Técnica de calibración: LRRM
Karen Nallely Olan Nuñez
Instituto Nacional de Astrofísica, Óptica y Electrónica
Puebla, México
Karen.olan@inaoep.mx
Resumen— Este documento es una recopilación de diferentes
artículos sobre el método de auto calibración Line-Reflect-
Reflect-Match, se abordan cuatro artículos consultados, el
artículo [1] de 1990 introduce la calibración LRRM, pero no
se establece un análisis teórico de la técnica, en 2001 se
publica [2] el cual detalla el análisis matemático, en 2006 es
desarrollado [3], el cual propone un método robusto para la
determinación de la inductancia de carga, el método se llama
eLRRM para estándares “line” de longitud larga, además
expone las limitaciones del método y finalmente en [4] se
mejora el modelo de carga de [1],[2] y [3].
I. INTRODUCCIÓN
La calibración sirve para eliminar los errores sistemáticos y
para cambiar los planos de medición de VNA al dispositivo bajo
prueba (DUT), al utilizar un modelo de error para representar un
analizador de red vectorial no ideal (VNA) y un conjunto de
estándares de calibración.
Diferentes técnicas de calibración para VNAs han sido
propuestas en la literatura hasta la fecha, cada una basada en
mediciones de un conjunto de estándares en lugar del DUT.
Algunos métodos de calibración comúnmente usados son: TRL,
LRL, TRM, LRM, TRRM y LRRM. Todas estas son técnicas de
auto calibración, donde los estándares de calibración no tienen
que ser completamente conocidos.
Desde la introducción del sondeo en oblea de microondas en
1983, la técnica dominante de calibración del analizador de red
vectorial ha sido el Short-Open-Load-Thru (SOLT). La técnica
TRL ha sido usada en ciertas aplicaciones, ambos enfoques han
permitido realizar valiosas mediciones con relativa facilidad y un
alto grado de precisión.
Cada técnica tiene inconvenientes que pueden dificultar la
precisión. El método LRM evita muchos de estos inconvenientes,
permitiendo de este modo una calibración más precisa y más
versátil en la oblea. Además, LRM es más fácil de realizar porque
requiere menos estándares.
Muchas ventajas del método LRM resultan de los estándares
empleados (Línea-Reflector-Carga acoplada): Primero, porque el
“Match” es solo una impedancia que necesita ser definida, se
evitan errores causados por una impropia definición de los
estándares “Open” o “Short”, segundo, el “Reflect” solo necesita
ser idéntico para cada puerto, esto es más fácil de realizar
físicamente y por último la impedancia de referencia se comporta
correctamente, un resistor coplanar de “buen tamaño”, por lo
tanto, proporciona un buen acoplamiento, una banda ancha,
calibraciones precisas.
Se pueden lograr calibraciones precisas LRM de banda ancha
utilizando compactos sets de calibración.
Las implementaciones de calibración LRM resuelve un modelo de
error que deja los planos de referencia para ambos puertos a la
mitad de la “línea”. El adaptador de error para cada puerto
incluye la mitad de la línea junto con las transiciones de las
puntas, el plano de medición se puede mover hasta las puntas y
los adaptadores de error resultantes seguirán incluyendo las
transiciones.
Sin embargo, la técnica LRM requiere dos estándares match
(carga acoplada), uno en cada puerto del VNA, ambos estándares
match deben ser iguales y perfectamente conocidos, dado que
esos requisitos no se cumplen en la práctica, la precisión de
calibración de LRM se reduce.
La técnica de calibración de cuatro estándares LRRM (Línea-
Reflect1-Reflect2-Match) se propuso en [1], como una mejora con
respecto a LRM, la principal ventaja de LRRM frente a LRM es
que solo se requiere la medición de un estándar “Match”
(parcialmente desconocido) en un puerto para calcular con
precisión los dos estándares “Reflects” Ͳr1 y Ͳr2 desconocidos,
evitando problemas debido a las asimetrías entre ambos
estándares “Match”.
II. DESARROLLO
Al realizar la calibración, cuando el estándar “Match” es
colocado para la medición, esta carga-Match al ponerse en
contacto con las sondas, experimenta una reactancia (capacitiva-
inductiva).
En [1] se analizó que la superposición-overlap de las sondas
afectan en menor cantidad a la resistencia- del Match y a la
capacitancia, mientras la inductancia en serie vista por la sonda es
muy afectada.
Esta reactancia (capacitiva-inductiva) representa una
reactancia de referencia, en [1], [2] y [3] es considerada
puramente inductiva y la R-match es constante y en [4] también se
considera el efecto capacitivo de esta reactancia.
El punto clave en la técnica LRRM es una determinación
precisa de la reactancia de referencia de la calibración.
En [1] se propone un método para la determinación de la
inductancia de carga, donde se supone implícitamente que existe
una impedancia de referencia (a la que se refiere la calibración) y
es igual a la impedancia del “Match”, la ecuación 1 permite el
cálculo de la inductancia de carga, demostrada hasta 40 GHz.
(1)
En [2] se definen las matrices de transmisión de los estándares
utilizados en la calibración LRRM, un “Thru” es utilizado como
estándar “Line” (ec.2), un “Short” y un “Open” como “Reflects”
(ec.3 y 4) y un Match o carga acoplada.
Como la magnitud del coeficiente de reflexión del estándar
“match” debiera ser muy pequeña y conocida, se definen cuatro
estándares virtuales al combinar las matrices de los reflectores con
la carga conectada a ambos puertos (Si la carga se pone en el
puerto 1, resultan las matrices de la ec.5)
(2)
(3)
(4)
(5)
 La impedancia de referencia (a la que se refiere la calibración
LRRM) generalmente no se puede definir siempre que se utilicen
estándares no ideales, esta consideración conduce a una expresión
general para Γer1 en [2] que, en contraste con [1], no asume una
impedancia de referencia. Las ecuaciones 6, 7 y 8 se usan en [2]
para determinar con precisión Le, demostrando mejoras de
precisión en la calibración, se realiza la verificación experimental
de la teoría y algoritmo propuesto usando calibraciones en oblea
de hasta 40GHz.
(6)
(7)
(8)
Además en [2], presentan las ecuaciones matriciales para
determinar las cajas de error a partir de los parámetros S medidos
de los estándares, del modelo de 8 términos de error para la
calibración del VNA, donde cuatro términos de error
(e00,e01,e10,e11) modelan los errores sistemáticos
correspondientes al puerto 1 del VNA (caja de error X), mientras
e22, e23, e32 y e33 modelan los errores sistemáticos
correspondientes al puerto 2 del VNA (caja de error Y) (ecuación
9), y son despreciados los términos correspondientes a
“Switching” y “cross-talk”, que representan la transmisión directa
entre los puertos 1 y 2, es decir
e02=e20=e12=e21=e03=e30=e13=e31=0).
Fig. 1 Modelo de error para un VNA. A) Modelos de 8 términos de error,
B) matrices de error. [2]
(9)
El plano de medición queda localizado a la mitad del estándar
“Line”, es decir a la mitad del “Thru”, en los métodos de
calibración LRRM expuestos en [1] y [2], además estos
consideran que la longitud del Thru es corta.
En [3] se presenta un estudio detallado de la implementación
comercial del método de calibración eLRRM en un VNA, con una
corrección automática de la inductancia de carga, en este articulo
se expone un algoritmo con el modelo de 8 términos de error,
considerando un “Thru” de longitud larga.
Como la frecuencia máxima de prueba ha llegado y superado
los 110 GHz, la longitud eléctrica y la reactancia inductiva de los
estándares de calibración comúnmente utilizados han aumentado
hasta donde estos impactos ya no son transparentes.
Pero este error de calibración no es necesariamente el error
dominante, ya que la incertidumbre del posicionamiento de la
sonda al DUT también tiene un mayor impacto conforme la
frecuencia aumenta, por lo que el método eLRRM propuesto en
[3] proporciona un mejor manejo de los estándares “línea” no
ideales y eléctricamente largos, además utiliza un método de
extracción de inductancia mucho más robusto.
La calibración en [3] encuentra los términos de error del
modelo de 8 términos de error, a la mitad del Thru, como se
muestra en la figura 2, pero con la ecuación 10, el plano de
medición puede ser desplazado media longitud del Thru, para que
este quede en las puntas de las sondas.
Fig. 2 Planos de referencia para el modelo de 8 términos de error. a) En las
puntas de prueba. b) al centro del Thru. [3]
(10)
El algoritmo propuesto en [3] es el siguiente:
1. Determinar el rango de la estimación de la inductancia
de carga.
2. Calcule el Zload en la punta de la sonda y luego traslade
al plano de referencia del centro del Thru para cada
valor estimado.
3. Re-normalice los términos de la caja de error para cada
valor estimado.
4. Calcule para el “open” utilizando las correcciones de la
caja de error, incluido el desplazamiento del plano de
referencia a la punta de la sonda.
5. Calcule una diferencia entre la magnitud reflejada
esperada del “open” de referencia y la magnitud de la
reflexión estimada para cada caso de suposición.
6. Elija la inductancia que minimice la magnitud del error
sumada en un rango de frecuencia deseado.
Suposiciones y limitaciones en la extracción de inductancia de
carga:
1. La Z de carga debe ser igual a la de las puntas de prueba y la
del centro del Thru. Este error llega a ser más significativo
cuando L es grande.
2. Pérdidas del reflector “Open” es cero al centro del Thru.
Para líneas que tienen incluso con una pequeña cantidad de
pérdidas esta suposición no es perfectamente cierta. Un thru típico
de 2ps puede tener hasta 0.04 dB de pérdidas a 40 GHz.
3. Corrección primitiva de L cuando la carga R no es igual a
ZSystem. Si el valor de la resistencia en la carga no es igual a la
impedancia del sistema entonces el valor de la inductancia de
carga aparente es cambiado. La suposición de un “Thru”
eléctricamente corto con una pequeña carga L condujo a un valor
de ajuste de corrección. El ajuste utilizado en las
implementaciones anteriores estuvo dado por:
Para longitudes eléctricas significantes del Thru es modelado
impropiamente con esta aproximación.
 Los resultados de calibración con estándar “Thru”
eléctricamente largo, se muestran en la figura 3, los datos fueron
adquiridos usando un VNA Agilent PNA, una estación de prueba
Cascade Microtech 12801, sondas Infinity GSG pitch=150um y
un sustrato de impedancia estándar (ISS). El Thru de 1ps se usa
como referencia, las curvas muestran la comparación entre la
calibración clásica LRRM de [1][2] y la eLRRM de [3].
Fig. 3 Limites de error de la comparación de calibración de LRRM y
eLRRM con referencia a la calibración LRRM con extracción automática
de la inductancia de carga de un Thru de 1ps. [3]
Los resultados presentados demuestran que el algoritmo
eLRRM es robusto incluso cuando se utiliza un Thru muy largo.
En [4] se presenta un modelo de carga mejorado, al que llaman
cLRRM, este algoritmo toma en cuenta la capacitancia e
inductancia para el modelo de carga, las mediciones resultan de
un sustrato de impedancia estándar (ISS) de 0.5 a 110 GHz, el
método propuesto supera al clásico LRRM y da una calibración
de calidad TRL multilínea en oblea.
La capacitancia parásita es considerada debido a que a medida
que la frecuencia de medición aumenta, la capacitancia introduce
errores significativos al no ser considerada en el modelo de carga.
En este artículo sea abordan las características de los modelos de
shunt-loads para el LRRM clásico, el eLRRM y el propuesto
cLRRM, como se muestra en la figura 4, la diferencia en estos
modelos es la capacitancia.
Fig. 4 Modelos de shunt-loads usados para a) clásico LRRM, b) eLRRM,
c) propuesto cLRRM y d) modelo estandar “probe-tip open” usado para el
cLRRM. [4]
En el modelo y representan la impedancia característica
y la constante de propagación del estándar Thru y es igual a
media longitud negativa del Thru. En adición el estándar “probe-
tip open” es modelado por una .
Ya que a bajas frecuencias la impedancia del estándar de carga
es completamente conocida debido a que L y C no están
presentes.
Como resultado la impedancia del estándar “open” a la mitad
del Thru, Zopen puede ser determinada de la razón que
despues permite el cálculo de ZcLRRM no solo a bajas frecuencias.
Dado que ZcLRRM es la impedancia al centro de la línea Thru, la
impedancia intrínseca de carga se obtiene realizando un
desplazamiento del plano de referencia, se utiliza un programa de
ajuste de mínimos cuadrados multi-frecuencia para determinar los
parásitos del modelo de carga: Cint y Lint a partir de Zint.
Los resultados obtenidos de mediciones realizadas en [4] se
presentan en la figura 4, bajo las siguientes condiciones: VNA de
banda ancha, sondas de oblea pitch=100um, alúmina coplanar
(εr= 9.5E-10, tanδ=0.0003 a 10GHz y 25°C) y sustrato de
impedancia estándar (ISS) CS-5 de industrias GCB Inc.,fueron
usados estándares de calibración LRRM y MTRL, las resistencias
en DC de las cargas fueron de 12.5Ω, 25Ω,50Ω y 100Ω,
respectivamente. Calibraciones MTRL fueron desarrolladas como
calibraciones de referencia.
Los parámetros S fueron obtenidos en un barrido lineal de 0.5
a 110 GHz, donde la capacitancia obtenida se muestra en la figura
5.
Fig. 4 Comparación del rendimiento entre clásico LRRM-MTRL,
eLRRM-MTRL, cLRRM-MTRL y el error de la repetibilidad de MTRL.
[4]
Fig. 5 Copen cuando las puntas de prueba son medidas en el aire, con
MTRL y el propuesto cLRRM usando resistores “shunt”. [4]
En base a la figura 4, se observa que el eLRRM muestra
grandes errores con Rdc=100Ω, el método clásico LRRM no
puede ser utilizado con cargas de 12.5Ω, 25 Ω y 50 Ω por encima
de 67 GHz, la diferencia entre el cLRRM y MTRL es comparable
a la repetibilidad de MTRL para todas las cargas, el modelo
clásico LRRM y el cLRRM dan resultados parecidos con una
carga de 100Ω.
III.CONCLUSIONES
El método cLRRM proporciona mejores resultados en la
calibración ya que los resultados obtenidos son comparables a los
obtenidos con la técnica de calibración multilínea TRL.
Este método tiene sus bases en el clásico LRRM y eLRRM,
pero cambia por que considera la capacitancia en el modelo de
carga.
Las ventajas del método LRRM resultan de los estándares
empleados, ya que se requiere solo se requiere caracterizar un
estándar- Match. Se evitan errores, ya que no requiere caracterizar
más estándares.
LRRM clásico requiere que la longitud del Thru sea “corta”, eLRRM fue desarrollado para Thrus “largos” es decir para frecuencias
mayores donde las pérdidas de la línea Thru ya no son invisibles o despreciables. Los métodos eLRRM y cLRRM dejan el plano de
referencia “desplazado medio Thru”, es decir en las puntas de las sondas.

AGRADECIMIENTO
Extiendo un sincero agradecimiento al Consejo Nacional de Ciencia y Tecnología por brindarme la beca para realizar el postgrado en el
Instituto Nacional de Astrofísica, Óptica y electrónica y al Dr. Roberto Murphy por compartirnos su conocimiento.

REFERENCIAS
[1] Calibraciones LRM y LRRM con determinación automática de inductancia de carga - Andrew Davidson, Keith Jones, Eric Strid.
[2] Nuevo análisis teórico de la técnica de calibración LRRM para analizadores de Red Vectorial - Francesc Purroy y Lluis Prandell.
[3] Calibración LRRM mejorada – Leonard Hayden.
[4] Una calibración mejorada LRRM con un modelo de carga mejorado - Song Liu, Ilja Ocket, Arkadiusz Lewandowski, Dominique Scheurs y Bart
Nauwelaers.