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Drucksensorik

Wie funktioniert ein Ätzstop? Wozu dient der Ätzstop bei Drucksensoren?
Was ist ein Ätz-Stop?
Ätzstop besteht aus undotiertem oder schwach-dotiertem Silizum, welches als
Membran stehen bleibt à Die Ätzrate ändert sich
In reinem Silizium ist es schwerer zu Ätzen als in (stark) dotiertem.

Wie dick ist der Ätzstop?


10μm

Warum ist anisotropes Ätzen für Hochdrucksensoren weniger geeignet?


anisotropes Ätzen mit starken Laugen (Lösung aus KOH und NaOH) orientiert sich
an den Kristallkanten von Silizium, dadurch ergeben sich Ecken mit Rissgefahr,
wenn Druck auf die Sensoren wirkt

Warum lässt sich dotiertes Silizium relativ gut ätzen?


An den Störstellen der starken Dotierung lässt sich leichter Ätze als in undotiertem
bzw. schwach dotiertem Silizium dank der Dotieratome, die wir mechanische
Störungen wirken (wirken wie ein Keil beim Holz spalten)

Was bewirken die Dotier-Atome beim Ätzen von Silizium?


Bewirken eine Änderung der Leitfähigkeit, werden in die Gitterstruktur eingebaut.
Diese Störstellen ermöglichen später leichteres ätzen.

Welches Ätzverfahren erzeugt runde und gleichmäßige Konturen?


Isotropes (gleichmäßiges) Ätzen mit Flusssäure (Fluor-Wasserstoff-Lösung in
Wasser)

Temperaturgang von kpiezo?


groß. -20%/100K

Woher kommt der Wert für kgeom = 2?


Randbedingung: Konstantes Volumen

Typisches Ux für piezoresistive Messbrücke?


250mV (einige hundert mV, wird durch k-Faktor von 50 so hoch!)

Aus welchen beiden Faktoren setzt sich der k-Faktor zusammen?


kgeom (ca. 2) + kpiezoresistiv (ca. 48) = 50

Warum haben piezoresistive Drucksensoren relativ große Brückenausgangs-


spannungen?
Die Brückenausgangsspannung Ux ist wegen dem k-Faktor von 50 (kgeom = 2 +
kpiezoresistiv = 48) so groß. Bei 5V etwa 300mV

Wozu dient bei piezoresistiven Drucksensoren das SiO2? / Wozu dient SiO2?
Siliziumdioxid dient als Ätzmaske (wird also vor dem Ätzen aufgebracht)

Was ist der Unterschied zwischen isotropen und anisotropen Ätzverfahren?


Isotrop: gleichmäßiges Ätzen mi Flusssäure (Fluor-Wasserstofflösung in Wasser).
Bewirkt einen gleichmäßigen Materialabtrag à für Hochdruckanwendungen/-
sensoren geeignet
Anisotrop: nicht gleichmäßiges ätzen mit starken Laugen (Lösung aus KOH und
NaOH). Ätzverhalten orientiert sich an Kristallkanten von Silizium.
Aber: Ecken mit Rissgefahr, wenn Druck auf Sensor wirkt, daher nicht für
Hochdruckanwendungen geeignet

Wie dick ist näherungsweise ein Wafer?


300µm

Waferherstellung
Polysilizium schmelzen, Dotierung. Einbringen des Keimlings, Beginn des
Kristallwachstums, Kristallziehen à Kristall (Ingot) mit Restschmelze

Nenne einen wesentlichen Grund für Offsetfehler bei Drucksensoren?


Ein Maskenversatz bzw. –fehler ergibt einen extremen Offsetfehler. Kein
Drucksensor gleicht dem anderen.

Piezoresistiver Effekt: Warum nimmt bei Dehnung der Widerstand zu?


Aufgrund von Kristallinen Verschiebungen wird das Material weniger leitend für
Elektronen.

Skizziere die radiale Dehnung


Parabel, bei halbem Druck à flacher / gestaucht

Wo gibt es in der Drucksensormembran negative Dehnung?


Dort wo die Stauchung ist / in der Mitte

Aus was besteht die Membran bei Drucksensoren?


V2A-Folie

Die Dicke der Drucksensormembran wird halbiert. Um welchen Faktor


vergrößert sich die Dehnung?
Faktor 4, weil die Membrandicke quadratischen Einfluss für die Dehnung hat
Größenordnung von Is10^-10 bis 10^-22 A

Wie kann eine Stromquellenspeisung eine Temperaturkompensation


bewirken?
Temperatureffekt gleicht sich aus. Gesamtfehler <1% nur schwer möglich.
Kompensation: Wenn Ub steigt fällt Ux

Welchen Wert hat der Temperaturkoeffizient des k-Faktors?


Es gilt: k = k0 *(1+Tksp * deltaT), wobei T_KSP in der Regel ca. 0,2 1/100K beträgt

Nenne eine Möglichkeit zur Hochpräzisen Temperaturfehler Kompensation


beim Drucksensor.
Umkehrfunktion. Dafür wird Abschnittsweise eine lineare Approximation durchgeführt
von x(U)

p-dotierte Widerstände – in welcher Richtung betreiben?


In Sperrrichtung
Wo ist in der Drucksensormembran die Dehnung Null?
Jeweils zwischen dem mittleren und dem äußeren Widerstand

Warum lässt sich dotiertes Silizium schneller ätzen als undotiertes Silizium?
An den Störstellen (Dotierungen) lässt es sich leichter ätzen. Diese mechanischen
Störungen wirken wie ein „Keil“ beim Holz spalten

Welche Funktion hat Pyrex-Glas bei einem piezoresistiven Drucksensor?


Warum ist beim piezoresistiven Drucksensor der Pyrexglassockel relativ
hoch?
Um mechanische Spannungen abzubauen

Was wird im Pyrex-Glas durch das elektrische Feld bewegt?


Na+-Ionen in das Silizium, welche nach dem Abklingen des elektrischen Feldes dort
verbleiben

Nenne jeweils einen Vor- und Nachteil des Direkt-Bonding.


- Einkristalline Wafer verbinden sich nur teikweise
+ VORTEIL

Welche Kräfte wirken beim Anodic Bonding?


Wodurch entsteht die Kraft beim Anodic Bonding?
Elektrische Feldstärke bleibt nach erwärmen vorhanden, da Na+-Ionen vom
Pyrexglas ins Silizium übergehen

Warum werden beim Anodic Bonding die Komponenten erhitzt?


Dass die elektrische Feldstärke entsteht und die Elektronen wandern können

Warum wird beim Anodic Bonding eine Spannung angelegt?


Um elektrisches Feld zwischen Na und Si zu erzeugen. Diese Bindung bleibt nach
weglassen der Spannung bestehen (Ionen sind gewandert)

Warum gibt es keinen Unterschied zwischen Innendruck und Außendruck bei


einem
Drucksensor für Lebensmittelanwendungen?
Dünne V2A_Membranfolie gibt Druck unverfälscht weiter

Nenne Vor- und Nachteile einer Silikonabdeckung bei Drucksensoren.


+ dämpft
- verschleiß, schlechtes Material, unbekannt bzgl. Haltbarkeit / verschleiß etc.

Warum hat reines Silizium bessere mechanische Eigenschaften als Stahl?


Einkristallin (Gitter), ideale mechanische Eigenschaften

Warum betreibt man Drucksensoren manchmal mit einer Stromquelle?


Zur Kompensation. Eine richtig eingestellte Stromquelle kann sinkendes Ux
ausgleichen

Welche Funktion haben Glasdurchführungen bei einem piezoresistiven


Drucksensor?
Schutz des Siliziumchips im Inneren und als Isolator (elektrische
Durchschlagsfestigkeit) zum Gehäuse, chemische Beständigkeit, absolute Gasdichte

Aus welchem Material bestehen die Dehnungsmessstreifen bei piezoresistiven


Drucksensoren?
Silizium (druckempfindliche Halbleiterchips)

Was ist der Nachteil der Drucksensor-Wafer-Bearbeitung von beiden Seiten?


Bei der Herstellung von Drucksensoren muss der Wafer von beiden Seiten
bearbeitet werden. Welche negativen Auswirkungen kann das haben?
Zerbrechlich, zu dünn

Welche Bedeutung hat Usp / Spannensignal (beim piezoresistiven


Drucksensor)?
Nutzsignal des Sensors = Spannensignal. Differenz zwischen Ausgangssignal und
Offset

Was bewirkt ein 5. Widerstand beim Drucksensor?


Zur Temperaturmessung beim Drucksensor

Welchen Wert hat der Elastizitätsmodul von Silizium


2*1011 N/m2

Was ist der Vorteil der Rückseitenankopplung beim Drucksensor?


medienresistent für Benzin, Öl, Milch, etc.

Was ist der Nachteil der Rückseitenankopplung beim Drucksensor?


Teuer

Was ist der Vorteil der Vorderseitenankopplung beim Drucksensor?


Billiges Verfahren, preisgünstige Sensoren

Was ist der Nachteil der Vorderseitenankopplung beim Drucksensor?


Fehler unter 2% fast nicht möglich

Erkläre ausführlich die Abhängigkeit zwischen Dotierung und Ätzrate.


Silizium mit starken Dotierungen führt zu einer drastischen Reduktion der Ätzrate à
quasi Ätzstop
Durch die Dotierung entartet das Silizium zu einem Leiter. Die bei der Oxidation
injizierten Elektronen rekombinieren praktisch sofort mit den in hoher Konzentration
vorhandenen Löchern, so dass sie für den weiteren Fortgang der Reaktion nicht
mehr zur Verfügung stehen und der Ätzprozess stoppt (bei Bor)

Wie funktioniert die Temperaturkompensation einer Drucksensorbrücke durch


Betrieb einer Spannungsquelle mit Innenwiderstand?
Weil es wie eine Stromquelle wirkt

Warum haben Drucksensoren mit Ölfüllung keinen Druckverlust bis zum Chip?
Beschreibe die Funktion der Membran-Folie bei einem Drucksensor mit Öl-
Füllung.
Da der Druck unverfälscht auf den Chip weitergegeben wird.
Die Membranfolie à „Milchdosenprinzip“ mit Entspannungsrillen à erzeugt selbst
keine Kräfte

Wonach richtet sich bei der Drucksensorfehlerkorrektur mit dem rechnergestützten


Interpolationsverfahren die Anzahl der Stützpunkte?

Warum ist die Temperaturkompensation eines Drucksensor mit einer einfachen


Transistorschaltung nicht besonders gut?

Erkläre die Temperaturhysterese beim Drucksenor?

Skizziere k(T) und gib dazu eine lineare Formel mit realen Werten an.

Skizziere Ux(p) mit Druckhysterese.

Skizziere Ux(T) mit Temperaturhysterese.

Skizziere ε(r) von einem Differenzdrucksensor bei p=+1bar und bei p=−1bar .

Welche Größe dient als Bezug für die Fehlerdefinition von Drucksensoren?

Skizziere grob die Funktion ε(r) bei einer Drucksensor-Membran.


Skizziere ϵ(r) jeweils an der Ober- und Unterseite einer Drucksensor-Membran.

Warum bewirken Toleranzen der Membrandicke große Fehler?

Welcher Werkstoff dient als Kontaktvermittler?

Zwei Drucksensoren der gleichen Fertigungsserie haben unterschiedliche


Spannensignale. Wie wirkt sich das auf die Fehler aus?

Skizziere Ux(p) bei den Temperaturen T=20°C, T=40°C und 60°C.

Piezoresistiver Effekt: Warum nimmt bei Dehnung der Widerstand zu?

Zwei Drucksensoren der gleichen Fertigungsserie haben unterschiedliche


Spannensignale. Wie wirkt sich das auf die Fehlergrößen im Datenblatt aus?

Skizziere bei der Membran die Dehnung als Funktion des Radius.

Zwei Drucksensoren der gleichen Fertigungsserie haben unterschiedliche


Spannensignale. Wie wirkt sich das auf die Fehlergrößen im Datenblatt aus?

Wie funktioniert die Transistorschaltung zur Vervielfachung der


UBE(T) -Wirkung?

Warum verursachen Zeitfehler beim Ätzen große Empfindlichkeitsänderungen ?

Warum sind die p-dotierten Widerstände von der Membran elektrisch isoliert?
λ
Optosensorik
Welche Größenordnung hat der Quantenwirkungsgrad?
0,8 – 0,9

Nenne drei Ursachen für das Rauschen von Photodioden.


- Schrotrauschen
- thermisches Rauschen
- Generations-Rekombinationsrauschen

Wodurch haben Leuchtdioden überhaupt eine nennenswerte Lichtleistung?


Werden sehr stark dotiert

Warum gelangt bei der Leuchtdiode nur ein kleiner Teil der Lichtleistung aus
dem Silizium-Chip heraus?
Warum geht in einem LED-Chip viel Leistung verloren?
Warum verbleibt bei der LED viel Lichtleistung im LED-Chip?
Reflexion

Wodurch ergibt sich die Wellenlänge einer LED?


Bandabstand

Was ist der Sinn der Stromabzugsschaltung beim Transimpedanzverstärker?


pn Übergang und Sperrschichtkapazität wirken nicht. Dadurch wird die
Grenzfrequenz unendlich->jedes h*f wird ausgewertet

Welche Photodiode ist bei 500nm theoretisch empfindlicher, eine Silizium-


oder eine Germanium-Photodiode?
Gleich empfindlich!

Warum hat eine größere Photodiode ein größeres Rauschen?


Fläche ist größer, pro Fläche mehr Verunreinigungen

Wozu dient der Intrinsic-Bereich bei einer pin-Photodiode (positive intrinsic


negative diode)?
Eigenleitend, nicht dotiert. Eignleitender Bereich ergibt großes d (großer Abstand) à
kleine Sperrschichtkapazität: C = ε x A/d

Was ist die Definition von NEP beim Photodiodenrauschen?


Noise-Equivalent-Power
NEP = 1/(R(lambda)) * Wurzel(2*IeI*I*delta f)

Warum ist eine Photodiode oberhalb der Grenzwellenlänge nicht mehr


empfindlich?
Weil die Energie zu klein ist, um den Bandabstand zu erhöhen? (überwinden)

Erläutere die Analogie zwischen der Photometrie und dem Ohmschen Gesetz?
I = U*G
Es fließt Strahlungsleistung über den geometrischen Fluss

Erläutere die Analogie zwischen ebenem Winkel und Raumwinkel?


Raumwinkel = Teil einer Vollkugel (Lichtkegel)
Ebener Winkel =

Steradiant Ω [sr]?
Maßeinheit für Raumwinkel. Auf einer Kugel mit 1 m Radius umschließt ein
Steradiant eine Fläche von 1 m² auf der Kugeloberfläche. Der Raumwinkel der
gesamten Kugeloberfläche beträgt 4π sr.

Welche Einheit hat der geometrische Fluß G?


G = [m2 Ÿ sr]

Erläutere die Srahldichte L ausführlich anhand ihrer Einheiten.


L [W/(m2sr)]
Watt [W] pro Qudratmeter [m2] und pro Steradiant [sr]

Bei einem Lambertstrahler wird die Leistung auf die doppelte Fläche verteilt.
Wie verändern sich Helligkeit und Strahlstärke?
Helligkeit halbiert sich
Strahlstärke verdoppelt sich

Woher kommt der Name Schwarzer Strahler?


Weil er im Bereich der Detektion dem menschlichen Auge schwarz erscheint. Die
Sonne ist auch ein schwarzer Strahler
Weil er für das menschliche Auge meist schwarz erscheint

Warum ist ein schwarzer Strahler schwarz?


Absorbiert sämtliche EM-Strahlung und strahlt sie mit nicht sichtbarer Wellenlänge
wieder ab. Je höher die Temperatur, umso idealer der Strahler

Was ist die Linsenmacher-Gleichung?


Gibt an, wie die Brechkraft einer dünnen sphärischen Linse mit ihrer Form
zusammenhängt. Dabei wird die Form der Linse durch die Radien der Kugeln
beschrieben, die die Oberflächen der Linsen bilden. Weitere Größen, die Einfluss auf
die Brechkraft haben, sind die Dicke der Linse, der Brechungsindex ihres Materials
und der Brechungsindex des umgebenden Mediums.
(nur für achsennahe Strahlen und dünne Linsen)

Welcher Winkelsatz bildet die Grundlage der Formeln des Normalschemas?


Welcher Winkelsatz ist die Grundlage des Normalschemas?
Sinussatz

Nenne 2 Winkelsätze beim Normalschema.


Sinussatz
Summe aller Winkel im Dreieck = 180°

Erläutere den Unterschied zwischen Strahlstärke und Helligkeit?


Strahlstärke I [W/sr]
Helligkeit = Strahldichte L [W/(m2*sr)]
Helligkeit ist auf Fläche bezogen!

Nenne drei wesentliche Formeln für dünne Linsen und achsennahe Strahlen.
1. Linsenmacherformel
2.
3.

Durch welche OPV-Schaltungstechnik wirkt sich die Sperrschichtkapazität bei


der Photodiode wenig aus?
Transimpedanzverstärker

Wie kann mein die Sperrschichtkapazität einer Photodiode verkleinern?


d erhöhen, Sperrspannung erhöhen
Durch Aufbau als Transimpedanzverstärker

Warum ist der praktische Dunkelstrom viel grösser als der theoretische?
Erläutere den Unterschied zwischen theoretischem und praktischem
Dunkelstrom bei einer Photodiode.
Der praktische Dunkelstrom orientiert sich am Dreckstrom vom pn-Übergang

Warum waren die frühen Photodetektoren meist nur für blaues Licht
empfindlich?
Verwendete Materialien hatten einen großen Bandabstand à nur für kleine
Wellenlängen empfindlich (Achtung: gefährlich à Strahlenschaden)

Warum erscheint die Sonne von der Erde aus als Fläche und nicht als Kugel?
Lambert-Strahler

Wie verändert sich die Helligkeit eines Objekts durch eine Linse?
Helligkeit = Strahldichte
Keine Änderung!

Mit welchem Sensor lässt sich ein einzelnes Photon E=h⋅f detektieren?
Photomultiplier

Welche Einheiten haben Mλ und Lλ beim schwarzen Strahler.


Mλ = [(W/m2)/m] spezifische Ausstrahlung
Lλ = [Mλ/(pi*sr)]

Erläutere die Größe Candela.


Die Candela ist die Lichtstärke einer Strahlungsquelle, welche monochromatische
Strahlung der Frequenz 540 * 1012 Hz aussendet und deren Strahlstärke in diese
Richtung 1/683 * W/sr beträgt.

Erläutere die Analogie zwischen der Photometrie und dem Ohmschen Gesetz?
I = Φ/Ω

Was sind die Einheiten von Geometrischem Fluss G und Helligkeit L.


G [m2 • sr]
L [W/(m2 • sr)]

Was ist der Nachteil des totalen Differentials bei der Temperatur-
kompensation?
Nachteil totales Differential?
Linearisierung um den Arbeitspunkt. Darum nur in sehr kleinen Bereich um ihn
ausreichend genau.

An welchem pn-Übergang entsteht der Photostrom beim Phototransistor?


Nenne Vor- und Nachteile eines Phototransistors.
Nenne jeweils einen Vor- und Nachteil des Phototransistors.
Prinzip eines Phototransistors?
h*f erzeugt in der Basis-Kollektor-Sperrschicht Elektronen, welche sich zum
Basisstrom addieren.
Nachteil: B variiert stark, ist unsicher. Für präzise Messtechnik nicht geeignet
Vorteil: Durch Darlington-Schaltung recht einfach hohe Verstärkungen möglich

Warum funktioniert die Rückspiegellung bei der rechnergesteuerten Fehlerkorrektur


auch noch ausserhalb der jeweils richtigen Teilebene?

Erläutere den Unterschied zwischen Oberfläche und Flächenprojektion beim


Glühdraht einer Halogen-Glühbirne?

Ein Lichtstrahl geht in ein anderes Material über. Was ändert sich dabei nicht?

Erläutere die drei Gleichströme als Ursache für das Photodiodenrauschen.

Ein Lichtkegel ist durch den ebenen Winkel α beschrieben. Berechne Ω .

Erkläre die Formel E=E0⋅2LW.

Warum zeigt auch eine Diode in lichtdichtem Gehäuse einen Photostrom?

Was bedeutet Δf in der Formel für das Photodiodenrauschen?

Wie funktioniert eine Avalanche-Photodiode?

Was ist die Ursache für wesentliche Qualtitätsunterschiede bei Photodioden?

Warum werden Leuchtdioden mit Zn dotiert?

Bei welcher Lichtfrequenz hat die Silizium-Photodiode ihr Empfindlichkeitsmaximum?


Lambda_grenz = 1110nm
f = c0 / Lambda_grenz = 3*10^8 / 1110nm =

Die Systembandbreite wird verdoppelt. Um welchen Faktor vergrößert sich das


Photodioden-Rauschen?

Warum ist die Strahlstärke eines Lambert-Strahlers winkelabhängig?

Erläutere die Analogie zwischen geometrischem Fluß G und elektrischem Leitwert G.

Erläutere den Unterschied zwischen Strahlstärke und Strahldichte.

Wie funktioniert die Transistorschaltung zur Vervielfachung der UBE(T)-Wirkung?


Bestimme R(λ) einer idealen Silizium-Photodiode und einer idealen Germanium
Photodiode jeweils bei λ = 1000nm.

Warum konnten frühere Photoempfänger meist nur kurzwellige UV-Strahlung


detektieren?

Erläutere die Leistungsanpassung bei einer Solarzelle.

Erläutere anschaulich M, E, M1λ.

Warum ist die bezogene Detektivität D* einer Photodiode auf die Fläche bezogen?

Bei einer Photodiode haben Signalamplitude und Signalgleichstrom den Wert 1nA.
Zeige, dass bei einer Bandbreite von 1Hz der Signalgleichstrom kein nennenswertes
Rauschen erzeugt.

Rechne den ebenen LED-Öffnungswinkel α um in den Raumwinkel Ω.

Warum gibt es bei Photodioden eine Grenzwellenlänge?

Entwickle die Formel für die Spannung an einer Photodiode im Leerlauf.

Was ist die Ursache für das Rauschen der Photodiode?

Nenne drei wesentliche Formeln für dünne Linsen und achsennahe Strahlen.
Linsenmachergleichung

Es gilt n3=1 und n4=1,7 . Berechne den Grenzwinkel der Totalreflexion.

Bestimme R(λ) einer idealen Silizium-Photodiode und einer idealen Germanium


Photodiode jeweils bei λ = 660nm.

Bestimme die Frequenz n von rotem LED-Licht (λ = 660nm) jeweils in Glas (n = 1,46)
und in Wasser (n = 1,33).

Erläutere den Unterschied zwischen kreisrundem Hohlspiegel und Parabolspiegel.

Erläutere den Unterschied zwischen reellem und virtuellem Bild bei einer Linse.

Mit welcher Schaltung werden kurze Lichtimpulse ausgewertet ?

Welche Analogien haben θ = G×L und 1/f = 1/f1 +1/f2 in der Elektrotechnik?

Was ist die Ursache des Temperaturgangs der Empfindlichkeit?

Wie lautet die wichtigste Formel bei der Korrelation?

Erläutere das Wort „bezogen“ bei bezogener Detektivität.


Erläutere den Sinn der sehr speziellen Definition einer bezogenen Detektivität.

Was besagt das Verschiebungsgesetz?


Maxima verschieben sich mit der Temperatur nach links

Warum hat R(λ) einen Maximalwert / Grenzwert?


Warum gibt es bei der Funktion R(λ) eine Grenzwellenlänge?
Wegen der Grenzwellenlänge (Frequenz à Wellenlänge)

Was ist Rekombinationsrauschen?


Rauschen durch Übergang von Elektronen vom LB ins VB

Was bezeichnet man mit Systembandbreite?


Im Rauschen gibt es immer eine Bandbreite à hängt davon ab, wie schnell man das
System haben will

LEV?
Ladungsempfindlicher Verstärker

Halbleiter, Bandabstand ΔW und Grenzwellenlänge λGrenz


Ge 0,66eV 1880nm
Si 1,12eV 1110nm
GeAs 1,43eV 870nm
CdS 2,42eV 510nm (Cadmiumsulfid)

Bandabstand Si und Metall


ΔWSi = 1,12eV
ΔWMetall = 3 bis 5eV

Rmax von Si?


0,89 A/W bei λGrenz = 1110 nm