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Dezember 2011

ICS 17.040.30, 19.100, 35.240.80 VDI/VDE-RICHTLINIEN December 2011

VEREIN Genauigkeit von Koordinatenmessgeräten


DEUTSCHER Kenngrößen und deren Prüfung
VDI/VDE 2617
INGENIEURE Blatt 13 / Part 13
Leitfaden zur Anwendung von DIN EN ISO 10360 für
VERBAND DER Koordinatenmessgeräte mit CT-Sensoren
ELEKTROTECHNIK
ELEKTRONIK Accuracy of coordinate measuring machines
INFORMATIONSTECHNIK Characteristics and their testing
Former edition: 08/09 Draft, in German only
Frühere Ausgabe: 08.09 Entwurf, deutsch

Guideline for the application of DIN EN ISO 10360 for coordinate Ausg. deutsch/englisch
measuring machines with CT-sensors

Vervielfältigung – auch für innerbetriebliche Zwecke – nicht gestattet / Reproduction – even for internal use – not permitted
Issue German/English

Computertomografie in der dimensionellen VDI/VDE 2630


Messtechnik
Leitfaden zur Anwendung von DIN EN ISO 10360 für Blatt 1.3 / Part 1.3
Zu beziehen durch / Available at Beuth Verlag GmbH, 10772 Berlin – Alle Rechte vorbehalten / All rights reserved © Verein Deutscher Ingenieure e.V., Düsseldorf 2011

Koordinatenmessgeräte mit CT-Sensoren


Computed tomography in dimensional measurement
Guideline for the application of DIN EN ISO 10360 for Ausg. deutsch/englisch
coordinate measuring machines with CT sensors Issue German/English

Die deutsche Version dieser Richtlinie ist verbindlich. The German version of this guideline shall be taken as authori-
tative. No guarantee can be given with respect to the English
translation.
Inhalt Seite Contents Page
Vorbemerkung................................................................... 2 Preliminary note................................................................ 2
Einleitung .......................................................................... 2 Introduction ...................................................................... 2
1 Anwendungsbereich .................................................. 4 1 Scope ......................................................................... 4
2 Grundlagen................................................................. 5 2 Fundamentals ............................................................ 5
3 Sensorarten ................................................................ 7 3 Sensor types .............................................................. 7
4 Annahmeprüfung ....................................................... 8 4 Acceptance test ......................................................... 8
4.1 Antastabweichung.............................................. 9 4.1 Probing error ..................................................... 9
4.2 Längenmessabweichung .................................. 14 4.2 Length measurement error............................... 14
5 Überwachung ........................................................... 21 5 Monitoring ................................................................ 21
5.1 Prüfkörper ........................................................ 22 5.1 Test specimens ................................................ 22
5.2 Durchführung................................................... 22 5.2 Implementation ............................................... 22
5.3 Auswertung...................................................... 22 5.3 Analysis........................................................... 22
6 Material- und geometrieabhängiger Einfluss ......... 23 6 Material- and geometry-dependent effects ............ 23
6.1 Messung kalibrierter Werkstücke .................... 23 6.1 Measuring calibrated workpieces .................... 23
6.2 Messung kalibrierter Prüfkörper ...................... 23 6.2 Measuring calibrated test specimens ............... 23
6.3 Prüfkörper ........................................................ 24 6.3 Test specimens ................................................ 24
Anhang A Strukturauflösung für dimensionelle Annex A Structural resolution for dimensional
Messungen .................................................... 28 measurements ............................................... 28
A1 Motivation ....................................................... 28 A1 Rationale ......................................................... 28
A2 Einführung ....................................................... 29 A2 Introduction ..................................................... 29
A3 Testverfahren ................................................... 30 A3 Test method ..................................................... 30
A4 Strukturnormal ................................................. 30 A4 Structural standard .......................................... 30
A5 Definition der Strukturauflösung für A5 Definition of structural resolution for
dimensionelle Messungen:............................... 31 dimensional measurements.............................. 31
A6 Durchführung der Prüfung ............................... 31 A6 Test implementation ........................................ 31
A7 Mögliche Ausführungsform der Prüfung A7 Variant for testing the structural
der Strukturauflösung für dimensionelle resolution for dimensional
Messungen ....................................................... 31 measurements .................................................. 31
A8 Angabe der Strukturauflösung für A8 Stating the structural resolution for
dimensionelle Messungen ................................ 31 dimensional measurements.............................. 31
Anhang B Gegenüberstellung Formelzeichen Annex B Synopsis: Old and new notation of
alte Schreibweise – neue Schreibweise...... 32 symbols ........................................................ 32
Schrifttum........................................................................ 33 Bibliography ................................................................... 33

VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik (GMA)


Fachbereich Fertigungsmesstechnik

VDI/VDE-Handbuch Fertigungsmesstechnik
VDI/VDE Handbuch Mikro- und Feinwerktechnik
VDI-Handbuch Produktionstechnik und Fertigungsverfahren Band 3: Betriebsmittel
–2– VDI/VDE 2617 Blatt 13 / VDI/VDE 2630 Blatt 1.3 Alle Rechte vorbehalten © VDI e.V., Düsseldorf 2011

Vorbemerkung Preliminary note


Der Inhalt dieser Richtlinie ist entstanden unter The content of this guideline has been developed in
Beachtung der Vorgaben und Empfehlungen der strict accordance with the requirements and rec-
Richtlinie VDI 1000. ommendations of the guideline VDI 1000.
Alle Rechte, insbesondere die des Nachdrucks, der All rights are reserved, including those of reprint-
Fotokopie, der elektronischen Verwendung und der ing, reproduction (photocopying, micro copying),
Übersetzung, jeweils auszugsweise oder vollstän- storage in data processing systems and translation,
dig, sind vorbehalten. either of the full text or of extracts.
Die Nutzung dieser VDI-Richtlinie ist unter Wah- The use of this guideline without infringement of
rung des Urheberrechts und unter Beachtung der copyright is permitted subject to the licensing con-
Lizenzbedingungen (www.vdi-richtlinien.de), die ditions specified in the VDI Notices (www.vdi-
in den VDI-Merkblättern geregelt sind, möglich. richtlinien.de).
Allen, die ehrenamtlich an der Erarbeitung dieser We wish to express our gratitude to all honorary
VDI-Richtlinie mitgewirkt haben, sei gedankt. contributors to this guideline.

Einleitung Introduction
In den Richtlinienreihen VDI/VDE 2630 und VDI/ The VDI/VDE 2630 and VDI/VDE 2617 Series of
VDE 2617 sind Kenngrößen zur Beschreibung der Guidelines specify characteristics serving to de-
Genauigkeit von Koordinatenmessgeräten (KMG) scribe the accuracy of coordinate measuring ma-
mit Sensoren nach dem Prinzip der Röntgen- chines (CMMs) with sensors relying on the princi-
Computertomografie (CT-Sensor) festgelegt und ple of X-ray computed tomography (CT sensors),
Verfahren zu ihrer Prüfung beschrieben. and describe procedures for checking these charac-
teristics.
Die Richtlinienreihe VDI/VDE 2630 besteht aus The VDI/VDE 2630 Series of Guidelines consists
folgenden Blättern: of the following parts:
Grundlagen Basic principles
Blatt 1.1 Grundlagen und Definitionen Part 1.1 Fundamentals and definitions
Blatt 1.2 Einflussgrößen auf das Messergebnis Part 1.2 Variables influencing measurement
und Empfehlungen für dimensionelle results, and recommendations for
Computertomografie Messungen computed-tomography dimensional
measurements
Blatt 1.3 Leitfaden zur Anwendung von DIN EN Part 1.3 Guideline for the application of DIN EN
ISO 10360 für Koordinatenmessgeräte ISO 10360 for coordinate measuring ma-
mit CT-Sensoren chines with CT sensors
Blatt 1.4 Messverfahren und Vergleichbarkeit Part 1.4 Measurement procedures and compara-
(geplant) bility (in preparation)
Unsicherheit/Prozesseignung/Kalibrierung Uncertainty/process suitability/calibration
Blatt 2.1 Ermittlung der Messunsicherheiten von Part 2.1 Determination of measurement uncertain-
Messungen mit CT Systemen (geplant) ties in measurements using CT systems
(in preparation)
Blatt 2.2 Beurteilung der Prüfprozesseignung Part 2.2 Assessment of the testing process suit-
von CT-Messsystemen (geplant) ability of CT measurement systems (in
preparation)
Blatt 2.3 Parameterbestimmung von Computer- Part 2.3 Determination of CT scanner parameters
tomografen mittels Prüfkörper (geplant) using test specimens (in preparation)
Softwaresysteme Software systems
Blatt 3.1 Softwaretest/Beurteilung der Leistungs- Part 3.1 Software test/performance assessment (in
fähigkeit (geplant) preparation)
Eine Liste der aktuell verfügbaren Blätter der A catalogue of all available parts of the series of
Richtlinienreihe VDI/VDE 2630 ist im Internet guidelines VDI/VDE 2630 can be accessed on the
abrufbar unter www.vdi.de/2630. internet at www.vdi.de/2630.
All rights reserved © VDI e.V., Düsseldorf 2011 VDI/VDE 2617 Part 13 / VDI/VDE 2630 Part 1.3 –3–

Die Richtlinienreihe VDI/VDE 2617 besteht aus The VDI/VDE 2617 Series of Guidelines consists
folgenden Blättern: of the following parts:
Blatt 2.1 Leitfaden zur Anwendung von DIN EN Part 2.1 Code of practice for the application of
ISO 10360-2 zur Messung von DIN EN ISO 10360-2 for length meas-
Längenmaßen urement
Blatt 2.2 Formmessung Part 2.2 Form measurement
Blatt 2.3 Annahme- und Bestätigungsprüfung Part 2.3 Acceptance and reverification tests for
von Koordinatenmessgeräten großer coordinate measuring machines of large
Bauart dimensions
Blatt 4 Leitfaden zur Anwendung von DIN EN Part 3 Guideline for the application of DIN
ISO 10360-3 für Koordinatenmessgerä- EN ISO 10360-3 for coordinate meas-
te mit Drehtisch uring machines with additional axes of
rotation
Blatt 5 Überwachung durch Prüfkörper Part 5 Interim check using artefacts
Blatt 5.1 Überwachung mit Kugelplatten Part 5.1 Interim check using ball plates
Blatt 6 Koordinatenmessgeräte mit optischer Part 6 Coordinate measuring machines with
Antastung; Grundlagen optical probing; Basics
Blatt 6.1 Koordinatenmessgeräte mit optischer Part 6.1 Coordinate measuring machines with
Antastung; Sensoren zur 2-D-Messung optical probing; 2D sensors
Blatt 6.2 Leitfaden zur Anwendung von DIN EN Part 6.2 Guideline for the application of DIN
ISO 10360 für Koordinatenmessgeräte EN ISO 10360 for coordinate measur-
mit optischen Abstandssensoren ing machines with opti-cal distance
sensors
Blatt 6.3 Multisensorik Part 6.3 Multiple probing systems
Blatt 7 Ermittlung der Unsicherheit von Mes- Part 7 Estimation of measurement uncertainty
sungen auf Koordinatenmessgeräten of coordinate measuring machines by
durch Simulation means of simulation
Blatt 8 Prüfprozesseignung von Messungen mit Part 8 Test suitability of measurements with
Koordinatenmessgeräten coordinate measuring machines
Blatt 9 Gelenkarm-KMG Part 9 Articulated arm coordinate measuring
machines
Blatt 10 Annnahme- und Bestätigungsprüfung Part 10 Acceptance and reverification tests for
von Lasertrackern laser trackers
Blatt 11 Aufgabenspezifische Messunsicherheit Part 11 Task-specific measurement uncertainty
bei Messungen mit KMG in CMM measurements
Blatt 12 Annahme- und Bestätigungsprüfungen Part 12 Acceptance and reverification tests for
für Koordinatenmessgeräte zum taktilen tactile CMM measuring microgeo-
Messen von Mikrogeometrien metries
Blatt 13 Leitfaden zur Anwendung von DIN EN Part 13 Guideline for the application of DIN
ISO 10360 für Koordinatenmessgeräte EN ISO 10360 for coordinate measur-
mit CT-Sensoren ing machines with CT sensors
Eine Liste der aktuell verfügbaren Blätter der A catalogue of all available parts of the series of
Richtlinienreihe VDI/VDE 2617 ist im Internet guidelines VDI/VDE 2617 can be accessed on the
abrufbar unter www.vdi.de/2617. internet at www.vdi.de/2617.
–4– VDI/VDE 2617 Blatt 13 / VDI/VDE 2630 Blatt 1.3 Alle Rechte vorbehalten © VDI e.V., Düsseldorf 2011

1 Anwendungsbereich 1 Scope
Zweck dieser Richtlinie ist es, für Koordinaten- The purpose of this guideline is to define specifica-
messgeräte (KMG) mit Sensoren nach dem Prinzip tions and procedures for testing coordinate measur-
der Röntgen-Computertomografie (CT-Sensor, ing machines (CMMs) with sensors relying on the
siehe Definition in VDI/VDE 2630 Blatt 1.1) Spe- principle of X-ray computed tomography (CT sen-
zifikationen und Verfahren zu deren Prüfung zu sors) (see VDI/VDE 2630 Part 1.1 for a definition).
definieren. Hierbei wird die Vergleichbarkeit zu The intention is to achieve comparability with the
Kenngrößen von Koordinatenmessgeräten mit tak- characteristics of coordinate measuring machines
tilen und mit optischen Sensoren angestrebt. Die in with tactile and with optical sensors. The charac-
dieser Richtlinie beschriebenen Kenngrößen die- teristics described in this guideline serve for the
nen der Spezifikation von Koordinatenmessgeräten specification of coordinate measuring machines
mit CT-Sensoren sowie dem Vergleich unter- with CT sensors and for a comparison between
schiedlicher Messsysteme. various measurement systems.
Der Geltungsbereich bezieht sich auf Koordina- The guideline covers coordinate measuring ma-
tenmessgeräte mit den in Abschnitt 2 beschriebe- chines using the sensor types described in Sec-
nen Sensorarten. Die Koordinatenmessgeräte kön- tion 2. The CMMs can also contain additional sys-
nen auch Zusatzeinrichtungen wie Dreh- oder tems such as rotational or swing axes. The func-
Schwenkachsen beinhalten. Funktionsweise und tions and special features of CT sensor systems are
Besonderheiten der CT-Sensorik werden erläutert. explained.
In enger Anlehnung an DIN EN ISO 10360-2 wer- In close reliance on DIN EN ISO 10360-2, the
den die Verfahren für die Annahmeprüfung und für guideline defines the procedures for acceptance
die Überwachung der Längenmessabweichung und testing and for the monitoring of length measure-
der Antastabweichung mit CT- Sensoren definiert. ment error and probing errors when using CT sen-
Die Normenreihe DIN EN ISO 10360 ist in der sors. The DIN EN ISO 10360 series of standards in
bisher vorliegenden Form sehr stark an taktilen its current form is oriented very strongly towards
Sensoren orientiert. Deshalb legt diese Richtlinie tactile sensors. Therefore, this guideline specifies
für die Anwendung von CT- Sensoren notwendige the additional aspects necessary when using CT
Ergänzungen fest: sensors:
• alternativ zu Endmaßen verwendbare Normale • measurement standards usable as alternatives to
gauge blocks
• Vergleichbarkeit der Kenngrößen bei Verwen- • comparability of the characteristics when using
dung von alternativen Normalen (beispielswei- alternative standards (e.g. with spherical
se mit kugelförmigen Begrenzungsflächen) boundary surfaces)
• Vergleichbarkeit der Kenngrößen bei unter- • comparability of the characteristics under dif-
schiedlichen Antaststrategien (unterschiedliche ferent probing strategies (different number of
Punkteanzahl, Abdeckungsgrad der anzutasten- points, degree of coverage of the features to be
den Elemente) probed)
• Definition der Kenngrößen für unterschiedliche • definition of the characteristics for various op-
Betriebsbedingungen erating conditions
• Hinweise zum Umgang mit Einflussgrößen wie • notes on the handling of influence quantities
Umgebungsbedingungen, mathematischen Fil- such as environmental conditions, mathematical
tern und der Oberflächenbeschaffenheit der filters and the surface condition of the test
Prüfkörper specimens
• Erfassung von material- und geometrieabhängi- • taking into account of material- and geometry-
gen Einflüssen sowie Definition und Beschrei- dependent effects plus definition and descrip-
bung von geeigneten Kenngrößen der material- tion of suitable characteristics of material- and
und geometrieabhängigen Maß- und Formab- geometry-dependent errors of size and form
weichung
Nicht Inhalt dieser Richtlinie sind Verfahren für This guideline does not deal with procedures relat-
CT-Anlagen für die Materialprüfung und medizini- ing to CT systems for material testing and medical
sche Zwecke. purposes.
Verfahren zur Eignungsprüfung ([3], VDI/ This guideline does not cover procedures for suit-
VDE 2617 Blatt 8), Fähigkeitsuntersuchung [1; 2], ability testing ([3], VDI/VDE 2617 Part 8), qualifi-
All rights reserved © VDI e.V., Düsseldorf 2011 VDI/VDE 2617 Part 13 / VDI/VDE 2630 Part 1.3 –5–

Unsicherheitsabschätzung (DIN V ENV 13005) cation assessment [1; 2], uncertainty estimation
oder Bestimmung der Messunsicherheit am realen (DIN V ENV 13005) or determination of meas-
Werkstück sind nicht Gegenstand dieser Richtlinie. urement uncertainties by using real workpieces.
Der Anwender wird darauf hingewiesen, dass bei Users are advised of the fact that measurement
der Messung von Prüfkörpern geringere Abwei- errors can be smaller in measuring test specimens
chungen auftreten können, als bei der Messung than in measuring real workpieces, because simpli-
realer Werkstücke, da vereinfachte Werkstück- fied workpiece geometries and idealised material
geometrien und idealisierte Materialzusammenset- compositions and surfaces are used in the former
zungen und Oberflächen zum Einsatz kommen. In case. In any case, users are recommended to per-
jedem Fall ist es für den Anwender empfehlens- form additional investigations on the materials
wert, an seinen anwendungstypischen Materialien typical for their particular applications, to establish
weitere Untersuchungen im Sinne einer Prüfpro- testing process suitability, e.g. by determining the
zesseignung durchzuführen, z. B. eine Messunsich- measurement uncertainty in accordance with
erheitsbestimmung nach VDI/VDE 2630 Blatt 2.1. VDI/VDE 2630 Part 2.1.
Nicht behandelt werden in dieser Richtlinie die This guideline does not deal with the analysis of
Analyse von Einzelkomponenten des Messgeräts the behaviour of individual components of the
in ihrem Verhalten, die Behandlung von Korrek- measuring device, the handling of correction
turverfahren oder ähnlichem und der Einfluss von methods or the like, and the effect of environ-
Umgebungsbedingungen wie Temperatur, Schwin- mental conditions such as temperature, vibrations,
gungen usw. etc.
Zur Spezifikation und Überprüfung einzelner Various national and international committees
Komponenten von CT-Sensoren wie Detektoren define guidelines for the specification and testing
und Röntgenquellen werden Richtlinien durch of individual components of CT sensors such as
verschiedene nationale und internationale Gremien detectors and X-ray sources. These are used during
definiert. Diese finden bei der Zusammenarbeit the collaboration between manufacturers offering
von Komponenten- und Geräteherstellern bei der components and devices, in the context of system
Systemintegration Anwendung. Sie kommen nicht integration. They are not used for the specification
für die Spezifikation und Überprüfung von Koor- and testing of coordinate measuring machines in
dinatenmessgeräten im Verhältnis zwischen Her- the relationship between manufacturers and end
steller und Anwender zum Einsatz. users.
Anmerkung: Die Überprüfung der Leistungsfähigkeit mehre- Note: This guideline does not cover the performance testing
rer Sensoren beim kombinierten Messen z. B. in Multisensor- of several sensors during combined measurements, e.g. in
Koordinatenmessgeräten ist nicht Gegenstand dieser Richtli- multisensor coordinate measuring devices. The acceptance
nie. Die Annahmeprüfung solcher Geräte und Betriebsarten tests for such devices and operating modes can be performed
kann z. B. nach VDI/VDE 2617 Blatt 6.3 erfolgen, der Einsatz according to, e.g., VDI/VDE 2617 Part 6.3, with the CT sen-
des CT-Sensors ist dabei geeignet zu spezifizieren. sor’s use being specified appropriately.

Alle in dieser Richtlinie angewandten Ausgleichs- All the regression methods used in this guideline
verfahren werden nach der Methode der kleinsten are based on the least squares (Gaussian) method
Fehlerquadrate (Gauß) bei freiem Radius berech- with a free radius.
net.

2 Grundlagen 2 Fundamentals
Für die Anwendungen dieser Richtlinie gelten die For the purposes of this guideline, the definitions
Definitionen aus DIN EN ISO 10360-1:2003-07, of DIN EN ISO 10360-1:2003-07, DIN EN
DIN EN ISO 14253-1, DIN ISO/TS 23165 und ISO 14253-1, DIN ISO/TS 23165 and VIM [4]
VIM [4]. Ergänzend werden folgende Kenngrößen apply. They are supplemented by the following
für verschiedene Betriebsarten (Antaststrategien, characteristics of various operating modes (probing
siehe Abschnitt 3) neu eingeführt. strategies, see Section 3), introduced here for the
first time.
Anmerkung: Die Formelzeichen der ISO 10360 wurden mit Note: The notation of symbols is revised in ISO 10360 with
Ausgabe der ISO 10360-2:2009 überarbeitet. In dieser Richt- the publication of ISO 10360-2:2009. In this guideline the new
linie wird die neue Notation der ISO 10360-2 verwendet. Im notation of ISO 10360-2 is used. Annex B gives an overview
Anhang B ist in einer Übersetzungstabelle die alte und neue of the old and new notations.
Schreibweise gegenüber gestellt.