Tabla de contenidos

Acerca de este eBook

Mapa de contenidos
Introducción del eBook
Capítulo 1. Introducción a los microsistemas
1.2. Áreas de aplicación
Conclusión del capítulo 1
Actividades del capítulo 1
Recursos del capítulo 1
Capitulo 2. Modelado y simulación de microsistemas multifísicos
2.1. Diseño de MEMS
2.2. Metodologías de diseño estructuradas
Conclusión del capítulo 2
Actividades del capítulo 2
Recursos del capítulo 2
Capítulo 3. Propiedades físicas de materiales
3.1 Semiconductores sólidos
3.2 Materiales empleados en microtecnología
3.3 Manipulación de propiedades físicas de materiales en bases de datos
Conclusión del capítulo 3
Actividades del capítulo 3
Recursos del capítulo 3
Capítulo 4. Tecnologías de microfabricación
4.1. Procesos de base
4.2. Tecnología MEMS
4.3. Microsistemas compatibles con CMOS
Conclusión del capítulo 4
Actividades del capítulo 4
Recursos del capítulo 4
Capítulo 5. Comportamiento estático y dinámico de microdispositivos
5.1. Comportamiento estático de microdispositivos laminados
5.2. Comportamiento dinámico de microdispositivos laminados
5.3. Aplicaciones prácticas de la simulación
Actividades del capítulo 5
Recursos del capítulo 5
Glosario general
Referencias
Aviso Legal
 Acerca de este eBook

Introducción a la simulación de sistemas microelectromecánicos y microfluídicos

SERGIO CAMACHO LEÓN

ADRIÁN LOSOYA LEAL

D.R. © Instituto Tecnológico y de Estudios Superiores de M onterrey, M éxico 2014.

El Tecnológico de Monterrey presenta su primera colección de eBooks de texto para programas
de nivel preparatoria, profesional y posgrado. En cada título, nuestros autores integran
conocimientos y habilidades, utilizando diversas tecnologías de apoyo al aprendizaje. El objetivo
principal de este sello editorial es el de divulgar el conocimiento y experiencia didáctica de los
profesores del Tecnológico de Monterrey a través del uso innovador de la tecnología. Asimismo,
apunta a contribuir a la creación de un modelo de publicación que integre en el formato eBook, de
manera creativa, las múltiples posibilidades que ofrecen las tecnologías digitales. Con su nueva
Editorial Digital, el Tecnológico de Monterrey confirma su vocación emprendedora y su
compromiso con la innovación educativa y tecnológica en beneficio del aprendizaje de los
estudiantes.

www.ebookstec.com

ebookstec@itesm.mx
 Acerca de los autores

SERGIO CAMACHO LEÓN

Profesor del Departamento de Ingeniería Eléctrica y Computacional del Tecnológico de

Monterrey, Campus Monterrey; en donde colabora como miembro del Grupo de Investigación en
Sistemas BioInteractivos y BioMEMS.

Obtuvo los grados académicos de Ingeniero Físico Industrial, Maestro en Ciencias con
especialidad en Ingeniería Electrónica y Doctor en Tecnologías de Información y Comunicaciones
con especialidad en Electrónica del Tecnológico de Monterrey, Campus Monterrey, en 2003, 2006
y 2010, respectivamente. Posteriormente, de 2010 a 2011, realizó un postdoctorado en la misma
institución sobre sistemas microelectromecánicos para aplicaciones biomédicas (BioMEMS). En
2005, fue investigador visitante en el Instituto de Micromecánica y Fotónica de la Universidad
Tecnológica de Varsovia en Polonia, y de 2008 a 2009, fue investigador visitante en el Instituto de
Sistemas Complejos de Ingeniería de la Universidad Carnegie Mellon en Estados Unidos.

Su principal interés en investigación es el estudio y desarrollo de micro y nanosistemas

biomédicos, área en la cual el Dr. Camacho es autor o coautor de más de una docena de artículos
científicos con arbitraje y de dos patentes.

ADRIÁN LOSOYA LEAL

Obtuvo los grados académicos de Ingeniero Biomédico y Maestro en Ciencias con especialidad
en Ingeniería Electrónica del Tecnológico de Monterrey, Campus Monterrey; en 2008 y 2010,
respectivamente.

Actualmente cursa el Doctorado en Tecnologías de Información y Comunicaciones en el

Tecnológico de Monterrey, Campus Monterrey. Asimismo, es asistente de investigación en el
Departamento de Ingeniería Eléctrica y Computacional, en donde colabora como miembro del
Grupo de Investigación en Sistemas BioInteractivos y BioMEMS. Su principal área de interés en
investigación es el desarrollo de microsistemas para su aplicación en la biomedicina.

En el verano de 2007, fue investigador visitante en el Laboratorio de Ingeniería de Tejidos de la

Universidad de Rice en Houston, Estados Unidos. En 2008, realizó una estancia en el
Departamento de Marketing e Ingeniería de Producto de Siemens Healthcare en la Ciudad de
México.

Cuenta con un artículo publicado en memorias de conferencias internacionales y un artículo

publicado en la Revista Mexicana de Ingeniería Biomédica. Asimismo, ha impartido talleres
técnicos en congresos y simposios internacionales dirigidos al sector académico y profesional.

Si no puedes ver el video, haz clic aquí.

Mapa de contenidos
Introducción del eBook

Es un placer presentar este eBook pues conozco a sus autores desde hace ocho años y he
podido constatar a lo largo de este tiempo, su enorme motivación por las Micro/Nanotecnologías
así como su vocación por la docencia.

La temática de MEMS es particularmente difícil de introducir al estudiante debido a su carácter

multidisciplinario. En los últimos diez años he tenido en mis manos muchos libros que abordan esta
temática, pero muy pocos resultan sencillos de leer para un estudiante que se enfrenta a esta
área de conocimiento por primera vez.

Introducción a la simulación de sistemas microelectromecánicos y microfluídicos ofrece una

metodología de enseñanza original. El eBook presenta, en cada uno de sus capítulos, la teoría
fundamental correspondiente a diferentes aspectos de los MEMS, y a la vez incorpora
simulaciones computacionales que permiten observar algunos fenómenos o verificar algún
principio de operación. Considero que este enfoque favorecerá la iniciación de muchos
estudiantes en el estudio de MEMS.

El eBook cubre los aspectos más importantes de los MEMS, incluyendo las principales áreas de
aplicación, la modelación de sistemas multifísicos, las propiedades de los materiales de interés en
MEMS, las tecnologías de microfabricación, así como los modelos estáticos y dinámicos de varias
aplicaciones. De esta forma, el eBook proporciona al estudiante una visión amplia de MEMS, al
mismo tiempo que le permite aprender a través de su experimentación con herramientas
computacionales.

Introducción a la Simulación de sistemas microelectromecánicos y microfluídicos es el primer

libro de MEMS que aparece en español y tiene la estructura de un eBook. Estoy seguro que las
explicaciones, las ligas y los ejercicios de simulación de esta obra darán al lector un ambiente de
aprendizaje flexible como el que requieren los grupos heterogéneos. Finalmente considero que
esta obra favorecerá la incorporación de muchos estudiantes de diversas disciplinas al área de
MEMS y los motivará para la posterior realización de proyectos de investigación en esta temática.

Sergio O. Martínez

Tecnológico de Monterrey
Capítulo 1. Introducción a los microsistemas
 1.1 Características distintivas

La tecnología MEMS es el resultado de la miniaturización combinada de elementos eléctricos,

mecánicos, ópticos y biológicos. El término MEMS es un acrónimo de microsistemas
electromecánicos en el idioma inglés (Micro-Electro-Mechanical Systems) y se adoptó oficialmente
en 1989 durante una reunión en Estados Unidos del Instituto de Ingenieros Eléctricos y
Electrónicos, o IEEE por sus siglas en inglés, para referirse a los dispositivos, con dimensiones
entre 1 micrómetro y 1 milímetro, que combinan componentes eléctricos y mecánicos fabricados
usando procesos similares a los empleados en la industria de circuitos integrados, o IC’s por sus
siglas en inglés.

El desarrollo tecnológico y comercial de los MEMS varía según su área de aplicación pero
existe un consenso general que identifica a la miniaturización, al carácter multifuncional y a los
procesos de fabricación en masa de alta precisión como los motivos para que esta tecnología se
haya consolidado exitosamente.

Para ilustrar las ventajas que ofrece la miniaturización, la figura 1.2 muestra una comparación
entre las dimensiones típicas de los MEMS y otros elementos funcionales básicos en una escala
logarítmica que se extiende desde el femtómetro (1 fm = 1x10- 1 5 m) hasta la centena de un
megámetro (1 Mm = 1x106 m). La ubicación de la tecnología MEMS en esta escala comparativa
permite usarla como una conexión física y funcional entre la escala humana y las escalas
submicrométricas. Así mismo, algunos fenómenos físicos que pasan desapercibidos a escala
macroscópica (dimensiones mayores a 1 centímetro) adquieren relevancia a escalas
microscópicas.
 Muchas de las características funcionales distintivas de los MEMS son una consecuencia de
estos efectos de escalamiento. Por ejemplo, a escala micrométrica, los efectos capilares y de
tensión superficial tienen más influencia sobre la cinética de los cuerpos que los efectos inerciales
y, por lo tanto, la operación de muchos dispositivos microfluídicos se fundamenta en estos efectos.
Otros ejemplos de las ventajas intrínsecas de la miniaturización son, en el área biomédica, la
habilidad de los microelectrodos para ser implantados en lugares específicos del cuerpo humano
causando la menor intrusión posible (100 a 500 micrómetros) y, en las tecnologías de información,
la habilidad de los inyectores de gotas en los cartuchos de impresión de tinta para disipar calor
(20 microsegundos).

La integración de componentes con diferentes naturalezas les ha proporcionado a los MEMS

mayor destreza para interactuar con su entorno. Actualmente, los MEMS son capaces de percibir,
interpretar y manipular hábilmente algunos parámetros del medio en el cual se desempeñan como
presión, temperatura, flujo, desplazamiento, velocidad, aceleración, vibración, carga eléctrica y
composición química por nombrar solo algunos de los más representativos.

La capacidad de paralelización en los procesos de fabricación de la tecnología MEMS ha

permitido producir microdispositivos en grandes cantidades y a bajo costo; además, la alta
precisión en los procesos de microfabricación ha permitido producir microestructuras en dos y tres
dimensiones con altos niveles de reproducibilidad, eficiencia y utilidad imposibles de obtener
empleando procesos de fabricación macroscópicos.

En años recientes, el estudio del comportamiento de los fenómenos físicos a escalas

submicrométricas ha captado la atención de la comunidad científica y se han comenzado a
desarrollar sistemas electromecánicos con dimensiones entre 1 y 100 nanómetros para analizar
los efectos de escalamiento más allá del alcance tradicional de los MEMS. Tales dispositivos se
denominan NEMS (Nano-Electro-Mechanical Systems) y, a diferencia de los MEMS, sus procesos
de fabricación se basan en el ensamblaje de elementos nanoestructurados como por ejemplo los
nanotubos.

La principal diferencia en los procesos de fabricación de MEMS y NEMS es la dirección del

escalamiento. La producción de MEMS comienza con obleas de silicio, de aproximadamente 100
milímetros de diámetro y 500 micrómetros de espesor, que se van estructurando con métodos
físicos y químicos hasta obtener estructuras de menor tamaño (1 micrómetro a 1 milímetro). Por el
contrario, la producción de NEMS se efectúa a partir de un nivel atómico o molecular y se
desarrolla, con métodos químicos o biológicos, hacia elementos de mayor tamaño (1 a 100
nanómetros). En la literatura, los enfoques en la fabricación de MEMS y NEMS se conocen como
Top-down y Bottom-up, respectivamente y hacen referencia explícita a la dirección del
escalamiento; en los MEMS, de arriba hacia abajo y en los NEMS, de abajo hacia arriba. Estos
enfoques de fabricación se complementan entre sí y se espera que la siguiente generación de
máquinas ensambladoras combine las mejores características de cada enfoque.

LIGAS DE INTERÉS

MEMS Industry Group: An introduction to MEMS

MEMS: Making Micro Machines - Trailer

1.2. Áreas de aplicación

Los atributos de los dispositivos basados en tecnología MEMS han permitido su aplicación en
diversos sectores económicos. Fundamentalmente, el éxito de su aplicación se debe a las ventajas
que presenta la tecnología MEMS sobre los sistemas macroscópicos, entre las cuales podemos
mencionar: miniaturización sin pérdidas de funcionalidad, integración para formar sistemas
monolíticos, aprovechamiento de nuevos dominios físicos, menor costo de fabricación por unidad,
menor consumo de potencia, mayor velocidad de operación y mejoras en la sensibilidad,
selectividad y exactitud. En esta sección se resumen las aplicaciones de la tecnología MEMS en el
sector automotriz, las telecomunicaciones y el sector salud. Se hace énfasis en los casos de éxito
y las tendencias de cada sector.
 Sector automotriz

Las regulaciones internacionales actuales en materia de seguridad y protección ambiental

dentro del sector automotriz han incrementado la demanda de sistemas con alta sensibilidad, alta
eficiencia y bajo consumo de potencia. Esta búsqueda de sistemas seguros, ecológicos y
eficientes ha creado nichos de oportunidad para los dispositivos basados en tecnología MEMS
debido a sus características inherentes.

La aplicación de la tecnología MEMS en el sector automotriz ha desempeñado un papel

primordial desde mediados de la década de los 70. Actualmente, los dispositivos micromaquinados
son pieza fundamental de muchos sistemas de seguridad avanzados. Estudios de mercado indican
que el número promedio de MEMS por automóvil se sextuplicó al pasar de 5.0 en el 2002 a 30.0
en el 2007. Estas cifras implican que hoy en día aproximadamente 30% de los sensores de un
automóvil están basados en tecnología MEMS. Aunque las nuevas aplicaciones de esta tecnología
generalmente se implementan primero en automóviles de lujo, conforme la aplicación se consolida
el volumen de fabricación aumenta y sus costos de implementación disminuyen, y la nueva
aplicación se transfiere a automóviles de menor costo.

Las aplicaciones comerciales más exitosas de la tecnología MEMS en el sector automotriz se

basan en tres dispositivos micromaquinados principales. En términos de mayor a menor
rentabilidad estos dispositivos son: sensores de presión, sensores inerciales y sensores de flujo.

Los sensores de presión utilizan típicamente técnicas de sensado capacitivo, piezoresistivo o

frecuencia de resonancia para detectar el desplazamiento o la deformación que se origina al
ejercer presión sobre un objeto. La sensibilidad de estos sensores depende del espesor de una
membrana que se emplea como elemento transductor. Gracias a los procesos de microfabricación
disponibles en la actualidad se han logrado producir membranas de menor espesor y mayor
uniformidad que las membranas producidas con procesos de maquinado convencional. En
consecuencia, los sensores de presión micromaquinados presentan una mayor sensibilidad que
sus contrapartes macroscópicas.

La mayoría de los sensores inerciales se fundamentan en la segunda Ley de Newton para

transformar la aceleración, o la fuerza gravitacional capaz de impartir aceleración a un objeto, en
desplazamiento empleando una masa de prueba como elemento transductor. Las técnicas de
sensado capacitivo, piezoresistivo, piezoeléctrico y térmico son las técnicas predominantes en este
tipo de sensores para detectar el desplazamiento. Los sensores inerciales se dividen a su vez en:
acelerómetros y giroscopios. Los acelerómetros permiten registrar aceleraciones lineales mientras
que los giroscopios registran aceleraciones angulares. El impacto de la tecnología MEMS en los
sensores inerciales ha permitido producir acelerómetros y giroscopios micromaquinados de tres
grados de libertad con resoluciones de 0.01 milímetros por segundo al cuadrado y 0.1 radianes
por segundo al cuadrado, respectivamente.

Los sensores de flujo permiten registrar el campo de velocidades de un fluido, su caudal y/o el
esfuerzo de corte resultante en la pared del canal. La técnica de sensado más empleada en este
tipo de sensores se basa en el principio de transferencia de calor. Las técnicas de sensado
capacitivo, piezoresistivo y piezoeléctrico también son utilizadas, aunque con menor frecuencia. La
alta sensibilidad de los sensores de flujo micromaquinados se debe a que la perturbación causada
al sistema por estos dispositivos es mucho menor que la perturbación causada por los sensores
de flujo macroscópicos.

La figura 1.3 muestra los sistemas de un automóvil que han sido perfeccionados al incorporar
los dispositivos micromaquinados descritos anteriormente. En los siguientes apartados se
describen brevemente las aplicaciones indicadas en la figura 3. Estas aplicaciones cuentan a la
fecha con alguna patente y además han demostrado ser comercialmente viables.

Los sistemas de detección de pasajeros fueron concebidos como sistemas de seguridad

complementarios a las bolsas de aire. Debido a la naturaleza imprevisible de las colisiones
automovilísticas, en la mayoría de los casos las lesiones causadas a los ocupantes se agravan
como consecuencia de una mala posición en sus asientos respecto a la ubicación de las bolsas de
aire en el automóvil. Las dimensiones de los sensores de presión micromaquinados han permitido
su integración en los asientos en una mayor cantidad que los sensores de presión macroscópicos.
De esta manera, los sistemas de detección basados en tecnología MEMS son capaces de
determinar características de los ocupantes como su peso y postura así como características del
impacto como la velocidad con que son desplazados de sus asientos los ocupantes. Al determinar
cuántos ocupantes, de qué tipo, su ubicación dentro del automóvil, y la magnitud del impacto, el
sistema puede determinar qué bolsas de aire y con qué presión debe desplegar.
 Los cambios de presión en los neumáticos de un automóvil afectan de manera directa su
dinámica y estabilidad. La funcionalidad primordial de los sistemas de monitoreo de presión en
neumáticos, o TPMS por sus siglas en inglés, consiste en emitir advertencias oportunas al
conductor de condiciones desfavorables en la presión de los neumáticos de su automóvil y reducir
así los riesgos de accidentes ocasionados por volcaduras. La integración de sensores de presión
micromaquinados a estos sistemas de seguridad ha permitido realizar mediciones de presión
precisas, individuales, simultáneas y continuas debido a que su tecnología de encapsulado les
permite operar de manera confiable y duradera en ambientes hostiles como el interior de un
neumático. La combinación de un monitoreo efectivo y acciones correctivas han resultado en un
aumento de la vida útil de los neumáticos y disminuciones en el consumo de combustible y
accidentes relacionados a mal funcionamiento en los neumáticos.

A diferencia de los sistemas de frenos controlados hidráulicamente, en los que el

desplazamiento de un pistón maestro conectado al pedal de freno transfiere uniformemente la
presión hidráulica a los pistones de frenado ubicados en las ruedas del automóvil, los sistemas de
control electrónico de frenado utilizan motores eléctricos accionados por el pedal de freno para
bombear de manera independiente el fluido hidráulico presurizado en cada rueda del automóvil.
En esta aplicación los sensores de presión micromaquinados se localizan en el pistón maestro y
en cada pistón de frenado.

Las señales registradas por los sensores permiten determinar con gran precisión la intención
de frenado del conductor y la respuesta de frenado real en cada rueda del automóvil. La habilidad
para controlar autónomamente la presión de frenos en cada rueda aunado a la distinción entre
acción y reacción en los sistemas de frenos permiten compensar los efectos inerciales del
automóvil ocasionados por pérdidas de adherencia en los neumáticos.

La incorporación de sensores de presión y flujo micromaquinados a los sistemas de inyección

de combustible ha permitido determinar la cantidad exacta de combustible y aire que debe
contener el sistema para optimizar su desempeño y reducir los niveles de consumo. La tecnología
de encapsulado, empleada en los dispositivos micromaquinados, protege a estos dispositivos
incluso en condiciones de operación extrema como altas temperaturas, altos niveles de vibración y
corrosión por químicos.
 Las bolsas de aire son elementos de seguridad pasiva que pueden lesionar a los ocupantes de
un automóvil si no se despliegan adecuadamente durante una colisión, incluso si los ocupantes
llevan puesto el cinturón de seguridad. Para reducir la probabilidad de lesiones graves en el
conductor y/o los pasajeros en las colisiones automovilísticas, las bolsas de aire deben ser
desplegadas en el momento preciso y con la presión adecuada. La integración de acelerómetros
basados en tecnología MEMS a estos elementos de seguridad ha permitido desarrollar sistemas
de bolsas de aire inteligentes en los cuales es posible determinar simultáneamente el tipo de
colisión, su dirección y la magnitud del impacto. Con base en la información registrada el sistema
de bolsas de aire reacciona de manera precisa y apropiada a las condiciones del impacto,
garantizando así la seguridad de los ocupantes.

La habilidad de los acelerómetros para detectar campos gravitatorios estáticos permite emplear
estos dispositivos para determinar inclinaciones de un objeto respecto a cualquier eje de rotación
perpendicular a la dirección de acción de la fuerza de gravedad. Las alarmas antirrobos basadas
en acelerómetros micromaquinados se activan cuando el vehículo es inclinado al tratar de ser
remolcado clandestinamente.

El freno de mano tradicional ha sido perfeccionado al automatizar su activación por medio de

acelerómetros micromaquinados que actúan como sensores de inclinación. En esta aplicación,
cuando el acelerómetro detecta que el automóvil se encuentra en una pendiente muy
pronunciada, automáticamente activa el freno de mano.

El control electrónico de estabilidad, o ESC por sus siglas en inglés, en conjunto con el control
electrónico de frenado conforman un sistema de seguridad activa que permiten monitorear las
condiciones de rodaje de un automóvil con la finalidad de detectar y corregir situaciones de riesgo
como bloqueo de los frenos, pérdida de control en la dirección, pérdida de tracción en los
neumáticos y alta velocidad en curvas con bajo peralte. En esta aplicación, las mediciones de
aceleración e inclinación se registran en los seis grados de libertad con sensores inerciales
micromaquinados.

El propósito del direccionamiento inteligente de faros es garantizar una iluminación adecuada

del camino durante los viajes nocturnos. En esta aplicación, el uso conjunto de un acelerómetro y
un giroscopio permite determinar algunas condiciones del camino como curvas, vados y
pendientes así como la velocidad e inclinación del automóvil. Con base en esta información, el
sistema determina la dirección más apropiada en que deben orientarse los faros frontales del
automóvil para reducir así los riesgos ocasionados por un manejo en situaciones de baja
visibilidad.
 Los sistemas de navegación basados en señales de radio emitidas por sistemas de
posicionamiento global, o GPS por sus siglas en inglés, a pesar de su gran exactitud aún
presentan problemas por el alto consumo de potencia y la pérdida frecuente de la señal de
posicionamiento en zonas urbanas de alta densidad por la interferencia de la señal con edificios,
puentes y/o túneles.

Debido a que el uso conjunto de acelerómetros y giroscopios permite determinar el

desplazamiento y velocidad de un automóvil, esta combinación de funcionalidades ha servido para
complementar los sistemas de navegación satelitales. Por ejemplo, en zonas donde la señal del
satélite no es detectada, o simplemente para minimizar el consumo de potencia, los sensores
inerciales proporcionan la información necesaria al sistema de navegación. La acumulación de
errores en el sistema se corrige sincronizando periódicamente la ubicación del vehículo
determinada por los sensores inerciales con la ubicación determinada por el GPS.

Las aplicaciones emergentes de los MEMS en los automóviles se muestran en la figura 1.4.
Tales aplicaciones están basadas en dispositivos micromaquinados como sensores de radiación
infrarroja, sensores de presión, osciladores mecánicos, sensores químicos, antenas de
radiofrecuencia y escáneres ópticos.
 La tendencia en la aplicación de la tecnología MEMS al sector automotriz es desarrollar
sistemas con niveles de integración cada vez mayores que permitan combinar funciones de
autoenergización, sensado, actuación y procesamiento y que además sean capaces de
comunicarse entre sí y/o enviar la información a una pantalla de despliegue en la consola del
conductor. Las características de estos sistemas los han llevado a ser conocidos como solución de
sistema con encapsulado unitario, o SiP por sus siglas en inglés, y constituyen los bloques
funcionales básicos de los automóviles del futuro.

Sector telecomunicaciones

La integración de dispositivos micromaquinados a los sistemas de telecomunicación ha dado

lugar a la formación de campos especializados dentro de la tecnología MEMS. De manera
particular, los microsistemas electromecánicos para aplicaciones de radiofrecuencia y ondas
milimétricas se denominan RF-MEMS mientras que los microsistemas electromecánicos con
funcionalidades ópticas son denominados MOEMS.

La incorporación de los RF-MEMS a los sistemas de comunicación inalámbrica se debe a tres

motivos principales. Primero, los sistemas de comunicación inalámbrica requieren de componentes
cuyas dimensiones sean comparables o menores a la longitud de onda de la señal de
propagación; por ejemplo, en los sistemas de ondas milimétricas es imperativo que las
dimensiones de la mayoría de sus componentes estén por debajo del orden de milímetros. En
consecuencia, el desarrollo de los sistemas de comunicación de alta frecuencia (λ=1-10mm)
depende en gran medida de los adelantos en los procesos de microfabricación de sus
componentes. En segundo término y al otro extremo del espectro, los sistemas de comunicación
de baja frecuencia (λ=1-2cm) requieren de antenas impresas de tipo parche, o antenas microstrip,
con bajas constantes dieléctricas.

El micromaquinado de estos dispositivos permite reducir su constante dieléctrica y, por lo tanto,

incrementar su eficiencia de radiación y ancho de banda. Por último, aparecen los problemas
relacionados a pérdidas por inserción y limitaciones en el ancho de banda típicos de los
componentes macroscópicos de los sistemas de alta frecuencia.

La extensa gama de RF-MEMS incluye conmutadores, relevadores, capacitancias variables,

inductancias, filtros, moduladores de fase, antenas, líneas de transmisión, guías de onda,
acopladores direccionales, mezcladores así como resonadores mecánicos, de onda acústica
volumétrica y de cavidad. Todos estos dispositivos micromaquinados ofrecen ventajas
competitivas como menor consumo de potencia, menores pérdidas, mayor linealidad y mayor
factor de calidad en comparación a sus contrapartes macroscópicas.

La fase comercial de los RF-MEMS comenzó en el 2003. Los primeros dispositivos

micromaquinados en serie fueron las inductancias, los resonadores de onda acústica volumétrica
y los conmutadores; posteriormente siguieron las capacitancias variables y los resonadores
mecánicos. Para el 2004, alrededor de una decena de compañías fabricantes de teléfonos
celulares, componentes para redes inalámbricas de área local y sistemas de posicionamiento
global ya incluían en sus planes de comercialización alguna aplicación basada en RF-MEMS.

En la figura 1.5 se muestran los componentes de un dispositivo personal de comunicación

inalámbrica que incorporan RF-MEMS en su arquitectura y que a la fecha están disponibles
comercialmente.
 La tendencia en los sistemas de comunicación inalámbrica por desarrollar componentes que
puedan ser reconfigurados de manera rápida y sencilla y que además operen en un amplio rango
de frecuencias ha llevado a que las nuevas aplicaciones de los RF-MEMS se dirijan hacia la
construcción de bancos de filtros, el acoplamiento de impedancias y la conmutación de antenas y
amplificadores de potencia.

Los proyectos de investigación y desarrollo en RF-MEMS no solo tienen por objetivo mejorar el
desempeño de los componentes actuales sino también desarrollar nuevas arquitecturas para la
próxima generación de sistemas de comunicación inalámbrica con características multimodo y
multibanda.

El uso masivo de los sistemas telecomunicación de banda ancha como las fibras ópticas,
Internet y las redes de datos han incrementado la necesidad de incorporar en sus arquitecturas
componentes que operen en un amplio rango de frecuencia. Los requerimientos de ancho de
banda de todos estos sistemas de telecomunicación solo pueden satisfacerse a través de redes
de interconexión óptica. Sin embargo, la arquitectura tradicional de las redes ópticas se basa en
multiplexores de división por longitud de onda, o WDM por sus siglas en inglés. La principal
desventaja del enrutamiento de señales por WDM es que solamente permite establecer canales
estáticos de punto-a-punto.

La incorporación de los MOEMS a las redes ópticas tiene el potencial de revolucionar este
sector de las telecomunicaciones al permitir el desarrollo de redes ópticas en las que las
trayectorias del haz láser puedan ser cambiadas a voluntad y de manera rápida.

No obstante, un enrutamiento reconfigurable eficaz solo es posible si todos los componentes de

la red interactúan en el mismo dominio físico que la señal, es decir, una arquitectura basada en su
totalidad en componentes ópticos. Debido a la naturaleza de los componentes de su arquitectura,
estas redes son denominadas redes transparentes. En la figura 1.6 se muestran los componentes
de un sistema de comunicación de fibras ópticas que incorporan MOEMS en su arquitectura y que
a la fecha están disponibles comercialmente.

Sector salud

La aplicación de la tecnología MEMS en el sector salud ha permitido entender y manipular

procesos biológicos fundamentales así como mejorar el funcionamiento de algunos dispositivos
médicos modernos. Esto se debe principalmente a que la mayoría de los procesos biológicos se
originan a escala nanométrica y, por lo tanto, el desarrollo de dispositivos biomédicos
miniaturizados ha facilitado el control de los fenómenos a esta escala.
 Todas estas mejoras a los dispositivos biomédicos están revolucionando la forma en que los
pacientes son diagnosticados y tratados y, eventualmente, permitirán no solo detectar
oportunamente agentes patógenos sino también monitorear la evolución de una enfermedad y
administrar terapias personalizadas que involucren el suministro de fármacos nanoestructurados.

Los MEMS con aplicaciones en medios biológicos se denominan BioMEMS y, debido a su rango
de dimensiones (figura 1.2), constituyen, por una parte, la plataforma ideal para conjuntar la
nanotecnología y las ciencias médicas; y, a escala milimétrica, forman parte esencial de algunos
sistemas de mayor tamaño como los sistemas de imagenología biomédica.

Una de las primeras áreas de aplicación de los BioMEMS en el sector salud fue la
neurociencia, en donde se utilizó un arreglo de puntas de prueba con electrodos micromaquinados
para registrar señales eléctricas en células del sistema nervioso. A partir de esta aplicación inicial,
los BioMEMS han evolucionado y, hoy en día, son capaces de operar in vivo o in vitro, integrar
funciones de diagnóstico y autorregulación e, incluso, obtener energía del medio biológico.

La evolución de los BioMEMS ha permitido extender sus aplicaciones a áreas como genómica,
proteómica, ingeniería de células y tejidos, suministro de fármacos, desarrollo de biosensores,
ensamblaje molecular e imagenología biomédica de alta resolución. La diversidad de aplicaciones,
aunada a la interacción de diferentes campos del conocimiento, complica la concepción de una
clasificación general para los BioMEMS; por ejemplo, en la literatura es común encontrar
clasificaciones de acuerdo a su lugar de aplicación, métodos de fabricación, función que
desempeñan y enfermedades que combaten.

A continuación se describen las aplicaciones BioMEMS respetando primero la clasificación por

lugar de aplicación y posteriormente por la función que desempeñan. Esta subclasificación
además de hacer énfasis en las ventajas de los BioMEMS para monitoreo, análisis, y uso
terapéutico, presenta un panorama de la situación actual en el sector salud.

El grupo de BioMEMS para aplicaciones in vivo abarca tanto a los microdispositivos biomédicos
implantables como a las microherramientas para intervenciones quirúrgicas mínimamente
invasivas.

Los microdispositivos biomédicos implantables están diseñados para combatir enfermedades

crónicas en las cuales el paciente necesita monitorear y autorregular continuamente algún
parámetro fisiológico, bioquímico u hormonal. La figura 1.7 muestra las aplicaciones de los
BioMEMS implantables de acuerdo a su función.

Los sensores de presión sanguínea son definitivamente el mayor éxito comercial de los
BioMEMS implantables para monitoreo desde 1980. Su costo es aproximadamente 98 por ciento
menos que los sensores de presión de cuarzo y, en consecuencia, pueden ser desechados
frecuentemente sin implicar altos costos económicos para el usuario. A diferencia de los sensores
de presión de cuarzo, los sensores BioMEMS para presión sanguínea son desechables y no
necesitan ser esterilizados y recalibrados después de ser usados y, por tal motivo, los usuarios
pueden operarlos con mayor facilidad.

Otra de las ventajas de los sensores BioMEMS para presión sanguínea es su tecnología de
encapsulado a base de geles inertes que transmiten las ondas de presión del torrente sanguíneo
pero que a la vez los protege de los fluidos corporales que pueden corroer sus materiales o
afectar sus componentes eléctricos. La versatilidad de los sensores BioMEMS para medición de
presión les ha permitido ser integrados a otros sistemas biomédicos como máquinas de diálisis
para los riñones, monitores de ventilación respiratoria y presión intracraneal, así como cánulas
intraluminales para soporte biliar y cardiovascular. Además de integrar sensores de presión que e
tienden su funcionalidad, las cánulas intraluminales están incorporando también motores
micromaquinados para controlar automáticamente su extensión.

Los sensores de glucosa son otra aplicación de los BioMEMS implantables para monitoreo,
pero aún se encuentran en la etapa intermedia en su camino al interior del cuerpo humano. La
confiabilidad a largo plazo de estos dispositivos aún no cumple con las especificaciones
necesarias debido a que su tiempo de vida es limitado y su estabilidad inadecuada cuando se
ubican directamente en los vasos sanguíneos. Hasta hace un par de años, los productos
comerciales empleaban métodos de flujo abierto para monitorear los niveles de glucosa. Estos
sistemas biomédicos incluían microelectrodos o fibras para máquinas de diálisis conectadas a
sensores amperométricos de glucosa oxidasa que eran ubicados en el tejido subcutáneo.
Actualmente, se investiga la aplicación de métodos de medición como viscometría, gravimetría y
diferenciación de tensión superficial a los sistemas de detección de glucosa con la intensión de
permitir una implantación total.

El BioMEMS implantable de uso terapéutico complementario a esta aplicación se basa en una

microbomba de insulina; de esta manera, el acceso transcutáneo sería innecesario para
monitorear y autorregular los niveles de glucosa.

Los electrodos micromaquinados son los dispositivos BioMEMS implantables con mayor
funcionalidad pues permiten establecer una conexión en ambos sentidos entre el dispositivo y el
sistema biológico. El doble objetivo de estos dispositivos comprende el registro de señales
bioeléctricas generadas de manera natural en los órganos así como la estimulación artificial de
nervios y músculos a través de impulsos eléctricos inducidos.

Una de las aplicaciones más establecidas de los electrodos micromaquinados son los implantes
cocleares. La integración de estos dispositivos a los implantes cocleares tradicionales ha permitido
mejorar la interacción entre los electrodos de estimulación y las fibras del nervio auditivo.
Específicamente, las dimensiones de los electrodos micromaquinados les ha permitido ser
implantados a mayor profundidad de manera que ahora es posible estimular otras regiones de la
cóclea como la región apical, responsable de la percepción acústica de baja frecuencia. Esta
mejora permite que las personas con insuficiencias auditivas amplíen su rango de percepción
acústica y obtengan una compresión más útil del habla y los sonidos del ambiente.

Dentro de los BioMEMS implantables para uso terapéutico, las microbombas son los
componentes más importantes para el suministro de fármacos pues permiten impulsar los fluidos
del repositorio en la dirección deseada. La naturaleza del bombeo puede ser mecánica, al igual
que sus contrapartes microscópicas, o electrocinética o capilar gracias a los efectos de
escalamiento. La capacidad de bombeo de estos dispositivos es de aproximadamente 1 a 10
microlitros por minuto.

La principal desventaja de los dispositivos de suministro de fármacos radica, paradójicamente,

en sus dimensiones; por ejemplo, la capacidad de almacenamiento de un microrepositorio está en
el orden de las decenas de microlitros y, por lo tanto, el tiempo de vida útil de estos dispositivos
puede resultar demasiado corto en comparación a la condición crónica de la enfermedad. Una
solución a esta problemática es la implantación periódica de dispositivos, sin embargo, esta
solución aún es prohibitiva debido al costo económico involucrado. Por tal motivo, el estado del
arte de estos dispositivos se centra en el desarrollo de materiales biodegradables de bajo costo.
De esta manera se podrán fabricar dispositivos desechables, como en el caso de los sensores de
presión sanguínea, y satisfacer por completo las funciones de autorregulación necesarias en una
enfermedad crónica.

A diferencia de los BioMEMS implantables para suministro de fármacos, la principal ventaja de

los BioMEMS para intervenciones quirúrgicas radica en sus dimensiones. La miniaturización de las
herramientas quirúrgicas existentes y su incorporación a los sistemas endoscópicos ha resultado
en procedimientos mínimamente invasivos. Debido a que la funciones de monitoreo, análisis y
acciones correctivas del área de interés se realizan con la menor intrusión posible, los riesgos de
los procedimientos asistidos son menores que en los procedimientos abiertos en los cuales se
manipulan directamente los órganos. El paciente también padece menos dolores postoperatorios y
su tiempo de recuperación se acorta. La figura 1.8 muestra las aplicaciones de los BioMEMS para
intervenciones quirúrgicas de acuerdo a su función.

Los BioMEMS para el monitoreo de intervenciones quirúrgicas se basan, en su mayoría, en

microcomponentes ópticos que proporcionan al cirujano información del estado y ubicación de los
órganos a través de imágenes capturadas por endoscopia. Los ejemplos más representativos de
esta categoría incluyen la integración de escáneres micromaquinados a los sistemas
endoscópicos de tomografía óptica para realizar el barrido del haz láser sobre el tejido biológico y
una cámara endoscópica micromaquinada en tecnología CMOS para la inspección del estómago,
el intestino delgado y el intestino grueso. Los ejemplos no-ópticos de esta categoría son las
puntas de prueba con sensores de presión para obtener retroalimentación táctil o para monitorear
la presión de los ojos durante cirugías oftalmológicas.

Los BioMEMS para diagnóstico in vivo durante intervenciones quirúrgicas incluyen puntas de
prueba con electrodos micromaquinados que, además de monitorear los signos vitales, permiten
estimular nervios y músculos específicos; las puntas de prueba también pueden estar provistas de
plataformas microfluídicas que permiten la mezcla de compuestos biológicamente activos para
detectar tejidos; por ejemplo, en la detección de tejidos oncológicos se emplean radioisótopos
para marcar radiofármacos que se fijarán metabólicamente a un órgano o tejido específico,
pudiéndose observar y cuantificar desde el exterior con una cámara gamma.

El grupo de BioMEMS para aplicaciones in vitro contiene a los microdispositivos biomédicos

para análisis bioquímicos. Habitualmente, los BioMEMS para monitoreo ambiental y análisis de
alimentos y fármacos también se agrupan en esta categoría pues, aunque pertenecen a otros
sectores industriales, impactan de manera indirecta en la salud del ser humano.

Los términos anteriores se derivan de sus siglas en inglés Lab-On-a-Chip y micro-Total-

Analysis Systems. Funcional y estructuralmente, los LOC son un subconjunto de los μTAS puesto
que los LOC solo permiten desempeñar tareas analíticas específicas y, por lo general, están
basados en plataformas microfluídicas y en transductores de vigas suspendidas o absorción
óptica; mientras que los μTAS son bioanalizadores híbridos que integran múltiples LOC
especializados, microarreglos y la electrónica necesaria para procesar los datos.

El rango de dimensiones de ambos dispositivos es el factor primordial que determina su

eficiencia y que les permite realizar análisis que de otra forma no pudieran ser llevados a cabo.
Las ventajas de la miniaturización de estos dispositivos incluyen: mejoras en los fenómenos de
transporte de masa por medio de efectos electrocinéticos y bombas micromaquinadas; mayor
eficiencia en la separación e inmovilización de células, moléculas y partículas; menor cantidad de
muestra requerida, volúmenes de portadores y reactivos necesarios; integración de canales,
mezcladores, separadores, cámaras de reacción, electrodos y detectores en un solo chip. Las
principales aplicaciones de estos dispositivos se encuentran en el área genómica y proteómica
como se muestra en la figura 1.9.

En la genómica, los LOC son usados para replicar pequeñas secuencias de ADN y generar
millones de copias en cortos períodos de tiempo (horas) utilizando la reacción en cadena de la
polimerasa, o PCR por sus siglas en inglés. Actualmente, la PCR es usada para pruebas genéticas
en el diagnóstico de enfermedades, el monitoreo de la respuesta a tratamientos y la identificación
de tejidos por comparación de ADN. Los microarreglos de ADN son otros de los dispositivos con
aplicaciones genómicas. Estos dispositivos permiten estudiar simultáneamente los genes y sus
productos como: ADN, ARN mensajero y proteínas. Actualmente, los microarreglos de ADN son
usados para cuantificar la cantidad de ARN que produce un gen (expresión de genes), detectar
variaciones unitarias de nucleótidos en una secuencia de ADN (Polimorfismo de un solo
nucleótido, o SNP por sus siglas en inglés) y para identificar ADN en una muestra
(resecuenciación).

Investigaciones clínicas han permitido diagnosticar cáncer utilizando estos dispositivos para
detectar el gen FHIT. En el caso de los microarreglos de proteínas, se emplean reactivos
altamente selectivos y/o moléculas de diferentes clases, como antígeno-anticuerpo, proteína-
proteína y enzima-substrato, para la cuantificación y/o captura de analitos, respectivamente.

Los LOC y μTAS también son empleados en el monitoreo ambiental así como en el análisis de
alimentos y fármacos. Por ejemplo, en los suministros de agua y comida son usados para detectar
agentes patógenos como Escherichia Coli, Cryptosporidium Parvum, Giardia Lamblia o Yersinia
Enterocolytica. Para detectar aditivos alimentarios y residuos fertilizantes o plaguicidas se emplean
biosensores a base de enzimas; en la detección de fármacos para tratamiento de enfermedades
se utilizan biosensores de afinidad combinados con transductores de absorción óptica; las
biotoxinas se detectan mediante síntesis de anticuerpos. Los biosensores amperométricos y
electroquímicos permiten registrar los niveles de etanol, glucosa, almidón, colesterol y ácido fólico
para controlar la calidad de los alimentos.

A pesar las características innovadoras y sin precedentes de los BioMEMS, su evolución

comercial en el sector salud ha sido más lenta que en los sectores automotriz y de
telecomunicaciones debido principalmente a cuestiones que involucran problemas de
biocompatibilidad de materiales, permeabilidad de encapsulados, cumplimiento de normas de
seguridad y autorización de patentes. Sin embargo, los BioMEMS aún son la alternativa más viable
para que la nanomedicina sea una realidad y pueda ser aplicada en aras del mejoramiento de la
condición humana.
Conclusión del capítulo 1

Desde que el afamado físico Richard P. Feynman anticipó a mediados del siglo pasado el
impacto que tendría para la sociedad la manipulación de materia a escala atómica, los beneficios
de la miniaturización se han extendido a casi todos los ámbitos del quehacer humano. En este
sentido, la tecnología MEMS ha sido esencial para que hoy día podamos encontrar máquinas
fabricadas a escala micrométrica en un gran número de dispositivos de uso cotidiano. La
tecnología MEMS también ha sido fundamental en la comprensión de fenómenos físicos y
procesos biológicos a escalas submicrométricas y está potenciando el desarrollo de las
nanociencias.

En los próximos años, el desarrollo de nuevas aplicaciones MEMS estará influenciado por dos
factores: las mejoras tecnológicas y las necesidades de la aplicación. El primer factor consistirá en
perfeccionar los sistemas actuales por medio del progreso en los métodos subyacentes de esta
tecnología como, por ejemplo, los procesos de microfabricación y encapsulado, las técnicas de
manipulación de señales y las metodologías de diseño. El segundo factor consistirá en identificar
deficiencias en los sistemas actuales y corregirlas empleando tecnología existente.

Invariablemente, los MEMS continuarán expandiendo el rango de interacción entre el ser

humano y su medio ambiente, desde la manipulación del microcosmos hasta el estudio del
macrocosmos. Este intercambio de información será crucial para desarrollar medios de transporte
más seguros y menos contaminantes, sistemas de telecomunicación omnipresentes y
procedimientos que mejoren la salud y calidad de vida del ser humano.
Actividades del capítulo 1

• Ejercicio integrador parte 1

• Ejercicio integrador parte 2

• Actividad: Búsquedas tecnológicas

Recursos del capítulo 1

• An Introduction to MEMS: Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS Industry Group, 2003

http://youtu.be/ZuE4oVrtEQY

• MEMS: Making Micro Machines, MEMS Industry Group, 2009

http://youtu.be/_GOfdHMA4to

• MEMS in the Machine, MEMS Industry Group, 2012

http://youtu.be/qNzifx_jHyA

• Portal de información para la comunidad de los MEMS y la nanotecnología

http://www.MEMSnet.org

• Sitio web del Instituto de Ingenieros Eléctricos y Electrónicos (IEEE)

http://www.ieee.org

• Sitio web del Grupo de la Industria MEMS (MIG)

http://www.MEMSindustrygroup.org