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Resolviendo con el NCSS:

Analysis Design of experiments Two level design

Ingresar los datos:

Llenado de campos y generacin de resultados con la opcin de diseo a


niveles en NCSS :

Se procede a llenar la columna C8 con la combinacin de tratamientos


que le corresponda a cada valor; mientras que en la columna C7 se llena
anotando los bloques a los cuales le corresponde una combinacin de
tratamientos:

Nota: Para las primeras 8 combinaciones cada rengln corresponder a un


bloque diferente de manera ascendente y despus se repetir. Para las
siguientes 8 combinaciones el orden ser descendente y despus se repetir.

Para las siguientes 8 combinaciones seguir un orden descendente pero


comenzando con el bloque 2 y se repetir y para finalizar las ultimas 8
combinaciones se seguir un orden ascendente comenzando con el tercer
bloque y se repetir.

Para realizar un ANOVA, se considera los posibles efectos importantes,


por ejemplo:
A+B+AB+C+AC+BC+D+AD+BD+CD+E+AE+BE+CE+DE+ADE+BCE+AB
CD

Source
Term
A: factor_A
B: Factor_B
AB
C: factor_C
AC

DF
1
1
1
1
1

Sum of
Squares
91485.03
26622.78
39832.53
298957.8
202407

Analysis of Variance Table


Mean
Prob
Square
F-Ratio
Level
91485.03
0.86
0.371610
26622.78
0.25
0.625969
39832.53
0.37
0.551969
298957.8
2.80
0.118229
202407
1.89
0.191915

Power
(Alpha=0.05)
0.137762
0.074940
0.087532
0.341128
0.247613

BC
1
284069.5
D: factor_D
1
160036.5
AD
1
850.7813
BD
1
64171.53
CD
1
208173.8
ABCD
1
225.7813
E: factor_E
1
4925.281
AE
1
6132.781
BE
1
29585.28
CE
1
38157.03
BCE
1
103398.8
DE
1
12680.28
ADE
1
91057.78
S
13
1388736
Total (Adjusted) 31
3051507
Total
32
* Term significant at alpha = 0.05
NOTA:
Del ANOVA

anterior

solo

se

284069.5
160036.5
850.7813
64171.53
208173.8
225.7813
4925.281
6132.781
29585.28
38157.03
103398.8
12680.28
91057.78
106825.9

toman

en

2.66
1.50
0.01
0.60
1.95
0.00
0.05
0.06
0.28
0.36
0.97
0.12
0.85

cuenta

0.126931
0.242683
0.930250
0.452175
0.186109
0.964030
0.833315
0.814375
0.607570
0.560339
0.343157
0.735958
0.372695

la

suma

de

0.326986
0.205662
0.050787
0.111033
0.253296
0.050209Excluida
0.054565
0.055688
0.077753
0.085928
0.149506
0.061799
0.137342

cuadrados

para

A+B+AB+C+AC+BC+D+AD+BD+CD+E+AE+BE+CE+DE efectos principales.


Por lo que se observa que los bloques puros B=tiempo de exposicin y
E=tiempo de corrosin selectiva son significativos, adems de las interacciones
AD, AE, BE, DE (repercuten en el rendimiento de los dispositivos del
semiconductor), esto se respalda con los siguientes grficos de niveles para los
bloques puros as como sus interacciones principales.
Plots Section
Means of Y
1000.00

La produccin se incrementa
cuando
es
pequea
la
apertura del diafragma

650.00

300.00

-50.00

-400.00
-1

f actor_A

Means of Y
1000.00

650.00

300.00

-50.00

-400.00
-1

Factor_B

La
produccin
aumenta
cuando se trabaja a tiempos
de exposicin por arriba del
nominal.
Means of Y
1000.00

650.00

La
produccin
aumenta
cuando se trabaja a tiempos
bajos
de revelado (30
segundos).

300.00

-50.00

-400.00
-1

f actor_C

Means of Y
1000.00

650.00

La
produccin
aumenta
cuando
se
tiene
una
dimensin de pantalla grande.

300.00

-50.00

-400.00
-1

f actor_D

Means of Y
1000.00

La produccin aumenta cuando se


trabaja con tiempos de corrosin
selectiva
relativamente
bajos
(14.5 min).

650.00

300.00

-50.00

-400.00
-1

f actor_E

Means of Y
1000.00

Factor_B
-1
1

650.00

La
produccin
aumenta
cuando se trabaja con una
apertura
de
diafragma
pequea
y
tiempos
de
exposicin por arriba del

300.00

-50.00

-400.00
-1

f actor_A

Means of Y
1000.00

f actor_C
-1
1

650.00

300.00

La
produccin
aumenta
cuando se trabaja con una
apertura
de
diafragma
pequea
y
tiempos
de
revelado bajos

-50.00

-400.00
-1

f actor_A

Means of Y
1000.00

Factor_B
-1
1

650.00

300.00

-50.00

La
produccin
aumenta
cuando
se
trabaja
con
tiempos de revelado bajo y
tiempos de exposicin altos.

-400.00
-1

f actor_C

Means of Y
1000.00

f actor_A
-1
1

650.00

No
hay
entre AD

300.00

-50.00

-400.00
-1

f actor_D

Means of Y
1000.00

Factor_B
-1
1

650.00

300.00

-50.00

-400.00
-1

f actor_D

interaccin

Means of Y
1000.00

f actor_D
-1
1

650.00

300.00

Se incrementa la produccin
al trabajar con tiempos de
exposicin
altos
y
dimensiones
grandes
de
pantalla.

-50.00

-400.00
-1

f actor_C

Means of Y
1000.00

f actor_E
-1
1

650.00

300.00

Se incrementa la produccin
Se incrementa la produccin
al trabajar con dimensiones
al trabajar con
aperturas
grandes
de
pantalla
y
pequeas de diafragma y
tiempos de revelado bajos.
tiempos de corrosin bajos.

-50.00

-400.00
-1

f actor_A

Means of Y
1000.00

f actor_E
-1
1

650.00

300.00

-50.00

-400.00
-1

Factor_B

Means of Y
1000.00

f actor_E
-1
1

650.00

300.00

-50.00

-400.00
-1

f actor_C

Se incrementa la produccin
al trabajar con tiempos de
corrosin altos y tiempos de
exposicin altos.

Se incrementa la produccin
al trabajar con tiempos de
corrosin bajos y tiempos de
revelado bajos.
Means of Y
1000.00

f actor_E
-1
1

650.00

Se incrementa la produccin
al trabajar con tiempos de
corrosin altos y dimensiones
grandes de diafragma.

300.00

-50.00

-400.00
-1

f actor_D

Para:
Las interacciones confundidas utilizando la confusin ABCD, se analiza separando y/o
agrupando los respectivos bloques: BLOQUE I BLOQUE II BLOQUE III
BLOQUE
IV.

Posteriormente se analiza el ANOVA para cada bloque siguiendo los siguientes pasos:
Analysis Analysis of variance (ANOVA) General Linear Models (GLM)

Resultados bloque 1
Analysis of Variance Table

Source
Term

Sum of
DF
Squares
(Alpha=0.05)
A: Ax
1
364658
B: Bx
1
140450
C: Cx
1
259920.5
D: Dx
1
54120.5
ABCD
1
0
E: Ex
1
64800
S
1
235260.5
Total (Adjusted)
7
1119210
Total
8
* Term significant at alpha = 0.05

Mean
Square

F-Ratio

364658
140450
259920.5
54120.5
0
64800
235260.5

1.55
0.60
1.10
0.23
0.00
0.28

Prob
Level

Power

0.430799
0.581203
0.484142
0.715291
1.000000
0.692316

0.084228
0.064157
0.075200
0.055619
0.050000
0.056703

Prob
Level

Power

0.486694
0.873666
0.941686
0.735101
1.000000
0.475544

0.074831
0.051003
0.050210
0.054783
0.050000
0.076480

Prob
Level

Power

0.840902
0.673988
0.719617
0.923685
1.000000
0.757982

0.051613
0.057664
0.055429
0.050361
0.050000
0.053923

Bloques significativos.
Se toma en cuenta la sumatoria del bloque = 235260.5
Resultados bloque 2
Analysis of Variance Table
Source
Sum of
Term
DF
Squares
(Alpha=0.05)
A: Axx
1
88200
B: Bxx
1
3280.5
C: Cxx
1
684.5
D: Dxx
1
15842
ABCD
1
0
E: Exx
1
94612.5
S
1
81124
Total (Adjusted)
7
283743.5
Total
8
* Term significant at alpha = 0.05

Bloques significativos.

Mean
Square
88200
3280.5
684.5
15842
0
94612.5
81124

F-Ratio
1.09
0.04
0.01
0.20
0.00
1.17

Sumatoria de bloque: 81124

Resultados bloque 3
Analysis of Variance Table
Source
Sum of
Term
DF
Squares
(Alpha=0.05)
A: Axxx
1
35644.5
B: Bxxx
1
172872
C: Cxxx
1
121524.5
D: Dxxx
1
7938
ABCD
1
0
E: Exxx
1
87362
S
1
547106.5
Total (Adjusted)
7
972447.5
Total
8
* Term significant at alpha = 0.05

Bloques significativos.
Sumatoria de bloque: 547106.5

Mean
Square
35644.5
172872
121524.5
7938
0
87362
547106.5

F-Ratio
0.07
0.32
0.22
0.01
0.00
0.16

Resultados bloque 4
Analysis of Variance Table
Source
Sum of
Term
DF
Squares
(Alpha=0.05)
A: Axxxx
1
11476.13
B: Bxxxx
1
117370.1
C: Cxxxx
1
43660.13
D: Dxxxx
1
124251.1
ABCD
1
0
E: Exxxx
1
43365.13
S
1
141301.3
Total (Adjusted)
7
481423.9
Total
8
* Term significant at alpha = 0.05

Mean
Square

F-Ratio

11476.13
117370.1
43660.13
124251.1
0
43365.13
141301.3

0.08
0.83
0.31
0.88
0.00
0.31

Prob
Level

Power

0.823257
0.529491
0.677020
0.520452
1.000000
0.677936

0.052008
0.069343
0.057498
0.070401
0.050000
0.057449

Bloques significativos.
Sumatoria de bloque: 141301.3
Serror= SST-

bloques

= 1388736 - (235260.5+81124+547106.5+ 141301.3)=

383943.7

Fuente de
variacin
A
B
C
D
E
ABCD
Bloque 1
A
B
C
D
E
ABCD
Bloque 2
A
B
C
D
E
ABCD

Suma de
cuadrados
91485.03
26622.78
298957.8
160036.5
4925.281
225.7813

Medias de
cuadrados
91485.03
26622.78
298957.8
160036.5
4925.281
225.7813

FC

.23
.07
.80
4.16
0.01
0.000058

.86
0.25
2.80
1.50
0.05
0 *Excluido

364658
140450
54120.5
259920.5
64800
0

364658
140450
54120.5
259920.5
64800
0

.95
.3658
.14
.68
.17
0

1.55
0.60
1.10
0.23
0.28
0

88200
3280.5
684.5
15842
94612.5

88200
3280.5
684.5
15842
94612.5

.23
.0085
0.0018
.042
.25

1.09
0.04
0.01
0.20
1.17

Bloque 3
A
B
C
D
E
ABCD
Bloque 4
A
B
C
D
E
ABCD
error

0.00

35644.5
172872
121524.5
7938
87362
0

35644.5
172872
121524.5
7938
87362
0

.01
.45
.32
0.020
.23
0

0.07
0.32
0.22
0.01
0.16
0

11476.13
117370.1
43660.13
124251.1
43365.13
0

11476.13
117370.1
43660.13
124251.1
43365.13
0

.03
.30
.11
.32
.13
0

0.08
0.83
0.31
0.88
0.31
0

383943.7

Conclusin:
En este problema los cinco factores puros excepto el factor A , son significativos
en los diferentes anlisis, se concluye que los factores D (significativo en la
mayora de las ANOVAS) repercute en el proceso, es decir, que la dimensin de
la pantalla influye en el rendimiento del proceso, por lo que si queremos lograr el
objetivo, que es el de incrementar la produccin es recomendable fijar la
atencin y hacer enfoque en estos, que con el anlisis del ANOVA podemos
sugerir que conviene trabajar con D a niveles Altos.

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