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Frühere Ausgabe: 03.10 Entwurf, deutsch Former edition: 03/10 Draft, in German only

 

Februar 2012

ICS 17.040.30

VDI/VDE-RICHTLINIEN

February 2012

VEREIN

   

Formprüfung

VDI/VDE 2631

DEUTSCHER

INGENIEURE

 

Bestimmung der Lageabweichung von Formmessgeräteachsen

 

Blatt 7 / Part 7

 

VERBAND DER ELEKTROTECHNIK ELEKTRONIK INFORMATIONSTECHNIK

Form measurement

 

Determination of positional deviations of the form-measurement axes

Ausg. deutsch/englisch

 

Issue German/English

Die deutsche Version dieser Richtlinie ist verbindlich.

 

The German version of this guideline shall be taken as authorita- tive. No guarantee can be given with respect to the English trans- lation.

Inhalt

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Contents

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Vorbemerkung

 

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2

Preliminary note

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2

Einleitung .

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Introduction

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1 Anwendungsbereich

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1 Scope .

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2 Prinzipieller Aufbau eines Formmessgeräts .

3 Normale zur Ermittlung der Lageabweichungen .

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3

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2 Basic structure of a form-measurement instrument

3 Standards for determining positional deviations

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3.1 Parallelitäten

 

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3.1 Parallelisms .

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3.2 Rechtwinkligkeiten .

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3.2 Perpendicularities.

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4

4 Ermittlung der Lageabweichungen von Formmessgeräteachsen

 

5

4 Determination of the positional deviations of the axes of form-measuring systems

5

4.1 Parallelität Z- zu C-Achse in C-R-Ebene

 

5

4.1 Parallelism of Z axis to C axis in the

 
 

C-R plane

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5

4.2 Parallelität Z- zu C-Achse in C-Y-Ebene

 

6

4.2 Parallelism of Z axis to C axis in the

 

4.3 Rechtwinkligkeit R- zu C-Achse in .

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C-Y plane .

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. 4-3 Perpendicularity of R axis to C axis

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in the C-R

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4.4 Tasterposition .

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4.4 Probe

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4.5 Sonstige Abweichungen

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4.5 Other deviations

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5 Durchführung der Messung und Ergebnisdarstellung

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5 Carrying out measurement and the presentation of results

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Anhang A Aufbau und Ausführung einer

 

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Annex A Structure und execution of test

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Prüfanweisung .

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Anhang B Maßnahmenkatalog

 

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Annex B Catalogue of actions (example)

 

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Bibliography

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VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik (GMA)

 
 

Fachbereich Fertigungsmesstechnik

VDI/VDE-Handbuch Fertigungsmesstechnik VDI-Handbuch Produktionstechnik und Fertigungsverfahren, Band 1: Grundlagen und Planung

 

– 2 –

VDI/VDE 2631 Blatt 7 / Part 7

Vorbemerkung

Der Inhalt dieser Richtlinie ist entstanden unter Be- achtung der Vorgaben und Empfehlungen der Richt- linie VDI 1000.

Alle Rechte, insbesondere die des Nachdrucks, der Fotokopie, der elektronischen Verwendung und der Übersetzung, jeweils auszugsweise oder vollständig, sind vorbehalten.

Die Nutzung dieser VDI-Richtlinie ist unter Wahrung des Urheberrechts und unter Beachtung der Lizenz- bedingungen (www.vdi-richtlinien.de), die in den VDI-Merkblättern geregelt sind, möglich.

Allen, die ehrenamtlich an der Erarbeitung dieser VDI-Richtlinie mitgewirkt haben, sei gedankt.

Einleitung

Diese Richtlinie ist Bestandteil der Richtlinienreihe VDI/VDE 2631, die derzeit aus zehn Blättern be- steht:

Preliminary note

The content of this guideline has been developed in strict accordance with the requirements and recom- mendations of the guideline VDI 1000.

All rights are reserved, including those of reprinting, reproduction (photocopying, micro copying), storage

in data processing systems and translation, either of

the full text or of extracts.

The use of this guideline without infringement of copy- right is permitted subject to the licensing conditions specified in the VDI Notices (www.vdi-richtlinien.de).

We wish to express our gratitude to all honorary con- tributors to this guideline.

Introduction

This guideline is one of currently ten parts in the VDI/VDE 2631 series of guidelines:

Blatt 1 Grundlagen zur Bestimmung von Form- und Lageabweichungen

Part 1

Principles in the measurement of geometri- cal deviations

Blatt 2

Bestimmung der Empfindlichkeit der Sig-

Part 2

Determination of the sensitivity of the signal

Blatt 3

nalübertragungskette Auswahl und Eigenschaften von Filtern

Part 3

transmission chain Selection and characteristics of filters

Blatt 4

Bestimmung der radialen Drehführungsab- weichung

Part 4

Determination of radial spindle deviation

Blatt 5

Bestimmung der axialen Drehführungsab- weichung

Part 5

Determination of axial spindle deviation

Blatt 6

Bestimmung der Geradführungsabwei-

Part 6

Determination of straightness deviation of

chungen Blatt 7 Bestimmung der Lageabweichungen der

the linear guide Part 7 Determination of positional deviations of

Formmessgeräteachsen Blatt 8 Stabilitätsüberwachung von Formmessge-

Part 8

the axes of form-measuring systems Stability monitoring of form measuring sys-

räten Blatt 9 Beispiele für Mess- und Auswertebedin-

Part 9

tems Examples of measurement and analysis con-

gungen Blatt 10 Bestimmung der Messunsicherheit bei Formmessungen (in Vorbereitung)

ditions Part 10 Determination of the uncertainty of form measurements (in preparation)

Eine Liste der aktuell verfügbaren Blätter dieser Richtlinienreihe ist im Internet abrufbar unter

A catalogue of all available parts of this series of

guidelines can be accessed on the internet at

www.vdi.de/2631.

www.vdi.de/2631.

1 Anwendungsbereich

1 Scope

In dieser Richtlinie sind Verfahren zur Bestimmung der Lageabweichungen der Messgeräteachsen be- schrieben. Es wird eine einheitliche Vorgehensweise für die Annahmeprüfung und Überwachung von Formmessgeräten festgelegt. Die dabei ermittelten Messwerte können auch zum Nachweis der Messge- rätestabilität verwendet werden.

Methods for determining the positional deviations of the axes of measuring systems are described in this guideline. A standard procedure is specified for the acceptance inspection and monitoring of form-meas- uring instruments. The measurement values hereby obtained may also be used for demonstrating the sta- bility of form-measuring instruments.

VDI/VDE 2631 Blatt 7 / Part 7

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2 Prinzipieller Aufbau eines Formmessgeräts

Bild 1 zeigt den prinzipiellen Aufbau eines Form- messgeräts (Drehtischgerät) mit den Bewegungsrich- tungen seiner Achsen (Abbildung rechts) und den in dieser Richtlinie verwendeten Achs- und Ebenenbe- zeichnungen (Abbildung links).

2 Basic structure of a form-measuring instrument

Figure 1 shows the basic structure of a form-meas- uring instrument (rotary table device) with the direc- tions of movement of its axes (on the right of the dia- gram) and the designations used in this guideline for the various axes and planes (on the left).

guideline for the various axes and planes (on the left). Bild 1. Prinzipieller Aufbau eines Formmessgeräts

Bild 1. Prinzipieller Aufbau eines Formmessgeräts

Figure 1. Basic structure of a form-measuring instrument

Tabelle 1. Übersicht über Normale zur Ermittlung der Lageabweichungen von Formmessgeräteachsen

 

Parallelität

 

Rechtwinkligkeit

 

Prüfzylinder a)

Kontrollsäule a)

Planglasplatte

90°-Winkelnormale

a ) Planglasplatte 90°-Winkelnormale Rechtwinkligkeit R - zu C -Achse in C - R -Ebene
a ) Planglasplatte 90°-Winkelnormale Rechtwinkligkeit R - zu C -Achse in C - R -Ebene
a ) Planglasplatte 90°-Winkelnormale Rechtwinkligkeit R - zu C -Achse in C - R -Ebene

Rechtwinkligkeit R- zu C-Achse in C-R-Ebene

   

X

X

X

Parallelität Z- zu C-Achse in C-R-Ebene

X

 

X

   

Parallelität Z- zu C-Achse in C-Y-Ebene

X

 

X

   

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VDI/VDE 2631 Blatt 7 / Part 7

Table 1. Overview of standards used for determining the positional deviations of the axes of form-measuring systems

 

Parallelism

 

Perpendicularity

 

Test cylinder a)

Cylinder square a)

Optical flat

90°-angle gauge

Cylinder square a ) Optical flat 90°-angle gauge Perpendicularity of R axis to C axis in
Cylinder square a ) Optical flat 90°-angle gauge Perpendicularity of R axis to C axis in
Cylinder square a ) Optical flat 90°-angle gauge Perpendicularity of R axis to C axis in

Perpendicularity of R axis to C axis in the C-R plane

   

X

X

X

Parallelism of Z axis to C axis in the C-R plane

X

 

X

   

Parallelism of Z axis to C axis in the C-Y plane

X

 

X

   

a ) The German equivalents of “'test cylinder” and “cylinder square” are in some cases used interchangeably, as, for example, in guideline VDI/VDE/DGQ 2618 Part 4.6.

3 Normale zur Ermittlung der Lageabweichungen

Zur Ermittlung von Parallelitäts- und Rechtwinklig- keitsabweichungen der Messgeräteachsen zueinan- der werden in der Regel die im folgenden aufgeliste- ten Normale, teilweise in Verbindung mit speziellen Messverfahren, eingesetzt.

3.1

Parallelitäten

Als Parallelitätsnormale werden je nach Anforderung und zu prüfender Achsenlänge entweder kalibrierte Kontrollsäulen oder kalibrierte Prüfzylinder einge- setzt. Bei kurzen Prüflängen werden Normale mit Formabweichungen im Bereich von 0,1 µm einge- setzt, bei längeren Prüflängen sind auch größere Ge- radheitsabweichungen der verwendeten Normale zu- lässig.

3.2 Rechtwinkligkeiten

Als Rechtwinkligkeitsnormal werden Kontrollsäulen aus Stahl mit ebenen Stirnflächen rechtwinklig zur Zylinderachse eingesetzt. Auch 90°-Winkelnormale aus Metall oder Naturstein und würfelförmige Form- verkörperungen sind hierzu geeignet. Diese sind al- lerdings auf dem Markt nur schwer mit hinreichend geringen Formabweichungen erhältlich und sehr auf- wendig zu kalibrieren. Die 90°-Winkelnormale wer- den in erster Linie bei großen Drehspindelgeräten verwendet.

3 Standards for determining positional deviations

To determine deviations in the parallelism and per- pendicularity of the measuring-instrument axes in re- lation to each other the standards listed below are nor- mally used, sometimes in combination with special measurement methods.

3.1

Parallelisms

Depending on the nature of the task and the axis length to be checked either calibrated cylinder squares or calibrated test cylinders are used as paral- lelism standards. In the case of short test lengths, standards with form deviations in the 0,1 µm range are used while with greater test lengths straightness deviations even larger than this are permissible in the standards used.

3.2 Perpendicularities

Cylinder squares made of steel and with flat faces at right angles to the cylinder axis are used as perpen- dicularity standards. Suitable here too are 90°-angle gauges made of metal or natural stone as well as cu- bic form embodiments. These are however difficult to find on the market with sufficiently low form devia- tions and their calibration is very time-consuming. 90°-angle gauges are used primarily with large rotat- ing spindle devices.

VDI/VDE 2631 Blatt 7 / Part 7

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Ebenheitsnormale, z.B. Planplatten aus Glas oder Glaskeramik mit Ebenheitsabweichungen von 0,02 µm bis 0,08 µm, können nach Ausrichtung zur C-Achse ebenfalls zur Ermittlung von Rechtwinklig- keitsabweichungen eingesetzt werden.

4 Ermittlung der Lageabweichungen von Formmessgeräteachsen

Flatness standards, such as, for example, flats made

of glass or glass ceramic with flatness deviations of

0,02 µm to 0,08 µm, when aligned to the C axis can

also be used to determine perpendicularity devia- tions.

4 Determination of the positional deviations of the axes of form-measuring systems

Die meisten Formmessgeräte besitzen keine einge-

Most form-measuring instruments do not have built-

baute Korrektur der Lageabweichungen der Achsen.

in

correction of the positional deviations of the axes.

Daher wirken sich Lageabweichungen direkt auf das Messergebnis aus. Ein Spezialfall der Lageabwei- chungen sind die Parallelitätsabweichungen. Diese beinhalten definitionsgemäß einen Winkel- und einen Formabweichungsanteil.

This means that positional deviations will have a di- rect effect on the measurement result. Parallelism de- viations are a special case of positional deviation. By definition they contain an angular and a form devia- tion component.

In diesem Abschnitt werden Verfahren beschrieben,

In

this section methods will be described which can

die zur Ermittlung der Lageabweichungen genutzt

be

used to determine positional deviations. The meas-

werden können. Die dabei benutzten Messlinien soll-

uring lines used should be selected such that they cor-

ten dabei so gewählt werden, dass sie den späteren Messlinien im realen Messbetrieb entsprechen.

respond to subsequent measuring lines during actual measurement operations.

Voraussetzung für eine sinnvolle Bewertung der La-

A

reasonable evaluation of positional deviations de-

geabweichungen ist, dass die Überprüfung der Ge-

pends on the linear guidance deviations of the R, Y and

radführungsabweichungen der R-, Y- und Z-Achse gemäß VDI/VDE 2631 Blatt 6 durchgeführt wurde.

Z axes having been checked as per VDI/VDE 2631 Part 6.

Anmerkung 1: Da sich das Gewicht und die Geometrie des Mess- objekts auf die Ermittlung der Lageabweichungen auswirken, sollte dies bei der Auswahl des Normals und der Lage der Messebenen, in denen geprüft wird, berücksichtigt werden. Anmerkung 2: Formabweichungen sind in den Lageabweichungen mit enthalten.

Note 1: Since the weight and the geometry of the measurement ob- ject have an effect on determining the positional deviations, this should be taken into consideration when selecting the standard and the position of the measuring planes in which testing is carried out. Note 2: Form deviations are also contained in the positional devia- tions.

4.1 Parallelität Z- zu C-Achse in C-R-Ebene

4.1 Parallelism of Z axis to C axis in the C-R plane

Die Parallelitätsabweichung von Z zu C in der C-R- Ebene (siehe Bild 2) geht direkt in die Ergebnisse von Parallelitäts-, Zylinderform- und Kegelformmes- sungen in dieser Ebene ein und ist damit bei diesen Messungen ein Einfluss erster Ordnung.

The parallelism deviation of Z to C in the C-R plane (see Figure 2) inputs directly into the results of par- allelism, cylindricity and conicity measurements in this plane and is therefore an influence of the first or- der in these measurements.

an influence of the first or- der in these measurements. Bild 2. Geradheitsmessung zur Ermittlung der

Bild 2. Geradheitsmessung zur Ermittlung der Parallelitätsab- weichung von Z zu C in der C-R-Ebene

Figure 2. Straightness measurement to determine the parallel- ism deviation of Z to C in the C-R plane

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VDI/VDE 2631 Blatt 7 / Part 7

Zur Ermittlung der Abweichung werden zwei Gerad- heitsmessungen an einem Parallelitätsnormal mit um 180° gegeneinander versetzten Messpositionen durchgeführt. Dazu ist es erforderlich, das Paralleli- tätsnormal vorab zur C-Achse auszurichten (Zentrie- ren und Nivellieren). Die Parallelitätsabweichung Z zu C in der C-R-Ebene ergibt sich dann als gemessene Parallelitätsabweichung der Z-Achse mit Bezug C-Achse.

4.2 Parallelität Z- zu C-Achse in C-Y-Ebene

Die Parallelitätsabweichung von Z zu C in der C-Y- Ebene (Bild 3) ist ein Einfluss zweiter Ordnung und wirkt sich in Abhängigkeit vom Radius des Mess- objekts auf Geradheitsmessergebnisse mit der Z-Achse in der C-R-Ebene aus.

Aus Bild 4 lässt sich die Größenordnung dieses Ein- flusses in der C-R-Ebene in Abhängigkeit vom Win- kel zwischen Z- und C-Achse ablesen. So führt z.B. ein Winkel von 0,01° = 36" bei einem Messobjekt- durchmesser von 20 mm und einer Taststrecke von 100 mm zu einer Vergrößerung der Geradheitsabwei- chung um etwa 0,4 µm.

Für Geradheitsmessungen in der C-Y-Ebene ist die Parallelitätsabweichung von Z zu C in dieser Ebene ein Einfluss erster Ordnung (siehe Bild 4).

Die Ermittlung der Parallelität Z zu C in der C-Y- Ebene erfolgt ähnlich wie in Abschnitt 4.1. Abwei- chend dazu wird das Normal auf einer Mantellinie seitlich am Messobjekt in der C-Y-Ebene und nicht in der C-R-Ebene angetastet (Bild 3). Das Messgerät muss dazu eine Tasterschwenkeinrichtung oder eine alternative Tasterhalterung aufweisen. Die Paralleli- tätsabweichung Z zu C in der C-Y-Ebene ergibt sich dann als gemessene Parallelitätsabweichung der Z-Achse mit Bezug C-Achse.

To determine the deviation two straightness measure- ments are made with a parallelism standard in two measuring positions separated by 180°. Here it is nec- essary to align the parallelism standard beforehand to the C axis (centring and levelling). The parallelism deviation of Z to C in the C-R plane is then obtained as the measured parallelism deviation of the Z axis with respect to the C axis.

4.2 Parallelism of Z axis to C axis in the C-Y plane

The parallelism deviation of Z to C in the C-Y plane (Figure 3) is an influence of the second order and depending on the radius of the measurement object has an effect on the straightness measurement results with the Z axis in the C-R plane.

The graph in Figure 4 shows the scale of this influ- ence in the C-R plane as a function of the angle be- tween the Z and C axes. For example, an angle of 0,01° = 36" with a measurement object diameter of 20 mm and a measuring distance of 100 mm results in the straightness deviation being magnified by about 0,4 µm.

As regards straightness measurements in the C-Y plane, the parallelism deviation of Z to C is in this plane an influence of the first order (see Figure 4).

The parallelism of Z to C in the C-Y plane is deter- mined in a similar way to the method described in Section 4.1. One difference is that the standard is scanned along a surface line on the side of the meas- urement object in the C-Y plane and not in the C-R plane (Figure 3). Here the measuring instrument must have a probe swivelling feature or an alternative probe mounting. The parallelism deviation of Z to C in the C-Y plane is then obtained as the measured parallel- ism deviation of the Z axis with respect to the C axis.

ism deviation of the Z axis with respect to the C axis. Bild 3. Geradheitsmessung mit

Bild 3. Geradheitsmessung mit alternativer Tasterhalterung zur Ermittlung der Parallelitätsabweichung von Z zu C in der C-Y- Ebene

Figure 3. Straightness measurement with alternative probe mounting to determine the parallelism deviation of Z to C in the C-Y plane

VDI/VDE 2631 Blatt 7 / Part 7

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VDI/VDE 2631 Blatt 7 / Part 7 – 7 – Bild 4. Abweichung des Kennwerts Geradheitsabweichung

Bild 4. Abweichung des Kennwerts Geradheitsabweichung (STRt) in Abhängigkeit vom Durchmesser des Messobjekts und vom Winkel zwischen Messobjektzylinderachse und Z-Achse (Taststrecke 100 mm)

4.3 Rechtwinkligkeit R- zu C-Achse in C-R-Ebene

Die Rechtwinkligkeitsabweichung der R- zur C-Achse ist ein Einfluss erster Ordnung für Geradheits- und Parallelitätsmessungen mit der R-Achse in der C-R-Ebene (siehe Bild 5).

Zur Ermittlung der Rechtwinkligkeitsabweichung R zu C in der C-R-Ebene wird ein Ebenheitsnormal mit- tels Nivellieren zur C-Achse so ausgerichtet, dass die

Figure 4. Deviation of the straightness deviation parameter (STRt) as a function of the diameter of the measurement object and of the angle between the measurement object cylinder axis and Z axis (measuring distance 100 mm)

4.3 Perpendicularity of R axis to C axis in the C-R plane

The perpendicularity deviation of the R axis to the C axis is an influence of the first order for straight- ness and parallelism measurements with the R axis in the C-R plane (see Figure 5).

To determine the perpendicularity deviation of R to C in the C-R plane a flatness standard is so aligned to the C axis by levelling that the circular runout is min-

the C axis by levelling that the circular runout is min- Bild 5. Geradheitsmessung zur Ermittlung

Bild 5. Geradheitsmessung zur Ermittlung der Rechtwinkligkeits- abweichung R zu C in der C-R-Ebene

Figure 5. Straightness measurement to determine the perpen- dicularity deviation of R to C in the C-R plane

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VDI/VDE 2631 Blatt 7 / Part 7

Planlaufabweichung minimiert wird. Es werden nun zwei Geradheitsmessungen mit der R-Achse in R-Z- Ebene mit um 180° gedrehter C-Achse ausgeführt. Die Rechtwinkligkeits-abweichung ergibt sich aus dem Mittelwert der Steigung der beiden Ausgleichs- geraden. Bild 5 verdeutlicht den Messaufbau. Es ist zu beachten, dass bei der Bauform „R-Achse auf Z-Achse“ diese Rechtwinkligkeitsabweichung von der Z-Position abhängt. Gegebenenfalls muss daher diese Messung für verschiedene Z-Positionen wie- derholt werden.

4.4 Tasterposition

Für die meisten Aufgabenstellungen ist die exakte Zenitposition des Tasters keine entscheidende Ein- flussgröße. Eine Ausrichtung des Tasters nach Au- genmaß ist daher häufig ausreichend. Eine genauere Zeniteinstellung ist jedoch insbesondere bei der Mes- sung kleiner Teile unabdingbar.

Die Zuordnung von Geradheitsmessprofilen zu be- stimmten Winkelpositionen auf dem Messobjekt ge- schieht über die Winkelstellung des Drehtischs. Wenn die Tastkugel gegenüber der Tasterreferenz- position (der Tasterhalterung) an der Z- oder R-Füh- rung signifikant versetzt ist, dann ist diese Zuordnung nicht korrekt. Das Gleiche gilt für die Zuordnung von exakten Winkelpositionen des Drehtischs zu den Pro- filpunkten einer Rundheitsmessung. Allerdings än- dern sich dadurch nicht die Messergebnisse in der ak- tuell angetasteten Spur. Zwei gleiche Messgeräte mit verschiedenem Tasterversatz, die z.B. nominell an der gleichen Messposition eines Messobjekts eine Geradheit messen, könnten hingegen unterschied- liche Ergebnisse liefern.

Die Tasterposition ist außerdem bedeutsam für Form- messgeräte mit zusätzlicher Durchmesseroption, denn bei diesen muss der Taster am höchsten Punkt des Messobjekts (im Zenit) in der C-R-Ebene stehen, u.a. um Abbe-Fehler zu minimieren. Die Tastkugel kann bei diesen Geräten mittels einer Y-Achse in die C-R-Ebene positioniert werden.

4.5 Sonstige Abweichungen

Zusätzliche Abweichungen höherer Ordnung können bei hochgenauen Messungen eine Rolle spielen. Dazu gehören:

• Rechtwinkligkeit R- zu C-Achse in C-Y-Ebene

• Rechtwinkligkeit Y- zu R-Achse in C-Y-Ebene

• Rechtwinkligkeit Y- zu R-Achse in Y-R-Ebene

imized. Two straightness measurements are now car- ried out with the R axis in the R-Z plane with the C axis rotated by 180°. The perpendicularity devia- tion is obtained from the mean value of the slope of the two regression lines. The measuring set-up is shown in Figure 5. It should be noted that in the case of the “R axis on Z axis” arrangement, this perpendic- ularity deviation will depend on the Z position. It may therefore be necessary to repeat this measurement for different Z positions.

4.4 Probe position

For most jobs the exact zenith position of the probe is not an influencing variable of vital importance. Aligning the probe by eye will therefore often be suf- ficient although a more precise zenith setting is indis- pensable when measuring smaller objects in particu- lar.

Straightness measurement profiles are assigned to specific angular positions on the measurement object by means of the angular position of the rotary table. If the probe ball is significantly displaced with respect to the probe reference position (the probe mounting) at the Z or R guide, this assignment will not be cor- rect. The same applies to assigning exact angular po- sitions of the rotary table to the profile points of a roundness measurement run. However the measure- ment results for the track currently being scanned are not changed by this. On the other hand, different re- sults could arise in the case of two identical measur- ing instruments but with different probe displace- ments which are, for example, nominally measuring a measurement object at the same measuring position.

The probe position is furthermore important in the case of form-measuring instruments with an addi- tional diameter option, since here the probe must be located at the highest point of the measurement object (at the zenith) in the C-R plane in order to minimize Abbe errors amongst other things. With this type of instrument the probe ball can be positioned in the C-R plane by means of a Y axis.

4.5 Other deviations

Additional deviations of a higher order can play a rôle in highly precise measurements. These include:

• perpendicularity of R axis to C axis in the C-Y plane

• perpendicularity of Y axis to R axis in the C-Y plane

• perpendicularity of Y axis to R axis in the Y-R plane

VDI/VDE 2631 Blatt 7 / Part 7

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5 Durchführung der Messung und Ergebnisdarstellung

Bei der Bestimmung der Parallelitäts- oder Recht- winkligkeitsabweichung eines Formmessgeräts ist nach einer Prüfanweisung vorzugehen. In dieser sind unter anderem das zu verwendende Normal, die Messbedingungen und die Geräteparameter für das betreffende Formmessgerät festzulegen. Der Aufbau einer Prüfanweisung wird in Anhang A anhand eines Beispiels erläutert.

Um statistische Auswertungen durchführen zu kön- nen, ist es notwendig, die Ergebnisse zu dokumentie- ren. Es wird empfohlen, eine Qualitätsregelkarte zu führen. Über längere Zeit hinweg lassen sich die Messergebnisse statistisch auswerten und so die Messbeständigkeit und vor allem standortbedingte Fehlergrenzen des Geräts erkennen.

Das Messergebnis und dessen Unsicherheit für den gemessenen Wert der Parallelitäts- oder Rechtwink- ligkeitsabweichung müssen zusammen mit den vor- gegebenen Mess- und Auswertebedingungen doku- mentiert werden. Dazu gehören im Wesentlichen:

• Tastelement (Tastdurchmesser, Werkstoff, Form)

• Antastkraft

• Anzahl (oder Abstand) der Antastpunkte

• Messgeschwindigkeit

• Filterparameter

• Auswerteart

• Gültigkeitsgrenzen

• Umgebungsbedingungen

• gemessenes Profil als Diagramm

Zur Verringerung des Aufwands kann im Messproto- koll auf den gültigen Prüfplan verwiesen werden. In Abhängigkeit von den Messergebnissen sind Maß- nahmen einzuleiten. Beispiele hierfür sind in einem Maßnahmenkatalog in Anhang B aufgeführt.

5 Carrying out measurement and the presentation of results

The relevant test instructions should be followed when determining the parallelism or perpendicularity deviation of a form-measuring instrument. Among other things these instructions will specify the stand- ard to be used, the measuring conditions and the in- strument parameters for the form-measuring instru- ment in question. The form taken by test instructions is illustrated in Annex A by means of an example.

Before statistical evaluations can be carried out, re- sults will need to be documented. Keeping a quality control chart is recommended. Measurement results over a relatively long period can be statistically as- sessed and thus reveal the measurement stability and above all the instrument's location-related error mar- gins.

The measurement result and its uncertainty for the value measured for the parallelism or perpendicular- ity deviation must be documented together with the specified measuring and evaluation conditions. These basically include:

• probe element (probe diameter, material, shape)

• contact pressure

• number (or distance) of sensing points

• speed of measurement

• filter parameters

• type of evaluation

• validity limits

• environmental conditions

• measured profile as a diagram

To simplify matters a reference may be given in the test record to the relevant inspection plan. Action should be taken depending on the measurement re- sults. Examples are listed in an action catalogue in Annex B.

– 10 –

VDI/VDE 2631 Blatt 7 / Part 7

Anhang A Aufbau und Ausführung einer Prüfanweisung

Die in den folgenden Beispielen genannten Daten und Zahlenwerte müssen für das jeweils zu überwachende Ge- rät angepasst werden.

Die Prüfanweisung für die Überwachung der Parallelitätsabweichung Z/C in der C-R-Ebene ist wie folgt aufzu- bauen:

Nr.

Benennung

 

Beispiel

0

Titel

Stabilitätsüberwachung für Lageabweichung von Formmessgeräteachsen

1

Allgemeines

 

1.1

Bezeichnung Prüfanweisung

Prüfanweisung „Parallelität Z /C in C-R-Ebene“

1.2

Ausgabedatum, Änderungsstand

Ausgabe X vom JJJJ-MM-TT

1.3

Gerät (Bauart, Typ, Identnummer)

Formmessgerät XYZ

1.4

Identifikation des Normals

Prüfzylinder Nr. XYZ, Kalibrierscheinnummer

1.5

Hinweis

Die Überprüfung der Parallelitätsabweichung Z/C in C-R-Ebene kann zusam- men mit der Überprüfung der Geradführungsabweichung Z erfolgen (siehe hierzu Richtlinie VDI/VDE 2631 Blatt 6).

2

Prüfintervall

 

2.1

Zeitangabe

vierteljährlich

3

Aufnahme des Normals

allgemeine Erläuterungen, Foto, Skizze

3.1

Vorausrichten des Tischs

Mittelstellung aller Ausrichtachsen anfahren.

3.2

Lage

Die 0°-Markierung des Normals (roter Punkt) auf 0° an der Drehtischskala ausrichten.

3.3

Befestigung

Normal an drei um 120° versetzten Stellen unterlegen (Dreipunktauflage). Fixierung des Normals mit geeigneten Mitteln, die die Prüffläche nicht verstellen.

3.4

Zentrierung und Ausrichtung

Achse des Prüfzylinders zentrieren und mittels automatischer Ausrichtprozedur für Zylinder zur C- und Z-Achse ausrichten oder manuell über Rundheits- messungen in zwei Ebenen unter Berücksichtigung der jeweiligen Exzentrizität ausrichten.

4

Tastsystem und Zubehör

 

4.1

Tastsystembezeichnung (eindeutige Zuordnung des Tastsystems über Identifikation)

Tastsystem; Identnummer

4.2

Taststiftbeschreibung (evtl. mit Bild)

• Taststiftlänge (effektiv)

60

mm

• Tastkugeldurchmesser

3

mm

• Tastkugelwerkstoff

Hartmetall

• Schaftdurchmesser

2

mm

4.3

Taststiftlage

etwa 10°geneigt gegenüber Z-Achse

4.4

Antastkraft

50

mN

4.5

Messstelle/Antastebene

bei 0°und 180°am Radius des Normals

VDI/VDE 2631 Blatt 7 / Part 7

– 11 –

Nr.

Benennung

Beispiel

 
     
     
Nr. Benennung Beispiel         Darstellung der Art der Antastung 5 Geräteeinstellung
Darstellung der Art der Antastung

Darstellung der Art der Antastung

5

Geräteeinstellung

 

5.1

Vorschubgeschwindigkeit

5 mm/s

 

5.2

Vorschubrichtung

in positiver Z-Richtung

5.3

Messpunktabstand

30

µm

5.4

Messlänge

100 mm

 

6

Parameter zur Ausrichtung des Normals

 

6.1

Filtercharakteristik

Gaußfilter, 50 %

 

6.2

Grenzwellenlänge

50

W/U

6.3

Exzentrizität (Abstand zwischen Normal- und Drehachse)

< 5 µm

 

7

Auswertung der Messdaten

 

7.1

Filtercharakteristik

Gaußfilter, 50 %

 

7.2

Grenzwellenlänge

LC = 0,8 mm

7.3

Bemerkungen

Auswertverfahren LSLI

8

Darstellung der Messergebnisse

 

8.1

Art der Darstellung (Diagrammform, Zentrierung)

Lineardiagramm

 

Anmerkung: Die Verwendung eines einheitlichen Protokolls erleichtert die Vergleichbarkeit über verschiedene Messungen.

– 12 –

VDI/VDE 2631 Blatt 7 / Part 7

Nr.

Benennung

Beispiel

8.2

Vergrößerung der Darstellung (vertikale Vergrößerung)

1 cm/0,5 µm, 20000-fach

(vertikale Vergrößerung) 1 cm/0,5 µm, 20000-fach 9 Grenzwerte für die Parallelitätsabweichung  
(vertikale Vergrößerung) 1 cm/0,5 µm, 20000-fach 9 Grenzwerte für die Parallelitätsabweichung  
(vertikale Vergrößerung) 1 cm/0,5 µm, 20000-fach 9 Grenzwerte für die Parallelitätsabweichung  
(vertikale Vergrößerung) 1 cm/0,5 µm, 20000-fach 9 Grenzwerte für die Parallelitätsabweichung  
(vertikale Vergrößerung) 1 cm/0,5 µm, 20000-fach 9 Grenzwerte für die Parallelitätsabweichung  
(vertikale Vergrößerung) 1 cm/0,5 µm, 20000-fach 9 Grenzwerte für die Parallelitätsabweichung  

9

Grenzwerte für die Parallelitätsabweichung

 

9.1

Für Grenzwellenlänge LC = 0,8 mm

2 m

10

Dokumentation

 

10.1

Dokumentation der Messergebnisse

siehe hierzu Richtlinie VDI/VDE 2631 Blatt 8

 

11

Maßnahmenkatalog

 

11.1

Maßnahmenkatalog

Beispiel siehe Anhang B

Die Prüfanweisung für die Überwachung der Rechtwinkligkeitsabweichung R/C in der C-R-Ebene ist wie folgt aufzubauen:

Nr.

Benennung

Beispiel

0

Titel

Stabilitätsüberwachung für Lageabweichung von Formmessgeräteachsen

1

Allgemeines

 

1.1

Bezeichnung Prüfanweisung

Prüfanweisung „Rechtwinkligkeit R/C in der C-R-Ebene“

1.2

Ausgabedatum, Änderungsstand

Ausgabe X vom JJJJ-MM-TT

1.3

Gerät (Bauart, Typ, Identnummer)

Formmessgerät XYZ

1.4

Identifikation des Normals

Planglas Nr. XYZ, Kalibrierscheinnummer

1.5

Hinweis

Die Überprüfung der Rechtwinkligkeitsabweichung R /C in der C-R-Ebene kann zusammen mit der Überprüfung der Geradführungsabweichung der Achse R erfolgen.

2

Prüfintervall

 

2.1

Zeitangabe

vierteljährlich

3

Aufnahme des Normals

allgemeine Erläuterungen, Foto, Skizze

3.1

Vorausrichten des Tischs

Mittelstellung aller Ausrichtachsen anfahren.

3.2

Lage

Die 0°-Markierung des Normals (roter Punkt) auf 0° an der Drehtischskala aus- richten.

VDI/VDE 2631 Blatt 7 / Part 7

– 13 –

Nr.

Benennung

 

Beispiel

3.3

Befestigung

Normal an drei um 120° versetzten Stellen unterlegen (Dreipunktauflage). Fixierung des Normals mit geeigneten Mitteln, die die Prüffläche nicht verstel- len.

3.4

Zentrierung und Ausrichtung

Planglas mittels automatischer Ausrichtprozedur zur C-Achse ausrichten.

4

Tastsystem und Zubehör

 

4.1

Tastsystembezeichnung (eindeutige Zuordnung des Tastsystems über Iden- tifikation)

Tastsystem; Identnummer

4.2

Taststiftbeschreibung (evtl. mit Bild)

• Taststiftlänge (effektiv)

60

mm

• Tastkugeldurchmesser

3

mm

• Tastkugelwerkstoff

Hartmetall

• Schaftdurchmesser

2

mm

4.3

Taststiftlage

etwa 10°geneigt gegenüber R-Achse

4.4

Antastkraft

50

mN

4.5

Messstelle/Antastebene

10

mm über Tisch

mN 4.5 Messstelle/Antastebene 10 mm über Tisch Darstellung der Art der Antastung 5 Geräteeinstellung

Darstellung der Art der Antastung

5

Geräteeinstellung

 

5.1

Vorschubgeschwindigkeit

5

mm/s

5.2

Vorschubrichtung

in positiver X-Richtung

5.3

Messpunktabstand

30

µm

5.4

Messlänge

100 mm (symmetrisch um Achsmitte)

6

Parameter zur Ausrichtung des Normals

 

6.1

Filtercharakteristik

Gaußfilter, 50 %

6.2

Grenzwellenlänge

50

W/U

6.3

Planlauf

< 2 µm

7

Auswertung der Messdaten

 

7.1

Filtercharakteristik

Gaußfilter, 50 %

7.2

Grenzwellenlänge

LC = 0,8 mm

7.3

Bemerkungen

Auswertverfahren LSLI

8

Darstellung der Messergebnisse

 

8.1

Art der Darstellung

Lineardiagramm

(Diagrammform, Zentrierung)

Anmerkung: Die Verwendung eines einheitlichen Protokolls erleichtert die Ver- gleichbarkeit über verschiedene Messungen.

– 14 –

VDI/VDE 2631 Blatt 7 / Part 7

Nr.

Benennung

Beispiel

   
   

8.2

Vergrößerung der Darstellung (vertikale Vergrößerung)

1 cm/0,5 µm 20000-fach

9

Eingriffsgrenzen für die Rechtwinkligkeitsabweichung

 

9.1

Für Grenzwellenlänge LC = 0,8 mm

0,2 m

10

Dokumentation

 

10.1

Dokumentation der Messergebnisse

siehe hierzu Richtlinie VDI/VDE 2631 Blatt 8

11

Maßnahmenkatalog

 

11.1

Maßnahmenkatalog

Beispiel siehe Anhang B

VDI/VDE 2631 Blatt 7 / Part 7

– 15 –

Annex A Structure und execution of test instructions

The data and figures given in the following examples will need to be modified for the particular instrument under examination.

The test instructions for monitoring the parallelism deviation of Z/C in the C-R plane should be structured as fol- lows:

No.

Designation

 

Example

0

Title

stability monitoring of positional deviation of the axes of form-measuring systems

1

General

 

1.1

Designation of test instructions

test instructions “Parallelism Z/C in the C-R plane”’

1.2

Date of issue, version

edition X dated YYYY-MM-DD

1.3

Instrument (type, model, ID number)

form-measuring system XYZ

1.4

Identification of the standard

test cylinder no. XYZ, calibration certificate number

1.5

Note

Checking the parallelism deviation for Z/C in the C-R plane can be carried out at the same time as checking the linear guidance deviation for Z (in this connection see guideline VDI/VDE 2631 Part 6).

2

Testing frequency

 

2.1

Time

every three months

3

Installation of the standard

general explanatory material, photograph, sketch

3.1

Prealignment of the table

Go to midpoint of all alignment axes.

3.2

Position

Align the standard’s 0° marking (red spot) with 0° on the rotary table scale.

3.3

Attachment

Support standard at three points separated by 120° (three-point support). Fix the standard in place using a suitable means which will do not shift the test surface.

3.4

Centring and alignment

Centre the axis of the test cylinder and using the automatic alignment procedure for cylinders align to the C and Z axes or align manually via circularity measure- ments in two planes taking the corresponding eccentricity into account.

4

Probe system and accessories

 

4.1

Probe system designation (unique assignment of the probe system via identification)

probe system; ID number

4.2

Probe pin description (possibly with picture)

• length of probe pin (effective)

60

mm

• probe ball diameter

3

mm

• probe ball material

Hard metal

• shaft diameter

2

mm

4.3

Position of probe pin

at an angle of about 10°to the Z axis

4.4

Contact force

50

mN

4.5

Measurement point/sensing plane

at 0°and 180°on the radius of the standard

– 16 –

VDI/VDE 2631 Blatt 7 / Part 7

No.

Designation

Example

 
     
     
     
 
 

diagram of sensing configuration

5

Instrument settings

 

5.1

Advance rate

5 mm/s

 

5.2

Direction of advance

in positive direction along Z axis

5.3

Measuring point distance

30

µm

5.4

Measurement length

100 mm

 

6

Parameters for aligning the standard

 

6.1

Filter characteristics

Gauss filter, 50 %

 

6.2

Wavelength cut-off

50

W/U

6.3

Eccentricity (distance between standard axis and axis of rotation)

< 5 µm

 

7

Evaluation of measured data

 

7.1

Filter characteristics

Gauss filter, 50 %

 

7.2

Wavelength cut-off

LC = 0,8 mm

7.3

Comments

LSLI evaluation procedure

8

Presentation of measurement results

 

8.1

Type of presentation (diagram, centring)

linear diagram

 

Note: Using a standard report form makes it easier to compare different sets of measurements.

VDI/VDE 2631 Blatt 7 / Part 7

– 17 –

No.

Designation

Example

8.2

Magnified version of the presentation (vertical magnification)

1 cm/0,5 µm, magnified × 20 000

 
1 cm/0,5 µm, magnified × 20 000     9 Limit values for the parallelism deviation
1 cm/0,5 µm, magnified × 20 000     9 Limit values for the parallelism deviation
1 cm/0,5 µm, magnified × 20 000     9 Limit values for the parallelism deviation
1 cm/0,5 µm, magnified × 20 000     9 Limit values for the parallelism deviation
1 cm/0,5 µm, magnified × 20 000     9 Limit values for the parallelism deviation
 
 

9

Limit values for the parallelism deviation

 

9.1

For wavelength cut-off LC = 0,8 mm

2 m

10

Documentation

 

10.1

Documentation of measurement results

in this connection see guideline VDI/VDE 2631 Part 8

 

11

Catalogue of actions

 

11.1

Catalogue of actions

example see Annex B

The test instructions for monitoring the perpendicularity deviation of R/C in the C-R plane should be structured as follows:

No.

Designation

example

0

Title

stability monitoring of positional deviation of the axes of form-measuring systems

1

General

 

1.1

Designation of test instructions

test instructions “Perpendicularity R/C in the C-R plane”

1.2

Date of issue, version

edition X dated YYYY-MM-DD

1.3

Instrument (type, model, ID number)

form-measuring system XYZ

1.4

Identification of the standard

optical flat no. XYZ, calibration certificate number

1.5

Note

Checking the perpendicularity deviation for R/C in the C-R plane can be carried out at the same time as checking the linear guidance deviation for the axis R.

2

Testing frequency

 

2.1

Time

every three months

3

Installation of the standard

general explanatory material, photograph, sketch

3.1

Prealignment of the table

Go to midpoint of all alignment axes.

3.2

Position

Align the standard’s 0° marking (red spot) with 0° on the rotary table scale.

3.3

Attachment

Support standard at three points separated by 120° (three-point support). Fix the standard in place using a suitable means which will do not shift the test surface.

3.4

Centring and alignment

Align optical flat to C axis by means of automatic alignment procedure.

– 18 –

VDI/VDE 2631 Blatt 7 / Part 7

No.

Designation

 

Example

4

Probe system and accessories

 

4.1

Probe system designation (unique assignment of the probe system via identification)

probe system; ID number

4.2

Probe pin description (possibly with picture)

• length of probe pin (effective)

60

mm

• probe ball diameter

3

mm

• probe ball material

hard metal

• shaft diameter

2

mm

4.3

Position of probe pin

at an angle of about 10°to the R axis

4.4

Contact pressure

50

mN

4.5

Measurement point/sensing plane

10

mm above table

Measurement point/sensing plane 10 mm above table diagram of sensing configuration 5 Instrument settings

diagram of sensing configuration

5

Instrument settings

 

5.1

Advance rate

5

mm/s

5.2

Direction of advance

in positive direction along X axis

5.3

Measuring point distance

30

µm

5.4

Measurement length

100 mm (symmetrically about the axis centre)

6

Parameters for aligning the standard

 

6.1

Filter characteristics

Gauss filter, 50 %

6.2

Wavelength cut-off

50

W/U

6.3

Run-out

< 2 µm

7

Evaluation of measured data

 

7.1

Filter characteristics

Gauss filter, 50 %

7.2

Wavelength cut-off

LC = 0,8 mm

7.3

Comments

LSLI evaluation procedure

8

Presentation of measurement results

 

8.1

Type of presentation (diagram, centring)

linear diagram

Note: Using a standard report form makes it easier to compare different sets of measurements.

VDI/VDE 2631 Blatt 7 / Part 7

– 19 –

No.

Designation

Example

   
   

8.2

Magnified version of the presentation

1 cm/0,5 µm, magnified × 20000

(vertical magnification)

9

Intervention limits for the perpendicularity deviation

 

9.1

For wavelength cut-off LC = 0,8 mm

0,2 m

10

Documentation

 

10.1

Documentation of measurement results

in this connection see guideline VDI/VDE 2631 Part 8

11

Catalogue of actions

 

11.1

Catalogue of actions

example see Annex B

– 20 –

VDI/VDE 2631 Blatt 7 / Part 7

Anhang B Maßnahmenkatalog (Beispiel)

Nr.

Beobachtung

Maßnahme

1

Bei drei aufeinander folgenden Messungen der Geradführungsabweichung bleiben die Mess- werte innerhalb der Eingriffsgrenzen.

• Verlängerung des Prüfintervalls (Prüfanweisung Nr. 2 in Anhang A)

• Eintrag in Qualitätsregelkarte

• Ein Prüfintervall von XX Arbeitstagen darf nicht überschritten werden.

2

Eine Eingriffsgrenze wird überschritten.

• Die Messung ist zweimal zu wiederholen.

• Tritt bei den Wiederholungen keine Überschreitung auf, so gilt das Gerät als in Ordnung.

• Alle Wiederholmessungen sind in der Qualitätsregelkarte zu dokumen- tieren.

• Das Prüfintervall ist zu verkürzen.

3

Bei einer Wiederholmessung wird die Eingriffs- grenze nochmals überschritten.

• Es ist nach der Ursache zu suchen und diese zu beseitigen.

• Eintrag in Qualitätsregelkarte

 

• Nach Beseitigung der Ursache ist die Prüfung zu wiederholen.

• Als Prüfintervall wird das Anfangsprüfintervall festgelegt (Prüfanweisung Nr. 2 in Anhang A).

4

Überschreiten der Eingriffsgrenzen bei den Grenzwellenlängen < 0,8 mm

• Ursache sind meist selbst- oder fremderregte Schwingungen.

• Suche nach Schwingungserregern und Überprüfung der Dämpfungs- eigenschaften.

 

• Die Ursache ist zu beseitigen.

• Eintrag in Qualitätsregelkarte

• Nach Beseitigung der Ursache ist die Prüfung zu wiederholen.

• Als Prüfintervall wird das Anfangsprüfintervall festgelegt (Prüfanweisung Nr. 2 in Anhang A).

5

Überschreiten der Eingriffsgrenzen bei allen Grenzwellenlängen

• Ursache kann eine ungenügende Ausrichtung sein.

• Ausrichtung wiederholen.

 

• Eintrag in Qualitätsregelkarte

• Nach Beseitigung der Ursache ist die Prüfung zu wiederholen.

• Als Prüfintervall wird das Anfangsprüfintervall festgelegt (Prüfanweisung Nr. 2 in Anhang A).

Anmerkung: Werden neue Abweichungsursachen erkannt und Maßnahmen definiert, so sind diese in den Maßnahmenkatalog aufzunehmen.

VDI/VDE 2631 Blatt 7 / Part 7

– 21 –

Annex B Catalogue of actions (example)

No.

Observation

Action to be undertaken

1

With three successive measurements of the linear guidance deviation the measured values remain within the intervention limits.

• prolongation of the testing frequency (No. 2 test instructions in Annex A)

• entry in quality control chart

 

• A testing frequency of at least XX working days must be observed.

2

An intervention limit has been crossed.

• The measurement should be repeated twice.

• If the violation does not recur during the repeat measurements, the equipment will be regarded as OK.

• All repeat measurements must be documented in the quality control chart.

• The testing frequency should be increased.

3

During a repeat measurement the intervention limit is still being exceeded.

• The cause of the problem should be identified and corrected.

• entry in quality control chart

 

• Once the cause has been corrected, the test should be repeated.

• The initial testing frequency is specified as the testing frequency (No. 2 test instructions in Annex A).

4

Intervention limits are being exceeded with wavelength cut-off < 0,8 mm.

• The cause in most cases is self- or externally excited vibrations.

• Find the vibration exciters and check damping properties.

 

• The cause should be corrected.

• entry in quality control chart

• Once the cause has been corrected, the test should be repeated.

• The initial testing frequency is specified as the testing frequency (No. 2 test instructions in Annex A).

5

Intervention limits are being exceeded with all wavelengths.

• The cause could be unsatisfactory alignment.

• Repeat alignment procedure.

 

• entry in quality control chart

• Once the cause has been corrected, the test should be repeated.

• The initial testing frequency is specified as the testing frequency (No. 2 test instructions in Annex A).

Note: If new causes of deviation are found and action to be undertaken defined, these should be added to the catalogue of actions.

– 22 –

VDI/VDE 2631 Blatt 7 / Part 7

Schrifttum / Bibliography

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Beuth Verlag DIN ISO 6318:1987-09 Rundheitsmessung; Begriffe und Kenngrö- ßen für die Rundheit; Identisch mit ISO 6318, Ausgabe 1985 (Measurement of roundness; terms, definitions and parameters of roundness; identical with ISO 6318, edition 1985). Berlin: Beuth Verlag. Zurückgezogen: 2005-07. Nachfolgedokumente / Follo- wing documents DIN EN ISO 12181-1:2011-07 Geometrische Pro- duktspezifikation (GPS); Rundheit; Teil 1: Begriffe und Kenngrö- ßen der Rundheit (ISO 12181-1:2011); Deutsche Fassung EN

(Geometrical product specifications (GPS);

ISO 12 181-1:2011

Roundness; Part 1: Vocabulary and parameters of roundness (ISO 12181-1:2011); German version EN ISO 12 181-1:2011). Berlin: Beuth Verlag. DIN EN ISO 12181-2:2011-07 Geometrische Produktspezifikation (GPS); Rundheit; Teil 2: Spezifikationsopera- toren (ISO 12181-2:2011); Deutsche Fassung EN ISO 12181-2:

2011 (Geometrical product specifications (GPS); Roundness; Part 2: Specification operators (ISO 12181-2:2011); German ver- sion EN ISO 12 181-2:2011). Berlin: Beuth Verlag DIN EN ISO 11562:1998-09 Geometrische Produktspezifikationen (GPS); Oberflächenbeschaffenheit: Tastschnittverfahren; Meßtech- nische Eigenschaften von phasenkorrekten Filtern (ISO 11562:

1996); Deutsche Fassung EN ISO 11562:1997 (Geometrical Prod- uct Specifications (GPS); Surface texture: Profile method; Metro- logical characteristics of phase correct filters (ISO 11 562:1996); German version EN ISO 11562:1997). Berlin: Beuth Verlag VDI 1000:2010-06 VDI-Richtlinienarbeit; Grundsätze und Anlei- tungen (VDI Guideline Work; Principles and procedures). Berlin: