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Laser-Belichtung von

Fotolacken
Version: 2013-11-07

Quelle:

www.microchemicals.com/de/downloads/anwendungshinweise.html

Grundstzliches zur Laser-Belichtung


Das Belichten von Fotolack mit Lasern anstelle der blicherweise eingesetzten Hg-Lampen in
Mask-Alignern oder Steppern bringt zwei grundstzliche Unterschiede mit sich:
Zum einen ist die Belichtungs-Intensitt (also die Flchenlichtleistung auf der Lackoberflche) eine ganz andere: Whrend bei der Laser-Interferenz-Lithografie meist sehr geringe Intensitten auftreten, liegt die Intensitt beim Laser-Schreiben viele Grenordnungen ber der Belichtung mittels Mask-Aligner oder Stepper. Zum anderen ist die
Belichtungswellenlnge der verwendeten Laser meist eine andere als die der Hg-Linien bei
365, 405 oder 435 nm.

Geeignete Belichtungs-Wellenlngen
Absorptionskoeffizient (1/m)
_____

1,8
Die optische Absorption unbelichteter
AZ 9260
Fotolacke erstreckt sich vom kurzwelligen
AZ 4562
1,6
sichtbaren bis in den nahen ultravioletten
AZ 6632
Spektralbereich und ist den Emissions1,4
AZ 1518
linien der blicherweise verwendeten HgAZ 1512HS
Dampflampen angepasst (Abb. rechts).
1,2
AZ 701MiR
Die meisten Fotolacke absorbieren bei der
1
g-, h- und i-Linie (435, 405 und 365 nm),
AZ 5214E
whrend einigen moderneren Lacken wie
0,8
dem AZ 9260 oder AZ 5214E die langwellige Absorption bei der g-Linie fehlt.
0,6
Moderne Negativlacke wie die AZ nLOF
0,4
2000 Serie oder der AZ 15 nXT oder 125
nXT sind als reine i-line Lacke nur unter0,2
halb von ca. 380 nm empfindlich.
0
Da die optische Absorption hin zu groen
Wellenlngen nicht abrupt auf Null sinkt,
320
370
420
470
ist beim Laser-Schreiben aufgrund der
Wellenlnge (nm)
sehr hohen Lichtintensitten auch eine
Belichtung einige 10 nm entfernt von den Absorptionsbanden mglich. Durch die dort geringe Absorption verlngern sich die Schreibzeiten jedoch deutlich.
Das Dokument Fotolacke, Entwickler und Remover gibt einen detaillierten berblick zu den
hier genannten und anderen Fotolacken, whrend das Dokument Dicklackprozessierung auf
typische Frage- und Problemstellungen der Dicklackprozessierung mit u. a. den Lacken AZ
4562, 9260, oder 40 XT eingeht.

Laser-Interferenz-Lithografie: Geeignete Fotolacke


Bei der Laser-Interferenz-Lithografie sind die Anforderungen an die Auflsung des Lacks
blicherweise sehr hoch. Des weiteren werden dabei meist sehr dnne Lackschichten von
wenigen 100 nm bentigt, welche durch Verdnnung bestehender Lacke realisiert werden
mssen. Aus beiden Grnden empfehlen sich fr die Laser-Interferenz-Lithografie z. B. der
AZ 701 MiR (besonders geeignet fr nachfolgende trockenchemische Prozesse wie tzen
oder Lift-off) oder die AZ ECI 3000 Serie (optimiert fr nasschemische Prozesse wie tzen).

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Tel.: +49 731 977343 0
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MicroChemicals GmbH - Laser-Belichtung von Fotolacken

Weitere Hinweise zur Erzielung sehr hoher lateraler Auflsungen mit Fotolacken beschreibt
das Dokument Hochauflsende Fotolack-Prozessierung.

Laser-Schreiben: Geeignete Fotolacke und Problemstellungen


Blschen-Bildung beim Laser-Schreiben
Nahezu alle Positivlacke setzen beim Belichten ber die Fotoreaktion (Details im Dokument
Belichten von Fotolack) groe Mengen Stickstoff frei. Bei der Belichtung unter moderaten
Lichtintensitten (Mask-Aligner oder Stepper) und nicht zu dicken Lackschichten kann dieser
ausreichend schnell aus der Lackschicht diffundieren. Beim Laser-Schreiben hingegen bildet
sich die Gesamtmenge an N2 in krzester Zeit, was zur Bildung von Blschen oder
Spannungsrissen in der Lackschicht fhren kann.
Diese Blschen oder Risse fhren zum einen nach dem Entwickeln zu unregelmigen Lackflanken. Zum anderen streuen Blschen und Risse das Licht auch lateral, wodurch die laterale Auflsung abnimmt, und im Falle dicker Lackschichten (> einige m) tiefer liegende
Lackbereiche eine zu geringe Lichtdosis erhalten und schwer durchbelichtet werden knnen.
Zur Vermeidung der Blschen- oder Rissbildung empfehlen sich folgende Manahmen:
f Ein ausreichender Softbake - wir empfehlen 100C fr 1 Minute/m Lackschichtdicke.
Bei der Trocknung in fen sollte einige Minuten lnger gebacken werden, um die Aufheizzeit des Substrats zu bercksichtigen.
f Im Falle dicker (einige m oder mehr) Lackschichten die Verwendung eines geeigneten
Dicklacks mit geringer Fotoinitiator-Konzentration (geringeres gebildetes N2-Volumen)
wie der AZ 9260.
f Bei der Verwendung kurzwelliger (< 400 nm) Laserstrahlung die Verwendung des chemisch amplifizierten i-line Lacks AZ 40 XT (positiv) oder den Negativlacken AZ 15 nXT
oder 125 nXT, welche alle beim Belichten keinen Stickstoff freisetzen.
f Wenn mglich, ein mehrstufiges Laser-Schreiben mit jeweils verringerter Intensitt. Die
Zeiten zwischen zwei Schreibzyklen erlauben es dem Stickstoff, aus der Lackschicht zu
diffundieren.
Fotolack lsst sich schwer entwickeln
Fotolacke bentigen eine Belichtungsenergie von einigen kJ/cm3, was bei typischen
Quantenwirkungsgraden von ca. 30% und Reflexions- und Transmissionsverlusten immer
noch ausreichen wrde, den Lack auf ca. 1000C zu erhitzen. Whrend bei der Belichtung
mit Hg-Lampen die entstehende Wrme zeitgleich an das Substrat abgefhrt wird was die
Erwrmung der Lackschicht in Grenzen hlt, kann es beim Laserschreiben durch die sehr
kurzen Belichtungszeiten zu starker Erwrmung kommen, mit den mglichen Folgen:
f Eine teilweise thermische Zersetzung des Fotoinitiators,
f eine Quervernetzung des Harzes des Fotolacks welche den Lack unlslich macht,
f Spannungsrissen in der Lackschicht, welche das Licht streuen und den tiefer liegenden
Lackschichten so Licht weg nehmen.
Durch diese Mechanismen kann die Entwicklungsrate deutlich verringert bzw. die Durchentwicklung der Lackschicht unmglich gemacht werden. Mgliche Abhilfen sind:
f Die Verwendung chemisch amplifizierter Lacke wie dem (allerdings nur unterhalb 400
nm empfindlichen) AZ 40 XT, welcher bei vergleichbarer Lackschichtdicke deutlich weniger Belichtungsenergie bentigt als ein nicht chemisch verstrkter Lack.
f Wenn mglich, ein mehrstufiges Laser-Schreiben mit jeweils verringerter Intensitt. In
den Zeiten zwischen zwei Schreibzyklen kann Wrme an das Substrat abgefhrt werden.
Im Zusammenhang mit dicken Lackschichten sei zur Erzielung ausreichend hoher
Entwicklungsraten auch auf die notwendige Rehydrierung verwiesen, wie sie im Dokument
Rehydrierung von Fotolacken beschrieben ist.

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Unsere Fotolacke
Alle hier beschriebenen Fotolacke bieten wir auch in 250, 500 und 1.000 ml Gebinden an.
Bitte fragen Sie uns bei Interesse nach weiteren technischen Infos!

Gewhrleistungsausschluss
Alle in diesem Dokument enthaltenen Informationen, Prozessbeschreibungen, Rezepturen
etc. sind nach bestem Wissen und Gewissen zusammengestellt. Dennoch knnen wir keine
Garantie fr die Korrektheit der Angaben bernehmen.
Grundstzlich ist jeder Mitarbeiter dazu angehalten, sich im Zweifelsfall in geeigneter Fachliteratur ber die angedachten Prozesse vorab ausreichend zu informieren, um Schden an
Personen und Equipment auszuschlieen.

AZ und das AZ Logo sind eingetragene Markenzeichen der AZ Electronic Materials (Germany) GmbH.
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