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Ubersicht

Prinzip des AFM


Anwendungen
Aufnahmen

AFM
Atomic Force Microscopy
Rasterkraftmikroskopie

Roman Schmitz

14.06.2005

Roman Schmitz AFM Atomic Force Microscopy Rasterkraftmikroskopie



Ubersicht
Prinzip des AFM
Anwendungen
Aufnahmen

Prinzip des AFM


Aufbau
Wechselwirkung Spitze-Probe
Verschiedene Betriebsmodi

Anwendungen
Dynamische Kraftspektroskopie
Messung schwacher Magnetfelder
AFM in der Lithographie
Datenspeicher

Aufnahmen
Rasterkraftmikroskop
Magnetisches Kraftmikroskop
Nanolithographie

Roman Schmitz AFM Atomic Force Microscopy Rasterkraftmikroskopie



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Prinzip des AFM
Wechselwirkung Spitze-Probe
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Verschiedene Betriebsmodi
Aufnahmen

Das Rasterkraftmikroskop

1985: Binnig, Quate (Nobelpreis 1986 f ur RTM), Gerber:


Abtasten der Oberflache mit (moglichst) atomarer Spitze ahnlich
RTM, verschiedene Wechselwirkungen moglich.

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Aufbau
Prinzip des AFM
Wechselwirkung Spitze-Probe
Anwendungen
Verschiedene Betriebsmodi
Aufnahmen

Das Rasterkraftmikroskop - Aufbau

I Hebelarm (cantilever) mit Spitze tastet Oberflache ab

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Prinzip des AFM
Wechselwirkung Spitze-Probe
Anwendungen
Verschiedene Betriebsmodi
Aufnahmen

Das Rasterkraftmikroskop - Aufbau

I Hebelarm (cantilever) mit Spitze tastet Oberflache ab


I Positionierung mit Piezo-Elementen im A-Bereich

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Prinzip des AFM
Wechselwirkung Spitze-Probe
Anwendungen
Verschiedene Betriebsmodi
Aufnahmen

Das Rasterkraftmikroskop - Aufbau

I Hebelarm (cantilever) mit Spitze tastet Oberflache ab


I Positionierung mit Piezo-Elementen im A-Bereich
I Messung Auslenkung (sub- A): STM, optisch oder
piezoresistiver Cantilever
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Wechselwirkung Spitze-Probe
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Verschiedene Betriebsmodi
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Wechselwirkung Spitze-Probe


Abbildung: Lennard-Jones-Potential: V (r ) r 12 r6

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Wechselwirkung Spitze-Probe
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Verschiedene Betriebsmodi
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Contact-Mode

I Cantilever mit hoher Federkonstante


I Anziehende Krafte um 108 106 N

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Wechselwirkung Spitze-Probe
Anwendungen
Verschiedene Betriebsmodi
Aufnahmen

Contact-Mode

I Cantilever mit hoher Federkonstante


I Anziehende Krafte um 108 106 N
I Constant Height: nur bei ebenen Flachen moglich, sonst
Zerstorung der Spitze, direkte Aussage u
ber Topographie,
schnell
I Constant Force: auch bei groeren Stufen moglich, langsam,
durch Verzogerung des Regelkreises begrenzt, haufigste
Anwendung

Roman Schmitz AFM Atomic Force Microscopy Rasterkraftmikroskopie



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Aufbau
Prinzip des AFM
Wechselwirkung Spitze-Probe
Anwendungen
Verschiedene Betriebsmodi
Aufnahmen

Contact-Mode

I Cantilever mit hoher Federkonstante


I Anziehende Krafte um 108 106 N
I Constant Height: nur bei ebenen Flachen moglich, sonst
Zerstorung der Spitze, direkte Aussage u
ber Topographie,
schnell
I Constant Force: auch bei groeren Stufen moglich, langsam,
durch Verzogerung des Regelkreises begrenzt, haufigste
Anwendung
I Veranderung oder gar Zerstorung der Oberflache moglich,
Kapillarkrafte durch Fl
ussigkeitsfilme treten auf, keine
atomare Auflosung

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Wechselwirkung Spitze-Probe
Anwendungen
Verschiedene Betriebsmodi
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Non-Contact-Mode

I Cantilever mit geringerer Federkonstante


I Abstoende Krafte um 1012 N

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Verschiedene Betriebsmodi
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Non-Contact-Mode

I Cantilever mit geringerer Federkonstante


I Abstoende Krafte um 1012 N
I mit Eigenfrequenz schwingender Cantilever misst
Veranderungen der Amplitude oder Frequenz

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Anwendungen
Verschiedene Betriebsmodi
Aufnahmen

Non-Contact-Mode

I Cantilever mit geringerer Federkonstante


I Abstoende Krafte um 1012 N
I mit Eigenfrequenz schwingender Cantilever misst
Veranderungen der Amplitude oder Frequenz
I Keine Veranderung der Oberflache, aber mogliche
Verfalschung durch Fl
ussigkeitsfilme/-Tropfen
I Empfindlicher Verstarker notwendig, Rauschen
I Bevorzugt gegen
uber contact-mode

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Wechselwirkung Spitze-Probe
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Verschiedene Betriebsmodi
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Semi-Contact-Mode

I Mit Eigenfrequenz schwingender Cantilever wie im


non-contact-mode
I Operation im Potential-Tal, d.h. kurzes Antippen der
Oberflache

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Verschiedene Betriebsmodi
Aufnahmen

Semi-Contact-Mode

I Mit Eigenfrequenz schwingender Cantilever wie im


non-contact-mode
I Operation im Potential-Tal, d.h. kurzes Antippen der
Oberflache
I Beschadigung der Probe weniger wahrscheinlich

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Verschiedene Betriebsmodi
Aufnahmen

Semi-Contact-Mode

I Mit Eigenfrequenz schwingender Cantilever wie im


non-contact-mode
I Operation im Potential-Tal, d.h. kurzes Antippen der
Oberflache
I Beschadigung der Probe weniger wahrscheinlich
I groere Hohenunterschiede auflosbar, groere Scan-Bereiche
moglich
I keine Lateralkrafte durch Reibung

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Wechselwirkung Spitze-Probe
Anwendungen
Verschiedene Betriebsmodi
Aufnahmen

Zusammenfassung

Methode Geschwindigkeit Einfluss auf Probe Fl


ussigkeit
contact (c.h) schnell sehr stark nein
contact (c.f) langsam stark nein
non-contact langsam nein ja
semi-contact langsam minimal nein
semi-contact: Vorteile beider Verfahren

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Ubersicht Dynamische Kraftspektroskopie
Prinzip des AFM Messung schwacher Magnetfelder
Anwendungen AFM in der Lithographie
Aufnahmen Datenspeicher

Dynamische Kraftspektroskopie

Abbildung: Kraft-Abstand durch Variation des Probe-Spitze-Abstandes

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Prinzip des AFM Messung schwacher Magnetfelder
Anwendungen AFM in der Lithographie
Aufnahmen Datenspeicher

MFM - Magnetic Force Microscopy

Ferromagnetisch beschichtete Spitzen im non-contact-modus.


Aufl
osung: Elektronenspins von einigen Atomen.

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Ubersicht Dynamische Kraftspektroskopie
Prinzip des AFM Messung schwacher Magnetfelder
Anwendungen AFM in der Lithographie
Aufnahmen Datenspeicher

Nanolithographie mit dem AFM

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Prinzip des AFM Messung schwacher Magnetfelder
Anwendungen AFM in der Lithographie
Aufnahmen Datenspeicher

Nanolithographie mit dem AFM

I Im contact-mode Krafte im mN-Bereich (Nanogravur)

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Prinzip des AFM Messung schwacher Magnetfelder
Anwendungen AFM in der Lithographie
Aufnahmen Datenspeicher

Nanolithographie mit dem AFM

I Im contact-mode Krafte im mN-Bereich (Nanogravur)


I neg. U an leitfahiger Spitze lat Sauerstoff in Probe
diffundieren (lokale Oxidation)

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Prinzip des AFM Messung schwacher Magnetfelder
Anwendungen AFM in der Lithographie
Aufnahmen Datenspeicher

Das Millipede-Projekt von IBM

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Rasterkraftmikroskop
Prinzip des AFM
Magnetisches Kraftmikroskop
Anwendungen
Nanolithographie
Aufnahmen

Aufnahmen von einem AFM

(g) Dijodmethan-Tropfen unter Wasser (h) NiO mit Fremdatom

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Rasterkraftmikroskop
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Magnetisches Kraftmikroskop
Anwendungen
Nanolithographie
Aufnahmen

Aufnahmen von einem AFM

(i) Oberfl
ache einer CD (j) Oberfl
ache einer DVD

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Rasterkraftmikroskop
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Magnetisches Kraftmikroskop
Anwendungen
Nanolithographie
Aufnahmen

Aufnahmen von einem MFM

(k) 40GB-Festplatte (l) Magneto-Optische Disk

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Rasterkraftmikroskop
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Magnetisches Kraftmikroskop
Anwendungen
Nanolithographie
Aufnahmen

Aufnahmen von einem MFM

Abbildung: Topographie und Magnetisierung eines Videobandes

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Magnetisches Kraftmikroskop
Anwendungen
Nanolithographie
Aufnahmen

Moglichkeiten der Nanolithographie

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