ICS 17.

160 VDI-RICHTLINIEN Januar 2008

VEREIN VDI 2064

DEUTSCHER Aktive Schwingungsisolierung
INGENIEURE
Entwurf

Active vibration isolation Einsprche bis 2008-06-30

vorzugsweise in Tabellenform als Datei per E-Mail an
ekv@vdi.de
Die Vorlage dieser Tabelle kann abgerufen werden unter
http://www.vdi-richtlinien.de/einsprueche
in Papierform an
VDI-Gesellschaft Entwicklung Konstruktion Vertrieb
Postfach 10 11 39
40002 Dsseldorf

Inhalt Seite
Vorbemerkung .................................................................................................2
Einleitung.........................................................................................................2
1 Anwendungsbereich ................................................................................2
2 Normative Verweise ..................................................................................2
3 Formelzeichen ...........................................................................................3
4 Bezeichnungen .........................................................................................3
4.1 Schwingungsisolierung ......................................................................3
4.2 Systemkomponenten..........................................................................4
5 Konzepte und Aufgaben der aktiven Schwingungsisolierung .............5
5.1 Anwendungsbereiche der aktiven Schwingungsisolierung................5
5.2 Strukturdynamische Wirkungsprinzipien der aktiven
Schwingungsisolierung ......................................................................5
5.3 Systemtheoretische Realisierungen der aktiven
Schwingungsisolierung fr einen Freiheitsgrad.................................6
5.4 Aktive Schwingungsisolierung fr mehrere Freiheitsgrade..............9
6 Kenngren der Komponenten aktiver Schwingungsisolierungen .....9
6.1 Allgemeines .......................................................................................9
6.2 Aktoren ..............................................................................................9
6.3 Sensoren...........................................................................................12
6.4 Signalverarbeitungseinheit...............................................................12
7 Hinweise zur Spezifikation aktiver Schwingungsisolierungen ...........13
7.1 Allgemeines .....................................................................................13
7.2 Komponenten...................................................................................13
7.3 Systembetrachtungen .......................................................................13
7.4 Integriertes System ..........................................................................16
7.5 Hinweise zu Messmethoden ............................................................18
Anhang Technische Realisierungen und Anwendungsbeispiele .20
A1 Anwendungsbeispiel 1 .....................................................................20
A2 Anwendungsbeispiel 2 .....................................................................21
Schrifttum ......................................................................................................26

VDI-Gesellschaft Entwicklung Konstruktion Vertrieb

Arbeitsgruppe aktive Schwingungsisolierung
Ausschuss Tilger, Dmpfer und Schwingungsisolierelemente

VDI-Handbuch Schwingungstechnik
2 VDI 2064 Entwurf
Vorbemerkung
Der Inhalt dieser Richtlinie ist entstanden unter
Beachtung der Vorgaben und Empfehlungen der
Richtlinie VDI 1000.
Allen, die ehrenamtlich an der Erarbeitung dieser
VDI-Richtlinie mitgewirkt haben, sei gedankt.
Einleitung
Durch die Schwingungsisolierung soll entweder
eine bertragung periodischer, stofrmiger oder
stochastischer Krfte von einer Schwingungsquelle
(beispielsweise einer Maschine) in angrenzende
Strukturen vermindert werden (Quellenisolierung,
Schutz gegen Schwingungsemissionen), oder es
sollen Menschen und empfindliche Maschinen,
Gerte oder Gebude vor Schwingungen aus der
Umgebung geschtzt werden (Empfngerisolie-
rung, Schutz vor Schwingungsimmissionen). Beide
Aufgabenstellungen knnen durch den Einsatz von
Schwingungsisolierungen gelst werden. Auf diese
Weise entsteht ein System, dessen dynamisches
Verhalten von den Eigenschaften der Schwin-
gungsquelle, den dynamischen Eigenschaften der
quellen- und empfngerseitigen Strukturen und den
Eigenschaften der Elemente der Schwingungsiso-
lierung entscheidend beeinflusst wird. Die optima-
le Auslegung des Systems hinsichtlich der jeweili-
gen Anforderungen an den Schwingungsschutz
erfordert die umfassende und detaillierte Kenntnis
aller Faktoren, die die resultierenden Eigenschaften
und den nutzbringenden Einsatz einer Schwin-
gungsisolierung fr eine bestimmte Maschine oder
Anlage beeinflussen.
Zur Untersttzung stehen bezglich passiver
Schwingungsisolierungen mit Massen, Federn und
Dmpfern sowohl normative Dokumente (DIN
EN 1299) wie auch Richtlinien (VDI 2062 Blatt 1
und VDI 2062 Blatt 2) zur Verfgung. Eine aktive
Schwingungsisolierung ist bei diesen Dokumenten
jedoch explizit ausgenommen (siehe DIN
EN 1299, Anhang A.4).
Die vorliegende Richtlinie soll hnlich den ge-
nannten Dokumenten ein Grundverstndnis sowie
den begrifflichen Rahmen fr die aktive Schwin-
gungsisolierung herstellen. Sie soll praktische
Hinweise fr die Auslegung und die wesentlichen
Einflussgren geben. Zur Erleichterung des In-
formationsaustausches definiert sie neben Begrif-
fen auch Mess- und Prfverfahren sowie erforder-
liche Angaben zur Spezifikation aktiver Schwin-
gungsisolierungen und ihrer Komponenten.
1 Anwendungsbereich
Die vorliegende Richtlinie ist auf aktive Schwin-
gungsisolierungen anzuwenden. Sie gilt nicht fr
passive oder semiaktive Schwingungsisolierungen.
Elemente der aktiven Schwingungsisolierung kn-
nen fr spezielle Aufgaben die bekannten passiven
Elemente zur Schwingungsisolierung ergnzen.
Ein Schwingungsisolierungssystem mit aktiver
Schwingungsisolierung enthlt daher in der Regel
auch passiv wirkende Komponenten. Entsprechend
beschreibt DIN EN 1299 die erforderlichen Min-
destangaben fr die Auswahl einer Schwingungs-
isolierung (Abschnitt 6) und den grundstzlichen
Leitfaden fr die Nachprfung der Wirksamkeit
der Isolierung (Abschnitt 7). Die vorliegende
Richtlinie ergnzt den in der genannten DIN
EN 1299 gegebenen Leitfaden bezglich spezifi-
scher Anforderungen fr aktive Schwingungsiso-
lierungen.
2 Normative Verweise
Die folgenden zitierten Dokumente sind fr die
Anwendung dieser Richtlinie erforderlich:
Richtlinie 98/37/EG des Europischen Parlaments
und des Rates vom 22. Juni 1998 zur Anglei-
chung der Rechts- und Verwaltungsvorschriften
der Mitgliedstaaten fr Maschinen, ABl EG,
1998, Nr. L 207, S. 146
DIN EN 1299:1997-05 Mechanische Schwingun-
gen und Ste; Schwingungsisolierung von Ma-
schinen; Angaben fr den Einsatz von Quellen-
isolierungen; Deutsche Fassung EN 1299:1997.
Berlin: Beuth Verlag
DIN EN ISO 12100-1:2004-04 Sicherheit von
Maschinen; Grundbegriffe, allgemeine Gestal-
tungsleitstze; Teil 1: Grundstzliche Termino-
logie, Methodologie (ISO 12100-1:2003); Deut-
sche Fassung EN ISO 12100-1:2003. Berlin:
Beuth Verlag
DIN EN ISO 12100-2 Ausgabedatum 2004-04
Sicherheit von Maschinen; Grundbegriffe, all-
gemeine Gestaltungsleitstze; Teil 2: Technische
Leitstze (ISO 12100-2:2003); Deutsche Fassung
EN ISO 12100-2:2003. Berlin: Beuth Verlag
 Entwurf VDI 2064 3

3 Formelzeichen Formel- Einheit Benennung

zeichen
In dieser Richtlinie werden die nachfolgend aufge-
" 1 Phasenwinkel-Differenz
fhrten Formelzeichen verwendet:
Formel- Einheit Benennung 1 bertragungskoeffizient, Ver-
v
zeichen strkungsfaktor, Schleifenver-
strkung des Reglers bzgl. der
d N/(m/s) Dmpfungskoeffizient
Gre v
F N Kraft
x, y, z 1 Raumkoordinaten
N komplexe Amplitude der Kom-
F Komp pensationskraft; mechanische
Kraft, die vom Aktor der akti- 4 Bezeichnungen
ven Schwingungsisolierung
aufgebracht wird 4.1 Schwingungsisolierung
N komplexe Amplitude der Erre- 4.1.1 Schwingungsisolierung
F E gerkraft, die von der quellensei-
tigen auf die empfngerseitige Die Schwingungsisolierung stellt ein dynamisch
Struktur einwirkt wirksames System dar, das eine zu schtzende
Fx, Fy, Fz N Kompensationskraft einer Struktur mglichst wirkungsvoll von mechani-
aktiven Schwingungsisolierung schen Streinwirkungen abschirmt.
mit Angabe der Wirkrichtung
Die Schwingungsisolierung kann, in Abhngigkeit
f Hz Frequenz von den verwendeten Isolierelementen, als aktive,
2
Gvv (m/s) /Hz spektrale Leistungsdichte der semiaktive oder passive Schwingungsisolierung
Schwinggeschwindigkeit v ausgebildet werden.
H( f ) 1 komplexe bertragungsfunk-
tion zwischen den Schwin-
Darber hinaus kann die Schwingungsisolierung,
gungsgren der erregenden in Abhngigkeit von der Art des zu schtzenden
Struktur und den Schwingungs- Objekts, als Quellenisolierung oder Empfngeriso-
gren der zu schtzenden lierung ausgebildet werden.
Struktur
1 Isolierwirkungsgrad der 4.1.2 Aktive Schwingungsisolierung
I( f )
Schwingungsisolierung Die aktive Schwingungsisolierung ist durch die
m kg Masse Zufuhr von Fremdenergie charakterisiert, wobei
r V Messgre des Systemeigen- die Fremdenergie dynamisch korreliert so zuge-
rauschens fhrt wird, dass die relevanten Zustandsgren
U V Ansteuerspannung (Krfte und Bewegungsgren) direkt beeinflusst
V Referenzsignal
werden.
ux
Anmerkung: Im deutschen Sprachgebrauch waren die Be-
uy V Zielsignal
zeichnungen aktive Schwingungsisolierung fr Quelleniso-
V Messgre fr die Schwingun- lierung und passive Schwingungsisolierung fr Empfnger-
u1
gen der erregenden Struktur isolierung gebruchlich. Von der Verwendung dieser Bezeich-
nungen wird jedoch im Nationalen Vorwort zu DIN EN 1299
u2 V Messgre fr die Schwingun-
dringend abgeraten; sie sollte im Zusammenhang mit aktiven
gen der zu schtzenden Struktur
Schwingungsisolierungen im Sinne dieser Richtlinie unbe-
v m/s Schwinggeschwindigkeit dingt unterbleiben, damit Verwechslungen ausgeschlossen
werden.
v1 m/s Schwinggeschwindigkeit der
erregenden Struktur
4.1.3 Semiaktive Schwingungsisolierung
v2 m/s Schwinggeschwindigkeit der zu
schtzenden Struktur Auch fr die semiaktive Schwingungsisolierung ist
dimensionsloser Betrag der die Zufuhr von Fremdenergie kennzeichnend, wo-
(f) 1
bertragungsfunktion (Ampli- bei die Fremdenergie jedoch so zugefhrt wird,
tudenfrequenzgang) zwischen dass innere Gren und Parameter des eingesetzten
den Schwingungsgren der Isoliersystems, nicht aber die beteiligten Zustands-
erregenden Struktur und den
Schwingungsgren der zu
gren (Krfte und Bewegungsgren) direkt be-
schtzenden Struktur einflusst werden.
1 Kohrenzfunktion zwischen Typische Beispiele fr eine semiaktive Schwin-
! xy 2 ( f ) den Signalen ux und uy gungsisolierung stellen vernderbare passive
Schwingungsisolierelemente wie Dmpfer mit
L dB Pegeldifferenz einstellbarer Kennlinie oder positionsgeregelte
Luftfedern dar.
4 VDI 2064 Entwurf
4.1.4 Passive Schwingungsisolierung
Die passive Schwingungsisolierung beruht aus-
schlielich auf der Wirkung von Schwingungsiso-
lierelementen, die keine Fremdenergie bentigen.
Anmerkung 1: Vgl. Anmerkung zu aktive Schwingungsiso-
lierung.
Anmerkung 2: Im englischen Sprachraum wird derzeit der
Begriff semipassive Schwingungsisolierung fr Schwin-
gungsisolierungen verwendet, bei denen die Dmpfung durch
ein (fest einstellbares) elektrisches Netzwerk realisiert wird,
das durch einen elektromechanischen Wandler (beispielsweise
eine Piezokeramik) mit der mechanischen Struktur gekoppelt
ist. Ein solches System stellt im Sinne dieser Richtlinie eine
passive Schwingungsisolierung dar.
4.1.5 Quellenisolierung
Unter Quellenisolierung wird eine Schwingungs-
isolierung verstanden, bei der die bertragung von
Schwingungen in Form von Krften oder Momen-
ten von einem Erreger (z. B. Streinwirkungen
durch eine Maschine) in die umgebenden, zu
schtzenden Strukturen vermindert wird (Emis-
sionsschutz).
Anmerkung: Vgl. Anmerkung zu aktive Schwingungsisolie-
rung.
4.1.6 Empfngerisolierung
Unter Empfngerisolierung wird eine Schwin-
gungsisolierung verstanden, die die bertragung
von Schwingbewegungen aus der Umgebung auf
ein zu schtzendes Objekt (beispielsweise Men-
schen, empfindliche Maschinen, Gerte, Gebude)
vermindert (Immissionsschutz).
Anmerkung: Vgl. Anmerkung zu aktive Schwingungsisolie-
rung.
4.2 Systemkomponenten
Das Funktionsschema einer aktiven Schwingungs-
isolierung mit Systemkomponenten wird in Bild 1
dargestellt.
4.2.1 Aktor
Der Aktor ist die Systemkomponente, die abhngig
von einem von der Signalverarbeitungseinheit
generierten elektrischen Ausgangssignal die me-
chanischen Stellgren der aktiven Schwingungs-
isolierung bereitstellt. Ein Aktor besteht mindes-
tens aus einem Energiesteller, der die fr die
Wandlung bentigte Energie bereitstellt, und ei-
nem Energiewandler, der die elektrische Eingangs-
gre in eine mechanische Ausgangsgre um-
wandelt.
Anmerkung: Typische Beispiele fr Energiesteller sind elek-
trische Leistungsverstrker oder hydraulische Servoventile,
die eine Hilfsenergie, beispielsweise in Form von elektrischer
oder hydraulischer Energie, entsprechend dem Regelungs-
oder Steuerungsausgangssignal fr den Energiewandler bereit-
stellen. Typische Beispiele fr Energiewandler sind elektro-
mechanische Wandler wie Schwingspulen, Piezokeramiken
oder auch Hydraulikzylinder.
4.2.2 Signalverarbeitungseinheit
Die analoge oder digitale elektrische Signalver-
arbeitungseinheit erzeugt gegebenenfalls unter
Einbeziehung von Signalkonditionierungen,
Schnittstellen und verwendeter Software auf der
Grundlage von Referenz- und/oder Fehlersensorsi-
gnalen ein Ausgangssignal zur Ansteuerung eines
Aktors.
Anmerkung: In dieser Richtlinie wird der Begriff der Signal-
verarbeitungseinheit unabhngig davon verwendet, ob es sich
um eine (gegebenenfalls adaptive) Steuerung, eine Regelung
(gegebenenfalls mit Strgrenaufschaltung) oder hnliches
handelt.
4.2.3 Referenzsensor
Ein Sensor, der eine Eingangsgre fr die Steue-
rung als elektrisches Signal bereitstellt, heit Refe-
renzsensor.
Anmerkung: Referenzsensoren knnen Schwingungssenso-
ren, aber z. B. auch Drehzahlsensoren bei der Quellenisolie-
rung von rotierenden Maschinen sein.
4.2.4 Fehlersensor
Ein Sensor, der eine zu minimierende Regelgre
als elektrisches Signal bereitstellt, heit Fehlersen-
sor.
Anmerkung: Da Schwingungsisolierungen Schwingungen
minimieren sollen, stellt das verbleibende Ist-Signal gleichzei-
tig den Regelungsfehler dar. Fehlersensoren sind meist
Schwingungssensoren.

Bild 1. Funktionsschema einer aktiven Schwingungsisolierung mit Systemkomponenten Referenz- oder
Fehlersensor knnen in Abhngigkeit vom Konzept der Regelung bzw. Steuerung entfallen.
5 Konzepte und Aufgaben der aktiven
Schwingungsisolierung
5.1 Anwendungsbereiche der aktiven
Schwingungsisolierung
Die aktive Schwingungsisolierung kann sowohl
zur Quellen- als auch zur Empfngerisolierung bei
periodischen, stochastischen oder stofrmigen
Schwingungen eingesetzt werden.
Da eine aktive Schwingungsisolierung einen ein-
geschrnkten Arbeitsfrequenzbereich aufweist,
wird sie in der Regel durch eine passive Schwin-
gungsisolierung ergnzt.
Eine aktive Schwingungsisolierung kann mit wei-
teren Funktionen, beispielsweise einer Positions-
regelung, kombiniert werden. Derartige ergnzen-
de Funktionen sind nicht Bestandteil dieser Richt-
linie.
5.2 Strukturdynamische Wirkungsprinzipien
der aktiven Schwingungsisolierung
5.2.1 Aktive Schwingungsisolierung durch
Kraftkompensation bzw. Erhhung der
mechanischen Impedanz der empfn-
gerseitigen Struktur
Die aktive Schwingungsisolierung durch Kraft-
kompensation beruht auf der Erzeugung einer dy-
namischen Gegenkraft, die der auf die empfnger-
seitige Struktur einwirkenden Erregerkraft mg-
lichst betragsgleich, parallel und momentenfrei
entgegenwirkt. Damit befinden sich bei der Quel-
lenisolierung die empfngerseitige Struktur bzw.
bei der Empfngerisolierung die zu schtzende
Struktur idealerweise im dynamischen Krfte-
gleichgewicht, erfahren also keinerlei Anregung.
Entwurf VDI 2064 5
Die aktive Schwingungsisolierung wirkt somit als
eine Erhhung der mechanischen Impedanz an der
empfngerseitigen Kopplungsstelle. Bei vollstn-
diger Kraftkompensation wird die aktiv realisierte
Impedanz unendlich, da jede eingeleitete dynami-
sche Kraft durch eine entsprechende Gegenkraft
kompensiert und die mechanische Bewegung da-
mit verhindert wird. Die Gegenkraft fhrt zu einer
versteiften bzw. im theoretischen Grenzfall zu
einer unendlich steifen Struktur.
Diese Vernderung der mechanischen Impedanz
kann, insbesondere bei der Quellenisolierung, zu
einem vernderten dynamischen Verhalten des
mechanischen Gesamtsystems fhren.
Bei drehenden Systemen werden die Krfte sinn-
gem durch Drehmomente und die Geschwindig-
keiten durch Drehgeschwindigkeiten ersetzt.
Anmerkung: Die mechanische Impedanz ist in DIN 1311-2,
Abschnitt 7.5.3 als der Quotient des Fourier-Spektrums einer
erregenden Kraft zum Fourier-Spektrum der resultierenden
Schwinggeschwindigkeit (Kehrwert der Admittanz) definiert.
5.2.2 Aktive Schwingungsisolierung durch
Wegkompensation bzw. Verringerung
der mechanischen Impedanz der emp-
fngerseitigen Struktur
Die aktive Schwingungsisolierung durch Weg-
kompensation beruht auf der Erzeugung eines dy-
namischen Wegausgleichs in einem innerhalb der
Isolierung in Reihe angeordneten Isolierelement.
Dieser Wegausgleich muss soweit mglich den
negativ gleichen Momentanwert wie die Anregung
aufweisen. Damit befinden sich bei der Quelleniso-
lierung die empfngerseitige Struktur bzw. bei der
Empfngerisolierung die zu schtzende Struktur
6 VDI 2064 Entwurf
idealerweise in Ruhe, erfahren also keine Kraftan-
regung.
Die aktive Schwingungsisolierung wirkt dabei als
Verringerung der mechanischen Impedanz an der
Kopplungsstelle. Bei vollstndiger Wegkompensa-
tion wird die aktiv realisierte Impedanz Null, da
jede Schwingungsamplitude kraftfrei durch ei-
nen Wegausgleich kompensiert und damit das
Aufbringen einer Kraft verhindert wird. Das aktive
Schwingungsisoliersystem stellt theoretisch eine
unendlich weiche Feder dar.
Die Durchfhrung dieser Quellenisolierung fhrt
zu einem vernderten dynamischen Verhalten der
quellenseitigen Struktur. Bei drehenden Systemen
werden die Wege sinngem durch Winkelampli-
tuden ersetzt.
5.3 Systemtheoretische Realisierungen der
aktiven Schwingungsisolierung fr einen
Freiheitsgrad
Aus systemtheoretischer Sicht lsst sich die aktive
Schwingungsisolierung als Kopplung zwischen
einer quellenseitigen und einer empfngerseitigen
mechanischen Struktur betrachten.
Die quellenseitige Struktur ist Ausgangspunkt fr
die bertragung von Schwingungserregungen ber
die aktive Schwingungsisolierung auf die empfn-
gerseitige Struktur. Ziel der aktiven Schwingungs-
isolierung ist es, den Betrag der an die empfnger-
seitige Struktur abgegebenen Schwingungserre-
gungen im gewnschten Mae zu verringern.
Die wesentlichen Komponenten einer aktiven
Schwingungsisolierung sind Referenzsensor, Feh-
lersensor, Signalverarbeitungseinheit und Aktor
(bestehend aus Energiesteller und Energiewandler,
Bild 1). Der Referenzsensor liefert Informationen
ber die Schwingung der quellenseitigen Struktur.
Der Fehlersensor registriert die verbleibende
Schwingung der empfngerseitigen Struktur. Aus
diesen Messsignalen wird in der Signalverarbei-
tungseinheit das Ansteuersignal fr den Aktor er-
mittelt.
Dieses von der Signalverarbeitungseinheit bereit-
gestellte Ansteuersignal fr den Aktor verwendet
der Energiesteller zur Bereitstellung eines Leis-
tungssignals fr den Energiewandler, der dieses
dann in die bentigte mechanische Stellgre um-
setzt. Bei richtiger Auslegung der aktiven Schwin-
gungsisolierung mindern die derart aufgebrachten
(sekundren) mechanischen Stellgren die insge-
samt in die empfngerseitige Struktur bertragenen
Zustandsgren.
Als Eingangsgren der Signalverarbeitungsein-
heit werden bevorzugt die Signale des Referenz-
sensors verwendet, da diese Vorab-Informationen
(a priori) ber die zu isolierende Schwingung ent-
halten. Aus regelungstechnischer Sicht wird damit
eine Steuerung realisiert. In vielen Fllen (beson-
ders bei der Empfngerisolierung) stehen keine
geeigneten Referenzsignale zur Verfgung, sodass
fr die Ermittlung des Ansteuersignals nur das
Signal des Fehlersensors herangezogen werden
kann. Dann wirkt die aktive Schwingungsisolie-
rung als geschlossener Rckkopplungs-Regelkreis.
In der Praxis wird oft mit einer Kombination ver-
schiedener Regelkonzepte gearbeitet.
5.3.1 Einfacher Regelkreis
Aktive Schwingungsisolierungen knnen als einfa-
che Regelkreise aufgebaut werden (Bild 2). In
diesem Fall wird das Signal eines Fehlersensors
(regelungstechnisch die Strgre) so ber einen
Regler an den Aktor zurckgefhrt, dass das Feh-
lersensorsignal unter Bercksichtigung der Regel-
strecke (bertragungsfunktion Aktor-Fehlersensor)
minimal wird.
Dies ist die typische Aufgabe einer Schwingungs-
isolierung und entspricht aus regelungstechnischer
Sicht einer konstanten Fhrungsgre von Null fr
den dynamischen Signalanteil.
Der Entwurf und die Realisierung eines solchen
Reglers sind Aufgaben der klassischen Regelungs-
technik. Beim Reglerentwurf liegt der Schwer-
punkt entsprechend der Aufgabenstellung weniger
beim Fhrungsgrenverhalten als bei der Str-
grenunterdrckung.
Einfache Regelkreise arbeiten in der Regel breit-
bandig, wobei der Arbeitsfrequenzbereich durch
den Reglerentwurf bestimmt wird. Erfahrungsge-
m resultiert der Arbeitsbereich meist aus der
Forderung nach Stabilitt, aus den Phasenverschie-
bungen bzw. den Laufzeiten der beteiligten Kom-
ponenten sowie aus der bentigten Schleifenver-
strkung, um eine bestimmte Isolierwirkung zu
erreichen. Um die Phasenverschiebung bzw. Lauf-
zeit des Reglers gering zu halten, empfiehlt sich
fr einfache Regelkreise die Umsetzung in Analog-
technik.
In Abhngigkeit von der Aufgabenstellung der
aktiven Schwingungsisolierung, der physikalischen
Messgre des Fehlersensors und den Einbauorten
und -arten von Sensor und Aktor lassen sich mit
einfachen Regelkreisen aus schwingungstechni-
scher Sicht verschiedenartige Systeme realisieren.

Bild 2. Einfacher Regelkreis mit regelungstechnischen Bezeichnungen
5.3.1.1 Schwinggeschwindigkeits-
Kraft-Rckkopplung
Wird die Schwinggeschwindigkeit des zu isolie-
renden Objekts, beispielsweise bei der Empfnger-
isolierung, ber eine Verstrkung zur Ansteuerung
einer zur passiven Schwingungsisolierung parallel
angeordneten Kraftquelle genutzt, so wirkt diese
wie eine zustzliche Dmpfungskraft. Diese ist
jedoch nicht zu der Schwinggeschwindigkeitsdiffe-
renz ober- und unterhalb der Lagerung, sondern zu
der absoluten Schwinggeschwindigkeit des zu
isolierenden Objektes proportional.
Dieser Ansatz heit im englischen Sprachraum
skyhook damping und wird im Deutschen mitunter
als absolute Dmpfung (im Gegensatz zu der zur
Schwinggeschwindigkeitsdifferenz proportionalen
relativen Dmpfung) bezeichnet. Bild 3 zeigt die
schematische Anordnung mit absoluter Dmpfung,
Bild 4 im Vergleich dazu jene mit relativer
Dmpfung.
Bei einer absoluten Dmpfung nimmt der Betrag
der komplexen bertragungsfunktion (Verhltnis
der komplexen Antwortamplitude zur Erregungs-
amplitude bei der Empfngerisolierung) fr hohe
Frequenzen mit 40 dB/Dekade (statt 20 dB/Dekade
bei relativer Dmpfung, vgl. VDI 2062 Blatt 1) ab.
Bild 3. Schema eines aktiv gedmpften Einmas-
senschwingers mit absoluter Dmpfung durch
Schwinggeschwindigkeitsrckkopplung bei einer
Empfngerisolierung
Entwurf VDI 2064 7
Bild 4. Schema eines passiv gedmpften Einmas-
senschwingers mit relativer Dmpfung (passiver
viskoser Dmpfer) bei einer Empfngerisolierung
Aus strukturdynamischer Sicht fhrt die Schwing-
geschwindigkeits-Kraft-Rckkopplung zu einer
aktiven Schwingungsisolierung durch Erhhung
der mechanischen Impedanz, da die von der Erre-
gerseite aufzubringende Kraft, bezogen auf die
Schwinggeschwindigkeit, grer wird. Die fre-
quenzabhngige, realisierte Impedanz hngt von
der Schleifenverstrkung v (Bild 3) ab und geht
nur fr groes v gegen unendlich.
Das Einsatzgebiet der Schwinggeschwindigkeits-
Kraft-Rckkopplung liegt vorwiegend in der Un-
terdrckung der Resonanzberhhung bei der
Empfngerisolierung.
5.3.1.2 Kraft-Weg-Rckkopplung
Wird die dynamische Kraft, die die quellenseitige
auf die empfngerseitige Struktur ausbt, ber eine
Verstrkung zur Ansteuerung eines zur passiven
Schwingungsisolierung in Reihe liegenden Weg-
elementes genutzt, so wirkt dies wie eine Feder mit
einer von der Verstrkung abhngigen Nachgie-
bigkeit.
Aus strukturdynamischer Sicht fhrt die Kraft-
Weg-Rckkopplung zu einer aktiven Schwin-
gungsisolierung durch Verringerung der mechani-
schen Impedanz, da die von der Erregerseite auf-
gebrachte Kraft zu einem greren erregerseitigen
Schwingweg fhrt. Die frequenzabhngige reali-
sierte Impedanz hngt von der Schleifenverstr-
kung v ab und geht nur fr groes v gegen Null.
8 VDI 2064 Entwurf
Das Einsatzgebiet der Kraft-Weg-Rckkopplung
liegt vorwiegend in der Quellenisolierung. Durch
die Kraftmessung entfllt im Vergleich zur Be-
schleunigungsmessung der Einfluss der dynami-
schen Eigenschaften der empfngerseitigen Struk-
tur, was besonders bei greren oder relativ wei-
chen Strukturen (z. B. in der Luft- und Raumfahrt)
von Vorteil ist.
5.3.2 Steuerung/Strgrenaufschaltung
Aktive Schwingungsisolierungen knnen auch als
einfache Steuerung realisiert werden (Bild 5).
In diesem Fall wird das Signal eines Referenzsen-
sors so ber eine Steuerung an den Aktor gefhrt,
dass die Schwingungen in einem zu definierenden
Sinne minimal werden. Die fehlende Rckkopp-
lung muss dann durch hinreichende Informationen
ber den zuknftigen Verlauf der Strgre ausge-
glichen werden.
Deshalb liegt diesem Ansatz die Annahme zugrun-
de, dass die zu isolierende Schwingung wesentlich
durch eine vom Referenzsensor erfassbare Strung
verursacht wird. Die Steuerungseinheit bildet dann
deren Ausbreitung nach, ergnzt um ein inverses
Modell des Aktors und der inversen bertragungs-
strecke vom Aktor zur Zielgre.
Entscheidend fr die Qualitt der Schwingungsiso-
lierung ist die Wahl eines geeigneten Referenzsi-
gnals. Fr den Fall eines linearen Steuerungssys-
tems stellt die Kohrenzfunktion xy2(f) zwischen
dem Referenzsignal ux und dem Zielsignal uy ein
Ma fr die Eignung des Referenzsignals dar, das
die Abschtzung der maximal mglichen Pegelab-
nahme durch eine Steuerung gem folgender
Gleichung erlaubt:
%L f ! $ #10 lg 1 # " 2
xy !
f! (1)
Darber hinaus ist die zeitliche Kausalitt zu be-
achten, die sich in der Kohrenz nicht nieder-
schlgt, aber aufgrund der ausschlielichen Reali-
sierbarkeit kausaler Systeme eine unumgehbare
Einschrnkung fr die erreichbare Pegelabnahme
darstellt.
Dieser Ansatz eignet sich daher vor allem fr eine
aktive Quellenisolierung sowie im Einzelfall fr
eine Empfngerisolierung, wenn die Quelle oder
Bild 5. Einfacher Steuerungskreis mit regelungstechnischen Bezeichnungen
eine andere geeignete Referenzgre sowie der
Ausbreitungsweg bekannt sind.
Bei dem Entwurf der Steuerung ist die Rckwir-
kungsfreiheit des Aktors auf das Referenzsignal zu
beachten. Ist diese nicht gegeben, so ist fr die
Rckwirkung ein Modell zu bestimmen und in die
Steuerung zu integrieren.
Die Anforderungen an das fr die Steuerung ver-
wendete Modell der Strgrenausbreitung hngen
wesentlich von der Strgre ab. Fr periodische
Strgren, beispielsweise von rotierenden Ma-
schinen, gengt eine genaue Modellierung bei den
Signalfrequenzen (Drehfrequenz und gegebenen-
falls deren Vielfache), da dann die zeitliche Kausa-
litt keine harte Systemgrenze darstellt. Bei sto-
chastischen Strgren sind eine breitbandige Mo-
dellierung im Arbeitsfrequenzbereich sowie ein
strenges Einhalten der zeitlichen Kausalitt erfor-
derlich.
5.3.3 Adaptive regelungstechnische Systeme
Die Wirksamkeit der aktiven Schwingungsisolie-
rung wird wesentlich durch die Genauigkeit der
phaseninversen Nachbildung der Erregerkraft
durch die Kompensationskraft bestimmt. Die in
Abhngigkeit von der Frequenz erzielbare Pegel-
abnahme ergibt sich zu:
+ + FKomp ( + FKomp ( (&
2
) & cos %- ! , )
%L $ 10 lg)1 , 2) & (2)
) ) FE & ) FE & &&
* * ' * ' '
Dabei ist
FE Erregerkraftamplitude
F Komp Kompensationskraftamplitude
%- Phasenwinkeldifferenz zwischen beiden
Krften
Aus dieser Beziehung lsst sich ablesen, dass
schon bei einem Amplitudenfehler von 10 % und
einem Phasenfehler von 10 die maximale Pegel-
minderung nur noch 13,6 dB betrgt. Bei gleichem
Amplitudenverhltnis und einem Phasenfehler von
20 verbleiben nur noch maximal 8,5 dB.

Um die fr eine nennenswerte Pegelreduktion er-
forderliche hohe Nachbildungsgenauigkeit auch
bei zeitvarianten Primr- und Regelstrecken sowie
Strsignalen zu gewhrleisten, knnen adaptive
Regelungskonzepte eingesetzt werden.
Adaptive Regelungskonzepte basieren auf einem
Algorithmus, mit dem Reglerbertragungsfunktio-
nen oder Strgrenmodelle automatisch so opti-
miert werden, dass ein die Fehlersignale minimie-
rendes Kriterium mglichst gut erfllt wird.
In der Praxis werden zur Modellbildung meist
sogenannte adaptive Filter eingesetzt. Als Optimie-
rungsvorschrift wird hufig der LMS-Algorithmus
(Least Mean Squares) verwendet, der ein stochasti-
sches Gradientenverfahren zur Minimierung der
Fehlersignalenergie darstellt.
5.4 Aktive Schwingungsisolierung fr
mehrere Freiheitsgrade
Bei praktischen Anwendungen der aktiven
Schwingungsisolierung ist in der Regel die Be-
rcksichtigung mehrerer Freiheitsgrade erforder-
lich.
Eine schwingungsisoliert gelagerte, ausgedehnte
Masse besitzt sechs (drei translatorische und drei
rotatorische) Starrkrperfreiheitsgrade. Darber
hinaus besitzt ein realer Krper mit endlicher Stei-
figkeit weitere modale Freiheitsgrade.
Die gleichzeitige Beeinflussung der Schwingungen
in mehreren Freiheitsgraden erfordert mehrere
Aktoren zur Erzeugung der entsprechenden Kom-
pensationskrfte. Abhngig vom regelungstechni-
schen Konzept sind die Schwingungen in diesen
Freiheitsgraden mit Sensoren zu erfassen. Die ein-
gesetzte Regelung muss dann zu einer Mehrgr-
enregelung bzw. einem Vielkanalsystem erweitert
werden. Dabei ist zu beachten, dass die Ein-/
Ausgangssignale sinnvoll entkoppelt oder ihre
Querkopplungen in der Regelung bercksichtigt
werden. Dies hat im Allgemeinen zur Folge, dass
der Aufwand in der Signalverarbeitungseinheit mit
dem Produkt der Anzahl der Sensor- und Aktorka-
nle und damit quadratisch mit der Anzahl der
Freiheitsgrade ansteigt.
Bei einfachen Regelkreisen gengt es mitunter,
einzelne Sensor-/Aktor-Paare so anzuordnen, dass
sie und die daraus resultierenden Regelkreise weit-
gehend voneinander entkoppelt sind.
Zur Entkopplung bei schwach gedmpften Struktu-
ren knnen alle Sensorsignale mittels einer Koor-
dinatentransformation in unabhngige (orthogona-
le) modale Koordinaten berfhrt werden. In die-
sem modalen Raum sind die einzelnen Freiheits-
grade voneinander unabhngig und knnen somit
auch unabhngig geregelt werden. Zur richtigen
Entwurf VDI 2064 9
Aktoransteuerung ist dann die entsprechende
Rcktransformation erforderlich.
6 Kenngren der Komponenten aktiver
Schwingungsisolierungen
6.1 Allgemeines
Jede aktive Schwingungsisolierung umfasst ein
System aus Sensoren, Aktoren und zugehriger
Signalverarbeitungseinheit. Diese Komponenten
bedrfen der technischen Realisierung.
Der folgende Abschnitt beschreibt mgliche tech-
nische Ausfhrungen dieser Komponenten mit
ihren typischen Eigenschaften. Dabei wird auf
besonders zu beachtende Punkte bei Auswahl und
Entwurf hingewiesen.
6.2 Aktoren
6.2.1 Allgemeines
Aktoren haben die Aufgabe, die zur Minderung der
Erregerschwingungen erforderlichen Kompensa-
tionskrfte bzw. -schwingwege zu erzeugen und an
geeigneten Angriffspunkten in die mechanische
Struktur einzuleiten.
Aktoren mssen nach den jeweiligen Anforderun-
gen des aktiven Schwingungsisoliersystems unter
anderem nach folgenden Kriterien ausgewhlt bzw.
entworfen werden:
Mechanische Ausgangsgren
bentigte Kraft
Frequenzbereich
Auslenkung
Verfgbarer Bauraum
Masse
Volumen
konstruktive Anbindung und Integration
Umweltbedingungen
verfgbare Hilfsenergie
zulssiges Eigengerusch
erlaubte elektromagnetische Abstrahlung
Betriebstemperatur
Medienbestndigkeit.
Die praktische Erfahrung zeigt, dass die Auswahl
oder Konstruktion eines geeigneten Aktor-Systems
oft ber die technische Machbarkeit einer aktiven
Schwingungsisolierung entscheidet. Der Aktorik
ist beim Entwurf einer aktiven Schwingungsisolie-
rung daher groe Aufmerksamkeit zu widmen.
Der Begriff des Aktors umfasst die gesamte Sys-
temkomponente, die der aktiven Schwingungsiso-
 10 VDI 2064 Entwurf

lierung die von einem elektrischen Regleraus- 6.2.3 Hydraulischer Aktor

gangssignal abhngigen mechanischen Ausgangs- Bauform
gren zur Verfgung stellt. Ein Aktor besteht
daher mindestens aus einem Energiesteller und Hydraulikzylinder
einem Energiewandler (Bild 1), die zueinander Frequenzbereich
passend ausgewhlt oder entworfen werden ms- Die Dynamik der mechanischen Komponenten
sen. Nach aller Erfahrung kann sich jede der Teil- (groe Masse) und Medieneigenschaften begren-
komponenten fr die Realisierung des Gesamtsys- zen den Frequenzbereich und erzeugen eine Tief-
tems als kritisch erweisen. passcharakteristik Energiesteller (Hydraulikventi-
Besonders bei Aktoren mit elektrischer Hilfsener- le) beschrnken durch ihre Schaltzeiten den Ar-
gie zeigt die Erfahrung, dass die Belastbarkeit im beitsfrequenzbereich. Arbeitsfrequenzbereich
Dauereinsatz hufig durch die Abfuhr der entste- < 100 Hz, sonst Sonderkonstruktionen erforderlich.
henden Verlustleistung (Wrme) bestimmt wird.
Kraft
Daher ist gegebenenfalls eine Zwangskhlung
vorzusehen. 102 N < F < 106 N (typische Werte)
Als Grundlage praktischer Entwurfsentscheidun- Schwingweg
gen sind nachfolgend fr einige hufig eingesetzte groe Schwingwege mglich
Antriebsmechanismen von Aktoren stichwortartig
typische Charakteristika angegeben. Dynamik
groer Dynamikumfang, abhngig von der Dyna-
6.2.2 Pneumatischer Aktor
mik des Regelventils
Bauform
Linearitt
Pneumatikzylinder
Energiewandler wie Energiesteller (Regelventile)
Frequenzbereich sind oft nicht linear.
f 10 Hz (bis zur Eigenfrequenz der Luftfeder) Umgebungseinflsse
Kraft unempfindlich gegen aggressive Umgebung und
2 6
10 N < F < 10 N (typische Werte) neutral bezglich elektromagnetischer Strabstrah-
lung
Schwingweg
Hilfsenergie
groe Schwingwege mglich
hydraulische Hilfsenergie oft nicht verfgbar, Be-
Dynamik reitstellung ber eigene Hydraulikanlage mit gro-
Energiesteller (Pneumatikventile) haben selten em Aufwand verbunden
einen Dynamikumfang von mehr als 50 dB.
6.2.4 Elektrodynamischer Aktor
Linearitt
Bauform
Die Linearitt hngt im Wesentlichen vom Energie-
Tauchspulensystem (wie elektrodynamischer Laut-
steller (Pneumatikventil) ab. Der maximale Fehler
sprecher) oder Lorentz-Motor
des eingestellten Drucks ist meist grer als 0,3 %.
Frequenzbereich
Umgebungseinflsse
groer Arbeitsfrequenzbereich
unempfindlich gegen aggressive Umgebung und
neutral bezglich elektromagnetischer Strabstrah- Kraft
lung bei Tauchspulensystemen mit 101 N < F < 103 N
Hilfsenergie gering, bei Linearmotoren auch grere Krfte
mglich
pneumatische Hilfsenergie oft nicht verfgbar,
dann Bereitstellung ber eigene Pneumatikanlage Schwingweg
Anmerkung: Bei der Auswahl des Aktors muss ein Kompro- maximaler Schwingweg bei Tauchspulensystemen
miss zwischen Steifigkeit und Ansprechzeit gefunden werden. und einphasigen Linearmotoren einige Millimeter
Zudem beschrnkt die langsame Ansprechzeit (typisch
> 100 ms) den Arbeitsfrequenzbereich. Bei geeigneter Kons- Dynamik
truktion ist der Pneumatikzylinder auch als Luftfeder nutzbar. hohe Dynamik

Linearitt
sehr hohe Linearitt
Umgebungseinflsse
Elektromagnetische Vertrglichkeit ist zu prfen.
Hilfsenergie
Energiesteller (Leistungsverstrker) sind bei leich-
ter Verfgbarkeit gut bekannt und unkritisch, da
elektrodynamische Aktoren beispielsweise als
Lautsprecher weit verbreitet sind. Elektrische
Hilfsenergie ist meist problemlos verfgbar.
Anmerkung: Durch geeignete Konstruktion kann bei elektro-
dynamischen Aktoren eine berhrungsfreie Kraftbertragung
erreicht werden. Damit kann ein solcher Aktor steifigkeits-
und dmpfungsneutral ausgefhrt werden.
6.2.5 Piezoelektrischer Aktor
Bauform
Fr aktive Schwingungsisolierungen werden ber-
wiegend Piezokeramiken auf Blei-Zirkonat-
Titanat-Basis (PZT) verwendet. Sie werden meist
in Form von Stapelwandlern, geschichtet aus dn-
nen Keramik- und Elektrodenscheiben, eingesetzt.
Piezokeramische Wandler werden als Niedervolt-
Typen (Ansteuerspannung U 200 V) oder als
Hochvolt-Typen (U 1000 V) gebaut.
Frequenzbereich
hohe und sehr hohe Arbeitsfrequenzen bis zu meh-
reren Kilohertz mglich, meist durch Energiesteller
begrenzt
Kraft
hohe Wandlerkrfte (Blockierkraft ca. 3 kN bis
4 kN bei 1 cm2 Material-Querschnittsflche)
Schwingweg
Die Dehnungen von rund 1/1000 der Bauhhe des
aktiven Materials liefern fr bliche Materialln-
gen im Zentimeterbereich Schwingwege von ma-
ximal 100 m (ohne Last). Die Dehnung ist kraft-
abhngig und null bei Belastung mit der Blockier-
kraft.
Dynamik
hohe Dynamik
Linearitt
PZT-Keramiken weisen von der Betriebsart ab-
hngige elektromechanische Wandlerkenngren
sowie inhrent eine Hysterese auf. Beide Phno-
mene fhren zu unvermeidlichen Nichtlinearitten
im dynamischen Betrieb. Zur Linearisierung kann
eine zustzliche Regelung eingesetzt werden, die
jedoch den Arbeitsfrequenzbereich des Aktor-
Entwurf VDI 2064 11
gesamtsystems deutlich unter den Frequenzbereich
der Energiesteller/-wandler-Kombination drckt.
Umgebungseinflsse
Elektromagnetische Vertrglichkeit ist zu prfen.
Hilfsenergie
Wandler stellen fr Energiesteller groe kapazitive
Lasten dar. Zeitverhalten und erreichbarer Arbeits-
frequenzbereich sind daher meist durch die Ener-
giesteller bestimmt. Neuere Verstrkerkonzepte
arbeiten mit Energierckgewinnung und erlauben
damit wandlerseitige Blindleistungen, die wesent-
lich grer als die im Versorgungsnetz spezifizier-
ten Nennleistungen sind.
Anmerkung: Piezoelektrische Wandler weisen eine hohe
Steifigkeit auf. Da sie keine Zugkrfte bertragen knnen,
mssen sie mechanisch vorgespannt werden. Sie sind deshalb
auch nur fr rein translatorische, zentrische Belastungen ge-
eignet. Im dynamischen Betrieb muss die fr den Wandler
angegebene maximal zulssige Betriebstemperatur unbedingt
eingehalten werden, gegebenenfalls ist eine Zwangskhlung
erforderlich. Berhrungsschutz und Isolierung fhren zu ho-
hem Platzbedarf.
6.2.6 Magnetostriktiver Aktor
Bauform
Fr aktive Schwingungsisolierungen kommen als
magnetostriktives Material vorwiegend Terbium-
Eisen-Legierungen in Betracht.
Frequenzbereich
hohe und sehr hohe Arbeitsfrequenzen bis zu meh-
reren Kilohertz mglich, meist durch Energiesteller
sowie Induktivitt des erforderlichen Magnetsys-
tems begrenzt
Kraft
hohe Wandlerkrfte (F < 104 N je Element)
Schwingweg
Die Dehnungen von rund 1/1000 der Bauhhe des
aktiven Materials liefern fr bliche Materialln-
gen im Zentimeterbereich Schwingwege von ma-
ximal 100 m.
Dynamik
hohe Dynamik
Linearitt
Terbium-Eisen-Legierungen weisen inhrent eine
Hysterese sowie von der mechanischen Spannung
abhngige elektromechanische Wandlerkenngr-
en auf. Beide Phnomene fhren zu unvermeidli-
chen Nichtlinearitten im dynamischen Betrieb.
Zur Linearisierung kann eine zustzliche Regelung
eingesetzt werden, die jedoch den Arbeitsfre-
quenzbereich des Aktorgesamtsystems deutlich
 12 VDI 2064 Entwurf
unter den Frequenzbereich der Energiesteller/
-wandler-Kombination drckt.
Umgebungseinflsse
Elektromagnetische Vertrglichkeit ist zu prfen.
Bei Bauformen mit statischer Vormagnetisierung
muss auf eine hinreichende magnetische Schir-
mung geachtet werden.
Hilfsenergie
Wandler stellen fr Energiesteller groe induktive
Lasten dar. Zeitverhalten und erreichbarer Arbeits-
frequenzbereich sind daher meist durch die Ener-
giesteller bestimmt. Neuere Verstrkerkonzepte
arbeiten mit Energierckgewinnung und erlauben
damit wandlerseitige Blindleistungen, die wesent-
lich grer als die im Versorgungsnetz spezifizier-
ten Nennleistungen sind.
Anmerkung: Magnetostriktive Wandler weisen eine hohe
Steifigkeit auf. Da sie kaum Zugkrfte bertragen knnen,
empfiehlt sich eine mechanische Vorspannung. Im dynami-
schen Betrieb muss die fr den Wandler angegebene maximal
zulssige Betriebstemperatur unbedingt eingehalten werden,
gegebenenfalls ist eine Zwangskhlung erforderlich.
6.3 Sensoren
Als Komponenten fr aktive Schwingungsisolie-
rungen werden je nach Aufgabenstellung und ent-
sprechend den bentigten physikalischen Signalen
unterschiedliche Sensoren eingesetzt.
Steuerungsbasierte aktive Schwingungsisolierun-
gen erfordern angepasste Sensoren zur Bereitstel-
lung des Strgrensignals. Bei der Schwingungs-
isolierung von rotierenden Maschinen knnen bei-
spielsweise alle Arten von Drehzahlerfassungen
verwendet werden.
Regelungsbasierte aktive Schwingungsisolierungen
wie auch adaptive Systeme erfordern Sensoren zur
Erfassung des Schwingungszustands. Sofern phy-
sikalisch notwendig, werden Kraftsensoren mit der
mechanischen Lagerung in Reihe geschaltet. Meist
finden jedoch Beschleunigungs- oder Schwingge-
schwindigkeitsaufnehmer Verwendung.
Adaptive Systeme knnen im Einzelfall auch ande-
re Sensoren zur Gewinnung eines Fehlersignals
enthalten, z. B. Mikrofone zur Erfassung des abge-
strahlten Sekundrluftschalls.
Schwingungsaufnehmer fr aktive Schwingungs-
isolierungen werden bevorzugt als Beschleuni-
gungsaufnehmer ausgefhrt, whrend Schwingge-
schwindigkeitsaufnehmer nur in Sonderfllen
Verwendung finden.
Allerdings ist bei tiefen Frequenzen zu beachten,
dass selbst bei groen Schwingwegen und
-geschwindigkeiten oft nur geringe Beschleuni-
gungen auftreten, die unter der Rauschgrenze von
Beschleunigungsaufnehmern liegen. Dann muss
eine andere, physikalisch sinnvollere Messgre
erfasst werden.
Eine besondere Beachtung im Zusammenhang mit
der aktiven Schwingungsisolierung verdienen die
Gruppenlaufzeit bzw. Phasenverschiebung des
Messsignals einschlielich eventuell erforderlicher
Signalkonditionierungen.
Eine bersicht ber Schwingungsaufnehmer findet
sich in VDI 3839 Blatt 1, Abschnitt 2. Die in Ab-
schnitt 5 der genannten Richtlinie gegebenen Hin-
weise sollten auch beim Einsatz in Systemen zur
aktiven Schwingungsisolierung bercksichtigt
werden.
6.4 Signalverarbeitungseinheit
6.4.1 Allgemeines
Elektronische Signalverarbeitungseinheiten knnen
grundstzlich sowohl in analoger als auch in digi-
taler Form realisiert werden. Beide Ausfhrungs-
formen haben fr die aktive Schwingungsisolie-
rung Vor- und Nachteile.
6.4.2 Analoge Signalverarbeitungseinheit
Fr einfache Regelkreise weisen Analogregler den
entscheidenden Vorteil einer sehr geringen Lauf-
zeit bzw. Phasenverschiebung auf. Damit sind sie
zum Einsatz in breitbandigen Regelkreisen bei
entsprechendem Reglerentwurf gut geeignet.
Analog arbeitende Signalverarbeitungseinheiten
sind in ihrer Komplexitt meist eingeschrnkt und
weisen nur eine begrenzte Langzeitstabilitt auf.
Adaptive Systeme werden praktisch nicht in Ana-
logtechnik gebaut.
Systeme mit mehreren Freiheitsgraden gestalten
sich analog sehr aufwendig, wenn sie nicht auf-
grund der gewhlten Sensor- und Aktoranordnung
als entkoppelte Einzelsysteme realisiert werden
knnen.
6.4.3 Digitale Signalverarbeitungseinheit
Digital arbeitende Signalverarbeitungseinheiten
erlauben eine groe Komplexitt und bilden damit
beispielsweise die Grundlage fr adaptive Syste-
me. Sie erfordern jedoch vor der Analog-Digital-
Wandlung (Eingangsseite) und nach der Digital-
Analog-Wandlung (Ausgangsseite) analoge Tief-
passfilter oder alternativ den Einsatz von Wandlern
mit integrierter Tiefpassfunktionalitt (Sigma-
Delta-Wandler). Diese Tiefpassfilter fhren zu-
sammen mit der taktweise ablaufenden Verarbei-
tung der Signale zu einer Verlngerung der Signal-
laufzeit, die den Frequenzbereich digital arbeiten-
der Regelkreise nach oben begrenzt.

Auch bei der Betrachtung der zeitlichen Kausalitt
fr steuerungsbasierte Schwingungsisoliersysteme
ist die Signallaufzeit zu beachten.
7 Hinweise zur Spezifikation aktiver
Schwingungsisolierungen
7.1 Allgemeines
Die Spezifikation und Beschreibung einer aktiven
Schwingungsisolierung erfolgt auf drei Ebenen:
Komponentenebene
Systemebene
Ebene des integrierten Systems
Fr den Nutzer ist zunchst die Ebene des inte-
grierten Systems wichtig. Dessen Eigenschaften
hngen sowohl von der aktiven Schwingungsiso-
lierung als auch von der Umgebung ab, in die das
System integriert ist.
Eine Beschreibung auf Systemebene ist unabhn-
gig von der konkreten Umgebung, in der das Sys-
tem genutzt werden soll. Deshalb soll ihr eine ver-
einfachte Anordnung zugrunde gelegt werden, bei
der alle umgebungsbezogenen Angaben weggelas-
sen werden.
Die Eigenschaften auf Systemebene werden wiede-
rum wesentlich von den Eigenschaften auf Kom-
ponentenebene bestimmt. Beiderlei Merkmale
drfen jedoch nicht verwechselt werden.
Die Komponenten einer aktiven Schwingungsiso-
lierung knnen innerhalb einer Anlage verteilt
angeordnet sein. Damit knnen sich fr die einzel-
nen Komponenten unterschiedliche Umgebungsan-
forderungen (Temperaturbereiche, Medien usw.)
ergeben. Deshalb mssen diesbezgliche Anforde-
rungen auf Komponentenebene angegeben werden.
Eine aktive Schwingungsisolierung ist meist Teil
einer Maschine und unterliegt somit den Regelun-
gen der Maschinenrichtlinie (98/37/EG und DIN
EN 12100). Auch die Vorschriften zum Schutz von
Menschen sind zu bercksichtigen.
Bezglich aller grundlegenden Angaben fr die
Auswahl wie auch zur Beschreibung einer
Schwingungsisolierung wird auf Abschnitt 6 der
DIN EN 1299 verwiesen. Es wird ausdrcklich
angemerkt, dass sich die hier gegebenen Hinweise
nur ergnzend auf die spezifischen Eigenschaften
einer aktiven Schwingungsisolierung beziehen.
7.2 Komponenten
Alle relevanten Komponenten sind hinsichtlich
ihrer komponentenspezifischen Eigenschaften
vollstndig zu beschreiben. Dadurch knnen
Schwierigkeiten bei der Systemintegration erkannt
und komponentenspezifische Anforderungen ge-
Entwurf VDI 2064 13
zielt erfllt werden (beispielsweise ein verteilter
Einbau zum Schutz der Regelungseinheit vor wid-
rigen Umgebungsbedingungen).
Bezglich der komponentenspezifischen Eigen-
schaften wird auf die einschlgigen Regelwerke
verwiesen.
7.3 Systembetrachtungen
7.3.1 Mechanische Anbindung
Die Beschreibung auf der Systemebene soll unab-
hngig von der Umgebung sein, in der das System
eingesetzt werden soll. Um die Darstellung von
den realen Einbausituationen entsprechend abstra-
hieren zu knnen, wird daher eine vereinfachte
mechanische Anbindung angenommen:
Bei Quellenisolierung: Beschreibung der Quelle
als Starrkrper der Masse m und Kraftanregung
auf die Schwingungsisolierung, Beschreibung
der empfngerseitigen Struktur als unendlich
steif (unendliche mechanische Impedanz).
Bei Empfngerisolierung: Beschreibung der
quellenseitigen Struktur als Schwinggeschwin-
digkeitsquelle hoher Impedanz, Beschreibung
der empfngerseitigen Struktur als Starrkrper
der Masse m.
Bei der Spezifikation auf Systemebene muss die
verwendete vereinfachte mechanische Anbindung
angegeben werden.
7.3.2 Amplitudenbereich und Dynamik der
Schwingung
Aufgrund ihres konzeptionellen Aufbaus aus Akto-
ren, Sensoren und Signalverarbeitungseinheit stellt
eine aktive Schwingungsisolierung bestenfalls in
einem begrenzten Arbeitsbereich ein lineares Sys-
tem dar. So sind beispielsweise die von den Akto-
ren erzeugbaren mechanischen Feldgren be-
schrnkt, sodass strkere Schwingungen nicht
mehr effektiv isoliert werden knnen. Durch das
Eigenrauschen des Systems und der Komponenten
ist auch die Isolierwirkung bei kleinen Strsignal-
amplituden begrenzt. So kann beispielsweise
unterhalb der Empfindlichkeitsschwelle der Senso-
ren keine aktive Isolierwirkung erzielt werden.
Bei der Systemspezifikation einer aktiven Schwin-
gungsisolierung sind daher die maximale und die
minimale Schwingungsamplitude (gegebenenfalls
als Funktion der Frequenz) anzugeben, fr die die
Schwingungsisolierung wirksam ist. Weiterhin ist
der Dynamikbereich, also der Bereich zwischen
der maximalen und der minimalen Schwingungs-
amplitude, fr den die aktive Schwingungsisolie-
rung wirksam ist, anzugeben.
 14 VDI 2064 Entwurf
Ob als Schwingungsamplitude die Kraftamplitude,
die Schwinggeschwindigkeitsamplitude oder eine
andere geeignete Gre angeben wird, hngt von
den vereinfachten mechanischen Randbedingungen
ab.
Erfolgt die Angabe frequenzabhngig, so ist zu-
stzlich anzugeben, ob sie sich auf eine einzelne
monofrequente Schwingung oder ein Rauschspek-
trum bezieht. Zustzlich sollte angegeben werden,
wie die Angabe auf mehrere monofrequente, sto-
chastische oder stoartige Schwingungen zu bezie-
hen ist.
7.3.3 Zeitverlauf der Schwingung
Ein System zur aktiven Schwingungsisolierung
kann sehr unterschiedlich aufgebaut sein und dar-
ber hinaus auch unterschiedliche Konzepte zur
Regelung oder Steuerung nutzen, die wiederum zu
groen Unterschieden bei der Isolierwirkung fh-
ren knnen. Bei der konkreten Festlegung auf ein
bestimmtes Regelungs- oder Steuerungskonzept
muss insbesondere das zeitliche Verhalten der
auftretenden Signale bercksichtigt werden. Im
Hinblick auf die Auslegung aktiver Schwin-
gungsisolierungen sind drei charakteristische Zeit-
verlufe zu unterscheiden:
Periodische Schwingungen
Typische Schwingungsquellen, die periodische
Signale erzeugen, sind rotierende Maschinen
wie Verbrennungskraftmaschinen, Kolbenpum-
pen, elektrische Maschinen oder Lfter. Perio-
dische Schwingungen knnen durch ihr Ampli-
tudenspektrum dargestellt werden.
Stochastische Schwingungen
Schwingungen, die aus der inkohrenten ber-
lagerung vieler Quellen entstehen, sind typi-
scherweise stochastisch und werden angemes-
sen durch ihre Leistungsdichtespektren be-
schrieben. Zu den stochastischen Schwingun-
gen zhlen beispielsweise Gebudeschwingun-
gen und durch Verkehr erzeugte Schwingungen.
Auch ausgesprochen schmalbandige Signale
sind oft als stochastisch zu betrachten, sofern
sie in Phase und Amplitude (unvorhersehbaren)
Schwankungen unterliegen.
Stofrmige Schwingungen
Stofrmige Schwingungen entstehen typi-
scherweise durch impulsartige Quellen. Dazu
gehren Werkzeugmaschinen fr stofrmige
Verformungsprozesse (z. B. Pressen). Auch
Schalt-, Anfahr-, Brems- und Anschlagvorgn-
ge erzeugen stofrmige Schwingungen. Sto-
frmige Vorgnge lassen sich angemessen mit
ihrem Zeitsignalverlauf beschreiben.
Bei der Spezifikation eines Systems zur aktiven
Schwingungsisolierung ist unbedingt anzugeben,
auf welche charakteristischen Zeitverlufe der
Schwingung sich die Angabe bezieht. Gegebenen-
falls sind die Angaben fr mehrere charakteristi-
sche Zeitverlufe zu kombinieren (z. B. Isolier-
wirkungsgrad von -30 dB fr periodische Schwin-
gung bei der Drehfrequenz von 48 Hz sowie von
-10 dB fr stochastische Schwingungen im Fre-
quenzbereich von 1 Hz bis 100 Hz).
7.3.4 Betrachtung im Zeit- und
Frequenzbereich
Der konkrete Aufbau eines aktiven Schwingungs-
isoliersystems legt den spezifischen Arbeitsfre-
quenzbereich und somit auch das Zeitverhalten fr
das jeweilige System fest. Dies ermglicht in der
Praxis die gezielte Abstimmung eines Systems fr
eine gegebene Aufgabenstellung. Allerdings erfor-
dert es auch eine eindeutige Spezifikation der ent-
sprechenden Eigenschaften.
Fr Schwingungen, fr die eine Frequenzbereichs-
beschreibung angemessen ist (also periodische und
stochastische Schwingungen), ist der Arbeitsfre-
quenzbereich des Systems anzugeben.
Fr Schwingungen, fr die eine Zeitbereichsbe-
schreibung angemessen ist (also vor allem sto-
frmige Schwingungen), ist entsprechend das Zeit-
verhalten des Systems anzugeben (z. B. minimale
Laufzeit fr Strgrenaufschaltung, maximale
Steigung der erzeugten Kraft usw.)
Fr im Wesentlichen periodische oder stochasti-
sche Schwingungen, die zeitliche nderungen
ihres Signalverhaltens aufweisen (z. B. bei Ma-
schinendrehzahlnderungen), sind Angaben zum
Adaptionsverhalten und zur Folgefhigkeit der
aktiven Schwingungsisolierung zu machen. Dies
gilt insbesondere, wenn adaptive Verfahren zur
Regelung oder Steuerung eingesetzt werden.
7.3.5 Isolierwirkung
Die Isolierwirkung einer Schwingungsisolierung
entspricht dem Betrag der bertragungsfunktion
zwischen den Schwingungsgren der erregenden
und der zu schtzenden Struktur. Sie wird in ber-
einstimmung mit DIN 1311-2 durch den dimen-
sionslosen Amplitudenfrequenzgang (f) zwischen
den Schwingungsgren der erregenden und der zu
schtzenden Struktur oder durch den Isolierwir-
kungsgrad I(f) = 1 (f) beschrieben.
Da aktive Schwingungsisolierungen hufig mit
passiven Schwingungsisolierungen kombiniert
werden, ist neben der Isolierwirkung der aktiven
Schwingungsisolierung zum Vergleich auch die
Isolierwirkung bei abgeschaltetem aktivem System

anzugeben. Wird ein aktives Schwingungsisolier-
system nur zusammen mit einer bestimmten passi-
ven Schwingungsisolierung angeboten, kann die
Angabe der Isolierwirkung des Gesamtsystems
gengen, sofern darauf gesondert hingewiesen
wird. Die empfngerseitigen Schwingungen beim
Betrieb der aktiven Schwingungsisolierung werden
als Restschwingungen bezeichnet.
Im Bild 6 sind beispielhaft die Kurven der emp-
fngerseitigen Schwingungen ohne und mit aktiver
Schwingungsisolierung dargestellt. Im Frequenz-
bereich bis 500 Hz sind die empfngerseitigen
Schwingungen mit aktiver Schwingungsisolierung
(Restschwingungen) kleiner als die empfngersei-
tigen Schwingungen ohne aktive Schwingungsiso-
lierung. Oberhalb von 500 Hz sind die Rest-
schwingungen wegen des Systemeigenrauschens
und des Phasenfehlers der Regelung jedoch grer
als die empfngerseitigen Schwingungen bei rein
passiver Schwingungsisolierung.
Fr aktive Systeme muss das quellenseitige
Schwingungssignal, mit dem die Isolierwirkung
bestimmt wird, in geeigneter Weise eindeutig be-
schrieben werden. Die Art dieser Beschreibung
hngt von dem charakteristischen Zeitverlauf des
Signals (periodisch, stochastisch, stoartig) ab. Zur
Beschreibung gehrt mindestens die Angabe der
Amplitude bzw. des Betragsmaximalwertes.
Wenn ein System zur aktiven Schwingungsisolie-
rung fr unterschiedliche charakteristische Zeitver-
Bild 6. Gegenberstellung der empfngerseitigen Schwingungen ohne und mit (Restschwingungen) aktiver
Schwingungsisolierung
Entwurf VDI 2064 15
lufe der Signale oder fr einen groen Dynamik-
bereich eingesetzt wird, soll die Isolierwirkung fr
die verschiedenen Signalarten und -amplituden
bzw. Betragsmaximalwerte separat beschrieben
werden. In jedem Falle ist die bertragungsfunk-
tion nur fr den in Abschnitt 7.3.2 beschriebenen
Amplituden- bzw. Dynamikbereich gltig.
Wird die Isolierwirkung im Frequenzbereich ange-
geben, so soll die Angabe bis zum fnffachen,
muss jedoch mindestens bis zum dreifachen der
Obergrenze des Arbeitsfrequenzbereiches erfolgen.
In der Regel wird die Isolierwirkung als Funktion
der Frequenz angegeben. Insbesondere bei sto-
frmigen Signalen ist jedoch eine Betrachtung im
Zeitbereich sinnvoller, denn dann lassen sich Re-
aktionszeiten des aktiven Systems sowie Ein-
schwingverhalten und Ausschwingzeiten praxisnah
beurteilen.
Bei adaptiven Systemen sind Angaben zur Isolier-
wirkung nur eingeschrnkt mglich, da solche
Systeme zeitvariante bertragungseigenschaften
besitzen und somit ihr Antwortverhalten stark von
der Signalvorgeschichte beeinflusst ist. In der
Regel wird jedoch ein reproduzierbares Verhalten
nach geeigneter Adaptionszeit erreicht. Daher ist
fr adaptive Systeme bei der Angabe der Isolier-
wirkung auch der Adaptionsvorgang (Adaptionssi-
gnal, Dauer and Ablauf der Adaption) zu beschrei-
ben.
 16 VDI 2064 Entwurf
7.3.6 Systemeigenrauschen
Im Gegensatz zu passiven Systemen weisen aktive
Systeme zur Schwingungsisolierung immer ein
Systemeigenrauschen auf. Dieses Systemrauschen
ergibt sich aus dem Rauschen der verwendeten
Komponenten und den bertragungseigenschaften
des Systems. Beide Anteile drfen nicht verwech-
selt werden und erfordern die Spezifikation des
Eigenrauschens auf Systemebene.
Beispielsweise garantiert ein geringer Eigen-
rauschpegel eines Fehlersensors keinesfalls einen
niedrigen Eigenrauschpegel der aktiven Schwin-
gungsisolierung, da das gemessene Signal ver-
schiedene bertragungsglieder (z. B. Messverstr-
ker oder Regelungselektronik) durchluft. Da alle
Komponenten potenzielle Rauschquellen darstel-
len, mssen deren Einflsse auf das ausgangsseiti-
ge Rauschsignal bercksichtigt werden.
Die Angabe des Systemeigenrauschens erfolgt
ber das Leistungsdichtespektrum der mechani-
schen Schwingung fr die angegebene mechani-
sche Anbindung. Sie soll sich nicht auf den Ar-
beitsfrequenzbereich beschrnken, sondern min-
destens auch den Bereich bis zu dessen zehnfacher
Obergrenze umfassen.
Beinhaltet die aktive Schwingungsisolierung eine
digitale Signalverarbeitungseinheit, so ist die An-
gabe des Systemeigenrauschens mindestens bis zur
Abtastfrequenz der digitalen Signalverarbeitungs-
einheit erforderlich.
Beim Einsatz schaltender Leistungselektronik ist
darber hinaus der Einfluss der Schaltfrequenzen
auf das Systemeigenrauschen zu betrachten. Auch
der Streinfluss anderer Hilfsenergien (Druck-
schwankungen in Pneumatiksystemen, Pulsationen
in Hydrauliksystemen usw.) muss gegebenenfalls
untersucht werden.
Hinweise zur Messung des Eigenrauschens finden
sich in Abschnitt 7.5.3.
Das Systemeigenrauschen ist fr den Betrieb ohne
quellenseitige Schwingung (Strschwingung) und
fr den Betrieb mit einer spezifizierten, anwen-
dungstypischen Strschwingung anzugeben.
7.3.7 Systeme fr mehrere Freiheitsgrade
und mehrkanalige Systeme
Fr Systeme mit mehreren Freiheitsgraden, etwa
bei der gleichzeitigen Isolierung mehrerer Schwin-
gungsrichtungen, sind alle Spezifikationen getrennt
fr jeden Freiheitsgrad anzugeben.
Praktisch werden Systeme fr mehrere Freiheits-
grade als mehrkanalige Systeme aufgebaut, wobei
die einzelnen Kanle im Allgemeinen gekoppelt
sind. Deshalb ist ergnzend zur Spezifikation der
einzelnen Freiheitsgrade bzw. Kanle auch eine
Beschreibung fr den gleichzeitigen Betrieb aller
Kanle erforderlich, und zwar jeweils durch Anga-
be der empfngerseitigen Schwingungen in allen
Freiheitsgraden fr die beiden Flle, in denen
quellenseitige Schwingungen nur in einem
Freiheitsgrad
quellenseitige Schwingungen mit anwendungs-
typischen Signalen in allen Freiheitsgraden
gegeben sind.
7.4 Integriertes System
7.4.1 Quellenseitige Schwingungen
Wie im Abschnitt 6.3 fr die Systemebene detail-
liert dargelegt, ist die Isolierwirkung einer aktiven
Schwingungsisolierung stark von den quellenseiti-
gen Schwingungen abhngig. Daher ist zur Be-
schreibung eines integrierten Systems eine genaue
Beschreibung der zu erwartenden quellenseitigen
Schwingungen erforderlich. Sie umfasst
den charakteristischen Zeitverlauf der Schwin-
gungen (periodisch, stochastisch, stoartig, ge-
gebenenfalls gemischte Charakteristik),
die jeweiligen Amplituden bzw. Betragsmaxi-
malwerte,
die jeweiligen Charakterisierungen im Fre-
quenz- oder Zeitbereich (Frequenzen, Leis-
tungsdichtespektren, Zeitsignalverlufe) sowie
das Zeitverhalten (stationr, gegebenenfalls
Drehzahlschwankungen usw.).
7.4.2 Empfngerseitige Schwingungen und
Restschwingungen
Die empfngerseitigen Schwingungen ergeben sich
allgemein aus der Summe der ber die Schwin-
gungsisolierung bertragenen quellenseitigen
Schwingungen, der ber Nebenwege bertragenen
Schwingungen (siehe Abschnitt 6.4.3) und der
empfngerseitig autonom entstehenden Schwin-
gungen.
Letztere entstehen durch weitere, von der zu isolie-
renden Quelle unabhngige Schwingungsquellen
auf der Empfngerseite. Im Fall der Empfngeriso-
lierung einer empfindlichen Maschine knnen dies
beispielsweise durch die Maschine selbst erzeugte
Schwingungen sein.
Empfngerseitige Schwingungen treten unabhn-
gig davon auf, ob die aktive Funktion der Schwin-
gungsisolierung betrieben wird oder abgeschaltet
ist.
Gem Abschnitt 7.3.5 werden die empfngersei-
tigen Schwingungen beim Betrieb der aktiven
Schwingungsisolierung als Restschwingungen

bezeichnet. Diese Restschwingungen ergeben sich
aus der Summe der bertragenen, entsprechend der
Isolierwirkung geminderten quellenseitigen
Schwingungen, der ber Nebenwege bertragenen
Schwingungen, der empfngerseitig autonom ent-
stehenden Schwingungen sowie des Systemeigen-
rauschens der aktiven Schwingungsisolierung.
Dabei ist zu beachten, dass die vom aktiven Sys-
tem bewirkte nderung der mechanischen Anbin-
dung der empfngerseitigen an die quellenseitige
Struktur zu einer Zunahme der ber Nebenwege
bertragenen wie auch der empfngerseitig auto-
nom entstehenden Schwingungen fhren kann.
Fr periodische und stochastische Schwingungen
ist die Beschreibung der Restschwingungen durch
den (gegebenenfalls spektral dargestellten)
Schwinggeschwindigkeitspegel angemessen. Fr
stofrmige Schwingungen kann die Beschreibung
durch den maximalen Betragswert oder den Ab-
klingkoeffizienten angemessen sein.
7.4.3 Wege der Schwingungsausbreitung
Bei der Planung von Schwingungsisolierungen ist
die Bestimmung der Ausbreitungswege der
Schwingungen bzw. der Anregemechanismen der
empfngerseitigen Struktur ein wichtiger Schritt.
Selbst bei idealer Schwingungsisolierung verbleibt
ein Restschwingpegel, der durch die nicht schwin-
gungsisolierten Ausbreitungswege bestimmt ist.
Dabei ist die Unterscheidung zwischen einem
Hauptausbreitungsweg und sogenannten Neben-
wegen blich. Schwingungsisolierungen werden
vorrangig fr den Hauptausbreitungsweg einge-
setzt. Ergnzende Isolierungen fr die Nebenwege
werden nur bei Bedarf vorgesehen.
Typische Nebenwege stellen Kabel, Rohrleitungen
(und gegebenenfalls Fluide in Leitungen), Schlauch-
anbindungen oder auch der Luftschall dar.
Hufig wird der Restschwingpegel einer Schwin-
gungsisolierung fr den Hauptausbreitungsweg
nicht durch deren begrenzte Isolierwirkung be-
stimmt, sondern durch die Nebenwegbertragung.
Eine weitere Erhhung der Isolierwirkung fhrt
dann zu keinem weiteren Absinken des Rest-
schwingpegels.
Diese Zusammenhnge mssen bei der Spezifika-
tion eines integrierten aktiven Schwingungsiso-
liersystems unbedingt beachtet werden. Dies gilt
insbesondere, wenn eine passive durch eine zustz-
liche aktive Schwingungsisolierung verbessert
werden soll. Dann muss sorgfltig geprft werden,
welche Reduktion des Restschwingpegels ange-
sichts der vorliegenden Nebenwegausbreitung
berhaupt erreicht werden kann.
Entwurf VDI 2064 17
7.4.4 Mechanische Anbindung
Whrend bei der Betrachtung einer Schwingungs-
isolierung auf Systemebene von einer idealen me-
chanischen Anbindung ausgegangen wird, sind fr
das integrierte System die realen Bedingungen der
mechanischen Anbindung magebend. Sowohl die
quellenseitige als auch die empfngerseitige me-
chanische Anbindung ist von groem Einfluss auf
die real erzielbare Isolierwirkung.
Die mechanische Anbindung kann allgemein als
komplexe, frequenzabhngige mechanische Impe-
danz oder anschaulicher durch die wirksamen
Massen mit ihren Schwerpunktslagen, durch Starr-
krpereigenmoden und durch elastische Moden
beschrieben werden.
Der Einfluss der realen mechanischen Anbindung
einer Schwingungsisolierung besteht unabhngig
davon, ob es sich um eine passive oder aktive
Schwingungsisolierung handelt. DIN EN 1299
beschreibt am Beispiel der Quellenisolierung aus-
fhrlich die zur Auslegung einer Schwingungsiso-
lierung erforderlichen Angaben und gibt einen
Leitfaden fr die Nachprfung der Wirksamkeit
der Isolierung. Beides kann bezglich der allge-
meinen dynamischen Eigenschaften auf aktive
Schwingungsisolierungen bertragen werden und
gilt sinngem auch fr Empfngerisolierungen.
7.4.5 Festlegung von Isolierwirkung bzw.
Restschwingungen zwischen System-
lieferant und Nutzer
Fr den Nutzer einer Schwingungsisolierung sind
sowohl bei der Quellen- als auch bei der Empfn-
gerisolierung meist die Restschwingungen nach
Einbau und Inbetriebnahme der Schwingungsiso-
lierung die relevante Gre, die Isolierwirkung
spielt hingegen aus Nutzersicht eine untergeordne-
te Rolle.
Fr den Anbieter einer Schwingungsisolierung ist
die Angabe von anwendungsabhngigen Rest-
schwingungen wesentlich schwieriger als die An-
gabe der Isolierwirkung des Systems. Wie in den
vorangehenden Abschnitten dargestellt, ist die
Isolierwirkung in einer konkreten Einbausituation
jedoch hufig nicht sicher messbar.
Vor diesem Hintergrund bleiben bei der Auslegung
und Spezifikation von aktiven Schwingungsiso-
lierungen zwei Alternativen:
Der Systemanbieter spezifiziert sein System auf
Systemebene wie in Abschnitt 6.3 beschrieben
ausfhrlich und der Nutzeranwendung entspre-
chend, der Nutzer whlt auf der Grundlage ei-
ner solchen Spezifikation und in Kenntnis der
Integrationssituation eigenverantwortlich ein
System aus. In diesem Fall trgt der Anbieter
 18 VDI 2064 Entwurf
die Last einer detaillierten Spezifikation des
Systems und der Nutzer die Verantwortung fr
die Integration.
Systemanbieter und Nutzer verstndigen sich
auf die Anwendung des in DIN EN 1299 be-
schriebenen Verfahrens, in dem der Nutzer dem
Systemanbieter detaillierte Informationen ber
die Integrationsumgebung zugnglich macht
und der Systemanbieter dafr die verbleibenden
Restschwingpegel garantiert. In diesem Fall
trgt der Nutzer die Last der detaillierten In-
formation und Spezifikation der Einsatzbedin-
gungen, der Systemanbieter dagegen die Ver-
antwortung fr die Einhaltung des Rest-
schwingpegels.
7.5 Hinweise zu Messmethoden
7.5.1 Isolierwirkung
Fr die Beurteilung von aktiven Schwingungsiso-
lierungen ist es sinnvoll, gleichzeitig sowohl
quellenseitige als auch empfngerseitige Schwin-
gungen zu erfassen. Durch Bildung des Betrags der
bertragungsfunktion der Schwingungen kann die
Isolierwirkung ermittelt werden. Gleichzeitig ist
die Kohrenzfunktion als Ma fr die Messunsi-
cherheit anzugeben.
Bei mehrachsigen Systemen ist bei der Bildung des
Amplitudenverhltnisses eine saubere Trennung
der Freiheitsgrade von groer Bedeutung. So darf
beispielsweise die Beurteilung der Isolierwirkung
in vertikaler Richtung nicht durch Signalanteile aus
Rotations- oder Horizontalbewegungen beeinflusst
werden.
Praktisch kann die Trennung der Freiheitsgrade fr
Empfngerisolierungen durch die Nutzung von
Schwingtischen zur rumlich definierten Anregung
erreicht werden. Diese Messung kann jedoch nur
auf Systemebene korrekte Angaben erzeugen.
Im integrierten System sind Messungen oft nur mit
groen Einschrnkungen zu realisieren.
7.5.2 Restschwingungen
Die Messmethode fr die Restschwingungen defi-
niert sich aus der Anwendung.
Es ist darauf zu achten, dass das Zeitintervall der
Messung fr die Art der auftretenden Schwingun-
gen hinreichend reprsentativ ist.
Fr den Fall, dass ein hinreichend reprsentatives
Zeitintervall aufgrund des stochastischen Auftre-
tens der relevanten Schwingung (Schwingung tritt
nur mit groen Zeitabstnden und in unregelmi-
gen Zeitintervallen auf) nicht definiert werden
kann, wird ersatzweise eine knstliche Anregungs-
quelle verwendet. Die Ersatzanregungsquelle sollte
in ihrer Charakteristik (Zeitcharakteristik des Si-
gnals, Amplitude, Frequenz usw.) mglichst an die
nachzubildende Schwingung angelehnt sein.
Werden Restschwingungen ber den Arbeitsfre-
quenzbereich einer aktiven Schwingungsisolierung
hinaus gemessen, so ist zu bercksichtigen, dass
die Anzahl der relevanten dynamischen Freiheits-
grade des empfngerseitigen Systems in der Regel
hher sein wird als die Anzahl der Freiheitsgrade
der aktiven Schwingungsisolierung. Daher sind die
empfngerseitigen Schwingungen nach Mglich-
keit in allen im Frequenzbereich relevanten Frei-
heitsgraden getrennt zu messen, zumindest aber
Sensorpositionen und -ausrichtungen fr Ver-
gleichszwecke genau zu dokumentieren.
7.5.3 Systemeigenrauschen
Das Systemeigenrauschen einer aktiven Schwin-
gungsisolierung ist einer direkten Messung in der
Regel nicht zugnglich.
Eine korrelationsbasierte Trennung der Rest-
schwingungen in einen bertragenen und einen als
Systemeigenrauschen interpretierbaren Anteil ist
aufgrund der bertragung des Systemeigenrau-
schens auf die messbaren quellenseitigen Schwin-
gungen nicht mglich.
Eine Methode zur Ermittlung des Systemeigenrau-
schens mit vertretbarem Aufwand ergibt sich aus
dem Vergleich der gemessenen Isolierwirkung
einer aktiven Schwingungsisolierung bei verschie-
denen quellenseitigen Schwingungsamplituden
(Messungen A und B). Die Methode geht davon
aus, dass sich das gesamte elektromechanische
System linear verhlt, das Systemeigenrauschen
fr verschiedene Signalpegel gleich ist und dass
autonome empfngerseitige Schwingungen gegen-
ber dem Systemeigenrauschen vernachlssigbar
sind.
In diesem Fall gilt fr die bei den beiden Messun-
gen erhaltenen Amplitudenspektren im Frequenz-
bereich:
U 2A ( f ) # H ( f ) " U1A ( f ) ! R( f ) (3)
und
U 2B ( f ) # H ( f ) " U1B ( f ) ! R( f ) (4)
Dabei ist
H(f) Betrag der frequenzabhngigen bertra-
gungsfunktion der aktiven Schwingungs-
isolierung
U1A(f); U1B(f)
Amplitudenspektren der Schwingungen
u1A und u1B der erregenden Struktur bei
den Messungen A und B

U2A(f); U2B(f)
Amplitudenspektren der Schwingungen
u2A und u2B der erregenden Struktur bei
den Messungen A und B
R(f) Amplitudenspektrum der Messgre des
Systemeigenrauschens
Alle Signale und Gren sind abhngig von der
Frequenz.
Fr R gilt dann
U 2A ! U 2B
R " U 2A ! U1A (5)
U1A ! U1B
Bild 7a zeigt beispielhaft die mit unterschiedli-
chen Anregungssignalen gemessene Isolierwirkung
ber der Frequenz. Bild 7b zeigt die Leistungs-
dichtespektren GuxAuxA, GuxBuxB, GuyAuyA, und GuyBuyB
sowohl der quellenseitigen (uxA und uxB) als auch
der empfngerseitigen (uyB und uyB) Schwingungen
sowie das Leistungsdichtespektrum Grr des gem
Gleichung (4) berechneten Systemeigenrauschens r.
In der Praxis wird eine Messung mit minimal mg-
licher Anregungsamplitude und eine zweite Mes-
sung mit maximal mglicher Anregungsamplitude
durchgefhrt, um im Nenner von Gleichung (4)
eine mglichst groe Zahl zu erhalten und damit
die Messunsicherheit fr das Systemeigenrauschen
klein zu halten. Zustzlich empfiehlt es sich, die
Wirkung der aktiven Schwingungsisolierung durch
ein monofrequentes Testsignal sicherzustellen, das
bei der Bewertung des Systemeigenrauschens ig-
noriert wird.
Zur Beschreibung des Systemeigenrauschens bietet
sich oberhalb des Arbeitsfrequenzbereichs alterna-
tiv ein vereinfachtes Verfahren an, bei dem die
empfngerseitigen Schwingungen (bei abgeschal-
teter aktiver Funktion der Schwingungsisolierung)
mit den Restschwingungen verglichen werden. Da
hier die Isolierwirkung der passiven und damit
rauschfreien Komponente mit der Isolierwirkung
der vollstndigen passiven und aktiven Isolie-
rung verglichen wird, stellt eine messbare Ver-
schlechterung der Isolierwirkung auerhalb des
Arbeitsfrequenzbereiches der aktiven Schwin-
gungsisolierung eine Abschtzung fr das System-
eigenrauschen fr diese Frequenzen dar. Fr viele
praktische Zwecke ist dies ausreichend.
Bei beiden Messmethoden sollten autonome emp-
fngerseitige Schwingungen sowie Nebenwege
Entwurf VDI 2064 19
nach Mglichkeit vermieden werden. Weiterhin ist
ergnzend zu der im vorherigen Abschnitt genann-
ten Messung der Restschwingung der betrachtete
Frequenzbereich mindestens auf das Zehnfache des
Arbeitsfrequenzbereichs auszudehnen.
Messungen zum Systemeigenrauschen sind sowohl
unter Laborbedingungen auf Systemebene als auch
bei integrierten Systemen durchfhrbar.
Mit diesen Messungen wird das Verhalten des
dynamischen Systems insgesamt erfasst. Die Inter-
pretation der Messergebnisse erfordert daher eine
genaue Kenntnis der dynamischen Eigenschaften
der beteiligten Systeme, der Messorte und
-richtungen, der quellenseitigen Schwingungen
sowie des Aufbaus und der Funktionsweise der
aktiven Schwingungsisolierung.
10
0
-10
20log # in dB
-20
-30 Anregung A
-40
Anregung B
-50
0,1 1 10 100
Frequenz f in Hz
Bild 7a. Beispiel einer Isolierwirkung, gemessen
mit zwei unterschiedlichen Anregungssignalen A
und B
Bild 7b. Spektrale Leistungsdichte der quellensei-
tigen und empfngerseitigen Schwingungssignale
bei verschiedenen Anregungen A und B sowie des
daraus ermittelten Systemeigenrauschens
 20 VDI 2064 Entwurf
Anhang Technische Realisierungen und
Anwendungsbeispiele
A1 Anwendungsbeispiel 1
Aktives Schwingungsisoliersystem als
Laborarbeitsplatz
Der vorgestellte Laborarbeitsplatz ist ein aktiv
schwingungsisolierter Labortisch, der schwin-
gungsempfindliche Versuchsaufbauten und Mess-
apparaturen isoliert.
Im Einzelnen besteht dieser Arbeitsplatz aus einem
geschweiten Stahlgestell, zwei Isoliereinheiten
und einer Stahlwabenkernplatte. Die Isoliereinhei-
ten sttzen sich auf dem Gestell ab und tragen
ihrerseits ber Stahlfedern die Platte. Der experi-
mentelle Aufbau ist, wie in Bild A1b dargestellt,
auf dieser Platte montiert. Die Funktion des
Schwingungsisoliersystems ist weitgehend vom
Aufbau unabhngig, da die Stahlwabenkernplatte
und der Aufbau im interessierenden Frequenzbe-
reich als ein einziger Starrkrper betrachtet werden
knnen.
a)
b)
c)
Bild A1. Aktiv schwingungsisolierter Versuchsauf-
bau mit Lichtmikroskop und angebauten Mikroma-
nipulatoren
a) Skizze vom Gestell mit Federn und Wirkungslinien
b) Foto vom Versuchsaufbau
c) Skizze von Sensor, Aktor und Regelung
In die Isoliereinheiten sind Sensoren und Aktoren
zur aktiven Schwingungsisolierung eingebaut. Die
Sensoren und Aktoren sind, wie in Bild A1a
skizziert, paarweise koaxial angeordnet. Der Sen-
sor ist fest mit der isolierten Platte verbunden und
als Beschleunigungsaufnehmer mit einer Trg-
heitsmasse m und einer Piezo-Scheibe ausgebildet.
Die von dieser Scheibe generierte elektrische La-
dung ist proportional der Beschleunigung der iso-
lierten Platte. Eine analoge elektronische Schaltung
verstrkt die Ladung und fhrt eine Zeitintegration
aus, womit das resultierende Signal proportional
zur absoluten Geschwindigkeit der isolierten Platte
ist. Die Resonanz der Sensoren bei ca. 300 Hz wird
mit einer Bandsperre unterdrckt. Ab ca. 100 Hz
leistet die passive Feder-Masse-Anordnung den
wesentlichen Beitrag zur Isolierung. Nach einer
amplitudenabhngigen Verstrkung werden die
Sensorsignale phasengedreht ber eine Pulsweiten-
modulierte Endstufe (PWM) den elektrodynami-
schen Aktoren zugefhrt. Die Taktfrequenz der
PWM-Endstufe liegt mit 120 kHz sowohl weit
oberhalb der Eigenfrequenzen der Starrkrpermo-
den als auch der ersten elastischen Mode des Ge-
stells und der Stahlwabenkernplatte. Der Einfluss
hherer Moden der Stahlwabenkernplatte wird
durch die Verwendung visko-elastischer Dmp-
fungsbelge reduziert. Die Aktoren bauen ber die
stromdurchflossene Spule im Magnetfeld eine
Kraft in Richtung der Wirkungslinien auf (siehe
Bild A1c), welche ber einen Stel an das Ge-
stell weitergegeben wird und somit der Bewegung
der isolierten Platte entgegenwirkt.
In jeder der oben genannten Isoliereinheiten sind
vier Sensor/Aktor-Paare eingebaut, sodass jeweils
zwei Paare in vertikaler Richtung und die beiden
anderen Paare in horizontaler Richtung wirken.
Mit dieser Konfiguration knnen die sechs Starr-
krper-Freiheitsgrade der isolierten Platte aktiv
isoliert werden.
Der Nachweis der Isolierwirkung des Systems
erfolgt durch die Bestimmung des Amplitudenfre-
quenzgangs (f). Hierzu wird das System unter
Laborbedingungen auf einem Schwingtisch aufge-
stellt. Der Schwingtisch ermglicht die Beauf-
schlagung des aktiven Schwingungsisoliersystems
mit einem definierten Anregungssignal in einem
festgelegten Freiheitsgrad. In Bild A2a ist der
Amplitudenfrequenzgang (f) fr die vertikale und
horizontale Richtung bei einer harmonischen An-
regung mit konstanter Schwinggeschwindigkeits-
amplitude von 100 m/s dargestellt, wobei die
Anregungsfrequenz als Gleitsinus variiert wurde.
Die Kurven zeigen im Frequenzbereich zwischen

1 Hz und 10 Hz eine Abnahme des Amplitudenfre-
quenzgangs um nahezu 40 dB.
Aufgrund der Bedienung der experimentellen La-
boraufbauten werden zeitweise Kraftste (Impul-
se) auf die schwingungsisolierte Platte ausgebt.
Aus diesem Grund ist die Ausschwingzeit des
Schwingungsisoliersystems von Bedeutung. In
Bild A2b ist das Ausschwingverhalten im Ver-
gleich zwischen passiver und aktiver Schwin-
gungsisolierung infolge eines Kraftstoes von 1 N
skizziert. Die Kurven zeigen eine Verkrzung der
Ausschwingzeit sowie eine Reduzierung der ma-
ximalen Schwinggeschwindigkeitsamplitude durch
die aktive Schwingungsisolierung.
Bild A2a. Gemessene Amplitudenfrequenzgnge
des aktiv isolierten Schwingtischs
Bild A2b. Ausschwingverhalten der schwingungs-
isolierten Platte bei Impulsanregung
Der Funktionsnachweis der Schwingungsisolie-
rung wird durch die Messung der Schwingge-
schwindigkeit am Aufstellort und der verbleiben-
den Restschwingung auf der isolierten Platte er-
bracht. Da das aktive Isoliersystem nur in Kombi-
nation mit festgelegten passiven Federelementen
angeboten wird, gengt die Messung der Isolier-
wirkung des Gesamtsystems. Die entsprechenden
Kurven fr die vertikale Richtung sind in Bild A3
Entwurf VDI 2064 21
zu sehen. Aus ihnen kann abgelesen werden, dass
die Isolierwirkung in den Schwingungsmaxima bei
14 Hz und 21 Hz besonders gro ist.
Bild A3. Gemessene Schwinggeschwindigkeit am
Aufstellort
A2 Anwendungsbeispiel 2
Integrierte aktive Schwingungsisolierung bei
einem Rasterelektronenmikroskop
In der Regel werden Rasterelektronenmikroskope
mit hochwertigen passiven Schwingungsisolierun-
gen mit Schraubendruckfedern oder Luftfedern
ausgerstet. Wenn jedoch die Anforderungen an
die Bodenschwingungspegel an einem gewnsch-
ten Aufstellort nicht erfllt werden knnen, kom-
men auch aktive Schwingungsisolierungen anstelle
der integrierten passiven Schwingungsisolierung
oder als Zusatzmanahme zum Einsatz. Modernste
Rasterelektronenmikroskope mit hchster Aufl-
sung knnen oftmals selbst in der Standardausfh-
rung nicht mehr auf eine aktive Schwingungsiso-
lierung verzichten, damit die Ansprche an die
Bodenschwingungsfreiheit am Aufstellort nicht zu
hoch werden. Das Beispiel zeigt eine Lsung fr
eine integrierte aktive Schwingungsisolierung in
einem hochwertigen Rasterelektronenmikroskop.
Die Schwingungsisolierung ist fr den Frequenz-
bereich bis 100 Hz und fr Bodenschwingungen
im seismischen Bereich (typisch zwischen 2 Hz
und 30 Hz) mit Schwinggeschwindigkeitseffektiv-
werten von 1 m/s bis 30 m/s ausgelegt. Damit
ist das Mikroskop auch in normaler Laborumge-
bung in der Lage, Bilder mit einer besseren Aufl-
sung als 1 nm bei bis zu 650.000-facher Vergre-
rung zu liefern.
 22 VDI 2064 Entwurf

u2 Die aktive Schwingungsisolierung besteht insge-

samt aus vier Schwingungsisolatoren und einem
Steuergert. Jeder Isolator (Bild A6) besteht aus
einer Bodenplatte (1) zur mechanischen Anbin-
dung an den Tragrahmen des Mikroskops, einer
Kopfplatte (2) zur mechanischen Anbindung an
den isolierten Mikroskopkrper, einer Schrauben-
druckfeder mit Aufnahme zur Einstellung der Ar-
F beitshhe (3) und zwei Linearkraftantrieben fr die
R u1 vertikale (4) und horizontale Richtung (5). In der
Kopfplatte (2) sind je ein elektrodynamischer
Schwinggeschwindigkeitsaufnehmer fr horizonta-
le und vertikale Schwingungen integriert. Die Wir-
Bild A4. Vereinfachte Darstellung fr ein System krichtung der Antriebe und der jeweils zugeordne-
mit einem Freiheitsgrad ten Schwingungsaufnehmer ist durch graue Pfeile
markiert, wobei Pfeil (6) die vertikale und Pfeil (7)
Im vorgestellten Beispiel wird ein Rckkopplungs- die horizontale Richtung der jeweiligen Messgre
regler mit einer Strgrenaufschaltung kombiniert und Kraftquelle bezeichnet.
(Bild A4). Sowohl die Restschwingungssignale u2
Die vier Isolatoren werden um jeweils 90 zuei-
auf der empfngerseitigen Struktur als auch die
nander gedreht in den vier Ecken des Tragrahmens
Bodenschwingungssignale u1 werden einem Regler
eingebaut (Bild A7), sodass die Antriebe und
R zugefhrt. Die im Regler berechneten Kompen-
Schwingungsaufnehmer von je zwei diagonal
sationskrfte F werden mit Hilfe von elektrodyna-
gegenberliegenden Isolatoren in eine der beiden
mischen Linearaktoren aufgebracht. In Bild A5 ist
horizontalen Raumrichtungen zeigen. In Bild A7
die Struktur des Reglers dargestellt, der die Rest-
sind aus Grnden der bersichtlichkeit nur die
schwingungssignale u2 im Rckkopplungsregler
Wirkrichtungen der Linearantriebe dargestellt. Auf
und die Bodenschwingungssignale u1 in der Str-
den oberen Quertrgern des Tragrahmens sind drei
grenaufschaltung verarbeitet. Die Parameter der
Schwingungsaufnehmer fr die Strgrenauf-
Strgrenaufschaltung werden so optimiert, dass
schaltung angebracht.
die Restschwingungssignale u2 minimal werden.
In Bild 16 ist die aktive Schwingungsisolierung
Die aktive Schwingungsisolierung schliet alle
integriert im Mikroskop dargestellt. Die konstruk-
sechs Starrkrperfreiheitsgrade des Mikroskops
tive Ausfhrung der Schwingungsisolatoren (1)
ein. Es werden die quellenseitigen Bodenschwin-
und (2) erklrt sich aus den rumlichen Gegeben-
gungen u1 in drei Freiheitsgraden zwei horizonta-
heiten im Tragrahmen. Jeder der vier Schwin-
le und eine vertikale Raumachse und die emp-
gungsisolatoren wird durch zwei Leitungen fr
fngerseitigen Restschwingungen u2 in sechs Frei-
Aufnehmersignale und Antriebssignale mit dem
heitsgraden erfasst. Dazu werden einkanalige
Steuergert (3) verbunden. Im Steuergert findet
Schwinggeschwindigkeitsaufnehmer eingesetzt,
die fr die Regelung notwendige analoge und digi-
die verteilt an drei der vier Isolatoren angebracht
tale Signalverarbeitung statt. Im hier dargestellten
sind. Aus den sechs einachsigen Restschwingungs-
Versuchsaufbau ist das Steuergert auf dem Tisch
signalen werden mittels einer Transformation die
erkennbar. In der Serienversion ist das Steuergert
Komponenten der Restschwingungen in einem
ebenfalls in den Tragrahmen integriert.
gemeinsamen Koordinatensystem mit sechs Frei-
heitsgraden ermittelt. Eine optimale Wirkung der aktiven Schwingungs-
isolierung konnte nur nach Analyse der dynami-
Die im Regler aus den Boden- und Restschwin-
schen Eigenschaften des Tragrahmens und des
gungssignalen getrennt ermittelten Kompensa-
eigentlichen Mikroskopkrpers als der empfnger-
tionssignale werden berlagert und dann mittels
seitigen Struktur erzielt werden. Die jeweiligen
einer weiteren Transformation in acht Signale zur
Strukturresonanzen, die bei der Reglerauslegung
Ansteuerung der acht Kraftaktoren berfhrt. Die-
bercksichtigt wurden, knnen fr den Tragrahmen
se Kompensationssignale werden den Aktoren, die
Bild 17 a) (55 Hz, 70 Hz und 180 Hz) und fr den
an den vier Isolatoren verteilt angebracht sind,
Mikroskopkrper Bild 17 b) (110 Hz und 285 Hz)
zugefhrt und dort in Kompensationskrfte ge-
entnommen werden.
wandelt (Bild A6).
 Entwurf VDI 2064 23

u1
Strber- + u2
Strgren- tragungs-
aufschaltung verhalten
+
- +
Rck- F
Sollwert 0 kopplungs- Regelstrecke
+ regler +

Bild A5. Reglerstruktur mit Rckkopplungsregler und Strgrenaufschaltung

3 FG 6 FG
u1

6 FG Trans-
Regler
formation F

6 FG Trans- 6 FG 6 FG
u2
formation
8 Kraft-
aktoren

Bild A6. Realisierung der aktiven Schwingungsisolierung mit Angabe der Anzahl der Freiheitsgrade (FG)

Bild A7. Anordnung von vier Schwingungsisolatoren und Aufnehmern fr Bodenschwingungen zur aktiven
Schwingungsisolierung
 24 VDI 2064 Entwurf

F1z

F1v 2
7
3

5
4
Bild A8. Aufbau z. B. des Schwingungsisolators 1
1 Kopfplatte 4 Schraubendruckfeder
2 horizontale Richtung der Messgre und Kraft- 5 Bodenplatte
quelle 6 Linearaktor vertikale Wirkrichtung (F1z)
3 vertikale Richtung der Messgre und Kraftquelle 7 Linearaktor horizontale Wirkrichtung (F1y)

Bild A9. Aktive Schwingungsisolierung, integriert in ein Rasterelektronenmikroskop

1 Schwingungsisolator 2
2 Schwingungsisolator 1
3 Steuergert
 Entwurf VDI 2064 25

20log ! in dB

Frequenz f in Hz
a) b)
Bild A10. a) Typischer Amplitudenfrequenzgang des Tragrahmens b) Typischer Amplitudenfrequenzgang
des Mikroskopkrpers
Bild A11 zeigt die Beitrge der passiven Stahlfe- Verbesserung der Isolierwirkung gegenber der
derisolierung, des Rckkopplungsreglers und des passiven Luftfederisolierung. Diese Messergebnis-
Rckkopplungsreglers mit Strgrenaufschaltung se beschrnken sich aus Platzgrnden auf die ver-
zur Gesamtisolierwirkung. Bild A12 zeigt die tikale Richtung.

20 log

Bild A11. Wirkung der Schwingungsisolierung (Amplitudenfrequenzgang und Kohrenzfunktion)

Kurve 1: ohne aktive Schwingungsisolierung nur passive Schwingungsisolierung
Kurve 2: aktive Schwingungsisolierung mit Rckkopplungsregler
Kurve 3: aktive Schwingungsisolierung mit Rckkopplungsregler und Strgrenaufschaltung

20 log

Bild A12. Vergleich der Schwingungsisolierwirkung in vertikaler Richtung mit und ohne aktive Schwingungs-
isolierung
Kurve 1: mit aktiver und passiver Schwingungsisolierung
Kurve 2: ohne aktive (nur mit passiver) Schwingungsisolierung
 26 VDI 2064 Entwurf

Schrifttum Literatur
Gesetze, Verordnungen, Verwaltungsvorschriften Bibliografien
Richtlinie 98/37/EG des Europischen Parlaments und des Guicking's Online Reference Bibliography on Active Control
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