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1. Was ist die grundlegende Messgre beim XPS?

Die Bindungsenergie, weil dadurch determieren kann, welche die Atomsorte ist, und
durch die Bindunsenergieverteilun der Rumpfelektronen kann man indetifizieren die
einzelnen im Festkrper enthaltenen Atomsorten um eingesetzt zu werden.

2. Wie hngen die kinetische Energie und die Bindungsenergie eines Photoelektrons
zusammen? Hngt von der Bindungsenergie ab?

Die Abhngigkeit ist durch die Formel EB = h (Ekin + s).


hngt nicht von der Bindungsenergie sondern von der kinetischen Energie und ist
proportionell zur Wurzel der kinetischen Energie.

3. Wie ndert sich die Lage der Augeremissionen in der kinetischen bzw.
Bindungsenergieskala, wenn man die Anregungsenergie wechselt?

Wenn man die Anregungsenergie wechselt, ndert sich die Lage der
Augeremissionen in kinetischen Energieskala nicht, sondern nur in der
Bindungsenergieskala.

4. Wie kann man ein Tiefenprofil mit XPS aufnehmen, ohne zu Sputtern oder den
Winkel zwischen Probe und Quelle zu ndern? Anders ausgedrckt: Kann man
die Austrittstiefe der Photoelektronen einstellen?

Kann man die Austrittstiefe nicht einstellen, da nicht abhngig von einem tieferem
Profil, sonder von der Bindungsenergie ist.

5. Erklren Sie, woher die Aufspaltung einer Emissionslinie im XP-Spektrum kommt.

Die kommt aus der Endzustand der Elektronenhlle (Final-State-Effekt). Am


hufigsten vertreten die Aufspaltung von p-, d- und f- Rumpfniveauemissionen in
Dubletts und sie ist die Folge der Wechselwirkung von Bahn- und Spindrehimpuls, l
bzw. s, ungepaarter Elektronen.

6. Wie kann man die spektrale Auflsung einer Messung verndern?

Durch die nderung der Geschwindigkeit der Elektronen.


Rntgenphotoemissionelektroskopie
XPS (X-Ray Photoemission Spectroscopy), Methode der Spektroskopie an
Festkrpern, freien Atomen und Moleklen, ermglicht die Analyse von berflchen,
um quantitative und qualitative Informationen zu erhalten. Die Anordnung ist in der
Abb. dargestellt.

Die qualitative Elementaranalyse bezieht sich aus


welchen Elementen die Oberflche besteht bzw. welche
Elemente sich auf der Oberflche befinden, mit
Ausnahme von Wasserstoff und Helium, die sich mit
XPS nicht bestimmen lassen.

Dann erhlt man Informationen zur Fragen der


quantitativen Analyse, wobei man in einfachen Fllen
eine komplette Analyse ausfhren kann.

Messprinzip

Eine Probe wird mit charakteristischer Rntgenstrahlung der Frequenz bestrahlt.


Dadurch knnen Elektronen aus inneren Schalen der Atome oder Molekle der
Probe entfernt werden. Die kinetische Energie dieser Photoelektronen ergibt sich aus
der Photonenenergie h und der Bindungsenergie EB gem Ekin = h - EB [eV].
Diese Energie wird in einem Elektronen-Energieanalysator gemessen und die
Elektronen werden detektiert.

Der Prozess der Photoemission verluft in drei Schritten. Zunchst erfolgt die
Anregung des Elektrons durch das einfallende Photon, danach der Transport des
angeregten Elektrons zur Oberflche und als dritter Schritt der Austritt des
Photoelektrons. Die Bindungsenergie EB, die aus der kinetischen Energie der
Photoelektronen bestimmt werden kann, ist charakteristisch fr das Atom (genauer
sogar fr das Orbital), aus dem das Elektron stammt.

Fr die XPS-Messung werden die Elektronen, die am Ende des Analysators noch
ankommen, ber einen Sekundrelektronenvervielfacher detektiert, so dass ein
Spektrum entsteht, welches meistens in einem Graph durch die Auftragung der
Intensitt (Zhlrate) ber der kinetischen Energie der Photoelektronen dargestellt
wird.

Wegen der begrenzten Austrittstiefe der Elektronen werden nur Elektronen in der
Nhe der Oberflche analysiert, ca. 6 10 nm.

Strahlungsquellen

Die gngigsten Rntgenquellen, die in der XPS ihren Einsatz finden, sind Al-K- oder
auch Mg-K-Quellen. In den letzten 20 Jahren hat sich die Verwendung von
Synchrotronstrahlung, die sich aufgrund ihrer nahezu unbegrenzten
Durchstimmbarkeit der Photonenenergie und Monochromie hervorragend als
Anregungsquelle eignet, immer mehr durchgesetzt. Somit ist der Bereich der
zugnglichen anregenden Photonenenergie von einigen wenigen diskreten Werten,
d.h. AlK, h = 1486,6 eV und MgK, h = 1253,6 eV auf ein Kontinuum aus einer
Rntgenrhre, das von einigen Elektronenvolt bis zu 20 keV reicht, erweitert worden.

Quantitative Auswertung der Messung

Fr die qualitative Analyse sind Photoelektronen und Augerelektronen


gleichermaen wichtig. Bei der Quantifizierung der Oberflchenzusammensetzung
einer Probe werden jedoch nur die Photoelektronenlinien bercksichtigt, da die
Intensitt von Augerelektronenlinien nicht exakt berechnet werden kann. Als
Intensitt betrachtet man die Flche unter der Emissionslinie. Einen betrchtlicher
Anteil der Flche bildet der Untergrund, der fr Berechnungen der Intensitt
bercksichtigt werden muss. Die Intensitt dieser Messungen, ist proportional zur
Hufigkeit des Auftretens der verschiedenen Elemente in der Probe.

Ein kleiner Teil des Untergrundes entsteht durch die Bremsstrahlung nicht
monochromatisierter Rntgenquellen. Der berwiegende Teil des Untergrundes
besteht aus Photoelektronen, die durch Stoprozesse auf dem Weg zur Oberflche
Energieverluste erlitten haben und daher eine geringere kinetische Energie besitzen
als Photoelektronen, die ohne Streuung aus der Oberflche treten. Fr die
rechnerische Bestimmung des Untergrundes gibt es verschiedenen Anstze,
allerdings kann man nherungsweise auch eine gerade Linie zwischen den Flanken
der Emissionslinie zur Auswertung verwenden.

Um die chemische Zusammensetzung eines Festkrpers zu bestimmen, muss man


die Flche unterhalb der beobachteten Linien, die charakteristisch fr die Elemente
sind, auswerten. Dabei sind allerdings einige messspezifische Besonderheiten zu
beachten. So kann zum Beispiel ein Photoelektron, bevor es den Festkrper verlsst,
weitere Elektronen anregen und dabei einen Teil seiner kinetischen Energie an diese
abgeben.

Auerdem ist bei XPS-Messungen zu beachten, dass die Wahrscheinlichkeit fr das


Auslsen eines Photoelektrons energieabhngig, elementspezifisch und
orbitalabhngig ist. Um dieser Tatsache Rechnung zu tragen, mssen die Werte fr
die Flchen, die unter den jeweiligen Linien ermittelt werden, um sog.
Sensitivittsfaktoren oder Wirkungsquerschnitte korrigiert werden, die in
unterschiedlichen Tabellenwerken zu finden sind.

Weiterhin hngt die Wahrscheinlichkeit, dass von der Rntgenstrahlung erzeugte


Photoelektronen den Festkrper tatschlich verlassen und detektiert werden knnen,
davon ab, wie hufig sie im Festkrper gestreut oder reabsorbiert werden. Diese
Verlustrate hngt von der kinetischen Energie der Photoelektronen und der
Zusammensetzung des Festkrpers ab. Man kann diesem Effekt durch die
Bercksichtigung der mittleren freien Weglnge der Elektronen im Festkrper
Rechnung tragen. Die entsprechenden Daten sind zumindest fr die meisten
Elemente und einfache Verbindungen tabellarisiert.

Bibliografie
https://de.wikipedia.org/wiki/R%C3%B6ntgenphotoelektronenspektroskopie
http://www.spektrum.de/lexikon/physik/xps/15714
http://mk-atomy.de/protokolle/mc/xps.pdf
https://www.fkp.uni-hannover.de/fileadmin/praktikum/anleitung_xps.pdf
Probe 1
bersicht bei 150 e.V. Pass Energie
Um welches Element handelt es sich? Welche Peaks sind Charakteristisch fr
dieses Element?
Es handelt sich um Gold, aber kann man ein Peak charakteristich von
Kohlenstoff sehen.

Auger-Elektronen
typisch von C

Kohlenstoff Gold auf f


peaks Orbiltal
peaks

Messung der charakteristischen Peaks mit einer Pass-Energie von 150 e.V.
Auswertung: Fitte die Peaks

1194,27e.V. 1394,75 e.V. - 1391,25 e.V. = 3,5 e.V.

C
Bindungsenergie C.: 1486,6[eV]- 1194,27 [eV] = 292,33 [eV]
Bindungsenergie Au.: 1486,6[eV]-1394,75[eV] = 91,85[eV] //
1486,6[eV]-1391,25[eV] = 95,35[eV]

FWHM(1) = 2.28 Area = 6106.52


FWHM(2) = 2.293471 Area = 5623.684

Flchenverlhltnis =A2/A1 = 5623.684/6106.52 = 0,92

Aus der Literaturwerte und knnen wir schlussfolgern, dass die Peaks zu Gold und
zu Kohlenstoff gehren, aber man muss damit rechen, dass es eine Verschiebung
von etwa 8 bis 10 [eV].

Messung zustzlichem Peak bei 20, 50, 100 und 200 [eV]

Fitten bei 20[eV]

Flchenverlhltnis =A2/A1 = 86,45/115,42= 0,75


95,73[eV] 91,72[eV] =4,01[eV]

Fitten bei 50[eV]


Flchenverlhltnis =A2/A1 = 473,25/663,66= 0,713
96,23[eV] 92,6[eV] 1= 3,62[eV]
Fitten bei 100[eV]

Flchenverlhltnis =A2/A1 = 2151,558/2639,101= 0,81


96,25[eV] -92,65[eV] = 3,6[eV]

Fitten bei 200[eV]

Flchenverlhltnis =A2/A1 = 8781,879/9604,63= 0,90


96,18[eV] 92,68[eV] = 3,5[eV]

Auswertung der Intensitt und FWHM gegen Pass-Energie

Aus dem Bild Intensitt vs Pass-Energie sieht man, dass die Intensitt mit der
Pass-Energie steigt.

Mit der Erhhung von der Pass-Energie steigt die kinetische Energie(Ekin
U:spannungsunterschied im Detektor) der Photoelektronen, die im Detektor
ankommen. Der Detektor funktionniert wie ein Sekundrerelektronenvervielfacher,
mit dem Unterschied, dass statt einer bestimmten Anzahl von Dynoden ein
kontinuierlicher Kanal fr die Signalverstkung sorgt.
Das heit, die Vervielfachung der Elektronen Beziehungsweise die Signalverstrkung
hngt von der kinetischen Energie der ankommenden Elektronen in Detektor
zusammen( Je hher die kinetische Energie, desto grer die Verstrkung). Das
erklrt, warum man eine hohe Intensitt bei hherer Pass-Energie hat.

Aus dem Bild FWHM vs Pass-Energie sieht man, dass die Breite mit der Pass-
Energie steigt.

Das heit, dass das verlthltnis der Flche abhngig von der Pass-Energie ist.
Probe 2
bersicht bei 150[eV]
Identifiziere das Element.

Charakteristische
Peaks (2p-Orbitale)

Auger- Charakteristische Peaks Kohlenstoff


Peaks
Elektronen (3s und 3p-Orbitale)

Das Element ist Kupfer


Messe die Charakteristischen Peaks mit einer Pass Energie von 50[eV]

Sind noch weitere Peaks vorhanden


Verschiebung
Ja, das sind die Auger-Emissionen und aud auch weitere charakteristische peaks
vom Material, Auger-Emissionen und Kohlenstoff
Aus den Bildern: 1486,6-528,57= 958,03 1486,6-549,08 =937,52
Nach Messung: 957.2164 937.7794
Literaturwerte: 953 933
Verschiebung: 957,2164-953 =4,21 937.7794-933=4,77

Streckungsfaktor:
934 85 933 85
= = 1,0085
22/3 , 47/2 , 937,7794 91,72
Verschiebung 937,7794 1,0085 933 =6,8425

Probe 3
3.1. Qualitative Analyse der Folgende Elemente

Sauerstoff
Kohlenstoff Silizium

SiO2
Quantitative Analyse der Zusammensetzung von SiO2


=

2236,911 0,63
=
15209,14 0,17

= 0,545

3.2. Qualitative Analyse der Folgende Elemente

Sauerstoff Silizium/Barium

Ba2SiO4

Quantitative Analyse der Zusammensetzung von BaSiO2 und reines Si fr die


Berechnung der Schichtdichte von Barium bei 150 e.V.



= ()sin()
0

2570.1063

= 13,93sin(90)
3736,3568
13,93 ln(0,68) =
= 5,12