Tese apresentada Pr-Reitoria de Ps-Graduao e Pesquisa do Instituto

Tecnolgico de Aeronutica, como parte dos requisitos para obteno do ttulo de

Doutor em Cincias no Programa de Ps-Graduao em Fsica, na rea de Fsica
Atmica e Molecular.

MARCELO PGO GOMES

MICROPLASMAS EM EQUILBRIO DE EXCITAO

Tese aprovada em sua verso final pelos abaixo assinados:

Prof. Dr. Jayr de Amorim Filho

Orientador

Prof. Dr. Celso Massaki Hirata

Pr-Reitor de Ps-Graduao e Pesquisa

Campo Montenegro

So Jos dos Campos, SP Brasil

2011

II

Dados Internacionais de Catalogao-na-Publicao (CIP)

Diviso de Informao e Documentao
Gomes, M. P.
Microplasmas em equilbrio de Excitao/ Marcelo Pgo Gomes
So Jos dos Campos, 2011.
214f.
Tese de Doutorado Curso de Fsica. rea de Fsica Atmica e Molecular Instituto Tecnolgico de Aeronutica, 2011. Orientador: Prof. Dr. Jayr de Amorim Filho.
1. Microdescargas luminescentes. 2. Microcatodo oco. 3. Cdigo de modelagem colisional radiativo. 4.
Plasmas em equilbrio de excitao 5. Espectroscopia ptica de emisso I. Comando Geral de Tecnologia
Aeroespacial. Instituto Tecnolgico de Aeronutica. Diviso de Cincias Fundamentais.
II. Ttulo

REFERNCIA BIBLIOGRFICA
GOMES, M. P. Microplasmas em equilbrio de Excitao. 2011. 214f. Tese (Doutorado em
Fsica Atmica e Molecular) Instituto Tecnolgico de Aeronutica, So Jos dos Campos.

CESSO DE DIREITOS
NOME DO AUTOR: Marcelo Pgo Gomes
TTULO DO TRABALHO: Microplasmas em Equilbrio de Excitao
TIPO DO TRABALHO/ANO: Tese de doutorado/ 2011

concedida ao Instituto Tecnolgico de Aeronutica permisso para reproduzir cpias

desta tese e para emprestar ou vender cpias somente para propsitos acadmicos e
cientficos. O autor reserva outros direitos de publicao e nenhuma parte desta tese
pode ser reproduzida sem a sua autorizao.

___________________________
Marcelo Pgo Gomes
Departamento de Fsica
Instituto Tecnolgico de Aeronutica ITA
Comando Geral de Tecnologia Aeroespacial CTA
12.228-900
So Jos dos Campos SP
Brasil

III

MICROPLASMAS EM EQUILBRIO DE EXCITAO

MARCELO PGO GOMES

Composio da Banca Examinadora:

Prof.
Prof.
Prof.
Prof.
Prof.

Dr. Brett Vern Carlson

Dr. Jayr de Amorim Filho
Dr. Nicolau Andr Silveira Rodrigues
Dr. Sukarmo Olavo Ferreira
Dr. Edson Del Bosco

ITA

Presidente ITA / CTA

Orientador CTBE/ ITA
- ITA/ IEAV/ CTA
- UFV
- INPE

IV

Dedico esse trabalho minha me, pai (in memorian),

aos meus grandes amigos Flvio Nobre, Estanislau
Jnior e especialmente minha famlia: minha esposa,
Aighara Lyse Ramos Gomes, e aos meus filhos Ana
Caroline Ramos Gomes e Marcelo Ramos Gomes. O
maior presente que a vida me deu foi ter colocado vocs
em minha vida. Eu os amo muito.

Agradecimentos

Primeiro quero agradecer ao meu orientador, Prof. Dr. Jayr de Amorim Filho, por ter
me confiado um trabalho amplo e complexo que me possibilitou uma grande evoluo como
pessoa e pesquisador. Foi atravs deste trabalho que conheci pessoas extraordinrias tanto no
sentido humano como profissional.
Aos meus colegas de laboratrio, Prof. Dr. Bogos, Dr. Jorge Albuquerque de Souza
Corra e ao Eng. Carlos de Oliveira pela ajuda que me deram para a concluso deste trabalho.
Aos professores e funcionrios do departamento de fsica do ITA pela ateno e ajuda
que me deram durante todo o meu doutorado.
Aos meus colegas Jossano, Mauro e Ricardo. Vocs foram fundamentais no xito de
uma parte importante desse trabalho. Considero-me um privilegiado por ter vocs como
amigos. Espero um dia ter a oportunidade de desenvolver algum trabalho com vocs.
Aos Professores Brett, Edson Del Bosco (INPE), Maria Cristina (UFJF), Nicolau
(IEAV), Sukarno (UFV) por terem aceitado o convite para participar da minha banca de
defesa de tese de doutorado.
A todos os meus colegas de ps-graduao pela boa convivncia durante o meu curso
de doutorado.
Ao prof. Dr. Marcelo Destro por ter me cedido por vrias o microscpio tico para
anlises dos microcatodos ocos.
Aos professores Hugo e Carlos, docentes da USP Lorena, pela ateno e ajuda no
fornecimento de materiais para a confeco dos MCOs.
Ao prof. Dr Roberto Katsuhiro Yamamoto pelo apoio dado durante a minha visita a
USP para a realizao dos furos nos eletrodos dos MCOs.

VI

Ao Sr. Ccero da Ultra Vidro por sua ateno e ajuda durante uns dos momentos mais
difceis no meu doutorado.
Aos professores Humberto, Leonardo, Maria do Carmo e a funcionria Neuza da
escola EEPMLG pelo apoio que vocs me deram. Nunca me esquecerei de vocs.
Ao Instituto Tecnolgico de Aeronutica (ITA) por ter me proporcionado todo o
suporte para a execuo do presente trabalho.
Aos rgos de fomento, CAPES, CNPq e FAPESP, pelo suporte financeiro de forma
direta ou indireta.
E por fim, a todos aqueles que torceram para que eu tivesse xito no desenvolvimento
e concluso do meu trabalho de doutorado.

VII

Resumo

O objetivo do presente trabalho foi realizar um estudo experimental e terico amplo e

criterioso de plasmas confinados em um microcatodo oco aberto (MCO aberto), formado por
um capacitor de placas plano-paralelas com um dieltrico (mica), entre elas e um furo de
dimetro (dimetros escolhidos: 250m, 500m e 1000m), vazando o centro das placas
juntamente com o dieltrico. Este dispositivo foi alimentado por uma fonte de alta tenso de
corrente continua (CC). Os eletrodos utilizados na confeco dos MCOs abertos foram o
cobre, molibdnio e tntalo. Em relao s condies experimentais, os nossos microplasmas
foram gerados em uma mistura de gases,

, sob presses sub-atmosfricas ou

atmosfricas.
Primeiro, fizemos uma investigao sobre os modos de operao apresentados pelos
microplasmas atravs da curva caracterstica tenso-corrente. Os resultados obtidos para estas
curvas foram divididos em dois grupos. No primeiro grupo 0 4

focamos a aplicao

da lei de similaridade de Allis-White com relao ao modo de operao que apresenta uma
resistncia negativa (regime de catodo oco ou auto-pulsado). Para a faixa de presso em que
as microdescargas foram geradas, outros mecanismos (emisso secundaria, efeito Penning
entre outros) so predominantes na produo de eltrons livres em relao ao efeito catodo
oco, verificando que o modo de operao o auto-pulsado. Em relao ao segundo grupo
(4

20

), verificamos somente os regimes de operao normal e anormal esto

presentes na descarga.
Segundo, por meio do estudo das linhas de emisso dos espectros dos tomos de
hidrognio (

) e argnio (

a densidade eletrnica (

I) e tambm das molculas de OH, obtivemos os resultados para

), temperatura de excitao de eltrons (

distribuio dos estados atmicos (FDEA) do

), funo de

I e a temperatura do gs ( g ). Os resultados

VIII

obtidos para

esto coerentes com os publicados na literatura quando a corrente

da descarga ou a presso dentro do reator elevada. Para os perfis apresentados pela FDEA
do

I, constatamos que os estados pertencentes ao nvel 4 apresentaram o equilbrio de

Boltzmann parcial local, enquanto que, os nveis pertencentes cauda da funo de

distribuio tenderam ao equilbrio de Saha parcial local quando a presso e o furo do
microcatodo oco foram aumentados.
Atravs dos valores apresentados pelo parmetro

, foi possvel avaliar o quanto

cada estado da funo de distribuio dos estados atmicos do argnio experimental estava
fora do equilbrio de Saha

. Alm disso, por meio deste parmetro

conclumos

que os balanos imprprios que mais contriburam para tal perda de equilbrio foram o
balano corona (BC) e o balano de saturao por excitao (BSE). Por fim, para validar o
cdigo colisional radiativo de modelagem CRModel [MULLEN-2000], confrontamos os
valores obtidos para

onde verificamos que para

experimentalmente com os tericos fornecidos pelo cdigo,

, os resultados esto em boa concordncia dentro das

incertezas, exceto, para alguns valores de presso e dimetros de furo dos MCO.

IX

Abstract

The objective of the present work was to accomplish a wide and discerning
experimental and theoretical study of plasmas confined in an open microhollow cathode (open
MHC), formed by a capacitor of plan-parallel plates with a dieletric (mica), between them and
a hole diameter (chosen diameters: 250m, 500m and 1000m), draining the center of the
plates together with the dieletric. This device was sustained by a source of high current
tension continue (CC). The electrodes used in the making of open MHC's were the copper,
molybdenum and tantalum. In relation to the experimental conditions, our microplasmas were
generated in a mixture of gases,

, under sub-atmospheric pressures or atmospheric.

First, we made the research on the modes of operation presented by microplasmas

through the voltage-current characteristic curve. The results obtained goes these curve were
divided into two groups. In the first group (0 - 4mA) focus on the application of the law of
similarity Allis-White regarding the mode of operation that presents the negative resistance
(the hollow cathode regime or self-pulsed). For the pressure strip in that the microdischarge
were generated, other mechanisms (emission would support, effect Penning among other)
they are predominant in the production of free electrons in relation to the effect hollow
cathode, verifying who the operation way is self-pulsed. In relation to the second group (4mA
- 20mA), we verified only the regimes of normal and abnormal operation are present in the
discharge.
Second, by studying the emission spectra of hydrogen atoms (

) and argon (

of the molecules OH, we obtained the results of the electron density (

temperature of electrons (

), excitation

), distribution function of atomic states (FDEA) of the (

the gas temperature ( g ). The results obtained for

and

) and

) and

are coherent with published

them in the literature when the current of the discharge or the pressure inside of the reactor it

is elevated. For the profiles presented by FDEA of

, we verified that the states belonging

to the level 4p, presented the balance of local partial Boltzmann, while, the levels belonging
to the tail of the distribution function tended to the balance of local partial Saha when the
pressure and the hole diameter of the microhollow cathode were increased.
Through the values presented by the parameter

, it was possible to evaluate as

each state of the function of distribution of the atomic states of the experimental argon was
out of the balance of Saha

. Besides, through this parameter

we ended that the

improper balances that more contributed to such a equilibrium loss were the corona balance
(CB) and the excitation saturation balance (ESB). Finally, to validate the collisional radiative
code of modelling CRModel [MULLEN-2000], we compare the values obtained for

and

experimentally with the theoretical ones supplied by the code, where we verified that for
, the results are in good agreement within the uncertainties, except, for some values of
pressure and holes diameters of the MHC.

XI

Sumrio

1 Introduo........................................................................................................................... 17
2 Descargas Eltricas Luminescentes.................................................................................. 21
2.1 Conceito de Plasmas......................................................................................................... 21
2.2 Descargas Eltricas em Gs.............................................................................................. 25
2.3 Descargas Eltricas em CC............................................................................................... 26
2.4 Ruptura Eltrica (Breakdown) dos Gases Uma Anlise Qualitativa............................. 30
2.5 Descargas Luminescentes................................................................................................. 32
2.6 Descargas em Microcatodo Oco....................................................................................... 35
2.6.1 Descarga em Microcatodo oco aberto: Presso sub-atmosfrica e Presso Atmosfrica39
2.6.2

Modo de Operao de uma Descarga em Microcatodo Oco. Curva Caracterstica

Tenso Corrente.................................................................................................................... 40
3. Plasmas em Equilbrio de Excitao................................................................................ 44
3.1 Introduo......................................................................................................................... 44
3.2 Fatores que Ocasionam Perda do Equilbrio Termodinmico.......................................... 45
3.2.1 Equilbrio Termodinmico (E T)................................................................................... 45
3.2.2 Perda do Equilbrio Termodinmico.............................................................................. 46
3.2.3 Balanos Imprprios em Plasma com CEE................................................................... 49
3.2.4 Relao entre os Balanos Prprios e Balanos Imprprios.......................................... 52
3.2.5 Parmetro b(p)................................................................................................................ 52
3.3 Balanos Prprios para um Plasma em Equilbrio Parcial................................................ 54
3.3.1 Princpio da Reversibilidade Microscpica................................................................... 55
3.3.2 Equilbrio de Maxwell: Colises Elsticas.................................................................... 56
3.3.2.1 Balano de Maxwell e a Distribuio no ET.............................................................. 56

XII

3.3.2 Equilbrio de Maxwell Para o Plasma a Duas-Temperaturas........................................ 58

3.3.2.3 Equilbrio de Maxwell Local (EML).......................................................................... 58
3.3.2.4 Equilbrio de Maxwell Parcial e Local um Gs de Eltrons (EMepL)........................ 59
3.3.3 Equilbrio de Boltzmann: Excitao e Desexcitao..................................................... 59
3.3.3.1 Balano de Boltzmann e a Distribuio no ET........................................................... 59
3.3.3.2 Balano de Boltzmann Governado por Eltrons Num Plasma a 2-T.......................... 60
3.3.3.3 Equilbrio de Boltzmann Parcial e Local.................................................................... 62
3.3.4 Equilbrio de Saha: Ionizao e Recombinao............................................................. 63
3.3.4.1 Balano de Saha e a Distribuio no Equilbrio Termodinmico............................... 63
3.3.4.2 Balano de Saha governado por eltrons num Plasma a 2-T...................................... 63
3.3.4.3 Equilbrio de Saha Parcial e Local Regido por Eltrons............................................. 64
3.3.5 Equilbrio de Planck: Interao da Radiao com a Matria......................................... 64
3.3.5.1 Lei de Planck no Equilbrio Termodinmico.............................................................. 64
3.3.5.2 Escape da Radiao..................................................................................................... 65
3.3.5.3 Equilbrio de Planck Parcial e Local........................................................................... 66
3.3.6 Plasmas com Cintica de Excitao por Eltrons (CEE)............................................... 67
3.4 A Propriedade de Decaimento Radiativo.......................................................................... 69
3.4.1 Probabilidade de Decaimento Espontneo..................................................................... 69
3.4.2 Produo e Destruio Radiativa................................................................................... 70
3.4.3 Frequncia Decaimento Total........................................................................................ 71
3.4.3.1 A Frequncia Cascata no Equilbrio de Saha Parcial e Local..................................... 72
3.4.3.2 A frequncia de captura no equilbrio de Saha parcial e local.................................... 73
3.4.3.3 A Probabilidade de Decaimento Efetivo..................................................................... 74
3.5 Colises Eletrnicas.......................................................................................................... 74
3.5.1 Os Resultados da Aproximao de Born....................................................................... 75

XIII

3.5.2 O coeficiente de Reao................................................................................................. 76

3.5.3 Colises frias.................................................................................................................. 77
3.5.4 Aproximaes semi-empricas....................................................................................... 78
4. Cdigo de Modelagem Colisional Radiativo................................................................... 81
4.1 A Equao da Continuidade.............................................................................................. 81
4.2 A Soluo do Estado Quase Estacionrio (SEQE)........................................................... 83
4.3 A Soluo do Modelo Numrico...................................................................................... 84
4.4 A Funo de Distribuio

......................................................................................... 87

4.5 Coeficientes para a Ionizao e Recombinao Total....................................................... 88

4.6 Sees de Choque............................................................................................................. 90
4.6.2 Seo de Choque Proposta por Drawin.......................................................................... 91
4.7 Descrio dos Parmetros de Entrada....................................................................... 92
4.7.1 Nveis de Energia do Argnio Neutro (Ar I).................................................................. 92
4.7.2 Transies Radiativas.................................................................................................... 97
4.7.3 Transies Colisionais................................................................................................. 101
4.7.3.1 Transies tipo Drawin............................................................................................. 101
4.7.4 Estrutura do Algoritmo Usado no Input, Arquivo de Entrada, para Descrever os Nveis
e as Transies Radiativas e Colisionais................................................................................ 101
4.7.5 Informaes Obtidas no Arquivo de Sada.................................................................. 104
5. Espectroscopia de Emisso............................................................................................. 106
5.1 Espectros de Emisso Devido a Transies Eletrnicos em tomos............................. 107
5.1.1 Espectros do Argnio................................................................................................... 108
5.1.2 Espectros do Hidrognio.............................................................................................. 110
5.2 Intensidade de Linhas de Emisso Atmicas.................................................................. 112
5.3 Espectros de Emisso Devido a Transio Moleculares................................................. 113

XIV

5.3.1 Espectros Rotacionais.................................................................................................. 113

5.3.2 Espectros Ro vibracionais......................................................................................... 115
5.3.3 Espectros Eletrnicos................................................................................................... 119
5.3.4 Intensidade das Estruturas Rotacional e Vibracional................................................... 123
6. Alargamento de Linhas Espectrais............................................................................... 126
6.1 Alargamento Natural....................................................................................................... 126
6.2 Alargamento Doppler...................................................................................................... 129
6.3 Alargamento por Presso ou Colisional.......................................................................... 131
6.4 Alargamento Ressonante (Auto-Alargamento)............................................................... 135
6.5 Alargamento van der Waals............................................................................................ 135
6.6 Alargamento Stark.......................................................................................................... 137
6.7 Alargamento Instrumental............................................................................................... 139
6.8 A Convoluo dos Perfis de Linha Perfil Voigt.......................................................... 139
7. Mtodos Usados nos Clculos dos Parmetros das Microdescargas........................... 142
7.1 Determinao da Temperatura de Excitao................................................................... 142
7.1.1 Mtodo Grfico de Boltzamann................................................................................... 142
7.2 Determinao da Temperatura da microdescarga........................................................... 144
7.2.1 Temperatura Rotacional: Linhas da Molcula OH...................................................... 144
7.3 Determinao da Densidade Eletrnica.......................................................................... 147
7.3.1 Alargamento Stark Linha H..................................................................................... 147
7.4 Determinao da Funo de Distribuio dos Estados Atmicos do Argnio (FDEA) 149
7.4.1 Mtodo das Intensidades das Linhas do Espectro do Argnio.................................... 149
7.5 Determinao do Parmetro

................................................................................... 150

7.5.1 Razo da FDEA pela Densidade de Saha.................................................................... 150

7.6 Determinao da Densidade de tomos de Argnio no Estado Fundamental............... 150

XV

7.6.1 Equao dos Gases Ideais............................................................................................ 151

8. Arranjo e Procedimento Experimental......................................................................... 152
8.1 Descrio do Aparato Experimental............................................................................... 152
8.1.1 Cmara de Descargas Eltricas (Reator) e os Respectivos Instrumentos de Medidas com
suas Respectivas Finalidades................................................................................................. 152
8.1.2 Aparato usado no Estudo de Emisso ptica.............................................................. 157
8.2 Montagem do Microcatodo Oco Aberto......................................................................... 158
8.2.1 Material Utilizado na Confeco dos Microcatodos Ocos Abertos............................. 159
8.2.2 Procedimentos Seguidos Para Fazer os Furos das Chapas Metlicas e dos
Dieltricos.............................................................................................................................. 159
8.2.3 Alinhamento dos Furos dos Eletrodos com o do Dieltrico........................................ 161
8.3 Limpeza e Evacuamento da Cmara de Vcuo................................................................ 162
9. Resultados Experimentais.............................................................................................. 163
9.1 Caracterizao do Modo de Operao da Descarga........................................................ 163
9.1.1 Curva Tenso-Corrente para Microcatodo Oco Aberto............................................... 163
9.2 Parmetros Obtidos Atravs de Medidas Espectroscpicas............................................ 173
9.2.1 Temperatura da Microdescarga (Gs).......................................................................... 173
9.2.2 Temperatura de Excitao Eletrnica.......................................................................... 177
9.2.3 Densidade de Eltrons.................................................................................................. 179
9.2.4 Funo de Distribuio dos Estados Atmicos do Argnio........................................ 182
9.3 Parmetro b(p)................................................................................................................. 190
9.4 Densidade de tomos de Argnio no Estado Fundamental........................................... 197
10. Resultados Tericos Obtidos para Dois Parmetros da Microdescarga Atravs do
Cdigo Colisional de Modelagem....................................................................................... 200
10.1 Temperatura de Excitao Eletrnica............................................................................ 200

XVI

10.2 Densidade de Eltrons................................................................................................... 203

11. Concluses.......................................................................................................................205
12. Referncias Bibliogrficas............................................................................................. 208

17

1. Introduo
Considerado como quarto estado da matria, o plasma constitui a maior parte da
matria no universo. Ele est presente no sol, nas atmosferas planetrias, na matria
interestelar e na ionosfera terrestre [FOEST-2006]. Na terra, naturalmente, o plasma gerado
nas descargas eltricas entre nuvens ou nuvens-solo durante as tempestades, auroras boreais e
austrais e chamas (fogo). Artificialmente, os plasmas so gerados, em baixa ou alta presso,
com fins tecnolgicos como por exemplos, solda a arco, tocha de plasma, lmpadas
fluorescentes [FOEST -2006], deposio e corroso de filmes finos [SAWIN-1995],
revestimento

de

vidros

para

faris

de

automveis

[SUCHENTRUNK-1997],

impermeabilizao de tecidos [BONIZZONI-2002], etc. Tais plasmas artificiais so

produzidos por meio de fornecimento de energia (via campo eltrico) a um volume de gs
neutro, que contm uma pequena frao de eltrons livres e ons provenientes das espcies
neutras que constitui o gs. Outra maneira de produzi-los nos reatores termonucleares para
produo de energia eltrica via reaes de fuso nuclear.
Os plasmas podem ser classificados como plasmas quentes (
(

g ),

onde

g)

ou plasmas frios

a temperatura dos eltrons (temperatura associada energia cintica

mdia dos eltrons) e

a temperatura do gs (temperatura associada energia cintica

mdia dos ons e partculas neutras). Em relao a plasmas frios, podemos citar as seguintes
propriedades [ROSSNAGE-1990, MANOS-1989]:

So fracamente ionizados;

Geralmente, operam em baixa presso (10

Apresenta um baixo grau de ionizao;

A temperatura eletrnica fica em torno de 1 a 10

eltrons da ordem de 10 a 10

a1

);

, enquanto que a densidade de

18

No final do sculo XX devido reduo das dimenses dos dispositivos usados na

gerao de plasmas, surgiu o termo microplasmas. Define-se como microplasmas todo plasma
cujas dimenses so inferiores a 1

. Schoenbach et al foram os primeiros que reportaram

sobre a produo de microdescargas sob presso atmosfrica num dispositivo cujo catodo oco
tem geometria cilndrica [FOEST-2006]. A partir do incio do presente sculo, houve um
aumento expressivo de trabalhos envolvendo microplasmas. Em fevereiro de 2003, o
professor K. Tachibana da universidade de Kyoto (Japo) organizou o primeiro workshop
intitulado como O novo Mundo dos Microplasmas para discutir os novos desafios
cientficos e as oportunidades tecnolgicas envolvendo microplasmas e microdescargas
[BECKER-2006].
Uma grande vantagem na gerao de microplasmas em relao os plasmas
convencionais o baixo custo relacionado ao aparato experimental utilizado para tal. Mas,
como desvantagens devidas as suas dimenses reduzidas, temos as dificuldades em ger-los
em determinadas condies experimentais e a impossibilidade de introduzir dispositivos de
medidas como, por exemplo, a sonda de Langmuir para medir a densidade e temperatura de
eltrons, para poder caracteriz-los. Ou seja, existe uma grande dificuldade para se realizar
um estudo amplo dos processos fsicos e qumicos presentes nestes microplasmas.
Em relao s aplicaes destes microplasmas podemos citar algumas: deposio de
filmes finos [FOEST-2003], descontaminao bacteriolgica [RAHUL-2005, SLADEK2005], gerao de VUV e UV [FOEST-2006], limpeza de materiais [CHOI-2001], painel de
tela plana [TACHIBANA-2005, PARK-2002], controle de poluio [XU-2001], formao de
exmeros [SHOENBACK-2000], tratamento de superfcie de polmeros [YOSHIKI-2002],
etc.
As configuraes dos geradores de microplasmas encontradas na literatura, assim
como os materiais utilizados em suas fabricaes so os mais diversos possveis. Em nosso

19

caso, a configurao escolhida para o estudo dos microplasmas foi o microcatodo oco aberto
(sanduiche eletrodo dieltrico - eletrodo) operando em presses sub-atmosfricas e
atmosfricas. Esse conjunto foi alimentado por uma fonte de tenso de corrente contnua.
O objetivo desse trabalho realizar um estudo criterioso dos parmetros eltricos e
espectroscpicos dos microplasmas gerados em microcatodo oco abertos. Tambm ser
realizada uma anlise aprofundada dos possveis equilbrios (equilbrio de Saha, Maxwell,
Boltzmann e Planck) apresentados pelos microplasmas por meio dos perfis das funes de
distribuio dos estados atmicos do tomo neutro de argnio. Este estudo no existe na
literatura que conhecemos. Para isto, sero adotados procedimentos bem rigorosos para
reduzir os erros ao mnimo. Por fim, como um trabalho pioneiro, ser validado um cdigo
colisional radiativo de modelagem CRModel desenvolvido pelo professor van der Mullen et
al [MULLEN-2000] para os tipos de microplasmas produzidos no presente trabalho. A
validao ser feita por meio do confronto dos resultados obtidos experimentalmente para a
temperatura de excitao e densidade eletrnica com os obtidos teoricamente atravs do
cdigo.
No captulo 2 da tese faremos uma breve discusso sobre descargas eltricas
luminescentes. No captulo 3 abordaremos os conceitos relacionados com um plasma em
equilbrio de excitao, como por exemplo, o conceito de plasmas em equilbrio
termodinmico, equilbrio termodinmico local, equilbrios de Saha parcial e local e etc. Para
o captulo 4, apresentaremos todos os conceitos fsicos e a estrutura em que o cdigo de
modelagem est fundamentado.
Nos captulos 5, 6 e 7 faremos uma reviso sobre a espectroscopia de emisso atmica
e molecular, os processos relacionados com o alargamento de uma linha espectral e por fim,
apresentaremos os mtodos empregados para se determinar os parmetros da descarga atravs
da Espectroscopia ptica e Emisso (EOE). As tcnicas da EOE e a teoria do alargamento de

20

linhas espectrais foram empregados no diagnstico de microplasmas em presso atmosfrica.

As linhas 4

(vermelhas) e 5

(azuis) de

I foram empregadas na

determinao da temperatura de excitao de eltrons, atravs do mtodo grfico de

Boltzmann, bastante usado em descargas a alta presso [CALZADA-1996, CALZADA 2008] . As bandas rotacionais dos espectros de emisso da molcula OH foram usadas para se
estimar a temperatura do gs argnio do microplasma.
No captulo 8 ser feita apresentao do aparato experimental e dos mtodos seguidos
durantes as medidas experimentais. Nos captulos 9 e 10 apresentares os resultados obtidos
por meio de medidas experimentais e do cdigo colisional radiativo de modelagem CRModel.
E por fim, faremos a concluso sobre todas as metas que foram compridas no presente
trabalho.

21

2. Descargas Eltricas Luminescentes

Neste presente captulo, apresentaremos os critrios para se definir o que um plasma

e tambm faremos uma discusso sobre as descargas eltricas em corrente continua e seus
regimes de operaes, descargas em microcatodo oco aberto, ruptura eltrica de um gs e por
fim, falaremos das descargas eltricas luminescentes e suas regies.

2.1 Conceito de Plasmas

Na literatura existem vrias definies sobre o que plasma. No presente tpico
faremos uma breve discusso de alguns conceitos de plasmas e quais so os critrios para
defini-lo.
Plasma um conjunto quasi-neutro

de partculas carregadas e neutras que

apresentam comportamento coletivo [ABRAHAM-1979]. O termo quasi-neutro est

relacionado ao fato de que para um plasma real, de volume limitado, a perda de partculas
carregadas por processos de difuso podem ser bastante distintas para eltrons e ons,
resultando na quasi-neutralidade de carga. Com isso, em princpio no haveria condio para
o plasma continuar quasi-neutro. Contudo, muitos plasmas tm distribuies quasi-neutra de
densidades de cargas, ou seja,

localmente. Essa caracterstica denominada quasi-

neutralidade no sentido de ter propriedades fsicas diferentes de um gs neutro. O plasma

tambm definido como o quarto estado da matria [ABRAHAM-1979, BITTENCOURT2004]. Este termo vem da idia de que adicionar energia a matria, esta mudar de fase.
Sendo assim, quando adicionar energia de ionizao, a matria na fase gasosa passar para a
fase de gs ionizado ou plasma [ABRAHAM-1979, BITTENCOURT-2004]. No entanto, esta
transio de gs para plasma no uma transio de fase no sentido termodinmico, pois ela

22

ocorre devido a colises entre partculas carregadas (eltrons) e neutras [BITTENCOURT2004]. Para definir um plasma, quatro critrios devem ser satisfeitos. So eles:

1. Neutralidade Macroscpica de Carga

Quando no h perturbaes de campos externos agindo sobre um plasma, este

apresenta uma neutralidade macroscpica de carga [BITTENCOURT-2004]. Isto , em
condies de equilbrio onde no h presena de foras externas, em um volume de plasma
suficientemente grande para conter uma enorme quantidade de partculas, mas
suficientemente pequeno se comparado com qualquer comprimento caracterstico para a
variao dos parmetros macroscpicos (densidade e temperatura), a carga resultante total
zero [BITTENCOURT-2004]. Isto nos leva a condio de neutralidade macroscpica.

2. Comprimento de Debye

Uma caracterstica importante no comportamento do plasma a sua capacidade de

blindagem quando em seu interior surgir um potencial eltrico qualquer. Isto implica que um
plasma no permitir que dentro dele surja um campo eltrico ( ). Para ilustrar esta situao,
considere um eletrodo com simetria esfrica e carregado positivamente e com potencial
(figura 2.1). Ao introduzirmos esse eletrodo no interior de um plasma, uma camada de
eltrons se formar ao redor do eletrodo de modo a anular todo o seu potencial

, ou seja,

blindar o campo eltrico criado pelo eletrodo. A medida da espessura desta camada de nuvem
de carga espacial denominada de comprimento de Debye

[BITTENCOURT-2004].

23

Figura 2.1: Blindagem de potencial dentro de um plasma por uma esfera de Debye.
A relao matemtica usada para estimar o valor de

foi deduzida por Debye e

dada por [BITTENCOURT-2004]:

1
0

2.1

onde,

a temperatura dos eltrons,

a densidade eletrnica e

a constante de

permissidade eltrica . Todo o conjunto, eletrodo e a camada de eltrons, formam a esfera de

Debye com raio

Geralmente,

tem valores muito pequenos. Para o caso de uma descarga realizada

em um microcatodo oco aberto com furo de dimetro de 500

7.10

, encontramos

7,4

0,8

3. Parmetro de Plasma
O parmetro de plasma

pode ser obtido pela seguinte expresso [ABRAHAM-1979,

BITTECOURT-2004]:
1

2.2

24

Esta equao est relacionada com o nmero de partculas carregadas do plasma

dentro de uma esfera de Debye. O parmetro de plasma tambm uma medida da razo da
energia potencial mdia entre as partculas com a energia cintica mdia do plasma
[BITTENCOURT-2004]. Sendo o conceito de blindagem de Debye vlido, tem-se que a
descrio de um plasma tem significado estatstico somente quando a quantidade de partculas
no interior da esfera de Debye for grande. A condio

1 denominada aproximao de

plasma [ABRAHAM -1979, BITTENCOURT-2004].

4. Frequncia de Plasma
Uma das manifestaes fundamentais da propriedade coletiva do plasma a oscilao
de plasma [ABRAHAM -1979]. Quando um plasma tirado da sua condio de equilbrio,
imediatamente surgir um campo eltrico resultante da carga espacial no interior deste plasma
devido ao movimento coletivo das partculas carregadas de modo a restabelecer a neutralidade
original [BITTENCOURT-2004]. A fora restauradora associada a esse campo proporcional
ao deslocamento desta carga espacial. O movimento coletivo das partculas caracterizado
por uma oscilao cuja frequncia

chamada de frequncia de plasma. Esta expressa

por [ABRAHAM -1979, BITTENCOURT-2004]:

2.3
em que,

a massa do eltron.

A frequncia de plasma frequentemente usada como uma forma de medir a

densidade de plasma [ABRAHAM-1979].
A oscilao de plasma pode deixar de existir caso a densidade de partculas neutras for
aumentada de maneira que o tempo mdio entre colises, , entre a partcula carregada
(eltron) e a neutra for inferior ao perodo de oscilao do plasma. Isto impe que:
1

2.3

25

para a existncia de uma plasma.

Aps a formalizao dos conceitos de neutralidade macroscpica, comprimento de
Debye, parmetro de plasma e frequncia de plasma podemos definir de uma maneira mais
formal o conceito de plasma.
Plasma uma coleo de partculas carregadas e neutras que segue os seguintes
critrios [ABRAHAM-1979, BITTENCOURT-2004]:
a) Apresenta uma neutralidade macroscpica de carga;
b) O comprimento de Debye dever ser muito menor que as dimenses do plasma
;
c)
d)

1;
1.

2.2 Descargas Eltricas em Gs

Os primeiros estudos sobre descargas eltricas em gases ocorreram aproximadamente
na metade do sculo XIX com Plker no ano de 1850 e com Johann em 1869. Nesse perodo
eles estudaram luminescncia em tubos de descargas [LOEB-1939]. J. J. Thomson, em 1897,
descobriu o eltron e estabeleceu a teoria da natureza eltrica da matria. Sua descoberta se
deu atravs de experimentos com descargas eltricas em tubos de raios catdicos [NIAZ2000]. Com o passar do tempo o nmero de pesquisas envolvendo descargas eltricas em
gases cresceu de uma forma bem significante. Esse aumento se deve ao grande avano
tecnolgico dos aparatos experimentais (tubos de descargas eltricas, bomba de vcuo,
medidores de presso, espectrmetros e osciloscpios) como tambm no aprimoramento das
tcnicas usadas nas medies. Os gases so constitudos de tomos e molculas e do ponto de
vista eltrico e em condies normais (no esto sob a ao de campos eltricos ou fontes de
altas temperaturas), so isolantes eltricos. Para que ocorra uma descarga eltrica atravs de

26

um gs necessrio ioniz-lo. Esta ionizao pode ocorrer de varias formas, por coliso
eletrnica, absoro de radiao (fotoionizao) e aumento de temperatura (ionizao trmica)
[LOEB-1939].
O princpio bsico do processo de ionizao por coliso est associado com a aplicao
de um campo eltrico atravs de um gs como mostra a figura 2.2. Este campo acelera os
eltrons livres presente no meio gasoso de forma que cada um deles tenha a sua energia
cintica aumentada suficientemente para produzir os eltrons livres nas colises com tomos e
molculas presentes no gs. Esse processo ocorre varias vezes num espao de tempo muito
pequeno, e com isso, a rigidez dieltrica do meio quebrada de forma brusca e uma corrente
estabelecida atravs do gs. Este fenmeno chamado de ruptura (breakdown).

Figura 2.2: Reator de eletrodos planos para a produo de uma descarga luminescente em
corrente contnua.

2.3 Descargas Eltricas em CC

A obteno de uma descarga eltrica em corrente contnua (CC) (na literatura em sua
grande maioria utiliza-se a abreviao DC direct corrent ao invs de CC) pode ser realizada

27

de uma maneira muito simples, bastando aplicar uma diferena de potencial (ddp) entre dois
eletrodos (duas placas metlicas planas e paralelas) situados no interior de um tubo de
descarga (Pyrex@ ou quartzo) que contm um gs [CONRADS-2000] como apresentado na
figura 2.2. Com uma fonte de tenso aplica-se uma ddp entre os eletrodos de modo que um
campo eltrico contnuo seja estabelecido entre eles. Este campo, como j foi dito no tpico
2.2, acelera os eltrons livres presentes no interior do tubo de forma a ionizar o gs. Aps a
ruptura, uma corrente
descarga

ser estabelecida entre os eletrodos. O comportamento da tenso da

em funo da corrente

est resumido no grfico da figura 2.3. Este grfico,

denominado de curva caracterstica de tenso e corrente da descarga, mostra os diversos

regimes de operao apresentada pela descarga. Estas subdivises em regies ou modos de
operaes so vlidas para descargas em baixa presso

10

e eletrodos metlicos

em paralelo.

Figura 2.3: Curva caracterstica de tenso corrente de uma descarga em CC.

28

Os diferentes modos de operao na curva caracterstica

so identificados da

seguinte forma:

A. Regime de Saturao (I II)

Aplicando-se uma baixa tenso nos eletrodos do reator, uma corrente extremamente
pequena

10

pode ser observada. Estes eltrons so produzidos por fontes externas

ao sistema, por exemplo, raios csmicos ou lmpadas que emitem UV [CHIAD-2010]. Como
o campo eltrico aplicado no suficientemente intenso para fornecer energia a esses eltrons
livres, eles so somente coletados pelos eletrodos sem causar colises inelsticas.

B. Descargas de Towsend (II III)

A descarga de Towsend tambm conhecida como descarga escura. No regime de
saturao dito que a descarga no auto-sustentada, mas com o aumento da ddp entre os
eletrodos ele passa para um estgio de auto-sustentao, ou seja, os processos colisionais
produzem eltrons e ons o suficiente para manter a descarga. Esse aumento de tenso implica
que a intensidade do campo eltrico tambm ser elevada, com isso, os eltrons livres
recebem energia suficiente para ionizar os tomos neutros por coliso. O resultado uma
multiplicao de eltrons e ons entre os eletrodos [VOSSEM-1991]. Os ons produzidos das
colises entre eltrons e tomos neutros, so acelerados pelo campo eltrico em direo a
superfcie do catodo. Eles ao colidirem com o catodo podem produzir novos eltrons livres
por emisso secundria. Esse processo fornece um mecanismo de regenerao que sustenta a
corrente

atravs da descarga. O valor tenso onde ocorre a transio da descarga no. No regime de Towsend,

sustentada para auto-sustentada chamado de tenso de ruptura

a ddp aplicada maior que

e a corrente

limitada a pequenos valores por intermdio de

um resistor externo. Observa-se na curva caracterstica de

que a regio II III

29

praticamente plana. Isso se deve ao fato de que para pequenos aumentos de tenso a corrente
aumenta consideravelmente.

C. Regime de Luminescncia Subnormal III

IV

O aumento de tenso conduzir a um efeito de carga espacial significante na regio

entre os eletrodos. Com a diferena entre as mobilidades das partculas carregadas (eltrons e
ons) muito grande, a carga espacial ser predominantemente positiva. Os ons se
concentraram na frente do catodo formando uma regio denominada de queda catdica. O
campo eltrico nessa regio mais intenso em relao quele quando o potencial era
distribudo uniformemente no espao entre os eletrodos. Pela curva caracterstica de

verifica-se que nesse regime de operao, a tenso necessria para manter a descarga diminui
com o aumento da corrente. Observa-se tambm que a partir dela que se d a luminescncia
da descarga.

D. Regime Luminescente Normal IV

No presente regime de operao, a formao da regio de queda catdica est

completa e a tenso da descarga atinge o seu valor mnimo. Independente de qualquer
aumento de corrente, a tenso se manter estvel, enquanto que a descarga se expandir de
modo a cobrir toda a superfcie dos eletrodos e com isso a densidade de corrente mantida
constante. O modo de operao normal termina quando toda a superfcie dos eletrodos estiver
coberta pela descarga e a tenso passar a aumentar com a corrente.

E. Regime Luminescncia Anormal V

VI

Os eletrodos so completamente cobertos pela descarga e qualquer aumento de

corrente conduzir a um aumento abrupto da tenso entre os eletrodos.

30

F. Regime Arco VI

VII

Com o aumento da corrente uma mudana em descarga em arco observada.

Diferentes processos como o aquecimento do gs e a emisso terminica de eltrons tornamse importantes. Com isso, a ddp necessria para manter a descarga pode ser diminuda
substancialmente.
Para selecionar o modo de operao da descarga inclui-se no circuito eltrico do
sistema uma resistncia equivalente externa

[WAGENAARS-2006]. A lei de Ohm para

este circuito pode ser dada por

2.4
onde, V a tenso entre os eletrodos,

a tenso aplicada pela fonte e

a corrente da

descarga. Esta equao tambm denominada de linha de carga [FRIDMAN-2004]. A

interseo entre a curva caracterstica e a linha de carga nos fornece a ddp entre os eletrodos,
a corrente da descarga e o regime de operao desta.

2.4 Ruptura Eltrica (Breakdown) dos Gases Uma Anlise Qualitativa

Investigaes de ignio de descargas so quase to antigas quanto os estudos sobre as
prprias descargas eltricas. Em 1889, Friedrich Paschen realizou experimentos para analisar
quais eram os menores valores de tenso necessrios para produzir uma centelha entre dois
eletrodos localizados no interior de um tubo de vidro [PASCHEN-1889]. Ele constatou que
essa tenso dependia do tipo de gs, presso

dentro do tubo, distancia

entre os

eletrodos . Alem disso, Paschen formulou uma lei que descreve a tenso de ruptura de um gs
como uma funo do produto da presso do gs pela distncia que separa os eletrodos, ou
seja,

. Esta lei foi chamada de lei de Paschen. A figura 2.4 mostra a tenso de

ruptura como funo do produto

, para alguns tipos de gs.

31

Figura 2.4: Curvas de Paschen de vrios gases obtidas da ref. (RAIZER-1997).

As curvas desta figura so conhecidas como Curvas de Paschen. Para mais
informaes sobre a lei de Paschen consulte [PASCHEN-1889].
Em 1909, Towsend props um modelo terico que foi capaz de explicar
satisfatoriamente o fenmeno de ruptura de um gs, como funo das tenses de ruptura
medidas nas curvas de Paschen. Esse modelo foi baseado numa descrio dos processos
microscpicos como, por exemplo, a ionizao por impacto eletrnico, multiplicao de
cargas na avalanche de eltrons (primeiro coeficiente de Towsend) e a emisso secundria de
eltrons pelo catodo devido ao impacto de ons (segundo coeficiente de Towsend). A sua
teoria aplica-se ao estudo de ruptura de descargas a baixa presso.
Fazendo uma breve discusso sobre os dois coeficientes de Towsend, para mais
detalhes veja [NASSER-1971], temos que o primeiro coeficiente representado pela letra grega

32

, corresponde ao nmero de eltrons produzidos por unidade de comprimento por colises

ionizantes ao logo da direo do campo eltrico. Este coeficiente depende da presso e do tipo
de gs, bem como do campo eltrico

entre os eletrodos, e pode ser expresso da seguinte

forma [NASSER-1971]:

2.6
onde, A e B so constantes que dependem de qual gs e material do catodo est sendo usado
para realizar a descarga.
O segundo coeficiente de Towsend

ou coeficiente efetivo de emisso de eltrons

secundrios est associado com o nmero de eltrons secundrios emitidos pelo catodo a
vrias partculas produzidas na descarga, entre elas, os ons. Os valores de

podem ser

obtidos atravs da seguinte relao [NASSER-1971]:

1
1
em que,

2.7

(depende do campo eltrico reduzido). O coeficiente , depende do material

que constitui o catodo, do tipo de gs e tambm do campo eltrico.

O modelo de Towsend no se aplica ao estudo de ruptura para todo tipo de descarga.
Nas dcadas de 30 e 40 do sculo passado, observaes foram feitas sobre rupturas em
condies especficas. Estas rupturas apresentaram aspectos que no esto em concordncia
com a teoria de Towsend. Isto pode ser evidenciado em descargas em alta presso.

2.5 Descargas Luminescentes

A seguir, ser feita uma anlise do padro de luz emitida por uma descarga a baixa
presso num tubo de vidro. Ao longo deste tubo pode ocorrer uma sequncia de regies que se
alterna espacialmente, uma clara seguida de uma escura como mostra a figura 2.5.

33

Figura 2.5: Distribuio dos parmetros fsicos de uma descarga luminescente [FRIDMAN2004].
Dentro de uma descarga luminescente h um comportamento tpico da intensidade de
luz emitida, do potencial, do campo eltrico longitudinal, da densidade de corrente inica e
eletrnica e das densidades de eltrons e ons (figura 2.5). Pode-se observar atravs desta
figura que algumas regies da descarga apresentam maior densidade de ons, enquanto que
outras tm praticamente a carga total praticamente nula. O campo eltrico

dentro da

descarga luminescente varia em praticamente em todas as regies ao longo do tubo, com

exceo da coluna positiva. As densidades de eltrons e ons so as mesmas com exceo da

34

regio prxima ao catodo onde a densidade ons mais elevada. Isso ocorre devido a
mobilidade dos eltrons ser maior que dos ons. Agora ser feito uma breve discusso de cada
uma das regies identificadas na figura 2.5.

Regio escura de Aston: uma regio fina que est localizada prximo ao catodo,
uma particularidade na regio escura de Aston a alta intensidade do campo eltrico
. a partir desta regio que os eltrons so acelerados em direo a descarga. Porm,
devido baixa densidade de eltrons a eficincia na excitao do gs baixa e por
esse motivo que a regio escura.

Luminescncia do Catodo: A principal caracterstica desta regio a alta densidade de

ons. Estes ao colidirem com a superfcie do catodo produzem a emisso de eltrons
secundrios. Sua espessura depende do tipo de gs e da presso.

Regio Escura do Catodo: Possui um campo eltrico moderado em comparao a

regio de Aston e a densidade de ons predominante em relao dos eltrons.

Luminescncia Negativa: Esta a regio com maior intensidade luminosa da descarga.

Seu campo eltrico

relativamente baixo, e sua espessura grande se comparada a

da regio de luminescncia do catodo. Os eltrons provenientes desta ltima so

desacelerados na regio de luminescncia negativa devido s colises sofridas com os
tomos neutros.

Regio Escura de Faraday: Os eltrons que deixam a luminescncia negativa chegam

Regio de Faraday com baixa energia. Isso favorece ao mecanismo de recombinao
a trs corpos, tendo como conseqncia a diminuio da densidade de eltrons. A
carga total neste espao muito baixa e o campo eltrico relativamente pequeno.

Coluna Positiva: A densidade de carga quase neutra, e o campo eltrico

intensidade, em torno de 10
costuma ser extensa e uniforme.

tem baixa

e constante ao longo da coluna. Esta regio

35

Luminescncia do Anodo: Est localizada na extremidade do anodo e seu brilho

ligeiramente mais intenso que o da coluna positiva. Ela nem sempre est presente nas
descargas.

Regio Escura do Anodo: Possui uma carga espacial negativa devido aos eltrons que
atravessam a coluna positiva. Seu campo eltrico

mais elevado que o da coluna

positiva.

2.6 Descargas em Microcatodo Oco

Primeiramente ser feito uma pequena introduo sobre descargas em catodo oco. Isso
porque os primeiros estudos sobre esse tipo de descargas foram realizados para dispositivos
com dimenses de aberturas catdicas bem superiores dos utilizados no presente trabalho.
As descargas em catodo oco so descargas entre um catodo, que possui uma estrutura
oca e um anodo de forma arbitrria. Dentre vrias configuraes possveis, podemos citar dois
tipos, figuras 2.6 e 2.7, de estruturas de catodo oco:

Figura 2.6: Dispositivo cujo catodo constitudo com duas placas planas e paralelas.

36

Figura 2.7: Dispositivo com catodo de geometria cilndrica e um anodo plano.

A eficincia de ionizao numa descarga em catodo oco superior, como ser
discutido a seguir, ao das descargas luminescentes convencionais. Outra vantagem deste em
relao s descargas luminescentes convencionais a baixa tenso de ruptura

exigida

para romper a rigidez dieltrica dos gases. Estas comparaes so validas quando ambas as
descargas so submetidas s mesmas condies experimentais, presso

, tipo de gs e etc.

[SISMANOGLU-2005, PENASCHE-2002a].
O principal mecanismo responsvel pela eficincia do processo de ionizao de uma
descarga em catodo oco convencional o movimento pendular dos eltrons entre os lados
opostos do catodo. Esse movimento foi denominado efeito pndulo ou efeito catodo oco por
Paschen em 1916 [PENASCHE-2002a]. Para compreender melhor o movimento pendular,
considere um eltron gerado pelo catodo devido s emisses secundrias. Ele ser acelerado
pela queda catdica em direo ao outro catodo localizado no lado oposto. Esse eltron
atravessar a coluna negativa podendo excitar ou ionizar as espcies neutras presentes at ser
freado pelo campo eltrico da queda catdica do catodo do lado oposto. O mesmo campo ir
aceler-lo no sentido oposto de modo que ele retorne ao catodo que lhe gerou. Esse

37

movimento oscilatrio se repetir at o eltron chegar ao anodo. A figura 2.8 ilustra esse
movimento pendular. O efeito pndulo mais importante principalmente em descargas em
baixa presso, pois, devido ao grande livre caminho mdio, os eltrons podem passar pela
coluna negativa, figura 2.8, de plasma sem colidir.

Figura 2.8: Os processos que ocorrem durante o regime de catodo oco [YAMAMOTO -2008].
Durante o efeito catodo oco, ocorrem outros processos que contribuem na produo de
eltrons livres. Os ons produzidos nas colises dos eltrons livres com os tomos ou
molculas so acelerados pelo campo eltrico formado na bainha catdica, em direo ao
catodo, at atingir a superfcie deste, promovendo a emisso de eltrons secundrios. Temos
tambm a emisso terminica (aquecimento da superfcie do catodo), a ionizao por efeito
penning (os tomos removidos da superfcie do catodo por sputtering podem ser ionizados
pelos tomos metaestveis, principalmente gases nobres, presentes no plasma), o fton

38

produzido na coluna de plasma incide sobre o catodo podendo remover um eltron por foto
emisso, e por fim, se a intensidade do campo eltrico for bem elevada, eltrons podem ser
ejetados do catodo por efeito de emisso por campo [SISMANOGLU -2005, YAMAMOTO 2008]. Em baixas presses o efeito pndulo dos eltrons predominante no regime de catodo
oco. Existem condies experimentais onde um ou alguns dos mecanismos descritos acima
so mais importantes que o movimento pendular dos eltrons no regime de catodo oco.
Temos duas leis que determinam as propriedades de uma descarga [SISMANOGLU 2005]: a lei de Paschen e a lei de similaridade de Allis-White. A primeira lei est relaciona o
produto da presso, , de um gs no interior de um tubo pela distncia,

, entre os dois

eletrodos, anodo e catodo, com a tenso de ruptura de um gs no interior de um tubo de

descargas eltricas. Em relao lei de similaridade de Allis-White,
da descarga e

( a tenso

o dimetro da abertura catodica), est associada com um dos regimes de

operao de uma descarga em catodo oco com abertura catdica circular [PENASCHE2002b], denominado de regime de catodo oco. Ou seja, relaciona o produto

com o efeito

pendular do movimento dos eltrons. Segundo a lei de similaridade, para que tal efeito acorra,
o produto

dever estar compreendido na faixa de 0,1 a 10Torr.cm para as descargas

realizadas com gases nobres [SCHOENBACH-2003], para gases moleculares esta faixa
deslocada para valores menores [PENASCHE-2002b, SCHOENBACH-2003]. O limite
inferior dado pela condio que o livre caminho mdio dos eltrons para a ionizao no
deva ser maior que o dimetro da abertura catdica, enquanto que, o limite superior
determinado pela condio que a distncia entre os dois lados opostos do catodo no deve
exceder o comprimento das duas regies escuras do catodo mais o comprimento da
luminescncia negativa [PENASCHE-2002a]. A curva caracterstica de tenso corrente da
descarga gerada em catodo oco ser discutida no tpico 2.6.2. Para mais informaes consulte
as referncias PENASCHE-2002a, PESSOA-2007, SISMANOGLU -2005].

39

2.6.1 Descarga em Microcatodo Oco Aberto: Presso Sub-Atmosfrica e Presso

Atmosfrica
Aproximadamente nas ltimas duas dcadas, houve um considervel interesse em
microplasmas por causa da diversidade de aplicaes em vrios campos como fonte de luz
VUV e UV [FOEST-2006,], esterilizao [SCHRADER- 2005], tratamento de superfcie
[YOSHIKI-2002] entre outras. Uma grande vantagem dos microplasmas em relao as
descarga luminescentes convencionais poder ger-las em presses sub-atmosfricas e
atmosfricas [MOSELHY-2001, LAZZARONI-2008, GOMES-2009] com baixos valores de
tenso de ruptura e ausncia de sistema de vcuo. Alm disso, a densidade de plasma
bastante

elevada,

podendo

atingir

valores

da

ordem

de

at

aproximadamente

10

[MOSELHY-2003], que so cerca de duas a quatro ordens de grandeza maiores

que as operam em baixa presso, onde as densidades de plasma ficam na faixa de

10

a 10

[ROSSNAGE-1990, BOGAERTS-2002].

Uma das mais estveis configuraes de microplasma a de geometria tipo catodo

oco, onde um furo (buraco) feito atravs de um capacitor de placas planas e paralelas com
um dieltrico entre elas [ROUSSEAU-2006]. Esse furo deve vazar todo conjunto como
mostra a figura 2.9. Essa foi a configurao usada para gerar os microplasmas do presente
trabalho.

Figura 2.9: Configurao do microcatodo oco aberto usado na produo dos plasmas.

40

Como j foi mencionada no tpico 2.6.1, a lei de similaridade de Allis White,

, relaciona a tenso que mantm uma descarga com o produto

. Por meio desta

lei verifica-se se o efeito catodo oco o processo dominante na ionizao de um gs para uma
faixa de corrente
1000

da descarga. Numa descarga gerada em um MCO com o furo de

, gs argnio e presso de 60

faixa de tenso de 365 a 435

, o valor do produto

de 6

para a

[GOMES-2009]. Para os casos onde as microdescargas

esto sendo geradas em presses relativamente altas, ou seja, grandes valores de presso, o
dimetro

do furo deve ser reduzido de forma a satisfazer a lei de similaridade. Lembre-se

que o menor valor permitido para o produto

determinado pela condio que o livre

caminho mdio de ionizao no seja maior que o dimetro do furo. Para o gs de argnio, o
limite inferior para

0,026Torr.cm, enquanto que o limite superior aproximadamente

1Torr.cm [GOMES-2009, SISMANOGLU -2005, SCHOENBACH-2003]. Caso

seja

superior a 1Torr.cm, outros mecanismos de ionizao do gs so mais relevantes que o efeito

catodo oco.
Em relao aos mecanismos de ruptura das descargas produzidas em microcatodo oco
aberto, veja a referncia [SISMANOGLU-2005]. Nesta foi abordado os mecanismos ruptura
para diferentes tipos de material dos eletrodos, vrios dimetros do furo e diferentes
configuraes para o microcatodo oco.

2.6.2 Modos de Operao de uma Descarga em Microcatodo Oco. Curva Caracterstica

Tenso Corrente
Microdescargas geradas em catodo oco so na maioria das vezes operadas com fontes
de tenso de corrente contnua. As tenses de sustentao destas microdescargas variam entre
150 a 500V [SISMANOGLU-2005], de acordo com o valor da corrente eltrica mantida na
descarga, tipo de material que constitui os eletrodos e por fim, qual o gs est sendo utilizado.

41

A curva caracterstica

obtida para as descargas sustentada em MCO similar a curva

caracterstica de uma descarga luminescente a baixa presso. Porm, diferem nos modos de
operao [PENASCHE-2002a]. A figura 2.10 mostra uma curva tpica de tenso corrente
para uma descarga em catodo oco. A mesma pode ser obtida para descargas realizadas em
microcatodo oco.

Figura 2.10: Curva tenso-corrente da descarga luminescente de catodo oco cilndrico, com os
respectivos modos de operao, para P.D = 1Torr.cm [GOMES-2009].
Na anlise dos regimes de operao presentes na curva da figura 2.10, faremos uso da
opinio de dois grupos de pesquisadores. Um grupo liderado por Schoenbach et al.
[SCHOENBACH-2003], este grupo considera h quatro modos de operao na curva. O outro
grupo liderado Rousseau et al [ROUSSEAU-2006], para estes h apenas trs modos de

42

operao. Temos a seguir, a anlise de cada modo de operao da descarga em catodo oco, de
acordo com a viso destes dois grupos.

Regio

- Regime de pr-descarga (Schoenbach et al): ocorre para baixos valores de corrente, a

inclinao da curva caracterstica positiva e o plasma fica confinado dentro do furo;
- Regime anormal (Rousseau et al): Para correntes baixas a descarga estacionria e a
tenso aumenta 200 a 400 volts com o aumento da corrente de 20 a 120A . A
descarga se encontra dentro do furo. Este modo caracterizado por apresentar uma
resistncia diferencial positiva.

Regio

- Regime de catodo oco (Schoenbach et al): Este modo de operao caracterizado por
apresentar uma resistncia diferencial negativa e o mecanismo predominante no processo
de ionizao o efeito catodo oco clssico, isto , a eficincia no processo de ionizao
do gs se deve ao movimento pendular dos eltrons.
- Regime auto-pulsado (Rousseau et al): Neste modo de operao a frequncia
conduzida por uma capacitncia do microcatodo oco e pela corrente mdia fornecida pela
fonte de alimentao. Em presses elevadas, os mecanismos mais eficientes no processo
de ionizao, no modo auto-pulsado, so a emisso secundaria de eltrons pelo catodo
devido a colises sofridas pelos ons, absoro de ftons (fotoionizao) e colises entre
metaestveis e tomos pulverizados da superfcie catdica.

Regio

- Regime normal: no h divergncia sobre esse modo de operao. Neste modo a tenso
permanece constante com o aumento da corrente. O plasma se expande sobre a superfcie
do catodo.

43

Regio

- Regime anormal: tambm no h divergncia sobre esse modo de operao. Este regime
caracterizado por apresentar uma corrente negativa e operar com valores de correntes
elevados.

44

3. Plasmas em Equilbrio de Excitao

3.1 Introduo

A funo de distribuio dos estados atmicos (FDEA) que descreve como os tomos
neutros e os ons esto distribudos em relao aos seus estados qunticos possui uma grande
quantidade de informao do plasma em que estes tomos neutros e ons esto inseridos. Uma
vez que ela resulta das combinaes de processos microscpicos, estas atividades so
refletidas na FDEA que por sua vez, fornecer uma boa descrio do plasma. Parmetros
importantes deste como densidade de eltrons, temperatura de eltrons, densidade de tomos
no estado fundamental, ons alm de fenmenos de transportes de partculas e radiao podem
ser obtidos a partir da medida da funo de distribuio dos estados atmicos considerando
que a relao entre esta e os parmetros seja compreendida.
A relao entre FDEA e os parmetros de base estudada na estrutura dos modelos
colisionais radiativos onde aproximaes numricas (clculo dos

s) e analticas so

feitas. Neste captulo estudaremos as aproximaes analticas usadas para interpretar a

influncia dos desvios do equilbrio termodinmico a partir das caractersticas globais e se
possvel, de detalhes da FDEA. Desta forma esta nos conduzir a uma classificao do plasma
baseada no equilbrio de excitao.
Os plasmas considerados no presente trabalho so aqueles onde os eltrons so
dominantes no processo de excitao. Esta extensiva variedade de plasmas com cintica de
excitao por eltrons (CEE) so plasmas com um grau de ionizao suficientemente alto
(maior ou igual a 10-4). Essa considerao devido ao fato que os eltrons tm pequena massa
e conseqentemente grandes velocidades, e devido a isso que a FDEA resulta da interao
(coliso) e competio (dominante no processo de produo e destruio de um estado) entre
eltrons ligados e livres.

45

3.2 Fatores que Ocasionam Perda do Equilbrio Termodinmico

3.2.1 Equilbrio Termodinmico (ET)

dito que um plasma apresenta um equilbrio termodinmico completo, quando as
partculas materiais e a radiao apresentam a mesma temperatura [MULLEN-1990]. A
descrio de um plasma em (ET) relativamente simples, pois o seu estado macroscpico
completamente descrito pela densidade de massa, temperatura e a composio qumica. Nesta
situao as informaes sobre o estado das partculas que compe o plasma podem ser obtidas
atravs das mecnicas estatsticas. A distribuio das velocidades das partculas dada pela
Lei de Maxwell, a distribuio dos estados excitados pela Lei de Boltzmann, a relao entre
as densidades dos estados inicos subseqentes pela Lei de Saha e por fim, o gs de ftons
obedece lei da radiao de Planck. Num sistema em ET, todas as funes que descrevem
estas leis so descritas pela mesma temperatura.
O comportamento esttico em nvel macroscpico dos plasmas certamente no aplica
em nvel microscpico onde uma atividade intensa (interao entre partculas materiais,
fenmeno de transporte e etc.) existe. No equilbrio termodinmico um processo microscpico
detalhado ou particularizado balanceado pelo processo inverso. Isto conhecido como
princpio do balano detalhado (BD). A tabela (3.1) apresenta os quatro tipos de balanos que
so responsveis pelo estabelecimento das funes de distribuies de Maxwell, Boltzmann,
Saha e Planck. Eles so denominados balanos prprios pelo fato de apresentarem
reversibilidade (

). Se todos esses balanos esto em equilbrio, temos um balano

detalhado, logo ET e todas as funes de distribuio so conhecidas [OESTER-1970]. Caso

algum destes balanos no esteja no equilbrio, a perda do ET pode resultar no desvio da
FDEA. Neste captulo veremos que o Princpio do BD pode ser aplicado para obter
informaes de situaes de fora do ET onde alguns balanos prprios ainda esto presentes.

46

Tabela 3.1: Os quatros tipos de balanos prprios e as suas respectivas reaes de equilbrio.
Nome do
Balano
Maxwell

Smbolo

Reao de Equilbrio
Y

Troca ( ) e conservao de energia cintica

Boltzmann
Saha

Planck

desexcitao
recombinao

excitao
ionizao

absoro
emisso espontnea

2
emisso estimulada

3.2.2 Perda do Equilbrio Termodinmico

Na perda do ET alguns balanos prprios do lugar aos balanos imprprios (BI), ou
seja, o princpio da reversibilidade no se aplica mais. No balano imprprio a densidade de
um nvel apresentar um valor constante, porm, os processos de produo e destruio desta
densidade no so um inverso do outro. Por exemplo, o processo usado na excitao de um
estado no o mesmo usado na desexcitao.
A dinmica em que os balanos prprios resultam em imprprios est relacionada com
o fenmeno de transporte em plasma. Isto refletido na FDEA. Esta dinmica baseada na
hierarquia nos processos de taxas que leva perda do ET em vrios estgios. Para
exemplificar essa hierarquia, nos estgios de perda do equilbrio termodinmico tem-se o
seguinte cenrio (vide tabela (3.2): se a radiao escapa do plasma a lei de distribuio de
Planck afetada. Essa perda de energia tambm pode afetar outros equilbrios. Mas, se essa
perda de energia pequena em relao troca de energia entre as partculas materiais
(eltrons, ons e tomos nutrons) possvel que os balanos de Maxwell, Boltzmann e Saha
estejam em equilbrio e com isso, tomos nutrons, eltrons e ons tm a mesma temperatura.

47

A limitao no espao que ocorre o escape de radiao acompanhada pela presena de

gradientes de modo que os balanos materiais estejam localmente em equilbrio.
Essas pequenas variaes nas condies dos plasmas so permitidas desde que os
balanos estejam instantaneamente em equilbrio. Esse estgio de equilbrio conhecido
como equilbrio termodinmico local (ETL), onde as propriedades termodinmicas tm que
ser especificadas local e instantaneamente. A cintica de excitao em plasma em ETL
determinada por partculas materiais e especificada pela igualdade

, em que

a temperatura das materiais, ela est associada energia cintica mdia destas partculas e
a temperatura de excitao que por sua vez est associada energia cintica mdia
necessria para excitar um tomo ou molcula de um estado quntico para outro.
Mais um estgio de perda do ET pode ser realizado se diferentes partculas esto
sujeitas a diferentes foras. Muitos plasmas so produzidos pelo aquecimento eletromagntico
de eltrons enquanto que os tomos so resfriados por colises com as paredes do sistema que
os contm. Quando a transferncia de energia dos eltrons (e) para as partculas pesadas (H)
no eficiente devido razo das massas

ser pequena, ocorrer uma maxwellizao da

funo de distribuio entre as partculas de iguais massas. Plasmas onde esse tipo de
termalizao ocorre so denominados plasmas a duas-temperaturas (2-T) e a FDEA o
resultado da competio entre os balanos de Boltzmann e Saha regidos por eltrons e
partculas pesada. Nestes plasmas as partculas pesadas tm uma temperatura enquanto que os
eltrons outra. Se o plasma apresenta um grau de ionizao suficientemente alto, os processos
colisionais so dominados pelos eltrons, com isso, a funo de distribuio dos estados
atmicos simplesmente a funo de Boltzmann-Saha onde a temperatura substituda pela
temperatura de eltrons.
Mais perdas do ET podem ocorrer se os gradientes tornam-se grandes e os transportes
de partculas materiais tornam-se significativos. O transporte de partculas carregadas para

48

fora de uma regio ativa do plasma ir afetar o balano de Saha local de ionizao e
recombinao de tomos no estado fundamental desde que os eltrons e ons que saem do
sistema no contribuam para a recombinao. Contudo, isto no significa necessariamente que
todos os balanos de Saha estejam fora do equilbrio. Na parte superior do diagrama
esquemtico de energia atmica (figura 3.2) onde os nveis esto prximos do continuo, as
taxas de ionizao e recombinao a trs corpos devem ser efetivas de modo que o balano de
Saha seja pouco afetado. Esta situao caracterizada pelo equilbrio de Saha parcial local
regido por eltrons (ESepL). A partir de um fictcio nvel de energia abaixo do continuo, o
equilbrio do balano de Saha, relao (3.31), difcil de ser mantido, pois as diferenas de
energia em relao ao continuo so grandes e os eltrons responsveis para manter esse
equilbrio so perdidos pelos transportes de partculas com isso, o diagrama esquemtico de
energia dividido em duas partes: parte inferior e parte superior. A parte superior est em
ESepL.

49

Tabela 3.2: Estgios de perdas do equilbrio termodinmico (ET).

radiao),

(temperatura das partculas pesadas),

(temperatura da

(temperatura dos ons),

(temperatura de eltrons).
Balanos

Estgios

Desacoplamento

Temperatura

E. T.

E. T. L.

radiao
com
a matria

eltrons
com as
partculas pesadas

2-T
{e}

ESepL
SEQE

{H}

Balanos imprprios

superior
com
inferior

(superior)
(inferior)

3.2.3 Balanos Imprprios em Plasmas com CEE

Neste tpico ser feito uma breve discusso de quatro causas que podem afetar a
FDEA. So elas:
1.

Diferentes foras aplicadas a diferentes partculas;

2.

Transporte de radiao;

3.

Transporte de partculas materiais;

4.

Comportamento dependente do tempo.

50

Considerando que o plasma tem um grau de ionizao suficientemente alto os efeitos

da causa (1) so limitados. Como foi dito anteriormente, se os eltrons so dominantes nos
processos colisionais o plasma denominado plasma com cintica de excitao por eltrons.
As causas (2) e (3) so permitidas de modo que a parte superior do diagrama
esquemtico de energia (figura 3.2) esteja em ESepL governados pelos eltrons do corpo da
distribuio Maxwelliana de energia dos eltrons. A populao dos estados excitados prximo
do contnuo e mais distantes destes, no esto em concordncia com Boltzmann e Saha. Ela
ser determinada pelos balanos dos processos elementares somente, quando o intervalo de
tempo entre as colises muito menor do que aquele associado ao aumento ou decaimento do
plasma. Esta considerao que limita as causas (3) e (4) denominada de soluo do estado
estacionrio (SEQE) onde a FDEA determinada atravs de um modelo colisional radiativo
uma vez que somente processos colisionais e radiativos determinam a densidade de nveis
excitados.
Uma importante caracterstica dos balanos imprprios que eles esto associados
com uma atividade macroscpica. Em plasma de ionizao os BI (Balanos Imprprios) criam
um fluxo lquido sobre os nveis atmicos que esto relacionados com a difuso de
partculas carregadas para fora do sistema. Em plasma de recombinao eles criam um fluxo
lquido nos processos de excitao relacionado com a difuso de partculas carregadas para
dentro do sistema. A figura (3.1) e a tabela (3.3) mostram os quatros possveis balanos
imprprios. So eles: balano corona (BC) captura e cascata radiativa (CCR), balano
saturao de excitao (BSE), balano de saturao de desexcitao (BSD). A tabela (3.3)
mostra a principal caracterstica de cada um dos BI associada com a produo e destruio de
um estado qualquer.

51

Figura

(3.1):

Comparao

entre

os

balanos

prprios

imprprios.

exc./des.

(excitao/desexcitao); on./rec. (ionizao/recombinao); e. esp. (emisso espontnea); e.

est. (emisso estimulada), abs. (absoro); capt. (captura); casc. (cascata).
Tabela (3.3): Caractersticas dos balanos imprprios (BI).
BI

PRODUO
excitao do estado

BC

fundamental induzida
por eltrons

DESTRUIO
decaimento

eltrons

radiativo

relativamente

excitao

para transporte

um

nvel partculas

BSE inferior para um nvel

superior
superior adjacente
adjacente
desexcitao de um
nvel superior para um
nvel

inferior

adjacente
captura
CCR

radiativa

carregadas

Plasma de

um

nvel

inferior adjacente

cascata decaimento
radiativo

de

ionizao
1

para

fora do plasma

desexcitao
para

CLAS.
PLASMA

baixa

excitao de um nvel

BSD

SITUAO DO
PLASMA
densidade
de

transporte

de

partculas
carregadas

para

dentro do plasma
ou o plasma
irradiado.

Plasma de
recombinao
1

52

3.2.4 Relao Entre Balanos Prprios e Imprprios

Para ilustrar a relao entre os balanos prprios e imprprios, observe a figura (3.2).
Quando a radiao perdida do plasma a distribuio de Planck afetada. O balano de
Boltzmann da transio entre o nvel fundamental e o primeiro nvel excitado deve ser
prejudicado tambm, contanto que do decaimento do nvel excitado (2) e a perda da radiao
favorea a densidade de populao do estado fundamental n1 sobre n2. Isto, em termos,
implica que a perda de energia por eltrons com

no est sendo compensada pelas

colises super-elsticas inversas; no h equilbrio de Maxwell e a FDEE distorcida.

Contudo parte desta FDEE pode estar em equilbrio. Pequenas trocas de energia entre os
eltrons do corpo da FDEE, ocorrem devido a interaes (colises) de longas distancias, so
bem efetivas de modo que o corpo (figura 3.2) da Maxwelliana esteja em equilbrio de
Maxwell parcial local (EMepL). Esses eltrons podem manter os equilbrios de Boltzmann e
Saha para pequenas mudanas de energia. Sendo assim, a parte superior do diagrama
esquemtico de energia apresenta um EBepL e ESepL. O balano imprprio dominante deste
exemplo o BC. Este domina a parte inferior do diagrama esquemtico e a populao dos
nveis devido produo por excitao eletrnica igual destruio por decaimento
radiativo.

3.2.5 O Parmetro b(p)

O parmetro

freqentemente usado para descrever o estado de equilbrio de um

plasma [MULLEN-1990, BURN-2004, CALZADA-2002]. Ele indica como a populao de

cada estado da FDEA desvia do ETL, e definido por:
3.1
onde

a populao do nvel

a populao do nvel

[MULLEN-1990, BURN-2004, CALZADA-2002].

em equilbrio de Saha

53

Se

1 para todos os nveis, o plasma apresenta um equilbrio termodinmico

local; caso essa igualdade ocorra somente para um grupo de nveis, o plasma apresenta um
equilbrio parcial. Quando

1 o plasma classificado como plasma de ionizao,

haver um fluxo de partculas para fora do sistema. Para

1 o plasma classificado

como plasma de recombinao, h um fluxo de partculas para dentro do sistema.

Figura (3.2): Exemplo da separao dos nveis de energia de um tomo em duas partes (parte
superior e a parte inferior) associadas com uma diviso na FDEE em um corpo e uma cauda.
O nvel

indica que os nveis acima dele esto em (ESepL).

54

3.3 Balanos Prprios para um Plasma em Equilbrio Parcial

Produzir um plasma em ET nos laboratrios muito difcil, pois o equilbrio de Planck
afetado pela perda de radiao. Logo, deve-se ter cuidado ao aplicar as Leis da Mecnica
Estatstica do ET uma vez que este no est presente. Existem condies fsicas em que um
plasma pode apresentar um comportamento dual de equilbrio e no equilbrio. Sendo assim,
algumas propriedades do equilbrio termodinmico podem estar preservadas. Um exemplo de
plasma com esse tipo comportamento dual o plasma a 2

T, onde os eltrons e as partculas

pesadas apresentam temperaturas diferentes (situao de no-equilbrio) e tero a mesma

temperatura as partculas de mesma massa (situao de equilbrio). Ou seja, h uma
termalizao entre os eltrons como h tambm uma termalizao entre as partculas pesadas.
Estas situaes de equilbrio parcial tornam-se a interpretao dos equilbrios mais difcil.
Devido a essa situao necessrio analisar o ET de uma maneira oposta a
convencional que d nfase no comportamento macroscpico esttico da mxima entropia.
Fazendo uso do princpio do Balano detalhado juntamente com a reversibilidade
microscpica (RM), O ET pode ser descrito como uma coleo ativa de balanos elementares
todos em equilbrio, enquanto, a perda de equilbrio pode ser especificada como estado de
no-equilbrio destes balanos.

Em relao ao nvel quntico em que um balano de

processos descreve como as partculas mudam de um estado quntico para outro e vice-versa
ser feito uso da lei da ao das massas (LAME): Se um balano prprio elementar est
(quase) em equilbrio ento o produto das concentraes dos reagentes igual (quase) a dos
resultantes. Essa lei a base para a obteno de qualquer lei da mecnica estatstica. Ela
tambm pode ser aplicada onde parte dos balanos est em equilbrio.

55

3.3.1 Princpios da Reversibilidade Microscpica

Considere o seguinte balano de reaes prprias:
(3.2)
Segundo a LAME o nmero de reaes entre
volume e tempo igual ao produto
de taxa

formando

das densidades de partculas

e
e

por unidade
e o coeficiente

. Se o balano est em equilbrio temos que:

(3.3)
O princpio do Balano detalhado mostra que no ET todos os balanos esto em

equilbrio. Em nvel quntico onde as partculas so classificadas de acordo com o estado

quntico que elas ocupam, um dos processos descreve como uma partcula muda de um
estado para outro e vice-versa. Logo, pode-se considerar que no estado de equilbrio do balao
elementar prprio:

(3.4)

Conduz a seguinte relao:

A(

) B(

A( ) B(

refere ao estado elementar (aspectos internos e translacional) e A

partcula

(3.5)
o nmero de

no estado . Este ltimo pode ser escrito da seguinte forma:

,

o ndice interno e

(3.6)

a energia translacional. Comparando a equao (3.5) (elementar)

com a equao (3.3) (macroscpica) temos que o nmero de partculas por unidade de volume
na equao (3.3) pode ser substituda pelo nmero de partculas por estado quntico, do qual a
parte translacional (informao) est contida no volume como mostra a relao (3.14).
Verifica-se tambm que a relao (3.5) no tem a constante de taxa de reao. Isto est
relacionado com o princpio da reversibilidade microscpica, o qual diz que a probabilidade
de uma partcula deixar um estado quntico para outro via certo caminho igual ao do

56

processo do qual a partcula retorna ao mesmo estado quntico pelo mesmo caminho, mas no
sentido inverso. Uma conseqncia importante do RM em relao equao (3.5) : se um
balano prprio elementar est em equilbrio ento o produto das concentraes dos reagentes
igual ao dos resultantes.

3.3.2 Equilbrio de Maxwell: Colises Elsticas

3.3.2.1 Balano de Maxwell e a Distribuio no ET

Consideremos o balano elstico denominado por balano de Maxwell a seguir
(3.7)
e referem-se aos estados internos inalterados e

a energia translacional. Se o equilbrio

termodinmico est presente, todos os balanos possveis so do tipo da relao (3.7). Logo,

vale para qualquer combinao de

(3.8)

e um conjunto de valores de energia translacional

(E) satisfazendo a lei de conservao de energia. Para este caso elstico particular existe a
conservao de energia translacional, ou seja,

(3.9)

sendo assim,

(3.10)

combinando as equaes (3.9) e (3.7) obtemos,

(3.11)

o termo H(E) foi introduzido para expressar que o primeiro e o segundo termos no
dependem de E e E.
A soluo geral [OESTER-1970, MULLEN-1986] da equao (3.11) dada por

57

,0

(3.12)

Onde uma quantidade positiva determinada pelas condies de contorno. A

mesma soluo pode ser obtida para , com isso, temos que:
(3.13)
Este importante resultado, conhecido como princpio do equilbrio trmico, mostra que
diferentes constituintes de uma mistura gasosa em ET tm uma propriedade em comum. Esta
propriedade

em que a temperatura e K a

freqentemente substituda por

constante de Boltzmann.
As relaes entre a energia translacional mdia e temperatura

e entre o

valor de , 0 e o nmero total NA das partculas A com estado interno , podem ser usadas
para obter o seguinte resultado

,0

m ,

(3.14)

este relata que o nmero de estados qunticos translacionais ocupados de energia cintica
pode ser encontrado multiplicando o nmero de partculas por unidade de volume com o
,

volume mdio de estado quntico

, ponderada com o fator de Boltzmann

. Este valor mdio dado por

2

(3.15)

A equao (3.14) d a ocupao dos estados translacionais e pode ser considerada

como a forma elementar da equao de Maxwell. Multiplicando o nmero de densidade de
estados cinticos por faixa de energia,

Com a ocupao

(3.16)

, 0 da equao, obtemos
2

que a funo de distribuio de energia de Maxwell.

(3.17)

58

3.3.2.2 Equilbrio de Maxwell para o Plasma a Duas-Temperaturas

As trocas de energia por colises elsticas entre eltrons e tomos (partculas pesadas)
so muito ineficientes devido razo das massas

ser muito pequena. Mas essa troca de

energia bastante eficiente para colises elsticas entre partculas de mesma massa. Quando
os eltrons e as partculas pesadas esto sobre a ao de diferentes foras uma diviso
ocorrer. Todos os balanos sero do tipo
(3.18)
e

(3.19)

onde,
e

indica que estes balanos apresentam o equilbrio de Maxwell. J os balanos do

tipo

so afetados.

(3.20)

representa o fluxo de energia. O equilbrio do balano da relao (3.18),

quando comparado com a relao (3.7), mostra que a funo de distribuio de energia dos
eltrons a mesma funo (3.17) onde
balano (3.19), mas o

. Esta tambm se aplica ao equilbrio do

da funo de distribuio deve ser substitudo por

. Devido a esta

situao alguns plasmas so denominados de plasmas a duas temperaturas (2-T).

3.3.2.3 Equilbrio de Maxwell Local (EML)

Devido aos plasmas produzidos em laboratrios estarem limitados espacialmente h
uma perda de partculas e radiao da regio ativa destes plasmas, ocasionando a presena de
gradientes. Mas, se os balanos de Maxwell,

, esto localmente em equilbrio

permitido usar a funo de distribuio de Maxwell com uma temperatura dependente da

59

posio. Nesta situao dizemos que a troca de energia entre os eltrons est em equilbrio de
Maxwell local (EMeL), enquanto que as partculas pesadas esto em equilbrio de Maxwell
local (EMHL).

3.3.2.4 Equilbrio de Maxwell Parcial Local para um Gs de Eltrons (EMepL)

Para colises entre eltrons a longas distncias, a seo de choque destes grande, a
troca de energia ( ) pequena. Logo, pode ser entendido na situao da figura (3.2) que a
depopulao da cauda da FDEE devido s colises inelsticas entre eltrons e tomos. Em
relao ao corpo da FDEE, os eltrons esto aptos a manter o equilbrio mutuo da troca de
energia. E para caso em que o balano de Maxwell entre os eltrons do corpo esteja em

equilbrio, temos que para

a FDEE Maxwelliana. Este equilbrio denominado

por equilbrio de Maxwell parcial e local para eltrons (EMepL).

3.3.3 Equilbrio de Boltzmann: Excitao e Desexcitao

3.3.3.1 Balano de Boltzmann e a Distribuio no ET

Considere um balano de processos inelsticos dado por

A reao para a direita (forward) descreve como uma partcula

um estado inferior

para um estado superior .

correspondentes. O estado interno da partcula

(3.21)

excita um tomo (ou on) de

refere-se a energia cintica das partculas

permanece inalterado na reao e ela pode

ser um eltron, um tomo ou on. A reao para a esquerda (backward) representa o processo
de desexcitao. Esse balano e denominado como balano de Boltzmann

. Se este

balano est em equilbrio, ento o resultado da reversibilidade microscpica (MR) d

(3.22)

60

para qualquer conjunto de energia

satisfazendo a lei de conservao, temos

a energia transferida para o tomo durante a reao. Usando a equao (4.14)

Em que

em (3.22) e dividindo o resultado pelo o volume de Broglie

e

(3.23)

(equao 3.15) das espcies

obtemos o seguinte resultado para a relao de Boltzmann

Em que

a densidade de nmero de tomos com estado

(3.24)
que obedecem a lei de

Boltzmann. A lgebra usada para obter o resultado, equao (3.24), baseado em quatro
condies:
1. As funes de distribuio de energia translacional das espcies

no muda na reao;

2. As temperaturas so as mesmas (ET);

3. As massas das partculas

no muda na reao;

4. No existe a criao ou destruio de partculas. Ou seja, ionizao ou recombinao.

3.3.3.2 Balano de Boltzmann Governado por Eltrons num Plasma a 2-T

Para plasma a 2-T temos dois tipos de balanos:
a) Balano de Boltzmann governado por partculas pesadas

(3.25)

b) Balano de Boltzmann governado por eltrons

(3.26)

Analisando os dois casos temos:

1) Para

1, os dois balanos
o valor mnimo de

tendem ao mesmo resultado,

61

2) Para

1, haver uma competio entre os balanos. Cada balano tende a impor

e

os seus respectivos valores de temperatura,

, na FDEA. Essa competio ser

vencida por aquele que apresentar os maiores valores das taxas dos correspondentes
balanos.
Ao comparar eltrons com ons, as duas partculas so carregadas e as sees de
choque so da mesma ordem para as mesmas velocidades [MULLEN-1990]. Os eltrons
sero dominantes no balano de Boltzmann quando a sua faixa de velocidade for maior que a
dos ons, uma vez que, ambas tm a mesma densidade. Mas para transies onde

1, os

ons podem ser dominantes nos processos de excitao e desexcitao.

O coeficiente de taxa para transies induzidas por eltrons maior do que para
transies induzidas por tomos neutros, uma vez que, alm de terem maior velocidade, os
,

eltrons so partculas carregadas. Como conseqncia disso, a

. Contudo,

para baixo grau de ionizao os eltrons podem ser desfavorecidos. Para um grau de ionizao
igual ou maior que 10-4 os eltrons so dominantes nos processos colisionais. Sendo assim,
pode-se dizer que para uma importante faixa de condies do plasma os principais processos
para distribuio dos tomos sobre seus estados excitados so aqueles induzidos por colises
eletrnicas (relao 3.26), e que somente uma pequena perturbao pode ser esperada das
partculas pesadas quando

Tendo as colises eletrnicas como dominantes e que no h processos de distrbios,

os balanos elementares de

esto em equilbrio, o que resulta na relao

para todos os valores apropriados de

dividindo por

. Substituindo

(3.27)

da equao (3.24) por

, chega-se

(3.28)

62

para

1, temos que

. Com isso, a equao (3.28) torna-se

(3.29)

desta conclumos que se o balano de Boltzmann induzido por eltrons est em equilbrio
estes devem impor sua temperatura na FDEA.

3.3.3.3 Equilbrio de Boltzmann Parcial e Local

Existem situaes em que somente uma parte de um sistema atmico regida por um
balano de Boltzmann em equilbrio. As mais freqentes so:
a) Estados atmicos no mesmo multipleto esto sujeitos a vrios balanos

efetivos. Esta

mistura intermultipletos [HICKMAN-1981] induz uma distribuio de Boltzmann como o

do caso (1), seo 3.3.3.2;
b) A probabilidade do decaimento radiativo de estados altamente excitados pequena uma
vez que as sees de choque para colises induzidas por eltrons so grandes. Assim, se
outros processos dos balanos afetados podem ser desprezados, ento

deve estar em

equilbrio fazendo que a equao (3.28) seja aplicvel em parte da FDEA. Isto ser
acompanhado pela presena do estado de equilbrio do balano de Saha induzido por
eltrons.
c) O primeiro estado excitado num plasma com alta densidade de eltrons e baixa
temperatura est sujeito s colises frias do qual a desexcitao para estado fundamental
mais provvel que a excitao para o nvel adjacente. Na ausncia de perda de radiao
2

(3.30)

tende ao equilbrio, resultando na relao de Boltzmann, que neste caso independente

da presena do equilbrio de Saha.

63

3.3.4 Equilbrio de Saha: Ionizao e Recombinao

3.3.4.1 Balano de Saha no Equilbrio Termodinmico

O balano de Saha de ionizao e recombinao a trs corpos pode ser representado da
seguinte forma

onde, a partcula

(3.31)

no tem seu estado interno alterado. Pelo princpio da RM o estado de

equilbrio deste balano nos d a seguinte relao

1,

,0

(3.32)

Usando a lei da conservao de energia e dividindo a relao (3.32) pelo volume

partculas

das

e , obtemos a relao de Saha

1

,0

(3.33)

como,

,0

Temos ento que

2

1
a energia de ionizao do estado

(3.34)

1 a densidade de ons no estado fundamental.

3.3.4.2 Balano de Saha Governado por Eltrons num Plasma a 2-T

A competio entre eltrons e partculas pesadas em plasmas a 2-T para reger o
balano de Saha de ionizao e recombinao, pode ser tratada da mesma forma do balano
de Boltzmann. Se o balano de Saha

dominado por colises eletrnicas e est em

equilbrio, s relaes (3.31) e (3.32) podem ser usadas, onde

Considerando que

temos

foi substitudo por

64

(3.35)

Com este resultado temos pelo princpio da RM, independente do estgio de perda de
equilbrio, que existe possibilidade de achar a FDEA em situaes de no-equilbrio.

3.3.4.3 Equilbrio de Saha Parcial e Local Regido por Eltrons

A taxa dos processos de ionizao induzidos por eltrons deve aumentar drasticamente
quando mais prximo um estado est do contnuo. Quanto maior a taxa, mais difcil ser
afetar o balano de Saha, com isto, temos que para qualquer plasma sempre existir um nvel
de modo que, para aqueles que esto acima dele, o balano de Saha estar em equilbrio, logo,
tais nveis sero populados de acordo com a expresso (3.35). Esse equilbrio denominado
equilbrio de Saha parcial e local regido por eltrons (ESepL).

3.3.5 Equilbrio de Planck: Interao da Radiao com a Matria

3.3.5.1 Lei de Planck no Equilbrio Termodinmico

Aqui ser feito um estudo da interao da radiao da radiao com a matria.
Veremos como obter a lei da radiao de Planck para vrias situaes de equilbrio.
O balano elementar de Wien para a absoro e emisso espontnea da radiao

(3.36)

usando as relaes (3.5), (3.14) e (3.15), obtemos a seguinte equao

onde,

o nmero de ftons por estado de fton,

(3.37)
um estado de polarizao.

Inserindo a relao (3.29) em (3.37) temos

(3.38)

65

Esta s vlida para altos valores de

que para

, ou seja, o limite de Wien. Isso se deve ao fato de

1, nesta faixa de energia, os estados de ftons so facilmente ocupados,

de modo que o tratamento clssico no justificado, e sim, um tratamento prprio a mecnica

estatstica. Porm, o mesmo resultado pode ser obtido usando a equao de balano (3.37)
incluindo nesta mais um termo responsvel pelos processos de emisso estimulada. Uma
importante caracterstica da emisso estimulada que sempre o fton (estimulador) produz
um fton (estimulado) coerente a ele. A taxa de produo estimulada proporcional a
intensidade, ou seja, a , que proporcional a taxa de decaimento espontneo desde que as
transies sensveis a emisso espontnea sejam ressonantes com a emisso estimulada.
Portanto, pode-se dizer que o nmero de processos estimulados igual

vezes aos dos

processos espontneo correspondentes. Logo, o nmero total de reaes para a formao de

produtos elevado de modo que (3.37) torna-se

(3.39)

Combinando a relao de Boltzmann (3.24) com a (3.39), conclumos que no ET a

concentrao de ftons elementares dever obedecer seguinte relao:

exp

(3.40)

Esta a forma bsica da lei da radiao de Planck. Ela nos fornece a ocupao dos estados
dos ftons.

3.3.5.2 Escape da Radiao

Muitos plasmas produzidos em laboratrios tm dimenses reduzidas, com isso, o
equilbrio tipo (3.39) raro. A radiao criada pelos decaimentos podem muitas vezes escapar
do plasma sem ser absorvida ou estimular uma emisso. Mas em certas situaes possvel
que a radiao criada num local do plasma pode ser absorvida em outra. Ao contrrio das
transies induzidas por eltrons que so eventos locais, as transies devido transferncia

66

radiativa no podem ser tratadas localmente. Para produzirmos resultados generalizados do

modelo colisional radiativo, o uso do fator de escape pode fazer um tratamento local da
transferncia radiativa possvel.
O fator de escape
nvel inferior
,

definido de modo que todos os processos para e a partir de um

, so como um termo de decaimento do nvel superior

. Sendo assim,

(balano de Planck para o decaimento espontneo) deve ser substitudo por:

,

(3.41)

em que,
,

representa a absoro e

equao (3.41) mostra que para

representa a emisso estimulada. A

1 a absoro e a emisso estimulada podem ser

negligenciadas, o plasma considerado opticamente fino para a transio

absoro da radiao maior que a emisso total, e se

. Se

0a

1 a emisso estimulada maior.

3.3.5.3 Equilbrio de Planck Parcial e Local

A lei de Planck para a radiao, equao (3.40), foi obtida considerando que os tomos
so populados de acordo com a distribuio de Boltzmann. Considerando-se que os tomos
esto distribudos devido a um campo de radiao e inserindo a relao (3.40) na equao
(3.39) obtemos a equao de Boltzmann. Este resultado mostra que os balanos de Planck e
Boltzmann so cooperativos e que ambas as aproximaes so equivalentes no equilbrio
termodinmico. Na perda do ET existem duas possibilidades. Para uma transio opticamente
fina o campo da radiao governado pela densidade de populao dos nveis superiores.
Porm, existem algumas situaes de no-ET opticamente extensa em que os equilbrios
remanescentes podem ser interpretados como domnio de alguns balanos prprios de Planck.
A populao dos nveis atmicos ento governada pela radiao de campo. Veja o exemplo
a seguir.

67

Considere que a parte quente de um plasma irradia a outra parte fria numa faixa de
frequncia correspondente com a transio do primeiro estado excitado 2 para o estado
fundamental 1. Esta transio caracterizada pela alta probabilidade de transio pelo
decaimento espontneo e consequentemente pela absoro tambm. Se

1 e os

balanos de Planck no so afetados por outros processos, a relao (3.38) mantida para
qualquer direo desde que a parte fria esteja envolvida pela parte quente. Logo

(3.42)

Para o caso em que a parte fria encontra-se nos outros limites do plasma o balano
macroscpico obtido considerando que a emisso ocorra em todas as direes enquanto que
somente os ftons dentro de um ngulo slido da fonte visto pelo alvo sero absorvidos.
Assim o balao macroscpico dado por
4

(3.43)

Onde, o nmero de ftons no estado correspondente com . Este um exemplo do

equilbrio de Planck parcial local (EPpL).

3.3.6 Plasmas com Cintica de Excitao por Eltrons (CEE)

Combinando os princpios da RM e do BD, temos a LAME (lei da ao das massas
elementares), destas foram obtidas as leis das estatsticas do ET. Ou seja, pela lei da ao das
massas elementares deduziram-se as leis de Maxwell, Boltzmann, Saha e Planck. Da LAME
tambm foram obtidas as informaes nos primeiros estgios de perda do ET, plasma a 2-T e
dos equilbrios parciais.
Fazendo uma anlise sobre a hierarquia dos balanos e processos, iniciou-se com o
balano de Maxwell e sua distribuio, desta derivou-se as leis das distribuies de
Boltzmann e Saha. Atravs da lei de distribuio Boltzmann deduziu-se a lei de distribuio

68

Planck. Com isso, mostramos que estes balanos esto acoplados e que a perda de equilbrio
de um pode afetar os outros. No ET possvel fazer o caminho inverso, isto , iniciamos pelo
balano de Planck e terminamos no balano de Maxwell. Mas, no caso de perda de ET
invivel obter informaes dos outros balanos. No topo da hierarquia estaro os balanos
cuja redistribuio de energia mais efetiva. Isto observado para as partculas materiais que
esto trocando energia continuadamente, enquanto, os ftons no interagem um com outro.
Eles (ftons) precisam da matria para redistribuir a energia. As leis de Boltzmann e Saha
resultam das colises entre partculas materiais distribudas de acordo com a lei de Maxwell.
A dinmica caracterstica do ET pode ser considerada com o equilbrio dos balanos de
Boltzmann, Saha e Planck mergulhados num banho de Maxwell.
Dentro dos balanos de Maxwell tambm existem diferenas. Por isso, as trocas de
energia entre os eltrons so mais efetivas. A conseqncia disto que at em plasmas de
baixo grau de ionizao o corpo da FDE dos eltrons Maxwelliana e a cintica de excitao
determinada pelo gs de eltrons somente. Isso d origem a numerosos plasmas com CEE.
So considerados plasmas com CEE aqueles em que:

Os processos moleculares no so importantes;

No existe a necessidade de Maxwellizao dos ons e partculas neutras;

A distribuio estatstica entre os subnveis induzida por partculas pesadas;

As transies entre os nveis de energia so induzidas pelos eltrons cuja funo de

distribuio de energia, pelo menos o corpo desta, Maxwelliana.

O balano de Maxwell est presente na parte superior da distribuiao dos nveis de energia
(nveis de energia prximos do contnuo);

Os balanos de Planck e Boltzmann entre o estado fundamental e os estados excitados em

muitos casos no esto presentes;

69

Os balanos imprprios, que consistem das transies radiativas ou induzidas por eltrons,
so estabilizados num intervalo de tempo muito menor que aumento ou decaimento do
plasma (SEQE).

No estudo de plasmas com cintica de excitao por eltrons consideramos dois tipos de
processos:
a) Decaimento radiativo;
b) Colises eletrnicas.

3.4 Propriedades do Decaimento Radiativo

Neste tpico ser feito uma abordagem sobre dois casos de opacidade [MULLEN1990]. So
eles:

Caso (a): um plasma transparente para todas as radiaes;

Caso (b): um plasma opaco para toda radiao ressonante e transparente para todas as
outras transies.

3.4.1 Probabilidade de Decaimento Espontneo

A probabilidade de decaimento espontneo

estado inferior , que depende do quadrado da componente

do vetor de posio

| |

do elemento de matriz de dipolo

dada por [VRIENS-1980]:

,

onde,

de um estado superior , para um

| | , pode ser relatada pela fora de oscilador

degenerescncia, a equao (3.44) torna-se

(3.44)
. Levando em conta a

70

(3.45)

Para tomos hidrogenides a probabilidade de decaimento pode ser calculada usando

igual a:
32 3

(3.46)

Logo, a probabilidade de decaimento ser dada por

,
em que

o nmero quntico principal do nvel superior,

7,87. 10

nvel inferior,
razo

(3.47)

o nmero quntico principal do

um fator de correo que depende de

e da

Como contrapartida da probabilidade de decaimento ou destruio radiativa

que d a frequncia para o decaimento de um nvel superior, podemos introduzir a frequncia

com que um nvel inferior recebe a populao de um nvel superior. Considerando uma
situao de ESpL definimos a probabilidade de produo radiativa em equilbrio como:
,
,

Ao contrrio do

depende de

(3.48)

3.4.2 Produo e Destruio Radiativa

,

Expressando

pela concentrao de estados atmicos por intervalo de energia

| | , temos:
,

(3.49)

em que
,

7,87. 10

(3.50)

este resultado mostra que o valor mdio da probabilidade de transio de um estado em

um dos estados em

simtrica na concentrao de estados em

transies a partir e para estados com baixos valores de

so favorecidos.

para

de tal forma que

71

Na representao de energia a probabilidade de decaimento

pode ser

definida tal que [MULLEN-1986]:

,

(3.51)

Representa a probabilidade de transio que um decaimento de um estado em

estado inferior no intervalo d

ao redor do nvel com energia

para um

, aps algumas

manipulaes matemticas, igual a:

,
,

Este resultado mostra que

(3.52)

depende somente de

do nvel de partida e da

diferena de energia entre os nveis.

Simultaneamente pode-se definir a varivel energia da probabilidade de produo em
equilbrio, isto , a frequncia relativa em que no ESpL um estado inferior em
pelos estados superiores no intervalo

em torno do nvel de energia

populado

. Esta definio leva

a:
,

(3.53)

Por meio de manipulaes matemticas [MULLEN-1990, MULLEN-1986], obtemos o

seguinte resultado para

:
,

Esta relao mostra atravs de

exp

(3.54)

que a produo radiativa de uma

populao de um nvel pode em ESpL ser expressada somente em termos das propriedades
dos nveis despopulado.

3.4.3 Frequncia de Decaimento Total

O anlogo do tempo de vida natural de um nvel hidrogenide

dada por:
(3.55)

72

e pode ser calculado usando as equaes (3.47) ou (3.49). Dois casos de opacidade so
geralmente distinguidos [MULLEN-1990]:
Caso (A): um plasma opticamente fino para todas as radiaes;
Caso (B): um plasma opaco somente para toda radiao ressonante (Lyman).
Substituindo o somatrio por uma integral e usando a equao (3.51) para o caso (A), temos:

(3.56)

Fazendo uso da relao (3.52) e integrando esta ltima, obtemos:

,

(3.57)

De maneira anloga chega-se no seguinte resultado para o caso (B):

(3.58)

Das duas ltimas relaes, escreve-se a seguinte estrutura geral:

(3.59)

Onde,
(caso A)

(3.60)

(caso B)

(3.61)

A relao (3.59) indica que a probabilidade de decaimento total depende do logaritmo da

razo dos de maior e menor valor abaixo de . Os fatores de correo

podem ser

ajustados de modo que as expresses analticas (3.57) e (3.58) correspondam com os

resultados dos clculos numricos.

3.4.3.1 A Frequncia Cascata no Equilbrio de Saha Parcial e Local

A frequncia de produo cascata total de um nvel

igual

(3.62)

73

substituindo o somatrio por uma integral, para nveis prximo do contnuo, e mudando para
a representao E (energia) e usando a expresso (3.54), obtemos

(3.63)

3.4.3.2 A Frequncia de Captura no Equilbrio de Saha Parcial e Local

Alm do decaimento radiativo dos estados superiores, um nvel

pode tambm ser

populado pelo decaimento radiativo dos estados livres. Esse mecanismo de populamento
conhecido como recombinao dois corpos ou processo de captura. A equao de reao para
esse processo tem a seguinte forma:

(3.64)

desde que os estados ligados estejam mergulhados continuamente dentro dos estados livres,
deve ser possvel elevar o valor de equilbrio do estado da contribuio da populao ligado,

ligado

estendida da contribuio

exp

como uma integral

acima do limite de ionizao e achar

,

. Da equao (3.54) vemos que o produto,

, pode ser expresso em propriedade do nvel que est sendo populado

somente. Portanto plausvel que a relao,

(3.65)
deve ser conservada e

a extenso de

dado por
,

ou seja, a equao (3.63) com ajuste dos limites de integrao. O parmetro

(3.66)
dado por
(3.67)

esta exatamente a mesma j obtida pelo clculo dos processos de captura dos processos
inversos da fotoionizao.

74

A partir da similaridade entre os processos de captura e cascata torna-se possvel

escrever as contribuies destes em uma nica expresso, basta realizar a soma das equaes
(3.63) e (3.66). Ou seja,
(3.68)

esta tcnica na verdade uma manifestao do princpio da correspondncia.

3.4.3.3 A Probabilidade de Decaimento Efetivo

As frequncias totais de decaimento, cascata e captura podem ser unidas definindo a
probabilidade como:
(3.69)
Usando as equaes (3.59) e (3.68) temos

que descreve a produo e destruio radiativa de um nvel

(3.70)

em ESpL e expressa como a

combinao dos processos de decaimento radiativo deve afetar o balano de Saha da

ionizao e recombinao colisional.

3.5 Colises Eletrnicas

Aqui ser feito um estudo das influncias das colises eletrnicas na FDEA em noequilbrio. Para isso, as seguintes aproximaes sero adotadas: primeiro usaremos teorias de
colises relacionadas com excitaes dos estados excitados. Para isso, consideramos que um
tomo excitado pode ser composto de um caroo e um eltron externo que efetua transies.
Segundo, faremos uma distino entre colises frias e quentes. So consideradas colises frias
aquelas que a energia do eltron ligado muito maior que a do eltron incidente
1. J as colises quentes so aquelas em que a energia do eltron ligado muito

75

1. Esta ltima ser analisada atravs dos

menor do que a do eltron incidente

resultados da aproximao de Born (AB).

3.5.1 Os Resultados da Aproximao de Born

As sees de choque das transies induzidas por eltrons incidentes de alta energia
podem ser obtidas pela aproximao de Born. Esta uma teoria independente do tempo
baseada na suposio que a interao entre o tomo alvo e o eltron incidente sutil tal que o
potencial de espalhamento somente causa uma pequena perturbao na energia cintica
eltron. Logo, pela desigualdade

do

deve-se considerar ento que a AB no pode ser

usada para eltrons incidentes com baixas energias.

Expandido a aproximao de Born para a seo de choque de excitao, de um nvel
de energia

para outro com energia

, em potncias negativas de

e retendo os dois

primeiros termos [PERCIVAL-1975, VRIENS-1980], temos

ln E 2RZ

(3.71)

onde,
a constante de Rydberg,

so coeficientes adimensionais. No caso da ionizao

estes dois coeficientes so substitudos por

O coeficiente

est relacionado com a fora de oscilador

2

enquanto que

(3.72)

dado por:
4Z

de acordo com Vriens et al. [VRIENS-1980] os valores de

(3.73)
podem ser dados pela seguinte

expresso analtica
1.4ln

0.7

0.51

1.16

0.55

(3.74)

76

Em relao equao (3.73), temos que o primeiro termo est relacionado com encontros
(binrios) entre dois eltrons (um destes considerado estar inicialmente em repouso). O
segundo termo pode ser considerado como um termo clssico que leva em conta se o eltron
atmico no est inicialmente em repouso. Por fim, o terceiro termo juntamente com
descreve as transies por dipolo [MULLEN-1986].

3.5.2 Coeficientes de Reao

,

Os coeficientes de excitao
mdia do produto

e ionizao

so obtidos levando em conta a

sobre FDEE. Uma vez que as taxas dos processos diretos (excitao e

ionizao) so determinadas, as taxas dos processos inversos (desexcito e recombinao)

podem ser obtidas aplicando o principio do balano detalhado. Considerando que a cauda da
funo usada para descrever a seo de choque

, associada a altas energias seja

dominante, o comportamento do limiar no importante, e a dependncia funcional

apresentada na equao (3.71) pode ser extrapolada para baixas energias. Supondo que a
FDEE seja Maxwelliana obtemos:
, ,

2Z

x
Em que

0,

. Se

(3.75)

dever aproximar de zero mais rapidamente, de

modo que a integral exponencial na equao (3.75) pode ser substituda por

[1,2]

dando
, ,
Sendo

Taxa

, ,

(3.76)

0,57 a constante de Euler e

Taxa

8
, ,

0.28

1.60x10
2Z

(3.77)
(3.78)

77

A temperatura de eltrons

est em eV.
0, usado para obter

Repetindo o mesmo procedimento, o valor limite

, ,

chegamos no seguinte resultado para o coeficiente de ionizao

Taxa

(3.79)

onde,

0.28

2Z

(3.80)

e
2

(3.81)

est relacionado com a frao de energia fornecida para o tomo que excede o potencial
de ionizao

Para grandes valores de

podemos usar
Taxa

(3.82)

3.5.3 Colises Frias

Em colises consideradas frias a energia do eltron incidente pequena comparada ao
do eltron ligado, como conseqncia, tem que o fenmeno do limiar (espalhamento a baixas
energias) importante e as colises so essencialmente um evento a trs corpos, eltron
incidente, eltron excitado (ligado) e o caroo. Atravs da mecnica quntica pode-se
encontrar uma descrio prpria para estes tipos de interaes a baixa energia. Os resultados
podem ser obtidos mais facilmente a partir dos clculos clssicos de trs-corpos usando as
trajetrias de Monte Carlo de Mansbach et al. [MANSBACH-1969]. Estes obtiveram os
seguintes resultados para o hidrognio usando o mtodo de Monte Carlo:

(3.83)

78

onde

a taxa de transferncia de energia

de um gs de eltrons

dado em eV. A taxa para o processo de excitao

Maxwelliano para um tomo,

pode ser obtida por
,

2 q

(3.84)

3.5.4 Aproximaes Semi-Empricas

As aproximaes que so usadas para conectar a cauda da seo de choque da AB para
altas energias com a parte do limiar predita pelos clculos de Monte Carlo de trs-corpos para
altos valores de

ou como deduzidas a partir de resultados empricos para excitao do

estado fundamental so denominadas aproximaes semi-empiricas (SE). Agora ser feito

uma discusso de algumas aproximaes SE, em que, consideram-se as colises eltrontomos (

1) para uma FDEE Maxwelliana.

A constante de reao para excitao sugerida por Drawin et al. [DRAWIN-1977]

dada por:
, ,

Taxa

(3.85)

onde a funo de forma :

,
e

uma funo tabelada,

0.1

(3.86)

so parmetros de ajuste da ordem de 1. A

representao da equao (3.85) baseada numa descrio dipolo. No limite

0, a funo

de forma pode ser aproximada para

lim

0.7

(3.87)

aps um ajuste adequado, o coeficiente da reao baseada nesta estrutura pode dar boas
aproximaes para os processos de excitaes originados do estado fundamental.
Para a seo de choque de ionizao temos a seguinte equao [JOHNSON-1972]:
,

1.25

(3.88)

79

esta baseada no valor clssico de Thomson

. A quantidade

e o logaritmo foram adicionados para levar em conta as transies dipolo.

O coeficiente de ionizao como obtida por Drawin et al. [DRAWIN-1977] pode ser
escrita como:
2Taxa

(3.89)

0 da funo tabelada :

O valor do limite

0.7

(3.90)

Os coeficientes de reao dados por Vriens et al. [VRIENS-1980] foram obtidos por
conectar a cauda da aproximao de Born (BA) de alta energia com os baixos valores de
energia obtidos por Mansbach et al. [MANSBACH-1969]. O resultado para o coeficiente de
taxa para excitao o seguinte:
, ,

Taxa

, ,

(3.91)

Em que,
, ,

1.6q

0.3

0.8

(3.92)

11

0,06q

1
x6

0.3

(3.93)

0.6|

(3.94)

0 como o da equao (3.78).

estas relaes produzem o mesmo valor limite

Para a ionizao eles [VRIENS-1980] obtiveram:

Taxa
0,76
esta tende a um para
equao (3.78).

3.32

(3.95)
,

0 providenciando o mesmo valor limite

(3.96)
0 como dado na

80

A cauda da funo, associada s altas energias, que descreve a seo de choque de

Vriens baseada nas expresses analticas dos resultados da AB como apresentado na
referncia [JOHNSON-1972]. Observa-se que um tratamento totalmente clssico desta cauda
de alta energia basea-se no forte acoplamento do principio da correspondncia. Esta teoria
possui duas suposies fundamentais: primeira, que os nveis de energia fortemente-acoplados
esto aproximadamente igualmente espaados; segunda, os elementos de matriz de interao
esto bem representados pela forma de Heisemberg do princpio da correspondncia [GEE1976]. que d resultados similares. Os resultados das aproximaes SE de Vriens e Smeets
do a prpria dependncia funcional no limite

0. Porm a estrutura analtica mais

complicada e para os processos de excitao do estado fundamental os resultados de Drawin e

Emard so boas alternativas.

81

4. Cdigo de Modelagem Colisional Radiativo

Este captulo trata da descrio do cdigo de modelagem colisional radiativa
(crmodel) usado para calcular a FDEA. Ele foi desenvolvido pelo grupo de Eindhoven
[MULLEM-1990, MULLEM-2001]. As densidades dos estados excitados

so

determinados pelos processos colisionais (eltron-tomo) e radiativos somente. Outros

processos como fenmeno de transporte podem ser negligenciados, devido ao fato que para
muitos plasmas atmicos o tempo de vida radiativo dos estados excitados muito menor que
simplificada

o tempo de transporte [MULLEM-2001]. Com isso, a determinao dos

para a soluo numrica de um conjunto de equao lineares. Este mtodo denominado

soluo do estado quase estacionrio (SEQE). Ele no se aplica ao nvel fundamental
inico (

), uma vez que, so usados como parmetros para o conjunto de equaes lineares.

Como resultado, as populaes de estados excitados atmicos podem ser consideradas como
uma superposio de duas contribuies, uma parte de

e a outra de

4.1 A Equao da Continuidade

Em situaes de no equilbrio, a densidade de tomos no estado

determinada no

momento zero da equao de Boltzmann, que relaciona as relaxaes temporais e espaciais

aos processos de produo e destruio.
Para plasmas com CEE, temos [MULLEM-1990, MULLEM-2001]:

Em que,
P

o termo de produo e D

o termo de destruio do estado .

O lado direito da equao (4.1) pode ser escrito de acordo com a tabela (4.1).

(4.1)

82

Tabela (4.1): Conjunto de termos lineares referentes aos processos de produo e destruio
do estado .
P

D
,

produo colisional

destruio colisional

recombinao a trs partculas

ionizao colisional

cascata (espontnea + estimulada)

por excitao fotnica

,
absoro

emisso (espontnea + estimulada)

,
ionizao por fton

Recombinao radiativa
(espontnea + estimulada)

Estes so os balanos dos processos elementares agrupados de acordo com processo de

formao com o seu correspondente processo de destruio.
Devido grande variedade de plasmas, considere as seguintes simplificaes:

A emisso estimulada omitida e a captura (somente para radiao ressonante)

considerada pela introduo do fator de escape

e a probabilidade efetiva

,1 .

A parte diferencial da equao (4.1) eliminada para os estados excitados, considerando

que o tempo para os processos colisionais ou radiativos so menores comparados aos
tempos de outros processos relacionados com os fenmenos de transporte. Esta
chamada de soluo do estado quase estacionrio (SEQE).

Sero negligenciadas as colises entre partculas pesadas alm de formao e destruio

de molculas. Esta justificada para plasmas com CEE onde somente transies devido s
colises eletrnicas ou decaimentos radiativos so importantes. Em plasmas com cintica de
excitao por eltrons o corpo da funo de distribuio de energia dos eltrons

83

Maxwelliana. Com isso o clculo das taxas de reaes para transies entre estados excitados,
direto e as taxas de reaes (equao 4.2) dos processos produo (reao para direita) e
destruio (reao para esquerda) so inter-relacionadas pelo princpio do balano detalhado
[MULLEM-2001].
,

exp

(4.2)

4.2 Soluo do Estado Quase Estacionrio (SEQE)

As condies em que a soluo do estado quase estacionrio pode ser aplicada so:

O tempo de decaimento ou a difuso do plasma muito maior que o tempo de vida dos
estados excitados;

O numero total de tomos excitados muito menor que o nmero de tomos no estado
fundamental ou ons. Com isso o nvel fundamental e o inico podem ser considerados
como dois reservatrios de partculas completamente cheios ou drenados numa escala de
tempo relativamente alta. A partir destes reservatrios uma pequena quantidade
distribuda

sobre

os

estados

excitados

[BATES-1962,

McWHIRTE-1963,

CACCIATORE-1976].
Usando a SEQE na equao da continuidade dos estados excitados, tem-se que os
termos de relaxao temporal e espacial so pequenos com comparao aos termos de
produo e destruio. Logo a equao (4.1) pode ser escrita da seguinte forma

(4.3)

(4.4)

Ou,
P

84

Para os estados, fundamental e inico, os tempos de relaxao espacial e temporal

devem ser considerados. Com as simplificaes feitas no tpico 4.1 a equao da
continuidade dos tomos no estado fundamental dada por:

,1

,1

1,

,1
1

(4.5)

enquanto que para os ons :

1
1

(4.6)

no o objetivo do CRmodel resolver as equaes (4.5) e (4.6). Como j foi dito

anteriormente, as densidades dos nveis, fundamental e inico, so parmetros de entrada
(input) para os balanos de produo e destruio de um estado qualquer.

4.3 A Soluo do Modelo Numrico

1 nveis inferiores (excluindo o nvel

As equaes lineares acopladas dos

fundamental) ao nvel

podem ser expressas na representao vetorial:

em que

uma matriz,

um vetor com

(4.7)

1 dimenses com

valores como

componentes.
O vetor representa a produo de populao originada da parte de equilbrio e do
contnuo. As componentes so:

(4.8)

O vetor representa a produo originada do nvel fundamental. Suas componentes

so:

1,

(4.9)

85

A matriz

possui componentes:
D

para

(4.10)

, enquanto que
D

onde D

(4.11)

o fator de destruio do nvel .

De acordo com os princpios da lgebra linear a soluo da equao (4.7) pode ser

escrita como a superposio linear

(4.12)
Com,

A notao
obtida fazendo

(4.13)

representa a matriz inversa de . A primeira contribuio de (4.12)

0. Enquanto que a segunda obtida resolvendo a equao (4.12) para

0.
Outra conseqncia direta do carter linear da equao (4.12) que os valores
esto relacionados aos de
D

e vice-versa. Eles so relacionados da seguinte forma:

(4.14)

esto inter-relacionados e relacionados por

Enquanto que os valores de

de

acordo com:
D

(4.15)

Usando a SEQE podemos escrever:

D

(4.16)

Esta relao mostra que a densidade da populao de um nvel pode ser considerada
como uma superposio de duas contribuies, uma dos ons e a outra do nvel fundamental.

86

Figura (4.1): Comparao entre a superposio das contribuies para os nveis excitados
usando um sistema de vasos comunicantes. (a) contribuio do nvel fundamental, (b)
contribuio do nvel inico, (c) superposio.

87

4.4 A Funo de Distribuio

Aqui vamos relacionar as contribuies

ao valor de equilbrio da

densidade de populao. Isto pode acontecer das seguintes maneiras:

A. Podemos relacionar a contribuio do estado inico
pela densidade de Boltzmann

pela densidade de Saha, e

. Disto temos que

(4.17)

Onde,

(4.18)

so denominados coeficientes de populao relativa.

B. Na equao (4.17) os dois reservatrios de partculas dos estados fundamental e inico
so tratados de forma equivalente. Porm existem grandes diferenas entre estes dois estados
fundamentais. Ao contrrio do nvel inico, o nvel fundamental est separado do resto do
sistema por uma grande diferena de energia. Isto significa que a densidade (populao) dos
estados excitados mais influenciada pelo reservatrio de ons do que pelo reservatrio de
tomos no estado fundamental, logo o nvel inico considerado mais importante. Sendo
assim, dividindo a equao (4.17) por

obtemos o seguinte resultado.

(4.19)

esta relao mostra que a perda do equilbrio

perda do equilbrio do nvel fundamental

de um nvel

depende linearmente da

Logo, na ausncia de tomos no estado fundamental a perda do equilbrio dada por

que por sua vez determinado pelo estado inico somente.
O
fazendo

obtido matematicamente fazendo

0. Fisicamente

0 enquanto que

obtido

implica que a ionizao no ser compensada pela

88

recombinao, isto , existe uma presena de uma pia na parte superior do sistema. (vide
figura 4.1).
A influncia desta pia ser propagada para as partes inferiores no sentido que um
fluxo de excitao ser gerado para suprir esta pia de ionizao. De uma maneira anloga
0 para obter

criamos um fluxo no sentido contrario quando fazemos

coeficientes

. Assim os

refletem as densidades de no-equilbrio e a afirmao que a densidade

da populao uma superposio de uma parte

e a outra

equivalente a afirmao que

a FDEA (eq. 4.17) pode ser considerada como a suposio de uma FDEA puramente de
recombinao e a outra FDEA puramente da ionizao [FUJIMOTO-1973].
C. No limite de

, os processos colisionais so dominantes sobre os radiativos e o

sistema inteiro tende ao equilbrio fazendo que

1 para

1. Isto significa que

. Com isso, um plasma pode ser considerado como a superposio de

um plasma em equilbrio e um plasma puramente de ionizao ou recombinao. Por isto,

1 um parmetro til, e uma

prope-se uma sobrepopulao relativa

representao conveniente para a funo de distribuio dada por

(4.20)
onde,
1

(4.21)

fornece um parmetro alternativo para descrever a perda do equilbrio.

4.5 Os Coeficientes para a Ionizao e Recombinao Total

As equaes (4.5) e (4.6) podem ser reescritas com uma estrutura simples;

(4.22)

89

Em que

cr

(4.23)

so respectivamente os coeficientes para a recombinao e ionizao

total. Substituindo (4.19) em (4.5) tem-se:

1
1

,1

,1

(4.24)

,1

,1

(4.25)

1
1,

A equao (4.24) mostra que a taxa total dos processos recombinao

igual

recombinao direta para o nvel fundamental mais a desexcitao da parte da populao

dos nveis excitados que originaram do nvel inico. A relao (4.25) mostra que a partir da
uma parte retorna por processo de

evacuao total do nvel fundamental

desexcitao. Essa parte originou do nvel fundamental. Substituindo (4.19) em (4.6) obtemos
as equaes (4.26) e (4.27).
1

(4.26)
(4.27)

As quatro ltimas relaes deixam claro que a recombinao est acoplada ao

coeficiente

enquanto que a ionizao total est acoplada ao coeficiente

. Separando

em termos dependentes chega-se ao seguinte resultado:

D
D

(4.28)

(4.29)

Estas equaes mostram que o fluxo total de eltrons para dentro do sistema deve ser o
mesmo fluxo total para fora do sistema (vide figura 6.4) e que existem dois afluentes
independentes, um originado a partir do nvel fundamental e o outro do nvel inico. Isso
essencial para a SEQE, onde somente duas fontes para o espao de excitao so
independentes.

90

Figura (4.2): Fluxo de eltrons populando e depopulando os nveis excitados. O primeiro

esquema mostra que o fluxo de entrada a partir do estado fundamental igual aos de sada
(parte volta ao estado fundamental, desexcitao, e a outra vai para o contnuo, ionizao). O
segundo mostra que fluxo de entrada que se d a partir do contnuo, recombinao e captura
radiativa, igual aos fluxos de sada.

4.6 Sees de Choque

Para resolver o conjunto de equaes lineares da tabela (4.1), o conhecimento de
vrios parmetros necessrio. Dentre eles temos a taxa de reao

que est

relacionada com os processos colisionais. Este parmetro depende da funo de distribuio

de energia dos eltrons e das sees de choque

que est associada com a

probabilidade de uma coliso eletrnica causar uma excitao de um tomo de um nvel

para um nvel . Para o cdigo usado no presente trabalho a funo de distribuio de energia

91

dos eltrons Maxwelliana, enquanto que, as sees de choque so baseadas nas expresses
analticas propostas por Drawin [DRAWIN-1967, DRAWIN-1977].

4.6.1 Sees de Choque Propostas por Drawin

Como foi dito anteriormente, para os processos colisionais envolvendo eltrons e
tomos neutros, usamos as sees de choque obtidas por Drawin. Este props trs tipos de
expresses analticas para as sees de choque das transies que levam em considerao as
regras de seleo [DRAWIN-1967, DRAWIN-1977]. Estas expresses so as seguintes:
Para as transies opticamente permitidas (

1, J 0, 1 exceto J 0 J 0):

(4.30)

onde,
g

1,25

Para as transies proibidas por paridade (

p

As transies proibidas por spin (

Para algumas transies

(4.32)

1, s 0) dada por:
s

4
Aqui

1, s 0):
p

(4.31)

(4.33)

so constantes obtidas da literatura [BUTEL-2002,VLCEK-1989].

aproximadamente igual unidade.
,

Se a probabilidade

conhecida, a fora do oscilador

de absoro pode ser

obtida usando:
,

onde,
g

eg

so os pesos estatsticos dos nveis

e .

(4.34)

92

4.7 Descrio dos Parmetros de Entrada

No presente tpico ser feito uma descrio dos parmetros, como por exemplo: nveis
de energia, probabilidade de transio, peso estatstico, seo de choque entre outros, que so
usados na estrutura do arquivo de entrada e quais informaes podem ser obtidas no arquivo
de sada.

4.7.1 Nveis de Energia do Argnio Neutro (Ar I)

O estado fundamental do tomo de argnio caracterizado pela camada fechada 3 e
0 [KATSONIS-1980]. Individualmente,

por ter o momento de spin igual a zero, isto ,

cada estado excitado do Ar I tem a configurao 3 3

, onde,

so

respectivamente os nmeros qunticos principal, angular e spin do eltron externo. Os

eltrons do caroo atmico, cuja distribuio eletrnica M
dando os vetores de spin

e momento angular

do momento angular total do caroo

, acoplam-se primeiro

que ento se acoplam para resultar no vetor

. No caso do argnio os dois valores possveis para

so 12 e 32 . Levando em conta o eltron excitado com momento orbital , obtemos um

vetor intermedirio K dado por:
K

(4.35)

que por sua vez acopla-se com o vetor de spin para formar o vetor do momento angular total
J do tomo completo, ou seja,
J
Devido ao acoplamento

(4.36)

K os nveis de energia do Ar I so divididos em dois subsistemas

com diferentes limites de ionizao [BOGAERTS-1998]: sistema principal com

limite de ionizao igual a 15,937
ionizao igual a 15,759

, e o sistema no-principal com

12,

32, limite de

. Na figura (4.3) mostramos um diagrama dos nveis de energia do

93

argnio, levando em conta a distino entre os sistemas, que so usados no modelo colisional
radiativo. No total so 99 nveis efetivos discretos, todos esto abaixo do primeiro limite
(valor numrico) de ionizao. Na notao de Racah, os dois sistemas de termos dos tomos
de Ar I so caracterizados por [KATSONIS-1980]:
[2

para

1 2

[2

para

3 2

com,
,
J

1, . , |

12

As designaes, as energias de excitao e os pesos estatsticos dos nveis de energia efetivos

esto listados na tabela (4.2). Estes so indicados com o nmero N. E. (nmero do Estado) do
nvel.
Tabela (4.2): Lista dos nveis de energia do Ar I usado no modelo colisional radiativos. N. E.
refere-se ao nmero do estado, E e g so a energia e o peso estatstico do nvel
respectivamente.
N. E.
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20

Notao Paschen
1p0
1s5
1s4
1s3
1s2
2p10
2p9
2p8
2p7
2p6
2p5
2p4
2p3
2p2
2p1
3d6
3d5
3d'4
3d4
3d3

Notao Racah nl[K]J

3p6
4s[3/2]2
4s[3/2]1
4s'[1/2]0
4s'[1/2]1
4p[1/2]1
4p[5/2]3
4p[5/2]2
4p[3/2]1
4p[3/2]2
4p[1/2]0
4p'[3/2]1
4p'[3/2]2
4p'[1/2]1
4p'[1/2]0
3d[1/2]0
3d[1/2]1
3d[3/2]2
3d[7/2]4
3d[7/2]3

E (cm-1)
0
93144
93751
94554
95400
104102
105463
105617
106087
106238
107054
107132
107290
107496
108723
111668
111818
112139
112750
113020

E (eV)
0
11,548
11,624
11,723
11,828
12,907
13,076
13,095
13,153
13,172
13,273
13,283
13,302
13,328
13,480
13,845
13,864
13,903
13,979
14,013

g
1
5
3
1
3
3
7
5
3
5
1
3
5
3
1
1
3
5
9
7

94

21
22
23
24
25
26
27
28
29
30
31
32
33
34
35
36
37
38
39
40
41
42
43
44
45
46
47
48
49
50
51
52
53
54
55
56
57
58
59
60
61
62
63
64
65
66
67
68

3d2
2s5
2s4
3d"1
3d'1
3s""1
3s"'1
3s"1
2s3
2s2
3s'1
3p10
3p9
3p8
3p7
3p6
3p5
3p4
3p3
3p2
4d6
4d5
3p1
4d'4
4d4
4d3
4d2
4d"1
4d1
4s""1
4s"'1
4s"1
4s'1
4p10
4p9
4p8
4p7
4p6
4p5

4p4
4p3
4p2

3d[5/2]2
5s[3/2]2
5s[3/2]1
3d[5/2]3
3d[3/2]1
3d[5/2]2
3d[3/2]2
3d[5/2]3
5s[1/2]0
5s[1/2]1
3d[3/2]1
5p[1/2]1
5p[5/2]3
5p[5/2]2
5p[3/2]1
5p[3/2]2
5p[1/2]0
5p'[3/2]1
5p'[3/2]1
5p'[1/2]2
4d[1/2]0
4d[1/2]1
5p'[1/2]0
4d[3/2]2
4d[7/2]4
4d[7/2]3
4d[5/2]2
4d[5/2]3
6s
4d[1/2]0
4f
4d[3/2]2
4d[5/2]2
4d[5/2]3
4d[3/2]1
6p[1/2]1
6s'
6p[5/2]3
6p[5/2]2
6p[3/2]1
6p[3/2]2
6p[1/2]0
4f'
5d
7s
6p'[1/2]1
6p'[3/2]1
6p'[3/2]2

113426
113469
113643
113717
114148
114641
114805
114822
114862
114975
115367
116660
116943
116999
117151
117184
117563
118407
118460
118469
118512
118651
118871
118907
119024
119213
119445
119645
119711,8
119848
120225
120601
120619
120754
121012
121069
121145
121165
121192
121257
121271
121470
121652,6
122168
122454,6
122601
122610
122635

14,063
14,068
14,0899
14,099
14,153
14,214
14,234
14,236
14,241
14,255
14,304
14,464
14,499
14,506
14,525
14,529
14,576
14,681
14,687
14,688
14,694
14,711
14,738
14,743
14,757
14,781
14,809
14,834
14,842
14,859
14,906
14,953
14,955
14,972
15,004
15,011
15,020
15,023
15,026
15,034
15,036
15,060
15,083
15,147
15,182
15,201
15,202
15,205

5
5
3
7
3
5
5
7
1
3
3
3
7
5
3
5
1
3
3
5
1
3
1
5
9
7
5
7
8
3
56
5
5
7
3
3
4
7
5
3
5
1
28
40
8
3
3
5

95

69
70
71
72
73
74
75
76
77
78
79
80
81
82
83
84
85
86
87
88
89
90
91
92
93
94
95
96
97

4p1

5f
6p'[1/2]0
7p
5d'
6d
7s'
8s
6f
5f'
8p
7d
7p'
9s
7f
9p
6d'
10s
8s'
8f
6f'
9f
8p'
7d'
9s'
7f'
9p'
8f'
10s'
ion

122708
122791
123256,6
123537
123753,7
123879,7
123915
124055
124140
124390
124652
124698,7
124776
124868
125090
125142
125330,7
125348,5
125395
125487
125756
125823,3
126096,7
126280
126300
126520
126827
126831
127105

15,214
15,224
15,282
15,317
15,344
15,359
15,364
15,381
15,391
15,422
15,455
15,461
15,470
15,482
15,509
15,516
15,539
15,541
15,547
15,558
15,592
15,600
15,634
15,657
15,659
15,686
15,724
15,725
15,759

56
1
24
20
40
4
8
56
28
24
40
12
8
56
24
20
8
4
56
28
56
12
20
4
28
12
28
4
6

96

Figura (4.3): Diagrama dos nveis de energia do tomo de argnio, ilustrando todos os nveis
incorporados no modelo.

97

No arquivo de entrada tem uma seo (seo dos nveis), onde os nveis de energia do
Ar I usados para modelar o microplasma so declarados. A seo de nveis contm as
seguintes entradas:
Nome (name): nome do nvel. Este nome ser usado quando definirmos as transies entre os
nveis;
Energia (energy): a energia do nvel. Uma unidade de energia deve ser usada. Em nosso caso
em

Peso Estatstico (weight): peso estatstico do nvel.

4.7.2 Transies Radiativas

Em muitos plasmas de argnio, levando em conta as condies experimentais, as
linhas de emisso mais intensas na faixa do visvel do espectro eletromagntico, esto
associadas com as transies dos nveis 4p para 4s (emisso no vermelho) e 5p para 4s
(emisso no azul) [WISE-1989]. Devido a esse fato, as transies radiativas consideradas no
input levam em conta apenas as transies dos nveis 4 e 5 , ambos, para o nvel 4 como
mostra a figura (4.4). As transies radiativas tm a seguinte estrutura no arquivo de entrada:
De (From): nome do nvel inicial. Este deve estar declarado na seo de nveis;
Para (To): nome do nvel final. Este tambm tem que estar declarado na seo de nveis;
Probabilidade (probability): Probabilidade de cada transio. As tabelas (4.3) e (4.4)
apresentam os valores das probabilidades das transies radiativas consideradas no modelo;
Escape: o fator de escape , como est definido na equao (3.41). Em nosso caso

1.

98

16,000
Ar 3 3

15,759
3

15,000

5431

14,000

6720

5912

9075

5
9195

20317
10950

13,000

3949

4702

6677

23133

11488

12,000
1

meta estvel

meta estvel

1
1

11,000
1048

1067

Ar 3 3

Figura (4.4): Linhas de emisso do Ar I devido s transies entre os nveis de energia.

99

Tabela (4.3): Probabilidades de transio atmica entre os nveis 4 e 4s do tomo de

argnio neutro.
dados
N. Racah
4
4
4
4
4
4
4
4
4

1/2
1/2
3/2
3/2
1/2
3/2
3/2
5/2
1/2

N.
Paschen
2 1
2 2
2 3
2 4
2 5
2 6
2 7
2 8
2 10

4 1/2
4 3/2
4 3/2
4 1/2

2 3
2 4
2 7
2 10

4
4
4
4
4
4
4
4
4

1/2
1/2
3/2
3/2
1/2
3/2
3/2
5/2
1/2

2 1
2 2
2 3
2 4
2 5
2 6
2 7
2 8
2 10

2
2
2
2
2
2
2
2

1/2
3/2
3/2
3/2
3/2
5/2
5/2
1/2

2 10
2 2
2 4
2 6
2 7
2 8
2 9
2 10

N. Racah e
Paschen

nm

Incerteza(%)

1/2 , 1 2

750,358
826,452
840,821
852,144
857,806
922,450
935,422
978,450
1148,811

44,5
13,3
22,3
13,9
0,001
5,03
1,06
1,47
0,19

8
6
5
8
10
8
8
30

1/2 , 1 3

772,421
794,818
866,794
1047,005

5,03
1,06
1,47
0,19

5
8
8
15

4 3/2 , 1 4

667,728
727,293
738,398
747,117
751,465
800,616
810,369
842,465
965,778

0,236
1,83
8,47
0,022
40,2
4,90
25,0
21,5
5,43

15
5
8
8
8
15
5
5
8

4 3/2 , 1 5

694,543
706,722
714,704
763,511
772,376
801,479
811,531
912,297

6,39
3,80
0,625
24,5
5,18
9,28
33,1
18,9

5
8
8
8
5
8
8
8

100

Tabela (4.4): Probabilidades de transio atmica entre os nveis 5

e 4 do tomo de

argnio neutro.
dados
N. Racah
5
5
5
5
5
5
5
5
5

1/2
1/2
3/2
3/2
1/2
3/2
3/2
5/2
1/2

N.
Paschen
3 1
3 2
3 3
3 4
3 5
3 6
3 7
3 8
3 10

5 1/2
5 3/2
5 3/2
5 1/2

3 2
3 4
3 7
3 10

5
5
5
5
5
5
5
5
5

1/2
1/2
3/2
3/2
1/2
3/2
3/2
5/2
1/2

3 1
3 2
3 3
3 4
3 5
3 6
3 7
3 8
3 10

5
5
5
5
5
5
5
5

1/2
3/2
3/2
3/2
3/2
5/2
5/2
1/2

3 10
3 3
3 4
3 6
3 7
3 8
3 9
3 10

N. Racah e
Paschen

nm

Incerteza
(%)
6
12
7
10
7
20
9
6
9

1/2 , 1 2

425,936
433,534
433,356
434,517
451,073
458,929
459,610
462,844
470,232

3,98
0,387
0,568
0,297
1,18
0,0062
0,0947
0,0383
0,109

1/2 , 1 3

418,188
419,103
442,400
452,232

0,561
0,539
0,0073
0,0898

9
15
15
8

4 3/2 , 1 4

397,972
404,596
404,442
405,453
419,832
426,629
427,217
430,010
436,379

0,041
0,333
0,027
2,57
0,312
0,797
0,377
0,012

10
9
15
8
12
8
5
10

4 3/2 , 1 5

394,898
394,750
395,7
415,859
416,418
419,071
420,067
425,118

0,455
0,056
1,40
0,288
0,280
0,967
0,111

9
15
9
9
8
7
15

101

4.7.3 Transies Colisionais

4.7.3.1 Transies Tipo Drawin

Estas transies so baseadas nas sees de choque propostas por Drawin [DRAWIN1967, DRAWIN-1977], veja as equaes (4.30), (4.32) e (4.33). No input estas transies
colisionais so descritas da seguinte forma:
Probabilidade (probability): as probabilidades radiativas para estas transies foram obtidas
nas seguintes referencias [KATSONIS-1980, NIST]. Este parmetro usado para calcular a
fora de oscilador

(eq. 4.34). Se o valor da probabilidade for igual a zero, o clculo de

feito usando a aproximao hidrogenide [JOHNSON-1972]:

Peso Estatstico (weight): j definido;
Alfa (

): uma constante relacionada com as transies opticamente permitidas;

Beta (

): uma constante relacionada com as transies opticamente permitidas;

: uma constante relacionada com as transies proibidas por paridade;

: uma constante relacionada com as transies proibidas por spin.

Os valores destas constantes foram obtidos nas referncias [BUTEL-2002,VLCEK-1989].

4.7.4 Estrutura do Algoritmo Usado no Arquivo de Entrada para Descrever os Nveis, e

as Transies Radiativas e Colisionais.
Para ilustrar o que foi discutido nos ltimos tpicos, mostraremos a seguir uma verso
simplificada da estrutura do arquivo de entrada usado para a modelagem das microdescargas
realizadas em nosso laboratrio. A estrutura original do arquivo tem aproximadamente 10700
linhas, o que torna invivel coloc-lo de forma integral neste trabalho. No final do algoritmo
tem uma seo denominada tarefa (task), onde so implementados os valores da densidade
eletrnica (

), temperatura eletrnica ( ) e a densidade de tomos no estado fundamental

102

( ). Destes, o nico que experimental o ltimo. Os outros dois so variados num certo
intervalo at que a FDEA terica sobreponha a obtida experimentalmente. Nesta seo
tambm se determina os parmetros que para estar na sada (output), aps a compilao da
tarefa que foi solicitada.
# Definition of model for atom `Argon'
#
Model {
Name Argon
#First the atomic levels
Level {
Name 1p0
Energy 0_eV
Weight 1
}
Level {
Name 1s5
Energy 11.548_eV
Weight 5
}
Level {
Name 2p10
Energy 12.907_eV
Weight 3
}
Level {
Name 3d 6
Energy 13.845_eV
Weight 1
}
Level {
Name 3p10
Energy 14.464_eV
Weight 3
}
Level {
Name 4d4
Energy 14.757_eV
Weight 9
}
Level {
Name 6s
Energy 14.842_eV
Weight 8
}
Level {
Name 4p10
Energy 15.011_eV
Weight 3
}
Level {
Name 7p
Energy 15.282_eV
Weight 24
}
Level {

103

Name 10s'
Energy 15.725_eV
Weight 4
}
Level {
Name ion
Energy 15.759_eV
Weight 6
}
# The radiative transitions
# Red Transitions
RadTrans {
From 2p1
To
1s2
Probability
44.5e+06_s^-1
Escape 1.0
}
# Blue Transitions
RadTrans {
From 3p1
To
1s2
Probability
3.98e+06_s^-1
Escape 1.0
#colisional transitions
}
CollTrans {
Type Drawin
From 1p0
To
1s5
Probability
0_s^-1
Weight 108
Alpha 0
Beta
1
Qs
0.111
Qp
0
}
CollTrans {
Type Drawin
From 1p0
To 8s
Probability
0_s^-1
Weight 108
Alpha 0.024
Beta
1
Qs
0
Qp
0
}
# Definition of model for atom `Argon' (niveis 7s-8p)
}
CollTrans {
Type Drawin
From 10s'
To
ion
Probability
0_s^-1
Weight 6
Alpha 0.67
Beta
1
Qs
0
Qp
0

104

}
CutOffLevel ion
UseRadiationRecombination
Yes
Use3ParticleRecombination
Yes
UseDefaultIonizationRate
Yes
}
Task {
Name Default
Model Argon
ElectronTemperature {
Start 0.7_eVT
End 0.8_eVT
Steps 1
Type Linear
}
ElectronDensity {
Start 1.0e+13_cm^-3
End 9.0e+13_cm^-3
Steps 9
Type Linear
}
AtomDensity
{
Start 1.19e+18_cm^-3
End 1.19e+18_cm^-3
Steps 0
Type Linear
}
Output
{
Path "density.dat"
Type Densities
DivideByWeight YES
EnergyUnit eV
DensityUnit m^-3
Indices AtomDensity ElectronDensity_cm^-3 ElectronTemperature_eVT
}

4.7.5 Informaes Obtidas no Arquivo de Sada

Um dos objetivos deste trabalho foi validar o cdigo de modelagem CRModel
[DRAWIN-1967, DRAWIN-1977] para microplasmas de argnio produzidos em microcatodo
oco aberto. De vrios parmetros que se pode obter do arquivo de sada (output) do cdigo,
escolhemos dois para atingir esse objetivo. So eles: densidade eletrnica e a temperatura
eletrnica. Estes so obtidos pelo ajuste da funo de distribuio dos estados atmicos
(FDEA) do tomo de argnio terica com a FDEA obtida experimentalmente via
espectroscopia. Para exemplificar o que foi mencionada acima, temos a seguir um resultado
obtido no arquivo de sada em uma de nossas simulaes. As condies experimentais para

105

obter o valor de
250

foram as seguintes: presso de 800

e o fluxo do gs de 30

, MCO de cobre com furo de

. A FDEA dada pelos valores dos

9,632e+024

2e+014

0,58

9,632e+024

9,632e+024

2e+014

0,58

11,548

3,67639e+016

9,632e+024

2e+014

0,58

11,624

3,2249e+016

9,632e+024

2e+014

0,58

11,723

2,71825e+016

9,632e+024

2e+014

0,58

11,828

2,26795e+016

9,632e+024

2e+014

0,58

12,907

3,4285e+015

9,632e+024

2e+014

0,58

13,076

2,4527e+015

9,632e+024

2e+014

0,58

13,095

2,52629e+015

9,632e+024

2e+014

0,58

13,153

2,18628e+015

9,632e+024

2e+014

0,58

13,172

2,16589e+015

9,632e+024

2e+014

0,58

13,273

1,84007e+015

9,632e+024

2e+014

0,58

13,283

1,43666e+015

9,632e+024

2e+014

0,58

13,302

1,31232e+015

9,632e+024

2e+014

0,58

13,328

1,35771e+015

9,632e+024

2e+014

0,58

13,48

1,21359e+015

9,632e+024

2e+014

0,58

13,845

7,2364e+014

9,632e+024

2e+014

0,58

13,864

6,77665e+014

9,632e+024

2e+014

0,58

13,903

6,31912e+014

9,632e+024

2e+014

0,58

13,979

5,32732e+014

9,632e+024

2e+014

0,58

14,013

5,24033e+014

9,632e+024

2e+014

0,58

14,063

4,78032e+014

9,632e+024

2e+014

0,58

14,068

4,72037e+014

9,632e+024

2e+014

0,58

14,099

4,48591e+014

9,632e+024

2e+014

0,58

15,759

3,33333e+019

106

5. Espectroscopia de Emisso

Estudos envolvendo espectroscopia tiveram seu inicio por volta de 1860 com Bunsen e
Kirchnoff. A partir deste ano, um enorme esforo foi realizado para estabelecer os nveis de
energia dos tomos atravs dos espectros observados. Neste perodo muitos modelos semiempricos j eram usados para entender a sistemtica das raias espectrais.
Em meados do sculo XX Niels Bohr empregou a teoria quntica de Planck para
explicar o tomo de hidrognio. Ele determinou teoricamente o valor da constante de Rydberg
que estava em pleno acordo com o obtido experimentalmente. Os resultados dos seus
trabalhos foram de grande importncia para a interpretao das raias espectrais do tomo de
hidrognio. Juntamente com Bohr, vrios outros cientistas como De Broglie (interpretao da
dualidade onda-partcula) e Schrdinger (equao de onda do eltron) ajudaram no
estabelecimento do formalismo para estudar a estrutura dos tomos. Uma das aproximaes
equao de Schrdinger para resolver os tomos com muitos eltrons, as equaes de HartreeFock, bem como a lgebra de Racah para o acoplamento de momento angular, constituem
ferramentas essenciais na interpretao dos espectros.
A espectroscopia uma das mais importantes tcnicas de trabalho para diversos ramos
da cincia. Em fsica bsica, a espectroscopia importante no teste das teorias de estrutura
atmica e molecular e de nveis de energia. Como exemplos de aplicaes de tcnicas
espectroscpicas, podemos citar o estudo de composio de qumica de atmosferas de
planetas [COLLINS-2003], estudo de parmetros de plasmas de altas temperaturas ou de
dimenses reduzidas [CORRA.2010], auxilia na compreenso dos processos envolvidos na
inverso de populao dos lasers atmicos e inicos [DEMTRDER-1996].

107

5.1 Espectros de Emisso Devido a Transies Eletrnicos em tomos

Para descrever o estado de energia de cada eltron em um tomo por completo,

necessrio o uso de cinco nmeros qunticos. Cada um destes representado por um smbolo
e est associado a uma informao importante do estado que descreve o movimento do eltron
[NAGAI-2004]. Seguindo a hierarquia, os nmeros qunticos so:

nmero quntico principal que assume os seguintes valores: 1, 2, 3, 4.....;

nmero quntico orbital cujos valores so: 0, 1, 2...,

1. Cada um desses

valores designado por , , , ,...;

nmero quntico orbital magntico e seus valores so dos por:

1, . ,

spin eletrnico de valor

nmero quntico de spin magntico cujos valores so

Para

2 , os nveis eletrnicos so divididos em subnveis, onde cada um destes,

est associado a um nmero quntico . Cada sub-nvel designado por

1 ,2 ,2 ,3 ,3 ,4 ,3 ,,
pode comportar 2 2

, ou seja,

. Segundo o princpio de excluso de Pauli, um sub-nvel s

1 eltrons [NAGAI-2004].

Em transies eletrnicas para tomos com poucos eltrons, os momentos angulares

orbitais dos eltrons se acoplam, resultando no momento angular orbital total . O mesmo
ocorre com os spins dos eltrons, resultando no momento de spin total . O acoplamento spinrbita

, denominado de Russel-Saunders, fornece o momento angular orbital total , onde

este dado por [NAGAI-2004]:

,..,

108

em que,

0, 1, 2, 3, 4, , que por sua vez, so designados respectivamente por , , , ... e

assume os valores de 0, , 1. A notao

(2S + 1)

representa a configurao de cada

multipleto, enquanto que a degenerescncia dada por

1 . Para as transies

opticamente permitidas por momento de dipolo, temos as seguintes regras de seleo

[NAGAI-2004]:

mudana de paridade obrigatoria,

no tem restries;
1;

Para o acoplamento tipo

0;

0, 1 (exceto

0, 1 (exceto

, as seguintes regras devem ser acrescidas:

0
0

0);
0).

5.1.1 Espectros de Argnio

Geralmente, uma descarga luminescente gerada com o gs de argnio

tem uma

maior emisso de radiao, na regio do visvel, nas faixas de comprimento de onda de 6900 a
8115, emisso no vermelho, e de 4000 a 5000 correspondendo a emisso no azul. Essas
emisses correspondem respectivamente s transies entre os nveis 4
Dependendo das condies experimentais em que uma descarga eltrica em

4 e 5

4 .

produzida,

podemos encontrar linhas de emisso com intensidades relativamente baixas para a faixa de
comprimento de onda de 5000 a 6900. A figura 5.1 (a-c), mostra os espectros obtidos para
uma descarga gerada em um microcatodo oco aberto (mco) em nosso laboratrio de ptica e
espectroscopia do departamento de fsica do ITA. Informaes sobre o tomo de argnio
esto no captulo 4.

Intensidade (u.a.)

6000

6200
4600

12000

6000

4000

6400

6600

()

6800
ArI ( = 6965,430)

4400

ArI ( = 6937,664)

8000
4200
ArII ( = 4657,901)

ArII ( = 4609,567)

ArII ( = 4 965,079)

ArII ( = 4 879,863)

ArII ( = 4806,026)

ArII ( = 4237.219)

ArII ( = 4726,868)

ArII ( = 4589,898)

ArI ( = 4544,746)

ArI ( = 4510,733)

ArII ( = 4 348,064)

ArI ( = 4259,362)
ArI ( = 4300,101)

ArII ( = 4579,349)

ArI ( = 4522,323)

ArII ( = 4 448,879)

ArI ( = 4158.519)

ArII ( = 4103.913)

ArI ( = 4198.315)

ArII ( = 4131.724)

ArII ( = 4 370,753)

ArII ( = 4764,849)

200

ArI ( = 6871,289)

0
4000
ArI ( = 4190.236)

400

ArI ( = 6667,281)

600
ArII ( = 4 072,005)

1000

ArI ( = 6752,834)

10000
ArI ( = 4044,418)

800

ArI ( = 6032,127)

Intensidade (u.a.)

109

a)

4800
5000

()

b)

14000

2000

7000

110

c)

0
7000

7200

7400

ArI 8115.311 (2p1>1s2)

ArI 7503.869 (2p1>1s2)

7600

7800

ArI 8103.693 (2p7>1s4)

1x10

ArI 7383.980 (2p3>1s4)

2x10

ArI 7272.936(2p2>1s4)

3x10

ArI 7514.652 (2p5>1s4)

4x10

ArI 7067.218 (2p3>1s5)

Intensidade (u.a.)

5x10

ArI 7948.176 (2p4>1s3)

6x10

ArI 8006.157 (2p6>1s4)

ArI 8014.786 (2p8>1s5)

7x10

ArI 7724.207 (2p2>1s4)

ArI 7635.106 (2p6>1s5)

8x10

8000

()

Figura 5.1 (a-c): Espectros de emisso do tomo de argnio obtidos de um mco com um furo
de dimetro de 250 . Presso de 60

e a corrente de descarga de 2

O grfico da figura 5.1 (a) apresenta as linhas de emisso do tomo de argnio na

regio do azul do espectro eletromagntico, enquanto que, as figuras 5.1 (b) e (c) mostram as
linhas emitidas na regio de vermelho. Nas trs figuras as linhas esto identificas com seus
respectivos comprimentos de onda.

5.1.2 Espectro do tomo de Hidrognio

O tomo de hidrognio o mais simples e o de menor massa entre os j descobertos na
natureza. Ele um dos elementos qumicos mais importantes na composio de substancias,
gua (H O) entre outras, para o desenvolvimento de organismos vivos em nosso planeta. Em
1853, na Sua, Andrers Angstrom realizou a primeira observao do espectro atmico do
hidrognio, figura 5.2, onde verificou a presena de quatro linhas na faixa do visvel (

111

4101.2,

4340.1,

4860,8 e

6562,7). J em 1885, o professor de

matemtica e latim, Johann Balmer estabeleceu uma equao matemtica, baseada em

resultados experimentais, que fornece os comprimentos de onda dessas linhas, atualmente
denominadas de srie de Balmer. Ela dada por
3646

5.1

3, 4, 5

com

Figura 5.2: Espectro de emisso do tomo de hidrognio na faixa do visvel.

O espectroscopista J. R. Rydberg, em 1890, reescreveu a relao matemtica de
Balmer em termos do nmero de onda

, ou seja,
1

1, 2, 3, ,

em que,

Para a srie de Balmer

3, 4, 5, e
2e

5.2

1,09681. 10

a constante de Rydberg.

3.

Entre as quatro linhas presentes na faixa do visvel do espectro do hidrognio, figura

5.2, duas (

) so muito utilizadas na anlise de parmetros como densidade eletrnica e

temperatura de tomos de hidrognio superquentes, de vrios tipos de plasmas. A figura 5.3

mostra os diagramas de energia das linhas

com as respectivas transies sofridas pelo

eltron. Para informaes sobre a estrutura fina destas linhas veja a referncia [CORRA2009].

112

Figura 5.3: Nveis de energia com as principais transies de estrutura fina para as linhas
(a) e

(b) [CORRA-2010].

5.2. Intensidade de Linhas de Emisso Atmica

Num plasma gerado atravs de um gs atmico ou molecular, parte da energia
recebida do campo eltrico pelos eltrons transferida, por colises, aos tomos promovendo
uma excitao. Estes ao desexcitarem podem emitir radiao com certos comprimentos de
onda

. A intensidade da radiao emitida em um comprimento de onda, proporcional a

densidade

de tomos excitados no nvel de energia correspondente [HERZBERG-1950].

Considere um pequeno volume,

emitindo radiao. A potncia

, em uma descarga luminescente com

atomos

emitida, ou seja, a energia irradiada por unidade de tempo

e volume pode ser medida para uma dada frequncia

, ou comprimento de onda,

113

correspondente a uma transio entre os estados e

entre

). A equao que mostra a relao

dada a seguir:
V

Onde,

a probabilidade de transio entre e ,

vcuo e

6,626. 10

5.3
3. 10

a velocidade da luz no

J.s.

A relao 5.3 pode ser escrita em termos da intensidade de uma linha emitida, isto :
5.4

V
Com esta relao podemos calcular o valor de

tendo em mos os espectros atmicos com

as linhas de emisso devidamente identificadas.

5.3. Espectros de Emisso Devido a Transies Moleculares

Ser feito nos tpicos a seguir uma breve discusso sobre as transies vibracionais e
rotacionais de molculas diatmicas bem como os seus respectivos espectros de emisso. Para
mais detalhes vejas as referencias [BRAIN-1968, NAGAI-2004, CORRA-2009,
HERZBERG-1950].

5.3.1 Espectros Rotacionais

Segundo Dunford [BRAIN-1968], espectros rotacionais puros, so aqueles que podem
ser interpretados em termos dos nveis de energia rotacionais somente. Eles so observados na
regio da rdio frequncia ou microondas do espectro eletromagntico. Os espectros mais
simples de serem estudados so aqueles emitidos por molculas diatmicas. Um modelo
usado para explicar o espectro rotacional de uma molcula diatmica heteronuclear,
constituda de tomos de diferentes elementos qumicos baseado na suposio desta como
um rotor rgido.

114

Considere dois tomos com massas

ligados quimicamente de modo a formar

uma molcula diatmica, figura 5.4. A distncia entre os dois centros de massa de cada
e

tomo , enquanto que,

so as distncias do centro de cada tomo em relao ao

centro de massa do conjunto. O momento inercial desta molcula dado por [BRAIN-1968]:
.

5.5

Expressando em termos de , obtemos o seguinte resultado

5.6
em que,
,

5.7

denominado de massa reduzida da molcula [BRAIN-1968]. O sistema que era de dois

corpos se tornou de apenas de um corpo girando em torno de um ponto fixo.

Centro de Massa Efetivo

Eixo

Intermolecular

ou

Eixo

da

Figura 5.4: molcula diatmica heteronuclear.

De acordo com a mecnica clssica a energia de rotao do sistema dada por:
1
2
a velocidade angular e

5.8

o momento angular total [BRAIN-1968]. Desta equao

conclumos que no existem restries para os valores de energia de rotao do sistema. Mas
de acordo com os fundamentos da mecnica quntica, somente certos nveis de energia
rotacionais discretos so permitidos, ou seja, a energia rotacional quantizada. Estas energias
podem ser obtidas atravs da equao seguinte [BRAIN-1968]:

115

8
com

5.9

sendo o nmero quntico rotacional e assume os valores 0, 1, 2, 3.... Este obtido da

soluo da equao de Schrdinger do rotor rgido. Usando as duas ltimas equaes chega-se
no seguinte resultado [BRAIN-1968]:
1 ,

5.10

deste, pode-se calcular o momento angular total para qualquer valor de

. A constante

igual a 2 . Agora, combinando as equaes 5.8 com 5.10, obtemos a relao que fornece
os nveis de energia rotacionais de uma molcula, isto ,

1
2

Considerando

5.11

2 , temos de [HERZBERG-1950] que:

1

Onde, o termo

5.12

corrige o efeito da fora centrifuga devido rotao da molcula

[DIEKE-1961].

5.3.2 Espectro Ro-vibracional

Alm do movimento de rotao, uma molcula diatmica tambm executa um
movimento de vibrao de modo independente do primeiro. Um modelo mais prtico para
descrever o movimento de vibrao o de um oscilador harmnico simples cuja frequncia de
oscilao pode dada por:
1
2
onde

5.13

conhecida como constante de fora do oscilador. O sistema que de dois corpos

pode ser tratado do ponto de vista clssico, como o de um corpo vibrando em relao a um
ponto fixo com amplitude igual variao da distncia internuclear na molcula.

116

A energia potencial clssica

de um oscilador harmnico diatmico proporcional

ao quadrado da distncia em relao sua posio de equilbrio

e pode ser calculada

atravs da seguinte relao:

1
2
com

5.14

[BRAIN-1968]. Desta ltima conclui-se que energia de vibrao pode

assumir qualquer valor. Entretanto, do ponto de vista da mecnica quntica, para uma
molcula que executa um movimento harmnico, a energia vibracional s pode assumir
valores discretos de acordo com a seguinte equao:
1
2
onde

5.15

o nmero quntico vibracional, que pode assumir valores inteiros, como 0, 1, 2,....

Por questes prticas, a energia vibracional tambm pode ser expressa em termos do nmero
de onda. Esta grandeza chamada de termo vibracional,

, e expressa por

1
2
com

5.16

sendo o numero de onda correspondente frequncia de vibrao.

De acordo com a equao 5.15, o menor valor de energia

0 que uma molcula

2. Esta denominada de energia do ponto zero.

diatmica heteronuclear pode ter ,

Outro resultado importante desta equao est relacionado com os espaamentos, , entre os
nveis de energia vibracionais. Eles so eqidistantes, ou seja,

5.17

Mesmo apresentando vrios elementos para a descrio da espectroscopia de espcies

diatmicas, o presente modelo tem o seu alcance restringido a pequenos valores de oscilao
do conjunto ao redor do ponto de equilbrio. Devido a fora de repulso entre os ncleos
atmicos que constitui a molcula, um efeito anarmnico se faz presente no movimento
oscilatrio desta. Portanto, para levar este efeito em considerao, pequenas correes devem

117

ser feitas na energia potencial do sistema com a introduo dos chamados termos
anarmnicos. A energia potencial passa a ser:
1
2
3, 4, 5, . . .

onde

1
6

1
24

1
120

5.18

uma constante dos termos anarmnicos com grau superior a 3.

Logo, a partir deste resultado podemos escrever a seguinte equao para o termo vibracional:
1
2
as constantes

1
2

1
2

5.19

so denominadas de constantes de anarmonicidade, enquanto que o

ndice e indica situao de equilbrio.

Nos modelos usados para mostrar que as energias rotacionais e vibracionais so
quantizadas, os movimentos de rotao e vibrao de uma molcula diatmica foram tratados
de forma independentes, pois o perodo de vibrao

, equao 5.3, menor, em torno

de uma a duas ordens de grandezas, que o perodo de rotao

Para o caso da molcula de

8. 10

.
.

3. 10

1 .
0

[DEMTRDER-2010]. Porm, j foi verificado experimentalmente que eles ocorrem

simultaneamente. De acordo com a figura 5.5, espectro ro-vibracional, para cada nvel de
vibrao existem vrios de rotao. A energia ro-vibracional total

deste sistema,

molcula diatmica internuclear, pode ser descrita como uma simples soma dos termos
rotacionais, equao 5.12, e vibracionais, equao 5.19, logo
1

1
2

5.20

Como j sabemos, no formalismo da mecnica quntica, transies entre estados de

um tomo ou uma molcula, obedecem a certas regras de seleo. Para o caso do espectro rovibracional a regra de seleo dado por

0, 1

5.21

118

com

o nmero quntico rotacional do nvel superior e

o nmero quntico rotacional

do nvel inferior (figura 5.5).

Espectro
Ramo P

Ramo Q

Ramo R

Figura 5.5: Diagrama dos nveis de energia ro-vibracionais, contendo algumas transies
observadas. Na parte inferior do diagrama apresenta um espectro com as linhas de emisso
referentes s transies.
A ltima figura apresenta trs conjuntos de linhas ro-vibracionais, denominados de ramos.
Cada ramo est associado com um valor para . So eles:

1
0

o conjunto recebe o nome de ramo P;

o conjunto denominado de ramo Q;

o conjunto chamando de ramo R.

119

Cada linha dos ramos recebe uma numerao de acordo com o valor de

do nvel de menor

energia. Como nos dois estados vibracionais o menor nvel de energia rotacional para
0, no ramo R a primeira linha espectral corresponde a
0

0, esta linha recebe o nome de

0 . Para o caso da linha identificada como

ramo , a transio ocorre entre

1 , primeira linha do

1.

5.3.3 Espectros Eletrnicos

Faremos agora uma anlise simplificada sobre as transies eletrnicas de uma
molcula diatmica. Nos dois ltimos tpicos foi realizado um estudo sobre as transies
rotacionais e vibracionais, do qual, vimos que o primeiro sempre vem acompanhado do
segundo. Ambas esto intrnsecas transio eletrnica, como veremos a seguir.
Os estados eletrnicos de uma molcula so descritos atravs de curvas de potenciais,
que por vezes, esto relacionadas com a soma da energia potencial e cintica dos eltrons
mais o potencial coulombiano do ncleo. Para um estado eletrnico ser considerado estvel, a
curva de potencial deve apresentar um mnimo. Se este no estiver presente, o estado
eletrnico ser instvel (figura 5.6), ou seja, os tomos que constitui a molcula se repeliram
para qualquer distncia internuclear.

Figura 5.6: Curvas de potenciais tpicas de uma molcula diatmica, com

internuclear de equilbrio.

sendo a posio

120

Pela aproximao de Born-Oppenheimer, a energia interna

de uma molcula

dada por :
.

Onde

a energia dos estados eletrnicos,

5.22

a energia de vibrao e

a energia

de rotao. Esta equao tambm pode ser expressa em termos do nmero de onda, isto ,
5.23
Em que
que,

o nmero de onda correspondente aos nveis de energia da molcula, enquanto

so dados pelas equaes 5.12 e 5.19, respectivamente.

Usando a equao 5.22, podemos calcular as posies das linhas espectrais pela
subtrao do termo de energia de um estado superior pelo termo de energia do estado inferior.
Logo temos
5.24
uma constante, onde o

Para uma dada transio eletrnica definida,

espectro final possui uma forma similar ao espectro ro-vibracional. Considerando que
, as linhas espectrais sero dadas por:
1
2
1
2

1
2
1
2

1
2
1
2

5.25

Esta equao descreve todas as transies possveis entre os diferentes nveis vibracionais de
um determinado par eletrnico.
Um espectro rotacional pertencente a uma determinada transio vibracional
especfica pode ser escrito, usando a equao 5.24, da seguinte forma:
5.26
com o termo

sendo denominado origem da banda.

121

Combinando as equaes 5.12 e 5.24 e fazendo uso das regras de seleo,

0, 1,

as posies das linhas espectrais sero dadas por trs ramos, ou seja,
:

5.27

5.27

5.27

Num tomo, o movimento dos eltrons se d sobre a ao de um campo de fora,

produzido pelo ncleo, cuja simetria esfrica. Neste caso, o momento angular orbital
eletrnico ( ) permanece constante. Para uma molcula diatmica, devido a presena de dois
ncleos atmicos, a simetria do campo reduzida. Como conseqncia disto, apenas uma
componente de projeo, , do momento angular orbital ao longo do eixo da molcula
permanece constante durante o movimento orbital, figura 5.7, justificando assim, seu uso na
caracterizao de um estado eletrnico. A componente assume os valores: 0, 1, 2, 3, 4,...
que por suas vezes, esto associados com um letra , , , , ) do alfabeto grego. De
acordo com a figura 5.7, o mximo valor que pode ter o de , isto , quando este estiver
totalmente projetado sobre o eixo da molcula.
J

Eixo

Figura 5.7: Acoplamento entre as componentes do momento angular orbital e da resultante de

spin eletrnico.
Em relao resultante de spin eletrnico, , sua componente de projeo sobre o
eixo internuclear pode assumir os seguintes valores:

1,

2, ,

5.28

122

O acoplamento entre e

resulta no momento angular eletrnico total que

tambm est projetado sobre o eixo da molcula. A relao usada para calcular dada por:

Para

0, existem 2

5.29

1 valores possveis para (

). A notao

espectroscpica usada para representar um estado eletrnico tem a seguinte forma geral:
2S+1

5.30

Esta relao nos informa que um termo eletrnico se desdobra em um multipleto de 2

componentes. Tomando como exemplo uma situao onde

2 e

1, 0, 1 ,

obtemos:

3, 2, 1.

5.31

Logo, do resultado da relao 5.31, teremos as seguintes notaes espectroscopias: 3 , 3 ,

3

. A figura 5.8 mostra as representaes vetoriais destes trs estados.

Figura 5.8: Representao vetorial dos estados 3 , 3 , 3 .

Para informaes sobre os casos de Hund e regras de seleo veja as referencias [NAGAI2004]

123

5.3.4 Intensidade das Estruturas Rotacional e Vibracional

A intensidade de uma linha espectral,

, numa emisso ptica entre dois estados

eletrnicos de uma molcula dada por [JNIOR-2006]:

5.32
onde,

o nvel superior com os nmeros qunticos

o nvel inferior com os nmeros qunticos

estado eletrnico ,
,

a densidade de molculas no estado inicial;

a probabilidade de transio de Einstein para uma emisso espontnea.

De acordo com a mecnica quntica, o coeficiente

elementos

est relacionado com os

da matriz de dipolo, isto [JNIOR-2006]:

64
3

Em que,

5.33

2J 1, o peso estatstico do estado superior.

Segundo a aproximao de Born-Oppenheiner, os movimentos eletrnico, vibracional

e rotacional de uma molcula so independentes. Com isso, o termo do somatrio da equao
5.33 pode ser reescrito da seguinte forma:
|
Onde

o momento de transio eletrnico,

5.34

o momento de transio vibracional e

o momento de transio rotacional. Este ltimo termo igual:

A densidade de molculas no estado inicial,

, da relao 5.32 dada por:

5.35

124

2J

5.36

Com,

o nmero total de molculas;

a funo partio;

2
0e

0 para

representa o desdobramento tipo , com

1 para

0;

so os termos eletrnico, vibracional e rotacional respectivamente.

Usando as equaes 5.33, 5.34 e 5.36 na equao 5.32 e fazendo algumas

manipulaes matemticas, obtemos o seguinte resultado para a intensidade

em que

:
5.37

uma constante de emisso dada por:

64
3

5.38

Considerando apenas uma seqncia de rotao para um nvel vibracional qualquer, o

termo

da expresso 5.37 constante, com isso,

passa a ser

igual a:
5.39
Usando a equao ro-vibracional 5.12 e negligenciando os termos da estrutura fina
mais simples, temos que:
1

5.40

Substituindo esta ltima equao na relao 5.39, chegamos ao seguinte resultado para a
intensidade de uma linha de emisso devido transio rotacional:

125

5.41
Onde

fora de linha ou fator de Honl-London e

a temperatura rotacional.

Atravs desta equao pode-se determinar a temperatura rotacional de um sistema, que por
sua vez, est associada com a temperatura do gs numa descarga eltrica, supondo que esta
apresenta um equilbrio de Boltzmann para a distribuio dos estados rotacionais de uma
molcula. No presente trabalho, usaremos algumas linhas do espectro rotacional da molcula
OH para determinar a temperatura dos microplasmas.

126

6. Alargamento de Linhas Espectrais

Faremos neste captulo uma anlise pragmtica dos principais mecanismos

relacionados com o alargamento de uma linha espectral. Deduziremos a relao usada para
calcular a densidade de eltrons via efeito Stark. Para mais informaes sobre alargamento de
linhas espectrais, veja as referncias [THORME-1999, COLLINS-2003, FELIZARDO-2007,
JORGE-2009, BOGOS-2010].

6.1 Alargamento Natural

O alargamento natural pode ser explicado tanto pela teoria clssica ou pela mecnica
quntica. Para as duas teorias este alargamento uma conseqncia do tempo de vida finito
do excitado devido emisso espontnea. De acordo com principio da incerteza de
Heisenberg da radiao clssica, ~1, a mesma disperso de frequncia, ~ 1 2 ,
observada no principio de incerteza de Heisenberg na forma de ~ com

No entanto, existe uma diferena conceitual entre as teorias clssica e quntica. A primeira
atribui disperso da frequncia ao decaimento do trem de onda emitido, enquanto que a
segunda atribui esta disperso a largura finita dos nveis de energia discretos envolvidos na
transio [THORME-1999].
Em relao ao perfil da linha emitida, ela pode ser obtida a partir de cada uma das
teorias mencionadas acima, atravs da transformada de Fourier do domnio do tempo para o
domnio das frequncias. Nas duas descries a intensidade do sinal decai exponencialmente
com o tempo. Para o caso clssico o perfil de uma linha espectral com frequncia

dado

por [THORME-1999]:
1

4
4

6.1

127

em que, , uma constante de decaimento. Esta funo lorentziana foi normalizada fazendo a
integral de rea igual unidade. A relao 6.1 pode ser reescrita em termos do pico de
intensidade

, ou seja,
4
4

6.2

A figura 6.1 mostra o perfil de uma funo Lorentziana com uma largura meia altura
2 .

igual a

0,5

Figura 6.1: Funo Lorentziana, ou distribuio, com a sua respectiva largura a meia altura
(FWHM Full Width Half Maximum).
Do ponto de vista clssico, se o amortecimento totalmente devido perda de
radiao, temos que:

2
3

6.3

Logo,

3
Nesta situao

6.4

depende somente da frequncia [THORME-1999]. Na mecnica quntica

o valor de para um tomo real com muitos nveis dado por:

128

6.5

A equao 6.5 relaciona a probabilidade de transio total (para as transies permitidas),

entre o nvel

e os diferentes nveis

, com o tempo de vida do nvel .

Agora, considere um nvel inferior (exceto o estado fundamental ou metaestvel) da

transio

seja tambm alargado, figura 6.2. O perfil de linha para a transio entre esses

dois nveis alargados obtido pela convolao de duas funes Lorentzianas. A forma da
linha final tambm Lorentziana cuja largura igual soma das duas larguras separadas
[THORME-1999].

Figura 6.2: Alargamento natural,

, das linhas espectrais como resultado da convoluo de

duas Lorentzianas.
Desta figura podemos deduzir a expresso geral para a largura a meia altura devido ao
alargamento natural:
1
2
Onde

so dados pela equao 6.5.

1
2

6.6

129

6.2 Alargamento Doppler

O alargamento Doppler conseqncia direta da agitao trmica, isto , do
movimento dos tomos ou molculas que constitui um meio gasoso. Considere o
comprimento de onda de uma radiao emitida por um tomo, que por sua vez, movimenta-se
em relao a um observador, seja alterado devido prpria velocidade do tomo. Supondo
que a componente da velocidade paralela a direo de observao seja

em questo, o

comprimento de onda ser deslocado de:

6.7

onde a velocidade da luz no vcuo e

o comprimento de onda do tomo emissor.

Como j foi dito no inicio deste tpico, o efeito Doppler est associado com o
movimento trmico das partculas de um gs, sendo assim, vamos assumir que, o gs
apresenta um ETL e as velocidades destas partculas obedecem lei de distribuio de
Maxwell, logo:
6.8

2
com

sendo a temperatura e a massa das partculas respectivamente. A frao de

partculas que se deslocam em direo do observador com velocidades entre

dada por:
1

6.9

onde

a velocidade mais provvel das partculas,

nmero de massa e R

a constante dos gases idias. Combinando as relaes 6.7 e 6.9 obtemos:

6.10

130

Em que definimos

como o alargamento trmico (ou translacional) e

de

alargamento Doppler. Aps algumas suposies feitas sobre a equao 6.10 e considerando
somente o efeito Doppler nesta mesma equao, a distribuio de intensidades corresponder
a um perfil Gaussiano, figura 6.3, e tem a seguinte forma:

Onde

6.11

a intensidade total da linha espectral. A figura seguinte mostra o perfil da linha

espectral obtida da expresso 6.11.

Figura 7.3: perfil da linha espectral associado com o alargamento Doppler.

Aps realizar algumas manipulaes matemticas na relao 6.11, chega-se no
seguinte resultado para o alargamento Doppler:

7,16. 10

6.12

Deste resultado conclui-se que o alargamento Doppler ser mais relevante para linhas
emitidas por tomos ou molculas leves e com altas temperaturas.

131

6.3 Alargamento por Presso ou Colisional

Sabe-se que por meios de experimentos que as linhas dos espectros de emisso ou
absoro de tomos e molculas so alargadas, algumas vezes de forma assimtrica, e tambm
podem ser deslocadas pelo aumento da presso do gs e pela presena de ons e eltrons. Tais
perturbaes (alargamento, deslocamento de linhas espectrais e deslocamento de nveis de
energia) ocorrem devido s interaes do tomo (ou molculas) emissor ou absorvedor com as
partculas vizinhas (ons, eltrons e os demais tomos) presentes no gs.
Existem dois tipos de teorias, aproximaes, principais para o alargamento por
presso. Uma lida com as fracas, mas numerosas, perturbaes que causa pequenas
quantidades de alargamento. A outra teoria concernida s grandes, porm infrequentes,
perturbaes que determina a forma dos alargamentos de linha. Tais teorias so conhecidas
como: teoria de alargamento por impacto (aproximao por impacto) e a teoria de
alargamento esttico (aproximao quase esttica) respectivamente. Na aproximao por
impacto considera-se uma coliso quase instantnea, do qual o tempo de durao desta
coliso,

, muito menor que o tempo de radiao,

, ou seja,
6.13

Enquanto que na aproximao quase esttica considera uma perturbao continua (

[GRIEM-1964]. Destas duas teorias, faremos uma anlise apenas da primeira (teoria do
alargamento por impacto) no qual obteremos a expresso para a largura meia-altura da linha
espectral emitida por tomos ou molculas. Para informaes sobre a teoria de alargamento
esttico, consulte as referencias [KUHN-1969, GRIEM-1964, GRIEM-1974].
Considere que a perturbao

de um nvel de energia de um tomo ou uma

molcula emissora causada pela passagem de uma partcula perturbadora, possui uma
dependncia com a distncia

dada por [KUHN-1969, GRIEM-1974]:

6.14

132

de forma que a mudana na frequncia do fton emitido ser dada por [GRIEM-1974]:

onde

6.15

conhecida como a constante de interao, e deve ser empiricamente determinada a

partir de experimentos realizados em laboratrios.

Considerando que as colises entre as partculas perturbadoras e pertubadas ocorrem
devido s foras coulombianas, as interaes podem ser vistas como de longo alcance.
Logo, a distncia de coliso

, conhecida tambm como distncia de impacto ou parmetro

de impacto, da partcula incidente (perturbadora) atingida quando ocorrer sua maior

aproximao do alvo emissor (tomos ou molculas). Como j foi mencionado no inicio deste
tpico, na teoria de alargamento por impacto, considera-se que as colises so de curta
durao e de fracas interaes, sendo assim pode-se supor que a trajetria da partcula
incidente praticamente permanece inalterada durante a interao com o alvo emissor, veja
figura 6.4. Esta suposio denominada caminho de aproximao clssico e est de alguma
forma presente nas teorias de alargamento colisional [KUHN-1969, GRIEM-1974].

Figura 6.4: Caminho de aproximao clssica de uma partcula perturbadora que tem um
parmetro do impacto igual a .

133

Para calcular o deslocamento de frequncia na sua totalidade causada pela coliso,

considerando que o deslocamento de fase acumulado grande o suficiente, dizemos que o
trem de onda foi interrompido (ocorreu uma interrupo da radiao emitida) e uma coliso
aconteceu. Para calcular o deslocamento de fase total

, usaremos o caminho de

aproximao clssica, figura 6.3, descrito pela partcula perturbadora. Desta figura obtemos a
relao:
.
O deslocamento de fase total

6.16

dado por:

6.17

usando as relaes 6.15 e 6.16 na equao 6.17 e realizando a integrao, obtemos o seguinte
resultado:
.

6.17

em que,

1 2
n2

O termo x a funo gama; no a confunda com a resultante de acoplamento

6.18
. Da

relao 6.17, obtemos o seguinte resultado para o parmetro de impacto:

2
.

6.19

Deste ltimo resultado, verifica-se que para o menor valor do deslocamento de fase, o
parmetro de impacto atingir o seu maior valor de modo a produzir tal deslocamento. A
condio para que o parmetro de impacto produza o mnimo de deslocamento de fase
possvel de modo que ocorra uma interrupo no trem de onda denominada de raio de
Weisskopf e dado por [KUHN-1969, GRIEM-1974]:

134

6.20

Uma vez que o raio de Weisskopf define a distncia dentro do qual qualquer encontro, entre
partcula perturbadora e partcula emissora, e produza um deslocamento de fase
suficientemente grande de modo que tal encontro possa ser considerado uma coliso, o raio
pode ser usado para calcular a seo de choque geomtrica colisional
1

mdio entre as colises

e o tempo

. A frequncia colisional dada por:

6.21

com

sendo a densidade de partculas perturbadoras e

a velocidade relativa entre as

partculas perturbadora e emissora. Tal velocidade relativa dada pela seguinte equao:
8

Onde

6.22

a massa reduzida do conjunto irradiador-perturbador e

a temperatura do meio.

No desenvolvimento da teoria de alargamento por impacto assume-se que as colises

so adiabticas, isto , as perturbaes nas energias esto associadas somente aos processos
colisionais. Do principio de incerteza de Heisenberg para as partculas em coliso, temos:

6.23

e,
1
4

6.23

Usando as equaes 6.20 e 6.22 em 6.23 (b), obtemos o seguinte resultado:

1
4
1
4

Da literatura temos que [DEMTRDER-1996]:

6.24

135

6.25

Substituindo este resultado na equao 6.25, obtemos o seguinte resultado:

1
4

6.26

Esta equao representa largura a meia altura do alargamento por coliso prevista pela teoria
por impacto.

6.4 Alargamento Ressonante (Auto-Alargamento)

O alargamento ressonante,

.,

ocorre somente entre espcies idnticas, ou seja, o

par de partculas emissor/perturbadora composto por tomos ou molculas idnticas. Alm

disso, o alargamento ressonante, est confinado s linhas com o nvel superior ou inferior
tendo uma transio por dipolo eltrico para o estado fundamental. A relao usada para
estimar a largura a meia altura (FWHM) do auto-alargamento dada por:

8,6. 10

g g

fN

6.27

onde, g e g so os pesos estatsticos dos nveis inferior e superior respectivamente, o

comprimento de onda da linha observada, e f o comprimento de onda e a fora de
oscilador da linha ressonante.

6.5 Alargamento de van der Waals

O alargamento de van der Waals surge da interao de dipolo de um tomo excitado
com momento de dipolo induzido de um tomo no estado fundamental. Pela teoria de
alargamento por impacto descreve-se o mecanismo associado ao alargamento do presente
tpico. Sabe-se da literatura que o potencial associado com a fora de van der Waals entre
quaisquer tipos de tomos, independentemente do estado, proporcional a

[KUHN-

136

6 para o presente caso de

1969]. Sendo assim, de acordo com a relao 6.26,

alargamento. Como consequncia disto, temos:
1
4

a constante de interao

6.27

, pode ser estimada da seguinte forma [CHRISTOVA-2004]:

9. 10

6.28

onde,
9
2

3
4

6,7. 10

6.29

e,
2,5

6.30

sendo,
a polarizabilidade atmica mdia;
13,6

a energia de ionizao do tomo de hidrognio;

a energia do primeiro nvel excitado do tomo perturbador;

a diferena entre o quadrado das coordenadas vetoriais do nvel superior

e inferior

;
a energia de ionizao do tomo emissor ou irradiador;
a energia do estado superior

ou inferior

.
3 8 , chegamos no

Combinando as equaes (6.27), (6.28), (6.29) e fazendo

seguinte resultado:

1
4

27
2
16

6.31

Aplicando a lei dos gases ideais s partculas perturbadores e considerando que a

frao percentual molar destas partculas no meio

, temos que [CORRA-2009]:

137

6.32
Ou,
6.33
Com

sendo a presso e

a temperatura do meio. Aplicando este resultado na equao 6.31,

obtemos:

1
4

27
8

6.34

Esta equao nos fornece a largura a meia-altura do perfil, Lorentziano [GRIEM- 1997] de
alargamento van der Waals.

6.6 Alargamento Stark Linha

Faremos agora uma discusso qualitativa do efeito Stark associado aos microcampos
eltricos produzidos pelas partculas carregadas, ons e eltrons, presentes numa descarga
eltrica. Sendo mais objetivo, discutirmos a teoria de Gig-Card [GIGOSOS-1996, GIGOSOS2003] que inclui os processos mais relevantes, como a dinmica dos ons no plasma, e
constitui uma das aproximaes mais exatas da atualidade [TORRES-2006]. Atravs do
modelo Gig-Card se obtm a relao usada para calcular a largura meia-altura,
, do perfil de linha associada ao alargamento Stark [GIGOSOS-2003].
O modelo de Gig-Card baseado na simulao numrica computacional do
comportamento de todas as partculas em um plasma. O campo eltrico criado pelas partculas
carregadas, eltrons e ons, que perturba a emisso do tomo obtido [TORRES-2006]. Neste
modelo o plasma considerado fracamente acoplado, homogneo, isotrpico, apresenta uma
neutralidade macroscpica e est em equilbrio trmico. As partculas carregadas so
partculas clssicas independentes que se deslocam em trajetrias retilneas com velocidade

138

constante.

A distribuio de velocidades dada pela lei de distribuio de Maxwell-

Boltzmann uma vez que o sistema est em equilbrio temordinmico. Para levar em conta a
cintica das partculas emissoras, utiliza-se o modelo on- [GIGOSOS-2003] que considera
que o emissor est em repouso e a distribuio de velocidade dos ons corresponde lei de
distribuio de Maxwell para partculas com massa igual massa reduzida do par
emissor/perturbador [GIGOSOS-2003]. As partculas movem numa esfera de Debye centrada
no emissor cujo tamanho est relacionada com a distncia mdia entre os eltrons, que
determinada pela densidade eletrnica [TORRES-2006].
Os resultados obtidos atravs da simulao numrica para as densidades, temperaturas
eletrnicas e para as larguras meia-altura das linhas
elaboradas por Gigosos

esto apresentados em tabelas

Cardenoso [GIGOSOS-1996, GIGOSOS-2003]. A partir da

interpolao dos valores dos obtidos para FWHM para as linhas

destas tabelas, so

deduzidas as expresses do alargamento Stark, , sem sobreestimar as intensidades dos

campos eltricos, as quais esto associadas ao perfil final (Lorentziano) das linhas da srie de
Balmer do tomo de hidrognio, sendo dependentes da densidade e temperatura eletrnica do
meio [CORRA-2009].
A expresso usada, no presente trabalho, para calcular o valor da FWHM do
alargamento Stark dada por [CORRA-2009]:

20

10

6.35

Para mais detalhes sobre o contedo apresentado neste tpico, veja as referencias
[GIGOSOS-1996, GIGOSOS-2003, TORRES-2006].

139

6.7 Alargamento Instrumental

As linhas de emisso ou absoro que esto associadas s transies entre os nveis
quantificados possuem uma largura finita. Tal alargamento espectral pode estar relacionado a
vrios fenmenos fsicos. A contribuio do aparelho de medida, espectrmetro ou
monocromador, para o alargamento deve ser introduzida com a resoluo espectral finita do
prprio. A relao entre a largura meia-altura em comprimento de onda associada ao perfil
instrumental

e a resoluo do aparelho dada por [KUHN-1969]:

6.36

desta relao conclumos que quanto maior a resoluo do aparelho, menor ser a
contribuio do instrumento de medida no perfil final da linha espectral.
A resoluo espectral um dos critrios mais importantes para a evoluo de um dado
mtodo espectroscpico, e definida como o intervalo mnimo entre duas linhas que pode ser
resolvida por este mtodo (equao 6.36).

6.8 A Convoluo dos Perfis de Linha Perfil Voigt

Nos tpicos anteriores foi realizada uma anlise dos principais mecanismos fsicos e
experimentais do alargamento de uma linha espectral. Vimos que esta apresentou dois tipos
de perfis, Gaussiano e Lorentziano, de acordo com o alargamento em questo. Na realidade a
forma final de uma linha espectral apresenta a convoluo dos dois perfis anteriormente
citados que resulta em um novo perfil denominado perfil Voigt V como mostra a figura
6.5. A funo de descreve este ltimo :

onde [LAUX-1993],

6.37

140

2 1
G

6.38

e,

6.39

sendo,

a largura meia-altura de um perfil Gaussiano;

a largura meia-altura de um perfil Lorentziano.

Usando as relaes 6.38 e 6.39 na relao 6.37, obtemos a seguinte relao

matemtica para o perfil Voigt [LAUX-1993]:

L
G

6.40

Temos a seguir a figura 6.5 que mostra os perfis Voigt, Lorentziano e o Gaussiano.

Figura 6.5: Perfil Voigt como resultado da convoluo dos perfis Gaussiano e Lorentziano.
Usando a transformada de Fourier, o teorema da Convoluo e fazendo algumas
manipulaes matemticas, como est bem descrito na referencia [CORRA-2009], obtemos
os seguintes resultados para

[SISMANOGLU-2009]:

141

6.41

e,

6.42

so a convoluo dos vrios perfis Gaussianos e Lorentzianos que resultam na funo

Voigt (equao 6.40).

Para o presente trabalho, como j foi discutido nos tpicos que antecedem a este,
temos da relao 6.41 que:

6.43

6.44

e da relao 6.42,

Apesar de ter sido descrito em um tpico independente, o alargamento Stark est

fundamentado na teoria do alargamento colisional.
A largura meia-altura de um perfil Voigt,

, pode ser estimada atravs da seguinte

relao matemtica [SISMANOGLU-2009]:

Deste resultado verifica-se que

Gaussianos e Lorentzianos.

1 .

6.45

est associado com as larguras meia-altura dos perfis

142

7. Mtodos Usados nos Clculos dos Parmetros das Microdescargas

Discutiremos a seguir os mtodos utilizados para calcular alguns parmetros das

microdescargas geradas no microcatodo oco atravs dos estudos dos espectros obtidos em
nossas medidas espectroscpicas.

7.1 Determinao da Temperatura de Excitao

Como j foi discutido no captulo 2 um plasma pode apresentar algum tipo de
equilbrio em que a temperatura eletrnica igual temperatura de excitao, mas existem
situaes de equilbrio, equilbrio de Saha parcial Local, em que isto no verdadeiro. Devido
a esta situao escolhemos o mtodo grfico de Boltzmann para determinar a temperatura de
excitao eletrnica.

7.1.2 Mtodo Grfico de Boltzmann

Para calcular os valores das temperaturas de excitao eletrnica,

, utilizamos a

tcnica baseada na medida das intensidades das linhas espectrais emitidas pelo microplasma,
que por sua vez, pode apresentar um dos seguintes equilbrios: equilbrio termodinmico local
(ETL), equilbrio denominado plasmas a duas temperaturas 2

T e equilbrio de Saha

parcial local ES pL . Todos esses equilbrios j foram discutidos no capitulo 3. Usando as

equaes 3.29, 5.4 e fazendo algumas manipulaes matemticas, obtemos a seguinte
expresso para a intensidade de uma linha espectral devido transio entre dois estados
atmicos ou moleculares:
g
Onde,

7.1

143

densidade de tomos no estado fundamental;

funo partio;
g

o peso estatstico do nvel superior;

o energia do nvel superior;
a temperatura associada com a energia necessria para excitar um eltron de um

nvel de energia para outro.

Esta expresso s deve ser usada para os estados que apresentam o equilbrio de Boltzmann.
Aplicando-se o logaritmo em ambos os lados de equao 7.1, chega-se no seguinte resultado:
7.2

g
O grfico de

em funo de

nos fornece uma reta, do qual, podemos obter o valor

da temperatura de excitao pela sua inclinao

. Tal procedimento pode ser visto

pelo grfico da figura 7.1 dada a seguir:

19,0

T
=(0,74 0,4)eV
exc

18,5
18,0
17,5

ln[(Iji)/(gjiAji)]

17,0
16,5
16,0
15,5
15,0
14,5
14,0
13,5
13,0
12,5
12,0
13,0

13,2

13,4

13,6

13,8

14,0

14,2

14,4

14,6

14,8

E(eV)

Figura 7.1: Mtodo de Boltzmann usado para determinar a temperatura de excitao

eletrnica para um microdescarga realizada a uma presso de 600

e a corrente de 15

144

7.2 Determinao da Temperatura da Microdescarga

O mtodo utilizado para determinar a temperatura da microdescarga baseado no

espectro da hidroxila OH. Usamos o mesmo procedimento do tpico anterior, isto , o mtodo
grfico de Boltzmann.

7.2.1 Temperatura Rotacional: Linhas da Molcula OH

A temperatura rotacional,

, pode ser determinada de maneira anloga quela

empregada na temperatura de excitao eletrnica (excitao dos eltrons ligados), sendo

assim, o microplasma deve apresentar algum dos equilbrios mencionados no tpico anterior e
com isso, atravs das intensidades relativas das linhas de emisso, devido s transies
rotacionais de uma molcula, calcula-se o valor de

a partir da lei de distribuio de

Boltzmann [CALZADA-1996, DIEKE-1961]. A equao a seguir, estabelece a relao entre a

intensidade das linhas de emisso

do espectro rotacional com a distribuio de

Boltzmann:

7.3

De acordo com as referncias [LAUX-2003, CAPITELLI-2000], as energias de

rotao e translao de uma molcula (OH em nosso caso) presente num plasma em alta
presso so ressonantes, isto , os graus de liberdade rotacionais e translacionais esto em
quasi-equilbrio. A partir disso, podemos concluir que, se no plasma as partculas pesadas
esto termalizadas, a temperatura do gs

prxima da temperatura rotacional, isto :

7.4

145

A temperatura do gs est relacionada com a energia translacional das partculas

pesadas. Substituindo a igualdade 7.4 na relao 7.3 e aplicando o logaritmo em ambos os
lados desta ltima, obtemos o seguinte resultado:
7.5

Por meio da inclinao da reta do grfico obtido do plot da relao 7.5 determina-se a
temperatura do gs.
Para o presente trabalho, como j foi dito anteriormente, utilizaram-se as intensidades
das linhas de emisso devido s transies rotacionais da hidroxila OH, para ser mais preciso,
os espectros da transio A2+ - X2 (ramo

) na banda de 3060 a 3120. A figura 7.2

dada a seguir, mostra um espectro tpico obtido em nossos experimentos para as transies
rotacionais da molcula OH com a identificao das linhas pertencendo ao ramo

3000

1000

Q1(15)

Q1(14)

Q1(13)

Q1(12)

Q1(10)

Q1(8)

Q1(11)

Q1(2)

1500

Q1(1)

I (a. u.)

2000

Q1(4)
Q1(5)
Q1(6)

Q1(3)

2500

500

0
3080

3090

3100

3110

3120

()

Figura 7.2: Espectro rotacional do ramo Q da hidroxila OH obtido em uma de nossas

microdescargas.

146

As informaes necessrias para confeccionar os grficos via relao 7.5 esto

contidas na tabela 7.1. Lembre-se que atravs da inclinao da reta de cada grfico que
estimaremos a temperatura do plasma.
Tabela 7.1: Informaes sobre os parmetros fsicos usados para determinar a temperatura
rotacional da molcula OH via mtodo de Boltzmann [DIEKE-1961].
J

2
3
4
5
6
8
10
11
12
13
14
15

3079,951
3081,541
3803,278
3085,196
3087,338
3092,294
3095,586
3102,142
3106,017
3110,223
3114,769
3119,668

6,46621
6,48641
6,51328
6,54683
6,58693
6,68671
6,81203
6,88407
6,96217
7,08207
7,13627
7,43072

17,0
25,3
33,7
42,2
50,6
67,5
84,1
92,4
100,6
108,8
117,0
125,2

O grfico da figura 7.3 corresponde distribuio de Boltzmann correspondente ao espectro

da figura 7.2.

T=(765 10)K

ln[(Ijj)/(Aj)]

6,40E-019

6,50E-019

6,60E-019

6,70E-019

6,80E-019

E(J)

Figura 7.3: determinao da temperatura rotacional pelo mtodo de Boltzmann para uma
descarga gerada sob a presso de 600

e uma corrente de 15

nesta situao eletrodos de cobre e um furo de 250

. O MCO aberto usado

147

7.3 Determinao da Densidade Eletrnica

A seguir faremos uma discusso do mtodo adotado para determinar os valores das
densidades eletrnicas apresentados em nossas microplasmas. Tal mtodo no estudo do
perfil da linha H do tomo de hidrognio.

7.3.1 Alargamento Stark Linha H

Atravs da linha de emisso H dos tomos de hidrognio determinamos os valores
das densidades eletrnicas,

, pelo alargamento Stark associado aos microcampos eltricos

produzidos pelas cargas eltricas presente na microdescarga, seo 6.6. De acordo com alguns
autores [LAUX-1993, GIGOSOS-1996, GIGOSOS-2003], de forma geral, esse procedimento
vlido quando o valor da densidade eletrnica est compreendida entre 5
10

10

a1

, onde considera-se que o alargamento Stark predominante aos outros. Nas

referencias [CORRA-2009, SISMANOGLU-2010], foram realizados estudos sobre quais

tipos de alargamentos associados aos processos fsicos so mais relevantes no perfil final da
linha H emitida pelos microplasmas produzidos por nosso grupo de pesquisa. Eles
mostraram que os alargamentos ressonantes e naturais praticamente no contribuem para o
perfil final linha H , ou seja, podem ser negligenciados, enquanto que os outros como
Doppler, Van der Waals e Stark devem ser levados em considerao, principalmente o ultimo
10

para

A linha de emisso H
comprimento de onda

do espectro do tomo de hidrognio est centrada no

4860.8 e possui um perfil Voigt, figura 7.4, do qual usado

atravs da sua largura meia-altura para estimar o valor de

de

e consequentemente o valor

148

700

600

I(u. a.)

500

400

V = 1,240

300

200

100

0
4854

4856

4858

4860

4862

4864

4866

4868

()

Figura 7.4: espectro da linha H obtido de uma microdescarga realizada em um MCO aberto
com eletrodos de tntalo e um furo de 250

. A corrente da microdescarga foi

presso de 600

15

ea

).

Para deconvoluir os perfis Gaussianos e Lorentzianos do perfil Voigt, foram usadas as

relaes das larguras meia-altura descritas na tabela 7.3 dada a seguir:

Tabela 7.2: Alargamentos, associados a processos fsicos, mais relevantes aos perfis finais
das linhas H medidas em nossos experimentos.
Alargamento
Doppler

Van der Waals

Stark

Perfil de Linha

FWHM

3,5

2,0

10

36
10

Gaussiano
Lorentziano

Lorentziano

149

O parmetro
que

g.

a temperatura do tomo de hidrognio. Em nossos resultados consideramos

Em relao aos valores da FWHM do perfil instrumental, trabalhamos com trs.

So eles:

0,213

0,31

abertura da fenda do monocromador

de 70

0,35

abertura da fenda do monocromador

de 80

abertura da fenda do monocromador de 60

Para determinar a FWHM do perfil Voigt da linha H , usamos o editor de grficos origin 8.0
(figura 7.4). Este ajusta o seu perfil terico ao obtido experimentalmente em nossas medidas
fornecendo assim o valor do

. Com os resultados dos

s em mos juntamente com os

obtidos das relaes da tabela 7.2 e usando as expresses 6.43, 6.44, 6.45 e por fim, a equao
6.35 calcula-se os valores de

7.4 Determinao da Funo de Distribuio dos Estados Atmicos do Argnio (FDEA)

A seguir, descreveremos o mtodo que foi usado para calcular a densidade de
populao dos estados excitados do tomo de argnio.

7.4.1 Mtodo das Intensidades das Linhas do Espectro do Argnio

Para estimar as densidades de populao dos estados excitados

do tomo de

argnio Ar I , usamos a equao 5.4, que por sua vez, relaciona as intensidades das linhas de
um espectro de emisso, figura 5.1 (a-c), com

. Considerando que o nosso microplasma

esteja no estado estacionrio, temos:

1

7.6

Onde, o somatrio indica que a populao de um determinado nvel excitado pode ser devido
contribuio de vrios outros estados. O ndice

no somatrio indica os nveis que

150

contribuem para a populao do estado

. Em nosso caso, foram identificados cerca de 40

estados nos espectros do Ar I, para a faixa de comprimento de onda de 4000 a 8120. A

tabela 4.2 contm as informaes, destes 40 estados, necessrias a equao 7.6 para os
clculos dos

s.

7.5 Determinao do Parmetro

No presente tpico discutiremos o procedimento usado por ns para efetuarmos os
clculos do parmetro

7.5.1 Razo da FDEA Pela Densidade de Saha

Nos clculos dos valores do fator

foi usado a relao 3.1. Para isto, so

necessrios os resultados das funes de distribuio dos estados atmicos do Ar I (FDEA)

obtidos no tpico 7.4.1 e dos valores dos

estimados via a lei de distribuio de Saha,

relao 3.34. Sabemos que para o clculo de

necessrio saber o valor da temperatura

eletrnica

foram obtidos via o cdigo de simulao

. Para o nosso caso, os valores de

CRModel. Consideramos que a temperatura de excitao eletrnica

associada a cauda

da FDEA da ordem da temperatura eletrnica. Isto implica que parte, o corpo, da funo de
distribuio Maxwelliana foi afetada, como mostra a figura 3.2.

7.6 Determinao da Densidade de tomos de Argnio no Estado Fundamental

A densidade de tomos no estado fundamental um parmetro importante na estrutura
do input, arquivo de entrada, do modelo colisional radiativo que utilizamos para fazer a
modelagem dos microplasmas gerados nos microcatodos ocos. Para determin-la usamos a
equao dos gases ideais (veja tpico a seguir).

151

7.6.1 Equao dos Gases Ideais

A densidade de tomos de argnio no estado fundamental,

, foi determinada a partir

da equao dos gases ideais, ou seja [MAO-1992, GARCIA- 2000, VLCEK-1991]:

em que,

7.7

a presso total que consiste da contribuio das presses parciais dos tomos

neutros, ons e eltrons,

a densidade de tomos neutros,

so as densidades de

ons eltrons respectivamente. Nesta equao foi considerado que as partculas pesadas (ons
e tomos neutros) tm a mesma temperatura que por sua vez, corresponde temperatura do
gs. Isto :
a

Onde,

7.8

so as respectivas temperaturas dos tomos neutros e dos ons. Da expresso

7.7, supondo a neutralidade macroscpica, temos que [MAO-1992, VLCEK-1991]:

7.9

para a faixa de presso que ns trabalhamos a densidade de tomos neutros e cerca de quatro
ordens de grandezas maior que a densidade eletrnica e pelos resultados obtidos para a FDEA
experimental do tomo de argnio, a densidade de estados excitados muito menor que a
densidade total de Ar I na microdescarga. Logo, a relao 7.9 se reduz a:

Os valores de

7.10

foram determinados atravs das linhas de emisso do espectro rotacional da

molcula OH, enquanto que os valores de

manmetros acoplada ao reator.

foram determinados com o auxlio de dois

152

8. Arranjo e Procedimento Experimental

Descreveremos neste captulo a montagem experimental e os procedimentos adotados

nas medidas dos parmetros eltricos, corrente e tenso da descarga, e nas aquisies dos
espectros de emisso do tomo de argnio, da molcula de OH e da linha H .

8.1 Descrio do Aparato Experimental

No presente tpico ser feito uma descrio detalhada do aparato experimental usado
em nossas medidas.

8.1.1 Cmara de Descargas Eltricas (Reator) e os Respectivos Instrumentos de Medidas

com suas Finalidades
A figura 8.1 (a - e) mostra o esboo em trs dimenses do reator visto em diferentes
ngulos. Este reator foi construdo em nosso laboratrio (Laboratrio de ptica e
Espectroscopia de Plasmas Departamento de Fsica/ITA). A partir da figura 8.1 (a - e) ser
feito identificao das conexes e dos componentes que compe a cmara de descargas
eltricas juntamente com as descries dos dispositivos externos (fonte de tenso,
multmetros, fluxmetros, bomba de vcuo, medidores de presso e da fibra ptica) usados no
controle e medida da presso, corrente e tenso eltrica do microplasma e do fluxo de gs para
dentro do reator.
Seguindo a numerao indicada na figura acima, temos que:
1-

: usada para eliminar o vcuo no interior da cmara

de descargas eltricas;
2-

: atravs desta conecta-se uma bomba de vcuo

mecnica Edwards, velocidade de bombeamento de 8

, ao reator com a

153

finalidade de reduzir o mximo de impurezas (presena de gases indesejveis ,

...) e controlar a presso no interior do sistema. A presso residual

atingida da ordem de 2

10

. Para medir este valor de presso foi usado um

barmetro de transdutor capacitivo MKS localizado entre a conexo 2 e a bomba

mecnica de vcuo. Este barmetro monitorado eletronicamente pelo controle MKS
(PR4000);

3-

: nesta conexo usamos um barmetro de

0

diafragma Wallace & Tierman

200

com variao de 1

4-

com trs entradas para as conexes descritas acima;

5-

22
6-

: Possui dimetro interno de 14

e o comprimento de

: atravs desta introduzimos a fibra ptica no interior

da cmara de vcuo de modo a captar o mximo de radiao emitida pelo

microplasma formado no furo do microcatodo oco aberto, e, com isso, obter um
espectro de melhor resoluo;
7-

: sua finalidade fixar o tubo de vidro Pyrex@ para podermos

trabalhar com os outros componentes do reator em segurana;

8-

;
: so constitudos de cobre e tem por finalidade conecta os

9-

eletrodos externos ao capacitor, ou seja, ao MCO aberto;

10-

: usada como um guia de onda que conduz luz emitida pela

microdescarga at ao monocromador;
11-

diafragma Terbrasma de 0

: para essa conexo utiliza-se um barmetro de

1200

154

12-

com quatro entradas para as conexes que sero apresentadas a

seguir;

13-

: por meio dessa injeta-se o gs, ou mistura de gases,

no interior reator para a gerao das microdescargas. O fluxo de gs controlado por

meio de um fluxmetro modelo MKS 247
700

o qual possibilita um fluxo de 0 a

(sccm standard cubic centimeter per minute). O gs utilizado em nossos

experimentos foi o argnio com 99,995% (White-Martins, Air Liquide). A tabela 8.1
contm algumas propriedades fsico-qumicas sobre o tomo e gs de argnio [WhiteMartins].
Tabela 8.1: Propriedades fsicas do tomo e do gs de argnio.

Grandezas

Valores Unidades

Numero atmico

18

Peso atmico

39,9

Massa especifica

1,67

Ponto de fuso

189,3

Ponde de ebulio

185,8

g/

Alm dessas informaes contidas na tabela 8.1, temos tambm que o gs de argnio
incolor, inerte, inodoro, comprimido em cilindros a altas presses e obtido por
destilao do ar lquido;
14-

: so constitudos de cobre e esto isolados da flange por tubos

de vidro que alm disso, facilita o movimento dos eletrodos. De acordo com a figura
8.2, observa-se a presena de trs plugs em uma das extremidades dos eletrodos, eles
so usados para conectar os cabos dos aparelhos de medidas, multmetros digitais
Minipa, e os cabos de uma fonte de tenso de CC. Esta fonte tambm foi construda
em nosso laboratrio e pode fornecer uma tenso de 5

, operando em uma faixa de

155

corrente de 0 a 1 . Para limitar a corrente eltrica da descarga, utiliza-se o conjunto

de oito resistores de 47 localizados no interior da fonte de tenso. Eles podem ser
associados em serie ou em paralelo atravs de um sistema de chaveamento fixo na
parte frontal da fonte.
15-

do reator.

A figura 8.1 (a-c) mostra uma viso geral do reator com alguns dispositivos de medidas
mencionados anteriormente.

Figura 8.1 (a-c): Cmara de descargas eltricas com alguns dos dispositivos de medidas. A
figura (c) mostra a fibra ptica alinhada com a fenda de entrada do monocromador.

156

(a)

(b)

12

4
13

11

14

10

3
2
14
15

15

(c)

10
6
1
11

7
4

2
3

15

12
14
13

(d)

(e)
9
8

Figura 8.1 (a - e): Esboos do reator usado em nossas medidas experimentais.

157

8.1.2 Aparato Usado no Estudo de Emisso ptica

Para fazer o estudo dos espectros discutidos no capitulo 5, dos alargamentos de linhas
espectrais (capitulo 6) e obter alguns parmetros atravs de medidas espectroscpicas
(capitulo 7) dos microplasmas gerados em nossos experimentos, utilizamos um
monocromador de alta resoluo (Jobim-Yvon modelo THR 1000M), uma fibra ptica que
conduz parte da radiao emitida pela microdescarga at a fenda de entrada do espectrmetro
de forma a obtermos um aumento nas intensidade das linhas espectrais.
O nosso monocromador, de montagem Czerny-Turner, tem correo de aberrao de
comma em 4600, 1

de distncia focal e abertura numrica de 7,5. A fenda de entrada e

sada possui um ajuste micromtrico manual que varia de 0 a 3

0 a 20

na horizontal e de

na vertical. J em relao rede de difrao de dimenso 110

110

utilizada no monocromador removvel e com isso, podemos trabalhar com uma rede de
acordo com a faixa espectral a ser analisada. Em nossos experimentos foi usada uma rede
hologrfica plana de 1800

que abrange uma faixa espectral de aproximadamente

de 4000 a 8000.
As anlises dos espectros foram realizadas pela deteco, atravs de uma
fotomultiplicadora (Hummatsu modelo R928), acoplada na fenda se sada do monocromador.
Tal fotomultiplicadora tem resposta espectral desde o ultravioleta at o infravermelho
prximo, 1800 a 9000, e mxima resposta em 4000, e os eletrodos so encapsulados em
quartzo transparente ao UV. Em relao aquisio de dados e o controle de passo foram
realizados pelo aparelho Spectralink que foi desenvolvido pela Jobin-Yvon enquanto que as
anlises dos espectros pelo programa Spectramax. A figura 8.3 mostra o esboo do aparato
usado nas medidas espectroscpicas.

158

Monocromado
Fibra ptica
MCO

Aquisio
de Dados

Figura 8.3: Aparato experimental usado no estudo espectroscpico do microplasma gerado no

microcatodo oco aberto.
O alinhamento ptico da fibra ptica com o furo do MCO aberto foi realizado com o
auxlio de um lazer de HeNe. A distncia entre a face transversal da fibra e o microcatodo oco
variou entre 0,5

1,5

de acordo com o confinamento do microplasma no furo. J para o

alinhamento da fibra com a fenda de entrada do monocromador, se deu de forma manual e

usando como referncia a intensidade da linha 7635,31 do

I. Quanto o maior a

intensidade desta linha espectral melhor o alinhamento entre a fibra e a fenda de entrada.

8.2 Montagem do Microcatodo Oco Aberto

Para realizar a montagem do MCO aberto varias etapas foram seguidas. A seguir
descreveremos a metodologia adotada em cada uma delas.

159

8.2.1 Material Usado na Confeco dos Microcatodos Ocos Abertos

Trabalhamos com trs tipos de chapas, ou folhas, de metais (eletrodos) e um tipo de
dieltrico para a confeco do microcatodo oco aberto. No que se refere s chapas de metais,
escolhemos o molibdnio, cobre e o tntalo pelo fato de todos apresentarem as mesmas
dimenses e tambm por um processo de laminao (diminuir a espessura) e depois por um
tratamento trmico para reduzir as tenses na estrutura do material. A tabela 8.2 contm as
informaes sobre as propriedades destes trs metais usados como eletrodos do MCO.
Tabela 8.2: Propriedades fsicas do molibdnio, cobre e tntalo.
Material
Molibdnio
Cobre
Tntalo

Massa
N0
g
atmico atmica
42
29
73

95,96
63,55
180,95

Massa
especfica
10280
8920
16650

Ponto de
fuso
2896
1358
3290

Dureza
5,5
3,0
6,5

O dieltrico utilizado para confeccionar o microcatodo oco aberto foi folha de mica
(Icomil, Brasil), que um papel laminado com espessura determinada, 200

em nosso

caso, produzido a partir de lascas de mica natural (90%) [SISMANOGLU-2010]. Com isso,
as propriedades fsicas destas folhas de micas so praticamente as mesmas da mica natural.

8.2.2 Procedimentos Seguidos para Fazer os Furos das Chapas Metlicas (eletrodos) e do
Dieltrico
Para fazer os furos nos eletrodos e dieltrico do microcatodo oco foram usados dois
tipos de mquinas e brocas. Em relao aos equipamentos utilizou-se uma mquina de CNC
ProtoMat modelo C100/HF da LPKF Laser & Electronics AG, que uma mquina usada na
confeco de prottipo de circuito impresso (Figura 8.4). A rotao das brocas empregadas
por este equipamento varia de 10000 a 90000

. Alm do CNC, tambm utilizamos uma

microretfica mecnica de preciso Dremel cuja rotao varia de 5000 a 35000

. Esta foi

fixada sobre um suporte de sustentao antivibrao de modo a fazer os furos nos eletrodos e

160

dieltrico com a geometria circular mais perfeita possvel, isto , minimizar as imperfeies
nas bordas dos furos, e tambm uma melhor preciso nas medidas dos dimetros

destes.

Figura 8.4: Mquina de CNC utilizada para fazer os furos nos eletrodos de molibdnio
[YAMAMOTO-2008].
No que se refere s brocas utilizadas para fazer os furos, trabalhamos com dois tipos:
A broca de ao rpido ou haste paralela (Guhring-Alemanha, China) e a broca de haste
reforada.
250

, 500

Os

dimetros
e 1000

escolhidos

para

ambas

as

brocas

foram

de

Quando utilizamos a maquina CNC e a broca de haste reforada para perfurar as

chapas de cobre, tntalo e molibdnio o valor do dimetro ficou 4% acima do esperado, ou
seja, no caso da broca com
260

valor de

250

o dimetro do furo,

, ficou em torno de

. No caso do conjunto microretfica e broca de haste reforada o aumento no

tambm foi de aproximadamente de 4%. Em relao broca de ao rpido a

medida do dimetro do furo pode aumentar quase 20% dependendo do seu manejo. Para o

161

nosso caso, utilizamos vrios pedaos de mica com as mesmas dimenses do eletrodo e as
sobrepomos nestes de forma quando a broca fosse perfurando-as, esta, broca, se firmava e ao
chegar superfcie do eletrodo o perfurava sem espanar as bordas do furo. Com isso,
conseguimos obter furos com dimetros aproximadamente 5% maior do que o esperado.
Depois de realizadas as perfuraes nas chapas metlicas, estas so polidas de forma a
eliminar o mximo de pequenas pontas em torno das bordas dos furos, evitando assim o efeito
de ponta, e tambm remover o xido formado sobre a superfcie dos eletrodos, uma vez que, o
oxido muda a composio da superfcie e, alm disso, serve com fonte de impurezas para o
microplasma gerado no furo. Um procedimento complementar na remoo do oxido presente
nas superfcies dos eletrodos foi realizado atravs de um sputtering durante a pr-descarga
com durao de aproximadamente 10 minutos.

8.2.3 Alinhamento dos Furos dos Eletrodos com o do Dieltrico

Seguidas as etapas do tpico anterior, d-se inicio ao processo de montagem do
microcatodo oco aberto. Os dois eletrodos (chapas de cobre, molibdnio ou tntalo) so
fixados no dieltrico, mica, com pequenas tiras de fitas adesivas de PVC de modo que eles
podem ser deslocados at que seus furos fiquem ajustados com o do dieltrico. Para
minimizarmos a presena de impurezas na regio da descarga produzidas durante o
funcionamento do MCO, no usamos cola para fixar os eletrodos na mica, dificuldade no
alinhamento dos furos e por fim, ao perfurar as trs superfcies (o conjunto) o aumento no
valor do dimetro do dispositivo fica em torno de 15 a 25%.
Com o auxlio de um microscpico ptico (Universal Photomicroscope UltraphtZeiss) e de uma broca de haste paralela foi realizado o ajuste fino no alinhamento dos furos
dos eletrodos e mica. Tambm foi com o auxilio deste microscpio que verificamos se os
furos se mantiveram alinhados no suporte de teflon.

162

8.3 Limpeza e Evacuamento da Cmara de Vcuo

Para eliminar o mximo de impurezas no interior do reator e, com isso, ter somente a
quantidade e presena dos gases (ou gs) necessrios para a gerao dos microplasmas
adotou-se procedimentos criteriosos tanto para a limpeza quanto para o evacuamento do
reator. Em relao limpeza do tubo de vidro Pyrex@ e de todos componentes que se
encontram no interior da cmara de descargas eltricas usamos acetona (IMPEX, acetona PA
ACS, 99,5%) e um tipo de papel usado em salas limpas (termo usado para especificar
alguns laboratrios que trabalha com deposio de filmes finos).
Terminado a limpeza do reator, fecha-se este e damos inicio aos procedimentos de
evacuamento do sistema. Para isso, usamos uma bomba mecnica de vcuo, como descrito
anteriormente, para retirar o ar, isto , reduzir a presso, em nosso caso o valor da presso
residual ficou em torno de 1,5

10

. Aps esta etapa, cobrimos todo o reator com

papel alumnio e o aquecemos com auxlio de uma lmpada incandescente de 100

de

potncia. Logo em seguida, iniciamos os procedimentos de rinsagem, troca de gases, no

interior da cmara de descarga eltrica. Tal troca de gases se d pela injeo de gs argnio,
800

, espera-se alguns minutos e evacua a cmara novamente. Este procedimento

repetido em na mdia trs vezes at que no ultimo ciclo injeta-se o gs argnio espera-se a
presso atingir o valor mencionado acima desligamos a bomba de vcuo juntamente com a
lmpada e esperamos de 6 a 24 horas para que a superfcies internas do reator seja passivada.
Espera-se que com isso, a atmosfera dentro do reator seja praticamente composta pelo gs
argnio.

163

9. Resultados Experimentais

Apresentaremos e discutiremos nos tpicos seguintes, os resultados de alguns

parmetros eltricos e espectroscpicos obtidos a partir de nossas medidas experimentais
realizadas no Laboratrio de ptica e Espectroscopia.

9.1 Caracterizao do Modo de Operao da Descarga Eltrica

Como j foi mencionado no captulo 2, uma microdescarga gerada em microcatodo
oco aberto pode apresentar vrios regimes de operao dependendo das condies
experimentais em que ela mantida. No tpico seguinte mostramos os resultados obtidos para
a tenso

em funo da corrente

da descarga.

9.1.1 Curva Tenso-Corrente para Microcatodo Oco Aberto

As medidas das curvas caractersticas de tenso-corrente para os microplasmas
investigados no presente trabalho foram divididas em dois grupos. O primeiro grupo est
relacionado com a faixa de corrente (baixos valores de corrente) onde o nosso objetivo foi
investigar o modo auto-pulsado, enquanto que o segundo grupo abrange a faixa de corrente
(altos valores de corrente) em que o foco foi o estudo dos equilbrios (captulo 3) que a
microdescarga apresentou.

Em relao aos MCOs, utilizamos eletrodos de molibdnio

(Mo), tntalo (Ta) e cobre (Cu) cujas espessuras foram de aproximadamente de 70

O dieltrico que utilizamos foi a folha de mica, espessura de 200
dos furos foram de 250

10

, 500

20

e 1000

experimentais trabalhamos com os valores de presso de 90

400

20

, 600

20

e 800

20

10

40
2

, e os dimetros
. Para as condies
, 200

para a faixa de corrente 4 A a 20 A,

enquanto que para a faixa de corrente de at 4 A os valores da presso esto indicados nos

164

grficos da figura 9.1 (a - c). Para o fluxo de gs, os valores escolhidos foram 50

Antes de se iniciar as medidas propriamente ditas das tenses e correntes das descargas, foram
realizadas pr-descargas para eliminar o xido formado na superfcie do catodo.
Durante as medidas de cada valor de

foi marcado um tempo, 3 a 10 minutos.

Isto se deve a instabilidade da tenso da descarga no momento que a corrente variada.

Dependendo do modo de operao da descarga e do valor da corrente, a estabilidade da tenso
pode ocorrer de forma rpida ou lenta de acordo com a faixa de tempo mencionada
anteriormente. O erro total associados s medidas de

foi estimado levando em conta os

erros estatsticos, trs sesses de medidas com as mesmas condies experimentais, e os erros
sistemticos inerentes aos aparelhos, multmetros, utilizados para medir a tenso e a corrente
da descarga.
Os resultados para as curvas caractersticas de tenso-corrente esto apresentados nos
grficos das figuras 9.1 (a - c) e figura 9.2 (a - i). Tais resultados esto divididos de acordo
com os grupos mencionados acima.

Para essa faixa de corrente eltrica utilizamos somente MCO de molibdnio devido ao

seu alto ponto de fuso e dureza. Os grficos da figura 9.1 (a-c) esto dispostos em ordem
crescente de acordo com o valor do dimetro do furo.

165

(a)
P = 180Torr
P = 200Torr
P = 215Torr
P = 244Torr
P = 287Torr
P = 351Torr

MCO - Mo
D = 250m

540
520
500

Vd(Volts)

480
460
440
420
400
380
360
1

Id(mA)

(b)
MCO - Mo
D = 500m

440
420

Vd(Volts)

400

P = 100Torr
P = 120Torr
P = 110Torr
P = 130Torr
P = 287Torr
P = 426Torr
P = 576Torr
P = 690Torr

380
360
340
320
300
1

Id (mA)

166

(c)
460

MCO - Mo
D = 1000m

450
440
430

P = 13Torr
P = 30Torr
P = 40Torr
P = 50Torr
P = 61Torr
P = 70Torr
P = 80Torr

Vd(Volts)

420
410
400
390
380
370
360
350
340
1

Id(mA)

Figura 9.1 (a-c): Curvas caractersticas de tenso-corrente para o MCO aberto operado em
argnio e para baixos valores de

[GOMES-2009].

Nos trs grficos da figura 9.1(a - c) constata-se a presena dos modos de operaes
auto-pulsado [AUBERT-2007, ROUSSEAU-2006] ou efeito catodo oco [SCHOENBACH1997, SCHOENBACH-2006], normal e somente no microcatodo oco com o furo de dimetro
de 1000

o regime de operao anormal est presente. Alm disso, observa-se nos grficos

da figura 9.1 (a - c), que a partir certo valor de presso e uma mesma faixa de corrente, ocorre
uma transio do regime auto-pulsado para o modo de operao normal. Por exemplo, para o
caso do MCO com o furo de 250
de 244

, figura 9.1 (a), tal transio ocorre para a presso acima

, enquanto que para o microcatodo oco com o furo de 500

transio ocorre para a presso superior a 287

1000

, essa mesma

. Em relao ao MCO com furo de

, observamos o contrrio, isto , a transio do regime normal para o auto-pulsado.

Isso pode ser verificado para o valor de presso a partir de 30Torr.

167

De acordo com Schoenbach et al [SCHOENBACH-1997, SCHOENBACH-2006] o

modo de operao caracterizado por uma resistncia negativa presente nos trs grficos da
figura 9.1 (a - c) est relacionado com o efeito catodo oco, onde a eficincia de ionizao
devido ao movimento pendular dos eltrons. No entanto, clculos mostraram que os eltrons
localizados na cavidade do furo no tm energia suficiente para ionizar tomos e molculas
durante as colises [SISMANOGLU-2008]. Para Aubert et al [AUBERT-2007], este modo de
operao denominado auto-pulsado, onde a frequencia conduzida pela capacitncia do
microcatodo oco aberto e tambm pela corrente mdia fornecida pela fonte de alimentao.
No captulo 2 vimos que para descargas, geradas em catodos ocos, apresentarem o
regime de catodo oco deve obedecer lei da similaridade Allis-Wihte [STURGES-1964], ou
seja,

, onde

a tenso de sustentao da descarga e

utilizamos ) a presso do gs. O valor mnimo para o produto

(nos grficos

dado pela condio do

livre caminho mdio para a ionizao e no deve exceder o dimetro do furo. Enquanto que o
valor mximo dado pela condio de que a distncia entre os catodos opostos no deve
exceder os comprimentos das duas regies de queda catdica [SCHOENBACH-2003].
Para microplasmas gerados em MCO abertos e em altas presses outros processos para
a produo de eltrons livres so mais relevantes que o efeito de catodo oco. Citando alguns
exemplos, temos a emisso secundria devido grande concentrao de ons prximos a
superfcie do catodo, efeito Penning, emisso terminica e a fotoionizao [STURGES-1964].
Atravs da figura 9.1 (a - c) temos que o produto

varia entre 3.0

a 7.0

para o modo de operao catodo oco, estes valores so maiores que o limite terico de
1

para uma descarga produzida com gs

. Isto indica que outros processos

mencionados anteriormente so relevantes na manuteno da descarga. Individualmente

temos que na figura 9.1 (a) o modo auto-sustentado aparece para a faixa de presso de
180

a 244

, que corresponde aos valores de

de 4.5

a 6.4

. Em

168

relao aos grficos das figuras 9.1 (b) e 9.1 (c) o modo de operao auto-sustentado aparece
variando entre 3.0

para os valores de

a 7.0

Apresentaremos atravs dos grficos da figura 9.2 (a - i) os resultados obtidos para a

para a faixa de corrente eltrica variando de 4 A a 20 A.

(a)
320

MCO - Cu
D = 250mm
P=90 Torr
P=200 Torr
P=400 Torr
P=600 Torr
P=800 Torr

300

Vd (Volts)

280

260

240

220

200
4

10

12

14

16

18

20

Id (mA)

169

(b)
MCO - Cu
D = 500m
P=90 Torr
P=200 Torr
P=400 Torr
P=600 Torr
P=800 Torr

230

Vd (Volts)

220

210

200

190

180

170
4

10

12

14

16

18

20

Id (mA)

(c)
265
MCO - Cu
D = 1000m
P=90Torr
P=200Torr
P=400Torr

260
255

Vd (Volts)

250
245
240
235
230
225
220
215
4

10

12

14

16

18

20

Id (mA)

170

(d)
290

MCO - Mo
D = 250m
P=90 Torr
P=200 Torr
P=400 Torr
P=600 Torr
P=800 Torr

280

Vd(Volts)

270

260

250

240

230

220
4

10

12

14

16

18

20

Id(mA)

(e)
MCO - Mo
D = 500m
P=90 Torr
P=200 Torr
P=400 Torr
P=600 Torr
P=800 Torr

260

Vd(Volts)

250

240

230

220

210

200
4

10

12

Id(mA)

14

16

18

20

171

(f)
280

MCO - Mo
D = 1000m
P=90 Torr
P=200 Torr
P=400 Torr

275

Vd(Volts)

270
265
260
255
250
245
240
4

10

12

14

16

18

20

Id(mA)

(g)
MCO - Ta
D = 250m
P=90 Torr
P=200 Torr
P=400 Torr
P=600 Torr
P=800 Torr

330
315

Vd (Volts)

300
285
270
255
240
225
210
4

10

12

Id(mA)

14

16

18

20

172

(h)
MCO - Ta
D = 500m
P=90Torr
P=200Torr
P=400Torr
P=600Torr
P=800Torr

315

Vd (Volts)

300
285
270
255
240
225
210
4

10

12

14

16

18

20

Id(mA)

(i)
340

MCO - Ta
D = 1000m
P=90Torr
P= 200Torr

330

Vd (Volts)

320

310

300

290

280

270
4

10

12

14

16

18

20

Id(mA)

Figura 9.2 (a - i): Curvas caractersticas de tenso-corrente para microcatodo catodo oco
operando com gs de argnio e a faixa de corrente de 4 A e 20 A.

173

De acordo com os grficos das figuras acima, observa-se que o modo de operao
dominante nas microdescargas o normal. Este caracterizado pela independncia da tenso
da descarga em relao a corrente. Ou seja, o valor de
variao de

permanece constante para qualquer

. Para os furos de 250 e 500m e certos valores de presso, outro modo de

operao, anormal, tambm aparece a partir de certo valor de corrente. Somente para o furo
de 1000m que o modo anormal aparece para todos os valores de presso. Para todos os
dispositivos (MCOs) verifica-se que a tenso necessria para manter a descarga diminui em
relao ao aumenta da presso no interior do reator.
O erro total associado s medidas de

foi de aproximadamente de 3% para as

plasmas gerados no MCO com o furo de dimetro de 250

ocos cujos furos tm dimetros de 500

e 1000

e de 2.5% para os microcatodos

9.2 Parmetros Obtidos Atravs de Medidas Espectroscpicas

Nos tpicos seguintes apresentaremos os resultados obtidos para alguns parmetros
dos microplasmas gerados em MCO abertos. Por meio de anlises criteriosas dos espectros de
emisso desses microplasmas foi possvel determinar os valores da temperatura das descargas,
temperatura de excitao eletrnica e a densidade de eltrons.
9.2.1 Temperatura da Microdescarga (Gs)
Como apresentado no captulo 7, o clculo da temperatura do gs da descarga foi
realizado utilizando o espectro de emisso rotacional da molcula OH. Atravs das
intensidades das linhas pertencentes ao ramo

do espectro e pela lei de distribuio de

Boltzmann determinamos os valores das temperaturas rotacionais da hidroxila, logo, as

temperaturas do gs.
A seguir, apresentamos por meio de grficos, figura 9.3 (a - c), os resultados das
temperaturas atingidas pelas microdescargas produzidas em microcatodo oco aberto. Estes

174

resultados esto divididos em duas partes, uma relacionada com a variao da corrente e da
presso enquanto que o dimetro do furo do microcatodo oco aberto mantido constante. Em
nosso caso, isso s foi realizado para o MCO com o furo de 500

e eletrodos de

molibdnio. A outra parte est associada com a variao dos dimetros dos furos (para um
mesmo material que constitui os eletrodos) e da presso, enquanto que a corrente eltrica da
descarga foi mantida constante.

Resultados para as temperaturas do gs para diferentes valores de presso e dimetros

dos furos.

(a)
1050

- cobre
- Id= 15mA

1000

D = 250m
D = 500m
D = 1000m

950
900
850

Tgs(K)

800
750
700
650
600
550
100

200

300

400

500

P(Torr)

600

700

800

175

(b)
1050

- molibidnio
- Id= 15mA

1000

D = 250m
D = 500m
D = 1000m

950

Tgs(K)

900
850
800
750
700
650
600
550
100

200

300

400

500

600

700

800

P (Torr)

(c)
- Tntalo
- Id= 15mA

1300

D = 250m
D = 500m
D = 1000m

1200

Tgs(K)

1100
1000
900
800
700
600
100

200

300

400

500

600

700

800

P(Torr)

Figura 9.3 (a-c): Temperatura do gs em funo da presso e do dimetro do furo do MCO.

De acordo com os grficos da figura 9.3 (a c), os valores apresentados pelas
temperaturas dos microplasmas so praticamente os mesmos, dentro das incertezas,

176

independente do tipo de material que constitui os eletrodos, da medida do dimetro do furo do

microcatodo oco aberto do valor da presso no interior do reator.

Resultados para as temperaturas do gs para diferentes valores de presso e corrente

da microdescarga.

1100

MCO - Mo
D = 500m

90Torr
400Torr
600Torr
800Torr

1000

Tgs(K)

900

800

700

600

500

400
5

10

15

20

Id(mA)
Figura 9.4: Temperatura do gs em funo da presso e da corrente

A partir do grfico da figura 9.4, conclumos que a temperatura do gs aumenta em

funo da corrente eltrica do microplasmas. Isso se deve ao aumento da energia absorvida
( ) do campo eltrico pelas as partculas carregadas, eltrons e ons, que por suas vezes
transferem parte desta energia s partculas neutras por meio de colises. Devido razo de
massas, a maior eficincia nas colises elsticas ocorre entres as espcies pesadas, ou seja,
entre ons e espcies neutras de forma que estas apresentem a mesma temperatura.
Em relao s incertezas,

, associadas com as temperaturas rotacionais (gs)

foram estimadas atravs da seguinte expresso geral [JORGE-2009]:

177

onde

9.1

a inclinao da reta do ajuste linear realizado no mtodo grfico de Boltzmann,

figura 7.1, e

incerteza associada a esta inclinao. Atravs desta equao tambm

determinamos a incerteza relacionada com a temperatura de excitao eletrnica. Logo,

A incerteza associada com a

temperatura rotacional a mesma da temperatura do gs, uma vez que, estas duas
temperaturas, vide captulo 5, so aproximadamente iguais.

9.2.2 Temperatura de Excitao Eletrnica

Para determinar a temperatura de excitao consideramos que os microplasmas
gerados em nosso laboratrio apresentam o equilbrio de Boltzmann parcial local. Isto implica
que somente parte dos nveis de energia do tomo de argnio pode ser descrito pela lei de
distribuio de Boltzmann. Baseado nisto e utilizando as linhas de emisso, devidamente
identificadas, dos espectros do

I juntamente com a lei de distribuio do Boltzmann,

captulo 7, calculamos os valores de

. A figura 9.5 (a - c) mostra os resultados obtidos

para a temperatura de excitao eletrnica.

178

(a)
1,0

- cobre
- Id= 15mA

0,9

D = 250m
D = 500m
D = 1000m

Texc.(eV)

0,8

0,7

0,6

0,5

0,4
100

200

300

400

500

600

700

800

P(Torr)

(b)
1,1

- molibidnio
- Id= 15mA

1,0

D = 250m
D = 500m
D = 1000m

Texc.(eV)

0,9

0,8

0,7

0,6

0,5
100

200

300

400

500

P(Torr)

600

700

800

179

(c)
- Tntalo
- Id= 15mA

1,4

D = 250m
D = 500m
D = 1000m

Texc.(eV)

1,2

1,0

0,8

0,6

0,4
100

200

300

400

500

600

700

800

P(Torr)

Figura 9.5 (a - c): Temperatura de excitao eletrnica em funo da presso e do dimetro do

furo do microcatodo oco aberto.
Pelos grficos da figura 9.5 (a - c), observamos que dentro das incertezas,
apresentou os mesmos valores para os trs furos do MCOs de cobre e molibdnio sem variar
a presso do gs. Levando em conta o aumento da presso do gs no interior do reator, temos
que a temperatura de excitao eletrnica decresce com o aumento da presso. Isso se deve ao
fato de que o livre caminho dos eltrons diminui medida que a presso se eleva. Ou seja, o
nmero de colises efetuadas pelos eltrons aumenta de modo que as suas energias cinticas
sofrem um decrscimo.

9.2.3 Densidade de Eltrons

Os resultados para a densidade eletrnica foram obtidos atravs da deconvoluo dos
alargamentos da linha

. Em nosso caso, consideramos os alargamentos instrumental,

180

, que por sua vez, um perfil

Doppler, van der Waals e Stark para o perfil final da linha

Voigt. Para os alargamentos Doppler e van der Waals utilizamos os valores de temperatura do
gs apresentados no tpico 9.2.1. As incertezas associadas as densidades eletrnicas foram
determinadas atravs da seguinte relao [JORGE-2009]:

em que,

1,5

9.2

. Desta relao temos que a incerteza

depende somente da

densidade eletrnica e da largura a meia-altura do perfil Stark da linha

incerteza

com sua

Atravs dos grficos da figura 9.6 (a c) apresentamos os valores calculados para a

densidade eletrnica como funo da presso e dos dimetros dos furos dos MCOs de cobre,
molibdnio e tntalo.

(a)
- cobre
- Id= 15mA

14

8x10

D = 250m
D = 500m
D = 1000m

14

7x10

14

-3

ne(cm )

6x10

14

5x10

14

4x10

14

3x10

14

2x10

14

1x10

0
100

200

300

400

500

P(Torr)

600

700

800

181

(b)
14

4,0x10

- molibidnio
- Id= 15mA

14

3,5x10

D = 250m
D = 500m
D = 1000m

14

-3

ne(cm )

3,0x10

14

2,5x10

14

2,0x10

14

1,5x10

14

1,0x10

13

5,0x10

100

200

300

400

500

600

700

800

P(Torr)

(c)
D = 250m
D = 500m
D = 1000m

- Tntalo
- Id= 15mA

14

3,5x10

14

3,0x10

14

-3

ne(cm )

2,5x10

14

2,0x10

14

1,5x10

14

1,0x10

13

5,0x10

100

200

300

400

500

600

700

800

P(Torr)
Figura 9.6 (a c): Densidade eletrnica com funo da presso e dimetro do furo para os
microcatodos ocos abertos de cobre, molibdnio e tntalo.

182

Por meio destes grficos verificamos que a densidade eletrnica aumenta e tende a
uma saturao quando a presso dentro do reator elevada. Este aumento de

se deve a

maior eficincia na ionizao do meio gasoso para essa faixa de presso. Quando se compara
os valores de

em relao aos dimetros dos furos, conclumos que eles praticamente so

iguais para o mesmo valor de presso.

9.2.4 Funo de Distribuio dos Estados Atmicos do Argnio

A seguir apresentaremos os resultados que obtemos para as funes de distribuies
dos estados atmicos (FDEA) do tomo de argnio (

I). Tais resultados sero divididos em

quatro grupos de acordo com o dimetro do furo e da presso do gs dentro do reator. Em

nosso caso, os valores para os dimetros dos furos foram 250

, 500

e 1000

enquanto que para a presso os valores foram 90Torr, 200Torr, 400Torr e 800Torr. Em
relao ao microcatodo oco aberto, utilizamos o de cobre, pois os espectros adquiridos dos
microplasmas gerados a partir deste dispositivo apresentaram poucos rudos, poucas linhas
espectrais do tomo de Cu e uma maior quantidade de linhas espectrais do tomo de argnio,
quando comparados com os espectros obtidos dos MCOs abertos de molibdnio e tntalo. Os
espectros obtidos destes dois ltimos dispositivos continham muitas linhas atmicas de
a o que dificultavam a identificao das linhas do

I. Tais resultados esto apresentados

em forma de grficos, nas figuras que se seguem, e neles temos as FDEAs obtidas
experimentalmente (EXPER.), pela lei de distribuio de Boltzmann (BOLT.), pela lei de
distribuio de Saha (SAHA) e pelo cdigo de modelagem CRModel 1.0 (COD.) [MULLEN2001].

183

Microcatodo oco aberto de cobre com o dimetro de 250

(a)
mco-250-Cu
P=90Torr
13
-3
ne=5,5.10 cm

1E18

EXPER.
COD.
SAHA
BOLTZ.

1E17
Texc= 0,79eV

3p3 3p4

2p9 a 2p1

6s'

3p10 a 3p5
3p2
4d6
4d5
4d'4
4d4

-3

[n(p)/g(p)](m )

1E16
1E15

3p1
6s

4s''''1
4s'''1
4d1 4s''1
4s'1

4d3

1E14

5d'

7s

4d2

6d
8s

5d

7d 6d'

7s'

Texc= 0,72eV

1E13
1E12
1E11
1E10
13,0

13,5

14,0

14,5

15,0

15,5

E(eV)

(b)
EXPER.
COD.
SAHA
BOLTZ.

mco-250-Cu
P=200Torr
13
-3
ne=8,0.10 cm

1E18
1E17
1E16

3p4 3p3 3p2

Texc=0,74eV

2p9 a 2p1

3p10 a 3p5

-3

[n(p)/g(p)](m )

3p1

1E15

4s''''1 4s'''14s''1

6s'

6s
4d'4

4d1

4d6 4d5
4d4

1E14

4s'1

7s

4d2
5d

4d3

5d'

6d'

6d
7s'

Texc=0,64eV

7d 9s

15,0

15,5

1E13
1E12
1E11
1E10
13,0

13,5

14,0

14,5

E(eV)

184

(c)
1E18

mco-250-Cu
P=400Torr
14
-3
ne=1,0.10 cm

1E16

Texc=0,68eV

2p9 a 2p1

-3

[n(p)/g(p)](m )

1E17

3p8
3p10

EXPER.
COD.
SAHA
BOLTZ.

4d5

4s''1
3p3 3p2
6s'
3p4 3p1
6s
3p7
4s''''1 4s'''1
4d'4
4d6
4d3
4s'1
7s
4d4

3p63p5

1E15

3p9

1E14

4d2 4d1

5d'

Texc=0,59eV

1E13

7s' 9s

5d
6d

7d

6d'

1E12
1E11
13,0

13,5

14,0

14,5

15,0

15,5

E(eV)

(d)
1E18

mco-250-Cu
P=800Torr
14
-3
ne=2.10 cm

1E17

EXPER.
COD.
BOLTZ.
SAHA

3p4 3p3 3p2

Texc=0,64eV

2p9 a 2p1

-3

[n(p)/g(p)](m )

1E16
1E15

3p10 a 3p5
3p1 4s''''14s'''1 4s''1
4d6
4d5
6s'
6s
4d'4
7s
4d4
4d2
4d3

1E14

5d

1E13

4s'1

5d'

6d
7d
7s'
8s

9s
6d'

Texc=0,52eV

1E12
1E11
13,0

13,5

14,0

14,5

15,0

15,5

E(eV)

Figura 9.7 (a - d): FDEAs do ArI para o MCO de cobre com furo de 250
90

, 200

, 400

e 800

e presses de

185

Microcatodo oco aberto de cobre com o dimetro de 500

(a)
MCO-500-Cu
P=90Torr
13
-3
ne=4,67.10 cm

1E18

EXPER.
COD.
BOLTZ.
SAHA

1E17
T

=0,82eV

exc

2p9 a 2p1

3p10 a 3p5
6s 4s''''14s'''1 4s''1
3p4 3p3 3p2 3p1
6s'
4d6 4d5 4d'4
4d1
7s
4d4
7s'
4d3
4s'1 5d
4d2
5d'
9s
6d'
6d
Texc=0,70eV 8s 7d

-3

[n(p)/g(p)](m )

1E16
1E15
1E14
1E13
1E12
1E11
1E10
13,0

13,5

14,0

14,5

15,0

15,5

E(eV)

(b)

1E19

mco-500-Cu
P=200Torr
14
-3
ne=1,1.10 cm

1E18
1E17

EXPER.
COD.
BOLTZ.
SAHA

Texc=0,80eV

2p9 a 2p1

-3

[n(p)/g(p)](m )

3p10 a 3p5

1E16

4s''1

3p4 3p3 3p2 3p1

4d6 4d5 4d'4

1E15

6s'
4s''''14s'''1

6s

4d1 4s'1
4d4
4d3 4d2

7s

9s

5d'
7s'

5d

1E14

6d

Texc=0,65eV

8s 7d

6d'

1E13
1E12
1E11
13,0

13,5

14,0

14,5

E(eV)

15,0

15,5

186

(c)
MCO-500-Cu
P=400Torr
14
-3
ne=3,5.10 cm

1E18

EXPER.
COD.
SAHA
BOLTZ.

1E17
Texc=0,72eV

2p9 a 2p1

3p4 3p3 3p2

3p10 a 3p5

-3

[n(p)/g(p)](m )

1E16
1E15
1E14

4s''1
6s'
4d6
6s 4s''''1 4s'''1
4d5
7s' 8s
4d'4
7s
3p1
4s'1
9s
4d1
4d4
5d
4d2
5d'
4d3
6d'
6d 7d

1E13

Texc=0,60eV

1E12
1E11
1E10
13,0

13,5

14,0

14,5

15,0

15,5

E(eV)

(d)
1E18

1E17
Texc=0,67eV

2p9 a 2p1

-3

[n(p)/g(p)](m )

EXPER.
COD.
BOLTZ.
SAHA

MCO-500-Cu
P=800Torr
14
-3
ne=7,5.10 cm

1E16

3p4 3p3 3p2

3p10 a 3p5

1E15
4d5

3p1

4s''1

4d'4
6s

6s'

4d6

1E14

4s''''1
4d4 4d3 4d2 4d1 4s'''1 4s'1 5d 7s

Texc=0,58eV

9s
5d' 6d 7d
7s' 8s

1E13

1E12
13,0

13,5

14,0

14,5

15,0

15,5

E(eV)

Figura 9.8 (a - d): FDEAs do ArI para o MCO de cobre com furo de 500
90

, 200

, 400

e 800

Microcatodo oco aberto de cobre com o dimetro de 1000

e presses de

187

(a)
1E18

1E17

3p4 3p3 3p2

Texc=0,765eV

2p9 a 2p1

1E16

4s'''1 4s''1 6s'

-3

[n(p)/g(p)](m )

EXPER.
BOLTZ.
COD.
SAHA

mco-1000-Cu
P=90Torr
14
-3
ne=8,2.10 cm

6s

3p10 a 3p5
3p1

1E15

4d'4

4d1

4d6 4d5 4d4

4d3 4d2

4s''''1
4s'1

5d
7s

1E14

5d' 7s'
8s

Texc=0,64eV

6d'

6d 7d 9s

1E13

1E12

1E11
13,0

13,5

14,0

14,5

15,0

15,5

E(eV)

(b)
1E18

1E17
Texc=0,732eV

2p9 a 2p1

3p4 3p3 3p2

-3

[n(p)/g(p)](m )

1E16

EXPER.
COD.
BOLTZ.
SAHA

mco-1000-Cu
P=200Torr
13
-3
ne=9,2.10 cm

3p10 a 3p5

1E15

1E14

4s''1
6s'
6s
3p1
4s''''1
4d'4
4s'''1 7s
4d1
4d5
4d6
4d4 4d3 4s'1 5d
4d2

5d'
6d 7s'

6d'

7d

Texc=0,665eV

1E13

1E12

1E11
13,0

13,5

14,0

14,5

E(eV)

15,0

15,5

188

(c)
EXPER.
COD.
BOLTZ.
SAHA

mco-1000-Cu
P=400Torr
14
-3
ne=7,0.10 cm

1E18

1E17
Texc=0,77eV

3p3 3p2

-3

[n(p)/g(p)](m )

2p9 a 2p1

3p10 a 3p5

1E16

4s''1

3p4 3p1 4d'4

4d6 4d5

6s'
4s''''1 4s'''1

6s

1E15

4d4
4d3
4d2

4d1

4s'1
5d

7s
5d'

6d
7s'

9s

8s 7d 6d'

1E14
Texc=0,63eV

1E13

1E12
13,0

13,5

14,0

14,5

15,0

15,5

E(eV)

Figura 9.9 (a - c): FDEAs do ArI para o MCO de cobre com furo de 1000
90

, 200

, 400

e presses de

De um ponto de vista geral, analisando as funes de distribuio dos estados

atmicos do ArI dos grficos das figuras 9.7, 9.8 e 9.9, conclumos que todos os
microplasmas gerados nos microcatodos ocos abertos no apresentaram nem o equilbrio
termodinmico (ET) ou o equilbrio termodinmico parcial local (ETpL), uma vez que as trs
funes distribuies ( Boltzmann, experimental e Saha) no esto sobrepostas. Isso se deve
ao fato da funo de distribuio de energia dos eltrons, lei de distribuio de Maxwell,
apresentar um desvio em sua cauda, captulo 3, e principalmente, ao processo de difuso de
eltrons para fora do sistema. Como j foi mencionado no captulo 3, quando um plasma
apresenta um desses equilbrios, ET ou ETpL, a FDEA pode ser descrita tanto pela lei de
distribuio de Boltzmann quanto pela lei de distribuio de Saha. Em relao aos equilbrios
parciais (EBpL, ESpL e EMpL captulo 3) somente o EBpL est presente em todos grficos

189

para os estados pertencente ao nvel 4 . Observa-se tambm pelos grficos das figuras 9.7,
9.8 e 9.9, que a partir do estado 3 5 a cauda da funo de distribuio experimental tende a
desviar para o equilbrio de Saha parcial local.
Analisando as funes de distribuio dos estados atmicos do

I levando em conta

os parmetros dimetro do furo e a presso, temos quanto maior for o dimetro do furo e a
presso no interior do reator, mais rpido o microplasma tende ao equilbrio termodinmico
local. Isso se deve ao fato de que com o aumento da presso do gs, a descarga tende a ficar
confinada dentro do furo do microcatodo oco aberto e com isso, o processo de perda de
partculas por difuso minimizado. Observando da dinmica do comportamento da funo
de distribuio experimental para o furo de 500
800

, constata-se que para a presso de

o microplasma gerado no MCO aberto apresenta o equilbrio de Saha parcial e local

para os estados prximo do contnuo. Desta forma podemos dizer que o corpo da funo de
distribuio de energia dos eltrons Maxwelliana (figura 3.2). O perfil apresentado pela
FDEA experimental do grfico da figura 9.8 (d) similar ao descrito no trabalho apresentado
por Burn et al [BURN-2004]
Devido a grande instabilidade apresentada pela microdescarga produzida no
microcatodo oco aberto com furo de dimetro de 1000
com o fluxo de gs de 50

para presses acima de 500

, no foi possvel verificar em qual valor de presso a cauda da

FDEA experimental se sobrepe a funo de distribuio de Saha. Mas, pelo comportamento

que ela apresentou para os valores de presso de 90

, 200

tal sobreposio ocorra para uma presso menor que 800

dimetro de 250

e 400

, estima-se que

. Para o MCO com o furo de

observamos que a microdescarga tende de forma mais lenta ao equilbrio

termodinmico local. O motivo para tal fato est relacionado com a grande parte do volume
de plasma que se encontra fora do furo. Isso favorece a perda de eltrons para fora do sistema.

190

9.3 Parmetro b(p)

Apresentaremos no presente tpico os resultados obtidos para o parmetro
valores de

. Os

foram calculados atravs da razo entre as funes de distribuio dos estados

atmicos experimental e Saha. Como j foi mencionado no captulo 3, este fator nos informa
o quanto cada estado da FDEA est fora do equilbrio termodinmico local (ETL). Atravs do
parmetro b(p) tambm podemos fazer uma anlise dos tipos de balaos imprprios que esto
presente nos microplasmas gerados no MCO e o transportes de partculas para dentro e fora
do sistema. Os resultados sero apresentados de forma similar ao do tpico anterior como
mostra as figuras 9.10 (a - d), 9.11 (a - d) e 9.12 (a - c). Para cada estado do

I foi atribudo

um nmero (Nmero do Estado - N. E.) de forma a verificar o quanto cada um destes estados
est fora do ET.
Microcatodo oco aberto de cobre com o dimetro de 250

(a)

2,5x10

mco-250-Cu
P = 90Torr
13
-3
ne=5,5.10 cm

3p8
3p4

2,0x10

2p9
3p3 2p2
3p5 6s'

1,5x10

b(p)

2p1
3p6
4s''1
3p9
3p10

1,0x10

2p6 3p7

4s'''1
2p4
2p7

2p3
2p8

5,0x10

4s''''1
2p5
3p1 6s
3p2
5d'

0,0

6d

b(p)=1

10

15

20

N. E.

25

4d1
7s 8s 7s'
4d5 4d6
4d'4
7d
6d' 5d
4d2
4s'1 4d4
4d3

30

35

40

191

(b)
mco-250-Cu
P = 200Torr
13
-3
ne=8,0.10 cm

3,5x10

2p2
2p1 2p9

3,0x10

3p7

2p7
3p8

2,5x10

3p5
2p4 2p6
3p4
3p6
3p9 3p2
4s''1 3p3
6s
2p5
6s' 2p8
2p3

3p10

b(p)

2,0x10

1,5x10

4s'''1

4s''''1

3p1

1,0x10

5,0x10

4d'4 6d'
7s

b(p)=1

0,0

10

7d 7s' 4d1 4d6

5d 6d 4d4
5d' 4d5 9s 4s'1
4d2
4d3

20

30

40

N. E.

(c)
mco-250-Cu
P = 400Torr
14
-3
ne=1,0.10 cm

7x10

4d5

6x10

2p1 4s''1

5x10

2p9
6s'

b(p)

4x10

2p4

3p8

3p10

3p5 2p6
3p6

3x10

2p2
3p2 2p7
2p3

2p5

3p3
2p8

2x10

3p1
3p7

3p4
4s'''1

1x10

3p9
6s

4d6

b(p)=1

4s''''1
4d'4
7s

10

20

N. E.

9s 5d'
4s'1 6d' 7d 5d
4d44d1
4d3
7s'
6d
4d2

30

40

192

(d)
60

mco-250-Cu
P = 800Torr
14
-3
ne=2.10 cm

3p7

50

40

3p9 3p8
3p10

b(p)

3p5 3p6

30

3p4

3p3
3p2
2p8

2p7
2p9

20

2p6

2p2
2p5
2p4
2p1

2p3
3p1

10

4s''1
4s''''1

6s'

4s'''1 9s 7d 6d
4d6 7s
4d'4 6s
4d4 6d' 7s'
4d5
8s 5d 4s'1
4d2
5d'
4d3

b(p)=1

0
0

10

20

30

40

N. E.

para o MCO de cobre com furo de 250

Figura 9.10 (a - d): Fator

, 200

, 400

e 800

. N. E. o nmero do estado.

Microcatodo oco aberto de cobre com o dimetro de 500

(a)
4

3,5x10

mco-500-Cu
P = 90Torr
13
-3
ne=4,67.10 cm

2p1

3,0x10

2p4

2,5x10

2p2

3p7

2p6
3p6

b(p)

90

2,0x10

3p8
2p9

2p7
2p8

3p5

1,5x10

3p10

2p5
3p9
2p3

1,0x10

4s''1 3p3

3p1
6s'

3p2

5,0x10

3p4

4d'4

4s'''1

6s

b(p)=1

0,0
0

10

20

N. E.

4s''''1
4d6
4d5 7s 4s'1 4d4 5d'
4d2 7s'
6d'7d 6d
4d1
9s 4d3 5d
8s

30

40

e presses de

193

(b)
mco-500-Cu
P = 200Torr
14
-3
ne=1,1.10 cm

8,0x10

2p2

2p1

6,0x10

3p5 3p10

2p6
3p8
2p9

4,0x10

2p3

4s''1

2p4
3p7 2p8
2p5

2p7
6s'
3p9
3p2

2,0x10

3p3
3p1
4d'4 6s 3p4
4s'''1
4s''''1
4d6 7s
5d' 4d2 5d
4d5
6d 8s 7d 6d'
9s 4d1
4s'1 7s' 4d4 4d3

b(p)=1

0,0

10

20

30

40

N. E.

(c)
200

mco-500-Cu
P = 400Torr
14
-3
ne=3,5.10 cm

160

2p1

3p8
2p2

120

3p5
4s''1 3p6

b(p)

b(p)

3p6

3p10

80

2p6
2p4
2p9 3p7
6s'
2p7 3p2 2p8
2p5 3p3

3p4
2p3
3p9

40

4d'4
6s 4s''''1
4d5

b(p)=1

0
0

10

20

N. E.

7s 4s'''1
5d' 3p1 5d
4d2 6d 4d4 7d
9s 4d6 4s'1
4d1 8s 7s'
6d'
4d3

30

40

194

(d)
20

mco-500-Cu
P = 800Torr
14
-3
ne=7,5.10 cm

16

2p4
2p1
3p8
3p5 2p2
3p9

12

b(p)

4s''1

2p5
3p6 2p9 2p7
3p4

2p3

3p10
3p7

3p2 3p3
2p6

2p8
3p1

4
4d'4

b(p)=1

6s'

4s'''1

4d5

0
0

10

6s
4d6 4d1 4d3 4d2
4s''''1
5d 4d4
9s 8s
4s'1 6d 7d 7s' 7s

20

30

5d'

40

N. E.

para o MCO de cobre com furo de 500

Figura 9.10 (a - d): Fator

, 200

, 400

e 800

. N. E. o nmero do estado.

Microcatodo oco aberto de cobre com o dimetro de 1000

(a)
300

mco-1000-Cu
P = 90Torr
14
-3
ne=8,2.10 cm

6s'

250

2p1 2p2
2p4
4s'''1
3p5

200

4s''1

2p9
2p5 2p6
3p8

b(p)

90

150

3p2
3p10
3p9

3p6
3p3
3p4

100

2p7

2p3 6s
2p8

3p7
3p1

4d1
4s''''1
6d'

50

4d'4

b(p)=1

0
0

10

20

N. E.

5d'

7s'
4d2 9s 7s
4s'1 4d3
4d4
4d5 8s 5d
7d 4d6
6d

30

40

e presses de

195

(b)
300

mco-1000-Cu
P = 200Torr
13
-3
ne=9,2.10 cm

2p2
2p1

250

2p4
2p9

200

2p6

b(p)

2p8
2p3
3p8
6s' 2p7 2p5
4s''1

150

3p3

3p5
3p4

100

3p6

3p10
3p2
3p7
3p9
4s'''1 6d' 5d'

50

6s

4s''''1
3p1 7s

b(p)=1

0
0

10

15

20

25

4d'4
7d 5d
7s' 6d
4s'1 4d2
4d1
4d5 4d3 4d6 4d4

30

35

40

N. E.

(c)
mco-1000-Cu
P = 400Torr
14
-3
ne=7,0.10 cm

120
2p2

100
2p1

2p6
2p4

80

4s''1

2p9

b(p)

2p3

3p8
6s' 2p7

3p10

3p5

60

3p6

2p5
3p7

3p2
2p8 3p3
3p9

40
3p1

20

3p4

4s'''1

b(p)=1

10

6s 4s''''1
4d6
4d'4
4d5
9s 6d 4s'1 7d 8s 4d2 5d 4d3
4d1
5d' 7s 7s' 6d' 4d4

20

30

40

N. E.

Figura 9.12 (a - c): Fator

90

, 200

, 400

para o MCO de cobre com furo de 1000

. N. E. o nmero do estado.

e presses de

196

No captulo 3 do presente trabalho vimos que se

1 para todos os estados

atmicos de um tomo, o plasma apresenta o equilbrio termodinmico local (ETL). Quando

somente uma parte destes estados apresenta o valor de

1 dito que o plasma

apresenta um equilbrio de Saha local (ESL). Para o caso de

1 dizemos que o plasma

1 o plasma considerado de recombinao. Pelos

de ionizao, enquanto que para

grficos das figuras 9.10, 9.11 e 9.12, conclumos que os microplasmas gerados nossos
MCOs abertos so de ionizao, principalmente, para baixos valores de presso. Para um
plasma de ionizao, ocorre o transporte de partculas carregadas para fora do sistema e a
densidade eletrnica relativamente baixa. Os balanos imprprios dominantes em um
plasma de ionizao so o balano corona (BD) e o balano de saturao de excitao (BSE).
O primeiro est relacionado com o processo de produo de um estado via coliso eletrnica
com sua respectiva destruio por decaimento radiativo. Em relao ao segundo balano,
temos que a produo de um estado devido excitao de um nvel inferior e sua destruio
com a excitao para o nvel adjacente superior.
Do ponto de vista geral, observamos que pelos altos valores de
estados pertencentes aos nveis 4

e 5

associados aos

e devido as intensidades das linhas espectrais

emitidas por eles, temos que tais estados so regidos pelo balano corona. Enquanto que os
nveis acima do nvel 5 so regidos, at um certo valor de presso, pelo balano imprprio
de saturao por excitao. Isso porque, tais nveis de energia esto muito prximos entre si, o
que favorece a excitao dos eltrons de um nvel para o outro at serem ionizados. Este
processo d origem a um fluxo de eltrons entre os nveis excitados no sentido ao limite de
ionizao. A partir deste os eltrons esto livres. Parte desses eltrons no so recombinados
com seus respectivos ons e por processo de difuso so levados para fora do plasma.
Somente parte dos estados acima do nvel 5 , em determinadas condies experimentais,
apresentaram o fator de

1. Isto implica que eles esto em equilbrio de Saha local.

197

Alem disso, podemos dizer que o corpo da funo de distribuio de energia dos eltrons
Maxwelliana, ou seja, a microdescarga apresenta um equilbrio de Maxwell parcial local.
Levando em conta os dimetros dos furos e os valores de presso, temos que quanto
maior o dimetro do furo e a presso do gs no interior do reator, mais rapidamente, o
microplasma tende ao equilbrio termodinmico local. Para o furo microcatodo oco com o
furo de 250

apenas alguns estados atingiram o equilbrio de Saha parcial e local quando a

presso do gs foi de 800

para o valor de presso de 800
FDEA do

I apresenta o

. Em relao ao MCO aberto de 500

, verificamos que a

, praticamente, todos os estados pertencentes cauda da

. Foi para o microcatodo oco com o furo de 1000

que a

microdescarga evoluiu mais rapidamente para o equilbrio de Saha parcial local quando a
presso foi elevada. Para a presso de 400

vrios nveis esto na iminncia de atingir o

ESpL.
Em alguns grficos das figuras 9.10, 9.11 e 9.12 observamos que alguns estados,
geralmente pertencente ao nvel 5 , servem como uma fronteira entre os balanos imprprios
corona e de saturao por excitao. Este ltimo vai sendo convertido para o balano prprio
de Saha na medida em que a presso de sistema elevada. O aumento da presso favorece ao
aumento do processo de ionizao na descarga e a reduo da perda de eltrons para fora do
sistema, microplasma, por meio de difuso. Isso contribui para o aumento efetivo do processo
de ionizao/recombinao que o principio bsico de funcionamento do balano prprio.

9.4 Densidade de tomos de Argnio no Estado Fundamental

O objetivo de se calcular os valores das densidades do gs, ou seja, as densidades de

tomos de argnio no estado fundamental (

) est relacionado com os parmetros

necessrios para implementar a entrada (input) do cdigo de modelagem CRModel. No

198

captulo 7, apresentamos a expresso usada para realizar tais clculos. Os resultados obtidos
I esto apresentados nos grficos da figura

para as densidades do estado Fundamental da

9.13 (a - c).

25

1,0x10

25

8,0x10

24

6,0x10

24

4,0x10

24

2,0x10

24

250m
500m
1000m

mco-cobre
Id=15mA

-3

n1(m )

(a)
1,2x10

0,0
100

200

300

400

500

600

700

800

700

800

P(Torr)

25

1,0x10

25

8,0x10

24

6,0x10

24

4,0x10

24

2,0x10

24

-3

n1(m )

(b)
1,2x10

250m
500m
1000m

mco-cobre
Id=15mA

0,0
100

200

300

400

500

P(Torr)

600

-3

n1(m )

199

1,2x10

25

1,0x10

25

8,0x10

24

6,0x10

24

4,0x10

24

2,0x10

24

(c)
250m
500m
1000m

mco-Tntalo
Id=15mA

0,0
100

200

300

400

500

600

700

800

P(Torr)

Figura 9.13 (a - c): Densidade do gs como funo da presso e do dimetro do furo do MCO.
Pelos resultados apresentados pelos grficos da figura 9.13, conclumos que a
densidade de tomos de argnio no estado fundamental s depende da presso no interior do
reator e da temperatura da descarga. Em relao aos dimetros dos furos dos microcatodos
ocos abertos os valores apresentados pelas densidades do gs so os mesmos dentro da
incerteza. Como foi mencionado anteriormente, a finalidade de se derteminar a densidade de
tomos de argnio no estado fundamental usar o seu valor no arquivo de entrada do cdiogo
colisional radiativo para calcular a funo de distribuio dos estados atmicos do

I.

200

10. Resultados Tericos Obtidos para Dois Parmetros da Microdescarga

Atravs do Cdigo Colisional Radiativo de Modelagem

Neste captulo apresentaremos os resultados obtidos para a temperatura de excitao e

densidade eletrnica atravs do cdigo colisional radiativo de modelagem CRModel 1.0
desenvolvido por Mullen et al. [MULLEN-2001]. Este cdigo calcula a funo de distribuio
dos estados atmicos de acordo com valores das densidades, eletrnica e fundamental, e da
temperatura eletrnica implementados em sua entrada (input). As densidades dos nveis
excitados so determinadas levando em conta somente os processos colisionais e radiativos de
modo que os valores dos

's so determinados pela soluo numrica de um conjunto de

equaes lineares. Nas figuras 9.7, 9.8 e 9.9, mostram o ajuste das FDEAs calculadas pelo
cdigo com as obtidas experimentalmente.

10.1. Temperatura de Excitao Eletrnica

Os resultados tericos e experimentais (para efeito de comparao) para as temperaturas de
excitao esto apresentados nos grficos da figura 10.1 (a - c).

201

(a)
1,0

mco-250-Cu
Texc(exp.)
Texc(cod.)

Texc(eV)

0,9

0,8

0,7

0,6

0,5
100

200

300

400

500

600

700

800

P(Torr)

(b)
0,90

mco-500-Cu
Texc(exp.)

0,85

Texc(cod.)

0,80

Texc(eV)

0,75
0,70
0,65
0,60
0,55
0,50
100

200

300

400

500

P(Torr)

600

700

800

202

(c)
0,90

mco-1000-Cu
Texc(exp.)

0,85

Texc(cod.)

0,80

Texc(eV)

0,75
0,70
0,65
0,60
0,55
0,50
100

200

300

400

P(Torr)

Figura 10.1(a - c): Temperatura de excitao eletrnica determinada pelo cdigo de

modelagem.
Pelos grficos da figura 10.1 (a - c) temos que somente para o microcatodo oco aberto com o
furo de 250

os resultados tericos e experimentais para a temperatura de excitao esto

em boa concordncia dentro da incerteza. Isto implica que o equilbrio de Boltzmann parcial
local est presente para os estados usados no clculo de
outros MCOs com os furos de 500

e 1000

experimental. J em relao aos

a concordncia no foi to boa. Uma das

causas para tais discrepncias entre os resultados tericos e experimentais para

pode est

relacionada limitao do cdigo no levar em considerao certos tipos de interaes e

colises das espcies presentes no microplasmas como, por exemplo, a colises entre as
partculas pesadas e a formao da molcula

203

10.2 Densidade de Eltrons

Apresentaremos a seguir os resultados determinados pelo cdigo colisional radiativo
de modelagem para da densidade eletrnicas. Tais resultados esto resumidos nos grficos da
figura 10.2 (a - c).

(a)
5x10

mco-250-Cu
ne(exp.)

14

4x10

14

3x10

14

2x10

14

1x10

14

-3

ne(cm )

ne(cod.)

0
100

200

300

400

500

600

700

800

700

800

P(Torr)

-3

ne(cm )

(b)
8x10

14

7x10

14

6x10

14

5x10

14

4x10

14

3x10

14

2x10

14

1x10

14

mco-500-Cu
ne(exp.)
ne(cod.)

0
100

200

300

400

500

P(Torr)

600

204

(c)
5x10

14

4x10

14

3x10

14

2x10

14

1x10

14

mco-1000-Cu
ne(exp.)

-3

ne(cm )

ne(cod.)

0
100

200

300

400

P(Torr)

Figura 10.2 (a - c): Densidade eletrnica determinada pelo cdigo colisional radiativo de
modelagem para diferentes valores de presso.
De acordo com os resultados apresentados nos grficos da figura 10.2 (a - c) temos
que para as presses de 90

e 200

, os valores tericos para a densidade eletrnica

esto em excelente concordncia com os experimentais para todos os microcatodos ocos

abertos. Enquanto que para a presso acima de 200Torr, somente para os furos de 500
1000

os resultados tericos de

esto em boa concordncia, dentro da incerteza, com os

obtidos experimentalmente. Para o MCO com o furo de 250

conclumos que o aumento da

presso foi o principal fator para as grandes discrepncias apresentadas entre os valores
experimentais e tericos de

205

11. Concluses

O estudo desenvolvido no presente trabalho foi dividido em duas etapas, uma referente
a uma investigao mais ampla por meio de medidas eltricas e espectroscpicas dos plasmas
gerados em microcatodo ocos abertos e a validao de um cdigo colisional radiativo de
modelagem desenvolvido por van der Mullen et al [MULLEN-2001] para esses tipos de
plasmas.
Para a caracterizao dos microplasmas primeiro foram feitas as medidas das curvas
caractersticas de tenso - corrente das descargas para investigar os modos de operao por
elas apresentadas. Estas medidas foram divididas em dois grupos, um relacionado com baixos
valores de corrente e outro com os altos valores de corrente. Para baixos valores de corrente
eltrica vimos que o modo de operao auto-pulsado estava presente para certos valores do
produto

. De acordo com Aubert et al. [AUBERT-2007] o efeito pndulo dos eltrons

livres no o mecanismo predominante no regime auto-pulsado para certa faixa do produto

para uma descarga realizada com o gs de argnio. Em relao ao segundo grupo o foco
foi verificar quais eram os modos de operaes presentes para essa faixa de corrente e
especificadamente, investigar os equilbrios (ETL, ETpL, ESepL, EBePL e o EMepL.)
presente para a corrente da descarga de 15

e diferentes valores de presso e dimetros dos

furos dos MCO's.

Atravs da espectroscopia ptica de emisso foi feita a caracterizao dos
microplasmas de argnio gerados na presso atmosfrica. Por meio da teoria de alargamento
da linha espectral da srie Balmer H, determinamos a densidade eletrnica do microplasmas
gerados nos microcatodos ocos abertos, enquanto que temperatura de excitao eletrnica e
a temperatura da descarga (temperatura do gs) foram obtidas atravs da lei de distribuio de
Boltzmann. Para obtermos as funes de distribuio dos estados atmicos experimentais

206

utilizamos as intensidades das linhas de emisso dos espectros do

para a faixa de

comprimento de onda de 4000 a 8120.

Os resultados obtidos para as FDEAs experimentais mostraram que os microplasmas
gerados nos microcatodo oco aberto de cobre cujos furos tm os dimetros de 250
500

e 1000

tende ao equilbrio termodinmico local quando a presso no interior do

reator elevada. Ou seja, quando se eleva a presso do gs da descarga, a frequencia de

colises elsticas entre as espcies presente nesta descarga aumenta de modo a favorecer o
processo de termalizao. Verificamos tambm pelo perfil destas FDEAs que o equilbrio de
Boltzmann parcial local esteve presente para os estados pertencentes ao nvel 4 e parte do
nvel 5

para todos valores de presso (90

, 200

, 400

e 800

independente da medida do dimetro do furo, enquanto que o equilbrio de Saha parcial e

local foi alcanado pelos nveis que compe a cauda da funo de distribuio dos estados
atmicos do
250

e 500

I aps a presso de 400Torr de presso para os MCOs com os furos de

. Constatamos tambm que a cauda da FDEA tende mais rapidamente ao

ESpL quando o dimetro do furo aumentado.

Atravs dos resultados para o fator

foi possvel avaliar o quanto cada estado

pertencente funo de distribuio dos estados atmicos do argnio estava fora do equilbrio
de Saha. Os valores obtidos para este parmetro nos mostraram que os nveis 4 e 5 do
tomo argnio foram fortemente afetados pelo balano imprprio corona, principalmente para
baixos valores de presso. Isto pode ser evidenciado pelas altas intensidades apresentadas
pelas linhas dos espectros de emisso do

I na regio do vermelho e azul. O balano corona

tambm est presente, dependendo da presso gs dentro do reator, para os nveis prximos
ao contnuo, mas em menor intensidade. O principal mecanismo relacionado com a perda do
equilbrio do Saha para os estados pertencentes a cauda da FDEA do
processo de difuso de partculas carregas para fora da microdescargas.

I est associado com

207

Por fim, ao confrontarmos os resultados obtidos experimentalmente para a temperatura

de excitao e densidade eletrnica com os obtidos teoricamente atravs do cdigo de
modelagem CRModel 1.0, constatamos que para a temperatura de excitao eletrnica os
resultados tiveram uma boa concordncia dentro das incertezas para alguns valores de presso
e para os microcatodos ocos abertos com os furos de 250

e 500

. Estas discrepncias

podem ser atribudas a vrios fatores, entre eles, temos a na determinao da temperatura
excitao pelo mtodo grfico de Boltzmann e a limitao do cdigo em modelar plasmas em
altas presses. Em relao densidade eletrnica os resultados tericos e experimentais
tiveram uma excelente concordncia praticamente para todos os valores de presso e
dimetros dos furos. Com isso, consideramos que o cdigo colisional radiativo de modelagem
usado no presente trabalho foi validado.
Como perspectivas futuras, temos que investigaes sobre os equilbrios mencionados
acima devem ser realizadas para microplasmas gerados com valores de presses acima da
presso atmosfrica e diferentes configuraes de microcatodo oco. Atravs de um cdigo de
colisional radiativo mais completo, onde as colises entre partculas pesadas so levadas em
considerao, a modelagem dessas microdescargas podem ser feitas de forma mais precisa.

208

12. REFERNCIAS

AUBERT, X. et al. Analysis of the self-pulsing operating mode of a microdischarge. Plasma

Sources Science and Technology, v. 16, n. 1, p. 23-32, Feb. 2007.
BATES, D. R.; KINGSTON, A. E.; MCWHIRTER, R. W. P. Recombination between
electrons and atomic ions. I. optically thin plasmas. Proc. R. Soc. Lond., v. 267, n. 1330, p.
297-312, May 1962.
BECKER, K H.; SCHOENBACH, K. H.; EDEN, J. G. Microplasmas and applications. J.
Phys. D: Appl. Phys., v. 39, n. 3, p. 55-70, Jan. 2006.
BITTENCOURT, J. A. Fundamentals of plasmas physics. 3. ed. Nova York: SpringerVerlag. 2004. 678p.
BOGAERTS, A. et al. Gas discharge plasmas and their applications. Spectrochimica Acta
Part B, v. 57, n. 4, p. 609-658, April 2002.
BOGAERTS, A.; GIJBELS, R.; JAROSLAV, V. Colisional-radiative model for an argon
glow discharge. Journal of Applied Physics, v. 84, n. 1, p. 121-135, July 1998.
BONIZZONI, G.; VASSALO, E. Plasma physics and technology: industrial applications.
Vacuum. v. 64, n. 3-4, p. 327-336, Jan. 2002.
BRAIN, D. H. Elements of diatomic molecular spectra. Massachusettes: Addison-Wesley,
1968. 160p.
BURN, K. T. A. L. Deviations from thermal equilibrium in plasmas. Physics Letters A, v.
328, n. 6, p. 489-492, Aug. 2004.
BUTEL, A. et al. Influence of
in an argon collisional-radiative model. Phys. Rev. E, v.
65, n. 4, p. 046406-046421, March 2002.
CACCIATORE, M.; CAPITELLI, M. DRAWIN, H. W. Relaxation times for establishing
qausi-stationary state populations in non-thermal plasmas. Physica B+C, v. 84, n. 2, p. 267274, Sept. 1976.
CALZADA, M. D. et al. Experimental investigation and characterization of the departure
from local thermodynamic equilibrium along a surface-wave-sustained discharge at
atmospheric pressure. Journal of Applied Physics, v. 80, n. 1, p. 46-55, july 1996.
CALZADA, M. D. et al. Influence of the thermodynamic equilibrium state in the excitation of
samples by a plasma at atmospheric pressure. Journal Applied Physics, v. 92, n. 5, p. 22692275. May 2002.
CALZADA, M. D. Spectroscopy methods applied to the research in plasmas at atmospheric
pressure. Journal of Physics: Conference Series, v. 133, n. 1, p. 1-9, 2008.

209

CAPITELLI, M. et al. Plasmas kinetics in atmospheric gases. Berlim: Springer-Verlag,

2000. 300p.
CHIAD, B. T. et al. Characterization of low pressure plasma-DC glow discharges (Ar, SF6,
and SF6/He) for Si etching. Indian Journal of Pure & Applied Physics, v. 48, p. 723-730,
Oct. 2010.
CHIAN, A.; REUSCH, M. F. Fsica de plasma. Niteri: UFF, 1979, v.1, p.A1-A17, 1979.
CHOI, I. S.; HWANG, S. W.; PARK, J. C. Application of medium frequency atmospheric
plasma on continuous aluminum wire cleaning for magnet wire manufacturing. Surface and
Coatings Technology. v. 142-144, p. 300-305, July 2001.
CHRISTOVA, M. et al. Electron density and gas temperature from line braodening in an
argon surface-wave-sustained discharge at atmospheric pressure. Applied Spectroscopy, v.
58, n. 9, p. 1032-1037, May 2004.
COLLINS, G. W. The fundamentals of stellar astrophysics. Washington, DC: W. H.
Freeman & Co, 2003. 494p.
CONRADS, H.; SCHMIDT, M. Plasma generation and plasma sources. Plasma Sources Sci.
Technol., v. 9, p. 441-454, Sept. 2000.
CORRA, J. A. S. Construo e caracterizao de microtochas de plasmas em rdiofrequencia para misturas de argonio-hidrognio. 2009. 189f. Tese (Doutorado em Fsica
Atmica e Molecular) Instituto Tecnolgico de Aeronutica, So Jos dos Campos.
CORRA, J. A. S. et al. Electric and spectroscopic properties of argon-hydrogen RF
microplasma jets at atmospheric pressure. J. Phys. D: Appl. Phys., v. 43, n. 39, p. 1-12, Oct.
2010.
DEMTRDER, W. Atoms, molecules and photons: na introduction to atomic-, molecularand quantum physics. Berlin, Springer Verlag, 2010. 609p.
DEMTRDER, W. Laser spectroscopy: basic concepts and instrumentations. Berlim
Springe-Verlag, 1996. 696p.
DIEKE, H.; CROSSWHITE, H. M. The ultraviolet bands of OH. Journal of Quantitative
Spectroscopy and Radiative Transfer, v. 2, n. 2, p. 97-199, Dec. 1961.
DRAWIN, H. W. Collision and transport cross-sections. Siene: Euratom, 1967. 184p.
(EUR-CEA-FC-383 Report)
DRAWIN, H. W.; EMARD, F. Instantaneous population densities of the excited levels of
hydrogen atoms and hydrogen-like ions in plasmas. Physica B + C, v. 85, n. 2, p. 333-356,
Dec. 1977.
FELIZARDO, E. M. S. Plasma presso atmosfrica mantido por ondas de superfcie,
2007. 104f. Dissertao (Mestrado em Engenharia Fsica Tecnolgica) Instituto Superior
Tcnico, Lisboa.

210

FOEST, R. et al. Study of an atmospheric pressure glow discharge (APG) for thin film
deposition. Surface and Coatings Technology, v. 163/164, p. 323-330, Jan. 2003.
FOEST, R.; SCHMIDT, M.; BECKER, K. Microplasmas, an emerging field of lowtemperature plasma science and technology. International Journal of Mass Spectrometry,
v. 248, n. 3, p. 87-102, Feb. 2005.
FRIDMAN, A.; KENNEY, L. A. Plasma physics and engineering. Nova York: Taylor &
Francis Publ., 2004. 852p.
FUJIMOTO, T. Validity Criteria for Local Thermodynamic Equilibrium and Coronal
Equilibrium. J. Phys. Soc. Jpn., v. 34, n. 1, p. 216-224, Jan. 1973.
GARCA, M. C. et al. Spectroscopy study of a stationary surface-wave sustained argon
plasma column at atmospheric pressure. Spectrochimica Acta Part B, v. 35, n. 11, p. 17331745, Nov. 2000.
GEE, C. S. et al. Theoretical rates for electron excitation of highly-excited atoms. Monthy
Notices of the Royal Astronomical Society, v. 175, p. 209-215, 1976.
GIGOSOS, M. A.; CARDEOSO, V. New plasma diagnosis tables of hydrogen Stark
broadening including ion dynamics. Journal of Physics B: Atomic, Molecular and Optical
Physics, v. 29, n. 20, p. 4795-4838, August 1996.
GIGOSOS, M. A.; GONZLEZ, M. .; CARDEOSO, V. Computer simulated Balmeralpha, -beta and -gama Star line profiles for non-equilibrium plasmas diagnostics.
Spectrochimica Acta Part B, v. 58, p. 1489-1504, May 2003.
GOMES, M. P.; SISMANOGLU, B. N.; AMORIM, J. Charcacterization of microhollow
cathode discharges. Brazilian Journal Physics, v. 39, n. 1, p. 25-30, March 2009.
GRIEM, H. R. Spectral line broadening by plasmas. Nova York: Academic Press, 1974.
450p.
GRIEM, H. R. Plasma spectroscopy. New York: McGraw-Hill Book, 1964. 580p.
GRIEM, H. R. Principles of plasma spectroscopy. Cambridge: Cambridge University Press,
1997. 366p.
HERZBERG, G. Molecular spectra and molecular structure. I. spectra of diatomic
molecules, 2. ed. New York: Van Nostrand Reinrold, 1950. 658p.
HICKMAN, A. P. Approximate scaling for collisional angular-momentum mixing of Rydberg
atoms. Physical Review A, v. 23, n. 1, p. 87-94, Jun. 1981.
JOHNSON, L. C. Aproximations for collisional and radiative transition rates in atomic
hydrogen. The Astrophysical Journal, v. 174, p. 227-236, May 1972.
JUNIOR, D. C. Determinao de temperatura de chama por espectroscopia de emisso.
2006. 147p. Tese (Doutorado em Fsica) Universidade Estadual de Campinas. Campinas.

211

KATSONIS, K.; DRAWIN, H. W. Transition probabilities for argon(I). Journal of

Quantitative Spectroscopy and Radiative Trasnfer, v. 23, n. 1, p. 1-55, Jan. 1980.
KUHN, H. G. Atomic spectra. Nova York: Academic Press, 1969. 472p.
LAUX, C. O. Opitcal diagnostics and radiative emission of air plasmas. 1993. 238f.
Dissertation (PhD of the Department of Mechanical Engineering) Stanford Univerty,
Stanford.
LAUX, C. O. et al. Optical diagnostics of atmospheric pressures air plasmas. Plasma Source
of Science and Technolgy, v. 12, n. 2, p. 125-138, Feb. 2003.
LAZZARONI, C. Microplasmas and mico-jets. Publications of the Astronomical
Observatory of Belgrade, n. 84, p. 248-249, 2008.
LIEBERMAN, M. A.; LICHTENGBERG, A. J. Principles of plasma discharges and
material processes. Nova York: John Wiley, 1994. 572p.
LOEB, B. Fundamental processes of electrical discharge in gases. New York: John Wiley
and Sons, 1939. 717p.
MANOS, D. M.; FLAMM, D. L. Plasma etching: an introduction. San Diego: Academic
Press, 1989. 476p.
MANSBACH, P.; KECK, J. Monte carlo trajectory calculations of atomic excitation and
ionization by thermal electrons. Physical Review, v. 181, n. 1, p. 275-289, May 1969.
MAO, H.; KE-LING, L. Non-Boltzmann enegy level distributions of argon atoms in the
inductively coupled argon plasma. Acta Physica Sinica, v. 1, n. 1, p. 11, July 1992.
MCWHIRTER, R. W. P.; HEAM, A. G. A calculation of the instantaneous population
densities of the excited levels of hydrogen atoms and hydrogen-like ions in plasma. Proc. R.
Soc. Lond., v. 82, n. 5, p. 641, May 1963.
MOSELHY, M. et al. Resonant energy transfer from argon dimers to atomic oxygen in
microhollow cathode discharges. Applied Physics Letters, v. 78, n. 7, p. 880-882, Feb. 2001.
MOSELHY, M. et al. Excimer emission from microhollow cathde argon discharges. J. Phys.
D: Appl. Phys., v. 36, n. 23, p. 2922-2927, Nov. 2003.
MULLEM, J. A. M. et al. CRModel: A general collisional radiative modeling code.
Computer Physics Communications, v. 135, n. 2, p. 199-218, April 2001.
MULLEN, J. M. A. Excitation equilibria in plasmas: a classification.1986. 221f. Thesis
(PhD in Engineering) Technische Universiteit Eindhoven, Eindhoven.
MULLEN, J. M. A. Excitation equilibria in plasmas: A classification. Physics Reports, v.
191, n. 2 - 3, p. 109-220, July 1990.

212

NAGAI, J. M. Estudo dos principais processos de ionizao e dissociao numa descarga

luminescente em N2. 2004. 216f. Tese (Doutorado em Fsica Atmica e Molecular)
Instituto Tecnolgico de Aeronutica, So Jos dos Campos.
NASSER, E. Fundamentals of gaseous ionization and plasmas electronics. New York:
John Wiley & Sons Inc, 1971. 472p.
NIAZ, M.; RODRGUEZ, M. A. Teaching chemistry as rhetoric of conclusions or heuristic
principles- a history and philosophy of science perspective. Chemistry Education: Research
and Practice in Europe, v.1, n.3, p.315-322, 2000.
NATIONAL INSTITUTE OF STANDARTS AND TECHNOLOGY. NIST. Atomic spectra
data base. Disponvel no stio: <http://physics.nist.gov/cgi-bin/ASD/lines1.pl> . Acesso em
18 agosto de 2009.
OESTER, L. Some applications of detailed balancing. American Journal of Physics, v. 38,
n. 6, p. 754-761, June 1970.
PARK, S. J.; EDEN, J. G.; EWING, J. J. Photodetection in the visible, ultraviolet, and nearinfrared with silicon microdischarge devices. Applied Physics Letters, v. 81, n. 24, p. 45294530, October 2002.
PASCHEN, F. On the transition to the radio in air, hydrogen and carbon dioxide at different
pressures necessary potential differences. Ann. Phys. Chem., v. 37, p. 69-96, 1889.
PENASCHE, C. et al. Characterization of a high-pressure microdischarge using diode laser
atomic absorption spectroscopy. Plasma Sources Science and Technology, v. 11, n. 4, p.
476-483, Sep. 2002 (a).
PENASCHE, C. Study of high-pressure glow discharges generated by micro-structured
electrode (MSE) arrays. 2002(b). 137f. Thesis (PhD in Physics) University de Frankfurt,
Frankfurt am Main, RDA.
PERCIVAL, I. C.; RICHARDS, D. The theory of collisions between charged particles and
highly excited atoms. Advances in Atomic and Molecular physics, v.11, p.1-82, 1976.
PESSOA, R. S. et al. Hollow cathode discharges: low and high-pressure operation. In:
AMORIM, J. Gas discharges, fundamentals and applications. Transworld Research
Network, Kerala, India, cap. 7, p. 175-190, 2007.
RAHUL, R. et al. Optical and RF electrical characteristics of atmospheric pressure open-air
hollow slot microplasmas and application to bacterial inactivation. Journal Physics D:
Applied Physics, v. 38, n. 11, p. 1750-1759, May 2005.
RAIZER, Y. P. Gs discharge physics. New York: Springer-Verlag, 1997. 449p.
ROSSNAGE, l. S.; CUOMO, J. J.; WESTWOOD, W. D. Handbook of plasma processing
technology: fundamentals, etching, deposition and surface interactions. New Jersey: Noyes
Publications, 1990. 523 p.

213

ROUSSEAU, A.; AUBERT, X. Self-pulsing microplasma at medium pressure range in argon.

Journal Physics D: Applied Physics, v. 39, n. 8, p. 1619-1622, March 2006.
SAWIN, H. H. A review of plasma processing fundamentals. Solid State Technology. v. 28,
n. 4, p. 211-216, 1985.
SCHOENBACH, K. H. et al. Microhollow cathode discharge excimer lamps. Physics of
Plasmas, v. 7, n. 5, p. 2186-2191, May 2000.
SCHOENBACH, K. H. et al. High-pressure hollow cathode discharges. Plasma Sources
Science and Technology, v. 6, n. 4, p. 468-477, june 1997.
SCHOENBACH, K. H. et al. Microhollow cathode discharges. Journal of Vacuum Science
& Technology A, v. 21, n. 4, p. 1260-1265, July/Aug.t 2003.
SCHRADER, C. et al. Micro-structured electrode arrays: glow discharges in Ar at
atmospheric pressure using a variable radio frequency generator. In: INTERNATIONAL
CONFERENCE ON PHENOMENA IN IONIZED GASES, 27., 2005, Eindhoven.
ProceedingsVeldhoben: Eindhoven University of Technolgy, 2005, v. 6, p. 1-5.
SISMANOGLU, B. N. Caracterizao de microplasmas anulares e tubublares. aplicao
em microjatos de plasma. 2005. 163f. Tese (Doutorado em Fsica) Instituto Tecnolgico
de Aeronutica. So Jos dos Campos.
SISMANOGLU, B. N.; AMORIM, J. Microhollow cathode discharges and breakdown in
micron separations. The European Physical Journal. Applied Physics, v. 41, n. 2, p. 165172, Feb. 2008.
SISMANOGLU, B. N. et al. Optical emission spectroscopy diagnostics of an atmospheric
pressure direct current microplasma jet. Spectrochimica Acta Part B: Atomic Spectroscopy,
v. 64, n. 11/12, p. 1287-1293, Nov. / Dec. 2009.
SLADEK, R. E. J.; STOFFELS, E. Deactivation of Escherichia coli by the plasma needle. J.
Phys. D: Appl. Phys., v. 38, n. 11, p. 1716-1721, May 2005.
STURGES, D. J.; OSKAN, H. J. Studies of the properties of the hollow cathode glow
discharge in helium and neon. Journal of Applied Physics, v. 35, n. 10, p. 2887-2894, Oct.
1964.
SUCHENTRUNK, R. et al. Industrial applications for plasma processes - examples and
trends. Surface and Coatings Technology, v. 97, n. 1/3, p. 19, Dec. 1997.
TACHIBANA, K. et al. Characteristics of Ne-Xe microplasma in unit discharge cell of
plasma display panel equipped with counter sustain electrodes and auxiliary electrodes. J.
Phys. D: Appl. Phys., v. 38, n. 11, p. 1739-1749, May 2005.
THORNE, A.; LITZN, U.; JOHANSSON, S. Spectrophysics: principles and applications.
Nova York, Springer -Verlag, 1999. 433p.

214

VLCEK, J. A collisional-radiative model applicable to argon discharges over a wide range of

conditions. I: formulation e basic data. J. Phys. D: Appl. Phys., v. 22, n. 5, p. 623-631, May
1989.
VLCEK, J.; PELIKN, V. A collisional-radiative model applicable to argon discharges over
a wide range of conditions. IV: appication to inductively coupled plasmas. J. Phys. D: Appl.
Phys., v. 24, n. 3, p. 309-317, March 1991.
VOSSEN, J. L.; KERN, W. Thin film Processes II. New York: Academic Press, 1991. 857p.
VRIENS, L.; SMEETS, A. H. M. Cross-sections and rate formulas for electron-impact
ionization, excitation, deexcitation, and total depopulation of excited atoms. Physical Review
A, v. 22, n. 3, p. 940-951, Septh. 1980.
WAGENAARS, E. Plasma Breakdown of Low-Pressure Gas Discharges. 2006. 176f.
Thesis (PhD in Physics) Technische Universiteit Eindhoven, Eindhoven.
WISE, W. L. et al. Unified set of atomic transition probabilities for neutral argon. Physical
Review A, v. 39, n. 5, p. 2461-2471, March 1989.
XU, X. Dielectric barrier discharge properties and applications. Thin Solid Films. v. 390, n.
1/2, p. 237-242, June 2001.
YAMAMOTO, R. K. Desenvolvimento de um gerador de microplasmas utilizando a
tecnologia LTCC. 2008. 133f. Tese (Doutorado em Engenharia Eltrica) Escola
Politcnica, Universidade de So Paulo, So Paulo.
YOSHIKI, H. et al. Inner wall modification of poly (ethylene terephthalate) (PET) capillary
by 13.56MHz capacitively coupled microplasma. Thin Solid Films. v. 407, n. 1/2, p. 156162, March 2002.

215

FOLHA DE REGISTRO DO DOCUMENTO

1.

5.

CLASSIFICAO/TIPO

TD

2.

DATA

06 de maio de 2011

3.

DOCUMENTO N

DCTA/ITA/TD-006/2011

4.

N DE PGINAS

214

TTULO E SUBTTULO:

Microplasmas em equilbrio de excitao

6.

AUTOR (ES):

Marcelo Pgo Gomes

7.

INSTITUIO (ES)/RGO(S) INTERNO(S)/DIVISO(ES):

Instituto Tecnolgico de Aeronutica ITA

8.

PALAVRAS-CHAVE SUGERIDAS PELO AUTOR:

1. Microdescargas luminescentes. 2. Microcatodo oco. 3. Plasmas em equilbrio de Excitao. 4.

CRModel 1.0. 5. Cdigo de Colisional Radiativo de Modelagem. 6. Espectroscopia ptica de emisso.
9.

.PALAVRAS-CHAVE RESULTANTES DE INDEXAO:

Microplasmas; Descargas luminescentes; Catodos ocos; Equilbrio de plasmas; Espectroscopia ptica;

Espectros de emisso; Modelos matemticos; Fsica de plasmas; Fsica
10.
APRESENTAO:
(X) Nacional
( )Internacional
ITA, So Jos dos Campos. Curso de Doutorado. Programa de Ps-Graduao em Fsica. rea de Fsica
Atmica e Molecular. Orientador: Prof. Dr. Jayr de Amorim Filho. Defesa em 18/04/2011. Publicada em
2011.
11.

RESUMO:

O objetivo do presente trabalho foi realizar estudo experimental e terico amplo e criterioso de plasmas confinados
em um microcatodo oco aberto (MCO aberto), formado por um capacitor de placas plano-paralelas com um
dieltrico (mica), entre elas e um furo de dimetro (dimetros escolhidos: 250m, 500m e 1000m), vazando o
centro das placas juntamente com o dieltrico. Este dispositivo foi alimentado por uma fonte de alta tenso de
corrente continua (CC). Os eletrodos utilizados na confeco dos MCOs abertos foram o cobre, molibdnio e
tntalo. Em relao s condies experimentais, os nossos microplasmas foram gerados em uma mistura de gases,
, sob presses sub-atmosfricas ou atmosfricas. Primeiro, fizemos uma investigao sobre os modos de
operao apresentados pelos microplasmas atravs da curva caracterstica tenso-corrente. Os resultados obtidos para
estas curvas foram divididos em dois grupos. No primeiro grupo 0 4
focamos a aplicao da lei de
similaridade de Allis-White com relao ao modo de operao que apresenta uma resistncia negativa (regime de
catodo oco ou auto-pulsado). Para a faixa de presso em que as microdescargas foram geradas, outros mecanismos
(emisso secundaria, efeito Penning entre outros) so predominantes na produo de eltrons livres em relao ao
efeito catodo oco, verificando o modo de operao e o auto-pulsado. Em relao ao segundo grupo (4
20 ),
verificamos somente os regimes de operao normal e anormal esto presentes na descarga. Segundo, por meio do
estudo das linhas de emisso dos espectros dos tomos de hidrognio ( ) e argnio ( I) e tambm das molculas
), funo
de OH, obtivemos os resultados para a densidade eletrnica ( ), temperatura de excitao de eltrons (
de distribuio dos estados atmicos (FDEA) do I e a temperatura do gs ( g ). Os resultados obtidos para ,
e g esto coerentes com os publicados na literatura quando a corrente da descarga ou a presso dentro do reator
elevada. Para os perfis apresentados pela FDEA do
I, constatamos que os estados pertencentes ao nvel 4
apresentaram o equilbrio de Boltzmann parcial local, enquanto que, os nveis pertencentes cauda da funo de
distribuio tenderam ao equilbrio de Saha parcial local quando a presso e o furo do microcatodo oco foram
aumentados. Atravs dos valores apresentados pelo parmetro
, foi possvel avaliar o quanto cada estado da
funo de distribuio dos estados atmicos do argnio experimental estava fora do equilbrio de Saha
.
Alm disso, por meio deste parmetro
conclumos que os balanos imprprios que mais contriburam para tal
perda de equilbrio foram o balano corona (BC) e o balano de saturao por excitao (BSE). Por fim, para validar
e
o cdigo colisional radiativo de modelagem CRModel [MULLEN-2000], confrontamos os valores obtidos para
experimentalmente com os tericos fornecidos pelo cdigo, onde verificamos que para
, os resultados esto
em boa concordncia dentro das incertezas, exceto, para alguns valores de presso e dimetros de furo dos MCO.
12.

GRAU DE SIGILO:

(X ) OSTENSIVO

( ) RESERVADO

( ) CONFIDENCIAL

( ) SECRETO