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Curso: Microelectrónica
2018
1. Presentar en clases el LAYOUT del inversor realizado por Ud.
Considerar para el layout el esquema de la Fig. A y la Fig. B del diagrama de barras
(STICK). Trata de conseguir un layour de dimensiones mínimas. Mostrar y describir las
vistas de corte 2D y 3D.
CIRCUITO INVERSOR
Vista de corte 3D
En la vista de corte 3D, sobre el substrato P, se añade una capa de substrato N para formar ahí
el transistor PMOS. Luego, sobre el mismo substrato P que ocupa el mayor volumen se añade
una capa de difusión N, análogamente se realiza el mismo paso sobre el substrato N. Sobre
estas superficies, se añaden las capas de polisicio para la formación de canales en ambos
transistores y los contactos con el Metal 1. Finalmente, la capa de Metal 1 es sobre dichos
contactor.
Procedimiento:
Paso 1: Se empieza por colocar un bloque de 𝑁+𝐷𝑖𝑓𝑓𝑢𝑠𝑖𝑜𝑛 con las características mínimas
para la formación de un NMOS con polisilicio.
Paso 2: Se coloca 𝑃𝑜𝑙𝑖𝑠𝑖𝑙𝑖𝑐𝑖𝑜 sobre el bloque de 𝑁+𝐷𝑖𝑓𝑓𝑢𝑠𝑖𝑜𝑛 con un ancho de 2𝜆 y
garantizando una diferencia mínima con el extremo de dicho bloque de 7𝜆. El 𝑃𝑜𝑙𝑖𝑠𝑖𝑙𝑖𝑐𝑖𝑜
debe sobresalir una distancia de 3𝜆
Paso 3: A una distancia de como mínimo 6𝜆 se coloca un bloque de 𝑁 − 𝑊𝑒𝑙𝑙 con la
finalidad de formar el transistor PMOS, esto es necesario debido a la necesidad de darle
una carga negativa al substrato de dicho transistor.
Paso 4: Sobre el bloque 𝑁 − 𝑊𝑒𝑙𝑙 se coloca un bloque de 𝑃+𝐷𝑖𝑓𝑓𝑢𝑠𝑖𝑜𝑛 con las dimensiones
mínimas: Ancho: 6𝜆 Largo: 14𝜆
Paso 5: Se forma un canal de 𝑃𝑜𝑙𝑖𝑠𝑖𝑐𝑖𝑜 en el transistor PMOS y se une este con el canal del
NMOS mediante el 𝑃𝑜𝑙𝑖𝑠𝑖𝑐𝑖𝑜. De igual manera al paso 2, debemos de garantizar que esté a
una distancia de como mínimo 7𝜆 al borde del 𝑃+𝐷𝑖𝑓𝑓𝑢𝑠𝑖𝑜𝑛 y un ancho mínimo de 2𝜆 en
todo momento.
Paso 7: Para unir realizar el contacto entre los transistores con el Metal 1. Para ello en el caso
del NMOS usamos el contacto N y para el PMOS, el contacto P. De la misma forma en los
extremos de los transistores se coloca el Metal 1 con un ancho mínimo de 4𝜆 para conectar las
fuentes y tierra con sus respectivos contactos.
Paso 8: Se coloca una fuente de tensión para alimentar el substrato del PMOS, a la vez, se
conecta la fuente al 𝐷𝑟𝑎𝑖𝑛 de dicho transistor y la tierra al 𝑆𝑜𝑢𝑟𝑐𝑒 del transistor NMOS.
Finalmente, para mostrar el funcionamiento del inversor, se coloca en el substrato un generador
de pulsos y se define una salida en el Metal 1 que une ambas difusiones de los transistores.
Simulación
ÁREA = 46µm2
3. Para el LAYOUT del inversor, extraer la descripción CIR (Spice) y la descripción CIF
(Caltech Intermediate Form) del inversor.
En cada caso, establecer las reglas principales de sintaxis y describir sus contenidos. - En
base al archivo (*.cir) y usando la vista del layout de su inversor, mediante líneas
punteadas, indique las dimensiones de L, W, identifique las capacidades parásitas hacia
GND desde los nodos (G,D,S) y sus valores respectivos.
En base al archivo (*.cif) y usando la vista del layout de su inversor, mediante líneas
punteadas, identifique los valores de las coordenadas (X,Y) que definen las capas de
polisilicio, difusiones, contactos y metal.
Archivos CIR
CIRCUIT C:\Users\Miguel\Circuitos\Inversor.MSK
VDD 1 0 DC 2.50
V5_Vss 5 0 DC 0.00V
* List of nodes
* MOS devices
C2 1 0 1.477fF
C3 3 0 0.383fF
C4 4 0 1.085fF
C5 5 0 0.597fF
C6 6 0 0.140fF
*
* n-MOS Model 3 :
* p-MOS Model 3:
* Transient analysis
.TEMP 27.0
.PROBE
.END
W= 0.75U
L= 0.25U
C2 1.477fF
C3 0.383fF
C4 1.085fF
C5 0.597fF
C6 0.140fF
Archivo CIF
( File : "C:\Users\Miguel\Downloads\Circuitos\Inversor.CIF")
( Version 28/09/2018,23:21:30)
DS 1 1 1;
9 topcell;
L 1;
L 19;
L 13;
L 23;
L 2;
L 16;
L 17;
L 60;
94 Vdd 6250,3500;
94 Vss 6375,-2250;
94 V_in 6250,-125;
94 V_out 7375,0;
94 Vdd 6375,2750;
DF;
C 1;
En el LAYOUT
W = 6𝜆 = 0.75um
L = 2𝜆 = 0.25um
4. Presentar en clases el LAYOUT de la puerta NAND. Considerar para el layout el esquema
de la Fig. C, hacer su diagrama de barras (STICK). Tratar de conseguir un layout de
dimensiones mínimas. Mostrar y describir las vistas de corte 2D y 3D.
Simulación
Vista 2D (Línea vertical)
Sobre el substrato P, se forma una capa N para ser conectada a fuente y formar así los 2
transistores PMOS de la compuerta NAND. Luego se forma una capa de difusión N sobre el
substrato P y una capa P sobre el substrato N. Sobre estas difusiones, 2 bloques de polisilicio son
añadidos, con la finalidad de formar 2 canales para los transistores NMOS en la difusión N, y 2
canales para los transistores PMOS en la difusión P. Finalmente, los contactos son añadidos y es
insertada una capa de Metal 1 para realizar las conexiones.
5. Para circuitos digitales CMOS mostrados en las figuras 1,2 y 3. Analizar y determinar
la función lógica de salida de los circuitos.
Presentar el layout (manual) como mínimo de dos de ellos y corroborar su función
lógica mediante simulación. Medir el área del layout y hallar la frecuencia máxima de
operación.
CIRCUITO N° 1
Se tiene el circuito:
Simulación
Frecuencia máxima:
1
𝑓=
28𝑝𝑠
𝒇 = 𝟑𝟓. 𝟕𝐆𝐇𝐳
Área ocupada
𝐿 × 𝑊 = 1570.8µm2
CIRCUITO N° 2
LAYOUT
SIMULACIÓN
Frecuencia máxima:
1
𝑓=
22𝑝𝑠
𝒇 = 𝟒𝟓. 𝟒𝟓 𝐆𝐇𝐳
Área ocupada