TCNICAS DE DEPOSITO DE PELCULAS DELGADAS

Comnmente el producto de una sntesis de un material inorgnico es una sustancia

policristalina que se obtiene en forma de polvos. Sin embargo, en muchos casos se
requiere que el material sea obtenido en formas especiales tales como monocristales y
pelculas delgadas. La forma requerida est lgicamente determinada por el uso o
aplicacin que se le dar al material.

La obtencin de un monocristal es muy importante cuando se trata de hacer una

caracterizacin estructural. Tambin se requieren monocristales para ser usados en ptica
y electrnica, ya que muchas veces son anistropos para ciertas propiedades.

Las pelculas o capas delgadas tanto amorfas, como mono o policristalinas son muy
importantes en la tecnologa moderna. Pueden ser usadas para formar cubiertas
protectoras sobre otros materiales y han jugado un papel esencial en la miniaturizacin
de componentes de dispositivos electrnicos. Otra caracterstica importante es que sus
propiedades son con frecuencia diferentes a las propiedades de un material voluminoso,
lo que se deriva de la gran relacin rea / volumen que poseen.

La preparacin de pelculas delgadas se puede dar a travs de:

Mtodos qumicos y electroqumicos

Mtodos fsicos.

Entre los mtodos qumicos y electroqumicos se pueden encontrar los siguientes:

Deposito catdico
Deposito sin corriente
Oxidacin andica
Oxidacin trmica
Deposito qumico de vapores
Spray pirolisis
Sol-gel

A continuacin se describen de forma breve algunos de los mtodos ms utilizados para

el depsito de pelculas delgadas.

Pulverizacin Catdica.
Si una superficie es bombardeada con partculas energticas como iones acelerados, es
posible causar expulsin de los tomos de la superficie de un material, un proceso
conocido como sputtering o pulverizacin catdica. Estos tomos eyectados pueden ser
condensados en un substrato para formar una pelcula delgada. En la mayora de los
casos, los iones positivos de gases neutrales pesados como argn se usan para
bombardear la superficie de materiales. Los materiales de alto punto de fusin pueden
ser usados tan fcilmente como unos de bajo punto de fusin, y empleando fuentes de
RF o DC la pulverizacin catdica de ambos materiales puede ser lograda y tanto
metales como aislantes pueden ser depositados

Tcnica de deposicin qumica en fase vapor asistida por plasma (PECVD)

El principal atractivo de esta tcnica es su capacidad para formar depsitos a
temperaturas significativamente menores que el CVD, los procesos PECVD se realizan
generalmente a una temperatura del sustrato en el intervalo 200 a 400C. Otra ventaja es
que la velocidad de depsito obtenida es ms elevada que la de las reacciones trmicas,
debido a la reduccin de barreras energticas que acompaan la utilizacin de un plasma
como fuente de energa. Otra caracterstica es el gran nmero de parmetros variables
que la controlan. Esto permite amplias posibilidades en el ajuste de las propiedades de
los materiales para una aplicacin dada.

Tcnica SOL-GEL.

Este proceso consiste bsicamente en la formacin de redes compuestas por elementos

inorgnicos obtenidos a travs de dos reacciones qumicas simultneas que son la
hidrlisis y condensacin, stas se inician a partir de una solucin homognea de
alcxido, solvente, agua y un catalizador, este ltimo puede o no, ser usado, y lo anterior
depende bsicamente del tipo de material y su aplicacin final.
La primera etapa de proceso es la hidrlisis del alcxido, y puede ser catalizada por
medio de un cido o una base, en esta etapa se obtienen soles, es decir una suspensin
de aspecto similar a una disolucin, que contiene partculas de tamao inferior a 100 nm
y se forman grupos silanol (Si OH) al tiempo en que se libera alcohol correspondiente
(ROH). Los grupos silanoles comienzan a polimerizar por medio de la condensacin, as
se van formando estructuras tridimensionales unidas por enlaces siloxano (Si-O-Si) al
irse eliminando el agua y el alcohol. Al final de la segunda etapa de condensacin se
forma un gel solido ms o menos compacto y denso, lo cual depender de las
condiciones del secado. Las estructuras tanto del sol como del gel, formados en las
primeras etapas dependen fuertemente de las condiciones de la reaccin inicial como son
la temperatura, el tipo de catalizador, as como, de las velocidades relativas de hidrolisis
y de la condensacin.
Al tiempo entre la formacin del gel durante el secado se le conoce como
envejecimiento, siendo este tambin un parmetro importante. Un gel no es esttico
durante el envejecimiento ya que continan ocurriendo simultneamente las reacciones
de hidrolisis y condensacin. Adems ocurre una remocin de solvente a causa del
encogimiento del gel y tambin se puede ocurrir una disolucin y reprecipitacin de
partculas. Estos fenmenos tambin afectan a las propiedades qumicas y estructurales
del gel. Un parmetro que sin duda afecta la estructura de los productos es el proceso y
condiciones de sacado. El secado por evaporacin convencional de un gel induce presin
capilar asociada entre la interfase liquido vapor con un poro. (Descripcin ms detallada
en http://www2.uca.es/grup-invest/geles/paginas/intro.html)

Glosario de Terminologa.
Hidrolisis. Las reacciones de hidrlisis se producen cuando los compuestos orgnicos
reaccionan con el agua. Se caracterizan por la divisin de una molcula de agua en un
grupo de hidrgeno e hidrxido con uno o ambos de estos apegndose a un producto
orgnico de partida. La hidrlisis, por lo general, requiere el uso de un catalizador cido
o base y se utiliza en la sntesis de muchos compuestos tiles. El trmino "hidrlisis"
significa literalmente dividir con agua; el proceso inverso, cuando el agua se forma en
una reaccin, se llama condensacin.

Alcxido. Los alcxidos o alcoholatos son aquellos compuestos del tipo ROM, siendo R
un grupo alquilo, O un tomo de oxgeno y M un ion metlico u otro tipo de catin. Los
alcxidos se obtienen a partir de los respectivos alcoholes mediante su desprotonacin.

Polimerizacin. proceso qumico por el que los reactivos, monmeros (compuestos de

bajo peso molecular) se agrupan qumicamente entre s, dando lugar a una molcula de
gran peso, llamada polmero, o bien una cadena lineal o una macromolcula
tridimensional.

Compuesto organometlico. Compuesto en el que los tomos de carbono forman enlaces

covalentes, es decir, comparten electrones, con un tomo metlico. Los compuestos
basados en cadenas y anillos de tomos de carbono se llaman orgnicos, y ste es el
fundamento del nombre organometlicos. La caracterstica de estos compuestos es la
presencia de enlaces entre tomos de metal y de carbono (que pueden ser sencillos,
dobles o triples) y por tanto no se consideran organometlicos aquellos compuestos en
que un metal se une a una molcula o fragmento por un tomo distinto del carbono,
como ocurre en algunos compuestos de coordinacin. Este grupo incluye un elevado
nmero de compuestos y algunos qumicos lo consideran un grupo distinto al de los
compuestos orgnicos e inorgnicos.

Suspensin coloidal (coloide o dispersin coloidal). Son mezclas intermedias entre las
soluciones y las suspensiones. Las partculas en los coloides son ms grandes que las
molculas que forman las soluciones y se componen de dos elementos o fases: la fase
dispersa y la fase de dispersin.