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E DIN ISO 3567:2014-03 ²(QWZXUI²

Inhalt
Seite

Nationales Vorwort .............................................................................................................................................3


Einleitung .............................................................................................................................................................4
1 Anwendungsbereich .............................................................................................................................5
2 Normative Verweisungen ......................................................................................................................5
3 Begriffe ...................................................................................................................................................5
4 Symbole und Abkürzungen ..................................................................................................................7
5 Messprinzip ............................................................................................................................................8
6 Anforderungen .......................................................................................................................................8
6.1 Konstruktion der Kalibrierkammer ......................................................................................................8
6.2 Anbringung der Vakuummessgeräte an die Kalibrierkammer ..........................................................9
6.3 Vakuumsystem und Gaseinlass ........................................................................................................ 10
6.4 Kalibriergas ......................................................................................................................................... 10
6.5 Thermometer und Umgebungsbedingungen ................................................................................... 10
6.6 Bezugsnormal ..................................................................................................................................... 11
7 Kalibrierung ......................................................................................................................................... 11
7.1 Messablauf .......................................................................................................................................... 11
7.2 Auswertung der Messungen .............................................................................................................. 13
7.3 Messunsicherheit................................................................................................................................ 13
8 Kalibrierschein .................................................................................................................................... 14
Anhang A (informativ) Beispiel eines möglichen Kalibriersystems .......................................................... 16
Anhang B (informativ) Hinweise für die Praxis ........................................................................................... 17
B.1 Nullpunkteinstellung .......................................................................................................................... 17
B.2 Reinheit des Kalibriergases ............................................................................................................... 17
B.3 Zieldrücke ............................................................................................................................................ 17
B.4 Wiederholungsmessungen ................................................................................................................ 17
B.5 Erreichung eines niedrigen Basisdrucks ......................................................................................... 18
B.6 Verunreinigungen ............................................................................................................................... 18
B.7 Temperatureinflüsse .......................................................................................................................... 18
B.8 Vibrationseinflüsse ............................................................................................................................. 18
B.9 Handhabung von Vakuummetern und gegenseitige Beeinflussung ............................................. 18
B.10 Bezugsnormale ................................................................................................................................... 18
B.11 Rekalibrierintervalle ........................................................................................................................... 19
Literaturhinweise ............................................................................................................................................. 20

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²(QWZXUI² E DIN ISO 3567:2014-03

Nationales Vorwort
Dieses Dokument wurde durch den Arbeitsausschuss NA 060-07-02 AA "Vakuummessgeräte" des
Fachbereiches Vakuumtechnik im Normenausschuss Maschinenbau (NAM) des DIN erarbeitet. Es ist die
deutsche Übersetzung der Internationalen Norm ISO 3567: 2011, die unter Mitwirkung deutscher Experten in
der Arbeitsgruppe ISO/TC 112/WG 2 "Vacuum instrumentation" erarbeitet wurde. Die ISO 3567:2011 ersetzte
die zuvor erstellte ISO/TS 3567: 2005.

Sie ersetzt die Normenreihe DIN 28418-1 bis -3 und unterscheidet sich von dieser neben vielen nötigen
Aktualisierungen auf den Stand der Messtechnik inhaltlich in folgenden wesentlichen Punkten:

Für die Kalibrierkammer wird eine Symmetrieanforderung gestellt (6.1.b), ihr Volumen muss nur 20 mal
(früher 50 mal) größer als die Summe aller Volumen der angeschlossenen Vakuummessgeräte sein. Der
Restgasdruck, jetzt Basisdruck genannt, darf 10 % (früher 2 %) des niedrigsten Kalibrierdrucks nicht
überschreiten, damit auch Ionisationsvakuummeter bis 10-6 Pa ohne allzu große Anforderungen an das
Vakuumsystem kalibriert werden können. Es werden Bedingungen für die Bezugsnormale angegeben, sowie
eine durch das verfahren bedingte Messunsicherheit. Für die Messunsicherheit gibt es einen eigenen
Abschnitt 7.3.

Für die in Abschnitt 2 zitierten Internationalen Normen, sofern sie nicht als DIN EN ISO- bzw. DIN ISO-
Normen mit gleicher Zählnummer veröffentlicht sind, gibt es keine nationalen Entsprechungen.

Änderungen

Gegenüber DIN 28418-1:1976-05, DIN 28418-2:1978-09 und DIN 28418-3:1980-08 wurden folgende
Änderungen vorgenommen:

a) Für die Kalibrierkammer wird eine Symmetrieanforderung gestellt (6.1.b);

b) Das Volumen der Kalibrierkammer muss nur 20 mal (früher 50 mal) größer als die Summe aller Volumen
der angeschlossenen Vakuummessgeräte sein;

c) Der Restgasdruck, jetzt Basisdruck genannt, darf 10 % (früher 2 %) des niedrigsten Kalibrierdrucks nicht
überschreiten, damit auch Ionisationsvakuummeter bis 10-6 Pa ohne allzu große Anforderungen an das
Vakuumsystem kalibriert werden können;

d) Es werden Bedingungen für die Bezugsnormale angegeben;

e) Es werden Bedingungen für eine durch das Verfahren bedingte Messunsicherheit angegeben;

f) Für die Messunsicherheit gibt es einen eigenen Abschnitt 7.3.

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E DIN ISO 3567:2014-03 ²(QWZXUI²

Vakuummeter —
Kalibrieren von Vakuummetern durch direkten Vergleich mit
einem Bezugsnormal

Einleitung
Zweck dieser Norm ist die Beschreibung der physikalischen, technischen und metrologischen Bedingungen,
die nötig sind, um die Druckskale im Vakuumbereich durch die Kalibrierung mit einem Bezugsnormal
weiterzugeben. Es wird vorausgesetzt, dass der Anwender dieser Norm mit den Verfahren zur
Vakuumerzeugung und -messung vertraut ist.

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²(QWZXUI² E DIN ISO 3567:2014-03

1 Anwendungsbereich
Diese Norm legt die physikalischen, technischen und metrologischen Bedingungen fest, die erfüllt werden
müssen, wenn Vakuummeter durch den Vergleich mit einem Bezugsnormal kalibriert werden. Aus diesen
Bedingungen wird abgeleitet, wie ein Vakuumsystem zu diesem Zweck konstruiert werden muss.

Diese Norm deckt die Kalibrierung aller Arten von Vakuummetern ab. Viele bestehen aus mehreren Teilen,
typischerweise aus dem Messkopf, Kabel, der Versorgungseinrichtung und einer Ausleseeinheit. Diese
Messkette als Ganzes wird als Kalibrierobjekt angesehen. Wenn nur der Messkopf, d. h. der Teil des
Vakuummessgeräts der direkt mit dem zu messenden Vakuum in Kontakt ist, kalibriert wird, müssen alle
Einstellungen und Umgebungsbedingungen so aufgezeichnet werden, dass der Nutzer des Messkopfs seine
Messungen unter den gleichen Bedingungen wie bei der Kalibrierung ausführen kann.

Das Bezugsnormal ist im Regelfall ein auf ein Vakuumprimärnormal oder entsprechendes Nationales Normal
rückgeführtes Messgerät, versehen mit einem Kalibrierschein nach ISO/IEC 17025, oder in seltenen Fällen
ein absolut messendes Vakuummessgerät, welches auf das SI rückgeführt ist und dessen Messwert eine
Unsicherheit beigeordnet werden kann.

Diese Norm gibt keine Anweisungen, wie mit Vakuummetern im Detail zu verfahren ist, sei es als
Bezugsnormal oder als Kalibrierobjekt. Es ist beabsichtigt, diese Anweisungen in weiteren Normen
niederzulegen.

Der Druckbereich für Kalibrierungen nach dieser Norm hängt vom jeweiligen Vakuumsystem für die
Kalibrierung sowie vom Bezugsnormal ab. Der Bereich überschreitet jedoch nicht die Grenzen 10 6 Pa bis
110 kPa.

2 Normative Verweisungen
Die folgenden Dokumente, die in diesem Dokument teilweise oder als Ganzes zitiert werden, sind für die
Anwendung dieses Dokuments erforderlich. Bei datierten Verweisungen gilt nur die in Bezug genommene
Ausgabe. Bei undatierten Verweisungen gilt die letzte Ausgabe des in Bezug genommenen Dokuments
(einschließlich aller Änderungen).

ISO/IEC Guide 98-3:2008; Uncertainty of measurement — Part 3: Guide to the expression of uncertainty in
measurement (GUM:1995)

ISO/IEC 17025:2005, General requirements for the competence of testing and calibration laboratories

3 Begriffe
Für die Anwendung dieses Dokuments gelten die folgenden Begriffe.

3.1
Primärnormal
Normal, das auf einem Primärmessverfahren beruht oder auf Grundlage einer Vereinbarung als Artefakt
geschaffen ist.

[QUELLE: ISO/IEC Guide 99:2007, 5.4, modified]

3.2
Nationales Normal
Normal, das durch eine nationale Behörde anerkannt ist, in einem Land oder einer Volkswirtschaft als
Grundlage dafür zu dienen, Größenwerte anderen Normalen für die betreffende Größenart zuzuordnen.

[QUELLE: ISO/IEC Guide 99:2007, 5.3

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E DIN ISO 3567:2014-03 ²(QWZXUI²

3.3
Bezugsnormal
Bezugsmessgerät
Normal zur Kalibrierung anderer Normale für eine Größenart in einer Organisation oder an einem Ort.

[QUELLE: ISO/IEC Guide 99:2007]

ANMERKUNG In dieser Norm gleichbedeutend mit Bezugsmessgerät

3.4
Vakuummessgerät
Messgerät zur Messung eines Gas- oder Dampfdrucks unterhalb des umgebenden Atmosphärendrucks

[QUELLE: ISO 3529-3:1981, 3.1.2]

ANMERKUNG 1 Einige Arten von Vakuummetern messen den Druck nicht direkt, sondern eine andere physikalische
Messgröße, die unter definierten Bedingungen vom Druck abhängt.

ANMERKUNG 2 Für Begriffe und Definitionen von Vakuummetern siehe ISO 3529-3.

3.5
Messkopf
der Teil des Vakuummessgeräts, der das druckmessende Bauteil enthält und direkt mit dem Vakuumsystem
verbunden ist.

ANMERKUNG Messköpfe, die auch das Betriebsgerät tragen, werden auch als Transmitter bezeichnet.

[QUELLE: ISO 3529-3:1981, 3.1.2.1, modified

3.6
Betriebsgerät
Teil des Vakuummessgeräts, welches den Messkopf versorgt und/oder das Ausgangssignal ausgibt

3.7
Kalibriereinheit
unit under calibration
UUC
das zu kalibrierende Vakuummessgerät

3.8
Eintrittsflansch
Der Flansch, an den der Messkopf der Kalibriereinheit oder des Bezugsnormals an die Kalibrierkammer
angeflanscht wird.

3.9
Kalibrierkammer
Vakuumkammer, die als Medium zwischen Kalibriereinheit und Bezugsnormal dient

3.10
Eintrittsfläche
Öffnung in der Kalibrierkammer die zum Messkopf der Kalibriereinheit, des Bezugsnormals oder einem
anderen Teil des Kalibriersystems führt

3.11
Kalibriergas
Gasart oder Gasmischung, die zum Einstellen des Gasdrucks in der Kalibrierkammer verwendet wird

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²(QWZXUI² E DIN ISO 3567:2014-03

3.12
Sorption
Aufnehmen eines Gases oder Dampfs durch einen Festkörper oder eine Flüssigkeit

3.13
Desorption
Abgabe eines Gases oder Dampfes, welches zuvor von einem Material absorbiert wurde

3.14
Ausgasrate
Rate, mit der Moleküle oder Atome von einem dem Vakuum ausgesetzten Material desorbieren

3.15
Totaldruck
p
Summe der Drücke aller Komponenten einer Gasmischung

ANMERKUNG Vakuum wird gemessen als der absolute Druck eines Gases, welches sich in einer abgeschlossenen
Kammer befindet und wird angegeben in pascal (Pa) oder millibar (mbar): 1 mbar = 100 Pa; 1 bar 0,1 MPa 105 Pa;
1 MPa 1 N/mm2.

3.16
Restdruck
Der kleinste Totaldruck, der in einer Kalibrierkammer bei vorgegebener Zeit erreicht werden kann, in der
Regel nach einer Pumpzeit von 24 h

ANMERKUNG Der Restdruck hängt unter anderem davon ab, ob die Kalibrierkammer ausgeheizt wurde.

3.17
Basisdruck
Der in der Kalibrierkammer herrschende Druck, bevor Gas in diese zur Kalibrierung eingelassen wird oder
später, nachdem die Gaszufuhr abgesperrt wurde

ANMERKUNG Der Basisdruck kann größer aber niemals kleiner als der Restdruck sein.

4 Symbole und Abkürzungen


D Zylinderdurchmesser, angegeben in millimeter (mm)
e Anzeigeabweichung
p Totaldruck, angegeben in Pascal (Pa) oder millibar (mbar)
p0 Basisdruck, angegeben in Pascal (Pa) oder millibar (mbar)
pcal Kalibrierdruck, angegeben in Pascal (Pa) oder millibar (mbar)
pind angezeigter Druck, angegeben in Pascal (Pa) oder millibar (mbar)
pres Restdruck, angegeben in Pascal (Pa) oder millibar (mbar)
Qout Ausgasrate, angegeben in Pascal Liter pro Sekunde (Pa ! L/s), Pascal Kubikmeter pro Sekunde
(Pa ! m3/s) oder millibar Liter pro Sekunde (mbar ! L/s)
qV,eff effective Ansaugvolumenrate der Pumpe — angegeben in Liter pro Sekunde (L/s) oder
Kubikmeter pro Sekunde (m3/s) als Volumenrate in die Pumpe hinein
S Empfindlichkeit (Koeffizient) (Pa-1)
u Standardunsicherheit
U erweiterte Unsicherheit
CF Korrekturfaktor
UUC Messeinheit

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E DIN ISO 3567:2014-03 ²(QWZXUI²

5 Messprinzip
Das zu kalibrierende Vakuummessgerät UUC und das Bezugsnormal sind an die gleiche Kalibrierkammer
angeflanscht.
Bei der Kalibrierung eines UUC durch Vergleich mit einem Bezugsnormal wird der Eingangsflansch des UUC
und des Bezugsnormals der gleichen Gasdichte und der gleichen Geschwindigkeitsverteilung der Gasteilchen
ausgesetzt. Gleichheit von Gasdichte und Geschwindigkeitsverteilung bedeutet, dass auch der Druck an den
zwei Orten gleich ist, jedoch ist der umgekehrte Schluss nicht immer richtig. Viele Vakuummeter messen nicht
den Druck sondern stattdessen z.B. die Gasdichte oder die Auftreffrate von Gasteilchen, weswegen die obige
Bedingung der Gleichheit von Gasdichte und Geschwindigkeitsverteilung sowohl notwendig ist als auch
wesentlich präziser als nur Gleichheit der Drücke zu fordern.
Die Gasdichte (der Druck) in der Kalibrierkammer kann variiert werden und so die jeweiligen Anzeigen von
Bezugsnormal und UUC verglichen werden.
Von diesem Messprinzip werden die folgenden Forderungen für die Konstruktion und den Aufbau des
Vakuumsystems abgeleitet.

6 Anforderungen

6.1 Konstruktion der Kalibrierkammer

Die Kalibrierkammer muss so konstruiert sein, das die Gasdichte im Messvolumen hinreichend homogen und
zeitlich stabil ist.
Darüber hinaus muss das Material der Kalibrierkammer so gewählt werden, dass der Restdruck, pres, der
durch die effektive Sauggeschwindigkeit der Pumpe qeff (effektive Volumenflussrate in die Pumpe) und die
gesamte Ausgasrate in der Kalibrierkammer gegeben ist, klein genug ist, um die kleinsten Kalibrierdrücke zu
erreichen (siehe Gl. (1) und 6.3).

Qout
pres (1)
q V,eff

Dies bedeutet im Detail, dass die Kalibrierkammer gemäß den untenstehenden Punkten konstruiert und
betrieben werden soll. Die Merkmale a) bis e) können unberücksichtigt bleiben, wenn die kleinsten
Kalibrierdrücke, die in der Kalibrierkammer realisiert werden, 100 Pa nicht unterschreiten und zusätzlich diese
nur statisch (siehe 7.1) eingestellt werden. Unabhängig vom Druck können die Merkmale b) bis d)
unberücksichtigt bleiben, wenn die Drücke nur statisch eingestellt werden.
g) Das Volumen der Kalibrierkammer muss zwanzig Mal größer als die Summe aller Volumen der
angeschlossenen Vakuummeter, einschließlich der zugehörigen Rohr- und Verbindungsstücke, sein
(beispielsweise zählt ein Rohrbogen zum Messkopf als Teil der zusätzlichen Volumina).
h) Die Form der Kalibrierkammer (siehe Bild 1) muss in mindestens einer Achse Zylindersymmetrie
besitzen. Eine Kugel wird als Idealform angesehen, jedoch sind zwei gleiche Kugelsegmente, aneinander
angeflanscht, oder Zylinder gleichfalls möglich. Wenn ein Zylinder verwendet wird, muss dessen
Gesamtlänge zwischen ein und zwei Durchmessern liegen. Für die Endflächen werden Klöpperböden
empfohlen.
i) Die Querschnittsmitten des Pumpauslasses und des Gaseinlasses (wenn anwendbar, s.u.) müssen sich
auf der gleichen zylindrischen Symmetrieachse der Kalibrierkammer befinden. Der Gaseinlass kann auch
zwischen Pumpauslass und Pumpsystem (siehe 6.3) liegen. In diesem Fall muss der Gaseinlass nicht
auf der Symmetrieachse liegen.
j) Alle Eintrittsflächen und ihre zugehörigen Flansche an die die UUCs und das Bezugsnormal montiert
werden, müssen sich auf einer gemeinsamen Äquatorialebene befinden, welche senkrecht auf der
zylindrischen Symmetrieachse steht, auf der der Pumpauslass liegt.

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²(QWZXUI² E DIN ISO 3567:2014-03

Wenn ein Zylinder benutzt wird, wird empfohlen, diese Äquatorialebene so zu legen, dass der Zylinder in
zwei gleiche Hälften geteilt wird. Wenn ein Zylinder mit einer Länge von (3/2)D benutzt wird (solch ein
Zylinder entspricht der Kammer für Saugvermögensmessungen), sollten die Messgeräte in einer Höhe
von 1/3rd der Länge (also bei D/2) über dem Bodenflansch positioniert werden.
k) Die Temperaturdifferenz zwischen beliebigen Punkten der Kalibrierkammer muss kleiner als 1 K
betragen. Punkte, welche sich näher als 5 cm an der Eintrittsfläche eines geheizten Vakuummeters (z.B.
Ionisationsvakuummeter) können unberücksichtigt bleiben.

l) Die Temperatur gemittelt über die Kalibrierkammer [siehe e)] muss während der Kalibrierung (23 3) !C
betragen. Diese mittlere Temperatur darf sich während der Kalibrierung um nicht mehr als 1 K ändern.

Wenn die Kriterien a) bis e) nicht erfüllt werden, müssen die durch die mögliche ungleiche Verteilung von
Gasdichte und Geschwindigkeit an den Eintrittsflanschen von Bezugsnormal und UUCs (siehe 7.3)
hervorgerufenen Korrekturfaktoren gemessen werden und deren Unsicherheit abgeschätzt werden.

a) b) c)

Bild 1 — Beispiele möglicher Formen der Kalibrierkammer

6.2 Anbringung der Vakuummessgeräte an die Kalibrierkammer

6.2.1 Um die ungleiche Verteilung der Gasteilchen durch Sorption, Pumpeffekte und Ausgasung des
Vakuummessgeräts zu minimieren, muss das Rohrstück, welches Messgerät und Kalibrierkammer verbindet
möglichst kurz sein und einen Durchmesser besitzen, der mindestens dem des Eintrittsflansches entspricht.
Wenn durch das Messgerät (UUC oder Bezugsnormal) eine erhebliche Wärmelast zu erwarten ist (siehe
Kriterium e) in 6.1), kann das Verbindungsrohr verlängert werden, um die Wärmeleitung zur Kammer zu
reduzieren.

6.2.2 Es muss darauf geachtet werden, dass beim gleichzeitigen Betrieb von Messgeräten (UUCs und
Bezugsnormale) sich diese nicht wechselseitig in ihren Anzeigen beeinflussen. Eine Beeinflussung, die etwa
der Unsicherheit des Basisdrucks entspricht, kann hingenommen werden.

ANMERKUNG Die gegenseitige Beeinflussung kann überprüft werden, indem man die Anzeige eines
Vakuummessgeräts beobachtet, wenn ein anderes an- und abgeschaltet wird.

6.2.3 Um die Messgeräte (UUCs und Bezugsnormale) darf kein signifikanter Luftstrom, der das Messgerät
kühlt oder erwärmt, vorhanden sein. Gegebenenfalls muss eine Abschirmung eingerichtet werden.

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6.3 Vakuumsystem und Gaseinlass

6.3.1 Der Basisdruck, p0, in der Kalibrierkammer, gemessen mit einem Bezugsnormal, muss weniger als
ein Zehntel des kleinsten Kalibrierdrucks pcal, betragen. Die Vakuumpumpe und die Verrohrung zur
Kalibrierung muss entsprechend dimensioniert werden.

Die kleinste durch den Basisdruck verursachte Unsicherheit wird erreicht, wenn dieser unter der Auflösung
des UUC oder des Bezugsnormals liegt. Es wird dringend empfohlen, dass der Basisdruck unter der
Auflösungsgrenze des UUC und/oder Bezugsnormals liegt, wenn die Auflösung 1 mPa oder mehr beträgt.

ANMERKUNG Wenn ein kleiner Rest- und Basisdruck gefordert ist, kann es notwendig sein die Kalibrierkammer
auszuheizen, um das Desorbieren von sorbierten Gasen oder Dämpfen an den Kammerwänden zu beschleunigen.

6.3.2 Es wird empfohlen, ein Pumpsystem zu benutzen, welches das gepumpte Gas kontinuierlich zur
Atmosphäre fördert. Wenn kein solches Pumpsystem benutzt wird, muss gewährleistet werden, dass die
effektive Ansaugvolumenrate über die ganze Kalibrierzeit hinweg konstant bleibt

6.3.3 Eine merkbare Ölrückströmung in die Vakuumkammer muss ausgeschlossen sein.

6.3.4 Basisdruck und Restdruck sollten durch ein gesondertes Vakuummessgerät gemessen werden.

6.3.5 Der Gaseinlass muss so gestaltet werden, dass das Gas entweder im Rohrstück zwischen
Kalibrierkammer und Pumpsystem oder in der Symmetrieachse der Kalibrierkammer eingelassen wird. Wenn
die zweite Möglichkeit genutzt wird, muss der Gaseinlass so gestaltet werden, dass jedes Gasmolekül,
welches den Einlass verlässt, zumindest einen Stoß mit der Wand der Kalibrierkammer oder einer Prallplatte
erfahren muss, bevor es durch die Eintrittsfläche einer UUC oder eines Bezugsnormals hindurchtritt.

ANMERKUNG Mit einem Ventil, welches die effektive Volumenansaugrate vermindert, kann der Gasverbrauch
reduziert werden. Der damit einhergehende Anstieg des Restdrucks muss als Nachteil berücksichtigt werden.

6.4 Kalibriergas

Als Kalibriergas wird Stickstoff mit einer Reinheit von mindestens 99,9 % empfohlen. Andere Gasarten
gleicher Reinheit, auch Gasmischungen in bekannter Zusammensetzung, können ebenso für die Kalibrierung
verwendet werden. Bei Drücken unterhalb 100 Pa muss darauf geachtet werden, dass das Gas nicht
signifikant an den Oberflächen adsorbiert. Dämpfe dürfen unter den Zustandsbedingungen in der
Kalibrierkammer nicht kondensieren.

Falls die Gasreinheit einen relevanten Einfluss auf das Messunsicherheitsbudget hat, muss berücksichtigt
werden, dass, wegen desorbierenden Gasen zwischen Gasvorratsbehälter und der Kalibrierkammer und auch
dieser selbst, in der Kalibrierkammer nicht dieselbe Reinheit wie im Gasvorratsbehälter herrscht.

6.5 Thermometer und Umgebungsbedingungen

Es müssen Thermometer mit einer erweiterten Messunsicherheit (k=2) von weniger oder gleich 0,5 K
verwendet werden. Bei der Messung der Temperatur der Kalibrierkammer muss darauf geachtet werden,
dass die Thermometer in gutem thermischen Kontakt mit der Kammer stehen. Bei der Messung der
Umgebungstemperatur der UUC und der Bezugsnormale müssen die Thermometer geeignet positioniert sein
und vor Strahlungseinflüssen geschützt werden.

Die Umgebungstemperatur muss (23 3) °C betragen und darf sich während der Kalibrierung um nicht mehr
als 1 K ändern. Wenn eine Änderung von mehr als 1 K nicht vermieden werden kann, muss Sorge getragen
werden, dass die durch die Temperaturänderung verursachten Unsicherheitsbeiträge korrekt berücksichtigt
werden.

Als Umgebungsbedingung muss auch 6.2.3 Berücksichtigung finden. Weiterhin muss der Luftstrom und/oder
thermische Strahlung im Kalibierraum so beschaffen sein, dass die Bedingung nach Abschnitt 6.1 e) erfüllt
werden kann.

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²(QWZXUI² E DIN ISO 3567:2014-03

6.6 Bezugsnormal

Als Bezugsnormal muss entweder ein kalibriertes Vakuummessgerät, welches auf ein Vakuumprimärnormal
oder entsprechendes Nationales Normal rückgeführt ist, werden (dies ist der Normalfall) oder ein absolut
messendes Vakuummessgerät, welches auf das SI rückgeführt ist und dessen Messwert eine Unsicherheit
beigeordnet werden kann (dies ist der seltene Fall). Im ersten Fall muss für das Bezugsnormal ein
Kalibrierschein nach ISO/IEC 17025:2005, 5.10, existieren.

Es wird empfohlen, dass das Bezugsnormal eine niedrigere oder gleiche Auflösung und eine niedrigere oder
gleiche Messunsicherheit wie das UUC besitzt, wenn beide an einem Primärnormal kalibriert werden würden.

Das Bezugsnormal sollte für die Gas Art kalibriert sein, die bei einer Kalibrierung nach dieser Norm verwendet
wird. Wenn die Anzeige des Bezugsnormals gasartabhängig ist, muss es für die Gas Art, die bei einer
Kalibrierung nach dieser Norm verwendet wird, kalibriert sein.

7 Kalibrierung

7.1 Messablauf

7.1.1 Bei der Bedienung und Einstellung der UUC ist den Herstelleranweisungen zu folgen, es sei denn, es
sind andere Festlegungen getroffen (z.B. durch den Kunden) Wenn bei der späteren Benutzung eine
bestimmte Einstellprozedur zur Ermittlung der Messwerte verwendet wird, ist dieser auch bei der Kalibrierung
zu folgen. Das Bezugsnormal ist immer gemäß den Herstellerangaben und/oder den Angaben im
Kalibrierschein zu verwenden.

7.1.2 Nachdem die UUCs und die Bezugsnormale installiert sind und das ganze Kalibriersystem bereit ist,
wird die Kalibrierkammer bepumpt. Ein Ausheizen kann für das Erreichen des Basisdrucks nach 6.3
erforderlich sein.

7.1.3 Die Vakuummeter werden angeschaltet, wenn der Druck in der Kalibrierkammer den nötigen
Betriebsdruck für das betreffende Gerät erreicht hat (nach einem Ausheizen während des letzten Teils der
Abkühlphase). Es wird abgewartet, bis alle Geräte ihre Aufwärmphase hinter sich gebracht haben und sich
die Anzeigen stabilisiert haben. Die Länge der Wartezeit bis zur Stabilisierung hängt vom Messgerät und der
geforderten Messunsicherheit ab.

Einige Arten von Vakuummetern erfordern ein “degassing” bei bestimmten Drücken, welches während dieser
Stabilisierungsphase erfolgen sollte.

Wenn Messköpfe mittels eines Ventil ständig unter Vakuum gehalten werden, darf dieses erst geöffnet
werden, wenn der Druck in der Kalibrierkammer unter den Wert gesunken ist, der im Messkopf erwartet wird
und/oder unterhalb des Wertes des Vollausschlags des Messgeräts.

7.1.4 Der Pumpvorgang muss solange fortgesetzt werden, bis der Basisdruck p0 nach 6.3.1 erreicht ist. Vor
Beginn der Kalibrierung wird der Basisdruck und alle Nullanzeigen der Messgeräte protokolliert. Die
aufgeschriebenen Werte können unbrauchbar werden, wenn die Kalibrierpunkte in absteigender
Druckreihenfolge angefahren werden. Daher sollte eine Kalibrierung in aufsteigender Druckreihenfolge
durchgeführt werden. Wenn auch absteigende Folgen gefahren müssen, muss der Bestimmung des
Basisdrucks und seiner Unsicherheit besondere Aufmerksamkeit geschenkt werden.

Der Basisdruck p0 ist im gleichen Zustand des Vakuumsystems zu messen, der während der Kalibrierung
herrscht, zum Beispiel müssen die Ventile zu den UUC und den Bezugsnormalen offen sein.

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E DIN ISO 3567:2014-03 ²(QWZXUI²

7.1.5 Der erste Kalibrierdruck wird entweder statisch oder durch ein stationäres Gleichgewicht wie folgt
eingestellt.

a) Statische Methode

Statisch bedeutet, dass das Ventil zum Pumpsystem geschlossen ist, während das Gas bis zum gewünschten
Druck eingelassen wird (Hinweise zu den Zielpunkten, siehe Annex B).

1) Der Basisdruck p0 ist erneut zu protokollieren, nachdem das Ventil zum Pumpsystem geschlossen ist
und bevor Gas eingelassen wird, wenn sich p0 von dem nach 7.1.4 gemessenen unterscheidet.

2) Wenn der Druckanstieg durch Ausgasen und Desorption in der Kalibrierkammer nach 5 min 1/10 des
kleinsten Kalibrierdrucks überschreitet, ist die Methode des stationären Gleichgewichts anzuwenden.

3) Der Zielpunkt des Drucks muss innerhalb eines mit dem Kunden vereinbarten Zielbereichs liegen.
Wenn nichts vereinbart wurde, soll der tatsächliche Druck um nicht mehr als 5 % vom vereinbarten
Zielpunktwert abweichen.

b) Methode des stationären Gleichgewichts

Das Ventil zum Pumpsystem ist ganz oder teilweise geöffnet, während das Gas bis zum gewünschten Druck
eingelassen wird.

1) Der Zielpunkt des Drucks muss innerhalb eines mit dem Kunden vereinbarten Zielbereichs liegen.
Wenn nichts vereinbart wurde, muss der tatsächliche Druck um nicht mehr als 5 % vom
vereinbarten Zielpunktwert abweichen.

2) Der von den Messgeräten angezeigte Druck muss zeitlich stabil sein und sich um nicht mehr als
0,5% innerhalb 2,5 min ändern. Wenn diese Stabilität nicht erreicht werden kann, können die
Anzeigen beispielsweise in der Reihenfolge Bezugsnormal, UUC, Bezugsnormal in etwa gleichen
Zeitabständen erfasst werden. Der Bezugswert für den UUC Wert ist dann der Mittelwert der zwei
Ablesungen des Bezugsnormals. Insbesondere bei Drücken unterhalb 1 mPa kann es schwierig
werden, Druckänderungen von 0,5% innerhalb 2,5 min zu beobachten, weil die Auflösung der
Messgeräte zu groß ist. In diesem Fall genügt es, eine Druckstabilität zu erreichen, die unter der
Auflösungsgrenze der UUC liegt.

3) Der Basisdruck p0 ist erneut zu protokolieren, wenn das Ventil zum Pumpsystem teilweise
geschlossen wurde und bevor Gas eingelassen wird, wenn sich p0 von dem nach 7.1.4 gemessenen
unterscheidet.

In beiden Methoden a) und b) müssen die Anzeigen des Bezugsnormals und UUC zur gleichen Zeit erfasst
werden oder in einem so kurzen zeitlichen Abstand wie möglich.

7.1.6 Die folgenden Informationen müssen vor bzw. während einer Kalibrierung aufgezeichnet werden:

! Angaben zu den Bezugsnormalen und UUCs, insbesondere Gerätetyp, Hersteller und Seriennummer
sowohl für die Messköpfe wie die relevanten Betriebsgeräte;

! Tag der Kalibrierung;

! Umgebungstemperatur;

! Temperatur der Kalibrierkammer;

! Kalibriergas;

! Basisdrücke [siehe 7.1.5, a) 1) und b) 3)];

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Einstellungen des Messkopfes einschließlich der Einstellungen aller relevanten Betriebs- und
Auslesegeräte;

Relevante Parameter der Installation der Messgeräte (Orientierung des Messkopfes, Position an der
Kalibrierkammer, und, wo relevant, das Rohrstück, in dem sich der Messkopf befindet, Flanschtyp etc.)

Name des Kalibrierenden;

Ergebnistabelle, welche sowohl die Messwerte des Bezugsnormals als auch der UUC enthält;

Wenn nur der Messkopf kalibriert wurde, muss sichergestellt sein, dass alle Einstellungen und Bedingungen
so aufgezeichnet wurden, dass ein Anwender des kalibrierten Messkopfes die Messungen in der gleichen
Weise wie bei der Kalibrierung ausführen kann.

7.1.7 Wenn die Messungen beim letzten Zieldruck abgeschlossen sind, wird das System wieder
heruntergepumpt und überprüft, dass keine Lecks, signifikante Adsorption, Kontamination der Kammerwände
oder ein Fehler des Pumpsystems während der Kalibrierung aufgetreten sind. Das System muss den
Basisdruck vor der Kalibrierung oder 1/1 000 des letzten Kalibrierdrucks innerhalb 10 min erreichen, wenn
dies aus der Volumenansaugrate und dem Kammervolumen erwartet werden kann. Wenn das System
unerwarteter Weise länger als 10 min benötigt, muss das System überprüft und in den gewünschten Zustand
gebracht werden (e.g. Lecktest, Pumpenüberprüfung, spülen, Ausheizen) und die Kalibrierung wiederholt
werden.

7.2 Auswertung der Messungen

Aus den Aufzeichnungen wird für jeden Kalibrierdruck die folgende Tabellenzeile erstellt:

Kalibrierdruck errechnet aus den Mittelwerten der Anzeigen des Bezugsnormals und korrigiert mit den
Angaben aus dem Kalibrierschein und weiterer Korrekturen, die sich aus den Bedingungen während der
Kalibrierung ergeben;

Angezeigter UUC Messwert (gegebenenfalls Mittelwert aus Wiederholungsmessungen), korrigiert um die


Nullpunktanzeige usw.;

die durch die Kalibrierung zu bestimmende Messgröße (e.g. Anzeigeabweichung, Korrekturfaktor,


Empfindlichkeitskoeffizient, z. B: in V/Pa, usw.);

die Unsicherheit der Messgröße zum Zeitpunkt der Kalibrierung gemäß 7.3

In einigen Fällen kann eine einzelne Messgröße als ein Mittelwert über einen größeren Druckbereich ermittelt
werden (z. B. der effektive Akkommodationskoeffizient eines Gasreibungsvakuummeters,
Vakuummeterkonstante, Empfindlichkeit eines Ionisationsvakuummeters).

7.3 Messunsicherheit

Die Standardunsicherheit, u, der durch die Kalibrierung ermittelten Messgröße, z.B. Anzeigeabweichung,
Korrekturfaktor, Empfindlichkeitskoeffizient, muss gemäß dem GUM ermittelt werden. Die folgenden
Unsicherheitsbeiträge können signifikant sein.

a) Unsicherheit des Basisdrucks aufgrund des Messunsicherheit und seiner zeitlichen Änderung.

ANMERKUNG Bei der statischen Methode kann die zeitliche Änderung durch eine Messung des Druckanstiegs nach
der Ventilschließung zur Pumpe abgeschätzt werden. Bei der Methode des stationären Gleichgewichts kann die zeitliche
Drift durch Beobachtung des Basisdrucks vor Einlassen des Kalibriergases über einen Zeitraum von 30 min abgeschätzt
werden, wobei das Ventil zur Vakuumpumpe in derselben Position wie beim ersten Kalibrierpunkt sein muss.

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b) Unsicherheit des Kalibrierdrucks durch eine ungleiche Gasdichte und Geschwindigkeitsverteilung der
Gasteilchen beim Eintrittsflansch der UUC und des Bezugsnormals. Wenn die in 6.1 to 6.3
beschriebenen Merkmale eingehalten wurden, kann die relative Standardunsicherheit des Kalibrierdrucks
durch diese Effekte zu u = 0,3 % für Drücke pcal unter 100 Pa und u = 0,1 % für Drücke pcal größer oder
gleich 100 Pa abgeschätzt werden, im letzteren Fall auch wenn die Merkmale von 6.1 nicht eingehalten
wurden.

ANMERKUNG Diese Unsicherheit beinhaltet die mögliche Verfälschung der Gasdichtehomogenität und der
Geschwindigkeitsverteilung durch mehrere Effektes: besondere Flussbedingungen gemäß den Gesetzen der verdünnten
Gase — einschließlich des Einflusses eines teilweise geschlossenen Ventils zur Pumpe (und dadurch eine Verletzung
der Zylindersymmetrie) siehe Bemerkung zu 6.3.5 — Temperaturgradienten und zeitliche Driften, Sorption, Desorption,
Ausgasen, Pumpwirkungen der Vakuummeter, und kleine Lecks. Bei den fünf letztgenannten Effekten wird angenommen,
dass die Anlage auf dem Stand der Technik ist: Alle Bauteile sind gereinigt und ausgeheizt, wie es für den jeweiligen
Basisdruck erforderlich ist, die Volumenansaugrate (Saugvermögen) der Vakuummeter ist kleiner als 1/100 der effektiven
Volumenansaugrate Seff an der Kalibrierkammer, ein Lecktest mit einem empfindlichen Lecktestmessgerät wurde
durchgeführt. Es können kleinere Unsicherheiten verwendet werden, wenn das Laboratorium die Einflüsse der oben
beschriebenen Effekte sorgfältig abgeschätzt hat (z.B. vergleichende Messungen an den verschiedenen
Eingangsflanschen durch Vertauschen der Messgeräte, Messung der räumlichen Temperaturverteilung, Ermittlung der
zeitlichen Drift der Temperatur usw.).

c) Unsicherheit des Kalibrierdrucks durch seine zeitliche Änderung

ANMERKUNG Diese Unsicherheit kann abgeschätzt werden durch Beobachtung der Anzeige des Bezugsnormals in
einem Zeitintervall, welches dem eines typischen Intervalls für eine Messung an einem gegebenen Zieldruck entspricht.

d) Messunsicherheit des Bezugsnormals. Zusätzlich zu der im Kalibrierschein angegebenen Unsicherheit


können weitere Beiträge hinzukommen, insbesondere die Langzeitinstabilität des Bezugsnormals, die
Streuung durch die Auflösung, die Streuung der Messwerte, Unsicherheit der Nullpunktmessung,
Wanderung des Nullpunkts, Einflüsse der Umgebungsbedingungen und von unterschiedlichen
Temperaturen des Kalibriergases bei der Benutzung des Bezugsnormals und bei seiner Kalibrierung,
Temperaturdrift, mögliche Wechselwirkungen mit anderen Vakuummetern.

e) Unsicherheit der Anzeige der UUC aufgrund der Messwertestreuung durch die Auflösung, Streuung der
Messwerte, sowohl bei einem Messdruck wie beim Restdruck (Nullpunkt, Offset), Wanderung des
Nullpunkts, Änderung der Temperatur während der Kalibrierung, gegenseitige Beeinflussung von
Messgeräten.

f) Unsicherheiten, die durch Verunreinigung des Kalibriergases entstehen.

g) Kurzfristige Wiederholpräzision der Messungen unter gleichen Bedingungen.

Es ist üblich, in Kalibrierscheinen die erweiterte Messunsicherheit U = ku, wobei k = 2, anzugeben. Bei einer
Normalverteilung entspricht dies einem Vertrauensintervall von 95 %.

8 Kalibrierschein
Der Kalibrierschein muss gemäß ISO 17025 abgefasst sein. Angewandt auf die Kalibrierung von
Vakuummetern gemäß dieser Norm, muss der Kalibrierschein folgende Angaben enthalten:

die Kennzeichnungen der Bezugsnormale und UUCs, d.h. die Art und der Typ des Messgeräts, der
Hersteller, die Seriennummer vom Messkopf und aller zugehörigen Betriebsgeräte;

die Umgebungstemperatur einschließlich ihrer Schwankungsbreite und Messunsicherheit während der


Kalibrierung;

die Temperatur der Kalibrierkammer einschließlich ihrer Schwankungsbreite und Messunsicherheit


während der Kalibrierung;

das Kalibriergas;

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die Basisdrücke [7.1.5, a) 1) und b) 3)]

Einstellungen aller Vakuummeter und ihrer relevanten Betriebsgeräte;

relevante Details zur Anbringung der Vakuummeter (räumliche Orientierung des Messkopfs, Position an
der Kalibrierkammer und, wenn angebracht, die Art der Rohrverbindung zum Messkopf (Durchmesser,
Flanschart usw.);

weitere Umgebungsbedingungen, soweit diese relevant sind (Luftdruck, Luftfeuchte, u.ä.)

die Modellgleichung für die Größe, die durch die Kalibrierung bestimmt wurde

Wenn nicht nur ein einzelner Größenwert durch die Kalibrierung bestimmt wird, muss das Ergebnis der
Kalibrierung in einer Tabelle wie in Tabelle 1 gezeigt dargestellt werden.

Es wird dringend empfohlen, dem Nutzer des Kalibrierscheins eine Gleichung an die Hand zu geben, mit der
aus dem angezeigten Signal des kalibrierten Geräts der wahre Druck mit Hilfe der Werte aus dem
Kalibrierschein berechnet werden kann.

Tabelle 1 — Beispiel einer Ergebnistabelle für den Kalibrierschein

pcal pind e oder CF oder S usw. U (k=2)


usw.

Kalibrierdruck als Mittelwert Die angezeigten Werte der Die Größe, die durch die Die erweiterte
der Anzeige des UUC (gegebenfalls der Kalibrierung bestimmt wird Messunsicherheit (relativ
Bezugsnormals korrigiert mit Mittelwert bei (z.B. Anzeigefehler e, oder absolut) der Größe in
den Angaben aus seinem Wiederholungsmessungen), Korrekturfaktor CF, oder der vorigen Spalte zur Zeit
Kalibrierschein und anderen korrigiert um den Offset, etc. Empfindlichkeitskeits- der Kalibrierung wie in 7.3.
notwendigen Korrekturen koeffizient in volt/pascal). bestimmt.
gemäß den Bedingungen
während der Kalibrierung.

Wenn zwischen dem Kunden und dem Kalibrierlaboratorium zur Vereinfachung vereinbart wurde, dass nur ein Wert der
Messunsicherheit angegeben werden soll, muss dieser die größte vorkommende Unsicherheit des ganzen Messbereichs
abdecken.

Zuweilen wird ein einziger Größenwert als Mittelwert über einen größeren Bereich bestimmt (z.B. der effektive
Akkommodationskoeffizient eines Gasreibungsvakuummeters, die Vakuummeterkonstante eines Ionisations-
vakuummeters oder dessen Empfindlichkeit), In diesem Fall muss die Unsicherheit dieses Größenwertes
angegeben werden.

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Anhang A
(informativ)
Beispiel eines möglichen Kalibriersystems

Legende
1 Kalibrierkammer
2 UUC
3 Bezugsnormal
4 Puffervolumen a
5 vom Gasreservoir
6 Umgehung (by-pass)

a Zum Zwecke einer besseren Druckstabilität vor dem Dosierventil und somit konstanten Flussrate.

Bild A.1 — Kalibriersystem

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Anhang B
(informativ)

Hinweise für die Praxis

B.1 Nullpunkteinstellung

Einige Arten von Vakuummetern besitzen die Möglichkeit der Nullpunkteinstellung. Diese sollte gemäß den
Herstellerangaben durchgeführt werden, wenn sich die Kalibrierkammer auf dem Basisdruck befindet. Falls
derselbe über der Auflösungsgrenze der UUC oder des Bezugsnormals liegt, muss dies berücksichtigt
werden.

Die Nullpunkteinstellung sollte überprüft werden, wenn andere Einstellungen wie Messbereich, Verstärkung
etc. geändert wurden, sowie am Ende der Kalibrierung.

ANMERKUNG Wenn der Kalibrierbereich mehr als eine Dekade umfasst, kann es auch notwendig werden, die
Nullpunktanzeige und -einstellung beim Wechsel der Dekade zu überprüfen.

Bei einigen Arten von Vakuummetern muss der Atmosphärendruck eingestellt werden. Dies muss vor der
Kalibrierung geschehen, wenn sich die Kammer und/oder das Vakuummessgerät dem Atmosphärendruck
ausgesetzt ist. Die Betriebsanweisung ist zu beachten.

B.2 Reinheit des Kalibriergases


Die Gasreinheit in der Kalibrierkammer kann durch die Verwendung eines Restgasanalysators überprüft
werden. Dieser sollte jedoch während der Kalibrierung ausgeschaltet sein.

B.3 Zieldrücke
Im Allgemeinen sollten die Zieldrücke zwischen dem Kunden und dem Kalibrierlaboratorium vereinbart
werden. Wenn nichts vereinbart wurde, sollten wenigstens drei Zieldruckpunkte für die Kalibrierung eines
UUC herangezogen werden, und drei Punkte pro Anzeigedekade gemessen werden. Diese sollten auf einer
logarithmischen Skala in etwa gleichverteilt sein (also z.B. 1,2 und 5 oder 2,5 und 9).

B.4 Wiederholungsmessungen
Die Anzahl von Wiederholungsmessungen sind ein Kompromiss zwischen Genauigkeit und Kosten einer
Kalibrierung und sollte daher ebenso zwischen dem Kunden und dem Kalibrierlaboratorium vereinbart
werden.

Eine Messung kann nur als Wiederholungsmessung gelten, wenn sich das Kalibriersystem zwischen den
wiederholten Messungen auf dem Basisdruck befunden hat (entweder zwischen zwei vollständigen
Messreihen oder zwischen zwei Messungen an einem Zielpunkt).

Wenn nur jeweils eine Messung an einem Punkt vollzogen wurde, muss das Laboratorium die
Wiederholpräzision anderweitig abschätzen. Beispielsweise können mehrere Wiederholungsmessungen für
einen Gerätetyp der UUC vorgenommen werden, aus diesen die Unsicherheit durch die Streuung der
Ergebnisse berechnet werden, und diese Unsicherheit benutzt werden, um die Gesamtunsicherheit für das
Ergebnis einer Einzelmessung abzuschätzen.

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B.5 Erreichung eines niedrigen Basisdrucks


Zur Erreichung eines stabilen niedrigen Basisdrucks in der Kalibrierkammer kann es notwendig werden, diese
aufzuheizen.

Zum Belüften auf Atmosphärendruck wird empfohlen, trockenes Stickstoffgas zu verwenden.

Wenn die Kalibrierkammer nicht benutzt wird, sollte sie evakuiert bleiben.

B.6 Verunreinigungen
Da ein verunreinigter Messkopf das Kalibriersystem verunreinigen würde, wird empfohlen einen solchen
Messkopf sorgfältig zu reinigen und zu trocknen, bevor er an das Kalibriersystem angeflanscht wird.

Wenn eine solche Reinigung durchgeführt wird, muss zuvor der Kunde informiert werden, weil die
Kalibrierkonstante durch das Reinigungsverfahren beeinflusst werden kann.

In einigen Vakuummessköpfen gibt es heiße Oberflächen. Diese können in praktischen Systemen oxidiert
oder Öldämpfe zerlegt werden, so dass sich eine Kruste bildet. Diese ändert die Eigenschaften des
Messgeräts und kann eine Kalibrierung erschweren.

B.7 Temperatureinflüsse
Um Temperatureinflüsse auf Vakuummeter zu berücksichtigen, können Betriebsanleitungen, Lehrbücher oder
[6] herangezogen werden.

B.8 Vibrationseinflüsse
Einige Vakuummeter sind auf Schwingungen empfindlich. Man prüfe die Angaben des Herstellers, ob das
Kalibriersystem entsprechend ausgelegt ist. Dämpfungselemente zwischen dem Kalibriersystem und
vibrierenden Pumpen können die Schwingungsamplituden hinreichend verringern.

B.9 Handhabung von Vakuummetern und gegenseitige Beeinflussung


Hochgenaue Vakuummeter, bei denen der obere Messbereich unterhalb des Atmosphärendrucks liegt,
können ihren Kalibrierwert verlieren, wenn sie der Atmosphäre ausgesetzt werden. Diese Geräte sollten mit
einem Absperrventil versehen werden, welches geschlossen wird, wenn die obere Messbereichsgrenze
überschritten wird.

Bei der Installation von Vakuummetern mit starken Permanentmagneten (z. B. vom Penning-Typ) muss
darauf geachtet werden, dass das von ihnen ausgehende magnetische Feld andere Messgeräte
(insbesondere andere Ionisationsvakuummeter) nicht beeinflusst.

Bei Ionisationsvakuummetern ist darauf zu achten, dass geladene Teilchen nicht in direkter Fluglinie von
einem Messkopf in einen anderen gelangen können.

B.10 Bezugsnormale
Es wird empfohlen, mindestens zwei unabhängige Bezugsnormale zu verwenden, um durch den Vergleich
ihrer Anzeigen eventuelle Funktionsstörungen derselben festzustellen. Wenn ihre Ergebnisse nicht im
Rahmen der Messunsicherheiten übereinstimmen, sollten sie rekalibriert werden. Messköpfe, die vom selben
Betriebsgerät verbunden sind, können nicht als unabhängig gelten. Es kann genügen, Bezugsnormale mit
überlappenden Messbereichen zu verwenden und die Messergebnisse im Überlappungsbereich zu
vergleichen.

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B.11 Rekalibrierintervalle
Als grober Leitfaden wird empfohlen, Bezugsnormale die in reinen Vakuumsystemen benutzt werden, alle 12
Monate zu kalibrieren. Unter härteren Bedingungen, sollte das Rekalibrierintervall auf 6 Monate oder weniger
gekürzt werden.

Wenn eine genügend lange Kalibrierhistorie zur Ermittlung der Langzeitstabilität vorhanden ist, kann das
Rekalibrierintervall für Bezugsnormale höchster Genauigkeit, die sich ausschließlich am Kalibriersystem
befinden und dort bepumpt werden, auf 2 Jahre ausgedehnt werden (mit entsprechend erhöhter Unsicherheit
für die Langzeitinstabilität).

Weitere Hinweise, um das optimale Intervall zwischen zwei Kalibrierungen zu bestimmen, können
ISO 10012-1 [4] entnommen werden.

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Literaturhinweise

[1] ISO 80000 (all parts), Quantities and units

[2] ISO/IEC Guide 99:2007, International vocabulary of metrology — Basic and general concepts and
associated terms (VIM)

[3] ISO 3529-3:1981, Vacuum technology — Vocabulary — Part 3: Vacuum gauges

[4] ISO 10012-1:1992, Quality assurance requirements for measuring equipment — Part 1: Metrological
confirmation system for measuring equipment

[5] ISO 14617 (all parts), Graphical symbols for diagram

[6] Jousten, K., Temperature corrections for the calibration of vacuum gauges, Vacuum 49 (1998), 81…87

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