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ICS 17.

160 VDI-RICHTLINIEN Januar 2008

VEREIN VDI 2064


DEUTSCHER Aktive Schwingungsisolierung
INGENIEURE
Entwurf

Active vibration isolation Einsprche bis 2008-06-30


vorzugsweise in Tabellenform als Datei per E-Mail an
ekv@vdi.de
Die Vorlage dieser Tabelle kann abgerufen werden unter
http://www.vdi-richtlinien.de/einsprueche
in Papierform an
VDI-Gesellschaft Entwicklung Konstruktion Vertrieb
Postfach 10 11 39
40002 Dsseldorf

Inhalt Seite
Vorbemerkung .................................................................................................2
Einleitung.........................................................................................................2
1 Anwendungsbereich ................................................................................2
2 Normative Verweise ..................................................................................2
3 Formelzeichen ...........................................................................................3
4 Bezeichnungen .........................................................................................3
4.1 Schwingungsisolierung ......................................................................3
4.2 Systemkomponenten..........................................................................4
5 Konzepte und Aufgaben der aktiven Schwingungsisolierung .............5
5.1 Anwendungsbereiche der aktiven Schwingungsisolierung................5
5.2 Strukturdynamische Wirkungsprinzipien der aktiven
Schwingungsisolierung ......................................................................5
5.3 Systemtheoretische Realisierungen der aktiven
Schwingungsisolierung fr einen Freiheitsgrad.................................6
5.4 Aktive Schwingungsisolierung fr mehrere Freiheitsgrade..............9
6 Kenngren der Komponenten aktiver Schwingungsisolierungen .....9
6.1 Allgemeines .......................................................................................9
6.2 Aktoren ..............................................................................................9
6.3 Sensoren...........................................................................................12
6.4 Signalverarbeitungseinheit...............................................................12
7 Hinweise zur Spezifikation aktiver Schwingungsisolierungen ...........13
7.1 Allgemeines .....................................................................................13
7.2 Komponenten...................................................................................13
7.3 Systembetrachtungen .......................................................................13
7.4 Integriertes System ..........................................................................16
7.5 Hinweise zu Messmethoden ............................................................18
Anhang Technische Realisierungen und Anwendungsbeispiele .20
A1 Anwendungsbeispiel 1 .....................................................................20
A2 Anwendungsbeispiel 2 .....................................................................21
Schrifttum ......................................................................................................26

VDI-Gesellschaft Entwicklung Konstruktion Vertrieb


Arbeitsgruppe aktive Schwingungsisolierung
Ausschuss Tilger, Dmpfer und Schwingungsisolierelemente

VDI-Handbuch Schwingungstechnik
2 VDI 2064 Entwurf

Vorbemerkung Einflussgren geben. Zur Erleichterung des In-


Der Inhalt dieser Richtlinie ist entstanden unter formationsaustausches definiert sie neben Begrif-
Beachtung der Vorgaben und Empfehlungen der fen auch Mess- und Prfverfahren sowie erforder-
Richtlinie VDI 1000. liche Angaben zur Spezifikation aktiver Schwin-
gungsisolierungen und ihrer Komponenten.

1 Anwendungsbereich
Die vorliegende Richtlinie ist auf aktive Schwin-
gungsisolierungen anzuwenden. Sie gilt nicht fr
passive oder semiaktive Schwingungsisolierungen.
Elemente der aktiven Schwingungsisolierung kn-
nen fr spezielle Aufgaben die bekannten passiven
Allen, die ehrenamtlich an der Erarbeitung dieser Elemente zur Schwingungsisolierung ergnzen.
VDI-Richtlinie mitgewirkt haben, sei gedankt. Ein Schwingungsisolierungssystem mit aktiver
Schwingungsisolierung enthlt daher in der Regel
auch passiv wirkende Komponenten. Entsprechend
Einleitung
beschreibt DIN EN 1299 die erforderlichen Min-
Durch die Schwingungsisolierung soll entweder destangaben fr die Auswahl einer Schwingungs-
eine bertragung periodischer, stofrmiger oder isolierung (Abschnitt 6) und den grundstzlichen
stochastischer Krfte von einer Schwingungsquelle Leitfaden fr die Nachprfung der Wirksamkeit
(beispielsweise einer Maschine) in angrenzende der Isolierung (Abschnitt 7). Die vorliegende
Strukturen vermindert werden (Quellenisolierung, Richtlinie ergnzt den in der genannten DIN
Schutz gegen Schwingungsemissionen), oder es EN 1299 gegebenen Leitfaden bezglich spezifi-
sollen Menschen und empfindliche Maschinen, scher Anforderungen fr aktive Schwingungsiso-
Gerte oder Gebude vor Schwingungen aus der lierungen.
Umgebung geschtzt werden (Empfngerisolie-
rung, Schutz vor Schwingungsimmissionen). Beide 2 Normative Verweise
Aufgabenstellungen knnen durch den Einsatz von
Die folgenden zitierten Dokumente sind fr die
Schwingungsisolierungen gelst werden. Auf diese
Anwendung dieser Richtlinie erforderlich:
Weise entsteht ein System, dessen dynamisches
Verhalten von den Eigenschaften der Schwin- Richtlinie 98/37/EG des Europischen Parlaments
gungsquelle, den dynamischen Eigenschaften der und des Rates vom 22. Juni 1998 zur Anglei-
quellen- und empfngerseitigen Strukturen und den chung der Rechts- und Verwaltungsvorschriften
Eigenschaften der Elemente der Schwingungsiso- der Mitgliedstaaten fr Maschinen, ABl EG,
lierung entscheidend beeinflusst wird. Die optima- 1998, Nr. L 207, S. 146
le Auslegung des Systems hinsichtlich der jeweili- DIN EN 1299:1997-05 Mechanische Schwingun-
gen Anforderungen an den Schwingungsschutz gen und Ste; Schwingungsisolierung von Ma-
erfordert die umfassende und detaillierte Kenntnis schinen; Angaben fr den Einsatz von Quellen-
aller Faktoren, die die resultierenden Eigenschaften isolierungen; Deutsche Fassung EN 1299:1997.
und den nutzbringenden Einsatz einer Schwin- Berlin: Beuth Verlag
gungsisolierung fr eine bestimmte Maschine oder DIN EN ISO 12100-1:2004-04 Sicherheit von
Anlage beeinflussen. Maschinen; Grundbegriffe, allgemeine Gestal-
Zur Untersttzung stehen bezglich passiver tungsleitstze; Teil 1: Grundstzliche Termino-
Schwingungsisolierungen mit Massen, Federn und logie, Methodologie (ISO 12100-1:2003); Deut-
Dmpfern sowohl normative Dokumente (DIN sche Fassung EN ISO 12100-1:2003. Berlin:
EN 1299) wie auch Richtlinien (VDI 2062 Blatt 1 Beuth Verlag
und VDI 2062 Blatt 2) zur Verfgung. Eine aktive DIN EN ISO 12100-2 Ausgabedatum 2004-04
Schwingungsisolierung ist bei diesen Dokumenten Sicherheit von Maschinen; Grundbegriffe, all-
jedoch explizit ausgenommen (siehe DIN gemeine Gestaltungsleitstze; Teil 2: Technische
EN 1299, Anhang A.4). Leitstze (ISO 12100-2:2003); Deutsche Fassung
Die vorliegende Richtlinie soll hnlich den ge- EN ISO 12100-2:2003. Berlin: Beuth Verlag
nannten Dokumenten ein Grundverstndnis sowie
den begrifflichen Rahmen fr die aktive Schwin-
gungsisolierung herstellen. Sie soll praktische
Hinweise fr die Auslegung und die wesentlichen
Entwurf VDI 2064 3

3 Formelzeichen Formel- Einheit Benennung


zeichen
In dieser Richtlinie werden die nachfolgend aufge-
" 1 Phasenwinkel-Differenz
fhrten Formelzeichen verwendet:
Formel- Einheit Benennung 1 bertragungskoeffizient, Ver-
v
zeichen strkungsfaktor, Schleifenver-
strkung des Reglers bzgl. der
d N/(m/s) Dmpfungskoeffizient
Gre v
F N Kraft
x, y, z 1 Raumkoordinaten
N komplexe Amplitude der Kom-
F Komp pensationskraft; mechanische
Kraft, die vom Aktor der akti- 4 Bezeichnungen
ven Schwingungsisolierung
aufgebracht wird 4.1 Schwingungsisolierung
N komplexe Amplitude der Erre- 4.1.1 Schwingungsisolierung
F E gerkraft, die von der quellensei-
tigen auf die empfngerseitige Die Schwingungsisolierung stellt ein dynamisch
Struktur einwirkt wirksames System dar, das eine zu schtzende
Fx, Fy, Fz N Kompensationskraft einer Struktur mglichst wirkungsvoll von mechani-
aktiven Schwingungsisolierung schen Streinwirkungen abschirmt.
mit Angabe der Wirkrichtung
Die Schwingungsisolierung kann, in Abhngigkeit
f Hz Frequenz von den verwendeten Isolierelementen, als aktive,
2
Gvv (m/s) /Hz spektrale Leistungsdichte der semiaktive oder passive Schwingungsisolierung
Schwinggeschwindigkeit v ausgebildet werden.
H( f ) 1 komplexe bertragungsfunk-
tion zwischen den Schwin-
Darber hinaus kann die Schwingungsisolierung,
gungsgren der erregenden in Abhngigkeit von der Art des zu schtzenden
Struktur und den Schwingungs- Objekts, als Quellenisolierung oder Empfngeriso-
gren der zu schtzenden lierung ausgebildet werden.
Struktur
1 Isolierwirkungsgrad der 4.1.2 Aktive Schwingungsisolierung
I( f )
Schwingungsisolierung Die aktive Schwingungsisolierung ist durch die
m kg Masse Zufuhr von Fremdenergie charakterisiert, wobei
r V Messgre des Systemeigen- die Fremdenergie dynamisch korreliert so zuge-
rauschens fhrt wird, dass die relevanten Zustandsgren
U V Ansteuerspannung (Krfte und Bewegungsgren) direkt beeinflusst
V Referenzsignal
werden.
ux
Anmerkung: Im deutschen Sprachgebrauch waren die Be-
uy V Zielsignal
zeichnungen aktive Schwingungsisolierung fr Quelleniso-
V Messgre fr die Schwingun- lierung und passive Schwingungsisolierung fr Empfnger-
u1
gen der erregenden Struktur isolierung gebruchlich. Von der Verwendung dieser Bezeich-
nungen wird jedoch im Nationalen Vorwort zu DIN EN 1299
u2 V Messgre fr die Schwingun-
dringend abgeraten; sie sollte im Zusammenhang mit aktiven
gen der zu schtzenden Struktur
Schwingungsisolierungen im Sinne dieser Richtlinie unbe-
v m/s Schwinggeschwindigkeit dingt unterbleiben, damit Verwechslungen ausgeschlossen
werden.
v1 m/s Schwinggeschwindigkeit der
erregenden Struktur
4.1.3 Semiaktive Schwingungsisolierung
v2 m/s Schwinggeschwindigkeit der zu
schtzenden Struktur Auch fr die semiaktive Schwingungsisolierung ist
dimensionsloser Betrag der die Zufuhr von Fremdenergie kennzeichnend, wo-
(f) 1
bertragungsfunktion (Ampli- bei die Fremdenergie jedoch so zugefhrt wird,
tudenfrequenzgang) zwischen dass innere Gren und Parameter des eingesetzten
den Schwingungsgren der Isoliersystems, nicht aber die beteiligten Zustands-
erregenden Struktur und den
Schwingungsgren der zu
gren (Krfte und Bewegungsgren) direkt be-
schtzenden Struktur einflusst werden.
1 Kohrenzfunktion zwischen Typische Beispiele fr eine semiaktive Schwin-
! xy 2 ( f ) den Signalen ux und uy gungsisolierung stellen vernderbare passive
Schwingungsisolierelemente wie Dmpfer mit
L dB Pegeldifferenz einstellbarer Kennlinie oder positionsgeregelte
Luftfedern dar.
4 VDI 2064 Entwurf

4.1.4 Passive Schwingungsisolierung chanischen Stellgren der aktiven Schwingungs-


Die passive Schwingungsisolierung beruht aus- isolierung bereitstellt. Ein Aktor besteht mindes-
schlielich auf der Wirkung von Schwingungsiso- tens aus einem Energiesteller, der die fr die
lierelementen, die keine Fremdenergie bentigen. Wandlung bentigte Energie bereitstellt, und ei-
nem Energiewandler, der die elektrische Eingangs-
Anmerkung 1: Vgl. Anmerkung zu aktive Schwingungsiso-
lierung. gre in eine mechanische Ausgangsgre um-
wandelt.
Anmerkung 2: Im englischen Sprachraum wird derzeit der
Begriff semipassive Schwingungsisolierung fr Schwin- Anmerkung: Typische Beispiele fr Energiesteller sind elek-
gungsisolierungen verwendet, bei denen die Dmpfung durch trische Leistungsverstrker oder hydraulische Servoventile,
ein (fest einstellbares) elektrisches Netzwerk realisiert wird, die eine Hilfsenergie, beispielsweise in Form von elektrischer
das durch einen elektromechanischen Wandler (beispielsweise oder hydraulischer Energie, entsprechend dem Regelungs-
eine Piezokeramik) mit der mechanischen Struktur gekoppelt oder Steuerungsausgangssignal fr den Energiewandler bereit-
ist. Ein solches System stellt im Sinne dieser Richtlinie eine stellen. Typische Beispiele fr Energiewandler sind elektro-
passive Schwingungsisolierung dar. mechanische Wandler wie Schwingspulen, Piezokeramiken
oder auch Hydraulikzylinder.
4.1.5 Quellenisolierung
4.2.2 Signalverarbeitungseinheit
Unter Quellenisolierung wird eine Schwingungs-
Die analoge oder digitale elektrische Signalver-
isolierung verstanden, bei der die bertragung von
arbeitungseinheit erzeugt gegebenenfalls unter
Schwingungen in Form von Krften oder Momen-
Einbeziehung von Signalkonditionierungen,
ten von einem Erreger (z. B. Streinwirkungen
Schnittstellen und verwendeter Software auf der
durch eine Maschine) in die umgebenden, zu
Grundlage von Referenz- und/oder Fehlersensorsi-
schtzenden Strukturen vermindert wird (Emis-
gnalen ein Ausgangssignal zur Ansteuerung eines
sionsschutz).
Aktors.
Anmerkung: Vgl. Anmerkung zu aktive Schwingungsisolie-
rung. Anmerkung: In dieser Richtlinie wird der Begriff der Signal-
verarbeitungseinheit unabhngig davon verwendet, ob es sich
um eine (gegebenenfalls adaptive) Steuerung, eine Regelung
4.1.6 Empfngerisolierung
(gegebenenfalls mit Strgrenaufschaltung) oder hnliches
Unter Empfngerisolierung wird eine Schwin- handelt.
gungsisolierung verstanden, die die bertragung
von Schwingbewegungen aus der Umgebung auf 4.2.3 Referenzsensor
ein zu schtzendes Objekt (beispielsweise Men- Ein Sensor, der eine Eingangsgre fr die Steue-
schen, empfindliche Maschinen, Gerte, Gebude) rung als elektrisches Signal bereitstellt, heit Refe-
vermindert (Immissionsschutz). renzsensor.
Anmerkung: Vgl. Anmerkung zu aktive Schwingungsisolie- Anmerkung: Referenzsensoren knnen Schwingungssenso-
rung. ren, aber z. B. auch Drehzahlsensoren bei der Quellenisolie-
rung von rotierenden Maschinen sein.
4.2 Systemkomponenten
4.2.4 Fehlersensor
Das Funktionsschema einer aktiven Schwingungs-
isolierung mit Systemkomponenten wird in Bild 1 Ein Sensor, der eine zu minimierende Regelgre
dargestellt. als elektrisches Signal bereitstellt, heit Fehlersen-
sor.
4.2.1 Aktor
Anmerkung: Da Schwingungsisolierungen Schwingungen
Der Aktor ist die Systemkomponente, die abhngig minimieren sollen, stellt das verbleibende Ist-Signal gleichzei-
von einem von der Signalverarbeitungseinheit tig den Regelungsfehler dar. Fehlersensoren sind meist
generierten elektrischen Ausgangssignal die me- Schwingungssensoren.
Entwurf VDI 2064 5

Bild 1. Funktionsschema einer aktiven Schwingungsisolierung mit Systemkomponenten Referenz- oder


Fehlersensor knnen in Abhngigkeit vom Konzept der Regelung bzw. Steuerung entfallen.

5 Konzepte und Aufgaben der aktiven Die aktive Schwingungsisolierung wirkt somit als
Schwingungsisolierung eine Erhhung der mechanischen Impedanz an der
empfngerseitigen Kopplungsstelle. Bei vollstn-
5.1 Anwendungsbereiche der aktiven
Schwingungsisolierung
diger Kraftkompensation wird die aktiv realisierte
Impedanz unendlich, da jede eingeleitete dynami-
Die aktive Schwingungsisolierung kann sowohl sche Kraft durch eine entsprechende Gegenkraft
zur Quellen- als auch zur Empfngerisolierung bei kompensiert und die mechanische Bewegung da-
periodischen, stochastischen oder stofrmigen mit verhindert wird. Die Gegenkraft fhrt zu einer
Schwingungen eingesetzt werden. versteiften bzw. im theoretischen Grenzfall zu
Da eine aktive Schwingungsisolierung einen ein- einer unendlich steifen Struktur.
geschrnkten Arbeitsfrequenzbereich aufweist, Diese Vernderung der mechanischen Impedanz
wird sie in der Regel durch eine passive Schwin- kann, insbesondere bei der Quellenisolierung, zu
gungsisolierung ergnzt. einem vernderten dynamischen Verhalten des
Eine aktive Schwingungsisolierung kann mit wei- mechanischen Gesamtsystems fhren.
teren Funktionen, beispielsweise einer Positions- Bei drehenden Systemen werden die Krfte sinn-
regelung, kombiniert werden. Derartige ergnzen- gem durch Drehmomente und die Geschwindig-
de Funktionen sind nicht Bestandteil dieser Richt- keiten durch Drehgeschwindigkeiten ersetzt.
linie.
Anmerkung: Die mechanische Impedanz ist in DIN 1311-2,
5.2 Strukturdynamische Wirkungsprinzipien Abschnitt 7.5.3 als der Quotient des Fourier-Spektrums einer
der aktiven Schwingungsisolierung erregenden Kraft zum Fourier-Spektrum der resultierenden
Schwinggeschwindigkeit (Kehrwert der Admittanz) definiert.
5.2.1 Aktive Schwingungsisolierung durch
Kraftkompensation bzw. Erhhung der 5.2.2 Aktive Schwingungsisolierung durch
mechanischen Impedanz der empfn- Wegkompensation bzw. Verringerung
gerseitigen Struktur der mechanischen Impedanz der emp-
Die aktive Schwingungsisolierung durch Kraft- fngerseitigen Struktur
kompensation beruht auf der Erzeugung einer dy- Die aktive Schwingungsisolierung durch Weg-
namischen Gegenkraft, die der auf die empfnger- kompensation beruht auf der Erzeugung eines dy-
seitige Struktur einwirkenden Erregerkraft mg- namischen Wegausgleichs in einem innerhalb der
lichst betragsgleich, parallel und momentenfrei Isolierung in Reihe angeordneten Isolierelement.
entgegenwirkt. Damit befinden sich bei der Quel- Dieser Wegausgleich muss soweit mglich den
lenisolierung die empfngerseitige Struktur bzw. negativ gleichen Momentanwert wie die Anregung
bei der Empfngerisolierung die zu schtzende aufweisen. Damit befinden sich bei der Quelleniso-
Struktur idealerweise im dynamischen Krfte- lierung die empfngerseitige Struktur bzw. bei der
gleichgewicht, erfahren also keinerlei Anregung. Empfngerisolierung die zu schtzende Struktur
6 VDI 2064 Entwurf

idealerweise in Ruhe, erfahren also keine Kraftan- Als Eingangsgren der Signalverarbeitungsein-
regung. heit werden bevorzugt die Signale des Referenz-
Die aktive Schwingungsisolierung wirkt dabei als sensors verwendet, da diese Vorab-Informationen
Verringerung der mechanischen Impedanz an der (a priori) ber die zu isolierende Schwingung ent-
Kopplungsstelle. Bei vollstndiger Wegkompensa- halten. Aus regelungstechnischer Sicht wird damit
tion wird die aktiv realisierte Impedanz Null, da eine Steuerung realisiert. In vielen Fllen (beson-
jede Schwingungsamplitude kraftfrei durch ei- ders bei der Empfngerisolierung) stehen keine
nen Wegausgleich kompensiert und damit das geeigneten Referenzsignale zur Verfgung, sodass
Aufbringen einer Kraft verhindert wird. Das aktive fr die Ermittlung des Ansteuersignals nur das
Schwingungsisoliersystem stellt theoretisch eine Signal des Fehlersensors herangezogen werden
unendlich weiche Feder dar. kann. Dann wirkt die aktive Schwingungsisolie-
rung als geschlossener Rckkopplungs-Regelkreis.
Die Durchfhrung dieser Quellenisolierung fhrt
In der Praxis wird oft mit einer Kombination ver-
zu einem vernderten dynamischen Verhalten der
schiedener Regelkonzepte gearbeitet.
quellenseitigen Struktur. Bei drehenden Systemen
werden die Wege sinngem durch Winkelampli- 5.3.1 Einfacher Regelkreis
tuden ersetzt. Aktive Schwingungsisolierungen knnen als einfa-
5.3 Systemtheoretische Realisierungen der che Regelkreise aufgebaut werden (Bild 2). In
aktiven Schwingungsisolierung fr einen diesem Fall wird das Signal eines Fehlersensors
Freiheitsgrad (regelungstechnisch die Strgre) so ber einen
Aus systemtheoretischer Sicht lsst sich die aktive Regler an den Aktor zurckgefhrt, dass das Feh-
Schwingungsisolierung als Kopplung zwischen lersensorsignal unter Bercksichtigung der Regel-
einer quellenseitigen und einer empfngerseitigen strecke (bertragungsfunktion Aktor-Fehlersensor)
mechanischen Struktur betrachten. minimal wird.
Die quellenseitige Struktur ist Ausgangspunkt fr Dies ist die typische Aufgabe einer Schwingungs-
die bertragung von Schwingungserregungen ber isolierung und entspricht aus regelungstechnischer
die aktive Schwingungsisolierung auf die empfn- Sicht einer konstanten Fhrungsgre von Null fr
gerseitige Struktur. Ziel der aktiven Schwingungs- den dynamischen Signalanteil.
isolierung ist es, den Betrag der an die empfnger- Der Entwurf und die Realisierung eines solchen
seitige Struktur abgegebenen Schwingungserre- Reglers sind Aufgaben der klassischen Regelungs-
gungen im gewnschten Mae zu verringern. technik. Beim Reglerentwurf liegt der Schwer-
Die wesentlichen Komponenten einer aktiven punkt entsprechend der Aufgabenstellung weniger
Schwingungsisolierung sind Referenzsensor, Feh- beim Fhrungsgrenverhalten als bei der Str-
lersensor, Signalverarbeitungseinheit und Aktor grenunterdrckung.
(bestehend aus Energiesteller und Energiewandler, Einfache Regelkreise arbeiten in der Regel breit-
Bild 1). Der Referenzsensor liefert Informationen bandig, wobei der Arbeitsfrequenzbereich durch
ber die Schwingung der quellenseitigen Struktur. den Reglerentwurf bestimmt wird. Erfahrungsge-
Der Fehlersensor registriert die verbleibende m resultiert der Arbeitsbereich meist aus der
Schwingung der empfngerseitigen Struktur. Aus Forderung nach Stabilitt, aus den Phasenverschie-
diesen Messsignalen wird in der Signalverarbei- bungen bzw. den Laufzeiten der beteiligten Kom-
tungseinheit das Ansteuersignal fr den Aktor er- ponenten sowie aus der bentigten Schleifenver-
mittelt. strkung, um eine bestimmte Isolierwirkung zu
Dieses von der Signalverarbeitungseinheit bereit- erreichen. Um die Phasenverschiebung bzw. Lauf-
gestellte Ansteuersignal fr den Aktor verwendet zeit des Reglers gering zu halten, empfiehlt sich
der Energiesteller zur Bereitstellung eines Leis- fr einfache Regelkreise die Umsetzung in Analog-
tungssignals fr den Energiewandler, der dieses technik.
dann in die bentigte mechanische Stellgre um- In Abhngigkeit von der Aufgabenstellung der
setzt. Bei richtiger Auslegung der aktiven Schwin- aktiven Schwingungsisolierung, der physikalischen
gungsisolierung mindern die derart aufgebrachten Messgre des Fehlersensors und den Einbauorten
(sekundren) mechanischen Stellgren die insge- und -arten von Sensor und Aktor lassen sich mit
samt in die empfngerseitige Struktur bertragenen einfachen Regelkreisen aus schwingungstechni-
Zustandsgren. scher Sicht verschiedenartige Systeme realisieren.
Entwurf VDI 2064 7

Bild 2. Einfacher Regelkreis mit regelungstechnischen Bezeichnungen

5.3.1.1 Schwinggeschwindigkeits-
Kraft-Rckkopplung
Wird die Schwinggeschwindigkeit des zu isolie-
renden Objekts, beispielsweise bei der Empfnger-
isolierung, ber eine Verstrkung zur Ansteuerung
einer zur passiven Schwingungsisolierung parallel
angeordneten Kraftquelle genutzt, so wirkt diese
wie eine zustzliche Dmpfungskraft. Diese ist
jedoch nicht zu der Schwinggeschwindigkeitsdiffe-
renz ober- und unterhalb der Lagerung, sondern zu
der absoluten Schwinggeschwindigkeit des zu
isolierenden Objektes proportional.
Dieser Ansatz heit im englischen Sprachraum
skyhook damping und wird im Deutschen mitunter Bild 4. Schema eines passiv gedmpften Einmas-
als absolute Dmpfung (im Gegensatz zu der zur senschwingers mit relativer Dmpfung (passiver
Schwinggeschwindigkeitsdifferenz proportionalen viskoser Dmpfer) bei einer Empfngerisolierung
relativen Dmpfung) bezeichnet. Bild 3 zeigt die
schematische Anordnung mit absoluter Dmpfung, Aus strukturdynamischer Sicht fhrt die Schwing-
Bild 4 im Vergleich dazu jene mit relativer geschwindigkeits-Kraft-Rckkopplung zu einer
Dmpfung. aktiven Schwingungsisolierung durch Erhhung
der mechanischen Impedanz, da die von der Erre-
Bei einer absoluten Dmpfung nimmt der Betrag gerseite aufzubringende Kraft, bezogen auf die
der komplexen bertragungsfunktion (Verhltnis Schwinggeschwindigkeit, grer wird. Die fre-
der komplexen Antwortamplitude zur Erregungs- quenzabhngige, realisierte Impedanz hngt von
amplitude bei der Empfngerisolierung) fr hohe der Schleifenverstrkung v (Bild 3) ab und geht
Frequenzen mit 40 dB/Dekade (statt 20 dB/Dekade nur fr groes v gegen unendlich.
bei relativer Dmpfung, vgl. VDI 2062 Blatt 1) ab.
Das Einsatzgebiet der Schwinggeschwindigkeits-
Kraft-Rckkopplung liegt vorwiegend in der Un-
terdrckung der Resonanzberhhung bei der
Empfngerisolierung.
5.3.1.2 Kraft-Weg-Rckkopplung
Wird die dynamische Kraft, die die quellenseitige
auf die empfngerseitige Struktur ausbt, ber eine
Verstrkung zur Ansteuerung eines zur passiven
Schwingungsisolierung in Reihe liegenden Weg-
elementes genutzt, so wirkt dies wie eine Feder mit
einer von der Verstrkung abhngigen Nachgie-
bigkeit.
Aus strukturdynamischer Sicht fhrt die Kraft-
Bild 3. Schema eines aktiv gedmpften Einmas- Weg-Rckkopplung zu einer aktiven Schwin-
senschwingers mit absoluter Dmpfung durch gungsisolierung durch Verringerung der mechani-
Schwinggeschwindigkeitsrckkopplung bei einer schen Impedanz, da die von der Erregerseite auf-
Empfngerisolierung gebrachte Kraft zu einem greren erregerseitigen
Schwingweg fhrt. Die frequenzabhngige reali-
sierte Impedanz hngt von der Schleifenverstr-
kung v ab und geht nur fr groes v gegen Null.
8 VDI 2064 Entwurf

Das Einsatzgebiet der Kraft-Weg-Rckkopplung eine andere geeignete Referenzgre sowie der
liegt vorwiegend in der Quellenisolierung. Durch Ausbreitungsweg bekannt sind.
die Kraftmessung entfllt im Vergleich zur Be- Bei dem Entwurf der Steuerung ist die Rckwir-
schleunigungsmessung der Einfluss der dynami- kungsfreiheit des Aktors auf das Referenzsignal zu
schen Eigenschaften der empfngerseitigen Struk- beachten. Ist diese nicht gegeben, so ist fr die
tur, was besonders bei greren oder relativ wei- Rckwirkung ein Modell zu bestimmen und in die
chen Strukturen (z. B. in der Luft- und Raumfahrt) Steuerung zu integrieren.
von Vorteil ist.
Die Anforderungen an das fr die Steuerung ver-
5.3.2 Steuerung/Strgrenaufschaltung wendete Modell der Strgrenausbreitung hngen
Aktive Schwingungsisolierungen knnen auch als wesentlich von der Strgre ab. Fr periodische
einfache Steuerung realisiert werden (Bild 5). Strgren, beispielsweise von rotierenden Ma-
schinen, gengt eine genaue Modellierung bei den
In diesem Fall wird das Signal eines Referenzsen-
Signalfrequenzen (Drehfrequenz und gegebenen-
sors so ber eine Steuerung an den Aktor gefhrt,
falls deren Vielfache), da dann die zeitliche Kausa-
dass die Schwingungen in einem zu definierenden
litt keine harte Systemgrenze darstellt. Bei sto-
Sinne minimal werden. Die fehlende Rckkopp-
chastischen Strgren sind eine breitbandige Mo-
lung muss dann durch hinreichende Informationen
dellierung im Arbeitsfrequenzbereich sowie ein
ber den zuknftigen Verlauf der Strgre ausge-
strenges Einhalten der zeitlichen Kausalitt erfor-
glichen werden.
derlich.
Deshalb liegt diesem Ansatz die Annahme zugrun-
de, dass die zu isolierende Schwingung wesentlich 5.3.3 Adaptive regelungstechnische Systeme
durch eine vom Referenzsensor erfassbare Strung Die Wirksamkeit der aktiven Schwingungsisolie-
verursacht wird. Die Steuerungseinheit bildet dann rung wird wesentlich durch die Genauigkeit der
deren Ausbreitung nach, ergnzt um ein inverses phaseninversen Nachbildung der Erregerkraft
Modell des Aktors und der inversen bertragungs- durch die Kompensationskraft bestimmt. Die in
strecke vom Aktor zur Zielgre. Abhngigkeit von der Frequenz erzielbare Pegel-
Entscheidend fr die Qualitt der Schwingungsiso- abnahme ergibt sich zu:
lierung ist die Wahl eines geeigneten Referenzsi- + + FKomp ( + FKomp ( (&
2
) & cos %- ! , )
gnals. Fr den Fall eines linearen Steuerungssys- %L $ 10 lg)1 , 2) & (2)
tems stellt die Kohrenzfunktion xy2(f) zwischen ) ) FE & ) FE & &&
* * ' * ' '
dem Referenzsignal ux und dem Zielsignal uy ein
Ma fr die Eignung des Referenzsignals dar, das Dabei ist
die Abschtzung der maximal mglichen Pegelab-
FE Erregerkraftamplitude
nahme durch eine Steuerung gem folgender
Gleichung erlaubt: F Komp Kompensationskraftamplitude
%L f ! $ #10 lg 1 # " 2
xy !
f! (1) %- Phasenwinkeldifferenz zwischen beiden
Darber hinaus ist die zeitliche Kausalitt zu be- Krften
achten, die sich in der Kohrenz nicht nieder- Aus dieser Beziehung lsst sich ablesen, dass
schlgt, aber aufgrund der ausschlielichen Reali- schon bei einem Amplitudenfehler von 10 % und
sierbarkeit kausaler Systeme eine unumgehbare einem Phasenfehler von 10 die maximale Pegel-
Einschrnkung fr die erreichbare Pegelabnahme minderung nur noch 13,6 dB betrgt. Bei gleichem
darstellt. Amplitudenverhltnis und einem Phasenfehler von
Dieser Ansatz eignet sich daher vor allem fr eine 20 verbleiben nur noch maximal 8,5 dB.
aktive Quellenisolierung sowie im Einzelfall fr
eine Empfngerisolierung, wenn die Quelle oder

Bild 5. Einfacher Steuerungskreis mit regelungstechnischen Bezeichnungen


Entwurf VDI 2064 9

Um die fr eine nennenswerte Pegelreduktion er- Aktoransteuerung ist dann die entsprechende
forderliche hohe Nachbildungsgenauigkeit auch Rcktransformation erforderlich.
bei zeitvarianten Primr- und Regelstrecken sowie
Strsignalen zu gewhrleisten, knnen adaptive 6 Kenngren der Komponenten aktiver
Regelungskonzepte eingesetzt werden. Schwingungsisolierungen
Adaptive Regelungskonzepte basieren auf einem
6.1 Allgemeines
Algorithmus, mit dem Reglerbertragungsfunktio-
nen oder Strgrenmodelle automatisch so opti- Jede aktive Schwingungsisolierung umfasst ein
miert werden, dass ein die Fehlersignale minimie- System aus Sensoren, Aktoren und zugehriger
rendes Kriterium mglichst gut erfllt wird. Signalverarbeitungseinheit. Diese Komponenten
bedrfen der technischen Realisierung.
In der Praxis werden zur Modellbildung meist
sogenannte adaptive Filter eingesetzt. Als Optimie- Der folgende Abschnitt beschreibt mgliche tech-
rungsvorschrift wird hufig der LMS-Algorithmus nische Ausfhrungen dieser Komponenten mit
(Least Mean Squares) verwendet, der ein stochasti- ihren typischen Eigenschaften. Dabei wird auf
sches Gradientenverfahren zur Minimierung der besonders zu beachtende Punkte bei Auswahl und
Fehlersignalenergie darstellt. Entwurf hingewiesen.

5.4 Aktive Schwingungsisolierung fr 6.2 Aktoren


mehrere Freiheitsgrade 6.2.1 Allgemeines
Bei praktischen Anwendungen der aktiven Aktoren haben die Aufgabe, die zur Minderung der
Schwingungsisolierung ist in der Regel die Be- Erregerschwingungen erforderlichen Kompensa-
rcksichtigung mehrerer Freiheitsgrade erforder- tionskrfte bzw. -schwingwege zu erzeugen und an
lich. geeigneten Angriffspunkten in die mechanische
Eine schwingungsisoliert gelagerte, ausgedehnte Struktur einzuleiten.
Masse besitzt sechs (drei translatorische und drei Aktoren mssen nach den jeweiligen Anforderun-
rotatorische) Starrkrperfreiheitsgrade. Darber gen des aktiven Schwingungsisoliersystems unter
hinaus besitzt ein realer Krper mit endlicher Stei- anderem nach folgenden Kriterien ausgewhlt bzw.
figkeit weitere modale Freiheitsgrade. entworfen werden:
Die gleichzeitige Beeinflussung der Schwingungen
Mechanische Ausgangsgren
in mehreren Freiheitsgraden erfordert mehrere
Aktoren zur Erzeugung der entsprechenden Kom- bentigte Kraft
pensationskrfte. Abhngig vom regelungstechni- Frequenzbereich
schen Konzept sind die Schwingungen in diesen Auslenkung
Freiheitsgraden mit Sensoren zu erfassen. Die ein-
gesetzte Regelung muss dann zu einer Mehrgr- Verfgbarer Bauraum
enregelung bzw. einem Vielkanalsystem erweitert Masse
werden. Dabei ist zu beachten, dass die Ein-/ Volumen
Ausgangssignale sinnvoll entkoppelt oder ihre
Querkopplungen in der Regelung bercksichtigt konstruktive Anbindung und Integration
werden. Dies hat im Allgemeinen zur Folge, dass Umweltbedingungen
der Aufwand in der Signalverarbeitungseinheit mit
verfgbare Hilfsenergie
dem Produkt der Anzahl der Sensor- und Aktorka-
nle und damit quadratisch mit der Anzahl der zulssiges Eigengerusch
Freiheitsgrade ansteigt. erlaubte elektromagnetische Abstrahlung
Bei einfachen Regelkreisen gengt es mitunter, Betriebstemperatur
einzelne Sensor-/Aktor-Paare so anzuordnen, dass Medienbestndigkeit.
sie und die daraus resultierenden Regelkreise weit-
gehend voneinander entkoppelt sind. Die praktische Erfahrung zeigt, dass die Auswahl
oder Konstruktion eines geeigneten Aktor-Systems
Zur Entkopplung bei schwach gedmpften Struktu- oft ber die technische Machbarkeit einer aktiven
ren knnen alle Sensorsignale mittels einer Koor- Schwingungsisolierung entscheidet. Der Aktorik
dinatentransformation in unabhngige (orthogona- ist beim Entwurf einer aktiven Schwingungsisolie-
le) modale Koordinaten berfhrt werden. In die- rung daher groe Aufmerksamkeit zu widmen.
sem modalen Raum sind die einzelnen Freiheits-
grade voneinander unabhngig und knnen somit Der Begriff des Aktors umfasst die gesamte Sys-
auch unabhngig geregelt werden. Zur richtigen temkomponente, die der aktiven Schwingungsiso-
10 VDI 2064 Entwurf

lierung die von einem elektrischen Regleraus- 6.2.3 Hydraulischer Aktor


gangssignal abhngigen mechanischen Ausgangs- Bauform
gren zur Verfgung stellt. Ein Aktor besteht
daher mindestens aus einem Energiesteller und Hydraulikzylinder
einem Energiewandler (Bild 1), die zueinander Frequenzbereich
passend ausgewhlt oder entworfen werden ms- Die Dynamik der mechanischen Komponenten
sen. Nach aller Erfahrung kann sich jede der Teil- (groe Masse) und Medieneigenschaften begren-
komponenten fr die Realisierung des Gesamtsys- zen den Frequenzbereich und erzeugen eine Tief-
tems als kritisch erweisen. passcharakteristik Energiesteller (Hydraulikventi-
Besonders bei Aktoren mit elektrischer Hilfsener- le) beschrnken durch ihre Schaltzeiten den Ar-
gie zeigt die Erfahrung, dass die Belastbarkeit im beitsfrequenzbereich. Arbeitsfrequenzbereich
Dauereinsatz hufig durch die Abfuhr der entste- < 100 Hz, sonst Sonderkonstruktionen erforderlich.
henden Verlustleistung (Wrme) bestimmt wird.
Kraft
Daher ist gegebenenfalls eine Zwangskhlung
vorzusehen. 102 N < F < 106 N (typische Werte)
Als Grundlage praktischer Entwurfsentscheidun- Schwingweg
gen sind nachfolgend fr einige hufig eingesetzte groe Schwingwege mglich
Antriebsmechanismen von Aktoren stichwortartig
typische Charakteristika angegeben. Dynamik
groer Dynamikumfang, abhngig von der Dyna-
6.2.2 Pneumatischer Aktor
mik des Regelventils
Bauform
Linearitt
Pneumatikzylinder
Energiewandler wie Energiesteller (Regelventile)
Frequenzbereich sind oft nicht linear.
f 10 Hz (bis zur Eigenfrequenz der Luftfeder) Umgebungseinflsse
Kraft unempfindlich gegen aggressive Umgebung und
2 6
10 N < F < 10 N (typische Werte) neutral bezglich elektromagnetischer Strabstrah-
lung
Schwingweg
Hilfsenergie
groe Schwingwege mglich
hydraulische Hilfsenergie oft nicht verfgbar, Be-
Dynamik reitstellung ber eigene Hydraulikanlage mit gro-
Energiesteller (Pneumatikventile) haben selten em Aufwand verbunden
einen Dynamikumfang von mehr als 50 dB.
6.2.4 Elektrodynamischer Aktor
Linearitt
Bauform
Die Linearitt hngt im Wesentlichen vom Energie-
Tauchspulensystem (wie elektrodynamischer Laut-
steller (Pneumatikventil) ab. Der maximale Fehler
sprecher) oder Lorentz-Motor
des eingestellten Drucks ist meist grer als 0,3 %.
Frequenzbereich
Umgebungseinflsse
groer Arbeitsfrequenzbereich
unempfindlich gegen aggressive Umgebung und
neutral bezglich elektromagnetischer Strabstrah- Kraft
lung bei Tauchspulensystemen mit 101 N < F < 103 N
Hilfsenergie gering, bei Linearmotoren auch grere Krfte
mglich
pneumatische Hilfsenergie oft nicht verfgbar,
dann Bereitstellung ber eigene Pneumatikanlage Schwingweg
Anmerkung: Bei der Auswahl des Aktors muss ein Kompro- maximaler Schwingweg bei Tauchspulensystemen
miss zwischen Steifigkeit und Ansprechzeit gefunden werden. und einphasigen Linearmotoren einige Millimeter
Zudem beschrnkt die langsame Ansprechzeit (typisch
> 100 ms) den Arbeitsfrequenzbereich. Bei geeigneter Kons- Dynamik
truktion ist der Pneumatikzylinder auch als Luftfeder nutzbar. hohe Dynamik
Entwurf VDI 2064 11

Linearitt gesamtsystems deutlich unter den Frequenzbereich


sehr hohe Linearitt der Energiesteller/-wandler-Kombination drckt.
Umgebungseinflsse Umgebungseinflsse
Elektromagnetische Vertrglichkeit ist zu prfen. Elektromagnetische Vertrglichkeit ist zu prfen.
Hilfsenergie Hilfsenergie
Energiesteller (Leistungsverstrker) sind bei leich- Wandler stellen fr Energiesteller groe kapazitive
ter Verfgbarkeit gut bekannt und unkritisch, da Lasten dar. Zeitverhalten und erreichbarer Arbeits-
elektrodynamische Aktoren beispielsweise als frequenzbereich sind daher meist durch die Ener-
Lautsprecher weit verbreitet sind. Elektrische giesteller bestimmt. Neuere Verstrkerkonzepte
Hilfsenergie ist meist problemlos verfgbar. arbeiten mit Energierckgewinnung und erlauben
damit wandlerseitige Blindleistungen, die wesent-
Anmerkung: Durch geeignete Konstruktion kann bei elektro-
dynamischen Aktoren eine berhrungsfreie Kraftbertragung lich grer als die im Versorgungsnetz spezifizier-
erreicht werden. Damit kann ein solcher Aktor steifigkeits- ten Nennleistungen sind.
und dmpfungsneutral ausgefhrt werden.
Anmerkung: Piezoelektrische Wandler weisen eine hohe
Steifigkeit auf. Da sie keine Zugkrfte bertragen knnen,
6.2.5 Piezoelektrischer Aktor mssen sie mechanisch vorgespannt werden. Sie sind deshalb
Bauform auch nur fr rein translatorische, zentrische Belastungen ge-
eignet. Im dynamischen Betrieb muss die fr den Wandler
Fr aktive Schwingungsisolierungen werden ber- angegebene maximal zulssige Betriebstemperatur unbedingt
wiegend Piezokeramiken auf Blei-Zirkonat- eingehalten werden, gegebenenfalls ist eine Zwangskhlung
Titanat-Basis (PZT) verwendet. Sie werden meist erforderlich. Berhrungsschutz und Isolierung fhren zu ho-
hem Platzbedarf.
in Form von Stapelwandlern, geschichtet aus dn-
nen Keramik- und Elektrodenscheiben, eingesetzt. 6.2.6 Magnetostriktiver Aktor
Piezokeramische Wandler werden als Niedervolt-
Typen (Ansteuerspannung U 200 V) oder als Bauform
Hochvolt-Typen (U 1000 V) gebaut. Fr aktive Schwingungsisolierungen kommen als
magnetostriktives Material vorwiegend Terbium-
Frequenzbereich
Eisen-Legierungen in Betracht.
hohe und sehr hohe Arbeitsfrequenzen bis zu meh-
reren Kilohertz mglich, meist durch Energiesteller Frequenzbereich
begrenzt hohe und sehr hohe Arbeitsfrequenzen bis zu meh-
reren Kilohertz mglich, meist durch Energiesteller
Kraft
sowie Induktivitt des erforderlichen Magnetsys-
hohe Wandlerkrfte (Blockierkraft ca. 3 kN bis tems begrenzt
4 kN bei 1 cm2 Material-Querschnittsflche)
Kraft
Schwingweg
hohe Wandlerkrfte (F < 104 N je Element)
Die Dehnungen von rund 1/1000 der Bauhhe des
aktiven Materials liefern fr bliche Materialln- Schwingweg
gen im Zentimeterbereich Schwingwege von ma- Die Dehnungen von rund 1/1000 der Bauhhe des
ximal 100 m (ohne Last). Die Dehnung ist kraft- aktiven Materials liefern fr bliche Materialln-
abhngig und null bei Belastung mit der Blockier- gen im Zentimeterbereich Schwingwege von ma-
kraft. ximal 100 m.
Dynamik Dynamik
hohe Dynamik hohe Dynamik
Linearitt Linearitt
PZT-Keramiken weisen von der Betriebsart ab- Terbium-Eisen-Legierungen weisen inhrent eine
hngige elektromechanische Wandlerkenngren Hysterese sowie von der mechanischen Spannung
sowie inhrent eine Hysterese auf. Beide Phno- abhngige elektromechanische Wandlerkenngr-
mene fhren zu unvermeidlichen Nichtlinearitten en auf. Beide Phnomene fhren zu unvermeidli-
im dynamischen Betrieb. Zur Linearisierung kann chen Nichtlinearitten im dynamischen Betrieb.
eine zustzliche Regelung eingesetzt werden, die Zur Linearisierung kann eine zustzliche Regelung
jedoch den Arbeitsfrequenzbereich des Aktor- eingesetzt werden, die jedoch den Arbeitsfre-
quenzbereich des Aktorgesamtsystems deutlich
12 VDI 2064 Entwurf

unter den Frequenzbereich der Energiesteller/ Beschleunigungsaufnehmern liegen. Dann muss


-wandler-Kombination drckt. eine andere, physikalisch sinnvollere Messgre
erfasst werden.
Umgebungseinflsse
Eine besondere Beachtung im Zusammenhang mit
Elektromagnetische Vertrglichkeit ist zu prfen.
der aktiven Schwingungsisolierung verdienen die
Bei Bauformen mit statischer Vormagnetisierung
Gruppenlaufzeit bzw. Phasenverschiebung des
muss auf eine hinreichende magnetische Schir-
Messsignals einschlielich eventuell erforderlicher
mung geachtet werden.
Signalkonditionierungen.
Hilfsenergie Eine bersicht ber Schwingungsaufnehmer findet
Wandler stellen fr Energiesteller groe induktive sich in VDI 3839 Blatt 1, Abschnitt 2. Die in Ab-
Lasten dar. Zeitverhalten und erreichbarer Arbeits- schnitt 5 der genannten Richtlinie gegebenen Hin-
frequenzbereich sind daher meist durch die Ener- weise sollten auch beim Einsatz in Systemen zur
giesteller bestimmt. Neuere Verstrkerkonzepte aktiven Schwingungsisolierung bercksichtigt
arbeiten mit Energierckgewinnung und erlauben werden.
damit wandlerseitige Blindleistungen, die wesent-
6.4 Signalverarbeitungseinheit
lich grer als die im Versorgungsnetz spezifizier-
ten Nennleistungen sind. 6.4.1 Allgemeines
Anmerkung: Magnetostriktive Wandler weisen eine hohe Elektronische Signalverarbeitungseinheiten knnen
Steifigkeit auf. Da sie kaum Zugkrfte bertragen knnen, grundstzlich sowohl in analoger als auch in digi-
empfiehlt sich eine mechanische Vorspannung. Im dynami- taler Form realisiert werden. Beide Ausfhrungs-
schen Betrieb muss die fr den Wandler angegebene maximal
zulssige Betriebstemperatur unbedingt eingehalten werden,
formen haben fr die aktive Schwingungsisolie-
gegebenenfalls ist eine Zwangskhlung erforderlich. rung Vor- und Nachteile.

6.3 Sensoren 6.4.2 Analoge Signalverarbeitungseinheit

Als Komponenten fr aktive Schwingungsisolie- Fr einfache Regelkreise weisen Analogregler den


rungen werden je nach Aufgabenstellung und ent- entscheidenden Vorteil einer sehr geringen Lauf-
sprechend den bentigten physikalischen Signalen zeit bzw. Phasenverschiebung auf. Damit sind sie
unterschiedliche Sensoren eingesetzt. zum Einsatz in breitbandigen Regelkreisen bei
entsprechendem Reglerentwurf gut geeignet.
Steuerungsbasierte aktive Schwingungsisolierun-
gen erfordern angepasste Sensoren zur Bereitstel- Analog arbeitende Signalverarbeitungseinheiten
lung des Strgrensignals. Bei der Schwingungs- sind in ihrer Komplexitt meist eingeschrnkt und
isolierung von rotierenden Maschinen knnen bei- weisen nur eine begrenzte Langzeitstabilitt auf.
spielsweise alle Arten von Drehzahlerfassungen Adaptive Systeme werden praktisch nicht in Ana-
verwendet werden. logtechnik gebaut.
Regelungsbasierte aktive Schwingungsisolierungen Systeme mit mehreren Freiheitsgraden gestalten
wie auch adaptive Systeme erfordern Sensoren zur sich analog sehr aufwendig, wenn sie nicht auf-
Erfassung des Schwingungszustands. Sofern phy- grund der gewhlten Sensor- und Aktoranordnung
sikalisch notwendig, werden Kraftsensoren mit der als entkoppelte Einzelsysteme realisiert werden
mechanischen Lagerung in Reihe geschaltet. Meist knnen.
finden jedoch Beschleunigungs- oder Schwingge- 6.4.3 Digitale Signalverarbeitungseinheit
schwindigkeitsaufnehmer Verwendung.
Digital arbeitende Signalverarbeitungseinheiten
Adaptive Systeme knnen im Einzelfall auch ande- erlauben eine groe Komplexitt und bilden damit
re Sensoren zur Gewinnung eines Fehlersignals beispielsweise die Grundlage fr adaptive Syste-
enthalten, z. B. Mikrofone zur Erfassung des abge- me. Sie erfordern jedoch vor der Analog-Digital-
strahlten Sekundrluftschalls. Wandlung (Eingangsseite) und nach der Digital-
Schwingungsaufnehmer fr aktive Schwingungs- Analog-Wandlung (Ausgangsseite) analoge Tief-
isolierungen werden bevorzugt als Beschleuni- passfilter oder alternativ den Einsatz von Wandlern
gungsaufnehmer ausgefhrt, whrend Schwingge- mit integrierter Tiefpassfunktionalitt (Sigma-
schwindigkeitsaufnehmer nur in Sonderfllen Delta-Wandler). Diese Tiefpassfilter fhren zu-
Verwendung finden. sammen mit der taktweise ablaufenden Verarbei-
Allerdings ist bei tiefen Frequenzen zu beachten, tung der Signale zu einer Verlngerung der Signal-
dass selbst bei groen Schwingwegen und laufzeit, die den Frequenzbereich digital arbeiten-
-geschwindigkeiten oft nur geringe Beschleuni- der Regelkreise nach oben begrenzt.
gungen auftreten, die unter der Rauschgrenze von
Entwurf VDI 2064 13

Auch bei der Betrachtung der zeitlichen Kausalitt zielt erfllt werden (beispielsweise ein verteilter
fr steuerungsbasierte Schwingungsisoliersysteme Einbau zum Schutz der Regelungseinheit vor wid-
ist die Signallaufzeit zu beachten. rigen Umgebungsbedingungen).
Bezglich der komponentenspezifischen Eigen-
7 Hinweise zur Spezifikation aktiver schaften wird auf die einschlgigen Regelwerke
Schwingungsisolierungen verwiesen.
7.1 Allgemeines 7.3 Systembetrachtungen
Die Spezifikation und Beschreibung einer aktiven 7.3.1 Mechanische Anbindung
Schwingungsisolierung erfolgt auf drei Ebenen:
Die Beschreibung auf der Systemebene soll unab-
Komponentenebene hngig von der Umgebung sein, in der das System
Systemebene eingesetzt werden soll. Um die Darstellung von
Ebene des integrierten Systems den realen Einbausituationen entsprechend abstra-
hieren zu knnen, wird daher eine vereinfachte
Fr den Nutzer ist zunchst die Ebene des inte- mechanische Anbindung angenommen:
grierten Systems wichtig. Dessen Eigenschaften
hngen sowohl von der aktiven Schwingungsiso- Bei Quellenisolierung: Beschreibung der Quelle
lierung als auch von der Umgebung ab, in die das als Starrkrper der Masse m und Kraftanregung
System integriert ist. auf die Schwingungsisolierung, Beschreibung
der empfngerseitigen Struktur als unendlich
Eine Beschreibung auf Systemebene ist unabhn-
steif (unendliche mechanische Impedanz).
gig von der konkreten Umgebung, in der das Sys-
tem genutzt werden soll. Deshalb soll ihr eine ver- Bei Empfngerisolierung: Beschreibung der
einfachte Anordnung zugrunde gelegt werden, bei quellenseitigen Struktur als Schwinggeschwin-
der alle umgebungsbezogenen Angaben weggelas- digkeitsquelle hoher Impedanz, Beschreibung
sen werden. der empfngerseitigen Struktur als Starrkrper
der Masse m.
Die Eigenschaften auf Systemebene werden wiede-
rum wesentlich von den Eigenschaften auf Kom- Bei der Spezifikation auf Systemebene muss die
ponentenebene bestimmt. Beiderlei Merkmale verwendete vereinfachte mechanische Anbindung
drfen jedoch nicht verwechselt werden. angegeben werden.
Die Komponenten einer aktiven Schwingungsiso- 7.3.2 Amplitudenbereich und Dynamik der
lierung knnen innerhalb einer Anlage verteilt Schwingung
angeordnet sein. Damit knnen sich fr die einzel- Aufgrund ihres konzeptionellen Aufbaus aus Akto-
nen Komponenten unterschiedliche Umgebungsan- ren, Sensoren und Signalverarbeitungseinheit stellt
forderungen (Temperaturbereiche, Medien usw.) eine aktive Schwingungsisolierung bestenfalls in
ergeben. Deshalb mssen diesbezgliche Anforde- einem begrenzten Arbeitsbereich ein lineares Sys-
rungen auf Komponentenebene angegeben werden. tem dar. So sind beispielsweise die von den Akto-
Eine aktive Schwingungsisolierung ist meist Teil ren erzeugbaren mechanischen Feldgren be-
einer Maschine und unterliegt somit den Regelun- schrnkt, sodass strkere Schwingungen nicht
gen der Maschinenrichtlinie (98/37/EG und DIN mehr effektiv isoliert werden knnen. Durch das
EN 12100). Auch die Vorschriften zum Schutz von Eigenrauschen des Systems und der Komponenten
Menschen sind zu bercksichtigen. ist auch die Isolierwirkung bei kleinen Strsignal-
Bezglich aller grundlegenden Angaben fr die amplituden begrenzt. So kann beispielsweise
Auswahl wie auch zur Beschreibung einer unterhalb der Empfindlichkeitsschwelle der Senso-
Schwingungsisolierung wird auf Abschnitt 6 der ren keine aktive Isolierwirkung erzielt werden.
DIN EN 1299 verwiesen. Es wird ausdrcklich Bei der Systemspezifikation einer aktiven Schwin-
angemerkt, dass sich die hier gegebenen Hinweise gungsisolierung sind daher die maximale und die
nur ergnzend auf die spezifischen Eigenschaften minimale Schwingungsamplitude (gegebenenfalls
einer aktiven Schwingungsisolierung beziehen. als Funktion der Frequenz) anzugeben, fr die die
Schwingungsisolierung wirksam ist. Weiterhin ist
7.2 Komponenten der Dynamikbereich, also der Bereich zwischen
Alle relevanten Komponenten sind hinsichtlich der maximalen und der minimalen Schwingungs-
ihrer komponentenspezifischen Eigenschaften amplitude, fr den die aktive Schwingungsisolie-
vollstndig zu beschreiben. Dadurch knnen rung wirksam ist, anzugeben.
Schwierigkeiten bei der Systemintegration erkannt
und komponentenspezifische Anforderungen ge-
14 VDI 2064 Entwurf

Ob als Schwingungsamplitude die Kraftamplitude, Bei der Spezifikation eines Systems zur aktiven
die Schwinggeschwindigkeitsamplitude oder eine Schwingungsisolierung ist unbedingt anzugeben,
andere geeignete Gre angeben wird, hngt von auf welche charakteristischen Zeitverlufe der
den vereinfachten mechanischen Randbedingungen Schwingung sich die Angabe bezieht. Gegebenen-
ab. falls sind die Angaben fr mehrere charakteristi-
Erfolgt die Angabe frequenzabhngig, so ist zu- sche Zeitverlufe zu kombinieren (z. B. Isolier-
stzlich anzugeben, ob sie sich auf eine einzelne wirkungsgrad von -30 dB fr periodische Schwin-
monofrequente Schwingung oder ein Rauschspek- gung bei der Drehfrequenz von 48 Hz sowie von
trum bezieht. Zustzlich sollte angegeben werden, -10 dB fr stochastische Schwingungen im Fre-
wie die Angabe auf mehrere monofrequente, sto- quenzbereich von 1 Hz bis 100 Hz).
chastische oder stoartige Schwingungen zu bezie- 7.3.4 Betrachtung im Zeit- und
hen ist. Frequenzbereich
7.3.3 Zeitverlauf der Schwingung Der konkrete Aufbau eines aktiven Schwingungs-
Ein System zur aktiven Schwingungsisolierung isoliersystems legt den spezifischen Arbeitsfre-
kann sehr unterschiedlich aufgebaut sein und dar- quenzbereich und somit auch das Zeitverhalten fr
ber hinaus auch unterschiedliche Konzepte zur das jeweilige System fest. Dies ermglicht in der
Regelung oder Steuerung nutzen, die wiederum zu Praxis die gezielte Abstimmung eines Systems fr
groen Unterschieden bei der Isolierwirkung fh- eine gegebene Aufgabenstellung. Allerdings erfor-
ren knnen. Bei der konkreten Festlegung auf ein dert es auch eine eindeutige Spezifikation der ent-
bestimmtes Regelungs- oder Steuerungskonzept sprechenden Eigenschaften.
muss insbesondere das zeitliche Verhalten der Fr Schwingungen, fr die eine Frequenzbereichs-
auftretenden Signale bercksichtigt werden. Im beschreibung angemessen ist (also periodische und
Hinblick auf die Auslegung aktiver Schwin- stochastische Schwingungen), ist der Arbeitsfre-
gungsisolierungen sind drei charakteristische Zeit- quenzbereich des Systems anzugeben.
verlufe zu unterscheiden: Fr Schwingungen, fr die eine Zeitbereichsbe-
Periodische Schwingungen schreibung angemessen ist (also vor allem sto-
Typische Schwingungsquellen, die periodische frmige Schwingungen), ist entsprechend das Zeit-
Signale erzeugen, sind rotierende Maschinen verhalten des Systems anzugeben (z. B. minimale
wie Verbrennungskraftmaschinen, Kolbenpum- Laufzeit fr Strgrenaufschaltung, maximale
pen, elektrische Maschinen oder Lfter. Perio- Steigung der erzeugten Kraft usw.)
dische Schwingungen knnen durch ihr Ampli- Fr im Wesentlichen periodische oder stochasti-
tudenspektrum dargestellt werden. sche Schwingungen, die zeitliche nderungen
ihres Signalverhaltens aufweisen (z. B. bei Ma-
Stochastische Schwingungen
schinendrehzahlnderungen), sind Angaben zum
Schwingungen, die aus der inkohrenten ber- Adaptionsverhalten und zur Folgefhigkeit der
lagerung vieler Quellen entstehen, sind typi- aktiven Schwingungsisolierung zu machen. Dies
scherweise stochastisch und werden angemes- gilt insbesondere, wenn adaptive Verfahren zur
sen durch ihre Leistungsdichtespektren be- Regelung oder Steuerung eingesetzt werden.
schrieben. Zu den stochastischen Schwingun-
gen zhlen beispielsweise Gebudeschwingun- 7.3.5 Isolierwirkung
gen und durch Verkehr erzeugte Schwingungen. Die Isolierwirkung einer Schwingungsisolierung
Auch ausgesprochen schmalbandige Signale entspricht dem Betrag der bertragungsfunktion
sind oft als stochastisch zu betrachten, sofern zwischen den Schwingungsgren der erregenden
sie in Phase und Amplitude (unvorhersehbaren) und der zu schtzenden Struktur. Sie wird in ber-
Schwankungen unterliegen. einstimmung mit DIN 1311-2 durch den dimen-
Stofrmige Schwingungen sionslosen Amplitudenfrequenzgang (f) zwischen
den Schwingungsgren der erregenden und der zu
Stofrmige Schwingungen entstehen typi-
schtzenden Struktur oder durch den Isolierwir-
scherweise durch impulsartige Quellen. Dazu
kungsgrad I(f) = 1 (f) beschrieben.
gehren Werkzeugmaschinen fr stofrmige
Verformungsprozesse (z. B. Pressen). Auch Da aktive Schwingungsisolierungen hufig mit
Schalt-, Anfahr-, Brems- und Anschlagvorgn- passiven Schwingungsisolierungen kombiniert
ge erzeugen stofrmige Schwingungen. Sto- werden, ist neben der Isolierwirkung der aktiven
frmige Vorgnge lassen sich angemessen mit Schwingungsisolierung zum Vergleich auch die
ihrem Zeitsignalverlauf beschreiben. Isolierwirkung bei abgeschaltetem aktivem System
Entwurf VDI 2064 15

anzugeben. Wird ein aktives Schwingungsisolier- lufe der Signale oder fr einen groen Dynamik-
system nur zusammen mit einer bestimmten passi- bereich eingesetzt wird, soll die Isolierwirkung fr
ven Schwingungsisolierung angeboten, kann die die verschiedenen Signalarten und -amplituden
Angabe der Isolierwirkung des Gesamtsystems bzw. Betragsmaximalwerte separat beschrieben
gengen, sofern darauf gesondert hingewiesen werden. In jedem Falle ist die bertragungsfunk-
wird. Die empfngerseitigen Schwingungen beim tion nur fr den in Abschnitt 7.3.2 beschriebenen
Betrieb der aktiven Schwingungsisolierung werden Amplituden- bzw. Dynamikbereich gltig.
als Restschwingungen bezeichnet. Wird die Isolierwirkung im Frequenzbereich ange-
Im Bild 6 sind beispielhaft die Kurven der emp- geben, so soll die Angabe bis zum fnffachen,
fngerseitigen Schwingungen ohne und mit aktiver muss jedoch mindestens bis zum dreifachen der
Schwingungsisolierung dargestellt. Im Frequenz- Obergrenze des Arbeitsfrequenzbereiches erfolgen.
bereich bis 500 Hz sind die empfngerseitigen In der Regel wird die Isolierwirkung als Funktion
Schwingungen mit aktiver Schwingungsisolierung der Frequenz angegeben. Insbesondere bei sto-
(Restschwingungen) kleiner als die empfngersei- frmigen Signalen ist jedoch eine Betrachtung im
tigen Schwingungen ohne aktive Schwingungsiso- Zeitbereich sinnvoller, denn dann lassen sich Re-
lierung. Oberhalb von 500 Hz sind die Rest- aktionszeiten des aktiven Systems sowie Ein-
schwingungen wegen des Systemeigenrauschens schwingverhalten und Ausschwingzeiten praxisnah
und des Phasenfehlers der Regelung jedoch grer beurteilen.
als die empfngerseitigen Schwingungen bei rein
Bei adaptiven Systemen sind Angaben zur Isolier-
passiver Schwingungsisolierung.
wirkung nur eingeschrnkt mglich, da solche
Fr aktive Systeme muss das quellenseitige Systeme zeitvariante bertragungseigenschaften
Schwingungssignal, mit dem die Isolierwirkung besitzen und somit ihr Antwortverhalten stark von
bestimmt wird, in geeigneter Weise eindeutig be- der Signalvorgeschichte beeinflusst ist. In der
schrieben werden. Die Art dieser Beschreibung Regel wird jedoch ein reproduzierbares Verhalten
hngt von dem charakteristischen Zeitverlauf des nach geeigneter Adaptionszeit erreicht. Daher ist
Signals (periodisch, stochastisch, stoartig) ab. Zur fr adaptive Systeme bei der Angabe der Isolier-
Beschreibung gehrt mindestens die Angabe der wirkung auch der Adaptionsvorgang (Adaptionssi-
Amplitude bzw. des Betragsmaximalwertes. gnal, Dauer and Ablauf der Adaption) zu beschrei-
Wenn ein System zur aktiven Schwingungsisolie- ben.
rung fr unterschiedliche charakteristische Zeitver-

Bild 6. Gegenberstellung der empfngerseitigen Schwingungen ohne und mit (Restschwingungen) aktiver
Schwingungsisolierung
16 VDI 2064 Entwurf

7.3.6 Systemeigenrauschen einzelnen Freiheitsgrade bzw. Kanle auch eine


Beschreibung fr den gleichzeitigen Betrieb aller
Im Gegensatz zu passiven Systemen weisen aktive
Kanle erforderlich, und zwar jeweils durch Anga-
Systeme zur Schwingungsisolierung immer ein
be der empfngerseitigen Schwingungen in allen
Systemeigenrauschen auf. Dieses Systemrauschen
Freiheitsgraden fr die beiden Flle, in denen
ergibt sich aus dem Rauschen der verwendeten
Komponenten und den bertragungseigenschaften quellenseitige Schwingungen nur in einem
des Systems. Beide Anteile drfen nicht verwech- Freiheitsgrad
selt werden und erfordern die Spezifikation des quellenseitige Schwingungen mit anwendungs-
Eigenrauschens auf Systemebene. typischen Signalen in allen Freiheitsgraden
Beispielsweise garantiert ein geringer Eigen- gegeben sind.
rauschpegel eines Fehlersensors keinesfalls einen
niedrigen Eigenrauschpegel der aktiven Schwin- 7.4 Integriertes System
gungsisolierung, da das gemessene Signal ver- 7.4.1 Quellenseitige Schwingungen
schiedene bertragungsglieder (z. B. Messverstr- Wie im Abschnitt 6.3 fr die Systemebene detail-
ker oder Regelungselektronik) durchluft. Da alle liert dargelegt, ist die Isolierwirkung einer aktiven
Komponenten potenzielle Rauschquellen darstel- Schwingungsisolierung stark von den quellenseiti-
len, mssen deren Einflsse auf das ausgangsseiti- gen Schwingungen abhngig. Daher ist zur Be-
ge Rauschsignal bercksichtigt werden. schreibung eines integrierten Systems eine genaue
Die Angabe des Systemeigenrauschens erfolgt Beschreibung der zu erwartenden quellenseitigen
ber das Leistungsdichtespektrum der mechani- Schwingungen erforderlich. Sie umfasst
schen Schwingung fr die angegebene mechani- den charakteristischen Zeitverlauf der Schwin-
sche Anbindung. Sie soll sich nicht auf den Ar- gungen (periodisch, stochastisch, stoartig, ge-
beitsfrequenzbereich beschrnken, sondern min- gebenenfalls gemischte Charakteristik),
destens auch den Bereich bis zu dessen zehnfacher
Obergrenze umfassen. die jeweiligen Amplituden bzw. Betragsmaxi-
malwerte,
Beinhaltet die aktive Schwingungsisolierung eine
digitale Signalverarbeitungseinheit, so ist die An- die jeweiligen Charakterisierungen im Fre-
gabe des Systemeigenrauschens mindestens bis zur quenz- oder Zeitbereich (Frequenzen, Leis-
Abtastfrequenz der digitalen Signalverarbeitungs- tungsdichtespektren, Zeitsignalverlufe) sowie
einheit erforderlich. das Zeitverhalten (stationr, gegebenenfalls
Beim Einsatz schaltender Leistungselektronik ist Drehzahlschwankungen usw.).
darber hinaus der Einfluss der Schaltfrequenzen 7.4.2 Empfngerseitige Schwingungen und
auf das Systemeigenrauschen zu betrachten. Auch Restschwingungen
der Streinfluss anderer Hilfsenergien (Druck- Die empfngerseitigen Schwingungen ergeben sich
schwankungen in Pneumatiksystemen, Pulsationen allgemein aus der Summe der ber die Schwin-
in Hydrauliksystemen usw.) muss gegebenenfalls gungsisolierung bertragenen quellenseitigen
untersucht werden. Schwingungen, der ber Nebenwege bertragenen
Hinweise zur Messung des Eigenrauschens finden Schwingungen (siehe Abschnitt 6.4.3) und der
sich in Abschnitt 7.5.3. empfngerseitig autonom entstehenden Schwin-
Das Systemeigenrauschen ist fr den Betrieb ohne gungen.
quellenseitige Schwingung (Strschwingung) und Letztere entstehen durch weitere, von der zu isolie-
fr den Betrieb mit einer spezifizierten, anwen- renden Quelle unabhngige Schwingungsquellen
dungstypischen Strschwingung anzugeben. auf der Empfngerseite. Im Fall der Empfngeriso-
7.3.7 Systeme fr mehrere Freiheitsgrade lierung einer empfindlichen Maschine knnen dies
und mehrkanalige Systeme beispielsweise durch die Maschine selbst erzeugte
Schwingungen sein.
Fr Systeme mit mehreren Freiheitsgraden, etwa
bei der gleichzeitigen Isolierung mehrerer Schwin- Empfngerseitige Schwingungen treten unabhn-
gungsrichtungen, sind alle Spezifikationen getrennt gig davon auf, ob die aktive Funktion der Schwin-
fr jeden Freiheitsgrad anzugeben. gungsisolierung betrieben wird oder abgeschaltet
ist.
Praktisch werden Systeme fr mehrere Freiheits-
grade als mehrkanalige Systeme aufgebaut, wobei Gem Abschnitt 7.3.5 werden die empfngersei-
die einzelnen Kanle im Allgemeinen gekoppelt tigen Schwingungen beim Betrieb der aktiven
sind. Deshalb ist ergnzend zur Spezifikation der Schwingungsisolierung als Restschwingungen
Entwurf VDI 2064 17

bezeichnet. Diese Restschwingungen ergeben sich 7.4.4 Mechanische Anbindung


aus der Summe der bertragenen, entsprechend der Whrend bei der Betrachtung einer Schwingungs-
Isolierwirkung geminderten quellenseitigen isolierung auf Systemebene von einer idealen me-
Schwingungen, der ber Nebenwege bertragenen chanischen Anbindung ausgegangen wird, sind fr
Schwingungen, der empfngerseitig autonom ent- das integrierte System die realen Bedingungen der
stehenden Schwingungen sowie des Systemeigen- mechanischen Anbindung magebend. Sowohl die
rauschens der aktiven Schwingungsisolierung. quellenseitige als auch die empfngerseitige me-
Dabei ist zu beachten, dass die vom aktiven Sys- chanische Anbindung ist von groem Einfluss auf
tem bewirkte nderung der mechanischen Anbin- die real erzielbare Isolierwirkung.
dung der empfngerseitigen an die quellenseitige Die mechanische Anbindung kann allgemein als
Struktur zu einer Zunahme der ber Nebenwege komplexe, frequenzabhngige mechanische Impe-
bertragenen wie auch der empfngerseitig auto- danz oder anschaulicher durch die wirksamen
nom entstehenden Schwingungen fhren kann. Massen mit ihren Schwerpunktslagen, durch Starr-
Fr periodische und stochastische Schwingungen krpereigenmoden und durch elastische Moden
ist die Beschreibung der Restschwingungen durch beschrieben werden.
den (gegebenenfalls spektral dargestellten) Der Einfluss der realen mechanischen Anbindung
Schwinggeschwindigkeitspegel angemessen. Fr einer Schwingungsisolierung besteht unabhngig
stofrmige Schwingungen kann die Beschreibung davon, ob es sich um eine passive oder aktive
durch den maximalen Betragswert oder den Ab- Schwingungsisolierung handelt. DIN EN 1299
klingkoeffizienten angemessen sein. beschreibt am Beispiel der Quellenisolierung aus-
7.4.3 Wege der Schwingungsausbreitung fhrlich die zur Auslegung einer Schwingungsiso-
Bei der Planung von Schwingungsisolierungen ist lierung erforderlichen Angaben und gibt einen
die Bestimmung der Ausbreitungswege der Leitfaden fr die Nachprfung der Wirksamkeit
Schwingungen bzw. der Anregemechanismen der der Isolierung. Beides kann bezglich der allge-
empfngerseitigen Struktur ein wichtiger Schritt. meinen dynamischen Eigenschaften auf aktive
Selbst bei idealer Schwingungsisolierung verbleibt Schwingungsisolierungen bertragen werden und
ein Restschwingpegel, der durch die nicht schwin- gilt sinngem auch fr Empfngerisolierungen.
gungsisolierten Ausbreitungswege bestimmt ist. 7.4.5 Festlegung von Isolierwirkung bzw.
Dabei ist die Unterscheidung zwischen einem Restschwingungen zwischen System-
Hauptausbreitungsweg und sogenannten Neben- lieferant und Nutzer
wegen blich. Schwingungsisolierungen werden Fr den Nutzer einer Schwingungsisolierung sind
vorrangig fr den Hauptausbreitungsweg einge- sowohl bei der Quellen- als auch bei der Empfn-
setzt. Ergnzende Isolierungen fr die Nebenwege gerisolierung meist die Restschwingungen nach
werden nur bei Bedarf vorgesehen. Einbau und Inbetriebnahme der Schwingungsiso-
Typische Nebenwege stellen Kabel, Rohrleitungen lierung die relevante Gre, die Isolierwirkung
(und gegebenenfalls Fluide in Leitungen), Schlauch- spielt hingegen aus Nutzersicht eine untergeordne-
anbindungen oder auch der Luftschall dar. te Rolle.
Hufig wird der Restschwingpegel einer Schwin- Fr den Anbieter einer Schwingungsisolierung ist
gungsisolierung fr den Hauptausbreitungsweg die Angabe von anwendungsabhngigen Rest-
nicht durch deren begrenzte Isolierwirkung be- schwingungen wesentlich schwieriger als die An-
stimmt, sondern durch die Nebenwegbertragung. gabe der Isolierwirkung des Systems. Wie in den
Eine weitere Erhhung der Isolierwirkung fhrt vorangehenden Abschnitten dargestellt, ist die
dann zu keinem weiteren Absinken des Rest- Isolierwirkung in einer konkreten Einbausituation
schwingpegels. jedoch hufig nicht sicher messbar.
Diese Zusammenhnge mssen bei der Spezifika- Vor diesem Hintergrund bleiben bei der Auslegung
tion eines integrierten aktiven Schwingungsiso- und Spezifikation von aktiven Schwingungsiso-
liersystems unbedingt beachtet werden. Dies gilt lierungen zwei Alternativen:
insbesondere, wenn eine passive durch eine zustz- Der Systemanbieter spezifiziert sein System auf
liche aktive Schwingungsisolierung verbessert Systemebene wie in Abschnitt 6.3 beschrieben
werden soll. Dann muss sorgfltig geprft werden, ausfhrlich und der Nutzeranwendung entspre-
welche Reduktion des Restschwingpegels ange- chend, der Nutzer whlt auf der Grundlage ei-
sichts der vorliegenden Nebenwegausbreitung ner solchen Spezifikation und in Kenntnis der
berhaupt erreicht werden kann. Integrationssituation eigenverantwortlich ein
System aus. In diesem Fall trgt der Anbieter
18 VDI 2064 Entwurf

die Last einer detaillierten Spezifikation des in ihrer Charakteristik (Zeitcharakteristik des Si-
Systems und der Nutzer die Verantwortung fr gnals, Amplitude, Frequenz usw.) mglichst an die
die Integration. nachzubildende Schwingung angelehnt sein.
Systemanbieter und Nutzer verstndigen sich Werden Restschwingungen ber den Arbeitsfre-
auf die Anwendung des in DIN EN 1299 be- quenzbereich einer aktiven Schwingungsisolierung
schriebenen Verfahrens, in dem der Nutzer dem hinaus gemessen, so ist zu bercksichtigen, dass
Systemanbieter detaillierte Informationen ber die Anzahl der relevanten dynamischen Freiheits-
die Integrationsumgebung zugnglich macht grade des empfngerseitigen Systems in der Regel
und der Systemanbieter dafr die verbleibenden hher sein wird als die Anzahl der Freiheitsgrade
Restschwingpegel garantiert. In diesem Fall der aktiven Schwingungsisolierung. Daher sind die
trgt der Nutzer die Last der detaillierten In- empfngerseitigen Schwingungen nach Mglich-
formation und Spezifikation der Einsatzbedin- keit in allen im Frequenzbereich relevanten Frei-
gungen, der Systemanbieter dagegen die Ver- heitsgraden getrennt zu messen, zumindest aber
antwortung fr die Einhaltung des Rest- Sensorpositionen und -ausrichtungen fr Ver-
schwingpegels. gleichszwecke genau zu dokumentieren.
7.5 Hinweise zu Messmethoden 7.5.3 Systemeigenrauschen
7.5.1 Isolierwirkung Das Systemeigenrauschen einer aktiven Schwin-
gungsisolierung ist einer direkten Messung in der
Fr die Beurteilung von aktiven Schwingungsiso-
Regel nicht zugnglich.
lierungen ist es sinnvoll, gleichzeitig sowohl
quellenseitige als auch empfngerseitige Schwin- Eine korrelationsbasierte Trennung der Rest-
gungen zu erfassen. Durch Bildung des Betrags der schwingungen in einen bertragenen und einen als
bertragungsfunktion der Schwingungen kann die Systemeigenrauschen interpretierbaren Anteil ist
Isolierwirkung ermittelt werden. Gleichzeitig ist aufgrund der bertragung des Systemeigenrau-
die Kohrenzfunktion als Ma fr die Messunsi- schens auf die messbaren quellenseitigen Schwin-
cherheit anzugeben. gungen nicht mglich.
Bei mehrachsigen Systemen ist bei der Bildung des Eine Methode zur Ermittlung des Systemeigenrau-
Amplitudenverhltnisses eine saubere Trennung schens mit vertretbarem Aufwand ergibt sich aus
der Freiheitsgrade von groer Bedeutung. So darf dem Vergleich der gemessenen Isolierwirkung
beispielsweise die Beurteilung der Isolierwirkung einer aktiven Schwingungsisolierung bei verschie-
in vertikaler Richtung nicht durch Signalanteile aus denen quellenseitigen Schwingungsamplituden
Rotations- oder Horizontalbewegungen beeinflusst (Messungen A und B). Die Methode geht davon
werden. aus, dass sich das gesamte elektromechanische
System linear verhlt, das Systemeigenrauschen
Praktisch kann die Trennung der Freiheitsgrade fr
fr verschiedene Signalpegel gleich ist und dass
Empfngerisolierungen durch die Nutzung von
autonome empfngerseitige Schwingungen gegen-
Schwingtischen zur rumlich definierten Anregung
ber dem Systemeigenrauschen vernachlssigbar
erreicht werden. Diese Messung kann jedoch nur
sind.
auf Systemebene korrekte Angaben erzeugen.
In diesem Fall gilt fr die bei den beiden Messun-
Im integrierten System sind Messungen oft nur mit
gen erhaltenen Amplitudenspektren im Frequenz-
groen Einschrnkungen zu realisieren.
bereich:
7.5.2 Restschwingungen U 2A ( f ) # H ( f ) " U1A ( f ) ! R( f ) (3)
Die Messmethode fr die Restschwingungen defi-
und
niert sich aus der Anwendung.
Es ist darauf zu achten, dass das Zeitintervall der U 2B ( f ) # H ( f ) " U1B ( f ) ! R( f ) (4)
Messung fr die Art der auftretenden Schwingun- Dabei ist
gen hinreichend reprsentativ ist. H(f) Betrag der frequenzabhngigen bertra-
Fr den Fall, dass ein hinreichend reprsentatives gungsfunktion der aktiven Schwingungs-
Zeitintervall aufgrund des stochastischen Auftre- isolierung
tens der relevanten Schwingung (Schwingung tritt U1A(f); U1B(f)
nur mit groen Zeitabstnden und in unregelmi- Amplitudenspektren der Schwingungen
gen Zeitintervallen auf) nicht definiert werden u1A und u1B der erregenden Struktur bei
kann, wird ersatzweise eine knstliche Anregungs- den Messungen A und B
quelle verwendet. Die Ersatzanregungsquelle sollte
Entwurf VDI 2064 19

U2A(f); U2B(f) nach Mglichkeit vermieden werden. Weiterhin ist


Amplitudenspektren der Schwingungen ergnzend zu der im vorherigen Abschnitt genann-
u2A und u2B der erregenden Struktur bei ten Messung der Restschwingung der betrachtete
den Messungen A und B Frequenzbereich mindestens auf das Zehnfache des
R(f) Amplitudenspektrum der Messgre des Arbeitsfrequenzbereichs auszudehnen.
Systemeigenrauschens Messungen zum Systemeigenrauschen sind sowohl
unter Laborbedingungen auf Systemebene als auch
Alle Signale und Gren sind abhngig von der bei integrierten Systemen durchfhrbar.
Frequenz.
Mit diesen Messungen wird das Verhalten des
Fr R gilt dann dynamischen Systems insgesamt erfasst. Die Inter-
U 2A ! U 2B pretation der Messergebnisse erfordert daher eine
R " U 2A ! U1A (5)
U1A ! U1B genaue Kenntnis der dynamischen Eigenschaften
der beteiligten Systeme, der Messorte und
Bild 7a zeigt beispielhaft die mit unterschiedli- -richtungen, der quellenseitigen Schwingungen
chen Anregungssignalen gemessene Isolierwirkung sowie des Aufbaus und der Funktionsweise der
ber der Frequenz. Bild 7b zeigt die Leistungs- aktiven Schwingungsisolierung.
dichtespektren GuxAuxA, GuxBuxB, GuyAuyA, und GuyBuyB
sowohl der quellenseitigen (uxA und uxB) als auch
10
der empfngerseitigen (uyB und uyB) Schwingungen
sowie das Leistungsdichtespektrum Grr des gem 0
Gleichung (4) berechneten Systemeigenrauschens r. -10
20log # in dB

In der Praxis wird eine Messung mit minimal mg-


-20
licher Anregungsamplitude und eine zweite Mes-
sung mit maximal mglicher Anregungsamplitude -30 Anregung A
durchgefhrt, um im Nenner von Gleichung (4)
-40
eine mglichst groe Zahl zu erhalten und damit Anregung B
die Messunsicherheit fr das Systemeigenrauschen -50
klein zu halten. Zustzlich empfiehlt es sich, die 0,1 1 10 100
Frequenz f in Hz
Wirkung der aktiven Schwingungsisolierung durch
ein monofrequentes Testsignal sicherzustellen, das Bild 7a. Beispiel einer Isolierwirkung, gemessen
bei der Bewertung des Systemeigenrauschens ig- mit zwei unterschiedlichen Anregungssignalen A
noriert wird. und B
Zur Beschreibung des Systemeigenrauschens bietet
sich oberhalb des Arbeitsfrequenzbereichs alterna-
tiv ein vereinfachtes Verfahren an, bei dem die
empfngerseitigen Schwingungen (bei abgeschal-
teter aktiver Funktion der Schwingungsisolierung)
mit den Restschwingungen verglichen werden. Da
hier die Isolierwirkung der passiven und damit
rauschfreien Komponente mit der Isolierwirkung
der vollstndigen passiven und aktiven Isolie-
rung verglichen wird, stellt eine messbare Ver-
schlechterung der Isolierwirkung auerhalb des
Arbeitsfrequenzbereiches der aktiven Schwin- Bild 7b. Spektrale Leistungsdichte der quellensei-
gungsisolierung eine Abschtzung fr das System- tigen und empfngerseitigen Schwingungssignale
eigenrauschen fr diese Frequenzen dar. Fr viele bei verschiedenen Anregungen A und B sowie des
praktische Zwecke ist dies ausreichend. daraus ermittelten Systemeigenrauschens
Bei beiden Messmethoden sollten autonome emp-
fngerseitige Schwingungen sowie Nebenwege
20 VDI 2064 Entwurf

Anhang Technische Realisierungen und In die Isoliereinheiten sind Sensoren und Aktoren
Anwendungsbeispiele zur aktiven Schwingungsisolierung eingebaut. Die
A1 Anwendungsbeispiel 1 Sensoren und Aktoren sind, wie in Bild A1a
Aktives Schwingungsisoliersystem als
skizziert, paarweise koaxial angeordnet. Der Sen-
Laborarbeitsplatz sor ist fest mit der isolierten Platte verbunden und
als Beschleunigungsaufnehmer mit einer Trg-
Der vorgestellte Laborarbeitsplatz ist ein aktiv heitsmasse m und einer Piezo-Scheibe ausgebildet.
schwingungsisolierter Labortisch, der schwin- Die von dieser Scheibe generierte elektrische La-
gungsempfindliche Versuchsaufbauten und Mess- dung ist proportional der Beschleunigung der iso-
apparaturen isoliert. lierten Platte. Eine analoge elektronische Schaltung
Im Einzelnen besteht dieser Arbeitsplatz aus einem verstrkt die Ladung und fhrt eine Zeitintegration
geschweiten Stahlgestell, zwei Isoliereinheiten aus, womit das resultierende Signal proportional
und einer Stahlwabenkernplatte. Die Isoliereinhei- zur absoluten Geschwindigkeit der isolierten Platte
ten sttzen sich auf dem Gestell ab und tragen ist. Die Resonanz der Sensoren bei ca. 300 Hz wird
ihrerseits ber Stahlfedern die Platte. Der experi- mit einer Bandsperre unterdrckt. Ab ca. 100 Hz
mentelle Aufbau ist, wie in Bild A1b dargestellt, leistet die passive Feder-Masse-Anordnung den
auf dieser Platte montiert. Die Funktion des wesentlichen Beitrag zur Isolierung. Nach einer
Schwingungsisoliersystems ist weitgehend vom amplitudenabhngigen Verstrkung werden die
Aufbau unabhngig, da die Stahlwabenkernplatte Sensorsignale phasengedreht ber eine Pulsweiten-
und der Aufbau im interessierenden Frequenzbe- modulierte Endstufe (PWM) den elektrodynami-
reich als ein einziger Starrkrper betrachtet werden schen Aktoren zugefhrt. Die Taktfrequenz der
knnen. PWM-Endstufe liegt mit 120 kHz sowohl weit
oberhalb der Eigenfrequenzen der Starrkrpermo-
den als auch der ersten elastischen Mode des Ge-
stells und der Stahlwabenkernplatte. Der Einfluss
hherer Moden der Stahlwabenkernplatte wird
durch die Verwendung visko-elastischer Dmp-
fungsbelge reduziert. Die Aktoren bauen ber die
stromdurchflossene Spule im Magnetfeld eine
Kraft in Richtung der Wirkungslinien auf (siehe
a) Bild A1c), welche ber einen Stel an das Ge-
stell weitergegeben wird und somit der Bewegung
der isolierten Platte entgegenwirkt.
In jeder der oben genannten Isoliereinheiten sind
vier Sensor/Aktor-Paare eingebaut, sodass jeweils
zwei Paare in vertikaler Richtung und die beiden
anderen Paare in horizontaler Richtung wirken.
Mit dieser Konfiguration knnen die sechs Starr-
krper-Freiheitsgrade der isolierten Platte aktiv
isoliert werden.
Der Nachweis der Isolierwirkung des Systems
b) erfolgt durch die Bestimmung des Amplitudenfre-
quenzgangs (f). Hierzu wird das System unter
Laborbedingungen auf einem Schwingtisch aufge-
stellt. Der Schwingtisch ermglicht die Beauf-
schlagung des aktiven Schwingungsisoliersystems
mit einem definierten Anregungssignal in einem
festgelegten Freiheitsgrad. In Bild A2a ist der
Amplitudenfrequenzgang (f) fr die vertikale und
c) horizontale Richtung bei einer harmonischen An-
Bild A1. Aktiv schwingungsisolierter Versuchsauf- regung mit konstanter Schwinggeschwindigkeits-
bau mit Lichtmikroskop und angebauten Mikroma- amplitude von 100 m/s dargestellt, wobei die
nipulatoren Anregungsfrequenz als Gleitsinus variiert wurde.
a) Skizze vom Gestell mit Federn und Wirkungslinien
b) Foto vom Versuchsaufbau
Die Kurven zeigen im Frequenzbereich zwischen
c) Skizze von Sensor, Aktor und Regelung
Entwurf VDI 2064 21

1 Hz und 10 Hz eine Abnahme des Amplitudenfre- zu sehen. Aus ihnen kann abgelesen werden, dass
quenzgangs um nahezu 40 dB. die Isolierwirkung in den Schwingungsmaxima bei
Aufgrund der Bedienung der experimentellen La- 14 Hz und 21 Hz besonders gro ist.
boraufbauten werden zeitweise Kraftste (Impul-
se) auf die schwingungsisolierte Platte ausgebt.
Aus diesem Grund ist die Ausschwingzeit des
Schwingungsisoliersystems von Bedeutung. In
Bild A2b ist das Ausschwingverhalten im Ver-
gleich zwischen passiver und aktiver Schwin-
gungsisolierung infolge eines Kraftstoes von 1 N
skizziert. Die Kurven zeigen eine Verkrzung der
Ausschwingzeit sowie eine Reduzierung der ma-
ximalen Schwinggeschwindigkeitsamplitude durch
die aktive Schwingungsisolierung.

Bild A3. Gemessene Schwinggeschwindigkeit am


Aufstellort
A2 Anwendungsbeispiel 2
Integrierte aktive Schwingungsisolierung bei
einem Rasterelektronenmikroskop
In der Regel werden Rasterelektronenmikroskope
mit hochwertigen passiven Schwingungsisolierun-
gen mit Schraubendruckfedern oder Luftfedern
ausgerstet. Wenn jedoch die Anforderungen an
die Bodenschwingungspegel an einem gewnsch-
ten Aufstellort nicht erfllt werden knnen, kom-
Bild A2a. Gemessene Amplitudenfrequenzgnge
des aktiv isolierten Schwingtischs
men auch aktive Schwingungsisolierungen anstelle
der integrierten passiven Schwingungsisolierung
oder als Zusatzmanahme zum Einsatz. Modernste
Rasterelektronenmikroskope mit hchster Aufl-
sung knnen oftmals selbst in der Standardausfh-
rung nicht mehr auf eine aktive Schwingungsiso-
lierung verzichten, damit die Ansprche an die
Bodenschwingungsfreiheit am Aufstellort nicht zu
hoch werden. Das Beispiel zeigt eine Lsung fr
eine integrierte aktive Schwingungsisolierung in
einem hochwertigen Rasterelektronenmikroskop.
Die Schwingungsisolierung ist fr den Frequenz-
bereich bis 100 Hz und fr Bodenschwingungen
im seismischen Bereich (typisch zwischen 2 Hz
und 30 Hz) mit Schwinggeschwindigkeitseffektiv-
werten von 1 m/s bis 30 m/s ausgelegt. Damit
Bild A2b. Ausschwingverhalten der schwingungs-
isolierten Platte bei Impulsanregung
ist das Mikroskop auch in normaler Laborumge-
bung in der Lage, Bilder mit einer besseren Aufl-
Der Funktionsnachweis der Schwingungsisolie- sung als 1 nm bei bis zu 650.000-facher Vergre-
rung wird durch die Messung der Schwingge- rung zu liefern.
schwindigkeit am Aufstellort und der verbleiben-
den Restschwingung auf der isolierten Platte er-
bracht. Da das aktive Isoliersystem nur in Kombi-
nation mit festgelegten passiven Federelementen
angeboten wird, gengt die Messung der Isolier-
wirkung des Gesamtsystems. Die entsprechenden
Kurven fr die vertikale Richtung sind in Bild A3
22 VDI 2064 Entwurf

u2 Die aktive Schwingungsisolierung besteht insge-


samt aus vier Schwingungsisolatoren und einem
Steuergert. Jeder Isolator (Bild A6) besteht aus
einer Bodenplatte (1) zur mechanischen Anbin-
dung an den Tragrahmen des Mikroskops, einer
Kopfplatte (2) zur mechanischen Anbindung an
den isolierten Mikroskopkrper, einer Schrauben-
druckfeder mit Aufnahme zur Einstellung der Ar-
F beitshhe (3) und zwei Linearkraftantrieben fr die
R u1 vertikale (4) und horizontale Richtung (5). In der
Kopfplatte (2) sind je ein elektrodynamischer
Schwinggeschwindigkeitsaufnehmer fr horizonta-
le und vertikale Schwingungen integriert. Die Wir-
Bild A4. Vereinfachte Darstellung fr ein System krichtung der Antriebe und der jeweils zugeordne-
mit einem Freiheitsgrad ten Schwingungsaufnehmer ist durch graue Pfeile
markiert, wobei Pfeil (6) die vertikale und Pfeil (7)
Im vorgestellten Beispiel wird ein Rckkopplungs- die horizontale Richtung der jeweiligen Messgre
regler mit einer Strgrenaufschaltung kombiniert und Kraftquelle bezeichnet.
(Bild A4). Sowohl die Restschwingungssignale u2
Die vier Isolatoren werden um jeweils 90 zuei-
auf der empfngerseitigen Struktur als auch die
nander gedreht in den vier Ecken des Tragrahmens
Bodenschwingungssignale u1 werden einem Regler
eingebaut (Bild A7), sodass die Antriebe und
R zugefhrt. Die im Regler berechneten Kompen-
Schwingungsaufnehmer von je zwei diagonal
sationskrfte F werden mit Hilfe von elektrodyna-
gegenberliegenden Isolatoren in eine der beiden
mischen Linearaktoren aufgebracht. In Bild A5 ist
horizontalen Raumrichtungen zeigen. In Bild A7
die Struktur des Reglers dargestellt, der die Rest-
sind aus Grnden der bersichtlichkeit nur die
schwingungssignale u2 im Rckkopplungsregler
Wirkrichtungen der Linearantriebe dargestellt. Auf
und die Bodenschwingungssignale u1 in der Str-
den oberen Quertrgern des Tragrahmens sind drei
grenaufschaltung verarbeitet. Die Parameter der
Schwingungsaufnehmer fr die Strgrenauf-
Strgrenaufschaltung werden so optimiert, dass
schaltung angebracht.
die Restschwingungssignale u2 minimal werden.
In Bild 16 ist die aktive Schwingungsisolierung
Die aktive Schwingungsisolierung schliet alle
integriert im Mikroskop dargestellt. Die konstruk-
sechs Starrkrperfreiheitsgrade des Mikroskops
tive Ausfhrung der Schwingungsisolatoren (1)
ein. Es werden die quellenseitigen Bodenschwin-
und (2) erklrt sich aus den rumlichen Gegeben-
gungen u1 in drei Freiheitsgraden zwei horizonta-
heiten im Tragrahmen. Jeder der vier Schwin-
le und eine vertikale Raumachse und die emp-
gungsisolatoren wird durch zwei Leitungen fr
fngerseitigen Restschwingungen u2 in sechs Frei-
Aufnehmersignale und Antriebssignale mit dem
heitsgraden erfasst. Dazu werden einkanalige
Steuergert (3) verbunden. Im Steuergert findet
Schwinggeschwindigkeitsaufnehmer eingesetzt,
die fr die Regelung notwendige analoge und digi-
die verteilt an drei der vier Isolatoren angebracht
tale Signalverarbeitung statt. Im hier dargestellten
sind. Aus den sechs einachsigen Restschwingungs-
Versuchsaufbau ist das Steuergert auf dem Tisch
signalen werden mittels einer Transformation die
erkennbar. In der Serienversion ist das Steuergert
Komponenten der Restschwingungen in einem
ebenfalls in den Tragrahmen integriert.
gemeinsamen Koordinatensystem mit sechs Frei-
heitsgraden ermittelt. Eine optimale Wirkung der aktiven Schwingungs-
isolierung konnte nur nach Analyse der dynami-
Die im Regler aus den Boden- und Restschwin-
schen Eigenschaften des Tragrahmens und des
gungssignalen getrennt ermittelten Kompensa-
eigentlichen Mikroskopkrpers als der empfnger-
tionssignale werden berlagert und dann mittels
seitigen Struktur erzielt werden. Die jeweiligen
einer weiteren Transformation in acht Signale zur
Strukturresonanzen, die bei der Reglerauslegung
Ansteuerung der acht Kraftaktoren berfhrt. Die-
bercksichtigt wurden, knnen fr den Tragrahmen
se Kompensationssignale werden den Aktoren, die
Bild 17 a) (55 Hz, 70 Hz und 180 Hz) und fr den
an den vier Isolatoren verteilt angebracht sind,
Mikroskopkrper Bild 17 b) (110 Hz und 285 Hz)
zugefhrt und dort in Kompensationskrfte ge-
entnommen werden.
wandelt (Bild A6).
Entwurf VDI 2064 23

u1
Strber- + u2
Strgren- tragungs-
aufschaltung verhalten
+
- +
Rck- F
Sollwert 0 kopplungs- Regelstrecke
+ regler +

Bild A5. Reglerstruktur mit Rckkopplungsregler und Strgrenaufschaltung

3 FG 6 FG
u1

6 FG Trans-
Regler
formation F

6 FG Trans- 6 FG 6 FG
u2
formation
8 Kraft-
aktoren

Bild A6. Realisierung der aktiven Schwingungsisolierung mit Angabe der Anzahl der Freiheitsgrade (FG)

Bild A7. Anordnung von vier Schwingungsisolatoren und Aufnehmern fr Bodenschwingungen zur aktiven
Schwingungsisolierung
24 VDI 2064 Entwurf

F1z

F1v 2
7
3

5
4
Bild A8. Aufbau z. B. des Schwingungsisolators 1
1 Kopfplatte 4 Schraubendruckfeder
2 horizontale Richtung der Messgre und Kraft- 5 Bodenplatte
quelle 6 Linearaktor vertikale Wirkrichtung (F1z)
3 vertikale Richtung der Messgre und Kraftquelle 7 Linearaktor horizontale Wirkrichtung (F1y)

Bild A9. Aktive Schwingungsisolierung, integriert in ein Rasterelektronenmikroskop


1 Schwingungsisolator 2
2 Schwingungsisolator 1
3 Steuergert
Entwurf VDI 2064 25

20log ! in dB

Frequenz f in Hz
a) b)
Bild A10. a) Typischer Amplitudenfrequenzgang des Tragrahmens b) Typischer Amplitudenfrequenzgang
des Mikroskopkrpers
Bild A11 zeigt die Beitrge der passiven Stahlfe- Verbesserung der Isolierwirkung gegenber der
derisolierung, des Rckkopplungsreglers und des passiven Luftfederisolierung. Diese Messergebnis-
Rckkopplungsreglers mit Strgrenaufschaltung se beschrnken sich aus Platzgrnden auf die ver-
zur Gesamtisolierwirkung. Bild A12 zeigt die tikale Richtung.

20 log

Bild A11. Wirkung der Schwingungsisolierung (Amplitudenfrequenzgang und Kohrenzfunktion)


Kurve 1: ohne aktive Schwingungsisolierung nur passive Schwingungsisolierung
Kurve 2: aktive Schwingungsisolierung mit Rckkopplungsregler
Kurve 3: aktive Schwingungsisolierung mit Rckkopplungsregler und Strgrenaufschaltung

20 log

Bild A12. Vergleich der Schwingungsisolierwirkung in vertikaler Richtung mit und ohne aktive Schwingungs-
isolierung
Kurve 1: mit aktiver und passiver Schwingungsisolierung
Kurve 2: ohne aktive (nur mit passiver) Schwingungsisolierung
26 VDI 2064 Entwurf

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Beuth Verlag
VDI 3839 Blatt 1:2001-03 Hinweise zur Messung und Inter-
pretation der Schwingungen von Maschinen; Allgemeine
Grundlagen (Instructions on measuring and interpreting the
vibrations of machines; General principles). Berlin: Beuth
Verlag