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Grund_Titel 20.06.

2001 14:28 Uhr Seite 1

GRUNDLAGEN

Grundlagen der Vakuumtechnik

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Grundlagen der Vakuumtechnik

Grundlagen der Vakuumtechnik


überarbeitet und zusammengestellt von
Dr. Walter Umrath
unter Mitwirkung von
Dr. Hermann Adam ✝, Alfred Bolz, Hermann Boy, Heinz Dohmen, Karl Gogol,
Dr. Wolfgang Jorisch, Walter Mönning, Dr. Hans-Jürgen Mundinger,
Hans-Dieter Otten, Willi Scheer, Helmut Seiger, Dr. Wolfgang Schwarz,
Klaus Stepputat, Dieter Urban, Heinz-Josef Wirtzfeld, Heinz-Joachim Zenker

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Vorwort

Vorwort
Seit dem letzten unveränderten Nachdruck der „Grundlagen der
Vakuumtechnik“ im Jahre 1987 gab es einerseits bei LEYBOLD eine
Reihe von Neuentwicklungen auf diesem Gebiet, wie z.B. die
trockenlaufende Chemiepumpe ALL·ex, das Kryopumpen-System
COOLVAC-FIRST mit Schnellregenerierung, magnetgelagerte
Turbo-Molekularpumpen, A-Serie Vakuummeter, die Massenspektro-
meter-Transmitter TRANSPECTOR und XPR, Leckdetektoren der UL-
Serie, den Leckdetektor ECOTEC 500 für Kältemittel und beliebige
andere Gase und andererseits wurden in der nun vorliegenden neuen
Ausgabe der „Grundlagen“ einige Abschnitte viel ausführlicher behan-
delt als in der alten Version (Restgasanalyse bei niedrigen Drücken,
das Messen niedriger Drücke, Drucküberwachung, Drucksteuerung und
Druckregelung, Lecks und Lecksuche). Neu aufgenommen wurden
die Abschnitte Beschichtungsmeß- und Regelgeräte und Anwendungen
der Vakuumtechnik für Beschichtungsverfahren. Natürlich war das
„Ausbildungszentrum Vakuumtechnik“ von LEYBOLD Köln bei der
Zusammenstellung der Unterlagen und der Neufassung vieler
Abschnitte auf die Hilfe von Kollegen angewiesen, bei denen ich mich
hier ausdrücklich bedanken möchte – nicht zuletzt bei der Abteilung
Kommunikation, für die professionelle Vorbereitung zum Druck. Leider
konnte Herr Dr. H. Adam, der seinerzeit die allererste Version der
„Grundlagen“ zusammengestellt hat, den Druck dieser Auflage nicht
mehr erleben. Obwohl schon lange in Pension, hat er noch bis knapp
vor seinem Tode an den Korrekturen dieser Auflage mitgearbeitet.
Ich hoffe, daß dieses Heft in gleicher Weise Anklang findet, wie die alte
Version.

Dr. Walter Umrath


Köln, im März 1997
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Grundlagen der Vakuumtechnik

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Inhaltsverzeichnis

1. Vakuumphysik 2.1.5 Kondensatoren . . . . . . . . . . . . . 36 2.3.4 Evakuieren eines Behälters


Formelzeichen, 2.1.6 Treibmittelpumpen . . . . . . . . . . . 38 bei Anfall von Gasen und Dämpfen 70
Einheiten und 2.1.6.1 Öl-Diffusionspumpen . . . . . . . . 39 2.3.5 Pumpendimensionierung
Definitionen . . . . . . . . . . . . . 9 2.1.6.2 Öl-Dampfstrahlpumpen . . . . . . 41 bei Trocknungsprozessen . . . . . . . 70
2.1.6.3 Treibmittel . . . . . . . . . . . . . . . . 42 2.3.6 Flansche und ihre
1.1 Vakuumtechnische Grundbegriffe 9 2.1.6.4 Treibmittelrückströmung Abdichtungen . . . . . . . . . . . . . . . 72
1.2 Die atmosphärische Luft . . . . . . . 12 und ihre Unterdrückung 2.3.7 Auswahl geeigneter Ventile . . . . . 72
(Dampfsperren, Baffle) . . . . . . . . . 43 2.3.8 Gasschleusen und
1.3 Die Gasgesetze und
2.1.6.5 Wasserstrahl- und Verschußventile . . . . . . . . . . . . . . 74
Modellvorstellungen . . . . . . . . . . 12
Wasserdampfstrahlpumpen . . . . . 44
1.3.1 Kontinuumstheorie . . . . . . . . . . . 12
2.1.7 Turbo-Molekularpumpen . . . . . . 45
1.3.2 Kinetische Gastheorie . . . . . . . . . 13
2.1.8 Sorptionspumpen . . . . . . . . . . . 49
1.4 Die Druckbereiche der 2.1.8.1 Adsorptionspumpen . . . . . . . . 49 3. Vakuummessung,
Vakuumtechnik und ihre 2.1.8.2 Verdampferpumpen . . . . . . . . . 50 -überwachung,-steuerung
Charakterisierung . . . . . . . . . . . . 13 2.1.8.3 Ionen-Zerstäuberpumpen und -regelung . . . . . . . . . . . 74
1.5 Strömungsarten und (IZ-Pumpen) . . . . . . . . . . . . . . . . 50
Strömungsleitwerte . . . . . . . . . . . 13 3.1 Grundsätzliches zum
2.1.8.4 Massivgetterpumpen
1.5.1 Strömungsarten . . . . . . . . . . . . . 13 Messen niedriger Drücke . . . . . . 75
(NEG-Pumpen) . . . . . . . . . . . . . . 52
1.5.2 Berechnung von 2.1.9 Kryopumpen . . . . . . . . . . . . . . . 53 3.2 Vakuummeter mit gasartunab-
Strömungsleitwerten . . . . . . . . . . 15 2.1.9.1 Arten von Kryopumpen . . . . . . 53 hängiger Druckanzeige . . . . . . . . 76
1.5.3 Leitwerte von Rohrleitungen 2.1.9.2 Kaltkopf und dessen 3.2.1 Feder-Vakuummeter . . . . . . . . . . 76
und Öffnungen . . . . . . . . . . . . . . . 15 Arbeitsweise . . . . . . . . . . . . . . . . 54 3.2.2 Membran-Vakuummeter . . . . . . . 76
1.5.4 Leitwerte anderer Bauelemente . . 16 2.1.9.3 Die Refrigerator-Kryopumpe . . . 55 3.2.2.1 Kapselfeder-Vakuummeter . . . . 76
2.1.9.4 Bindung von Gasen 3.2.2.2 DIAVAC Membran-
an Kaltflächen . . . . . . . . . . . . . . . 55 Vakuummeter . . . . . . . . . . . . . . . 76
2. Vakuumerzeugung ....... 17 2.1.9.5 Saugvermögen und 3.2.2.3 Präzisions-Membran-
2.1 Vakuumpumpen: Lage der Kaltflächen . . . . . . . . . . 56 Vakuummeter . . . . . . . . . . . . . . . 77
Übersicht über die verschiedenen 2.1.9.6 Kenngrößen einer Kryopumpe . 57 3.2.2.4 Kapazitive Vakuummeter . . . . . 77
Arten von Vakuumpumpen . . . . . . 17 3.2.3 Flüssigkeits- (Quecksilber-)
2.2 Auswahl des Pumpverfahrens . . . 59
2.1.1 Oszillationsverdränger- Vakuummeter . . . . . . . . . . . . . . . 78
2.2.1 Übersicht über die
Vakuumpumpen . . . . . . . . . . . . . . 17 3.2.3.1 U-Rohr-Vakuummeter . . . . . . . 78
gebräuchlichsten Vakuumverfahren 59
2.1.1.1 Membranpumpen . . . . . . . . . . 17 3.2.3.2 Kompressions-Vakuum-
2.2.2 Abpumpen von Gasen
2.1.2 Flüssigkeitsgedichtete meter (nach McLeod) . . . . . . . . . . 78
(trockene Prozesse) . . . . . . . . . . . 60
Rotations-Verdrängerpumpen . . . . 19 2.2.3 Abpumpen von Gasen 3.3 Vakuummeter mit
2.1.2.1 Flüssigkeitsringvakuumpumpen 19 und Dämpfen (nasse Prozesse) . . 61 gasartabhängiger Druckanzeige . 79
2.1.2.2 Ölgedichtete Rotations- 2.2.4 Trocknungsprozesse . . . . . . . . . 63 3.3.1 Reibungs-Vakuummeter
Verdrängerpumpen . . . . . . . . . . . 19 2.2.5 Erzeugung ölfreier (VISCOVAC) . . . . . . . . . . . . . . . 80
2.1.2.2.1 Drehschieberpumpen
(kohlenwasserstoffreier) Vakua . . . 64 3.3.2 Wärmeleitungs-Vakuummeter . . 80
(TRIVAC A, TRIVAC B,
2.2.6 Ultrahochvakuum: 3.3.3 Ionisations-Vakuummeter . . . . . 82
TRIVAC E, SOGEVAC) . . . . . . . . . . 19
Arbeitstechnik . . . . . . . . . . . . . . . 65 3.3.3.1 Ionisations-Vakuummeter
2.1.2.2.2 Sperrschieberpumpen
mit kalter Kathode
(E-Pumpen) . . . . . . . . . . . . . . . . . 21 2.3 Dimensionierung der
(Penning-Vakuummeter) . . . . . . . 82
2.1.2.2.3 Trochoidenpumpen . . . . . . . . 22 Vakuumanlage und
3.3.3.2 Ionisations-Vakuummeter
2.1.2.2.4 Der Gasballast . . . . . . . . . . . 22 Bestimmung der Pumpengröße . . 65
mit Glühkathode . . . . . . . . . . . . . . 83
2.1.3 Trockenlaufende 2.3.1 Evakuieren eines Vakuumbehälters
Rotations-Verdrängerpumpen . . . . 25 (ohne zusätzlichen Gas- 3.4 Justieren, Eichen und
2.1.3.1 Wälzkolbenpumpen oder Dampfanfall) . . . . . . . . . . . . 66 Kalibrieren; DKD, PTB,
2.3.1.1 Evakuieren eines Behälters Nationale Standards . . . . . . . . . . 85
(Rootspumpen) . . . . . . . . . . . . . . 25
im Grobvakuumbereich . . . . . . . . 66 3.4.1 Beispiele für fundamentale
2.1.3.2 Klauenpumpen . . . . . . . . . . . . 29
Druckmeßmethoden als
2.1.3.2.1 Klauenpumpen mit innerer 2.3.1.2 Evakuieren eines Behälters
Standardverfahren zum
Verdichtung für die Halbleiter- im Hochvakuumbereich . . . . . . . . 67
Kalibrieren von Vakuummetern . . . 86
industrie („DRYVAC“-Reihe) . . . . . 31 2.3.1.3 Evakuieren eines Behälters
2.1.3.2.2 Klauenpumpen im Feinvakuumbereich . . . . . . . . . 67 3.5 Drucküberwachung,
ohne innere Verdichtung 2.3.2 Wahl der geeigneten -steuerung und -regelung
für die Chemie („ALL·ex“) . . . . . . . 33 Vorpumpe ................ 68 in Vakuumbehältern . . . . . . . . . . 87
2.1.4 Zubehör zu Rotations- 2.3.3 Ermittlung von Auspumpzeiten 3.5.1 Grundsätzliches zur Drucküber-
Verdrängerpumpen . . . . . . . . . . . 36 aus Nomogrammen . . . . . . . . . . . 69 wachung und -steuerung . . . . . . . 87

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Inhaltsverzeichnis

3.5.2 Automatische Sicherung, 4.7.2 Multiplex/DOS Software 5.5.2.7 Teilstrombetrieb . . . . . . . . . . . 120


Überwachung und Steuerung MQX (1 PC + 1...8 MS) . . . . . . . . 106 5.5.2.8 Anschluß an Vakuumanlagen . . 120
von Vakuumanlagen . . . . . . . . . . . 88 4.7.3 Prozeßorientierte Software 5.5.2.9 Zeitkonstante . . . . . . . . . . . . . 121
3.5.3 Druckregelung und Transpector-Ware . . . . . . . . . . . . . 106
5.6 Grenzwerte/Spezifikationen
-Steuerung in Grob- 4.7.4 Entwicklungssoftware
des Leckdetektors . . . . . . . . . . . . 121
und Feinvakuumanlagen . . . . . . . . 89 Transpector-View . . . . . . . . . . . . . 106
3.5.4 Druckregelung in Hoch- 5.7 Lecksuchtechniken mit
4.8 Partialdruckregelung . . . . . . . . . . 106
und Ultrahochvakuumanlagen . . . 92 Helium-Leckdetektoren . . . . . . . . 122
3.5.5 Anwendungsbeispiele 4.9 Wartung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 107 5.7.1 Sprühtechnik
mit Membranreglern . . . . . . . . . . 92 (Lokale Dichtheitsprüfung) . . . . . . 122
5.7.2 Schnüffeltechnik
(Lokale Dichtheitsprüfung
5. Lecks und Lecksuche . . . . 108
nach der Überdruckmethode) . . . . 122
4. Massenspektrometrische 5.1 Leckarten . . . . . . . . . . . . . . . . . . 108 5.7.3 Hüllentests (Integrale
Gasanalyse bei niedrigen Dichtheitsprüfung) . . . . . . . . . . . . . 122
Drücken . . . . . . . . . . . . . . . . . 94 5.2 Leckrate, Leckgröße, Massenstrom 108
5.7.3.1 Hüllentest mit Helium-
5.2.1 Die Helium-Standard-
4.1 Allgemeines . . . . . . . . . . . . . . . . 94 Überdruck im Prüfling . . . . . . . . . 123
Leckrate . . . . . . . . . . . . . . . . . . 110
a) Hüllentest mit
4.2 Geschichtliches . . . . . . . . . . . . . . 94 5.2.2 Umrechnungsformeln . . . . . . . . 110
Konzentrationsmessung
4.3 Das Quadrupol- 5.3 Begriffe und Definitionen . . . . . . 110 und anschließender
Massenspektrometer Leckratenberechnung . . . . . . . . . 123
5.4 Lecksuchmethoden
(TRANSPECTOR) . . . . . . . . . . . . . 94 b) Direkte Messung
ohne Lecksuchgerät . . . . . . . . . . 111
4.3.1 Aufbau des Sensors . . . . . . . . . . 95 der Leckrate mit dem LD
5.4.1 Druckanstiegsprüfung . . . . . . . . 112
4.3.1.1 Die normale (offene) (massive Hülle) . . . . . . . . . . . . . . 123
5.4.2 Druckabfallprüfung . . . . . . . . . . 112
Ionenquelle . . . . . . . . . . . . . . . . . 95 5.7.3.2 Hüllentest mit Prüfling
5.4.3 Dichtheitsprüfung mit
4.3.1.2 Das Quadrupol-Trennsystem . . . 96 unter Vakuum . . . . . . . . . . . . . . . 123
gasartabhängigen Vakuummetern . 113
4.3.1.3 Das Nachweissystem a) Hülle = „Plastikzelt“ . . . . . . . . . . . 123
5.4.4 Blasen-Tauchprüfung
(Detektor) . . . . . . . . . . . . . . . . . . 97 b) Massive Hülle . . . . . . . . . . . . . . . 123
(Bubble-Test) . . . . . . . . . . . . . . . 113
5.7.4 „Bombing“-Test, „Drucklagerung“
4.4 Gaseinlaß und Druckanpassung . 97 5.4.5 Blasen-Sprühprüfung . . . . . . . . . 113
123
4.4.1 Dosierventil . . . . . . . . . . . . . . . 97 5.4.6 Blasen-Vakuumboxprüfung . . . . 113
4.4.2 Druckwandler . . . . . . . . . . . . . . 97 5.4.7 Krypton 85 – Prüfung . . . . . . . . 113 5.8 Industrieelle
4.4.3 Geschlossene Ionenquelle . . . . . 98 5.4.8 Der Hochfrequenzvakuumprüfer . 113 Dichtheitsprüfung . . . . . . . . . . . . 123
4.4.4 AGM (Aggressiv gas monitor) . . 98 5.4.9 Prüfung mit chemischen
Reaktionen und Farbeindringprüfung114
4.5 Massenspektrometrische
Kenngrößen (Spezifikationen) . . . 98 5.5 Lechdetektoren (LD) 6. Beschichtungsmeß- und
4.5.1 Linienbreite . . . . . . . . . . . . . . . 98 und ihre Arbeitsweisen . . . . . . . . 114 Regelgeräte . . . . . . . . . . . . . 124
4.5.2 Massenbereich . . . . . . . . . . . . . 98 5.5.1 Halogen-Leckdetektoren 6.1 Einführung . . . . . . . . . . . . . . . . . . 124
4.5.3 Empfindlichkeit . . . . . . . . . . . . . 100 (HLD 4000, D-Tek) . . . . . . . . . . . 114
4.5.4 Kleinster nachweisbarer 5.5.2 Leckdetektoren mit 6.2 Grundlagen der
Partialdruck . . . . . . . . . . . . . . . . . 100 Massenspektrometern (MS) . . . . . 115 Schichtdickenmessung
4.5.5 Kleinstes nachweisbares 5.5.2.1 Die Funktionsweise mit Schwingquarzen . . . . . . . . . . 124
Partialdruckverhältnis . . . . . . . . . . 100 eines Leckdetektors mit MS . . . . . 115 6.3 Die Form der
4.5.6 Linearitätsbereich . . . . . . . . . . . 100 5.5.2.2 Nachweisgrenze, Schwingquarzkristalle . . . . . . . . . 125
4.5.7 Angaben über Oberflächen Untergrund, Gasspeicherung im Öl
(Gasballast), gleitende Nullpunkt- 6.4 Die Periodenmessung . . . . . . . . . 126
und Ausheizbarkeit . . . . . . . . . . . . 101
unterdrückung . . . . . . . . . . . . . . . 116 6.5 Die Z-Match Technik . . . . . . . . . . 126
4.6 Auswertung von Spektren . . . . . . 101
5.5.2.3 Kalibrieren von
4.6.1 Ionisierung und grundsätzliche 6.6 Der aktive Oszillator . . . . . . . . . . 127
Leckdetektoren, Prüflecks . . . . . . 117
Probleme der Gasanalyse . . . . . . . 101
5.5.2.4 Leckdetektoren 6.7 Der Mode-Lock Oszillator . . . . . . 128
4.6.2 Partialdruckmessung . . . . . . . . . 103
mit Quadrupol-MS (ECOTEC 500) . 118
4.6.3 Qualitative Gasanalyse . . . . . . . . 104 6.8 Auto-Z Match Technik . . . . . . . . . 128
5.5.2.5 Helium-Leckdetektoren
4.6.4 Quantitative Gasanalyse . . . . . . . 105
mit 180°-Sektorfeld-MS 6.9 Schichtdickenregelung . . . . . . . . 129
4.7 Software für (UL 100 Plus, UL 200, UL 400,
6.10 Leybold-Inficon Gerätevarianten . 131
Prozeßanwendungen . . . . . . . . . . 106 UL 500) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 118
4.7.1 Standard/DOS Software SQX 5.5.2.6 Hauptstrom- und
für Einzelgeräte (1 PC + 1 MS) . . . 106 Gegenstrom-Leckdetektor . . . . . . 119

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7. Anwendungen der 8.3.3.1 Allgemeine Betriebshinweise . . 143 Tab XII Einige gebräuchliche
Vakuum-Beschichtungs- 8.3.3.2 Wartung . . . . . . . . . . . . . . . . . 143 Lösungsmittel . . . . . . . . . . . 149
verfahren . . . . . . . . . . . . . . . . 132 8.3.4 Diffusions- und Tab XIII Sättigungsdampfdruck und
Dampfstrahlpumpen . . . . . . . . . . . 144 Dampfdichte von Wasser . . . 150
7.1 Vakuumbeschichtungstechnik . . . 132 8.3.4.1 Treibmittelwechsel und Tab XIV Explosionsklassen
7.2 Beschichtungsquellen . . . . . . . . . 132 Reinigen der Pumpe . . . . . . . . . . . 144 von Fluiden . . . . . . . . . . . . . 151
7.2.1 Thermische Verdampfer 8.3.4.2 Betriebsfehler bei Diffusions- Tab XV Chemische Beständigkeit
(Schiffchen etc.) . . . . . . . . . . . . . 132 und Dampfstrahlpumpen . . . . . . . 144 gebräuchlicher gummi-
7.2.2 Elektronenstoßverdampfer 8.3.5 Adsorptionspumpen . . . . . . . . . . 144 elastischer Dichtungs-
(Elektronenkanonen) . . . . . . . . . . 133 8.3.5.1 Verringerung der werkstoffe . . . . . . . . . . . . . . 152
7.2.3 Kathodenzerstäubung Adsorptionskapazität . . . . . . . . . . 144 Tab XVI Bildzeichen der
(Sputtern) . . . . . . . . . . . . . . . . . 133 8.3.5.2 Auswechseln des Vakuumtechnik . . . . . . . . . . . 153
7.2.4 Chemische Dampfabscheidung Molekularsiebes . . . . . . . . . . . . . . 145 Tab XVII Temperaturvergleichs- und
(PVD) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 134 8.3.6 Titan-Verdampferpumpen . . . . . . 145 Umrechnungstabelle . . . . . . . 155
8.3.7 Ionenzerstäuberpumpen . . . . . . . 145 Abb. 9.1 Abhängigkeit der Mittleren
7.3 Vakuumbeschichtungs-
8.4 Hinweise zum Arbeiten freien Weglänge vom
verfahren/Anlagentypen . . . . . . . 134
mit Vakuummetern . . . . . . . . . . . 145 Druck p für verschiedene
7.3.1 Teilebeschichtung . . . . . . . . . . . 134
8.4.1 Hinweise zum Einbau Gase bei 20°C . . . . . . . . . . . 155
7.3.2 Bandbeschichtung . . . . . . . . . . . 135
von Vakuummeter-Meßsystemen 145 Abb. 9.2 Gaskinetisches Diagramm
7.3.3 Optische Schichten . . . . . . . . . . 136
8.4.2 Verschmutzungen des Meß- für Luft und 20°C . . . . . . . . . 155
7.3.4 Glasbeschichtung . . . . . . . . . . . 136
systems und ihre Beseitigung . . . 145 Abb. 9.3 Abnahme des Luftdruckes
7.3.5 Anlagen für die Herstellung von
8.4.3 Einfluß magnetischer und und Änderung der Temperatur
Datenspeichern . . . . . . . . . . . . . . 137
elektrischer Felder . . . . . . . . . . . 146 mit der Entfernung von der
8.4.4 Verbindungen, Netzgeräte, Erde . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 156
Meßsysteme . . . . . . . . . . . . . . . 146 Abb. 9.4 Änderung der Gaszusammen-
8. Betriebshinweise für setzung der Atmosphäre
Vakuumapparaturen . . . . . 139
mit der Entfernung von der
8.1 Fehlerursachen bei nicht- Erde . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 156
9. Tabellen, Formeln, Abb. 9.5 Leitwerte von Rohren
oder zu spätem Erreichen
Nomogramme, üblicher Nennweiten
des gewünschten Enddruckes . . . 139
Diagramme, mit Kreisquerschnitt für
8.2 Verschmutzung von Vakuum- Bildzeichen . . . . . . . . . . . . . . 147
Laminarströmung . . . . . . . . . 156
behältern und ihre Beseitigung . . 139
Tab I Die gesetzlichen Abb.9.6 Leitwerte von Rohren
8.3 Allgemeine Hinweise Druckenheiten, sowie das üblicher Nennweiten mit
für Vakuumpumpen Torr und ihre Umrechnung . . 147 Kreisquerschnitt für
und Vakuummeßgeräte . . . . . . . . 139 Tab II Umrechnung Molekularströmung . . . . . . . 156
8.3.1 Ölgedichtete Rotations- von Druckeinheiten . . . . . . . . 147 Abb. 9.7 Nomogramm zur Ermittlung
verdrängerpumpen Tab III Mittlere freie Weglänge . . . . . 147 der Auspumpzeit tp
(Dreh- und Sperrschieberpumpen) 139 Tab IV Wichtige gaskinetische eines Behälters im
8.3.1.1 Ölverbrauch, Ölverschmutzung, Formeln . . . . . . . . . . . . . . . . 147 Grobvakuumgebiet . . . . . . . . 157
Ölwechsel . . . . . . . . . . . . . . . . . . 139 Tab V Wichtige Zahlenwerte . . . . . . 148 Abb. 9.8 Nomogramm zur Ermittlung
8.3.1.2 Wahl des Pumpenöls beim Tab VI Saugvermögenseinheiten der Leitwerte von Rohren mit
Abpumpen aggressiver Dämpfe . . 140 und ihre Umrechnung . . . . . . 148 kreisförmigem Querschnitt
8.3.1.3 Maßnahmen beim Abpumpen Tab VII Umrechnung von für Luft bei 20°C im Gebiet
verschiedener chemischer Sub- (a,b) pV-Durchfluß- und der Molekularströmnung . . . 158
stanzen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 141 Massendurchfluß-Einheiten . . 148 Abb. 9.9 Nomogramm zur Ermittlung
8.3.1.4 Betriebsfehler bei Gasballast- Tab VIII Zusammensetzung der Leitwerte von Rohrleitungen
pumpen; mögliche Fehlerquellen der atmosphärischen Luft . . . 149 im gesamten Druckgebiet . . . 159
bei Nichterreichen des geforderten Tab IX Druckbereiche der Abb. 9.10 Ermittlung der Auspumpzeit
Enddruckes . . . . . . . . . . . . . . . . . 142 Vakuumtechnik und im Feinvakuumgebiet unter
8.3.2 Wälzkolbenpumpen ihre Charakterisierung . . . . . 149 Berücksichtigung der Gas-
(Rootspumpen) . . . . . . . . . . . . . . 142 Tab X Gasabgabe von abgabe von den Wänden . . . 160
8.3.2.1 Allgemeine Betriebshinweise, Werkstoffen . . . . . . . . . . . . . 149 Abb.9.11 Sättigungsdampfdruck
Aufstellung und Inbetriebnahme . . 142 Tab XI Nennweiten und Innendurch- verschiedener Stoffe . . . . . . . 161
8.3.2.2 Ölwechsel, Wartungsarbeiten . . 142 messer von Rohren und Abb. 9.12 Sättigungsdampfdruck von
8.3.2.3 Hinweise bei Betriebsstörungen 143 Öffnungen mit Kreisquerschnitt Treibmitteln für Öl- und Queck-
8.3.3 Turbo-Molekularpumpen . . . . . . 143 (nach PNEUROP) . . . . . . . . . 149 silber-Treibmittelpumpen . . . 161

7
vorwort.qxd 20.06.2001 12:55 Uhr Seite 8

Inhaltsverzeichnis

Abb. 9.13 Sättigungsdampfdruck 10. Die gesetzlichen 11. Vakuumtechnisch


vakuumtechnisch wichtiger Einheiten wichtige nationale
Metalle . . . . . . . . . . . . . . . . . 161 in der Vakuumtechnik . . . 166 und internationale
Abb. 9.14 Dampfdruck von nicht-
10.1 Einführung . . . . . . . . . . . . . . . . . . 166 Normen und
metallischen Dichtungs- Empfehlungen . . . . . . . . . . . 171
mitteln . . . . . . . . . . . . . . . . . 162 10.2 Alphabetische Liste von Größen,
Formelzeichen und Einheiten, die 11.1 In der Vakuumtechnik besonders
Abb. 9.15 Sättigungsdampfdruck zu beachtende nationale und
in der Vakuumtechnik und ihren
von Substanzen bei sehr internationale Normen und
Anwendungen häufig vorkommen 166
niedrigen Temperaturen . . . . 162 Empfehlungen . . . . . . . . . . . . . . . 171
Abb 9.16 Gebräuchliche Arbeitsbereiche 10.3 Anmerkungen zur alphabetischen
von Vakuumpumpen . . . . . . 162 Liste des Abschnittes 10.2 . . . . . 169
Abb. 9.16a Meßbereiche gebräuchlicher 10.4 Tabellen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 170 12. Literaturverzeichnis . . . . . 176
Vakuummeter . . . . . . . . . . . . 163 10.4.1 SI – Basiseinheiten . . . . . . . . . . 170
Abb 9.17 Spezifischer Rauminhalt 10.4.2 Abgeleitete kohärente
von Wasserdampf . . . . . . . . 164 SI-Einheiten mit besonderen 13. Stichwortverzeichnis . . . . 185
Abb 9.18 Elektrische Durchbruch- Namen und Einheitenzeichen . . . . 170
spannung für Luft 10.4.3 Atomphysikalische Einheiten . . . 170
(Paschenkurve) . . . . . . . . . . 164 10.4.4 Abgeleitete, nicht kohärente
Abb 9.19 Phasendiagramm SI-Einheiten mit besonderen
von Wasser . . . . . . . . . . . . . 165 Namen und Einheitenzeichen . . . . 170

8
Grundlagen 20.06.2001 12:13 Uhr Seite 9

Vakuumphysik

1. Größen, deren Dampfdruck pd


Anteiliger Druck der bei Temperatur von
vom Druck p und der thermodynamischen
Temperatur T abhängig gemäß
Formelzeichen, Einheiten flüssigem Stickstoff (LN2) kondensierbaren
p=n·k·T (1.1)
Dämpfe.
und Definitionen n. . . Teilchenanzahldichte
(Vergleiche DIN 28400, Teil 1, Normdruck pn
k. . . Boltzmann-Konstante.
1990, DIN 1314 und DIN 28402) Unter Normdruck pn versteht man nach
DIN 1343 den Druck pn = 1013,25 mbar. Bei einer bestimmten Temperatur ist dem-
1.1 Vakuumtechnische nach der Druck eines Gases lediglich von
Enddruck pend
Grundbegriffe der Teilchenanzahldichte, nicht aber von
Der in einem Vakuumbehälter erreichbare
der Gasart abhängig. Die Art eines gasför-
Druck p (mbar) niedrigste Druck, der sogenannte Enddruck
migen Teilchens wird unter anderem durch
von Fluiden (Gasen, Flüssigkeiten). (Größe: pend, wird nicht nur vom Saugvermögen der
seine Masse mT charakterisiert.
Druck; Formelzeichen: p; Einheit: Millibar; Pumpe, sondern auch von dem Dampf-
druck pd der in der Pumpe verwendeten
Einheitenzeichen: mbar). Der Druck ist nach Gasdichte ρ (kg · m-3, g · cm-3)
Schmier-, Dichtungs- und Treibmittel mit-
DIN 1314 definiert als Quotient von Normal- Das Produkt aus Teilchenanzahldichte n
bestimmt. Wird ein Behälter beispielswei-
kraft auf die Fläche und Inhalt dieser Fläche und Teilchenmasse mT ist die Gasdichte ρ:
se lediglich mit einer ölgedichteten Ver-
(Flächenbezogene Kraft). Wenn auch das
drängerpumpe evakuiert, so wird der er- ρ = n · mT (1.2)
Torr als Einheit für den Druck nicht mehr
reichbare Enddruck in erster Linie durch
verwendet wird (siehe Abschnitt 10), so soll
den Dampfdruck des verwendeten Pum- Das ideale Gasgesetz
dennoch kurz die »Anschaulichkeit« dieser
penöls, je nach Sauberkeit des Behälters Zwischen der Masse mT eines Gasteilchens
Druckeinheit erwähnt werden: 1 Torr ist der-
außerdem noch durch die von den Behäl- und der molaren Masse M dieses Gases
jenige Gasdruck, der eine Quecksilbersäule
terwänden abgegebenen Dämpfe und na- besteht die Beziehung
bei 0°C um 1 mm zu heben vermag. (Der
turgemäß auch von der Dichtheit des Vaku-
normale Atmosphärendruck beträgt 760
umbehälters bestimmt. M = NA · mT (1.3)
Torr oder 760 mm Hg). Der Druck p kann
durch Indices näher gekennzeichnet werden: Umgebungsdruck pamb Die Avogadro-Konstante NA gibt an, wieviel
oder Atmosphärendruck (absolut) Gasteilchen in einem Mol Gas enthalten
Absoluter Druck pabs
sind. Darüber hinaus ist sie der Proportio-
In der Vakuumtechnik wird stets der abso-
Überdruck pe nalitätsfaktor zwischen Gaskonstante R und
lute Druck angegeben, so daß der Index
(Index aus dem Englischen: »excessive«) Boltzmann-Konstante k:
»abs« im allgemeinen entfallen kann.
pe = pabs – pamb R = NA · k (1.4)
Totaldruck pt
Der Totaldruck in einem Behälter setzt sich Dabei bedeuten positive Werte von pe Über- Aus den vorstehenden Gleichungen (1.1)
aus der Summe der Partialdrücke (Teildrük- druck und negative Unterdruck. bis (1.4) folgt unmittelbar der Zusammen-
ke) aller darin befindlichen Gase und Dämp- hang zwischen dem Druck p und der Gas-
fe zusammen. Arbeitsdruck parb dichte ρ eines idealen Gases
Beim Evakuieren eines Behälters werden
Partialdruck pi R·T
aus diesem Gase und/oder Dämpfe ent- p=ρ· (1.5)
Der Partialdruck eines bestimmten Gases M
fernt. Dabei verstehen wir unter Gas Mate-
oder Dampfes ist derjenige Druck, den die-
rie in gasförmigem Zustand, die bei der Be- In der Praxis wird häufig ein bestimmtes
ses Gas bzw. dieser Dampf haben würde,
triebstemperatur nicht kondensierbar ist. abgeschlossenes Volumen V betrachtet, in
wenn sie allein im Behälter vorhanden
Dampf ist ebenfalls Materie in gasförmigem dem sich das Gas unter einem bestimmten
wären.
Zustand, die aber bei den herrschenden Druck p befindet. Ist m die Masse des
Wichtiger Hinweis: Unter Partialdruck in
Temperaturen kondensierbar ist. Gesättig- Gases, die sich in dem Volumen befindet,
einem Gas-Dampf-Gemisch wird – ins-
ter Dampf schließlich ist Materie, die bei so ist
besondere in der Grobvakuumtechnik – oft
der herrschenden Temperatur als Gas mit
die Summe der Partialdrücke aller im Ge- m
misch vorhandenen, nicht kondensierbaren
der flüssigen Phase des gleichen Stoffes ρ= (1.6)
im Gleichgewicht steht. Eine strenge Un- V
Komponenten verstanden; zum Beispiel bei
dem »Partialenddruck« einer Drehschie- terscheidung zwischen Gasen und Dämp- Aus Gleichung (1.5) folgt damit unmittelbar
berpumpe. fen wird an den folgenden Textstellen nur die Allgemeine Zustandsgleichung für idea-
dann gemacht, wenn es zum Verständnis le Gase
Sättigungsdampfdruck ps erforderlich ist.
m
Der Druck des gesättigten Dampfes heißt p·V= ·R·T=υ·R·T (1.7)
M
Sättigungsdampfdruck ps. Bei einem gege- Teilchenanzahldichte n (cm-3)
benem Stoff ist ps eine Funktion der Tem- Die volumenbezogene Anzahl n der Gasteil- Hier ist der Quotient m/M die Anzahl der im
peratur. chen ist nach der kinetischen Gastheorie Volumen V befindlichen Mole υ.

9
Grundlagen 20.06.2001 12:14 Uhr Seite 10

Vakuumphysik

Für m/M = 1, also für 1 Mol gilt die ein- ge Sachverhalt muß immer dann berück- wird in Millibar ⋅ Liter (mbar ⋅ `) angegeben
fachere Form: sichtigt werden, wenn im Volumen V nicht (Gleichung 1.7). Bei Kenntnis von Gasart
überall die gleiche Temperatur herrscht. und Temperatur läßt sich an Hand von Glei-
p·V=R·T (1.7a) chung 1.7b die Masse m der Gasmenge
In der Vakuumtechnik werden die folgen-
den wichtigen Begriffe häufig benutzt: aus dem Produkt p·V errechnen:
Das folgende Zahlenbeispiel möge, unter
Benutzung der Zahlenwerte in Tabelle IV p ·V = m · R · T
Volumen V (`, m3, cm3) (1.7)
(Abschnitt 9), den Zusammenhang zwi- M
schen Masse des Gases und Druck bei Mit Volumen wird
Gasen mit unterschiedlicher molarer Masse a) der rein geometrische, meist vorgege- p· V ·M
m= (1.7b)
veranschaulichen. In einem 10-Liter Volu- bene, ausrechenbare Rauminhalt eines Va- R ·T
men sei bei 20°C kuumbehälters oder einer ganzen Vakuum-
anlage einschließlich der Leitungen und In der Praxis spricht man meistens, nicht
a) 1g Helium
Verbindungsräume bezeichnet. ganz richtig, von der »Gasmenge« p · V
b) 1g Stickstoff
b) das druckabhängige Volumen eines eines bestimmten Gases. Diese Angabe ist
enthalten. Bei Verwendung der Gleichung
Gases oder Dampfes, das z.B. durch eine unvollständig: stillschweigend wird dabei
(1.7) ergibt sich dann mit V = 10`,
Pumpe gefördert oder durch ein Sorptions- die Gastemperatur T, meist die Zimmertem-
m = 1g, R = 83,14 mbar ⋅ `⋅ mol–1 ⋅ K–1, T
mittel sorbiert wird. peratur (293 K), als bekannt vorausgesetzt.
= 293 K (20°C)

im Falle a) mit M = 4 g ⋅ mol–1 (einatomi- Volumendurchfluß (Volumenstrom) qv Beispiele: Die Masse von 100 mbar ⋅ `
ges Gas): (`/s, m3/h, cm3/s ) Stickstoff (N2) bei Zimmertemperatur (ca.
Volumendurchfluß bezeichnet das Volumen 300 K) ist:
1·g · 83,14 · mbar · ` · mol – 1· K– 1 · 293 · K
p= = des pro Zeiteinheit durch ein Leitungsele- −
10 · `· K · 4 · g · mol –1 ment bei dem jeweils herrschenden Druck 100 mbar · ` · 28 g · mol 1
m= − − =
= 605 mbar und der jeweils herrschenden Temperatur 83 mbar · ` · mol 1 · K 1 · 300 K
strömenden Gases. Dabei muß man sich 2800
im Falle b) mit M = 28 ⋅ g ⋅ mol–1 (zweiato- klar machen, daß je nach Druck und Tem- = g = 0,113 g
miges Gas): 300 · 83
peratur die Anzahl der geförderten Teilchen
1·g · 83,14 · mbar · ` · mol – 1· K– 1 · 293 · K bei gleichem Volumendurchfluß verschie- Analog dazu bei T = 300 K:
p= = den ist.
–1
10 · `· K · 28 · g · mol
1 mbar · ` O2 = 1,28 ·10 −3 g O2
= 86,5 mbar Saugvermögen S (`/s, m3/h, cm3/s
)
Das Saugvermögen einer Pumpe ist der
Hieraus ergibt sich, paradox erscheinend, 70 mbar · ` Ar = 1,31 · 10 −1 g Ar
Volumendurchfluß durch die Ansaugöff-
daß eine bestimmte Masse eines leichten
nung der Pumpe. Die pro Zeiteinheit durch ein Leitungsele-
Gases einen höheren Druck ausübt als die
gleiche Masse eines schwereren Gases. Be- dV ment strömende Gasmenge kann man –
S= (1.8a) entsprechend den beiden oben beschriebe-
rücksichtigt man jedoch, daß bei gleicher dt
Gasdichte (siehe Gleichung 1.2) mehr Teil- nen Begriffen für Gasmengen – auf zweier-
chen eines leichten Gases (großes n, klei- lei Weise angeben und zwar als:
Bleibt S während des Pumpvorganges kon-
nes m) vorhanden sind als beim schweren stant, so kann man statt des Differential-
Gas (kleines n, großes m), so wird das Er- quotienten den Differenzenquotienten set- Massendurchfluß qm (kg/h, g/s),
gebnis verständlich, weil für die Höhe des zen: auch Massenstrom genannt,
Druckes bei gleicher Temperatur (siehe wobei dies die zeitbezogene Masse eines
Gleichung 1.1) nur die Teilchenanzahldich- ∆V Gases ist, die durch ein Leitungselement
S= (1.8b)
te n maßgebend ist. ∆t strömt
Hauptaufgabe der Vakuumtechnik ist, die m
Teilchenanzahldichte n in einem vorgege- (Eine Umrechnungstabelle für die verschie- qm = oder als
t
benen Volumen V zu verringern. Bei kon- denen Einheiten des Saugvermögens be-
stanter Temperatur kommt dies immer einer findet sich in Abschnitt 9, Tabelle VI).
Erniedrigung des Gasdruckes p gleich. Es pV-Durchfluß qpV (mbar ⋅ `⋅ s–1),
muß an dieser Stelle aber ausdrücklich dar- Gasmenge (pV-Wert), ( mbar ⋅ `) auch pV-Strom genannt.
auf hingewiesen werden, daß sich eine Die Menge eines Gases kann man durch Der pV-Durchfluß ist das Produkt aus
Druckerniedrigung (unter Beibehaltung des seine Masse oder sein Gewicht in den üb- Druck und Volumen einer durch ein Lei-
Volumens) nicht nur durch eine Verringe- lichen Masse- oder Gewichtseinheiten an- tungselement strömenden Gasmenge divi-
rung der Teilchenanzahldichten n sondern geben. In der vakuumtechnischen Praxis diert durch die Zeit, also:
(gemäß Gleichung 1.5) auch durch Ernied- ist jedoch das Produkt p·V oft interessan-
rigung der Temperatur T bei gleichbleiben- p ·V d (p ·V )
ter als Masse oder Gewicht einer Gasmen- q pV = =
der Gasdichte erreichen läßt. Dieser wichti- ge. Es hat die Dimension einer Energie und t dt

10
Grundlagen 20.06.2001 12:08 Uhr Seite 11

Vakuumphysik

Der pV-Strom ist ein Maß für den Massen- elementes. Der Proportionalitätsfaktor L Gasabgabe (mbar⋅`)
strom des Gases, wobei die Temperatur an- wird als Strömungsleitwert oder kurz als Unter der Gasabgabe versteht man die Ab-
zugeben ist. Leitwert bezeichnet. Er ergibt sich aus der gabe von Gasen und Dämpfen von den
Geometrie des Leitungselementes und ist Wänden eines Vakuumbehälters oder an-
Saugleistung einer Pumpe qpV in einigen Fällen einfacher Anordnungen er- deren Bauteilen in das Innere einer Vaku-
Die Saugleistung einer Pumpe ist entweder rechenbar (siehe Abschnitt 1.5) umanlage. Auch diese Gasmenge wird
gleich dem Massendurchfluß durch die An- Im Gebiet des Hoch- und Ultrahochvaku- durch das Produkt p ⋅ V charakterisiert,
saugöffnung der Pumpe: ums ist L eine druckunabhängige Konstan- wobei V das Volumen des Behälters ist, in
te, im Gebiet des Grob- und Feinvakuums das die Gase abgegeben werden und p,
m
qm = (1.9) aber eine vom Druck abhängige Größe. In- besser ∆p, die Druckerhöhung, die durch
t
folgedessen muß die Berechnung von L für die abgegebenen Gase in diesem Volumen
oder gleich dem pV-Durchfluß durch die die Leitungselemente in den einzelnen hervorgerufen wird.
Ansaugöffnung der Pumpe: Druckbereichen getrennt durchgeführt wer-
den (näheres hierüber siehe Abschnitt 1.5) Gasabgaberate (mbar⋅`⋅s–1)
p ·V
q pV = (1.10) Die Gasabgaberate ist die zeitbezogene
t In Anlehnung an die Definition des Volu- Gasabgabe, angegeben in mbar⋅`⋅s–1.
meist angegeben in mbar⋅`⋅s–1.
Hierin ist mendurchflusses kann man auch sagen:
p der Druck auf der Ansaugseite der Der Leitwert L ist der Volumendurchfluß Gasabgaberate (mbar⋅`⋅s–1 ⋅cm–2)
Pumpe. Sind p und V auf der Ansaugseite durch ein Leitungselement. Die Gleichung (flächenbezogen)
der Pumpe konstant, so ist die Sauglei- (1.11) kann man als »Ohm’sches Gesetz Für die Abschätzung der abzupumpenden
stung dieser Pumpe durch die einfache Be- der Vakuumtechnik« bezeichnen, in dem Gasmenge ist die Kenntnis der Größe der
ziehung qpV dem Strom, ∆p der Spannung und L inneren Oberfläche, deren Material und
dem elektrischen Leitwert entspricht. In Oberflächenbeschaffenheit, ihrer flächen-
qpV = p ⋅ S (1.10a) Analogie zum Ohmschen Gesetz der Elek- bezogenen Gasabgaberate und deren zeit-
trizitätslehre ist der Strömungswiderstand licher Verlauf wichtig.
gegeben, wobei S das Saugvermögen die-
ser Pumpe beim Ansaugdruck p ist. 1
W= Mittlere freie Weglänge λ (cm) und
L
(Die Saugleistung einer Pumpe wird viel- Stoßrate z (s–1)
fach auch mit Q bezeichnet) als reziproker Wert des Stömungsleitwertes Die Vorstellung, daß ein Gas aus einer gro-
Der Begriff der Saugleistung ist in der Pra- eingeführt worden. Die Gleichung (1.11) läßt ßen Anzahl diskreter Teilchen besteht, zwi-
xis von großer Bedeutung und darf nicht sich dann umschreiben in: schen denen abgesehen von den Zusam-
mit dem Saugvermögen verwechselt wer- 1 menstößen keine Kräfte wirken, hat zu einer
qpV = · ∆p (1.12) Reihe von theoretische Überlegungen ge-
den! Die Saugleistung ist die von der W
Pumpe in der Zeiteinheit abtransportierte führt, die wir heute unter der Bezeichnung
Gasmenge in mbar⋅`/s; das Saugvermögen Daraus folgt unmittelbar für die Serien- »Kinetische Gastheorie« zusammenfassen.
ist die von der Pumpe in der Zeiteinheit zur schaltung: Eine der ersten und zugleich hervorragend-
Verfügung gestellte »Transportkapazität« in Wges = W1 + W2 + W3 . . . (1.13) sten Leistungen dieser Theorie war die Be-
m3/h oder `/s. rechnung des Gasdruckes p als Funktion
Die Saugleistung ist wichtig für die Bestim- Bei Parallelschaltung gilt: der Gasdichte und des mittleren Geschwin-
mung der Größe einer Vorpumpe im Ver- digkeitsquadrates c2 der einzelnen Gasteil-
1 1 1 1 chen der Teilchenmasse mT:
hältnis zur Größe einer in Reihe geschalte- = + + + · · · (1.13a)
RGes R1 R2 R3
ten Hochvakuumpumpe um sicherzustel- 1 1
len, daß das von der Hochvakuumpumpe p = · ρ · c 2 = · n · mT · c 2 (1.14)
3 3
geförderte Gas sicher von der Vorvakuum- Leckrate qL (mbar⋅`⋅s–1)
pumpe »übernommen« werden kann Nach der obigen Definition ist es ohne k ⋅T
(siehe Abschnitt 2.32). mit c 2 = 3 · (1.15)
weiteres verständlich, daß die Größe einer mT
Gasströmung durch Lecks, also durch
Strömungsleitwert L (`⋅s–1) unerwünschte Leitungselemente, auch in Die Gasteilchen fliegen mit allen möglichen
Der pV-Durchfluß durch ein beliebiges Lei- mbar⋅`⋅s–1 angegeben wird. Eine Leckrate Geschwindigkeiten geradlinig durchein-
tungselement, z.B. Rohr- oder Schlauchlei- wird oft unter der Bedingung gemessen ander und stoßen dabei sowohl mit den Be-
tungen, Ventile, Düsen, Öffnungen in einer oder angegeben, daß auf der einen Seite hälterwänden als auch untereinander (ela-
Wand zwischen zwei Behältern usw., ist ge- des Lecks Atmosphärendruck und auf der stisch) zusammen. Diese Bewegung der
geben durch anderen Vakuum (p < 1 mbar) herrscht. Gasteilchen wird mit Hilfe der kinetischen
qpV = L(p1 – p2) = ∆p · L (1.11) Falls unter genau diesen Bedingungen He- Gastheorie zahlenmäßig beschrieben. Die
lium (z.B. als Prüfgas) durch das Leck durchschnittliche zeitbezogene Anzahl der
Hierin ist ∆p = (p1 – p2) die Differenz der strömt, spricht man von »Helium-Standard- Zusammenstöße eines Teilchens, die soge-
Drücke am Ein- und Ausgang des Leitungs- Bedingungen«. nannte Stoßzahl z und die Strecke, die jedes

11
Grundlagen 20.06.2001 12:08 Uhr Seite 12

Vakuumphysik

Gasteilchen im Mittel zwischen zwei Zu- Volumen-Stoßrate zV (cm–3 ⋅ s–1) 1.3 Die Gasgesetze und Modell-
sammenstößen mit anderen Teilchen zu- Dies ist das Produkt aus Stoßrate z und vorstellungen
rücklegt, die sogenannte mittlere freie Weg- halber Teilchenanzahldichte n, da der Zu-
länge λ, werden als Funktion der mittleren sammenstoß von zwei Teilchen nur als ein 1.3.1 Kontinuumstheorie:
Teilchengeschwindigkeit –c , des Teilchen- Stoß zu zählen ist:
durchmessers 2r und der Teilchenanzahl-
zV = n ·z Modellvorstellung: Gas ist »gießbar« und
dichte n – in sehr guter Näherung – wie 2 (1.21a) strömt ähnlich wie eine Flüssigkeit (Fluid).
folgt beschrieben: Die Kontinuumstheorie und die folgende
Zusammenstellung der Gasgesetze beruht
z= c (1.16) auf Erfahrung und kann alle Vorgänge in
λ
1.2 Die atmosphärische Luft Gasen in der Nähe des Atmosphärendruk-
8· k ·T 8· R ·T kes erklären. Erst als es gelang, Gase durch
mit c= = (1.17)
π · mT π ·M Jede auf der Erde befindliche Vakuumanla- immer bessere Vakuumpumpen so sehr zu
ge enthält vor ihrem Auspumpen Luft und verdünnen, daß die mittlere freie Weglän-
1 ist während ihres Betriebes stets von Luft ge weit über die Gefäßabmessungen an-
und λ = (1.18)
π · 2 · n · (2r)2 umgeben. Daher ist es notwendig, die phy- stieg, waren weitergehende Annahmen
sikalischen und chemischen Eigenschaften nötig, die schließlich zur kinetischen Gas-
Hiernach ist die mittlere freie Weglänge λ der atmosphärischen Luft zu kennen. theorie geführt haben. Die kinetische Gas-
der Teilchenanzahldichte n und damit, ge- Die Atmosphäre besteht aus einer Reihe theorie gilt im gesamten Druckgebiet, die
mäß Gleichung (1.1), dem Druck p umge- von Gasen, zu denen in der Nähe der Erd- Kontinuumstheorie stellt den (historisch äl-
kehrt proportional. Bei konstanter Tempera- oberfläche noch Wasserdampf hinzu- teren) Sonderfall der Gasgesetze für atmo-
tur T gilt daher für jedes Gas die Beziehung kommt. Der Druck der Luftatmosphäre wird sphärische Bedingungen dar.
auf Meeresniveau bezogen. Die durch-
λ ⋅ p = const (1.19) schnittliche Höhe diese Druckes beträgt Zusammenstellung der wichtigsten Gas-
1013 mbar (gleich der früher verwendeten gesetze (Kontinuumstheorie)
Zur Berechnung der mittleren freien Weg- physikalischen Atmosphäre). In der Tabelle
länge λ für beliebige Drücke bei verschie- VIII, Abschnitt 9 ist die Zusammensetzung Gesetz von Boyle-Mariotte
denen Gasen dienen die Tabelle III sowie der Normalatmosphäre mit einer relativen
das Diagramm 9.1 im Abschnitt 9. An glei- Feuchtigkeit von 50% bei einer Temperatur p ⋅ V = konst.
cher Stelle sind die wichtigsten Gleichun- von 20°C angegeben. Vakuumtechnisch ist
gen der Gaskinetik für die Vakuumtechnik bei der Zusammensetzung der Luft beson- für T = konstant (isotherm)
zusammengestellt (Tabelle IV). ders zu beachten:
Gesetz von Gay-Lussac (Charles)
Flächenstoßrate zA (cm–2 ⋅ s–1) und a) Der je nach Feuchtigkeitsgehalt in der
Bedeckungszeit τ (s) Luft enthaltene Wasserdampf, der bei einem V = V0 (1 + β · t )
Zur Kennzeichnung des Druckzustandes im Auspumpen einer Vakuumanlage eine be-
Ultrahochvakuum-Bereich wird häufig die sondere Rolle spielt (siehe Abschnitt 2.2.3). für p = konstant (isobar)
Zeitdauer angegeben, die zum Aufbau einer b) Der erhebliche Anteil des Edelgases
monomolekularen oder monoatomaren Argon, der in Zusammenhang mit Aus- Gesetz von Amonton
Schicht auf einer gasfreien Oberfläche pumpvorgängen durch Sorptionspumpen
unter der Voraussetzung benötigt wird, daß zu beachten ist (siehe Abschnitt 2.1.8). p = p0 (1 + γ · t )
jedes Teilchen auf der Oberfläche haften c) Trotz des geringen Gehaltes von nur
bleibt. Diese Bedeckungszeit hängt eng mit etwa 5ppm (parts per million) Helium in der für V = konstant (isochor)
der sogenannten Flächenstoßrate zA zusam- Luft macht sich dieses Edelgas besonders
men. Bei einem ruhenden Gas gibt die Flä- bei solchen Ultrahochvakuum-Anlagen be- Gesetz von Dalton
chenstoßrate die Anzahl der Teilchen an, die merkbar, die mit Viton gedichtet sind oder ∑ pi = p total
je Zeit- und Flächeneinheit auf die Oberflä- aus Glas bzw. Quarz bestehen. Helium ver- i
che im Vakuumbehälter auftreffen: mag durch diese Stoffe in meßbarer Menge
zu diffundieren. Gesetz von Poisson
n· c
zA = (1.20)
4 Mit der Höhe über der Erdoberfläche nimmt p ⋅ Vκ = konst
der Druck der atmosphärischen Luft ab
Ist a die Anzahl der für ein bestimmtes Gas (siehe Abb 9.3 in Abschnitt 9). In etwa 100 (adiabatisch)
aufnahmefähigen Oberflächenplätze je Flä- km Höhe besteht Hochvakuum, oberhalb
cheninhalt, so ist die Bedeckungszeit 400 km Ultrahochvakuum. Auch die Zu- Gesetz von Avogadro
sammensetzung der Luft ändert sich mit
a 4 ·a m1 m 2
τ= = (1.21) der Entfernung von der Erdoberfläche : = M1 : M 2
zA n · c V1 V2
(siehe Abb. 9.4 in Abschnitt 9).

12
Grundlagen 20.06.2001 12:08 Uhr Seite 13

Vakuumphysik

Allgemeine Gasgleichung Impulsänderungen aller auftreffenden Mo- Damit ergibt sich bei Normalbedingungen
m leküle ergibt die auf diese Wand wirkende (Tn = 273,15 K und pn = 1013,25 mbar) aus
p ·V = · R · T = ν · R ·T Kraft bzw. den pro Flächeneinheit auf die der Allgemeinen Gasgleichung
M
Wand wirkenden Druck. m
auch: Zustandsgleichung für ideale Gase p ·V = · R ·T
n 1 M
(aus der Kontinuumstheorie) · c · 2 · m T · c = · n · c2 · m T = p
6 3 für die Allgemeine Gaskonstante
Van der Waals-Gleichung
n=
N 1013,25 mbar · 22,4 ` · mol −1
a mit R= =
(p + 2 ) · ( Vm − b) = R · T V 273,15 K
Vm
1 mbar · `
wird daraus p ·V = · N · mT · c2 = 83,14
a, b = Konstante (Binnendruck, Kovolumen) 3 mol · K
Vm = molares Volumen oder Molvolumen
auch: Zustandsgleichung für reale Gase Allgemeine Gasgleichung
(aus der kinetische Gastheorie) 1.4 Die Druckbereiche der
Clausius-Clapeyron’sche Gleichung – Vakuumtechnik und ihre
Ersetzt man c2 durch c2, so ergibt ein Ver- Charakterisierung
dp
L =T· ·(V −V ) gleich dieser beiden »allgemeinen« Gas-
dT m, d m, fl gleichungen: (siehe hierzu auch Tabelle IX in Abschnitt 9)
L = Verdampfungswärme, In der Vakuumtechnik ist es üblich, den
m 1
T = Verdampfungstemperatur p ·V = · R · T = · N · m T · c2 oder großen Druckbereich, der mehr als 16 Zeh-
M 3
Vm,d, Vm,fl = Molvolumen von Dampf nerpotenzen umfaßt, in einzelne, kleinere
bzw. Flüssigkeit mT · R m · c2 Bereiche zu unterteilen, die man im all-
2
p·V = N · ( ) ·T = ·N·( T ) gemeinen wie folgt begrenzt:
M 3 2
Grobvakuum (GV) 1000 – 1 mbar
1.3.2 Kinetische Gastheorie Der Klammerausdruck auf der linken Seite Feinvakuum (FV) 1 – 10–3 mbar
ist die Bolzmann-Konstante k, der auf der Hochvakuum (HV) 10–3 – 10–7 mbar
Nach dem Siegeszug der atomistischen rechten Seite ein Maß für die mittlere kine- Ultrahochvakuum (UHV) 10–7 – (10–14) mbar
Weltanschauung verbunden mit dem tische Energie der Moleküle:
Zwang die Vorgänge in stark verdünnten Dieser Einteilung haftet natürlich eine ge-
Gasen zu erklären (wo die Kontinuums- Bolzmann-Konstante wisse Willkür an. So bezeichnet vor allem
theorie versagt) wurde die »Kinetische m ·R J der Chemiker das ihn interessierende Ge-
Gastheorie« entwickelt. Mit ihrer Hilfe kann k= T . −23
= 1,3810 biet zwischen 100 und 1 mbar häufig als
M K
nicht nur die allgemeine Gasgleichung auf Zwischenvakuum und manch ein Techniker
anderem Weg hergeleitet werden, sondern spricht im gesamten Vakuumbereich nicht
auch viele andere Gaskinetische Größen Mittlere kinet. Energie der Moleküle von Vakuum, sondern von Unterdruck. Die
wie Stoßzahlen, mittlere freie Weglänge, mT · c 2 oben aufgeführten Druckbereiche lassen
Wiederbedeckungszeit, Diffusionskonstan- E kin = 2 sich aber recht gut durch Betrachtung gas-
te und viele andere Größen berechnet wer- kinetischer Zusammenhänge und nach Art
den. 2 der Gasstömungen unterscheiden. Auch
also p ·V = n · k ·T = · N · E kin
3 die Arbeitstechnik in den verschiedenen Be-
Modellvorstellungen/Grundannahmen: reichen ist unterschiedlich.
In der Form gibt die Gasgleichung eine gas-
1. Atome/Moleküle sind punktförmig, kinetische Deutung der Temperatur!
2. Kräfte unter diesen werden nur bei
Stößen übertragen, Die Teilchenmasse ist 1.5 Strömungsarten und
3. die Stöße sind elastisch, Strömungsleitwerte
4. »molekulare Unordnung«. mT = M = Masse / mol
NA Teilchen / mol In der Vakuumtechnik treten hauptsächlich
Ein besonders vereinfachtes Modell stammt
darin ist NA die Avogadro-Konstante (frü- 3 Strömungsarten auf: Die viskose oder
von Krönig: In einem Würfel sind N Teil-
her: Loschmidtsche Zahl). Kontinuumsströmung, die Molekularströ-
chen, die zu je 1/6 mit der Geschwindigkeit
mung und als Übergang zwischen diesen
c auf die Würfelflächen zufliegen; ist die
Avogadro-Konstante beiden die Knudsenströmung.
Kantenlänge des Würfels 1 cm so sind in
ihm n Teilchen (Teilchenanzahldichte); pro NA = 6,022 ⋅ 1023 mol–1
1.5.1 Strömungsarten
Zeiteinheit erreichen n ⋅ c ⋅ ∆t/6 Moleküle
mT
jede Wand, wo die Impulsänderung je Mo- Für 1 Mol ist = 1 und Viskose- oder Kontinuumsströmung
M
lekül wegen der Richtungsänderung um Sie kommt fast ausschließlich im Grobva-
180° gleich 2 ⋅ mT ⋅ c ist. Die Summe der V = Vm = 22,414 `(Molvolumen); kuum vor. Den Charakter dieser Strömung

13
Grundlagen 20.06.2001 12:08 Uhr Seite 14

Vakuumphysik

bestimmen die Wechselwirkungen der Teil- schiedenen Strömungsarten dienen. Für


chen untereinander, daher spielt die innere Luft bei 20°C bestehen unter Verwendung
Reibung, die Viskosität der strömenden ∆p qm der Zahlenwerte aus Tabelle III im Abschnitt
%
Substanz, eine große Rolle. Treten Wirbel mbar 9 folgend äquivalente Beziehungen:
beim Strömungsvorgang auf, so spricht 1

man von turbulenter Strömung, findet 100 Grobvakuum – Viskose Strömung


ein Gleiten verschiedener Schichten des
d
strömenden Mediums gegeneinander 2 75 λ< ⇔ p · d > 6,0 · 10–1 mbar ⋅ cm
100
statt, so nennt man die Strömung lami- 1000
qm
nar. ∆p
50
Eine laminare Strömung in kreiszylindri-
Feinvakuum – Knudsen-Strömung
schen Rohren mit parabolischer Geschwin- 470
25
digkeitsverteilung heißt Poiseuille’sche d d
<λ< ⇔
Strömung. Dieser Spezialfall kommt in der 100 2
0
Vakuumtechnik besonders häufig vor. Vis- s ⇔ 6 · 10–1 > p · d > 1,3 ⋅ 10–2 mbar ⋅ cm
kose Strömung liegt generell dann vor, Belüftungsdauer (t)
wenn die mittlere freie Weglänge der Teil-
chen sehr viel kleiner als der Durchmesser 1 – verblockter Gasstrom qm = konstant (Maximalwert)
Hoch- und Ultrahochvakuum-
2 – nicht verblockter Gasstrom qm sinkt bis ∆p = 0
der Leitung ist: λ << d. Molekularströmung
Abb. 1.1
Eine charakteristische Größe für den Zu- Schematische Darstellung des Belüftens eines evakuierten
d ⇔ p ⋅ d < 1,3 · 10–2 mbar ⋅ cm
stand einer viskosen Strömung ist die di- Behälters λ>
2
mensionslose Reynoldszahl Re.
Re ist eine dimensionslose Größe – näm- dynamik liefert für Luft bei 20°C den kriti-
schen Wert Im Gebiet der viskosen Strömung ist die
lich das Produkt aus Rohrdurchmesser,
Vorzugsrichtung der Geschwindigkeit aller
Strömungsgeschwindigkeit, Dichte und Re-  p2 
  = 0528 , (1.23) Gasmoleküle gleich der makroskopischen
ziprokwert der Zähigkeit (innere Reibung)  p1  krit
Strömungsrichtung des Gases. Eine der-
des strömenden Gases. Für Re > 2200 ist artige Ausrichtung wird dadurch erzwun-
die Strömung turbulent, für Re < 2200 la- Das Diagramm in Abb 1.1 stellt schema-
tisch das Belüften eines evakuierten Behäl- gen, daß die Gasteilchen dicht gepackt sind
minar. und untereinander weit häufiger zusam-
ters durch eine Wandöffnung (Belüftungs-
Bei der viskosen Strömung ist das Phäno- ventil) mit Umgebungsluft von p = 1000 menstoßen als mit den Begrenzungswän-
men der verblockten Strömung zu beach- mbar dar. Für die kritische Druckdifferenz den der Apparatur. Die makroskopische Ge-
ten (auch kurz als Verblockung bezeichnet). ergibt sich gemäß obiger Angaben ∆pkrit = schwindigkeit des Gases ist eine »Gruppen-
Es spielt beim Belüften und Evakuieren 1000 ⋅ (1– 0,528) mbar ≈ 470 mbar; d.h. für geschwindigkeit« und ist nicht identisch
eines Vakuumbehälters und bei Lecks eine ∆p > 470 mbar verblockte Strömung, für mit der »Thermischen Geschwindigkeit«
Rolle: ∆p < 470 mbar Abnahme des Gasstromes. der Gasmoleküle.

Gas strömt immer dann, wenn eine Druck- Im Gebiet der Molekularströmung überwie-
differenz ∆p = (p1 – p2) > 0 vorhanden ist. Molekularströmung gen dagegen Stöße der Teilchen auf die
Die Gasstromstärke, d.h. die zeitbezogene, Die Molkularströmung ist im Hoch- und Ul- Wände. Durch Reflexion, aber auch durch
trahochvakuumbereich vorherrschend. In Desorption nach einer gewissen Verweil-
strömende Gasmenge steigt mit zuneh-
diesen Bereichen können sich die Teilchen zeit auf den Behälterwänden, kann ein Gas-
mender Druckdifferenz an. Im Falle der vis-
ohne gegenseitige Behinderung frei bewe- teilchen im Hochvakuumbereich jede belie-
kosen Strömung jedoch nur so lange, bis
gen. Molekularströmung liegt vor, wenn die bige Richtung erlangen, von einer Strö-
die ebenfalls ansteigende Strömungs-
mittlere freie Wegstrecke eines Teilchens mung im makroskopischen Sinn kann nicht
geschwindigkeit die Schallgeschwindigkeit
sehr viel größer als der Durchmesser der mehr gesprochen werden.
erreicht hat. Dies ist bei einer bestimmten,
Leitung ist: λ >> d. Es wäre wenig sinnvoll, wollte man die
als »kritisch« bezeichneten Druckdifferenz
der Fall: Vakuumdruckbereiche in Abhängigkeit von
Knudsenströmung den jeweiligen geometrischen Betriebs-
Der Übergang von viskoser Strömung zur bedingungen festlegen. Die Grenzen der
 p   molekularen Strömung ist die Knudsen- einzelnen Druckbereiche (siehe Tabelle IX in
∆pkrit = p1 1−  2  (1.22)
strömung. Sie herrscht im Feinvaku-
  p1 krit  Abschnitt 9) sind so gewählt worden, daß
umgebiet vor: λ ≈ d. bei normal dimensionierten Laboranlagen
Das Produkt aus dem Druck p und dem im Grobvakuum die Stöße der Gasteilchen
Ein weiterer Anstieg von ∆p > ∆pkrit führt zu Rohrdurchmesser d für ein bestimmtes untereinander, im Hoch- und Ultrahoch-
keinem weiteren Anstieg des Gasstromes; Gas bei einer bestimmten Temperatur kann vakuum dagegen die Stöße der Gasteilchen
dieser ist verblockt. Die Theorie der Gas- als charakteristische Größe für die ver- auf die Behälterwände überwiegen.

14
Grundlagen 20.06.2001 11:57 Uhr Seite 15

Vakuumphysik

Im Hoch- und Ultrahochvakuumbereich ist gregates) überein, wenn die Pumpe direkt kreisförmiger Querschnitt, elliptischer Quer-
die Beschaffenheit der Wände eines Vaku- mit dem Behälter oder der Anlage verbun- schnitt), von deren Länge sowie davon ab,
umbehälters von ausschlaggebender Be- den ist. Dies ist praktisch nur sehr selten ob die Rohrleitung gestreckt ist oder Krüm-
deutung, denn unterhalb 10–3 mbar befin- möglich. Fast immer ist die Zwischenschal- mungen aufweist. Daher kommt es, daß zur
den sich durchwegs mehr Gasmoleküle auf tung eines Rohrleitungssystems erforder- Berücksichtigung der praktisch vorkom-
den Oberflächen als im Gasraum selbst. lich, das Ventile, Abscheider, Kühlfallen menden, gebräuchlichen Fälle verschiede-
Nimmt man an, daß sich auf der Innenwand usw. enthält. Dieses stellt einen Strö- ne Gleichungen erforderlich sind, von denen
einer evakuierten Kugel von 1` Volumen mungswiderstand dar, der zur Folge hat, jede nur für einen bestimmten Bereich an-
eine monomolekulare adsorbierte Schicht daß das effektive Saugvermögen Seff stets wendbar ist. Dies ist bei Berechnungen stets
befindet, so ist das Verhältnis der Anzahl kleiner ist als das Saugvermögen S der zu beachten.
der adsorbierten Teilchen zur Anzahl der Pumpe oder der Pumpenkombination. Um a) Leitwert für eine gerade, nicht zu kurze
freien Teilchen im Raum: also am Behälter ein bestimmtes effektives Rohrleitung der Länge l mit Kreisquer-
Saugvermögen zu gewährleisten, muß man schnitt vom Durchmesser d für das Druck-
bei 1 mbar 10–2 das Saugvermögen der Pumpe entspre- gebiet der Laminar-, Knudsen- und Mole-
bei 10–6 mbar 10+4 chend höher wählen. Der Zusammenhang kularströmung, gültig für Luft von 20 °C
bei 10–11 mbar 10+9 zwischen S und Seff ist durch folgende va- (Knudsen-Gleichung):
kuumtechnische Grundgleichung gegeben:
Aus diesem Grund dient zur Charakterisie- 1 1 1 d4 (1.26)
= + L = 135 p+
rung des Ultrahochvakuums und zur Ab- (1.24) l
Seff S L
grenzung diese Bereiches gegen den Hoch- d 3 1 + 192 · d · p
+ 12,1 · `/ s
vakuumbereich die Bedeckungszeit τ (siehe L ist der gesamte Strömungsleitwert des l 1 + 237 · d · p
Abschnitt 1.1). Die Bedeckungszeit τ beträgt Rohrsystems, der sich aus den Einzelwer-
im Hochvakuum nur Bruchteile von Sekun- ten der verschiedenen in Serie liegenden p1 + p2
den, im Ultrahochvakuum dagegen Minu- Bauteile (Ventile, Dampfsperren, Abschei- mit p=
2
ten und Stunden. Gasfreie Oberflächen las- der usw.) zusammensetzt:
sen sich daher nur unter Ultrahochvakuum- d = Rohr-Innendurchmesser in cm
1 1 1 1 1
Bedingungen herstellen und über längere = + + + . . . (1.25) l = Rohrlänge in cm (l ≥ 10 d !)
Zeiträume aufrecht erhalten. L L1 L2 L3 Ln p1 = Druck am Rohranfang (in Strömungs-
Mit dem Druck ändern sich noch weitere Gleichung (1.24) sagt, daß nur im Falle richtung) in mbar
physikalische Eigenschaften. So sind unter L = ∞ (also Strömungswiderstand W = O) p2 = Druck am Rohrende (in Strömungs-
anderem die Wärmeleitfähigkeit und die in- S = Seff wird. Zur Berechnung der Leitwerte richtung) in mbar
nere Reibung von Gasen im Feinvaku- L für Rohrleitungen stehen dem Vakuum-
umgebiet sehr stark vom Druck abhängig. techniker eine Reihe brauchbarer Glei- Schreibt man (1.26) in der Form
Im Grob- und Hochvakuumgebiet dagegen chungen zur Verfügung; die Leitwerte von d3
sind diese beiden Eigenschaften nahezu Ventilen, Kühlfallen, Abscheidern und L = 12,1· · f (d · p ) (1.26a)
l
druckunabhängig. Dampfsperren müssen in der Regel durch
Daher ist es verständlich, daß nicht nur Versuche bestimmt werden. mit (1.27)
die Pumpen, die man zur Erzeugung von Generell ist zu beachten, daß der Leitwert
Drücken in den unterschiedlichen Vaku- eines vakuumtechnischen Bauteiles keines- 1 + 203 · d · p + 2,78 ·10 3 · d 2 · p 2
f (d · p ) =
umbereichen braucht, unterschiedlich sind, wegs einen konstanten, druckunabhängi- 1 + 237 · d · p
sondern auch die zur Messung der Drücke gen Wert hat, sondern sehr stark von der
verwendbaren Vakuummeter. Eine über- Art der Strömung (Strömungskontinuum,
sichtliche Zuordnung von Pumpen und so kann man aus dem Verlauf der Funktion
Molekularströmung; siehe unten) und
Meßgeräten für die einzelnen Druckberei- f (d ⋅ –p ) die beiden wichtigen Grenzfälle ab-
damit vom Druck abhängt. Bei der Verwen-
che ist in Abb. 9.16. und 9.16a im Abschnitt leiten:
dung von Leitwertzahlen in vakuumtech-
9 aufgeführt. nischen Berechnungen ist daher stets dar-
Grenzfall der laminaren Strömung
auf zu achten, daß in einem bestimmten
(d ⋅ –p > 6 ⋅ 10–1 mbar ⋅ cm):
Druckgebiet nur die dort gültigen Leitwer-
1.5.2 Berechnung von te verwendet werden. d4
Strömungsleitwerten L = 135 · · p `/ s (1.28a)
l

Das zum Evakuieren eines Behälters oder 1.5.3 Leitwerte von Rohrleitungen
zum Durchführen eines Prozesses in einer und Öffnungen Grenzfall der Molekularströmung
Vakuumanlage erforderliche effektive Saug- (d ⋅ –p < 10–2 mbar ⋅ cm) :
vermögen stimmt nur dann mit dem kata- Leitwerte hängen außer vom Druck und der
d3 (1.28b)
logmäßig angegebenen Saugvermögen der Art des strömenden Gases auch noch von L = 12,1 · ` /s
der Querschnittsform der Leitung (z.B. l
verwendeten Pumpe (oder des Pumpenag-

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Grundlagen 20.06.2001 11:57 Uhr Seite 16

Vakuumphysik

`·s–1 ·cm–2
anderen Gasen sind die für Luft angegebe-
nen Leitwerte mit den Faktoren der Tabelle
1.1 zu multiplizieren.

Nomographische Bestimmung
von Leitwerten
Die Leitwerte von Rohrleitungen und Öff-
nungen für Luft und andere Gase lassen
sich auf nomographischem Wege ermit-
teln. Es ist nicht nur die Ermittlung des Leit-
Abb. 1.2 wertes einer Rohrleitung bei vorgegebenen
Strömung eines Gases durch eine Öffnung (A) bei hohen Werten für Durchmesser, Länge und Druck
Drücken (viskoser Strömung) möglich, sondern auch die Dimensionie-
rung des erforderlichen Rohrdurchmessers
einer Leitung, wenn ein Pumpsatz bei
Im Gebiet der Molekularströmung ist der vorgegebenem Druck und vorgegebener
Leitwert unabhängig vom Druck! Länge der Leitung ein bestimmtes effekti-
ves Saugvermögen erreichen soll oder die
Im Übergangsgebiet 10–2 < d ⋅ –p < 6 ⋅ 10–1 Bestimmung der maximal zulässigen Rohr-
mbar ⋅ cm muß die vollständige Knudsen- länge, wenn die übrigen Parameter bekannt
Gleichung (1.26) verwendet werden. Leit- sind. Die erhaltenen Werte gelten natürlich
werte gerader Rohre üblicher Nennweiten nicht für turbulente Strömungen. In Zwei-
sind in den Diagrammen der Abb. 9.5 (La- felsfällen sollte die Reynoldszahl Re (siehe
minarströmung) sowie der Abb. 9.6 (Mo- Abschnitt 1.5.1) durch die näherungswei-
lekularströmung) in Abschnitt 9 angege- se gültige Beziehung
ben. Weitere Nomogramme zur Leitwert-
bestimmung siehe ebenfalls Abschnitt 9 qpV
Re = 15 · (1.31)
(Abb. 9.8 und 9.9). d

abgeschätzt werden. qpV = S ⋅ p ist darin


b) Leitwerte L einer Öffnung A (A in cm2): Abb.1.3
Für den Fall des Strömungskontinuums (vis- Fächenbezogene Leitwerte L*visk und L*mol sowie flächen- die Durchflußleistung in mbar · `/s, d der
kose Strömung) gelten für Luft und 20°C mit
bezogene Saugvermögen S*visk und L*mol einer Öffnung A Durchmesser der Rohrleitung in cm.
in Abhängigkeit vom Druckverhältnis p2 /p1 für Luft von
p2/p1 = δ nach Prandtl die Gleichungen: 20°C Eine Zusammenstellung von Nomogram-
men, die sich in der Praxis bewährt haben,
für δ ≥ 0,528 (1.29) In Abb. 1.3 sind zusätzlich die auf die Flä- ist in Abschnitt 9 enthalten.
A ` che A bezogenen Saugvermögen S*visk und
L visk = 76,6 · δ 0,712 · 1 − δ 0,288 · S*mol einer Öffnung in Abhängigkeit von 1.5.4 Leitwerte anderer
1− δ s
δ = p2/p1 angegeben. Die angegebenen Bauelemente
Gleichungen gelten für Luft bei 20 °C. In
für δ ≤ 0,528 (1.29a) die hier nicht angegebenen, allgemeinen Wenn die Leitung Kniestücke oder Bögen
Gleichungen geht die molare Masse des (z.B. Eckventile) hat, können diese dadurch
A `
L visk = 20 · strömenden Gases ein. Beim Arbeiten mit berücksichtigt werden, daß eine größere ef-
1− δ s

und für δ ≤ 0,03 (1.29b) Gas (20 °C) Molekularströmung Laminarströmung


`
L visk = 20 · A Luft 1,00 1,00
s
Sauerstoff 0,947 0,91
δ = 0,528 ist für Luft das kritische Druck-
verhältnis  p  Neon 1,013 1,05
2
 
 p1  krit Helium 2,64 0,92

Für δ < 0,528 ist die Strömung verblockt, Wasserstoff 3,77 2,07
der Gasstrom also konstant. Für den Fall Kohlendioxid 0,808 1,26
der Molekularströmung (Hochvakuum) gilt
– ebenfalls für Luft – Wasserdampf 1,263 1,73
Tabelle 1.1
Lmol = 11,6 ⋅ A `/s (A in cm2) (1.30) Umrechnungsfaktoren (siehe Text)

16
Grundlagen 20.06.2001 11:57 Uhr Seite 17

Vakuumerzeugung

fektive Länge leff der Rohrleitung angenom-


men wird, die sich folgendermaßen ab-
2. Vakuumerzeugung 5. Pumpen, die durch Adsorption oder Ab-
sorption Gase an weitgehend gasfreien
schätzen läßt: Oberflächen binden oder in ihnen ein-
2.1. Vakuumpumpen: Übersicht lagern (Sorptionspumpen).
leff = laxial +133
, ·
θ
·d (1.32)
über die verschiedenen
180° Arten von Vakuumpumpen Eine Übersicht über diese Gruppen von
Vakuumpumpen gibt das Schema der Ta-
mit belle 2.1.
Um in einem bestimmten gaserfüllten
laxial : axiale Länge der Leitung (in cm) Volumen die Gasdichte und damit (siehe
leff : effektive Länge der Leitung (in cm) Gleichung 1.5) den Gasdruck zu verringern,
müssen Gasteilchen aus dem Volumen ent- 2.1.1 Oszillationsverdränger-
d : Innendurchmesser der Leitung (in cm) Vakuumpumpen
θ : Winkel des Knies (in Winkel °) fernt werden: hierzu dienen Vakuumpum-
pen. Grundsätzlich unterscheidet man zwei 2.1.1.1 Membranpumpen
Gruppen von Vakuumpumpen:
Membranpumpen gewinnen in letzter Zeit
a) solche, die über eine oder mehrere Kom- unter anderem aus Umweltaspekten an Be-
pressionsstufen die Gasteilchen aus dem deutung. Sie sind eine Alternative zu Was-
axiale Länge auszupumpenden Volumen entfernen serstrahlvakuumpumpen, da sie kein Ab-
und in die atmosphärische Luft beför- wasser produzieren. Insgesamt kann eine
Leitwerte von Dampfsperren, Kühlfallen, dern (Kompressionspumpen). Die För- Membranvakuumpumpe bis zu 90% Be-
Adsorptionsfallen und Ventilen sind für den derung der Gasteilchen erfolgt durch triebskosten im Vergleich zu einer Wasser-
Bereich der Molekularströmung bei den Verdrängen oder Impulsübertragung; strahlpumpe einsparen. Gegenüber Dreh-
technischen Daten dieser Bauteile im Kata- b) Vakuumpumpen, welche die zu entfer- schieberpumpen ist der Schöpfraum völlig
log aufgeführt. Bei höheren Drücken, d. h. nenden Gasteilchen an einer festen frei von Öl. Konstruktionsbedingt werden
also im Bereich der Knudsen- und der la- Wand, die oft einen Teil der Begrenzung auch keine ölüberlagerten Simmerringe be-
minaren Strömung, haben Ventile etwa den des auszupumpenden Volumens aus- nötigt. Membranvakuumpumpen sind ein-
gleichen Leitwert wie Rohrleitungen ent- macht, kondensieren oder auf andere oder mehrstufige, trockenverdichtende Va-
sprechender Nennweiten und axialen Län- Weise (z. B. chemisch) binden. kuumpumpen (es werden bis zu vierstufi-
gen. Für Eckventile muß bei der Leitwert- ge Menbranpumpen gebaut). Dabei wird
Berechnung ein Kniestück berücksichtigt eine Membran mit ihrem äußeren Umfang
Eine dem heutigen Stand der Technik und
werden. zwischen Pumpenkopf und Gehäusewand
den praktischen Anwendungen gemäße
Bei Staubfiltern, die oft zum Schutze von Einteilung unterscheidet folgende Pumpen- eingespannt (Abbildung 2.1). Sie wird
Gasballast- und Wälzkolbenpumpen ver- typen, von denen die ersten drei Gruppen durch ein Pleuel über einen Exzenter oszil-
wendet werden, ist katalogmäßig die Dros- zu den Kompressionspumpen zählen, die lierend bewegt. Der sich abwechselnd ver-
selung in % bei verschiedenen Drücken restlichen zwei Gruppen zu den Kondensa- größernde und verkleinernde Schöpf- bzw.
aufgeführt. Andere Bauelemente, nament- tions- und Getterpumpen: Kompressionsraum bewirkt den Pumpvor-
lich die Abscheider und Kondensatoren, gang. Die Ventile sind so angeordnet, daß
1. Pumpen, die durch periodisch sich ver-
sind so konstruiert, daß sie das Saug- während der Vergrößerung des Schöpfrau-
größernde und verkleinernde Schöpf-
vermögen nicht nennenswert drosseln. mes eine Verbindung zur Ansaugleitung be-
räume arbeiten (Drehschieberpumpen
Als Faustregel zur Dimensionierung von steht. Beim Verdichten ist der Arbeitsraum
und Sperrschieberpumpen, früher auch
Vakuumleitungen gilt: Die Leitungen müs- mit der Auspuffleitung verbunden. Die
Trochoidenpumpen);
sen möglichst kurz und weit sein. Sie Membran trennt den Getrieberaum herme-
2. Pumpen, die bei gleichbleibendem tisch vom Förderraum ab, so daß dieser frei
müssen wenigstens den gleichen Quer-
Schöpfraum Gasmengen von der Nie- von Öl und Schmiermitteln bleibt (trocke-
schnitt haben wie der Saugstutzen der
derdruck- auf die Hochdruckseite trans- ne Vakuumpumpe). Membran und Ventile
Pumpe. Ist es wegen besonderer Umstän-
portieren (Wälzkolben- und Turbo-Mo- sind die einzigen Teile, die mit dem zu pum-
de nicht möglich, die Saugleitung kürzer zu
lekularpumpen); penden Medium in Kontakt kommen. Be-
machen, so empfiehlt es sich, wo immer
dies aus konstruktiven und wirtschaftlichen 3. Pumpen, deren Pumpwirkung im we- schichtet man die Membran mit PTFE und
Gründen möglich ist, eine kleine Wälzkol- sentlichen durch Diffusion von Gasen in fertigt Ein- und Auslaßventil aus einem
benpumpe in die Saugleitung einzuschal- einen gasfreien Dampfstrahl hoher Ge- hochfluorierten Elastomer wie z.B. bei der
ten. Diese wirkt dann wie eine Förderpum- schwindigkeit zustande kommt (Treib- DIVAC von LEYBOLD, so kann man aggres-
pe, die den Leitungswiderstand herabsetzt. mittelpumpen); sive Dämpfe und Gase abpumpen. Sie ist
deshalb vor allem für vakuumtechnische
4. Pumpen, die Dämpfe durch Kondensie-
Anwendungen im Chemielabor geeignet.
ren abpumpen (Kondensatoren), ferner
Pumpen, die sogenannte Permanent- Bedingt durch die begrenzte elastische De-
gase durch Kondensation bei sehr tiefen formierbarkeit der Membran ergibt sich ein
Temperaturen abpumpen (Kryopum- vergleichsweise geringes Saugvermögen.
pen); Bei diesem Pumprinzip verbleibt am oberen

17
Grundlagen 20.06.2001 11:57 Uhr Seite 18

Vakuumerzeugung

Vakuumpumpe
(Funktionsprinzip)

Gastransfer- Gasbindende
vakuumpumpe Vakuumpumpe
Verdränger- Kinetische
vakuumpumpe Vakuumpumpe

Oszillations- Rotations- Mechanische


Treibmittel-
verdränger- verdränger- kinetische Ionentransferpumpe Adsorptionspumpe
vakuumpumpe
vakuumpumpe vakuumpumpe Vakuumpumpe

Flüssigkeits-
Membran- Gasring- Treibmittelstrahl-
gedichtete Getterpumpe
vakuumpumpe vakuumpumpe vakuumpumpe
Vakuumpumpe

Flüssigkeitsring-
Hubkolben- vakuumpumpe Turbo- Flüssigkeitsstrahl-
Massivgetterpumpe
vakuumpumpe vakuumpumpe vakuumpumpe

Drehschieber-
vakuumpumpe Sublimations-
Axial- Gasstrahl-
(Verdampfer-)
vakuumpumpe vakuumpumpe
pumpe

Vielzellen-
vakuumpumpe
Radial- Dampfstrahl-
Ionengetterpumpe
vakuumpumpe vakuumpumpe

Kreiskolben-
vakuumpumpe
Molekular-
Diffusionspumpe Ionenverdampferpumpe
vakuumpumpe

Sperrschieber-
vakuumpumpe
Selbstreinigende
Turbo-Molekularpumpe Ionen-Zerstäuberpumpe
Diffusionspumpe

trockenlaufende
Vakuumpumpe

Fraktionierende
Kryopumpe
Diffusionspumpe
Wälzkolben-
vakuumpumpe

Diffusions-
Kondensator
ejektorpumpe
Klauenvakuumpumpe

Scrollpumpe

Tabelle 2.1
Schematische Einteilung der Vakuumpumpen

Totpunkt des Kolbens ein Restvolumen, der


IN EX sogenannte »schädliche Raum«. Aus die-
a) sem können die Gase nicht in die Auspuf-
fleitung befördert werden. Die unter dem
Auspuffdruck bleibende Gasmenge expan-
diert während des folgenden Saughubes in
b) den sich vergrößernden Arbeitsraum und
füllt ihn aus, so daß bei abnehmenden An-
saugdruck immer weniger neues Gas ein-
c) strömen kann. Der volumetrische Wir-
kungsgrad verschlechtert sich aus diesem
Grund laufend. Membranvakuumpumpen
können deshalb kein größeres Verdich-
d) tungsverhältnis erzielen, als das Verhältnis
von maximalen Arbeitsraum zu »schädli-
1. Stufe 2. Stufe chem Raum«. Der Enddruck liegt bei ein-
(1) Gehäusedeckel, (5) Membrane,
(2) Ventile, (6) Membranstützscheibe, stufigen Membranvakuumpumpen bei etwa
(3) Kopfdeckel (7) Pleuel, Öffnen und Schließen der Ventile, Förderweg und Fördermechanismus in
(4) Membranscheibe, (8) Exzenterscheibe vier aufeinanderfolgenden Phasen einer Pleuelumdrehung (a–d) 80 mbar, bei zweistufigen Pumpen, wie der
DIVAC von LEYBOLD bei etwa 10 mbar
Abb. 2.1 Abb. 2.2
Schematische Darstellung des Aufbaues einer Membran- Veranschaulichung der Funktionsweise einer zweistufigen (siehe Abb. 2.2), bei dreistufigen bei etwa
pumpenstufe (Vacuubrand) Membranpumpe (Vacuubrand) 2 mbar und bei vierstufigen Membranpum-

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Grundlagen 20.06.2001 11:57 Uhr Seite 19

Vakuumerzeugung

pen etwa bei 5 ⋅ 10–1 mbar. Membranpum- dem Einschalten rotiert das exzentrisch im
pen mit so niedrigem Enddruck eignen sich Gehäuse angeordnete Laufrad; dabei bildet
als Vorpumpen für Turbo-Molekularpum- sich ein mitlaufender, konzentrisch zum
pen mit baulich integrierter Schraubenstu- Pumpengehäuse rotierender Flüssigkeits-
fe (Compound- oder Wide-Range-Turbo- ring, der an der engsten Stelle zwischen
Molekularpumpen, wie z.B. die TURBOVAC Laufradachse und Gehäusewand die Lauf-
55 von LEYBOLD). Auf diese Weise erhält radkammern voll ausfüllt und sich mit fort-
man ein absolut ölfreies Pumpsystem, was schreitender Drehung wieder aus den Kam-
für Meßanordnungen wie Massenspetro- mern zurückzieht. Durch die Leerung der
meter-Systeme und Leckdetektoren sehr Kammern wird das Gas angesaugt, durch
wichtig ist. Im Gegensatz zur Drehschie- die anschließende Füllung erfolgt die Ver-
Konstanter, minimaler Abstand a über die ganze Ankeranlage b
berpumpe hat diese Pumpenkombination dichtung. Die jeweiligen Grenzen des An-
saug- bzw. Ausschubvorganges werden Abb. 2.4
für Leckdetektoren den Vorteil, daß in einer Ankeranlage bei Drehschieberpumpen.
Membranpumpe naturgemäß kein Helium durch die Geometrie der Öffnungen in den
im Öl gelöst und damit auch kaum Geräte- Steuerscheiben bestimmt.
untergrund verursacht werden kann. Zusätzlich zur Verdichtungsarbeit über- die erreichbare Kompression entsprechend
nimmt die Betriebsflüssigkeit noch drei geringer, etwa 10.
weitere wichtige Aufgaben: 1. Abführen der Wie der Pumpenstammbaum in Tabelle 2.1
2.1.2 Flüssigkeitsgedichtete Verdichtungswärme, 2. Aufnahme von zeigt, gehören zu den ölgedichteten Ver-
Rotations-Verdrängerpumpen Flüssigkeiten und Dämpfen (Kondensat) drängerpumpen unter anderem Drehschie-
und 3. die Abdichtung zwischen Laufrad ber- und Sperrschieberpumpen in ein- und
2.1.2.1 Flüssigkeitsringvakuumpumpen und Gehäuse. zweistufigen Ausführungen sowie einstufi-
ge Trochoidenpumpen (Kreiskolbenpum-
Aufgrund des Pumpprinzips und des ein- 2.1.2.2 Ölgedichtete pen), die heute allerdings nur noch histo-
fachen Aufbaus eignen sich Flüssigkeits- Rotations-Verdrängerpumpen rische Bedeutung haben. Diese Pumpen
ring-Vakuumpumpen besonders zum För-
sind alle mit einer Gasballasteinrichtung
dern von Gasen und Dämpfen, die auch ge- Unter einer Verdränger-Vakuumpumpe ver- ausgerüstet, die erstmals von Gaede
ringe Mengen von Flüssigkeiten enthalten steht man allgemein eine Vakuumpumpe, (1935) angegeben wurde (nähere Beschrei-
können. Wasserdampf-gesättigte Luft oder die das zu fördernde Gas mit Hilfe von Kol- bung siehe 2.1.2.2.4). Die Gasballastein-
andere Gase mit kondensierbaren Dampf- ben, Rotoren, Schiebern, Ventilen u. a. an- richtung ermöglicht innerhalb angegebener
anteilen können ohne weiteres gefördert saugt, eventuell verdichtet und dann aus- technischer Grenzen das Abpumpen von
werden. Konstruktionsbedingt sind Flüssig- stößt. Der Pumpvorgang kommt durch eine Dämpfen (insbesondere von Wasser-
keitsringpumpen unempfindlich gegen Ver- Drehbewegung des Kolbens im Innern der dampf), ohne daß sie beim Kompressions-
unreinigungen des Förderstromes. Die er- Pumpe zustande. Man unterscheidet öl- vorgang in der Pumpe kondensieren.
reichbaren Ansaugdrücke liegen zwischen überlagerte und trockenlaufende Verdrän-
Atmosphärendruck und Dampfdruck der gerpumpen. Durch Ölüberlagerung der be-
verwendeten Betriebsflüssigkeit. Für Was- wegten Teile lassen sich in einer Stufe hohe 2.1.2.2.1 Drehschieberpumpen
ser von 15°C ist ein Betriebsdruck von etwa Kompressionsverhältnisse bis etwa 105 er- (TRIVAC A, TRIVAC B,
33 mbar erreichbar. Eine typische Anwen- zielen. Bei fehlender Ölüberlagerung ist die TRIVAC E, SOGEVAC)
dung von Wasserringvakuumpumpen ist »innere Undichtheit« erheblich größer und Drehschieberpumpen (siehe Abb. 2.5 und
die Turbinenentlüftung von Dampfturbinen 2.6) bestehen aus einem zylindrischen Ge-
in Kraftwerken. Flüssigkeitsringvakuum- häuse (Pumpenring) (1), in dem sich ein
pumpen (Abb.2.3) sind Rotations-Verdrän- exzentrisch gelagerter, geschlitzter Rotor
gerpumpen, die zur Förderung des abzu- (2) in Richtung des Pfeiles dreht. Der Rotor
saugenden Gases eine Betriebsflüssigkeit enthält meist durch Fliehkraft, aber auch
für den während des Betriebes rotierenden durch Federn auseinander gedrückte Schie-
Flüssigkeitsring benötigen. Das in ein zy- ber (16), die an der Gehäusewand entlang
lindrisches Gehäuse eingebaute (Schaufel)- gleiten und dabei die an der Saugöffnung
Laufrad ist exzentrisch im Gehäuse ange- (4) eingedrungene Luft vor sich herschie-
ordnet. Im abgeschalteten Zustand ist die ben, um sie schließlich durch das ölüberla-
Pumpe etwa zur Hälfte mit Betriebsflüssig- gerte Auspuffventil (12) aus der Pumpe
keit gefüllt. Axial sind die durch die Schau- auszustoßen.
feln gebildeten Zellen des Laufrades durch Die historisch ältere TRIVAC A-Pumpenrei-
»Steuerscheiben« begrenzt und abgedich- he (Abb. 2.5) von LEYBOLD hat drei radiale,
1 Rotor 3 Gehäuse 5 Flüssigkeitsring
tet. Diese Steuerscheiben sind mit Saug- 2 Rotorwelle 4 Ansaugkanal 6 Flexibler Auslaßkanal um 120° versetzt angeordnete Schieber. Die
und Druckschlitzen versehen, die zu den Abb. 2.3 TRIVAC B Pumpenreihe (Abb. 2.6) hat nur
entsprechenden Pumpstutzen führen. Nach Flüssigkeitsringvakuumpumpe, schematisch (Siemens) zwei um 180° versetzte Schieber. In beiden

19
Grundlagen 20.06.2001 11:57 Uhr Seite 20

Vakuumerzeugung

TRIVAC A TRIVAC B TRIVAC BCS TRIVAC E SOGEVAC


Schieber je Stufe 3 2 2 2 3 (tangential)

1 – 1,5 1,6 1,2 16 – 25


Saugvermögen 2–4 4–8 16 – 25 2,5 40 – 100
[m3/h] 8 – 16 16 – 25 40 – 65 5 – 10 180 – 280
30 – 60 40 – 65 585 – 1200
Ankeranlage ja ja ja ja nein
Enddruck, einstufig < 2 · 10–2 < 2 · 10–2 < 2 · 10–2 – < 5 · 10–1
[mbar]
Enddruck, zweistufig < 2,5 · 10–4 < 1 · 10–4 < 1 · 10–4 < 1 · 10–4 –
[mbar]
Ölversorgung Druckdifferenz Zahnradpumpe Zahnradpumpe Exzenterpumpe Druckdifferenz
Spalte bei allen Typen vergleichbar : etwa 0,01 bis 0,05 mm

Lager / Schmierung Gleitring / Öl Gleitring / Öl Gleitring / Öl Kugel / Fett Kugel / Öl


besondere hydropneumat. medienberührende zahlreiches preiswert
Eigenschaften Saugstutzenventil Teile beschichtet Zubehör
Medien kein Ammoniak sauber bis aggressiv und sauber bis sauber
leichte Partikel korrossiv leichte Partikel
Haupteinsatz- Allzweck- Allzweck- Halbleiter- Allzweck- Verpackungs-
Gebiete Einsatz Einsatz Industrie Einsatz industrie
Tabelle 2.2
Drehschieberpumpenreihen

Fällen werden die Schieber ohne Feder


durch Fliehkraft nach außen gedrückt, was
bei niedrigen Umgebungstemperaturen
eventuell dünnflüssigeres Öl erfordert. Die
A-Reihe hat eine Differenzdruckschmierung,
die B-Reihe eine Druckumlaufschmierung
mit Zahnradölpumpe. Die TRIVAC B-Reihe
zeichnet sich zusätzlich durch ein beson-
ders zuverlässiges Saugstutzenventil, durch
Ansaug- und Auspuffstutzen mit horizonta-
lem oder vertikalem Abgang und eine be-
dienerfreundlicher Anordnung von Ölschau-
glas und Gasballastventilbetätigung an der
gleichen Seite des Ölkastens aus. Mit dem
TRIVAC BCS-System hat sie zusätzlich eine
sehr umfangreiche Zubehörpalette, die vor
allem für die Halbleiterindustrie konzipiert
wurde. Der Ölvorrat der Drehschieberpum-
pe, aber auch der anderen ölüberlagerten
1 Pumpengehäuse, 9 Auspuffstutzen, 1 Ansaugstutzen, 8 Blende; Anschluß für Inert-
2 Rotor, 10 Nebenlufteintritt für Ge- 2 Schmutzfänger, Gasballast, Verdrängerpumpen dient der Schmierung
3 Ölstandsglas, räuschdämpfung, 3 Saugstutzenventil, 9 Auspuffkanal,
4 Ansaugkanal, 11 Ölfilter, 4 Saugkanal, 10 Auspuffventil, und Abdichtung, aber auch zum Ausfüllen
5 Saugstutzenventil, 12 Auspuffventil, 5 Schieber, 11 Formfilter,
6 Schmutzfänger, 13 Auspuffkanal, 6 Schöpfraum, 12 Federbügel,
schädlicher Räume und Spalte sowie zum
7 Ansaugstutzen, 14 Gasballastkanal, 7 Rotor, 13 Blende; Anschluß für Ölfilter Abführen der Kompressionswärme, also zur
8 Gasballastventilverschluß- 15 Öleinspritzung,
kappe, 16 Schieber Kühlung. Das Öl dichtet zwischen Rotor
(auch Anker genannt) und Pumpenring.
Abb. 2.5 Abb. 2.6
Schnitt durch eine einstufige Drehschieberpumpe Schnitt durch eine einstufige Drehschieberpumpe Diese beiden Teile »berühren sich fast«
(TRIVAC A) (TRIVAC B) längs einer Geraden (Zylindermantellinie).

20
Grundlagen 20.06.2001 11:57 Uhr Seite 21

Vakuumerzeugung

I Hochvakuumstufe, II Vorvakuumstufe

Abb. 2.7 Abb. 2.8a


Schnitt durch eine zweistufige Drehschieberpumpe, Schnitt durch eine zweistufige Drehschieberpumpe (TRIVAC E)
schematisch

Abb. 2.8b
SOGEVAC Pumpe SV 300 mit drei tangentialen Schiebern
1 Gehäuse, 9 Gasballastventil,
2 zylindrischer Kolben, 10 Schmutzfänger,
3 Exzenter, 11 Ansaugstutzen,
Um die ölgedichtete Fläche zu vergrößern, Mit zweistufigen ölüberlagerten Pumpen 4 Kompressionsraum, 12 Sperrschieber,
5 ölüberlagertes Druckventil, 13 Sperrschieberlager,
wird bei manchen Pumpen eine sogenann- lassen sich niedrigere Arbeits- und End- 6 Ölstandglas 14 Schöpfraum
7 Gasballastkanal, (Luft strömt ein).
te Ankeranlage in den Pumpenring einge- drücke erzielen als mit entsprechenden ein- 8 Auspufftopf,
arbeitet (siehe Abb. 2.4). Dadurch wird eine stufigen Pumpen. Der Grund liegt darin, daß
Abb. 2.9
bessere Abdichtung und damit eine höhere bei einstufigen Pumpen das Öl zwangsläu- Schnitt durch eine einstufige Sperrschieberpumpe
Kompression bzw. ein niedrigerer Enddruck fig mit der äußeren Atmosphäre in Berüh- (Einblockbauart).
erreicht. Von LEYBOLD werden verschie- rung kommt, von dort Gas aufnimmt, das
dene Drehschieberpumpenreihen gefertigt, während des Ölumlaufs, wenn auch nur teil- haupt ölfrei laufen zu lassen, kann in der
die unterschiedlichen Anwendungsfällen weise, vakuumseitig entweicht und somit Praxis trotz des sehr niedrigen Enddruckes
besonders angepaßt sind, wie z.B. hoher den erreichbaren Enddruck begrenzt. In den zu erheblichen Schwierigkeiten führen und
Ansaugdruck, tiefer Enddruck oder Anwen- von LEYBOLD gefertigten zweistufigen öl- beeinträchtigt die Pumpen erheblich.
dung in der Halbleiterindustrie. Eine Zu- überlagerten Verdrängerpumpen wird der
sammenstellung der hervorstechendsten vakuumseitigen Stufe (Stufe 1 in Abb. 2.7) 2.1.2.2.2 Sperrschieberpumpen
Eigenschaften dieser Pumpenreihen ist in bereits vorentgastes Öl zugeführt: Der End- (E-Pumpen)
der Tabelle 2.2 gegeben. Die TRIVAC-Dreh- druck liegt nun nahezu im Hochvakuum, die Abb. 2.9 zeigt den Schnitt durch eine Sperr-
schieberpumpen werden als einstufige niedrigsten Arbeitsdrücke liegen an der schieberpumpe in Einblockbauart. Bei ihr
TRIVAC-S-Pumpen und als zweistufige Grenze Feinvakuum / Hochvakuum. Anmer- gleitet ein Kolben (2), der von einem sich in
TRIVAC-D-Pumpen gefertigt (siehe Abb. kung: Die sogenannte Hochvakuumstufe Pfeilrichtung drehenden Exzenter (3) mit-
2.7). (Stufe 1) mit nur ganz wenig Öl oder über- genommen wird, längs der Gehäusewand.

21
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Vakuumerzeugung

aus. Im eigentlichen Arbeitsgebiet der


Pumpen erfordert der Antrieb der warm-
gelaufenen Pumpen nur etwa ein Drittel der
installierten Motorleistung (s. Abb. 2.11).

2.1.2.2.3 Trochoidenpumpen
Die Trochoidenpumpen gehören zu den so-
genannten Kreiskolbenpumpen, die (siehe
Übersicht Tab. 2.1) wiederum zu den Ro-
tationspumpen zu zählen sind. Bei Kreis-
kolbenmaschinen läuft der Schwerpunkt
des Kolbens auf einer Kreisbahn um die
Drehachse (daher der Name Kreiskolben-
maschinen). Eine Kreiskolbenpumpe ist
daher, im Gegensatz z. B. zur Sperrschie-
berpumpe dynamisch völlig auswuchtbar.
Dies hat den Vorteil, daß auch größere
Pumpen erschütterungsfrei laufen und
1 Oberer Totpunkt, 5 Oberer Totpunkt, maximaler Rauminhalt des Schöpfraumes,
ohne Fundament aufgestellt werden kön-
2 Der Schlitz am Saugkanal des Schiebers wird freigegeben, Beginn der
Ansaugperiode
6 Kurz vor Beginn der Kompressionsperiode gibt die Stirnfläche des
Pumpenkolbens die Gasballastöffnung frei,
nen. Außerdem kann man derartige Pum-
3 Unterer Totpunkt, Der Schlitz am Saugkanal ist ganz frei. Das abzusau- 7 Gasballastöffnung ist ganz frei, pen schneller laufen lassen als Sperrschie-
gende Gas tritt frei in den Schöpfraum (schraffiert gezeichnet), 8 Ende des Gasballasteinlasses,
4 Der Schlitz am Saugkanal wird durch die Lamellen wieder verschlos- 9 Ende der Pumpperiode berpumpen (siehe unten). Das Schöpfvolu-
sen. Ende der Ansaugperiode
men, bezogen auf das Bauvolumen – das
Abb. 2.10 sogenannte spezifische Bauvolumen – ist
Arbeitszyklus einer Sperrschieberpumpe (Kolbenstellungen 1 – 9) bei der Trochoidenpumpe etwa doppelt so
groß wie das spezifische Bauvolumen einer
Das abzusaugende Gas strömt durch den Sperrschieberpumpe. Größere Sperrschie-
Ansaugstutzen (11) in die Pumpe und ge- berpumpen laufen mit einer Drehzahl von
langt durch den Saugkanal des Sperrschie- n = 500 min–1. Die Trochoidenpumpe kann
bers (12) in den Schöpfraum (14). Der auch bei größeren Einheiten mit n = 1000
Schieber bildet mit dem Kolben eine Einheit min–1 laufen. Sie ist damit etwa viermal
und gleitet zwischen den im Gehäuse dreh- kleiner als eine Sperrschieberpumpe glei-
baren Lamellen (Sperrschieberlager 13) hin chen Saugvermögens und läuft völlig er-
und her. Das abgesaugte Gas befindet sich schütterungsfrei. Leider stehen den physi-
schließlich im Kompressionsraum (4). Bei kalisch-technischen Vorteilen große ferti-
der Drehung komprimiert der Kolben diese gungstechnische Nachteile gegenüber, so
Gasmenge, bis sie durch das ölüberlagerte daß Trochoidenpumpen heute von LEYBOLD
Ventil (5) ausgestoßen wird. Der Ölvorrat nicht mehr gebaut werden. Ein Funktions-
dient, wie bei den Drehschieberpumpen, zur schema zeigt das Schnittbild in der Abb.
Schmierung, Abdichtung, Schadraumfül- 2.12.
lung und Kühlung. Da der Schöpfraum
durch den Kolben in zwei Räume unterteilt
2.1.2.2.4 Der Gasballast
ist, wird bei jeder Umdrehung ein Arbeit-
1 Betriebstemperatur Kurve 1 32°C, 5 Theoretische Kurve für adia- Die bei den Dreh- und Sperrschieberpum-
stakt beendet (Arbeitszyklus siehe Abb. 2 Betriebstemperatur Kurve 2 40°C, batische Kompression pen sowie Trochoidenpumpen verwendete
2.10). Auch Sperrschieberpumpen werden 3 Betriebstemperatur Kurve 3 60°C, 6 Theoretische Kurve für iso-
4 Betriebstemperatur Kurve 4 90°C, therme Kompression Gasballsteinrichtung erlaubt es, nicht nur
ein- und zweistufig gefertigt. Bei zahlrei-
Abb. 2.11
Permanentgase, sondern auch größere
chen Vakuumprozessen kann die Kombina-
Abhängigkeit der Antriebsleistung des Motors einer Sperr- Mengen kondensierbarer Dämpfe abzu-
tion einer Wälzkolbenpumpe mit einer ein-
schieberpumpe (Saugvermögen 60 m3/h) von Ansaug- pumpen.
stufigen Sperrschieberpumpe vorteilhafter druck und der Betriebstemperatur. Kurven von Gasbal-
sein als eine zweistufige Sperrschieber- lastpumpen anderer Größen verlaufen entsprechend. Durch die Gasballasteinrichtung (siehe
pumpe. Reicht für den Prozeß eine derarti- Abb. 2.13) wird eine Kondensation von
ge Kombination oder eine zweistufige Dämpfen im Schöpfraum der Pumpe ver-
Pumpe nicht aus, so empfiehlt sich häufig Motorleistung mieden. Wenn Dämpfe angesaugt werden,
die Verwendung einer Wälzkolbenpumpe in Die zu den Dreh- und Sperrschieberpum- können diese nur bis zu ihrem Sättigungs-
Verbindung mit einer zweistufigen Pumpe. pen gelieferten Motoren reichen bei Umge- dampfdruck bei der Temperatur der
Dies gilt nicht für Kombinationen mit bungstemperaturen von 12 °C und Verwen- Pumpe komprimiert werden: Wird z.B. nur
Drehschieberumpen und Wälzkolbenpum- dung unserer Spezialöle für das Maximum Wasserdampf bei einer Pumpentempera-
pen. der Antriebsleistung (bei etwa 400 mbar) tur von 70 °C abgesaugt, so kann der

22
Grundlagen 20.06.2001 11:57 Uhr Seite 23

Vakuumerzeugung

de sinnvolle Maßnahme: Bevor der eigent- peratur der Pumpe noch nicht kondensie-
liche Kompressionsvorgang beginnt, wird ren können. Im Falle des Abpumpens
(siehe Abb. 2.13) in den Schöpfraum eine von Wasserdampf wird dieser kritische
genau dosierte Luftmenge (»der Gasbal- Wert als »Wasserdampfverträglichkeit« be-
last«) eingelassen, nämlich gerade so viel, zeichnet.
daß das Kompressionsverhältnis in der In der Abb. 2.14 ist der Pumpvorgang in
Pumpe auf max. 10:1 erniedrigt wird. Nun einer Drehschieberpumpe mit und ohne
können die abgesaugten Dämpfe, bevor
Gasballasteinrichtung beim Absaugen kon-
ihr Kondensationspunkt erreicht ist, zu-
densierbarer Dämpfe schematisch darge-
sammen mit dem Gasballast komprimiert
stellt.
und aus der Pumpe ausgestoßen werden.
Der Partialdruck der angesaugten Dämp- Voraussetzung für ein Abpumpen von
fe darf allerdings einen gewissen Wert Dämpfen bleiben immer 2 Dinge:
nicht überschreiten; er muß so niedrig
1 mit Antriebswelle verbundenes Zahnrad, sein, daß bei einer Kompression um den 1) Pumpe muß Betriebstemperatur haben
2 am Kolben befestigtes Zahnrad,
3 Elliptischer Kolben,
Faktor 10 die Dämpfe bei der Arbeitstem- 2) Gasballastventil muß offen sein
4 Gehäuse-Innenwand,
5 Antriebswelle,
6 Exzenter

Abb. 2.12
Schnitt durch eine Trochoidenpumpe

1–2 Ansaugen
2–5 Komprimieren
3–4 Gasballasteinlaß
5–6 Ausfördern

Abb. 2.13
Arbeitsvorgänge innerhalb einer Drehschieberpumpe
mit Gasballasteinrichtung

Dampf nur bis zu 312 mbar (Sättigungs-


dampfdruck des Wassers bei 70 °C (siehe
Tab. XIII in Abschn. 9) komprimiert wer-
den. Bei weiterer Kompression konden-
siert der Wasserdampf, ohne daß sein
Druck steigt: Es entsteht kein Überdruck
in der Pumpe, das Auspuffventil wird nicht
geöffnet, sondern der Wasserdampf bleibt a) Ohne Gasballast: b) Mit Gasballast
als Wasser in der Pumpe und emulgiert 1) Die Pumpe ist an das schon fast luftleere Gefäß angeschlossen 1) Die Pumpe ist an das schon fast luftleere Gefäß angeschlossen
(ca. 70 mbar). Sie muß also fast nur Dampfteilchen fördern. (ca. 70 mbar). Sie muß also fast nur Dampfteilchen fördern.
mit dem Pumpenöl. Damit verschlechtern 2) Der Schöpfraum ist vom Gefäß getrennt. Die Verdichtung beginnt. 2) Der Schöpfraum ist vom Gefäß getrennt. Jetzt öffnet das Gasbalast-
3) Der Inhalt des Schöpfraumes ist schon so weit verdichtet, das sich der ventil, wodurch der Schöpfraum zusätzlich von außen mit Luft, dem
sich die Schmiereigenschaften des Pum- Dampf zu Tröpfchen kondensiert, es beginnt in der Pumpe »zu »Gasballast«, gefüllt wird.
penöles sehr schnell – ja, die Pumpe kann, regnen«. Überdruck ist noch nicht erreicht.
4) Erst jetzt erzeugt die restliche Luft den erforderlichen Überdruck und
3) Das Auspuffventil wird aufgedrückt, Dampf und Gasteilchen werden
ausgetsoßen: Der erforderliche Überdruck wurde durch die zusätzliche
wenn sie zuviel Wasser aufgenommen hat, öffnet das Auspuffventil, doch der Dampf ist bereits kondensiert und die Gasballstluft schon sehr früh erreicht. Es kam also gar nicht erst zu
Tröpfchen sind in der Pumpe niedergeschlagen. einer Kondensation
sogar festlaufen. Die 1935 von Wolfgang 4) Die Pumpe stößt weiter Luft und Dampf aus.
Gaede entwickelte Gasballasteinrichtung
Abb 2.14
verhindert eine mögliche Kondensation Veranschaulichung des Pumpvorganges in einer Drehschieberpumpe mit (rechts) und ohne (links) Gasballasteinrichtung
des Dampfes in der Pumpe durch folgen- beim Absaugen kondensierbarer Dämpfe

23
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Vakuumerzeugung

(Die Pumpentemperatur erhöht sich bei ge- Gemäß Gleichung 2.1: Aus Gleichung (2.1) ergibt sich für den zu-
öffnetem Gasballastventil um etwa 10°C; pD ( H 2 O ) 312 lässigen Partialdruck pD des angesaugten
vor dem Abpumpen von Dämpfen sollte die < = 0, 23 Dampfes die Ungleichung
pD ( H 2O ) + pL 1350
Pumpe eine halbe Stunde mit geöffnetem pD, S
Gasballastventil warmlaufen). Der Druck des Wasserdampfanteils darf pD ≤ ·p (2.2)
p V − pD, S L
max. 23 % des Druckes des abgesaugten
Gleichzeitiges Abpumpen von Gasen und Wasserdampf-Luftgemisches betragen. Sie läßt erkennen, daß ohne besondere
Dämpfen Maßnahmen, wie z. B. den Gasballast, kon-
Werden aus einer Vakuum-Apparatur Beispiel 2: densierbare Dämpfe ohne Permanentgas-
gleichzeitig Permanentgase und konden- Mit einer Sperrschieberpumpe soll Essig- anteil (pL = O) nicht abgepumpt werden
sierbare Dämpfe abgepumpt, so reicht oft- säure abgepumpt werden. Es sei: können. Im Falle des Betriebes mit Gasbal-
mals der Anteil der abgesaugten Per- paus = 1,1 bar (Berücksichtigung der last berechnet sich der zulässige Dampf-
manentgase aus, um eine Kondensation Rohrleitungswiderstände) partialdruck des kondensierbaren Anteils
des Dampfes im Innern der Pumpe zu ver- ∆pVentil = 0,25 bar zu
(2.3)
hindern. Welche Dampfmenge in diesem
∆pAuspuffilter = 0,15 bar B pV ( pDS − pDB ) pDS
Fall ohne Kondensation in der Pumpe ab- pD ≤ · + p − p · pL
(Druckverlust im Ölnebel- S pV − pDS V DS
gepumpt werden kann, berechnet man aus
abscheider)
folgender Beziehung: Hierin ist:
Somit:
p0 p B. . . In den Schöpfraum der Pumpe pro
< D, Sätt (2.1) pverd = 1,5 bar.
p0 + pL p verd Zeiteinheit eingelassenes Luftvolu-
men, bezogen auf 1013 mbar, kurz
Hierin ist: Durch Regelung der Kühlung werden Pum- Gasballast genannt
p0 = der Partialdruck des ange- pen- und Öltemperatur auf 100 °C einge- S. . . Saugvermögen der Pumpe (meist
saugten Dampfes stellt. Der Sättigungsdruck beträgt gemäß kann hierfür das Nennsaugver-
pL = der Partialdruck der ange- Abb. 2.15: pD,Sätt = 500 mbar. mögen der betreffenden Vakuum-
saugten Permanentgase pumpe genommen werden)
pD,Sätt = der Sättigungsdampfdruck Gemäß Gleichung (2.1)
pV. . . Druck im Auspuffstutzen der Pumpe
der angesaugten, dampfför- pD, Essigsäure
. 0,5 1
=< = pDS. . .Sättigungsdampfdruck des Dampfes
migen Substanz, der von der pEssigsäure
. + pL 1,5 3
bei der Betriebstemperatur der
Temperatur abhängt (siehe
Der Essigsäureanteil muß bei den gemach- Pumpe
Abb. 2.15)
ten Annahmen weniger als 1/3 des pDB Partialdruck des im Gasballast ent-
pverd = paus + ∆pVentil + ∆pAuspuffilter
gesamten Gemisches betragen. haltenen kondensierbaren Anteils
paus = der Druck in der Auspufflei-
Das angeführte Verhältnis von mindestens pL. . . Permanentgaspartialdruck am An-
tung
drei Teilen Permanentgasen auf ein Teil saugstutzen der Pumpe.
∆pVentil = Druckverlust im Auspuffven- Wasserdampf (25 %) kann natürlich nur
til; er beträgt je nach Pum- ein Anhaltspunkt sein. Da eine Rotations- Gleichung 2.3 läßt erkennen, daß bei Ver-
pentyp und Betriebsbedin- pumpe ihre Arbeitstemperatur erst nach ei- wendung von Gasballast (B ≠ 0) Dämpfe
gungen 0,2 . . 0,4 bar niger Zeit erreicht, empfiehlt es sich, bei auch dann abgepumpt werden können,
∆pAuspuffilter = Druckverlust im Auspuffilter Anfahrprozessen immer das Gasballastven- wenn saugseitig kein Permanentgasanteil
0 . . 0,5 bar til zu öffnen. vorhanden ist (pL = O). Als Gasballast darf
auch eine Mischung aus Permanentgas
Beispiel 1: und kondensierbarem Dampf verwendet
Mit einer Drehschieberpumpe, der ein Öl- werden, solange dafür gesorgt wird, daß
nebelfilter nachgeschaltet ist, werde ein Ge- der Partialdruck dieses Gasballast-Damp-
misch aus Wasserdampf und Luft abge- fes (pDB) kleiner ist, als der Sättigungs-
pumpt. Der Berechnung nach Gleichung 2.1 dampfdruck pDS des abgepumpten Damp-
werden folgende Zahlenwerte zugrunde ge- fes bei der Temperatur der Pumpe.
legt:
Wasserdampfverträglichkeit
paus = 1 bar; ∆pVentil + ∆pAuspuffilter = 0,35 bar;
Ein wichtiger Spezialfall der obigen all-
gemeinen Betrachtungen zur Dampfver-
Pumpentemperatur 70 °C
träglichkeit ist das Abpumpen von Wasser-
Somit:
dampf. Die Wasserdampfverträglichkeit ist
pverd = 1,35 bar; nach PNEUROP wie folgt definiert: »Die
pd,Sätt (H2O) = 312 mbar Abb. 2.15 Wasserdampfverträglichkeit ist der höch-
(Tabelle Xlll in Abschn. 9) Sättigungsdampfdrücke ste Wasserdampfdruck mit dem eine Vaku-

24
Grundlagen 20.06.2001 11:57 Uhr Seite 25

Vakuumerzeugung

Gasballastpumpen, dadurch eine Grenze zweistufiger Rootspumpen sogar bis in das


gesetzt, daß sich das mit der Gasballast- Hochvakuumgebiet. Das Arbeitsprinzip der
pumpe bei offenem Gasballastventil erziel- Wälzkolbenpumpen erlaubt es, Einheiten
bare Endvakuum mit zunehmendem Gas- mit sehr hohem Saugvermögen (über
ballast B verschlechtert. 100.000 m3/h) zu bauen, die wirtschaftli-
Analoges gilt auch bei Betrachtung der all- cher sein können als z. B. Dampfstrahlpum-
gemeinen Gleichung 2.3 für die Dampfver- pen im gleichen Arbeitsbereich.
träglichkeit pD. Beim Beginn eines Aus- Eine Wälzkolben-Vakuumpumpe (siehe
pumpvorganges sollten Gasballastpumpen Abb. 2.17) ist eine Drehkolbenpumpe, bei
stets mit geöffnetem Gasballastventil lau- der sich im Pumpengehäuse zwei sym-
fen. An den Wänden eines Behälters befin- metrisch gestaltete Rotoren gegeneinander
Abb. 2.16 det sich fast immer eine dünne Wasser- berührungsfrei drehen (»abwälzen«). Die
Partialdruck pW von Wasserdampf, der bei Betrieb einer
Pumpe mit Gasballast ohne Kondensation in der Pumpe
haut, die erst allmählich abdampft. Erst beiden Rotoren haben ungefähr einen
abgepumpt werden kann, als Funktion der Pumpentem- wenn der Dampf abgepumpt ist, sollte das 8-förmigen Querschnitt und sind durch ein
peratur bei verschiedenen Luftpartialdrücken pL als Para- Gasballastventil geschlossen werden, um Zahnradgetriebe synchronisiert. Die Spalt-
meter. Die unterste Kurve entspricht der Wasserdampfver- zu niedrigen Enddrücken zu gelangen.
träglichkeit pW,O der Pumpe breite zwischen Kolben und Gehäusewand
Leybold-Pumpen haben im allgemeinen und zwischen den Kolben untereinander
eine Wasserdampfverträglichkeit zwischen beträgt wenige Zehntel Millimeter. Deshalb
33 und 66 mbar. Zweistufige Pumpen kön- können Wälzkolbenpumpen ohne mecha-
umpumpe unter normalen Umgebungs- nen, sofern sie verschieden große Schöp- nischen Verschleiß mit hohen Drehzahlen
bedingungen (20°C, 1013 mbar) reinen fräume besitzen, andere Wasserdampfver- laufen. Im Gegensatz zu Drehschieber- und
Wasserdampf dauernd ansaugen und för- träglichkeiten haben, entsprechend dem Sperrschieberpumpen sind Wälzkolben-
dern kann. Sie wird in mbar angegeben.« Kompressionsverhältnis zwischen ihren pumpen nicht ölüberlagert, so daß die prin-
Sie wird mit pW,O bezeichnet. Stufen. zipielle innere Undichtheit trockenlaufender
Für diesen Spezialfall ist in Gleichung 2.3 Pumpen dazu führt, daß sich nur maxima-
pL= O zu setzen und Für pDS die Sättigungs- Andere Gase als Ballast le Kompressionsverhältnisse in der Größe
dampfdruckkurve für Wasser (siehe Tabel- In der Regel dient die atmosphärische Luft von 10 bis 100 erreichen lassen. Die inne-
le XIII in Abschnitt 9) zu nehmen. als Gasballast-Medium. In Sonderfällen las- re Undichtheit der Wälzkobenpumpen, wie
Man erhält: sen sich z. B. beim Abpumpen explosiver auch anderer trockenlaufender Pumpen
oder giftiger Gase andere Permanentgase, hoher Drehzahl resultiert in erster Linie dar-
B p V pDS ( H 2O ) − pDB z. B. Edelgase oder Stickstoff als Gasbal- aus, daß bestimmte Oberflächenanteile des
p W, O = · (2.4) Schöpfraums infolge des Arbeitsprinzips
S p V − pDS ( H 2O ) last-Medium einsetzen. (siehe Abschnitt.
8.3.1.3). wechselweise der Saugseite und der Ver-
dichtungsseite der Pumpe zugeordnet sind.
Wird als Gasballast atmosphärische Luft
Während der Verdichtungsphase werden
verwendet mit einem angenommenen
2.1.3 Trockenlaufende Rotations- diese Oberflächenanteile (Kolben und Ge-
Wasserdampfanteil pDB = 13 mbar (50%
Verdrängerpumpen häuse) mit Gas beladen (Grenzschicht);
Luftfeuchtigkeit), so ergibt sich mit B/S =
0,10 und pV = 1330 mbar für die Wasser- 2.1.3.1 Wälzkolbenpumpen
dampfverträglichkeit pWO in Abhängigkeit (Rootspumpen)
von der Pumpentemperatur die unterste
Kurve in Abb. 2.16: Die darüberliegenden Das Konstruktionsprinzip der Wälzkolben- 1
2 2
Kurven beziehen sich auf den Fall, daß nicht pumpen wurde schon 1848 von Isaiah Da-
reiner Wasserdampf (pL = O), sondern eine vies erfunden, aber erst 20 Jahre später
Mischung aus Permanentgas (pL ≠ O) und von den Amerikanern Francis und Philan-
Wasserdampf abgepumpt wird. In diesem der Roots in die Praxis umgesetzt und
Fall ist pW natürlich größer als pW,O. Die Ka- zunächst als Ladegebläse für Verbren-
talogangaben zur Wasserdampfverträglich- nungsmotoren genutzt. Später wurde es,
keit pW,O der verschiedenen Pumpentypen in der Umkehrung des Antriebes, auch für 3
5
stellen daher eine untere und damit siche- Gaszähler angewendet. Erst seit 1954 wird 4
re Grenze dar. es auch in der Vakuumtechnik eingesetzt.
Gemäß Gleichung 2.4 wurde eine Vergrö- Wälzkolbenpumpen werden in Pumpen-
ßerung des Gasballastes B zu einer erhöh- kombinationen mit Vorpumpen (Drehschie- 1 Ansaugflansch 4 Pumpenausgangsflansch
2 Wälzkolben 5 Gehäuse
ten Wasserdampfverträglichkeit pW,O füh- ber- und Sperrschieberpumpen) eingesetzt 3 Kammervolumen

ren. Praktisch ist jedoch einer Vergröße- und erweitern deren Arbeitsbereich bis weit Abb. 2.17
rung von B, insbesondere bei einstufigen in das Feinvakuumgebiet, bei Verwendung Schematischer Querschnitt einer Wälzkolbenpumpe

25
Grundlagen 20.06.2001 11:57 Uhr Seite 26

Vakuumerzeugung

während der Saugphase wird dieses Gas In der Regel wird eine Wälzkolbenpumpe
wieder abgegeben. Die Dicke der ver- Unter Verwendung der Beziehungen 2.5, zusammen mit einer vorgeschalteten Grob-
schleppten Gasschicht hängt von den 2.6, 2.7 und 2.8 ergibt sich vakuumpumpe mit dem (Nenn-) Saugver-
Spaltweiten zwischen den beiden Kolben mögen SV betrieben. Die Kontinuitätsglei-
und den Kolben und der Gehäusewand ab. pV SiR chung liefert die Beziehung:
η = 1− · (2.11)
Wegen der relativ komplexen Temperatur- pa Sth
verhältnisse in der Wälzkolbenpumpe kann SV ⋅ pV = Seff ⋅ pa = η ⋅ Sth ⋅ pa (2.14)
man nicht von den in kaltem Zustand ge- Bezeichnet man die Kompression pv /pa mit
messenen Spalten ausgehen. Kleinste Spal- Daraus ergibt sich für
k, so wird
te und daher auch kleinste Rückströmun-
pV S
gen erreicht man bei Arbeitsdrücken im Be- S k= = η · th (2.15)
reich von 1 mbar. Demzufolge lassen sich η = 1 − k iR (2.11a) pa SV
Sth
in diesem Druckbereich einerseits zwar die
höchsten Kompressionsverhältnisse erzie- Die maximale Kompression ergibt sich Das Verhältnis Sth/SV (Theoretisches Saug-
len, andererseits ist dieser Druckbereich (siehe PNEUROP und DIN 28 426, Teil 2) vermögen der Wälzkolbenpumpe zu
auch am kritischsten im Hinblick auf ein bei Nullförderung; sie wird mit k0 bezeich- Saugvermögen der Vorpumpe) wird als Ab-
Anlaufen zwischen Kolben und Gehäuse. net: stufung kth bezeichnet. Man erhält aus
(2.15)
Kenngrößen von Wälzkolbenpumpen Sth
k0 = ( ) = (2.12)
Die von einer Wälzkolbenpumpe effektiv SiR η 0 k = η ⋅ kth (2.16)
geförderte Gasmenge Qeff errechnet sich
aus der theoretisch geförderten Gasmenge Gleichung (2.16) besagt, daß die in einer
k0 ist eine für die Wälzkolbenpumpe cha-
Qth und der inneren Rückströmung QiR (als rakteristische Größe, die gewöhnlich in Wälzkolbenpumpe erzielbare Kompression
Verlustgasmenge) zu: Abhängigkeit vom Vorvakuumdruck pV an- k stets kleiner sein muß als die Abstufung
gegeben wird (siehe Bild 2.18). k0 hängt kth zwischen Wälzkolbenpumpe und Vor-
Qeff = Qth – QiR (2.5)
auch (in geringem Maße) von der Gasart pumpe, da der volumetrische Wirkungs-
ab. grad stets < 1 ist. Kombiniert man die
Für die theoretisch geförderte Gasmenge
Für den Wirkungsgrad der Wälzkolben- Gleichungen (2.13) und (2.16), so erhält
gilt:
pumpe ergibt sich die generell gültige Be- man für den Wirkungsgrad die bekannte
Qth = pa ⋅ Sth (2.6) ziehung: Beziehung

k0
wobei pa der Ansaugdruck und Sth das η = 1− k (2.13) η= (2.17)
ko ko + k th
theoretische Saugvermögen bedeuten. Die-
ses wiederum ist das Produkt aus Schöpf-
volumen VS und Drehzahl n:

Sth = n ⋅ VS (2.7)

Analog berechnet sich die innere Rückströ-


mung QiR zu:

QiR = n ⋅ ViR (2.8)

wobei pV der Vorvakuumdruck (Druck auf


der Vorvakuumseite) und SiR ein (fiktives)
»Rück«-Saugvermögen ist, mit

SiR = n ⋅ ViR (2.9)

also das Produkt aus Drehzahl n und inne-


rem Rückfördervolumen ViR.
Der volumetrische Wirkungsgrad einer
Wälzkolbenpumpe ist gegeben durch
Q eff
η= (2.10) Abb. 2.18
Q th
Maximale Kompression k0 der Wälzkolbenpumpe RUVAC WA 2001 in Abhängigkeit vom Vorvakuumdruck pV

26
Grundlagen 20.06.2001 11:57 Uhr Seite 27

Vakuumerzeugung

In Gleichung 2.17 für kommen lediglich tationspumpe als Vorpumpe und z.B. meh- Zur Bestimmung der Gesamtleistung (sog.
Kenngrößen der Kombination Wälzkolben- reren in Reihe geschalteten Wälzkolben- Wellenleistung) der Pumpe kommen noch
pumpe-Vorpumpe vor, nämlich die maxi- pumpen bestehen. Man bestimmt, einem mechanische Verlustleistungen Nv (z.B. in
male Kompression k0 der Wälzkolbenpum- Iterationsverfahren entsprechend, zunächst den Lagerdichtungen) hinzu:
pe und die Abstufung kth zwischen Wälz- die Saugcharakteristik der Vorpumpe plus
kolbenpumpe und Vorpumpe. erster Wälzkolbenpumpe und betrachtet Nges = NKompression + Σ NV (2.19)
Mit Hilfe der obigen Beziehungen läßt sich dann diese Kombination als Vorpumpe für
die Saugvermögenskurve einer vorgege- die zweite Wälzkolbenpumpe usw. Man
Die in NV zusammengefaßten Verlustlei-
benen Kombination von Wälzkolbenpumpe muß natürlich von allen Pumpen, die in der
stungen sind – wie die Erfahrung zeigt –
und Vorpumpe berechnen. Dazu müssen betrachteten Anordnung vorkommen,
etwa proportional Sth, also:
bekannt sein: deren theoretisches Saugvermögen und die
Kompression bei Nullförderung k0 als Funk-
a) das theoretische Saugvermögen der tion des Vorvakuumdruckes kennen. Wie Σ Nv = Const ⋅ Sth (2.20)
Wälzkolbenpumpe: Sth bereits gesagt, hängt es vom Vakuumver-
b) die max. Kompression in Abhängigkeit fahren ab, welche Abstufung am geeignet- Abhängig vom Pumpentyp und Ausführung
vom Vorvakuumdruck: k0 (pV) sten ist. Es kann auch durchaus vorteilhaft liegt der Wert der Konstanten zwischen 0,5
c) die Saugvermögenskurve der Vorpumpe sein, wenn Vorpumpe und Wälzkolben- und 2 Wh/m3 .
SV (pV) pumpe im Grobvakuumbereich das gleiche
Saugvermögen haben. Die Gesamtleistung beträgt daher:
Der Berechnungsgang geht aus der unten-
stehenden Tabelle für die Kombination Nges = Sth (pv – pa + Const.)
Leistungsbedarf einer Wälzkolbenpumpe
Wälzkolbenpumpe RUVAC WA 2001 / Die Verdichtung in einer Wälzkolbenpum-
E 250 (einstufige Sperrschieberpumpe, pe erfolgt als äußere Verdichtung und ist Die entsprechende, zur Berechnung nützli-
ohne Gasballast betrieben) hervor. Dabei
modellmäßig als isochore Verdichtung zu che Zahlenwertgleichung lautet:
wurde für Sth der Ansatz gemacht:
verstehen. Erfahrungsgemäß gilt für die
Kompressionsleistung – in guter Näherung Nges = Sth (pv – pa +Const.)⋅ 3 · 10–2 Watt (2.21)
Sth = 2.050 – 2.5% = 2000 m3/h – die Beziehung:

Das oben skizzierte Verfahren ist auch auf mit pv , pa in mbar, Sth in m3 / h und Const.
Anordnungen anwendbar, die aus einer Ro- NKompression = Sth (pv – pa) (2.18) zwischen 18 und 72.

Vorvakuum- Saugvermögen kth = Sth/Sv K0 (pv) der η = k0/k0+kth Ansaugdruck


druck Sv der = 2001/Sv RUVAC (Volumetr. Seff = η Sth pa = pv ⋅ Sv/Seff
Pv E 250 WA 2001 Wirkungsgr.) (Gleichung 2.14)

100 250 8,0 12,5 0,61 1,220 21

40 250 8,0 18 0,69 1,380 7,2

10 250 8,0 33 0,8 1,600 1,6

5 250 8,0 42 0,84 1,680 0,75

1 250 8,0 41 0,84 1,680 0,15

5 · 10–1 220 9,1 35 0,79 1,580 7 · 10–2

1 · 10–1 120 16,6 23 0,6 1,200 1 · 10–2

4 · 10–2 30 67 18 0,21 420 3 · 10–3

Die Werte der beiden rechten Spalten ergeben punktweise die Saugvermögenskurven der ↓ ↓
Kombination WA 2001/E250 (siehe Abb. 2.19, oberste Kurve) Saugvermögenscharakteristik
der
Kombination WA 2001/E250
Tabelle 2.3

27
Grundlagen 20.06.2001 11:58 Uhr Seite 28

Vakuumerzeugung
Saugvermögen S

Ansaugdruck pa !

Abb. 2.19
Saugvermögenskurven verschiedener Pumpenkombinationen und der dabei verwendeten Vorpumpen

Belastbarkeit einer Wälzkolbenpumpe festen Laufbuchse zum Schutze der An-


Die Leistungsaufnahme der Pumpe bedingt triebswelle laufen. Als Flanschmotor lassen
ihre Erwärmung. Überschreitet diese ein sich Motoren beliebiger Schutzart, Span-
bestimmtes Maß, das durch die maximal nung und Frequenz verwenden.
zulässige Druckdifferenz pv – pa gegeben Die integrale Dichtheit dieser Version liegt
ist, so besteht die Gefahr, daß die Kolben bei < 10–4 mbar⋅`⋅s–1.
infolge ihrer thermischen Ausdehnung im
Gehäuse festlaufen. Die maximal zulässige Für höhere Dichtheitsanforderungen
Druckdifferenz pmax wird durch folgende < 10–5 ⋅mbar⋅`⋅s–1 rüstet man die Wälzkol-
Faktoren beeinflußt: Vorvakuum- bzw. Ver- benpumpe mit einem Spaltrohrmotor aus.
dichtungsdruck pv, Saugvermögen der Vor- Der Rotor sitzt im Vakuum auf der An-
pumpe Sv, Drehzahl der Wälzkolbenpumpe triebswelle der Pumpe und ist durch ein va-
n, Abstufungsfaktor kth und Adiabatenexpo- kuumdichtes, unmagnetisches Rohr vom
nent κ des geförderten Gases. Bei Zunah- Stator getrennt. Die Kühlung der Stator-
me von pv und Sv erhöht sich, bei Zunah- wicklung erfolgt durch einen Lüfter mit ei- Abb. 2.20
me von n, kth und κ reduziert sich pmax. Die genem Antriebsmotor. Dadurch entfallen Querschnitt durch eine Wälzkolbenpumpe mit Umwegleitung
maximale Differenz zwischen Vorvakuum- die dem Verschleiß unterliegenden Wellen-
und Ansaugdruck, pv – pa, darf daher bei abdichtungen. Der Einsatz der Wälzkolben-
Dauerbetrieb einen bestimmten Wert nicht pumpen mit Spaltrohrmotoren ist beson-
überschreiten, der von der Pumpentype ab- ders beim Abpumpen hochreiner, toxischer
hängt. Solche Werte liegen zwischen 130 oder mit radioaktiven Bestandteilen belade-
und 50 mbar. Kurzzeitig jedoch kann die für ner Gase und Dämpfe zu empfehlen.
WAU 2001
den Dauerbetrieb zulässige maximale
Druckdifferenz überschritten werden. In Einhalten der erlaubten Druckdifferenz
Sonderkonstruktionen, die z.B. mit Gasküh- Bei Standard-Wälzkolbenpumpen müssen
lung arbeiten, sind auch im Dauerbetrieb Vorkehrungen getroffen werden, damit die
hohe Druckdifferenzen zulässig. prinzipbedingte maximale Druckdifferenz
zwischen Ansaug- und Druckstutzen nicht
SOGEVAC SV 1200
überschritten wird. Dies wird entweder
Bauarten von Wälzkolbenpumpen durch einen Druckschalter, der die Wälzkol-
Antriebe benpumpe in Abhängigkeit vom Ansaug-
Als Antrieb werden standardmäßige druck zu- oder abschaltet, oder durch die
Flanschmotoren eingesetzt. Die Abdich- Verwendung eines Druckdifferenz- oder
tung der Antriebswellendurchführungen Überströmventils im Bypass zur Roots-
Abb. 2.21
übernehmen zwei ölüberlagerte Radialwel- pumpe erreicht (Abb. 2.20 und 2.21). Die Schema – Wälzkolbenpumpe mit integrierter Umweg-
lendichtungen, die auf einer verschleiß- Verwendung eines Überstömventils im By- leitung und Vorpumpe

28
Grundlagen 20.06.2001 11:58 Uhr Seite 29

Vakuumerzeugung

1 a

4
4

2
1 Rotoren, 4 Auspuffschlitz,
2 Verdichtungsraum, 5 Ansaugschlitz
1 Saugstutzen 2 Druckstutzen 3 Gaskühler 4 Kühlgasstrom 3 Ansaugraum, 6 Zwischenstufen-Spülgas

Abb. 2.22 Abb. 2.23


Funktionsschema der Wälzkolbenpumpe mit Voreinlaßkühlung Schematische Darstellung des Funktionsprinzipes

pass zur Wälzkolbenpumpe erweist sich als sem Augenblick strömt erwärmtes Gas mit hat innen im Querschnitt die Form zweier
bessere und betriebssicherere Lösung. Das höherem Druck in den Schöpfraum und sich teilweise überschneidender Kreiszylin-
gewichts- und federbelastete Ventil wird auf verdichtet das transportierte Gasvolumen. der (Abb. 2.23). Innerhalb dieser Kreiszylin-
die maximal zulässige Druckdifferenz der Durch die Voreinlaßkühlung wird dieser der drehen sich in jeder Pumpstufe berüh-
jeweiligen Pumpe eingestellt. So wird si- Verdichtungsvorgang vorweggenommen. rungsfrei zwei Rotoren (1) mit ihren Klau-
chergestellt, daß die Wälzkolbenpumpe Bevor der Kolben den Schöpfraum zum en und den dazu passenden Aussparungen
nicht überlastet wird und in jedem Druck- Druckstutzen hin öffnet, strömt über den gegenläufig um ihre senkrechten Achsen.
gebiet betrieben werden kann. In der Pra- Voreinlaßkanal verdichtetes, gekühltes Gas Die Rotoren werden wie bei einer Wälzkol-
xis bedeutet das, daß die Wälzkolbenpum- in den Schöpfraum. Abschließend stößt der benpumpe durch das Getriebe synchroni-
pe ab Atmosphärendruck zusammen mit Kolben das Fördermedium über den Druck- siert. Der Abstand der Rotoren in der Ge-
der Vorpumpe eingeschaltet werden kann. stutzen aus. Das gekühlte Gas, das bei der häusemitte und das Spiel zu der Gehäuse-
Im Prozeß bewirken Druckanstiege keine einstufigen Verdichtung gegen Atmosphä- innenwand ist zum Zweck der Abdichtung
Störungen des Kombinationsbetriebes re aus der Voreinlaßkühlung zugeführt oder sehr eng; beides liegt in der Größenordnung
bei mehrstufigen Pumpständen aus nach- von einigen 0,01 mm. Dabei schließen und
durch das Abschalten der Wälzkolben-
geschalteten Gaskühlern entnommen wird, öffnen die Rotoren periodisch die Ansaug-
pumpe.
leistet eine Vorverdichtung und führt durch und Auspuffschlitze (5) und (4). Zu Beginn
»innere Kühlung« die Verdichtungswärme des Arbeitsganges in Stellung a öffnet der
Voreinlaßkühlung (Abb. 2.22)
im Entstehungszeitpunkt ab. rechte Rotor gerade den Ansaugschlitz (5).
Bei voreinlaßgekühlten Wälzkolbenpumpen
entspricht der Verdichtungsvorgang im we- In den sich nun ständig vergrößernden An-
sentlichen dem Arbeitsprinzip der norma- 2.1.3.2 Klauenpumpen saugraum (3) in Stellung b strömt so lange
len Wälzkolbenpumpen. Die Zulässigkeit Die Klauenpumpen gehören wie die Wälz- Gas ein, bis der rechte Rotor in Stellung c
höherer Druckdifferenzen erfordert eine kolbenvakuumpumpen in die Gruppe der den Ansaugschlitz (5) wieder verschließt.
größere installierte Leistung, die bei gege- trockenverdichtenden Drehkolbenvakuum- Nach dem Durchgang der beiden Klauen
bener Drehzahl dem Druckunterschied zwi- pumpen (oder Rotationsvakuumpumpen). durch die Mittellage wird das eingeströmte
schen Saug- und Druckstutzen direkt pro- Klauenpumpen können mehrstufig auf- Gas jetzt im Verdichtungsraum (2) (Stellung
portional ist und sich aus der theoretischen gebaut sein; ihre Rotoren haben die Form a) so weit komprimiert, bis der Auspuff-
Verdichtungsarbeit und verschiedenen Ver- von Klauen. schlitz (4) vom linken Rotor freigegebenen
lustleistungen zusammensetzt. Der Ver- (Stellung b) und das Gas ausgefördert wird.
dichtungsvorgang schließt normalerweise Das Funktionsprinzip einer Klauenpumpe Unmittelbar nach Kompressionsbeginn
nach Öffnen des Schöpfraumes gegen den soll zunächst an einer vierstufigen Ausfüh- (Stellung a) erfolgt gleichzeitig das Öffnen
Druckstutzen den Fördervorgang ab. In die- rung erklärt werden. Das Pumpengehäuse des Ansaugschlitzes (5) und Gas strömt er-

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Grundlagen 20.06.2001 11:58 Uhr Seite 30

Vakuumerzeugung

P
W Kompr.
1 2

P
3

4
Z
P V

Z
P
Z Abb. 2.26
Verdichtung einer Klauenpumpe mit innerer Verdichtung
P

P
1 W Kompr.
2

3
Abb. 2.24
V
Anordnung der Stufen und Führung des Gasstroms. P = Pumpstufe Z = Zwischenring

Jeder Rotor dreht sich während eines voll-


ständigen Arbeitszykluses zweimal. Zwi-
schen den Pumpstufen befinden sich Zwi- Abb. 2.27
schenscheiben mit Überströmkanälen, die Verdichtung einer Klauenpumpe ohne innere Verdichtung
EIN 1 mbar AUS
von der Auspuffseite der oberen Stufe zur (»isochore Verdichtung«)
Stufe 1
3 mbar Ansaugseite der nächsten Pumpstufe ge-
führt werden, so daß alle Eingangs- bzw.
Ausgangsseiten senkrecht übereinander an- 1) Pumpen mit innerer Verdichtung,
EIN 3 mbar AUS
15 mbar Stufe 2
geordnet sind (Abb. 2.24). Während in einer mehrstufig für die Halbleiterindustrie
Wälzkolbenpumpe das einströmende Gas (DRYVAC-Reihe) und
EIN 15 mbar AUS
150 mbar Stufe 3
mit konstantem Volumen durch die Pumpe
2) Pumpen ohne innere Verdichtung,
gefördert wird und die Verdichtung erst in
EIN 150 mbar AUS Stufe 3 zweistufig für die Chemie (ALL·ex).
1000 mbar der Vorvakuumleitung erfolgt (vgl. Ab-
schnitt 2.1.3.1), verdichtet die Klauenpum-
Abb. 2.26 und 2.27 sollen den Unterschied
pe bereits innerhalb der Arbeitskammer und
zwar so lange bis ein Rotor den Auspuff- im Konzept veranschaulichen. Dargestellt
schlitz freigibt. Die Abb.2.25 zeigt die durch- ist der Verlauf des Druckes als Funktion des
schnittlichen Druckverhältnisse in den ein- Schöpfraumvolumens im pV-Diagramm.
zelnen Pumpstufen einer DRYVAC bei Abb. 2.26 zeigt den (polytropen) Verdich-
Abb. 2.25 einem Ansaugdruck von 1 mbar. Um den tungsverlauf in Pumpen mit innerer Ver-
Druckverhältnisse in den Pumpstufen 1 bis 4 sehr verschiedenen Anforderungen der An- dichtung. Der Druckanstieg erfolgt bis zum
wender gerecht zu werden, baut Leybold Öffnungspunkt des Auspuffschlitzes. Ist zu
neut in den sich bildenden Ansaugraum (3) zwei unterschiedliche Klauenpumpenreihen, diesem Zeitpunkt der Auspuffgegendruck
ein (Stellung b). Einströmen und Ausstoßen die sich wesentlich in der Art des Verdich- noch nicht erreicht, erfolgt aufgrund der
des Gases erfolgt in zwei Halbperioden. tungsvorganges unterscheiden: vorliegenden Druckdifferenz eine schlag-

30
Grundlagen 20.06.2001 11:58 Uhr Seite 31

Vakuumerzeugung

artige Belüftung des Verdichtungsraumes


durch heißes Auspuffgas. Bei weiterer Ver- Gehäuse- Ansaug-
Absaugung leitung
kleinerung des Volumens wird das dann Gehäuse- Ansaug-
Absaugung leitung
unter Auspuffdruck stehende Gas aus- Nur 100 P

geschoben. Die bei der Verdichtung ver-


Kühlwasser
richtete Kompressionsarbeit ist als Fläche Kühlwasser
unter der pV-Kurve 1-2-3-4 dargestellt.
Diese Kompessionsarbeit wird nahezu voll-
ständig in Wärme umgesetzt. In trocken-
verdichtenden Vakuumpumpen kann diese
Wärme aufgrund der geringen Gasdichte
Auspuff-
nur schlecht an die gekühlten Gehäuse- leitung Auspuff-
leitung
wände abgegeben werden, was zu hohen
Gastemperaturen innerhalb der Pumpe Inertgas

führt. Erfahrungen mit Klauenvakuumpum-


pen zeigen, daß die höchsten Temperaturen
an den Rotoren auftreten.
Abb. 2.27 zeigt das Prinzip der isochoren
Abb. 2.29a Abb. 2.29b
Verdichtung im pV-Diagramm. Die Verdich- Funktionsschema der DRYVAC B Funktionsschema der DRYVAC P
tung erfolgt hier nicht durch Verkleinerung
des Schöpfraumvolumens, sondern nach Gehäuse- Ansaug-
Absaugung leitung
Kundenseitig
Beendigung des Ansaugvorganges durch
Belüftung mit Kaltgas, das von außen zu- TSH Thermoschalter
geführt wird. Es handelt sich dabei um eine
PSL Druckschalter
ähnliche Verfahrensweise wie beim Einlas-
Nur 501 S
sen von Gasballast-Gas bei Öffnen des Gas- Kühlwasser
PSH Druckschalter

ballastventils nach der Beendigung der An- FSL Durchflußschalter


saugphase. Aus dem Diagramm wird deut-
MPS Motorschutzschalter
lich, daß bei einer isochoren Verdichtung Druckluft

eine höhere Kompressionsarbeit verrichtet PT 100 Temperatur-Meßfühler


werden muß, aber die Belüftung erfolgt
Für DRYVAC mit LIMS
nicht durch heißes Auspuffgas sondern Auspuff-
leitung
durch Kaltgas. Diese direkte Gaskühlung CS Stromsensor
Inertgas
führt zu deutlich erniedrigten Rotortem- EPS Auspuffdruck-Sensor
peraturen. Pumpen dieser Bauart werden
als ALL·ex im Abschnitt 2.1.3.2.2 bespro-
chen. Abb. 2.29c Abb. 2.30
Funktionsschema der DRYVAC S Legende zu den Abbildungen 2.29a – 2.29c

2.1.3.2.1 Klauenpumpen mit innerer


Verdichtung für die Halbleiter- sind PFPE-fettgeschmiert. Zum Schutz der c) als Systemversion mit integrierter Selbst-
industrie ( »Dryvac-Reihe« ) Lager und Wellendichtringe vor aggressi- überwachung: DRYVAC 50 S und 100 S
ven Stoffen ist eine Sperrgaseinrichtung d) als Systemversion mit integrierter
vorgesehen. Eine regulierbare Wasserküh- Selbstüberwachung mit vergrößertem
Aufbau der DRYVAC-Pumpen lung ermöglicht die Prozeßführung beim
Infolge der in den einzelnen Pumpstufen Saugvermögen im unteren Druckbereich:
Durchfluten der Pumpe über die Gehäuse- DRYVAC 251 S und 501 S (Abb. 2.29c)
geleisteten Kompressionsarbeit benötigen temperatur in weiten Grenzen zu beeinflus-
mehrstufige Klauenpumpen zur Abfuhr der sen. Der 4-stufige Aufbau steht in mehre- Der mit der DRYVAC 251 S bzw. 501 S er-
Kompressionswärme eine Wasserkühlung ren Saugvermögens- und Ausrüstungs- zielbare Enddruck wird gegenüber den Ver-
für die vier Stufen. Während der Förder- abstufungen von 25, 50 und 100 m3/h als sionen ohne intergrierte Wälzkolbenpum-
raum der Pumpe von Dicht- und Schmier- DRYVAC-Reihe zur Verfügung: pe um etwa eine Zehnerpotenz von etwa
mitteln frei ist, werden das Getriebe und die 2 · 10–2 mbar auf 3 · 10–3 mbar abgesenkt
unteren Lager der Pumpenwelle mit einem a) als Basisversion für nicht aggressive, und die erzielbare Saugleistung deutlich er-
perfluorierten Polyether (PFPE) geschmiert. saubere Prozesse werden angeboten: höht. Natürlich können auch auf die übri-
Der Getriebekasten wird vom Förderraum DRYVAC 25 B, 50 B und 100 B (Abb. gen DRYVAC-Modelle LEYBOLD-RUVAC
durch Kolbenringe und einem Radial-Wel- 2.29a) Pumpen direkt aufgeflanscht werden (in
lendichtring praktisch hermetisch abge- b) als Version für Halbleiterprozesse: Halbleiterprozessen meist ebenfalls mit
trennt. Die Lager in der oberen Endscheibe DRYVAC 25 P, 50 P und 100 P (Abb. 2.29b) PFPE-Ölfüllung der Getrieberäume).

31
Grundlagen 20.06.2001 11:58 Uhr Seite 32

Vakuumerzeugung

1 Teilchengröße

Grenzgeschwindigkeit
2

Druck

Abb. 2.31
Sinkgeschwindigkeit in Abhängigkeit vom Druck p.
Parameter: Teilchengröße
3
Stufe 2 Stufe 3 Stufe 4
2500 mbar·`/s 8300 mbar·`/s 20000 mbar·`/s

Gasgeschwindigkeit

Durchfluß mbar·`/s

Durchflußquerschnitt 6,5 cm2, konstant


1 Ansaugstutzen, 2 Bedienungspult / Betriebselektronik, 3 Hauptschalter

Abb. 2.28
Druck
DRYVAC-Pumpe
Abb. 2.32
Die Pumpen der DRYVAC-Familie, der klas- liche Strömungsgeschwindigkeit des Gases Mittlere Gasgeschwindigkeit vg während der Kompression
sischen trockenverdichtenden Klauenvaku- während der Kompressionsphase wird ohne Spülgas (links) und mit Spülgas (rechts) in den
umpumpen, werden bevorzugt in der Halb- durch folgende Gleichung wiedergegeben: Stufen 2, 3 u. 4
leiterindustrie eingesetzt, wobei eine Reihe q pV mbar · `· s −1
von besonderen Ansprüchen an die Funk- v = · = (2.22) einströmende Spülgasmenge auf die jewei-
Gas p · A mbar · cm2 ligen Druckverhältnisse in den einzelnen
tion erfüllt sein muß: Auch in Halbleiterpro-
zessen ist, wie bei vielen anderen vakuum- 10 · q pV m Pumpstufen abgestimmt (siehe rechts oben
= · in Abb. 2.32). Durch diese Maßnahme ist
technischen Applikationen, die Bildung von p·A s
Festkörperteilchen und Stäuben während es möglich, die Gasgeschwindigkeit hoch
des Prozesses und/oder im Laufe der Kom- qpV = Gasmengendurchfluß, p = Druck, A = Fläche genug zu halten und durch die ganze
pression der zu fördernden Stoffe auf At- Pumpe eine sogenannte pneumatische För-
mosphärendruck innerhalb der Pumpe nicht Man sieht, daß mit steigendem Druck die derung aufrecht zu erhalten. Durch die Art
zu vermeiden. Bei Vakuumpumpen die nach Stömungsgeschwindigkeit des geförder- der Gasführung innerhalb der Pumpe, vom
dem Klauenprinzip arbeiten, besteht die ten Gases sich verlangsamt und größen- Saugstutzen über die jeweiligen vier Pump-
Möglichkeit mit Hilfe der sogenannten pneu- ordnungsmäßig gleich der Sinkgeschwin- stufen mit den dazugehörigen vier Zwi-
matischen Förderung die Teilchen durch die digkeit der Teilchen im Gasstrom wird (Abb. schenstufen bis zum Auspuff, kann der Ein-
Pumpe hindurchzutransportieren. Dadurch 2.32). Das heißt, die Gefahr der Abscheidung fluß des Spülgases auf den Enddruck auf
kann ein Abscheiden von Teilchen verbun- von Teilchen im Arbeitsraum der Pumpe ein Minimum reduziert werden. Testergeb-
den mit einem Aufwachsen von Schichten und die daraus resultierende Funktionsstö- nisse (Abb. 2.33) zeigen, daß der Einfluß
innerhalb der Pumpe und das mögliche rung wächst mit steigendem Druck. Parallel von Spülgas in der vierten Stufe auf den
Festlaufen der Klauenrotoren verhindert dazu wird mit zunehmender Kompression Enddruck erwartungsgemäß am geringsten
werden. Man hat darauf zu achten, daß die eine mögliche Partikelbildung aus der Gas- ist, da sich zwischen dieser und der Saug-
Strömungsgeschwindigkeit des Gasstro- phase heraus eintreten. Um die Größe die- seite die drei anderen Pumpstufen befinden.
mes durch die einzelnen Pumpstufen stets ser sich bildenden Partikel und damit auch Doch auch eine Spülgaszugabe über die
größer gehalten wird als die Sinkgeschwin- ihre Sinkgeschwindigkeit klein, und die zweite und dritte Stufe ist (Abb. 2.33) von
digkeit der im Gasstrom mitgerissenen Teil- Durchflußgeschwindigkeit des Gases groß vergleichsweise geringem Einfluß auf den
chen. Wie aus Abb. 2.31 zu entnehmen ist, zu halten, führt man der Pumpe eine zusätz- Enddruck, wie man auch aus dem Vergleich
hängt die Sinkgeschwindigkeit der Teilchen liche Gasmenge über die einzelnen Zwi- der Saugvermögenskurven in Abb. 2.34
stark von ihrer Größe ab. Die durchschnitt- schenscheiben zu (Spülgas). Dabei wird die entnehmen kann. Abschließend kann man

32
Grundlagen 20.06.2001 11:58 Uhr Seite 33

Vakuumerzeugung

sagen, daß bei den meisten CVD-Prozessen


mit der Bildung von Partikeln gerechnet
mbar werden muß. Setzt man trockenlaufende
Vakuumpumpen nach dem Klauenpumpen-
prinzip ein, ist zur Verhütung von Festkör-
Enddruck

perabscheidungen innerhalb der Pumpe die


dosierte Spülgaszugabe über die einzelnen
Zwischenscheiben die Methode der Wahl.
Bei Anwendung dieser Methode resultieren
mbar · `/s mehrere Effekte:
Spülgasstrom
O die Spülgaszugabe verdünnt das ge-
Abb. 2.33
Enddruck der DRYVAC 100S in Abhängigkeit vom Spülgasstrom in den Stufen 2 – 4 pumpte Stoffgemisch, partikelbildende
Reaktionen laufen nicht ab oder werden
zumindest verzögert
O Explosionsrisiken durch selbstentzünd-
liche Stoffe werden deutlich herabgesetzt
O gebildete Teilchen werden pneumatisch
durch die Pumpe transportiert
O Verluste an Saugvermögen und eine
Verschlechterung des Enddruckes kön-
Saugvermögen

nen durch eine spezielle Art der Gasfüh-


rung sehr klein gehalten werden.
Stufe 2 mbar · `/s
Stufe 3 mbar · `/s 2.1.3.2.2 Klauenpumpen ohne innere
Stufe 4 mbar · `/s Verdichtung für die Chemie
(»ALL·ex« )
Für die chemische Industrie ist beim Ein-
satz von Vakuumpumpen von Bedeutung,
Druck daß eine hohe Betriebssicherheit erreicht
wird, ohne daß Abfallstoffe wie kontami-
Abb. 2.34
Saugvermögen mit und ohne Spülgas niertes Altöl oder Abwasser entstehen. Ge-
lingt das, sind die Betriebskosten einer
solchen Vakuumpumpe bezüglich zu tref-
fender Umweltschutzmaßnahmen (z.B. Ab-
wasser- und Altölentsorgung) gering. Für
Motor Ansaugstutzen den Betrieb der einfach aufgebauten und
robusten LEYBOLD-Pumpe »ALL·ex« gibt
es weder eine Begrenzung der abzupum-

1. Stufe
fl penden Dampfmengenströme, noch eine
Einschränkung des Druckbereiches bei
Dauerbetrieb. Die »ALL·ex« kann im ge-
Klauen samten Druckbereich von 5 bis 1000 mbar
ohne Einschränkungen eingesetzt werden.
2. Stufe

Aufbau der ALL·ex-Pumpe:


Kupplung Gleitringdichtungen Ein Schema des zweistufigen Aufbaues der
ALL·ex zeigt Abb. 2.35. Die beiden senk-
recht angeordneten Stufen werden von
oben nach unten durchströmt, um die Aus-
Getriebe, komplett mit
Wellen und Lagerung
förderung von gebildeten Kondensaten und
von Spülflüssigkeiten zu erleichtern bzw.
überhaupt zu ermöglichen. Das Pumpenge-
häuse ist wassergekühlt und ermöglicht die
Kühlung der ersten Pumpenstufe. Eine
Abb. 2.35 gedichtete Verbindung zwischen Gasraum
Einfacher Aufbau der trocken laufenden Pumpe »ALL·ex« und Kühlkanal gibt es nicht, so daß das

33
Grundlagen 20.06.2001 11:58 Uhr Seite 34

Vakuumerzeugung

Eindringen von Kühlwasser in den Schöpf- Die Gesamtemission der Anlage wird durch abgepumpt werden können. Die »ALL·ex«
raum ausgeschlossen ist. Die druckstoß- die großen Kaltgasmengen nicht vergrößert, erfüllt damit die Anforderungen der che-
feste Ausführung des gesamten Aggregates da ein geschlossener Kühlkreislauf in Form mischen Industrie bezüglich des inneren Ex-
unterstreicht das Sicherheitskonzept im eines extern angeordneten Gaskühlers und plosionsschutzes voll. Eine gewisse Flüs-
Hinblick auf den inneren Explosionsschutz, Kondensators installiert ist (Abb.2.37). Das sigkeitsverträglichkeit macht die »ALL·ex«
dem auch durch die direkte Kühlung mit heiße Auspuffgas wird durch den Kühler ge- spülbar, wodurch z.B. Belagbildung inner-
Kaltgas besonderes Augenmerk geschenkt leitet und als Kaltgas für die Voreinlaßküh- halb der Pumpe vermieden bzw. bereits ge-
wurde (siehe auch Funktionsprinzip). Eine lung teilweise in die Pumpe zurückgeführt. bildete Beläge abgelöst werden können.
Besonderheit der »ALL·ex« besteht darin, Diese saugt sich dabei die zur Belüftung des Dabei werden Spülflüssigkeiten in der Regel
daß die beiden Wellen ausschließlich im Ge- Schöpfraumes notwendige Menge kalten nach Prozeßende (Batch-Betrieb) oder wäh-
triebe gelagert sind. Auf der Schöpfraum- Prozeßgases in den Verdichtungsbereich rend des Prozesses bei kurzem Ausblocken
seite sind die Wellen frei (fliegende Lage- zurück. Dieser Vorgang hat aber keinen Ein- der Pumpe zugegeben. Die »ALL·ex« kann
rung). Dieser einfache Aufbau ermöglicht fluß auf das Saugvermögen der »ALL·ex«, aus Stillständen heraus selbst dann in Be-
es, sowohl die Demontage als auch die Rei- weil der Ansaugvorgang bei Beginn der Be- trieb genommen werden, wenn Flüssigkeit
nigung beim Service des Trockenläufers lüftung bereits beendet ist. Die Ausführung den gesamten Schöpfraum füllt. Abb.2.39
ohne Spezialwerkzeug in kurzer Zeit vom des Kühlers als Kondensator ermöglicht zeigt die Saugvermögenskurve einer ALL·ex
Anwender selbst durchzuführen. eine einfache Lösemittelrückgewinnung. Die 250. Diese Pumpe hat ein Nennsaugver-
Um die Abdichtung vom Prozeßmedium direkte Gaskühlung, also die Belüftung des mögen von 250 m3/h und einen Enddruck
des Schöpfraumes zum Getrieberaum zu Schöpfraumes mit von außen zugeführtem von < 10 mbar. Bei 10 mbar hat sie noch
gewährleisten, ist die Wellenabdichtung als Kaltgas (anstelle von heißem Auspuffgas) immer ein Saugvermögen von 100 m3/h.
Gleitringdichtung ausgeführt, einem in der führt bei der »ALL·ex« zu so niedrigen Ro- Der Dauerarbeitsdruck der Pumpe kann bis
Chemie bewährten Dichtungskonzept. Die- tortemperaturen, daß Stoffgemische der 1000 mbar betragen; ihre Leistungsaufnah-
ses ist in der Lage, Flüssigkeiten gegen ExT3-Klasse in jedem Betriebspunkt sicher me ist 13,5 kW.
Flüssigkeiten abzudichten, wodurch die
Pumpe spülbar und unempfindlich gegen
gebildete Kondensate wird. Abb. 2.36 zeigt
den Lieferumfang der ALL·ex-Pumpe mit 1
Gaskühler und Vorlage. 3

Funktionsprinzip
Die isochore Verdichtung, die auch der Be-
grenzung der Verdichtungsendtemperatur,
besonders in der atmosphärenseitigen
Stufe, zur Sicherstellung des inneren Ex- 4
plosionsschutzes dient, erfolgt durch Belüf-
ten des Schöpfraumes mit Kaltgas aus ei-
nem geschlossenen Kühlgaskreislauf (Abb. 2
2.37). Abb. 2.38-1 verdeutlicht den Beginn 5
des Ansaugvorganges mit dem Öffnen des
Ansaugschlitzes durch die Steuerkante des
rechten Rotors. Das Prozeßgas strömt
dabei in den sich vergrößernden Ansaug-
raum. Das Ansaugen wird durch das
6
Druckgefälle bewirkt, das durch die Volu-
menvergrößerung des Schöpfraumes er-
zeugt wird. Das maximale Volumen des 7
Schöpfraumes ist nach etwa einer 3/4-Um-
drehung der Rotoren erreicht (Abb. 2.38-2).
Nach Ende des Ansaugvorganges gibt die
Steuerkante des linken Rotors den Kaltga-
seinlaß und gleichzeitig die Steuerkante des
rechten Rotors erneut den Ansaugschlitz
frei (Abb.2.38-3). In Abb. 2.38-4 beendet
die Steuerkante des linken Rotors das Aus-
fördern des mit Kaltgas auf 1000 mbar ver- 1 Motor, 3 Ansaugstutzen, 5 Auspuffkühler, 7 Kühlervorlage
2 Pumpe, 4 Auspuffstutzen, 6 Kühlwasseranschluß,
dichteten Gases; gleichzeitg beendet die
Steuerkante des rechten Rotors wieder Abb. 2.36
einen Ansaugvorgang. »ALL·ex«-Pumpe

34
Grundlagen 20.06.2001 11:58 Uhr Seite 35

Vakuumerzeugung

1000

m
3 . h-1
Kühlgas Saugvermögen
100

10
8
6
4
Auspuffgas
2

1 2 4 6 8
1 10 100 mbar 1000
Ansaugdruck

Abb. 2.37 Abb. 2.39


Kaltgaskreislauf der »ALL·ex« mit Kühler / Kondensator Saugvermögenskurve einer ALL·ex 250
auf der Auspuffseite

Vmax

Auspuffschlitz Ansaug-
Beginn Schöpfraum- schlitz
vergrößerung
1
Ansaugen
Kaltgaseinlaß Vmin
100 1000 Pmbar
(10) (100)

Vmax

Maximaler Schöpfraum
2
Ansaugen Ende
Vmin
100 1000 Pmbar
(10) (100)

Kaltgaseinlaß
Vmax

Beginn Schöpfraum-
verkleinerung
(ohne Verdichtung)
Druckerhöhung auf
3 1000 mbar nur durch
Kaltgaseinlaß
Vmin

Beginn Kaltgaseinlaß 100 1000 Pmbar


(10) (100)

Vmax

Ausfördern des Auspuffschlitz


Gemisches aus
angesaugtem Gas
4 und eingelassenem
Kaltgas
Kaltgaseinlaß Vmin
100 1000 Pmbar
(10) (100)

Abb. 2.38
Schematische Darstellung des Pumpprinzips einer ALL·ex Pumpe (Klauen-Vakuumpumpe ohne innere Verdichtung).

35
Grundlagen 20.06.2001 11:58 Uhr Seite 36

Vakuumerzeugung

2.1.4 Zubehör zu ölgedichteten Gehäusen und passenden Filtereinsätzen eigneten Adsorptionsmittel (LlNDE-Moleku-
Rotations-Verdrängerpumpen zur Verfügung, sondern auch Gewebe-Fein- larsieb 13X) gefüllt sind, in die Saugleitung
filter, die im Zentrierring des Kleinflansches ölgedichteter Vorpumpen eingebaut. Die
Während eines Vakuumprozesses können befestigt sind. Gegebenenfalls ist eine Quer- Wirkungsweise einer Adsorptionsfalle ist
in einem Vakuum-Behälter Substanzen an- schnittserweiterung mit KF-Übergangsstük- ähnlich der einer Adsorptionspumpe. Nähe-
fallen, die für Rotationspumpen schädlich ken zu empfehlen. res hierüber siehe in Abschnitt 2.1.8. Wer-
sind. den Feinvakuum-Adsorptionsfallen in Saug-
Öldampfabscheidung leitungen ölgedichteter Drehschieberpum-
Wasserdampfabscheidung Der mit ölgedichteten Drehkolbenpumpen pen im Dauerbetrieb eingesetzt, so emp-
Bei nassen Vakuumprozessen fällt Wasser- erreichbare Enddruck wird von Wasser- fiehlt es sich, zwei Adsorptionsfallen, jeweils
dampf an. Das kann dazu führen, daß sich dampf und Kohlenwasserstoffen aus dem durch Ventile getrennt, parallel einzubauen.
Wasser in der Ansaugleitung niederschlägt. Pumpenöl stark beeinflußt. Selbst bei zwei- Erfahrungsgemäß verliert das als Adsorpti-
Würde dieses Kondensat aber in den Saug- stufigen Drehschieberpumpen läßt sich eine onsmittel verwendete Zeolith nach etwa 10
stutzen der Pumpe gelangen, so kann dies geringe Rückströmung dieser Moleküle aus – 14 Tagen Dauerbetrieb stark an Adsorpti-
zu einer Verunreinigung des Pumpenöls dem Pumpeninneren in den Rezipienten onsvermögen. Um den Prozeß nicht unter-
führen. Die Pumpeigenschaften ölgedichte- nicht ganz vermeiden. Zur Erzeugung koh- brechen zu müssen, kann dann unmittelbar
ter Pumpen können auf diese Weise erheb- lenwasserstoffreier Hoch- und Ultrahoch- auf die andere, zwischenzeitlich regenerier-
lich beeinträchtigt werden. Andererseits vakua, z.B. mit Ionen-Zerstäuber- oder Turbo- te Adsorptionsfalle umgeschaltet werden.
kann auch der durch das Auspuffventil der Molekularpumpen, ist jedoch ein möglichst Beim Ausheizen der jeweils nicht in die
Pumpe ausgestoßene Wasserdampf in der ölfreies Vakuum auch auf der Vorvakuum- Saugleitung geschalteten Adsorptionsfalle
Auspuffleitung kondensieren. Das Konden- seite dieser Pumpen erforderlich. Um dies sollten die von der Oberfläche des Zeoliths
sat kann, sofern die Auspuffleitung nicht so zu erreichen, werden Feinvakuum-Adsorp- entweichenden Dämpfe von einer Hilfspum-
angeordnet ist, daß anfallende Kondensate tionsfallen (s. Abb. 2.40), die mit einem ge- pe abgepumpt werden. Ein Abpumpen
nach außen ablaufen können, auch von hier durch die in Betrieb befindliche Gasballast-
durch das Auspuffventil in das Pumpen- pumpe führt im allgemeinen zu einer Be-
innere gelangen. Bei Anfall von Wasser- deckung des Zeoliths in der anderen, nicht
dampf, aber auch bei Anfall anderer Dämp- beheizten Adsorptionsfalle und damit zu
fe, wird daher die Anbringung von Ab- einem vorzeitigen Nachlassen der Adsorp-
tionskapazität dieser Falle.
scheidern (Kondensatfallen) dringend emp-
fohlen. Wird keine Auspuffleitung an die
Verminderung des
Gasballastpumpe angeschlossen (z.B. bei
effektiven Saugvermögens
kleineren Drehschieberpumpen), so wird
Alle Filter, Abscheider, Kondensatoren und
die Anbringung von Auspuffiltern empfoh-
Ventile in der Ansaugleitung vermindern
len. Diese fangen den von der Pumpe aus-
das effektive Saugvermögen der Pumpe.
gestoßenen Ölnebel auf.
Auf Grund der katalogmäßig aufgeführten
Einige Pumpen besitzen leicht auswechsel- Leitwerte oder des Drosselungsfaktors
bare Filterpatronen, die nicht nur den Ölne- kann das wirksame Saugvermögen der
bel zurückhalten, sondern das Pumpenöl Pumpe errechnet werden. Näheres hierüber
laufend von Verunreinigungen säubern. So- siehe Abschnitt 1.5.2
fern der Wasserdampfanfall höher ist als
die katalogmäßig angegebene Wasser-
dampfverträglichkeit der Pumpe, sollte 2.1.5 Kondensatoren
stets ein Kondensator zwischen Rezipient
und Pumpe geschaltet werden. (Näheres Zum Abpumpen größerer Mengen von
siehe Abschnitt 2.1.5). Wasserdampf ist der Kondensator die wirt-
schaftlichste Pumpe. Der Kondensator wird
Staubabscheidung in der Regel mit Wasser solcher Tempera-
Feste Verunreinigungen, wie Staub- und tur gekühlt, daß die Kondensator-Tempera-
Sandkörner, erhöhen den Verschleiß der tur genügend tief unter dem Taupunkt des
Drehkolben und der Oberflächen im Innern Wasserdampfes liegt, um eine wirtschaft-
des Pumpengehäuses erheblich. Sofern die liche Kondensations- oder Pumpwirkung
Gefahr besteht, daß derartige Verunrei- zu gewährleisten. Zur Kühlung werden aber
nigungen in die Pumpe gelangen könnten,
1
2
Gehäuse,
Siebkorb,
6 Oberteil,
7 Heiz- oder Kühlmediumbehälter,
auch Mittel wie z.B. Sole und Kältemittel
sollte ein Staubabscheider oder Staubfil- 3 Molekularsieb (Füllung), 8 Pumpenseitiger Anschluß mit (NH3, Frigen® ) verwendet.
4 Dichrungsflansche, Kleinflansch
ter in die Ansaugleitung der Pumpe einge- 5 Ansaugstutzen mit Kleinflansch, Beim Abpumpen von Wasserdampf im in-
baut werden. Hier stehen heute nicht nur Abb. 2.40 dustriellen Maßstab fällt immer auch eine
die herkömmlichen Filter mit relativ großen Schnitt durch eine Feinvakuum-Adsorptionsfalle gewisse Menge Luft an, die entweder im

36
Grundlagen 20.06.2001 11:58 Uhr Seite 37

Vakuumerzeugung

stung nicht erreichen. Siehe hierzu auch die


Ausführungen in Abschnitt 2.2.3 über das
gleichzeitige Abpumpen von Gasen und
Dämpfen.
b) Der Wasserdampfdruck am Kondensa-
tor-Ausgang, d. h. also an der Saugseite der
Gasballastpumpe, sollte, sofern nicht die im
Abschnitt 2.2.3 näher beschriebene Per-
manent-Gasmenge gleichzeitig abgepumpt
1 Kondensatoreingang, 2 Kondensatorausgang, 3 siehe Text wird, nicht höher sein als die katalogmäßig
Abb. 2.41 angegebene Wasserdampfverträglichkeit
Kondensator I mit nachgeschalteter Gasballastpumpe II der betreffenden Gasballastpumpe. Ist, was
zum Abpumpen großer Wasserdampfmengen im Grobva- sich in der Praxis nicht immer vermeiden Abb. 2.42
kuum Bereich III – einstellbare Drosselstelle Kondensationsleistung des Kondensators (Kondensations-
läßt, am Kondensator-Ausgang ein höherer
fläche 1 m 2) in Abhängigkeit vom Ansaugdruck pD1 des
Wasserdampfpartialdruck zu erwarten, so Wasserdampfes. Kurve a Kühlwassertemperatur 12°C;
Dampf enthalten ist oder von Undichtheiten baut man zweckmäßigerweise zwischen Kurve b: Temperatur 25°C, Verbrauch in beiden Fällen
der Anlage herrührt. (Die folgenden, für Luft Kondensator-Ausgang und Saugstutzen der 1 m 3/h bei 3 bar Überdruck
und Wasserdampf angestellten Betrachtun- Gasballastpumpe eine Drosselstelle ein. Der
gen gelten in sinngemäßer Übertragung all- Leitwert dieser Drosselstelle sollte ver- Luftstau wird durch die (eventuell gedros-
gemein auch für andere Dämpfe als Was- änderlich und so bemessen sein (siehe Abs. selte) Gasballastpumpe im Gleichgewicht
ser.) Dem Kondensator muß daher eine 1.5.2), daß bei voller Drosselung der Druck gerade so viel abgepumpt, wie vom Ein-
Gasballastpumpe nachgeschaltet werden im Ansaugstutzen der Gasballastpumpe gang (1) durch den Kondensator hin-
(siehe Abb. 2.41); er arbeitet also – in Ana- nicht höher werden kann als die Wasser- zuströmt.
logie zur Wälzkolbenpumpe – stets in einer dampfverträglichkeit. Auch die Verwendung
Pumpenkombination. Die Gasballastpumpe Auf Gleichung (2.23a) bauen sich alle Be-
anderer Kühlmittel oder eine Erniedrigung rechnungen auf, für die jedoch Angaben
hat die Aufgabe, den Luftanteil, der oft nur der Kühlwassertemperatur vermag in vielen
einen geringen Teil der anfallenden Wasser- über die Menge der abzusaugenden Dämp-
Fällen den Wasserdampf-Druck unter den fe und Permanentgase, die Zusammenset-
dampfmenge ausmacht, abzusaugen, ohne erforderlichen Wert zu senken.
gleichzeitig viel Dampf abzupumpen. Es ist zung und den Druck zur Verfügung stehen
daher verständlich, daß die in der Kombina- Zur rechnerischen Behandlung der Kom- sollten. Daraus kann die Größe des Kon-
tion Kondensator-Gasballastpumpe im sta- bination Kondensator-Gasballastpumpe ge- densators und der Gasballastpumpe be-
tionären Zustand sich einstellenden Strö- nügt es vorauszusetzen, daß im Kondensa- rechnet werden, wobei diese beiden Grö-
mungsverhältnisse, die sich im Gebiete des tor selbst kein Druckverlust auftritt, daß ßen allerdings nicht unabhängig vonein-
Grobvakuums abspielen, nicht ohne wei- also der Totaldruck am Kondensator-Ein- ander sind. Das Ergebnis einer solchen
teres zu übersehen sind. Die einfache An- gang ptot 1 gleich ist dem Totaldruck am Berechnung ist in Abb. 2.42 am Beispiel
wendung der Kontinuitätsgleichung ist nicht Kondensator-Ausgang ptot 2 : eines Kondensators mit einer Kondensati-
ausreichend, da man es nicht mehr mit ei- onsfläche von 1 m2 dargestellt, dessen
ptot 1 = ptot 2 (2.23) Kondensationsleistung bei einem Ansaug-
nem quellen- oder senkenfreien Strömungs-
feld zu tun hat (der Kondensator ist auf druck pD1 von 40 mbar reinem Was-
Der Totaldruck setzt sich zusammen aus serdampf 15 kg/h beträgt, wenn der Anteil
Grund der Kondensationsvorgänge eine
den Partialdruck-Anteilen der Luft pL und der Permanentgase sehr klein ist und
Senke). Hierauf wird an dieser Stelle beson-
des Wasserdampfes pD : stündlich 1 m3 Kühlwasser, bei einem Lei-
ders hingewiesen. In praktischen Fällen soll-
te ein eventuelles »Nichtfunktionieren« der tungsdruck von 3 bar Überdruck und einer
pL1 + pD1 = pL2 + pD2 (2.23a) Temperatur von 12°C verbraucht wird. Das
Kombination Kondensator-Gasballastpum-
pe nicht gleich einem Versagen des Kon- erforderliche Saugvermögen der Gasbal-
Da infolge der Wirksamkeit des Kondensa- lastpumpe richtet sich nach den vorlie-
densators zugeschrieben werden. tors der Dampfdruck pD2 am Ausgang des genden Betriebsverhältnissen, insbesonde-
Bei der Dimensionierung der Kombination Kondensators stets kleiner sein muß als am re nach der Größe des Kondensators. Je
Kondensator-Gasballastpumpe ist folgen- Eingang, muß zur Erfüllung von Gleichung nach der Wirksamkeit des Kondensators
des zu berücksichtigen: (2.23) der Luftpartialdruck pL2 am Ausgang liegt der Wasserdampfpartialdruck pD2
a) Der Anteil der gleichzeitig mit dem Was- größer sein als am Eingang pL1 (siehe Abb. mehr oder weniger über dem Sättigungs-
serdampf abzupumpenden Permanentgase 2.43), auch wenn keine Drosselstelle vor- druck ps, welcher der Temperatur des Kühl-
(Luft) sollte nicht zu hoch sein. Bei Luft- handen ist. mittels entspricht. (Bei Kühlung mit Was-
partialdrücken, die mehr als ca. 5 % des Der höhere Luftpartialdruck pL2 am Kon- ser von 12 °C würde also (gem. Tabelle
Totaldruckes am Ausgang des Kondensa- densator-Ausgang wird durch einen Luft- XIII, Abschnitt 9) pS = 15 mbar sein. Dem-
tors ausmachen, entsteht ein merklicher stau erzeugt, der so lange am Ausgang vor- gemäß ändert sich auch der am Kondensa-
Luftstau vor den Kondensationsflächen. handen ist, bis sich ein stationäres Strö- torausgang herrschende Luftpartialdruck
Der Kondensator kann dann seine volle Lei- mungsgleichgewicht einstellt. Von diesem pL 2. Bei einem großen Kondensator ist

37
Grundlagen 20.06.2001 11:58 Uhr Seite 38

Vakuumerzeugung

pD2 ≈ pS, der Luftpartialdruck pL,2 also groß


und damit – wegen pL ⋅ V = konst. – das an-
fallende Luftvolumen klein. Es wird also nur
eine relativ kleine Gasballastpumpe benö-
tigt. Ist der Kondensator aber klein, tritt der
umgekehrte Fall ein: pD2 > ps ⋅ pL2 ist klein,
daher wird eine relativ große Gasballast-
pumpe benötigt. In praktisch vorkommen-
den Pumpprozessen mit Kondensatoren
wird die Übersicht dadurch erschwert, daß
während eines Pumpprozesses die anfal-
lende Luftmenge keineswegs konstant zu
sein braucht, sondern in mehr oder weni-
ger weiten Grenzen schwanken kann. Es ist
also erforderlich, daß das am Kondensator
wirksame effektive Saugvermögen der Gas-
ballastpumpe in gewissen Grenzen regu-
liert werden kann.
In der Praxis sind folgende Maßnahmen
üblich: Es wird Abb. 2.43
Schematische Darstellung des Druckverlaufes im Kondensator. Die ausgezogenen Linien entsprechen den Verhältnissen in
a) eine Drosselstrecke zwischen Gasbal- einem Kondensator, in dem ein geringfügiger Druckabfall stattfindet (ptot 2 ( ptot 1), Die gestrichelten Linien gelten für einen
lastpumpe und Kondensator gelegt, die idealen Kondensator (ptot 2 ≈ ptot 1). pD: Partialdruck des Wasserdampfes, pL: Partialdruck der Luft
während der Grobevakuierung kurz-
geschlossen wird. Der Strömungswider- Ist die Anlaufzeit eines Prozesses kurz druck der Permanentgase im Kondensator
stand der Drosselstrecke muß so einstell- gegen den Prozeßablauf, so wird man den anzustreben. Selbst wenn der Wasser-
bar sein, daß das effektive Saugvermögen technisch einfachsten Weg der Grob- und dampfpartialdruck am Kondensator größer
der Pumpe auf den notwendigen Wert ver- der Haltepumpe gehen. Prozesse mit stark sein sollte als die Wasserdampfverträglich-
mindert werden kann. Dieser Wert kann veränderlichem Ablauf werden eine ver- keit der Gasballastpumpe, so ist selbst eine
nach den Gleichungen in Abschnitt 2.2.3 stellbare Drosselstrecke, nötigenfalls auch relativ kleine Gasballastpumpe im allgemei-
errechnet werden. einen regulierbaren Lufteinlaß erfordern. nen groß genug, um auch bei der dann er-
forderlichen Drosselung die anfallenden
b) neben der großen Pumpe wird zum An der Saugseite der Gasballastpumpe ist
Permanentgase noch abzupumpen.
Grobevakuieren eine Haltepumpe mit klei- immer ein Wasserdampfpartialdruck pD2
nem Saugvermögen aufgestellt, die ent- vorhanden. Dieser ist mindestens so groß Wichtiger Hinweis: Wird im Laufe des Pro-
sprechend der auftretenden minimalen wie der Sättigungsdampfdruck des Was- zesses der Sättigungsdampfdruck des Kon-
Luftmenge dimensioniert ist. Diese Halte- sers bei der Temperatur des Kühlmittels. densates im Kondensator (abhängig von
pumpe hat lediglich den Zweck, während Dieser ideale Fall ist praktisch nur mit der Kühlwassertemperatur) unterschritten,
des Prozesses den optimalen Betriebs- so muß der Kondensator ausgeblockt oder
einem sehr großen Kondensator zu ver-
druck aufrechtzuerhalten. zumindest die Kondensat-Sammelvorlage
wirklichen (siehe oben).
abgesperrt werden. Geschieht dies nicht,
c) die notwendige Luftmenge wird durch Im Hinblick auf die Praxis lassen sich aus so pumpt die Gasballastpumpe den zuvor
ein Dosierventil in die Saugleitung der dem Gesagten grundsätzliche Regeln für im Kondensator kondensierten Dampf hier-
Pumpe eingelassen. Diese zusätzliche Luft- die beiden folgenden Fälle herleiten: aus wieder ab.
menge wirkt wie ein vergrößerter Gasbal-
1. Abpumpen von Permanentgasen mit
last, der die Wasserdampfverträglichkeit der
Anteilen von Wasserdampf: Hier erfolgt die
Pumpe heraufsetzt. Diese Maßnahme hat 2.1.6 Treibmittelpumpen
Dimensionierung der Kombination Konden-
aber in den meisten Fällen zur Folge, daß
sator-Gasballastpumpe auf Grund der ab-
die Leistung des Kondensators verringert Grundsätzlich sind hier zu unterteilen:
zupumpenden Permanentgasmenge. Der
wird. Außerdem bedeutet die zusätzlich ein- Strahlpumpen wie Wasserstrahlpumpen
gelassene Luftmenge für die Gasballast- Kondensator hat lediglich die Aufgabe, den
(17 mbar < p < 1013 mbar) und Dampf-
pumpe einen zusätzlichen Energieaufwand Wasserdampfdruck vor dem Saugstutzen
strahlpumpen (10–3 mbar < p <10–1 mbar),
und (siehe hierzu Abschnitt 8.3.1.1) einen der Gasballastpumpe auf einen Wert unter-
sowie Diffusionspumpen (p < 10–3 mbar).
erhöhten Ölverbrauch. Da der Wirkungs- halb der Wasserdampfverträglichkeit her- Strahlpumpen werden vorwiegend zum Er-
grad des Kondensators bei zu großem Luft- abzusetzen. zeugen von Feinvakuum, Diffusionspum-
partialdruck im Kondensator verschlechtert 2. Abpumpen von Wasserdampf mit An- pen zum Erzeugen von Hoch- aber auch
wird, sollte der Lufteinlaß nicht vor, son- teilen von Permanentgasen: Hier ist, um von Ultrahochvakuum verwendet. Beide
dern, wenn überhaupt, nur hinter dem Kon- eine hohe Effektivität des Kondensators zu Pumpenarten arbeiten mit einem schnell
densator erfolgen. erreichen, ein möglichst kleiner Partial- strömenden dampfförmigen oder flüssigen

38
Grundlagen 20.06.2001 11:58 Uhr Seite 39

Vakuumerzeugung

Treibmittel (Wasserstrahl sowie Wasser- oder mehreren nachgeschalteten Stufen temperaturen von 30 °C vertragen, dage-
dampf, Öl- oder Quecksilberdampf). Die weiter komprimiert wird, bevor es von der gen müssen die Wände der Quecksilber-
Wirkungsweise aller Treibmittelpumpen ist Vorpumpe abgesaugt wird. Die Kompres- Diffusionspumpen auf 15 °C gekühlt wer-
im Grunde ähnlich: Die abzusaugenden sionsverhältnisse, die man mit Treibmittel- den. Um die Pumpe vor Schäden bei Kühl-
Gasteilchen gelangen aus dem Rezipienten pumpen erreichen kann, sind sehr hoch: wasserausfall zu bewahren, sollten
in den Treibmittel-Strahl, der nach Durch- Wenn man am Ansaugstutzen der Treib- entweder die Kühlwasserschlangen mit
tritt durch eine Düse expandiert. Die Teil- mittelpumpe einen Druck von 10–9 mbar Thermoschutzschalter versehen sein oder
chen des Treibmittelstrahles übertragen hat und ein Vorvakuum von 10–2 mbar, so ein Wasserströmungswächter in den Kühl-
durch Stöße Impulse in Pumprichtung auf wird das abgesaugte Gas um den Faktor wasserkreislauf eingebaut werden. Hier-
die Gasteilchen. Dadurch wird das abzu- 107 verdichtet! durch wird vermieden, daß das Treibmittel
pumpende Gas in einen Raum mit höhe- bei unzulässig hoher Erwärmung der
Grundsätzlich ist der Enddruck von Treib-
rem Druck transportiert. Pumpwände dort wieder verdampft.
mittelpumpen durch den Wert des Treib-
In den Treibmittelpumpen stellen sich mittelpartialdruckes bei Betriebstempera-
während des Betriebes entsprechend der tur der Pumpe begrenzt. Das versucht man 2.1.6.1 (Öl-)Diffusionspumpen
Treibmittelart und Temperatur sowie der durch Dampfsperren (Baffle) oder Kühlfal- Die Diffusionspumpen bestehen im we-
Düsenausführung entsprechende Dampf- len zu verbessern. Dies sind »Kondensato- sentlichen (siehe Abb.2.44 ) aus einem
drücke ein, die z.B. bei Öldiffusionspumpen ren« zwischen Treibmittelpumpe und Pumpenkörper (3) mit gekühlter Wand (4)
im Siederaum 1 mbar betragen können. Rezipient, so daß der im Rezipienten er- und einem drei- oder vierstufigen Düsen-
Damit der Dampf ausströmen kann, muß reichbare Enddruck dann durch den Treib- system (A – D). Das als Treibmittel dien-
der Vorvakuumdruck in der Pumpe hinrei- mittelpartialdruck bei Baffle-Temperarur be- ende Öl befindet sich im Siedegefäß (2) und
chend niedrig sein. Um dies zu gewährlei- grenzt wird. wird hier durch elektrische Heizung (1) ver-
sten, benötigen derartige Pumpen entspre- Im wesentlichen sind die Typen der Treib- dampft. Der Treibmitteldampf strömt durch
chende, meist mechanische Vorvakuum- mittelpumpen durch die Dichte des Treib- die Steigrohre und tritt mit Überschallge-
pumpen. In den Rezipienten kann der mittelstrahls beim Austritt aus der hochva- schwindigkeit aus einem ringförmigen Dü-
Dampfstrahl nicht gelangen, da er nach kuumseitigen Düse charakterisiert durch: sensystem (A – D) aus. Der Strahl verbrei-
dem Austritt aus der Düse an den gekühl- tert sich schirmförmig zur Wand hin, wo er
ten Außenwänden der Pumpe kondensiert 1. Niedrige Dampfstrahldichte:
Diffusionspumpen kondensiert wird und als Film wieder in den
wird.
Siederaum zurückläuft. Wegen dieser Aus-
Wolfgang Gaede hat als erster erkannt, daß Öl-Diffusionspumpen
breitung ist die Dampfdichte im Strahl ver-
Gase von verhältnismäßig niedrigem Druck (Typenreihen: LEYBODIFF, DI und DIP)
hältnismäßig gering. Die Diffusion der Luft
mit Hilfe eines Dampfstrahles von wesent- Quecksilber-Diffusionspumpen
oder der abzupumpenden Gase in den
lich höherem Druck abgepumpt werden 2. Hohe Dampfstrahldichte: Strahl geht so schnell vor sich, daß der
können, daß sich also die Gasmoleküle aus Dampfstrahlpumpen Strahl trotz seiner hohen Geschwindigkeit
einem Gebiet niedrigen Totaldruckes in ein Wasserdampf-Strahlpumpen nahezu vollständig mit Luft oder Gas
Gebiet hohen Totaldruckes bewegen. Die- Öldampf-Strahlpumpen durchsetzt wird. Diffusionspumpen haben
ser paradox erscheinende Tatbestand Quecksilberdampf-Strahlpumpen daher in einem weiten Druckbereich ein
kommt dadurch zustande, daß der Dampf- hohes Saugvermögen. Dieses ist im ge-
strahl zunächst völlig gasfrei ist, so daß die 3. Kombinierte
Öl-Diffusions-/Dampfstrahlpumpen samten Arbeitsbereich der Diffusionspum-
Gase aus einem Gebiet höheren Gasparti-
pe (≤ 10–3 mbar ) praktisch konstant, weil
aldruckes (dem Rezipienten) in ein Gebiet 4. Wasserstrahlpumpen
die Luft bei niedrigen Ansaugdrücken den
niedrigeren Gaspartialdruckes (den Dampf-
Strahl nicht beeinflussen kann, so daß sein
strahl) diffundieren. Diese Grundvorstel- Kühlung von Treibmittelpumpen Strömungsverlauf ungestört bleibt. Bei
lungen Gaedes hat Irving Langmuir (1915) Die Wärme, die zur Verdampfung des Treib- höheren Ansaugdrücken wird der Strahl in
zur Konstruktion der ersten Diffusions- mittels den Pumpen dauernd zugeführt
pumpe im heutigen Sinne benutzt. Die er- seinem Verlauf so geändert, daß das Saug-
wird, muß durch eine wirksame Kühlung vermögen abnimmt, bis es bei etwa 10–1
sten Diffusionspumpen waren Quecksil- wieder abgeführt werden. Die zum Ab-
berdiffusionspumpen aus Glas, später aus mbar unmeßbar klein wird.
pumpen der Gase und Dämpfe benötigte
Metall. In den 60er Jahren wurde Queck- Energie ist dagegen minimal. Die Außen- Auch der vorvakuumseitige Druck beein-
silber als Treibmittel fast vollständig durch wände der Diffusionspumpen werden meist flußt den Dampfstrahl. Den Vorvakuum-
Öl verdrängt. Um möglichst hohe Dampf- mit Wasser gekühlt. Bei Öl-Diffusionspum- druck, bei dem das Saugvermögen der
geschwindigkeiten zu erreichen, ließ er den pen können kleinere Pumpen auch mit Pumpe erheblich abnimmt, oder ganz ver-
Dampfstrahl aus einer Düse mit Über- einem Luftstrom gekühlt werden, da bei Öl- schwindet, nennt man Vorvakuumbestän-
schallgeschwindigkeit ausströmen. Der Diffusionspumpen eine niedrige Wand- digkeit. Die Vorvakuumpumpe ist so aus-
Treibmitteldampf, aus dem der Dampfstrahl temperatur nicht so entscheidend für den zuwählen (siehe 2.3.2), daß die anfallende
besteht, wird anschließend an der gekühl- Wirkungsgrad der Pumpe ist, wie dies bei Gasmenge abgepumpt wird, ohne daß die
ten Gehäusewand kondensiert, während Quecksilber-Diffusionspumpen der Fall war. Vorvakuumbeständigkeit erreicht oder
das geförderte Gas gewöhnlich in einer Öl-Diffusionspumpen können gut Wand- überschritten wird.

39
Grundlagen 20.06.2001 11:58 Uhr Seite 40

Vakuumerzeugung

te Temperaturverteilung in der Pumpe er-


reicht. Das kondensierte Treibmittel, das
als dünner Film die gekühlte Wand herun-
terläuft, wird unterhalb der unteren Diffu-
sionsstufe auf eine Temperatur von etwa
130 °C gebracht, wobei die leichtflüchtigen
Bestandteile abdampfen und von der Vor-
pumpe abgesaugt werden. Das in den Sie-
deraum zurückfließende und dort wieder
verdampfende Treibmittel besteht also nur
noch aus schwer flüchtigen Bestandteilen
des Pumpenöles.

Saugvermögen
Die Größe des spezifischen Saugvermö-
gens S einer Diffusionspumpe, d.h. des
Saugvermögens pro Flächeneinheit der
tatsächlichen Ansaugfläche, hängt von vie-
len Parametern ab, z.B. von der Lage und
den Abmessungen der Hochvakuumstufe,
von der Geschwindigkeit des Treibmittel-
dampfes und der _ mittleren Molekül-Ge-
schwindigkeit c des abzupumpenden Ga-
ses (siehe Gleichung 1.17 in Abschnitt 1.1).
Mit Hilfe der kinetischen Gastheorie be-
rechnet sich das theoretisch maximal er-
reichbare flächenbezogene Saugvermögen
für bei Zimmertemperatur abzupumpende
Luft zu Smax = 11,6 `⋅ s–1 ⋅ cm–2. Dies ist
der flächenbezogene Leitwert des als Blen-
de auffaßbaren Ansaugquerschnittes der
Pumpe (siehe Gleichung 1.30 in Abschnitt
1.5.3). Ganz allgemein haben Diffusions-
pumpen für leichtere Gase ein höheres
Saugvermögen als für schwerere.

H
1 Heizung, 5 HV-Flansch A
2 Siederaum, 6 Gasteilchen, B
Düsen Zur Charakterisierung der Effektivität einer
3 Pumpenkörper, 7 Dampfstrahl, C
4 Kühlrohre, 8 VV-Stutzen D Diffusionspumpe wurde der sogenannte
HO-Faktor definiert. Dieser ist das Verhält-
Abb. 2.44
Arbeitsweise einer Diffusionspumpe nis des wirklich erreichten spezifischen
Saugvermögens zum theoretisch maximal
Der erreichbare Enddruck ist von der Bau- Verunreinigungen können aus dem Rezipi- möglichen spezifischen Saugvermögen. Er
art der Pumpen, dem Dampfdruck des ver- enten in die Pumpe gelangen oder von erreicht bei den Diffusionspumpen von
wendeten Treibmittels, einer möglichst voll- vornherein in ihr enthalten sein. Diese Be- LEYBOLD optimale Werte (von 0,3 bei der
ständigen Kondensation des Treibmittels standteile des Treibmittels können den mit kleinsten Pumpe bis 0,55 bei den großen
und von der Sauberkeit des Rezipienten ab- einer Diffusionspumpe erreichbaren End- Pumpen).
hängig. Außerdem sollte eine Rückströ- druck erheblich verschlechtern, wenn sie
Die verschiedenen von LEYBOLD gefertig-
mung des Treibmitteldampfes in den Rezi- nicht vom Rezipienten ferngehalten wer-
pienten durch geeignete Dampfsperren den. Das Treibmittel muß daher von diesen ten Öl-Diffusionspumpen unterscheiden
oder Kühlfallen so weit wie möglich unter- Verunreinigungen und von absorbierten sich durch die folgenden konstruktiven
drückt werden (siehe hierzu 2.1.6.4). Gasen befreit werden. Merkmale (siehe Abb. 2.45 a und b).
Diese Aufgabe hat die Entgasungsstrecke,
Entgasung des Pumpenöles die das Öl bei seinem Kreislauf in der a) Typenreihe LEYBODIFF
Bei Öl-Diffusionspumpen ist es erforder- Pumpe kurz vor dem Wiedereintritt in das Diese Pumpenreihe besitzt eine Fraktio-
lich, das Treibmittel vor dessen Rückkehr in Siedegefäß durchströmt. In der Entga- nierungseinrichtung. Diese dient dazu, die
das Siedegefäß zu entgasen. Beim Erhitzen sungsstrecke entweichen die meist leicht verschiedenen Bestandteile des Treibmit-
des Pumpenöles können nämlich in der flüchtigen Verunreinigungen. Die Entga- tels so zu selektieren, daß die Hochvaku-
Pumpe Zersetzungsprodukte auftreten. sung wird durch die sorgfältig abgestimm- umdüse nur mit der Fraktion des Treibmit-

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Grundlagen 20.06.2001 11:58 Uhr Seite 41

Vakuumerzeugung

1 Treibdüse (Lavaldüse), 3 Mischraum


2 Staudüse (Venturidüse), 4 Anschluß zum Rezipienten

Abb. 2.46
Wirkungsweise einer Dampfstrahlstufe

struktion der Heizvorrichtung ist das Aus-


tauschen der Heizpatronen auch bei heißer
Pumpe möglich.

2.1.6.2 (Öl-)Dampfstrahlpumpen
Der Pumpmechanismus einer Dampf-
1 strahlstufe sei anhand von Abb. 2.46 erläu-
2 tert. Der Treibmitteldampf tritt unter hohem
Druck p1 in die als Lavaldüse ausgebildete
Treibdüse (1) ein. Dort wird er auf den An-
saugdruck p2 expandiert. Mit dieser Ex-
pansion ist dem Energiesatz zufolge eine
Erhöhung der Geschwindigkeit verbunden.
a) LEYBODIFF-Pumpe mit Fraktionierungseinrichtung b) DI-Pumpe mit Seitenansicht der Innenheizung Der so beschleunigte Treibmitteldampf-
1 Zentrum 1 Thermostatfühler
2 Mittelteil, 2 Heizpatrone strahl durchströmt jetzt den Mischraum
3 Außenteil des Siederaumes (Fraktionierung)
(3), der mit dem zu evakuierenden Rezipi-
Abb. 2.45 enten (4) verbunden ist. Aus dem Rezipi-
Schematische Darstellung der wesentlichen Unterschiede bei Öldiffusions-Pumpen von Leybold enten kommende Gasteilchen werden hier
vom Dampfstrahl mitgerissen. Das Ge-
misch Treibmitteldampf-Gas tritt nun in die
tels mit dem niedrigsten Dampfdruck be- b) Typenreihe Dl
als Venturi-Düse ausgebildete Staudüse (2)
trieben wird. Dadurch wird ein besonders Bei diesen Pumpen wird eine extrem
ein. Hier wird das Dampf-Gas-Gemisch
niedriger Enddruck erreicht. Zur Fraktio- stoßfreie Verdampfung des Treibmittels
bei gleichzeitiger Abnahme der Strahlge-
nierung tritt das entgaste Öl zunächst in und damit ein zeitlich sehr konstantes
schwindigkeit auf den Vorvakuumdruck p3
den äußersten Teil des Siederaums ein, der Saugvermögen durch eine außergewöhnli-
komprimiert. An den gekühlten Pumpen-
mit der vorvakuumseitigen Düse in Ver- che Konstruktion der Heizung erzielt. Die
wänden wird der Treibmitteldampf dann
bindung steht. Hier verdampft ein Teil der Heizung ist als Innenheizung ausgebildet kondensiert, während das mitgeführte Gas
leichter flüchtigen Bestandteile. Das auf und besteht aus Heizpatronen, die in Rohre von der Vorvakuumpumpe abgesaugt wird.
diese Weise schon gereinigte Treibmittel mit aufgelöteten Wärmeleitblechen einge- Öl-Dampfstrahlpumpen eignen sich her-
gelangt dann in den mittleren Teil des Sie- führt sind. Die aus Edelstahl gefertigten vorragend zum Absaugen größerer Gas-
deraumes, der mit den mittleren Düsen in Rohre sind waagerecht in den Pumpen- oder Dampfmengen im Druckbereich zwi-
Verbindung steht. Hier verdampfen wie- körper eingeschweißt und liegen über dem schen 1 mbar und 10–3 mbar. Die höhere
derum die leichter flüchtigen Bestandteile Ölspiegel. Die Wärmeleitbleche aus Kupfer Dampfstrahldichte in den Düsen bewirkt,
in größeren Mengen als die schwerer flüch- tauchen nur teilweise in das Treibmittel ein. daß die Diffusion des abzupumpenden
tigen. Wenn das Öl in das Zentrum des Sie- Der in das Treibmittel hineinragende Teil Gases in den Dampfstrahl viel langsamer
deraumes eintritt, ist es durch die vorher- der Wärmeleitbleche ist so bemessen, daß vor sich geht als bei Diffusionspumpen, so
gegangene fraktionierte Destillation von eine intensive, jedoch siedeverzugsfreie daß nur seine äußersten Schichten mit Gas
den leichter flüchtigen Anteilen befreit und Verdampfung des Treibmittels erreicht durchsetzt sind. Außerdem ist die Fläche, in
es gelangen nur die Ölbestandteile mit dem wird. Durch die über dem Ölspiegel ste- die eine Diffusion erfolgt, durch die beson-
niedrigen Dampfdruck zur Hochvakuum- henden Teile der Wärmeleitbleche wird dem dere Konstruktion der Düsen viel kleiner.
düse. Treibdampf noch zusätzlich Energie zuge- Das spezifische Saugvermögen der Dampf-
führt. Auf Grund der besonderen Kon- strahlpumpen ist geringer als das der Dif-

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Grundlagen 20.06.2001 11:59 Uhr Seite 42

Vakuumerzeugung

Saugvermögen [` · s–1]
Ansaugdruck pa

Abb. 2.48
Saugvermögen verschiedener Treibmittelpumpen in Abhän-
gigkeit vom Ansaugdruck bezogen auf Nennsaugvermögen
von 1000 `/s.
Ende des Arbeitsbereiches von Öldampfstrahlpumpen (A)
und von Öldiffusionspumpen (B)

Saugleistung [mbar · ` · s–1]


Saugleistung [Torr · ` · s–1]

1 HV-Anschluß, 2 Diffusionsstufen, 3 Dampfstrahlstufen

Abb. 2.47
Schema eine Öldampfstrahl-(Booster-)Pumpe Ansaugdruck pa

fusionspumpen. Da das abgesaugte Gas in satz bei hohen Drücken (siehe Abb. 2.49) Abb. 2.49
der Umgebung des Strahles unter dem we- und die hohe Vorvakuumbeständigkeit. Die Saugvermögen verschiedener Treibmittelpumpen (abgeleitet
sentlich höheren Ansaugdruck den Verlauf Unempfindlichkeit gegen Staub und im aus Abb. 2.48)
der Stromlinien entscheidend beeinflußt, Treibmittel lösliche Dämpfe wird durch ein oder zur Erzielung eines bestimmten End-
ergeben sich nur für einen bestimmten An- geräumiges Siedegefäß und einen großen vakuums verwendet werden soll. Der
saugdruck optimale Verhältnisse. Daher Treibmittelvorrat erreicht. Es können große Dampfdruck von Ölen, die in Treibmittel-
bleibt das Saugvermögen nach niedrigen Mengen an Verunreinigungen im Siedege- dampfpumpen verwendet werden, ist ge-
Ansaugdrücken hin nicht konstant. Infolge fäß ohne Verschlechterung der Pumpei- ringer als der des Quecksilbers. Organische
der hohen Geschwindigkeit und Dichte des genschaften abgelagert werden. Treibmittel sind allerdings im Betrieb emp-
Dampfstrahles können Öldampf-Strahlpum- findlicher als Quecksilber, da sich die Öle
pen die abgepumpten Gase gegen einen re- bei längeren Lufteinbrüchen zersetzen kön-
lativ hohen Vorvakuumdruck fördern. Die 2.1.6.3 Treibmittel
nen. Silikonöle halten jedoch auch länger
Vorvakuumbeständigkeit liegt bei einigen a) Öle andauernde und häufige Lufteinbrüche bei
Millibar. Die heute in der Vakuumtechnik Die für Öl-Diffusionspumpen geeigneten laufender Pumpe aus.
verwendeten Öldampf-Strahlpumpen ha- Treibmittel sind Mineralöle, Silikonöle und
ben im allgemeinen eine oder mehrere Dif- Öle auf der Basis von Polyphenyläthern. An Mineralöle stehen als DIFFELEN leicht,
fusionsstufen und mehrere nachgeschalte- solche Öle sind mit Rücksicht auf ihre va- normal und ultra zur Verfügung. Die ver-
te Dampfstrahlstufen. Das Düsensystem kuumtechnische Anwendung eine Reihe schiedenen Sorten von DIFFELEN sind eng
einer Öldampf-Strahlpumpe (auch als Boo- strenger Forderungen zu stellen, deren Er- eingestellte Fraktionen eines hochwertigen
sterpumpe bezeichnet) besteht aus zwei füllung nur von Spezialölen gewährleistet Ausgangsproduktes (siehe Katalog).
Diffusionsstufen und aus zwei hintereinan- wird. Die Eigenschaften dieser Öle, wie Silikonöle (z. B. DC 704, DC 705) sind ein-
der geschalteten Dampfstrahlstufen (siehe niedriger Dampfdruck, thermische und heitliche chemische Verbindungen (organi-
Abb. 2.47). Die Diffusionsstufen bewirken chemische Resistenz, insbesondere ge- sche Polymere). Sie zeichnen sich durch
zwischen 10–4 und 10–3 mbar das hohe genüber Luft oder anderen abzupumpen- große Beständigkeit gegen Oxidation bei
Saugvermögen (siehe Abb. 2.48), die den Gasen, bestimmen die Auswahl, wel- Lufteinbrüchen und durch besondere ther-
Dampfstrahlstufen den hohen Gasdurch- ches Öl in einer bestimmten Pumpentype mische Stabilität aus.

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Grundlagen 20.06.2001 11:59 Uhr Seite 43

Vakuumerzeugung

DC 705 hat einen extrem niedrigen Dampf- a) Die hochvakuumseitige Düse und die zentralen Prallplatte. Bei entsprechender
druck und eignet sich daher als Treibmittel Form des diese Düse umgebenden Teiles Kühlung durch Wasser oder – bei Anschluß
in solchen Diffusionspumpen, mit denen ex- des Pumpenkörpers müssen so ausgebil- geeigneter Kältemaschinen – durch Kälte-
trem niedrige Enddrücke < 10–10 mbar er- det sein, daß auf dem Weg des Dampf- mittel können hiermit nahezu völlig öl-
zeugt werden sollen. strahls vom Düsenaustritt zur gekühlten dampffreie Vakua erzeugt werden. Das ef-
ULTRALEN ist ein Polyphenyläther. Dieses Pumpenwand möglichst wenige Dampf- fektive Saugvermögen der Diffusionspum-
Treibmittel ist immer dann zu empfehlen, teilchen seitlich austreten. pe bleibt dabei zumindest zu 50 % erhalten,
b) Die Kühlung der Pumpenwand muß so obwohl Schalendampfsperren optisch dicht
wenn ein besonders oxidationsbeständiges
gewählt werden, daß eine möglichst voll- sind. Derartige Schalendampfsperren wur-
Treibmittel verwendet werden muß und Si-
ständige Kondensation des Treibmittel- den bei LEYBOLD in zwei verschiedenen
likonöle störend wirken würden.
dampfes erfolgt und das Treibmittel nach Ausführungen entwickelt, mit Edelstahl-
APIEZON AP 201 ist ein thermisch und kühleinsatz oder – bei den sogenannten
der Kondensation gut abfließen kann.
chemisch außerordentlich widerstands- Astrotorus-Dampfsperren – mit Kühl-
fähiges Öl und liefert das erforderliche hohe c) Zwischen Pumpe und Rezipient müssen einsätzen aus Kupfer. Die Gehäuse der erst-
Saugvermögen vor allem bei Dampfstrahl- je nach gefordertem Enddruck ein oder genannten Type sind vollständig aus Edel-
pumpen im Feinvakuum-Gebiet. Der er- mehrere gekühlte Treibmittelfänger, Dampf- stahl gefertigt.
reichbare Endtotaldruck beträgt etwa 10–4 sperren (Baffle) oder Kühlfallen geschaltet
Platten-Dampfsperrren werden bei den
mbar. werden.
kleineren luftgekühlten Öl-Diffusionspum-
An die Konstruktion von Dampfsperren pen verwendet. Der luftgekühlte Kühlein-
b) Quecksilber oder Kühlfallen für Öl-Diffusionspumpen satz besteht hierbei aus einer Kupferplatte
Quecksilber ist als Treibmittel gut geeignet, sind vor allem zwei Forderungen zu stellen: mit Kupferstegen zur Gehäusewand. Die
da es sich als chemisches Element beim Einmal sollen möglichst alle rückströmen- Temperatur der Prallplatte bleibt dadurch
Verdampfen weder zersetzen noch bei Luf- den Treibmitteldampfteilchen an gekühlten während des Betriebes der Diffusionspum-
teinbrüchen stark oxidieren kann. Da es bei Oberflächen dieser Geräte haftenbleiben pe nahezu auf Raumtemperatur.
Zimmertemperatur einen recht hohen (kondensieren). Andererseits müssen die
Dampfdruck von 10–3 mbar hat, sind zum Kondensationsflächen so ausgebildet und Kohlenwasserstoffreies Vakuum
Erreichen niedriger Endtotaldrücke Kühl- geometrisch angeordnet sein, daß der Strö- Werden an mit Öl-Diffusionspumpen er-
fallen mit flüssigem Stickstoff notwendig. mungsleitwert dieser »Baffle« (Dampf- zeugte Vakua extreme Anforderungen be-
Mit ihrer Hilfe kann man auch mit Queck- sperre und Kühlfalle) für das abzusaugen- züglich Öl-Dampffreiheit gestellt, so sollte
silber-Diffusionspumpen Endtotaldrücke de Gas möglichst hoch ist. Diese beiden man Kühlfallen verwenden, die mit flüssi-
von 10–10 mbar erreichen. Wegen der Forderungen werden unter dem Begriff gem Stickstoff, also bei einer Temperatur
schon erwähnten Giftigkeit und der Um- »optisch dicht« zusammengefaßt. Damit ist von –196 °C betrieben werden.
weltbelastung wird Quecksilber heute kaum gemeint, daß die Teilchen nicht ohne Wand-
Bei Verwendung tiefgekühlter Dampfsper-
noch als Treibmittel verwendet. LEYBOLD stöße durch das Baffle gelangen können,
ren oder Kühlfallen sollte stets eine Düsen-
liefert Pumpen mit Hg als Treibmittel nur obwohl das Baffle einen hohen Leitwert hat.
hutdampfsperre mit verwendet werden. An
noch auf Anfrage. Dampfdruckkurven von Die Umsetzungung dieser Idee hat zu einer
ihr wird der größte Teil des rückströmen-
Treibmitteln sind in Abb. 9.12, Abschnitt 9 Vielfalt von Konstruktionen geführt, die
den Öles bereits kondensiert, so daß der
aufgeführt. mehr der einen oder der anderen Forde-
zwangsläufig durch die feste Kondensation
rung Rechnung tragen:
des Treibmitteldampfes an der tiefgekühl-
2.1.6.4 Treibmittelrückströmung und Eine Düsenhut-Dampfsperre ist so kon- ten Fläche entstehende Treibmittelverlust
ihre Unterdrückung (Dampf- struiert, daß sie im Pumpenkörper unmit- minimal bleibt. Bei längerem Dauerbetrieb
sperren, Baffle) telbar über der hochvakuumseitigen Düse ist es allerdings ratsam an Stelle der Dü-
Die Rückströmung von Treibmittelmo- montiert werden kann. Dabei steht sie über senhutdampfsperre eine wassergekühlte
lekülen entsteht dadurch, daß aus dem Metall hoher Wärmeleitfähigkeit in gutem Schalen- oder Rasterdampfsperre zwischen
Dampfstrom der obersten Düse einer Dif- Wärmekontakt mit der gekühlten Pumpen- Diffusionspumpe und Tiefkühl-Dampfsper-
fusionspumpe Treibmittelmoleküle nicht wand, so daß sie sich praktisch auf Kühl- re bzw. Kühlfalle einzubauen (siehe Abb.
nur in der Strömungsrichtung zur gekühl- wassertemperatur oder bei luftgekühlten 2.50). LEYBOLD fertigt Kühlfallen aus Me-
ten Pumpenwand fliegen, sondern durch Diffusionspumpen auf Raumtemperatur tall als sogenannte Kugeltiefkühlfallen.
Stöße untereinander Rückwärtskomponen- befindet. Bei größeren Pumpentypen sind Diese Kühlfallen sind immer dann einzuset-
ten erhalten und dadurch in die Richtung die Düsenhutdampfsperren wassergekühlt zen, wenn auch ohne Verwendung einer
zum Rezipienten hin strömen können. Bei und fest in den Pumpenkörper eingebaut. Nachfüllvorrichtung für flüssigen Stickstoff
den LEYBODIFF- und DI-Pumpen beträgt Das effektive Saugvermögen einer Diffusi- eine Kühlfalle längere Zeit betrieben werden
die Ölrückströmung wenige Mikrogramm onspumpe wird bei Einbau einer Düsen- soll. Der Temperaturanstieg am Kühlmittel-
je cm2 Ansaugfläche in der Minute. Um hutdampfsperre um etwa 10 %, die Ölrück- behälter einer Kugelkühlfalle ist während
diese Rückströmung möglichst vollständig strömung aber um etwa 90–95% reduziert. der relativ langen Standzeit so gering, daß
zu verhindern, müssen gleichzeitig ver- Schalen-Dampfsperren bestehen aus kon- bei fallendem Flüssigkeitsspiegel keine nen-
schiedene Maßnahmen ergriffen werden: zentrisch angeordneten Schalen und einer nenswerte Desorption des Kondensats er-

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Grundlagen 20.06.2001 11:59 Uhr Seite 44

Vakuumerzeugung

immer einige Treibmittelmoleküle durch Zu- schnell strömenden Dampf benutzen. Auch
sammenstöße untereinander in den Rezipi- Flüssigkeitsstrahlpumpen gehören hierzu.
enten, ohne je eine der gekühlten Flächen Die einfachsten und billigsten Vakuum-
der Dampfsperre oder Kühlfalle getroffen zu pumpen sind die
haben. Außerdem gibt es immer einige we- Wasserstrahlpumpen.
nige leichtflüchtige Bestandteile des Treib- Wie bei einer Dampfstrahlpumpe (siehe
mittels, die selbst an sehr tiefgekühlten Abb. 2.46 bzw. Abb. 2.51) wird der Flüs-
Flächen nicht kondensiert werden können. sigkeitsstrahl zuerst in einer Treibdüse ent-
Temperatur und auf den Oberflächen des spannt und dann im Mischraum mit dem
Rezipienten adsorbierte Dampfmoleküle be- angesaugten Gas durch Turbulenz ver-
stimmen entscheidend den Druck im Rezi- mischt. Schließlich wird die Bewegung des
pienten. Solange sich nach einem Ausheiz- Wasser-Gas-Gemisches in einer Staudüse
prozeß die Oberflächen noch nicht völlig mit verlangsamt. Der Endtotaldruck in einem
adsorbierten Treibmitteldampf-Molekülen Behälter, der von einer Wasserstrahlpum-
belegt haben, trägt ihr Dampfdruck nur un- pe ausgepumpt wird, ist durch den Dampf-
wesentlich zum Druck im Rezipienten bei. druck des Wassers bestimmt und beträgt
Sobald sich aber nach einer gewissen Zeit, beispielsweise bei einer Wassertemperatur
der sogenannten »stay-down Zeit«, eine zu- von 15 °C etwa 17 mbar.
sammenhängende Schicht von Ölmolekülen
ausgebildet hat, wird der Enddruck prak-
tisch durch den Dampfdruck des Treibmit-
tels bei der Temperatur der Rezipienten-
wände bestimmt. Diese »stay-down Zeit«
(Haltezeit) kann bei Verwendung von Tief-
kühl-Dampfsperren viele Stunden, ja sogar
Tage betragen.
Außer als Dampf kann Öl auch als Flüssig-
keitsfilm in den Rezipienten gelangen, da Öl
gut benetzt und daher an der Wand hoch-
kriecht. Durch Einbau einer Kriechbarriere
(siehe Abb. 2.50) aus Teflon, einem Mate-
rial, das von Öl nicht benetzt wird und Aus-
heiztemperaturen bis zu 200°C verträgt,
oder durch Einsetzen eines gekühlten Ble-
1 Diffusionspumpe 3 Kriechbarriere, ches in den Kriechweg, kann ein Weiter-
mit Düsenhubdampfsperre 4 Dichtung,
(kontaktgekühlt), 5 Tragring,
kriechen des Öls wirkungsvoll verhindert
2 Schalen- oder Raster- 6 LN2 -Kühlfalle, werden. Zweckmäßigerweise wird die
dampfsperre, 7 Rezipient
Kriechbarriere über der oberen Dampfsper-
Abb. 2.50
re angebracht (siehe Abb. 2.50).
Anordnung von Dampfsperre, Kriechbarriere und Kühlfalle
über einer Diffusionspumpe (schematisch). Hinweis:
Es ist zu beachten, daß katalogmäßige An-
folgt. Pumpenseitig ist eine Prallplatte aus gaben über die Ölrückströmung für Öl-Dif-
Kupfer angebracht durch deren tiefe Tem- fusionspumpen im Dauerbetrieb gelten.
peratur der größte Teil des kondensierten Kurz nach der Inbetriebnahme einer Pumpe
Treibmittels flüssig bleibt und in die Pumpe tritt aus der obersten Pumpendüse noch
zurücktropfen kann. Da die heute zum Be- kein gerichteter Dampfstrahl aus, sondern
trieb von Diffusionspumpen verwendeten einige Sekunden lang breitet sich der Öl-
Öle bereits bei Zimmertemperatur einen dampf nach allen Seiten aus, und die Öl-
sehr niedrigen Dampfdruck haben (z. B. rückströmung ist stark. Wenn eine Öl-Dif-
DIFFELEN leicht 2 · 10–8 mbar, DC 705 fusionspumpe in kurzen Abständen an- und
4·10–10 mbar) ließe sich unter der angege- abgeschaltet wird, ist die Ölrückströmung
benen Voraussetzung mit einer mit flüssi- der Diffusionspumpe höher.
gem Stickstoff gekühlten Dampfsperre oder
Kühlfalle ein nahezu ölfreies Vakuum erzie- 2.1.6.5 Wasserstrahl- und 1 Wasserdampfeinlaß, 4 Mischraum,
2 Treibdüse, 5 Rezipientenanschluß
len. In der Praxis allerdings läßt sich eine Wasserdampfstrahlpumpen 3 Staudüse,
vollständige Unterdrückung der Ölrückströ- Zu den Treibmittelpumpen gehören nicht Abb. 2.51
mung nie erreichen: Es gelangen nämlich nur solche Pumpen, die als Treibmittel Schema eines Dampfstrahlsaugers

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Grundlagen 20.06.2001 11:59 Uhr Seite 45

Vakuumerzeugung

Wasserdampfstrahlsaugern erlauben we- 2.1.7 Turbo-Molekularpumpen Während die Gasartabhängigkeit des Saug-
sentlich höhere Saugvermögen und niedri- vermögens verhältnismäßig gering ist,
_ 
gere Enddrücke zu erzielen. Den Schnitt Das bereits seit 1913 bekannte Prinzip der (S ~ c ~ 1/√M ), ist die Gasartabhängigkeit
durch eine Stufe zeigt schematisch die Abb. Molekularpumpe beruht darauf, daß die der Kompression k0 bei Nullförderung und
2.51. Die Bezeichnungen entsprechen einzelnen abzupumpenden Gasteilchen damit auch die Kompression k wegen
 
denen der Abb. 2.46. In der Praxis werden durch Zusammenstöße mit schnell beweg- k0 ~ e√M oder log k0 ~ √M sehr hoch, wie
meist mehrere Saugstufen hintereinander ten Flächen eines Rotors einen Impuls in der experimentell gefundene Zusammen-
geschaltet. Für Laboratoriumsarbeiten eig- Förderrichtung erhalten. Die meist als hang in Abb. 2.55 zeigt.
nen sich zweistufige Kombinationen, be- Scheiben ausgebildeten Flächen des Rotors Beispiel: Aus der Theorie folgt
stehend aus einer Dampfstrahlstufe und bilden mit den ruhenden Flächen eines Sta-
einer Wasserstrahl(vor)stufe, die aus Glas tors Zwischenräume, in denen das Gas in log k0(He) 4 1 1
= = =
bestehen kann. Die Wasserstrahlvorstufe Richtung des Vorvakuumstutzens gefördert log k0(N2) 28 7 2,65
ermöglicht das Arbeiten ohne andere Vor- wird. Bei der ursprünglichen Gaede’schen ⇒ log k0(N 2) = 2,65 · log k0(He)
vakuumpumpen. Mit Hilfe eines auf Über- Molekularpumpe und deren Abwandlun-
druck befindlichen Treibdampfstromes kann gen waren die Zwischenräume (Förder- das ergibt mit k0 (He) = 3·103 aus der Abb.
der Rezipient in der Dampfstrahlstufe auf kanäle) sehr eng, was zu baulichen Schwie- 2.55:
einen Enddruck von etwa 3 mbar evakuiert rigkeiten und zu einer hohen Anfälligkeit log k0 (N2) = 2,65 ⋅ log (3 ⋅ 103) = 9,21
werden. Das Kondensat des Wasserdamp- gegenüber mechanischen Verunreinigun-
fes wird durch eine Ablaßvorrichtung abge- gen führte. oder k0 (N2) = 1,6 ⋅ 109.
leitet. Die Wasserstrahlvorstufe dieser Ende der fünfziger Jahre gelang es, mit ei- Dies stimmt mit dem experimentellen Wert
Pumpe wird zur Erhöhung ihrer Leistungs- ner turbinenartigen Konstruktion diese Idee k0 (N2) = 2,0⋅108 aus Abb. 2.55 wie zu er-
fähigkeit mit Wasser gekühlt. Wasser- von Gaede in abgewandelter Form als so- warten, größenordnungsmäßig gut über-
dampfstrahlsauger eignen sich besonders genannte »Turbo-Molekularpumpe« tech- ein. Bei der heute üblichen Optimierung der
für Arbeiten in Laboratorien und dann, wenn nisch nutzbar zu machen. Die Abstände zwi- einzelnen Rotorstufen ist diese Betrachtung
hochaggressive Dämpfe abgepumpt wer- schen den Stator- und Rotorscheiben wur- für eine gesamte Pumpe nicht mehr rich-
den sollen. Insbesondere ist der Wasser- den auf die Größenordnung von Millimetern tig. Abb. 2.56 zeigt gemessene Werte für
dampfstrahlsauger zum Auspumpen von gebracht, wodurch die einzuhaltenden Tole- eine moderne TURBOVAC 340 M.
Laboratoriums-Destillationsapparaten und ranzen wesentlich größer sein können und Zum Erfüllen der Bedingung: Umfangsge-
ähnlichen Anlagen zu empfehlen, die bei eine höhere Betriebssicherheit erreicht wur- schwindigkeit des_Rotors von gleicher Grö-
einem Druck von wenigen Millibar arbeiten de. Eine nennenswerte Pumpwirkung wird ßenordnung wie c sind für Turbo-Moleku-
sollen – dann also, wenn der mit einer ein- aber erst erreicht, wenn die Umfangsge- larpumpen hohe Rotordrehzahlen erfor-
fachen Wasserstrahlpumpe erreichbare schwindigkeit (am Außenrand) der Rotor- derlich. Sie reichen von etwa 36.000 U.p.M.
Druck nicht ausreicht, andererseits aber die blätter in die Größenordnung der mittleren für Pumpen mit großem Rotordurchmesser
Verwendung von Rotationspumpen zu auf- thermischen Geschwindigkeit der zu pum- (TURBOVAC 1000) bis zu 72.000 U.p.M. bei
wendig ist. penden Gasmoleküle kommt. Die kinetische kleinen Rotordurchmessern (TURBOVAC
_
Wasserstrahlpumpen und Wasserdampf- Gastheorie liefert für c die Gleichung 1.17 35/55). Solch hohe Drehzahlen werfen na-
strahlsauger werden in Laboratorien trotz türlich die Frage nach einem zuverlässigen
der geringeren Investitionskosten wegen 8· R ·T Lagerkonzept auf. Von LEYBOLD werden
c=
π ·M
den mit Wasser als Treibmittel verbunde- drei Konzepte angeboten, deren Vor- und
nen Umweltproblemen mehr und mehr von in der die Gasartabhängigkeit über die Nachteile hier gegenübergestellt werden:
Membranpumpen verdrängt. Das Wasser molare Masse M enthalten ist. Mit R = • Ölschmierung / Stahlkugellager
als Treib- oder Kühlmittel für Pumpen ist 83,14 mbar ⋅ `/ mol ⋅ K und T = 293,15 K + Gute Partikelverträglichkeit durch
meist Trinkwasser. Durch den Pumpprozeß (= 20°C) ergibt sich folgende Tabelle : Ölumlaufschmierung
in das Wasser gelangte Lösungsmittel kön- – Nur vertikale Einbaulage
Gas molare Mittlere thermische
nen nur durch aufwendige Reinigungsver- Masse M Geschwindigkeit (m/s) + Geringer Wartungsaufwand
fahren (Destillation) wieder entfernt wer- H2 2 1761 • Fettschmierung / Hybridlager
den. He 4 1245 + Uneingeschränkte Einbaulage
H2O 18 587
+ Geeignet für mobile Systeme
Ne 20 557
± Luftkühlung für viele Anwendungen
CO 28 471
ausreichend
N2 28 471
Luft 28,96 463
+ Lebensdauerschmierung
O2 32 440 • Schmiermittelfrei / Magnetlager
Ar 40 394 + Verschleißfrei
CO2 44 375 + Wartungsfrei
CCl3F (F11) 1347,8 68 + Absolut frei von Kohlenwasserstoffen
Tabelle 2.4 + Vibrations- und geräuscharm
–c in Abhängigkeit von der molaren Masse M + Uneingeschränkte Einbaulage

45
Grundlagen 20.06.2001 11:07 Uhr Seite 46

Vakuumerzeugung

Turbo-
Molekularstufe
3

Siegbahnstufe
5

8
1

1 Hochvakuumanschlußflansch; 5 Splitterschutz; 9 Kühlwasseranschluß;


2 Stator-Paket; 6 Rotor; 10 3-Phasen-Motor; 1 Vakuum-Anschluß; 4 Stator; 7 Lüfter;
3 Belüftungsanschlußflansch; 7 Pumpengehäuse; 11 Kugellager 2 Hochvakuumflansch; 5 Lager; 8 Lager
4 Vorvakuumanschlußflansch; 8 Kugellager; 3 Rotor; 6 Motor;

Abb. 2.52 Abb. 2.52a


Prinzipskizze der fettgeschmierten Turbo-Molekularpumpe TURBOVAC 151 Schnitt durch eine HY.CONE

Stahlkugellager / Hybridkugellager (Kera- Der typische Aufbau einer Turbo-Moleku- Elektromotor wird extern von einem Fre-
mikkugellager): Schon ein kurzzeitiger Ab- larpumpe ist der schematischen Darstellung quenzwandler gesteuert. In der Regel wird
riß des dünnen Schmierfilmes zwischen der Abb. 2.52 zu entnehmen: Die Pumpe ist dazu ein elektronischer Wandler verwendet,
Kugeln und Lagerring bzw. Käfig kann bei ein Axialkompressor, dessen aktiver, d. h. der einen besonders geräuscharmen Be-
materialgleicher Werkstoffpaarung in den pumpender Teil aus einem Rotor (6) und trieb gewährleistet. Für spezielle Anwen-
Kontaktzonen zu einer Mikrokaltverschwei- einem Stator (2) gebildet wird. Rotor und dungen, wie z.B. beim Betrieb in einem Be-
ßung führen, was die Lagerstandzeit stark Stator sind auf ihrem Umfang mit Schau- reich hoher Strahlung werden motorische
reduziert. Durch Einsatz ungleicher Mate- feln bestückt. Jedes Schaufelringpaar bildet Frequenzwandler eingesetzt.
rialpaarung in sogenannten Hybridlagern eine Stufe, so daß die gesamte Pumpe aus Die vertikale Anordnung ist durch ein strö-
(Lagerring: Stahl, Kugeln: Keramik) wird die einer Vielzahl hintereinander geschalteter mungstechnisch besonders günstiges An-
Kaltverschweißung vermieden. Stufen besteht. Das abzupumpende Gas ge- saugen des Gases am Pumpeneingang ge-
langt durch die Öffnung des Ansaugflan- kennzeichnet. Um bei diesen Drehzahlen
Das eleganteste Lagerkonzept ist die Ma-
sches (1) direkt, also ohne Ansaugverluste einen vibrationsfreien Lauf zu erzielen, wird
gnetlagerung. LEYBOLD hat schon 1976
in die obersten Stufen, die als sogenannte die Turbine nach dem Zusammenbau in
mit den legendären Serien 550M und 560M
Saugstufen mit weiter auseinander liegen- zwei Ebenen ausgewuchtet.
magnetgelagerte Turbo-Molekularpumpen
den Schaufelebenen ausgelegt sind, um so
geliefert. Damals handelte es sich um eine Die Saugvermögenscharakteristik einiger
eine möglichst große aktive Fläche zu bil-
rein aktive Magnetlagerung (= Elektroma- den. Das in diesen Stufen eingefangene Gas Turbo-Molekularpumpen ist in Abb. 2.53
gnete). Erst Fortschritte im Bereich der wird in den darunter liegenden Kompressi- gezeigt. Das Saugvermögen ist über den
Elektronik und die Verwendung von Per- onsstufen mit kleinerem Abstand zwischen ganzen Druckarbeitsbereich konstant. Es
manentmagneten (passive Magnetlage- den Schaufelebenen auf den Vorvakuum- nimmt erst bei Ansaugdrücken, die höher
rung) nach dem »System KFA Jülich« er- druck verdichtet. Der Turbinenrotor (10) ist sind als 10–3 mbar ab, da in diesem Druck-
möglichten eine wirklich weite Verbreitung an einer Antriebswelle befestigt, die im bereich die Pumpe nicht mehr im moleku-
des magnetischen Lagerkonzeptes. Der Raum des Antriebsmotors in zwei Präzisi- laren, sondern im viskosen Strömungsbe-
Rotor wird dabei während des Betriebes onskugellagern (8) und (11) gelagert ist. reich arbeitet. Abb. 2.54 zeigt, daß das
völlig schmiermittelfrei und berührungsfrei Diese Welle wird direkt durch einen Mittel- Saugvermögen auch etwas von der Gasart
von magnetischen Kräften stabil gehalten. frequenz-Motor angetrieben. Der Motor- abhängt.
Für den Auslauf sind sogenannte Fang- raum befindet sich im Vorvakuum, so daß Das Kompressionsverhältnis (oft auch ein-
oder Notlauflager integriert. eine Durchführung der rotierenden Welle fach: Kompression ) ist das Verhältnis zwi-
zur äußeren Atmosphäre entfallen kann. Der schen Partialdruck einer Gaskomponente

46
Grundlagen 20.06.2001 11:07 Uhr Seite 47

Vakuumerzeugung

10000
k0

600 1000/1000 MC
1000
500
S
200 340M 361
151
100
50/55

10 2 4 6 8
–6 –5 –4 –3 –2 –1
10 10 10 p 10 10 mbar 10

Abb. 2.53
Saugvermögen für Luft verschiedener Turbo-Molekurarpumpen


√M

Abb. 2.55
TURBOVAC 450 – Maximale Kompression k0 in Abhän-
gigkeit von der molaren Masse M

larpumpe müssen ausgeheizt werden und


als Dichtungen müssen Metalldichtungen
verwendet werden. Bei niedrigen Drücken
besteht das Restgas in der Hauptsache aus
H2, der von den metallischen Behälterwän-
den stammt. Das in Abb. 2.57 gezeigte
Spektrum zeigt die Restgaszusammenset-
zung über einer Turbo-Molekularpumpe bei
einem Enddruck von 7 ⋅ 10–10 mbar Stick-
Abb. 2.54 stoff-Äquivalent. Man erkennt, daß der H2-
Saugvermögenskurven einer TURBOVAC 600 für H2, He, N2 und Ar
Anteil ca. 90–95% der gesamten Gasmen-
am Vorvakuumflansch der Pumpe zu dem sperren direkt an den Vakuumbehälter an- ge ausmacht. Der geringe Anteil »schwerer«
am Hochvakuumflansch: Die maximale geschlossen werden kann, ohne daß man Moleküle nimmt sehr stark ab, Massen
Kompression k0 finden wir bei Saugleistung einen meßbaren Kohlenwasserstoff-Parti- größer als 44 konnten nicht mehr festgestellt
= 0. Aus physikalischen Gründen ist das aldruck im Behälter zu befürchten hätte werden. Ein wesentliches Kriterium zur Be-
Kompressionsverhältnis bei der Turbo-Mo- (kohlenwasserstoffreies Vakuum! – siehe wertung der Güte eines Restgasspektrums
lekularpumpe für schwere Moleküle be- auch Abb. 2.57: Restgasspektrum über sind die meßbaren Kohlenwasserstoffe aus
sonders hoch, für leichte Moleküle dage- einer TURBOVAC 361). Da der Wasser- den eingesetzten Schmierstoffen des Vaku-
gen erheblich niedriger. Der Zusammen- stoffpartialdruck, der von der Rotations-Va- umpumpsystems. Natürlich kann ein »ab-
hang zwischen Kompression und Molekül- kuumpumpe als Vorpumpe erzeugt wird, solut kohlenwasserstoffreies Vakuum« nur
masse ist in Abb. 2.55 wiedergegeben. sehr gering ist, kann man trotz der eher be- mit schmiermittelfreien Pumpsystemen er-
Abb. 2.56 zeigt gemessene Kompressions- scheidenen Kompression der Turbo-Mole- zeugt werden, also z.B. mit magnetgela-
kurven für N2, He und H2 der Turbo-Mole- kularpumpen für H2 mit solchen Pumpen gerten Turbo-Molekularpumpen und trok-
kularpumpe TURBOVAC 340 M in Abhän- in relativ einfacher Weise Enddrücke von kenverdichtenden Vorpumpen. Bei richti-
gigkeit vom Vorvakuumdruck. Die hohe 10–11 mbar erzeugen. Natürlich müssen ger Handhabung (Belüftung bei jeglicher
Kompression für die schweren Kohlenwas- zum Erzielen dieser extrem niedrigen Drük- Art von Stillstand) können auch bei nor-
serstoff-Moleküle hat zur Folge, daß die ke die üblichen Regeln der Ultra-Hochvaku- malen Turbo-Molekularpumpen im Spek-
Turbo-Molekularpumpe ohne Zwischen- umtechnik befolgt werden: Vakuumbehäl- trum keine Kohlenwasserstoffe nachge-
schalten einer oder gar mehrerer Dampf- ter und der obere Teil der Turbo-Moleku- wiesen werden.

47
Grundlagen 20.06.2001 11:07 Uhr Seite 48

Vakuumerzeugung

M = Massenzahl = relative molare Masse bei Ionisierungsgrad 1


I = Ionenstrom

Abb. 2.57 Abb. 2.58


Spektrum über einer TURBOVAC 361 Bestimmung des Startdruckes für Turbo-Molekularpumpen
beim Evakuieren größerer Volumina

Betriebshinweise für Turbo-Molekular- wasser abgeschaltet werden, um etwaige


pumpen Kondensation von Wasserdampf zu ver-
Starten meiden. Zur Schonung des Rotors emp-
Die Turbo-Molekularpumpen sollten im All- fiehlt es sich die in den Gebrauchsanwei-
gemeinen zusammen mit der Vorpumpe sungen angegebenen (Mindest-) Belüf-
gestartet werden, um Ölrückströmung von tungszeiten einzuhalten. Die Belüftung
der Vorpumpe zum Rezipienten zu vermei- sollte (außer bei Sperrgasbetrieb) über den
den. Ein verzögerter Start der Turbo-Mole- Belüftungsflansch erfolgen, der schon eine
kularpumpe ist bei relativ kleinen Vor- Sinterfilter-Drosselstelle enthält, so daß
pumpsätzen an großen Behältervolumen die Belüftung mit einem normalen Ventil
Abb. 2.56 oder einem Stromausfallfluter erfolgen
Maximale Kompression k0 einer Turbo-Molekularpumpe sinnvoll. Bei bekanntem Saugvermögen der
TURBOVAC 340 M für H2 , He und N2 in Abhängigkeit vom Vorvakuumpumpe Sv (m3/h) und Behälter- kann.
Vorvakuumdruck volumen V (m3) kann man den Startdruck Sperrgasbetrieb
der Turbo-Molekularpumpe abschätzen: In die mit einer Sperrgaseinrichtung aus-
gleichzeitiger Start, wenn gerüsteteten Pumpen kann über einen be-
Eine Weiterentwicklung der Turbo-Moleku-
sonderen Flansch zum Schutz des Motor-
larpumpen stellen die Hybrid- oder Com- Sv
> 40 h−1 raumes und der Lager vor aggressiven
pound-Turbo-Molekularpumpen dar. Dabei V
Medien ein Inertgas – wie trockener Stick-
handelt es sich eigentlich um zwei Pumpen und verzögerter Start, wenn
auf einer gemeinsamen Welle in einem stoff – zugeführt werden. Ein besonderes
Sv Sperrgas- und Belüftungsventil dosiert die
Gehäuse. Die Hochvakuumstufe für den < 40 h−1
molekularen Strömungsbereich ist eine V notwendige Sperrgasmenge und kann
klassische Turbo-Molekularpumpe, die mit einem Startdruck von : außerdem auch als Belüftungsventil die-
zweite Pumpe für den viskosen Strö-  SV  nen.
 

mungsbereich eine »molecular drag-« oder pV, Start = e  6 · V  mbar (2.24) Schwingungsentkopplung
Reibungspumpe. Die Bestimmung des Startdruckes für TURBOVAC-Pumpen sind hochgenau aus-
Von LEYBOLD werden solche Pumpen als Turbo-Molekularpumpen beim Evakuieren gewuchtet und können in der Regel direkt
TURBOVAC 55 mit einer integrierten Hol- größerer Volumina kann auch mit Hilfe des an die Apparatur angeschlossen werden.
weckstufe (Schraubenverdichter) und als Diagrammes in Abb. 2.58 erfolgen. Nur bei hochsensiblen Geräten, wie in der
HY.CONE 60 bzw. HY.CONE 200 mit inte- Belüften Elektronenmikroskopie, empfiehlt sich der
grierter Siegbahnstufe (Spiralverdichter) Turbo-Molekularpumpen sollten nach dem Einsatz eines Dämpfungskörpers, der die
gebaut. Der notwendige Vorvakuumdruck Abschalten und bei etwaigem Spannungs- vorhandenen Schwingungen auf ein Mini-
beträgt dann einige mbar, so daß die Vor- ausfall auf jeden Fall belüftet werden, um mum reduziert. Bei magnetisch gelagerten
vakuumpumpe nur mehr von etwa 5 bis 10 eine Rückdiffusion von Kohlenwasserstof- Pumpen genügt aufgrund der geringen Ei-
mbar bis Atmosphärendruck verdichten fen von der Vorvakuumseite in den Rezi- genvibration in den meisten Fällen eine
muß. Abb. 2.52a zeigt den Schnitt durch pienten zu verhindern. Nach dem Ab- starre Ankopplung an die Vakuumappara-
eine HY.CONE. schalten der Pumpe soll auch das Kühl- tur.

48
Grundlagen 20.06.2001 11:07 Uhr Seite 49

Vakuumerzeugung

Wegen besonderer Einsatzfälle wie Betrieb große Oberfläche von etwa 1000 m2 pro
in starken Magnetfeldern, in strahlenbela- Gramm Festkörpersubstanz. Dementspre-
steten Zonen oder in Tritium-Atmosphäre chend ist die Gasaufnahmefähigkeit be-
wenden Sie sich bitte an unsere Technische trächtlich.
Vertriebsabteilung, die über entsprechen- Der Porendurchmesser des Zeolith 13X
de Erfahrungen verfügt und Ihnen jederzeit beträgt etwa 13 Å. Er liegt damit in der
zur Verfügung steht. Größenordnung von Wasserdampf-, Öl-
dampf- und größeren Gasmolekülen (ca
2.1.8 Sorptionspumpen 10–7 cm). Nimmt man als mittleren Mo-
leküldurchmesser die Hälfte dieses Wer-
Der Begriff »Sorptionspumpen« umfaßt tes, also 5·10–8 cm an, so sind auf einer
alle Vorrichtungen, die zur Beseitigung von mit einer Mono-Teilchenschicht belegten
Gasen und Dämpfen aus einem Raum Oberfläche von 1 m2 etwa 5·1018 Moleküle
Sorptionsmittel verwendet. Die abzupum- adsorbiert. Das entspricht für Stickstoff-
penden Gasteilchen werden dabei an den moleküle mit der relativen molaren Masse
Oberflächen oder im Innern dieser Sorpti- Mr = 28 etwa 2·10–4 g bzw. 0,20 mbar·`
onsmittel gebunden, und zwar entweder (siehe hierzu Abschnitt 1.1). Eine 1000 m2
durch physikalische, temperaturabhängige große Adsorptionsfläche vermag also eine
Adsorptionskräfte (sogenannte »van der monomolekulare Schicht mit mehr als
Waals«-Kräfte), oder durch chemische 133 mbar·`zu binden.
Sorption, oder durch Absorption oder Wasserstoff und leichte Edelgase wie Heli-
schließlich durch Einbetten infolge fort- um und Neon haben bezüglich der Po-
währender Bildung neuer sorbierender rengröße (13 Å bei Zeolith 13X) einen re-
Schichten. Analog zur Wirkungsweise un- 1 Ansaugstutzen,
2 Entgasungsstutzen;
4 Pumpenkörper;
5 Wärmeleitbleche; lativ kleinen Teilchendurchmesser und
terscheiden wir hierbei Adsorptionspum- 3 Haltestreben; 6 Adsorptionsmittel (z.B. Zeolith)
werden deshalb nur sehr schlecht adsor-
pen, bei denen die Sorption von Gasen Abb. 2.59 biert.
lediglich durch temperaturabhängige Ad- Schnitt durch eine Adsorptionspumpe
Die Adsorption von Gasen an Oberflächen
sorptionsvorgänge erfolgt, und Getter-
Al2O3). Als Adsorptionsmittel wird häufig ist nicht nur von der Temperatur, sondern
pumpen, bei denen Sorption und Einbau
Zeolith 13X verwendet. Dieses Alkali-Al- vor allem auch vom Druck über der Ad-
von Gasen im wesentlichen unter Bildung
umino-Silikat besitzt eine im Verhältnis zur sorptionsfläche abhängig. Die Abhängig-
chemischer Verbindungen erfolgt. Unter
Masse des Materials außerordentlich keit ist den in Abb. 2.60 aufgeführten Ad-
gettern versteht man die Bindung von
Gasen an reinen, also nicht mit Oxid- oder
Karbidschichten bedeckten, meist metalli- Druck [Torr]
schen Oberflächen. Solche Oberflächen-
schichten bilden sich immer während der
Absorbierte Gasmenge pro Menge Sorptionsmittel [mbar · `· g–1]

Herstellung, dem Einbau in ein Vakuumsy-


stem oder während der Belüftung des Sy-
stems. Die meist metallischen, reinsten
Getteroberflächen werden entweder direkt
im Vakuum durch Verdampfen (Verdamp-
ferpumpen) oder durch Kathodenzerstäu-
bung (»sputtern«, Zerstäuberpumpen)
ständig neu hergestellt oder die passivie-
rende Oberflächenschicht des Getters (Me-
talles) wird durch Ausheizen im Vakuum
entfernt, so daß der reine Feststoff freige-
legt wird. Dieser Schritt wird Aktivierung
genannt (NEG-Pumpen, NEG = Non Eva-
porable Getter).

2.1.8.1 Adsorptionspumpen
Adsorptionspumpen (siehe Abb. 2.59) ar-
beiten nach dem Prinzip der physikali-
schen Adsorption von Gasen an der Ober- Druck [mbar]
fläche von Molekularsieben oder anderen Abb. 2.60
Adsorpionsmitteln (z. B. von aktiviertem Adsorptionsisothermen von Zeolith 13X für Stickstoff bei –195°C und 20°C, sowie für Helium und Neon bei –195°C

49
Grundlagen 20.06.2001 11:07 Uhr Seite 50

Vakuumerzeugung

sorptionsisothermen für einige Gase zu ziert, um dabei noch viele Edelgasmoleküle xis kaum erreicht werden kann, haben
entnehmen. In der Praxis werden Adsorp- Helium und Neon »mitzureißen«. Nachdem Titanverdampferpumpen ein außerordent-
tionspumpen über ein Ventil an den zu eva- die Pumpen dieser Stufe gesättigt sind, lich hohes Saugvermögen für aktive Gase,
kuierenden Behälter angeschlossen. Erst werden die Ventile zu diesen Pumpen ge- die deshalb besonders bei Anfahrprozes-
durch Eintauchen des Pumpenkörpers in schlossen und ein bisher geschlossenes sen oder bei plötzlichem Anfall größerer
flüssigen Stickstoff wird der Sorptionsef- Ventil zu einer weiteren Adsorptionspum- Gasmengen rasch abgepumpt werden
fekt technisch nutzbar gemacht. Auf Grund pe mit noch sauberem Adsorptionsmittel können. Speziell als Zusatzpumpe zu Io-
der verschiedenen Adsorptionseigen- geöffnet, so daß diese Pumpe den Rezi- nenzerstäuberpumpen und Turbo-Mole-
schaften sind Saugvermögen und End- pienten eine Druckstufe weiter leer pumpt. kularpumpen ist ihr Einsatz in vielen Fäl-
druck einer Adsorptionspumpe für die ver- Dieses Verfahren kann solange fortgesetzt len vorteilhaft (ähnlich wie die »Booster«
schiedenen Gasanteile unterschiedlich. werden, bis der Enddruck durch Hinzu- bei Treibmittelpumpen; siehe Abschnitt
Beste Werte werden bei Stickstoff, Koh- schalten weiterer Adsorptionspumpen 2.1.6.2).
lendioxyd, Wasserdampf und bei Kohlen- nicht mehr verbessert wird.
wasserstoffdämpfen erzielt. Leichte Edel- 2.1.8.3 Ionen-Zerstäuberpumpen
gase werden praktisch nicht gepumpt, weil 2.1.8.2 Verdampferpumpen (IZ-Pumpen)
der Teilchendurchmesser im Vergleich zur
Porengröße des verwendeten Zeoliths zu Verdampferpumpen sind Sorptionspum- Die Pumpwirkung der Ionenzerstäuber-
klein ist. Da der Sorptionseffekt mit zu- pen, bei denen ein Getterstoff durch Ver- pumpen wird von Sorptionsvorgängen er-
nehmender Bedeckung der Zeolithober- dampfen auf eine gekühlte Fläche fein ver- zeugt, die durch ionisierte Gasteilchen in
fläche abnimmt, geht auch das Saugver- teilt aufgebracht wird. An der Oberfläche einer Penninggasentladung (Kaltkathoden-
mögen mit steigender Anzahl der bereits einer solchen Getterschicht gehen Gasteil- Entladung) ausgelöst werden. Durch »Paral-
adsorbierten Teilchen zurück. Das Saug- chen mit der Gettersubstanz stabile Ver- lelschaltung von vielen einzelnen Penning-
vermögen einer Adsorptionspumpe ist bindungen ein, die einen unmeßbar nied- zellen« erreicht die Ionenzerstäuberpumpe
daher abhängig von der Menge des bereits rigen Dampfdruck haben. Die aktive Get- ein hinreichend hohes Saugvermögen für
abgepumpten Gases, ist also zeitlich nicht terschicht wird durch nachfolgende Ver- die einzelnen Gase.
konstant. dampfung des Gettervorrates ständig er-
neuert. Allgemein verwendet man als Get- Funktion der Ionen-Zerstäuberpumpe
Der mit Adsorptionspumpen erreichbare
Enddruck wird in erster Linie durch jene tersubstanz bei Verdampferpumpen Titan, Die Ionen treffen auf die Kathode der Ga-
Gase bestimmt, die sich zu Beginn eines das von einem stromerhitzten Draht aus sentladungsanordnung auf und zerstäuben
Pumpprozesses im Behälter befinden und einer Speziallegierung mit hohem Titan- das Kathodenmaterial (Titan). Die dadurch
an der Zeolithoberfläche schlecht oder gar gehalt verdampft. Obwohl die optimale an anderen Stellen entstehenden Titan-Nie-
nicht adsorbiert werden (wie z.B. Ne oder Sorptionskapazität (etwa ein Stickstoffa- derschläge wirken als Getterfilm und bin-
He). In der gewöhnlichen Luftatmosphäre tom je verdampftes Titanatom) in der Pra- den die reaktionsfähigen Gasteilchen (z.B.
befinden sich wenige ppm dieser Gase.
Unter solchen Bedingungen sind Drücke
< 10–2 mbar zu erreichen.
Sollen Drücke unter 10–3 mbar ausschließ-
lich mit Adsorptionspumpen erzielt werden,
darf möglichst kein Neon oder Helium im
Gasgemisch vorhanden sein.
Nach einem Auspumpprozeß braucht die
Pumpe nur auf Zimmertemperatur er-
wärmt zu werden, um das adsorbierte Gas
freizugeben und das Zeolith wieder ein-
satzbereit zu machen. Wurde stark was-
serdampfhaltige Luft (oder feuchtes Gas)
abgepumpt, dann ist zu empfehlen, die
Pumpe bis zur völligen Trocknung der Zeo- PZ
lithoberflächen einige Stunden bei 200 °C
und darüber auszuheizen.
Zum Auspumpen größerer Behälter wird
man in der Praxis mehrere Adsorptions-
pumpen parallel oder hintereinander ge- ← ⊕ Bewegungsrichtung der ionisierten Gasteilchen - - - - Spiralbahn der Elektronen
• → Bewegungsrichtung des zerstäubten Titans PZ Penning-Zellen
schaltet anschließen. Der Druck wird zu-
nächst durch die erste Pumpstufe von Abb. 2.61
Atmosphärendruck auf einige mbar redu- Zur Wirkungsweise der Ionen-Zerstäuberpumpe

50
Grundlagen 20.06.2001 11:08 Uhr Seite 51

Vakuumerzeugung

Stickstoff, Sauerstoff, Wasserstoff). Die


Energie der ionisierten Gasteilchen reicht
aber nicht nur aus, um das Kathodenma-
terial zu zerstäuben, sondern auch, um die
d Titanatome
auftreffenden Ionen tief in das Kathoden-
s Gasteilchen
material einzudringen zu lassen (Ionen-
% Ionen
implantation). Dieser Sorptionsvorgang
& Elektronen
»pumpt« Ionen aller Art, insbesondere
B Magnetfeld
aber auch Ionen von Gasen, die mit der
durch Zerstäuben gebildeten Titanschicht
chemisch nicht reagieren, also vor allem
Edelgase.
Zur Erzeugung der Ionen dient folgende
Anordnung: Zwischen zwei parallelen Ka-
thodenplatten befinden sich dicht gepackt
zylinderförmige Anoden aus Edelstahl,
deren Achsen rechtwinklig zu den Katho- Abb. 2.62
den ausgerichtet sind (siehe Abb. 2.61). Elektrodenkonfiguration einer Dioden-Ionenzerstäuberpumpe
Die Kathoden haben ein negatives Poten-
tial von einigen kV gegenüber der Anode.
Die ganze Elektrodenanordnung befindet
sich in einem homogenen Magnetfeld, das
d Titanatome
durch einen außen am Pumpengehäuse
s Gasteilchen
angebrachten Permanentmagneten er-
% Ionen
zeugt wird, dessen magnetische Flußdich-
& Elektronen
te B = 0,1 T beträgt (1 Tesla =104 Gauß).
A Anodenzylinder
Die durch die Hochspannung erzeugte
(wie bei der Dioden-
Gasentladung enthält Elektronen und
pumpe)
Ionen. Die Elektronen legen unter dem Ein-
B Magnetfeld
fluß des Magnetfeldes lange Spiralbahnen
F Auffänger
(siehe Abb. 2.61) zurück, ehe sie auf dem
(Pumpengehäuse)
Anodenzylinder der entsprechenden Zelle
als dritte Elektrode
gelangen. Der lange Elektronenweg be-
K Kathodengitter
dingt eine hohe Ionenausbeute, die auch
bei sehr geringen Gasdichten (Drücken)
ausreicht, um eine selbständige Gasentla- Abb. 2.63
Elektrodenkonfiguration einer Trioden-Ionenzerstäuberpumpe
dung aufrecht zu erhalten. – Eine Zufuhr
von Elektronen aus einer Glühkathode ist den Druck genommen werden. Bei kleine- vorragende Konstanz des Edelgassaugver-
nicht erforderlich. – Die Ionen werden ren Drücken ist die Messung wegen mögens, weil Auftragungs- und Zerstäu-
wegen ihrer großen Masse von dem Ma- Störung durch Feldemissionseffekte nicht bungsfläche räumlich getrennt sind. Abb.
gnetfeld der oben angegebenen Größe auf reproduzierbar. 2.63 zeigt die Trioden Elektrodenkonfigu-
ihrer Bahn praktisch nicht beeinflußt; sie ration. Ihre bessere Wirkungsweise ist so
fließen auf kurzem Wege ab und bombar- Bei den Diodenpumpen mit der Elektro-
denkonfiguration nach Abb. 2.62 werden zu erklären: Die Ionen treffen streifend auf
dieren die Kathode. die Titanstäbe des Kathodengitters. Die Zer-
die Getterschichten an den Anodenober-
Der Entladungsstrom i ist proportional zur stäubungsrate ist dadurch größer als bei
flächen und zwischen den Zerstäubungs-
Neutralteilchenanzahldichte n0, der Elek- senkrechtem Einfall. Das zerstäubte Titan
bereichen auf der Kathode gebildet. Die
tronendichte n– und der Länge l der Entla- fliegt in ungefähr gleicher Richtung wie die
Implantation der Ionen erfolgt in den Ka-
dungsstrecke einfallenden Ionen. Die Getterschichten bil-
thodenoberflächen. Bei fortschreitender
den sich vorzugsweise auf der dritten Elek-
Kathodenzerstäubung werden die implan-
i = n0 ⋅ n – ⋅ σ ⋅ l (2.25) trode, dem »Auffänger«, der identisch mit
tierten Gasteilchen wieder freigesetzt. Für
der Wand des Pumpengehäuses ist. Da-
Der Wirkungsquerschnitt σ für ionisieren- Edelgase, die nur durch Ioneneinschluß ge-
durch wächst die Ausbeute an Teilchen, die
de Stöße ist gasartabhängig. Da der Entla- pumpt werden können, wird deshalb die als Ionen streifend auf die Kathode treffen,
dungsstrom i nach Gl. 2.25 eine Funktion Pumpwirkung nach einiger Zeit nachlassen dann nach Neutralisation reflektiert werden
der Gas-Teilchenanzahldichte n0 wie beim und es tritt ein »Erinnerungseffekt« auf. und mit einer Energie zum Auffänger
Penning-Vakuummeter ist, kann er im Be- Die Triodenpumpen, die »transparente Ka- »Pumpenwand« fliegen, die immer noch
reich von 10–4 bis 10–8 mbar als Maß für thoden« haben, zeigen demgegenüber her- hoch über der thermischen Energie der

51
Grundlagen 20.06.2001 11:08 Uhr Seite 52

Vakuumerzeugung

Gasteilchen 1/2 ⋅k⋅T liegt. Die energierei- flußt werden, sollte die betreffende IZ- dessen Struktur atomar porös ist und so
chen Neutralteilchen können in die Auffän- Pumpe mit einer Abschirmvorrichtung ver- große Gasmengen aufnehmen kann. Die an
geroberfläche eindringen, aber ihre Zer- sehen werden. Form und Art solcher Vor- der Oberfläche des Gettermaterials adsor-
stäubungswirkung ist nur noch gering. richtungen können so optimal gewählt bierten Gasteilchen diffundieren rasch in
Später werden diese implantierten Teilchen werden, daß die Prozesse im Vakuum- das Materialinnere und machen so weite-
von neuen Titanschichten endgültig über- behälter nicht mehr gestört werden, als ren Gasteilchen Platz, die an der Ober-
deckt. Wegen der entgegengesetzten Po- durch das ohnehin schon vorhandene erd- fläche auftreffen. Die Massivgetterpumpe
tentialdifferenz zwischen Kathode und Auf- magnetische Feld. enthält ein Heizelement, mit dem das Get-
fänger können keine Ionen auf den Auffän- termaterial auf die je nach Art der vor-
Abb. 2.64 zeigt das magnetische Streufeld
ger treffen und diesen zerstäuben. Die zugsweise abzupumpenden Gase auf opti-
in der Ebene des Ansaugflansches einer
eingebetteten Edelgasatome können also male Betriebstemperatur erwärmt wird. Bei
Ionen-Zerstäuberpumpe IZ 270 sowie in
nicht wieder freigesetzt werden. Das Edel- darüber liegender Temperatur wird das mit
einer dazu parallelen Ebene in einem Ab-
gassaugvermögen der Trioden-Pumpen Gas gesättigte Gettermaterial regeneriert
stand von 150 mm. Sollen Streuionen aus
wird deshalb nicht nachlassen. (aktiviert). Als Gettermaterial werden vor
dem Entladungsraum der Ionenzerstäuber-
Das Saugvermögen der Ionen-Zerstäuber- allem Zirkonium-Aluminium Legierungen,
pumpe nicht in den Vakuumbehälter gelan-
Pumpen hängt vom Druck und von der vielfach in Form von Blechstreifen, ver-
gen, so kann eine entsprechende Abschir-
Gasart ab. Es wird nach der in DIN 28 429 wendet. Die besonderen Eigenschaften von
mung durch ein Metallsieb auf Gegenpo-
und PNEUROP 5615 angegebenen Metho- NEG-Pumpen sind:
tential in der Ansaugöffnung der IZ-Pumpe
de gemessen. Die Saugvermögenskurve erfolgen (Ionensperre). Dadurch wird aller- ● konstantes Saugvermögen im HV und
S(p) weist ein Maximum auf. Als Nenn- dings das Saugvermögen der Ionen-Zer- UHV
saugvermögen Sn wird das Maximum der stäuberpumpe entsprechend der gewählten ● keine Druckbegrenzung bis etwa 12 mbar
mit Luft gemessenen Saugvermögenskur- Maschenweite des Metallsiebes reduziert.
ve bezeichnet, wobei der zugehörige Druck ● besonders hohes Saugvermögen für
angegeben werden muß. Wasserstoff und seine Isotope
2.1.8.4 Massivgetterpumpen
Für Luft, Stickstoff, Kohlendioxyd und ● nach dem Aktivieren kann die Pumpe
(NEG-Pumpen)
Wasserdampf ist das Saugvermögen prak- vielfach bei Raumtemperatur arbeiten
tisch gleich. Bezogen auf das Saugvermö- Die Massivgetterpumpe arbeitet mit einem und braucht dann keine elektrische Ener-
gen für Luft beträgt das Saugvermögen der nicht verdampfenden, kompakten Getter- gie
Ionen-Zerstäuberpumpen für andere Gase material (NEG = non evaporable getter), ● keine Störungen durch Magnetfelder
etwa: ● kohlenwasserstoffreies Vakuum
Wasserstoff 150 bis 200 % ● vibrationsfrei
Methan 100 %
● geringes Gewicht
andere leichte
Kohlenwasserstoffe 80 bis 120 % NEG-Pumpen werden meist in Kombinati-
Sauerstoff 80 % on mit anderen UHV-Pumpen eingesetzt
Argon 30 % (Turbo-Molekular- und Kryopumpen). Die-
Helium 28 % se Kombinationen haben sich als beson-
ders nützlich erwiesen, um den Enddruck
Die Triodenpumpen zeichnen sich im Ge-
in UHV-Systemen zu senken, da Wasser-
gensatz zu den Diodenpumpen durch hohe
stoff den Hauptanteil am Enddruck einer
Edelgasstabilität aus. Argon wird noch bei
UHV-Anlage bildet, wofür gerade die NEG-
1·10–5 mbar Einlaßdruck stabil abgepumpt.
Pumpe ein hohes Saugvermögen hat,
Die Pumpen können ohne Schwierigkeiten
während die Pumpwirkung anderer Pum-
bei Drücken über 1 · 10–2 mbar gestartet
pen für H2 gering ist. Einige typische Ein-
und bei Lufteinlaß auch auf Dauer bei
satzbeispiele für NEG-Pumpen sind Teil-
5·10–5 mbar betrieben werden. Eine neu-
chenbeschläuniger und ähnliche For-
artige Konstruktion der Elektrodensysteme
schungsanlagen, Oberflächenanalysenge-
gestattet, die Lebensdauer der Kathoden
räte, SEM-Kolonnen und Sputtersysteme.
um 50 % zu verlängern.
NEG-Pumpen werden mit Saugvermögen
Beeinflussung von Prozessen im Vaku- von einigen `/s bis etwa 1000 `/s herge-
umbehälter durch magnetische Streufel- stellt. Mit Spezialausführungen werden
der und Streuionen aus der IZ-Pumpe. sogar Saugvermögen für Wasserstoff er-
Die für den Pumpprozeß erforderliche reicht, die noch um viele Größenordnun-
hohe Magnetfeldstärke führt zwangsläufig Abb. 2.64 gen höher liegen.
zu magnetischen Streufeldern in der Um- Streumagnetfeld einer Ionen-Zerstäuberpumpe in 2 Ebenen
parallel zur Fläche des Ansaugflansches (siehe Teilbilder).
gebung der Magnete. Falls hierdurch Pro- Kurven gleichen Betrages der magnetischen Induktion B in
zesse im Vakuumbehälter störend beein- Gauß. 1 Gauß = 1 ⋅ 10 –4 Tesla

52
Grundlagen 20.06.2001 11:08 Uhr Seite 53

Vakuumerzeugung

2.1.9 Kryopumpen

Wir wissen alle, daß sich an kalten Wasser- 1


leitungen oder Fensterscheiben Kondens-
wasser niederschlägt oder sich auf der Ver-
dampfereinheit im Kühlschrank Reif bzw. Eis
bildet. Diese aus dem täglichen Leben be- 3
kannte Erscheinung der Kondensatbildung
von Gasen und Dämpfen, insbesondere von
Wasserdampf an kalten Flächen, findet nicht
nur bei Atmosphärendruck, sondern auch 2
im Vakuum statt.
Das wird in Kondensatoren (siehe 2.1.5), vor
allem bei chemischen Vakuumprozessen
schon lange ausgenützt; früher gab es viele
mit Kältemaschinen gekühlte Baffle an Dif-
fusionspumpen. Auch in einem abgeschlos-
senen Raum (Rezipient) bedeutet Konden-
satbildung an einer kalten Fläche, daß dort
eine große Menge von Gasteilchen aus dem
Verkehr gezogen wird: Sie bleiben auf der
Kaltfläche sitzen und beteiligen sich nicht
weiter am hektischen Treiben in der Gasat-
mosphäre des Rezipienten. Wir sagen dann,
diese Teilchen sind gepumpt und sprechen
von Kryopumpen, wenn das »Pumpen«
durch Kaltflächen erfolgt.
Die damit verbundene Kryotechnik unter-
scheidet sich von der üblichen Kältetechnik
dadurch, daß die Kryotechnik im Tempera-
turbereich < 120 K (< – 153°C) angesiedelt 1 Kompressoreinheit 2 Flexible Druckleitungen 3 Kaltkopf (ohne Kondensationsflächen)

ist. Wir haben es im folgenden mit zwei Fra- Abb. 2.65


genkomplexen zu tun: Gesamtumfang einer Refrigerator-Kryopumpe
a) Wie erzeugt man die Kälte in der Kyo-
technik bzw. in Kryopumpen und wie wird siert werden. Mit einer auf ≈ 10 K gekühl- nutzt. Das von der Förderpumpe ausge-
die Wärmebelastung der Kaltfläche abge- ten Fläche können alle Gase außer He, Ne stoßene kalte Helium-Abgas wird einer
führt bzw. verringert? und H2 durch Kondensation gepumpt Helium-Rückgewinnungsanlage zugeführt.
werden. An einer mit flüssigem Helium Durch Regeln des Helium-Stromes kann
b) Was sind die Wirkungsmechanismen
der Kryopumpen? (T ≈ 4,2 K) gekühlten Fläche können alle die Temperatur der Kaltflächen verändert
Gase außer He kondensiert werden. werden.
Bei Verdampfer-Kryopumpen ist die Kalt- Heute werden vakuumtechnisch fast nur
2.1.9.1 Arten von Kryopumpen
fläche als Wärmetauscher ausgebildet. Aus noch Refrigerator-Kryopumpen verwen-
Nach der Art der Kälteerzeugung unter- einem externen Vorratsgefäß wird mit Hilfe det (»Kälte aus der Steckdose«). Sie funk-
scheidet man einer Förderpumpe (Vorvakuumpumpe) tionieren grundsätzlich ähnlich wie ein
• Bad-Kryopumpen flüssiges Helium in ausreichender Menge Haushaltskühlschrank, wobei als thermo-
in den Verdampfer gefördert, um die ge- dynamische Kreisprozesse mit Helium als
• Verdampfer-Kryopumpen wünschte Temperatur der Kaltfläche zu er- Kältemittel der
• Refrigerator-Kryopumpen reichen.
• Gifford-McMahon Prozeß
Das flüssige Helium verdampft im Wär-
Bei Bad-Kryopumpen – im einfachsten Fall metauscher und bewirkt dadurch die Küh- • Stirling Prozeß
eine mit LN2 (flüssigem Stickstoff) gefüll- lung der Kaltfläche. Das anfallende Abgas • Brayton Prozeß
te Kühlfalle – wird die Pumpfläche durch (He) wird in einem zweiten Wärmetauscher
direkten Kontakt mit einem verflüssigten zur Kühlung eines Baffles und eines Strah- • Claude Prozeß
Gas gekühlt. An einer LN2-gekühlten Fläche lungsschildes, der die Kaltfläche vor der in Frage kommen. Der Gifford-McMahon
(T ≈ 77 K) können H2O und CO2 konden- Strahlung der Umgebung schützt, ausge- Prozeß ist der heute am weitesten verbrei-

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Grundlagen 20.06.2001 11:08 Uhr Seite 54

Vakuumerzeugung

Phase 1:
Der Verdränger ist am linken Totpunkt;
V2, wo die Kälte erzeugt wird, hat seine
minimale Größe. Ventil N bleibt ge-
schlossen, H wird geöffnet. Gas mit
Druck pH strömt durch den Regenerator
in V2 ein. Durch Druckerhöhung in V1 er-
wärmt sich dort das Gas.

Phase 2:
Ventil H bleibt offen, Ventil N geschlos-
sen; der Verdränger bewegt sich nach
rechts und schiebt das Gas aus V1 durch
den Regenerator nach V2, wobei es am
kalten Regenerator abgekühlt wird; V2
nimmt sein maximales Volumen an.

Phase 3:
Das Ventil H wird geschlossen und das
Ventil N zum Niederdruckreservoir geöff-
net. Das Gas expandiert von pH auf pN und
kühlt dabei ab. Dadurch wird der Umge-
bung Wärme entzogen und mit dem ex-
pandierenden Gas zum Kompressor
transportiert.

Phase 4:
Der Verdränger bewegt sich bei geöffne-
tem Ventil N nach links; das Gas aus
V2,max strömt durch den Regenerator,
kühlt diesen ab und strömt in das Volu-
men V1 und in das Niederdruckreservoir.
Damit ist der Kreislauf beendet.

Abb. 2.66
Phasen der Kälteerzeugung mit einem einstufigen Kaltkopf nach dem Gifford-MacMahon Prozeß

tete und technisch am weitesten ent- Kompressoreinheit (1), die mittels flexibler beitsräume V1 und V2 geteilt. Im Betrieb ist
wickelte Prozeß. Er bietet die Möglichkeit, Druckleitungen (2) – und damit vibrations- der rechte V1 warm und der linke V2 kalt.
die große Kompressoreinheit von der Ent- frei – mit der Kryopumpe (3) verbunden ist. Bei der Hubfrequenz f ist dann die Kälte-
spannungseinheit, in der die Kälte erzeugt Die Kryopumpe selbst besteht aus dem leistung W des Refrigerators:
wird, räumlich zu trennen. So kann eine Pumpengehäuse und dem darin ange-
kompakte und vibrationsarme Kältequelle brachten Kaltkopf. Als Kältemittel wird Heli- W = (V2,max – V2,min) ⋅ (pH – pN) ⋅ f (2.26)
gebildet werdet. Die von LEYBOLD serien- um verwendet, das mit Hilfe des Kompres-
mäßig hergestellten Kryopumpen arbeiten sors im geschlossenen Kreislauf zirkuliert. Der Verdränger wird pneumatisch gesteu-
mit 2-stufigen Kaltköpfen nach dem Gif- ert hin und her bewegt, so daß das Gas
ford-McMahon Prozeß, der anschließend 2.1.9.2 Kaltkopf und dessen durch den Verdränger und damit durch den
näher besprochen wird. Arbeitsweise (Abb. 2.66) im Inneren des Verdrängers befindlichen
Den Gesamt-Umfang einer Refrigerator- Im Kaltkopf wird ein Zylinder durch einen Regenerator gedrängt wird. Der Regene-
Kryopumpe zeigt Abb. 2.65, bestehend aus Verdrängerkolben (Displacer) in zwei Ar- rator ist ein Wärmespeicher mit großer

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Grundlagen 20.06.2001 11:08 Uhr Seite 55

Vakuumerzeugung

stehen andere Stoffe als Regeneratoren zur


Verfügung. Abb. 2.67 zeigt schematisch
den Aufbau eines zweistufigen Kaltkopfes.
Durch einen Steuermechanismus mit
einem motorgetriebenen Steuerventil (18)
mit Steuerscheibe (17) und Steuerboh-
rungen wird zuerst der Druck im Steuer-
volumen (16) geändert, was die Bewegung
der Displacer (6) der ersten Stufe und (11)
der zweiten Stufe veranlaßt; gleich danach
wird durch den Steuermechanismus auch
der Druck im gesamten Zylindervolumen
auf den gleichen Wert gebracht. Über fle-
xible Druckleitungen ist der Kaltkopf mit
dem Kompressor verbunden.

2.1.9.3 Die Refrigerator-Kryopumpe


Abb. 2.68 zeigt den Aufbau der Kryopum-
pe. Sie wird mit einem zweistufigen Kalt-
kopf gekühlt. Der Strahlenschutz (5) mit
dem Baffle (6) wird gut wärmeleitend an
die ersten Stufe (9) des Kaltkopfes ange-
koppelt. Für Drücke unterhalb von 10–3 1 Hochvakuumflansch; 8 Pumpflächen;
2 Pumpen-Gehäuse; 9 Erste Stufe des Kaltkopfes
mbar wird die Wärmebelastung haupt- 3 Vorvakuumflansch; (≈50–80 K);
1 elektrische Anschlüsse und 11 Regenerator 2. Stufe; 4 Sicherheitsventil für Gasab- 10 Manometer für Wasserstoff-
Stromdurchführung für Kalt- 12 Expansionsvolumen 2. Stufe; sächlich durch die thermische Strahlung fuhrleitung; Dampfdruck-Thermometer;
kopfmotor; 13 2. (Kälte) Stufe 5 Strahlungsschutzschild; 11 Helium-Gasanschlüsse;
2 He-Hochdruckanschluß; (Kupferflansch); bestimmt. Deshalb ist die zweiten Stufe (7) 6 Baffle; 12 Kaltkopfmotor mit Gehäuse
3 He-Niederdruckanschluß;
4 Zylinder 1. Stufe;
14 Dampfdruckmeßkammer;
15 Steuerkolben;
mit den Kondensations- und Kryosorpti- 7 Zweite Stufe des Kaltkopfes und elektrischen Anschlüssen
(≈10 K);
5 Verdrängerkolben 1. Stufe; 16 Steuervolumen; onsflächen (8) von dem Strahlungsschutz
6 Regenerator 1. Stufe; 17 Steuerscheibe;
7 Expansionsvolumen 1. Stufe; 18 Steuerventil; (5) umgeben, der auf der Innenseite Abb. 2.68
8 1.(Kälte) Stufe (Kupferflansch); 19 Manometer für Wasserstoff- Aufbau einer Refrigerator-Kryopumpe (schematisch)
9 Zylinder 2. Stufe; Dampfdruck-Thermometer; schwarz und auf der Außenseite poliert
10 Verdrängerkolben 2. Stufe; 20 Kaltkopfmotor
und vernickelt ist. Bei unbelasteter Kryo-
Abb 2.67 zweistufiger Kaltkopf pumpe stellen sich an Baffle und Schutz- 2.1.9.4 Bindung von Gasen an
schild (erste Stufe) Temperaturen von 50 Kaltflächen
Austauschfläche und Kapazität, der die – 80 K und an den Kondensationsflächen Die Wärmeleitfähigkeit der kondensierten
Funktion des Wärmetauschers im Kreislauf an der zweiten Stufe etwa 10 K ein. Für den (festen) Gase ist sehr stark von der Struk-
übernimmt. In Abb. 2.66 sind die vier Pha- eigentlichen Pumpvorgang sind diese tur und damit von der Entstehung des
sen der Kälteerzeugung in einem einstufi- Oberflächentemperaturen der Kaltflächen Kondensates abhängig. Es sind Schwan-
gen Refrigerator-Kaltkopf nach dem Gif- entscheidend. Sie werden durch die vom kungen der Wärmeleitung um einige Zeh-
ford-McMahon Prinzip skizziert. Kaltkopf gelieferte Kälteleistung einerseits ner-Potenzen möglich! Mit wachsender
und die Wärmebelastung durch thermi- Kondensatdicke nimmt der Wärmewider-
Der zweistufige Kaltkopf sche Strahlung, sowie durch die Wärmea- stand und damit die Oberflächentempera-
Die von LEYBOLD serienmäßig hergestell- bleitung an das Pumpengehäuse anderer- tur zu und folglich das Saugvermögen ab.
ten Refrigerator-Kryopumpen verwenden seits bestimmt. Beim Betrieb der Kryo- Als Nennsaugvermögen wird der Maximal-
einen zweistufigen Kaltkopf, der nach dem pumpe führt die Belastung durch das Gas wert der frisch regenerierten Pumpe ange-
Gifford-McMahon Prinzip arbeitet (siehe und die Kondensationswärme zu weiterer geben. Die Bindung der verschiedenen
Abb. 2.67). Bei zwei hintereinander ge- Erwärmung der Kondensationsflächen. Die Gase in der Kryopumpe erfolgt in drei
schalteten Stufen wird in der ersten Stufe Oberflächentemperatur wird nicht durch Schritten: Zunächst trifft das Gemisch aus
des Kaltkopfes die Temperatur des Heli- die Temperatur der Kaltfläche allein, son- Gasen und Dämpfen auf das Baffle, dessen
ums auf etwa 30 K und danach in der zwei- dern auch durch die Temperatur des schon Temperatur bei etwa 80 K liegt. Hier wer-
ten Stufe weiter auf 10 K gesenkt. Die er- auf die Kaltfläche aufgefrorenen Gases be- den vor allem H2O und CO2 kondensiert.
zielbaren niedrigen Temperaturen hängen stimmt. Die an der zweiten Stufe (7) des Die übrigen Gase durchdringen das Baffle
unter anderem von der Art des Regenera- Kaltkopfes befestigten Kaltflächen (8) sind und stoßen auf die Außenseite der ≈10 K
tors ab. Üblicherweise wird in der ersten auf der Innenseite mit Aktivkohle be- kalten Kondesationsfläche der zweiten
Stufe als Regenerator Kupferbronze und in schichtet, um schwer kondensierbare Gase Stufe. Dort werden Gase wie N2, O2 oder Ar
der zweiten Stufe Blei verwendet. Für Spe- durch Kryosorption pumpen zu können kondensieren. Übrig bleiben nur H2, He und
zialanwendungen, wie etwa für Kryostate (siehe 2.1.9.4). Ne. Diese können können auf den Konden-
bei sehr tiefen Temperaturen (T < 10 K) sationsflächen nicht gepumpt werden und

55
Grundlagen 20.06.2001 11:08 Uhr Seite 56

Vakuumerzeugung

gelangen nach einigen Stößen mit dem


Strahlenschutz auf die Innenseite dieser
Flächen, die mit einem Adsorbat belegt sind
(Kryosorptionsflächen), und werden dort
durch Kryosorption gebunden. Deshalb
werden für die Betrachtung der Kryopum-
pe die Gase in drei Gruppen eingeteilt, je
nach dem bei welcher der in der Kryo-
pumpe »anstehenden« Temperaturen ihr
Sättigungsdampfdruck unter 10–9 mbar
fällt:
1. Gruppe:
ps < 10–9 mbar bei T ≈ 77K (LN2) : H2O, CO2
2. Gruppe: Wasserstoff Wasserdampf Stickstoff
ps < 10–9 mbar bei T ≈ 20K: N2, O2, Ar Flächenbezogener Leitwert des Ansaugflansches in `/ s ⋅ cm2:
3. Gruppe:
43,9 14,7 11,8
ps < 10–9 mbar bei T < 4,2K: H2, He, Ne
Flächenbezogenes Saugvermögen der Kryopumpe in `/ s ⋅ cm2:
Wir unterscheiden verschiedene Bin-
dungsmechanismen an Kaltflächen: 13,2 14,6 7,1
Kryokondensation ist die pysikalische, re-
Verhältnis Saugvermögen / Leitwert :
versible Bindung von Gasmolekülen durch
Van der Waals’sche Kräfte auf hinreichend 30% 99% 60%
kalten arteigenen Unterlagen. Die Bindungs-
energie ist gleich der Verdampfungsenergie Abb 2.69
der festen Phase des gebundenen Gases an Kaltflächen – Temperatur und Lage bestimmen die Wirksamkeit in der Kryopumpe
der Oberfläche und nimmt daher mit stei-
gender Kondensatdicke entsprechend dem
2.1.9.5 Saugvermögen und Lage der des Baffles werden 30 bis 50 Prozent der
ebenfalls steigenden Dampfdruck ab. Kryo-
Kaltflächen N2-Moleküle reflektiert. H2 erreicht nocht
sorption ist die physikalische, reversible
Unter Berücksichtigung sowohl der Lage später, erst nach weiteren Wandstößen im
Bindung von Gasmolekülen durch Van der
der jeweiligen Pumpfläche in der Kryo- Inneren der Pumpe und der damit verbun-
Waals’sche Kräfte an hinreichend kalten art-
pumpe, also des Leitwertes vom Vakuum- denen Abkühlung des Gases, die Kryo-
fremdem Unterlagen. Die Bindungsenergie
flansch bis zu dieser Fläche, als auch der sorptionsflächen. Bei optimaler Pumpflä-
ist gleich der Adsorptionswärme, die größer
subtraktiven Pumpfolge (was schon am chenauslegung und guter Kontaktierung
als die Verdampfungswärme ist. Sobald
Baffle kondensiert wurde, kann nicht mehr der Aktivkohle kann bis zu 50 Prozent des
eine Monoschicht gebildet wurde, treffen
auf die Kondensationsflächen der zweiten H2 gebunden werden, der das Baffle über-
die nachfolgenden Moleküle auf eine artei-
Stufe treffen und dort Kapazität blockieren) wunden hat. Wegen der begrenzten Er-
gene Unterlage (Sorbat) und der Prozeß
ergibt sich das in Abb. 2.69 dargestellte reichbarkeit der pumpenden Flächen und
geht in Kryokondensation über. Die niedri-
Bild. der Abkühlung des Gases im Inneren der
gere Bindungsenergie für Kryokondensati-
Pumpe durch Wandstöße noch vor Errei-
on verhindert ein weiteres Anwachsen der Die auf die Pumpe einfallenden Teilchen-
chen der jeweiligen Pumpfläche erreicht
Kondensatschicht, wodurch die Kapazität ströme ergeben nach Gleichung 2.29a mit
das gemessene Saugvermögen für diese
für adsorbierte Gase begrenzt ist. Die ver- T = 293 K die berechneten Werte für das
beiden Gase nur einen Bruchteil des
wendeten Adsorbentien, wie Aktivkohle, flächenbezogene, theoretische Saugver-
flächenbezogenen, theoretischen Saugver-
Kieselgel, Tonerdegel und Molekularsieb mögen. Die unterschiedlichen Saugver-
mögens. Der nicht gepumpte Teil wird
haben jedoch eine poröse Struktur mit sehr mögen sind für drei repräsentative Gase
hauptsächlich am Baffle reflektiert. Außer-
großen spezifischen Oberflächen von etwa H2, N2 und H2O aus den drei erwähnten
dem ist die Adsorptionswahrscheinlichkeit
106 m2/kg. Unter Kryotrapping versteht Gruppen zusammengefaßt. Da Wasser-
für H2 auf den verschiedenen Adsorbentien
man den Einbau eines tiefsiedenden, dampf auf der gesamten Eintrittsfläche der
unterschiedlich und < 1, während die
schwerpumpbaren Gases, z.B. Wasserstoff, Kryopumpe gepumpt wird, entspricht das
Wahrscheinlichkeit der Kondensation für
in eine Matrix eines höhersiedenden und gemessene Saugvermögen für Wasser-
Wasserdampf und N2 ≈ 1 ist.
leichter pumpbaren Gases wie beispiels- dampf fast dem Wert des für den Ansaug-
weise Ar, CH4 oder CO2. Bei gleicher Tem- flansch der Kryopumpe berechneten theo- Aus der Bemessung der Größe der drei
peratur hat das Mischkondensat einen um retischen Saugvermögens. Dagegen muß Flächen (Baffle, Kondensationsfläche an der
Zehnerpotenzen niedrigeren Sättigungs- N2 zunächst das Baffle überwinden, bevor Außenseite der zweiten Stufe und der Sorp-
dampfdruck als das reine Kondensat des er auf der Kryokondensationsfläche ge- tionsfläche auf der Innnenseite der zweiten
tiefersiedenden Gases. bunden werden kann. Je nach Ausbildung Stufe) resultieren drei unterschiedliche Ka-

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Grundlagen 20.06.2001 11:08 Uhr Seite 57

Vakuumerzeugung

pazitäten oder Fassungsvermögen für die


TK (K) Enddruck Enddruck (mbar) Enddruck (mbar)
dort pumpbaren Gase. Bei der Konstruktion
(nach Gleichung 2.28) H2 N2
einer Kryopumpe wird normalerweise von
einer mittleren Gaszusammensetzung (Luft)
2,5 10,95 · ps 3,28 · 10–14 unmeßbar klein
ausgegangen, die naturgemäß nicht für alle
Vakuumprozesse (z.B. Sputter-Prozesse)
4,2 8,66 · ps 4,33 · 10–9 unmeßbar klein
die richtige Kombination ist. Siehe 2.1.9.6
»Teilweises oder partielles Regenerieren«. 20 3,87 · ps 3,87 · 10+3 3,87 · 10–11
2.1.9.6 Kenngrößen einer Kryopumpe Tabelle 2.6
Enddrücke bei einer Wandtemperatur von 300 K
Als Kenngrößen einer Kryopumpe be-
zeichnet man (in alphabetischer Reihen- die an der zweiten Stufe des Kaltkopfes bei gibt an, welche externe thermische Bela-
folge) vor allem: 20 K zur Verfügung steht. stung die Kältequelle auf diese Temperatur
• Abkühlzeit Enddruck pend: Für den Fall der Kryokon- erwärmt. Bei Refrigeratoren ist man über-
• Cross-over-Wert densation (siehe Abschnitt 2.1.9.4) ergibt eingekommen, für einstufige Kaltköpfe die
• Enddruck sich der Enddruck zu: Kälteleistung bei 80 K und für zweistufige
• Kapazität die Kälteleistung der ersten Stufe bei 80 K
TG und der zweiten Stufe bei 20 K bei gleich-
• Kälteleistung und Nettokälteleistung pend = ps( TK ) ·
TK (2.28)
• Regenerierzeit zeitiger thermischen Belastung beider Stu-
• Saugleistung und maximaler pV-Strom ps ist der Sättigungsdampfdruck des oder fen anzugeben. Die thermische Belastung
• Saugvermögen der zu pumpenden Gase bei der Tempera- wird bei der Messung der Kälteleistung
• Standzeit / Betriebsdauer tur TK der Kaltfläche und TG die Gastem- durch elektrische Heizungen erzeugt. Die
• Startdruck peratur (Wandtemperatur in der Umge- Kälteleistung eines Kaltkopfes hat ihren
bung der Pumpfläche). höchsten Wert bei Raumtemperatur, ihren
Abkühlzeit: Die Abkühlzeit von Kryopum- niedrigsten (Null) bei Endtemperatur.
pen ist die Zeitspanne von Inbetrieb- Beispiel: Mit Hilfe der Dampfdruckkurven .
nahme bis zum Einsetzen der Pumpwir- Netto-Kälteleistung Q (W): Bei Refrigera-
in Abb. 9.15 für H2 und N2 ergeben sich
tor-Kryopumpen ist die bei den üblichen
kung. Bei Refrigerator-Kryopumpen wird die in Tabelle 2.6 zusammengestellten End-
Betriebstemperaturen (T1 < 80 ,T2 < 20 K)
als Abkühlzeit die Zeit angegeben, die für druckwerte mit TG = 300 K.
zur Verfügung stehende Netto-Kältelei-
die Abkühlung der zweiten Kaltkopf-Stufe Die Tabelle zeigt, daß für Wasserstoff bei stung maßgebend für Saugleistung und
von 293 K auf 20 K erforderlich ist. Temperaturen von T < 3 K bei einer Gas- Crossover-Wert. Die Netto-Kälteleistung ist
Crossover-Wert: Der Crossover-Wert ist temperatur von TG = 300 K (wenn also die – abhängig von der Konfiguration der
eine Kenngröße der eingekühlten Refrige- Kaltfläche der Wärmestrahlung der Wand Pumpe – wesentlich geringer als die Käl-
rator-Kryopumpe. Er ist von Bedeutung, ausgesetzt ist) hinreichend niedrige End- teleistung des verwendeten Kaltkopfes
wenn die Pumpe über ein HV/UHV-Ventil an drücke erreichbar sind. Die theoretischen ohne Pumpe.
die Vakuumkammer angeschlossen ist. Der Enddrücke stellen sich jedoch in der Pra- pV-Strom siehe 1.1
Crossover-Wert ist die auf Tn=293 K bezo- xis wegen verschiedener Störfaktoren wie
Desorption von der Wand und Leckage Regenerierzeit: Als gasbindende Vakuum-
gene Gasmenge, welche die Vakuumkam-
nicht ein. pumpe muß die Kryopumpe nach einer ge-
mer zum Zeitpunkt des Öffnens des Ventils
wissen Betriebszeit regeneriert (gereinigt)
maximal enthalten darf, damit die Tempe- Kapazität C (mbar ⋅ `): Die Kapazität einer werden. Unter Regenerieren versteht man
ratur der Pumpflächen durch dem kurzzei- Kryopumpe für ein bestimmtes Gas ist die- das Entfernen von kondensierten und ad-
tigen Gasanfall beim Öffnen des Ventils jenige Gasmenge (pV-Wert bei Tn=293 K), sorbierten Gasen von den Pumpflächen
nicht über 20 K ansteigt. Der Crossover- die von den Pumpflächen gebunden wer- durch Erwärmen. Das Regenerieren kann
Wert wird meist als pV-Wert in mbar ⋅ `an- den kann, bevor das Saugvermögen der total (vollständig) oder nur partiell (teil-
gegeben. Pumpe für diese Gasart G auf unter 50 weise) erfolgen und unterscheidet sich in
Aus dem Crossover-Wert und dem Kam- Prozent seines Anfangswertes abfällt. erster Linie durch die Art und Weise des
mervolumen V ergibt sich der Crossover- Die Kapazität für Gase, die durch Kryo- Erwärmens der Pumpflächen.
Druck pc, auf den die Vakuumkammer vor- sorption gepumpt werden, wird durch die Beim Totalregenerieren unterscheidet man:
evakuiert werden muß, bevor das Ventil zur Menge und Beschaffenheit des Sorptions- 1. Natürliches Aufwärmen: Nach Ausschal-
Pumpe geöffnet wird. Als Richtwert gilt: mittels bestimmt; sie ist druckabhängig ten des Kompressors erwärmen sich die
und im allgemeinen um mehrere Größen- Kryoflächen zunächst durch Wärmeleitung
35 · ordnungen kleiner als die druckunabhän- sehr langsam und danach zusätzlich durch
pc ≤ · Q 2 (20 K ) mbar (2.27)
V gige Kapazität für jene Gase, die durch die freiwerdenden Gase.
Kryokondensation gepumpt werden. 2. Spülgasmethode: Die Kryopumpe wird
.
V. = Volumen der Vakuumkammer (`), Kälteleistung Q (W): Die Kälteleistung durch Einlaß eines warmen Spülgases auf-
Q2(20K) = Netto-Kälteleistung in Watt, einer Kältequelle bei einer Temperatur T gewärmt.

57
Grundlagen 20.06.2001 11:08 Uhr Seite 58

Vakuumerzeugung

3. Elektrische Heizer: Die Kaltflächen der


Kryopumpe werden durch elektrische Hei-
zer an der ersten und zweiten Stufe er-
wärmt. Die freiwerdenden Gase werden
entweder durch ein Überdruckventil abge-
blasen (Spülgasmethode) oder durch me-
chanische Vorvakuumpumpen abgepumpt.
Temperatur (K)
Die Regenerierzeiten liegen je nach Pum-
pengröße bei mehreren Stunden. 2 1

Teilweises oder partielles Regenerieren:


Da die Begrenzung der Standzeit einer
Kryopumpe in den meisten Anwendungen
durch die Kapazitätsgrenze der an der
zweiten Stufe gepumpten Gase Stickstoff, (2) (1)
Argon und Wasserstoff bestimmt wird, ist
es oft ausreichend, nur diese Stufe zu re-
generieren. Der Wasserdampf wird wäh- 40 Minuten Zeit ca. 6 Stunden
rend dem partiellen Regenerieren auf dem Abb. 2.70
Baffle festgehalten. Dazu muß die erste Gegenüberstellung von totalem (1) und partiellem (2) Regenerieren
Stufe unter 140 K gehalten werden, da
sonst der Wasserdampfpartialdruck zu hoch frigerator-Kryopumpen gilt für konden- mit
wird, so daß Wassermoleküle das Adsorbat sierbare Gase als Richtwert:
auf der zweiten Stufe verunreinigen würden. R · TG TG
. SA = c = = 365
, `/ s · cm2
LEYBOLD hat 1992 als erster Kryopum- Qmax = 2,3 Q2 (20 K) mbar ⋅ `/s 4 2· π · M M
penhersteller ein Verfahren entwickelt, mit .
dem eine solche partielle Regenerierung Dabei ist Q2 (20 K) die an der 2. Stufe des TG ... Gastemperatur in K,
möglich ist. Diese Fast Regeneration ist Kaltkopfes bei 20 K zur Verfügung stehen- M ... molare Masse
microprozessorgesteuert und erlaubt die de Netto-Kälteleistung in Watt. Im Kurz-
partielle Regenerierung einer Kryopumpe zeitbetrieb ist ein höherer pV-Strom zuläs- In der Tabelle 2.7 ist nach Gleichung 2.29a
in etwa 40 Minuten im Vergleich zu 6 Stun- sig (siehe Crossover-Wert). das flächenbezogene Saugvermögen SA in
den bei Totalregenerierung mit der Spül- Saugvermögen Sth: Für das (theoretische) `⋅ s–1 ⋅ cm–2 für einige Gase für zwei ver-
gasmethode. Abb. 2.70 zeigt eine Gegenü- Saugvermögen einer Kryopumpe gilt schiedene Gastemperaturen TG in K ange-
berstellung typischer Zyklen für totales und  p  geben. Die Tabellenwerte stellen Grenz-
für partielles Regenerieren. Der Zeitgewinn S th = A K · SA · α · 1 − end (2.29)
 p  werte dar. In der Praxis ist nämlich die
durch das Fast Regeneration System ist
Bedingung des nahezu ungestörten Gleich-
deutlich zu erkennen. In der Produktion hat AK Größe der Kaltfläche
gewichtes (kleine Kaltflächen gegenüber
man für typische Sputterprozesse etwa mit SA flächenbezogenes Saugvermögen
einer Totalregeneration nach 24 partiellen großen Behälterwänden) häufig nicht ge-
(Flächenstoßrate nach Gleichung
Regenerationen zu rechnen. geben, weil zur Erzielung kurzer Pumpzei-
1.17 und 1.20, proprotional der mitt-
ten und eines guten Endvakuums große
Saugleistung und Maximaler pV-Strom leren Geschwindigkeit der Gasteil-
chen in Richtung Kaltfläche) Kaltflächen vorhanden sein müssen. Ab-
(mbar `/s): Die Saugleistung einer Kryo-
α Kondensations-(Pump-)wahrschein- weichungen ergeben sich auch, wenn die
pumpe für ein bestimmtes Gas ist durch
lichkeit Kaltfläche mit einem gekühlten Baffle um-
den pV-Strom des Gases G durch die An-
saugöffnung der Pumpe gegeben: pend Enddruck (siehe oben) geben ist, an dem die Geschwindigkeit der
p Druck im Rezipienten durchtretenden Gasteilchen durch Abküh-
QG = qpV,G; es gilt die Beziehung lung bereits reduziert wird.
Die Gleichung (2.29) gilt für eine in den Standzeit / Betriebsdauer top (s): Die Be-
QG = pG ⋅ SG mit Vakuumbehälter eingebaute Kaltfläche, die triebsdauer einer Kryopumpe für ein be-
im Vergleich zur Behälteroberfläche klein
stimmtes Gas wird festgelegt durch die Be-
pG = Ansaugdruck, ist. Bei hinreichend tiefen Temperaturen ist
ziehung:
SG = Saugvermögen für Gas G für alle Gase α = 1. Die Gleichung (2.29)
zeigt, daß für p >> pend der Klammeraus- t op, G

Der maximal mögliche pV-Strom, bei dem druck gegen 1 geht, so daß beim Arbeiten CG = ∫Q
0
G (t)dt mit
die Pumpflächen im Dauerbetrieb auf T ≈ mit hoher Übersättigung, also
20 K erwärmt werden, hängt von der p >> pend > Ps gilt: CG = Kapazität der Kryopumpe für das Gas G
Netto-Kälteleistung der Pumpe bei dieser QG(t) = Saugleistung der Kryopumpe für das Gas
Temperatur und von der Gasart ab. Bei Re- Sth = AK ⋅ SA (2.29a) zum Zeitpunkt t

58
Grundlagen 20.06.2001 11:08 Uhr Seite 59

Vakuumerzeugung

M SA SA TS Tripelpunkt fahren angemessenes Vakuum erzeugt,


Zeichen Substanz Molare bei 293 K bei 80 K Siedepunkt (= Schmelzpunkt) bevor der eigentliche Arbeitsprozeß be-
Masse Gastemp. Gastemp. 1013 mbar Tt pt
ginnt, der bei diesem charakteristischen
g/mol `/s ⋅ cm2 `/s ⋅ cm2 K K mbar
Druck abläuft. Dieses geschieht beispiels-
H2 Wasserstoff 2,016 43,88 22,93 20,27 13,80 70,4
weise in Aufdampf-, Elektronenschweiß-
He Helium 4,003 31,14 16,27 4,222 2,173 50,52
und Kristallzieh-Anlagen und in Teilchenbe-
CH4 Methan 4,003 15,56 8,13 111,67 90,67 116,7
schleunigern, Massenspektrometern, und
H2O Wasser 18,015 14,68 – 373,15 273,16 6,09
Elektronenmikroskopen.
Ne Neon 20,183 13,87 7,25 27,102 24,559 433,0
CO Kohlenmonoxid 28,000 11,77 6,15 81,67 68,09 153,7
Es gibt ferner trockene Prozesse, bei denen
N2 Stickstoff 28,013 11,77 6,15 77,348 63,148 126,1
die Entgasung im Vakuum selbst der ei-
Luft 28,96 11,58 6,05 ≈ 80,5 ≈ 58,5 –
gentliche verfahrenstechnische Prozeß ist,
O2 Sauerstoff 31,999 11,01 5,76 90,188 54,361 1,52
wie z.B. bei Induktions- und Lichtbogen-
Ar Argon 39,948 9,86 5,15 87,26 83,82 687,5
öfen, bei Stahlentgasungsanlagen und bei
Kr Krypton 83,80 6,81 3,56 119,4 115,94 713,9
Anlagen zur Herstellung von Reinstmetal-
len und Elektronenröhren.
Xe Xenon 131,3 5,44 2,84 165,2 161,4
Tabelle 2.7 (siehe Text) Bei nassen Prozessen wird meist in
einem vorgeschriebenen Arbeitsgang ein
Sofern der zeitliche__konstante Mittelwert 2.2 Auswahl des weiter Druckbereich durchlaufen. Dies ist
der Saugleistung QG bekannt ist, ergibt Pumpverfahrens besonders wichtig bei der Trocknung fest-
sich für er Stoffe. Wird nämlich hierbei vorzeitig bei
CG C 2.2.1 Übersicht über die gebräuch- einem zu niedrigen Druck gearbeitet, so
t op, G = = G (2.30) lichsten Vakuumverfahren trocknen die obersten Schichten zu schnell
QG pG · SG
aus. Dadurch wird der Wärmekontakt zur
Nach Ablauf der Betriebsdauer top,G muß Seit Anfang der 50er Jahre hat die Vaku- zu verdampfenden Feuchtigkeit schlechter
die Kryopumpe bezüglich der Gasart G re- umtechnik eine stürmische Entwicklung und die Trocknungszeit wird erheblich ver-
generiert werden. genommen. In der Forschung und in den längert. Zu dieser Kategorie gehören vor
meisten Industriezweigen ist sie heute allem Trocknungsprozesse, die in Trock-
Startdruck po: Eine Kryopumpe kann im
nicht mehr wegzudenken. nungs-, Imprägnier- und Gefriertrock-
Prinzip auch bei Atmosphärendruck im Va-
kuumbehälter gestartet werden. Dies ist je- Den vielen Anwendungsgebieten entspre- nungs-Anlagen durchgeführt werden.
doch aus mehreren Gründen unzweck- chend ist auch die Zahl der verfahrens- Beim Wasserdampfentzug flüssiger Sub-
mäßig. Solange die mittlere freie Weglänge technischen Vakuumprozesse außeror- stanzen oder bei deren Destillation, also
der Gasteilchen kleiner ist als die Abmes- dentlich umfangreich. Diese können im speziell in Entgasungskolonnen, Abfüll-
sungen des Rezipienten (p > 10–3 mbar), ist Rahmen dieses Heftes nicht beschrieben und Gießharzanlagen, sowie in Molekular-
die Wärmeleitung durch das Gas so groß, werden, da sich die vorliegenden Berech- destillations-Anlagen, ist außerdem die
daß sich eine unzulässig große Wärmezu- nungsgrundlagen vor allem auf die Pump- Erzeugung einer möglichst großen Flüs-
fuhr zur Kaltfläche ergibt. Darüber hinaus prozesse, nicht aber auf das sich im Rezi- sigkeitsoberfläche wichtig. Bei allen nas-
würde sich bereits beim Start auf der Kalt- pienten abspielende Verfahren beziehen. sen Prozessen ist die Zufuhr der zur
fläche eine relativ dicke Kondensatschicht Eine Übersicht über die wichtigsten vaku- Verdampfung der Feuchtigkeit notwendi-
bilden. Die für die eigentliche Betriebspha- umtechnischen Verfahren und über die gen Wärme von entscheidender Bedeu-
se zur Verfügung stehende Kapazität der Druckgebiete, in denen diese Verfahren vor- tung.
Kryopumpe wäre damit merklich verringert. zugsweise durchgeführt werden, ist in den
Auf grundlegende Pumpverfahren wird in
Vor allem würde das Gas (meistens Luft) Diagrammen (siehe Abb. 2.71 und 2.72)
den folgenden Absätzen eingegangen. Bei
hauptsächlich auf dem Adsorbat gebunden gegeben.
speziellen Fragen sollte man sich an eine
werden, weil die Bindungsernergie dazu Die eigentlichen Pumpprozesse all dieser Fachabteilung von LEYBOLD wenden. Für
niedriger ist als auf den Kondensations- Verfahren lassen sich generell in zwei Ka- jedes Fachgebiet stehen dort Spezialisten
flächen. Damit würde die begrenzte Kapa- tegorien einteilen, in trockene und nasse mit langjährigen Erfahrungen zur Verfü-
zität für Wasserstoff noch mehr verringert Vakuum-Prozesse, d.h. also in Prozesse, gung.
werden. Es empfiehlt sich, Kryopumpen für bei denen keine nennenswerten Dampfan-
teile abgepumpt werden müssen, und sol- Einteilung typischer Vakuumverfahren
den Hoch- und Ultrahochvakuumbereich
che, bei denen Dämpfe (meist Wasser- und -Anlagen nach den Druckbereichen
unter Einsatz einer Vorvakuumpumpe erst
bei Drücken p < 5·10–2 mbar zu starten. Die dampf oder organische Dämpfe) anfallen. Grobvakuum: 1013 mbar – 1 mbar
Vorpumpe kann nach Erreichen des Start- Der wesentliche Unterschied zwischen die- ● Trocknung, Destillation, Stahlentgasung
druckes abgeschaltet werden. sen beiden Arten sei kurz beschrieben: Feinvakuum: 1 –10–3 mbar
Bei trockenen Prozessen wird meist in ● Molekulardestillation, Getriertrocknung,
einem eng begrenzten Druckbereich ge- Imprägnieren, Schmelz- und Gießöfen,
arbeitet. Gewöhnlich wird ein dem Ver- Lichtbogenöfen

59
Grundlagen 20.06.2001 11:08 Uhr Seite 60

Vakuumerzeugung

Ultrahochvakuum Hochvakuum Feinvakuum Grobvakuum

Massenspektrometer
Molekularstrahlapparaturen
Ionenquellen
Teilchenbeschleuniger
Elektronenmikroskop
Elektronenbeugungsapparate
Vakuumspektrographen
Tieftemperaturforschung
Herstellung dünner Schichten
Oberflächenphysik
Plasmaforschung
Kernfusionsapparaturen
Weltraumsimulation
Materialforschung
Präparation für
Elektronenmikroskopie

10–13 10–10 10–7 10–3 100 103

Druck [mbar]

Abb. 2.71
Druckgebiete (p < 1000 mbar) physikalischer und chemischer Untersuchungsmethoden

Ultrahochvakuum Hochvakuum Feinvakuum Grobvakuum

Glühen von Metallen


Schmelzen von Metallen
Entgasen von Metallschmelzen
Stahlentgasung
Elektronenstrahlschmelzen
Elektronenstrahlschweißen
Aufdampfen
Zerstäuben von Metallen
Zonenschmelzen und Kristallherstellung im Hochvakuum
Molekulardestillation
Entgasen von Flüssigkeiten
Sublimation
Vergießen von Harzen und Lacken
Trocknung von Kunststoffen
Trocknung von Isolierpapieren
Gefriertrocknung von Massengütern
Gefriertrocknung von Pharmazeutischen Produkten
Produktion von Glühlampen
Produktion von Elektronenröhren
Produktion von Gasentladungsröhren

10–10 10–7 10–3 100 103

Druck [mbar]

Abb. 2.72
Druckgebiete industrieller Vakuumverfahren

Hochvakuum: 10–3 – 10–7 mbar 2.2.2 Abpumpen von Gasen nach der geforderten Saugleistung behan-
● Aufdampfen, Kristallziehen, Massen- (trockene Prozesse) delt Abschnitt 2.3.
spektrometer, Röhrenproduktion, Jede der verschiedenen Pumpentypen hat
Bei trockenen Prozessen, bei denen ein
Elektronenmikroskopie, Elektronen- einen charakteristischen Arbeitsbereich, in
nicht kondensierbares Gasgemisch (z.B.
strahlanlagen, Teilchenbeschleuniger
Luft) abgesaugt werden soll, wird die zu dem sie einen besonders hohen Wir-
Ultrahochvakuum: < 10–7 mbar verwendende Pumpe eindeutig durch den kungsgrad besitzt. Deshalb werden im fol-
● Kernfusion, Speicherringe bei geforderten Arbeitsdruck und die abzu- genden zu den einzelnen Druckbereichen
Beschleunigern, Weltraumforschung, saugende Gasmenge charakterisiert. Die die in ihnen am vorteilhaftesten zu ver-
Oberflächenphysik. Auswahl nach dem Arbeitsdruck wird in wendenden Pumpen genannt. Bei jedem
diesem Abschnitt erläutert. Die Auswahl trockenen Vakuumprozeß muß zunächst

60
Grundlagen 20.06.2001 11:08 Uhr Seite 61

Vakuumerzeugung

der Rezipient evakuiert werden. Die hier- derjenige Druck angenommen werden, bei riger Enddruck, hohes Saugvermögen im
für zu verwendenden Pumpentypen kön- dem das Saugvermögen noch etwa 50 % Hochvakuum-Bereich) mit den hervorste-
nen dabei durchaus von denen verschie- des Nennsaugvermögens beträgt. chenden Eigenschaften einer Dampfstrahl-
den sein, die bei einem sich unter einem Zwischen 1 und 10–2 mbar haben beim An- pumpe (hohe Saugleistung im Feinvaku-
bestimmten Arbeitsdruck abspielenden fallen großer Gasmengen Wälzkolbenpum- um-Bereich, hohe Vorvakuumbeständig-
Prozeß optimal zu verwenden sind. Die pen mit Rotationsverdrängerpumpen als keit) verbinden. Liegt der Arbeitsbereich
Auswahl sollte in jedem Fall unter beson- Vorpumpen optimale Pumpeigenschaften zwischen 10–2 und 10–6 mbar, so sind der-
derer Berücksichtigung desjenigen Druck- (siehe Abschnitt 2.1.3.1). Dabei genügt artige Diffusionspumpen besonders zu
bereiches getroffen werden, in dem sich eine einstufige Rotationsverdrängerpumpe, empfehlen.
der Arbeitsprozeß überwiegend abspielt. wenn der Haupt-Arbeitsbereich oberhalb d) Ultrahochvakuum-Bereich (< 10–7 mbar)
a) Grobvakuum-Bereich (1013 – 1 mbar) 10–1 mbar liegt. Liegt er zwischen 10–1 und Zur Erzeugung von Drücken im Ultra-
Der eigentliche Arbeitsbereich der im Ab- 10–2 mbar, so empfiehlt es sich, eine zwei- hochvakuum-Bereich werden in Kombina-
schnitt 2 beschriebenen Rotationsverdrän- stufige Vorpumpe zu wählen. Unterhalb tionen mit entsprechenden Vorpumpen,
gerpumpen liegt unterhalb 80 mbar. Bei 10–2 mbar nimmt das Saugvermögen von Diffusions-, Ionenzerstäuber-, Verdamp-
höheren Drücken haben diese Pumpen eine einstufigen Wälzkolbenpumpen in Kombi- ferpumpen sowie Turbo-Molekular- und
sehr hohe Leistungsaufnahme (siehe Abb. nation mit zweistufigen Rotationsverdrän- Kryopumpen verwendet. Welche dieser
2.11) und einen recht hohen Ölverbrauch gerpumpen als Vorpumpen ab. Zwischen Pumpentypen für den betreffenden Ultra-
(siehe Abschnitt 8.3.1.1). Sollten daher bei 10–2 und 10–4 mbar haben aber zweistufi- hochvakuumprozeß optimal geeignet ist,
Drücken oberhalb 80 mbar im Dauerbetrieb ge Wälzkolbenpumpen (oder zwei hinter- hängt von den unterschiedlichen Randbe-
Gase abgepumpt werden, so sollte man vor einander geschaltete einstufige Wälzkol- dingungen ab (siehe hierzu auch Abschnitt
allem aus wirtschaftlichen Gründen bevor- benpumpen) mit zweistufigen Rotations- 2.5).
zugt Strahlsauger, Wasserringpumpen, an- verdrängerpumpen als Vorpumpen noch
dere Flüssigkeitsringvakuumpumpen oder ein sehr hohes Saugvermögen. Anderer-
trocken laufende Vielschieberpumpen ver- seits ist dieser Druckbereich das eigentliche 2.2.3 Abpumpen von Gasen und
wenden. Dreh- und Sperrschieberpumpen Arbeitsgebiet von Treibmittel-Dampfstrahl- Dämpfen (Nasse Prozesse)
sind speziell geeignet, um Vakuumbehälter pumpen. Für Arbeiten in diesem Druckbe- Beim Abpumpen von Dämpfen tritt neben
von Atmosphärendruck an bis auf Drücke reich sind sie die wirtschaftlichsten und in die oben genannten zwei Bestimmungs-
unterhalb 80 mbar auszupumpen, um dann der Anschaffung billigsten Vakuumpum- größen (Arbeitsdruck und Saugleistung
im Dauerbetrieb bei niedrigen Drücken zu pen, die es gibt. Als Vorpumpen sind ein- der Pumpen) noch ein dritter bestimmen-
arbeiten. Fallen bei Ansaugdrücken unter- stufige Rotationsverdrängerpumpen geeig- der Faktor hinzu, nämlich der – unter Um-
halb 40 mbar große Gasmengen an, so ist net. Wenn auf sehr wenig Wartung und ständen im Verlaufe des Prozesses stark
das Vorschalten einer Wälzkolbenpumpe zu ventillosen Betrieb Wert gelegt wird (wenn veränderliche – Dampfpartialdruck. Er be-
empfehlen. Bei dem für den betreffenden also kleine Rezipienten in kurzen Taktzeiten stimmt maßgeblich die einzusetzende
Pumpprozeß erforderlichen Saugvermögen auf etwa 10–4 mbar gepumpt werden sol- Pumpenanordnung. Deshalb sind hier
kann dann eine wesentlich kleinere Dreh- len oder wenn bei großen Rezipienten die- neben den Rotationsverdrängerpumpen
bzw. Sperrschieberpumpe verwendet wer- ser Druck wartungsfrei über Wochen auf- die im Abs. 2.1.5 beschriebenen Konden-
den. rechterhalten werden soll), so sind die satoren von großer Bedeutung. Diese
b) Feinvakuum-Bereich (1 – 10–3 mbar) bereits erwähnten zweistufigen Wälzkol- haben ein besonders hohes Saugvermö-
Will man einen Vakuumbehälter lediglich benpumpen mit zweistufigen Rotations- gen beim Abpumpen von Dämpfen. Im
auf Drücke im Feinvakuumbereich evaku- verdrängerpumpen als Vorpumpen die nächsten Abschnitt wird auf das Abpum-
ieren, etwa um den für Diffusions- oder geeigneten Kombinationen. Eine solche pen von Wasserdampf (häufigster Fall)
Ionen-Zerstäuberpumpen erforderlichen Kombination arbeitet zwar nicht so wirt- eingegangen. Die Überlegungen können
Vorvakuumdruck zu erzeugen, so genügen schaftlich wie die entsprechende Treibmit- sinngemäß auf andere, nicht aggressive
einstufige Rotationsverdrängerpumpen für telpumpe, kann aber dafür viel länger war- Dämpfe übertragen werden.
Drücke bis zu 10–1 mbar, zweistufige für tungsfrei betrieben werden.
Drücke bis zu etwa 10–3 mbar. Wesentlich c) Hochvakuum-Bereich Abpumpen von Wasserdampf
schwieriger ist es, den geeigneten Pum- (10–3 bis 10–7 mbar) Wasserdampf wird häufig mit Pumpen ab-
pentyp auszuwählen, wenn sich im Feinva- Der Druckbereich unterhalb 10–3 mbar ist gesaugt, die selbst mit Wasser oder Was-
kuumgebiet Prozesse abspielen, bei denen für den Einsatz von Diffusionspumpen serdampf betrieben werden, z.B. mit Was-
laufend Gase oder Dämpfe anfallen und ab- sowie von Ionen-Zerstäuber- und Turbo- serringpumpen oder Wasserdampfstrahl-
gepumpt werden müssen. In diesem Zu- Molekularpumpen typisch. Schwankt der saugern. Dies ist oft nicht rationell, da die
sammenhang sei ein wichtiger Hinweis ge- Arbeitsbereich während eines Prozesses, Wirtschaftlichkeit von Wasserdampfstrahl-
geben: In der Nähe des erreichbaren End- so müssen gegebenenfalls verschiedene saugern bei niedrigen Drücken meistens
druckes nimmt das Saugvermögen aller Pumpsysteme an dem Rezipienten ange- viel schlechter ist als die der Rotations-
Rotationsverdrängerpumpen rasch ab. Als bracht werden. Es gibt auch spezielle Dif- pumpen. Wenn bei einem abzusaugenden
unterste Grenze des normalen Druck-Ar- fusionspumpen, welche die typischen Ei- Dampf-Gasgemisch der Dampfanteil hoch,
beitsbereiches dieser Pumpen sollte daher genschaften einer Diffusionspumpe (nied- der Luftanteil aber gering ist, kann der ge-

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Grundlagen 20.06.2001 11:08 Uhr Seite 62

Vakuumerzeugung

stung so dimensioniert ist, daß der Was-


serdampfpartialdruck am Saugstutzen der
Rotationspumpe den zulässigen Wert nicht
übersteigt. Die richtige Dimensionierung
des Kondensators richtet sich dabei nach
der anfallenden Wasserdampfmenge.
Näheres hierüber siehe Abschnitt 2.1.5 Bei
einer Wasserdampfverträglichkeit von 60
mbar ergibt sich für die untere Grenze die-
ses Gebiets

pD > 6O + 0,46 pL mbar

Gebiet C: Einstufige Sperrschieberpumpen


mit Gasballast.
Die untere Grenze von Gebiet C ist durch
die Untergrenze des Arbeitsbereiches der
Pumpe (ptot = 1 mbar) gekennzeichnet.
Wenn in diesem Gebiet große Dampfmen-
gen anfallen, ist es oft wirtschaftlicher,
Abb. 2.73 einen Kondensator vorzuschalten: 20 kg
Einsatzgebiete von Gasballastpumpen und Kondensatoren beim Absaugen von Wasserdampf (o.G. = ohne Gasballast) Dampf haben bei 28 mbar ein Volumen
von rund 1000 m3. Dieses Volumen mit
samte Dampf von Kondensatoren abge- 2.73). Große einstufige Sperrschieber- einer Rotationspumpe abpumpen zu wol-
pumpt werden, während die anfallenden pumpen haben im allgemeinen eine len, ist nicht sinnvoll. Als Faustregel kann
Permanentgase von relativ kleinen Gasbal- Betriebstemperatur von etwa 77°C und gelten:
lastpumpen abgesaugt werden (siehe Ab- damit eine Wasserdampfverträglichkeit Ein Kondensator sollte immer vorge-
schnitt 2.1.5). von ca. 60 mbar. Diese Größe wird für die schaltet werden, wenn längere Zeit ge-
Bestimmung der verschiedenen Einsatz-
Ein Vergleich sei genannt: Ein Pumpsatz, sättigter Wasserdampf anfällt.
gebiete in Abb. 2.73 zugrunde gelegt.
bestehend aus Wälzkolbenpumpe, Konden- Allerdings sollte bei niedrigen Ansaug-
Außerdem wird angenommen, daß der
sator und Vorpumpe, der bei einem An- drücken zusätzlich eine Wälzkolbenpumpe
Druck im Auspuffstutzen der Gasballast-
saugdruck von 50 mbar stündlich 100 kg
pumpe maximal auf 1330 mbar ansteigen vor den Kondensator geschaltet werden,
Dampf und 18 kg Luft fördern kann, hat
kann, bis das Auspuffventil öffnet. wodurch die Kondensationsleistung we-
einen Leistungsbedarf zwischen 4 und
sentlich erhöht wird. Die Kondensations-
10 kW (abhängig von der anfallenden Luft-
Gebiet A: Einstufige Sperrschieberpumpen leistung hängt nicht nur vom Dampfdruck
menge). Ein Wasserdampfstrahlsauger glei-
ohne Gasballasteinlaß. ab, sondern auch von der Kühlmitteltem-
cher Leistung hat hierfür einen mit der an-
Bei einem Sättigungsdampfdruck pS von peratur. Daher kann bei niedrigen Dampf-
fallenden Luftmenge nicht veränderlichen
419 mbar bei 77°C ergibt sich gemäß Glei- drücken nur dann eine wirksame Konden-
Bedarf von etwa 60 kW.
chung 2.2 die Forderung, daß pD < 0,46 pL sation erreicht werden, wenn die Kühlmit-
Zum Absaugen von Wasserdämpfen sind sein muß, mit teltemperatur entsprechend niedrig
Gasballastpumpen und Kombinationen aus pD Wasserdampfpartialdruck gehalten wird. Bei Dampfdrücken unter-
Gasballastpumpen, Wälzkolbenpumpen pL Luftpartialdruck halb 6,5 mbar ist der Einsatz eines Kon-
und Kondensatoren besonders geeignet. pD + pL = ptot Totaldruck densators beispielsweise nur dann sinn-
Abpumpen von Wasserdampf mit Diese Forderung ist gültig im gesamten Ar- voll, wenn die Kühlmitteltemperatur nied-
Gasballastpumpen beitsbereich der einstufigen Sperrschie- riger ist als 0°C. Oft wird bei niedrigen
Entscheidend für die Beurteilung des rich- berpumpen, also bei Totaldrücken zwi- Drücken ein Gas-Dampf-Gemisch mit un-
tigen Einsatzes der Gasballastpumpen ist, schen 10–1 und 1013 mbar. gesättigtem Wasserdampf abgepumpt
wie aus den Gleichungen 2.2 und 2.3 her- (siehe hierzu auch Abs. 2.1.5). Dann kann
vorgeht, das Verhältnis des Dampfpartial- Gebiet B: Einstufige Sperrschieberpumpen der Kondensator im allgemeinen entfallen.
druckes pD zum Luftpartialdruck pL. Ist die mit Gasballast und vorgeschaltetem Kon-
Wasserdampfverträglichkeit der Gasbal- densator. Gebiet D: Zweistufige Gasballastpumpen,
lastpumpe bekannt, so kann man gemäß In diesem Gebiet übersteigt der Dampf- Wälzkolbenpumpen, Dampfstrahlpum-
dieser Gleichung ein Diagramm angeben, partialdruck auf der Ansaugseite den zuläs- pen, je nachdem bei welchem Totaldruck
das in eindeutiger Weise den richtigen Ein- sigen Partialdruck. Der Gasballastpumpe sich der Prozeß abspielt.
satz von Gasballastpumpen zum Absaugen muß also ein Kondensator vorgeschaltet Es muß hierbei nochmals darauf hingewie-
von Wasserdampf angibt (siehe Abb. werden, der in seiner Kondensationslei- sen werden, daß die Wasserdampfverträg-

62
Grundlagen 20.06.2001 11:08 Uhr Seite 63

Vakuumerzeugung

Bei einem ideal dichten Behälter müßte die


Gasballastpumpe nach Erreichen des ge-
forderten Betriebsdruckes abgeschaltet
und nur mit dem Kondensator weiterge-
pumpt werden. Wie Kondensator und
Pumpe zweckmäßig dimensioniert werden,
darüber gibt Abschnitt 2.1.5 Auskunft.

Gebiet C: Wälzkolbenpumpe – Zwischen-


kondensator – Gasballastpumpe.
Die untere Grenze des Wasserdampfparti-
aldruckes wird durch das Kompressions-
verhältnis der Wälzkolbenpumpe beim
Vorvakuumdruck bestimmt, der seiner-
seits durch den Sättigungsdampfdruck des
kondensierten Wassers im Kondensator
bestimmt wird. Auch in diesem Gebiet
muß der Zwischenkondensator so dimen-
sioniert werden, daß er den Dampfpartial-
druck wenigstens auf 60 mbar senkt. Die
angegebene Schaltung eignet sich, bei
Kühlung des Kondensators mit Wasser
von 15°C, für Wasserdampfdrücke zwi-
Abb. 2.74 schen etwa 4 und 40 mbar.
Einsatzgebiete von Wälzkolbenpumpen mit Gasballastpumpen und Kondensatoren beim Abpumpen von Wasserdampf
(o.G. = ohne Gasballast)
Gebiet D: Wälzkolbenpumpe – Gasbal-
lastpumpe.
lichkeit zweistufiger Gasballastpumpen häu- mbar (bzw. 1013 mbar bei Wälzkolben-
Auch im Gebiet D hängen die Grenzen des
fig niedriger ist als die entsprechender ein- pumpen mit Umwegleitung).
Wasserdampfpartialdruckes wesentlich
stufiger Pumpen.
von den Abstufungs- und Größenverhält-
Gebiet B: Hauptkondensator – Wälzkol-
nissen der Pumpen ab. Im allgemeinen
Abpumpen von Wasserdampf mit Wälz- benpumpe mit Umwegleitung – Zwischen-
aber kann man diese Kombination zwi-
kolbenpumpen kondensator – Gasballastpumpe.
Wälzkolbenpumpen sind normalerweise schen den aufgeführten Grenzen, also zwi-
Diese Kombination ist nur wirtschaftlich,
im Dauerbetrieb bei Drücken über 40 mbar schen 10–2 und 4 mbar, immer verwenden.
wenn große Wasserdampfmengen im Dau-
nicht so wirtschaftlich wie Gasballastpum- erbetrieb bei Ansaugdrücken oberhalb von
pen. Bei sehr großen Pumpsätzen, die mit etwa 40 mbar abzupumpen sind. Der
ganz speziellen Abstufungsverhältnissen 2.2.4 Trocknungsprozesse
Hauptkondensator ist nach den anfallen-
arbeiten und mit Umwegleitungen aus- den Dampfmengen dimensioniert. Der
gerüstet sind, ist die spezifische Energie- Oft bewegt sich ein Vakuumprozeß durch
Zwischenkondensator muß den Dampf-
aufnahme allerdings günstiger. Werden mehrere der hier angeführten Gebiete hin-
partialdruck unter 60 mbar senken. Des-
Wälzkolbenpumpen zum Absaugen von durch. Bei der chargenweisen Trocknung
halb darf die Gasballastpumpe nur so groß
Dämpfen eingesetzt, so kann man ähnlich kann der Prozeß beispielsweise (siehe
sein, daß der Luftpartialdruck hinter dem
wie bei Gasballastpumpen ein Diagramm Abb. 2.74) im Gebiet A beginnen (Evaku-
Zwischenkondensator einen bestimmten
angeben, das alle möglichen Fälle enthält ierung des leeren Kessels) und sich dann
Wert nicht unterschreitet. Ist z.B. der To-
(siehe Abb. 2.74). schrittweise durch B, C und D bewegen.
taldruck hinter der Wälzkolbenpumpe (der
Dann wäre der Prozeßablauf wie folgt:
ja gleich dem Totaldruck hinter dem Zwi-
Gebiet A: Wälzkolbenpumpe mit einstufi- A. Evakuieren des Kessels durch Gas-
schenkondensator ist) 133 mbar, so muß
ger Sperrschieberpumpe ohne Gasballast. ballastpumpe und Wälzkolbenpumpe mit
die Gasballastpumpe die von der Wälz-
Da lediglich eine Kompression zwischen Umwegleitung.
pumpe geförderte Luftmenge wenigstens
Wälzkolbenpumpe und Sperrschieber-
bei einem Luftpartialdruck von 73 mbar B. Zuschalten der beiden Kondensatoren
pumpe erfolgt, gilt auch hier die Bedingung:
absaugen, da sie sonst mehr Wasser- wegen des steigenden Dampfdruckes
pD < 0,46 pL dampf absaugen müßte, als sie vertragen durch Beheizen des Trocknungsgutes.
kann. Dies ist eine fundamentale Voraus- Für die Auswahl des Pumpsatzes sind der
Die Forderung ist gültig im gesamten Ar- setzung: Der Einsatz von Gasballastpum- höchste auftretende Dampfpartialdruck
beitsbereich der Pumpenkombination, also pen ist nur dann sinnvoll, wenn auch Luft und der kleinste Luftpartialdruck auf der
bei Totaldrücken zwischen 10–2 und 40 abzupumpen ist! Saugseite maßgebend.

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Grundlagen 20.06.2001 11:08 Uhr Seite 64

Vakuumerzeugung

C. Überbrücken des Hauptkondensators. E0 Feuchtigkeitsgehalt vor der Trocknung 2.2.5 Erzeugung ölfreier
Er kann jetzt nichts mehr nützen, sondern q Von der Temperatur abhängiger Koef- (kohlenwasserstofffreier)
würde nur bei weiter sinkendem Dampf- fizient. Die Gleichung (2.31) gilt daher Vakua
druck von dem Pumpsatz wieder leerge- nur für die Temperatur, bei der q be-
pumpt werden. Rückströmende Treibmitteldämpfe, Dämp-
stimmt wurde.
D. Überbrücken des Zwischenkondensators. fe des Öls und der Schmiermittel von Ro-
K Faktor, der von der Temperatur, dem tationspumpen, sowie Crackprodukte der-
Wälzkolbenpumpe und Gasballastpumpe
Wasserdampfpartialdruck in der Um- artiger Dämpfe können verschiedene Ar-
können nun allein weiterpumpen. Bei Kurz-
gebung des Trocknungsgutes, von beitsprozesse im Vakuum erheblich stören.
zeit-Trocknungen ist die Abtrennung des
den Abmessungen und den Stoffei- Es empfiehlt sich daher, für bestimmte An-
mit kondensiertem Wasser gefüllten Kon-
genschaften abhängt. wendungen Pumpen und Einrichtungen zu
densators besonders wichtig, da die Gas-
ballastpumpe ständig den zuvor bereits Mit Hilfe dieser Näherungsgleichung läßt verwenden, welche die Anwesenheit koh-
kondensierten Wasserdampf beim Sätti- sich das Trocknungsverhalten vieler Pro- lenwasserstoffhaltiger Dämpfe mit Sicher-
gungsdampfdruck des Wassers aus dem dukte beurteilen. Hat man K und q für ver- heit ausschließen.
Kondensator abpumpen würde. schiedene Temperaturen und Wasser-
Bei länger dauernden Trocknungsprozes- dampfpartialdrücke bestimmt, so lassen a) Grobvakuum-Bereich (1013 bis 1 mbar)
sen genügt es, die Kondensatsammelvor- sich Werte für andere Temperaturen leicht Anstelle von Rotationspumpen können
lage im Kondensator abzusperren. So kann interpolieren, so daß man den Trock- große Wasser- bzw. Wasserdampfstrahl-
lediglich noch der an den Kühlrohren ver- nungsverlauf unter allen Betriebsbedin- sauger oder Wasserringpumpen verwen-
bliebene Kondensatfilm wiederverdamp- gungen vorausberechnen kann. Mit Hilfe det werden. Zum chargenweisen Auspum-
fen. Je nach Größe der Gasballastpumpe einer Ähnlichkeitstransformation kann man pen oder zum Erzeugen kohlenwasser-
erfolgt diese Wiederverdampfung in 30 bis ferner vom Trocknungsverlauf eines Pro- stoffreier Vorvakua für Ionen-Zerstäu-
60 min. duktes mit bekannten Abmessungen auf berpumpen eignen sich Adsorptionspum-
E. Soll der Trockenprozeß bei noch nied- den eines Produktes mit abweichenden pen (siehe Abs. 2.1.8.1). Kann auf den Ein-
rigeren Drücken enden, Abmessungen schließen. satz von ölgedichteten Drehschieberpum-
so empfiehlt sich, bei Unterschreitung Grundsätzlich sind bei der Trocknung pen nicht verzichtet werden, so sollten
eines Druckes von 10–2 mbar eine bis eines Stoffes einige Faustregeln zu be- grundsätzlich zweistufige Drehschieber-
dahin überbrückte Öl-Dampfstrahlpumpe achten: pumpen verwendet werden. Die wenigen
zuzuschalten. aus dem Saugstutzen derartiger Pumpen
Die Erfahrung hat gezeigt, daß man kür-
rückströmenden Öldämpfe können nahe-
zere Trocknungszeiten erreicht, wenn der
Trocknung fester Substanzen zu vollständig durch eine in die Sauglei-
Wasserdampfpartialdruck an der Produk-
Wie schon angedeutet wurde, bringt die tung geschaltete Adsorptionsfalle (siehe
toberfläche relativ hoch ist, wenn also die
Trocknung fester Substanzen eine Reihe Abs. 2.1.4) zurückgehalten werden.
Oberfläche des zu trocknenden Gutes noch
weiterer Probleme mit sich. Es genügt
nicht völlig frei von Feuchtigkeit ist. Dies
nicht mehr, daß man einen Kessel einfach b) Feinvakuum-Bereich (1 bis 10–3 mbar)
hängt damit zusammen, daß die Wärme-
leerpumpt und dann wartet, bis der Was- Zum Abpumpen großer Gasmengen eig-
leitung zwischer Wärmequelle und Produkt
serdampf aus dem festen Gut herausdif- nen sich in diesem Druckbereich vor allem
bei höheren Drücken besser ist und daß
fundiert ist. Dieser Weg ist technisch zwar Dampfstrahlpumpen. Mit Quecksilber-
möglich, aber er würde die Chargenzeit der Diffusionswiderstand in einer feuchten
Oberflächenschicht geringer ist als in einer Dampfstrahlpumpen können absolut öl-
einer Trocknung unerträglich verlängern. freie Vakua erzeugt werden. Allerdings
trockenen. Um die Bedingung „feuchte
Die Trocknungszeit so kurz wie möglich zu Oberfläche“ zu erfüllen, steuert man den empfiehlt sich dabei stets der Einsatz einer
halten, ist verfahrenstechnisch nicht ganz Druck in der Trockenkammer. Gelingt es mit flüssigem Stickstoff gekühlten Falle,
einfach. Nicht nur der Wassergehalt der zu nicht, den notwendigen, relativ hohen damit die schädlichen Quecksilber-Dämp-
trocknenden Substanz ist hierbei wichtig, fe nicht in den Rezipienten gelangen. Die
Wasserdampfpartialdruck ständig auf-
sondern auch ihre Schichtdicke. Hier kann unter a) genannten Feinvakuum-Adsorp-
rechtzuerhalten, so schaltet man kurzzei-
nur das Prinzipielle gesagt werden. Bei tionsfallen ermöglichen es, mit zweistufi-
tig den Kondensator ab. Der Druck in der
speziellen Fragen bitten wir, die Bera- gen Drehschieberpumpen nahezu ölfreie
Kammer steigt dann an und die Produkto-
tungsabteilung unseres Werkes in Köln zu Vakua bis unterhalb 10–4 mbar zu erzeugen.
berfläche befeuchtet sich wieder. Eine
konsultieren.
Möglichkeit, den Wasserdampfpartialdruck Absolut ölfreie Vakua lassen sich im Fein-
Den Verlauf des prozentualen Feuchtig- im Kessel kontrolliert zu erniedrigen, ist die vakuumgebiet mit Adsorptionspumpen
keitsgehalts E eines Trockengutes, dessen Regelung der Kühlmitteltemperatur im herstellen. Da die Pumpwirkung dieser
Diffusionskoeffizient von der Feuchtigkeit Kondensator. Dadurch nimmt die Konden- Pumpen für leichte Edelgase nur gering
abhängt (z.B. bei Kunststoffen), als Funk- sattemperatur vorgegebene Werte an, wo- ist, können zuvor mit Luft gefüllte Rezipi-
tion der Trockenzeit t gibt in guter Nähe- durch der Wasserdampfpartialdruck kon- enten durch sie nur auf etwa 10–2 mbar
rung folgende Gleichung wieder:
trolliert wird. evakuiert werden. Drücke von 10–3 mbar
E0
E= % (2.31) oder noch niedrigere Drücke können nur
(1 + K · t )q dann mit Adsorptionspumpen erzeugt wer-

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Vakuumerzeugung

den, wenn weder Neon noch Helium im ab- Die Gasdichte (Teilchenanzahldichte) ist im Aber auch Zusammenbau, Inbetriebnahme
zupumpenden Gasgemisch vorhanden Ultrahochvakuum sehr gering und wird und Betrieb einer UHV-Apparatur erfordern
sind. In einem solchen Fall kann es zweck- durch Gasabgabe der Behälterwände und besondere Sorgfalt, Sauberkeit und vor
mäßig sein, die Luft im Rezipienten vor durch geringste Undichtheiten an Verbin- allem Zeit. Der Zusammenbau muß sach-
dem Pumpprozeß durch Stickstoff zu ver- dungsstellen bereits erheblich beeinflußt. gemäß erfolgen, d.h. die einzelnen Bautei-
drängen und diesen dann abzupumpen. Im Zusammenhang mit einer Reihe wich- le dürfen nicht im geringsten beschädigt
tiger technischer Anwendungen, aber auch werden (z.B. durch Kratzer an feinstgear-
c) Hoch und Ultrahochvakuum-Bereich zur Charakterisierung des Ultrahochvaku- beiteten Dichtungsflächen). Grundsätzlich
(< 10-3 mbar) um-Bereiches allgemein, ist die soge- ist zu sagen, daß jede neu zusammenge-
Sofern in diesen Druckbereichen laufend nannte »Wiederbedeckungszeit« (siehe setzte UHV-Apparatur vor der Inbetrieb-
Gase anfallen und abgepumpt werden müs- auch Gleichung 1.21) wichtig. Darunter nahme mit einem Helium-Leckdetektor auf
sen, sollte man Turbo-Molekularpumpen wird die Zeit τ verstanden, die verstreicht, Dichtheit geprüft werden muß. Dabei sind
oder Kryopumpen verwenden. Sollen in ab- bis sich auf einer im Vakuum befindlichen, besonders lösbare Verbindungen (Flan-
geschlossenen Systemen, bei denen durch ideal gereinigten Fläche, die von Gasteil- sche), Glasverschmelzstellen und ge-
die sich darin abspielenden Prozesse keine chen getroffen wird, eine monomolekula- schweißte oder hart gelötete Verbindungs-
größeren Gasmengen frei werden, über län- re oder monoatomare Schicht ausgebildet stellen zu untersuchen. Nach der Dicht-
gere Zeit hinweg möglichst niedrige Drücke hat. Unter der Voraussetzung, daß jedes heitsprüfung muß die UHV Apparatur
aufrechterhalten werden, so sind hierzu die Fläche treffende Gasteilchen einen frei- ausgeheizt werden. Dies ist sowohl bei
Ionen-Zerstäuberpumpen besonderes ge- en Platz findet und darauf haften bleibt, gilt Glas- als auch bei Metallapparaturen er-
eignet. Insbesondere magnetgelagerte als Faustformel für τ: forderlich. Das Ausheizen erstreckt sich
Turbo-Molekularpumpen garantieren völlig durchweg nicht nur auf den Vakuumbehäl-
3,2 – 6 ter, sondern vielfach auch auf daran ange-
kohlenwasserstoffreie Vakua. Beim Still- τ= · 10 s (p in mbar)
stand dieser Pumpen können jedoch p schlossene Teile, insbesondere auf Meß-
Öldämpfe von der Vorvakuumseite durch röhren. Die einzelnen Schritte des bei
Im Ultrahochvakuum (p < 10–7 mbar) ist
die Pumpe hindurch in den Rezipienten ge- größeren Anlagen viele Stunden dauernden
daher die Wiederbedeckungszeit von der
langen. Durch geeignete Maßnahmen (z.B. Ausheizprozesses und die Höhe der Aus-
Größenordnung Minuten bis Stunden oder
Fluten des Rezipienten mit Argon) kann heiztemperatur richten sich nach der Art
noch länger und damit von der gleichen
eine Verschmutzung der Behälterwände der Anlage und nach dem geforderten End-
Größenordnung, die auch für vakuum-
während des Stillstandes der Pumpe ver- druck. Ist der Enddruck nach dem Ab-
technische Versuche und Verfahren
hindert werden. Liegt beim Einsatz von kühlen der Apparatur und nach Ausführung
benötigt wird. Die sich daraus ergebenden
Turbo-Molekularpumpen das Hauptgewicht aller sonst noch erforderlichen Maßnah-
praktischen Forderungen sind z.B. für das
auf »kohlenwasserstoffreiem Vakuum«, men (z.B. Inbetriebsetzen der Kühlfallen
Gebiet der Festkörperphysik, für das Stu-
dann sollten Hybrid-Turbo-Molekular- oder Dampfsperren) offensichtlich nicht er-
dium dünner Schichten oder für die Elek- reicht worden, dann empfiehlt sich eine
pumpen mit Membranpumpen oder klas-
tronenröhrentechnik überaus bedeutsam nochmalige Dichtheitsprüfung mit dem He-
sische Turbo-Molekularpumpen eventuell
geworden. Ultrahochvakuum-Apparaturen Lecksucher. Nähere Einzelheiten über die in
mit Scrollpumpen als ölfreie Vorvakuum-
oder Anlagen unterscheiden sich von UHV-Anlagen zu verwendenden Bauteile,
pumpen eingesetzt werden.
Hochvakuumapparaturen dadurch, daß Dichtungen und Meßgeräte sowie einge-
a) sie extrem gasdicht sind (Verwendung hende Hinweise für den Betrieb werden
2.2.6 Ultrahochvakuum: von Metalldichtungen), ausführlich in unserem Katalog behandelt.
Arbeitstechnik
b) die Gasabgabe der inneren Oberflächen
Die Grenze zwischen dem Hochvakuum- des Vakuumbehälters und der daran an-
und Ultrahochvakuumbereich läßt sich hin- geschlossenen Bauteile (z.B. Verbin-
2.3. Dimensionierung der
sichtlich der Arbeitstechnik nicht exakt dungsleitungen, Ventile, Dichtungen)
Vakuumanlage und
festlegen. Praktisch kommt eine Abgren- extrem niedrig gemacht werden kann, Bestimmung der
zung der beiden Gebiete nur zustande, weil Pumpengröße
c) geeignete Mittel (Kühlfallen, Dampsper-
sich Drücke im Hochvakuum-Bereich noch
ren) vorgesehen sind, die verhindern, Grundsätzlich treten bei der Dimensio-
mit den in der Vakuumtechnik allgemein
daß Gase oder Dämpfe oder deren Re- nierung einer Vakuumanlage zwei von-
verwendeten Pumpen, Ventilen, Dichtun-
aktionsprodukte von den zur Evaku- einander unabhängige Fragen auf:
gen und sonstigen Bauteilen beherrschen
ierung verwendeten Pumpen in den Va- 1. Wie groß muß das wirksame (effektive)
lassen während zum Erreichen von
kuumbehälter gelangen (keine »Rück- Saugvermögen der Pumpenanordnung
Drücken im Ultrahochvakuum-Bereich ge-
strömung«). sein, damit der Druck in einem vorge-
nerell eine andere Technik und damit auch
anders konstruierte Bauteile erforderlich Um diese Bedingungen erfüllen zu können, gebenen Rezipienten in einer bestimm-
sind. Die »Grenze« liegt bei einigen müssen die für UHV-Apparaturen verwen- ten Zeit auf den gewünschten Wert er-
10–8 mbar. Deshalb sollten Drücke unter deten Einzelbauteile ausheizbar und auf ex- niedrigt werden kann?
10–7 mbar generell zum Ultrahochvakuum- treme Dichtheit geprüft sein. Als Bauma- 2. Wie groß muß das wirksame Saugver-
Bereich gehören. terial werden Edelstähle bevorzugt. mögen der Pumpenanordnung sein,

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Vakuumerzeugung

damit die während eines Vakuumpro- diesen Bereichen die von den Wänden des
zesses im Rezipienten freiwerdenden Rezipienten desorbierenden Gas- und
Gase und Dämpfe so schnell abge- Dampfanteile so stark bemerkbar machen,
pumpt werden können, daß ein vorge- daß sie oft allein für die Dimensionierung
gebener Druck (der Arbeitsdruck) im der Vakuumanlage bestimmend sind.
Rezipienten nicht überschritten wird?
Bei bestimmten Prozessen (z. B. bei Trock-
2.3.1 Evakuieren eines
nungs- und Ausheizprozessen) entstehen Vakuumbehälters
während des Auspumpvorganges zusätz- (ohne zusätzlichen Gas- oder
liche, zu Beginn des Auspumpvorganges Dampfanfall)
noch nicht im Rezipienten vorhandene
Dampfanteile, so daß hier eine dritte Frage Wegen der oben geschilderten Verhältnis-
auftritt: se muß bei der Abschätzung der Aus-
3. Wie groß muß das wirksame Saugver- pumpzeit grundsätzlich zwischen dem Eva-
mögen der Pumpenanordnung sein, kuieren eines Vakuumbehälters im Grob-
damit der betreffende Prozeß innerhalb vakuumbereich und dem Evakuieren im
einer bestimmten Zeit beendet sein kann? Fein- und Hochvakuumbereich unterschie-
Unter dem effektiven Saugvermögen den werden.
einer Pumpenanordnung wird das am Re- Abb. 2.75
zipienten tatsächlich wirksame Saugver- 2.3.1.1 Evakuieren eines Behälters im Abhängigkeit des dimensionslosen Faktors σ zur Berech-
mögen der gesamten Pumpenanordnung Grobvakuumbereich nung der Auspumpzeit t gemäß Gleichung 2.36. Die ge-
strichelte Linie gilt für einstufige Pumpen, deren Saug-
verstanden. Das Saugvermögen der Hier ist das erforderliche effektive Saug- vermögen unter 10 mbar geringer wird
Pumpe selbst kann dann aus dem effekti- vermögen Seff, einer Vakuumpumpenan-
ven Saugvermögen bestimmt werden, ordnung nur abhängig vom gewünschten in die Gleichung (2.34) ein, so ist die Ab-
wenn die Strömungswiderstände (Leit- Druck p, vom Volumen V des Rezipienten hängigkeit zwischen dem effektiven Saug-
werte) der zwischen Pumpe und Rezipient und von der Auspumpzeit t. vermögen Seff und der Auspumpzeit t ge-
angebrachten Dampfsperren, Kühlfallen, geben durch die Beziehung
Bei konstantem Saugvermögen Seff und
Filter, Ventile und Leitungen bekannt sind
unter der Voraussetzung, daß der mit der
(siehe Abschnitte 1.5.2 bis 1.5.4). Bei der V
Pumpenanordnung erreichbare Enddruck Seff = ·σ (2.35)
Bestimmung des erforderlichen Saugver- t
mögens wird ferner von der Vorausset- pend << p ist, ist die zeitliche Abnahme des
Druckes p (t) in einem Rezipienten gege- Das Verhältnis V/Seff wird im allgemeinen
zung ausgegangen, daß die Vakuumanla- als Zeitkonstante τ bezeichnet. Demnach
ge dicht ist. Die Leckrate muß so niedrig ben durch die Beziehung:
ist die Auspumpzeit eines Vakuumbehäl-
sein, daß von außen einströmende Gase dp Seff ters von Atmosphärendruck bis zu einem
sofort von der angeschlossenen Pumpen- − = ·p (2.32)
dt V Druck p gegeben durch:
anordnung abgepumpt werden, den Druck
im Rezipienten also nicht verändern. Nähe- Ausgehend von 1013 mbar zum Zeitpunkt t=τ⋅σ (2.36)
res hierüber siehe Abschnitt 5. Die oben t = 0 berechnet sich das effektive Saug-
unter 1., 2. und 3. aufgeführten Fragen sind vermögen in Abhängigkeit von der Aus-
V
charakteristisch für die drei wesentlichsten pumpzeit t aus Gleichung (2.32) wie folgt: mit τ =
Seff
Aufgaben der Vakuumtechnik, nämlich:
p dp Seff
1. Evakuieren des Rezipienten bis zum Er-
∫ p =− ·t (2.33a) und σ = `n 1013
reichen eines bestimmten, vorgegebe- 1013 V p
nen Druckes.
2. Abpumpen ständig anfallender Gas- Die Abhängigkeit des Faktors vom gefor-
p S
und Dampfmengen bei einem bestimm- `n = − eff · t (2.33b) derten Druck gibt die Abb. 2.75 wieder.
1013 V Dabei muß berücksichtigt werden, daß das
ten Druck.
Saugvermögen einstufiger Dreh- und
3. Abpumpen der während eines Prozes-
V 1013 V 1013 Sperrschieberpumpen unterhalb 10 mbar
ses durch Veränderung der Temperatur- Seff = · `n = · 2,3 · log
und Druckverhältnisse entstehenden t p t p (2.34) bei Gasballastbetrieb und unterhalb 1 mbar
bei Betrieb ohne Gasballast abnimmt. Die-
Gase und Dämpfe. ses grundsätzliche Verhalten ist für Pum-
Das erste Evakuieren des Rezipienten wird Führen wir den dimensionslosen Faktor pen verschiedener Größen und Typen un-
im Fein-, Hoch- und Ultrahochvakuum-Be- terschiedlich, darf aber zur Bestimmung
1013 1013
reich vom Abpumpen der ständig anfal- σ = `n p = 2,3 · log p (2.34a) der Pumpengröße in Abhängigkeit von der
lenden Gasmengen beeinflußt, weil sich in Auspumpzeit nicht außer acht gelassen

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Vakuumerzeugung

werden. Es muß außerdem ausdrücklich Genauer kann man die Gasabgabe nur von 1·10–5 mbar aufrechtzuerhalten, muß die
darauf hingewiesen werden, daß die Glei- Fall zu Fall experimentell durch die soge- Pumpe ein Saugvermögen von
chungen (2.32 bis 2.36) sowie die Abb. nannte Druckanstiegsmethode bestim-
5 · 2 ·10 – 4 mbar · `/ s
2.75 nur dann gültig sind, wenn der mit men: Das System wird möglichst gut eva- Seff = = 100 ` / s
der venwendeten Pumpe erreichte End- 1·10 – 5 mbar
kuiert, und anschließend werden Pumpe
druck mindestens eine Zehnerpotenz nied- und Rezipient durch ein Ventil getrennt. besitzen.
riger ist als der gewünschte Druck. Nun wird die Zeit gemessen, innerhalb Ein Saugvermögen von 100 `/s ist allein
welcher der Druck im Rezipienten (Volu- dazu erforderlich, die durch Lecks oder
Beispiel: Ein Rezipient mit 500 `Inhalt soll Gasabgabe von den Wänden einströmen-
men V) um einen bestimmten Betrag, z. B.
in 10 min. auf 1 mbar leergepumpt wer- de Gasmenge ständig abzupumpen. Der ei-
um eine Zehnerpotenz, ansteigt. Die auf die
den. Welches effektive Saugvermögen gentliche Evakuierungsprozeß verläuft hier
wird benötigt? Zeit bezogene, anfallende Gasmenge Q be-
rechnet sich dann aus: bei analog zu den in Abs. 2.3.1.1 geschil-
500 `= 0,5 m3; 10 min = 1/6 h derten Beispielen. Doch beginnt der Pump-
Q=
∆p · V (2.37) prozeß bei einer Diffusionspumpe nicht bei
Nach Gleichung (2.34): t Atmosphärendruck, sondern beim Vorva-
0,5 1013 kuumdruck pV. Dann geht Gleichung (2.34)
Seff = · 2,3 · log (∆p = gemessener Druckanstieg) über in:
1/ 6 1
= 3 · 2,3 · 3,01 = 20,8 m3/h p
Diese Gasmenge Q setzt sich zusammen Seff = V · `n V = V · `n K
t p t
Für das oben aufgeführte Beispiel liest man aus der Summe aller Gasabgaben und aller
in Abb. 2.75 auf der Geraden für den Wert eventuell vorhandenen Undichtheiten. Ob Bei einem Vorvakuumdruck pV = 2 ⋅ 10–3 mbar
7 ab, auf der gestrichelten Linie hingegen es sich um Gasabgaben oder um Undicht- ist die »Kompression« K in unserem Bei-
8. Das ergibt nach Gleichung (2.35): heiten handelt, läßt sich grundsätzlich fol- spiel
gendermaßen feststellen:
Seff =
0,5
· 7 = 21 m 3/ h bzw. 2 ⋅10 – 3
K= = 200
1 Die durch Gasabgabe anfallende Gasmen- 1⋅10 – 5
6 ge muß mit der Zeit kleiner werden, die
0,5 Um den Enddruck von 1·10–5 mbar 5 Mi-
Seff = ·8 = 24 m 3/ h durch Undichtheiten eindringende Gas- nuten nach Beginn des Pumpens mit der
1
6 menge bleibt dagegen zeitlich konstant. Diffusionspumpe zu erreichen, ist ein ef-
Experimentell läßt sich diese Trennung fektives Saugvermögen von
unter Berücksichtigung der Abnahme des nicht immer leicht durchführen, da es oft 500 `
Saugvermögens unterhalb 10 mbar. Das lange dauert, bis sich – bei reiner Gasab- Seff = · 2,3 · log 200 ≈ 9 s
5 · 60
erforderliche effektive Saugvermögen ist gabe – die gemessene Druck-Zeit-Kurve
also etwa 24 m3/h. einem konstanten (oder fast konstanten) erforderlich. Dieses ist viel geringer als das
effektive Saugvermögen, das zur Aufrecht-
Endwert nähert, so daß der Anfang dieser
2.3.1.2 Evakuieren eines Behälters im erhaltung des Enddruckes erforderlich ist.
Kurve über längere Zeiten geradlinig ver-
Hochvakuumbereich Auspumpzeit und Endvakuum im Hoch-
läuft und so eine Undichtheit vorgetäuscht
und Ultrahochvakuum-Bereich werden im
Ungleich schwieriger ist es, für den Hoch- wird (siehe auch Abschnitt 5, Lecks und
wesentlichen durch die Gasabgaberate und
vakuumbereich allgemeingültige Gleichun- Lecksuche). die Leckraten bestimmt. Auf mathemati-
gen anzugeben. Da die Pumpzeit, die ge- sche Gesetzmäßigkeiten kann in diesem
Wenn man die Gasabgabe Q und den End-
braucht wird, um einen bestimmten Hoch- Zusammenhang nicht eingegangen wer-
druck pend kennt, den man erreichen will,
vakuumdruck zu erreichen, wesentlich von den. Näheres entnehmen Sie bitte der
dann ist es leicht, daraus das notwendige
der Gasabgabe der inneren Oberflächen Fachliteratur.
des Behälters abhängt, ist deren Beschaf- effektive Saugvermögen der Pumpe zu er-
fenheit und Vorbehandlung vakuumtech- mitteln:
nisch von entscheidender Bedeutung. Auf Q 2.3.1.3 Evakuieren eines Behälters im
Seff = (2.38) Feinvakuum-Bereich
keinen Fall darf der verwendete Werkstoff pend
poröse Stellen aufweisen oder – insbe- Während im Grobvakuum-Bereich das Vo-
sondere mit Rücksicht auf das Ausheizen Beispiel: Ein Rezipient mit 500 ` Inhalt lumen des Vakuumbehälters ausschlagge-
– Lunker haben. Die inneren Oberflächen habe eine Gesamtoberfläche (einschließ- bend für den zeitlichen Ablauf des Aus-
müssen möglichst glatt (wahre Oberfläche lich aller Systeme) von etwa 5 m2. Es wer- pumpprozesses ist, spielt im Hoch- und
= geometrische Oberfläche) und gut ge- de eine ständige Gasabgaberate von Ultrahochvakuum-Bereich die Gasabgabe
säubert (entfettet!) sein. Entsprechend der 2 ⋅ 10–4 mbar ⋅ `/s pro m2 Fläche angenom- von den Wänden die maßgebliche Rolle.
Materialauswahl und der Oberflächenbe- men, ein Wert, mit dem man rechnen muß, Im Feinvakuum-Bereich wird der Aus-
schaffenheit ist die Gasabgabe sehr unter- wenn an dem Vakuumbehälter z. B. Venti- pumpprozeß von beiden Größen beein-
schiedlich. Nützliche Richtwerte sind in Ta- le und Drehdurchführungen angebracht flußt. Außerdem ist im Feinvakuum-Be-
belle X (Abschnitt 9) zusammengestellt. sind. Um in dem System einen Druck von reich der speziell mit Rotations-Vakuum-

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Vakuumerzeugung

pumpen erreichbare Enddruck pend, nicht abgepumpt wird, so muß diese Gasmenge Gasballastpumpe als Vorvakuumpumpe
mehr ohne weiteres vernachlässigbar. Ist beim Vorvakuumdruck pv von der Vor- wählen, die auch bei Betrieb mit Gasbal-
die in den Vakuumbehälter einströmende pumpe mit einem Saugvermögen Sv sicher last das erforderliche Saugvermögen bei
bzw. von den Wänden desorbierende Leck- abgeführt werden. Für die effektive Durch- 2 ⋅ 10–1 mbar erreicht.
bzw. Gasabgaberate Q (in mbar · `/s) be- flußleistung Q gilt somit die Kontinuitäts- Soll die Hochvakuumpumpe nur bei An-
kannt, so geht die Differentialgleichung gleichung: saugdrücken unterhalb 10–3 mbar einge-
(2.32) des Auspumpvorganges über in setzt werden, so genügt eine kleinere Vor-
Q = pA ⋅ Seff = pv ⋅ Sv (2.41)
S eff  p − p 
−Q vakuumpumpe; für das angeführte Beispiel
dp end  (2.39)
=− eine Pumpe mit einem Nennsaugvermö-
dt V Das erforderliche Saugvermögen der Vor- gen von 6 m3/h. Liegen die ständigen An-
Die Integration dieser Gleichung führt zu vakuumpumpe berechnet sich daraus zu: saugdrücke noch niedriger, z.B. unterhalb
p 10–4 mbar, so berechnet sich das erfor-
p − p  SV = A · Seff
end  − Q / Seff
 o  pV (2.41a)
V  (2.40) derliche Saugvermögen der Vorvakuum-
t= `n pumpe gemäß Gleichung 2.41a zu
S p− p  − Q/S
eff   eff
 end 
1·10 – 4
Beispiel: Bei einer Diffusionspumpe mit SV = · 200 = 0,1 `/s = 0, 36 m 3/h
p0 Druck zu Beginn des Pumpprozesses 2 ·10 – 1
p Gewünschter Druck einem Saugvermögen von 400 `/s betra-
ge das effektive Saugvermögen bei Ver- Theoretisch würde es in diesem Fall genü-
Im Gegensatz zu Gleichung 2.33b läßt sich wendung einer Schalendampfsperre 50 % gen, eine kleine Vorvakuumpumpe mit
diese Gleichung nicht in geschlossener des katalogmäßigen Saugvermögens. Der etwa 1 m3/h Saugvermögen einzusetzen.
Form nach Seff auflösen, so daß sich das maximal zulässige Vorvakuumdruck (die In der Praxis sollte man jedoch die Vorva-
effektive Saugvermögen bei bekannter Vorvakuumbeständigkeit) sei 2 ⋅ 10–1 mbar. kuumpumpe nicht so knapp bemessen,
Gasabgabe aus dem Zeit-Druck-Diagramm Das mindestens erforderliche Saugvermö-
weil es besonders bei Anfahrprozessen zu
nicht ohne weiteres bestimmen läßt. gen der Vorpumpe hängt gemäß Gleichung
kurzzeitigen stärkeren Gasausbrüchen im
2.41a vom Ansaugdruck pA ab.
In der Praxis wählt man deshalb folgenden Vakuumbehälter kommen kann. Der Be-
Weg, um eine Pumpe mit genügend Bei einem Ansaugdruck von pA = 1 · 10–2 trieb der Hochvakuumpumpe ist gefährdet,
hohem Saugvermögen zu finden: mbar ist das katalogmäßige Saugvermö- wenn die Gasmengen von der Vorvaku-
gen der Hochvakuumpumpe etwa 100 `/s, umpumpe nicht sofort abgeführt werden
a) Man berechnet nach Gleichung 2.34 das demnach 50 % davon 50 `/s. Somit muß können. Arbeitet man ständig bei sehr
Saugvermögen, das sich aus dem Vo- das Saugvermögen der Vorpumpe minde- niedrigen Ansaugdrücken, so ist der Ein-
lumen des Vakuumbehälters ohne Gas- stens bau eines Puffervolumens (Vorvakuum-
abgabe und der gewünschten Aus-
behälters) zwischen Hoch- und Vorvaku-
pumpzeit ergibt. 1·10 – 2
SV = · 50 = 2,5 `/s = 9 m 3/ h umpumpe zu empfehlen. Die Vorvakuum-
b) Man bildet den Quotienten aus der Ga- 2 ·10 – 1
pumpe braucht dann nur kurzzeitig
sagaberate und diesem Saugvermögen. betragen. betrieben zu werden. Der maximal zuläs-
Dieser Quotient muß kleiner sein als der sige Vorvakuumdruck darf hierbei auf kei-
geforderte Druck, am sichersten um Bei einem Ansaugdruck von pA = 1 · 10–3
mbar hat die Pumpe bereits ihr Nenn- nen Fall überschritten werden.
eine Zehnerpotenz niedriger. Ist diese
saugvermögen von 400 `/s erreicht; das Die Größe des Puffervolumens richtet sich
Bedingung nicht erfüllt, so muß eine
Pumpe mit entsprechend höherem effektive Saugvermögen beträgt jetzt Seff = nach dem abzupumpenden Gesamtgas-
Saugvermögen gewählt werden. 200 `/s; damit wird das erforderliche strom. Ist dieser sehr gering, dann rech-
Saugvermögen der Vorvakuumpumpe net man mit einem halben Liter Puffer-Vo-
1·10 – 3 lumen pro Minute zulässiger Pumpzeit auf
SV = · 200 = 1`/s = 3, 6 m 3/h das gegen die Vorpumpe abgesperrte Puf-
2.3.2 Wahl der geeigneten 2 ·10 – 1
fervolumen.
Vorpumpe Soll die Hochvakuumpumpe zum Abpum-
pen von Gasen oder Dämpfen zwischen Zur Bestimmung der geeigneten Vor-
10–3 und 10–2 mbar eingesetzt werden, pumpe wird vielfach auch ein graphisches
Die von einer Hochvakuumpumpe abge-
dann muß man eine Vorvakuumpumpe mit Verfahren verwendet; man geht dabei nach
saugte Gas- bzw. Dampfmenge muß auch
einem Nennsaugvermögen von 12 m3/h- Gleichung 2.41 von der Saugleistungs-
von der Vorvakuumpumpe gefördert wer-
benutzen, die bei 2 · 10–1 mbar auf jeden charakteristik der Pumpen aus. Diese er-
den. Dabei darf der für den Betrieb der
Fall noch ein Saugvermögen von 9 m3/h gibt sich wie folgt:
Hochvakuumpumpe (Diffusionspumpe,
Turbo-Molekularpumpe) maximal zulässi- hat. Sofern keine Dämpfe abgepumpt wer- Man leitet aus der bekannten Saugvermö-
ge Vorvakuumdruck keinesfalls, auch nicht den, genügt oft eine einstufige Drehschie- genscharakteristik für die Diffusions-
kurzzeitig, überschritten werden. Ist Q die berpumpe, die ohne Gasballast zu betrei- pumpe im Beispiel der 6000 `/s-Pumpe
Gas- oder Dampfmenge, die von der Hoch- ben wäre. Werden aber (auch nur geringe) (Kurve S in Abb. 2.76) die Saugleistungs-
vakuumpumpe mit einem effektiven Saug- Anteile von Dämpfen mit abgepumpt, so charakteristik und damit den Massen-
vermögen Seff, bei einem Ansaugdruck pA sollte man auf jeden Fall eine zweistufige strom dadurch ab, daß man die Saugver-

68
Grundlagen 20.06.2001 11:08 Uhr Seite 69

Vakuumerzeugung

Saugleistung Q [mbar·`·s–1]
Saugvermögen S [`·s–1]

Q [mbar·`·s–1]

Ansaugdruck pa [mbar]

a) Saugvermögenskurve einer 6000`/s Diffusionspumpe b) Saugleistungskurvenschar von 2-stufigen Sperrschieberpumpen


(V.B. = Vorvakuumbeständigkeit)
Abb. 2.76 Diagramm zur graphischen Bestimmung der geeigneten Vorpumpe

mögenswerte S mit den entsprechenden fusionspumpe von 4 ·10–1 mbar mit V.B. 2.3.3 Ermittlung von Auspumpzeiten
Werten für den Ansaugdruck pA multipli- markiert. Schneidet man nun die Kurven- aus Nomogrammen
ziert und das Ergebnis Q der Multiplikati- schar mit dem maximalen Saugleistungs-
on als Funktion der gleichen pA-Werte auf- wert Q = 9,5 mbar `/s der Diffusionspum- In der Praxis würde, etwa zur Kostenab-
trägt. Dies ergibt Kurve Q in Abb. 2.76. pe (Schnittgrade a), so ist der erste schätzung einer geplanten Vakuumanlage,
Unter der Annahme, daß der Ansaug- Schnittpunkt, der zu einem Vorvakuum- die Berechnung von Auspumpzeiten t in
druck der Diffusionspumpe nicht höher als druck kleiner 4 · 10–1 mbar gehört, mit Abhängigkeit vom effektiven Saugvermö-
10–2 mbar wird, ergibt sich aus Kurve Q Kurve 2 gegeben. Die kleinste Vorpumpe, gen Seff, dem geforderten Druck p und dem
eine maximale Saugleistung von 9,5 mbar die den maximalen Gasstrom der Diffusi- Behälter-Volumen V mit den aufgeführten
`/s. onspumpe zu bewältigen vermag, ohne Gleichungen zu mühsam und zu aufwen-
dig sein. Nomograme sind hilfreicher. Mit
Die Vorpumpe muß nun so gewählt werden, den Betrieb der Diffusionspumpe nachtei-
dem Nomogramm der Abb. 9.7 im Ab-
daß sie diese Gasmenge bei einem Druck lig zu beeinflussen, ist daher im gewählten
schnitt 9 können die Auspumpzeiten für
bewältigen kann, der gleich oder geringer Beispiel eine zweistufige 100 m3/h Sperr-
Vakuumanlagen, die mit Drehkolbenpum-
ist als die Vorvakuumbeständigkeit der Dif- schieberpumpe.
pen evakuiert werden, schnell ermittelt
fusionspumpe, die bei der 6000 `/s-Pumpe Ist der maximale Gasstrom von 9,5 werden, wenn das Saugvermögen der be-
4·10–1 mbar beträgt. mbar·`/s vom Pumpverfahren oder Pro- treffenden Pumpe im durchfahrenen
Ausgehend von den Saugvermögenscha- zeß her überhaupt nicht zu erwarten, so Druckbereich einigermaßen konstant ist.
rakteristiken einer Reihe handelsüblicher kommt man natürlich mit einer kleineren Mit den dort aufgeführten drei Beispielen
2-stufiger Sperrschieberpumpen bestimmt Vorpumpe aus. Ist beispielsweise höch- ist die Anwendung des Nomogrammes
man nun die dazu gehörigen Sauglei- stens ein Gasstrom von 2 mbar·`/s zu er- leicht zu verstehen.
stungskurven in analoger Weise, wie dies warten (Schnittgerade b), so ergibt die Die Auspumpzeiten von Dreh- und Sperr-
bei der Diffusionspumpe (Abb. 2.76a) Eintragung dieses Wertes in das Dia- schieberpumpen sind, sofern das Saug-
durchgeführt wurde. Das Ergebnis ist eine gramm der Abb. 2.76b, daß bereits eine vermögen der betrachteten Pumpe bis
Kurvenschar gemäß Abb. 2.76b für vier viel kleinere Vorpumpe mit 25 m3/h aus- zum geforderten Druck konstant ist, an
zweistufige Sperrschieberpumpen mit den reichend ist (Kurve 4). Hand des Beispiels 1 bestimmbar.
Nennsaugvermögen 200 m3/h (Kurve 1), Wälzkolbenpumpen haben im allgemeinen
100 m3/h (Kurve 2), 50 m3/h (Kurve 3) und in dem zu betrachtenden Arbeitsbereich
25 m3/h (Kurve 4). An der Abszisse ist die kein konstantes Saugvermögen. Zur Ab-
Vorvakuumbeständigkeit der 6000 `/s Dif- schätzung der Auspumpzeit genügt es al-

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Grundlagen 20.06.2001 11:08 Uhr Seite 70

Vakuumerzeugung

lerdings meistens, das mittlere Saugver- Computergestützte Berechnungen bei


mögen anzunehmen. Die Beispiele 2 und 3 LEYBOLD
des Nomogrammes zeigen darüber hinaus, Naturgemäß werden die Berechnungen für
daß bei Wälzkolbenpumpen die Kompres- die Auslegung unserer Anlagen für die In-
sion K nicht auf den Atmosphärendruck dustrie mittels Computerprogrammen er-
(1013 mbar), sondern auf den Druck zu stellt. Diese erfordern eine hohe Rechner-
beziehen ist, bei dem die Wälzkolbenpum- und Speicherkapazität und stehen daher
pe eingeschaltet wird. für einfache Überschlagsberechnungen
Im Feinvakuumgebiet machen sich die meist nicht zur Verfügung.
Gasabgabe oder Leckrate bereits erheblich
bemerkbar. Das Nomogramm 9.10 im Ab-
schnitt 9 läßt entsprechende Bestimmun- 2.3.4 Evakuieren eines Behälters
gen der Auspumpzeit im Feinvakuumge-
bei Anfall von Gasen und
Dämpfen
biet zu.
Für viele Anwendungsfälle ist es zweck- Die in den beiden vorangegangenen Ab-
mäßig, den jeweils erreichbaren Druck in sätzen aufgestellten Betrachtungen über
Abhängigkeit von der Auspumpzeit auf- die Auspumpzeiten werden erheblich ver-
zutragen. Dies ist mit Hilfe des Nomo- ändert, wenn während des Evakuierungs-
grammes 9.7 in Abschnitt 9 leicht mög- prozesses Dämpfe und Gase anfallen. Ins-
lich. besondere bei Ausheizprozessen, wenn
Als erstes Beispiel soll die Auspumpkurve also die Oberflächen des Rezipienten von
– also die Zusammenhang zwischen Druck Verunreinigungen gesäubert werden, kön-
p (im Nomogramm als pEnde bezeichnet) nen größere Dampfmengen anfallen. Die
und Pumpzeit tp für den Fall hergeleitet dadurch auftretenden notwendigen Aus-
werden, daß ein 5 m3-Behälter mittels einer pumpzeiten hängen von den verschieden-
einstufigen Sperrschieberpumpe E 250 sten Parametern ab. Je höher die Rezipi-
evakuiert wird. Diese Pumpe hat ein Saug- entenwände erhitzt werden, desto größer
vermögen von Seff = 250 m3/h und einen Abb. 2.77 ist die Gas- und Dampfdesorption von den
Enddruck pend,p = 3·10–1 mbar mit Gasbal- Auspumpzeit tp eines 5 m3 Behälters mit einer Sperrschie- Wänden. Je heftiger aber durch diese Tem-
last und pend,p = 3·10–2 mbar ohne Gasbal-
berpumpe E 250 mit einem Nennsaugvermögen von 250 peraturerhöhung die Gase und Dämpfe
m3/h mit (a) und ohne Gasballast (b), sowie der Wälzkol- von den Wänden entweichen, desto
lastbetrieb. Die Zeitkonstante τ = V/Seff ben-/Sperrchieber-Pumpenkombination WA1001/E250 für
einen Einschaltdruck der WA 1001 von 10 mbar (e). schneller können sie aus dem Rezipienten
(siehe Gleichung 2.36) ist in beiden Fällen
entfernt werden.
gleich und beträgt gemäß Nomogramm
9.7 70s (Leiter 3). Für alle Drücke pEnde Die Höhe der für derartige Ausheizprozes-
> pend,p ergibt die Verbindungslinie vom se zulässigen Temperaturen wird aller-
den analogen Verlauf der Charakteristik der dings wesentlich durch das Material im
»70 s« Punkt auf Leiter 3 mit dem (pEnde
Kombination WA2001/E250 in Abb. 2.19) Vakuumbehälter bestimmt. Genaue Aus-
– pend,p)-Punkt auf der rechten Skala der
muß man als Näherung über bestimmte pumpzeiten lassen sich nur dann rechne-
Leiter 5 den entsprechenden tp-Wert. Die-
Druckbereiche Mittelwerte für Seff ein- risch ermitteln, wenn die Menge der an-
ses graphische Verfahren führt zu den Kur-
führen. Für die Kombination WA 1001/ fallenden und abzupumpenden Dämpfe
ven a und b in Abb. 2.77.
E 250 sind dies folgende: bekannt ist. Da dies jedoch außer bei
Es ist etwas mühsamer, die Auspumpkur- Trocknungsprozessen gewöhnlich nicht
ve (pEnde, tp) im Falle einer Pumpenkombi- Seff = 800 m3/h für den Druckbereich von der Fall ist, soll auf eine quantitative Be-
nation zu bestimmen. Dies soll im zweiten 10 mbar bis 1 mbar handlung dieser Frage in diesem Rahmen
Beispiel gezeigt werden: Der 5 m3-Behäl- verzichtet werden.
Seff = 900 m3/h für den Druckbereich von
ter wird mittels der Wälzkolbenpumpe WA
1 mbar bis 5 ⋅ 10–2 mbar
1001 evakuiert, die mit der ohne Gasbal-
last arbeitenden Vorpumpe E 250 (wie Seff = 500 m3/h für den Druckbereich von
2.3.5 Pumpendimensionierung bei
oben) kombiniert ist und zwar so, daß die 5 ⋅ 10–2 mbar bis 5 ⋅ 10–3 mbar.
Trocknungsprozessen
Wälzkolbenpumpe erst dann eingeschal- Der Enddruck der Kombination WA1001/
tet wird, wenn der Druck im Behälter auf E 250 beträgt: pend,p = 3 ⋅ 10–3 mbar. Mit Grundsätzlich sind hier zu unterscheiden:
10 mbar abgefallen ist. Da die Saugver- den angegebenen Zahlenwerten findet man Kurzzeittrocknungen und Trocknungspro-
mögenscharakteristik der Kombination WA analog zum ersten Beispiel die entspre- zesse, die mehrere Stunden, ja sogar Tage
1001/E 250 – im Gegensatz zur Charakte- chenden Zeitkonstanten und mit Hilfe der in Anspruch nehmen können. Unabhängig
ristik der Pumpe E 250 – keineswegs mehr Druckreduktion R an der linken Skala der von der Trocknungsdauer nehmen alle
über den größten Teil des Druckbereichs Leiter 5 die Auspumpzeiten tp. Das Ergeb- Trocknungsprozesse etwa den in Abschnitt
horizontal verläuft (siehe zum Vergleich nis ist die Kurve c in Abb. 2.77. 2.24 aufgeführten Verlauf.

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Grundlagen 20.06.2001 11:08 Uhr Seite 71

Vakuumerzeugung

Am Anwendungsbeispiel der Salztrock- 2. Vortrocknen


nung (Kurzzeittrocknung), sei ein bereits Beim Vortrocknen werden – je nach dem
in der Praxis vielfach erprobter Trock- Druckbereich, in dem gearbeitet wird –
nungsprozeß beschrieben. etwa 75 % der Feuchtigkeit entzogen. Die-
ses Vortrocknen soll das erste Drittel der
Salztrocknen Trocknungszeit einnehmen. Wie schnell
400 kg feinkörniges Salz mit einem Was- dieses Vortrocknen abläuft, hängt fast aus-
sergehalt von etwa 8 Gew.-% soll in mög- schließlich von der genügenden Wärme-
lichst kurzer Zeit (etwa 1 Stunde) soweit zufuhr ab. Zum Vortrocknen von einer
getrocknet werden, daß der Wassergehalt Tonne Papier in 5 Stunden müssen 60 kg
geringer ist als 1 Gew.-%. Der zu erwarten- Wasser verdampft werden, d.h. es ist ein
de Wassergehalt beträgt also etwa 28 kg. Energieaufwand zur Wasserverdampfung
Das Salz wird im Rezipienten während des von rund 40 kWh notwendig. Da gleich-
Trocknungsprozesses ständig durchge- zeitig das Papier auf seine Trocknungs-
mischt und auf etwa 80°C erhitzt. Das Va- temperatur von ca. 120°C erwärmt werden
kuumschema ist in Abb. 2.78 wiedergege- soll, müssen im Mittel ca. 20 kW zugeführt
ben. werden. Der mittlere Dampfanfall pro
Während des ersten Viertels der Trock- Stunde beträgt 12 kg. Ein Kondensator, der
nungszeit fällt bereits mehr als die Hälfte eine Leistung von 15 kg/h hat, dürfte also
der Wasserdampfmenge an. Dabei ist der zur Wasserkondensation ausreichen. Ist
Kondensator die eigentliche Haupt- das Papier vor dem Evakuieren – etwa
pumpe. Infolge der hohen Wasserdampf- 1 Rezipient mit Salzfüllung, 4 Drosselventil, durch Umlufttrocknung – gut vorgeheizt,
temperatur und des zu Beginn des Trock- 2 RUVAC WA 501,
3 Kondensatoren,
5 Sperrschieberpumpe
6 TRIVAC S 65 B muß man in der ersten Trocknungsstunde
nens sehr hohen Wasserdampfdruckes mit dem doppelten Dampfanfall rechnen.
Abb. 2.78
wird die Kondensationsleistung eines Vakuumschema zur Salztrocknung. Pumpenkombination
Kondensators erheblich erhöht. Aus Abb. Wälzkolbenpumpe-Kondensator-Sperrschieberpumpe mit 3. Haupttrocknen
2.78 ist zu entnehmen, daß zwei parallel Ventilen zur stufenweisen Schaltung des Pumpprozesses
Im zweiten Abschnitt soll der Druck in wei-
(siehe Text)
geschaltete Kondensatoren von je 1 m2 teren 5 Stunden von 20 auf etwa 5,3 mbar
Kondensationsfläche bei einem Ansaug- gesenkt werden und 75 % der Restfeuch-
druck von 100 mbar in 15 Minuten zu- der Gasballastpumpe als Vorpumpe, bis
tigkeit (d.h. 19 % der Gesamtfeuchtigkeit
sammen etwa 15` Wasser kondensieren sich ein Wasserdampfdruck von etwa 0,65
oder 15 kg) entzogen werden. Die Pumpe
können. Während dieses Prozeßbeginns mbar im Rezipienten eingestellt hat. Aus
muß also nach den Gleichungen (2.37)
muß allerdings gewährleistet sein, daß der Erfahrung kann man annehmen, daß das
und (2.38) ein Saugvermögen haben von
Wasserdampfdruck im Ansaugstutzen der Salz jetzt den gewünschten Trocknungs-
Sperrschieberpumpe 60 mbar nicht über- grad erreicht hat. V · ∆p
Seff =
steigt (siehe hierzu Abs. 2.1.5). Da die t·p
Vorpumpe hierbei nur den kleinen Teil der Papiertrocknen Nach Gleichung 1.7 entsprechen 15 kg
unkondensierbaren Gase abzupumpen Will man die Pumpen für einen längeren Wasserdampf bei 15°C einer Wasser-
hat, genügt hier eine einstufige Dreh- Prozeßablauf richtig dimensionieren, so ist
dampfmenge von
schieberpumpe TRIVAC S 65 B. Mit zu- es zweckmäßig, sich den Prozeßablauf in
m · R · T 15 ·83,14 · 288 ≈
nehmender Prozeßdauer sinkt der Was-
die charakteristischen Teilabschnitte zer- V · ∆p = =
legt zu denken. Wie dabei im einzelnen vor- M 18
serdampfanfall und damit der Wasser-
gegangen wird, soll am Beispiel der Pa- ≈ 20000 mbar · m3 folglich ist
dampfdruck in den Kondensatoren. Nach
piertrocknung erläutert werden. Das Papier
Absinken des Wasserdampfdruckes im
habe einen Anfangsfeuchtigkeitsgehalt von
Rezipienten auf unter 27 mbar wird die 20000
8 %, der Kessel das Volumen V. Seff = = 750 m 3/h
Wälzkolbenpumpe (z.B. eine RUVAC WA 5 · 5, 3
501) eingeschaltet. Dadurch wird der 1. Evakuieren Damit wäre die Wälzkolbenpumpe RUVAC
Wasserdampf schneller aus dem Rezipi- Die Vorpumpe muß gemäß dem Kesselvo- WA 1001 die geeignete Pumpe. Die noch
enten gepumpt, der Druck in den Kon- lumen und der gewünschten Auspumpzeit zulässige Restfeuchtigkeit des Produktes
densatoren steigt und ihre Kondensati- dimensioniert werden. Diese Auspumpzeit bestimmt den zu erreichenden Enddruck.
onsleistung wird wieder größer. Bei Errei- richtet sich nach der gewünschten Pro- Die Relation zwischen Enddruck und Rest-
chen des Sättigungsdampfdruckes des zeßdauer: Soll der Prozeß der Trocknung feuchtigkeit ist für jedes Produkt eindeutig
Wasserdampfes in den Kondensatoren nach 12 – 15 Stunden beendet sein, so bestimmt, jedoch von Produkt zu Produkt
werden diese durch Ventile abgetrennt. Im sollte die Auspumpzeit nicht länger als 1 verschieden; in unserem Hause liegen dar-
Rezipienten herrscht jetzt nur noch ein Stunde dauern. Die Größe der Vorpumpe über langjährige Erfahrungen vor. Nehmen
Wasserdampfdruck von etwa 4 mbar. Jetzt läßt sich leicht nach Abschnitt 2.3.1 be-
wir an, es sei eine 0,1 %ige Restfeuchtig-
pumpt nur noch die Wälzkolbenpumpe mit rechnen.

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Grundlagen 20.06.2001 11:08 Uhr Seite 72

Vakuumerzeugung

keit gefordert und der hierfür notwendige flansche können mit Klammerschrau- Alle Edelstahlflansche können ohne Beein-
Endtotaldruck sei 6 ⋅ 10–2 mbar. Während ben oder mit Hilfe von Überwurfflan- trächtigung der Funktionsfähigkeit bis
der letzten 5 Stunden fallen dann die rest- schen verbunden werden. Zur Abdich- 200°C ausgeheizt werden. Als Dichtmate-
lichen 6 % des Feuchtigkeitsgehaltes oder tung sind Zentrierringe oder Dicht- rial ist dann jedoch Perbunan ungeeignet.
5 kg Wasser an. Bei einem mittleren Druck scheiben nötig. Mit Dichtringen aus VITILANh, (spezielles
von ca. 0,65 mbar ergibt sich ein Dampf- • Feste Flansche (ISO-F) aller Nennwei- Viton), können Ausheizprozesse bis zu ma-
anfall von 2000 m3/h. Es bieten sich zwei ten siehe oben (nach PNEUROP und ximal bis 150°C und mit Aluminium-
Möglichkeiten an: ISO/TC 112). In Sonderfällen werden al- Dichtringen bis 200°C durchgeführt wer-
a) Man arbeitet weiterhin mit der oben er- lerdings auch Festflansche mit kleine- den. Nach derartigen Ausheizprozessen
wähnten RUVAC WA 1001. Gemäß der ren Nennweiten verwendet. Klammer- lassen sich in Vakuum-Anlagen Drücke bis
anfallenden Wasserdampfmenge stellt flansche und Festflansche entsprechen 10–8 mbar, also bis in den UHV-Bereich er-
sich der Endtotaldruck ein. Man wartet, der DIN 28 404. zeugen.
bis ein Druck von etwa 6,5·10–2 mbar Die Nennweite entspricht im allgemeinen Zum Erzeugen von Drücken unterhalb 10–8
erreicht ist, was natürlich etwas länger dem freien Innendurchmesser des Flan- mbar sind höhere Ausheiztemperaturen
dauert. sches in mm. Abweichungen zählen zu den nötig. Wie bereits näher erläutert (siehe
b) Man dimensioniert die Wälzkolben- Ausnahmen: So hat z. B. der Klammer- Abschnitt 2.2.6), erfordert das Arbeiten im
pumpe von vornherein etwas größer flansch DN 63 einen Innendurchmesser UHV-Bereich grundsätzlich eine andere
(z. B. mit einem Saugvermögen von von 70 mm. Siehe auch Tabelle XI in Ab- Arbeitstechnik und die Verwendung von
etwa 2000 m3/h ist die RUVAC WA 2001 schnitt 9. CF-Flanschen mit metallischen Dichtrin-
geeignet). Für größere Papiermengen gen.
(z.B. 5000 kg) sind Pumpsätze geeig- HV-Bauteile bestehen aus Aluminium oder
net, die bei einem Saugvermögen für aus Edelstahl. Die Edelstahlausführung ist
Wasserdampf bis 20.000 m3/h den 2.3.7 Auswahl geeigneter Ventile
zwar etwas teurer, bietet aber eine Reihe
Druck automatisch von 27 auf 10–2 mbar von Vorteilen: Geringe Gasabgabe, korro-
senken. Die gesamte Trocknungszeit Die Vakuumtechnik stellt höchste An-
sionsfest, ausheizbar bis 200°C, Metall-
wird durch den Einsatz solcher Pump- sprüche an Funktion und Betriebssicher-
dichtungen möglich, und nicht zuletzt eine
sätze wesentlich verkürzt. heit der Ventile, die oft an einer Anlage in
gegenüber Aluminium wesentlich höhere großer Zahl benötigt werden. Diese An-
Kratzfestigkeit. sprüche sind nur dann zu erfüllen, wenn
für jeden Anwendungsfall das hinsichtlich
2.3.6 Flansche und ihre UHV-Bauteile bestehen aus Edelstahl und
seiner Bauweise, Betätigungsart und
Abdichtungen sind mit hochausheizbaren CF-Flanschen
Größe richtige Absperrorgan eingesetzt
ausgerüstet, die beginnend bei Nennweite
wird. Daneben sind für den Aufbau und die
Lösbare Verbindungen von metallischen 16 bis zur Nennweite 250 serienmäßig ge-
Arbeitsweise von Vakuumanlagen aber
Vakuumbauelementen, Pumpen, Ventilen, fertigt werden. CF-Flansche werden so-
auch vakuuumtechnische Funktionswerte,
Rohrleitungen usw. werden im allgemei- wohl als Festflansche als auch mit dreh-
wie Leitwerte und Dichtheit der Ventile,
nen mit Flanschen hergestellt. LEYBOLD- baren Überwurfflanschen geliefert. Sie
von großer Bedeutung.
Bauelemente für Grob-, Fein- und Hoch- können mit CONFLATh–Flanschen (einge-
tragenes Warenzeichen der Firma Varian, Um eine möglichst geringe Drosselung des
vakuum sind serienmäßig mit folgenden
Palo Alto, California, USA) fast aller Her- Saugvermögens der Pumpe durch die Ven-
Flanschsystemen ausgerüstet:
steller verbunden werden. Zum Dichten tile zu erreichen, sind diese so konstruiert,
• Kleinflansche (KF) (Schnellverbindun- daß ihr Leitwert bei maximaler Öffnung im
werden Kupfer-Dichtringe verwendet.
gen nach DIN 28 403) der Nennweiten Grob- und Feinvakuumbereich der gleiche
10, 16, 20, 25, 32, 40 und 50. Die Nenn- Die freie Öffnung der Flansche sollte ist wie bei entsprechenden Rohrbauteilen
weiten 10, 16, 25 und 40 sind Vor- grundsätzlich nicht kleiner sein als der – im Falle eines Eckventils also gleich dem
zugsnennweiten gemäß den PNEUROP- Querschnitt der Rohrleitungen und Bau- Leitwert eines Rohrbogens gleicher Nenn-
Empfehlungen und den ISO-Empfehlun- elemente, die durch sie verbunden werden. weite und gleichen Eckmaßes. Der Leitwert
gen des technischen Komitees TC/112 Sofern keine aggressiven Gase und Dämp- der Ventile bei Molekularströmung, d. h.
(siehe auch Abschnitt 11). Zur Verbin- fe abgepumpt werden und das Vakuumsy- also im Hoch- und Ultrahochvakuum-Be-
dung von zwei identischen Flanschen ist stem keinen Temperaturen oberhalb 80°C reich, ist ebenfalls so hoch, daß keine nen-
ein Spannring und ein Zentrierring er- ausgesetzt wird, genügen zum Abdichten nenswerte Drosselung auftritt. Diese Leit-
forderlich. der Flansche Runddichtringe aus Perbun- werte sind im Katalog angegeben.
• Klammerflansche (ISO-K) der Nenn- an. Dies ist oft für Arbeiten im Grob-, Fein- Den hohen Dichtheitsforderungen ent-
weiten 63, 100, 160, 250, 320, 400, 500 und auch im Hochvakuum-Bereich der Fall sprechend, werden hochwertige Vakuum-
und 630. Auch diese Flansche entspre- und darüber hinaus, um Vakuumsysteme ventile so konstruiert, daß bei der Betäti-
chen hinsichtlich der Nennweite und vor der endgültigen Montage auf Funkti- gung keine Verschleppung von Gasmo-
Konstruktion den PNEUROP- und onstüchtigkeit zu überprüfen. lekülen, die auf der Oberfläche des
ISO/TC 112-Empfehlungen. Klammer- Ventilschaftes haften, von der Atmosphä-

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Grundlagen 20.06.2001 11:08 Uhr Seite 73

Vakuumerzeugung

gehören alle Fein- und Hochvakuumventile geometrie. Als Dichtungen kommen dafür
mit Handbetätigung oder elektropneuma- meist Kupfer oder Gold in Frage.
tischem Antrieb (Abb. 2.80) und die Ma- Die vielfältigen Einsatzgebiete verlangen
gnetventile (Abb. 2.79) von LEYBOLD. Die Ventile mit verschiedenen Antriebsarten;
Leckraten dieser Ventile nach außen und neben handbetätigten Ventilen solche mit
am Ventilsitz sind kleiner als 10–9 mbar `/s. elektropneumatischem, magnetischem
Für spezielle, sehr hohe Ansprüche mit be- und – bei Dosierventilen – motorischem
sonders häufigen und schnellen Schaltzy- Antrieb. Die Variationsmöglichkeiten wer-
klen werden auch Ventile mit fettüberla- den durch unterschiedliche Gehäuseaus-
gerten Abdichtungen gebaut, deren Leck- führungen noch erweitert. Neben ver-
rate ebenfalls höchstens 10–9 mbar `/s schiedenartigen Werkstoffen werden Eck-
beträgt. Eine Sonderstellung nehmen hier- und Durchgangsventile angeboten. Der
Nennweite und dem Einsatzbereich ent-
bei allerdings Pendelschieber in Normal-
sprechend sind die Anschlußflansche als
ausführung ein. Sie können trotz einer fet-
Kleinflansche (KF), Klammerflansche (ISO-
tüberlagerten Dichtung zwischen Vakuum
K), Festflansche (ISO-F) oder UHV-Flan-
und Atmosphäre hinsichtlich der Leckrate
sche (CF) ausgebildet.
den hochwertigen federbalggedichteten
Ventilen gleichgesetzt werden, weil die An- Neben den Vakuumventilen, die reine Ab-
triebsachse in der Dichtung nur eine Dreh- sperrfunktionen in einem Vakuumsystem
bewegung ausführt und deshalb keine besitzen, gibt es auch eine Reihe von Ven-
Gasverschleppung in den Vakuumraum tilen, die für spezielle Verwendungszwecke
1 Gehäuse, 3 Druckfeder, stattfindet. Pendelschieber werden aller- gebaut werden. Zu dieser Gruppe gehören
2 Ventilteller, 4 Magnetspule
dings von LEYBOLD nicht gefertigt. z. B. die Dosierventile, deren Palette den
Abb. 2.79 Dosierbereich von 10–10 cm3/s (NTP) bis
Für Arbeitsdrücke bis herab zu 10–7 mbar
Vakuum-Eckventil mit elektromagnetischem Antrieb zu 1,6 ⋅ 103 cm3/s (NTP) abdeckt. Sie kön-
genügen die Ventile in ihrer Normalaus-
nen, mit einem motorischen Antrieb ver-
führung, d.h. Dichtungen und Gehäuse- sehen, ferngesteuert werden und in Ver-
material sind aus Werkstoffen, bei denen bindung mit einem Druckmeßgerät ge-
die Permeation und die Gasabgabe der wünschte Verfahrensdrücke einstellen und
Oberfläche noch keine entscheidende halten.
Bedeutung für den Arbeitsprozeß besit-
zen. Andere Spezialventile haben Sicherheits-
funktionen; sie dienen zum schnellen,
Werden Drücke bis zu 10–9 mbar verlangt, automatischen Absperren von Diffusions-
sind meist Ausheizprozesse bis zu 200°C pumpen oder Vakuumanlagen bei Strom-
notwendig. Diese Temperaturen verlangen ausfall. In diese Gruppe gehören zum Bei-
sowohl wärmebeständige Dichtungen (Vi- spiel die SECUVAC Ventile, die bei Strom-
tilan) als auch Materialien mit geringer ausfall die Vakuumanlage gegenüber dem
Gasabgabe, hoher Festigkeit und guter Pumpsystem absperren und das Vorvaku-
Oberfläche. Für diese Zwecke werden Ven- umpumpsystem belüften. Das Vakuumsy-
tile in Edelstahlausführung eingesetzt. stem wird nach Wiedereinsetzen der
Flanschverbindungen können darüber hin- Stromversorgung erst dann freigegeben,
aus mit Aluminiumdichtungen ausgerüstet wenn ein gewisser Mindestdruck erreicht
werden, wobei die bei Elastomer-Dichtun- ist (ca. 200 mbar).
gen unvermeidlichen Permeationsraten
Beim Auftreten von aggressiven Gasen
entfallen. Im UHV-Bereich haben diese Fra-
oder Dämpfen in Verfahrensabläufen wer-
gen besondere Bedeutung, weshalb vor-
den im allgemeinen Ventile in Edelstahl-
wiegend metallische Dichtungen eingesetzt
1 Gehäuse, 4 Druckluftversorgung, ausführung mit Vitilandichtungen einge-
2 Ventilteller, 5 Kolben werden müssen. Die an der Oberfläche der
3 Federbalg, setzt. Für die Kernverfahrenstechnik sind
Werkstoffe haftenden Gasmoleküle gewin- Ventile mit speziellen Elastomer- oder Me-
Abb. 2.80 nen bei Drücken unter 10–9 mbar sehr
Vakuum-Eckventil mit elektropneumatischem Antrieb talldichtwerkstoffen entwickelt worden.
großen Einfluß, sie können in vertretbaren Über ihre Anwendungsbereiche und Aus-
re in das Vakuum erfolgen kann. Diese Zeiträumen nur durch gleichzeitiges Aus- führungsformen unterrichten wir Sie auf
Ventile besitzen daher Metallfederbälge heizen abgepumpt werden. Ausheiztempe- Anfrage.
zur Abdichtung des Ventilschaftes gegen raturen bis zu 450°C, die in der UHV-Tech-
die Atmosphäre, oder es existieren zwi- nik angewendet werden müssen, stellen
schen Atmosphäre und Vakuum nur sta- besondere Anforderungen an die Dicht-
tische Dichtungen. Zur dieser Gruppe werkstoffe und die gesamte Dichtungs-

73
Grundlagen 20.06.2001 11:08 Uhr Seite 74

Vakuummessung

2.3.8 Gasschleusen und


Verschußventile
3. Vakuummessung,
-überwachung,
In vielen Fällen ist es wünschenswert, eva-
kuierte oder mit Gas gefüllte Behälter nicht -steuerung
nur dicht verschließen zu können, sondern
auch die Möglichkeit zu haben, den Druck/
und -relegung
das Vakuum in diesen Behältern zu einem Der heute der Messung zugängliche
h
späteren Zeitpunkt zu überprüfen und even- Druckbereich des Vakuums erstreckt sich
tuell nachzuevakuieren bzw. die Gasfüllung von 1013 mbar bis 10–12 mbar, also über
zu ergänzen oder auswechseln zu können. DN 15 Zehnerpotenzen. Diese enorme Dyna-
Dies kann besonders einfach durch ein mik wird in der Analogiebetrachtung von
a
Verschlußventil von LEYBOLD erreicht Vakuumdruckmessung und Längenmes-
werden, das über eine zugehörige Gas- sung besonders deutlich, die in Tabelle 3.1
schleuse betätigt wird: Der Kleinflan- a dargestellt ist.
schanschluß des evakuierten oder gasge-
füllten Behälters wird durch ein kleines
h1 h2 Analogiebetrachtung
Verschlußstück, welche das eigentliche
Ventil bildet, innerhalb des Rohransatzes d Erfassung durch Absolutdruck Länge
hermetisch verschlossen. Die zur Betäti-
gung erforderliche Gasschleuse wird nach Erfahrungswelt
Abb. 2.81
der Evakuierung oder Gasfüllung vom des Menschen 1 bar 1m
Gasschleuse mit Zentrierring und Verschußventil,
Kleinflansch abgenommen. Somit genügt Schnittzeichnung einfache
eine Gasschleuse zur Betätigung von un- Meßmittel > 1 mbar > 1 mm
begrenzt vielen Verschlußventilen. Die
Abb. 2.81 zeigt die Schnittzeichung einer mechanische
Meßmittel > 10–3 mbar > 1 µm
solchen Anordnung. Gasschleusen und
-Verschlußventile werden von LEYBOLD in indirekte
den Nennweiten DN 16 KF, DN 25 KF und Verfahren 10–9 mbar ≈ 1/100 Atom∅
DN 40 KF hergestellt und sind aus Edel- extreme indirekte ≈ 0,18
stahl. Die Leckrate der Verschlußventile ist Verfahren 10–12 mbar Elektronen∅
kleiner 1 · 10–9 mbar `/s; sie sind über-
Tabelle 3.1
druckbeständig bis 2,5 bar, temperaturbe-
ständig bis 150°C, und können gegen Ver-
schmutzung mit einem Standard-Blind-
Zur Messung in diesem weiten Druckbe-
flansch abgesichert werden.
reich dienen Meßgeräte, die als Vakuum-
Ein typisches Anwendungsbeispiel sind meter bezeichnet werden. Da es aus phy-
doppelwandige Behälter mit Isoliervakuum sikalischen Gründen unmöglich ist, ein Va-
wie Dewargefäße, Flüssiggas-(Tankwagen) kuummeter zu bauen, mit dem man im
behälter oder Fernwärme-Rohrleitungen gesamten Vakuumbereich quantitativ mes-
etc. Aber auch für das Evakuieren bzw. sen kann, stehen zur Überdeckung des Ge-
Nachevakuieren von Referenz- und Stütz- samtbereiches eine Reihe von Vakuum-
vakua an wissenschaftlichen Geräten wer- metern zur Verfügung, von denen jedes
den gerne Verschußventile mit Gasschleu- einen charakteristischen Meßbereich be-
sen verwendet. Bislang war es erforderlich, sitzt, der sich meist über einige Zehnerpo-
ständig eine Pumpe angeschlossen zu tenzen erstreckt (siehe Abb. 9.16a). Um
haben, um gegebenenfalls nachevakuieren den einzelnen Vakuummetertypen mög-
zu können. Durch den Einsatz von Gas- lichst große Meßbereiche zuordnen zu
schleusen mit Verschlußventilen wird der können, wird in Kauf genommen, daß die
Behälter vakuumdicht verschlossen und die Meßunsicherheit an den oberen und unte-
Pumpe wird nur noch gelegentlich zum ren Bereichsgrenzen OG und UG sehr stark
Überprüfen bzw. Nachevakuieren benötigt. – mitunter bis auf 100% – ansteigt. Dieser
Zusammenhang ist in Abb. 3.1 am Beispiel
des VISCOVAC’s dargestellt. Man muß also
zwischen Meßbereich wie im Katalog an-
gegeben und Meßbereich für „genaues“
Messen unterscheiden. Die Meßbereiche

74
Grundlagen 20.06.2001 11:08 Uhr Seite 75

Vakuummessung

messen, das im wesentlichen aus Treib-


mittelmolekülen besteht, so ist die (für Luft
20 oder N2 geltende) Druckanzeige – gemäß
relative Meßunsicherheit (%)

„günstiger Meßbereich“
Tabelle 3.2 – etwa um den Faktor 10 zu
15 hoch.
(relative Meßunsicherheit < 5%)
Die Messung von Drücken im Grobvaku-
10 um-Bereich läßt sich durch Vakuummeter
mit direkter Druckmessung relativ genau
5 durchführen. Die Messung niedrigerer
Drücke dagegen ist fast immer mit einer
1
Reihe prinzipieller Fehler behaftet, welche
10
–6
10–5 10–4 10–3 10–2 10–1 1 die Meßgenauigkeit von vornherein be-
Druck (mbar) grenzen, so daß sie in keiner Weise mit der
sonst in der Meßtechnik üblichen Meßge-
nauigkeit verglichen werden kann. Schon
Abb. 3.1 um im Fein- und Hochvakuum-Bereich
Meßunsicherheitsverteilung über den Meßbereich: VISCOVAC
eine Druckmessung mit einer Meßunsi-
der einzelnen Vakuummeter sind nach die Wand ausüben, ist nach der kineti- cherheit kleiner als 50% durchzuführen, ist
oben und unten durch physikalische Ef- schen Gastheorie nur von der Zahl der eine erhöhte Sorgfalt des Experimentators
fekte begrenzt. Gasteilchen pro Volumeneinheit (Teil- notwendig. Druckmessungen, die bis auf
chenanzahldichte n) und ihrer Tempera- wenige Prozent genau sein sollen, erfor-
tur abhängig, nicht jedoch von ihrer mo- dern einen großen Aufwand und im allge-
3.1 Grundsätzliches zum laren Masse. Die Anzeige ist gasart- meinen die Anwendung spezieller Meßin-
Messen niedriger Drücke unabhängig. Hierher gehören Flüßig- strumente. Dies gilt in besonderem Maße
keits-Vakuummeter und mechanische für alle Druckmessungen im Ultrahochva-
Vakuummeter sind Geräte zum Messen Vakuummeter. kuumbereich (p < 10–7 mbar).
von Gasdrücken unterhalb des Atmos- 2. Geräten mit indirekter Druckmessung. Will man eine Aussage über einen von
phärendruckes (DIN 28400, Teil 3, 1992). Bei diesen wird der Druck als Funktion einem Vakuummeter angezeigten Druck
In vielen Fällen ist die Druckanzeige gas- einer druckabhängigen (genauer: dich- machen, so hat man in erster Linie darauf
artabhängig. Bei Kompressions-Vakuum- teabhängigen) Eigenschaft (Wärmeleit- zu achten, an welcher Stelle und in wel-
metern ist zu beachten, daß bei Vorhan- fähigkeit, Ionisierungswahrscheinlich- cher Weise das Meßsystem angeschlos-
densein von Dämpfen durch die Kompres- keit, elektrische Leitfähigkeit) des Gases sen ist. In allen Druckgebieten, in denen
sion Kondensation eintreten kann, wo- ermittelt. Diese Eigenschaften sind laminare Strömungen vorherrschend sind
durch die Druckanzeige verfälscht wird. außer vom Druck auch von der mola- (1013 > p > 10–1 mbar), hat man das beim
Kompressions-Vakuummeter messen die ren Masse der Gase abhängig. Die An- Auspumpen sich einstellende Druckgefäl-
Summe der Partialdrücke aller bei der zeige ist gasartabhängig. le zu beachten. Unmittelbar vor der Pumpe
Messung nicht kondensierenden Gaskom- (vom Rezipienten aus gesehen) stellt sich
Die Skalen dieser Druckmeßgeräte beziehen
ponenten. Bei mechanisch verdichtenden ein niedrigerer Druck ein als im Behälter.
sich stets auf Luft oder Stickstoff als Meß-
Pumpen kann auf diese Weise der Partial- Selbst Bauteile hohen Leitwertes können
gas. Für andere Gase oder Dämpfe müssen
Enddruck gemessen werden (siehe 1.1). ein solches Druckgefälle bewirken.
– meist auf Luft oder Stickstoff bezogene –
Eine andere Möglichkeit diesen Druck zu Schließlich darf der Leitwert der Verbin-
Korrekturfaktoren angegeben werden (siehe
messen, ist die kondensierbaren Anteile in dungsleitung zwischen Vakuumsystem
Tabelle 3.2). Daraus folgt, daß zum genau-
einer LN2-Kühlfalle auszufrieren. Die exak- und Meßsystem nicht zu klein sein, weil
en Druckmessen mit indirekt messenden
te Messung von Partialdrücken bestimm- diese sonst im Druckgebiet laminarer Strö-
Vakuummetern, welche die Teilchenanzahl-
ter Gase oder Dämpfe erfolgt mit Hilfe von mung zu langsam leergepumpt wird, so
dichte durch Zufuhr elektrischer Energie be-
Partialdruck-Meßgeräten, die auf massen- daß ein zu hoher Druck angezeigt wird.
stimmen (indirekte Druckmessung), die
spektrometrischer Grundlage arbeiten Im Hoch- und Ultrahochvakuum liegen die
Kenntnis der Gaszusammensetzung wich-
(siehe Abschnitt 4). tig ist. In der Praxis ist die Gaszusammen- Verhältnisse komplizierter. Hier kann den
setzung meist nur in grober Näherung be- jeweiligen Einbauverhältnissen entspre-
Gasartabhänigkeit der Druckanzeige kannt. Vielfach genügt es aber zu wissen, chend, durch Gasabgabe der Meßröhren-
Bei Vakuummetern haben wir zu unter- ob in dem Gasgemisch, dessen Druck ge- wände oder bei ungenügendem Ausheizen
scheiden zwischen: messen werden soll, vorwiegend leichte des Meßsystems ein zu hoher Druck oder
1. Geräten, die den Druck definitionsgemäß oder schwere Moleküle vorhanden sind auch – bei sehr gut ausgeheizter Meß-
als Kraft, die auf eine Fläche wirkt, (z.B. Wasserstoff bzw. Treibdampfmoleküle). röhre – ein zu niedriger Druck angezeigt
messen, den sogenannten direkten oder werden. Im Gebiet des Hoch- und Ultra-
absoluten Vakuummetern. Diese Kraft, Beispiel: Wird mit einem Ionisations-Va- hochvakuums kann der Druckausgleich
welche die Teilchen bei ihren Stößen auf kuummeter der Druck eines Gases ge- zwischen Vakuumsystem und Meßröhre

75
Grundlagen 20.06.2001 11:08 Uhr Seite 76

Vakuummessung

sehr lange dauern. Wenn möglich wird


man sogenannte Einbaumeßsysteme ver-
wenden. Diese werden ohne Verbindungs-
leitung und ohne umgebenden Glaskolben
direkt in das Vakuumsystem eingeführt
und mit dem Basisflansch daran befestigt.
Die Beeinflussung der Druckmessung
durch den Meßvorgang selbst muß stets
besonders beachtet werden. So können in
Ionisations-Vakuummetern, die mit hei-
ßer Kathode arbeiten, Gasteilchen, insbe-
sondere die der höheren Kohlenwasser-
stoffe, thermisch zersetzt werden. Dadurch
ändert sich die Gaszusammensetzung.
Derartige Effekte spielen vor allem bei der
Druckmessung im Ultrahochvakuum eine
Rolle. Das gleiche gilt für die in Ionisa-
tions-Vakuummetern, insbesonders in 1 Basisplatte, 7 Spiegelscheibe,
2 Hebelsystem, 8 Plexiglasscheibe,
Penning-Vakuummetern, auftretende Gas- 3 Anschlußflansch, 9 Zeiger,
aufzehrung, die größenordnungsmäßig 1 Verbindungsrohr zum An-
schlußflansch,
3 Bourdon-Rohr,
4 Hebelsystem
4 Membran, 10 Glasglocke,
5 Bezugsdruck pref, 11 Halteplatte,
10–2 bis 10–1 `/s beträgt. Verschmutzung 2 Zeiger, 6 Abquetschende, 12 Gehäuse
des Meßsystems, elektrische und magne- Abb. 3.2 Abb. 3.3
tische Fremdfelder, Isolationsfehler und Schnittzeichnug eines Bourdon-Federvakuummeters Schnittzeichnung des Membran-Vakuummeters
unzulässig hohe Umgebungstemperaturen DIAVAC DV 1000
verfälschen die Druckmessung. Wie sich
3.2 Vakuummeter mit gasartun- einer Aneroid-Dose als Meßsystem. Es
diese grundsätzlich vermeidbaren Fehler enthält eine hermetisch verschlossene eva-
auswirken und welche Abhilfen erforder-
abhängiger Druckanzeige
kuierte dünnwandige Membran-Dose aus
lich sind, ist bei der Besprechung der ein- einer Kupfer-Beryllium-Legierung. Mit ge-
Mechanische Vakuummeter messen den
zelnen Meßsysteme angegeben und im ringer werdendem Druck beult sich die
Druck direkt durch Registrierung der Kraft,
Abschnitt 8.4 noch einmal zusammenge-
welche die Teilchen (Moleküle und Atome) Dose aus. Diese Ausbeulung wird durch
faßt.
in einem gasgefüllten Raum auf Grund ein Hebelsystem auf einen Zeiger übertra-
ihrer thermischen Geschwindigkeit auf gen. Das Kapselfeder-Vakuummeter, des-
Auswahl der Druckmeßgeräte
eine Fläche ausüben. sen System derart aufgebaut ist, zeigt
Bei der Auswahl des geeigneten Meßin-
den Druck in linearer Skalenteilung unab-
strumentes für eine Druckmessung ist
hängig vom äußeren Atmosphärendruck
nicht nur der gewünschte Druckbereich
3.2.1 Feder-Vakuummeter an.
entscheidend. Auch die Betriebsbedingun-
gen, bei denen das Gerät arbeiten soll,
spielen eine große Rolle. Soll unter schwie- Das Innere eines kreisförmig gebogenen 3.2.2.2 DIAVAC Membran-Vakuummeter
rigen Betriebsbedingungen gemessen wer- Rohres, des »Bourdonrohres« (3) wird an
Häufig ist unterhalb 50 mbar eine mög-
den, d.h. besteht eine erhöhte Verschmut- den zu evakuierenden Behälter ange-
lichst genaue Druckanzeige erwünscht.
zungsgefahr, sind Erschütterungen der schlossen (Abb. 3.2). Durch die Wirkung
Hierzu ist ein anderes Membran-Vakuum-
Röhre nicht auszuschließen, Lufteinbrüche des äußeren Luftdruckes wird das Ende
meter, das DIAVAC, geeignet, dessen
zu erwarten usw., so muß das Meßinstru- des Rohres beim Evakuieren mehr oder
Druckskala zwischen 1 und 100 mbar stark
ment robust sein. In industrielle Anlagen weniger gebogen. Dadurch wird das dort
gespreizt ist. Der Teil des Innenraumes, in
werden Feder- und Membran-Vakuumme- angreifende Zeigerwerk (4) und (2) be-
dem sich das Hebelsystem (2) des Meß-
ter, Wärmeleitungs-Vakuummeter, Glüh- tätigt. Die Skala ist linear. Da die Druckan-
kopfes befindet (siehe Abb. 3.3), ist auf
kathoden-Ionisations-Vakuummeter und zeige vom äußeren Luftdruck abhängig ist, einen Bezugsdruck pref von weniger als
Penning-Vakuummeter verwendet. Einige ist die Anzeige nur auf etwa 10 mbar 10–3 mbar evakuiert. Den Abschluß gegen
dieser Meßgeräte sind empfindlich gegen genau, sofern die Veränderung des Luft- den Rezipienten bildet eine tellerförmige
rauhe Betriebsbedingungen. Sie sollen und drucks nicht korrigiert wird. Membran (4) aus Edelstahl. Solange der
können nur dann mit Erfolg verwendet Rezipient nicht evakuiert ist, wird diese
werden, wenn die oben genannten Fehler- Membran fest gegen die Wand (1) ge-
quellen soweit wie möglich ausgeschaltet 3.2.2 Membran-Vakuummeter drückt. Mit zunehmender Evakuierung wird
und die Meßhinweise beachtet werden. die Differenz zwischen dem zu messenden
3.2.2.1 Kapselfeder-Vakuummeter Druck px und dem Vergleichsdruck gerin-
Die bekannteste Ausführung eines Mem- ger. Die Membran biegt sich erst nur
bran-Vakuummeters ist das Barometer mit schwach, dann aber, unterhalb von 100

76
Grundlagen 20.06.2001 11:08 Uhr Seite 77

Vakuummessung

mbar, immer stärker durch. Auch beim


DIAVAC wird die Membran-Durchbiegung
auf einen Zeiger (9) übertragen. Dabei ist
besonders der Meßbereich zwischen 1 und
20 mbar stark gedehnt und daher der
Druck recht genau (auf etwa 0,3 mbar) er-
faßbar. Die Erschütterungsempfindlichkeit
dieses Gerätes ist etwas größer als beim
Kapselfeder-Vakuummeter.

3.2.2.3 Präzisions-Membran-
Vakuummeter
Eine wesentlich höhere Meßgenauigkeit als Abb. 3.4
Kapselfeder-Vakuummeter und DIAVAC Piezoelektrischer Sensor, (Prinzip)
haben Präzisions-Membran-Vakuummeter.
Diese ähneln in ihrem Aufbau dem Kap-
selfeder-Vakuummeter. Die Skala ist line-
ar. Die Präzisionsausführung ist so weit
1 2
getrieben, wie es der heutige Stand der
Technik zuläßt. Man erhält so Geräte, die
z. B. bei 20 mbar Vollausschlag die Mes-
sung von 10–1 mbar gestatten. Entspre-
chend der größeren Präzision ist auch die
Erschütterungsempfindlichkeit größer.
Kapselfeder-Vakuummeter messen den C1 C2
Druck auf 10 mbar genau (wegen der li-
nearen Skala ist die Genauigkeit bei klei-
nen Drücken am geringsten). Sollen nur
Drücke unter 30 mbar gemessen werden,
so ist das DIAVAC zu empfehlen, dessen p1 p2
Anzeige hier (siehe oben) wesentlich ge-
nauer ist. Für allerhöchste Genauigkeits-
ansprüche sollten die Präzisions-Mem-
Abb. 3.5
bran-Vakuummeter verwendet werden. Da Kapazitiver Sensor, (Prinzip)
diese eine lineare Skala haben, können –
wenn kleine Drücke genau gemessen wer- man Silizium-Membranen, die vier solche schen und solche mit keramischen Mem-
den sollen und aus diesem Grund z. B. ein »Dehnungswiderstände« direkt in ihrer branen. Der Aufbau beider Typen ist ähn-
Meßbereich bis 20 mbar gewählt wird – Oberfläche enthalten. Die elektrische An- lich und wird an zwei Beispielen in Abb.
höhere Drücke nicht mehr gemessen wer- ordnung war wieder eine Brückenschal- 3.6 dargestellt. Kapazitäts-Vakuummeter
den. Alle mechanischen Vakuummeter tung, wobei an zwei gegenüberliegenden werden von Atmosphärendruck bis 1·10–3
sind mehr oder weniger erschütterungs- Eckpunkten ein konstanter Strom einge- mbar eingesetzt (Im Bereich 10–4 mbar
empfindlich. Kleine Erschütterungen, wie speist wird und an den beiden anderen steigt die Meßunsicherheit stark an). Um
sie z. B. beim direkten Anflanschen an eine Eckpunkten ein druckproportionales, li- bei so kleinen Drücken noch ausreichende
Vorpumpe entstehen, schaden dagegen im neares Spannungssignal abgegriffen wird. Durchbiegung der Membranen zu errei-
allgemeinen nicht. Abb. 3.4 zeigt das Prinzip so einer Anord- chen, werden für die verschiedenen Druck-
nung. Solche Geräte mit der Bezeichnung bereiche unterschiedlich steife (dicke)
3.2.2.4 Kapazitive Vakuummeter PIEZOVAC sind noch vielfach im Einsatz. Membranen verwendet. Mit den Sensoren
Die Auslenkung einer Membran kann auch Heute wird die Auslenkung der Membran können jeweils 3 Zehnerpotenzen des
als „Dehnung“ oder als Kapazitätsände- als Kapazitätsänderung eines Plattenkon- Druckes gut erfaßt werden:
rung elektrisch gemessen werden. Früher densators gemessen: Die eine Elektrode
wurden vier Dehnungsmeßstreifen in einer des Kondensators steht fest, die andere 1013 bis 1 mbar
Brückenschaltung auf eine Metallmembran wird durch die Membran gebildet. Bei Aus- 100 bis 10–1 mbar
aufgebracht, die bei Auslenkung der Mem- lenkung der Membran wird der Abstand 10 bis 10–2 mbar und
bran, also bei Zugbelastung, ihren Wider- zwischen den Elektroden und damit die Ka- 1 bis 10–3 mbar.
stand ändern. Solche Geräte sind bei LEY- pazität des Kondensators verändert. Abb.
BOLD unter dem Namen MEMBRANOVAC 3.5 zeigt das Prinzip dieser Anordnung. Wenn die zu messenden Drücke diese Be-
bekannt geworden. Später verwendete Man Unterscheidet Sensoren mit metalli- reichsgrenzen überschreiten, empfiehlt es

77
Grundlagen 20.06.2001 11:08 Uhr Seite 78

Vakuummessung

C ~ A/d
C = Kapazität Membran
A = Fläche (Inconel) Referenzkammerverschluß
d = Abstand
C ~ A/d
C = Kapazität
A = Fläche
Getter + Referenzkammerverschluß d = Abstand

Verstärker + 15 V DC Kondensatorplatten
Membran
– 15 V DC (Keramik) Sensorkörper (Keramik) Signalkonverter
+ Verstärker

0 – 10 V

Elektrode 24 V DC, 4 – 20 mA

links: CAPACITRON (Inconel-Membran) rechts: MEMBRANOVAC (Aluminiumoxyd-Membran)


Abb. 3.6
Kapazitive Sensoren (Prinzip)

sich ein Mehrkanalgerät mit zwei oder drei andere Schenkel wird mit dem Volumen Skala (siehe Abb. 3.7) und solche mit
Sensoren, eventuell mit automatischer Ka- verbunden, in dem der Gasdruck zu mes- quadratischer Skala (siehe Abb. 3.8). Bei
nalumschaltung, einzusetzen. Das Kapa- sen ist. Aus der Differenz der beiden Flüs- den Kompressions-Vakuummetern nach
zitätsvakuummeter stellt somit praktisch sigkeitsniveaus kann der zu messende McLeod mit linearer Skala muß für jede
das einzige gasartunabhängige Absolut- Druck an der angebrachten mbar-Skala be- Steighöhe des Quecksilbers in der Meßka-
druckmeßgerät für Drücke unter 1 mbar stimmt werden. Die Anzeige ist unabhän- pillare das Verhältnis des verbleibenden
dar! Heute stehen zwei Ausführungen von gig vom Atmosphärendruck. Restvolumens Vc zum Gesamtvolumen V
kapazitiven Sensoren zur Verfügung: bekannt sein; dieses Verhältnis ist auf der
1) Sensoren DI 200 und DI 2000 mit Al- 3.2.3.2 Kompressions-Vakuummeter mitgelieferten Skala aufgetragen. Bei den
uminiumoxyd-Membranen, die beson- (nach McLeod) Kompressions-Vakuummetern mit qua-
ders überlastfest sind, mit den Geräten Ein heute nur mehr selten benutzes Vaku- dratischer Skala müssen das Gesamtvolu-
MEMBRANOVAC DM 11 und DM 12 ummeter ist das von McLeod bereits 1874 men und der Kapillardurchmesser d be-
entwickelte Kompressions-Vakuummeter. kannt sein.
2) Sensoren mit Inconel-Membranen CM 1,
CM 10, CM 100, CM 1000 mit beson- In seiner verfeinerten Bauart kann das Heute wird manchmal ein »verkürztes«
ders hoher Auflösung, mit dem Geräten Gerät zur absoluten Druckmessung im McLeod-Kompressions-Vakuummeter
DM 21 und DM 22. Hochvakuum-Bereich bis herab zu 10–5 nach Kammerer zur Messung des »Parti-
mbar verwendet werden. Es wurde früher al-Enddruckes« von mechanisch verdich-
als Bezugsgerät häufig zum Kalibrieren von tenden Pumpen verwendet. Durch die
Feinvakuum-Meßgeräten, manchmal auch hohe Kompression werden die kondesier-
3.2.3 Flüssisigkeits- (Quecksilber-) von Hochvakuum-Meßgeräten, verwendet. baren Gasanteile (Dämpfe) als Flüssigkeit
Vakuummeter Allerdings waren bei derartigen Messungen ausgeschieden (das Volumen der gleichen
zahlreiche Vorsichtsmaßregeln zu beach- Masse ist dann etwa um den Faktor 105
3.2.3.1 U-Rohr-Vakuummeter ten, da sonst keine Aussage über die Meß- kleiner und kann bei der Messung ver-
Die mit Quecksilber gefüllten U-Rohr-Va- genauigkeit möglich war. Die Druckmes- nachlässigt werden), so daß nur der Druck
kuummeter sind zugleich die einfachsten sung erfolgt dadurch, daß eine Gasmenge, der permanent gasförmigen Anteile ge-
und genauesten Druckmeßgeräte im Grob- die zunächst ein großes Volumen ein- messen wird (daher auch der Ausdruck
vakuum-Bereich (1013 bis einige mbar). nimmt, durch Heben eines Quecksilber- Permanentgase).
Leider ist ihr Einsatz in technischen Be- spiegels auf ein kleineres Volumen zusam-
trieben infolge ihrer Größe und Bruchan- mengedrückt wird. Der auf diese Weise Meßprinzip der Kompressions-Vakuum-
fälligkeit nur beschränkt möglich (siehe je- erhöhte Druck kann – nach Art des U-Rohr- meter
doch 3.4.1a). Manometers – gemessen und aus ihm der Wenn h der Niveauunterschied des Queck-
In dem evakuierten Schenkel des U-förmi- ursprüngliche Druck berechnet werden silbers zwischen der Meß- und der Ver-
gen Vakuummeters wird ein konstanter (siehe nachstehende Gleichungen). gleichskapillare (in mm gemessen) ist,
Druck aufrechterhalten, der dem Dampf- Nach der Art der Skaleneinteilung unter- dann gilt nach dem Boyle-Mariotte Gesetz:
druck des Quecksilbers bei Zimmertem- scheidet man zwei Formen von Kompres-
peratur entspricht (etwa 10–3 mbar). Der sions-Vakuummetern: Solche mit linearer p ⋅ V = (p + h) ⋅ Vc (3.1)

78
Grundlagen 20.06.2001 11:08 Uhr Seite 79

Vakuummessung

Vc
p = h⋅ (3.1a)
V − Vc
p gemessen in mm Quecksilbersäule
(=Torr). Ist Vc << V, so gilt:
Vc
p = h⋅ (3.1b)
V
Vc und V müssen bekannt sein, h wird ab-
gelesen (lineare Skala).
An diesen Beziehungen ändert sich nichts,
wenn der Niveauunterschied an einer in
mbar geteilten Skala abgelesen wird. Man
erhält dann p in mbar:

p = 4 ⋅ h ⋅ Vc h in mm (3.1c)
3 V
Abb. 3.7 Abb. 3.8
Wird beim Messen das Quecksilberniveau McLeod-Kompressions-Vakuummeter mit Lineare Skala McLeod-Kompressionsvakuummeter mit Quadratischer
in der Meßkapillare immer so eingestellt, (Gleichung 3.1b) Skala (Gleichung 3.1f)
daß das Hg-Niveau in der Vergleichskapil- Druckmessungen mit einer Ablese-Genau- kalische Größen, die der Teilchenanzahl-
lare dem oberen Ende der Meßkapillare igkeit von ±2 % durchgeführt werden. Im dichte und damit dem Druck proportional
entspricht (s. Abb. 3.7 u. 3.8), so ist das Bereich niedriger Drücke, wo h sehr klein sind. Zu den Vakuummetern mit gasartab-
Volumen Vc immer gegeben durch: wird, ist diese Genauigkeit nicht mehr er- hängiger Druckanzeige gehören: Das Rei-
reichbar, vor allem weil sich am Kapillaren- bungs-Vakuummeter (3.3.1), das Wärme-
Vc = h ⋅ π ⋅ d 2 (3.1d) Abschluß geringe geometrische Abwei- leitungs-Vakuummeter (3.3.2) und die
4
chungen sehr stark bemerkbar machen Ionisations-Vakuummeter verschiedener
h ....Niveauunterschied siehe Abb. 3.5 (systematischer Fehler). Bauarten (3.3.3).
d ....Innendurchmesser der Meßkapillare
Die Anwesenheit von Dämpfen, die beim Die Geräte bestehen aus dem eigentlichen
Setzt man diesen Ausdruck für Vc in (3.1b), Kompressionsvorgang kondensieren kön- Meßwertaufnehmer (Meßkopf, Sensor)
ein so ergibt sich nen, beeinflußt die Messung in oft undefi- und dem zu dessen Betrieb erforderlichen
nierter Weise. Man kann leicht kontrollie- Betriebsgerät. Die Druckskalen oder digi-
p = h2 ⋅ π ⋅ d
2
ren, ob Dämpfe mit nicht vernachlässigba- talen Anzeigen sind gewöhnlich auf Stick-
(3.1e)
4 V rem Dampfdruck vorhanden sind. Dies stoffdrücke bezogen; wenn der wahre
geschieht, indem man bei gleichbleibendem Druck pW eines Gases (oder Dampfes) be-
also eine quadratische Skala, und zwar in
Druck unter Anwendung der linearen Skala stimmt werden soll, muß der angezeigte
mm (Torr), wenn d und V in mm bzw. mm3
verschiedene Höhen h in der Meßkapillare Druck pA mit einem für dieses Gas cha-
gemessen werden. Will man die Skala in
einstellt und danach p gemäß Gleichung raktristischen Faktor multipliziert werden.
mbar teilen, dann lautet die Beziehung:
3.1b berechnet. Dabei muß sich, wenn keine Diese Faktoren sind je nach Art der Gerä-
p = h2 ⋅ π ⋅ d
2 te verschieden und werden entweder als
(3.1f) Dämpfe vorhanden sind, oder nur solche,
3 V deren Dampfdruck bei Zimmertemperatur druckunabhängige Faktoren tabellarisch
vernachlässigbar gering ist (wie z. B. Hg), angegeben (siehe Tab. 3.2) oder sind im
wobei h in mm Falle der Druckabhängigkeit aus einem
d in mm für jedes h der gleiche Wert p ergeben.
Diagramm zu ermitteln (siehe Abb. 3.11).
V in mm3 Die Druckanzeige der Kompressions-Va-
kuummeter läßt sich aus den geometri- Allgemein gilt :
Kompressions-Vakuummeter gewährleisten schen Abmessungen berechnen. Sie wur- Wahrer Druck pW =
eine Anzeige der Summe aller Partialdrücke den daher früher von amtlichen Kalibrier- = Angezeigter Druck pA ⋅ Korrekturfaktor.
der Permanentgase, vorausgesetzt, daß stellen als Drucknormale benützt (siehe Wenn der Druck auf einer „Stickstoffskala“
keine Dämpfe vorhanden sind, die beim Gleichung 3.4.1a). abgelesen aber nicht korrigiert wird, spricht
Kompressionsvorgang kondensieren. man von „Stickstoffäquivalent“-Angaben.
Der Meßbereich wird nach oben und Bei allen elektrischen Vakuummetern (dazu
unten durch das Maximal- bzw. Minimal- 3.3 Vakuummeter mit gasartab- gehören auch die gastartabhängigen Va-
verhältnis des Kapillarinhalts zum Ge- hängiger Druckanzeige kuummeter) hat die zunehmende Anwen-
samtvolumen begrenzt (s. Abb. 3.7 u. 3.8). dung von Computern zu dem Wunsch ge-
Die Genauigkeit der Druckmessung hängt Diese Art von Vakuummetern mißt den führt, die Druckanzeige unmittelbar auf
stark von der Ablesegenauigkeit ab. Bei Druck nicht direkt als flächenbezogene dem Bildschirm, z.B. an passender Stelle
Nonius- und Spiegelablesungen können Kraft, sondern indirekt über andere physi- in einem Prozeß-Flußdiagramm einzublen-

79
Grundlagen 20.06.2001 11:08 Uhr Seite 80

Vakuummessung

den. Um möglichst einheitliche Computer- rekt das Meßprinzip darstellt (Übertragen


schnittstellen verwenden zu können, wer- der Teilchenimpulse auf die rotierende
den sogenannte Transmitter (Signalwand- Kugel, die dadurch abgebremst wird), wird
ler mit genormten Stromausgängen) an- bei anderen gasartabhängigen, elektri-
stelle von Sensor und Anzeigegerät gebaut. schen Meßmethoden die Teilchenanzahl-
(z. B.: THERMOVAC-Transmitter, Penning- dichte indirekt über die von den Teilchen
Transmitter, IONIVAC-Transmitter). Trans- abtransportierte Wärmemenge (Wärmelei-
mitter benötigen eine Versorgungsspan- tungs-Vakuummeter) oder über die Anzahl
nung (z.B. + 24 Volt) und liefern ein druck- der gebildeten Ionen (Ionisations-Vaku-
abhängiges, über den gesamten Meßbe- ummeter) gemessen.
reich lineares Stromsignal von 4 bis 20 mA
bzw. 0 – 10 V. Die Druckanzeige kommt
erst nach Einspeisung dieses Signales in 3.3.2 Wärmeleitungs-Vakuummeter
den Computer und Verarbeitung durch die
entsprechende Software zustande und Die klassische Physik lehrt und bestätigt
wird dann direkt auf dem Bildschirm an- experimentell, daß die Wärmeleitfähigkeit
gezeigt. 1 Kugel, 4 Stabilisierungsspulen, eines ruhenden Gases bei höheren Drük-
2 Meßrohr, einseitig geschlos- 5 vier Antriebsspulen,
sen, in den Anschlußflansch 6 Libelle,
ken (Teilchenanzahldichten) p > 1 mbar
7 eingeschweißt, 7 Anschlußflansch unabhängig von Druck ist. Bei niedrigeren
3 Permanentmagnete,
3.3.1 Reibungs-Vakuummeter Drücken p < 1 mbar ist die Wärmeleit-
(VISCOVAC) Abb. 3.9
Schnitt durch den Meßkopf des Reibungs-Vakuummeters fähigkeit aber druckabhängig (ungefähr
VISCOVAC VM 212. proportional 1/AD
M); sie nimmt im Druck-
Die bei niedrigen Gasdrücken druckab- gebiet des Feinvakuums von ca. 1 mbar
hängige Gasreibung kann zum Messen von ausgehend druckproportional ab und er-
Drücken im Fein- und Hochvakuum ge- reicht im Hochvakuum den Wert Null.
durch die fundamental bestimmbare phy-
nutzt werden. In technischen Geräten die- Diese Druckabhängigkeit wird im Wärme-
sikalische Größe der Kugel, nämlich durch
ser Art wird als Meßelement eine Stahlku-
das Produkt Radius x Dichte r ⋅ ρ (siehe leitungsvakuummeter genutzt und ermög-
gel von einigen Millimetern Durchmesser licht das genaue, allerdings gasartabhän-
Gleichung 3.2), gegeben ist. Eine einmal
verwendet, die in einem Magnetfeld
»kalibrierte« Kugel ist als »Transferstan- gige Messen von Drücken im Feinvakuum.
berührungsfrei aufgehängt ist (siehe Abb.
dard« – also als Bezugsgerät zum Kali- Das meistverbreitete Meßgerät dieser Art
3.9). Die Kugel wird durch einen elektro-
brieren anderer Vakuummeter durch Ver- ist das Vakuummeter nach Pirani. Ein
magnetisches Drehfeld in Rotation ver-
gleich – geeignet und durch eine hohe stromdurchflossener, auf etwa 100 bis
setzt: nach Erreichen einer Start-Drehzahl
Langzeitstabilität ausgezeichnet. Messun- 150°C erhitzter, sehr dünner Draht (Abb.
(etwa 425 Hz) wird die Kugel sich selbst
gen mit dem VISCOVAC sind aber durch- 3.10) mit dem Radius r1, gibt die in ihm
überlassen. Dabei fällt die Drehzahl unter
aus nicht auf die Messung des Druckes erzeugte Wärme durch Strahlung und
dem Einfluß der druckabhängigen Gasrei-
beschränkt. Auch andere Größen der kine- durch Wärmeleitung an das den Draht um-
bung je nach dem herrschenden Druck
tischen Gastheorie wie mittlere freie Weg- gebende Gas ab (außerdem natürlich auch
mehr oder weniger rasch ab. Der Gasdruck
länge, Bedeckungszeit, Teilchenanzahl- an die Befestigungsvorrichtungen an den
wird aus
. der relativen Abnahme der Dreh- dichte oder Flächenstoßrate können ge- Drahtenden). Im Grobvakuum ist die Wär-
zahl f (Abbremsung) aus folgender Glei-
messen werden. Das Gerät erlaubt die meleitung durch die Gaskonvektion nahe-
chung abgeleitet:
Speicherung von 10 Programmen, zwi- zu druckunabhängig (siehe Abb. 3.10).
df 10 p ⋅ σ schen denen man leicht umschalten kann.
−f ⋅ = ⋅ (3.2) Kommt aber bei einigen mbar die mittlere
dt π c ⋅ r ⋅ ρ Die Meßzeit pro Abbremsungsvorgang freie Weglänge des Gases in die Größen-
liegt zwischen 5 Sekunden bei hohen ordnung des Drahtdurchmessers, geht
p =
Gasdruck
Drücken und etwa 40 Sekunden bei nie- diese Art der Wärmeabfuhr mehr und
r =
Radius der Kugel
deren Drücken. Der Meßablauf des Gerä- mehr, und zwar dichte- und damit druck-
_ρ =
Dichte des Kugelmaterials
tes wird vollautomatisch durch einen Mi- abhängig, zurück. Unterhalb 10–3 mbar
c =
mittlere Geschwindigkeit der Gasteil-
kroprozessor gesteuert, so daß nach jeder liegt die mittlere freie Weglänge eines
chen, gasartabhängig
Messung (Abbremsung) ein neuer Wert Gases bereits in der Größe des Radius r2
σ = Reibungskoeffizient der Kugel,
angezeigt wird. Die Programme erlauben der Meßröhre. Der Meßdraht in der Meß-
gasartunabhängig, nahezu 1.
darüber hinaus nach einer vorher festge- zelle bildet den Zweig einer Wheatstone-
Solange man sich mit einer Meßunsicher- legten Anzahl von Messungen eine Reihe schen Brücke. Bei den früher üblichen un-
heit von 3% begnügt, was in den meisten von statistischen Größen (arithmetischer geregelten Wärmeleitungs-Vakuumme-
praktischen Fällen durchaus ausreichend Mittelwert, Standardabweichung) zu be- tern THERMOTRON wurde der Meßdraht
ist, kann man σ = 1 setzen, so daß die rechnen. mit konstantem Strom geheizt. Mit zuneh-
Empfindlichkeit des Reibungs-Vakuum- Während beim VISCOVAC die kinetische mendem Gasdruck nimmt die Temperatur
meters mit rotierender Stahlkugel lediglich Gastheorie das Abzählen der Teilchen di- des Meßdrahtes infolge der höheren Wär-

80
Grundlagen 20.06.2001 11:09 Uhr Seite 81

Vakuummessung

meableitung durch das Gas ab, so daß die


Brücke nicht mehr abgeglichen bleibt, son-
I II III dern verstimmt wird. Der Brückenstrom
dient als Maß für den Gasdruck, der auf
einer Meßskala angezeigt wird. Auch bei
r2 den heute fast ausschließlich gebauten ge-
-
l ‹‹ r – r
Abgeführter Wärmefluß

r1 regelten Wärmeleitungs-Vakuummetern
- 2 1
- l ‹‹ r1 der THERMOVAC-Serie ist der Meßdraht
l # r2 ein Zweig einer Wheatstoneschen Brücke.
- Die an dieser Brücke liegende Heizspan-
l ›› r1
nung aber wird so geregelt, daß der Wi-
derstand und damit die Temperatur des
Meßdrahtes unabhängig von der Wärme-
abgabe konstant bleibt. Das bedeutet, daß
die Brücke immer abgeglichen ist. Diese
Regelung hat eine Zeitkonstante von we-
nigen Millisekunden, so daß die Geräte –
im Gegensatz zu den ungeregelten – sehr
10–5 10–4 10–3 10–2 10–1 1 10 100 schnell auf Druckänderungen reagieren.
Druck [mbar] Die an der Brücke anliegende Spannung ist
ein Maß für den Druck. Die Meßspannung
wird elektronisch so korrigiert, daß sich
I Wärmeabfuhr durch Strahlung und Leitung II Wäremeleitung durch das Gas, III Wärmeabfuhr durch Strahlung und
in den metallischen Enden druckabhängig Konvektion
eine annähernd logarithmische Skala über
den ganzen Meßbereich ergibt. Geregelte
Abb. 3.10
Abhängigkeit des in einer Röhre (Radius r2) von einem geheitzten Draht (Radius r1) bei konstanter Temperaturdifferenz ab- Wärmeleitungs-Vakuummeter haben einen
geführten Wärmemenge vom Gasdruck (schematisch). Anzeigebereich von 10–4 bis 1013 mbar.
Durch die sehr kleine Einstellzeit eignen sie
sich besonders zur Steuerung und für
Drucküberwachungsaufgaben (siehe Ab-
schnitt 3.5). Die Meßgenauigkeit ist in den
verschiedenen Druckbereichen unter-
schiedlich. Der maximale Fehler beträgt,
N2, O2 Luft – pA = pW bezogen auf den Vollausschlag des Gerä-
tes, etwa 1 bis 2 %. Das entspricht im
empfindlichsten Anzeigebereich, also zwi-
schen 10–3 und 1 mbar etwa ±10% der
pA < pW Druckanzeige. Außerhalb dieses Bereiches
ist die Meßunsicherheit deutlich größer.
Wahrer Druck [mbar] pW

Wie bei allen gasartabhängigen Vakuum-


metern gelten auch bei Wärmeleitungs-Va-
kuummetern die Skalenangaben der An-
zeigeinstrumente und Digitalanzeigen für
Stickstoff und für Luft. Innerhalb der Feh-
lergrenzen kann bei der Druckmessung
pA > pW von Gasen mit ähnlicher molarer Masse,
d. h. also von O2, CO oder anderen, direkt
abgelesen werden. Korrekturkurven für
eine Reihe von Gasen sind in Abb. 3.11 an-
gegeben.
Ein extremes Beispiel für die Diskrepanz
zwischen wahrem Druck pw und angezeig-
tem Druck pa bei der Druckmessung wäre
das Belüften einer Vakuumanlage mit
Angezeigter Druck [mbar] pA Argon aus einem Druckzylinder zur Ver-
meidung von Feuchtigkeit (Pumpzeit!). Mit
Abb. 3.11 einem THERMOVAC als Druckmeßgerät
Korrekturkurven von THERMOVAC-Meßgeräten für verschiedene Gase bezogen auf Stickstoffäquvalent-Anzeige würde man bei Erreichen von »Ar-Atmo-

81
Grundlagen 20.06.2001 11:09 Uhr Seite 82

Vakuummessung

sphärendruck« pw gemäß Abb. 3.11 eine


pA-Anzeige von nur 40 mbar erhalten! – Bei Anwesenheit Korrekturfaktor
Argon würde u.U. aus dem Behälter ent- von vorwiegend bezogen auf N2
weichen (Deckel öffnet, Glocke hebt ab). (Gasart) (Stickstoff = 1)
Für solche und ähnliche Anwendungen He 6,9
sind gasartunabhängiger Druckschalter
Ne 4,35
oder Vakuummeter (siehe Abschnitt 3.2)
zu verwenden. Ar 0,83
Kr 0,59
Xe 0,33
3.3.3 Ionisations-Vakuummeter
Hg 0,303
Ionisations-Vakuummeter sind die wich- H2 2,4
tigsten Meßgeräte zum Messen von Gas-
CO 0,92
drücken in den Bereichen Hoch- und Ul-
trahochvakuum. Sie messen den Druck CO2 0,69
über die druckproportionale Teilchenan- CH4 0,8
zahldichte. In den Meßköpfen der Geräte höhere
wird das darin befindliche Gas, dessen Kohlenwasserstoffe 0,1 – 0,4
Druck gemessen werden soll, mit Hilfe
eines elektrischen Feldes teilweise ioni- Tabelle 3.2
Korrekturfaktoren
siert. Die Ionisation erfolgt durch Elektro-
nen, die im elektrischen Feld beschleunigt 1 Kleinflansch DN 25 KF; 5 Stromdurchführung,
werden und dabei genügend Energie er- men, sind aber etwas von der Geometrie DN 40 KF 6 Anschlußbuchse
2 Gehäuse 7 Anodenstift,
reichen, um bei einem Zusammenstoß mit des Elektrodensystems abhängig. Sie sind 3 Anodenring mit Zündstift, 8 Kathodenblech
4 Keramikscheibe
Gasmolekülen positive Ionen zu bilden. daher als Mittelwerte für verschiedene
Diese Ionen geben ihre Ladung an einer Ausführungen von Ionisations-Vakuum- Abb. 3.12
metern (siehe Abb. 3.16) anzusehen. Schnittzeichnung der PENNINGVAC-Meßröhre PR 35
Meßelektrode (Ionenfänger, Kollektor) des
Meßsystems wieder ab. Der so erzeugte
Ionenstrom (genauer: der zur Neutralisie- 3.3.3.1 Ionisations-Vakuummeter
rung dieser Ionen nötige Elektronenstrom mit kalter Kathode
in der Zuleitung der Meßelektrode) ist ein den die Elektronen auf ihrem Weg zur Ka-
(Penning-Vakuummeter) thode auf eine schraubenförmige Bahn ge-
Maß für den Druck, denn die Ionenaus-
beute ist proportional der Teilchenanzahl- Ionisations-Vakuummeter, die mit kalter zwungen. Die hierbei durch Stoß erzeugten
dichte und damit dem Druck. Entladung arbeiten, nennt man Kaltkatho- positiven und negativen Ladungsträger
den- oder Penning-Vakuummeter. Der Ent- wandern zu den entsprechenden Elektro-
Die Bildung der Ionen erfolgt entweder in ladungsvorgang in einer Meßröhre ist im den und bilden den druckabhängigen Ent-
einer Entladung bei hoher elektrischer Feld- Prinzip der gleiche wie im System einer ladungsstrom, der auf einer Meßskala an-
stärke (sogenannte Kaltkathoden-Entla- Ionen-Zerstäuberpumpe (siehe Abschnitt gezeigt wird. Die Anzeige (in mbar) ist von
dung oder Penning-Entladung, siehe 3.3.3.1) 2.1.8.3). Allen Ausführungsformen der der Gasart abhängig. Die obere Grenze des
oder durch Stoß mit Elektronen, die von Kaltkathoden-Ionisations-Vakuummeter ist Meßbereiches ist dadurch gegeben, daß
einer Glühkathode emittiert werden (siehe gemeinsam, daß diese lediglich zwei nicht bei Drücken oberhalb von einigen 10–2
3.3.3.2). beheizte Elektroden, Kathode und Anode, mbar die Penning-Entladung in eine mit in-
Bei sonst gleichbleibenden Bedingungen enthalten, zwischen denen mittels einer tensivem Leuchten verbundene Glimment-
hängt die Ionenausbeute und damit der Gleichspannung (Größenordnung 2 kV) ladung übergeht, deren Stromstärke – bei
Ionenstrom von der Gasart ab, da sich eine sogenannte kalte Entladung gezündet konstant gehaltener Spannung – vom
manche Gase leichter ionisieren lassen als und aufrecht erhalten wird, die auch noch Druck nur in geringem Maße abhängt und
andere. Wie alle Vakuummeter mit gasart- bei sehr niedrigen Drücken stationär daher meßtechnisch nicht ausnutzbar ist.
abhängiger Anzeige werden auch Ionisa- brennt. Dies wird dadurch erreicht, daß mit In allen Penning-Meßröhren ist die Gas-
tions-Vakuummeter mit Stickstoff als Re- Hilfe eines Magnetfeldes der Weg der Elek- aufzehrung – verglichen mit Ionisations-
ferenzgas kalibriert (Stickstoffäquivalent- tronen so lang gemacht wird, daß ihre Vakuummetern, die mit heißer Kathode ar-
druck, siehe 3.3). Um den wahren Druck Stoßrate mit Gasmolekülen hinreichend beiten – erheblich. Eine Penning-Meßröh-
für andere Gase als Stickstoff zu erhalten, groß wird, um die zur Aufrechterhaltung re pumpt demnach Gase, ähnlich wie eine
muß der abgelesene Druck mit dem für das der Entladung erforderliche Anzahl von La- Ionen-Zerstäuberpumpe mit S ≈ 10–2 `/s.
betreffende Gas in Tabelle 3.2 angegebe- dungsträgern zu bilden. Das Magnetfeld ist Auch hier werden die in der Entladung er-
nen Korrekturfaktor multipliziert werden. (siehe Abb. 3.12) so angeordnet, daß die zeugten Ionen auf die Kathode hin be-
Die in Tabelle 3.2 angegebenen Faktoren magnetischen Kraftlinien den elektrischen schleunigt, wo sie teilweise festgehalten
werden als druckunabhängig angenom- Kraftlinien überlagert sind. Dadurch wer- werden, zum Teil aber auch eine Zerstäu-

82
Grundlagen 20.06.2001 11:09 Uhr Seite 83

Vakuummessung

i+: Ionenstrom I Druckanzeige ohne Röntgeneffekt II Durch Röntgeneffekt vorgetäuschte unter III Summe von I und II
i-: Elektronenstrom Druckgrenze

Abb. 3.13 Abb. 3.14


Schematischer Aufbau und Potentialverlauf in einem Ioni- Durch den Röntgeneffekt bei einer normalen Ionisations-Vakuummeterröhre vorgetäuschte untere Druckmeßgrenze.
sations-Vakuummeter mit Glühkathode

bung des Kathodenmaterials hervorrufen. le. Die Elektronen werden im elektrischen Auch Ionisations-Vakuummeter mit Glüh-
Das zerstäubte Kathodenmaterial wieder- Feld (siehe Abb. 3.13) beschleunigt und kathode zeigen Gasaufzehrung (Pumpwir-
um bildet eine getternde Oberfläche auf nehmen aus dem Feld genügend Energie kung), die allerdings beträchtlich geringer
den Wänden der Meßröhre. Trotz dieser auf, um das Gas, in dem sich das Elektro- ist als bei Penning-Systemen und etwa
Nachteile, die eine relativ hohe Ungenauig- densystem befindet, zu ionisieren. Die ge- 10–3 `/s beträgt. Diese Gasaufzehrung er-
keit der Druckanzeige (bis zu etwa ±50%) bildeten positiven Gasionen gelangen auf folgt im wesentlichen an der Glaswand der
verursachen, hat das Kaltkathoden-Ionisa- den bezüglich der Kathode negativen Io- Meßröhre, in geringerem Maße am Ionen-
tions-Vakuummeter drei besonders her- nenfänger und geben hier ihre Ladung ab. fänger. Hier nutzt die Verwendung von Ein-
vorstechende Vorteile: Erstens ist es das Der dadurch entstehende Ionenstrom ist baumeßsystemen, die sich leicht aus-
preiswerteste aller Hochvakuum-Meßgerä- ein Maß für die Gasdichte und damit für führen lassen, da man auf einen äußeren
te. Zweitens ist das Meßsystem unemp- den Gasdruck. Ist i– der aus der Glühka- Magneten keine Rücksicht zu nehmen
findlich gegen Lufteinbrüche und Erschüt- thode emittierte Elektronenstrom, so ist braucht. Die obere Grenze des Meßbe-
terungen und drittens ist das Gerät sehr der im Meßsystem gebildete druckpropor- reichs der Ionisations-Vakuummeter liegt
einfach zu bedienen. tionale Ionenstrom i+ gegeben durch: (von Sonderausführungen abgesehen) bei
etwa 10–2 mbar. Sie wird im wesentlichen
i+ = C ⋅ i– ⋅ p und (3.3) durch die bei höheren Drücken kürzere
3.3.3.2 Ionisations-Vakuummeter mit
Glühkathode i+ freie Weglänge bedingten Streuprozesse
p= (3.3a) der Ionen an Gasmolekülen bestimmt (Die
Darunter versteht man – im üblichen i− ⋅ C
Ionen erreichen den Ionenfänger nicht
Sprachgebrauch – Meßsysteme die aus
Die Größe C ist dabei die Vakuummeter- mehr = geringere Ionenausbeute). Außer-
drei Elektroden (Kathode, Anode und Io-
konstante des Meßsystems. Im allgemei- dem können sich bei höheren Drücken un-
nenfänger) bestehen, wobei die Kathode
nen beträgt diese für Stickstoff etwa 10 kontrollierbare Glimm- oder auch Bogen-
eine Glühkathode ist. Die Kathoden waren
mbar–1. Bei konstantem Elektronenstrom entladungen bilden und bei Glasröhren
früher aus Wolfram und werden heute
wird die Empfindlichkeit E einer Meßröhre kann es zu elektrostatischen Aufladungen
meist aus oxydbeschichtetem Iridium
als Quotient aus Ionenstrom und Druck an- kommen. In diesen Fällen kann der ange-
(Th2O3, Yt2O3) gefertigt, um die Elektro-
zeigte Druck pa erheblich vom wahren
nenaustrittsarbeit herabzusetzen und sie gegeben. Bei einem Elektronenstrom von
Druck pw abweichen.
gegen Sauerstoff widerstandsfähiger zu 1 mA und für C = 10 mbar–1 beträgt dem-
machen. Ionisations-Vakuummeter dieser nach die Empfindlichkeit E der Meßröhre: Bei niedrigen Drücken wird der Meßbereich
Art arbeiten bei niedrigen Spannungen und durch zwei Effekte begrenzt: durch den
ohne äußeres Magnetfeld. Die Glühkatho- E = i+ / p = C ⋅ i– = 10 mbar–1 ⋅ 1 mA = Röntgen- und den Ionendesorptionseffekt.
de ist eine sehr ergiebige Elektronenquel- 10 mbar–1 ⋅ 10–3 A = 1 ⋅10–2 A/mbar. Diese Effekte haben zur Folge, daß die

83
Grundlagen 20.06.2001 11:09 Uhr Seite 84

Vakuummessung

tung zur Anode fliegen, und – da die Anode


gitterförmig ist – auch in den Raum inner- a)

halb der Anode. Befindet sich nun die um- normales Ionisations-
Vakuummetersystem
gebende Wand auf demselben Potential
wie der Ionenfänger, z. B. auf Erdpotenti-
al, so kann ein Teil dieser an der Wand aus-
gelösten Elektronen den Ionenfänger er-
reichen. Das hat zur Folge, daß ein Elek- b)
Ionisations-Vakuum-
tronenstrom zum Ionenfänger fließt, d. h. meterystem für höhere
Drucke (bis 1 mbar)
es fließt ein negativer Strom, der einen po-
sitiven Strom kompensieren kann. Dieser
negative Röntgeneffekt hängt von dem Po-
tential ab, auf dem sich die äußere Wand
c)
des Systems befindet.
Bayard-Alpert-Ionisa-
Der Ionendesorptionseffekt tions-Vakuummeter-
system
Adsorbierte Gase können durch Elektro-
nenstoß von einer Oberfläche als Ionen de-
sorbiert werden. Für ein Ionisations-Vaku-
d)
ummetersystem bedeutet das: Wenn auf
K Kathode der Anode eine Schicht adsorbierter Gase
Bayard-Alpert-Ionisa-
A Anode vorhanden ist, so werden diese Gase durch tions-Vakuummeter-
I Ionenfänger die auftreffenden Elektronen zum Teil als system mit Modulator

Abb. 3.15 Ionen desorbiert. Die Ionen gelangen zum


Zur Erklärung des Röntgeneffektes in einer normalen Ionenfänger und führen zu einer Druckan-
Ionisations-Vakuummeterröhre. Die von der Kathode K zeige, die zunächst unabhängig vom Druck e)
emittierten Elektronen e – prallen auf die Anode A und
lösen dort eine weiche Röntgenstrahlung (Photonen) aus.
ist, aber mit Erhöhung des Elektronen-
Diese trifft zum Teil auf den Ionenfänger I und erzeugt dort stromes zunimmt. Stellt man einen so klei-
Extraktor-Ionisations-
Photoelektronen aus e –s nen Elektronenstrom ein, daß die Anzahl Vakuummetersystem
der auf die Oberfläche treffenden Elektro-
streng lineare Proportionalität zwischen
nen klein gegen die Anzahl der adsorbier-
Druck und Ionenstrom verlorengeht und
ten Gasteilchen ist, so wird jedes Elektron I Ionenfänger,
Sch Abschirmung,
A
K
Anode,
Kathode,
eine scheinbar nicht unterschreitbare die Möglichkeit haben, positive Ionen zu M Modulator, R Reflektor
Druckgrenze vorgetäuscht wird (siehe Abb. desorbieren. Erhöht man dann den Elek- Abb. 3.16
3.14). tronenstrom, so wird die Desorption von Schematische Darstellung des Elektrodenaufbaues
Ionen zunächst zunehmen, weil mehr Elek- verschiedener Ionisations-Vakuummeter-Meßsysteme
Der Röntgeneffekt (siehe Abb. 3.15) tronen auf die Oberfläche auftreffen. Das
Die von der Kathode emittierten und auf führt schließlich zu einer Verarmung der me (Bayard-Alpert-System, Bayard-Alpert-
die Anode treffenden Elektronen lösen dort Oberfläche an adsorbierten Gasteilchen. System mit Modulator, Extraktor-System),
Photonen (weiche Röntgenstrahlen) aus. Die Anzeige wird wieder sinken und er- die je nach Bauart die beiden oben be-
Diese Photonen wiederum lösen ihrerseits reicht dann im allgemeinen Werte, die zum schriebenen Effekte mehr oder weniger un-
beim Auftreffen auf Oberflächen Photo- Teil beträchtlich unter der Druckanzeige lie- terdrücken und deshalb bevorzugt für
elektronen aus. Die am Ionenfänger aus- gen können, die bei einem kleinem Elek- Meßzwecke im Hoch- und Ultrahochvaku-
gelösten Photoelektronen fließen zur tronenstrom beobachtet worden ist. Für umbereich eingesetzt werden. Als Stan-
Anode, d. h. der Ionenfänger emittiert die Praxis hat dieser Effekt zur Folge, daß dardsystem für diesen Bereich ist heute das
einen Elektronenstrom, der in gleicher man sich vergewissern muß, ob die Druck- Bayard-Alpert-System üblich.
Weise angezeigt wird wie ein zum Ionen- anzeige durch einen Desorptionsstrom
fänger fließender positiver Ionenstrom. beeinflußt worden ist. Das geschieht am a) Das normale Ionisations-Vakuummeter
Dieser Photostrom täuscht einen Druck einfachsten in der Weise, daß man den Als Meßröhre wird eine Triode konventio-
vor. Wir wollen diesen Effekt den positiven Elektronenstrom vorübergehend um den neller Bauart (siehe Abb. 3.16 Punkt a), je-
Röntgeneffekt nennen. Er ist von der An- Faktor 10 oder 100 ändert. Dabei ist der doch insofern etwas abgeändert, daß die
odenspannung und von der Größe der genauere Druckwert derjenige, der bei den äußere Elektrode als Ionenfänger, das wei-
Oberfläche des Ionenfängers abhängig. größeren Elektronenströmen gefunden wird. ter innen liegende Gitter als Anode dient.
Es gibt aber unter gewissen Vorausset- Neben dem konventionellen sogenannten Die Elektronen werden bei dieser Schal-
zungen auch einen negativen Röntgen- normalen Ionisations-Vakuummetersystem, tung auf lange Wege gezwungen (Pendeln
effekt. Photonen, die auf die das Meßsy- dessen Elektrodenaufbau etwa dem einer um die Gitterdrähte der Anode), so daß die
stem umgebende Wand treffen, lösen dort gewöhnlichen Triode gleicht, gibt es ver- Wahrscheinlichkeit für ionisierende Zu-
Photoelektronen aus, die ebenfalls in Rich- schiedene Ionisations-Vakuummetersyste- sammenstöße und damit die Empfindlich-

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Grundlagen 20.06.2001 11:09 Uhr Seite 85

Vakuummessung

keit der Meßröhre relativ hoch ist. Da die d) Das Bayard-Alpert-Ionisations-Vaku- e) Das Extraktor-Ionisations-Vakuummeter
Trioden-Systeme wegen ihres starken ummeter mit Modulator Die Druckmessung beeinflussende, stö-
Röntgeneffektes gewöhnlich nur im Hoch- Eine Druckmessung, bei der Fehler durch rende Effekte können auch durch ein
vakuumbereich zur Druckmessung ver- den Röntgen- und den Ionendesorptions- ionenoptisches System, wie es erstmals
wendet werden, haben Gasaufzehrungs- effekt quantitativ berücksichtigt werden von Redhead angegeben wurde, weitge-
(Pump-)effekte und der Gasgehalt des Elek- können, bietet das Bayard-Alpert-System hend eliminiert werden. Bei diesem Ex-
trodensystems nur geringen Einfluß auf die mit Modulator (Abb. 3.16 d), das von traktor-System (Abb. 3.16 e) werden die
Druckmessung. Redhead eingeführt wurde. In diesem Sy- Ionen aus dem Anodenzylinder auf einen
stem befindet sich neben dem Ionenfän- sehr dünnen und kurzen Ionenfänger fo-
b) Das Ionisations-Vakuummeter für ger innerhalb der Anode noch ein zweiter kussiert. Der Ionenfänger befindet sich in
höhere Drücke (bis 1 mbar) dünner Draht – der Modulator – in der einem Raum, dessen Rückwand von einer
Nähe der Anode. Liegt dieser auf Anoden- kalottenförmigen Elektrode gebildet ist, die
Als Meßsystem wird ebenfalls eine Triode
potential, so hat er auf die Messung keinen sich auf Anodenpotential befindet, so daß
konventioneller Bauart (siehe Abb. 3.16 b),
Einfluß. Legt man dagegen an den Modu- sie von Ionen, die aus dem Gasraum stam-
jedoch nun in konventioneller Trioden-
lator das selbe Potential an wie an den Io- men, nicht erreicht werden kann. Durch die
schaltung verwendet. Da das Meßsystem
nenfänger, so fließt ein Teil des gebildeten Geometrie des Systems sowie durch die
die Messung von Drücken bis zu 1 mbar
Ionenstromes auf den Modulator und der Potentiale der einzelnen Elektroden wer-
ermöglichen soll, muß die Kathode gegen
Strom, der zum Ionenfänger fließt, wird den die störenden Einflüsse durch Rönt-
relativ hohen Sauerstoffdruck resistent
kleiner. Der angezeigte Druck pA des Ioni- geneffekte und Ionendesorption fast voll-
sein. Sie ist daher als sog. „non-burn-out“
sations-Vakuummeters mit Modulator auf kommen ausgeschlossen, ohne daß ein
Kathode ausgebildet und besteht aus Anodenpotentlal setzt sich zusammen aus Modulator benötigt wird. Das Extraktor-
einem Iridiumbändchen, das mit Yttrium- dem Anteil des Gasdruckes pg und des System mißt Drücke zwischen 10–4 und
oxyd überzogen ist. Um bis zu Drücken Röntgeneffektes pγ . 10–12 mbar. Ein weiterer Vorteil ist, daß das
von 1 mbar eine geradlinige Charakteristik
Meßsystem als Einbaumeßsystem mit
(lineare Abhängigkeit des Ionenstromes pA = pg + pγ (3.4) einem Durchmesser von nur 35 mm ge-
vom Druck) zu erreichen, ist in den An-
baut und damit auch in kleine Apparaturen
odenkreis ein hochohmiger Widerstand
Nach dem Umschalten des Modulators eingebaut werden kann.
von einigen MΩ eingebaut.
von Anodenpotential auf Ionenfängerpo-
tential ist die modulierte Druck-Anzeige pM
c) Das Bayard-Alpert-Ionisations- geringer als die Anzeige pA, da ein Teil der
Vakuummeter (das heute übliche
3.4 Justieren, Eichen und
Ionen nunmehr auf den Modulator gelangt. Kalibrieren; DKD, PTB,
Standardmeßsystem) Es gilt also
Um Linearität zwischen Gasdruck und Io- Nationale Standards.
nenstrom über einen möglichst großen pM = α · pg + pγ (3.5) Begriffsbestimmungen: Da im täglichen
Druckbereich zu gewährleisten, muß der Gebrauch diese Begriffe oft vermischt wer-
Röntgeneffekt soweit wie möglich unter- mit α < 1. den, soll zunächst eine klare Begriffsbe-
drückt werden. Dies geschieht in der Elek- stimmung erfolgen:
trodenanordnung nach Bayard-Alpert da- Der Anteil pγ des Röntgeneffektes ist in
durch, daß die Glühkathode außerhalb der bei den Fällen gleich. Nach Bildung der Dif- Justieren oder Abstimmen (englisch: tu-
Anode liegt und der Ionenfänger als dünner ferenz von (3.4) und (3.5) ergibt sich für ning) ist das korrekte Einstellen eines
Draht die Achse des Elektrodensystems bil- den Gasdruck pg der Ausdruck: Gerätes. Beispielsweise das Einstellen von
det (siehe Abb. 3.16c). Der Röntgeneffekt 0 und 100% bei THERMOVAC’s oder das
wird durch die Verkleinerung der Ober- p −p Einstellen des Massenspektrometers auf
pg = A M (3.6)
fläche des Ionenfängers um zwei bis drei 1− α Masse 4 im Helium-Leckdetektor.
Zehnerpotenzen verringert. Bei der Mes-
Eichen ist das Vergleichen mit einem Nor-
sung von Drücken im Ultrahochvakuum- α läßt sich bei einem höheren Druck (etwa
mal gemäß bestimmten gesetzlichen Re-
Bereich beeinflussen die Oberflächen der 10–6 mbar), bei dem der Röntgeneffekt und
gelungen durch besonders befugtes Per-
Meßröhren und ihrer Anschlußleitungen an damit pγ vernachlässigbar ist, experimen-
sonal (Eichamt). Bei positivem Ausgang
den Rezipienten die Druckmessung. Auf die tell sofort bestimmen, indem man die zu
dieser wiederkehrenden Überprüfung ist
verschiedenen Adsorptions-, Desorptions-, den beiden Modulatorpotentialen gehöri-
eine weitere Betriebserlaubnis für die
Dissoziations und Strömungseffekte kann gen Drücke abliest und deren Verhältnis nächste Betriebsperiode (z.B. drei Jahre)
in diesem Zusammenhang nicht eingegan- bildet. Dieses Modulationsverfahren hat für Außenstehende durch einen Aufkleber
gen werden. Bei Verwendung der Bayard- weiterhin den Vorteil, daß damit auch der oder eine Plombe zu erkennen. Bei nega-
Alpert-Systeme als Einbaumeßsysteme, die Ionendesorptionseffekt erfaßt wird. Es er- tivem Ausgang wird das Gerät eingezogen.
sich direkt im Rezipienten befinden, wer- laubt mit verhältnismäßig geringem Auf-
den Fehlmessungen auf Grund der ge- wand Druckmessungen bis in den 10–11 Kalibrieren ist das Vergleichen mit einem
nannten Effekte weitgehend vermieden. mbar Bereich. Normal gemäß bestimmten gesetzlichen

85
Grundlagen 20.06.2001 11:09 Uhr Seite 86

Vakuummessung

Regelungen durch besonders befugtes Per-


sonal (Kalibrierstelle). Das Ergebnis dieses 30
Vorganges ist ein Kalibrierschein, in dem
die Abweichungen der Anzeigen von Nor- Dynamische
Expansion
mal und zu kalibrierendem Gerät festge-
Relative Unsicherheit der Druckbestimmung [%]
10
stellt werden.
Kalibrierstellen führen diese Arbeit des Ka-
librierens aus. Es ergibt sich dabei das 3
Problem, wie gut sind die Normale bzw. Molekular-
Strahl
wo werden diese kalibriert? Solche Nor- Statische Expansion

male werden in Kalibrierstellen des Deut- 1


schen Kalibrierdienstes (DKD) kalbriert. U-Rohr
Der Deutsche Kalibrierdienst steht unter
der Leitung der Physikalisch-Technischen 0,3
Bundesanstalt (PTB). Seine Aufgabe be-
steht darin, den Anschluß der Meß- und
Prüfeinrichtungen des industriellen Meß- 0,1
wesens an staatliche Normen sicherzu- 10–12 10–9 10–6 10–3 100 103

stellen. Das Kalibrieren von Vakuumme- Druck [mbar]


tern und von Testlecks im Rahmen des
DKD wurde von der PTB unter anderen
auch der Firma LEYBOLD übertragen. Der Abb. 3.17
erforderliche Kalibrierpumpstand wurde Druckskala der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB), Berlin, (Stand August 1984) für Edelgase, Stickstoff und
nach DIN 28418 (siehe Tab. 11.1) aufge- Methan
baut, von der PTB überprüft und abge-
nommen. Die Normale der DKD-Stellen, Druckskala der PTB. Richtlinien für das Ka- b) Herstellung eines bekannten Druckes.
sogenannte Transfer-Standards (Bezugs- librieren sind in DIN-Normen (DIN 28416) Statische Expansionsmethode
vakuummeter) werden in regelmäßigen und ISO-Vorschlägen festgelegt. Ausgehend von einer bestimmten Gas-
Abständen direkt von der PTB kalibriert. menge, deren Zustandsgrößen p, V und T
Bei LEYBOLD in Köln werden im Kunden-
genau bekannt sind – p liegt dabei im
auftrag unparteiisch Vakuummeßgeräte
Meßbereich eines absoluten Vakuumme-
aller Fabrikate kalibriert. Über die Kalibrie- 3.4.1 Beispiele für fundamentale ters wie U-Rohr- oder McLeod-Vakuum-
rung wird ein DKD-Kalibrierschein mit Druckmeßmethoden meter –, erreicht man über eine mehrfa-
allen Kenngrößen ausgestellt. Die „Nor- (als Standard-Verfahren che Expansion einen niedrigeren Druck,
male“ der Physikalisch-Technische Bun- zum Kalibrieren von der im Arbeitsbereich von Ionisations-Va-
desanstalt sind die sogenannten Nationa- Vakuummetern) kuummetern liegt.
len Standards. Um eine entsprechend
große Meßgenauigkeit bzw. kleine Meßun- a) Messung des Druckes mit einem Expandiert man die Gasmenge vom Volu-
sicherheit ihrer Kalibrierungen garantieren fundamentalen Vakuummeter men V1 zum Volumen (V1 + V2), von V2
zu können, macht die PTB ihre Messungen Als Beispiel hierfür sei das U-Rohr-Vaku- nach (V2 + V3) usw., so erhält man nach n
weitgehend durch Anwendung fundamen- ummeter genannt, bei dem die Messung Expansions-Schritten:
taler Methoden. Das bedeutet,