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MEMOIRE
Prsent par:
Magister
En : lectronique
Option: Microlectronique
Thme:
Les travaux prsents dans ce mmoire ont t effectus lUDTS (Unit de Dveloppement de la
technologie du Silicium). Ils nauraient pas pu aboutir sans la collaboration, laide et le soutien de plusieurs
personnes que je tiens tout particulirement remercier.
Je tiens tout dabord remercier Dr. M. BOUMAOUR Directeur de lUDTS, pour mavoir accueilli au
sein de son tablissement, et mavoir permis de suivre une exprience trs enrichissante dans le milieu de la
recherche, et davoir mis ma disposition tout le matriel ncessaire pour raliser mon travail.
Je remercie galement monsieur Abderrahmane MOUSSI qui ma dirig tout au long de ce travail, pour
ses conseils, sa grande disponibilit et son encouragement avec constance dans les moments de doute et
dincertitude.
Je remercie Mr M.S. BELKAID professeur l'UMMTO, de l'honneur qu'il me fait d'avoir accept de
prsider le jury de ce mmoire.
Je remercie vivement Mr.A.KHELOUFI, maitre de recherche lUDTS, Mr. M. LAGHROUCHE, matre de
confrence lUMMTO, Mr K. BENNAMANE, Matre de confrence l'UMMTO, d'avoir accept dvaluer et
de critiquer ce travail en participant au jury.
Je souhaiterais galement remercier toutes le personnel de lUDTS, en particulier Mme MAHIOU, la
chimiste de lquipe pour sa gentillesse, sa disponibilit et pour son aide dans la ralisation des attaques
chimiques. Ainsi que Mr Meziani et MrZaouche pour leurs aides et leurs soutiens durant tout mon sjour
lUDTS.
Jadresse mes remerciements et ma reconnaissance Mr Daniel Avignant, et Mr Rachid MAHIOU du
LMI (Laboratoire des Matriaux Inorganiques) lUniversit Blaise Pascal
en France pour les analyses DRX. Ainsi que Mme BELAROUSSI responsable de la division de caractrisation
pour les observations MEB au CDTA, et Mr KHEIREDDINE ; responsable de la technique de caractrisation
DRX au CDTA.
Je prsente galement mes remerciements Mr DJADDOUN responsable du laboratoire de
cristallographie au dpartement de gologie lUSTHB, pour la caractrisation DRX.
Finalement, je remercie chaleureusement tous mes proches : mes trs chres parents, mes surs et frres,
ainsi que tous mes amis qui ont toujours t l pour me soutenir et mencourager durant mes tudes.
Sommaire
Rfrences .............................................................................................................................. 96
Annexe : calcul de la distance interreticulaire ......................................................................... 100
Motivations
Les motivations de ce travail sont dictes par des considrations purement
pratiques donc exprimentales. En effet, trs souvent au sein de nos laboratoires de
recherche, des instruments danalyse aussi important que le MEB (Microscope
lectronique Balayage) et la DRX (Diffraction de Rayons X)tombent souvent en panne
et restent indisponibles pour de longues priodes.
Pour cela, nous avons pens dvelopper une mthode qui permettra didentifier
lorientation cristallographique des grains de silicium multicristallin uniquement en
utilisant une rvlation chimique et une observation au MEB, sans recourir la mthode
DRX.
Nous comptons donc crer une base de donnes qui fait correspondre chaque
morphologie de la surface traite chimiquement une orientation cristallographique.
Introduction
Introduction :
La conversion directe de lnergie solaire en nergie lectrique laide de photopiles au
silicium fait actuellement lobjet dintenses recherches tant pour dfinir les procds de
fabrication des cellules que pour laborer un matriau de cot rduit.
Lun des axes de rduction du cot a t fait par le choix du dveloppement de la filire
multicristalline. Cependant, la qualit de ce matriau est moins bonne que celle du monocristallin
cause de la prsence des joints de grains qui introduisent des zones fortes recombinaisons.
Ces joints de grains sont constitus par des surfaces adjacentes de grains dorientations
cristallographiques diffrentes.
Afin de limiter les effets nfastes de ces joints de grains, on privilgiera les techniques de
croissance qui assurent la formation dune structure colonnaire avec de gros cristaux. Une de ces
mthodes qui s'est avre jusqu' prsent tre la plus efficace consiste procder une
solidification directionnelle qui permet de cristalliser une charge de silicium dans un creuset avec
un gradient de temprature axial contrl.
Les caractristiques lectriques, chimiques et cristallographiques du matriau
multicristallin ainsi obtenu, dont la composition et laspect cristallin varient dans le volume
mme du lingot, doivent tre connues avant de procder la fabrication des cellules solaires. Il a
t montr que le rendement photovoltaque dpendait des zones de cristallinits du lingot. Il
est donc intressant de vrifier, sil existe dans un tel matriau, des orientations de croissance
cristalline privilgies.
Dans cet objectif, ce prsent mmoiredcrit les mthodes misesen ouvre pour dterminer
les proprits cristallographiques des grains dune plaquette de silicium multicristallin.
Pour cela, ce travail pratique pour but de mettre une nouvelle mthode la disposition de
lexprimentateur qui par une simple observation de la morphologie de la surface lui permettra
de se renseigner sur lorientation cristallographique des grains dune plaquette de Silicium
multicristallin.
-1-
de la surface obtenue par MEB aprs traitement chimique, devrait donner un nouvel lan la
technique, mais avec un trs faible cot et un principe dutilisation trs facile mettre en uvre.
Nous rappellerons dans le premier chapitre les diffrents types du silicium et les tapes
suivre pour obtenir du silicium de qualit lectronique, puis nous prsentons les proprits
physiques et optiques du silicium, ainsi que les diffrentes mthodes de son laboration, et enfin
nous allons prsenter les techniques de caractrisation qui seront utilises au cours de notre
travail.
Le deuxime chapitre est divis en deux grandes parties, la premire partie est consacre
la prsentation des diffrentes mthodes chimique et mcanique de texturisation du silicium
multicristallin, alors que la deuxime partie de ce chapitre sera consacre donner les diffrents
mcanismes de formation du silicium poreux, ainsi que les principales mthodes de son
laboration.
Le troisime chapitre tant le plus important car il prsente la partie exprimentale de
notre travail, il est divis en deux parties essentielles. La premire dcrit toutes les tapes de la
procdure que nous allons suivre pour effectuer les attaques chimiques, la seconde, donnera les
rsultats de la caractrisation MEB et DRX. Et cest dans ce mme chapitre que sont exposs les
rsultats exprimentaux ainsi que les analyses et les interprtations de ces derniers.
Une conclusion gnrale rappelle les rsultats originaux et les principaux apports de cette
tude.
-2-
Chapitre :
ChapitreI
Silicium : structures, et techniques dlaboration
Chapitre I : Silicium : structures, et techniques dlaboration
1. Introduction :
Dans le cas dun rseau tridimensionnel, la maille est un paralllpipde construit sur
huit nuds cest dire sur trois vecteurs. Elle est dfinie par les longueurs des vecteurs, et les
angles entre eux , et , figure (I-1).
b
a
-3-
Chapitre I : Silicium : structures, et techniques dlaboration
Le choix des vecteurs peut se faire de plusieursfaon, mais souvent on considre ceux
qui engendrent la maille la plus petite qui, par des translations, dcrit tout le rseau. Si le
motif est une particule (atome, ion ou molcule), on obtient un rseau cristallin. Par
consquent, un solide cristallin est un rseau dont la structure microscopique est caractrise
par un arrangement ordonn et priodique des particules dans lespace.
Plans rticulaires :
Un plan rticulaire est un plan passant par trois nuds non colinaires du rseau. Une
famille de plans rticulaires est un ensemble de plans parallles et quidistants qui passent par
tous les nuds du rseau. Elle est note (hkl) o h, k et l sont des entiers relatifs, premiers
entre eux, dits indices de Miller. Ces indices sont ceux du plan de la famille le plus proche de
lorigine, qui coupe les axes ox, oy et oz respectivement en p=a/h, q=b/k et r=c/l (figure I-2).
x x x
(110) (111)
y y y
(011)
z z
z
-4-
Chapitre I : Silicium : structures, et techniques dlaboration
Le silicium monocristallin est constitu dun seul grain monocristallin,ce qui prsente
deux principaux avantages : labsence des joints de grains qui permet dviter la
recombinaison des porteurs et la prsence dune seule orientation cristallographique. Il
correspond la structure idale de ce cristal. Les atomes sont arrangs de faon priodique
dans la structure diamant avec une distance interatomique d=2.35A. Le gap de ce matriau
est indirect, il est de lordre de 1.12 eV la temprature ambiante.La figure (I-4) reprsente
un lingot du silicium monocristallin.
Le silicium monocristallin est une matire premire d'une trs grande puret. Il est
gnralement obtenu par tirage selon le procd de Czochralski ou par fusion de zone.
-5-
Chapitre I : Silicium : structures, et techniques dlaboration
b) Le silicium multicristallin :
Le silicium multicristallin est moins performant que le silicium monocristallin, mais
beaucoup moins cher. Il a t introduit dans lindustrie photovoltaque partir des annes
1970, il se prsente sous forme de lingots. Ce dernier tant dune structure colonnaire est
constitu de la juxtaposition de plusieurs grains, figure(I-5), diffrents par leur taille qui
varient entre le millimtre et quelques centimtres et surtout par leur orientation
cristallographique. Les monocristaux sont spars les uns des autres par des zones perturbes
appeles joints de grains.
La mthode utilise dans son laboration est la solidification directionnelle qui assure
la formation dune structure colonnaire avec de gros cristaux, qui limitent les effets nfastes
des joints de grains.
La figure I-5, montre les diffrents grains disponibles dans une plaquette du silicium
multicristallin fabrique lUDTS.
4. laboration du silicium :
La technologie microlectronique met en uvre un grand nombre dtapes
lmentaires ncessaire la fabrication dun lingot du silicium. Ces tapes permettent de
faire voluer la matire premire depuis son tat naturel et dsordonn (le sable) vers une
structure de grande complexit et la mieux ordonne possible.
Les principales tapes qui seront abordes sont :
1. La purification du silicium ;
2. La fabrication des plaquettes du silicium.
-6-
Chapitre I : Silicium : structures, et techniques dlaboration
Le silicium est obtenu par rduction de la silice dans un four lectrique qui contient un
mlange de coke et du sable riche en silice ce qui fournit le matriau dit mtallurgique [3].
Pour cela les ractions chimiques sont les suivantes [2]:
SiO 2C Si 2CO
SiO 3C SiC 2CO
SiO 2SiC 3Si 2CO
b) La purification du silicium :
Pour mieux purifier le silicium obtenu, on le traite avec du Hcl anhydre (sans eau) vers
250C pour obtenir un compos gazeux plus facile purifier : Trichlorosilane SiHCl3. Aprs
une distillation fractionne, ce dernier est rduit par H2 vers 1000C pour former du silicium
polycristallin en lingot.
Les ractions sont les suivantes [2]:
-7-
Chapitre I : Silicium : structures, et techniques dlaboration
Rduction 2000C
Trichlorosilane SiHCl3,
Silane SiH4
Silicium polycristallin
Dchets
Lingot Silicium
Lingot de silicium monocristallin
multicristallin
Sciage
Sciage
Polissage, nettoyage
Plaquettes de Si Plaquettes de Si
multicristallin monocristallin
Figure I-6 : Diagramme reprsentant les tapes de fabrication des siliciums monocristallin et
multicristallin[3].
-8-
Chapitre I : Silicium : structures, et techniques dlaboration
Silicium monocristallin
Creuset en Quartz
Cylindre disolation
Rsistance en graphite
Creuset en graphite
Support de creuset en graphite
lectrode en graphite
-a-. -b-
-9-
Chapitre I : Silicium : structures, et techniques dlaboration
Le principe de base de cette technique est simple, il peut tre dcrit selon les tapes
suivantes [6]:
a. Lalliage fondu est mont une temprature un peu suprieure la temprature de
fusion.
b. Le germe anim dune faible vitesse de rotation, est amen lentement en contact avec
la surface fondu. Si la temprature de fusion est sa valeur optimale, le germe
commence fondre, il reste ainsi en contact avec lalliage fondu.
c. Aprs un instant (1 3mn), ltirage commence vitesse rduite. Le nouveau cristal
doit croitre avec le diamtre du germe.
d. La vitesse de croissance et la vitesse de rotation doivent augmenter jusqu leur valeur
finale.
e. La temprature de lalliage fondu diminue lentement et le diamtre du cristal
augmente. A un point dtermin exprimentalement, la temprature de lalliage fondu
est stabilise et aprs un court instant, le cristal doit atteindre son diamtre final.
f. La croissance un diamtre constant est maintenue jusqu la longueur dsire.
g. La croissance est termine et le systme est refroidi lentement.
Pour la croissance de certains matriaux qui doivent tre obtenus en grand diamtre,
unemthodeCzochralski modifie a t mise au point, c'est la mthode Kyropoulos [4]. Le
concept de baseest le mme que pour le Czochralski mais aprs dmarrage de la croissance, la
translation est stoppeet le contrle de la croissance est ralis par une diminution de la
puissance du gnrateur haute frquence.
b) La mthode Bridgman :
Le principe de cette technique consiste faire abaisser lentement un bain fondu dans
un gradient de temprature, en faisant passer le bain de l'tat liquide l'tat solide. l'origine
la mthode Bridgman consistait raliser une croissance sous tubes horizontaux (mthode
fusion de zone). L'appellation Bridgman a t donne la croissance en creusets verticaux.
Cette mthode a t dveloppe essentiellement pour la croissance des semi-conducteurs,
mais a galement trouv de nombreuses applications pour les cristaux d'halognures alcalins
et de fluorures [6].
- 10 -
Chapitre I : Silicium : structures, et techniques dlaboration
Creuset
Zone chaude :
Bain fondu fusion
T(C)
Tf
Mcanisme de translation du
creuset
La solidification directionnelle est une mthode qui consiste faire crotre un lingot de
silicium multicristallin avec des grains colonnaires, cest dire une croissance des
monocristaux du bas vers le haut du lingot. Ceci est bas sur la cration dun gradient de
temprature lintrieur dun four o se trouve un creuset qui contient un bain de feedstock
(silicium polycristallin + chutes de silicium monocristallin).
- 11 -
Chapitre I : Silicium : structures, et techniques dlaboration
En Algrie, le silicium multicristallin est mis au point par lUDTS (Unit de Dveloppement
de la Technologie du Silicium) par le procd HEM (figure I-9).
Le four HEM (figure I-10) est compos dune grande enceinte lintrieur de la quelle
se trouvent des rsistances chauffante en graphite, cette enceinte est couverte lintrieur
dune couche isolante en graphite. Lenceinte est compose dun porte creuset qui peut
effectuer un dplacement vers le bas.
Le creuset en silice repose sur un bloc en graphite appel Hex( Heatexchanger) qui se
dplace verticalement pendant le cycle de croissance du lingot. Un systme de pompage
permet dobtenir une certaine pression de lordre de 10-2 (vide primaire) lintrieur de
lenceinte pendant le chauffage et assurent une pression contrle pendant la suite du process.
Le four est li un systme de refroidissement et de contrle de la temprature et de pression.
Pour pouvoir contrler les diffrentes tapes de la croissance, tout le dispositif est reli un
systme de contrle automatique.
- 12 -
Chapitre I : Silicium : structures, et techniques dlaboration
Systme de
refroidissement
Enceinte Argon
Rsistance en
graphite
Creuset
Plaque
isolante
Systme
de
pompage
Systme de
contrle
- 13 -
Chapitre I : Silicium : structures, et techniques dlaboration
Chaque source de chaleur fait subir une solidification directionnelle une longueur
prdtermine du conducteur . Au fur et mesure que llment se dplace lentement,
prfrablement sous contrle dun ordinateur, ces zones de microstructures orientes
deviennent de plus en plus longues jusqu ce quelles se rejoignent.
Ainsi, la vitesse moyenne de production se trouve multiplie par un coefficient sensiblement
identique au nombre de sources de chaleur.
- 14 -
Chapitre I : Silicium : structures, et techniques dlaboration
Figure I-11 : obtention dune plaquette de silicium partir dun sciage du lingot [5].
Le lingot est coup en briquettes laide dun fil dune scie diamante, comme cest
prsent sur la figure I-11-b. Les bouts de ces dernires sont limins par des scies annulaires
(scie ID ou InnerDiameter). Chaque briquette est localise par sa position dans le lingot ; cette
position dfinit la qualit de la briquette correspondante. Celles du cur sont de qualit
meilleure parce que la concentration des impurets dans cette zone du lingot est faible.
En phase finale, les briquettes seront scies en plaquettes (wafers) dpaisseur 0.2
0.35 mm grce une scie diamante diamtre intrieur, qui a la particularit de provoquer
le minimum de casse. Le lingot scier est coll par son mplat primaire sur une barre afin de
maintenir les plaquettes lors du sciage. On utilise aussi dautres types de scies fil
- 15 -
Chapitre I : Silicium : structures, et techniques dlaboration
diamant(figureI-12). Quelques plaquettes sont enleves du lot pour subir des testes et des
mesures, savoir, le diamtre, la planit et lpaisseur [10].
Brique de silicium
Bobines mettrice
de fil neuf et rceptrice
du fil us Nappe de fil
Guides fil
Pour remdier aux dommages causs par le sciage, les plaquettes de Si-mc sont traites
par de la soude NaOH puis rinces dans de leau dsionise, puis dans lacide sulfurique
H2SO4 pour neutraliser la soude et de nouveau rinces dans de leau[11].
Il est noter que les vitesses dattaque sont diffrentes suivant lorientation
cristallographique des grains du silicium multicristallin.
La figure I-13 prsente le procd de disparition des microfissures causes par labrasif
lors du sciage. Ces plaquettes de Si-mc sont plonges dans une solution de soude 2%
chauffe 85C [12].
- 16 -
Chapitre I : Silicium : structures, et techniques dlaboration
10 s 20 s
30 s 45 s
1 130
2 4
Figure I-13 : Images MEB des surfaces attaques par NaOH et leur temps dimmersion [12].
Une bonne texturisation est aussi donne par un double traitement NaOH. La premire
tape consiste enlever les dommages causs par le sciage et la deuxime sert donner une
bonne texturisation de la surface [13].
- 17 -
Chapitre I : Silicium : structures, et techniques dlaboration
La rflectivit :
Pour une incidence quasi normale sur une surface de sparation entre deux milieux 1
et 2 dindice de rfraction n1 et n2, le coefficient de rflexion, ou de lintensit lumineuse
rflchie, est donn par la formule [7]:
2
n n
R = 2 1 quation I-1
n2 + n1
Pour une interface silicium (n2=3.9)/ air (n1=1), R est de lordre de 35%.
R2I
I RI
TI
Figure I-14 : Schma comparatif des phnomnes de rflexion sur surface plane et texture. I est
lintensit lumineuse incidente, R est le coefficient de rflexion T celui de transmission [14].
- 18 -
Chapitre I : Silicium : structures, et techniques dlaboration
Figure I-15 : Structure obtenue par texturisation NaOH des grains dorientations (100), image
UDTS.
Donc pour ce qui concernele silicium multicristallin, on estime que 20% seulementde
la surface est constitue par des grains ayantcette orientation cristallographique, ce qui
entrane uneefficacit moindre du traitement vis vis de la rflectivitoptique. Cette mthode
nest donc entirement efficaceque dans le cas particulier du silicium monocristallin avecune
orientation cristallographique (100).
- 19 -
Chapitre I : Silicium : structures, et techniques dlaboration
Pour remdier cet inconvnient, ils existent plusieurs mthodes qui permettent
datteindre cersultat et conduisent une texturisation uniforme de lasurface en rvlant des
plans cristallographiques biendfinis. On peut citer des mthodes comme la texturisation
acide, la gravuremcanique, la gravure laser, la photolithographie, le masquage, etc (objet
dtude du chapitre suivant). Mais leur mise en uvre est complexeet coteuse.
8. Techniques de caractrisations :
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Chapitre I : Silicium : structures, et techniques dlaboration
Si nous envoyons une radiation de longueur donde sur un rseau cristallin et si nous
dtectons une rflexion langle 2, lquation nous permet de dterminer la distance
interrticulaire d et donc la famille de plans qui diffractent [17].
2
d
a) Principe de fonctionnement :
b) Appareillage de la DRX :
C'est le montage le plus courant (figure I-17). Le faisceau qui sort du tube de rayons X
est divergent sur lchantillon et du fait de la gomtrie, il converge sur le dtecteur. Des
accessoires sont placs diffrents niveau du faisceau afin de limiter la divergence
horizontale.
L'chantillon peut tre une plaquette solide ou une poudre. Afin de respecter la
gomtrie de Bragg-Brentano, la hauteur de lchantillon est dfinie et doit tre respecte.
Il existe diffrents porte-chantillons qui sont installs sur un spinner (figure I-
18)qui permet de faire tourner lchantillon sur lui-mme [19].
- 21 -
Chapitre I : Silicium : structures, et techniques dlaboration
Dtecteur
Monochromateur
Source
chantillon
Cercle
goniomtrique
Chaque type de rayonnement est exploitable pour connatre la nature dun matriau, le
MEB utilise ces trois types dmission, lmission des rayons X et lmission dlectrons
secondaires et rtrodiffuss.
- 22 -
Chapitre I : Silicium : structures, et techniques dlaboration
b) Principe de fonctionnement :
La surface de lchantillon analyser est balayepoint par pointpar un faisceau
dlectrons, les lectrons qui irradient la surface de lchantillon pntrent profondment dans
le matriau et constitue un volume dinteraction dit poire de diffusion.
Le volume de cette poire dpend du matriau analyser (numro atomique) et de
lnergie des lectrons incidents, la profondeur totale de la poire et de lordre de 0,2m et la
largeur maximale est de lordre de 0,1m [21].
Dans ce volume dinteraction, des lectrons du faisceau vont perdre leurs nergies par
collisions multiples avec les atomes du matriau donnant ainsi naissance diverses missions
de particules, lectrons secondaires, lectrons rtrodiffuss, lectrons transmis, mission de
rayons X (comme le reprsente la figure I-20)[21].
lectrons rtrodiffuss
mission X
lectrons secondaires
chantillon
lectrons transmis
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Chapitre I : Silicium : structures, et techniques dlaboration
9. Conclusion :
Dans ce chapitre, nous avons prsent en premier lieu les diffrents types du silicium
et les tapes suivre pour obtenir un silicium de qualit lectronique ou photovoltaque,
Nous avons aussi prsent les techniques dlaboration du silicium mono et multicristallin. En
deuxime partie, nous avons dcrit les mthodes de caractrisation qui seront utilises au
cours de notre tude.
Dans ce chapitre, nous avons introduit une tude brve des techniques de rduction de
la rflectance, que nous dtaillerons dans le chapitre suivant, dans lequel nous allons citer les
diffrentes mthodes de texturisation chimique et mcanique du silicium multicristallin, et les
mthodes de formation du silicium poreux.
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Chapitre II :
1. Introduction :
Lattaque anisotrope seffectue dans un milieu alcalin, les solutions les plus utilises sont les
solutions aqueuses dhydroxyde de potassium (KOH)ou dhydroxyde de sodium (NaOH). Ces
solutions sont couramment employes dans deux oprations technologiques : le polissage de
plaquettes brutes de sciage et la texturisation de la surface qui donne des pyramides pour
lorientation (100). Cette attaque est slective en ce qui concerne les plans cristallographiques
[2], et la vitesse dattaque chimique diffre dune orientation cristallographique une autre, la
vitesse dattaque (v) dcroit dans lordre suivant : v(100), v(110), v(111) [1].
- 25 -
Chapitre II : Traitement chimique de la surface du silicium multicristallin
Une analyse MEB de la surface texturis par laser, rvle des rsidus du silicium
quon peut bien observer sur la figure II-1. Ces rsidus du silicium solidifi sont dus
linteraction du faisceau du laser avec la surface traite. Le principe est le suivant :
labsorption du laser par la matire (silicium) provoque lchauffement de ce dernier, ce qui
peut causer une fondation partielle de la surface du silicium, une absorption suffisamment
lev du laser par la matire provoque lvaporation de la couche fondue.Daprs ce
processus, la baisse de la pression du silicium vapor et la formation du plasma, permet
ljection dune partie du liquide form, ce qui en rsulte de cette jection violente de la
matire fondue la formation et la dposition des gouttelettes du silicium liquide solidifi
lintrieur et lextrieur des rainures [5] ; ce qui est montr sur la figure II-1.
- 26 -
Chapitre II : Traitement chimique de la surface du silicium multicristallin
Figure II-1 : Images MEB dune texturisation par laser qui correspond des
rainures parallles produites avec une vitesse de balayage du faisceau de
laser gale 20 mm/s et un espacement de 0.09 mm [5].
La texturisation par laser, est suivie dun dcapage chimique. Cette tape est
indispensable, car elle permet llimination de la couche dfectueuse de la surface, ce qui
donne de meilleurs rsultats avec une surface rgulire et lisse.
Aprs dcapage, on peut avoir langle entre les rainures qui augmente et qui permet la
formation de ce que on appelle V- grooves(ou bien des rainures en forme de V), cest ce qui
est montr sur lafigure II-2. Avec ces images MEB, on peut observer des zones avec des
formes rgulires qui se forment indpendamment de lorientation cristallographique du
substrat.
Figure II-2 : Images MEB dune texturisation par laser qui correspond des rainures parallles
produites avec une vitesse de balayage du faisceau de laser gale 20 mm/s et un espacement de
0.09 mm, aprs limination de 80 m de la couche dfectueuse [5].
- 27 -
Chapitre II : Traitement chimique de la surface du silicium multicristallin
Aprs les deux tapes de texturisation par laser et le dcapage de la surface, une
structure uniforme et rgulire peut tre obtenue, ce qui est montr sur la figure II-2, cette
structure uniforme permet damliorer lefficacit de conversion de la cellule solaire base
du silicium multicristallin.
3.1.3. Texturisation par gravure ionique ractive RIE (Ractive Ion Etching):
Un racteur de RIE (Figure II-3), comprend une enceinte basse pression quipe d'un
systme d'introduction de gaz avec le contrle de dbit, et d'un dispositif de gnration du
plasma. Dans la chambre de RIE, le plasma est excit par une dcharge lectrique entre 2
lectrodes asymtriques : l'une est couple, via une capacit, un gnrateur de radio-
frquence (RF), l'autre est constitue par la paroi de l'enceinte qui est relie la masse.
lectrode de
puissance
Entre
des gaz
Capacit
Gaine du Cur du plasma
plasma
Gnrateur
RF de frquence
Substrat
Sortie
des gaz
lectrode
relie la masse
Pour la technique dela gravure ionique ractive (ou RIE pour "Reactive Ion Etching"),
l'chantillon est bombard par un plasma qui ragit en surface pour former un compos volatil
avec les atomes arrachs. Les paramtres du racteur sontmodifis, afin de sadapter la
gravure profonde de plaquettes de silicium. Ainsi, le gaz l'origine du plasma est du SF6 dont
la raction avec le silicium produit du SiF4 qui est vacu par pompage[6].
En rsum, le principe de base de la texturisation par RIE est de mettre en contact les
plaquettes de silicium avec le plasma ions hautement ractif, afin de produire sous certaines
conditions la gravure des chantillons.
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Chapitre II : Traitement chimique de la surface du silicium multicristallin
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Chapitre II : Traitement chimique de la surface du silicium multicristallin
Le rayonnement Ray1 arrivant sur le cot dune pyramide permettant une premire
absorption, le (i) sur la figure II-5, et il sera rflchis sur le cot dune pyramide adjacente
permettant une deuxime absorption, cest le (ii) sur la figureII-5. Cest cette double incidence
et double absorption qui permet de rduire la reflectance et ainsi daccroitre le rendement de
la cellule.
La probabilit pour laquelle il pourrait y avoir une double ou une triple absorption dun
rayonnement incident, dpend de langle entre le cot de la pyramide et le plan de la surface,
cest langle sur la figure [7].
Un angle > 45 assure une double absorption, comme cest le cas des pyramides de
lorientation (100).
Pour un angle < 45, peu de rayonnement qui pourronttre absorb une deuxime fois.
Comme cest le cas des pyramides inclines donnes par lorientation(311) aprs texturisation
avec du NaOH faiblement concentr.
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Chapitre II : Traitement chimique de la surface du silicium multicristallin
Jusqu un angle infrieur 30, aucun rayonnement ne soit absorber une deuxime fois,
cest le cas du rayonnement Ray 2 de la figure II-5. Dans ce cas, le degr de la rflectance
sera quivalent celle dune surface polie non texturise.
La figure II-6, montre des images MEB dune surface du silicium multicristallin traite
(dcape) isotropiquement avec la solution acide dcrite prcdemment.
La structure de la surface qui rsulte aprs texturisation par la solution acide et qui est
donne par limage MEB de la figure II- 6, prsente une morphologie qui contient des trous
avec une taille de diamtre qui varie entre 1 10 m. des trous qui sont uniformment
distribus au long de la surface sans tenir compte de lorientation cristallographique des
grains [8].
- 31 -
Chapitre II : Traitement chimique de la surface du silicium multicristallin
-a- -b-
Figure II-6: image MEB dune texturisation acide isotrope de la surface Si-mc.
a- vue sous un angle donn, b -vue de dessus [8].
Lacide utilis pour le dcapage chimique isotropique est similaire celui utilis dans la
technique stainetching pour la formation du silicium poreux [9].
Dans ce cas, la micro-texturisation est effectue sur une surface prtexturise la soude.
Lassociation de la micro-texturisation la texturisation alcaline parat tre prometteuse avec
une rflectivit effective de 15% pour une surface en Si multicristallin, compare une
rflectivit de 30% pour la mme surface aprs simple traitement NaOH [10].
- 32 -
Chapitre II : Traitement chimique de la surface du silicium multicristallin
4.1. La porosit
La porosit est dfinie comme la fraction volumique de lespace vide dans une couche
poreuse:
0
quation II-1
0
O V0 est le volume total occup par la couche poreuse et Vsi le volume de silicium qui reste
dans cette couche. La plage de porosits techniquement accessibles se trouve entre 30 % et
90 %.
Une des mthodes dvaluation de la porosit est la mthode gravimtrique. Si m1 est
le poids de lchantillon avant la porosification, m2 son poids aprs la porosification, et m3 le
poids du substrat aprs enlvement de la couche poreuse, on obtient alors [12] :
1 2
quation II-2
1 3
- 33 -
Chapitre II : Traitement chimique de la surface du silicium multicristallin
comportecomme une anode (elle est relie au ple positif de l'alimentation). Sa face avant est
expose la solution lectrolytique qui est maintenue un potentiel lectrique ngatif par
rapport la face arrire.
Les ions en solution sont majoritairement H+ et F-. Sans l'apport d'un courant
lectrique, le silicium ne se dissout pas, ou trs peu, dans le HF car une couche de passivation
par hydrogne est immdiatement cre sur la surface (liaisons Si-H).La dissolution du
silicium n'est possible que si le courant dlivre des trous issus du matriau l'interface: C'est
la raction d'anodisation.
En effet, au contact de la solution, les atomes de silicium de l'extrme surface ont cr
des liaisons Si-H. Un apport de trous sur la surface dtruit ces liaisons Si-H et favorise la
formation de liaisons Si-F (Figure II-7).
-
F H2
Interface H H F F
Si Si
Si Si Si Si
Une fois que la couche de passivation par hydrogne a t complment limine, les
ions fluors peuvent attaquer directement les liaisons Si-Si, librant ainsi des atomes de
silicium de la matrice sous forme gazeuse (Figure II-8).
F F
F F
- + 2HF
F SiF62- + 2H+
+ Si
Si H
F F
Si Si
H H H
Si Si Si
Figure II-8 : Mcanisme d'attaque des liaisons Si-Si par HF et libration des atomes de
silicium sous forme gazeuse [13].
- 34 -
Chapitre II : Traitement chimique de la surface du silicium multicristallin
Les proprits des couches de silicium poreux comme la porosit, le diamtre des
pores, lamorphologie et l'paisseur des couches, sont fortement dpendantes des
conditionsd'anodisation suivantes :
Le principe de cette mthode repose sur la dposition dune couche mince mtallique
(20nm) sur une plaquette de silicium avant son immersion dans une solution dacide
fluorhydrique et un agent oxydant. Des couches de silicium poreux avec diffrentes proprits
morphologiques et optiques peuvent tre labores. Cette formation se produit sans
application dune tension de polarisation.
Le dcapage chimique peut tre considr comme un processus lectrochimique
localis, le mtal dpos agissant comme une cathode locale et il sinterpose la rduction de
lagent oxydant, do linjection des trous dans le silicium. Des sites microscopiques danode
locale (Si) et de cathode locale (mtal) se forment sur la surface dcape. Le courant circule
entre lanode et la cathode locale durant lattaque chimique formant ainsi une cellule locale.
Exemple : le mcanisme dattaque dans le cas de lutilisation du H2O2 comme agent oxydant
et le platine comme dpt mtallique est le suivant [15, 16]:
Cathode (Pt):
H O 2H 2H O 2h
2H H 2h
Anode (Si):
Si 4h 4HF 4SiF 4H
SiF 2HF H SiF
La raction complte :
- 35 -
Chapitre II : Traitement chimique de la surface du silicium multicristallin
H2O2
H2O
Pt Pt
+ +
h Si h
Figure II-9: Illustration schmatique de la rduction de H2O2 sur les nanolectrodes de platine
(Pt) en injectant des trous dans le substrat de silicium pour initier le dcapage chimique [14].
La mthode photochimique est une mthode qui ne ncessite pas une polarisation de
lchantillon pour la formation des couches poreuses. Cette mthode a t beaucoup moins
tudie en raison de la non reproductibilit des rsultats. Elle a t amliore par lutilisation
du peroxyde dhydrogne (H2O2) comme agent oxydant par Yamamoto et al [17]. Dans ce
cas, la formation des couches poreuses devient fiable et reproductible.
- 36 -
Chapitre II : Traitement chimique de la surface du silicium multicristallin
trou
lectron
(2)
2H2O (5)
2H2O2 4H2O
(3)
SiO2
4H +
4.2.4. Le stainetching :
1. Principe du stainetching :
Mis part la technique lectrochimique et les autres mthodes, le SiP peut tre aussi
form par une simple et pure dissolution chimique du silicium dans une solution dacide
fluorhydrique HF et dacide nitrique HNO3 [19], sans lintervention dun courant lectrique
et sans lassistance dun mtal. Des tudes faites sur le SiP form par stainetching rvlent
lexistence dune large varit de la morphologie de la surface qui peut dpendre du dopage
du substrat [20].
Des films de silicium poreux sont produis par une immersion dune plaquette du Si
dans une solution HF/HNO3/H2O. La dissolution chimique peut tre effectue dans une
bcher en tflon une temprature ambiante. Durant la raction, un dgagement du gaz sur la
surface du silicium et un changement de la couleur de la surface du silicium est aussi observ
[18], do le nom stainetching qui signifie un dcapage avec coloration. La dissolution
chimique produit des structures similaires celles obtenues par anodisation. La similarit
entre le silicium poreux obtenu par anodisation et par stainetching, nous conduit conclure
que leurs processus de formation sont similaire [19, 21].
- 37 -
Chapitre II : Traitement chimique de la surface du silicium multicristallin
O n est le nombre moyen des trous ncessaires pour dissocier un atome de silicium.
Par ailleurs, la reproductibilit des chantillons forms par lattaque chimique est trs
difficile et le contrle du procd nest pas ais acqurir.
Pour le silicium de type P, gnralement, le diamtre des pores et lespace entre les
pores sont extrmement petit qui est de lordre de 1 5 nm avec une grande homognit de
lensemble des pores [25].
Pour le silicium de type N, le diamtre des pores et lespace moyen entre les pores
diminuent avec laugmentation de la concentration du dopage. Le diamtre des pores du Si de
type N est plus large que celui des pores du Si de type P. Et il y a une forte tendance ce quil
se forme des canaux droits pour un faible dopage du silicium [26].
- 38 -
Chapitre II : Traitement chimique de la surface du silicium multicristallin
Porte chantillon
chantillon
(silicium)
Les proprits optiques du SiP obtenu par stainetching dpendent fortement des
paramtres du processus de dcapage, savoir : la solution chimique, la dure et la
temprature du traitement chimique. Dans le cas du dcapage chimique ou stainetching , il
est difficile de sparer leffet de composition chimique de la solution et la dure du processus
de traitement chimique [28]. savoir que la concentration de lacide nitrique dans la solution
chimique affecte la porosit du SiP et son taux de formation [28].
- 39 -
Chapitre II : Traitement chimique de la surface du silicium multicristallin
Figure II-12 : Courbe de la rflectance des couches du SiPresultant des conditions diffrentes de trois
prparations donnes par les paramtres Ct, aves t une constante [28].
Daprs la figure II-12, on peut constater que plus C augmente, plus on a la valeur de
la rflectance qui augmente, comme on peut remarquer que la valeur minimum de cette
rflectance est presque la mme quelque soit la variation de C. alors que daprs la figure II-
13, on la valeur de la rflectance qui augmente avec un temps t qui diminue, et on a la
variation de lemplacement du minimum de cette rflectance qui vari avec la variation de la
dure de dcapage t.
- 40 -
Chapitre II : Traitement chimique de la surface du silicium multicristallin
Figure II-13 : Courbe de la rflectance des couches du SiPresultant des conditions diffrentes de trois
prparations donnes par les paramtres Ct, aves C une constante [28].
Pour cela, cette partie est consacre pour ltude de la rflectance en fonction de la
concentration de lHF et du HNO3 de la solution de dcapage. La figure II-14 montre la
rflectance de la surface pour diffrentes couches du SiP pour des solutions avec des
concentrations dacide nitrique variable. La rflectance est mesure pour une gamme de
longueur donde entre 300 1200nm. La figure II-15 montre les rsultats de la mesure de la
rflectance en fonction de la concentration de lHF dans la solution HF/HNO3.
- 41 -
Chapitre II : Traitement chimique de la surface du silicium multicristallin
Figure II-14: La rflectance totale pour les couches du silicium poreux dcap
par une solution avec des concentrations variables de lacide nitrique [8].
Daprs les figures II-14, une concentration leve de lacide nitrique provoque
laugmentation de la rflectance de la couche du SiP form par la solution qui contient 5
portions du H2O et une portion de HF[8]. La rflectance minimum tend de changer envers de
petites longueurs donde avec laugmentation de la concentration de lacide nitrique. Pour un
mlange de H2O/HNO3/HF avec les proportions 5/3/1, la valeur de la rflectance est
minimum 550 nm avec une valeur de 10%.
Figure II-15: La rflectance totale pour les couches du silicium poreux dcap
par une solution avec des concentrations variables de lacide fluorhydrique [8].
- 42 -
Chapitre II : Traitement chimique de la surface du silicium multicristallin
Ainsi, la solution base sur lacide fluorhydrique est utilise pour accomplir
rapidement et uniformment une couche du SiP. Pour 0,5% de HNO3de la solution (c--
d1proportion du HNO3, 200 proportions du HF) pour obtenir le SiP,leHNO3est utilis pour
mieux contrler la porosit pendant que la ralisation des couches du SiP reste rapide et
uniforme par lutilisation de la concentration de lHF leve. Le rsultat de cette solution a
une reflectance similaire celle produite par la couche antireflectionSiNx, comme cest
montr sur la figure II-15 par la courbe nomme 2dip ~1% HNO3 [8].
En conclusion, on peut dire que lacide HF provoque beaucoup plus luniformit des
couches du SiPen une courte dure, et lacide nitrique fait contrler la porosit du film du
SiP.
5. Conclusion :
Nous avons vu que la morphologie finale de la surface traite par des solutions
chimiques est en relation directe avec lorientation cristallographique du matriau de silicium
utilis, ces solutions chimiques qui peuvent tres aussi utilises afin de rduire la rflectance
des cellules solaires. Dautres techniques non chimiques peuvent rduire aussi la rflexion de
faon trs efficace mais la mthode chimique reste la plus utilise car elle prsente un bon
compromis entre le cot et la facilit de ralisation, ainsi que lefficacit de ses rsultats.
- 43 -
Chapitre III :
1. Introduction :
-a- -b-
Diffraction de
Rayons X
Attaque chimique
avec 5
solutionschimiques
diffrentes. -c-
Comme montr sur la figure III-1, on notera la taille des grains qui est nettement
rvle par la dcoupe longitudinale. Les grains prsentent une longueur de quelques
centimtres (figure III-1.b), contrairement ceux de la (figure III-1.a) qui sont de quelques
millimtres seulement.
- 44 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
Avant tout traitement chimique, les plaquettes subissent un dgraissage selon les tapes
suivantes :
- Dans du TCE (trichlorothane) chauff jusqu lbullition
- Dans de lactone utilise froid
- Rinage abondant leau disionise
- Schage des plaquettes laide dun flux dazote.
Ltape du dgraissage est suivie dun polissage qui se fait selon les tapes suivantes :
- Dans du NaOH 30% chauff jusqu 80 durant 1min
- Un rinage abondant avec de leau dsionise
- Une neutralisation des plaquettes avec du HCl 50% (c.--d. enlever les Na+ qui
pourraient rester en surface).
- 45 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
Grain 1 45 Grain 2 45
Grain 3 45 Grain 4 45
Grain 5 45 Grain 6 45
Grain 7 45 Grain 8 45
- 46 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
Grain 9 45 Grain 10 45
Grain 11 45 Grain 12 45
Lanalyse MEB pour les 12 grains avant traitement chimique a t faite lUDTS.
Les images (photos) MEB ci-dessus correspondent chaque grain observ. On
remarque la morphologie de la surface qui change dun grain un autre, cette variation de la
morphologie peut tre explique par la variation de lorientation cristallographique de ces
grains.
A premire vue, on note aussi une similitude entre certains grains tels que les grains
n1 et 3, les grains n 9 et 12. Les traitements chimiques ultrieurs nous permettrons de
conclure sil sagit des mmes grains avec la mme orientation cristallographique.
- 47 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
- 48 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
5.2.Rsultats
Rsultats danalyse MEB aprs traitement chimique :
5.2.1. Rsultants dobservation MEB des chantillons avec la solution n1 (HF :
CH3COOH :HNO3 : 1 : 3 :3):
Les diffrents grains sont observs sous un angle de 45, avec un agrandissement de
1000 et sans mtallisation.
mtallisation
Grain n1 Grain n2
Grain n3 Grain n4
Grain n6
Grain n5
Grain n7 Grain n8
- 49 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
Daprs les images MEB pour les grains traits avec la solution n1 qui contient
lHF/CH3COOH/HNO3 avec les proportions 1/3/3. On peut dire quil sagit seulement dun
traitement de polissage, car lattaque avec cette solution donne des surfaces brillantes, lisses et
peu rugueuses, comme cest le cas des chantillons 1, 3, 7, 10 et 11.
On observe pour ces grains, une surface presque plane avec formation des crevasses
en surface non profondes. Par contre, pour les grains n4,5 et 6, on observe une perturbation
plus ou moins marque. Il y a formation de quelque
quelque macropores profonds avec une taille de
diamtre entre 10 40m et qui possdent des arrtes perpendiculaire la surface des
chantillons (cest le cas du grain n6).
- 50 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
Les diffrents grains sont observs sous un angle de 45, avec un agrandissement de
1000 et de 10000.
- 51 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
- 52 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
- 53 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
Aprs traitement des 12 grains avec la solution n2 qui se prsente en une double
attaque acide, nous avons obtenu les images qui sont reprsent ci-dessus.
Daprs ces rsultats, on observe avec lagrandissement 103 des surfaces plus ou moins
perturbes pour les diffrents grains. Une forte perturbation est marque pour les grains n1,
2, 7, 8, 9 et 10. Qui prsentent des macropores avec des arrtes perpendiculaire la surface.
On observe pour le grain n1 et 10 la formation de macropores avec un diamtre de lordre de
10 40m, et une profondeur qui varie entre 5 10m pour les grains n 7, 8 et 9.
Une certaine rugosit est aussi observe pour les grains n3, 4, 5 et 6. Mais qui reste faible par
rapport aux grains dcrits prcdemment. A la surface de ces grains, il existe quelque
macropores mais qui sont dune profondeur trs faible.
En fin, pour les grains n11 et 12, on remarque que la surface est faiblement perturbe avec
quelque zones qui nont pas ragit vis--vis de la solution dattaque chimique n2.
Avec lagrandissement 104, on observe une structure spongieuse de la surface pour tous les
grains traits, avec un degr de profondeur des pores variable, cest le cas par exemple du
grain n1 et 8. On peut dire qu 104, la distribution, la profondeur et la taille des pores est
plus ou moins uniforme. La structure mesoporeuse est rvle pour la totalit des grains et de
faon rptitive. La taille des msopores est de lordre de 1 2 m.
- 54 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
Les diffrents
ffrents grains sont observs sous un angle de 45, avec diffrents agrandissements de
100,1000, 3. 104, et de 7. 104.
Grain 5 : avec
ec une couche de mtallisation Grain 5 : avec une couche mtallisation
a- avec un agrandissement 102 b- avec un agrandissement 103
- 55 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
Grain 5 :c- avec une couche de mtallisation Grain 6 : d- avec une couche de mtallisation
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Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
Grain 11 : avec une couche de mtallisation Grain 11 : avec une couche de mtallisation
a- agrandissement 103 b- agrandissement 3.104
Daprs les images MEB, on peut dire que la solution attaque diffremment la surface
des 12 grains, en commenant par une attaque douce pour les grains n1, 2, 3, 4, 5, 6, 10 et
12.
La morphologie de ces grains est montre avec lagrandissement 103 pour les grains n1 et 5
et qui prsentent en surface quelque large crevasse. Avec lagrandissement 3.104, ces grains
prsentent une texture uniforme mais qui diffre dun grain un autre en parlant de la taille
des pores qui varie entre 0,05 pour le grain n2 et 3 0,3m pour les grains 4, 5 et 6.
Pour les grains n 7, 8 et 9, on observe une trs forte perturbation, en passant par une rugosit
moyenne pour le grain n11, On remarque que les macropores du grain n7 sont trs profonds
et dune forme oriente de gauche vers la droite, le diamtre de ces pores est dune taille qui
varie de 1 30m. pour le grain n8, les pores sont dune forme allong et sont orient
verticalement. Lensemble des macropores pour les grains n7, 8 et 9, donne une structure
sous forme dun nid dabeilles.
A faible grossissement (1000) la structure en surface est plane sans aucune asprit, cette
solution ne rvle rien faible grossissement.
- 57 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
Les diffrents grains sont observs sous un angle de 45, aveclagrandissement de1000, et
10000.
- 58 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
- 59 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
- 60 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
Les rsultats dobservation MEB obtenu pour les 12 diffrents grains aprs une attaque
chimique avec une solution alcaline sont reprsents sur les images ci-dessus.
c dessus.
Dune manire gnrale, on peut dire que la rugosit de la surface est observe pour
tous les grains avec une variation de la morphologie dun grain un autre. La structure
dominante pour ces chantillons, est une formation de pyramides pour les grains n2, 4 et 12.
Des pyramides rgulires pour le grain n12, et inclines pour les grains n2 et 4. Ces
pyramides se prsentent avec des tailles variables, on observe de petites pyramides (de 1
2m), comme il existe aussi des pyramides en dbut de formation, quon peut voir avec
lagrandissement 104. Ce dbut de formation est aussi observ pour les grains n5et 6, avec
quelque grandes pyramides qui sont dj form.
Pour les grains n7,8 et 9, une formation de triangle dessin en surface est observe
obse
avec lagrandissement 104, comme on observe aussi sur ces mme grains des zone ou il n ya
pas de perturbation quon peut voir 103.
Daprs ces images MEB, on observe aussi des zones sur la surface de ces grains qui
nont pas ragi vis--vis de la solution alcaline utilise, qui se prsente par des surfaces planes
quon peut visualiser avec lagrandissement 103 pour les grains n1 et 3, comme on peut
voir aussi des perturbations marques sur ces mmes grains avec lagrandissement 104.
5.2.5. Rsultants
nts dobservation MEB des chantillons avec la solution n4
(HF:HNO3:CH3COOH :H2O avec les proportions 8:31:10 :8 durant
3minutes) :
Les diffrents grains sont observs sous un angle de 45, avec lagrandissement 10000.
Grain n 1 Grain n 2
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Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
Grain
rain n 3 Grain n 4
Grain
rain n 5 Grain n 6
Grain n 7 Grain n 8
Grain n 9 Grain n 10
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Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
Grain n 11 Grain n 12
Aprs analyse des images MEB des 12 grains aprs attaque chimique avec la solution
n5, nous avons constat que la morphologie de la surface est en grosso modo presque
identique avec celle obtenue avec la solution n1.
On peut observer en surface la formation de large crevasse avec des profondeurs qui
varient dun grain un autre. On a par exemple une profondeur des macropores plus marqu
pour les grains n1, 7, 9 et 12 qui est de lordre
lordre de 10 15m, avec les macropores des grains
n7 et 9 qui prsentent des arrtes perpendiculaires la surface. On a aussi les grains n3 et 10
qui prsentent des crevasses peu profondes de lordre de 1 5 m. Par contre, on peut
observer pour les grains
ns n4, 6 et 11, ou on a juste des crevasses dessines en surface avec
presque aucune profondeur, exception faite pour quelque uns.
On peut aussi observer pour les grains n5 et 8, qui possdent en surface une structure
qui na pas beaucoup chang avec cette
cette attaque chimique par comparaison avec la
morphologie avant attaque chimique. Pour cela, on peut dire que ces grains (n5 et 8) nont
pas ragit vis--vis
vis de la solution n5.
La remarque importante aussi donner pour cette solution, est que la morphologie
morph des
grains n3, 10 et 11 donne avec la solution n5 est identique avec celle donne avec la
solution n1 pour ces mmes grains.
- 63 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
La ressemblance
essemblance observe est entre
e les grains n2 et 4 :
Grain 2 45 Grain 4 45
Grain 8 45 Grain 9 45
2. Daprs la solution n1 :
- 64 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
Grain 8 45 Grain 9 45
3. Daprs la solution
on n2 :
Cette ressemblance est beaucoup plus marqu entre les grains n5 et 7, et entre les
grains n 6 et 9.
- 65 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
rain 3 45 103
Grain Grain 4 45 103
4. Daprs la solution n3 :
Grain 1 45 Grain 5 45
Entre les grains n7, 8 et 9 :
Grain 4 45 Grain 6 45
- 66 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
Grain 1 45 104
- 67 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
Grain
rain 5 45 Grain 6 45
- 68 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
Entre
ntre les grains n10 et 11 :
rain 10 45 103
Grain Grain 11 45 103
Enfin,
fin, la morphologie du grain
grain n12 qui donne des pyramides droites.
droites
Grain 12 45 104
Daprs la solution n5 :
Entre les grains n7 et 9 :
- 69 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
Grain
rain 4 45 Grain 6 45
- 70 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
En effet, cette solution base de NaOH prsente une attaque anisotrope contrairement
aux solutions acides qui prsentent une attaque isotrope. Le rsultat est assez net avec la
solution alcaline, du fait que les diffrentes orientations cristallographiques sont attaques
avec des vitesses diffrentes.
Une comparaison des morphologies des 12 grains obtenus par MEB, aprs attaque
chimique avec la solution n4 (la solution alcaline de lUDTS), avec les rsultats dj obtenus
daprs la littrature [4]. Peut nous permettre didentifier lorientation cristallographique de
certains grains analyss, de la manire suivante ;
les grains n2 et 4 avec les pyramides inclines correspondent lorientation (311).
Le grain n1 correspond lorientation (321).
Les grains n5 et 6 correspondent lorientation (210).
Les grains n7, 8 et 9 avec des triangles dessins en surface. correspondent
lorientation (111).
Le grain n12 avec des pyramides rgulires correspond lorientation (100).
- 71 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
Remarque :
La diffraction des rayons X (de longueur donde entre 0.1 et 10nm) consiste
enregistrer les rayons X diffracts par unchantillon (rflexion des plans dindices de Miller
(hkl) parallles au support) en fonction delangle entre les rayons incidents et lchantillon sur
le support. Le fonctionnement en mode/2 du diffractomtre implique que la source des
rayons X et le dtecteur forment toujoursdes angles gaux avec le support, (voir chapitre 1).
Laconnaissance des angles et lintensit des pics nous permet alors dobtenir une
srie devaleur d {h, k, l} qui constitue la signature dun solide cristallis.
Comme les plans cristallographiques peuvent tre reprs par les indices de Miller, onpeut
donc indexer les pics de diffraction selon ces indices {h, k, l}.
Une fois que lanalyse DRX faite, on obtient des spectres de lintensit en fonction de langle
, ou bien en fonction de la distance interreticulaire d. Ltude du spectre obtenu par
diffraction de rayon X, nous permet de dterminer la faon dont les atomes sont arrangs dans
le matriau analys en donnant les (hkl) de chaque pic que contient le spectre. Le spectre
DRX, nous renseigne aussi sur le taux de cristallinit du matriau tudi, comme cest montr
sur la figure suivante (figure III-2).
- 73 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
La prsence de bosse toute seule dans le matriau (spectre en grenat sur le la figure III-
2), veut dire que le matriau est amorphe, alors que la prsence de pic (spectre en vert) dit que
le matriau est cristallin, par contre la prsence la fois de pic et dune bosse dans le spectre
(spectre en bleu) veut dire que le matriau est semi-cristallin.
Remarque :
La prsence de bosse dans le spectre DRX est due deux causes principales :
- La premire est que le matriau analys est vraiment amorphe (figure III-2)
- La seconde, est que le manipulateur a mal choisi les paramtres du diffractomtre.
Figure III-3 : Exemple de fiche JCPDS du silicium, obtenu partir du logiciel EVA.
Durant notre tude nous avons effectu plusieurs analyses DRX, comme cest expliqu
ci-aprs:
- 75 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
50
50
40 40
Intensity (%)
Intensity (%)
30 30
20 20
10 10
0 0
0 20 40 60 80 100
0 20 40 60 80 100
Position (2thta)
Position (2thta en )
4
Grain n1 3
70
Grain n2
60
60
50
50
40
Intensity (%)
Intensity (%)
40
30
30
20 20
10 10
0
0
0 20 40 60 80 100 0 20 40 60 80 100
Grain n3 Grain n4
6
5
18
20
16
14
15
Intensity (%)
12
Intensity (%)
10
10
8
6
5
4
2
0
0
-2 0 20 40 60 80 100
10 20 30 40 50 60 70 80 90
P o s itio n ( 2 th ta e n ) P o s itio n (2 th ta e n )
Grain n5 Grain n6
- 76 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
7 8
60
60
50
50
40
Intensity (%)
40
Intensity (%)
30
30
20
20
10 10
0 0
0 20 40 60 80 100
0 20 40 60 80 100
Position (2thta en )
Position (2thta en )
10
60 Grain n7
9 Grain n8
60
50
50
40
Intensity (%)
Intensity (%)
40
30
30
20
20
10 10
0 0
0 20 40 60 80 100 0 20 40 60 80 100
P o s itio n (2 th ta e n ) P o s itio n ( 2 th ta e n )
12
Grain n9 11
60 Grain n10
70
50
60
40
50
Intensity (%)
Intensity (%)
40 30
30
20
20
10
10
0
0
0 20 40 60 80 100 0 20 40 60 80 100
Position (2thta en ) P o sitio n (2thta en )
- 77 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
grain n 1
60
50
40
Lin (Counts)
30
20
10
0
5 10 20 30 40 50 60 70 80
2-Theta - Scale
grai n n 1 - Fi le: P170601-10.raw - Ty pe: 2Th/Th l ocked - Start: 5.000 - End: 88.000 - S tep: 0.010 - Step time: 2.0 s - Temp.: 21 C (Room ) - Ti me S tar ted: 0 s - 2-Theta: 5.000 - Theta: 2.500 - D isplay pl ane: 1 - Anod
Operati ons: Fourier 15.454 x 1 | Smooth 0.173 | Import
Grain n1
Pour cette analyse, nous avons utilis un diffractomtre de type Xpert pro du
CRNA (Centre de Recherche Nuclaire dAlger), cet appareil qui est de marque PHILIPS.
Ce type de diffractomtre est quip d'un tube rayons X avec anticathode en cuivre dune
longueur donde 0 = 1,5406 A.
30
25
20
Intensit (%)
15
10
0
10 20 30 40 50 60 70 80 90 100
a n g le 2
Grain 1
- 78 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
Nous prsentons sur les figures suivantes, les spectres de diffraction des rayons
Xobtenus pour les 12 grains analyss :
B B
800 00 800000
700 00 700000
600 00 600000
intensity (%)
500 00 500000
Intensity (%)
400 00 400000
300 00 300000
200 00 200000
100 00 100000
0
0
0 20 40 60 80 10 0
0 20 40 60 80 100
p o s itio n (2 th ta )
p o s itio n (2 th ta )
B
80 000
Grain n1 B
Grain n2
80000
70 000
70000
60 000
60000
Intensity (%)
Intensity (%)
50 000
50000
40 000
40000
30 000
30000
20 000
20000
10 000
10000
0 0
0 20 40 60 80 1 00 0 20 40 60 80 100
p o sitio n (2 th ta ) p o s itio n (2 th ta )
Grain n3 B Grain n4 B
80000
80 0 00
70000
70 0 00
60000
Intensity (%)
60 0 00
Intensity (%)
50000
50 0 00
40000
40 0 00
30000
30 0 00
20000
20 0 00
10000
10 0 00
0
0 20 40 60 80 100
0 20 40 60 80 100
position (2thta) p o s itio n (2 th ta )
Grain n5 Grain n6
- 79 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
B B
80000 70 00 0
70000
60 00 0
60000
Intensity (%) 50 00 0
Intensity (%)
50000
40 00 0
40000
30 00 0
30000
20 00 0
20000
10 00 0
10000
0
0 20 40 60 80 100 0 20 40 60 80 100
Grain n7 Grain n8 B
12 00 00
B
80000
10 00 00
70000
8 00 00
Intensity (%)
60000
Intensity (%)
50000 6 00 00
40000
4 00 00
30000
20000 2 00 00
10000
0
00 20 40 60 80 100
p o s itio n ( 2 th ta ) 0 20 40 60 80 1 00
p o s itio n (2 th ta )
250000
Intensity (%)
50 0 00
200000
40 0 00
150000
30 0 00
100000
20 0 00
50000
10 0 00
0
0 20 40 60 80 100 0
0 20 40 60 80 100
position (2thta)
p os itio n (% )
La premire mthode :
Le principe de cette mthode, consiste faire une comparaison manuelle de
notrespectre (positions 2 des pics) avec des spectres de phases connues, dans notre cas, on
utilise les fiches JCPDS du silicium, qui est montr sur la figure III-4 ( savoir quil existe
plusieurs fiches JCPDS du silicium).
- 80 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
Figure III-4 : exemple de fiche JCPDS du silicium obtenu partir dune base de donnes de 2004.
Cette mthode se fait par lutilisation du logiciel EVA, quon peut trouver
lUMMTO; au laboratoire de caractrisation DRX. On peut aussi le trouver au CDTA, la
division de caractrisation. Mais aussi lUSTHB, dans le laboratoire de la cristallographie au
dpartement de gologie. C'est--dire que tout les laboratoires qui possdent la technique de
Diffraction de Rayons X, possde ce logiciel EVA.
Le principe de base de ce logiciel, est dintroduire les spectres en extension .RAW
(seulement avec cette extension). Ensuite, une superposition des ces spectres identifier avec
les spectres propres du logiciel EVA se fait automatiquement, ce qui donnera les indices (hkl)
du matriau analys.
Remarque :
Le principe de base de ces deux mthodes est le mme, mais on peut dire que
lutilisation du logiciel EVA est la mthode la plus prcise pour dsigner les angles 2,
et donner les (hkl).
- 81 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
Pour avoir les (hkl) des pics de diffraction dun matriau donn, on peut aussi utiliser
le logiciel X.POWDER, dont la page de dmarrage est reprsente sur la figure ci-
dessous (figure III-5).
- 82 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
Remarque :
Daprs les valeurs des (hkl) interprts par les fiches JCPDS, on remarque par
exemple pour les (hkl) du grain n12 quils ont la valeur (400), mais daprs la
littrature, lorientation dun grain la surface de la plaquette est toujours dfinie par
un plan de faibles indices [6], donc une orientation cristallographique (100).
La mme chose pour les grains n10 et 11, qui ont des indices (hkl) avec la valeur
(220), donc correspondant (110).
- 83 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
- 84 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
Remarque :
Daprs les donnes regroupes dans le tableau ci-dessus, nous retenons les informations
suivantes :
A partir de nos rsultats DRX, le spectre des grains n1, 3, 4, 5, 6, 7 et 9, qui donne une
courbe sous forme de bossesans aucun pic significatif, qui veut dire daprs la littrature
quelle correspond un spectre dun matriau amorphe(figure III-2). Alors que pour la
morphologie donne par le MEB pour le grain n1, on remarque quelle est identique avec
celle dj donne daprs la littrature [4]. Ce grain qui correspondrait lorientation (321).
Donc on peut conclure que la forme de la courbe donne pour ce grain vient du mauvais choix
des paramtres du diffractomtre.
Cest le mme cas pour les grains n4, 7 et 9, qui correspondent respectivement lorientation
(311), (111) et (111).
- 85 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
Ce rsultat peut tre expliqu par le fait que pour les mmes grains, nous navons
obtenus des pics quaprs plusieurs analyses DRX avec diffrents diffractomtres, ou
bien avec le mme diffractomtre mais avec des paramtres diffrents.
Ctait le cas de lanalyse faite au CRNA, et au LMI avec le mme diffractomtre
Xpert-pro . Pour le premier nous navons rien obtenu, mais pour le second, on a
obtenu des pics.
La poudre analyse par DRX a t obtenue partir des 12 grains que nous avons utiliss
pour la premire analyse. Ces grains ont t broys et rduits en poudre.
Lanalyse de la poudre nous a permis davoir le spectre ci-dessous :
Si poudre
[4,0,0]
[4 ,2,2]
[ 1,1,1]
[ 2,2,0]
[ 3,1,1]
[ 2,2 ,2]
[ 3,3 ,1]
400
390
380
370
360
350
340
330
320
310
300
290
280
270
260
250
240
230
Lin (C ounts)
220
210
200
190
180
170
160
150
140
130
120
110
100
90
80
70
60
50
40
30
20
10
17 20 30 40 50 60 70 80
2-Theta - Scale
S i poud re - Fil e: P 220302-11.raw - Type: 2Th/Th loc ked - Sta rt: 15.000 - En d: 88.000 - S tep: 0.050 - S tep tim e: 1 .0 s - Temp.: 2 1 C (R oom ) - Time Star ted: 0 s - 2-Theta: 15 .000 - Theta: 7.5 00 - D ispl ay plane: 1 - A
Operations: Import
75- 0590 (C) - Si licon - S i - Y: 1 00.00 % - d x by: 1.0000 - WL: 1.54060 - Cubic - a 5.43 07 5 - b 5.43 07 5 - c 5.4307 5 - al pha 90.000 - beta 90.000 - gamm a 90.00 0 - Face-centred - Fd3m (2 27 ) - 8 - 160.169 - I/Ic PDF 4.6 -
Figure III-5 : spectre DRX, obtenu aprs analyse des grains sous forme de poudre.
- 86 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
partir de ce spectre, nous avons obtenu les orientations, en indexant les pics de la
manire suivante :
Remarque :
Daprs le spectre ci-dessus, on remarque que le pic n4 avec lorientation (222) ne
correspond pas au pic de Silicium.
On peut dire que pour la plaquette de silicium multicristallin labore lUDTS, nous
avons identifi en tout ; six orientations cristallographique diffrentes, qui sont
reprsentes sur la figure III-5.
Linconvnient de cette analyse DRX sous forme de poudre, est quon ne peut pas
attribuer ces orientations aux grains correspondant. La mthode des poudres donne
une information exhaustive et non pas spcifique chaque grain.
Rsultats et interprtations :
- 87 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
Grain n8 (111)
Grain n9 (111)
Grain n10 (220)
Grain n11 (220)
Grain n12 (100)
Tableau III-5 : un rcapitulatif des rsultats didentifications des indices (hkl) des grains
aprs lanalyse MEB, analyse DRX sur les grains, et analyse DRX sous forme de poudre
permet dliminer les grains qui sont identiques. Dans ce cas, au lieu de dire quon a 12 grains
avec 12 orientations cristallographiques diffrentes, on dit quil existe 12 grains avec 7
orientations diffrentes.
Daprs lanalyse DRX des poudres, nous avons obtenu six orientations diffrentes.
Mais nous navons pas trouv lorientation (321) et (210), quon a initialement
attribu, respectivement au grain n1 et 5-6.
Pour les grains n5 et 6 avec lagrandissement 104, on remarque quils ont la mme
morphologie de la surface avec les grains n2 et 4. Donc on peut conclure que les
grains n5 et 6 ont la mme orientation qui est (311) au lieu de (210). Cela explique
pourquoi on na pas trouv lorientation (210) dans lanalyse DRX des poudres.
Ainsi, avec llimination des orientations identiques, on se retrouve avec 6
orientations diffrentes.
- 88 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
Lanalyse DRX des poudres nous rvle deux orientations (331) et (422), pour
lesquels on ne connait pas quels grains parmi les 12 elles correspondent.
Labsence de lorientation (321) dans les rsultats de lanalyse DRX des poudres,
nous permet de dire que le grain n1 ne peut pas correspondre cette orientation
(321).
Donc il nous reste deux grains qui ne sont pas dfinis, qui sont les grains n1 et 3. Et
daprs les rsultats danalyse de poudre, il nous reste deux orientations qui sont
(331) et (211), pour lesquelles on na pas fait correspondre des grains. Ces deux
orientations pourrait tre attribus aux grains n1 et 3 ;
7.4.2. Analyse DRX sous forme de poudre des grains non identifis (grains n1 et 3):
Aprs avoir fait lanalyse des grains, sous forme solide et poudre, il nous restait deux
grains non identifis (grain n1 et 3) et deux orientations non attribues ((331) et (422)). Alors
nous avons opt pour une autre analyse, afin didentifier ces deux grains et dattribuer ces
deux orientations.
Nous avons essay danalyser chaque grain tout seul sous forme de poudre, mais
comme la quantit de la poudre obtenue pour chaque grain ne suffisait pas pour avoir la
diffraction de rayon X, alors nous avons voulu complter cette quantit avec celle dune
poudre dont lorientation est connue.
Analyse sous forme de poudre dune plaquette du Silicium monocristallin
dorientation (100) :
- 89 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
S i M o no B roy
[3,1,1 ]
[4 ,0,0]
[3 ,3,1]
[1,1,1]
[2,2,0]
330
320
310
300
290
280
270
260
250
240
230
220
210
200
190
Lin (C ounts)
180
170
160
150
140
130
120
110
100
90
80
70
60
50
40
30
20
10
20 30 40 50 60 70 80
2 -T h eta - S c al e
S i bro y - F il e: P 27 0 31 2- 11 .r aw - T y p e: 2 T h /T h lo c k ed - S ta rt : 2 0. 00 0 - E nd : 8 8. 0 00 - S te p: 0.0 50 - S t ep tim e: 0. 6 s - T em p .: 2 1 C (R oom ) - T i m e S ta rte d: 0 s - 2-T h eta : 2 0. 00 0 - T h et a: 10 .00 0 - D is pl ay pl an e: 1 - A
O p era ti on s : I m p ort
2 7- 14 02 (*) - S i li c on , s y n - S i - Y : 1 00 . 00 % - d x by : 1 .0 00 0 - W L: 1 .54 0 60 - C u bi c - a 5 .43 08 8 - b 5 .43 0 88 - c 5 .4 3 08 8 - al ph a 9 0. 0 00 - b eta 9 0.00 0 - g am m a 90 .00 0 - F ac e -c en t red - F d 3m (2 2 7) - 8 - 1 60 .1 8 1 - I/ Ic P D F 4. 7
Figure III-6 : Spectre DRX dun monocristal dorientation (100) sous forme de poudre
Dans ce spectre, on remarque lexistence de plusieurs pics avec des orientations diffrentes,
qui sont :
Rsultats et interprtations :
Le rsultat quon peut tirer de cette analyse DRX sous forme de poudre dun
monocristal dorientation (100), est quun monocristal rduit en poudre devient un polycristal.
Ce rsultat est expliqu par lobtention de plusieurs pics avec diffrentes orientations dans le
spectre DRX sur poudre.
Comme cest expliqu ci-dessus, nous avons voulu complter la quantit de la poudre
de chaque grain qui tait insuffisante avec celle de la poudre du monocristal dorientation
(100). Mais comme un monocristal rduit en poudre donne avec DRX un spectre dun
polycristal avec plusieurs pics. Alors, nous navons pas pu identifier lorientation
cristallographique des deux grains n1 et 3.
- 90 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
7.4.3. Analyse DRX sous forme de poudre des plaquettes de Si-mc avec de gros et petits
grains :
Une analyse DRX sous forme de poudre des deux plaquettes de Si-mc, avec de
petits et de gros grains. Qui sont reprsents sur la figure III-1, donne les deux spectres ci-
dessous :
S i P e tit G ra in s
[1 ,1,1]
[2,2,0 ]
[4,2,2]
[3,1,1]
[4,0 ,0]
[3,3,1]
600
500
400
Lin (C ounts)
300
200
100
20 3 0 4 0 5 0 60 70 80
2 -T h et a - S c al e
S i b r o y - F il e : P 2 8 0 3 0 1 - 1 1 .r a w - T y p e : 2 T h /T h lo c k e d - S ta r t : 2 0 . 0 0 0 - E n d : 8 8 . 0 0 0 - S te p : 0 . 0 5 0 - S t e p t im e : 0 . 6 s - T e m p . : 2 1 C ( R o o m ) - T i m e S ta r te d : 0 s - 2 - T h e t a : 2 0 . 0 0 0 - T h e t a : 1 0 . 0 0 0 - D is p l a y p l a n e : 1 - A
O p e r a ti o n s : I m p o rt
2 7 - 1 4 0 2 ( *) - S i li c o n , s y n - S i - Y : 5 4 . 7 8 % - d x b y : 1 . 0 0 0 0 - W L : 1 . 5 4 0 6 0 - C u b ic - a 5 . 4 3 0 8 8 - b 5 . 4 3 0 8 8 - c 5 . 4 3 0 8 8 - a lp h a 9 0 .0 0 0 - b e ta 9 0 .0 0 0 - g a m m a 9 0 . 0 0 0 - F a c e - c e n t r e d - F d 3 m (2 2 7 ) - 8 - 1 6 0 . 1 8 1 - I /I c P D F 4 .7 -
Figure III-7 : spectre DRX dune plaquette de Si-mc avec de petits grains sous forme de poudre.
S i G r o s G ra in s
[1 ,1,1]
[2 ,2,0]
[4, 0,0 ]
[3, 3,1 ]
[ 3, 1,1]
600
500
400
Lin (Counts)
300
200
100
0
20 3 0 40 50 60 70 80
2 -T h et a - S c al e
S i br o y G G - Fi le : P 2 80 3 02 - 1 1. r aw - T y pe : 2T h/ T h l oc k e d - S t ar t : 2 0 .0 00 - E n d: 88 .0 0 0 - S t e p : 0 . 0 5 0 - S t ep ti m e : 0 .6 s - T e m p .: 21 C ( R o om ) - T im e S t ar t ed : 0 s - 2 - T h et a: 2 0 .0 0 0 - T he ta : 1 0. 0 00 - D i s p lay p la ne : 1
O p era ti on s : I m p o rt
2 7- 14 02 ( *) - S i li c on , s y n - S i - Y : 5 5. 3 2 % - d x b y : 1 . 0 0 00 - W L : 1. 5 40 6 0 - C u b ic - a 5. 4 30 88 - b 5. 4 30 8 8 - c 5. 43 0 88 - a lp ha 9 0 .0 0 0 - be ta 9 0 .0 00 - ga m m a 9 0. 0 00 - F a c e -c e nt r e d - F d3 m (2 2 7 ) - 8 - 1 6 0. 18 1 - I /I c P D F 4 .7 -
Figure III-8 : spectre DRX dune plaquette de Si-mc avec de gros grains sous forme de poudre.
- 91 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
On remarque sur ces deux spectres, quil existe 5 pics avec les mmes orientations
cristallographiques qui sont donnes respectivement comme suit :
Avec un 6ime pic en plus dorientation (422) pour le spectre de la plaquette de Si-mc avec de
petits grains.
En conclusion, on peut dire que les plaquettes de Si-mc labore lUDTS possde en
tout 6 orientations cristallographiques diffrentes qui sont :(111), (220), (311), (400), (331) et
(422).
Cela explique la similitude de la morphologie de la surface des grains aprs attaque chimique
avec les diffrentes solutions alcaline et acide.
7. Conclusion :
Au cours de notre tude, nous avons essay de dvelopper une nouvelle mthode
didentification de lorientation cristallographique de certains grains dune plaquette de
silicium multicristallin par attaque chimique.
Avec cette nouvelle mthode, nous avons russi identifier les indices (hkl) de certains
grains, en se basant sur nos rsultats danalyse MEB, avec ceux de la littrature. Des rsultats
didentification qui ont t confirm avec nos rsultats danalyse DRX.
le grain n2 avec une morphologie de pyramides inclines en surface qui correspond
lorientation (311).
Le grain n8 avec des triangles dessins en surface. Correspond lorientation (111).
Le grain n12 avec des pyramides rgulires correspond lorientation (100).
Dautres rsultats didentification des grains qui ont t obtenu seulement partir de la
morphologie de la surface obtenu par nos rsultat danalyse MEB, et nos rsultats danalyse
DRX. Cest le cas des grains n10 et11 qui correspondent lorientation (110).
- 92 -
Chapitre III : Identification de la structure cristalline des grains de silicium multicristallin.
Tableau III-6 : tableau finale qui fait correspondre le rsultat danalyse DRX pour chaque grain identifi
avec la morphologie obtenue par MEB en utilisant la solution alcaline base de NaOH faiblement concentr
durant 15minutes.
- 93 -
Conclusion
Conclusion:
Les diffrents rsultats que nous avons obtenus en nous appuyant sur le MEB et sur la
DRX, illustre trs clairement lintrt remarquable de ces deux techniques dans le domaine de
la caractrisation. Le MEB nous a permis lobservation de la morphologie de la surface, aprs
attaque chimique avec les diffrentes solutions utilises. Alors que la DRX nous a permis
davoir les indices (hkl) de chaque grain analys.
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Par contre, bien que nous ayons effectu plusieurs analyse DRX afin didentifier
lorientation de tout les grains, il nous reste deux grains non identifis (grain n1 et 3), qui
peuvent correspondre aux deux orientations (331) et (422) quon na pas russi attribuer.
Enfin, on peut conclure que les deux types de plaquette de Si-mc labors lUDTS
possdent au moins six orientations cristallographiques diffrentes identifies comme suit :
(100), (111), (110), (311), (331) et (422).
Bien que limprcision pour cette mthode soit importante dans lvaluation des
morphologies obtenues, pour russir corresponde chaque morphologie de la surface avec
son orientation cristallographique. Cette nouvelle mthode a t dveloppe afin de rduire le
cot des tapes technologique menant lidentification de larrangement cristallin du silicium
multicristallin avec un processus trs facile mettre en uvre et qui ne ncessite pas de lourds
moyens pour une application industrielle.
Perspectives de ce travail :
Durant notre tude, nous avons seulement identifi six orientations
cristallographiques, il se pourrait que dautres orientations existent dans une plaquette de
silicium multicristallin. La perspective de ce travail consiste identifier les autres orientations
pour complter le tableau labor cet effet.
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Rfrences
Chapitre I :
[3] Harkonen. J, Processing of high efficiency silicon solar cells; thse de Doctorat; Helsinki
University of technology, Espoo (2001).
[4] FERRAND. B, Mthodes dlaboration des cristaux massifs pour loptique , (article),
LETI/DOPT/SCOPI/LCDO/Matriaux/CEA-Grenoble 17 rue des Martyrs, F-38054 GRENOBLE
CEDEX 9, France.
[5] ROCA. P, Silicium et nergie solaire du matriau massif vers les couches minces , (article),
Laboratoire de Physique des Interfaces et des Couches Minces, cole polytechnique, 91128
palaiseau Cedex.
[9] ABDO. F, croissance de couches minces de silicium par pitaxie en phase liquide basse
temprature pour applications photovoltaques , thse de Doctorat, LInstitut National des
Sciences Appliques de Lyon, Soutenue le 8 mars 2007.
[13] STREHLKE.S, proprits structurales et optiques du silicium poreux et application aux cellules
photovoltaques , thse de Doctorat, universit paris 6 (1999).
[15] MADANI. M, realisation des couches antireflets dans les cellules solaires a couches minces ,
thse de magister en physique, Unit de Recherche Des Matriaux et nergies Renouvelables,
Soutenue en 2006.
- 96 -
[17] GILI. E, analyses in-situ par diffraction des rayons x des transformations systme
titane/silicium sous forme de films minces ,deuxiemeannee ENSPG, option physique des
composants.
[18] THANH SON. N, Influence de la nature du liant et de la temprature sur le transport des
chlorures dans les matriaux cimentaires , thse de doctorat/universit de Toulouse, Soutenue le
21 Septembre 2006.
[20] PESANT. L, laboration dun nouveau systme catalytique base de carbure de silicium (-
SiC) pour la combustion des suies issues des automobiles moteur Diesel , thse de doctorat,
Universit Louis PasteuR, soutenue le 14 Janvier 2005.
[21] LVQUE.P, Caractrisation des matriaux et composants , Universit Louis Pasteur UFR
Sciences Physiques, Master 2 MNE (micro et nano-lectronique : composants et systmes)/
CNRS InESS.
Chapitre II:
[7] HYLTON. J. D, BURGERS. A. R, and SINKE.W. C,Alkaline Etching for Reflectance Reduction
in Multicrystalline Silicon Solar Cells Journal of the Electrochemical Society, pp 408-427,
2004.
[8] DAMIANI.B, Investigation of light induced degradation in promising photovoltaic grade silicon
and development of porous silicon anti-reflection coatings for silicon solar cells , these de
doctorat, UMI Number: 3126229, Georgia Institute of Technology April 2004.
[9]LDEMAN.R, DAMIANI.B and ROHTGI.A,Novel processing of solar cells with porous silicon
texturing.Proc. of the 28th IEEE PVSC, p. 299, 2000.
[11] PORCHER. A, Silicium poreux pour capteurs MEMS rsonants intgrs , thse de doctorat,
institut national des sciences appliques de Lyon, soutenue le 2 mars 2009.
- 97 -
[12] NYCHYPORUK.T, Nouvelles Morphologies du silicium nanostructur issues de l'anodisation
lectrochimique : laboration, proprits physico-chimiques et applications , (article).
[14] HADJERSI. T, tude et ralisation dun dispositif optolectronique base de silicium poreux
obtenu par voie chimique , thse de doctorat, Universit des sciences et de la technologie
HOUARI Boumedienne, soutenue le 16 novembre 2005.
[15] X. Li and BOHNP.W, Mtal-assisted chemical etching in HF/H2O2 produces porous silicon,
Applied Physics Letters 77 (16) (2000) 2572.
[19] HONG RYONG. K Development of porous silicon field emitter arrays for vaccum
microelectronic applications thse de doctorat, UMI number 9915251, dcembre 1995.
[20] BEALE. M.I.J, BENJAMIN. J.D, UREN.M.J, CHEW.N.G and CULLIS.A.G, Journal of Crystal
Growth 75.408 (1986).
[21] B, M. I. J., BENJAMIN, J.D., UREN, M.J., CHEW, N. G. and CULLIS, A. G., The formation
of porous silicon by chemical stain etches , J. Crys. Grow. 75, 408 (1986).
[22] KIDDER.J.N, P.S. WILLIAMS. T.P. PEARSALL. D.T. SCHWARTZ, and B.Z. Nosho, Applied
Physics Letters 61, 2896 (1992).
[23] KRAWIEC.B-S, The impact of lewis acid/base exposure on the surface states of luminescent
porous silicon ,University of Warsaw Poland, UMI Number:9805491/ August 1997.
[24] DIMOVA.D - MALINOVSKA, Application of stain etched porous silicon in crystalline silicon
solar cells, Opto - Electronics Review 8(4) (2000) 353.
[27] JIANSHENG. X, Silicon light emitting materials, structures and devices thse de doctorat,
UMI number: 9607849 / 1995.
[29] MENNA.P, FRANCIA.G, La Ferrara.V, Sol. EnergyMatter. Sol. Cells 37 (1995) 13.
- 98 -
[30] BILYALOV. R.R, LAUTENSCHLAGER.H, C. SCHETTER,SCHOMANN.F, SCHUBERT.U,
R. SCHINDLER, Proceedings of the 14th EC Photovoltaic Sol. Energy Conference, 1997, pp. 788
- 791.
Chapitre III:
[3] M. Ju, GUNASEKARAN. M, K. Kim, K. Han, I. Moon, K. Lee, S. Han, T. Kwon, D. Kyung, J. Yi
A new vapor texturing method for multicrystalline silicon solar cell applications, Materials
Science and Engineering B 153 (2008), p 6669
[4] HYLTON. J. D,BURGERS. A. R, and SINKE.W. C. Alkaline Etching for Reflectance Reduction
in Multicrystalline Silicon Solar Cells Journal of The Electrochemical Society, pp 408-427,
2004.
[5] GREMILLARD. L, Diffraction des rayons X (article), sminaire groupe cramique 09/05, la
Pesse.
- 99 -
Annexe
Annexe : Calcul de la distance interreticulaire
Un cristal contient une infinit de plans dans lesquels les atomes (ou les nuds du
rseau) sont arrangs priodiquement : ce sont les plans rticulaires, dfinis par leurs indices
de Miller (hkl). Pour h, k et l donns, il existe une infinit de plans parallles entre eux et
regroups en une famille de plans rticulaires. La distance interrticulairedhkl est la plus courte
distance entre deux plans de la famille {hkl}.
L'ensemble des distances interrticulaires d'un cristal est directement mesurable par la
diffraction de rayons X par exemple, grce la loi de Bragg et permet d'identifier le cristal en
question par comparaison avec les banques de donnes existantes.
La distance dhkl entre les plans rticulaires (hkl) est donns par :
& ,+ - + .+ 3
+ /+
0 dhkl 5+ -1-
'()* 6+ 7+
& ,+ - + .+ /
+ < + 0 =>?@ -2-
89:; /+ + +
A,+ - + B C;
+ D
&P
1 "1 cos K#L"> ? @ # M1 "tan # QR -5-
=,-. F "1 cos K 2 cos K #
- 100 -
Annexe : Calcul de la distance interreticulaire
& &
VW&&> W ? W @ 2W& >? 2W ?@ 2W& >@} -7-
89:; + U+
Et :
Pour lorientation (220) ou (110), pour une maille hexagonale avec a=3,800, et
c=6,269 :
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Annexe : Calcul de la distance interreticulaire
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