UNIVERSIDAD NACIONAL JORGE BASADRE GROHMANN-TACNA

FACULTAD DE INGENIERIA
ESCUELA A.P. DE INGENIERIA METALURGICA

MICROSCOPIA ELECTRÓNICA

CAPÍTULO IV
EL MICROSCOPIO ELECTRÓNICO DE BARRIDO

Profesor: Ing. Julián Nieto

Quispe

201
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 CAPITULO IV
EL MICROSCOPIO ELECTRONICO DE BARRIDO

1. INTRODUCCION
2. DEFINICION
3. FUNCIONAMIENTO DEL SEM
4. DESCRIPCION
5. FORMACION DE IMAGEN EN EL SEM
6. DETECTORES EN EL SEM
7. MICROSCOPIO ELECRONICO DE BARRIDO
JEOL JSM-649LV
8. CARACTERISTICAS DEL SEM
INTRODUCCION

El microscopio electrónico de
barrido (SEM) es un
instrumento capaz de ofrecer
un variado rango de
informaciones procedentes de
la superficie de la muestra.
Su funcionamiento se basa en
barrer un haz de electrones
sobre un área del tamaño que
deseemos (aumentos) mientras
en un monitor se visualiza la
información que hayamos
seleccionado en función de los
 DEFINICIÓN
Pseudomonas aeruginosa
CaCO3 (Carbonato de Calcio)
La microscopía electrónica de barrido
(MEB) es una técnica de análisis
superficial, que consiste en enfocar
sobre una muestra electrodensa (opaca
a los electrones) un fino haz de
electrones acelerado con energías de
excitación desde 0.1kV hasta 50kV
Proporciona información sobre :
La Topografía
Las características de superficie de la
muestra “tal como se ve en realidad", su
textura.
La Morfología
La forma y el tamaño de las partículas de la
muestra.
La Composición
Los elementos y los compuestos de la
muestra.
La Cristalografía
Cómo se organiza los átomos en la muestra.
FUNCIONAMIENTO DEL SEM

Un cátodo
emite un fuerte
rayo de
electrones.

Al final, un grupo de
bobinas de barrido
mueve el haz
enfocado hacia
adelante-atras y
derecha-izquierda
de la muestra
FUNCIONAMIENTO DEL SEM

Cuando los electrones chocan con la muestra,

se emiten electrones secundarios de su
superficie.
Un detector cuenta estos electrones y envía la
señal a un amplificador

La imagen final se construye con los

Electrones emitidos por cada punto de la
muestra
DESCRIPCIÓN DEL SEM
El MEB consta de las siguientes partes:
1. Cañón de electrones (e-).
2. Filamento de tungsteno o de hexaboruro
de lantano-LaB 6 .
3. Anodo.
4. Columna en vacío.
5. Lentes condensadores (centran y dirigen el
rayo de electrones).
6. Lentes Objetivas (controlan la cantidad de
electrones del haz).
7. Detectores para colectar y medir
electrones (producción de imagen).
8. Bobinas de barrido (obligan al haz a barrer
la muestra).
9. Control de aumento.
10. Generador de barrido.
ojos 11. Colector de electrones (electrones  se
atraen y se aceleran).
compuestos
12. Escintilador (convierte la energía cinetica
de un de los e- en luz visible).
mosquito 13. Amplificador.
14. Pantalla (imagen).
15. Bombas de vacío.
 DESCRIPCIÓN DEL SEM
Cañón
electrónico
La fuente emisora de electrones más utilizada
es un filamento de tungsteno que se calienta al
rojo-blanco por medio de una corriente
eléctrica, en un vacío del orden de 10-5 Torr.
Entre el ánodo acelerador y el filamento se
coloca un electrodo adicional, llamado cilindro
de Wehnelt o placa catódica, que permite que
los electrones emitidos por el filamento se
focalicen en un punto ligeramente por debajo
del cilindro de Wehnelt

Filamento de
LaB6
 DESCRIPCIÓN DEL SEM
Sistemas de lentes
electrónicas
El microscopio electrónico de
barrido emplea dos, tres o cuatro
lentes electromagnéticas, cuya
función es disminuir el diámetro
del haz de electrones de
aproximadamente de 50 μm en
su origen, a valores
comprendidos entre 25 y 10 nm
al incidir sobre la muestra.
Comparación entre una lente Así se obtiene un haz de
electromagnética y una lente de cristal.
En la primera (izquierda) en corte electrones extremadamente fino
longitudinal, una bobina de cobre y, de acuerdo con el voltaje de
(material conductor) está aislada en una
cubierta de metal que posee una ranura aceleración, penetra un poco en
en la cara interna (N-S). En la parte el espécimen, determinando un
superior, la línea azul representa el objeto
y en la parte inferior, la imagen del mismo volumen de interacción haz/
obtenida por la lente. En amarillo se objeto de una forma aproximada,
muestra el trayecto de electrones y
fotones, dependiendo del tipo de lente
de donde se desprenden
electrones secundarios,
DESCRIPCIÓN DEL SEM

Las lentes en un SEM

Lente condensadora (1 ó 2)
Tienen como objetivo hacer mas
estrecho el haz de electrones para
obtener un diámetro de entre 30μm y
100μm
Lente Intermedia:
Funciona como un diafragma
electrónico y da varios grados de
libertad de trabajo con el equipo.
Lente Objetiva:
Enfoca el haz de electrones en la
muestra y contribuye a estrechar el
haz de electrones.
El tamaño del haz sobre la muestra
es entre 200nm a 3nm
 DESCRIPCIÓN DEL SEM

Sistema de
barrido
Este sistema consiste en un campo
de deflexión simple o doble, que
puede ser electrostático o
electromagnético, y que produce el
desplazamiento del haz electrónico
sobre la superficie de la muestra.
Este campo se localiza cerca de la
última lente condensadora.
El haz de electrones se mueve en
líneas rectas superpuestas,
barriendo la superficie del
Usualmente se trabaja con un tiempo espécimen en un área
de barrido de rectangular.
10 segundos,
durante la observación preliminar de la muestra. Las fotografías se
toman con un tiempo de 50 segundos, con lo cual se tiene un mayor
número de líneas de barrido, y por lo tanto, una mayor definición
Este sistema es similar al de la televisión, pero con velocidades de
DESCRIPCIÓN DEL SEM
Detectores de
electrones
Tanto los electrones secundarios como
retrodispersos pueden recogerse
empleando detectores Everhart-Thornley
(E-T) que esta compuesto de cuatro
secciones:
∙ Colector: Es un campo eléctrico
positivo que atrae los electrones hacia
el detector.
∙ Centellador (Scintillator): Es un
material cuya propiedad es la de
fluorescer cuando es excitado por
alguna partícula ionizada, en este caso,
por la señal de electrones. Tiene un
recubrimiento de aluminio de
aproximadamente 10 nm de espesor,
que lo hace actuar como un espejo,
direccionando la señal hacia un
amplificador.
∙ Tubo de Luz: Es un transportador de
fotones, hecho de material
 DESCRIPCIÓN DEL SEM
Sistema de deflexión y Control de amplificación

La función del sistema de

deflexión es mover el haz de
electrones sobre la muestra
siguiendo una línea y a
continuación desplazar la
posición de la línea para
realizar un nuevo barrido, todo
esto siguiendo un patrón de que
viaja a través de una guía hasta
el tubo fotomultiplicador que
Las variaciones
convierte la luz enque
una se
señal
presentan en la señal al
eléctrica amplificada
moverse el haz sobre la
muestra producen cambios
en la intensidad que se ven
en la pantalla como una
http://www.uma.es/sme/nueva/Partes.php
DESCRIPCIÓN DEL SEM
Sistema de deflexión y Control de amplificación

Aunque sólo se ha discutido

acerca de los electrones
secundarios y retrodispersos es
necesario aclarar que cualquier
señal que se pueda recoger en el
interior del SEM es susceptible de
ser amplificada y empleada, en
principio, para formar una
imagen
El MEB .permite un rango de
aumentos que va desde 15 a
100000 veces, dependiendo de la
naturaleza y la forma del material
examinado
DESCRIPCIÓN DEL SEM

Platina
portamuestra
La cámara portaespécimen está
situada en la base de la columna
del microscopio y en línea con el
haz electrónico. La pieza o
platina que sostiene el
espécimen permiten varios
movimientos:
a) desplazamiento en
coordenadas rectangulares
(ejes X e Y) en un plano a lo
largo de la superficie
observada de la muestra.
b) Movimiento de rotación sobre
el propio plano de la muestra
 DESCRIPCIÓN DEL SEM
Sistema de
Vacío
Si se desea obtener un haz
uniforme de electrones, es
necesario mantener la
columna del microscopio a
un alto vacío. Se denomina
sistema de vacío al
conjunto de dispositivos y
procedimientos que se
utilizan para este fin.
Un alto vacío corresponde a una
baja presión, y la unidad que se
utiliza es el mmHg o Torr. Se
recomienda utilizar el Pascal (Pa),
que es la fuerza de presión que
bomba ejerce un Newton sobre 1 m2 (1
rotatoria
 DESCRIPCIÓN DEL SEM
Sistema de
Vacío
La columna debe mantener un
alto vacío, básicamente por
cuatro razones:
1.- Para permitir el
desplazamiento de electrones
2.- Para evitar descargas de
alta tensión en el cañón
electrónico
3.- Para evitar contaminación
del espécimen y de las
aberturas
bomba
DETECTORES EN EL SEM
DETECTORES EN EL SEM
Detector de electrones
secundarios (SE )

Es el que ofrece la
típica imagen en
blanco y negro de la
topografía de la
superficie
examinada. Es la
señal más adecuada
para la observación
de la muestra por ser
DETECTORES EN EL SEM
Detector de electrones retrodispersados
(BSE)
También ofrece una imagen de
superficie aunque de menor
resolución.
Su ventaja consiste en que es
sensible a las variaciones en el
número atómico de los
elementos presentes en la
superficie.
Si tenemos una superficie
totalmente lisa observaremos
distintos tonos de gris en
función de que existan varias
DETECTORES EN EL SEM
Detector de rayos X
(EDS)
Equipo Es el que recibe los rayos X
de procedentes de cada uno de
RAYOS X los puntos de la superficie
del
sistema
sobre los que pasa el haz de
FEI electrones.
QUANTA
Como la energía de cada
rayo X es característica de
cada elemento, podemos
obtener información
analítica cualitativa y
cuantitativa de áreas del
tamaño que deseemos de la
superficie.
Por ello se conoce esta
 Microscopio Electrónico
de Barrido
JEOL T330A

1. Detector de
electrones secundarios
2. Detector de
Catodoluminiscencia
3. Detector - Sonda
EDS Light elements
4. Detector de
electrones
retrodispersados
FORMACION DE IMAGEN EN EL SEM

La formación de
imágenes requiere un
sistema de barrido para
construir la imagen
punto a punto. Fijando el
tiempo de barrido en 10
segundos, se obtiene una
imagen de 500 líneas
FORMACION DE IMAGEN EN EL SEM

Principio de la presentación de la
imagen escaneada

A) Se establece una
correspondencia entre un set
de punto de la muestra con un
set de puntos en la pantalla de
A TV (CRT).

Aumento= L CRT /Lmuestra.

B) Principio de modulación de la
intensidad usada para presentar
la magnitud de la señal
producida por la interacción
electrón-muestra.
Negro, representa baja
B intensidad; gris, intensidad
intermedia; blanco, alta
 FORMACION DE IMAGEN EN EL SEM
El factor de aumento efectivo M
entre el área de la muestra y el área
del tubo catódico (CRT-pantalla de
TV) puede expresarse mediante la
relación de las longitudes
escaneadas.

M = largo pantalla / largo de la región

barrida.
La variación de intensidad de las
señales generadas por la muestra
se convierte en señales eléctricas,
lo que permite obtener imágenes
Un cañón de electrones genera un haz de en un microscopio de barrido.
electrones. El haz de electrones se enfoca a
través de un conjunto de lentes No es una imagen óptica de
electromagnéticas Imagen se produce a través
de la unidad de Exploración Varios detectores
superficie, pero si una buena
de adquisición de las distintas señales para aproximación
mostrar una imagen