Mesures Sans Contact2

Mesures sans contact
Mthodes optiques (partie 1)

par
Jean-Louis CHARRON
Ingnieur au Centre technique des industries mcaniques (CETIM)
1.
1.1
1.2
Sources et dtecteurs : gnralits....................................................

Source lumineuse........................................................................................
Dtecteurs ....................................................................................................
R 1 332 - 2
2.
2.1
2.2
2.3
Triangulation .............................................................................................
Capteur unidirectionnel...............................................................................
Mesure bidimensionnelle. Relev de profil...............................................
Mesure tridimensionnelle par triangulation optique................................
4
4
6
7
3.
3.1
3.2
3.3
piscopie, vision industrielle. Rflexion, diffusion........................

piscopie, vision industrielle ......................................................................
Rflexion, diffusion......................................................................................
Triangulation par rflexion .........................................................................
8
8
9
11
4.
4.1
4.2
4.3
Ombroscopie, diascopie.........................................................................
Utilisation dune nappe ou dun faisceau parallle statique....................
Utilisation dun clairage diffus..................................................................
Utilisation dun balayage dun faisceau laser ...........................................
11
11
13
13
Comparatif .......................................................................................................... Comp. R 1 335
es mthodes optiques de mesures dimensionnelles sans contact conduisent

gnralement la ralisation de capteurs peu coteux. Elles ont une large
diffusion dans le domaine de la mcanique o on les trouve sous la forme de
simple dtecteur tout ou rien utilis pour automatiser des machines, pour un
cot plus lev, elles sont rencontres sous la forme de capteur mesurant unidimensionnel simple. Les systmes les plus complexes permettent deffectuer
des mesures tridimensionnelles. Dans la plupart des cas, elles sont simples
mettre en uvre et leur principe de fonctionnement nest jamais trs complexe.
Cet article sinscrit dans une srie consacre aux capteurs de mesures dimensionnelles sans
contact :
Mesures sans contact. Gnralits [R 1 330] ;
Mesures sans contact. Mthodes magntiques et capacitives [R 1 331] ;
Mesures sans contact. Mthodes optiques (partie 1) [R 1 332] ;
Mesures sans contact. Mthodes optiques (partie 2) [R 1 333] ;
Mesures sans contact. Autres mthodes [R 1 334] ;
Mesures sans contact. Comparatif [Comp. R 1 335] dans lequel le lecteur trouvera une
liste des principaux fournisseurs de capteurs.
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Techniques de lIngnieur
R 1 332 1
MESURES SANS CONTACT _______________________________________________________________________________________________________________
1. Sources et dtecteurs :
gnralits
Intensit normalise
1
Pour raliser un capteur optique on retrouve toujours les mmes

lments :
une source lumineuse ;
un dtecteur de lumire ;
des optiques de focalisation.
0,75
0,5
0,25
1.1 Source lumineuse
1/e 2
La source lumineuse peut tre naturelle (lclairage naturel)

mais bien souvent il sagit dune source artificielle. Les lampes
incandescence taient autrefois trs largement utilises. On leur
prfre maintenant, dans de nombreux cas, les diodes lectroluminescentes (LED) et les diodes laser en raison de leur taille, de
leur cot et de la faiblesse de la puissance consomme. Les tubes
laser sont rservs aux systmes complexes, de haut de gamme,
qui ncessitent soit une puissance optique importante, soit une
grande qualit mtrologique des faisceaux lumineux mis. Ils sont
par contre beaucoup plus encombrants.
Parmi les caractristiques importantes dun faisceau lumineux
se trouvent sa divergence et son tendue. Les limites de ces deux
grandeurs sont donnes par les lois de propagation de la lumire.
La relation qui lie la taille minimale dun faisceau gaussien TEM00
(mode Transverse lectromagntique. Voir article Sources laser
[E 4 020]) sa divergence permet de calculer le comportement de
nombreux capteurs optiques qui utilisent une source laser.
Si r 0 est le rayon minimal dun faisceau lumineux gaussien de
longueur donde , sa divergence est :
= --------------- r0
La variation du rayon r dun faisceau gaussien en fonction de la
distance z est donne par lquation (figure 1) :

z
r ( z ) = r 0 1 + --------------2
r0
2 1/2

(1)
La courbure R du front donde suit lquation :

R (z ) = z

z
1 + --------------2
r0
r0
1,5 r
Figure 2 Variation de lclairement dans la section

dun faisceau laser TEM00
Dans une section considre lclairement varie selon lquation

(figure 2) :
2 P 2x 2 /r 2
-e
I ( x ) = --------------(3)
r2
avec
distance par rapport laxe.
Les quations (1) (2) qui dcrivent la propagation dun faisceau

laser TEM00 de longueur donde 633 m, montrent quil est impossible de le focaliser dans une petite section sur une grande profondeur.
titre dexemple un diamtre infrieur 5 m ne peut tre gard
que sur une distance de 120 m, par contre on peut obtenir un faisceau
de diamtre infrieur 4,5 mm sur une longueur de 100 m.
Les pices claires absorbent, diffusent et/ou rflchissent la
lumire incidente selon leur couleur, leur tat de surface et leur
nature (transparente, opaque, isolante ou conductrice) (figure 3).
Exemple : une pice blanche laspect mat diffuse la lumire, une
pice lisse et conductrice la rflchie, une pice noire labsorbe.
1.2 Dtecteurs
2 1/2

(2)
Le dtecteur le plus largement utilis dans les capteurs optiques

est la photodiode (figure 4). Celle-ci transforme lnergie lumineuse en nergie lectrique. Elle est ralise selon des gomtries
et des technologies trs diverses en fonction de son utilisation. Les
modles les plus petits permettent dobtenir des capteurs avec un
temps de rponse trs court.
Utilise en mode photoconducteur, une photodiode polarise
prsente un temps de rponse trs faible (une bande passante
suprieure 100 MHz est possible). Sans polarisation, des photodiodes peuvent prsenter un trs faible bruit, une excellente linarit et sont ainsi utilisables pour mesurer de trs faibles intensits
lumineuses.
Surface d'clairement 1/e 2
Cne asymptotique
Figure 1 Variation du diamtre (dfini comme la distance laxe

pour laquelle lclairement reprsente 1/e2 fois lclairement sur laxe)
dun faisceau laser focalis en fonction de la distance
R 1 332 2
1,5 r r
La cellule deux ou quatre quadrants est utilise pour mesurer

des dplacements de faisceau lumineux de trs faible amplitude.
Elle est ralise en juxtaposant des photodiodes (figure 5).
Assembles en barrettes, elles permettent de mesurer une
rpartition dintensit lumineuse sur une ligne. Les barrettes CCD
(Charge Coupled Device) permettent de segmenter la ligne en plusieurs milliers dlments (10 000 pixels ou plus), la mesure de la
rpartition de lintensit lumineuse seffectue en deux phases :
______________________________________________________________________________________________________________
Faisceau
incident
Faisceau
incident
Faisceau
incident
MESURES SANS CONTACT
Faisceau
incident
Faisceau
incident
Faisceau
rflchi
Lumire
rflchie
et diffuse
Lumire
diffuse
Lumire
diffuse
Surface mate
et blanche
Faisceau
rflchi
Surface lisse
miroir
Surface mate
et noire
Surface rtrorflchissante
Surface mtallique
rugueuse
Figure 3 Exemples illustrant la diversit de comportement des surfaces claires
Surface active
Polarisation
Film en or
transparent
Lignes de sparation entre

les zones sensibles
P+ silicium
N silicium
4
Anodes
N+ diffusion
Cathode commune
3
Couche aluminium
mtallise
Figure 4 Schma dune photodiode
Faisceau
lumineux
Faisceau
lumineux
Figure 5 Schma dune cellule quatre quadrants
I2
Photocourants
Faisceau
lumineux
I2
Photocourants
L
I1
Cathode
J1
y
J2
I1
L
a cellule unidimensionnelle
b cellule bidimensionnelle
Figure 6 Schmas de cellules PSD
lintgration (accumulation des charges lectriques dans

chaque cellule) ;
la lecture (sortie squentielle dune tension proportionnelle
aux intensits lumineuses mesures).
Les matrices CCD ralisent la mme opration sur une surface
laide dune matrice de cellules dont le nombre peut atteindre
plusieurs millions (4 096 4 096). Leur nombre et leur densit augmentent actuellement avec les progrs rapides de la microlectronique.
Dans les dispositifs de mesure de dplacement sans contact par
une mthode optique, il est souvent fait appel aux photodiodes
effet latral ou PSD (Position Sensing Device ). Ce sont des dtecteurs capables de dlivrer des signaux lectriques en fonction de
la position dun point lumineux sur leur surface.
Ce type de dtecteur prsente :

une rsolution infinie ;
un temps de rponse trs rapide (jusqu quelques dizaines
de nanosecondes) ;
une linarit meilleure que celle des cellules deux ou quatre
quadrants. Il na besoin, en comparaison avec les cellules CCD, que
de circuits damplification simples mais, il est moins juste et beaucoup plus sensible linfluence de la temprature.
Le faisceau lumineux cre des charges lectriques dans la
jonction de la photodiode proportionnellement son intensit. Ces
charges lectriques sont collectes par les lectrodes, chaque lectrode recevant un courant inversement proportionnel sa distance
au point dimpact du faisceau lumineux.
La position du faisceau lumineux sur les cellules (figure 6) est
donne par les quations suivantes :
R 1 332 3
I1 I2 L
x = ------------------ ------
I1 + I2 2
J1 J2 L
y = ---------------------- ------
J1 + J2 2
avec
x
y
I1 , I2
J1, J2
Dtecteur
(4)
Image du point mesur

sur le dtecteur
Objectif
abscisse du point dimpact du faisceau lumineux,

ordonne du point dimpact du faisceau lumineux,
photocourants gnrs sur laxe des abscisses (o ; x),
photocourants gnrs sur laxe des ordonnes
(o ; y ),
distance sparant les lectrodes.
Un circuit lectronique effectue les calculs selon les quations

prcdentes et fournit des signaux fonction de la position du point
clair.
Axe de rfrence
du systme
de prise de vue
z
d
Faisceau lumineux
Point
mesur
Projection des directions de

mesure sur le plan de rfrence
Axe de rfrence
du systme d'clairage
a systme un dispositif d'clairage
2. Triangulation
Dtecteur
La mesure des positions des points par triangulation se fait par

la dtermination de lintersection de deux directions : celle de
lclairage du point mesurer sur la pice et celle do lon voit le
point clair du systme de mesure (figure 7a).
Un deuxime systme de mesure de la position des points clairs est parfois utilis (figure 7b). La triangulation se fait alors entre
les deux systmes de mesure, le systme dclairage ne servant
qu dsigner les points. La prcision de mesure est alors amliore.
Pour les capteurs les plus simples, lclairage est bien souvent
ralis avec une diode lectroluminescente et une lentille de focalisation, pour les capteurs plus prcis ou plus complexes.
Lclairage structur peut tre ralis soit laide de faisceaux
laser, soit par projection dune mire ou dune trame :
un laser permet de raliser soit un clairage ponctuel pour
mesurer dans une direction, soit une ligne pour mesurer dans un
plan, soit plus compltement un ensemble de points ou de lignes
pour mesurer en trois dimensions ;
les mires ou trames sont la plupart du temps projetes en
lumire blanche, mais il existe aussi des systmes holographiques
qui diffractent un faisceau laser selon une image adapte
(ensemble de points, de lignes ou cercles concentriques).
Le systme de mesure de la position des points clairs est ralis laide dun objectif et dun dtecteur optique qui peut tre
une cellule effet latral (PSD) linaire ou surfacique ou un dtecteur CCD linaire ou surfacique.
partir de la gomtrie du systme de mesure, les coordonnes
du point mesur sont calcules avec les quations suivantes :
d tan ( + )
x = ---------------------------------------------------------------------tan ( + ) tan ( + )
d
y = -------------------------------------------------------------------------------------------------

tan + + ----- tan + + ------
2
2
z = x 2 + y 2 tan
avec
, et
R 1 332 4
Image du point mesur

sur le dtecteur
Objectif
Faisceau lumineux
Axe de rfrence
du 2e systme
de prise de vue
z
Objectif
Dtecteur
Point
mesur
Axe de rfrence
du 1er systme
de prise de vue
Axe de rfrence
du systme d'clairage
b systme deux dispositifs d'clairage

Figure 7 Systmes de mesure par triangulation optique
Langle peut aussi tre mesur mais il fait double emploi avec
langle ; une moyenne peut tre effectue.
2.1 Capteur unidirectionnel

2.1.1 Principe
Le capteur de dplacement unidirectionnel est le plus simple des
capteurs par triangulation.
(5)
distance entre le dispositif de projection de faisceaux lumineux et le systme de prise de vue,

direction de laxe de rfrence du systme
dclairage,
direction de laxe du systme de prise de vue,
angles qui varient en fonction de la position du
point mesur.
Il est constitu principalement (figure 8) :

dune diode laser ou lectroluminescente (LED) et dun collimateur qui cre un faisceau fin, dune part ;
dun dtecteur linaire et dun objectif, dautre part.
Ces lments sont regroups dans un botier mtallique. Selon
les fabrications, lensemble de llectronique de traitement peut
aussi tre regroup dans le mme botier.
Le collimateur focalise le faisceau lumineux la distance de
mesure moyenne. Lobjectif focalise limage du point clair par le
faisceau lumineux sur le dtecteur linaire. La position de cette
image sur le dtecteur linaire est fonction de la distance de la
pice mesurer.
______________________________________________________________________________________________________________
diffusent pas la lumire assez uniformment en raison de leur tat

de surface. De plus, il y a linfluence du speckle si la source utilise
est un laser, cest--dire que le faisceau clairant la pice mesurer
tant cohrent, la tache mesure est granuleuse.
Dtecteur PSD ou CCD

Distance moyenne de mesure
Objectif
Collimateur
tendue de mesure
LED ou Diode laser
Figure 8 Schma dun capteur de dplacement par triangulation
Dtecteur PSD ou CCD inclin pour obtenir une rponse linaire

Distance moyenne de mesure
Ici se trouvent les principales limitations des performances de la

mthode de mesure. Pour diminuer linfluence du speckle, il faut
augmenter louverture de lobjectif de mesure. Pour diminuer
linfluence des non-uniformits de surface, il faut :
soit utiliser un faisceau dclairage trs fin et un dtecteur de
haute rsolution ;
soit utiliser un faisceau dclairage assez gros pour moyenner
les irrgularits sur une surface suffisamment grande. Dans ce cas
de trs bonnes justesses sont ralisables, mieux que 0,01 % en
compensant les erreurs de linarit par talonnage.
Des versions simplifies fonctionnent en dtecteur de proximit :
selon les modles, ltendue de dtection varie du centimtre
une quinzaine de mtres.
Stabilit
Ce sont les variations de temprature de la tte de mesure et du
conditionneur qui peuvent provoquer des drives. Elles provoquent des dplacements relatifs des diffrents lments optiques
et des drives des composants. Des valeurs de drives de
0,02 %/oC de ltendue de mesure sont courantes. Des compensations sont mises en uvre dans les capteurs de prcision : des
valeurs de lordre de 0,003 %/ oC sont alors ralisables.
Sortie des rsultats des mesures, rponse en frquence, bruit
Triangles semblables
Objectif
Collimateur
tendue de mesure
LED ou Diode laser
Figure 9 Schma dun capteur linaire
Pour la forme la plus simple, le capteur dlivre un niveau logique

indiquant quune pice est dtecte dans lintervalle de distance
programm.
Les capteurs mesurant dlivrent, selon les ralisations, une
tension analogique (de 0 10 V) proportionnelle la distance
mesure ou un courant (de 4 20 mA). Les conditionneurs plus
complets comportent un affichage numrique, ils peuvent de plus
indiquer lintensit du signal lumineux recueilli, et possder une
sortie numrique (RS 232).
Des rponses en frquence jusqu 20 kHz sont possibles, le
bruit de mesure tant alors en gnral assez important. La rduction du bruit est effectue par moyennage ou par augmentation de
la puissance dclairage.
2.1.3 Limites dutilisation

2.1.2 Principales caractristiques
tendue et distance de mesure
La distance moyenne de mesure de ce type de capteur est
fonction de la distance qui spare lmetteur du rcepteur et de
langle de leur axe de vise. Elle varie entre quelques centimtres
et plusieurs mtres.
Les tendues de mesure sont trs variables : elles schelonnent
de quelques diximes de millimtre plusieurs mtres.
Justesse de mesure
Le dplacement du point lumineux sur le dtecteur nest pas en
gnral une fonction linaire de la position de la pice mesurer
sauf si on le positionne convenablement (figure 9) : le dtecteur est
inclin par rapport laxe optique, afin de rendre les triangles objet
et image semblables.
Les conditionneurs peuvent compenser les erreurs de linarit,
une justesse de 0,1 % de ltendue de mesure est assez facilement
obtenue. Des ralisations soignes et des mesures sur pices
dtat de surface uniforme et fin, permettent dobtenir une linarit
de 0,05 %.
Il est par contre pratiquement impossible dobtenir une justesse
de 0,01 % si ltendue du point mesur est petite car les pices ne
Les capteurs de dplacement par triangulation optique permettent deffectuer des mesures dans des conditions dambiance qui
ne sont pas trop contraignantes. La temprature du capteur est
souvent limite une tendue de 0o 50 oC. Les mesures se font
gnralement dans lair. Les mesures travers une fentre sont
possibles condition den tenir compte ltalonnage. Les projections deau ou dhuile sont viter, elles perturbent les mesures.
Par contre, il est possible de mesurer les dplacements dune pice
place dans un liquide transparent mais il faut talonner le capteur
dans les conditions de mesure en raison de linfluence de la
rfraction.
Les capteurs de dplacement par triangulation optique peuvent
mesurer des pices de nature trs diverses condition que leur
surface soit diffusante. Les surfaces optimales sont blanches et
mates. Des problmes de mesure peuvent se produire sur des surfaces mtalliques faible rugosit car dans ce cas, la lumire diffuse vers le rcepteur du capteur peut devenir trop faible.
La mesure nest en gnral pas possible sur des matriaux transparents. Avec prcaution, des mesures sont ralisables sur des
verres dpolis. Des erreurs de dcalage peuvent se produire lorsque lon effectue des mesures sur des pices translucides (alumine, matires plastiques). Lorsque lintensit de la lumire
diffuse vers le dtecteur du capteur diminue, le bruit de mesure
R 1 332 5
Source
PSD 2
PSD 1
Source
Dtecteur linaire
Dtecteur
circulaire
Objectif
Lentilles
Collimateur
Zone de mesure
Figure 10 Schma de capteurs ayant plusieurs axes de dtection
de la lumire diffuse
Miroir oscillant
Figure 11 Schma dun systme de mesure bidimensionnel,

la ligne de mesure est dans le plan de triangulation
augmente. Pour limiter ce problme dans certaines ralisations, un

ajustement automatique de la puissance de la source lumineuse
est ralis.
En cas de variation locale du coefficient de diffusion (transition
noir-blanc) de la surface mesurer, une augmentation de lerreur
de mesure se produit. Le mme phnomne se produit sur une
arte. Cest lune des principales causes de la limitation de la justesse de ce type de capteur.
Source
Dtecteur surfacique
Objectif
Ce type de capteur peut tre perturb par la lumire ambiante ;

des limites dclairement situes entre 2 000 et 4 000 lux sont
courantes mais des constructions spciales permettent des mesures en plein soleil avec un clairement de lordre de 1 million de
lux.
Il faut bien veiller ce que les points mesurer soient visibles
de la source et du rcepteur. La mesure au fond dun trou profond
nest souvent pas possible. Lorsque les pices dfilent devant le
capteur, il est prfrable dorienter le capteur perpendiculairement
au sens de dplacement, le point lumineux ne sera alors pas
occult au passage de marches.
Certains capteurs utilisent des sources lumineuses laser de puissance assez importante (classe III par exemple), des prcautions
demploi sont donc prendre pour prserver la scurit du personnel.
Pour amliorer les caractristiques de capteur de dplacement
par triangulation optique des constructeurs ont ajout un ou plusieurs axes de mesure de la lumire diffuse par la pice, cela permet de limiter en partie linfluence des non-uniformits de la
surface mesure ainsi que celle des sauts abruptes (figure 10).
2.2 Mesure bidimensionnelle.

Relev de profil
2.2.1 Principe
Plusieurs modes de ralisation sont possibles, suivant la gomtrie de mesure utilise, le type de dtecteur et le mode
dclairage.
Mthode la plus simple
La mesure dun profil peut tre obtenue en dplaant un capteur
unidimensionnel soit par une rotation autour dun axe, soit par
translation. On peut aussi placer un miroir qui change dorientation
devant un capteur unidimensionnel (figure 11).
R 1 332 6
Collimateur
Dviateur
Zone de mesure orthogonale

au plan de triangulation
Miroir
Figure 12 Schma dun systme de mesure bidimensionnel, la ligne

de mesure est dans le plan perpendiculaire au plan de triangulation
Faisceau dclairage dvi dans le plan de triangulation

Pour dvier le faisceau lumineux, il est possible dutiliser un
miroir mont sur un galvanomtre ou un axe de codeur angulaire.
Un dviateur acousto-optique peut aussi tre utilis. La modulation
de la puissance lumineuse peut tre ralise, si ncessaire, par la
diode laser ou par un dispositif de dviation acousto-optique. Un
dtecteur linaire est en gnral utilis : suivant les performances
souhaites, on peut utiliser un dtecteur PSD ou CCD (cf. 1.2). La
mesure est squentielle sur la ligne de mesure. La cadence de
mesure peut atteindre 10 000 points par seconde.
Pour raliser des mesures laide de cette mthode il faut
contrler prcisment langle de dflexion du faisceau lumineux,
ce qui est la plupart du temps ralis avec un miroir plac sur un
axe de rotation quip dun codeur angulaire.
Faisceau dclairage dvi dans le plan perpendiculaire
au plan de triangulation (figure 12)
Pour raliser le plan lumineux, il est possible dutiliser :
une diode ou un tube laser et des lentilles cylindriques ;
un rseau holographique ;
un miroir tournant ou un dviateur acousto-optique.
______________________________________________________________________________________________________________
2.3 Mesure tridimensionnelle

par triangulation optique
2.3.1 Principes
Premirement, la mesure tridimensionnelle peut tre ralise en
dplaant un capteur de dplacement unidimensionnel par triangulation optique selon deux ou trois axes de translation, comme
dans une machine mesurer classique (palpage mcanique). Il est
possible aussi de combiner un axe de rotation sur lequel la pice
mesurer est place et dplacer le capteur de mesure sans contact
sur un ou deux axes de dplacement linaire, cela permet den
contrler une plus grande partie.
Figure 13 Capteur bidimensionnel utilisant deux camras

pour mesurer le profil de la pice (source : Kron)
En lumire blanche, le plan lumineux peut tre obtenu laide

dune lampe halogne et dune fente. On peut aussi choisir dclairer un demi-plan en utilisant un couteau. Un dtecteur CCD matriciel est le plus habituellement utilis pour mesurer lintersection du
plan lumineux avec la pice mesurer. Si le plan lumineux est
obtenu par balayage, un dtecteur PSD bidimensionnel est utilisable.
Applications possibles
En utilisant trois systmes de mesures placs 120o, il est possible de contrler la forme extrieure de joints la sortie dextrudeuse, de profil en sortie de laminoir ( chaud ou froid), de
reconnatre et de mesurer la position dune voie ferre situe
ct dune autre.
Capteurs bidimensionnels deux axes de mesure
Comme pour les capteurs unidimensionnels, des constructeurs
utilisent deux axes de mesure de la lumire diffuse (figure 13)
afin damliorer la justesse ou permettre des mesures lorsquil y a
des variations brusque daltitude qui cachent lune des camras.
Cet axe supplmentaire peut aussi prsenter lavantage deffectuer
la mesure sans avoir tenir compte de la direction du plan laser,
il peut ainsi servir seulement dsigner la ligne mesurer. Le
deuxime axe de mesure permet aussi de compenser en partie
linfluence des variations des proprits optiques de la surface
mesure et damliorer ainsi la justesse lorsque la surface na pas
de proprits optiques uniformes.
Deuximement, le relev tridimensionnel peut tre effectu en

dplaant la pice par translation ou rotation devant un systme
de mesure bidimensionnel selon sa forme. On peut videmment
aussi dplacer un systme de mesure bidimensionnel selon un axe
de rotation ou de translation.
La troisime mthode consiste associer un clairage bidimensionnel et un dtecteur lui aussi bidimensionnel.
Il y a de nombreuses solutions pour raliser un clairage structur bidimensionnel :
il est possible de dplacer un faisceau laser laide de deux
miroirs aux axes de rotation orthogonaux (avec des goniomtres
ou des galvanomtres) ou laide dun seul miroir mont sur un
goniomtre possdant deux axes de rotation ;
une autre mthode pour raliser cet clairage est de dplacer
un plan lumineux avec un miroir rotatif.
Le moyen le plus souple utilise deux dflecteurs acoustooptiques croiss (figure 14). Dans ce cas nimporte quelle forme
dclairage peut tre ralise. Il est possible de passer dune direction une autre en 50 s : pendant une prise dimage de 40 ms,
500 points diffrents peuvent tre clairs tout en modulant lintensit lumineuse en fonction de ltat de surface de la pice
contrler. Un ensemble de lignes, courbes ou points peut tre programm en fonction de la forme de la pice mesurer et des
dimensions que lon dsire contrler. Sur une pice type le systme de mesure ajuste automatiquement lintensit lumineuse
ncessaire la mesure de chaque point. Cest un moyen de
mesure rapide et souple qui peut tre utilis sur les lignes de production.
Amplification
des dviations
Dflecteurs
acoustico-optique
Camra
VCO
VCO
Convertisseurs
numrique /
analogique
Calculateur
Carte d'acquisition
vido ou numrisation
de l'image
Figure 14 Schma dun systme de mesure

tridimensionnelle par triangulation utilisant
deux dviateurs acousto-optiques pour
dsigner les points mesurer (source : CETIM)
R 1 332 7
3. piscopie, vision
industrielle. Rflexion,
diffusion
a exemples de srie de mires qui sont successivement projetes

sur la pice mesurer
Cette mthode de mesure utilise la lumire qui est rflchie ou

diffuse par lobjet mesurer, lclairage et le dispositif de mesure
de la lumire tant disposs proximit lun de lautre. Trois
modes de mesure sont principalement utiliss :
la mesure sur image en piscopie ou en vision industrielle ;
la mesure dintensit lumineuse rflchie ou diffuse laide
de dtecteurs ou par lintermdiaire de fibres optiques ;
la mesure par triangulation en mesurant la position dun
point lumineux rflchi par la surface mesurer ou en analysant
limage dune trame rflchie par la surface mesurer.
3.1 piscopie, vision industrielle

3.1.1 Principe de mesure
Un dispositif optique (microscope ou camra) est utilis pour
visualiser une image de la pice mesurer, et y faire des points.
Il est gnralement mont sur un ou deux axes de translation
orthogonaux, un troisime axe parallle celui de laxe optique
permet de faire la mise au point image. Dans sa forme la plus simple cest un microscope avec une visualisation avec un oculaire ou
sur un verre dpoli, cela peut tre aussi une camra ou un appareil
photographique numrique, avec lesquels une analyse dimage est
effectue. Dans sa forme la plus complte le systme prend la
forme dune machine mesurer, le dispositif optique remplaant
les palpeurs de mesure et mettant disposition une image.
b trame projete sur une portire ( GF Messtechnik GmbH )
Figure 15 Projection de trame en lumire blanche
(source : GF Messtechnik GmbH)
Pour le contrle unitaire, des systmes projection de trames

sont utiliss. Ils permettent deffectuer la numrisation complte de
parties de pices. Ils sont gnralement constitus dun projecteur
qui permet dclairer les pices avec des trames de pas de plus en
plus fins afin de dsigner les lignes mesurer et permettre de lever
les ambiguts de mesure (figure 15). Le pas du rseau projet ne
doit pas tre trop fin sinon un effet de moir apparat et peu perturber lanalyse des mesures : les lignes de transition noir blanc ne
sont plus parallles et forment des contours. Chaque transition noir
blanc constitue un plan de mesure. La mesure dure une dizaine de
secondes, le temps de projeter les trames successivement et
dacqurir les images.
Selon les modles, une ou deux camras sont utilises pour

effectuer les mesures par triangulation.
Les rsultats des mesures sont amliors en recouvrant la surface mesurer avec une substance blanche et diffusante de
manire obtenir des images de luminosit uniforme. En collant
sur la pice des repres identifiables, il est possible dassembler
des prises de vue faites sous des angles diffrents comme on le
fait en photogrammtrie (cf. article Perception gomtrique tridimensionnelle en robotique [R 7 750], 5.6, dans ce trait). La justesse de mesure (de 0,05 % 0,005 % de ltendue de mesure) est
dans de nombreux cas meilleure que celle des systmes utilisant
un clairage laser car il ny a pas linfluence du speckle, lclairage
tant incohrent. De plus on utilise la transition noir blanc pour
effectuer la triangulation. Cette mthode est moins sensible aux
non-uniformits de teinte de la pice.
R 1 332 8
La pice mesurer est claire par un dispositif annulaire souvent plac autour de laxe optique ou par lobjectif lui-mme.
Trois modes de mesure sont utiliss :
le point sur le bord de surface (figure 16) ;
la mesure de dimensions dlment laide de limage visualise (figure 17) ;
la mesure daltitude de point de la pice par rglage de la mise
au point. Selon les machines et les logiciels qui leur sont associs,
les prises de cote peuvent tre entirement manuelles, en partie
automatiques des algorithmes de traitement dimage aidant
loprateur faire des mesures , ou compltement automatiques
pour les machines adaptes au contrle en srie, des gammes de
contrle sont alors compltement programmes.
En vision industrielle, la camra est fixe dans la plupart des cas,
les mesures se font par analyses et traitements dimage, les pices
contrler sont places automatiquement devant la ou les camras de mesure. Dans ce cas, en plus des dimensions des pices,
des dfauts daspect peuvent aussi tre contrls.
3.1.2 Caractristiques techniques

Ltendue de mesure (par point) correspond celle des courses
des dispositifs de translation utiliss (les dimensions les plus
communes sont de lordre de 500 mm 200 mm 150 mm). Pour
des dimensions plus grandes on monte une tte optique sur une
machine mesurer conventionnelle. Pour des applications spcifiques, il y a des machines plus petites ou simplifies. Les grossissements des dispositifs optiques utiliss schelonnent entre 1
et 100 ce qui permet de couvrir un champ de mesure de
0,07 mm 0,055 mm pour les grossissements les plus importants
8 mm 6 mm sans grossissement, lanalyse de limage tant faite
laide dun dtecteur CCD de surface moyenne.
______________________________________________________________________________________________________________
Dtecteur
CCD
Support de pice
Objectif
Pice
mesurer
2,5 104 de ltendue de mesure selon le nombre de pixels du

dtecteur utilis (512 512 4 096 4 096).
Ces systmes de mesure sont gnralement utiliss dans des
laboratoires de mtrologie dimensionnelle. Leurs drives sont
comparables celles des machines classiques (voir spcifications).
Cest une mthode de mesure statique : cest loprateur qui
guide les mesures. Quelques oprations simples peuvent tre
automatises (suivi de contour, reconnaissance de forme, calcul de
rayons, de diamtres...).
Dplacement du
dispositif de mesure
Plan de mesure
En mode point, le systme peut effectuer quelques points de

mesure par seconde, en mode traitement dimage chaque analyse
lmentaire prend quelques fractions de seconde.
Dans le cadre de la vision industrielle, la dure de mesure
dune image peut tre rduite quelques millimes de secondes.
La cadence de traitement peut atteindre la cadence de prise
dimage si les moyens de calcul sont assez puissants et les traitements raliser pas trop complexes.

La taille des pices est limite par les capacits de la machine
pour les mesures par point mais ce sont souvent des petites
pices qui sont mesures avec ce type de machine.
Figure 16 Mesures par points sur bord de pice
Plan de mesure
clairage
Dtecteur
CCD
Pice mesurer
Objectif
Lautomatisation des mesures nest pas complte, un oprateur

est dans la plupart des cas ncessaire. Pour obtenir les meilleurs
rsultats les systmes de mesure doivent tre placs dans des
locaux climatiss. La finesse insuffisante des contours, des artes,
induit des incertitudes de mesure complmentaires.
Si lon dsire faire des mesures fort grossissement, en raison
de la forme de la pice, on peut rencontrer des difficults placer
lobjectif prs de la surface contrler.
Les dtails que lon veut mesurer doivent se traduire par des
variations de contraste sur limage mesure, des algorithmes
peuvent tre mis en uvre pour les dtecter.
3.1.4 Domaines dapplication
clairage
Figure 17 Mesure des dimensions dlments dans le champ

de limage mesure (la camra et le systme de vision)
Les grossissements des camras ou appareils photographiques

numriques schelonnent entre 1 et 106 selon que la prise de vue
est une macrophotographie ou une photographie spaciale, ltendue de mesure peut donc dpasser 10 km.
La justesse (102 105 de ltendue de mesure) est fonction de
la qualit du contrle des dplacements de la tte de mesure (voir
spcifications des machines), de la justesse du grandissement de
loptique, de la qualit de la correction ou de la compensation de
ses distorsions, de la rsolution du dtecteur utilis, des modes de
dtection de contour mis en uvre et de la prcision de la mise au
point pour la fixation du grandissement et les mesures selon laxe
optique.
La rsolution est meilleure que 0,1 m pour les axes des machines les plus soignes, de 0,2 m pour les objectifs avec plus fort
grossissement et de 0,1 m pour le dtecteur CCD, avec un grandissement de 100. Plus gnralement elle varie entre 20 104 et
Dans le domaine de la mtrologie dimensionnelle, cette

mthode de mesure est complmentaire celle des machines
mesurer traditionnelles. Elle permet de mesurer des petits dtails
difficiles analyser avec des palpeurs mcaniques, de faire des
mesures sans contact et tridimensionnelles sur des pices fragiles,
dformables (matires plastiques, lastomres, caoutchoucs...).
Cest la mthode de mesure qui est utilise pour dterminer la
taille des empreintes pour certains essais de duret, pour talonner
directement les rgles optiques.
Cette mthode de mesure est aussi principalement utilise dans
le domaine de la vision industrielle pour effectuer des contrles en
ligne trs divers.
3.2 Rflexion, diffusion

3.2.1 Principe
Une source lumineuse met un cne de lumire, la lumire
rflchie et diffuse par la pice est mesure par un dtecteur
(figure 18).
Lintensit lumineuse mesure par le dtecteur est fonction de la
distance qui le spare de la pice et des caractristiques optiques
de surface de celle-ci. Lorsque la distance est trs faible, le rcepteur ne reoit pas de lumire, lorsquelle augmente lintensit collecte passe par un maximum et dcrot grande distance
(figure 19).
R 1 332 9
Source
de lumire
Rcepteur
Fibres d'mission
Fibres de rception 1
Cne d'mission
Fibres de rception 2
Lumire rflchie ou diffuse

Cne de rception
a arrangement des fibres d'un capteur compos
Intensit I
Figure 18 Schma de principe dun capteur de dplacement

rflexion
Intensit I
Pice mesure
I1
I2 /I1
I2
d
Champ lointain
b intensit mesure
Figure 21 Variation de lintensit mesure par chaque rseau

de fibre de rception et de la sortie calcule
Champ proche
d
Figure 19 Variation de lintensit mesure en fonction
de la distance pour un capteur non compens
3.2.2 Caractristiques techniques

Les tendues de mesure varient de 0,05 mm 20 mm selon
lespacement et larrangement de la source et de la dtection.
Pour compenser linfluence de la surface mesure sur la rponse

dun capteur de mesure de distance par rflexion, on utilise deux
capteurs en parallle avec une disposition diffrente du deuxime
rcepteur (figure 20). Le rapport des sorties des deux ensembles
est calcul pour crer une sortie fonction de la distance mais relativement insensible aux variations de rflectance de la pice
mesure. Le capteur reste cependant un peu sensible la brillance
ou matit de la surface, car elles influencent la rpartition angulaire
de la lumire rflchie.
Dans la plupart des ralisations industrielles, des fibres optiques
sont utilises pour dporter la source de lumire et les dtecteurs au niveau du point de mesure (figure 21) : cela permet plus
de souplesse et la miniaturisation de la zone mesurante.
Source
de lumire
Rcepteurs
1
Cne
d'mission
Lumire
rflchie
ou diffuse
Cette mthode de mesure permet une rsolution trs fine :

0,002 m pour les plus petites tendues de mesure.
La temprature dutilisation de tte fibre optique est comprise
entre 55 oC et 100 oC, des ralisations permettant datteindre
500 oC sont possibles.
La bande passante standard est assez leve (20 kHz). Elle peut
tre augmente jusqu 1 MHz au dtriment du bruit de mesure ou
rduite 100 Hz pour amliorer la rsolution dun facteur 10.
La surface de la pice mesurer doit avoir une rflectivit uniforme sinon la rponse est perturbe.
Cne de rception
du rcepteur 1
Cne de rception
du rcepteur 2
Pice mesure
Figure 20 Schma dun capteur de dplacement

par rflexion compens
R 1 332 10
La rponse de ce type de capteur nest pas linaire sur toute

ltendue de mesure. Pour les capteurs non compenss, un talonnage avec la pice mesure est absolument indispensable, pour
tenir compte de la rflectance de la surface vise. On ne peut pas
les utiliser dans la zone de jonction entre le champ proche et le
champ lointain.

Les capteurs non compenss peuvent tre utiliss pour mesurer
les dplacements dune pice dans laxe de mesure (vibrations,
contrle de dplacement, mesure de niveau de liquide ou de verre)
condition de faire un talonnage dans les conditions dutilisation.
Les capteurs compenss diminuent linfluence de la rflectivit
de la pice dun facteur 25 et donc autorisent un dfilement de la
cible orthogonal laxe de mesure (mesure dpaisseur, dtection
de bord, mesure de pices isolantes, de dplacement darbre). Un
talonnage est ncessaire pour amliorer la justesse de mesure et
tenir compte des variations de matit.
______________________________________________________________________________________________________________
Diode laser
Dtecteur PSD ou CCD
Collimateur
Lentille de focalisation
Faisceau rflchi
Pice rflchissante
et de drives des composants. Des valeurs de 0,02 %/oC de ltendue de mesure sont courantes. Des compensations sont mises en
uvre dans les capteurs de prcision, pour lesquels des valeurs de
lordre de 0,003 %/oC sont ralisables.
Sortie des rsultats des mesures, bande passante, bruit
Pour la forme la plus simple, le capteur dlivre un niveau logique
indiquant quune pice est dtecte dans lintervalle de distance
programm.
Figure 22 Schma de principe du capteur unidirectionnel

par triangulation par rflexion
Les capteurs mesurant dlivrent, selon les ralisations, une tension analogique (de 0 10 V) proportionnelle la distance mesure
ou un courant (de 4 20 mA). Les conditionneurs plus complets
comportent un affichage numrique, ils peuvent de plus indiquer
lintensit du signal lumineux recueilli et possder une sortie
numrique (RS 232).
Compte tenu des caractristiques de tenue en temprature, des

bandes passantes, de la sensibilit, de la transmission de la
mesure par fibres optiques, le domaine dapplication de ce type de
capteur est large, toutefois il ne faut pas chercher une justesse
importante.
Des rponses en frquence jusqu 20 kHz sont possibles, le

bruit de mesure tant alors en gnral assez important. La rduction du bruit est effectue par moyennage ou par augmentation de
la puissance dclairage.
3.3 Triangulation par rflexion

3.3.1 Principe du capteur unidimensionnel
Le capteur unidirectionnel de dplacement par triangulation
rflexion est construit avec les mmes lments quun capteur de
dplacement par triangulation classique (cf. 2.1.1) mais ils sont
arrangs pour utiliser le faisceau rflchi par la pice (figure 22) au
lieu de la lumire diffuse par la pice. Il ne fonctionne donc pas
avec une pice diffusante. Le systme de dtection mesure directement la position du faisceau rflchi dans son champ, il ny a pas
de triangulation. Une diode laser, ou plus rarement une diode
lectroluminescente, et une lentille collimatrice sont utilises pour
clairer le point mesur sur la pice, limage du point est focalise
sur le dtecteur optique linaire (PSD ou CCD). Les positions
relatives du faisceau dclairage de la lentille de focalisation et du
dtecteur optique sont telles que la mesure soit indpendante de
lorientation de la surface mesure dans une petite plage de
variation.
3.3.2 Principales caractristiques
La distance de mesure mais surtout ltendue de mesure sont en

gnral peu importantes car il faut que le faisceau lumineux rflchi entre dans loptique de dtection. Ltendue de mesure est au
plus gale louverture de la fentre de dtection et si lon veut
tolrer des variations dorientation de la surface mesure cette
tendue est encore diminue. La diffusion du faisceau de mesure
par la surface diminue la quantit de lumire mesure et augmente
donc le bruit.

Les mesures par rflexion sont en gnral plus prcises et plus
rapides que celles effectues par triangulation classique (diffusion),
car presque toute la lumire mise est mesure par le dtecteur.
Cette mthode est donc bien adapte pour les petites tendues de
mesure et la mesure sur les pices rflchissantes qui est souvent
dlicate avec la triangulation classique.
4. Ombroscopie, diascopie
tendue et distance de mesure

La distance moyenne de mesure de ce type de capteur est
fonction de la distance qui spare lmetteur du dtecteur et de
leurs orientations relatives. Elle varie entre quelques centimtres et
dcimtres, la valeur maximale tant plus petite que celle des capteurs de triangulation qui utilisent la diffusion.
Les tendues de mesure sont gnralement petites, elles schelonnent de quelques diximes de millimtre jusqu plusieurs
centimtres.
Justesse de mesure
Le dplacement du point lumineux sur le dtecteur est en gnral une fonction linaire de la position de la pice mesurer si on
le positionne convenablement. Les conditionneurs peuvent
compenser les erreurs de linarit : une justesse de 0,1 % de ltendue de mesure est assez facilement obtenue. Des ralisations soignes et des mesures sur pices dtat de surface uniforme et fin
permettent dobtenir une linarit de 0,05 %.
Stabilit
Ce sont les variations de temprature de la tte de mesure et du
conditionneur qui peuvent provoquer des drives. Elles provoquent des dplacements relatifs des diffrents lments optiques
Le lecteur pourra consulter galement larticle Visualisation et

mesures optiques en arodynamique [R 2 160], 1.2 dans ce trait.
Pour effectuer des mesures par ombroscopie on ralise un clairage de la pice mesurer par larrire laide dun faisceau lumineux parallle ou un clairage diffus et lon mesure limage de la
pice ou son ombre, agrandie ou non, sur un dtecteur (diascopie).
Trois mthodes sont principalement utilises pour effectuer des
mesures par ombroscopie :
utilisation dune nappe ou dun faisceau parallle statique ;
utilisation dun clairage diffus ;
balayage par un faisceau laser.
4.1 Utilisation dune nappe

ou dun faisceau parallle statique
laide dune source ponctuelle, qui peut tre une diode laser,
un trou ou une fente place au foyer dune lentille convergente
(cylindrique ou sphrique), un faisceau (ou une nappe lumineuse)
parallle est ralis. Il claire la (ou les) pice(s).
R 1 332 11
I
1
I
1
I
1
0,75
0,75
0,75
0,5
0,5
0,5
0,25
0,25
0,25
1/e2
1,5 r r
1,5 r
3r
2r
a rpartition gaussienne
2r
3r x
b diffraction par une fente
c diffraction par hologramme
Figure 23 Comparaison entre les diffrentes mthodes de rpartir la lumire en ombroscopie
Nappe lumineuse parallle
Source
lumineuse
ponctuelle
Dtecteur
CCD
Lentille
collimatrice
Source tendue
au foyer de la lentille
collimatrice
Lentille collimatrice
de focale f
Pice mesurer
Fente mesurer
Figure 24 Mesure directe dune pice par ombroscopie

avec un dtecteur CCD
Dtecteur
La qualit du faisceau lumineux (paralllisme) sera dautant plus

grande que la taille de la source lumineuse est petite. Les caractristiques de la lentille collimatrice ont aussi leur importance.
Pour une diode laser monomode, la rpartition angulaire de
lintensit lumineuse suivra une courbe gaussienne (figure 23a). Si
la source ponctuelle est ralise avec un trou, la rpartition angulaire suivra une courbe dAiry. Enfin, si la source est ralise
sin x 2
laide dune fente, la rpartition sera en ---------------- (figure 23b).
x
Rpartition de l'intensit
lumineuse sur le dtecteur
Figure 25 Ombroscopie : influence de ltendue de la source

sur la brutalit de la transition du noir au blanc
On peut aussi associer une diode laser, un rseau holographique

et une lentille pour raliser un plan laser parallle et uniforme.
Aucune des mthodes nest parfaite, une rpartition angulaire
uniforme de lintensit est difficile obtenir.
Lombre de la pice est projete directement sur un dtecteur
CCD (figure 24). La rsolution du systme de mesure ralis est
donc gale celle du dtecteur. cause des phnomnes de diffraction et de ltendue de la source lumineuse utilise, la transition de lombre la lumire nest pas brutale (figure 25).
La divergence du faisceau parallle ralis est gale d/ 2f , d
tant la largeur de la source et f la focale de la lentille collimatrice
(figure 25). La transition du noir au blanc sur le dtecteur se fait
sur une distance = L 2 o L est la distance entre le dtecteur et
la pice mesure. Dans une telle configuration, la largeur de
R 1 332 12
limage forme sur le dtecteur nest ni fonction de la position de

la pice, ni de celle du dtecteur. videmment, si la source lumineuse ntait pas place au foyer de la lentille collimatrice la nappe
lumineuse ne serait plus parallle et un certain grandissement
pourrait exister entre la pice et son ombre sur le dtecteur.
La diffraction sur le bord de la pice mesurer influence aussi
la forme de la transition du noir au blanc (figure 26).
La diffraction nagit que sur une faible partie au bord de lombre
gomtrique. la limite de sparation thorique, lintensit de
lclairement est divise par quatre. Dans lombre, il y a une
dcroissance rgulire alors que dans la partie claire on constate
des oscillations dintensit (figure 26). La lumire reue par le
dtecteur est la convolution de ces deux effets (diffraction et
divergence) : on observe donc des franges colores.
______________________________________________________________________________________________________________
Distance ( )
3,08
Faisceau lumineux parallle
2,34
1,22
cran
Dtecteur
I Rpartition de l'intensit
lumineuse sur le dtecteur
longueur d'onde utilise
Nappe lumineuse
parallle
Photodiode au
foyer de l'objectif
Source
lumineuse
ponctuelle
Figure 26 Influence de la diffraction

par le bord dun cran sur lclairement
au voisinage de lombre gomtrique
Le faisceau est occult par la pice mesurer : lintensit lumineuse reue par le dtecteur est donc fonction de la position de la
pice. La justesse de mesure est fonction de luniformit de la
nappe lumineuse dans la zone de mesure.
4.2 Utilisation dun clairage diffus
Lentille
collimatrice
Objectif
Couteaux dlimitant
le faisceau de mesure
a mesure de la position du bord d'une pice

Nappe lumineuse
parallle
Photodiode au
foyer de l'objectif
Source
lumineuse
ponctuelle
Lentille
collimatrice
Objectif
Dans la configuration prsente figure 28a, la distance de mise

au point fixe le grandissement, elle intervient donc directement
dans la justesse de mesure. Cette configuration est utilise pour
mesurer des petits dtails de forme comme les rayons de raccordement, les chanfreins, les petits trous.
Dans la configuration de mesure prsente figure 28b, cest la
justesse du systme de mesure de dplacement qui donne la prcision des mesures, la distance de mise au point ne participe qu
mieux dfinir la position du bord de la pice.
4.3 Utilisation dun balayage

dun faisceau laser
4.3.1 Principe de mesure
b mesure de la distance entre deux cylindres avec une photodiode

Figure 27 Mesures de la position du bord dune pice
et de la distance entre deux cylindres
Mesure par lintermdiaire dun objectif

Lutilisation dun objectif plac entre la pice mesurer et le
dtecteur permet dadapter la dimension du dtecteur celui de
ltendue de mesure dsire, elle permet donc aussi de modifier la
rsolution. Elle permet de plus de rduire linfluence de la divergence du faisceau dclairage et dobtenir une transition beaucoup
plus franche. Par contre le dtecteur doit tre dans le plan image
de lobjectif, la dimension de lombre projete est fonction des
positions relatives de lobjet mesurer, de lobjectif et du dtecteur. Une image de lobjet est ralise sur le dtecteur, lindpendance de la solution prcdente est donc perdue.
Mesure de lintensit de la lumire
Une mthode simple pour mesurer la position dune pice, ses
dimensions, la distance entre deux pices, est de les clairer avec
un faisceau lumineux homogne et parallle (figure 27).
La mesure seffectue laide dun plan laser ralis par un faisceau laser qui balaye la zone de mesure (figure 29a) : le balayage
est fait avec un miroir ou un tambour miroir tournant plac au
foyer dun collimateur (lentilles de projection), la vitesse de rotation du miroir est constante, les lentilles du collimateur tant choisies avec soin, la vitesse de dplacement du faisceau laser est
constante. Une lentille de dtection collecte la lumire vers une
photodiode de dtection, le signal reu est analys pour mesurer
les temps doccultation du faisceau laser par les pices mesurer.
Le signal de mesure est chantillonn jusqu 500 MHz pour obtenir les plus grandes rsolutions (0,01 m). Des couteaux dlimitent
avec prcision la largeur de rfrence du plan laser. Un dispositif
permet de mesurer avec prcision linstant de la transition du noir
au blanc (figure 29b).
4.3.2 Caractristiques de mesure

Les tendues de mesure sont comprises entre 1 190 mm [1].
La justesse de mesure peut atteindre 2 104 2 105 fois ltendue de mesure. La frquence des balayages varie selon les systmes entre 50 et 1 000 balayages par seconde.
R 1 332 13
Laser
Plan de mesure
Pice mesurer
Dtecteur
CCD
Lentille de focalisation du laser

Lentille de projection
Dtecteur
Plan
laser
balay
Objectif
cran diffuseur
Lentille
de dtection
Miroir en rotation
qui effectue
le balayage laser
Chambre claire
Source lumineuse diffuse
Plan de mesure
o le laser est focalis
a schma du dispositif
a axe du dispositif centr sur celui de la pice
Pice mesurer
Intensit I
Plan de mesure
Temps de rfrence
Dtecteur
CCD
Temps d'occultation
due la pice
mesure
Dplacement du
dispositif de mesure
Objectif
cran diffuseur
Temps t
b signal mesur par la photodiode de dtection
Figure 29 Ombroscopie : dispositif utilisant le balayage

dun faisceau laser
Chambre claire
Figure 28 Ombroscopie : utilisation dun clairage diffus
La rptabilit est fonction du nombre de mesures utilises

pour calculer une moyenne : les performances optimales dun systme de mesure sont gnralement atteintes partir de 200 mesures (figure 30). Les drives avec la temprature sont trs faibles :
pour un systme de bonne qualit elles sont infrieures quelques
diximes de m/ oC.

Les meilleures performances ne peuvent tre obtenues que dans
les conditions dun laboratoire de mtrologie : la temprature
ambiante doit tre stabilise, un temps de chauffe dau moins une
heure est ncessaire, lair ambiant doit tre stable.
La temprature dutilisation est gnralement comprise entre
0 oC et 40 oC.
Les pices mesurer et les fentres du capteur doivent videmment tre propres, sans poussires ni huile. Pour avoir la
meilleure justesse, la pice mesure doit tre immobile, des dpla-
R 1 332 14
Rptabilit (m)
Source lumineuse diffuse
b axe du dispositif sur le bord de la pice
1,5
1,25
1
0,75
0,5
0,25
0
100
200
300
400
500
600
Nombre de mesures moyennes
Figure 30 Ombroscopie utilisant le balayage dun faisceau laser :

variation de la rptabilit en fonction du nombre de mesures
moyennes
cements radiaux trop rapides dgradent la rptabilit des mesures. Compte tenu de la prcision importante de la mthode de
mesure, une inclinaison dans le plan de mesure de la pice provoque une erreur de mesure = d (1 cos ) (ce qui reprsente
0,8 m sur une pige de 20 mm pour un angle de 0,5 degr).
______________________________________________________________________________________________________________
Pour obtenir la justesse de mesure nominale les pices doivent

rester dans le plan de mesure qui est fix entre le projecteur de
faisceaux et la tte de dtection. La plage autorise est fonction de
lpaisseur du faisceau et de son paralllisme, elle varie de quelques millimtres 150 millimtres. Lpaisseur du plan de mesure
va de 0,1 mm 2 mm. De plus sa position latrale peut fluctuer si
le systme utilise plusieurs miroirs : les mesures, prs dun changement brusque de diamtre peuvent donc tre imprcises. Pour
rduire ces influences il faut utiliser des capteurs faisceaux fins
et un seul miroir.
Ces systmes de mesure sont sensibles aux vibrations : les
performances peuvent tre rduites si les ttes de mesure sont
dplaces trop rapidement.
4.3.4 Applications
Mtrologie
A
B
C
Mesure de diamtre : B
Mesure de position : (A C )/2
Ovalisation : Bmax Bmin
a contrle de pices cylindriques
Le principal domaine dapplication des systmes de mesure par

balayage laser est le contrle de prcision des pices de rvolution. Leur trs bonne rptabilit permet de les utiliser pour effectuer la vrification des tampons de contrle et de nombreuses
pices de hautes prcisions. Il est possible deffectuer le contrle
dovalisation, dexcentricit en faisant tourner la pice.
laide de ces systmes de mesure, en leur associant des dispositifs de dplacement en rotation et en translation de prcision,
des machines spcialises de contrle mtrologique de pices de
rvolution ont t construites.
Sur des pices de rvolution des cylindres, des cnes, la position
des paulements, des filetages, des portions de sphre peuvent
tre contrls. En faisant tourner la pice dans le dispositif de
mesure, il est possible de vrifier des circularits (figure 31a), des
cylindricits (figure 31b ), des coaxialits, des voiles. Des pices
qui ne sont pas de rvolution peuvent aussi tre mesures : leur
section peut tre reconstruite par calcul.
b mesure d'excentricit :
A max A min
Tle
A
C
Mesures multiples de diamtre : A, C

Mesure d'entrefer entre cylindres : B
Rfrence : A (mesure sans tle)

paisseur : A B
c mesure d'entrefer, d'paisseur de tle ou de feuille sur un rouleau
En associant deux capteurs, il est possible de contrler avec prcision lpaisseur de tles (cf. figure 31c) ou le diamtre de pices
de grandes dimensions (cylindres de machine dimprimerie ou de
laminoir). Ces capteurs sont utiliss pour mesurer des sections,
des rectitudes, des pas sur des petites pices (diamtre infrieur
1 mm) que lon ne peut pas mesurer facilement avec des moyens
classiques.
Mandrin
de rfrence
Extrusion
Les capteurs de mesure par balayage laser sont utiliss pour

effectuer des contrles sur les lignes dextrusion (figure 31d ).
Deux axes de mesure sont souvent associs. Que ce soit pour
fabriquer des tuyaux pour larrosage, le chauffage par le sol, des
conduits de gaz ou drainage, des tubes de cathter, dalimentation
en carburant, pour lindustrie chimique ou cosmtique, des gaines
rtractables, des joints de portire pour lautomobile, des capteurs
adapts sont proposs par les fabricants.
Fabrication de fils et de cbles

Les dispositifs de mesures par ombroscopie avec balayage laser
permettent de mesurer le diamtre extrieur avant et aprs enrobage, chaud ou froid, diverses tapes de fabrication des
cbles de transmission de donnes, tlphoniques, de puissance
ou domestiques. Ils sont placs la sortie de filire pour contrler
en ligne la rgularit de fabrication de fils en cuivre, en aluminium
ou en acier.
Fibres optiques
Les mesures peuvent tre effectues diffrents stades de la
fabrication :
sur la prforme, prs de la flamme de la torche ;
ltirage ;
avant et aprs le gainage.
Cylindres
A
C
Diamtre intrieur : B
Diamtre extrieur : A + B + C
Excentricit : A C
Diamtre du tube : C
paisseur du tube : B C
d mesure de diamtre intrieur et extrieur, d'excentricit

de rondelles, de joint torique, de tube
Figure 31 Exemples de mesures ralises par ombroscopie
En adaptant la logique de dtection, des produits transparents

ou semi-transparents peuvent tre mesurs (figure 32). Il est possible de dtecter des dfauts de 3 m.
La mesure de la position des lments placs lintrieur (diamtre intrieur, dfauts) dun tube transparent est perturbe par
leffet de lentille, elle doit tre corrige pour en tenir compte.
R 1 332 15
Fil semi-transparent
Lumire qui passe

travers le produit
Produit transparent
Diamtre extrieur
du fil
Presque toute la lumire

passe travers le produit
Tube transparent
Diamtre extrieur
de la fibre
Diamtres intrieur et extrieur

du tube
I
70 %
a signal mesur avec un fil semi-transparent
I
70 %
b signal mesur avec une fibre de verre transparente
70 %
c signal mesur avec un tube transparent
Figure 32 Exemples de mesures sur des produits transparents ou semi-transparents
R 1 332 16

Mesures Sans Contact2

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Mesures sans contact

Mthodes optiques (partie 1)

Sources et dtecteurs : gnralits....................................................

piscopie, vision industrielle. Rflexion, diffusion........................

Comparatif .......................................................................................................... Comp. R 1 335

es mthodes optiques de mesures dimensionnelles sans contact conduisent

MESURES SANS CONTACT _______________________________________________________________________________________________________________

Pour raliser un capteur optique on retrouve toujours les mmes

1.1 Source lumineuse

La source lumineuse peut tre naturelle (lclairage naturel)

La courbure R du front donde suit lquation :

Figure 2 Variation de lclairement dans la section

Dans une section considre lclairement varie selon lquation

distance par rapport laxe.

Les quations (1) (2) qui dcrivent la propagation dun faisceau

Le dtecteur le plus largement utilis dans les capteurs optiques

Surface d'clairement 1/e 2

Figure 1 Variation du diamtre (dfini comme la distance laxe

La cellule deux ou quatre quadrants est utilise pour mesurer

MESURES SANS CONTACT

Figure 3 Exemples illustrant la diversit de comportement des surfaces claires

Lignes de sparation entre

Figure 4 Schma dune photodiode

Figure 5 Schma dune cellule quatre quadrants

lintgration (accumulation des charges lectriques dans

Ce type de dtecteur prsente :

MESURES SANS CONTACT _______________________________________________________________________________________________________________

Image du point mesur

abscisse du point dimpact du faisceau lumineux,

Un circuit lectronique effectue les calculs selon les quations

Projection des directions de

a systme un dispositif d'clairage

La mesure des positions des points par triangulation se fait par

Image du point mesur

b systme deux dispositifs d'clairage

2.1 Capteur unidirectionnel

distance entre le dispositif de projection de faisceaux lumineux et le systme de prise de vue,

Il est constitu principalement (figure 8) :

diffusent pas la lumire assez uniformment en raison de leur tat

Dtecteur PSD ou CCD

MESURES SANS CONTACT

LED ou Diode laser

Figure 8 Schma dun capteur de dplacement par triangulation

Dtecteur PSD ou CCD inclin pour obtenir une rponse linaire

Ici se trouvent les principales limitations des performances de la

LED ou Diode laser

Figure 9 Schma dun capteur linaire

Pour la forme la plus simple, le capteur dlivre un niveau logique

2.1.3 Limites dutilisation

MESURES SANS CONTACT _______________________________________________________________________________________________________________

Figure 11 Schma dun systme de mesure bidimensionnel,

augmente. Pour limiter ce problme dans certaines ralisations, un

Ce type de capteur peut tre perturb par la lumire ambiante ;

2.2 Mesure bidimensionnelle.

Zone de mesure orthogonale

Figure 12 Schma dun systme de mesure bidimensionnel, la ligne

Faisceau dclairage dvi dans le plan de triangulation

MESURES SANS CONTACT

2.3 Mesure tridimensionnelle

Figure 13 Capteur bidimensionnel utilisant deux camras

En lumire blanche, le plan lumineux peut tre obtenu laide

Deuximement, le relev tridimensionnel peut tre effectu en

Figure 14 Schma dun systme de mesure

MESURES SANS CONTACT _______________________________________________________________________________________________________________