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3/01/2019
1.65
1.6
1.55
1.5
Vacuum pressure
( x 10-10 mbarr)
1.45
1.4
1.35
1.3
1.25
0 30 60 90 120 150 180 210 240 270 300 330
Time (min)
1 1.4
30 1.4
60 1.4
90 1.6
120 1.4
150 1.5
180 1.6
210 1.6
240 1.6
270 1.6
300 1.6