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Qualittsmanagement-Handbuch

Abteilung 7

3.1 Kalibrier- und Messmglichkeiten


Calibration and measurement capabilities

Id-Nr. Messgre Kalibrier-/ Bereich Einheit Messbedingungen Erweiterte CMC-Eintrag


Prfgegenstand Messunsicherheit
(k=2)
Id. No. Measurand Instrument or Range Unit Measurement Expanded CMC entry
Artifact to be conditions measurement
calibrated / tested uncertainty (k=2)
1 2 3 4 5 6 7 8
7.1-1.1 spektrale Strahlungsquelle 10-6 bis 1 W nm-1 sr-1 Wellenlngenbereich: 35 % bis 4,0 % ja, fr
Strahlstrke bzw. 115 nm bis 400 nm Wellenlngen-
W nm-1 sr-1 bereich 116 nm
bis 350 nm
mm-2
spektrale 36 % bis 4,8 %
Strahldichte
spectral radiant radiation source 10-6 to 1 W nm-1 sr-1 or wavelength range: 35 % to 4.0 % yes, for
intensity W nm-1 sr-1 115 nm to 400 nm wavelength range
mm-2 116 nm to
350 nm
spectral radiance 36 % to 4.8 %
7.1-1.2 spektrale Strahlungs- 10-4 bis 10 A W-1 Wellenlngenbereich: 0,5 % bis 2 % Ja, fr
Empfindlichkeit empfnger 40 nm bis 400 nm Wellenlngen-
bereich 135 nm
bis 250 nm
spectral radiation detector 10-4 to 10 A W-1 wavelength range: 0.5 % to 2% yes, for
responsivity 40 nm to 400 nm wavelength
range 135 nm
to 250 nm
7.1-1.3 spektraler Spiegel, Filter 10-4 bis 1 1 Wellenlngenbereich: 0,3 % bis 2 % nein
Reflexionsgrad / 40 nm bis 400 nm
spektraler
Transmissionsgrad
spectral reflectivity / mirror, filter 10-4 to 1 1 wavelength range: 0.3 % to 2 % no
spectral 40 nm to 400 nm
transmittance
7.1-1.4 Nachweiswahr- Energie-dispersive 10-3 bis 1 1 Photonenenergie- 5 % bis 1 % nein
scheinlichkeit fr Strahlungs- bereich 1 keV bis
Photonen empfnger 20 keV, Vakuum
detection energy-dispersive 10-3 to 1 1 photon energy range 5 % to 1 % no
probability for radiation detectors 1 keV to 20 keV,
photons vacuum
7.1-1.5 spektrale Strahlungs- 10-6 bis 10 A W-1 Wellenlngenbereich: 10 % bis 0,5 % Ja, fr
Empfindlichkeit empfnger 0,7 nm bis 40 nm, Wellenlngen-
Vakuum bereich 10 nm
bis 20 nm

spectral radiation detector 10-6 to 10 A W-1 wavelength range: 10 % to 0.5 % yes, for
responsivity 0.7 nm to 40 nm, wavelength
vacuum range 10 nm to
20 nm
7.1-1.6 spektrale Strahlungs- 10-6 bis 10 A W-1 Photonenenergie- 10 % bis 0,36 % nein
Empfindlichkeit empfnger bereich 1,75 keV bis
10 keV, Vakuum
spectral radiation detector 10-6 to 10 A W-1 photon energy range 10 % to 0.36% no
responsivity 1.75 keV to 10 keV,
vacuum

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Abteilung 7

Id-Nr. Messgre Kalibrier-/ Bereich Einheit Messbedingungen Erweiterte CMC-Eintrag


Prfgegenstand Messunsicherheit
(k=2)
Id. No. Measurand Instrument or Range Unit Measurement Expanded CMC entry
Artifact to be conditions measurement
calibrated / tested uncertainty (k=2)
1 2 3 4 5 6 7 8
7.1-1.7 spektraler Spiegel, Filter 10-6 bis 1 1 Wellenlngenbereich: 10 % bis 0,28 % Ja, Reflexions-
Reflexionsgrad, 0,65 nm bis 30 nm, grad fr
spektraler Vakuum Wellenlngen-
Transmissionsgrad bereich 10 nm
bis 30 nm
spectral reflectivity, mirror, filter 10-6 to 1 1 wavelength range: 10 % to 0.28 % yes,reflectance
spectral 0.65 nm to 30 nm, for wavelength
transmittance vacuum range 10 nm to
30 nm
7.1-1.8 spektraler Spiegel, Filter 10-7 bis 1 1 Photonenenergie- 10 % bis 0,5 % nein
Reflexionsgrad, bereich 1,75 keV bis
spektraler 10 keV, Vakuum
Transmissionsgrad
spectral reflectivity, mirror, filter 10-7 to 1 1 photon energy range 10 % to 0.5% no
spectral 1.75 keV to 10 keV,
transmittance vacuum
7.1-1.9 spektrale Strahlungs- 10-6 bis 10 A W-1 Photonenenergie- 10 % bis 0,5 % nein
Empfindlichkeit empfnger bereich 8 keV bis
60 keV
spectral radiation detector 10-6 to 10 A W-1 photon energy range 10 % to 0.5% no
responsivity 8 keV to 60 keV
7.1-1.11 Schichtdicke Dnne Schicht auf 2 bis 1000 nm Rntgenreflektometrie 12 % bis 0,1 % Ja, fr Dicken-
spiegelnder (material- bereich 2 nm
Oberflche abhngig) bis 200 nm
layer thickness thin layer on 2 to 1000 nm X-ray reflectometry 12 % to 0.1 % yes, for
reflecting surface (depending thickness
on material) range 2 nm to
200 nm
7.1-1.12 Mittlerer Nanopartikel 3 bis 300 nm In Suspension, 10 % bis 0,5 % ja
Durchmesser Rntgen-
kleinwinkelstreuung
mean diameter nanoparticles 3 to 300 nm in suspension, 10 % to 0.5 % yes
Small angle X-ray
Scattering (SAXS)
7.2-1.110 Massebelegung Si- und SiC-Wafer 10-12 gcm-2 Totalreflexions- 60 % bis 25 % nein
von (elementab- Rntgenfluoreszenz-
Spurenelementen hngige analyse
(als Oberflchen- untere Nach-
kontamination) weisgrenze)
mass deposition of Si and SiC wafer 10-12 gcm-2 total reflection X-ray 60 % to 25 % no
trace elements (element- fluorescence analysis
(as surface specific lower
contamination) limit of
detection)

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Id-Nr. Messgre Kalibrier-/ Bereich Einheit Messbedingungen Erweiterte CMC-Eintrag


Prfgegenstand Messunsicherheit
(k=2)
Id. No. Measurand Instrument or Range Unit Measurement Expanded CMC entry
Artifact to be conditions measurement
calibrated / tested uncertainty (k=2)
1 2 3 4 5 6 7 8
Elementspezifische dnne Schichten 1 10-10 bis gcm-2 Rntgenfluoreszenz- 40 % bis 7 % nein
7.2-1.111
Massenbelegung aus einem oder 1 10-5 analyse
(damit auch mehreren (element
Stoffmengenverhlt Elementen und
nisse) von dnnen zusammense
aus einem oder tzungsab-
mehreren hngig)
Elementen
bestehenden
Schichten mit
referenzprobenfreie
r XRF
element specific thin layers 1 10-10 to gcm-2 X-ray fluorescence 40 % to 7 % no
mass deposition of consisting of one or 1 10-5 analysis
thin layers more elements (depends on
consisting of one or the elements
more elements and the
using reference composition)
free XRF

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Id-Nr. Messgre Kalibrier-/ Bereich Einheit Messbedingungen Erweiterte CMC-Eintrag


Prfgegenstand Messunsicherheit
(k=2)
Id. No. Measurand Instrument or Range Unit Measurement Expanded CMC entry
Artifact to be conditions measurement
calibrated / tested uncertainty (k=2)
1 2 3 4 5 6 7 8
3-1.1 Temperatur Strahlungs- 800 bis 3000 C 0,28 K bis 1,5 K ja, im Bereich
thermometer, am Fixpunkt 50 mK von 960 C bis
Wolframbandlampe 1700 C fr
Thermografiegert, Strahlungs-
Hohlraumstrahler thermometer
sowie im
Bereich von
800 C bis
2700 C fr
Hohlraum-
strahler
temperature radiation 800 to 3000 C 0.28 K to 1.5 K yes, in the
thermometer, at the fixed-point range from
tungsten strip lamp, 50 mK 960 C to
thermographic 1700 C for
instruments, cavity radiation
radiator thermometers
and in the
range 800 C
to 2700 C for
cavity radiators
7.3-1.2 Temperatur Strahlungs- - 60 bis 962 C 0,03 K bis 0,6 K ja, im Bereich
thermometer, von -40 C bis
Thermografiegert, 960 C
Hohlraumstrahler
temperature radiation - 60 to 962 C 0.03 K to 0.6 K yes, in the
thermometer, range from-
thermographic 40 C to 960 C
instruments, cavity
radiator
7.3-1.3 spektrale Normal der 4 106 bis W m-3 sr1 Wellenlnge 220 nm 4,1 % bis 0, 3 % ja, im Bereich
Strahldichte spektralen 4 1011 bis 2500 nm, von 250 nm bis
Strahldichte Bandbreite < 2 nm 2500 nm
spectral radiance standard of spectral 4 106 to W m-3 sr-1 wavelength from 4,1 % to 0,3 % yes, in the
radiance 4 1011 220 nm to 2500 nm, range from
bandwidth < 2 nm 250 nm to
2500 nm
7.3-1.4 spektrale Be- Filterradiometer 1 10-9 bis A W-1 m2 Vergleich mit 0,08 % bis 10 % nein
strahlungsstrke- 3 10-5 Transfernormalen im
empfindlichkeit Wellenlngenbereich
von 238 nm bis 1,7 m,
spektrale Bandbreite
(FWHM) 0,5 nm bis
6 nm.
spectral irradiance filter radiometer 1 10-9 bis A W-1 m2 comparison with 0.08 % to 10 % No
responsivity 3 10-5 transfer standards in
the wavelength range
from 238 nm to 1.7 m,
spectral bandwidth
(FWHM) 0.5 nm to
6 nm.

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Id-Nr. Messgre Kalibrier-/ Bereich Einheit Messbedingungen Erweiterte CMC-Eintrag


Prfgegenstand Messunsicherheit
(k=2)
Id. No. Measurand Instrument or Range Unit Measurement Expanded CMC entry
Artifact to be conditions measurement
calibrated / tested uncertainty (k=2)
1 2 3 4 5 6 7 8
7.3-1.5 Integrale Thermische Hohlraumstrahlung, 10 % bis 20 % nein
Bestrahlungs- Detektoren Temperaturbereich von
strke- Anzeige- 1000 K bis 3000 K;
empfindlichkeit von Integrationsbereich
thermischen 200 nm bis 20 m
Detektoren

Integrated thermal detectors Black body radiation, 10% to 20% no


irradiance temperature range from
responsivity of Display 1000 K to 3000 K;
thermal detectors range of integration
200 nm to 20 m
7.3-1.6 Temperatur IR-Kameras, IR- - 60 bis 962 C 0,06 K bis 0,28 K ja, im Bereich von
Strahlungs- -40 C bis 960 C
thermometer, IR- fr Strahlungs-
thermometer und
Temperaturstrahler Hohlraumstrahler
temperature IR cameras, IR - 60 to 962 C 0.06 K to 0.28 K yes, in the range
radiation from -40 C to
thermometer, IR 960 C for
radiation
thermal radiator thermometers
and cavity
thermal radiators
7.3-1.11 Spektraler Materialproben 0,01 bis 1 1 Wellenlngenbereich 1 % bis 10 % nein
Emissionsgrad 2,5 m bis 100 m,
Temperaturbereich
25 C bis 500 C
spectral emissivtiy material samples 0.01 to 1 1 wavelength range from 1 % to 10 % no
2.5 m to 100 m,
temperature range from
25 C to 500 C

7.3-1.12 Spektraler Oberflchen 0 bis 1 1 Wellenlngenbereich 5% nein


Reflexionsgrad 5 m bis 1000 m
spectral reflectance surfaces 0 to 1 1 wavelength range from 5% no
5 m to 1000 m

7.3-1.21 spektrale Halbleiter- 0,001 bis 10 A/W Vergleich mit 0,01 % bis 0,05 % Ja, im Bereich
Empfindlichkeit detektoren Kryoradiometer an von 350 nm bis
Laserwellenlngen im 1014 nm
Bereich
350 nm bis1015 nm
spectral semiconductor 0.001 to 10 A/W comparison with 0.01 % to 0.05 % Yes, in the
responsivity detectors cryogenic radiometer at range from 350
laser wavelengths in nm to 1014 nm
the range
350 nm to1015 nm
7.3-1.23 spektrale Halbleiter- 0,001 bis 10 A/W Vergleich mit 0,06 % bis 3 % ja im Bereich von
Empfindlichkeit detektoren Kryoradiometer im 900 nm bis
Bereich 900 nm bis 1600 nm
2400 nm

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Id-Nr. Messgre Kalibrier-/ Bereich Einheit Messbedingungen Erweiterte CMC-Eintrag


Prfgegenstand Messunsicherheit
(k=2)
Id. No. Measurand Instrument or Range Unit Measurement Expanded CMC entry
Artifact to be conditions measurement
calibrated / tested uncertainty (k=2)
1 2 3 4 5 6 7 8
spectral semiconductor 0.001 to 10 A/W comparison with 0.06 % to 3 % yes, in the range
responsivity detectors cryogenic radiometer in from 900 nm to
the range from 900 nm 1600 nm
to 2400 nm

7.3-1.24 spektrale Halbleiter- 0,001 bis 10 A/W Vergleich mit 0,2 % bis 2 % ja
Empfindlichkeit detektoren Kryoradiometer im
Bereich 200 nm bis
410 nm
spectral semiconductor 0.001 to 10 A/W comparison with 0.2 % to 2 % yes
responsivity detectors cryogenic radiometer in
the range from 200 nm
to 410 nm

7.3-1.25 spektrale photoelektrische A/W oder Vergleich mit 0,04 % bis10 % Ja, im Bereich
Empfindlichkeit oder V/W oder Transfernormalen im von 200 nm bis
thermoelektrische Anzeige- Bereich 200 nm bis 1600 nm (nicht
fr Bestrahlungs-
Strahlungs- wert/W 1,9 m strkeempfind-
empfnger A cm/W (Bestrahlungsstrke- lichkeit)
empfindlichkeit nur bei
kleinen
Detektorflchen)
spectral photoelectric or A/W or comparison with 0.04 % to 10% Yes, in the range
responsivity thermoelectric V/W or transfer standards in from 200 nm to
radiation detectors Display the range from 200 nm 1600 nm (not for
irradiance-
value/W to 1.9 m (irradiance- responsivity)
A cm/W responsivity only for
small detector areas)
7.3-1.26 Ortsabhngige Strahlungs- 1 Wellenlngen: 0,05 % nein
Messung der empfnger 256,7 nm
relativen spektralen und 366,25 nm,
Empfindlichkeit Ortsauflsung:
0,25 mm
position-dependent radiation detector 1 wavelengths: 256.7 nm 0.05 % no
measurement of and 366.25 nm,
the relative spectral spatial resolution:
responsivity 0,25 mm
7.3-1.27 spektrale THz- Anzeige/W Vergleich mit 3,3 % nein
Empfindlichkeit Strahlungsleistungs- Transfernormal im
messgerte Bereich von 1 THz bis
5 THz und einer
Strahlungsleistung von
0,02 mW bis 20 mW
spectral THz power meter display Comparison with 3.3 % no
responsivity value/W transfer standard in the
range from 1 THz to
5 THz and a radiant
power between
0.02 mW and 20 mW

7.4-1.1 Temperatur SPRT (long-stem) -189 bis 962 C Thermostat / 0,1 mK bis 3 mK ja
an Fixpunkten 3-Zonenofen
temperature SPRT (long stem) -189 to 962 C thermostat / 0.1 mK to 3 mK yes
on fixed points 3-zone furnace

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16 Abteilung 7 2017-03-31 3.1 6 von 9
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Id-Nr. Messgre Kalibrier-/ Bereich Einheit Messbedingungen Erweiterte CMC-Eintrag


Prfgegenstand Messunsicherheit
(k=2)
Id. No. Measurand Instrument or Range Unit Measurement Expanded CMC entry
Artifact to be conditions measurement
calibrated / tested uncertainty (k=2)
1 2 3 4 5 6 7 8
7.4-1.2 Temperatur Fixpunktzelle fr -189 bis 962 C Thermostat / 0,07 mK bis 3 mK ja
SPRTs (long-stem) 3-Zonenofen
temperature fixed point cell for -189 to 962 C thermostat / 0.07 mK to 3 mK yes
SPRTs (long stem) 3-zone furnace
7.4-1.3 Temperatur CSPRT an 14 bis 273 K Isothermer Kryostat 0,3 mK bis 0,4 mK ja
Fixpunkten
temperature CSPRT on fixed 14 to 273 K isothermal cryostat 0.3 mK to 0.4 mK yes
points
7.4-1.4 Temperatur Fixpunktzelle fr 14 bis 273 K Isothermer Kryostat 0,3 mK bis 0,4 mK ja
CSPRTs
temperature fixed point cell for 14 to 273 K isothermal cryostat 0.3 mK to 0.4 mK yes
CSPRTs

7.4-1.5 Temperatur Kapselthermome- 0,65 bis 303 K Isothermer Kryostat 0,3 mK bis 1,5 mK ja
ter, ITS-90
temperature encapsulated 0.65 to 303 K isothermal cryostat 0.3 mK to 1.5 mK yes
thermometer, ITS-
90

7.4-1.6 Temperatur Kapselthermome- 0,05 bis 1 K Isothermer Kryostat 0,36 mK Ja


ter, PLTS-2000

temperature encapsulated 0.05 to 1 K isothermal cryostat 0.36 mK yes


thermometer,
PLTS-2000

7.4-1.65 Temperatur Magnetfeld- 0,001 bis 1 K Isothermer Kryostat 0,05 mK bis 10 mK nein
fluktuations-
thermometer
temperature magnetic field 0.001 to 1 K isothermal cryostat 0.05 mK to 10 mK no
fluctuation
thermometer

7.4-1.7 Temperatur Temperatur- 0,015 bis 10 K Isothermer Kryostat 0,1 mK bis 1 mK ja


Referenzproben
temperature temperature 0.015 to 10 K isothermal cryostat 0.1 mK to 1 mK yes
reference sample

7.4-1.8 Temperatur Edelmetall- 0 bis 1600 C Hochtemperaturofen 0,05 K bis 1,5 K ja


Thermoelement
temperature noble metal 0 to 1600 C high-temperature 0.05 K to 1.5 K yes
thermocouple furnace

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16 Abteilung 7 2017-03-31 3.1 7 von 9
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Qualittsmanagement-Handbuch
Abteilung 7

Id-Nr. Messgre Kalibrier-/ Bereich Einheit Messbedingungen Erweiterte CMC-Eintrag


Prfgegenstand Messunsicherheit
(k=2)
Id. No. Measurand Instrument or Range Unit Measurement Expanded CMC entry
Artifact to be conditions measurement
calibrated / tested uncertainty (k=2)
1 2 3 4 5 6 7 8
7.4-1.9 Temperatur Flssigkeits- -58 bis 600 C Gerhrtes 5 mK bis 500 mK ja
Glasthermometer Flssigkeitsbad
temperature liquid-in-glass -58 to 600 C stirred thermostated 5 mK to 500 mK yes
thermometer bath

7.4-1.10 Temperatur Direktanzeigendes -75 bis 600 C Gerhrtes 4 mK bis 15 mK ja


Thermometer und Flssigkeitsbad
Widerstandsthermo
meter
temperature direct reading -75 to 600 C stirred thermostated 4 mK to 15 mK yes
thermometer and bath
resistance
thermometer
7.4-1.11 Seebeck- Thermoelektrische -300 bis 300 V/K 300 K bis 850 K 2,6 % bis 8,4 % nein
Koeffizient Probe
Seebeck coefficient thermoelectric -300 to 300 V/K 300 K to 850 K 2.6 % to 8.4 % no
sample

7.5-1.4 Druck Kapazitts- 10-2 bis 105 Pa 20 C bis 25 C, He, 0,40 % bis 0,040 % ja
vakuummeter Ne, N2, Ar, Kr, Xe
pressure capacitance 10-2 to 105 Pa 20 C bis 25 C, He, 0.40 % to 0.040 % yes
diaphragm gauge Ne, N2, Ar, Kr, Xe

7.5-1.5 Druck Gasreibungs- 10-4 bis 1 Pa 20 C bis 25 C, He, N2, 4,9 % bis 0,26 % ja
vakuummeter Ar
pressure spinning rotor 10-4 to 1 Pa 20 C bis 25 C, He, N2, 4.9 % to 0.26% yes
vacuum gauge Ar

7.5-1.6 Druck Ionisations- 10-9 bis 210-2 Pa 20 C bis 25 C, Ne, N2, 10 % bis 0,66 % ja
vakuummeter Ar, Kr, Xe
pressure ionisation vacuum 10-9 to 210-2 Pa 20 C bis 25 C, Ne, N2, 10 % to 0.66% yes
gauge Ar, Kr, Xe

7.5-1.7 Druck sonstiges 10-9 bis 105 Pa 20 C bis 25 C, nicht 10 % bis 0,0054 % ja
Vakuummeter kondensierendes Gas
pressure other vacuum 10-9 to 105 Pa 20 C bis 25 C, non 10 % to 0.0054% yes
gauge condensing gas
7.5-1.8 Stoffmengen- Testleck 1 10-14 bis mol/s gegen Vakuum, 18 C 5 % bis 1,2 % ja
durchfluss 4 10-9 bis 40 C
flowrate of amount artefact 1 10-14 to mol/s against vacuum, 18 C 5 % to 1.2 % yes
of substance 4 10-9 to 40 C
7.5-1.9 Stoffmengen- Testleck 4 10-11 bis mol/s gegen Atmosphre, 2% bis 0,33 % nein
durchfluss 4 10-9 18 C bis 30 C
flowrate of amount artefact 4 10-11 to mol/s against atmosphere, 2% to 0.33 % no
of substance 4 10-9 18 C to 30 C
7.5-1.10 Saugvermgen Turbomolekular- 25 bis 2000 l/s ISO 21360 und 5302 5% nein
pumpe
volume flow turbomolecular 25 to 2000 l/s ISO 21360 and 5302 5% no
(pumping speed) pump

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Prfgegenstand Messunsicherheit
(k=2)
Id. No. Measurand Instrument or Range Unit Measurement Expanded CMC entry
Artifact to be conditions measurement
calibrated / tested uncertainty (k=2)
1 2 3 4 5 6 7 8
7.5-1.21 Volumen, Volumengeber, 3 bis 1000 m/h 3 C bis 90 C 4 10-4 nein
Volumenstrom, Durchflusssensoren
Masse, Massengeber, 3 bis 1000 t/h
Massenstrom Massenfluss-
sensoren
volume, volume volume sensors, 3 to 1000 m/h 3 C to 90 C 4 10-4 no
flow, flowrate sensors
mass, mass flow sensors 3 to 1000 t/h
mass flow mass flow rate
sensors

7.5-1.23 Simulierte Wrmezhler- 0,2 bis kW 0 C bis 200 C, 3 10-3 nein


thermische Rechenwerke 236000 3 K bis 200 K
Leistung, Energie 0,006 m/h bis
1000 m/h
simulated thermal heat meter 0.2 kW 0 C to 200 C, 3 10-3 no
power, energy computing to 236000 3 K to 200 K
mechanisms 0.006 m/h to
1000 m/h
7.5-1.27 Temperaturdiffe- Temperaturfhler- 5 bis 160 C 3 K bis 157 K 21 mK bis 175 mK nein
renz paare fr Wrme-
und Kltezhler
temperature temperature sensor 5 to 160 C 3 K to 157 K 21 mK bis 175 mK no
difference pairs for heat and
cooling meters

7.5-1.28 Temperatur Tragbare -25 bis 40 C Spiritus- und Gesamtgert: nein


Elektrothermometer Wasserbder 167 mK,
Teilgerte: 67 mK
bzw.100 mK
temperature portable electric -25 bis 40 C spirit and waterbathes Complete device: no
thermometers 167 mK,
subas-semblies:
67 mK resp.100 mK

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