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ICS 25.220.

01 VDI-RICHTLINIEN November 2006

Qualitätssicherung bei der Vakuumbeschichtung VDI 3823


VEREIN von Kunststoffen
DEUTSCHER Eigenschaften, Anwendungen und Verfahren Blatt 1 / Part 1
INGENIEURE
Vacuum coating quality assurance Ausg. deutsch/englisch
Characteristics, applications and procedures Issue German/English
Former edition: 12/04 Draft, in German only
Frühere Ausgabe: 12.04 Entwurf, deutsch

Die deutsche Version dieser Richtlinie ist verbindlich. No guarantee can be given with respect to the English transla-
tion. The German version of this guideline shall be taken as
authoritative.

Inhalt Seite Contents Page

Vorbemerkung....................................................... 2 Preliminary note .................................................... 2


Einleitung.............................................................. 3 Introduction........................................................... 3
1 Geltungsbereich ............................................... 4 1 Scope................................................................ 4
2 Anwendungsbereiche der Vakuum- 2 Applications for Vacuum Coating
beschichtung von Kunststoffen ...................... 4 Plastics............................................................. 4
2.1 Dekorative Anwendungen............................ 5 2.1 Decorative applications................................ 5
2.2 Reibungs- und verschleißmindernde 2.2 Friction and wear resistant coatings.............. 8
Anwendungen ............................................. 8
2.3 Elektrotechnische Anwendungen ................. 8 2.3 Electrotechnical applications........................ 8
2.4 Optische Anwendungen ............................. 11 2.4 Optical applications ................................... 11
2.5 Anwendungen als Barriereschichten........... 14 2.5 Applications as barrier coatings.................. 14
2.6 Biologische und medizinische 2.6 Biological and medical applications ........... 17
Anwendungen ........................................... 17
2.7 Weitere Anwendungen............................... 19 2.7 Further applications ................................... 19
3 Verfahren für die Vakuumbeschichtungen 3 Processes for Vacuum Coating
von Kunststoffen ........................................... 21 Plastics........................................................... 21
3.1 Thermisches Verdampfen im Vakuum ....... 22 3.1 Thermal evaporation in a vacuum .............. 22
3.2 Bogenverdampfung im Vakuum................. 22 3.2 Arc beam vacuum systems......................... 22
3.3 Zerstäuben im Vakuum.............................. 24 3.3 Sputtering.................................................. 24
3.4 Plasmapolymerisation................................ 26 3.4 Plasma polymerization............................... 26
3.5 Plasmaunterstützte chemische 3.5 Plasma Enhanced Chemical Vapor
Dampfabscheidung (PECVD) .................... 27 Deposition (PECVD)................................. 27
3.6 Vor- und Nachbehandlung ......................... 27 3.6 Pretreatment and after-treatment ................ 27
Schrifttum ........................................................... 28 Bibliography........................................................ 28

VDI-Gesellschaft Werkstofftechnik
Fachausschuss Qualitätssicherung bei der Vakuumbeschichtung von Kunststoffen

VDI-Handbuch Werkstofftechnik
VDI-Handbuch Konstruktion
VDI-Handbuch Kunststofftechnik
VDI-Handbuch Medizintechnik
–2– VDI 3823 Blatt 1 / Part 1

Vorbemerkung Preliminary note


Der Fachausschuss „Vakuumbeschichtung von The Technical Committee “Vacuum Coated Plas-
Kunststoffen“ der VDI-Gesellschaft Werkstofftech- tics” in the VDI-Gesellschaft Werkstofftechnik
nik hat diese Richtlinie erarbeitet, um zur Qualitäts- (VDI Society for Materials Engineering) has pre-
sicherung bei der Vakuumbeschichtung von Kunst- pared this guideline, in order to contribute to quality
stoffen beizutragen. Sie behandelt produktspezifi- assurance in the vacuum coating of plastics. It ad-
sche Aspekte des Qualitätsmanagements (QM) und dresses product specific aspects of quality manage-
dient als Leitfaden für die Verständigung zwischen ment (QM) and serves as a platform for promoting
den Herstellern von Kunststoffgranulat, den Herstel- understanding between manufacturers of plastic
lern der zu beschichtenden Kunststoffteile, den Be- granules, manufacturers of plastic parts, coaters and
schichtern und den Anwendern der beschichteten those who use these coated parts. It describes the
Teile. Notwendige Voraussetzungen für eine anfor- requirements that need to be fulfilled in order for
derungsgerechte Vakuumbeschichtung von Kunst- plastics to be coated in a manner that will satisfy the
stoffen werden verdeutlicht. Auf Grund ihrer we- demands placed upon them. Pretreatment and after-
sentlichen Bedeutung für die Kunststoffbeschich- treatment are dealt with as separate steps because of
tung werden Vor- und Nachbehandlungsschritte their essential importance in coating plastics. This
ebenfalls behandelt. Die Richtlinie trägt so zur Qua- guideline therefore contributes to quality assurance
litätssicherung im Sinne der aktuellen Begriffsnor- in the sense of establishing norms for current termi-
mung bei, nämlich zur Darlegung von QM- nology, particularly with regard to describing as-
Elementen dem Anwender gegenüber mit dem Ziel, pects of QM to those who use the coated parts, in
Vertrauen in die Erfüllung seiner Qualitätsanforde- order to create greater confidence in the fulfillment
rungen zu schaffen. quality requirements.
Die Richtlinie umfasst folgende Teile: This guideline comprises the following parts:
Blatt 1: Eigenschaften, Anwendungen und Part 1: Characteristics, applications and
Verfahren processes
Blatt 2: Anforderungen an die zu beschichtenden Part 2: Demands on plastics to be coated
Kunststoffe
Blatt 3: Fertigungsabläufe und -tätigkeiten Part 3: Production sequence and job steps
Blatt 4: Prüfungen an vakuumbeschichteten Part 4: Testing of Vacuum Coated Plastics
Kunststoffteilen
Die Aufgabe der Richtlinie VDI 3823 Blatt 1 ist es, The purpose of guideline VDI 3823 Part 1 is to
die in der heutigen industriellen Praxis wichtigsten categorize the most important coatings deposited
durch Vakuumbeschichtung auf Kunststoffen abge- through industrial processes for Vacuum Coating
schiedenen Schichten ihren wesentlichen Anwen- Plastics according to their areas of application and
dungsfeldern zuzuordnen und ihre unterschiedlichen to describe their various characteristics. In this con-
Eigenschaften darzulegen. Hierbei sind Verallge- text generalizations will be made, which will need
meinerungen angestrebt, die im konkreten Anwen- to be assessed in actual applications.
dungsfall überprüft werden müssen.
Den Anwendern sollen Anregungen und Unterstüt- Users should be given information and support in
zung bei der Auswahl der für den gegebenen An- choosing the coating, and the corresponding vacuum
wendungsfall am besten geeigneten Beschichtung coating process best suited to their applications.
und des entsprechenden Vakuumbeschichtungsver- Coaters will find support in describing the uses in
fahrens gegeben werden. Die Beschichter werden which vacuum coatings can be applied to plastic
bei ihrer Darstellung der Anwendungsmöglichkeiten parts. Manufacturers of raw materials (plastic gran-
der Vakuumbeschichtung von Kunststoffteilen un- ules, additives, pigments and fillers) and those
terstützt. Den Herstellern der Ausgangsstoffe working with plastics (such as manufacturers of
(Kunststoffgranulat, Additive, Pigmente und Füll- molded and formed parts) will find information on
stoffe) und den Kunststoffverarbeitern (z. B. Her- the production and finishing methods best suited to
steller von Formteilen) werden Hinweise zur be- coated plastics.
schichtungsgerechten Herstellung und Fertigung
gegeben.
VDI 3823 Blatt 1 / Part 1 –3–

Einleitung Introduction
Seit mehr als 60 Jahren wird die Beschichtung im For over 60 years vacuum coating has been em-
Vakuum zur Lösung verschiedenster Aufgaben in- ployed to solve problems in industrial production in
dustriell eingesetzt. a broad range of applications.
Bereits 1936 wurden Kathodenzerstäubungsanlagen As early as 1936 cathode sputterers were used to
zur Beschichtung von Papier- und Textilbändern coat paper and woven bands. This method was also
eingesetzt. Außerdem wurden mit dieser Methode employed to coat the wax masters of early re-
Wachsmatrizen von Schallplatten mit Silber cordings with silver.
beschichtet.
Einen weiteren Schwerpunkt bildeten die optischen Coatings for optical purposes are another important
Schichten: in den Jahren 1940 bis 1944 fertigte man application: from 1940 to 1944 rhodium mirrors on
in Großanlagen (Durchmesser 1,80 m und 2,20 m) glass were produced in large devices (diameters of
und in klimatisierten Räumen Rhodium-Spiegel auf 1,80 m and 2,20 m) under climate-controlled condi-
Glas. Ab 1942 wurde das Rhodium zunehmend tions. As of 1942, rhodium was increasingly re-
durch Aluminiumschichten mit SiO2-Schutzschicht placed by aluminum coatings with a protective coat-
abgelöst. Die optische Reflexminderung mit Doppel- ing of SiO2. The production of double-layer, anti-
schichten ging in Deutschland ab 1949 in Fertigung. reflective films began in Germany in 1949.
Die industrielle Bedampfungstechnik zur dekorati- Industrial vapor deposition technology for the deco-
ven Metallisierung von Kunststoffteilen ist Gegens- rative metallization of plastic parts was the subject
tand von Veröffentlichungen in produktionstech- of articles published in journals in the field of pro-
nisch ausgerichteten Zeitschriften – hauptsächlich in duction technology – mainly in the United States –
den USA – in den Jahren 1947 bis 1951. Die heute in the years 1947 to 1951. The type of equipment
noch gebräuchlichen Anlagen mit horizontalem most commonly used for three-dimensional objects,
Kessel (Durchmesser 1,80 m und größer) für drei- a horizontal chamber (diameter 1,80 m and larger)
dimensionale Teile werden seit Ende der 50er-Jahre has been built since the late 1950s.
gebaut.
Durch Beschichten im Vakuum können heute Through the process of vacuum coating it is now
Schichten aus reinen Metallen, Legierungen, Oxi- possible to apply coats of pure metals, alloys, ox-
den, Nitriden, Karbiden, Karbonitriden, Oxinitriden ides, nitrides and polymers to plastics. These coat-
und aus Polymeren auf Kunststoffe aufgebracht ings are applied in single and multiple-layer systems
werden. Diese Schichten werden als Einzelschichten deposited in thicknesses ranging from a few nm to a
und Mehrschichtsysteme, deren Dicken im Bereich few µm. (In comparison: the thickness of coatings
von einigen nm bis zu einigen µm liegen, abge- galvanically deposited on plastics tends to lie over
schieden. (Zum Vergleich: Die Dicke galvanisch auf 10 µm.)
Kunststoffen abgeschiedener Schichten liegt vor-
zugsweise oberhalb 10 µm.)
Zur Beschichtung und zur Veränderung von Kunst- In order to coat and to alter plastic surfaces in a
stoffoberflächen im Vakuum werden heute das ther- vacuum, various thermal evaporation (resistive
mische Verdampfen (Widerstandsverdampfen, Elekt- evaporation, electron beam evaporation) and various
ronenstrahlverdampfen) und verschiedene plasma- plasma enhanced coating processes (such as sputter-
gestützte Beschichtungsverfahren (z. B. Kathoden- ing), ARC vaporization, plasma polymerization,
Zerstäuben (Sputtern), Lichtbogen-Verdampfen plasma enhanced chemical vapor deposition (PE-
(ARC-Verdampfen), Plasmapolymerisation, plasma- CVD) as well as combinations thereof are em-
unterstütze chemische Gasabscheidung (PE-Chem- ployed. Pretreatment and after-treatment steps,
ical Vapour Deposition, PE-CVD) sowie deren Kom- when required, include coating processes for the
binationen eingesetzt. Als Vor- und Nachbehand- application of base and top coats (such as lacquer,
lungsschritte kommen, wenn erforderlich, beschich- printing, galvanic coating and plasma polymeriza-
tende Verfahren zum Aufbringen von Grund- und tion) as well as non-coating processes for purposes
Deckschichten (z. B. Lackieren, Bedrucken, galvani- of precleaning and the activation of the surfaces to
sche Beschichtung sowie Plasmapolymerisation) be coated (such as radiation, plasma etching, glow
sowie nicht-beschichtende Verfahren zur Vorreini- discharge, flame and corona treatment).
gung und Aktivierung der zu beschichtenden Ober-
flächen (z. B. Strahlen, Plasmaätzen sowie Glimm-,
Flamm-, und Coronabehandlung) zum Einsatz.
–4– VDI 3823 Blatt 1 / Part 1

Das Verhalten des im Vakuum beschichteten Kunst- The behavior of Vacuum Coated Plastics, when
stoffs unter produktspezifischen Einsatzbedingun- used under product specific conditions, will be de-
gen wird durch das Verhalten des durch die Be- termined by the behavior of the bond created be-
schichtung geschaffenen Verbunds aus Schicht- tween the layers of coating material (including the
werkstoff (einschließlich Grund- und Deckschichten base and top coat as well as any technologically
sowie technologisch bedingten Zwischenschichten) required interim layers) and the coated plastic and is
und beschichtetem Kunststoff bestimmt und erklärt influenced by the interaction between the property
sich aus dem Zusammenspiel der Eigenschaftsprofi- profiles of the individual elements in the bond.
le der einzelnen Bestandteile des Verbunds.
Das Eigenschaftsprofil der im Vakuum abgeschie- The property profile of the vacuum deposited coat-
denen Schicht wird sowohl durch das abgeschiedene ing will be determined by both the deposited mate-
Material als auch durch die Übergangszonen zwi- rial and the interface between the coating and the
schen Schicht und Grundschicht bzw. Substrat be- base coat or the substrate. Both the characteristics of
stimmt. Sowohl die Eigenschaften des abgeschiede- the deposited material and the characteristics of
nen Materials als auch die Eigenschaften der ver- various substrate-coating interfaces can be altered
schiedenen Übergangszonen können durch Variati- through variations in the conditions of the vacuum
on der Bedingungen der Vakuumbeschichtung ziel- coating process. In order to achieve a certain re-
gerichtet verändert werden. Um ein gefordertes, quired behavior in vacuum coated plastic parts, the
bestimmtes Verhalten des vakuumbeschichteten relationship between the volume characteristics of
Kunststoffteils zu erreichen, ist deshalb eine sorgfäl- the base material, the condition of the base material
tige Abstimmung zwischen den Volumeneigen- near its surface and the characteristics of the coating
schaften, dem Zustand des oberflächennahen Be- system to be applied (including the base, intermedi-
reichs sowie der Oberfläche des Grundwerkstoffs ate and top layers) must be carefully considered.
und den Eigenschaften des aufzubringenden The condition of the surface (its roughness) and the
Schichtsystems (einschließlich Grund-, Zwischen- condition of the base material immediately below its
und Deckschichten) vorzunehmen. Beispielsweise surface (for example when additives migrate) di-
wirkt sich der Zustand der Oberfläche (z. B. durch rectly affect the formation of the interface between
Gusshäute) bzw. der Zustand des oberflächennahen the substrate and the coating and therefore have a
Bereichs des Grundwerkstoffs (z. B. durch Migrati- direct effect on the adhesion between the coating
on von Additiven) direkt auf die Ausbildung der and the substrate as a precondition for all further
Übergangszone zwischen Substrat und Schicht und uses of the coated parts.
damit unmittelbar auf die Haftung zwischen Schicht
und Substrat als Voraussetzung für alle Anwendun-
gen des beschichteten Teils aus.

1 Geltungsbereich 1 Scope
Die vorliegende Richtlinie erfasst die Hauptanwen- This guideline addresses the major applications of
dungsbereiche der Beschichtung von Kunststoffen plastic coating in a vacuum: deposition coatings
im Vakuum: Die Abscheidung physikalischer und with physical and chemical functions as well as
chemischer Funktionsschichten sowie dekorativer those for decorative purposes. These coatings are
Schichten. Diese Schichten werden auf Formteilen deposited on molded or formed parts and semi-
und Halbzeugen (Platten, Folien, Geweben etc.) aus finished goods (sheets, films, webs, etc.) made of
sehr unterschiedlich zusammengesetzten Kunststof- plastics with very different components (different
fen (verschiedene Ausgangspolymere und Additive base polymers and additives as well as mixtures).
sowie deren Mischungen) abgeschieden.

2 Anwendungsbereiche der Vakuum- 2 Applications for Vacuum Coating


beschichtung von Kunststoffen Plastics
Der Einsatz der Vakuumbeschichtung zur Abschei- The use of the vacuum coating processes for the
dung von physikalischen und chemischen Funkti- deposition of physically and chemically functional
onsschichten sowie von dekorativen Schichten führ- coatings, as well as decorative coatings, has led to
te bereits in vielen Fällen zur Etablierung von ober- the widespread introduction of surface treated plas-
flächenveredelten Kunststoffen in unterschiedlichen tics in a variety of industrial contexts as well as to
Industriebereichen sowie zur Entwicklung neuer, the development of new and innovative products.
innovativer Produkte.
VDI 3823 Blatt 1 / Part 1 –5–

2.1 Dekorative Anwendungen 2.1 Decorative applications


Die dekorativen Eigenschaften eines Erzeugnisses The decorative characteristics of a product – with
werden – außer durch die Formgebung – durch Far- the exception of its shape – are determined by the
be und Glanz der Oberfläche bestimmt. Kunststoffe color and texture of the surface. Plastics are now
werden heute vielfach dadurch dekorativ aufgewer- often enhanced in decorative terms by giving them a
tet, dass sie einen metallischen Glanz erhalten. Die metallic sheen. The value of the decorative impres-
Bewertung des dekorativen Eindrucks wird oft sion is often determined by aesthetics and fashion
durch die Ästhetik und die Mode bestimmt und ist and, therefore, can only partially be expressed in
deswegen nur beschränkt in quantitativen Angaben quantitative terms (in order to assess them, compa-
fassbar (zur Bewertung werden oft Vergleichsmus- rable examples are often used). Depending on the
ter verwendet). Je nach Anwendungsbereich können area of application, additional properties such as
auch weitere Eigenschaften, z. B. Kratzfestigkeit, scratch resistance, the ability to withstand cleaning
Beständigkeit gegenüber Putzmitteln sowie Lö- agents as well as the resistance to solvents, water
sungsmittel-, Wasser- und Feuchtebeständigkeit für and humidity are important reasons for using a coat-
den Einsatz der Schicht wichtig sein. An Bedeutung ing. Decorative coatings using foils have become
hat die dekorative Beschichtung von Folien gewon- ever more important.
nen.
Am Häufigsten kommen heute im Vakuum abge- Today, most vacuum deposited metallic (Al, Ni, Cr)
schiedene Metall- (z. B. Al, Ni, Cr) und Hartstoff- and hard (CrN, ZrN, Zr(C, N)) coatings on plastics
schichten (z. B. CrN, ZrN, Zr(C, N)) als dekorative are used for decorative purposes. Depending on the
Schichten auf Kunststoffen zur Anwendung. Von type of use, a protective coating is applied over a
der Art der Anwendung ist es abhängig, ob eine vacuum metallization or a hard coating that fulfills
Metallisierung im Vakuum erfolgt, die nachfolgend functional demands in addition to enhancing the
mit einer Schutzschicht versehen wird, oder ob eine decorative character of the color is applied. In the
dekorative Hartstoffschicht aufgebracht wird, die latter case no further protective coating will be ap-
neben dem dekorativen Farbcharakter auch noch plied to the decorative hard coating since it will be
funktionale Anforderungen erfüllt. Im letztgenann- resistant enough against wear and scratching to
ten Fall wird auf die dekorative Hartstoffschicht serve as a top coat.
keine Schutzschicht aufgebracht, da die Hartstoff-
schicht als Topschicht genügend verschleiß- und
kratzfest ist.
Bevor die eigentliche dekorative Beschichtung er- An intermediate coating is applied before the actual
folgt, wird in der Regel eine Zwischenschicht auf- decorative coating. This intermediate coating can
gebracht. Diese Zwischenschicht erfüllt folgende serve the following purposes:
Funktionen:
• Einebnung der Kunststoffoberflächen • smoothing plastic surfaces
• gezielte Herstellung bestimmter Strukturen wie • creating certain structures like pearlescence or
Perleffekte, Satineffekte, Bürst- oder Schliff- satin gloss as well as, brushed or burnished tex-
strukturen tures
• Erzielung von Glanzeffekten • creating high-gloss effects
• Verbesserung der Haftung der dekorativen Schicht • improving the adhesion of the decorative coating
• Sicherung der Stabilität der dekorativen Schicht • ensuring the stability of the decorative coating
gegen lokale Druckbelastungen against local compression
• Schutz vor Ausgasung während der Vakuumbe- • protection against outgassing during the vacuum
schichtung coating process
Die nach der Abscheidung der Zwischenschicht The vacuum coating that takes place after the depo-
erfolgende Vakuumbeschichtung bildet die Gestalt sition of the intermediate layer will take on the same
der vorher erzielten Oberfläche ab, das heißt, das form as the previously created surface, that means
Glätten der Oberfläche oder die Herstellung von that the smoothing of the surface or the creation of
Oberflächenstrukturen müssen vor der Vakuumbe- surface structures must be undertaken before the
schichtung erfolgen. vacuum coating.
–6– VDI 3823 Blatt 1 / Part 1

Werden Metallschichten als dekorative Schichten If metal coatings are employed for decorative pur-
eingesetzt, wird in der Regel ein Schichtsystem poses, a coating system is deposited that, as a rule,
bestehend aus einer Zwischenschicht (meist ein is composed of an intermediate layer (usually a
Grundlack), einer Metallschicht (Dicke ca. 0,1 µm) primer coat), a metal layer (thickness approx.
und einem Toplack (mechanischer Schutz und Farb- 0,1 µm) and a top coat of lacquer (mechanical pro-
gebung) abgeschieden. Die Metallabscheidung kann tection and color). The metal can also be directly
aber auch direkt auf dem Kunststoff erfolgen deposited on the plastic (Figure 1). In many applica-
(Bild 1). In vielen Bereichen haben diese dekorati- tions these decorative coatings have further func-
ven Beschichtungen noch weitere Funktionen, wie tions, such as protection against mechanical or
z. B. Schutz vor mechanischer und chemischer Be- chemical wear and against reflection.
anspruchung oder Reflexion.

Bild 1. Dekorative Beschichtung bestehend aus Figure 1. Decorative coating consisting of a precon-
Vorbehandlung, Grundlack, Metallschicht und ditioned surface, a primer, a layer of metal and a top
Toplack coat of lacquer
1 Luft 1 Air
2 Toplack (Farbe, Schutz), etwa 5 µm bis 35 µm 2 Topcoat of lacquer (color, protection), approx.
3 Metallschicht, etwa 0,1 µm 5 µm to 35 µm
4 Grundlack (Haftung, Einebnung), etwa 5 µm bis 25 µm 3 Metal layer, approx. 0,1 µm
5 Vorbehandlung 4 Primer (adhesion, smoothness), ranging between
6 Kunststoffsubstrat 5 µm and 25 µm
5 Preconditioned surface
6 Plastic substrate
Werden Hartstoffschichten als dekorative Schichten When hard coatings are used for decorative pur-
eingesetzt, wird in der Regel ein Schichtsystem poses, coating systems consisting of an intermediate
bestehend aus einer Zwischenschicht (meist eine layer (usually galvanic or organically cured) and a
galvanische Schicht oder eine organische ausgehär- hard coat (to increase abrasion resistance and pro-
tete Schicht) und einer Hartstoffschicht (Erhöhung vide color) are deposited (Figure 2). A hard coating
der Abriebfestigkeit und Farbgebung) abgeschieden can also be deposited directly on the plastic. In
(Bild 2). Die Abscheidung der Hartstoffschicht kann many areas these decorative coatings fulfill further
aber auch direkt auf dem Kunststoff erfolgen. In functions by protecting against mechanical and
vielen Bereichen erfüllen diese dekorativen Be- chemical wear.
schichtungen noch die weitere Funktion des Schut-
zes vor mechanischer und chemischer Beanspru-
chung.
VDI 3823 Blatt 1 / Part 1 –7–

Bild 2. Dekorative Beschichtung bestehend aus Figure 2. Decorative coating consisting of a seed
Keimschicht, Galvanikschicht und PVD-Hartstoff- layer, galvanic layer and PVD hard coating
schicht
1 Luft 1 Air
2 PVD-Hartstoffschicht (Farbe, Kratzfestigkeit), etwa 2 PVD hard coating (color, scratch resistance), ranging
5 µm bis 3 µm between 5 µm to 3 µm
3 Galvanik-(Mehrlagen)schicht (Einebnung, 3 Galvanic (multilayer) coating (smooth surface, support),
Tragfähigkeit), etwa 10 µm bis 50 µm approx. 10 µm to 50 µm
4 Keimschicht, etwa 0,1 µm 4 Seed layer, approx. 0,1 µm
5 Kunststoffsubstrat 5 Plastic substrate

In folgenden Bereichen werden durch Vakuumbe- Decorative coatings deposited on plastics through
schichtung von Kunststoffen abgeschiedene Schich- vacuum coating processes are used successfully in
ten erfolgreich als dekorative Schichten eingesetzt: the following areas:
• in der Automobilindustrie • In the automobile industry
− Zierteile im Innen- und Außenbereich des − Decorative elements for the interior and
Fahrzeuges exterior of vehicles
− Radkappen − Hubcaps
− Reflektoren (siehe auch Abschnitt 3.4) − Reflectors (see also Section 3.4)
• in der Konsumgüterindustrie • In the consumer goods industry
− Beschläge aller Art (z. B. im Bereich der Ar- − Hardware of all kinds (e. g. in architecture/
chitektur und in der Möbelindustrie) interior design and the furniture industry)
− Gehäuse aller Art (z. B. Mobiltelefon- − Casings of all kinds (for example for mobile
Gehäuse, Rasierapparat-Gehäuseteile) telephones or parts of electric shavers)
− Modeschmuckteile, Sportpokale − Costume jewelry, trophies
− Blenden, Dekorleisten, Dekorfolien, − Decorative trim, molding, foils and other
Dekorationsmaterial materials
− weitere Haushaltsartikel aller Art − Many other kinds of household articles
• in der Leuchtenindustrie • In the lighting industry
− Leuchtenteile, Lichtgitter − Lighting components, lighting grids
− Reflektoren (siehe auch Abschnitt 3.4) − Reflectors (see also Section 3.4)
• in der Sanitärindustrie • In the plumbing supplies industry
− Kunststoffteile für Armaturen − Plastic parts for fittings
− Duschbrausen − Shower heads
–8– VDI 3823 Blatt 1 / Part 1

• in der Verpackungsindustrie • In the packaging industry


− Folien − Foils
− Behälterteile, Verschlusskappen (z. B. für die − Containers, covers (for example in the
Kosmetikindustrie) cosmetic industry)
2.2 Reibungs- und verschleißmindernde 2.2 Friction and wear resistant coatings
Anwendungen
Als reibungs- und verschleißmindernde Schichten The most common types of coatings used to reduce
werden vor allem Hartstoffschichten wie Titannitrid friction and wear are hard coatings such as titanium
und Zirkonnitrid mit unterschiedlich hohem Stick- nitride and zircon nitride with various levels of ni-
stoffanteil – oft auch in Verbindung mit Kohlen- trogen – often in combination with carbide and
stoff- und Metallkohlenstoffschichten – eingesetzt. metal carbide layers. These hard coatings have
Diese Hartstoffschichten haben sich auf Grund ihrer proved useful both because of their hardness,
großen Härte und hohen Kratzfestigkeit, der hohen scratch resistance, resistance to abrasion (approx.
Abriebbeständigkeit (ca. Faktor 100 gegen Chrom factor 100 in comparison to chrome at a thickness of
bei einer Schichtdicke von 0,5 µm), der guten Dau- 0,5 µm) and long-term durability under wet condi-
erbeständigkeit im Feuchtbereich und der in Ver- tions, as well as the toughness that can be attained
bindung mit einer Galvanikgrundschicht erreichba- through the combination with a galvanic base coat.
ren guten Druckbelastbarkeit gut bewährt. Die Di- In order to for a hard coating to be directly applied a
rektbeschichtung mit Hartstoffschichten setzt eine plastic with a high degree of stiffness (for example
Kunststoff mit hoher Festigkeit (z. B. PBT, PA, PBT, PA, PEEK, see VDI 3823 Part 2) is required,
PEEK, siehe hierzu VDI 3823 Blatt 2), dem oft zur to which fiberglass or mineral components are
weiteren Steigerung der Festigkeit Glasfasern oder added to increase the stiffness.
Mineralstoffe zugegeben worden sind, voraus. Possible applications are in components for ma-
Mögliche Anwendungen sind: Maschinenkompo- chines and other equipment (such as gripping
nenten und Gerätekomponenten (z. B. Greifer). claws).
2.3 Elektrotechnische Anwendungen 2.3 Electrotechnical applications
Die gebräuchlichen Kunststoffe sind elektrische Plastics are most commonly used as electrical insu-
Isolatoren. Ihre Oberflächen lassen sich durch im lators. The surfaces can be endowed with conduc-
Vakuum aufgebrachte „Metallisierungen“ elektrisch tive properties through a process of vacuum “metal-
leitfähig ausstatten, wobei sich die Schichtwerkstof- lization”, whereby the coating materials are not
fe nicht auf die metallischen Leiter beschränken, limited to metallic conductors, but also include ma-
sondern auch z. B. leitfähige Oxide umfassen. Da- terials like conductive oxides. This opens up a
mit ist der gesamte Bereich von Leiterbahnen über whole range of electrical applications ranging from
Schirmungen und Elektrodenflächen bis hin zu Sen- conductors through shielding and electrode surfaces
sorelementen für elektrotechnische Anwendungen all the way to sensor elements.
geöffnet.
2.3.1 Optisch dichte Schichten aus reinen 2.3.1 Nontransparent coatings made of pure
Metallen und Legierungen metals and alloys
Eines der wichtigsten Anwendungsfelder dieser One of the most important applications for such
Schichten ist die Abschirmbeschichtung von z. B. coatings is for shielding, for example in telecom-
Telekommunikationsgeräten, Rechnern, medizini- munication devices, computers, medical apparatus
schen Geräten und Wänden im Architekturbereich. and certain walls in an architectural context.
Zur Sicherung der Elektromagnetischen Verträg- In order to ensure the electromagnetic compatibility
lichkeit (EMV) elektrischer und elektronischer Ge- (EMC) of electrical and electronic devices, the plas-
räte werden Kunststoffgehäuse und Gerätebauteile tic casings and components are coated with highly
mit hochleitfähigen Metallen (Al, Cu, Au) im Be- conductive metals (Al, Cu, Au) in a range of up to
reich bis zu einigen Mikrometer Schichtdicke be- several micrometers in thickness. The surface resis-
schichtet. Die Flächenwiderstände R liegen im tance R lies in a range of 10 mΩ to 100 mΩ.
Bereich von 10 mΩ bis 100 mΩ.
In der Praxis werden heute überwiegend selektive In current practice the greatest demand is for selec-
Abschirmschichten gefordert, das heißt nur Teilbe- tive shielding, which means that only certain parts
reiche der Gehäuse sind zu metallisieren. Die übri- of the casing are metallized. The remaining sur-
gen Flächen, z. B. Außenseiten, sind freizuhalten. faces, for example the exterior, are kept free. That
VDI 3823 Blatt 1 / Part 1 –9–

Das erreicht man durch eng am Teil anliegende can be achieved by using masks that fit close to the
Masken, die individuell auf die Formteilgeometrie casings and which are individually adapted to the
abgestimmt sind. geometry of the molded or formed parts.
Zur Ableitung elektrostatischer Aufladungen (ESD- In order to ensure the dissipation of electrostatic
Schutz) reichen dagegen etwas höherohmigere charges (ESD protection), coatings with somewhat
(R > 1 Ω) Schichten aus; das heißt außer den oben higher ohmage (R > 1 Ω) are sufficient; this means
genannten Materialien in Schichtdicken deutlich that in addition to the materials already mentioned,
unter 1 µm kommen auch dünne Ni-, Cr- oder Edel- with coatings measuring far less than 1 µm, thin Ni,
stahlschichten zum Einsatz. Hierbei kann es sich um Cr or stainless steel coatings are employed. These
optisch dichte Verspiegelungen (siehe Ab- can be nontransparent reflectors (see Section 3.4) or
schnitt 3.4) oder teiltransparente Schichten (siehe partially transparent coatings (see Section 3.3.2.).
Abschnitt 3.3.2) handeln.
Ist mit Angriff in korrosiver Umgebung zu rechnen, In cases where the effects of a corrosive environ-
werden die Funktionsschichten durch zusätzliche, ment are to be anticipated, the functional layers are
im Vakuum abgeschiedene Deckschichten ge- covered with an additional top coat deposited in a
schützt. Das sind im Fall von Aluminium silizium- vacuum. In the case of aluminum, this top coat is
oxidähnliche oder plasmapolymerisierte siliziumor- made of either silicon oxide-like or plasma polymer-
ganische Schichten. Auf Kupfer bringt man Ni, ized organic silicide materials. In the case of copper,
NiCr, Sn oder Edelstahl auf. In allen Fällen bleiben Ni, NiCr, Sn or stainless steel is used. In each of
die Kontaktwiderstände beim Zusammenfügen der these cases the contacts are not affected when the
Gehäuseteile unverändert. two, or more, parts of the casing are put together.
Zur Erzeugung feiner Leiterbahnstrukturen werden In order to create detailed circuit board structures,
Kunststoffträger direkt mit niederohmigen Metall- low-ohmage metal coatings of sufficient thickness
schichten ausreichender Dicke beschichtet oder are applied directly to plastic substrates, or initially
zunächst im Vakuum vorbeschichtet und in einem precoated in a vacuum and then galvanically rein-
nachfolgenden Schritt galvanisch verstärkt, wobei forced in a second step, whereby this layering sys-
das Schichtsystem in der Regel auch lötfähig ist. tem (stack) is also solderable. The conductive mate-
Das Leiterbahnmaterial ist vorwiegend Cu. rial is mainly Cu.
Für eine strukturierte Beschichtung (z. B. zur For structured coatings (for example in the produc-
Herstellung von Leiterbahnen) wird entweder durch tion of discrete conductor lines) the coating is un-
eine Maske hindurch beschichtet, was vorwiegend dertaken through a mask, which is best suited for
für ebene Substrate geeignet ist, oder zunächst flä- flat substrates; a “blanket” coating can also be ap-
chig beschichtet mit nachfolgender Trennung bzw. plied to the substrate initially and then followed by
Entfernung der überflüssigen Bereiche. Das kann the separation or removal of the excess areas. To
durch Laserbearbeitung geschehen und lässt sich in this end a laser can be employed. This process can
gewissen Grenzen bei dreidimensionalen Schal- also be performed on three-dimensional circuit car-
tungsträgern verwirklichen. Oder aber es wird ein riers with certain restrictions. Alternately, a resistive
Resistmaterial aufgetragen, das durch eine Maske material can be applied and then exposed through a
oder mit einem schreibenden Laserstrahl belichtet, mask or activated using a laser beam, developed,
entwickelt und dann chemisch entfernt wird. Die and then chemically removed. The exposed metal
nun freiliegenden Metallbereiche können chemisch areas can then be chemically removed (etched).
entfernt (abgeätzt) werden. (Lithographie). (lithography).
Die Anfertigung von Widerstandsstrukturen ge- Resistive structures are produced, in principle, in the
schieht prinzipiell genauso wie bei den Leiterbahnen same manner as conductor lines. Typical resistive
dargestellt. Als Beschichtungsmaterialien werden alloys are used as coating materials (for example
typische Widerstandslegierungen gewählt (z. B. NiCr), they have a specific electrical resistance that
NiCr), deren spezifischer elektrischer Widerstand is far greater than that of highly conductive metals.
deutlich über dem der hochleitfähigen Metalle liegt.
Sollen die metallisierten Flächen als Elektroden If the metallized surfaces are intended to function as
wirken, kommt es nicht auf die Einhaltung einer electrodes, it is not a question of maintaining a cer-
bestimmten Leitfähigkeit an, z. B. bei Erzeugung tain degree of conductivity, as, for example, in the
einer Potentialfläche. Es sind demnach alle bisher case of generating a potential field. Consequently,
erwähnten Schichtmaterialien geeignet. Die Struktu- all of the coating materials named thus far are
rierung steht ebenfalls nicht im Vordergrund und suited. Its structuring is also not the primary prob-
– 10 – VDI 3823 Blatt 1 / Part 1

kann, auch bei Formteilen, durch Masken erfolgen. lem and can be effected by using masks, as in the
Bandbeschichtungsanlagen werden Kunststofffolien case of the molded or formed parts. In roll coating
von Rolle zu Rolle einseitig z. B. mit Zn oder Al equipment plastic foil is coated on one side, for
beschichtet. In Streifen zerschnitten, lassen sich example with Zn or Al, as it moves from one roll to
daraus elektrische Kondensatoren aufwickeln, wo- the other. Cut into strips, this foil can be used to
bei die Folie die Aufgabe des Dielektrikums über- wind electrical condensers, whereby the foil takes
nimmt. Die Kondensatorfolien stellen nach den over the role of the dielectrics. Condenser foil ac-
Verpackungsfolien (vgl. Abschnitt 3.5) den flächen- counts, after packaging foils (cf. Section 3.5), for
mäßig zweitgrößten Anteil an PVD-beschichteter the second largest share of PVD coated roll ware in
Bahnware dar. terms of surface area.
2.3.2 Transparente leitfähige Schichten 2.3.2 Transparent conductive coatings
Die Dicke von reinen Metall- und Legierungs- In the PVD process the thickness of pure metal and
schichten lässt sich durch PVD-Verfahren gezielt so alloy coatings can be so precisely controlled that it
einstellen, dass die Schichten durchlässig für Licht is possible to produce coatings that can be pene-
im sichtbaren Bereich sind. Somit kann man auf trated by a visible range of light. As a result, trans-
transparenten Formteilen und Folien elektrische parent plastic parts can be made electrically conduc-
Leitfähigkeit und optische Durchsichtigkeit kombi- tive and still remain see-through. The surface resis-
nieren. Die Flächenwiderstände dieser dünnen tance of these thin coatings of Al, Au, Cr, Cu, Ni or
Schichten aus Al, Au, Cr, Cu, Ni, NiCr liegen je NiCr range, depending on the thickness of the coat-
nach Schichtdicke und spezifischer Leitfähigkeit im ing and its specific conductivity, between approx.
Bereich von etwa 1 Ω bis 1000 Ω, was einer opti- 1 Ω and 1000 Ω, which is equivalent to an optical
schen Transmission von etwa 30 % bis 60 % ent- transmission of between approx. 30 % to 60 %.
spricht. Es handelt sich um teiltransparente Schich- These are semi-transparent coatings, which are used
ten, die z. B. auf Sichtscheiben oder in Verpa- for windows or packaging bags in order to prevent
ckungsbeuteln zur Vermeidung statischer Aufla- static charging. In cases of low-level interference it
dung eingesetzt werden. Bei geringen Störpegeln ist can also be employed for shielding purposes. Fur-
auch der Einsatz zu Schirmungszwecken möglich. ther reductions in the thickness of the coating that
Weitere Absenkung der Schichtdicke, was zu Flä- can lead to a surface resistivity clearly in excess of
chenwiderständen deutlich über 1 kΩ führt, ist für 1 kΩ are possible for ESD applications. The long-
ESD-Anwendungen möglich. Die Langzeitstabilität term stability of the semi-transparent coatings can
der teiltransparenten Schichten kann durch Aufbrin- be increased by applying a protective coating like
gen einer Schutzschicht, z. B. SiOx, erhöht werden. SiOx.
Wesentlich höhere Durchlässigkeiten für das sicht- An appreciably higher degree of permeability of
bare Licht erzielt man mit leitfähigen Metalloxiden visible light can be achieved by employing conduc-
(Zinnoxid, Zinkoxid, Indium-Zinn-Oxid – engl. tive metal oxides (tin oxide, zinc oxide, indium-tin-
indium-tin-oxide: ITO). Diese halbleiterähnlichen oxide: ITO). These semi-conductor-like coatings are
Schichten werden hauptsächlich durch Sputtern mainly applied by sputtering, whereby two different
aufgebracht, wobei zwei unterschiedliche Verfahren processes are common: the precursor is either metal-
üblich sind: entweder ist das Ausgangsmaterial me- lic, for example an indium/tin (In/Sn) alloy, and
tallisch, z. B. eine Indium/Zinn (In/Sn)-Legierung transformed through a reaction with oxygen during
und durch Reaktion mit Sauerstoff entsteht während the deposition process into conductive oxide, or the
des Abscheidevorgangs das leitfähige Oxid oder das source material already contains the desired oxide
Quellenmaterial besitzt bereits die gewünschte oxi- mixture (Sn doped In2O3).
dische Mischung (Sn-dotiertes In2O3).
Je nach Schichtdicke und Mischungsverhältnis Me- Depending on the thickness of the coating and the
tall zu Oxid lassen sich Durchlässigkeiten von über proportion of metal to oxide, it is possible to attain
80 % bei Flächenwiderständen von 20 Ω bis 40 Ω permeability rates of over 80 % with a surface resis-
einstellen. Damit ist die Abschirmung von spritzge- tivity of 20 Ω to 40 Ω. This makes it possible to
gossenen Displayabdeckungen, Filtern für Plasma- shield injection molded display screen covers, filters
bildschirme oder Displayfenstern in Folientastaturen for plasma monitors and display windows in foil
möglich. Transparent leitfähige Oxide werden auch keypads. Transparent conductive oxides are depos-
auf Bahnware, z. B. PET-Folie, in Bahnbeschich- ited on the roll goods, for example PET foil, in roll
tungsanlagen – so genannten „roll coater“ – abge- coaters.
schieden.
VDI 3823 Blatt 1 / Part 1 – 11 –

Bei Stromeinspeisung über Metallkontakte wirken When electricity is fed in through metal contacts,
die angegebenen Materialien als transparente Heiz- the materials discussed here serve as transparent
schichten, mit denen z. B. das Betauen von Anzei- heat coatings with which, for example, the fogging
gen oder Autoscheiben vermieden werden kann. of displays or car windows can be avoided.
2.4 Optische Anwendungen 2.4 Optical applications
Im optischen Bereich werden Produkte aus Glas In the field of optics, products made of glass are
mehr und mehr durch Kunststoffe ersetzt. Kunst- being increasingly replaced by products made of
stoffprodukte sind in der Regel einfacher in großen plastic. Plastic products are, as a rule, easier to pro-
Serien herzustellen und haben weniger Gewicht. duce in large series and weigh less. In addition,
Darüber hinaus sind die Freiheitsgrade der Formge- plastics can be formed with a greater degree of free-
bung beim Kunststoff verglichen mit Glas größer dom than glass (since parts that include everything
(so können z. B. komplexe Befestigungselemente from their fasteners to their trim can be produced by
oder Blenden im gleichen Arbeitsgang mit ange- injection molding). The use of plastics in optical
spritzt werden). Der Einsatz von Kunststoffen in der applications has been an essential factor in facilitat-
Optik macht in vielen Fällen erst eine effiziente ing the miniaturization of components.
Miniaturisierung von Bauteilen mit vielen Funktio-
nen möglich.
Kunststoffe liegen bei optischen Anwendungen in Plastics can be found in optical applications in the
Form von starren Substraten (Formkörper, Tafel- form of rigid substrates (thermo molded casings,
und Plattenmaterial), Spritzgussteilen oder dünnen panels and plate material), injection molded parts or
flexiblen Folien vor. thin flexible foils.
Entsprechend den geforderten Produkteigenschaften In correspondence with their required properties, the
lassen sich die Anwendungen dünner Schichten in coatings used in optical applications can be charac-
der Optik zu folgenden Gruppen von Funktions- terized according to the following functions:
schichten zusammenfassen:
• Spektral breitbandige Funktionsschichten • Functional coatings for the broadband spec-
(Bild 3), die ihre Anwendung als hochreflektie- trum (Figure 3), which are used as highly reflec-
rende Oberflächenspiegel (zum Teil mit reflexi- tive surface mirrors (sometimes with alternating
onserhöhenden dielektrischen Wechselschicht- layers of dielectric material to increase reflec-
systemen), als teildurchlässige Schichten (z. B. tion), as coatings allowing partial transmission
Sonnenschutzfunktion) und als reflexionsmin- (for example for solar protection) and as antire-
dernde Schichten (z. B. Anti-reflexschichten, so flection coatings.
genannten „AR coatings“) finden.
• Optisch selektiv wirksame Funktionsschichten • Coatings with optically selective functions
(Bild 4, spektrale Kantenfilter für Transmission (Figure 4, edge filters for transmission and re-
und Reflexion), die ihre Anwendung als Wärme- flection), which are used for thermal protection
dämmschichten (z. B. Schichten mit niedriger (for example coatings with low thermal trans-
Energietransmission im langwelligen Infrarotbe- mission in the longwave infrared range, so-called
reich, so genannten „Low-e-Schichten“) und als low-e coating) and as filters for UV protection.
UV-Schutzfilter finden.
• Spektral schmalbandige Funktionsschichten • Functional coatings for the narrow band spec-
(Bild 5), die als selektive Reflexions- oder trum (Figure 5), which are used as selective re-
Transmissionsschichtsysteme (z. B. Laserspie- flection or transmission coating systems (for ex-
gel, Schmalband- bzw. Linienfilter) ihre Anwen- ample laser reflectors, laser line filters).
dung finden.
• Schutzschichten zum Erhalt der optischen • Coatings to protect and maintain optical
Eigenschaften, als UV-Schutz, als Diffusions- properties, for UV protection, as diffusion
barriere und als Kratzschutz der Substrat- barriers and for scratch resistance on sub-
oberfläche. Diese Schichten haben die Aufgabe, strate surfaces. These coatings are designed to
die optischen Eigenschaften des beschichteten protect the optical properties of the coated or un-
oder unbeschichteten Kunststoffsubstrates zu coated plastic substrates (for example through
schützen (z. B. durch Kratzfestigkeit, Beständig- scratch resistance, moisture resistance or UV
keit gegen Feuchte oder Wasser oder durch UV- protection). With regard to optical effects they
Schutz). Sie sind hinsichtlich ihrer optischen are passive coatings since they have no, or very
– 12 – VDI 3823 Blatt 1 / Part 1

Wirksamkeit passive Schichten, da sie die opti- little, influence on optical properties. These func-
schen Eigenschaften nicht oder nur geringfügig tional coatings can be used as separate base coats
beeinflussen. Diese Funktionsschichten kommen or as top coats in conjunction with the optically
als separate Unterschicht oder als Deckschicht functional coatings described above (for example
auf den oben genannten optisch wirksamen plasma polymer coatings).
Funktionsschichten zur Anwendung (z. B. Plas-
mapolymerschichten).
Der Schutz gegen UV-induzierte Degradation (pho- Protection against UV induced degradation (photo-
tochemischer Polymerabbau) muss für zwei Pro- chemical polymer degradation) must be considered
zessphasen berücksichtigt werden: in two process phases:
1. Als innere UV-Schutzschicht in einem PECVD- 1. As an internal UV protective coating in a
Prozess (plasmaunterstützte chemische Dampf- PECVD process (Plasma Enhanced Chemical
abscheidung). Hier kann durch Aufbringung ei- Vapor Deposition). Here the application of a
ner hochabsorbierenden Zwischenschicht, be- highly absorbent intermediate layer consisting
stehend aus einem im UV-Bereich absorbieren- of a system of materials that is absorbent in the
den Stoffsystem, eine Photolyse des Polymers UV range can prevent the photolysis of the
während der oft vergleichsweise langen Auf- polymers during the often relatively long appli-
tragsdauer des optischen Schichtsystems ver- cation phase for optical coating systems. The
hindert werden. Diese Degradation des Poly- degradation of polymers can contribute in large
mers kann wesentlich für Haftungsprobleme des measure to problems with adhesion in optical
optischen Schichtsystems verantwortlich sein coating systems (for example with a photolabile
(z. B. bei dem photolabilen Polycarbonat). polycarbonate).
2. Als eigenständige, äußere UV-Schutzschicht. 2. As an independent, external UV protection coat-
Statt der üblicherweise praktizierten Ausrüstung ing. Instead of the common practice of equip-
eines Polymers durch Masseformulierung mit ping a polymer with the corresponding func-
den entsprechenden funktionellen Additiven tional additives (such as UV absorbers) when
(z. B. UV-Absorbern), kann insbesondere bei formulating it, UV protection can be applied,
Flächensubstraten (Folien, Geweben) der UV- particularly to broad surface substrates (like
Schutz auch in Form einer PECVD-UV- foils and webs) in the form of a PECVD-UV
Schutzschicht appliziert werden. protective coating.
Die Forderungen an die Eigenschaften der optischen The demands placed on the properties of functional
Funktionsschichten sind häufig gepaart mit speziellen optical coatings are often combined with a number of
Forderungen, wie Wisch- und Kratzfestigkeit, Un- special demands that allow them to be wiped clean or
empfindlichkeit gegenüber Chemikalien, Schutz vor even laminated, or make them resistant to scratches,
Fingerprints, Antistatik, Laminierbarkeit, Tempera- household chemicals, fingerprints, static charging,
turbeständigkeit, Biege- und Dehnbeanspruchung. temperature changes and mechanical wear.
Zur Realisierung der rein optischen und der zusätz- In order to provide all of the strictly optical as well
lich erforderlichen Eigenschaften werden auf das as the various additional properties demanded, indi-
Kunststoffsubstrat Einzel- oder Vielfachschichten vidual or multi-layer coatings, or coating systems,
oder Systeme aus Vielfachschichten in Form von are applied to the plastic substrate in the form of a
vakuumtechnologisch abgeschiedenen Dünnschicht- series of thin film coats deposited by means of vac-
folgen aufgebracht. Das können metallische und uum technology. These can be metallic or dielectri-
dielektrische Schichten – auch Polymerisations- cal coatings – including polymerization layers. The
schichten – sein. Die Verfahren, die dabei zur An- processes that are used in such cases are, in addition
wendung kommen, sind neben der für den Be- to the pretreatment required for the vacuum coating
schichtungsprozess im Vakuum notwendigen Vor- process, PVD processes such as vapor deposition
behandlung PVD-Prozesse wie das Aufdampfen und and sputtering, as well as CVD processes, such as
das Sputtern, sowie CVD-Prozesse wie die Plasma- plasma polymerization.
polymerisation.
Der typische Dünnschichtaufbau von dünnen opti- The typical composition of layers in thin films used
schen Funktionsschichten für die jeweiligen An- for various functional optical coatings are described
wendungskategorien einschließlich der dazugehöri- in Figure 3 to Figure 5 along with the processes
gen Verfahrensschritte stellt sich wie in Bild 3 bis involved in their production.
Bild 5 gezeigt.
VDI 3823 Blatt 1 / Part 1 – 13 –

Bild 3. Oberflächenspiegel mit Schutzschicht Figure 3. Front surface reflector with a protective coat-
(spektral breitbandige Funktionsschichten) ing (functional coating for the broadband spectrum)
1 Luft 1 Air
2 Schutzschicht (z. B. Plasmapolymerschicht < 80 nm; 2 Protective coating (for example plasma polymer coating)
bei Formkörpern < 30 nm) < 80 nm; for molded or formed parts < 30 nm)
3 Metallschicht (z. B. Ag oder Al, wenige nm bis 3 Metal coating(film) (for example Ag or Al, a very few nm
ca. 100 nm, je nach Funktion) to approx. 100 nm, depending on the function)
4 Haftvermittlungsschicht (meist wenige nm dicke 4 Adhesive layer (usually an oxide coating only a very few
Oxidschicht) nm thick)
5 vakuumtechnologische Vorbehandlung 5 Layer pretreated in a vacuum
6 gegebenenfalls Grundlack 6 Primer coat (if required)
7 Kunststoffsubstrat 7 Plastic substrate

Bild 4. Wärmedämmschicht (optisch selektiv wirk- Figure 4. Thermal protective coating (optically
same Funktionsschichten am Beispiel Low-e- selective functional coating, here low-e coating)
Schicht)
1 Luft 1 Air
2 Schutzschicht (z. B. wenige nm SiO2) 2 Protective coating (for example very few nm SiO2)
3 dielektrische Schicht (z. B. SnO2, 30 nm bis 50 nm) 3 Dielectrical coating (for example SnO2, 30 nm to 50 nm)
4 Blocker (NiCr, 4 nm) 4 Blocker (NiCr, 4 nm)
5 Metallschicht (Ag, 10 nm) 5 Metal coating (Ag, 10 nm)
6 dielektrische Schicht (z. B. TiO2, SnO2, 30 nm bis 6 Dielectrical coating (for example TiO2, SnO2, 30 nm to
50 nm) 50 nm)
7 vakuumtechnologische Vorbehandlung 7 Layer pretreated in a vacuum
8 Kunststoffsubstrat 8 Plastic substrate
– 14 – VDI 3823 Blatt 1 / Part 1

Bild 5. Laserspiegel (spektralschmalbandige Funkti- Figure 5. Laser reflector (functional coating for the
onsschichten) – alternativ abwechselndes Vielfach- narrow band spectrum) – a multilayer coating sys-
schichtsystem aus niedrigbrechenden (SiO2) und tem with alternating layers of low refraction (SiO2)
hochbrechenden (TiO2) Schichtmaterialien (Ge- and high refraction (TiO2) (total thickness ranging up
samtstärken bis in den Bereich einiger µm) to several µm)
1 Luft 1 Air
2 n SiO2 2 n SiO2
3 n TiO2 3 n TiO2
4 vakuumtechnologische Vorbehandlung 4 Layer pretreated in a vacuum
5 Kunststoffsubstrat 5 Plastic substrate

Erfolgreiche optische Anwendungen mittels Vaku- Successful optical applications of coatings deposited
umbeschichtung abgeschiedener Schichten auf on plastics in a vacuum are:
Kunststoffen sind:
• Folien für Autoscheiben • Foils for car windows
• Spiegel, Laserspiegel auf Folien • Reflectors, laser reflectors on foils
• Antireflexschichten auf Linsen und Folien • Anti-reflection coatings on lenses and foils
• Wärmedämmschichten auf Folien • Heat insulation coatings on foils
• Architekturglas-Substitute • Glass substitutes in architecture
• UV-Schutzschichten • UV protection coatings
• Reflektoren für Automobile • Reflectors for automobiles
• Brillengläser • Eyeglasses
• Spiegel mit planen, sphärischen und asphäri- • Reflectors with flat, spherical and aspherical
schen Flächen sowie Polygonspiegel für optische surfaces as well as polygonal reflectors for use in
Geräteanwendungen equipment
2.5 Anwendungen als Barriereschichten 2.5 Applications as barrier coatings
2.5.1 Beschichtung von bahnförmigem 2.5.1 Coating roll goods for packaging
Verpackungsmaterial material
Polymerfolien sind aus der Verpackungsindustrie Polymer foils have come to play a central role in the
nicht mehr wegzudenken. Allerdings sind in den packaging industry. However, the demands placed
letzten Jahren die Anforderungen an die Polymerfo- upon polymer foils in recent years with regard to
lien hinsichtlich ihrer Barriereeigenschaften gestie- their barrier properties have increased. The barrier
gen. Die Barrierewirkung der Folien wird bestimmt effect of foils is determined by the level of permea-
durch die Permeation durch das Polymermaterial tion through the polymer material and by the diffu-
und durch die Diffusion durch Defekte, z. B. Poren sion through defects, such as pores, in the material.
im Material. Je nach verwendetem Herstellungspro- Depending on the production process employed, the
zess können die Durchlässigkeitswerte der Folien permeability of the foils can vary by a factor of two
VDI 3823 Blatt 1 / Part 1 – 15 –

auch bei Einsatz von identischen Ausgangsmateria- despite the use of identical raw materials. Polymers
lien um den Faktor 2 schwanken. Polymere haben have the highest rate of permeability/transmission
die größten Durchlässigkeitswerte für Wasserdampf; for water vapor, for oxygen the comparable value is
für Sauerstoff ist der Vergleichswert um ca. fünf approx. five orders of magnitude lower. The trans-
Größenordnungen geringer. Die Durchlässigkeits- mission values for N2, O2 and CO2 for most poly-
werte für N2, O2 und CO2 stehen für die meisten mers stand in a similar relationship. The transmis-
Polymere in einem sehr ähnlichen Verhältnis. Die sion properties depend, to a great degree, on the
Durchlässigkeitseigenschaften hängen sehr stark specific water content and percentage of plasticiz-
vom jeweiligen Wassergehalt und Weichmacheran- ers. The uptake of water or plasticizers leads to the
teile ab. Die Einlagerung von Wasser oder Weich- expansion of the macromolecular structure and fa-
machern führt zur Aufweitung der makromolekula- cilitates the diffusion.
ren Struktur und erleichtert damit die Diffusion.
Daher müssen die Folien anwendungsspezifisch Therefore, the surfaces of foils must be treated dif-
oberflächenveredelt werden, damit die Polymerfo- ferently according to the intended application in
lien den Anforderungen aus der Lebensmittelverpa- order for the polymer foils to fulfill the demands of
ckung, Kosmetik oder Medizintechnik erfüllen. industries involved in packaging food, producing
Hinsichtlich der Barrierewirkung hat man zwischen cosmetics or in the field of medical technology.
der bedampften Folie und dem daraus hergestellten With regard to its effectiveness as a barrier, a differ-
Verbund zu unterscheiden. Die aufgebrachte Schicht entiation is made between foils coated through va-
darf während der Verarbeitung zum Verbund nicht por deposition and the bonds made from such foils.
zerstört werden. It is essential that the applied coating sustains no
damage during the process of creating such compos-
ites.
Gute Barriereeigenschaften werden heute haupt- Good barrier properties are now mainly created
sächlich durch Abscheiden von dünnen Aluminium- through the deposition of thin aluminum coatings or
schichten oder oxidischen Schichten auf die Kunst- oxidized coatings on plastic foil in a vacuum coat-
stofffolie mit Vakuumbeschichtungsverfahren reali- ing process. Aluminum vapor deposition accounts
siert. Etwa 95 % der Vakuumbeschichtung von Po- for approx. 95 % of the vacuum coating of polymer
lymerfolien entfällt heute noch auf die foils today. The remainder is coated with transparent
Aluminiumbedampfung. Der Rest wird mit transpa- oxidized films. Through the deposition of thin films,
renten oxidischen Schichten versehen. Durch das the effectiveness as a barrier can be increased by
Abscheiden von dünnen Schichten lässt sich die three orders of magnitude. For most aluminum va-
Barrierewirkung um ca. drei Größenordnungen por deposition, economical crucible evaporators
verbessern. Für die Aluminiumbedampfung werden with continuous wire feed are now generally used.
im Allgemeinen die kostengünstigen Tiegelver- In order to produce transparent oxidized coatings,
dampfer mit kontinuierlicher Drahtzufuhr einge- plasma enhanced vapor deposition processes are
setzt. Zur Herstellung von transparenten oxidischen used for the PVD processes, whereby the evapora-
Schichten werden bei den PVD-Verfahren vor allem tion is induced thermally or through the use of an
plasmaunterstützte Aufdampfverfahren genutzt, electron beam, and the plasma is generated by vari-
wobei die Verdampfung thermisch oder durch einen ous types of arc light or sputter sources. Plasma
Elektronenstrahl erfolgt und die Plasmaerzeugung enhanced processes also play a role in CVD proc-
durch verschiedene Lichtbogentypen oder Sputter- esses; in such cases the plasma is activated through
quellen. Bei den CVD-Verfahren kommen die high frequency or microwaves. However, PE-CVD
plasmagestützten Verfahren zum Einsatz, hier ins- processes have found little use in the production of
besondere mit Hochfrequenz- oder Mikrowellen- barrier foils up until now.
Plasmaanregung. Allerdings werden die PE-CVD-
Verfahren bislang für die Herstellung von Barriere-
folien wenig eingesetzt.
Der typische Aufbau von in der Verpackungsindust- Two examples of the typical composition of foils
rie verwendeten Folien ist in Bild 6 und Bild 7 an used in the packaging industry are depicted in Fig-
zwei Beispielen gezeigt. Im Fall der nicht transpa- ure 6 and Figure 7. In the case of non-transparent
renten Verpackung wird die Barriereschicht durch packaging, the barrier coating is formed by vapor
aufgedampftes Aluminium gebildet (Bild 6). Weite- deposited aluminum (Figure 6). Further components
re Komponenten sind Polyethylen (PE-LD) und are polyethylene (PE-LD) and biaxially oriented
biaxial orientiertes Polyethylentherephtalat (BO- polyethylene therephthalate (BOPET). A transparent
– 16 – VDI 3823 Blatt 1 / Part 1

PET). Eine transparente Barriere ist im zweiten barrier can be seen in the second example (Fig-
Beispiel (Bild 7) gezeigt. Die Barriereeigenschaften ure 7). The barrier properties are achieved through
werden hier durch im Sputterfahren abgeschiedenes silicon oxide deposited in a sputtering process.
Siliziumoxid erreicht.

Bild 6. Verbundfolie mit aufgedampfter Al-Barriere- Figure 6. Composite foil with a vapor deposited
schicht (genutzt z. B. für die Verpackung von Al-barrier coating (used for example for packaging
Kaffee) coffee)
1 außen (z. B. Luft) 1 Outside (for example air)
2 Polyethylen (PE-LD, 70 µm) 2 Polyethylene (PE-LD, 70 µm)
3 2-Komponenten-Kaschierkleber (1 µm bis 2 µm) 3 2-component laminating adhesive (1 µm to 2 µm)
4 Al-Schicht (40 nm) 4 Al coating (40 nm)
5 Metallschicht (Ag, 10 nm) 5 Metal coating (Ag, 10 nm)
6 biaxial orientiertes Polyethylentherephtalat 6 Biaxially oriented polyethylene therephthalate
(BOPET, 12 µm) (BOPET, 12 µm)
7 innen 7 Inside

Bild 7. Beispiel für sterilisationsfeste transparente Figure 7. Example of a sterilizable transparent


Barriereschicht (hergestellt mit PVD-Verfahren) barrier coating (produced in a PVD process)
1 außen (z. B. Luft) 1 Outside (for example air)
2 Cast-Polyethylen (CPP, 40 µm) 2 Cast polyethylene (CPP, 40 µm)
3 biaxial orientiertes Polymid (BOPA, 15 µm) 3 Biaxially oriented polyimide (BOPA, 15 µm)
4 2-Komponenten-Kaschierkleber (1 µm bis 2 µm) 4 2 component laminating adhesive (1 µm to 2 µm)
5 SiOx (60 nm) 5 SiOx (60 nm)
6 biaxial orientiertes Polymid (BOPA, 15 µm) 6 Biaxially oriented polyimide (BOPA, 15 µm)
7 innen 7 Inside
VDI 3823 Blatt 1 / Part 1 – 17 –

2.5.2 Beschichtung von Behältern aus 2.5.2 Coating plastic containers


Kunststoffen
Die Innenbeschichtung von Kraftstofftanks aus Po- The inner coating of fuel tanks made of polypropyl-
lypropylen mit einer dünnen Plasmapolymerisati- ene with a thin plasma polymerized coating leads to
onsschicht führt zu einer erheblichen Verringerung an appreciable reduction in permeation by fuel. It is
der Permeation von Treibstoff. Insbesondere soll particularly important to retain benzene in this case.
hier Benzol zurückgehalten werden. Dieser Bereich This is an area in which intensive research and de-
ist derzeit durch intensive Entwicklungsarbeiten velopment work is currently in progress.
gekennzeichnet.
Eine weitere Anwendung besteht in der Beschich- A further application can be found in the coating of
tung von Behältern für Lebensmittel. Hierbei geht containers for foodstuffs. In this case it is not pri-
es nicht in erster Linie darum Wasserdampf und marily a question of minimizing the transmission of
Sauerstofftransport zu minimieren, sondern darum water vapor and oxygen, but rather of retaining car-
Kohlendioxid in den Getränken (z. B. Cola und bonation in beverages (such as cola and beer). In
Bier) zu halten. Prinzipiell wird eine ähnliche principal a coating similar to the one used on trans-
Schicht benötigt wie sie für die transparente Folie parent foils in required. Two different approaches
verwendet wird. Es werden zwei Vorgehensweisen are taken. In one it is possible to apply the coating
verfolgt. Einmal kann die Schicht außen auf die onto the outside of a polyester bottle. The advantage
Polyesterflasche aufgebracht werden. Vorteil ist, in this case is that contact with the beverage can be
dass der Getränkekontakt vermieden wird, ander- avoided. On the other hand, damage to the barrier
seits ist aber eine Schädigung der Barriereschicht coating can easily be incurred. The second variation
leicht möglich. Der zweiten Variante liegt eine In- is based on an interior coating with a glass-like coat-
nenbeschichtung mit einer glasähnlichen Schicht zu ing applied in a PE-CVD process.
Grunde, die mit einem PE-CVD-Verfahren aufge-
bracht wird.
2.6 Biologische und medizinische 2.6 Biological and medical applications
Anwendungen
Vakuumverfahren zur Veränderung der Oberfläche Vacuum processes employed to alter the surface of
polymerer Werkstoffe haben ein breites Anwen- polymer materials have found a wide range of appli-
dungsfeld im medizinischen und biologischen Be- cations in medical and biological contexts. These
reich gefunden. Diese Verfahren werden zum Be- processes are used to coat, crosslink, chemically
schichten, zur Vernetzung, zur chemischen Aktivie- activate and functionalize, as well as to sterilize.
rung und Funktionalisierung sowie zum Abtrag
(Sterilisation) eingesetzt.
Bei allen biologischen und medizinischen Anwen- In the case of all biological and medical applications
dungen vakuumbeschichteter Kunststoffe muss zwi- of Vacuum Coated Plastics, one must differentiate
schen Komponenten, die im direkten Kontakt mit between components that come into direct contact
biologischen Systemen und Körperflüssigkeiten with biological systems and bodily fluids (for ex-
stehen (z. B. Implantate, Katheter, Werkzeuge für ample implants, catheters, tools for operations) and
Operationen) und solchen, die keinen direkten Kon- those that have no direct contact with biological
takt zu biologischen Systemen haben (z. B. medizin- system (for example medical equipment and com-
technische Geräte und Komponenten) unterschieden ponents). In the latter case, the treatment of the sur-
werden. Im letztgenannten Fall sind Ober- faces in a vacuum is also common, although these
flächenbehandlungen im Vakuum ebenfalls üblich, are not specifically biological and medical applica-
aber nicht als spezifisch für biologische und medizi- tions. An interim position is taken by packaging. It
nische Anwendungen zu benennen. Eine Zwischen- must, like packaging for foodstuffs, serve as a bar-
stellung nehmen die Verpackungen ein. Sie müssen rier against oxygen and moisture in some applica-
ähnlich der Lebensmittelverpackung in einigen An- tions. The barrier coatings required for this are par-
wendungen bestimmte Barriereeigenschaften gegen tially applied in a vacuum. These coatings must also
Sauerstoff- und Feuchtepermeation aufweisen. Die be sterilizable. In addition, the surfaces must also
hierzu benötigten Barriereschichten werden teilwei- have characteristics that prevent the active ingredi-
se im Vakuum aufgebracht. Diese Schichten müssen ents in pharmaceutical products from denaturing.
ebenfalls sterilisierbar sein. Darüber hinaus müssen
die Oberflächen so beschaffen sein, dass Wirkstoffe
in pharmazeutischen Produkten nicht denaturieren.
– 18 – VDI 3823 Blatt 1 / Part 1

Für die Wechselwirkung mit biologischen Systemen For the interaction with biological systems and bod-
und Körperflüssigkeiten sind die Benetzungseigen- ily fluids the wettability is of essential importance.
schaften von überragender Bedeutung. Hierzu lassen To this end it is possible to apply thin film coats in a
sich dünne Schichten in Vakuumprozessen aufbrin- vacuum process that influence the wettability (hy-
gen, mit denen das Benetzungsverhalten (hydrophil drophilic to hydrophobic) and, hence, the interaction
bis hydrophob) und damit die Wechselwirkung mit with the biological “solvent”, i. e. water, as well as
dem biologischen „Lösemittel“ Wasser sowie die the adsorption of proteins. For some applications it
Adsorption von Proteinen beeinflusst werden kann. is sufficient to induce a slight oxidation of the
Für einige Anwendungen reicht die leichte Oxidati- polymer surfaces with non-polymerizing gases in a
on der Polymeroberflächen mit nicht polymerisie- plasma treatment. For permanent and specifically
renden Gasen in einem Plasma aus. Für dauerhafte equipped surfaces, however, coating through plasma
und spezifisch ausgerüstete Oberflächen ist aller- polymerization or thermal CVD is required. This is
dings eine Schicht durch Plasmapolymerisation oder particularly the case when the vacuum step is not
thermische CVD erforderlich. Insbesondere ist dies the last step in the process of producing the equip-
der Fall, wenn der Vakuumschritt nicht am Ende der ment or components.
Verfahrensschritte zur Herstellung der Geräte und
Komponenten steht.
Die Vakuumbeschichtung von Kunststoffen findet The vacuum coating of plastics is used in the fol-
folgende weitere medizinische und biologische An- lowing medical and biological contexts:
wendungen:
• Aufbringen von chemisch angebundenen Schich- • the application of chemically anchored coatings
ten (Verbesserung der Benetzung von Kontakt- (improved wettability of contact lenses)
linsen) • the application of lubricant or non-friction coat-
• Aufbringen von Gleitschichten auf oxidkerami- ings based on ceramic oxide (for example valve
scher Basis (z. B. Ventilverschlüsse) closures)
Weitere nichtbeschichtende Vakuumverfahren, die An additional non-coating vacuum process used in
in der Medizintechnik eingesetzt werden, sind so medical technology is what is called precondition-
genannte Vorbehandlungen. Um das Verkleben von ing. In order to make it possible for plastics based
Kunststoffen auf der Basis von Polyolefinen zu on polyolefins to be glued together, it is possible to
ermöglichen, werden beispielsweise Plasmen einge- use plasmas. Applications are for catheters and
setzt. Anwendungen sind Katheter und Blutfilter. blood filters.
Beispiele erfolgreicher Anwendungen von Vaku- Examples of successful applications of vacuum
umbeschichtungen und anderer Vakuumverfahren processes in the area of medicine and biology are:
im Bereich der Medizin und Biologie:
• Geräte zur Sterilisation durch Plasma- • equipment for sterilization through plasma
behandlung treatment
• Strahlenvernetzung von Schläuchen und • electron beam crosslinking of tubes and infusion
Infusionsbeuteln bags
• Vorbereitung für Heparinisierung durch • preparation for heparinization through plasma
Plasmabehandlung treatment
• Hydrophilierung von Mikrotiterplatten, von • hydrophilization of microtiter plates, lenses,
Linsen, von Gefäßen für die Zellzucht und von vessels for cell cultivation and wound dressings
Wundverbänden durch Plasmabehandlung through plasma treatments
• Hydrophobierung von Kathetern, Implantaten • hydrophobicization of catheters, implants and
und Komponenten für Herzschrittmacher components for pacemakers
• antibakterielle Schichten • antibacterial coatings
• Al-Barriereschichten für Pharmaverpackungen • Al-barrier coatings for pharmaceutical packa-
wie Tuben, Behälter ging like tubes and containers
• leitfähige Schichten für Sensoren im medizini- • conductive coatings for sensors used in a medi-
schen Bereich cal context
• hydrophile und reibungsmindernde Schichten • hydrophilic and friction reducing coatings (for
(z. B. für Intraocularlinsen) example for intraocular lenses)
VDI 3823 Blatt 1 / Part 1 – 19 –

• Beschichtung von Komponenten für künstliche • coatings of components for artificial hearts and
Herzen und Herzklappen heart valves
• Beschichtung mit H2O-diffusionsdichten • coating with H2O-diffusion-proof coatings (for
Schichten (z. B. Container) example containers)
• Beschichtung von Pumpenkomponenten • coatings for pump components (for example
(z. B. Gehäuse) casings)
2.7 Weitere Anwendungen 2.7 Further applications
Durch den Einsatz entsprechender Vakuumverfah- By using the appropriate vacuum processes, plastic
ren können Kunststoffoberflächen mit einer defi- surfaces can be equipped with a defined wettabil-
nierten Benetzbarkeit versehen werden. Diese ity. This can be varied from good wettability (hy-
kann von gut benetzbar (hydrophil) bis zu sehr drophilic) to very poor wettability (hydrophobic or
schlechter Benetzbarkeit (hydrophob oder gar ole- even oleophobic).
ophob) variiert werden.
Um eine langzeitstabile hydrophile Ausrüstung der In order to equip a surface with hydrophilic proper-
Oberfläche zu erreichen werden zunehmend ties that remain stable for a long time, multilayer
schichtbildende Prozesse eingesetzt, bei denen bei- processes are used increasingly in which, for exam-
spielsweise über eine Plasmapolymerisation dünne ple, thin hydrophilic coatings are applied after
hydrophile Schichten aufgetragen werden. Eine plasma polymerization. Hydrophilic properties can
hydrophile Ausrüstung lässt sich aber auch schon be created by treatments that do not involve the
durch eine Behandlung ohne eigentliche Schichtbil- actual formation of a coating, but these tend not to
dung erreichen, ist dann aber oft nicht hinreichend be sufficiently stable in the long run. In order to
langzeitstabil. Für eine hydrophobe (wasserabwei- equip a material with hydrophobic (water repellent)
sende) Ausrüstung ist in jedem Fall eine Schichtab- properties, the deposition of layers is essential, this
scheidung erforderlich, die meist ebenso über eine is also usually undertaken subsequent to a gas-phase
Polymerisation aus der Gasphase erfolgt. Hierzu polymerization. To this end, organosilanes or
werden siliziumorganische Verbindungen oder fluo- fluorinated hydrocarbons are used.
rierte Kohlenwasserstoffe eingesetzt.
Neben der chemischen Zusammensetzung der abge- In addition to the chemical composition of the de-
schiedenen Schichten spielt auch deren Oberflä- posited coatings, the surface structure (roughness)
chenstruktur (Rauheit) eine entscheidende Rolle für plays a decisive role for the wettability. In order to
die Benetzung. Um beispielsweise Antihaft-, Anti- create a non-sticking, anti-fingerprint or anti-graffiti
Fingerprint- oder Anti-Graffity-Beschichtungen zu coating, the surface structure and the chemical
erhalten, werden Oberflächenstruktur und chemi- composition need to be optimized.
sche Zusammensetzung optimiert.
Anti-Fog-Schichten müssen auf auftreffende Was- Anti-fog coatings must react to water droplets in
sertropfen so reagieren, dass die optischen Eigen- such a manner that the optical characteristics of the
schaften der Oberfläche (z. B. Reflexion, Transmis- surface (for example reflection, transmission) are
sion) durch diese nicht beeinträchtigt werden. Die not impaired by them. The surface structure must be
Oberflächenstruktur muss dabei in einer Dimension kept in a dimension that does not lead to light scat-
gehalten werden, die nicht zur Lichtstreuung führt. tering.
Dies kann prinzipiell auf drei Wegen realisiert wer- This can, in principle, be realized in three different
den: manners:
1. Durch Verwendung von sehr hydrophilen 1. Through the use of highly hydrophilic surfaces,
Oberflächen, sodass auftreffende Tropfen sofort on which droplets spread “invisibly”, “wetting”
spreiten und als Film nicht mehr zur Lichtstreu- them rather than causing light to scatter.
ung beitragen.
2. Durch Verwendung von extrem hydrophoben 2. Through the use of extremely hydrophobic sur-
Oberflächen, sodass die Tropfen sofort bei faces that cause droplets to immediately run off
geringer Neigung der Flächen abfließen. of surfaces even at a very slight angle.
3. Durch Verwendung von quellfähigen Schichten, 3. Through the use of swellable coatings that ab-
von denen die Tropfen aufgenommen werden sorb water droplets.
können.
– 20 – VDI 3823 Blatt 1 / Part 1

Die erste und zweite Variante lassen sich durch The first and second options can be realized through
Vakuumverfahren realisieren. Durch die zweite vacuum processes. The second option can also be
Variante werden gleichzeitig auch schmutzabwei- used to create soil-resistant surfaces since loose
sende Oberflächen erzeugt, indem nicht fest haften- particles of dirt will also be washed away when the
de Schmutzpartikel von den ablaufenden Tropfen droplets run off.
mitgenommen werden.
Eine weitere Anwendung ist die Erzeugung von A further application is the creation of coatings that
Haftvermittlerschichten für nachfolgende Beschich- promote the adhesion of coatings that follow. Ex-
tungen auf Kunststoffen. Beispiele dafür sind neben amples of this are, in addition to coatings deposited
im Vakuum abgeschiedenen Schichten (metallische in a vacuum (metallic and other coatings), ink for
und andere Schichten) auch Druckfarben, Schutz- printing, protective or decorative lacquer, barrier,
oder Dekorlacke, Barriere- oder Gleitschichten so- anti-friction or lubricant layers as well as adhesives
wie Kleber für die Befestigung von Kunststoffteilen for joining plastic parts or for laminating foils. The
oder die Lamination von Folien. Durch die Haft- primers and tie-coats used to promote adhesion must
vermittlerschicht muss der Unterschied in der Ober- reduce, or adjust, the differences in the surface en-
flächenenergie zwischen Kunststoff und Beschich- ergy of the plastic and the coating material. In prin-
tung verringert und/oder angeglichen werden. Dazu ciple, there are two methods of doing so, a physical
gibt es prinzipiell zwei Möglichkeiten, eine physika- and a chemical. In the first case the application of
lische und eine chemische. Bei der Ersten wird the primer or the tie-coat increases the surface en-
durch die Aufbringung der Vermittlerschicht die ergy of the plastic by positioning polar groups on
Oberflächenenergie der Kunststoffe erhöht, indem the surface. The improved adhesion is mainly a
polarere Gruppen eingeführt werden. Die verbesser- result of physical interactions (dipoles, etc.), and is
te Haftung beruht dabei überwiegend auf physikali- mainly used in conjunction with metallic coatings
schen Wechselwirkungen (Dipole etc.) und wird and simpler organic coatings. In the case of the sec-
überwiegend bei metallischen Beschichtungen und ond option, the functional groups contained in the
wenig anspruchsvollen organischen Schichten ein- primer or tie-coat can be employed to effect trans-
gesetzt. Bei der zweiten Möglichkeit werden die in formations with reactant partners on the surface
der Vermittlerschicht enthaltenen funktionellen and/or in the coating. This enables the coating to be
Gruppen gezielt mit Reaktionspartnern auf der chemically anchored, thereby attaining a higher
Oberfläche und/oder in der Beschichtung umgesetzt. degree of adhesion. Since this requires the use of
Damit werden eine chemische Verankerung der special chemicals and additional process steps (such
Beschichtung und damit eine höhere Haftfestigkeit as heating and/or wet chemical steps), it is only used
erzielt. Da bei dieser Möglichkeit meist spezielle for costly materials and when the demand for a high
Chemikalien eingesetzt und zusätzliche Prozess- degree of adhesion justifies the added expense.
schritte (z. B. Erwärmung und/oder nasschemische
Schritte) durchgeführt werden müssen, wird sie nur
für hochwertige Materialien eingesetzt, bei denen
die hohen Anforderungen an die Haftung den Auf-
wand rechtfertigen.
Neben Aufdampfen, Sputtern, PECVD steht zum In addition to vapor deposition, sputtering and
Aufbringen von Vermittlerschichten auch die Plas- PECVD, it is also possible to apply a tie-coat
mabehandlung und Plasmapolymerisation zur Ver- through plasma treatment and plasma polymeriza-
fügung. Bei der Plasmabehandlung wird zwar kein tion. Although plasma treatment does not actually
Material aufgebracht, jedoch führt die Behandlung involve the application of material, it does cause
in einer mehr oder weniger dicken Schicht zu gro- changes in the outermost layer, in varying degrees
ßen Veränderungen, sodass man diese Schicht auch of thickness, allowing this changed layer to be
als Vermittlerschicht betrachten kann. Bei der Plas- viewed as a tie-coat. In plasma polymerization new
mapolymerisation werden neue Schichten aufgetra- coatings actually are applied and the process has the
gen und das Verfahren hat den entscheidenden Vor- distinct advantage of allowing the introduction of
teil, dass damit auch funktionelle Gruppen einge- functional groups that are not available through a
führt werden können, die über eine einfache Plas- simple plasma treatment (for example acrylate or
mabehandlung nicht zugänglich sind (z. B. Acrylat- epoxide functions).
oder Epoxidfunktionen).
Neben chemischen Eigenschaften spielen bei der In addition to chemical properties, various mechani-
Haftung auch die unterschiedlichen mechanischen cal properties of the plastic and the coating play a
VDI 3823 Blatt 1 / Part 1 – 21 –

Eigenschaften von Kunststoff und Beschichtung role with regard to adhesion. In the case of some
eine Rolle. Bei einigen Beschichtungen, insbesonde- coatings, particularly metallic coatings, poor adhe-
re bei metallischen Schichten, wird die schlechte sion is often caused by the brittleness of the materi-
Haftung oft durch die Sprödigkeit der Materialien als. For that reason more elastic or ductile interme-
verursacht. Deshalb werden elastischere oder dukti- diate coatings are applied in order to adapt the dif-
lere Zwischenschichten aufgetragen um die sehr ferent mechanical properties of the plastic and the
unterschiedlichen mechanischen Eigenschaften von coating better to each other.
Kunststoff und Beschichtung auszugleichen.

3 Verfahren für die Vakuumbeschichtun- 3 Processes for Vacuum Coating Plastics


gen von Kunststoffen
Wie bei allen Werkstoffen werden auch die Materi- As is true of all materials, the properties of coatings
aleigenschaften von im Vakuum auf Kunststoffen applied to plastics in a vacuum are determined by
aufgebrachten Schichten durch ihre chemische Zu- their chemical composition as well as their structure
sammensetzung sowie durch ihre Struktur und ihren and their construction. These can be greatly influen-
Aufbau bestimmt. Diese können durch die Wahl des ced by the coating process chosen and by adjusting
Beschichtungsverfahrens und der Einstellung ent- various parameters pertaining to the coating.
sprechenden Parameter für die Beschichtung we-
sentlich beeinflusst werden.
Folgende Größen haben entscheidenden Einfluss auf The following parameters have a decisive influence
die Eigenschaften der abgeschiedenen Schichten: on the properties of the deposited coatings:
• Substrattemperatur, die durch die Beiträge • Substrate temperature, which is determined by
Wärmestrahlung aus der Beschichtungsquelle, the heat contributed by the radiation used to
Kondensationswärme bei der Schichtbildung und evaporate the source material, by the condensa-
Energie und Einfallswinkel der auftreffenden tion taking place when the coating is formed, as
Teilchen bestimmt wird. Die Temperatur des zu well as by the energy and the incident angle of
beschichtenden Kunststoffteils beeinflusst we- the particles being deposited. The temperature of
sentlich die Struktur und die Haftung der abge- the plastic part to be coated strongly influences
schiedenen Schicht. the structure and the adhesion of the deposited
coating.
• Beschichtungsrate, da durch die Anzahl der • Coating rate, since it is the number of particles
schichtbildenden Teilchen pro Zeit sowohl forming the coat per unit of time that determines
Struktur und Reinheit der abgeschiedenen both the structure and the purity of the deposited
Schicht als auch die für eine bestimmte Schicht- coating, as well as the time needed to produce a
dicke erforderliche Beschichtungsdauer be- coating in a given thickness.
stimmt werden.
• Druck und Zusammensetzung des Rest- und • Pressure and composition of the residual and
Reaktivgases in der Umgebung des Substrats. reactive gas surrounding the substrate.
• UV- und andere energiereiche Strahlung, die • UV and other high-energy radiation that can
zu Veränderungen in der Übergangszone zwi- lead to changes at the interface between the coat-
schen Schicht und Kunststoff führen kann. ing and the plastic.
Da alle Beschichtungsprozesse im Vakuum stattfin- Since all coating processes take place in a vacuum
den und mit einer Temperaturerhöhung des poly- and are accompanied by an increase in the tempera-
meren Grundmaterials verbunden sind, kann es zum ture of the polymer materials, this can lead to degas-
Entgasen (Trocknung von feuchtem Material, Plat- sing (drying of damp materials, bursting of gas
zen von Gasblasen, Entweichen des Weichmachers) bubbles, escape of plasticizers) during coating. The
während der Beschichtung kommen. Die Anforde- requirements that need to be fulfilled by plastic parts
rungen an zu beschichtenden Teile aus Kunststoff to be coated are described in detail in VDI 3823
sind in VDI 3823 Blatt 2 ausführlich dargestellt. Part 2.
• Grundsätzlich sollte die tatsächliche chemische • As a fundamental rule the actual chemical com-
Zusammensetzung des Kunststoffs aus dem die position of the plastic, from which the parts to be
zu beschichtenden Teile bestehen, einschließlich coated are made, including the concentration of
der Konzentration von Additiven, bekannt und additives, should be known and reproducible.
reproduzierbar sein.
– 22 – VDI 3823 Blatt 1 / Part 1

• Das zu beschichtende Kunststoffmaterial sollte • The plastic material to be coated should, as a


grundsätzlich eine geringe, bekannte und repro- fundamental rule, have a low, known and repro-
duzierbare Porosität haben. ducible porosity.
• Die zu beschichtenden Oberflächen sollten un- • The surfaces to be coated should be completely
bedingt frei von Staub, Trennmitteln, Fett und Öl free of dust, separating agents, grease and oil.
sein.
3.1 Thermisches Verdampfen im Vakuum 3.1 Thermal evaporation in a vacuum
Beim thermischen Verdampfen wird das Schichtma- In the case of thermal evaporation, the coating mate-
terial durch direkte oder indirekte Heizung im Va- rial is melted and evaporated by heating it directly,
kuum aufgeschmolzen und verdampft. Hauptsäch- or indirectly, in a vacuum. Most commonly, thermal
lich werden widerstandsbeheizte Verdampfer evaporators use resistive heat sources (Figure 8),
(Bild 8), induktiv beheizte Verdampfer und für inductively heated evaporators and, in the case of
hochschmelzende Materialien Elektronenstrahlver- materials with high melting points, electron beam
dampfer eingesetzt. evaporators.
Beim widerstandsbeheizten Verdampfen wird das For evaporation with resistive heat sources the ma-
Material unter Ausnutzung der jouleschen Wärme terial is evaporated out of boats, coils or crucibles
aus Schiffchen, Wendeln oder Tiegeln heraus ver- by making use of Joule heating. No UV radiation is
dampft. UV-Strahlung entsteht nicht. created.
Beim Elektronenstrahlverdampfen wird das In electron beam evaporation, the coating material is
Schichtmaterial durch Beschuss mit energiereichen heated to evaporative temperature by bombarding it
Elektronen im Vakuum auf die Verdampfungstem- with high-energy electrons in a vacuum and thereby
peratur erhitzt und aus einem Tiegel heraus ver- evaporated out of a crucible. Through this process
dampft. Mit diesen Verfahren können hohe Be- high coating rates can be achieved.
schichtungsraten erreicht werden.
3.2 Bogenverdampfung im Vakuum 3.2 Arc beam vacuum systems
Beim Bogenverdampfen (Vakuumbogenverdamp- In arc beam vacuum systems (arc evaporators) the
fer, Vakuumlichtbogenverdampfer, Arc-Ver- coating material is evaporated with the help of an
dampfer) wird das Beschichtungsmaterial mit Hilfe arc beam in a vacuum. This can be achieved either
eines Lichtbogens im Vakuum verdampft. Dies cathodically (Figure 9) or anodically. The evapo-
kann sowohl kathodisch (Bild 9) als auch anodisch rated material is transformed into a plasma state
erfolgen. Das verdampfte Material geht in der Ent- when it loses its charge. In some types of arc evapo-
ladung in den Plasmazustand über. Bei einigen Bo- rators the degree of ionization can be determined
genverdampfertypen kann der Ionisationsgrad durch through the appropriate selection of the arc parame-
entsprechende Wahl der Bogenparameter eingestellt ter. By introducing reactive gases, like nitrogen or
werden. Durch Zugabe eines Reaktivgases, z. B. oxygen, it is possible to deposit compounds. Under
Stickstoff oder Sauerstoff, können Verbindungen certain operating parameters it is even possible for
abgeschieden werden. Bei bestimmten Betriebspa- micro droplets to be formed and incorporated into
rametern kann es zur Bildung von Mikrotröpfchen the coating. This process yields very high coating
(Droplets) kommen, die ebenfalls in die Schicht rates. However, substrate stress is generally higher
eingebaut werden. Mit diesem Verfahren können than with thermal evaporation.
hohe Beschichtungsraten erreicht werden. Aller-
dings ist die Substratbelastung im Allgemeinen hö-
her als bei der thermischen Verdampfung.
VDI 3823 Blatt 1 / Part 1 – 23 –

Bild 8. Aufbau einer Beschichtungseinrichtung mit Figure 8. Construction of a coating apparatus with
thermischer Verdampfung thermal evaporation
1 Verdampfer 1 Evaporator
2 Verdampfungsgut 2 Evaporant
3 Substrathalter 3 Substrate holder
4 Substrat 4 Substrate
5 Glimmelektrode 5 Glow electrode
6 elektrische Versorgung (Glimmen) 6 Electrical power supply (glowing)
7 elektrische Versorgung (Verdampfen) 7 Electrical power supply (evaporation)
8 Vakuummessgerät 8 Vacuum gauge
9 Schwenkblende 9 Shutter
10 Gaseinlassventil 10 Gas inlet valve
11 Hauptventil 11 Main valve
12 Hochvakuumpumpe 12 High vacuum pump
13 Vorvakuumventil 13 Forevalve
14 Bypassventil 14 Bypass valve
15 Vorvakuumpumpe 15 Forepump
16 Belüftungsventil 16 Vent valve
– 24 – VDI 3823 Blatt 1 / Part 1

Bild 9. Aufbau einer Beschichtungseinrichtung Figure 9. Construction of a coating apparatus


mit kathodischer Vakuumlichtbogenverdamp- with cathodic vacuum arc evaporation
fung
1 Vakuumlichtbogenverdampfer (Anode) 1 Vacuum arc evaporator (anode)
2 Verdampfungsgut (Target, Kathode) 2 Evaporant (target, cathode)
3 Substrathalter 3 Substrate holder
4 Substrat 4 Substrate
5 Substratvorspannung (Bias) 5 Substrate bias
6 Vakuummessgerät 6 Vacuum gauge
7 elektr. Versorgung (Vakuumlichtbogenverdamp- 7 Electrical power supply (vacuum arc evaporator)
fer) 8 Gas inlet (MFC) for reactive gas
8 Gaseinlass (MFC) für Reaktivgas 9 Gas distribution ring
9 Gasverteilungsring 10 Main valve
10 Hauptventil 11 High vacuum pump
11 Hochvakuumpumpe 12 Forevalve
12 Vorvakuumventil 13 Bypass valve
13 Bypassventil 14 Forepump
14 Vorvakuumpumpe 15 Vent valve
15 Belüftungsventil

3.3 Zerstäuben im Vakuum 3.3 Sputtering


Beim Zerstäuben im Vakuum (Kathodenzer- In cathode sputtering, particles are dislodged
stäubung, Sputtern) werden Teilchen aus dem from the coating material by bombarding it with
Beschichtungsmaterial durch Stoßprozesse von highly charged neutral or positively charged ions
energiereichen neutralen oder geladenen Teil- (Figure 10). The proportion of ionized atoms
chen herausgelöst (Bild 10). Der Anteil der ioni- among the dislodged atoms is low. By adding a
sierten Teilchen an den herausgelösten Teilchen reactive gas, like nitrogen or oxygen, com-
ist gering. Durch Zugabe eines Reaktivgases, pounds can be deposited. The coating rates that
z. B. Stickstoff oder Sauerstoff, können Verbin- can be achieved through this process are lower
dungen abgeschieden werden. Die mit diesem than those of other vacuum coating processes.
Verfahren erreichbaren Beschichtungsraten sind However, the variety of the materials that can be
im Vergleich zu anderen Vakuumbeschich- deposited through this process is higher. In the
tungsverfahren niedriger. Die Vielfalt der mit case of magnetron sputtering, which is often
diesem Verfahren abscheidbaren Materialien ist used industrially, the coating rates for the mate-
dagegen höher. Mit den häufig industriell einge- rials are higher. The heat and radiation stress on
setzten Magnetron-Sputterquellen können aber the parts to be coated is, however, also compara-
auch hohe Beschichtungsraten erreicht werden. tively high.
Die Wärme- und Strahlungsbelastung der zu
beschichtenden Teile ist vergleichsweise hoch.
VDI 3823 Blatt 1 / Part 1 – 25 –

Bild 10. Aufbau einer Beschichtungseinrichtung Figure 10. Construction of a coating apparatus
mit Kathodenzerstäubung (Sputtern) with cathode sputtering
1 Zerstäubungseinrichtung (z. B. Magnetron) 1 Sputtering apparatus (for example magnetron)
2 Zerstäubungsgut (Target) 2 Target
3 Substrathalter 3 Substrate holder
4 Substrat 4 Substrate
5 Schwenkblende 5 Shutter
6 elektrische Versorgung (DC- oder HF-Spannung) 6 Electric power supply (DC or HF current)
7 Vakuummessgerät 7 Vacuum gauge
8 Gaseinlass (MFC) für Argon 8 Gas inlet (MFC) for Argon
9 Gaseinlass (MFC) für Reaktivgas 9 Gas inlet (MFC) for reactive gas
10 Hauptventil/Drosselventil 10 Main valve/baffle valve
11 Hochvakuumpumpe 11 High vacuum pump
12 Vorvakuumventil 12 Forevalve
13 Bypassventil 13 Bypass valve
14 Vorvakuumpumpe 14 Forepump
15 Belüftungsventil 15 Vent valve
– 26 – VDI 3823 Blatt 1 / Part 1

Bild 11. Aufbau eine Anlage für Beschichtung Figure 11. Construction of a coating apparatus
mittels Plasmapolymerisation oder PECVD with plasma polymerization or PECVD
1 Entladungselektrode 1 Discharge electrode
2 Substrat 2 Substrate
3 Substrathalter 3 Substrate holder
4 elektrische Versorgung (DC-, HF- oder MW-Quelle) 4 Electrical supply (DC, HF or MW source)
5 Vakuummessgerät (kapazitiv) 5 Vacuum gauge (capacitive)
6, 7 Gaseinlass (MFC) für Arbeitsgas (z. B. Argon) 6, 7 Gas inlet (MFC) for production gas
und Precursor (for example Argon) and precursor
8 Gasverteilungsring 8 Gas distribution ring
9 Hauptventil 9 Main valve
10 Wälzkolbenvakuumpumpe 10 Root vacuum pump
11 Drehschiebervakuumpumpe 11 Rotary vacuum pump
12 Belüftungsventil 12 Vent valve

3.4 Plasmapolymerisation 3.4 Plasma polymerization


Bei der Plasmapolymerisation werden zunächst Plasma polymerization starts initially with organic
organische Moleküle eines monomeren Ausgangs- molecules of a monomer precursor that are acti-
stoffs (Precursor) in einer Gasentladung (z. B. vated, ionized an/or fragmented into radicals
einer Glimmentladung) angeregt, ionisiert und/ through an initial gas discharge (for example a
oder in Radikale zerlegt (Bild 11). Daraus bildet glow discharge; Figure 11). This leads to the for-
sich durch Vernetzung eine dünne Schicht auf der mation of a thin film on the surface of the part to
Oberfläche des zu beschichtenden Teils. Plasmapo- be coated through crosslinking. Plasma polymeri-
lymerisate unterscheiden sich in Aufbau und Ei- zates differ in their structure and properties from
genschaften von chemischen Polymerisaten. Da sie chemical polymerizates. Since they can be applied
unmittelbar nach der Bedampfung aufgebracht directly after the vapor deposition, the process of
werden können, ist die Plasmapolymerisation ein plasma polymerization is advantageous for apply-
günstiges Verfahren zur Aufbringung z. B. von ing protective coatings, for example. The plasma
Schutzschichten. Die Plasmapolymerisation von polymerization of hexamethyldisiloxan (HMDSO)
Hexamethyldisiloxan (HMDSO) ist ein verbreite- is a common process for the production of trans-
tes Verfahren für die Herstellung transparenter parent top coats.
Deckschichten.
VDI 3823 Blatt 1 / Part 1 – 27 –

3.5 Plasmaunterstützte chemische Dampf- 3.5 Plasma Enhanced Chemical Vapor


abscheidung (PECVD) Deposition (PECVD)
Die plasmaunterstützte chemische Dampfabschei- Plasma enhanced chemical vapor deposition is the
dung (plasma enhanced chemical vapor deposition) name of a process used for the deposition of thin
bezeichnet ein Verfahren zur Abscheidung dünner films and allows the high substrate temperature
Schichten, bei dem durch den Einsatz eines Plas- usually required for CVD processes to be reduced.
mas die üblicherweise für CVD-Verfahren not- For example silicon nitride coatings, which other-
wendige hohe Substrattemperatur gesenkt werden wise only produce good results at a temperature of
kann. Zum Beispiel lassen sich Siliziumnitrid- 700 °C, can be deposited with plasma enhancement
schichten, die mit guten Schichteigenschaften bei in a PECVD process at temperatures of less than
700 °C erhalten werden durch Plasmaunterstützung 300 °C. The results differ from those of plasma
in einem PECVD-Prozess schon unterhalb 300 °C polymerization in that the coatings have a more
abscheiden. Eine klare Unterscheidung zur Plas- anorganic character, and the substrate temperature
mapolymerisation besteht darin, dass die erhalte- is also usually higher than those common for
nen Schichten eher anorganischen Charakter auf- plasma polymerization. Assuming that the outcome
weisen, und die Substrattemperatur meist noch will be a hydrocarbon compound, the conditions
oberhalb der für die Plasmapolymerisation übli- under which any a-C:H coating is produced are
chen liegt. Geht man von Kohlenwasserstoffen als generally referred to as “PECVD processes”. As in
Ausgangsverbindungen aus, so werden die Bedin- the case of plasma polymerization, amorphous
gungen, unter denen man a-C:H-Schichten erhält, coatings are once again deposited, however with a
im Allgemeinen als „PECVD-Prozesse“ bezeich- much higher degree of crosslinking and a lower
net. Ähnlich wie bei der Plasmapolymerisation hydrogen content. Common coating systems are
werden auch hier amorphe Schichten, allerdings silicon dioxide and silicon nitride, as well as amor-
mit deutlich höherem Vernetzungsgrad und gerin- phous carbon coatings and amorphous silicon.
gerem Wasserstoffgehalt abgeschieden. Häufige
Schichtsysteme sind Siliziumdioxid und -nitrid,
sowie amorphe Kohlenstoffschichten und amor-
phes Silizium.
3.6 Vor- und Nachbehandlung 3.6 Pretreatment and after-treatment
3.6.1 Beschichtende Verfahren 3.6.1 Coating processes
Als beschichtende Verfahren werden je nach An- Depending on the application, the following coat-
wendung eingesetzt: das Aufbringen von Grund-, ing processes are employed: the application of
Schutz- und Strukturlack, das galvanische Ab- primer, protective or structured lacquer, the gal-
scheiden einer Grundschicht, das Aufbringen von vanic deposition of a primer, the application of tie-
Haftvermittlern und Schutzschichten durch Vaku- coats and protective coatings through vacuum
umverfahren. processes.
3.6.2 Nichtbeschichtende Verfahren 3.6.2 Non-coating processes
Bei der Vorbehandlung kommen folgende nicht- As a means of pretreatment, the following non-
beschichtende Verfahren zum Einsatz: coating processes are used:
• mechanische Vorreinigung • mechanical pre-cleaning
(z. B. durch Strahlen) (for example through irradiation)
• nasschemische Vorreinigung • wet-chemical precleaning (for example through
(z. B. durch Waschen, Entfetten, Beizen) washing, degreasing, etching)
• Trocknen durch Heizen (wenn möglich) • drying by heating (if possible)
• Reinigen durch Glimm-, Flamm- und • cleaning through glow discharge, flame and
Coronabehandlung und Plasmaätzen corona treatment as well as plasma etching
Beim Beglimmen werden die zu beschichtenden In the case of plasma treatment the plastic parts to
Kunststoffteile einer in der Beschichtungskammer be coated are subjected to a glow discharge in the
gezündeten Glimmentladung ausgesetzt. Das Be- coating chamber. The plasma treatment removes
glimmen entfernt dünne Wasserfilme von der Kunst- thin water films from the surface of the plastic and
stoffoberfläche und bewirkt eine Verbesserung der ensures better adhesion of the coatings that follow
Haftung der nachfolgenden Beschichtungen durch by modifying the surface, creating adhesion points
Modifizierung der Oberfläche, Erzeugung von Haft- and increasing the surface energy.
zentren und Erhöhung der Oberflächenenergie.
– 28 – VDI 3823 Blatt 1 / Part 1

Für die nachfolgende Bearbeitung von beschichte- For subsequent steps in working with the coated
ten Teilen können Prozesse wie Glimm-, Flamm- parts, processes like glow discharge, flame and
und Coronabehandlung notwenig sein, um bei- corona treatment may be required in order, for
spielsweise nach Lagerung das Bedrucken zu er- example, to facilitate printing after storage.
möglichen.

Schrifttum/Bibliography
VDI 3823 Blatt 2 : 2006-11 Qualitätssicherung bei der Vaku-
umbeschichtung von Kunststoffen; Anforderungen an die zu
beschichtenden Kunststoffe (Vacuum coating quality assuran-
ce; Demands on plastics to be coated). Berlin: Beuth Verlag
VDI 3823 Blatt 3 : 2006-11 Qualitätssicherung bei der Vaku-
umbeschichtung von Kunststoffen; Fertigungsabläufe und
-tätigkeiten (Vacuum coating quality assurance; Production
sequence and job stepps). Berlin: Beuth Verlag
VDI 3823 Blatt 4 : 2006-11 Qualitätssicherung bei der Vaku-
umbeschichtung von Kunststoffen; Prüfungen an vakuumbe-
schichteten Kunststoffteilen (Vacuum coating quality assuran-
ce; Testing of Vacuum Coated Plastics). Berlin: Beuth Verlag