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Alto Vaco
CAPITULO I
ALTO VACO
Captulo I
Alto Vaco
(1.1)
experimentan una presin llamada presin hidrosttica. En los lquidos la fuerza que
origina la presin hidrosttica es el peso de los lquidos y en los gases es una
consecuencia del cambio de momentum que experimentan las molculas al chocar con
la superficie de los cuerpos.
La unidad de presin en el sistema internacional (SI) es el Pascal (Pa)
1 Pa = 1 N/m2
Una buena referencia para comprender las definiciones de las unidades de
presin y los rdenes de magnitud en sistemas de vaco es la presin que el aire que
rodea a la tierra ejerce sobre
Captulo I
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atmosfrica a 273 K a nivel del mar es 101.3 kPa, es decir, aproximadamente, 105 Pa.
Un mltiplo importante del pascal es, entonces, el bar ( 1 bar = 105 Pa).
La presin atmosfrica fue medida por primera vez por Evangelista
Torricelli, en 1643, usando un instrumento llamado barmetro, el cual est basado en el
resultado de que la diferencia de presin hidrosttica, P, entre dos puntos dentro de un
lquido est dada por
g h,
(1.2)
Captulo I
Alto Vaco
sistemas de ultra alto vaco, y podemos decir de los sistemas a presiones mayores que
10-4 mbar, sistemas de vaco pobre.
dN n(E) dE A e
E/k B T
dE ,
(1.3)
dN n ( v) dv N
m
v2 e
2 k BT
2
- mv
2 k BT
dv
(1.4)
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v2
2
0 v n (v) dv
0 n (v) dv
(1.5)
v2
(1.6)
y teniendo en cuenta el resultado experimental de que para un gas ideal las variables de
estado presin (P) , volumen (V) y temperatura (T) se relacionan por la ecuacin del
gas ideal:
PV = NkBT
(1.7)
3P V 3P
mN
(1.8)
Una cantidad muy usada para tener una idea del movimiento de las
molculas de un gas es la velocidad cuadrtica media, vrms,
3kBT
2
vrms v
m
3RT
M
3P
(1.9)
Captulo I
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Experimentalmente se pueden hacer medidas de las distribuciones de
d2
1
P
(1.10)
Captulo I
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5.3 10 3
P
(1.10 a)
Captulo I
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dN x
A v x t
V
Vx t
vx
(1.11)
dN x
N (
m
)1 / 2 e
2 k B T
m v 2x
2 k BT
dv x
(1.4a)
P
MT
molculas
m2 s
2.8 10 27
molculas
m2 s
2.8 1019
molculas
m2 s
(1.12)
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Kn
Rgimen
Dt
(1.13)
Nmero de Knudsen
Flujo molecular
Kn
Fujo intermedio
1 < Kn
< 110
Kn
> 110
Flujo viscoso
< 1
Esta es la situacin en
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m
t
(1.14)
Av
V
,
t
10
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Caudal se define como el volumen de gas que pasa a travs de una seccin
transversal
S
V
,
t
(1.15)
es decir, la relacin entre gasto y caudal queda establecida por la siguiente ecuacin.
G
(1.16)
S P,
(1.17)
I.1.7. CONDUCTANCIA
Consideremos el sistema bsico de vaco de la figura 1.2. En rgimen
estacionario se establece una diferencia de presin entre la entrada de la bomba (b) y la
salida de la cmara (c). El throughput constante tiene el mismo valor a travs de
cualquier
seccin
transversal
del
tubo
de
conexin.
Puede
establecerse
(1.18)
donde C queda definida como la conductancia del tubo de conexin, y Pc y Pb son las
presiones medidas en los puntos b y c.
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Captulo I
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cmara
c
bomba
b
a la
atmsfera
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Captulo I
i)
Alto Vaco
Conductancia de una abertura, para aire a 20C:
a)
< 1,
20A
P
1 2
P1
C =
b)
P2
P1
En rgimen molecular:
C = 11,6 A
ii)
En rgimen viscoso
C = 91
b)
D4
(P1 + P2)
L
En rgimen molecular
C = 12,1
iii)
D3
L
y
longitud L
a)
En rgimen viscoso:
C = 1450 (
b)
P1 P2
L
2
) R04 R14 R02 R12 / log( R0 / R1 )
En rgimen molecular:
C = 12,1 ( D2 D1)2 (D1 + D2) (K0 /L)
D1/D2
0,259
0,5
0.707
0.866
0,966
K0
1,072
1,154
1,254
1,430
1,675
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Cuando las conductancias se asocian en serie la conductancia del sistema es:
1
C sis
1
C1
1
C2
. . .
C1
C2 . . .
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tambin tomos de las superficies slidas que se liberan debido a las condiciones de
presin y temperatura.
Este fenmeno es ms importante a presiones del orden de 1 Pa o menores.
La degasificacin es el principal factor con respecto a la presin ltima que un sistema
puede alcanzar, asumiendo que las fugas estn ausentes. El nivel de degasificacin es
reducido manteniendo el sistema limpio y seco y con una apropiada seleccin de
materiales para la construccin de la cmara. El diseo de un sistema de ultra alto vaco
incluye la posibilidad de eliminar capas de vapor de agua y otros gases adheridas a las
paredes de la cmara y tuberas del sistema por calentamiento a temperaturas de al
menos 150C.
Para las aplicaciones que describimos en este libro este nivel de limpieza no
es necesario. Sin embargo, las componentes del sistema deben ser conservadas limpias
(no huellas digitales u otros), secas y aisladas del ambiente (la mayor fuente de
humedad) tanto como sea posible.
Un concepto fsico que caracteriza la degasificacin de los materiales es la
presin de vapor. Todos los materiales emiten vapores de sus partes constituyentes y
estos vapores se suman al gas carga en el sistema. El agua es el ms comn de los
materiales encontrados y es un buen ejemplo de lo que significa presin de vapor. A
100C, la presin de vapor del agua es 1 atm (760 Torr). Bajo estas circunstancias
cuando la presin del ambiente que rodea al agua es igual a su presin de vapor todos
sabemos lo que sucede el agua hierve. A temperatura ambiente la presin de vapor de
agua disminuir a 17,5 Torr y hervir a esa presin. No es recomendable mantener agua
en el interior de un sistema vaco. Otros materiales con alta presin de vapor son los
plsticos y metales tales como mercurio, zinc, plomo y cadmio. Entre los materiales
con baja presin de vapor estn los vidrios, cobre, aluminio, acero inoxidable, plata y
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Captulo I
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Q
Pb
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(1.19)
Captulo I
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cmara
cmara
P , S,Q
Q
C
a la
atmsfera
Qp
Pp, S p
bomba
bomba
a la
atmsfera
(a)
(b)
Fig. 1.3 Cmara, bomba y tubo de conexin (a) sin considerar la degasificacin, (b) con
Sb
,
1 Sb / C
(1.20)
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Captulo I
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una pequea cmara se obtendr una velocidad de bombeo efectiva de slo 3,1 l/s, es
decir, un tubo de conductancia pobre puede limitar fuertemente la bomba el
funcionamiento eficiente de la bomba; la ahorca. Si se usara un tubo de 5 cm de
dimetro, an se tendra una velocidad de bombeo de slo 25 l/s.
En un sistema real debemos considerar la degasificacin y el retroflujo
como se muestra en la figura 3b, por un trmino de throughput inverso Qd. En tal caso,
el throughput neto quedar expresado por:
Q S b P Qd
Q S b P (1
(1.21)
Qd
)
Sb P
Q
P
Sb ( 1
Pf
P
).
(1.22)
TIEMPO DE BOMBEO
Un tema importante en la tecnologa de alto vaco es el tiempo requerido
para alcanzar una determinada presin, Pf. Una frmula para estimar el tiempo de
bombeo, Tb, puede obtenerse rpidamente asumiendo que el gas es ideal y el proceso
isotrmico, es decir, PV = constante y por lo tanto:
P
dV
dt
dP
dt
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dP
dt
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V
d P(t)
S b P Qd
dt
(1.23)
P(t) Pf
Pi
Pf
exp (
Sb t
)
V
(1.23a)
lo cual permite decir que una buena estimacin del tiempo de bombeo est dada por la
expresin:
Tb
P
V
ln i
Sb
Pf
(1.24)
Ejemplo: Una bomba mecnica cuya velocidad de bombeo es 16 m3/h ( 4,44 l/s )
tardar 5 minutos para evacuar una cmara de 100 litros desde la presin atmosfrica
hasta una presin de 10 Pa.
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Captulo I
Alto Vaco
Entre las bombas que funcionan por transferencia de gas es importante
distinguir entre las bombas mecnicas que funcionan en el rgimen viscoso (presiones
entre 100 y 105 Pa) y las bombas de difusin y turbomoleculares que trabajan en el
rgimen molecular (P < 100 Pa). Las bombas de difusin y turbomoleculares siempre
trabajan en serie con una bomba mecnica.
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Captulo I
Alto Vaco
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Captulo I
Alto Vaco
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Captulo I
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Fig. 1.6 Seccin transversal de una bomba mecnica de paletas rotatorias: (1) Entrada o
conexin a la cmara, (2) filtro, (3) vlvula antisuccionadora, (4) canal de entrada, (5) paletas,
(6) cilindro estator, (7) cilindro rotor, (8) conexin para el lastre de gas inerte (opcional) , (9)
canal de salida, (10) vlvula de salida, (11) demistor interno, (12) bucle de resortes, (13)
conexin para el filtro de aceite, [ref 9.]
presin para bombas de paletas rotatorias de una y de dos etapas con dispositivos para
lastre de aire y sin ese dispositivo.
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Captulo I
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Fig. 1.7 Esquema de una bomba mecnica de paletas rotatorias de de dos etapas, [ref. 4].
10
10-2
102
100
104
Fig. 1.8 Grfico tpicos de velocidad de bombeo vs presin para bombas mecnicas de
una y dos etapas con y sin dispositivo de lastre de gas.
I.2.2.
BOMBAS DE DIFUSIN
Las bombas de difusin siempre funcionan entre la cmara a evacuar y una
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Captulo I
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chorro de ese vapor sube por la chimenea y regresa al chocar en el techo de sta y en
las paredes de las boquillas. Los chorros reflejados arrastran las molculas de gas a
baja presin que se encuentran alrededor de la chimenea. El vapor, de aceite o mercurio,
se condensa en las paredes refrigeradas de la bomba y regresa al fondo de la bomba,
mientras que las molculas de gas comprimidas salen a travs de la bomba mecnica. El
gas residual de la cmara por encima del techo de la chimenea reduce su presin porque
sus molculas entran por difusin a la regin donde acta el chorro de vapor.
Las bombas de difusin funcionan comprimiendo gases a presiones del
orden de 10-8 Pa a presiones del orden de 100 Pa. Por esta razn las bombas de difusin
siempre funcionan en serie con una bomba mecnica. La accin de bombeo cesa a
presiones mayores de 100 Pa porque el chorro de vapor reflejado ya no se extiende
hasta la pared sino que termina en un frente de choque cerca al chorro principal.
Usualmente, la presin obtenida por la bomba mecnica que respalda a la bomba de
difusin es del orden de 25 a 75 Pa. Las bombas de difusin modernas tienen varias
etapas de compresin usualmente 3 a 5 para bombas pequeas y hasta 7 para bombas
grandes. La bomba de difusin mostrada en el esquema de la figura 1.9 es de tres
etapas. Cada etapa comprime el gas a presiones sucesivamente ms altas que la
precedente hasta llegar a la salida donde el gas comienza a ser evacuado por la bomba
mecnica.
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Captulo I
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Fig. 1.9 Seccin transversal de una bomba de difusin. (1) Sombrerete enfriado para evitar
que el vapor entre a la cmara, (2) heater para compensar la prdida de calor en la parte superior
de la chimenea,
para obtener bajas presiones, (5) estuche alargado, (6) obstculo para impedir que entre lquido
al chorro de vapor, (7) heater para supercalentar el vapor, (8) etapa de ejector lateral, (9)
obstculo cnico, (10) purificador de aceite (11) drenaje de aceite altamente voltil, (12)
obstculos para evitar prdidas de aceite, (13) chimeneas concntricas que permiten el
fraccionamiento del chorro de vapor de aceite, [ref. 4]
( D2 t2), donde D es el
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(1.25)
Captulo I
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Si asumimos el factor de Ho, H = 0,4 y t = D/3, entonces, una bomba con
D 9 pulgadas tiene una velocidad de bombeo de 1000 l/s. Las bombas de difusin
comerciales generalmente estn disponibles en el rango de 1 a 40 pulgadas de dimetro
de puerta de conexin a la cmara y sus respectivas velocidades de bombeo estn en el
rango de 10 a 105 l/s.
Segn la ec. (1.25) la velocidad de bombeo no depende de la presin. Esto
es cierto en un rango de presiones de varios rdenes de magnitud, digamos de 10-1 a 10-4
Pa. En la prctica, como se muestra en la figura 1.10, pueden distinguirse tres regiones
en un grfico S vs. P: (i) Si comenzamos a disminuir la presin a partir de la presin
mxima de funcionamiento de la bomba, el throughput (Q = SP) se mantiene constante
y por lo tanto S aumenta al disminuir la presin (regin AB en figura 1.11a), (ii) la
regin BC donde S = Sm es independiente de P, y (iii) cerca de la presin ltima Pu la
velocidad de bombeo S tiende a cero debido a que la razn de compresin no puede ser
infinita.
S = Sm [ 1- ( Pu / P) ]
La dependencia de S respecto de M-1/2, observada en la ec. (1.25), se verifica
experimentalmente como lo muestran las curvas en la figura 1.11.
1000
100
A
10-9
10-1
100
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Ar
1000
N2
H2
100
10-4
10-3
10-2
10-1
100
Fig. 1.11.Velocidad de bombeo en funcin de la presin para gases diferentes, [ref. 3].
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las bombas
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turbomoleculares son arrastradas por las paletas de una turbina, obtenindose por lo
tanto la ventaja de un vaco ms limpio. En las bombas de difusin es imposible evitar
que algunas pequeas cantidades de gases tales como CO2, CO, y algunos hidrocarburos
provenientes de la descomposicin del aceite entren en la cmara.
La velocidad de bombeo y valores de presin ltima para las bombas
turbomoleculares son similares a los de las bombas de difusin.
Fig. 1.12 Seccin transversal de una bomba turbomolecular: (1) Brida para conexin a cmara,
(2) estator, (3) brida para conexin a ventilacin, (4) brida para conexin a bomba mecnica de
pre-vaco, (5) malla protectora, (6) rotor, (7) cubierta o chasis de la bomba, (8) rodaje, (9)
conexin para agua de enfriamiento, (10) motor trifsico, (11) rodaje, [ref. 9]
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Captulo I
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Fig. 1.13 Fotografa del rotor de una bomba turbomolecular: serie de turbinas. Si la velocidad
angular de las turbinas es de 30000 rev/min. A 10 cm del eje la velocidad lineal de un punto de
las paletas es de 314 m/s. Del mismo orden de magnitud que las velocidades de las molculas de
O2, Ar, o N2 a temperatura ambiente, [ref. 4]
30
2
2
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b)
c)
Fig. 1.14 . (a,b) Vista lateral de una turbina de una bomba turbomolecular mostrando que,
debido a la inclinacin de las paletas y la velocidad de stas que es del orden de la velocidad de
las molculas, existe un flujo neto de la regin 1 a la regin 2. (c) Cinemtica del choque de una
molcula con una paleta de una bomba turbomolecular. [ref. 9]
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N2
H2
100
10 -8
10 -6
10 -4
10 -2
10 0
Fig. 1.15 Curvas velocidad de bombeo vs presin obtenidas con una bomba turbomolecular
para diferentes tipos de gas residual.
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Pc
S ef
P0 e V
Pu
QD
S ef
(1.26)
concerniente
V = Volumen de la cmara
Pu = Presin ltima de la bomba turbomolecular
QD = Throughput debido a fugas y degasificacin
I.3. VACUOMETROS
Existen un buen nmero de instrumentos para medir presiones de gases
enrarecidos, entre ellos podemos mencionar a: (i) El vacumetro McLeod, que es una
variante del simple tubo en U, se usa para medir presiones por encima de la atmosfrica,
(ii) el vacumetro de Bourdon, que mide la deformacin de un tubo en forma de hlice
cuando se conecta a un sistema de vaco, (iii) el vacumetro de diafragma, que se basa
en una cpsula hermticamente cerrada en la cual se ha hecho el vaco. La variacin de
la presin externa produce deformacin de las paredes de la cpsula, y (iv) el
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Captulo I
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Captulo I
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5
3
2
4
Fig. 1.16. Esquema de un vacumetro trmico: (1) filamento de tungsteno, (2) soporte para el
filamento, (3) tubo de vidrio o de acero inoxidable, (4) conexiones elctricas, (5) conexin a la
cmara de vaco.
Vacumetro Pirani
La caracterstica de este tipo de vacumetros trmicos es que el filamento
de tungsteno es una de las cuatro resistencias de un puente Wheastone. Para una presin
determinada se obtiene una resistencia del filamento que mantiene el puente balanceado.
Cualquier cambio de presin hace que la temperatura del filamento, y por lo tanto su
resistencia elctrica, cambie y que el puente se desbalancee.
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Captulo I
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Fig. 1.17 Esquema mostrando como el filamento del Pirani forma parte de un puente
Wheastone
Vacumetro TC
En un vacumetro trmico TC una termocupla es soldada en el centro del filamento. El
filamento se calienta con corriente constante y la variacin de la temperatura es una
medida de la conductividad trmica del gas residual y por lo tanto de la presin de la
cmara. Usualmente un microampermetro de resistencia pequea funciona como
voltmetro.
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Captulo I
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A
amplificador
mA
200 V
30 V
(a)
(b)
4
3
1
2000 V
3
2
mA
Fig. 1.19. Esquema de un vacumetro Penning: (1) nodo en forma de anillo, (2) ctodo
cilndrico, (3) imanes, (4) chasis de material aislante.
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Captulo I
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REFERENCIAS
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
The material science of thin films M. Ohring, Academic Press, Inc., 1991.
[9]
Manual Leybold
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