugung eines monodispersen
Aerosols mit einem Collison-Zerstuber
(pneumatischen Zerstuber) nicht mglich ist,
muss eine Konditionierung des Aerosols erfolgen.
Bei der Konditionierung wird das Aerosol so
konditioniert, dass die Trpfchendurchmesser des
Aerosols nahezu alle gleich sind. Der
Sauterdurchmesser wird dabei falls erforderlich
angepasst. Eine Mglichkeit die Konditionierung zu
realisieren ist die Benutzung einer beheizbaren
Virtual impactor. Beim Virtual impactor wird die
hhere Trgheit der greren und schweren
Trpfchen ausgenutzt, um sie von den kleinen und
leichteren Trpfchen zu trennen. Ein soweit
mglichst grter Anteil der kleinen Trpfchen
wird dem Aerosolstrom entzogen und es resultiert
daraus eine bessere angepasste
Trpfchengrenverteilung des Aerosols. Dieser
Verfahrensschritt fhrt dazu, dass ein Teil der Tinte
dem System entzogen wird und verloren geht,
wenn es in das System nicht zurckgefhrt bzw.
anders verwerten werden kann. Einschlieend
erfolgt die Fokussierung.
Fr eine gute Fokussierung mssen das Aerosol,
die Geometrie des Druckkopfs und das
Fokussiergas bestimmte Charakteristiken
aufweisen. Die Anforderung an die Fokussierung ist
es, den Aerosolstrom auf einen mglichst kleinen
Durchmesser zu reduzieren und dabei soll auch das

Dalias Towouo*, Janvier 2015


Verstopfen der Dse durch Anlagerung der Tinte
an die Wnde vermieden werden. Deshalb wird
das Fokussiergas dazu benutzt, die Kondensation
an die Wnde zu vermeiden und um einen Beitrag
bei der Kontraktion des Aerosolsstrahls zu leisten.
Nach der Fokussierung erfolgt die Abscheidung des
Aerosols auf dem Substrat.
Bei der Abscheidung ist darauf zu achten, dass kein
Overspray entsteht. Mit dem Overspray
bezeichnen wir, den Anteil der Tinte, der sich
auerhalb des bedruckten Finger befindet. Dieses
Overspray kann durch eine schlechte Fokussierung
oder eine schlechte Abscheidung verursacht sein.
Um zu schtzen, wie sehr ein Trpfchen, vor dem
Anprall mit dem Substrat, von der Strmung
abgelenkt wird, gibt es nach [RKGS07] eine
Stockes-Zahl. Die Lautet:
=

2
9

(Gl. 1)

ist die dichte des Partikels/Trpfchen


ist der Durchmesser des Partikels

deshalb werden wir versuchen, sie besser zu


verstehen, um die daraus resultierenden
Erkenntnisse fr eine gute Fokussierung zu nutzen.

2.

Modellierung und Simulation der


Fokussierung

Physikalisches Modell
Die Fokussierung ist das Anlegen einer
zylindrischen Hlle um den Aerosolstrahl mit der
anschlieenden Strahlkontraktion auf einen
geringeren Durchmesser. Die Umhllung geschieht
mit einem Fokussiergas. Es werden folgende
Annahme getroffen:

Die Strmung ist zweiphasig aus gas und


Aerosol Trpfchen
Die Strmung ist inkompressibel
Die Strmung verlauft laminar
Es handelt sich um ein ideales umhlltes
Aerosol: Kein Stoffaustausch zwischen das
Aerosol (2) und das Fokussiergas (1).
Siehe Skizze!

ist die Geschwindigkeit der Strmung

ist die Dynamische Viskositt des strmenden


Fluid
ist der Durchmesser der Dse
ist der Slip Korrekturfaktor

Diese Stockes-Zahl stellt das Verhltnis der


kinetischen Energie zur Reibungsenergie dar. Der
Slip Korrekturfaktor bercksichtigt die
Tatsachen, dass bei einer Partikelumstrmung das
Fluid nicht mehr als ein Kontinuum betrachtet
werden kann, wenn die freie weg Lnge der
Moleklen nicht mehr ausreichend kleiner ist als
der Durchmesser des Partikels. In dem Fall gilt die
Haftbedingungen auf den Partikel nicht mehr und
die Widerstandskraft muss korrigiert werden.
Andererseits wenn ein Trpfchen/Partikel die
Oberflche trifft muss eine weitgehende
Dissipation der kinetischen Energie erfolgen, damit
die sich bildende Haftkrften (Flssigkeit Brcke,
Van-der-Waal) dominieren, und dass einen
Rckprall vermieden wird [Sch03].
Fr ein gutes Druckergebnis ist es wichtig jede
wichtige Parameter zu identifizieren. Ein wichtiger
Teil des Druckverfahrens ist die Fokussierung,

Abb. 2: Ski zze des Aerosol-Druckkopfs

Mathematisches Modell
Wenn man die beiden Strme getrennt betrachtet,
gilt nach der Kontinuittsgleichung fr
inkompressible Fluide:
= 1

= 2 1
2
Mit = =

2
4

(Gl. 2)

(Gl. 3)

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2
1

2
1

2 1

1 2

(Gl. 4)

Mit 2 und 2 den Volumenstrmen des


Aerosols () an der ebene e und der Ebene a,

und 1
den Volumenstrmen des
1
Fokussiergases an der ebene e und der Ebene a,
(Siehe Abb. 2)

berechnen, da fr die Berechnung die radiale


Geschwindigkeitsverteilung in der Fokussierdse,
sowie der Durchmesser des Aerosol zuerst bekannt
sein msste.
Es gilt:
2
1

A2 C2

Aus (Gl. 12) und (Gl. 15) folgt:

C reprsentiert die mittleren Geschwindigkeiten


und d der Durchmesser.

Es ist mglich, einen mathematischen Ausdruck


des Durchmessers des Aerosols aus den
Querschnittflchenverhltnissen der Strmungen
am Austritt herzuleiten. Es gilt nmlich:
2
1

d22

(Gl. 5)

d2 d22

Mit dem Austrittdurchmesser des


Fokussierdse und 2 dem Durchmesser des
Aerosol am Austritt der Fokussierdse
Aus (Gl. 4) und (Gl. 5) folgt:

2 1
1
d22
2 1 + 2

2
2
2

d d2 1 2
1 2
2 1

= d2
1 2

2 =

2 1

1 2
2 1
1+
1 2

(Gl. 6)

(Gl. 7)

A1 C1

2 =
1

A2 C2 1

A1 C1 2
A2 C2 1
1+ A C
1 1 2

A1C1

A2C2

2 +1
A2 C2 1

1
A1 C1 2

+1

(Gl. 8)

Nach dem zweiten Helmholtz Wirbelsatz kann bei


Abwesenheit von Reibungen ein Wirbel weder
erzeugt noch vernichtet werden [Sza00]. Damit das
Fokussiergas das Aerosol umhllt, ohne
Wanderung der Aerosolpartikeln in das
Fokussiergas, soll das Fokussiergas die gleiche
mittlere Geschwindigkeit haben wie das Aerosol.
Sind die Geschwindigkeiten unterschiedlich, so
erfahren die Aerosolpartikel an die Grenzflche des
Strahls Krfte(Reibungskrfte), die Verwirbelungen
verursachen knnen. Die Anwesenheit von Wirbel
bewirkt die Mischung vom Aerosolstrom mit dem
Fokussiergasstrom, was ein schlechtes Druckbild
als Folge hat. Die Gasflsse sollten also eingestellt
werden, so dass es gilt

2
1

(Gl. 9)

Daraus folgt:
A2

(Gl. 10)

A1

Aus die (Gl. 8) und (Gl. 9) folgt:


Nach (Gl. 6) erkennt man, dass sowohl der
Austrittdurchmesser der Fokussierdse als auch

2
das Verhltnis der Volumenstrme vom
1

Aerosol und Fokussiergas fr die Fokussierung


wichtig sind. Es ist nicht mglich das mittlere

Geschwindigkeitsverhltnis 1 des Aerosols zum


2

Fokussiergas am austritt (Siehe Abb. 2) zu

2 = A1 2
A2

+1

(Gl. 11)

Mit der Gleichung (Gl. 11) kann man bei der


Konzipierung einen neuen Druckkopf den Einfluss

des Verhltnisses auf die Breite der

gedruckten Linien vorhersagen. Eine Vergrerung

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des Verhltnis

A1

A2

der Querschnittflche der

Fokussiergasleitung zur Querschnittflche der


Aerosolsleitung an der ebene e fhrt zu einer
Verringerung des Austrittsdurchmessers des
Aerosolstrahls. Diese Tatsache muss schon bei der
Konzipierung von Druckkpfen mitbercksichtigt
werden.

Faktor 2 gewhlt werden. Wichtig ist allerdings,


dass das dadurch entstehende Overspray noch
ertrglich ist.
Eine Simulation wurde mit Ansys-Fluent
durchgefhrt um den Einfluss der
Querschnittflchenverhltnisse von Fokussiergas
und Aerosol am bergang zu beobachten.

Betrachtet man die gesamte Strmung dann gilt


nach der Kontinuittsgleichung:
= V
+ 2
1

3,01

(Gl. 12)

Aus (Gl. 12) und (Gl. 10)folgt:

A2

=
A1

+ 2 = V
1
Wobei

A2

A1

9,72

(Gl. 13)

aus der Geometrie bekannt ist und

aus Erfahrungswerte gewonnen werden kann. ist


eigentlich ein wichtiger Wert fr die Abscheidung
auf dem Substrat, da damit die mittlere
Austrittgeschwindigkeit des Aerosolsstrahls
festgelegt wird.
Durch das Lsen der (Gl. 13) ist es mglich den
Volumenstrom 2 des Aerosols nach dem
des
Impaktor und den Volumenstrom 1
Fokussiergases voraus zu berechnen. Aus (Gl. 19)
folgt:
=
1

A1
A2
A1
+1
A2

2 =

A1
+1
A2

Und

Abb. 3 von oben na ch Unten 3,01 und 9,72


Quers chni ttfl chenverhl tnis a m berga ng der
Fokussierdse. In den Abbil dungen wurde die Pa rtikel
Masse Konzentra tion hervorgehoben

Die Simulation wurde ohne Schlupf durchgefhrt.


Dabei wurde folgendes Modell eingestellt.
Strmung
Energie
Cunningham
Korrektur
Wall

Modell
Laminar
Muliphase, Eulerian, DPM
0,017
trap

(Gl. 14)

Aus den Ergebnissen ist zu sehen, dass ein


greres Querschnittflchenverhltnisse von
Fokussiergas und Aerosol am bergang zu einer
besseren Kontraktion des Aerosolstrahls fhrt.

(Gl. 15)

Aufgrund dieser Ergebnisse wurde ein neues


Druckverfahren: das Fokussaktive-AerosolDruckverfahren (FAD-Verfahren) entwickeln. Ein
neuer Druckkopf wurde entwickeln um das
Fokussaktive-Aerosol-Druckverfahren (FADVerfahren) bei der funktionelle Beschichtung
optimal zu nutzen. Bei diesem neuen Verfahren
wird die Fokussierung zustzlich durch die
Variation des Querschnittsflchenverhltnis vom
Aerosol und Fokussiergas am bergang beeinflusst
[TGKB14], wobei die Volumenstrmen des

Mit den Gleichungen (Gl. 14) und (Gl. 15) ist es


mglich, aus einer bekannten
Druckkopfgeometrie die Volumenstrme des
Fokussiergas und des Aerosols nach dem Virtual
Impaktor im Voraus zu berechnen, um ein gutes
Druckbild zu bekommen. Bei der mit den
Gleichungen (Gl. 14) und (Gl. 15) eingestellte
Volumenstrme verlauft die Fokussierung ohne
Schlupf. Erfahrungsgem kann ein Schlupf bis zum

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Aerosols und Fokussiergas Anhand der
Gleichungen (Gl. 14) und (Gl. 15) geregelt werden.

Einfluss des Querschnittflchenverhltnisses am


bergang auf die Fingerbreite.

3.

In diesem Experiment benutzen wir 2 Druckkpfe:


Einen mit einem Querschnittflchenverhltnis von
3,01, und einen neuen gem das FAD-Verfahren
entwickelten Druckkopf (Abb. 6) mit einem
stufenlosen variablen Querschnittflchenverhltnis
von 1,51 bis 9,72.

Experimente und Ergebnissen

Fr die Zerstubung wurde der Collison-Zerstuber


gewhlt. Der Collison-Zerstuber funktioniert nach
dem Venturi-Prinzip wie in der Abbildung
dargestellt.

Einfluss der Zerstubungsstrom auf die


Fingerbreite
In diesem Experiment wurde der Einfluss der
Zerstubungsstrom (Trgergasstrom) auf das
Druckbild untersucht. Dabei wurde der
Aerosolstrom, der in Druckkopf gelangt immer
konstant gehalten. Dafr wurde am Virtual
Impaktor immer der entsprechende Aerosolstrom
abgezogen. Die benutzte Tinte enthlt
Silberpartikel und es wurde monokristalline
Silicium Wafer als Substrat benutzt. Es ist zu
beobachten, dass je hher der Zerstubungsstrom
ist, desto grer die Fingerbreite.

Abb. 5 Ei nfluss der Zers tubungss trom (Tr gergasstrom)


auf die Fingerbrei te bei glei chem Aeros olstrom zum
Druckkopf

Trennscheibe fr die Variation des

Querschnittsflchenverhltnisses

Abb. 4 Pneuma tischer Zers tuber [MRHG07]

Abb. 6 Druckkopf fr das FAD-Verfahren [TGKB14]

Folgenden Verhltnissen wurden eingestellt: 4,14


7,33 und 9,72. Nach dem Drucken wurde die
Fingerbreite durch Bildaufnahme am Mikroskop
analysiert. Die Ergebnisse (Abb. 9) zeigen, dass die
Erhhung des Querschnittflchenverhltnisses des
Fokussiergases zur Aerosol am bergang zur
Reduzierung der Fingerbreite fhrt. Abb. 7 und

Abb. 8 zeigen zwei gedruckte Finger mit


verschiedenen Druckkpfen.

Abb. 7 Gedruckte Finger (39 m Brei te) mit ei nem


Quers chni ttsfl chenverhltnis von 9,72 a m bergang
Aerosol -Fokussiergas

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um 225% fhrt zur Reduzierung der gedruckten
Linienbreite um einige Prozent. Es ist zu erwarten,
dass eine weitere Erhhung des Verhltnisses
weiter zu einer besseren Fokussierung fhrt.

Abb. 8 Gedruckte Finger (55 m Brei te) mit ei nem


Quers chni ttsfl chenverhltnis von 3,01 a m bergang
Aerosol -Fokussiergas

A2
A1

Das Verstellen des Flchenverhltnisses ermglicht


beispielsweise durch nderung der Eintauchtiefe in
den bergangsbereich oder durch ndern der
Durchmesser von Druckdse und/oder
Aerosolrhrchen eine Anpassung der Linienbreite
um 30 % oder mehr. Somit knnen
unterschiedliche Linienbreiten mit einem
Druckkopf und damit mit geringen Rstzeiten
hergestellt werden. [TGKB14]
Auerdem ermglichen uns die Gleichungen 14
und 15, die Einstellung der Volumenstrme am
Druckkopf fr eine gute Fokussierung ohne
Zeitaufwendige und Kostspielige Experimenten
herauszufinden.

Abb. 9 Ei nfluss der Quers chni ttsfl chenverhl tnis a m


berga ng Aerosol -Fokussiergas auf die Fingerbrei te
[TGKB14]

4.

Schlussfolgerung

Es wurde durch Strmungsmodellierung und


Simulation gezeigt, dass die Verringerung des
Durchmessers des austretenden Aerosolstrahls aus
der Fokussierdse erreicht werden kann, wenn das
Querschnittsflchenverhltnis des Fokussiergases
zum Aerosol an der bergangsebene vergrern
wird. Ein Nachfolgendes Experiment hat dies
besttigt. Bei der Konzipierung von Druckkpfen
sollte, deshalb das Querschnittflchenverhltnis
der Fokussiergasleitung zu der Aerosolleitung
maximiert werden, um schmalere Linien drucken
zu knnen, wie die (Gl. 11) es verdeutlicht. Eine
A

Erhhung des Querschnittsflchenverhltnis A2


1

Es stellte sich auch heraus, dass die Breite der


gedruckten Linien bei einem pneumatischen
Zerstuber vom Zerstubungsstrom abhngig ist.
Dies kann durch den Einfluss der
Zerstubungsstrom auf die
Trpfchengreverteilung des Aerosols erklrt
werden. Der Versuch den Aerosolstrom durch
Erhhung des Volumenstroms des Prozessgases zu
steigen, fhrt zu einer Verschlechterung des
Druckbildes. Diese Verschlechterung kommt zum
Stand, weil das Aerosol viel mehr Trpfchen
unterhalb der kritischen Trpfchen Durchmesser
enthlt. Deshalb sollte, wenn man den
Aerosoldurchsatz, bei einem mit pneumatischem
Zerstuber durchgefhrten Prozess, erhhen will,
an einer parallelen Schaltung von mehreren
Zerstubern gedacht werden.
Diese Arbeit ermglicht uns, durch das
Fokussaktive-Aerosol-Druckverfahren feinere
Linien zu drucken. Es ist auch mglich die
Linienbreitre, whrend des Prozess, ohne groen
Aufwand und Qualittsverlust zu variieren. Die
Prozessfindung wird auch leichter und die Suche
nach der Ursache eines schlechten Druckbildes
wird vereinfacht. Damit ist einen erheblichen
Schritt fr die Benutzung des Verfahrens in der
Massenproduktion gemacht worden.

Dalias Towouo*, Janvier 2015


Die vorliegende Arbeit wurde am
Fraunhofer-Institut fr Solare
Energiesysteme ISE durchgefhrt. Der Autor
bedankt sich beim Fraunhofer-ISE fr die
materielle und finanzielle Untersttzung.
*Na chri chten an Dalias Towouo: twdalias@yahoo.fr

Literatur
[TGKB14] Towouo W. Dalias, M. Glatthaar, K.
Krger, S. Binder: Druckkopf, Bausatz und
Druckverfahren Patent, Nr. DE 102013205683 A1,
2014
[RKGS07] Michael J. Renn, Bruce H. King,
Manampathy G.Giridharan, Jyh-Scherng Sheu:
Patent, Nr. US2007/0181060 A1, 2007
[Sch03] Heinrich Schubert: Handbuch der
Mechanischen Verfahrenstechnik WILEY-VCH
Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim 2003
[Sza00] Istvan Szabo: Hhere Technische Mechanik
Springer Berlin Heidelberg 2000
[MRHG07] A. Mette, P. L. Richter, M. Hrteis und
S. W. Glunz: Metal Aerosol Jet Printing
for Solar Cell Metallization in
Progress in photovoltaics, 2007.
DOI: 10.1002/pip.759