Sie sind auf Seite 1von 26

Volker Uhlig, Hendrik Richter and Uwe Lohse:

High temperature furnaces made from graphite materials

German-Japanese Joint Symposium, Freiberg, 20. - 21. July 2015


Dr. Volker Uhlig
TU Bergakademie Freiberg
Institute of Thermal Engineering
Gustav-Zeuner-Strae 7
D-09599 Freiberg

Dr. Uwe Lohse, Dr. Hendrik Richter


XERION Ofentechnik GmbH Freiberg
Halsbrcker Strae 34
D-09599 Freiberg

Outline

1. Vacuum in graphite furnaces


2. Design of resistance heaters
3. Furnaces for special applications

TU Bergakademie Freiberg I Institut fr Wrmetechnik und Thermodynamik | Lehrstuhl fr Gas- und Wrmetechnische Anlagen I Gustav-Zeuner-Str.
7
2
09596 Freiberg I Telefonnummer: 03731 / 39-2177 I www.tu-freiberg.de I Dr.-Ing. Volker Uhlig I German-Japanese Symposium

1. Vacuum in graphite furnaces

TU Bergakademie Freiberg I Institut fr Wrmetechnik und Thermodynamik | Lehrstuhl fr Gas- und Wrmetechnische Anlagen I Gustav-Zeuner-Str.
7
3
09596 Freiberg I Telefonnummer: 03731 / 39-2177 I www.tu-freiberg.de I Dr.-Ing. Volker Uhlig I German-Japanese Symposium

Graphite furnaces for vacuum and protective gases analysis of (residual) gas
Temperatures:
Atmosphere:
Pressure:
Vacuum:

up to 2000 C
N2, Ar, H2
10-3 mbar to1000 mbar
Analysis of residual gas by
quadrupole mass spectrometer

TU Bergakademie Freiberg I Institut fr Wrmetechnik und Thermodynamik | Lehrstuhl fr Gas- und Wrmetechnische Anlagen I Gustav-Zeuner-Str.
7
4
09596 Freiberg I Telefonnummer: 03731 / 39-2177 I www.tu-freiberg.de I Dr.-Ing. Volker Uhlig I German-Japanese Symposium

Vacuum furnaces - analysis of residual gas


Results

TU Bergakademie Freiberg I Institut fr Wrmetechnik und Thermodynamik | Lehrstuhl fr Gas- und Wrmetechnische Anlagen I Gustav-Zeuner-Str.
7
5
09596 Freiberg I Telefonnummer: 03731 / 39-2177 I www.tu-freiberg.de I Dr.-Ing. Volker Uhlig I German-Japanese Symposium

Analysis of residual gas - applications

Degassing behavior of (new) materials


Testing of furnaces (air leakage, water leakage)
Testing of gas supply systems
Process quality
Materials research

TU Bergakademie Freiberg I Institut fr Wrmetechnik und Thermodynamik | Lehrstuhl fr Gas- und Wrmetechnische Anlagen I Gustav-Zeuner-Str.
7
6
09596 Freiberg I Telefonnummer: 03731 / 39-2177 I www.tu-freiberg.de I Dr.-Ing. Volker Uhlig I German-Japanese Symposium

Analysis of residual gas - applications


Degassing behavior of materials

TU Bergakademie Freiberg I Institut fr Wrmetechnik und Thermodynamik | Lehrstuhl fr Gas- und Wrmetechnische Anlagen I Gustav-Zeuner-Str.
7
7
09596 Freiberg I Telefonnummer: 03731 / 39-2177 I www.tu-freiberg.de I Dr.-Ing. Volker Uhlig I German-Japanese Symposium

Comparison of results in residual gas analysis


Partial pressure from 1 to 100 amu
Comparison of the spectra:
- Identical temperature time cycle
- Difference between two measurements of partial pressure
- Scaling to valur of reference cylce

prel,i

p i ( x ) p i (0 )

p i (0 )

pi - Partial pressure of molecular mass i


x - Sample
0 - Empty furnace
Condition: Comparable pressure ranges!
TU Bergakademie Freiberg I Institut fr Wrmetechnik und Thermodynamik | Lehrstuhl fr Gas- und Wrmetechnische Anlagen I Gustav-Zeuner-Str.
7
8
09596 Freiberg I Telefonnummer: 03731 / 39-2177 I www.tu-freiberg.de I Dr.-Ing. Volker Uhlig I German-Japanese Symposium

Degassing of insulation material Hydrocarbon fragments C1C3

TU Bergakademie Freiberg I Institut fr Wrmetechnik und Thermodynamik | Lehrstuhl fr Gas- und Wrmetechnische Anlagen I Gustav-Zeuner-Str.
7
9
09596 Freiberg I Telefonnummer: 03731 / 39-2177 I www.tu-freiberg.de I Dr.-Ing. Volker Uhlig I German-Japanese Symposium

Degassing of insulation material


Cyclic hydrocarbons

TU Bergakademie Freiberg I Institut fr Wrmetechnik und Thermodynamik | Lehrstuhl fr Gas- und Wrmetechnische Anlagen I Gustav-Zeuner-Str.
7
10
09596 Freiberg I Telefonnummer: 03731 / 39-2177 I www.tu-freiberg.de I Dr.-Ing. Volker Uhlig I German-Japanese Symposium

10

2. Design of resistance heaters

TU Bergakademie Freiberg I Institut fr Wrmetechnik und Thermodynamik | Lehrstuhl fr Gas- und Wrmetechnische Anlagen I Gustav-Zeuner-Str.
7
11
09596 Freiberg I Telefonnummer: 03731 / 39-2177 I www.tu-freiberg.de I Dr.-Ing. Volker Uhlig I German-Japanese Symposium

11

Design of resistance heaters

Basics:

Surface load:
< 20 W/cm
Current density: < 5 A/mm

TU Bergakademie Freiberg I Institut fr Wrmetechnik und Thermodynamik | Lehrstuhl fr Gas- und Wrmetechnische Anlagen I Gustav-Zeuner-Str.
7
12
09596 Freiberg I Telefonnummer: 03731 / 39-2177 I www.tu-freiberg.de I Dr.-Ing. Volker Uhlig I German-Japanese Symposium

12

Design of resistance heaters

XERION
ADVANCED HEATING

3-phase short circuit ring


Meander heater
Design similar, wiring scheme different equal quality of solution ?
TU Bergakademie Freiberg I Institut fr Wrmetechnik und Thermodynamik | Lehrstuhl fr Gas- und Wrmetechnische Anlagen I Gustav-Zeuner-Str.
7
13
09596 Freiberg I Telefonnummer: 03731 / 39-2177 I www.tu-freiberg.de I Dr.-Ing. Volker Uhlig I German-Japanese Symposium

13

3 phase heater with short circuit ring

XERION
ADVANCED HEATING

Voltage / V
0,60
0,50
0,40
0,30
0,20
0,10

0,00
0

100

200

300
400
Height of heater / mm

TU Bergakademie Freiberg I Institut fr Wrmetechnik und Thermodynamik | Lehrstuhl fr Gas- und Wrmetechnische Anlagen I Gustav-Zeuner-Str.
7
14
09596 Freiberg I Telefonnummer: 03731 / 39-2177 I www.tu-freiberg.de I Dr.-Ing. Volker Uhlig I German-Japanese Symposium

14

Meander heater - power concentration in u-bends

XERION
ADVANCED HEATING

Equal thickness

Version 1

Version 2

Version 4

Version 3

Text
Equal colour = equal power density
TU Bergakademie Freiberg I Institut fr Wrmetechnik und Thermodynamik | Lehrstuhl fr Gas- und Wrmetechnische Anlagen I Gustav-Zeuner-Str.
7
15
09596 Freiberg I Telefonnummer: 03731 / 39-2177 I www.tu-freiberg.de I Dr.-Ing. Volker Uhlig I German-Japanese Symposium

15

Wiring scheme delta current

XERION
ADVANCED HEATING

1,7 I

1I

0,5 I

TU Bergakademie Freiberg I Institut fr Wrmetechnik und Thermodynamik | Lehrstuhl fr Gas- und Wrmetechnische Anlagen I Gustav-Zeuner-Str.
7
16
09596 Freiberg I Telefonnummer: 03731 / 39-2177 I www.tu-freiberg.de I Dr.-Ing. Volker Uhlig I German-Japanese Symposium

16

XERION
ADVANCED HEATING

3. Furnaces for special applications

TU Bergakademie Freiberg I Institut fr Wrmetechnik und Thermodynamik | Lehrstuhl fr Gas- und Wrmetechnische Anlagen I Gustav-Zeuner-Str.
7
17
09596 Freiberg I Telefonnummer: 03731 / 39-2177 I www.tu-freiberg.de I Dr.-Ing. Volker Uhlig I German-Japanese Symposium

17

6 phase heater with short circuit ring

XERION
ADVANCED HEATING

TU Bergakademie Freiberg I Institut fr Wrmetechnik und Thermodynamik | Lehrstuhl fr Gas- und Wrmetechnische Anlagen I Gustav-Zeuner-Str.
7
18
09596 Freiberg I Telefonnummer: 03731 / 39-2177 I www.tu-freiberg.de I Dr.-Ing. Volker Uhlig I German-Japanese Symposium

18

Graphite furnace for


chemical vapour deposition processes

XERION
ADVANCED HEATING

TU Bergakademie Freiberg I Institut fr Wrmetechnik und Thermodynamik | Lehrstuhl fr Gas- und Wrmetechnische Anlagen I Gustav-Zeuner-Str.
7
19
09596 Freiberg I Telefonnummer: 03731 / 39-2177 I www.tu-freiberg.de I Dr.-Ing. Volker Uhlig I German-Japanese Symposium

19

Multi-zone furnace with


carbon fiber reinforced carbon heaters

XERION
ADVANCED HEATING

TU Bergakademie Freiberg I Institut fr Wrmetechnik und Thermodynamik | Lehrstuhl fr Gas- und Wrmetechnische Anlagen I Gustav-Zeuner-Str.
7
20
09596 Freiberg I Telefonnummer: 03731 / 39-2177 I www.tu-freiberg.de I Dr.-Ing. Volker Uhlig I German-Japanese Symposium

20

Hot pressing furnace

XERION
ADVANCED HEATING

Furnace integrated in a press frame


6 phase heating

TU Bergakademie Freiberg I Institut fr Wrmetechnik und Thermodynamik | Lehrstuhl fr Gas- und Wrmetechnische Anlagen I Gustav-Zeuner-Str.
7
21
09596 Freiberg I Telefonnummer: 03731 / 39-2177 I www.tu-freiberg.de I Dr.-Ing. Volker Uhlig I German-Japanese Symposium

21

Graphite furnaces for high vacuum applications

XERION
ADVANCED HEATING

Radiation shields: Carbon fiber reinforced carbon


TU Bergakademie Freiberg I Institut fr Wrmetechnik und Thermodynamik | Lehrstuhl fr Gas- und Wrmetechnische Anlagen I Gustav-Zeuner-Str.
7
22
09596 Freiberg I Telefonnummer: 03731 / 39-2177 I www.tu-freiberg.de I Dr.-Ing. Volker Uhlig I German-Japanese Symposium

22

Split furnace for material testing

XERION
ADVANCED HEATING

TU Bergakademie Freiberg I Institut fr Wrmetechnik und Thermodynamik | Lehrstuhl fr Gas- und Wrmetechnische Anlagen I Gustav-Zeuner-Str.
7
23
09596 Freiberg I Telefonnummer: 03731 / 39-2177 I www.tu-freiberg.de I Dr.-Ing. Volker Uhlig I German-Japanese Symposium

23

Split furnace for material testing

XERION
ADVANCED HEATING

TU Bergakademie Freiberg I Institut fr Wrmetechnik und Thermodynamik | Lehrstuhl fr Gas- und Wrmetechnische Anlagen I Gustav-Zeuner-Str.
7
24
09596 Freiberg I Telefonnummer: 03731 / 39-2177 I www.tu-freiberg.de I Dr.-Ing. Volker Uhlig I German-Japanese Symposium

24

Split furnace for material testing

XERION
ADVANCED HEATING

TU Bergakademie Freiberg I Institut fr Wrmetechnik und Thermodynamik | Lehrstuhl fr Gas- und Wrmetechnische Anlagen I Gustav-Zeuner-Str.
7
25
09596 Freiberg I Telefonnummer: 03731 / 39-2177 I www.tu-freiberg.de I Dr.-Ing. Volker Uhlig I German-Japanese Symposium

25

Thank you for your attention !

XERION
ADVANCED HEATING

TU Bergakademie Freiberg I Institut fr Wrmetechnik und Thermodynamik | Lehrstuhl fr Gas- und Wrmetechnische Anlagen I Gustav-Zeuner-Str.
7
26
09596 Freiberg I Telefonnummer: 03731 / 39-2177 I www.tu-freiberg.de I Dr.-Ing. Volker Uhlig I German-Japanese Symposium

26