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Betriebsanleitung

Compact Cold Cathode Gauge


Ganzmetall

IKR 270

BG 805 008 BD / A

(0206)

Inhaltsverzeichnis
Produktidentifikation
Gltigkeit
Bestimmungsgemsser Gebrauch
Funktion

3
3
3
3

1 Sicherheit
1.1 Verwendete Symbole
1.2 Personalqualifikation
1.3 Grundlegende Sicherheitsvermerke
1.4 Verantwortung und Gewhrleistung

4
4
4
4
4

2 Technische Daten

3 Einbau
3.1 Vakuumanschluss
3.1.1 Magneteinheit entfernen
3.2 Elektrischer Anschluss
3.2.1 Verwendung mit Pfeiffer Vacuum-Messgerten
3.2.2 Verwendung mit anderen Auswertegerten

7
7
8
9
9
9

4 Betrieb

11

5 Instandhaltung
5.1 Messrhre reinigen / Ersatzteile einbauen
5.1.1 Zerlegen
5.1.2 Messrhre reinigen
5.1.3 Messrhre zusammenbauen
5.2 Verhalten bei Strung

12
12
12
15
15
17

6 Ausbau

18

7 Produkt zurcksenden

19

8 Zubehr

19

9 Ersatzteile

20

10 Entsorgung

20

Anhang
A: Beziehung zwischen Messsignal und Druck
B: Gasartabhngigkeit

21
21
22

Kontaminationserklrung

23

Fr Seitenverweise im Text wird das Symbol ( 2 XY) verwendet, fr Verweise auf


andere Dokumente das Symbol ( & [Z]).

BG 805 008 BD / A

(0206)

IKR 270

Produktidentifikation

Im Verkehr mit Pfeiffer Vacuum sind die Angaben des Typenschildes erforderlich.
bertragen Sie daher diese Angaben auf das Ebenbild.

VACUUM

Compact
Cold Cathode
Gauge

Pfeiffer Vacuum, D - 35614 Asslar


Typ:
No:
F-No:
V
;
W

Dieses Dokument ist gltig fr Produkte mit der Artikelnummer


(Flansch DN 40 CF-F
kurze Version)
PT R21 251
PT R21 261
(Flansch DN 40 CF-F
lange Version)
Sie finden die Artikelnummer auf dem Typenschild.

Gltigkeit

Technische nderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehalten.

Bestimmungsgemsser
Gebrauch

Die Compact Cold Cathode Gauge IKR 270 erlaubt die Vakuummessung im
Druckbereich von 510-11 ... 110-2 mbar.
Die Messrhre kann mit einem Pfeiffer Vacuum-Messgert fr KompaktMessrhren oder mit einem kundeneigenen Auswertegert betrieben werden.

Funktion

Das Messsignal ist ber den gesamten Messbereich logarithmisch vom Druck
abhngig.
Eingesetzt wird ein Kaltkatoden-Ionisationsmesskreis (nach dem Prinzip des
invertierten Magnetrons).

BG 805 008 BD / A

(0206)

IKR 270

1 Sicherheit
1.1 Verwendete Symbole

GEFAHR
Angaben zur Verhtung von Personenschden jeglicher Art.

WARNUNG
Angaben zur Verhtung umfangreicher Sach- und Umweltschden.

Hinweis
Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeachten kann zu Strungen
oder geringfgigen Sachschden fhren.

1.2 Personalqualifikation
Fachpersonal
Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten drfen nur durch Personen
ausgefhrt werden, welche die geeignete technische Ausbildung besitzen und
ber die ntigen Erfahrungen verfgen oder durch den Betreiber entsprechend
geschult wurden.

1.3 Grundlegende Sicherheitsvermerke

Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten Prozessmedien die


einschlgigen Vorschriften und halten Sie die Schutzmassnahmen ein.
Bercksichtigen Sie mgliche Reaktionen zwischen Werkstoffen ( 2 6) und
Prozessmedien.
Bercksichtigen Sie mgliche Reaktionen der Prozessmedien infolge Eigenerwrmung des Produkts.

Alle Arbeiten sind nur unter Beachtung der einschlgigen Vorschriften und
Einhaltung der Schutzmassnahmen zulssig. Beachten Sie zudem die in
diesem Dokument angegebenen Sicherheitsvermerke.

Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten ber eine eventuelle Kontamination. Beachten Sie beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlgigen Vorschriften und halten Sie die Schutzmassnahmen ein.

Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer weiter.

1.4 Verantwortung und


Gewhrleistung

Pfeiffer Vacuum bernimmt keine Verantwortung und Gewhrleistung, falls der


Betreiber oder Drittpersonen

dieses Dokument missachten

das Produkt nicht bestimmungsgemss einsetzen

am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten, nderungen, usw.) vornehmen

das Produkt mit Zubehr betreiben, welches in den zugehrigen Produktdokumentationen nicht aufgefhrt ist.

Die Verantwortung im Zusammenhang mit den verwendeten Prozessmedien liegt


beim Betreiber.

BG 805 008 BD / A

(0206)

IKR 270

2 Technische Daten
Zulssige Temperatur
Lagerung
Betrieb
alle Versionen
lange Version
Ausheizen
kurze Version

-40 C ... +65 C


+ 5 C ... +55 C
250 C im Ausheizbereich gemss
Massbild (ohne Magnetabschirmung)
+250 C (ohne Elektronikeinheit und
Magnetabschirmung)
+250 C im Ausheizbereich gemss
Massbild (ohne Magnetabschirmung)
max. 80% bei Temperaturen bis +31 C
abnehmend auf 50% bei +40 C
nur in Innenrumen
Hhe bis zu 2000 m NN

lange Version
Relative Feuchte
Verwendung

Messbereich (Luft, N2)


Genauigkeit

510-11 ... 110-2 mbar

Reproduzierbarkeit

5%
im Bereich 110-9 ... 110-3 mbar

Gasartabhngigkeit

Anhang B

Schutzart
berdruck

30 %
im Bereich 110-9 ... 110-3 mbar

IP 40
9 bar
beschrnkt auf inerte Gase und
Temperaturen < 100 C

Speisung

GEFAHR
Die Messrhre darf nur an Speise- oder Messgerte angeschlossen
werden, die den Anforderungen der geerdeten Schutzkleinspannung
(SELV-E nach EN 61010) entsprechen. Die Leitung zur Messrhre ist
abzusichern.1)
Spannung an der Messrhre
Leistungsaufnahme
1)

Sicherung

14.5 ... 30.0 V= (Rippel max. 1 Vpp)


2W
1 AT

Die minimale Spannung des Speisegertes muss proportional zur Leitungslnge


erhht werden.
Spannung am Speisegert bei
maximaler Leitungslnge
16.0 ... 30.0 V= (Rippel max. 1 Vpp)
Anschluss elektrisch
Kabel
maximale Leitungslnge

Betriebsspannung
(in der Messkammer)
Betriebsstrom
(in der Messkammer)
1)

BG 805 008 BD / A

(0206)

IKR 270

Kompaktstecker Hirschmann
Typ GO 6, 6-polig, Kontaktstifte
5-polig plus Abschirmung
100 m (0.25 mm Leiter)
150 m (0.34 mm Leiter)
500 m (1.0 mm Leiter)

3.3 kV
100 A

Pfeiffer Vacuum Mess- und Steuergerte fr Kompakt-Messrhren erfllen


dies.
5

Ausgangssignal (Messsignal)
Spannungsbereich

0 V ... +10.5 V
logarithmisch, Steigung 0.8 V / Dekade
( Anhang A)
< 0.5 V (keine Speisung)

Beziehung Spannung-Druck
Fehlersignal
Ausgangsimpedanz

210 W

Normlast

100 kW

Minimale Last

10 kW, kurzschlussfest
druckabhngig
< 10 ms
1s

Ansprechzeit
-6
p > 10 mbar
p = 10-8 mbar
Identifikation der Messrhre

Widerstand 7.15 kW gegen Speisungserde

Erdkonzept

Figur 1

Vakuumflansch-Messerde

ber 10 kW verbunden
(max. Spannungsdifferenz
bezglich Sicherheit
50 V
bezglich Genauigkeit 10 V)
getrennt gefhrt; bei grossen Leitungslngen (10 m) wird differentielle
Messung empfohlen

Speisungserde-Signalerde

Werkstoffe gegen Vakuum


Durchfhrungsisolation
Interne Dichtung
Flansch
Anode
Zndhilfe
Inneres Volumen

Keramik (Al2O3)
Ag
Edelstahl (1.4306 / AISI 304L)
Mo
Edelstahl (1.4310 / AISI 301)
20 cm

Abmessungen

105.5
28

53

20

VACUUM
Compact
Cold Cathode
Gauge

63,5

DN 40 CF-F

24,1

216,35
32

103,25

20

57

VACUUM

63,5

DN 40 CF-F

24,1

Compact
Cold Cathode
Gauge

Ausheizbereich

Gewicht

950 g (DN 40 CF-F kurze Version)


1100 g (DN 40 CF-F lange Version)

BG 805 008 BD / A

(0206)

IKR 270

3 Einbau
3.1 Vakuumanschluss

Hinweis
Vorsicht: Vakuumkomponente
Schmutz und Beschdigungen beeintrchtigen die Funktion der
Vakuumkomponente.
Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Regeln in bezug auf
Sauberkeit und Schutz vor Beschdigung beachten.

Die Einbaulage ist frei whlbar, Partikel sollten jedoch nicht in die Messkammer
gelangen knnen ( 2 12).
Den notwendigen Platzbedarf ersehen Sie aus dem Massbild ( 2 6).

Schutzdeckel entfernen.

Schutzdeckel werden bei Instandhaltungsarbeiten bentigt.

Flanschverbindung herstellen.

Bei der Montage kann es vorteilhaft


sein, die Magneteinheit vorbergehend
zu entfernen ( Abschnitt 3.1.1).

GEFAHR
Vorsicht: berdruck im Vakuumsystem > 4 bar
Bei KF-Flanschverbindungen knnen elastomere Dichtringe
(z.B. O-Ringe) dem Druck nicht mehr standhalten. Dies kann
zu Gesundheitsschden durch ausstrmendes Prozessmedium
fhren.
Dichtringe mit einem Aussenzentrierring verwenden.

GEFAHR
Vorsicht: berdruck im Vakuumsystem > 1 bar
Unsachgemsses ffnen von Spannelementen kann zu Verletzungen durch herumfliegende Teile und Gesundheitsschden durch ausstrmendes Prozessmedium fhren.
Spannelemente verwenden, die sich nur mit einem Werkzeug
ffnen und schliessen lassen (z.B. Spannband-Spannring).

BG 805 008 BD / A

(0206)

IKR 270

GEFAHR
Die Messrhre muss galvanisch mit der geerdeten Vakuumkammer verbunden sein. Die Verbindung muss den Anforderungen einer Schutzverbindung nach EN 61010 entsprechen:

CF-Flansche entsprechen dieser Forderung

Fr KF-Flansche ist ein elektrisch leitender Spannring zu


verwenden.

3.1.1 Magneteinheit entfernen


Bentigtes Werkzeug

Vorgehen

Innensechskantschlssel 1.5 mm

Gabelschlssel 7.0 mm

a) Innensechskant-Gewindestift (1) seitlich an der Elektronikeinheit (2) lsen.


b) Elektronikeinheit abnehmen.

Hinweis
Aus Toleranzgrnden ist bei erneuter Montage wieder die gleiche
Magnet- und Elektronikeinheit aufzusetzen.

c) Sechskantschraube (3) an der Magneteinheit (4) lsen und Magneteinheit


abnehmen.

Hinweis
Aufgrund der magnetischen Krafteinwirkung und der Tendenz,
leicht zu verkanten, ist das Trennen von Magneteinheit und
Messkammer (7) erschwert.
d) Messrhre an das Vakuumsystem anflanschen.
e) Magneteinheit aufsetzen und mit der Sechskantschraube (3) arretieren.
f) Elektronikeinheit (2) vorsichtig aufsetzen.
g) Elektronikeinheit bis zum Anschlag schieben und mit dem InnensechskantGewindestift (1) arretieren.

BG 805 008 BD / A

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IKR 270

3
2
1
3
4
7

1
4

3.2 Elektrischer Anschluss

3.2.2 Verwendung mit anderen


Auswertegerten

Vorgehen

BG 805 008 BD / A

(0206)

IKR 270

Stecker an der Messrhre


mit der Schraube sichern.

VACUUM

Wird die Messrhre mit einem


Pfeiffer Vacuum-Messgert fr
Kompakt-Messrhren betrieben,
wird ein entsprechendes
Verbindungskabel bentigt
( 2 19).
Compact
Cold Cathode
Gauge

3.2.1 Verwendung mit Pfeiffer


Vacuum-Messgerten

Die Messrhre kann auch mit anderen Messgerten betrieben werden. In diesem
Fall muss das Verbindungskabel selbst angefertigt werden.
2
Bei Leitungslngen bis 10 m (bei 0.34 mm Leiterquerschnitt) kann das Messsignal
ohne Verlust an Genauigkeit direkt zwischen positivem Signalausgang (Pin 2) und
Speisungserde (Pin 5) gemessen werden. Bei grsserer Leitungslnge ist differentielle Messung zwischen Signalausgang und Signalerde (Pin 3) empfohlen (das
Common mode-Signal betrgt bei maximal zugelassener Leitungslnge infolge
Spannungsabfall ber der Speisungserdleitung ca. 1.0 V).

Kabeldose vorbereiten
(Bestellnummer 2 19).

Verbindungskabel gemss Schema einlten.

10

10

7,15k

10k

Figur 1:

Elektrischer Anschluss
Pin 1
Pin 2
Pin 3
Pin 4
Pin 5
Pin 6

Identifikation
Signalausgang
(Messsignal)
Signalerde
Speisung
Speisungserde
Abschirmung

2
3
1

4
5

WARNUNG
Die Speisungserde (Pin 5) sowie die Abschirmung (Pin 6) sind
in jedem Fall beim Speisegert mit Erde zu verbinden.
Falscher Anschluss, falsche Polaritt oder nicht zulssige
Speisespannung knnen die Messrhre beschdigen.

Kabeldose zusammenbauen.

Kabeldose einstecken.

VACUUM

10

Compact
Cold Cathode
Gauge

Stecker an der Messrhre mit


der Schraube sichern.

BG 805 008 BD / A

(0206)

IKR 270

4 Betrieb
Nach dem Anlegen der Speisespannung steht zwischen den Anschlssen 2 und 3
das Messsignal zur Verfgung (Beziehung zwischen Messsignal und Druck
Anhang A).
Die grne Lampe auf der Messrhre
zeigt den Betriebszustand an:

Speisespannung vorhanden.
Speisespannung nicht vorhanden.

Hinweis
Schalten Sie die Messrhre nur bei Drcken <10-2 mbar ein, um eine
bermssige Verschmutzung zu vermeiden.
Bei Pfeiffer Vacuum-Messgerten fr Kompakt-Messrhren und
mindestens zwei Messrhrenanschlssen kann die KaltkatodenMessrhre beispielsweise durch eine Pirani-Messrhre gesteuert
werden.

Gasartabhngigkeit

Das Messsignal ist gasartabhngig. Die Kennlinien gelten fr trockene Luft, N2, O2
und CO. Fr andere Gase knnen sie umgerechnet werden ( Anhang B).
Wird die Messrhre mit einem Pfeiffer Vacuum-Messgert fr KompaktMessrhren betrieben, kann fr diese Flle ein Kalibrierfaktor zur Korrektur des
angezeigten Messwertes eingegeben werden ( & des entsprechenden
Messgertes).

Zndverzgerung

Kaltkatoden-Messrhren haben beim Einschalten eine Zndverzgerung. Sie


nimmt mit tieferen Drcken zu und betrgt bei:
10-7 mbar
-8
10 mbar
-9
10 mbar
-10
10 mbar
-11
510 mbar

Verschmutzung

0.1 Minute
1 Minute
5 Minuten
20 Minuten
30 Minuten

Die Verschmutzung der Messrhre ist abhngig von der Art der im Rezipienten
vorhandenen Verunreinigungen und ihrem Partialdruck. Bei dauernd tiefen
Drcken (< 110-6 mbar) sind Standzeiten > 1 Jahr bis zur Reinigung erreichbar
(Messrhre reinigen 2 12).
Das Mass der Verschmutzung kann in begrenztem Rahmen beeinflusst werden:

Durch geometrische Schutzmassnahmen (Abschirmbleche, Krmmer) fr sich


in gerader Linie ausbreitende Teilchen

Durch gezielte Wahl der Messrhren-Flanschposition an einem Ort, wo der


Partialdruck der Verunreinigung minimal ist.

Bei Dmpfen, die sich unter Plasma (des Kaltkatoden-Messsystems) abscheiden,


ist besondere Vorsicht geboten. Notfalls ist es erforderlich, die Messrhre whrend
der Anwesenheit der Dmpfe abzuschalten.

BG 805 008 BD / A

(0206)

IKR 270

11

5 Instandhaltung
GEFAHR
Vorsicht: Kontaminierte Teile
Kontaminierte Teile knnen zu Gesundheitsschden fhren.
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten ber eine eventuelle
Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlgigen Vorschriften beachten und die Schutzmassnahmen einhalten.

5.1 Messrhre reinigen /


Ersatzteile einbauen

GEFAHR
Vorsicht: Reinigungsmittel
Reinigungsmittel knnen zu Gesundheits- und Umweltschden fhren.
Beim Umgang mit Reinigungsmitteln die einschlgigen Vorschriften
beachten und die Schutzmassnahmen bezglich deren Handhabung
und Entsorgung einhalten.

Bentigtes Werkzeug / Material

Innensechskantschlssel 1.5 mm

Innensechskantschlssel 3.0 mm

Gabelschlssel 7.0 mm

Zange fr Sicherungsring

Poliertuch (Korn 400) oder Scotch-Brite

Pinzette

Industriealkohol

Montagewerkzeug fr Zndhilfe

Zndhilfe

Metalldichtung (11) fr Anodendurchfhrung

5.1.1 Zerlegen
Vorgehen kurze Version

a) Messrhre ausbauen ( 2 18).


b) Innensechskant-Gewindestift (1) seitlich an der Elektronikeinheit (2) lsen
( Figur 2).
c) Elektronikeinheit abnehmen.

Hinweis
Aus Toleranzgrnden ist bei erneuter Montage wieder die gleiche
Magnet- und Elektronikeinheit aufzusetzen.

d) Sechskantschraube (3) an der Magneteinheit (4) lsen und Magneteinheit


abnehmen.

Hinweis
Aufgrund der magnetischen Krafteinwirkung und der Tendenz,
leicht zu verkanten, ist das Trennen von Magneteinheit und
Messkammer (7) erschwert.

12

BG 805 008 BD / A

(0206)

IKR 270

g) Sicherungsring (5) und den Poleinsatz (6) aus der Messkammer entfernen.
h) 4 Innensechskantschrauben (8) inkl. Schraubensicherung (8a) an der Rckseite
der Messkammer entfernen.
i)

Nacheinander mit der notwendigen Sorgfalt das Druckstck (9), die Scheibe
(9a), die komplette Anode (10) und die Metalldichtung (11) inkl. Zentrierring (12)
entfernen.

Die Teile knnen nun gereinigt oder ersetzt werden.

1
4
7

Figur 2a

8a

11

10a
12

10

9a

6
5
7

Figur 2b

Vorgehen lange Version

a) Messrhre ausbauen ( 2 18).


b) Innensechskant-Gewindestift (1) seitlich an der Elektronikeinheit (2) lsen
( Figur 3).
c) Elektronikeinheit abnehmen.

Hinweis
Aus Toleranzgrnden ist bei erneuter Montage wieder die gleiche
Magnet- und Elektronikeinheit aufzusetzen.

d) Sechskantschraube (3) an der Magneteinheit (4) lsen und Magneteinheit


abnehmen.

Hinweis
Aufgrund der magnetischen Krafteinwirkung und der Tendenz,
leicht zu verkanten, ist das Trennen von Magneteinheit und
Messkammer (7) erschwert.
e) Sicherungsring (5) und den Poleinsatz (6) aus der Messkammer entfernen.

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(0206)

IKR 270

13

f) 2 Innensechskantschrauben (20) inkl. Schraubensicherung (19) an der Verlngerung entfernen.


g) Nacheinander mit der notwendigen Sorgfalt das Druckstck (18), den Isolator
(17) und die Anodenverlngerung (13) entfernen.
h) 2 Innensechskantschrauben (16) inkl. Schraubensicherung (15) und das Rohr
(14) entfernen.
i)

4 Innensechskantschrauben (8) inkl. Schraubensicherung (8a) an der Rckseite


der Messkammer entfernen.

j)

Nacheinander mit der notwendigen Sorgfalt das Druckstck (9), die Scheibe
(9a), die komplette Anode (10) und die Metalldichtung (11) inkl. Zentrierring (12)
entfernen.

Die Teile knnen nun gereinigt oder ersetzt werden.

1
4

Figur 3a

18

19

20

17

15

16

14

13

5
7

Figur 3b
8a

11

10
12 10a

9a

9
6
5
7

Figur 3c

14

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(0206)

IKR 270

5.1.2 Messrhre reinigen


Vorgehen

a) Mit einem Poliertuch die Innenwandungen der Messkammer sowie den


Poleinsatz blank reiben.

Hinweis
Dichtflche nur konzentrisch bearbeiten.

b) Messkammer und Poleinsatz mit Industriealkohol splen.


c) Beides trocknen.
Anode reinigen oder ersetzen:
a) Alte Zndhilfe (10a) beispielsweise mit einer Pinzette entfernen ( Figur 2).
b) Anodenstift mit dem Poliertuch blank reiben.

Hinweis
Anode nicht verbiegen. Keramik nicht mechanisch bearbeiten.

c) Anode mit Industriealkohol splen.


d) Anode trocknen.
e) Neue Zndhilfe (10a) in das Montagewerkzeug einlegen.
f) Anode (gereinigt oder neu) sorgfltig zentral
und parallel zur Werkzeugachse in die Zndhilfe eindrcken und ca. 15 mm weit einschieben. Die endgltige Positionierung
erfolgt erst nach dem Einbau der Anode.

Anode
Zndhilfe
Werkzeug

5.1.3 Messrhre zusammenbauen


Vorgehen kurze Version

a) Neue Metalldichtung (11) mit dem Zentrierring (12) zentrisch in die Messkammer einlegen. Dichtflche, Dichtung und Keramik mssen sauber sein
( Figur 2b).
b) Anode (10) inkl. Zndhilfe (10a) sorgfltig in die Messkammer einlegen.
c) Die Scheibe (9a) und das Druckstck (9) auf die Messkammer aufsetzen und
mit den 4 Schrauben (8) inkl. Sicherungsscheiben (8a) gleichmssig bis zum
Anschlag anziehen.
d) Positionieren der Zndhilfe (10a): Montagewerkzeug fr die Zndhilfe auf den
Anodenstift stecken und bis zum Anschlag einschieben.
e) Partikel in der Messkammer mit trockenem Stickstoff ausblasen (und dabei die
Messkammer mit dem Flansch nach unten halten).
f) Poleinsatz (6) bis zum mechanischen Anschlag in die Messkammer einschieben.

BG 805 008 BD / A

(0206)

IKR 270

15

g) Sicherungsring (5) satt an den Poleinsatz setzen.

Hinweis
Kontrollieren Sie visuell, ob der Anodenstift zentrisch zum mittleren
Loch des Poleinsatzes ist (max. zulssige Exzentrizitt = 0.5 mm).

h) Nach Mglichkeit einen Lecktest durch fhren (Leckrate <10-9 mbar l/s).

Vorgehen lange Version

i)

Magneteinheit (4) aufsetzen und mit der Sechskantschraube (3) arretieren.

j)

Elektronikeinheit (2) aufsetzen und mit dem Innensechskant-Gewindestift (1)


arretieren.

a) Neue Metalldichtung (11) mit dem Zentrierring (12) zentrisch in die Messkammer einlegen. Dichtflche, Dichtung und Keramik mssen sauber sein
( Figur 3c).
b) Anode (10) inkl. Zndhilfe (10a) sorgfltig in die Messkammer einlegen.
c) Die Scheibe (9a) und das Druckstck (9) auf die Messkammer aufsetzen und
mit den 4 Schrauben (8) inkl. Sicherungsscheiben (8a) gleichmssig bis zum
Anschlag anziehen.
d) Positionieren der Zndhilfe (10a): Montagewerkzeug fr die Zndhilfe auf den
Anodenstift stecken und bis zum Anschlag einschieben.
e) Partikel in der Messkammer mit trockenem Stickstoff ausblasen.
f) Poleinsatz (6) bis zum mechanischen Anschlag in die Messkammer einschieben.
g) Sicherungsring (5) satt an den Poleinsatz setzen.

Hinweis
Kontrollieren Sie visuell, ob der Anodenstift zentrisch zum mittleren
Loch des Poleinsatzes ist (max. zulssige Exzentrizitt = 0.5 mm).

h) Nach Mglichkeit einen Lecktest durchfhren (Leckrate <10-9 mbar l/s).


i)

Die komplette Messkammer mit dem Flansch nach unten auf den Tisch stellen
und die Verlngerung (13) sorgfltig auf den Anodenstift aufstecken
( Figur 4).

j)

Das Rohr (14) sorgfltig darber stlpen und mit den 2 Schrauben (16) und den
Schraubensicherungen (15) festschrauben.

k) Den Isolator (17) in der abgebildeten Weise auf die Verlngerung (13) fdeln
und das Druckstck (18) mit 2 Schrauben (20) und den Schraubensicherungen
(19) festschrauben.

Hinweis
Das Innere des Rohres und der Isolator mssen vllig sauber und
frei von Fuseln sein.

l)

Magneteinheit (4) aufsetzen und mit der Sechskantschraube (3) arretieren.

m) Elektronikeinheit (2) aufsetzen und mit dem Innensechskant-Gewindestift (1)


arretieren.

16

BG 805 008 BD / A

(0206)

IKR 270

20
19
18
17

14

16
15

13

Figur 4

5.2 Verhalten bei Strung

Strung

(0206)

IKR 270

Behebung
Speisung einschalten.

Messsignal dauernd
Speisespannung zu
< 0.5 V und grne Lampe niedrig.
leuchtet.
Elektronikeinheit defekt.

Speisespannung erhhen
( 2 5).

Messsignal dauernd im
Bereich 0.5 ... 1.96 V
(underrange).

BG 805 008 BD / A

Mgliche Ursache

Speisung fehlt.
Messsignal dauernd
< 0.5 V und grne Lampe
leuchtet nicht.

Elektronikeinheit ersetzen
( 2 12).

Druck in Vakuumkammer
< 510-11 mbar.

Gasentladung hat nicht


gezndet.

Warten, bis Gasentladung zndet


( 20 Minuten bei einem
Druck von 10-10 mbar).

17

6 Ausbau
GEFAHR
Vorsicht: Kontaminierte Teile
Kontaminierte Teile knnen zu Gesundheitsschden fhren.
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten ber eine eventuelle
Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlgigen Vorschriften beachten und die Schutzmassnahmen einhalten.

Hinweis

Messrhre ausser Betrieb setzen.

Verbindungskabel lsen.

Messrhre von der Vakuumapparatur demontieren.

Schutzdeckel aufsetzen.

VACUUM

Vorgehen

18

Compact
Cold Cathode
Gauge

Vorsicht: Vakuumkomponente
Schmutz und Beschdigungen beeintrchtigen die Funktion der
Vakuumkomponente.
Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Regeln in bezug auf
Sauberkeit und Schutz vor Beschdigung beachten.

BG 805 008 BD / A

(0206)

IKR 270

7 Produkt zurcksenden
WARNUNG
Vorsicht: Versand kontaminierter Produkte
Zur Wartung oder Reparatur eingesandte Produkte sollen nach
Mglichkeit frei von Schadstoffen sein (z.B. radioaktiver, toxischer,
tzender oder mikrobiologischer Art).
Versandvorschriften der beteiligten Lnder und Transportunternehmen
beachten. Ausgefllte Kontaminationserklrung beilegen.
Nicht eindeutig als "frei von Schadstoffen" deklarierte Produkte werden kostenpflichtig dekontaminiert.

8 Zubehr
Bestellnummer
Verbindungskabel zu Pfeiffer VacuumMessgert fr Kompakt-Messrhren
3m
6m
10 m
Leitungsdose, Hirschmann GO 6 WF,
6-polig, abgewinkelt, Buchsen
Magnetabschirmung

BG 805 008 BD / A

(0206)

IKR 270

BG 448 250 -T
BG 448 251 -T
BG 448 252 -T
B 4707 283 MA
PT 443 155 -X

19

9 Ersatzteile
Bestellen Sie Ersatzteile immer mit den folgenden Angaben:

Produkttyp

Fabrikationsnummer gemss Typenschild

Position, Beschreibung und Bestellnummer gemss Ersatzteilliste

Nachfolgende Teile sind als Ersatzteilstze lieferbar:

8a

11

10
10a
12

9a

Pos.

Beschreibung

Bestellnummer

Wartungssatz, bestehend aus:


3 Zndhilfe
1 Dichtung
HNV 100 (91.6)
1 Zentrierring
1 Scheibe

BN 846 241 -T

10a
11
12
9a

Reparatursatz, bestehend aus:


1 Anode, komplett
3 Zndhilfe
1 Dichtung
HNV 100 (91.6)
1 Zentrierring
1 Scheibe

BN 846 240 -T

10
10a
11
12
9a

Zndhilfensatz, bestehend aus:


10 Zndhilfe

BN 845 995 -T

10a

Montagewerkzeug fr Zndhilfe

BG 510 600

Austausch-Messrhre
(defekte Messrhre zurcksenden)
Flansch DN 40 CF-F,
kurze Version
Flansch DN 40 CF-F,
lange Version

BG G21 251 A
BG G21 261 A

10 Entsorgung
WARNUNG
N

20

Vorsicht: Umweltgefhrdende Stoffe


Produkte, Betriebsmittel usw. mssen unter Umstnden speziell
entsorgt werden.
Zwecks fachgerechter Entsorgung bitte mit Ihrer nchstgelegenen
Pfeiffer Vacuum-Servicestelle Kontakt aufnehmen.

BG 805 008 BD / A

(0206)

IKR 270

Anhang
A:

Beziehung zwischen
Messsignal und Druck
Umrechnungstabelle

Messsignal U
[V]
< 0.5
0.5...1.96
1.96
2.2
3.0
3.8
4.6
5.4
6.2
7.0
7.8
8.6
8.6...10.5

Umrechnungskurven

Druck p
[Torr]

[mbar]

[Pa]

Sensorfehler (sensor error)


Messbereichsunterschreitung (underrange)
-11
3.7510-11
5.010-9
5.010
-10
-11
1.010
7.510
1.010-8
-9
-10
1.010
7.510
1.010-7
1.010-8
7.510-9
1.010-6
-7
-8
1.010
7.510
1.010-5
-6
-7
1.010
7.510
1.010-4
1.010-5
7.510-6
1.010-3
-4
-5
1.010
7.510
1.010-2
-3
-4
1.010
7.510
0.1
1.010-2
7.510-3
1.0
Messbereichsberschreitung (overrange)

Druck p
1E00

Pa

1E01

mbar

1E03

torr

1E06

overrange

1E05

underrange

1E04

sensor error

1E02

1E07
1E08
1E09
1E10
1E11
0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0 9.5 10.0 10.5

Messsignal U [V]

Umrechnungsformeln

U = c + 0.8log10 p

(0206)

IKR 270

p = 101.25U-d

[V]

[mbar]

10.2

12.75

[V]

[micron]

7.9

9.875

[V]

[bar]

7.8

9.75

[V]

[Pa]

8.6

10.75

[V]

[Torr]

10.3

12.875

[V]

[kPa]

11.0

13.75

[V]

[mTorr]

7.9

9.875

wobei U
p
c, d

BG 805 008 BD / A

Messsignal
Druck
Konstanten (abhngig
von der Druckeinheit)

gltig im
Bereich

110

-11

7.510

-2

mbar < p < 110 mbar

-12

-3

Torr < p < 7.510 Torr

-9

110 Pa < p < 1 Pa

21

B:

Gasartabhngigkeit

Angezeigter Druck
(Messrhre fr Luft geeicht)
p (mbar)

Luft / Air
O2
CO
Ar N2 H2 Ne He

Xe Kr

10

8
6
4
2

104
8
6
4
2

105
8
6
4
2

106
8
6
4
2

107
107 2

Anzeigebereich unter 10-5 mbar

106 2

105 2

104 2

103 2

4 6 102
peff (mbar)

Im Bereich unter 10-5 mbar ist die Anzeige linear. Fr andere Gase als Luft knnen
der Druck durch eine einfache Umrechnung ermittelt werden:
peff = K angezeigter Druck
wobei

Gasart

Luft (N2, O2, CO)


Xe
Kr
Ar
H2
Ne
He

1.0
0.4
0.5
0.8
2.4
4.1
5.9

Die angefhrten Umrechnungsfaktoren sind Mittelwerte.

Hinweis
Oft hat man es mit Gemischen aus Gasen und Dmpfen zu tun. Eine
genaue Erfassung ist in diesen Fllen nur mit Partialdruck-Messgerten mglich, z.B. mit einem Quadrupol-Massenspektrometer.

22

BG 805 008 BD / A

(0206)

IKR 270

Kontaminationserklrung
Die Reparatur und/oder die Wartung von Vakuumgerten und -komponenten wird nur durchgefhrt, wenn eine korrekt und vollstndig ausgefllte Kontaminationserklrung vorliegt. Sonst kommt es zu Verzgerungen der Arbeiten.
Diese Erklrung darf nur von autorisiertem Fachpersonal ausgefllt (in Druckbuchstaben) und unterschrieben werden.

Art des Produkts

Grund fr die Einsendung

Typenbezeichnung
Artikelnummer
Seriennummer

Verwendete(s) Betriebsmittel

Einsatzbedingte Kontaminierung des Produkts


toxisch

nein q

ja q

tzend

nein q

ja q

mikrobiologisch

nein q

ja q *)

explosiv

nein q

ja q *)

radioaktiv

nein q

ja q *)

sonstige Schadstoffe

nein q

ja q
*) Derart kontaminierte
Produkte werden nur
bei Nachweis einer
vorschriftsmssigen
Dekontaminierung
entgegengenommen!

Schadstoffe und/oder Reaktionsprodukte


Schadstoffe oder prozessbedingte, gefhrliche Reaktionsprodukte, mit denen das Produkt in Kontakt kam:
Handels-/Produktname
Hersteller

Chemische Bezeichnung
(evtl. auch Formel)

Gefahrenklasse

Massnahmen bei Freiwerden


der Schadstoffe

Erste Hilfe
bei Unfllen

Rechtsverbindliche Erklrung
Hiermit versichere(n) ich/wir, dass die Angaben korrekt und vollstndig sind. Der Versand des kontaminierten Produkts erfllt die
gesetzlichen Bestimmungen.
Firma/Institut
Strasse

PLZ, Ort

Telefon

Telefax

E-Mail
Name

Datum und rechtsverbindliche Unterschrift

Firmenstempel

Verteiler: Original an den Adressaten - 1 Kopie zu den Begleitpapieren - 1 Kopie fr den Absender
BG 805 008 BD / A

(0206)

IKR 270

23

Berliner Strasse 43
D35614 Asslar
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Fax +49 (0) 6441 802-202
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