Tesis

Generador Piroeléctrico basado en ZnO
Tesis Profesional para obtener el grado de:

Ingeniero Electrónico
Presenta:
Bernardo Rangel Ramírez
Universidad Autónoma de San Luis Potosí

Facultad de Ciencias
Laboratorio Nacional de Ciencias y Tecnología de Terahertz
Asesores:
Dr. Francisco Javier González Contreras
Dr. Gabriel González Contreras
Enero 2019
Dedicatoria
Dedicado a
mis Papás
I
Agradecimientos
A mis padres, hermanas y familia por su apoyo incondicional.
A los doctores Gabriel Gonzáles y Francisco Javier Gonzáles por dejarme

ser parte de su equipo de trabajo y abrirme las puertas de su laboratorio.
A los doctores John Sanchez, Javier Mendez y al Mtro Juan Roberto por
su conocimiento.
A mis amigos, compañeros de universidad y compañeros de laboratorio.
II
Índice general
Agradecimientos II
Lista de figuras IV
Lista de tablas VI
Introducción 1
1 Marco Teorico 8
1.1 Recolectores de energía . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.1.1 Partes de un sistema recolector de energía . . . . . . . . 9
1.1.2 Diferentes tipos de recolectores de energía . . . . . . . . 10
1.1.2.1 Recolectores de energía mecánica . . . . . . . . . 10
1.1.2.2 Recolectores de energía electromagnética . . . . 12
1.1.2.3 Recolectores de energía óptica . . . . . . . . . . 12
1.1.2.4 Recolectores de energía térmica . . . . . . . . . 13
1.1.3 Aplicaciones de recolectores de energía . . . . . . . . . . 13
1.1.4 Aplicaciones de recolectores en el cuerpo humano . . . . . 14
1.2 Recolectores de energía piroeléctrica . . . . . . . . . . . . . . . . 16
1.2.1 Piroelectricidad . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
1.2.2 Teoría del efecto piroeléctrico . . . . . . . . . . . . . . . 17
1.2.2.1 Leyes del efecto piroeléctrico . . . . . . . . . . . 17
1.2.2.2 Propiedades de los piroeléctricos . . . . . . . . . 18
III
IV ÍNDICE GENERAL
1.3 Materiales piroeléctricos . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19

1.3.1 Monocristales . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
1.3.2 Cerámicos . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
1.3.3 Polímeros . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
2 Metodologia y Fabricacion 25
2.1 Materiales y Metodología . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
2.2 Síntesis de nanobarras de ZnO hidrotermal asistida por microon-
das (Nanorods) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
2.3 Fabricación por fotolitografía . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
2.3.1 Preparación Del sustrato . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
2.3.2 Grabado de Diseño . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
2.3.3 Depósito de ZnO . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
2.3.4 Recubrimiento y despegado . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
3 Caracterización y Resultados 36
3.1 Caracterización SEM . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
3.2 Caracterización EDS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
3.3 Caracterización eléctrica . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
3.3.1 Comparación contra aluminio . . . . . . . . . . . . . . . . 42
3.3.2 Comparación con otros dispositivos . . . . . . . . . . . . . 44
3.3.3 Eficiencia . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
3.4 Resultados . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
4 Conclusiones y trabajos a futuro 47
IV
Índice de figuras
1 Diferentes tipos de dispositivo electrónicos . . . . . . . . . . . . . 2

2 Escala de medidas . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
3 Energías Renovables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.1 Componentes básicos de recolectores de energía. . . . . . . . . . . 9

1.2 Diferentes tipos de energía y sus respectivos transductores para
su conversión a energía eléctrica. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.3 Circuito de recolección de energía piezoeléctrica . . . . . . . . . . 11
1.4 Esquema de bloques de un recolector electromagnético. . . . . . . 12
1.5 Energía consumida en actividades que realizan algunas partes del
cuerpo y cantidad que se puede recuperar. . . . . . . . . . . . . . 16
1.6 Arreglo con material piroeléctrico como un Metal-Pirosimple-Metal 19
1.7 Monocristal de ZnO tipo Wursita con estructura hexagonal. . . . 22
1.8 Titanato de Bario. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
1.9 Tubo termoplástico de polifloruro de vinilideno (PVDF). . . . . . 24
2.1 Diagrama de Proceso de fabricación de Dispositivo . . . . . . . . 25

2.2 Microondas Mars 6, rampa de tratamiento térmico para la ob-
tención de nanoestructuras de oxido de zinc . . . . . . . . . . . 26
2.3 Esquema de síntesis hidrotermal vía microonda . . . . . . . . . . 27
2.4 Diseño de Grabado de hexágonos vía EBL. . . . . . . . . . . . . 31
2.5 Herramientas para la creación de las estructuras hexagonales Mi-
croscopio electrónico Inspect F50 resina fotosensible y Spincoat-
ing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
2.6 Diagrama de deposito de ZnO . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
V
VI ÍNDICE DE FIGURAS
2.7 Flujo de proceso de grabado de Hexágonos 1/3 . . . . . . . . . . 33

2.10 Imagen de sustrato sin depósito de ZnO . . . . . . . . . . . . . . 34
2.11 Imagen de sustrato con depósito de ZnO . . . . . . . . . . . . . . 35
3.1 Microscopio de barrido electrónico Inspect F50 . . . . . . . . . . 36

3.2 Fotografía del arreglo periódico de hexagonos via SEM . . . . . . 37
3.3 Fotografía morfológica de los hexágonos vía SEM . . . . . . . . . 38
3.4 Caracterización vía EDS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
3.5 Esquema de caracterizacion electrica propuesta. Keithley Model
2401. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
3.6 Fotografias del Experimento . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
3.7 Gráfica de voltaje. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41
3.8 Gráfica de corriente. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41
3.9 Gráfica de potencia. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
3.10 Diagrama de medición de aluminio . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
3.11 Gráfica de voltaje contra aluminio. . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
3.12 Gráfica de corriente contra aluminio. . . . . . . . . . . . . . . . . 43
3.13 Gráfica de potencia contra aluminio. . . . . . . . . . . . . . . . . 43
3.14 Tabla comparativa contra otros dispositivos similares en la actu-
alidad. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
3.15 Calculo de eficiencia. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
3.16 Comparación de eficiencia con dispositivos similares. . . . . . . 45
4.1 Propuestas a futuro. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
VI
Índice de tablas
1.1 Demanda potencial eléctrica de algunos implantes médicos. . . . 14

1.2 Energía humana utilizada en distintas actividades. . . . . . . . . 15
1.3 Propiedades de los materiales piroeléctricos. . . . . . . . . . . . 20
1.4 Propiedades de Monocristales. Coeficiente piroeléctrico, con-
stante dieléctrica y temperatura de Curie . . . . . . . . . . . . . 22
1.5 Propiedades de cerámicos. Coeficiente piroeléctrico, Constante
dieléctrica y temperatura de Curie . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
1.6 Propiedades de polímeros. Coeficiente piroeléctrico, Constante
dieléctrica y temperatura de Curie . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
2.1 Tabla con las diferentes morfologías y concentraciones de nano-

barras de ZnO. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
VII
Introducción
El mundo que conocemos en los últimos años ha presentado grandes cambios

en el desarrollo de dispositivos electrónicos personales (DEP). Su creciente de-
manda ha traído como consecuencia la fabricación de miles de millones de estos
dispositivos, gracias a su portabilidad, practicidad y a su uso casi masivo para
las comunicaciones, el entretenimiento, la medicina y en general para la mayoría
de las actividades que realiza el hombre en su día a día [1].
El inconveniente o la desventaja que suelen presentar la mayoría de los
DEP ´s es la gran demanda energética necesaria para ser alimentados. Por esta
misma razón resulta un desafío solucionar o implementar alternativas que per-
mitan almacenar y/o generar mayor cantidad de energía que permitan solventar
el consumo de electricidad [2].
En la actualidad las fuentes de energía más comunes son las baterías
y los capacitores, ambos tienen la función de almacenar energía eléctrica, el
primero lo hace de forma química y el segundo permite almacenar energía en
materiales dieléctricos, sin embargo, salen a la vista 2 inconvenientes de estas
fuentes recolección de energía cuales son:
• El tiempo de vida útil limitado.
• La dificultad para desecharlos correctamente sin hacer un daño a nuestro

medio ambiente.
A estos inconvenientes se le puede agregar la creciente preocupación en el

incremento de las emisiones de carbono de las fuentes de energía fósil. Debido a
esta problemática las investigaciones se han centrado en el estudio de energías
verdes o energías renovables que se encuentran en nuestro medio ambiente: como
1
2 ÍNDICE DE TABLAS
es la energía eólica la energia solar y la energía hidráulica. Sin embargo, estas

últimas representan un gran costo a corto plazo, y es necesario contar con una
zona privilegiada para la instalación de este tipo de estructuras [3]. Los recolec-
tores de energía renovable resultan una solución a las demandas energéticas y
las energías alternativas que no dañan al medio ambiente, resultan de bajo costo
y pueden ser implementados en cualquier zona. Esto permite la realización de
iniciativas para las áreas de investigación y permite la incorporación de este
tipo de tecnología en el sector industrial por su prometedor futuro. Por su
funcionamiento permiten la recolección de energía desperdiciada en el ambiente
y son considerados una gran alternativa para proveer energía eléctrica de bajo
poder a dispositivos electrónicos (dispositivos móviles, sensores, GPS, etc.) [4].
Figura 1: Diferentes tipos de dispositivo electrónicos
Las grandes revoluciones tecnológicas, como la industrial del S. XVIII y

la tecnológica basada en el transistor de estado sólido y los semiconductores del
siglo XX, han demostrado cómo pueden cambiar de manera drástica la vida del
ser humano en todos sus aspectos, y han dejado como enseñanza que las ráp-
idas transformaciones científicas y tecnológicas requieren de otros paradigmas
para educar las nuevas generaciones de estudiantes, científicos y líderes de la
academia y de la industria. La nanociencia y la nanotecnología son dos, relati-
vamente, recientes disciplinas definidas en la escala de longitud donde científicos
e ingenieros de múltiples campos descubren fascinantes fenómenos y aplicaciones
y nos proveen con nuevas y exquisitas herramientas para diseñar novedosos ma-
2
ÍNDICE DE TABLAS 3
teriales y componentes en electrónica, y avances fundamentales y aplicaciones

en la física, la química, la biología molecular, la medicina, el medio ambiente,
las industrias químicas, las farmacéuticas, etc [44].
Imaginemos lo que se podría hacer si se pudieran construir objetos a
la manera que trabaja la naturaleza, átomo por átomo y molécula a molécula.
Solamente vislumbrar la posibilidad es fascinante. Actualmente, la investigación
en ciencia de materiales nano-estructurados o nanotecnologías es un vasto y
activo campo de investigación, tanto en ciencia básica como aplicada, con un
alto grado de competencia académica y tecnológica [44].
¿Qu se quiere decir al utilizar el prefijo nano en nuestro léxico? En
términos sencillos, nano es un prefijo griego que significa "enano" y al usarlo en
términos y conceptos denota una amplia gama de fenómenos y objetos cuyas
dimensiones son de una millonésima parte de un milímetro (1x109 mts). Hablar
de objetos de esa magnitud, sólo puede referir a átomos y moléculas, un diminuto
universo cuyas leyes es necesario explicar [44].
Pero antes se describirán brevemente las más importantes características
que distinguen a la nanociencia y las nanotecnologías [44].
Figura 2: Escala de medidas
Nanociencia es el estudio de los fenómenos y la manipulación de ma-

teriales a escala nanométrica. Nanotecnología es el diseño, caracterización y
aplicación de estructuras, dispositivos y sistemas complejos mediante el control
de la forma, el tamaño y las propiedades de la materia a escala nanométrica.
Puesto que el término "nanotecnología" abarca un amplio rango de herramientas,
técnicas y potenciales aplicaciones, algunos científicos encuentran más apropi-
ado llamarlas nanotecnologías, y entre las disciplinas que convergen en ellas se
3
4 ÍNDICE DE TABLAS
encuentran la química, la física, la biología, la medicina y la ingeniería, entre

otras [44].
Con la reciente incorporación de la nanociencia, la tendencia en el desar-
rollo de la electrónica portátil a menor escala, enfocada hacia un bajo potencial
de consumo han permitido la creación de nuevas tecnologías que cosechan en-
ergía residual del medio ambiente como fuentes autosuficientes y sostenibles. A
este nuevo campo emergente de nanoenergía, se ocupa la aplicación de nanoma-
teriales y nanotecnología para cosechar energía para alimentar micro y nanosis-
temas [5]. Dentro de estas alternativas energéticas encontramos los dispositivos
llamados recientemente nanogeneradores, en donde su recolección de energía
radica en los siguientes efectos:
• Piezoeléctricidad.
• Triboeléctricidad.
• Piroeléctricidad.
Los nanogeneradores Piezoeléctricos (PENG, por su siglas en inglés) gen-

eran energia electrica cuando se deforman o estresan y los nanogeneradores
Triboeléctricos (TENG) funcionan mediante un tipo de electrificación que es
causado por otro material, normalmente por el frotamiento directo, han desar-
rollado exitosamente la recolección de varias formas de energía mecánica a nue-
stro alrededor, el nivel de energía de salida de recolección ha sido incrementado
progresivamente con la optimización de materiales y de estructura de diseño,
sin embargo, para los P EN G´s y T EN G´s todavía ha sido un gran desafío la
fiabilidad de los dispositivos que se ven amenazados por el constante desgaste al
que se ven expuesto por la naturaleza de la acción de trabajo de su recolección
debido contacto y la constante deformación a los que son sometidos [6, 7].
La energía térmica es una fuente de energía muy común. El calor des-
perdiciado existe ampliamente en el entorno natural y en nuestra vida diaria
como la energía solar fototérmica o hasta cuando exhalamos en un día frio,
la recolección de calor perdido proporcionaría una opción significativa para la
energía verde y renovable [8].
Pero a pesar de que la energía térmica es una fuente bastante conocida,
el calor sigue siendo una fuente de energía ambiental que a menudo se des-
perdicia como calor residual de baja calidad [9]. Para resolver el problema
del desperdicio de calor residual los termoeléctricos resultan una solución am-
pliamente utilizada, considerados como un medio para convertir gradientes de
4
ÍNDICE DE TABLAS 5
temperatura en energía eléctrica utilizando el efecto Seebeck el cual consiste

en generar corriente eléctrica sometiendo la unión de 2 metales diferentes a
una diferencia de temperaturas. Sin embargo, para la situación donde no hay
gradiente de temperatura espacial, es difícil emplear materiales termoeléctricos
para la conversión de energía. Por otra parte, un área muy poco investigada
son los generadores piroeléctricos (PYNGťs) en los cuales las fluctuaciones de
temperatura se convierten en energía eléctrica [7, 8].
Figura 3: Energías Renovables
Recientemente los PYNGs han desarrollado métodos de recolección de en-

ergía limpia usando materiales piroeléctricos (MP) como Óxido de Zinc (ZnO),
Titanato de Zirconato de Plomo(PZT), Polifloruro de Vinilideno (PVDF) entre
otros; para el diseño y fabricación de dispositivos de esta índole [7].
El presente trabajo propone el diseño y la fabricación de un dispositivo
cuyo funcionamiento dependa de las propiedades piroeléctricas, para la recolec-
ción de energía en forma de calor. Para una familiarización de los temas que se
describirán en este trabajo se dará una explicación de los colectores de energía,
donde se incluye cuáles son los que se utilizan actualmente.
Objetivo General
El objetivo de este trabajo es diseñar, fabricar y caracterizar un disposi-

tivo piroelétrico que permita transformar los cambios de temperatura en energía
eléctrica, también sintetizar el material piroelectrico(ZnO)que se utilizara en el
5
6 ÍNDICE DE TABLAS
dispositivo haciendo usos de sus propiedades físicas como su buena conductivi-

dad térmica, eléctrica y piroelectricidad.
Objetivos Específicos
• Evaluar el potencial de distinto materiales piroeléctricos que permitan un

funcionamiento óptimo del PYNG.
• Síntesis del Material piroeléctrico.
• Diseño y fabricación de PYNG.
• Caracterización vía SEM. (Scanning Electron Microscope)Caracterización

vía Análisis Elemental EDS. (Energy Dispersive X-Ray Analysis)y Carac-
terización eléctrica del dispositivos.
Planteamiento del problema
Debido a la demanda energética de los hidrocarburos y la búsqueda de

tecnologías que no contaminen el medio ambiente, existe la necesidad de encon-
trar o implementar técnicas que permitan aprovechar la energía calorífica que
se desperdicia de una forma limpia y sin afectar el medio.
Los piroeléctricos resultan ser una alternativa para la solución de per-
dida de calor residual como el cuerpo humano, motores, calefactores, etc. Este
trabajo propone un PYNG con un material piroeléctrico de bajo costo y no
contaminante.
Justificación
Los problemas ecológicos causados por las tecnologías de los hidrocar-

buros como la contaminación y el calentamiento global nos han impulsado a
la búsqueda de nuevas fuentes de energías limpias y renovables. Este trabajo
propone un generado piroeléctrico que cumple con estas demandas. Este dis-
positivo funciona en base a una propiedad física llamada efecto piroeléctrico el
6
ÍNDICE DE TABLAS 7
cual nos permite aprovechar la energía calorífica excedente en el ambiente. El

prototipo que se describirá en los siguientes capítulos se fabricó con ZnO. El
ZnO es un material que muestra propiedades semiconductoras y piroeléctricas
sin mencionar que es un buen conductor térmico y no tiene un impacto negativo
en el ambiente. Con respecto a este material han habido importantes avances en
el diseño y desarrollo de nanoestructuras como nanocables y nanobarras para
una gran variedad de aplicaciones en la nanotecnologia y a esto se le puede
agregar el bajo costo de fabricación.
7
Capitulo 1
Marco Teorico
1.1 Recolectores de energía

La recolección de energía es la captura y conversión de pequeñas cantidades de
energía disponible en el ambiente en energía eléctrica utilizable. Con la energía
eléctrica generada comúnmente se condiciona para uso directo o se acumula y
almacena para un uso posterior. Esto proporciona una fuente alternativa de
energía para las aplicaciones en lugares donde no hay energía de la red y es
ineficiente instalar turbinas eólicas o paneles solares [12]. Además de la energía
solar exterior, no hay pequeñas fuentes de energía que proporcionen una gran
cantidad de energía. Sin embargo, la energía capturada con los recolectores
se adecua para la mayoría de las aplicaciones inalámbricas, sensores remotos,
implantes corporales, RFID y otras aplicaciones en los segmentos inferiores del
espectro de potencia. E incluso si la energía que se recupera es baja o insuficiente
para alimentar un dispositivo, aún se puede utilizar para extender la vida útil de
una batería [12]. La mayoría de los componentes electrónicos de baja potencia,
como los sensores remotos y los dispositivos integrados, funcionan con baterías.
Desafortunadamente, incluso las baterías de larga duración tienen una vida útil
limitada y deben reemplazarse cada pocos años. Los reemplazos se vuelven cos-
tosos cuando hay cientos de sensores en ubicaciones remotas. Las tecnologías
de recolección de energía, por otro lado, proporcionan una vida útil ilimitada de
los equipos de baja potencia y eliminan la necesidad de reemplazar las baterías
cuando es costoso, poco práctico o peligroso. La mayoría de las aplicaciones
de recolección de energía están diseñadas para ser autosustentables, rentables
8
CAPITULO 1. MARCO TEORICO 9
y requerir pocos o ningún servicio durante muchos años. Además, la potencia

se utiliza más cerca de la fuente, eliminando así las pérdidas de transmisión y
los cables largos. Si la energía es suficiente para alimentar el dispositivo direc-
tamente, la aplicación o dispositivo alimentado por la energía puede funcionar
sin batería [12].
1.1.1 Partes de un sistema recolector de energía

El proceso de recolección de energía toma diferentes formas basadas en la fuente,
cantidad y tipo de energía que se convierte en energía eléctrica. En su forma
más simple, el sistema de recolección de energía requiere una fuente de energía
como calor, luz o vibración, y los siguientes tres componentes claves:
Figura 1.1: Componentes básicos de recolectores de energía.
1. Transductor / cosechadora: esta es la cosechadora de energía que recolecta

y convierte la energía de la fuente en energía eléctrica. Los transductores
típicos incluyen fotovoltaica para luz, termoeléctrica para calor, inductiva
para magnética, RF para radiofrecuencia y piezoeléctrica para vibraciones
/ energía cinética.
2. Almacenamiento de energía: como una batería o un supercondensador.
3. Administración de energía: esto condiciona la energía eléctrica en una

forma adecuada para la aplicación. Los acondicionadores típicos incluyen
9
10 CAPITULO 1. MARCO TEORICO
reguladores y circuitos de control complejos que pueden administrar la

energía, en función de las necesidades de energía y la potencia disponible
[12].
1.1.2 Diferentes tipos de recolectores de energía

Según la clasificación dada por Penelle y Gasulla[13] existen diferentes tipos
de Colectores de energía, los clasifican de acuerdo con el tipo de energía que
usan para su funcionamiento de esta forma se pueden encontrar cinco posibles
grupos: Mecánicos, Magnéticos, Radiantes, térmicos y bioquímicos. Dentro de
los mecánicos podemos encontrar a los que usan la presión, la cinética, las vi-
braciones y las diversas actividades humanas como principal fuente de energía.
Los magnéticos consisten en la conmutación de la magnetización de la zona cen-
tral de un hilo ferromagnético cuando éste está sometido a un campo magnético
extenso interno. Los radianes usan la radiación tanto electromagnética como óp-
tica para generar energía eléctrica a través de celdas fotovoltaicas, inducción de
bobinas y antenas. Los térmicos usan elementos piroeléctricos y termoeléctricos
para generar energía. Los bioquímicos lo hacen desde las reacciones electro-
químicas [13].
La recolección de energía eléctrica de fuentes de energía no tradicionales
que utilizan generadores termoeléctricos, transductores piezoeléctricos y célu-
las solares sigue siendo un desafío. Cada uno de estos requiere una forma de
circuito de conversión de energía para recolectar, administrar y convertir efi-
cientemente la energía de estas fuentes en energía eléctrica utilizable para mi-
crocontroladores, sensores, dispositivos inalámbricos y otros circuitos de baja
potencia [12]. A continuación, vamos a enunciar algunos ejemplos de colectores
de las diferentes fuentes de energías:
1.1.2.1 Recolectores de energía mecánica
Los transductores piezoeléctricos producen electricidad cuando se someten a en-

ergía cinética debido a vibraciones, movimientos y sonidos como los producidos
por las olas de calor o el ruido de los motores de las alas de los aviones y otras
fuentes. El transductor convierte la energía cinética de las vibraciones en una
tensión de salida de CA que luego se rectifica, regula y almacena en una batería
de película delgada o un súper condensador [12].
Las fuentes potenciales de energía cinética incluyen el movimiento gen-
erado por los humanos, el ruido acústico y las vibraciones de baja frecuencia.
10
Figura 1.2: Diferentes tipos de energía y sus respectivos transductores para su

conversión a energía eléctrica.
Figura 1.3: Circuito de recolección de energía piezoeléctrica
Algunos ejemplos prácticos son:
• Una unidad de control remoto sin batería: la potencia se obtiene de la

fuerza que uno usa al presionar el botón. La energía recolectada es sufi-
ciente para alimentar el circuito de baja potencia y transmitir la señal de
radio infrarroja o inalámbrica.
• Sensores de presión para neumáticos de automóviles: sensores de recolec-

ción de energía piezoeléctrica se colocan dentro de la llanta del automóvil
donde monitorean la presión y transmiten la información al tablero para
que el conductor la vea.
• Baldosas piezoeléctricas: la energía cinética de las personas que caminan

por el suelo se convierte en energía eléctrica que se puede utilizar para
servicios esenciales como sistemas de visualización, iluminación de emer-
gencia, puertas de boleto de encendido y más [12].
11
1.1.2.2 Recolectores de energía electromagnética
Este tipo de recolectores funciona, con una antena receptora de potencia de

Radio frecuencia (RF) la cual recoge la señal de energía de RF y la transmite a
un transductor de RF. El dispositivo convierte la señal de RF de baja frecuen-
cia a una tensión continua d, capaz de entregar una corriente en el orden los
miliamperios de corriente. Es posible crear un nodo de sensor inalámbrico com-
pletamente libre de baterías combinando sensores. Las aplicaciones típicas para
estos tipos de sensores incluyen automatización de edificios, redes inteligentes,
defensa, monitoreo industrial y más [12].
Figura 1.4: Esquema de bloques de un recolector electromagnético.
1.1.2.3 Recolectores de energía óptica
Las células solares pequeñas se utilizan en aplicaciones industriales y de con-

sumo, como satélites, fuentes de alimentación portátiles, farolas, juguetes, cal-
culadoras y más. Éstos utilizan una pequeña célula fotovoltaica que convierte la
luz en energía eléctrica. Para aplicaciones en interiores, la luz generalmente no
es muy fuerte y la intensidad típica es de aproximadamente 10 W / cmš. Por lo
tanto, la potencia de un sistema de recolección de energía en interiores depende
del tamaño del módulo solar, así como de la intensidad o composición espectral
de la luz. Debido a la naturaleza intermitente de la luz, la energía de las células
solares se usa generalmente para cargar una batería o súper condensador para
garantizar un suministro estable a la aplicación [12].
12
1.1.2.4 Recolectores de energía térmica
Las cosechadoras de energía termoeléctrica se basan en el efecto Seebeck, en el

que la diferencia de temperatura en la unión de dos conductores o semiconduc-
tores diferentes produce voltaje. El sistema de recolección de energía consiste
en un generador termoeléctrico, formado por una serie de termopares que están
conectados en serie a una fuente común de calor. Las fuentes típicas incluyen
calentadores de agua, un motor, la parte posterior de un panel solar, el espacio
entre un componente de potencia, como un transistor y su disipador de calor,
etc. La cantidad de energía depende de la diferencia de temperatura, así como
del tamaño físico del generador. Los generadores termoeléctricos son útiles para
reciclar energía que de otro modo se habría perdido en forma de calor. Las apli-
caciones típicas incluyen alimentar nodos de sensores inalámbricos en sistemas
de calefacción industrial y otros entornos de alta temperatura [12].
1.1.3 Aplicaciones de recolectores de energía

Las fuentes de alimentación alternativas proporcionan un medio para extender
la vida útil de la batería de sensores remotos en aplicaciones industriales, comer-
ciales y médicas. Esto permite la instalación de sensores independientes en áreas
difíciles de alcanzar o remotas para proporcionar una variedad de información
y advertencias. Estos sensores pueden monitorear y advertir sobre la contam-
inación del aire, los cojinetes desgastados, el estrés del puente, los incendios
forestales y más [12]. En la Tabla 2.1 podemos apreciar la demanda de po-
tencial eléctrica que requieren unos implantes médicos [15]. Otras aplicaciones
incluyen:
• Sistemas remotos de monitoreo de corrosión.
• Dispositivos implantables y de monitoreo remoto del paciente.
• Monitoreo estructural.
• RFID.
• Internet de las cosas.
• Monitoreo de equipos.
13
Implante medico Consumo de potencia típico

Marcapasos 10µW
Desfibrilador cardiaco 10µW
Audifonos 100 − 200µW
Grabadora neuronal 1 − 10µW
Tabla 1.1: Demanda potencial eléctrica de algunos implantes médicos.
1.1.4 Aplicaciones de recolectores en el cuerpo humano
La gama de aplicaciones que éstos pueden llegar a tener abarca incontables

posibilidades. En el campo de la medicina, por ejemplo, algunos investigadores
se han ocupado del tema con la finalidad de proveer de energía eléctrica cier-
tos implantes que la necesitan para su funcionamiento; muchos de éstos por su
tamaño y, gracias a los desarrollos tecnológicos y científicos, han podido ser in-
troducidos en el cuerpo humano, haciendo indispensable el uso de baterías, cuya
vida útil es limitada y donde su cambio o su recarga requiere de un gran costo,
que no sólo es significativo monetariamente, sino que además representa una
dificultad y un riesgo, asociado a la cirugía, a la cual deben ser sometidos los
pacientes [16]. Conforme ha pasado el tiempo se ha ido reconociendo gradual-
mente que el cuerpo humano es altamente flexible para la generación de potencia
útil. La disipación de calor, la rotación de articulaciones, el peso corporal, el
desplazamiento vertical de centros de masa e inclusive, las deformaciones elás-
ticas de los tejidos que éste posee, al combinarse con las actividades cotidianas
o fenómenos metabólicos, ha abierto una gran posibilidad a los recolectores de
energía como fuente de potencia móvil, inclusive para implantes médicos que
necesitan energía eléctrica para su funcionamiento, ya que éstos podrían tener
autonomía más cantidad de años al ser recargados permanentemente [15]. Au-
tores como Starner y Paradiso en el capítulo Human Generated Power for Mobile
Electronics perteneciente al libro Low-Power Electronics Design [17], se concen-
traron en el estudio de la recuperación de la energía que consume el cuerpo
humano cuando lleva a cabo alguna actividad física, con el fin de usar ésta para
el abastecimiento de dispositivos electrónicos portátiles. La Tabla 2.2 hace un
inventario de la cantidad de energía en Kilocalorias/hora y su corresponden-
cia en vatios, los cuales son consumidos cuando se cumplen diferentes tareas.
Dicha tabla fue construida con base en el estudio realizado por D. Morton en
14
colaboración de D. Fuller llamado Human locomotion and body form a study

of gravity and man [18].
Implante medico Kcal/hora Vatios

Dormir 70 81
Estar quieto 80 93
Estar Sentados 100 116
Estar de Pie 110 128
Hablar 110 128
Comer 110 128
Dar un paseo 110 163
Conducir 140 163
Tocar el piano 140 163
Hacer el aseo 150 175
Trabajar en Carpintería 230 268
Sedentarismo 350 407
Natación 500 582
Montañismo 600 698
Tabla 1.2: Energía humana utilizada en distintas actividades.
La Figura 2.5 muestra la cantidad de energía eléctrica que consume el

cuerpo en partes específicas (valor dentro del paréntesis) y la cantidad que puede
ser recuperada para nuevos usos, tales como recarga de dispositivos móviles.
15
Figura 1.5: Energía consumida en actividades que realizan algunas partes del
cuerpo y cantidad que se puede recuperar.
1.2 Recolectores de energía piroeléctrica
1.2.1 Piroelectricidad
La piroelectricidad se define como la propiedad que presentan ciertos materiales

que sometidos a cambios de temperatura experimentan cambios en la polar-
ización eléctrica, dichos cambios inducen un campo eléctrico en el interior del
material causado por el movimiento de cargas positivas y negativas en los ex-
tremos opuestos de la superficie del elemento [19].Otra forma para definir este
efecto segun la sociedad química (Chemical Society) [24] la describe como la
capacidad de generación de cargas eléctricas inducidas en la superficie de un
cristal cuando se calienta o se enfría. Se explica como el traslado de cargas pos-
itivas y negativas (y, por tanto, el establecimiento de una polarización eléctrica)
a los extremos opuestos de un eje polar cristalino, como resultado del cambio
en la temperatura [19].
16
1.2.2 Teoría del efecto piroeléctrico

La piroelectricidad es la característica que tienen ciertos materiales cristalinos
denominados materiales piroeléctricos, cuando son estimulados por cambios de
temperatura, que en ellos se genera un momento de dipolo eléctrico y da por
resultado una corriente eléctrica que es proporcional a los cambios de temper-
atura. Para comprenderlo, es necesario conocer las tres leyes que rigen al efecto
piroeléctrico [24].
1.2.2.1 Leyes del efecto piroeléctrico
Por el año de 1900 Jean-Mothee Gaugain [24] propuso tres postulados, estas
leyes establecen:
1. La carga total producida por un cristal, ∆Q , depende de la variación total

de temperatura,∆T y no sobre la tasa de cambio de temperatura.
2. Dentro de los mismos límites de temperatura, la carga desarrollada por el

efecto de calentamiento o de enfriamiento son de igual magnitud, pero las
polaridades de las cargas se invierten.
3. La cantidad de carga desarrollada es proporcional a la sección transversal

e independiente de la longitud del cristal. Esto puede resumirse en la
ecuación 3.1 por:
∆Q=ρA∆T 3.1
Donde:
∆Q = Carga generada en la superficie del cristal en Coulomb (C).
ρ = Coeficiente de piroelectricidad en micro Coulomb metro cuadrado

por Kelvin (µC /m2 K).
A = El área del electrodo en metros cuadrados (m2 ).
∆T = Variación de temperatura en Kelvin (K).
17
1.2.2.2 Propiedades de los piroeléctricos
Si un dispositivo fabricado de material piroeléctrico de Metal-Aislador-Metal,

MAM está cortocircuitado, la polarización de la muestra atrae a las cargas en
los electrodos y los cambios de la polarización del ejemplar pueden ser descritos
por la ecuación 3.2
Q
P = 3.2
A
Donde:
P = Cambio de polarización en Coulomb por metro cuadrado (C⁄m2)
Q = Carga en Coulomb (C).
A = El área del electrodo en metros cuadrados (m2).
La polarización eléctrica espontánea que presentan los materiales piroeléc-

tricos, es dependiente de la temperatura; y el efecto piroeléctrico se presenta
como el resultado del cambio de esta polarización espontánea con la temper-
atura. Si se fabrica un arreglo con material piroeléctrico como un Metal-
Pirosimple-Metal, por sus siglas en inglés M-PS-M y esté se conecta a un am-
perímetro sensible como se muestra en la Figura 3.1.
Una corriente I(t) fluye entre los electrodos cuando este material piroeléc-
trico es expuesto a un gradiente de temperatura a través de calentamiento o de
enfriamiento. Esta corriente es proporcional a la razón de cambio de la polar-
ización con respecto a la temperatura o la rapidez de cambio de polarización
con respecto a la temperatura como indica la ecuación 3.3:
dT
I=ρA( ) 3.3
dt
Donde:
dT
( ) = Razón de cambio de la temperatura del material piroeléctrico
dt
con el tiempo en Amperes (A).
18
Figura 1.6: Arreglo con material piroeléctrico como un Metal-Pirosimple-Metal
ρ = Coeficiente de piroelectricidad.
A = El área de los dos electrodos en metros cuadrados (m2 ).
El coeficiente piroeléctrico es dependiente tanto al cambio en la compo-

nente normal (en relación con las placas del condensador) como a la polarización
eléctrica y es un parámetro útil con el cual compara diferentes materiales para
comprender la relación entre el comportamiento de polarización eléctrica mi-
croscópica y macroscópica, dependientes de la temperatura [24].
1.3 Materiales piroeléctricos

En la actualidad se utilizan principalmente 3 tipos de materiales piroeléctricos:
monocristales, cerámicos y polímeros. Los materiales monocristalinos son los
más complejos de utilizar, pero también los que poseen un mayor coeficiente
piroeléctrico, seguidos de cerca por los cerámicos. En cuanto a los polímeros
son bastante sencillos de manejar, pero presentan coeficientes piroeléctricos de
alrededor de la décima parte del que tienen los monocristalinos y los cerámicos.
En la tabla 4.1 muestra todas las propiedades que deben de poseer los elementos
para que puedan ser utilizados para propósitos prácticos y de investigación [24].
19
Características principales Descripción

de materiales piroeléctricos
Alto coeficiente piroeléctrico Posen cualidades para ser utiliza-
dos como piroeléctricos
Baja permitividad relativa. Tiene menores valores dieléctri-
cos que permiten un mayor flujo
de campo eléctrico.
Estabilidad física y química No se desestabilicen en ambi-
entes extremo o expuestos en la
naturaleza.
Baja respuesta piezoeléctrica No presentan altas deforma-
ciones mecánicas que produzcan
efecto piezoeléctrico.
Bajo costo, Alta Calidad Son factibles y accesibles en el
mercado y presentan una vida
útil alta.
Facilidad de procesamiento fer- Pueden interactuar adecuada-
roeléctricos. mente con electroimanes.
Estabilidad de polarización Cuando generan una diferencia
de potencial no pierden la polar-
ización inmediantamente.
Tabla 1.3: Propiedades de los materiales piroeléctricos.
1.3.1 Monocristales
Los materiales monocristales generalmente tienen grandes coeficientes piroeléc-

tricos y altos valores de constante dieléctrica. Las dificultades de estos mate-
riales son para convertirlos en películas delgadas y sustratos, ya que pueden
ser bastante difíciles en su preparación [26]. La preparación de un monocristal
es un proceso lento y complicado que aumenta dependiendo del tamaño del
cristal. Los métodos empleados se basan en los siguientes principios: sobre-
saturar una solución para obligar a precipitar o permitir la solidificación de
moléculas previamente en estado líquido o gaseoso. Esta preparación debe ser
suficientemente lenta para que las moléculas alcancen la posición más estable, es
decir, la cristalina. Si el proceso es demasiado rápido, las moléculas se colocarán
20
rápida y desordenadamente, sin respetar la estructura del cristal.
El ZnO es un material que muestra propiedades semiconductoras y piroeléc-

tricas con respecto a este material ha habido importantes avances en el diseño y
desarrollo de nanoestructuras como nanocables y nanobarras para una variedad
de aplicaciones [2]. El uso de estas nanoestructuras, permitirá la construc-
ción de dispositivos nanometricos para una variedad de aplicaciones [3,4]. El
crecimiento de nanoestructuras de ZnO se ha llevado a cabo utilizando varias
técnicas que aún se están desarrollando por su fiabilidad y rendimiento.
El ZnO es un material semiconductor de la familia II-VI, con amplia

banda de energía 3.37 eV y una gran banda de enlace de excitones de 60 meV
a temperatura ambiente. La diferencia de electronegatividades entre el zinc
y el oxígeno produce un alto grado de ionicidad en su enlace, convirtiéndolo
en uno de los compuestos más iónicos de dicha familia [1]. Esto provoca una
repulsión considerable entre sus nubes de carga, haciendo que su estructura
cristalina más estable sea hexagonal, la figura 4.1 muestra la estructura tipo
Wurzita del ZnO. En esta estructura los átomos se encuentran suficientemente
alejados, esto con el fin de compensar dichas repulsiones. Así, cada átomo de
zinc se encuentra rodeado por un tetraedro de 4 átomos de oxígeno y vicev-
ersa, formando de esta manera una combinación alternada de planos de átomos
oxígeno y de planos de átomos de zinc, las cuales se encuentran a lo largo del
eje c, con un desplazamiento entre ellos de 0.38c, siendo c su parámetro de red
en la dirección vertical. Los valores de los parámetros de red para dicho mate-
rial, en condiciones normales de presión y temperatura, son a = 3.253 Å y c =
5.213 Å [2]. Una de las propiedades físicas más importantes del ZnO es la de
poseer un gap directo de 3.35 eV, a temperatura ambiente [2,3] . Algunas de
estas propiedades (en especial su alto gap a temperatura ambiente) convierten
a este óxido metálico en un excelente candidato para aplicaciones como dis-
positivos optoeléctrónicos, transductores acústicos [4,5], varistores [6], sensores
de gas [7,8], electrodos transparentes [9,10], ventanas ópticas en paneles solares
[11,12], dispositivos emisores de campo [13], conductores transparentes [14,16].
De estas aplicaciones es de especial atención su posible aplicación en dispositivos
optoeléctrónicos con emisión en el rango de longitudes de onda corta
A continuación, se muestran de algunas características que poseen los

materiales monocristales que es dada en la tabla 4.2
21
Figura 1.7: Monocristal de ZnO tipo Wursita con estructura hexagonal.
Material ρ(µCm − 2K − 1) ε T Curier

TGS 3.5 50 49
DTGS 2.7 20 62
LiTaO 1.7 43 618
LiNbO 0.83 28 1210
ZnO 9.4 11 420
Tabla 1.4: Propiedades de Monocristales. Coeficiente piroeléctrico, constante

dieléctrica y temperatura de Curie
1.3.2 Cerámicos
El mejor material piroeléctrico cerámico que pude ser encontrado en el mercado
y es además el piroeléctrico estándar, sencillo y factible por excelencia es el PZT
(Titanato Plomo Zirconato) y sus diferentes tipos como también es el PZT-4
que posee características similares a PZT. Es por eso que puede tomarse este
material como ejemplo para demostrar la piroelectricidad [24]. Los materiales
cerámicos son generalmente baratos, robustos y fáciles de preparar. En cuanto
a la preparación de la cerámica el proceso resulta menos sensible pero más
laborioso. Primero, se pesan los elementos de la materia prima de alta pureza,
según la fórmula estequiométrica que se desee dar a la cerámica, estos elementos
22
deben estar pulverizados en partículas de menos de una micra para que en las
reacciones pueda tener lugar la difusión atómica. Luego, se mezclan los polvos
ya sea mecánica o químicamente y se calcinan a alta temperatura. Los terrones
calcinados son molidos finamente y re compactados en la forma deseada, para
calentarse de nuevo lentamente hasta 500 o 600 grados eliminando los restos de
las sustancias empleadas en el proceso. Este aumento de temperatura debe ser
gradual de modo que los gases salgan lentamente sin provocar grietas o burbujas.
Finalmente, cada grano de la cerámica tendrá un dominio diferente y la pieza
tendrá un vector polarización neto nulo. La principal ventaja que presentan
las cerámicas es que su composición puede variar de forma arbitraria, sin seguir
unas estrictas proporciones como las necesarias para la fabricación de un cristal.
Estos pueden ser fabricados en una gama de formas y tamaños, eliminando
algunos de los procesos más lentos y caros de fabricación. Generalmente los
materiales cerámicos presentan un coeficiente piroeléctrico de valores muy altos.
Sin embargo, contrariamente poseen altos valores de constantes dieléctricas; el
tratamiento asociado con la producción de películas delgadas aproximándolo a
un grosor óptimo ( 5-10 mm) es difícil [21].
Figura 1.8: Titanato de Bario.
En la tabla 2.3 están resumidos algunos materiales cerámicos que se uti-

lizan en estudios de piroelectricidad [24].
23

PZT 10.6 300-3000 365
BaT i03 2.3 560 300
Tabla 1.5: Propiedades de cerámicos. Coeficiente piroeléctrico, Constante

1.3.3 Polímeros
Los materiales orgánicos son muy interesantes para el estudio de la piroelectri-
cidad debido a su fácil preparación, baja constante dieléctrica y pérdida dieléc-
trica. Sin embargo, generalmente tienen un coeficiente piroeléctrico menor que
los monocristales y las cerámicas. Otras ventajas de los materiales de polímero
sobre los cerámicos y monocristales piroeléctricos son el manejo y procesamiento
de dispositivos, su bajo costo y la posibilidad de alcanzar su grosor óptimo ( 10
mm) [19].
Figura 1.9: Tubo termoplástico de polifloruro de vinilideno (PVDF).

PVDF 13 9 80
PVC 1 6 65
PVF 3 5 70
PAN 2 7 85
Tabla 1.6: Propiedades de polímeros. Coeficiente piroeléctrico, Constante

24
Capitulo 2
Metodologia y Fabricacion
2.1 Materiales y Metodología
Figura 2.1: Diagrama de Proceso de fabricación de Dispositivo
En este capítulo se muestra como se fabricara la base de un dispositivo

piroeléctrico, a partir de columnas hexagonales de ZnO de un tamaño de 25µm
de ancho por 300 nm de alto en un área de 0.5 mm x 0.5 mm sobre un sustrato de
aluminio mediante fotolitografía. También se muestra la síntesis de nanobarras
de ZnO vía Microondas.
25
26 CAPITULO 2. METODOLOGIA Y FABRICACION
2.2 Síntesis de nanobarras de ZnO hidrotermal

asistida por microondas (Nanorods)
A continuación se fabricaran nanobarras de ZnO para después intentar alinear-

los sobre un sustrato de aluminio para crear un dispositivo piroeléctrico tipo
Metal pyro-simpre Metal. La síntesis hidrotermal asistida por microondas ha
atraído amplios intereses como un nuevo modelo de calentamiento en la ciencia
de materiales debido a sus diversas ventajas por enumerar algunas por ejemplo
el corto tiempo de reacción, el calentamiento rápido, la baja temperatura de
reacción, la transmisión térmica homogénea y la pureza de la fase con mejor
rendimiento [15], [16].
Figura 2.2: Microondas Mars 6, rampa de tratamiento térmico para la obtención

de nanoestructuras de oxido de zinc
En esta síntesis de ZnO se utilizaron viales de 20 ml de capacidad con 15

mililitros de agua desionizada, una proporcional molar que se varió desde 0.01
hasta 0.1 de Hexametiltetralamina (HMT) y Acetato de zinc. Dentro de un
microondas modelo Mars 6 como en la Figura 2.2 se establecieron las siguientes
condiciones para la síntesis: Una rampa de temperatura como se muestra en la
figura 2.2 de 110°C una presión de 10 Psi y un tiempo de 15 min para buscar
así la mejor morfología de nanobarras los resultados se pueden apreciar en la
tabla 2.1 a continuación:
26
CAPITULO 2. METODOLOGIA Y FABRICACION 27
Figura 2.3: Esquema de síntesis hidrotermal vía microonda
Acetato de Zinc HMT T emp.°C Presión Imagen
0.01 0.01 110° 10 psi
0.02 0.02 110° 10 psi

Sigue en la página siguiente.
27
0.025 0.025 110° 10 psi
0.03 0.03 110° 10 psi
0.035 0.035 110° 10 psi

28
0.04 0.04 110° 10 psi
0.05 0.05 110° 10 psi
0.06 0.06 110° 10 psi

29
0.08 0.08 110° 10 psi
0.1 0.1 110° 10 psi
Tabla 2.1: Tabla con las diferentes morfologías y concentraciones

de nanobarras de ZnO.
Después de revisar todas las concentraciones se llegó a la conclusión de

que la concentración molar de "0.04" presenta una mayor cantidad de material
de nanobarras con un tamaño estable alrededor de la 100 nm y 300 nm en
la mayoría de ellas siendo así las elegidas para depositarse en un sustrato de
aluminio para crear nuestro dispositivo piroeléctrico.
2.3 Fabricación por fotolitografía

A sabiendas de la complejidad para colocar de manera particular estas estruc-
turas, se propone un método alterno vía fotolitografía para crear estructuras
micrométricas sobre un sustrato. En el presente trabajo se propone el método
30
de fabricación por fotolitografía por haz de electrones para crear patrones selec-
tivos para controlar la densidad, tamaño y selectividad del crecimiento alineado,
en este caso se usará para fabricar estructuras con forma hexagonal de 25µm de
ancho y 300 nm de espesor alineados perpendicularmente al sustrato de aluminio
el diseño puede ser observado en la figura 2.4.
Figura 2.4: Diseño de Grabado de hexágonos vía EBL.
2.3.1 Preparación Del sustrato
Se preparó un sustrato de aluminio (previamente tratado con acetona, alcohol

y calentado a 120C durante 1 min para eliminar impurezas) para depositarle
100µl de PMMA y colocado en Spin coating a 2000 rpm durante 60 seg para
obtener una película del espesor deseado posteriormente se calentó en un Hot
plate durante 5 min a 120C
2.3.2 Grabado de Diseño
Una vez lista nuestro sustrato se somete al grabado de patrón selectivo mediante
litografía, se grabo un área de 0.5 mm x 0.5 mm con nuestro diseño de hexágonos,
al terminar el grabado se procede a revelar con el Developer y Stopper durante
1:30 min cada una.
31
Figura 2.5: Herramientas para la creación de las estructuras hexagonales Mi-

croscopio electrónico Inspect F50 resina fotosensible y Spincoating
2.3.3 Depósito de ZnO

Después del proceso de revelado nos disponemos a depositar 200 µl de nuestra
síntesis de ZnO sobre nuestro sustrato y dejar reposar durante 4 días para que
nuestra síntesis logre asentarse correctamente en el sustrato.
Figura 2.6: Diagrama de deposito de ZnO
32
2.3.4 Recubrimiento y despegado
Trascurrido el tiempo de asentamiento se procede a calentar la muestra en un

Hotplate durante 20 min a 100C, se deja enfriar y se somete un liftoff de acetona
para eliminar el excedente.
Figura 2.7: Flujo de proceso de grabado de Hexágonos 1/3
33
A continuación se muestran 2 fotografías con el grabado de los hexágonos

antes y después del depósito de ZnO.
Figura 2.10: Imagen de sustrato sin depósito de ZnO
Al analizar el resultado obtenido podemos concluir que después de 5 difer-

entes muestras variando materiales, tiempos, temperatura, dimensiones encon-
34
Figura 2.11: Imagen de sustrato con depósito de ZnO
tramos que:
• El aluminio responde mejor que el cobre ya que presenta una menor ox-
idación ante los depósitos prolongados de síntesis de ZnO (4 días) y su
color grisáceo facilita su observación en un microscopio óptico y su menor
costo lo hacen una mejor opción.
• Se confirmó que la litografía facilita el control y diseño sobre el sustrato

tratándose de estructuras tan específicas como estas.
• Se encontraron los tiempos ideales para: el asentamiento de ZnO calen-

tamiento y de exposición a la Acetona (liftoff) en un material como el
aluminio.
Analizando los resultados obtenidos observamos que se pudieron fabricar colum-

nas hexagonales de ZnO que por otro método sería más tardado y complicado,
Ahora se procede al siguiente paso que es la caracterización eléctrica y reportar
los resultados.
35
Capitulo 3
Caracterización y Resultados
En este capítulo haremos un análisis de las caracterizaciones morfológica, eléc-

trica y de análisis de material del dispositivo. Para este capítulo utilizaremos
varias herramientas como un microscopio de barrido electrónico Inspect F50
para el análisis SEM y EDS (figura 3.1)
3.1 Caracterización SEM
Figura 3.1: Microscopio de barrido electrónico Inspect F50
El microscopio electrónico de barrido (SEM, de Scanning Electron Mi-

croscopy) es uno de los instrumentos más versátiles para el examen y análisis
36
CAPITULO 3. CARACTERIZACIÓN Y RESULTADOS 37
de características micro estructurales de sólidos; proporciona información mor-

fológica y topográfica de la superficie de los mismos. Una de las razones de
ello es su alta resolución. Otra característica importante es la apariencia tridi-
mensional de la imagen de la muestra, resultado de su gran profundidad de
foco (aproximadamente entre 100 y 1000 veces mayor que la de un microscopio
óptico a la misma significación).
A continuación mostraremos las imágenes obtenidas por el Microscopio

Electrónico y analizaremos los resultados obtenidos
En la imagen 3.2 podemos ver nuestro sustrato metálico con el arreglo periódico
de estructuras de ZnO a través de 2500µm2 de área. Sobre un sustrato de
Aluminio de 0.1 milímetros de grosor.
Figura 3.2: Fotografía del arreglo periódico de hexagonos via SEM
En la imagen 3.3 podemos apreciar el tamaño de una estructura individual

hexagonal con una tamaño de 26.25µm en su semi eje mayor x 19.58µm en su
semi eje menor por 300 nm de alto.
37
38 CAPITULO 3. CARACTERIZACIÓN Y RESULTADOS
Figura 3.3: Fotografía morfológica de los hexágonos vía SEM
Con estas imágenes pudimos aseverar la presencia de estructuras hexá-

gonos de ZnO en nuestro sustrato y también definir su tamaño específico. Ahora
nos disponemos a la siguiente caracterización y verificar que el material de nue-
stros hexágonos realmente sea ZnO para lo cual utilizaremos la técnica llamada
EDS.
3.2 Caracterización EDS
Esta técnica analítica (Energy-dispersive X-ray spectroscopy ) puede propor-

cionar información cualitativa y cuantitativa sobre la composición de una su-
perficie (por ejemplo, la identificación de los elementos y el peso de estos, respec-
tivamente). La técnica se basa en la detección y la espectroscopia de radiación
secundaria (rayos X) emitida cuando un haz de electrones incidente de alta
intensidad incide en los materiales situados en su trayectoria.
Así después de analizar un área de nuestra muestra como se ve en la

figura 3.4 a través de la técnica de EDS llegamos a los siguientes resultados:
38
Figura 3.4: Caracterización vía EDS
En la cual se puede concluir con las siguientes cantidades de porcentaje

en peso :
• Zn: 1.89
• O: 6.53
• C: 20.65
• Al: 70.93
Entonces, se puede asegurar la presencia de ZnO en las estructuras hexag-

onales como se aprecia en la figura 3.4. Como aseverar la presencia de Aluminio
y Carbono que es el material de nuestro sustrato. Ya que el Aluminio que uti-
lizamos no es totalmente puro podemos inducir que el Carbono forma parte de
su composición.
3.3 Caracterización eléctrica

Para esta caracterización eléctrica utilizaremos un pico amperímetro medidor/fuente
Keithley Model 2401 para sensar como en la figura 3.5 : el voltaje y la corriente
39
de nuestro generador piroeléctrico el pico amperímetro se conectara al disposi-

tivo como muestra la figura 3.6 y será calentado con un Hotplate para variar la
temperatura de forma controlada.
Figura 3.5: Esquema de caracterizacion electrica propuesta. Keithley Model

2401.
Terminadas las caracterizaciones tenemos los siguientes resultados obtenidos

mediante la variación de temperatura de 20° hasta 80° por 240 seg (4 min) con
un aumento gradual de 10°C cada 30 seg:
Figura 3.6: Fotografias del Experimento
40
Figura 3.7: Gráfica de voltaje.
En la figura 3.7 podemos observar el voltaje obtenido mediante la variación

de temperatura que fue de los 0.1205 V hasta 0.6481 V.
Figura 3.8: Gráfica de corriente.
En la figura 3.8 podemos observar el voltaje obtenido mediante la variación

de temperatura que fue de los 0.02741 nA hasta 0.05563 nA
41
Figura 3.9: Gráfica de potencia.
Conociendo el voltaje y la corriente podemos obtener la potenciade nue-

stro dispositivo piroeléctrico, que se muestra en la figura 3.9.
3.3.1 Comparación contra aluminio
Figura 3.10: Diagrama de medición de aluminio .
Para marcar una diferencia y saber si nuestros arreglo no muestra mediciones

basura o aleatorio, se conectaron placas de aluminio como en la figura 3.10 y se
siguió el mismo procedimiento y esto son los resultados obtenidos, para tener
una mejor referencia se sobrepondrán los los resultados en la misma gráfica para
una mejor referencia.
42
Figura 3.11: Gráfica de voltaje contra aluminio.
Figura 3.12: Gráfica de corriente contra aluminio.
Figura 3.13: Gráfica de potencia contra aluminio.
Al analizar los resultados obtenidos podemos concluir que existe una no-
43
table diferencia en el voltaje y corriente
3.3.2 Comparación con otros dispositivos
En esta sección haremos una recopilación en una tabla que se muestra en la

figura 3.14 de varios dispositivos similares y sus resultados expuestos en sus
diferentes publicaciones que son los siguientes:
Figura 3.14: Tabla comparativa contra otros dispositivos similares en la actual-

idad.
En la imagen 3.14 podemos apreciar el uso de ZnO pero depositado de

diferentes formas. Litografía, termal y PVD(Physical vapor deposition) depos-
ito por vapor, el uso de diferentes sustratos, las diferentes dimensiones de los
dispositivos y los diferentes voltajes y corrientes obtenidos.
3.3.3 Eficiencia
La eficiencias presentadas a continuación es obtenida mediante la formula mostrada

en la figura 3.14 los valores son obtenidos mediante la datasheet del hotplate
"Corning 6795-420D PV-420D" placa calefactora con agitador en la cual mues-
tran el voltaje y corriente necesario para calentar el hotplate para cada temper-
atura
44
Figura 3.15: Calculo de eficiencia.
En la imagen 3.15 mostramos la eficiencias de un dispositivo similar en

construcción y materiales publicado (Energies 2019, 12,807) este mismo año:
Figura 3.16: Comparación de eficiencia con dispositivos similares.
3.4 Resultados
Durante el desarrollo de este trabajo de tesis se presentó el diseño e imple-
mentación de un sistema generador piroeléctrico. Los objetivos planteados al
inicio del trabajo han sido alcanzados dentro de los cuales se pueden mencionar
los siguientes:
• Se investigó y dominó la teoría piroeléctrica y sus aplicaciones como cosechadores

de energía concluyendo que representan una gran alternativa ante la de-
manda energética de nuestros días.
45
• Se sintetizo Nanorods de ZnO tipo Wurtzite, estos nanorods van desde

los 100 nm hasta las 5 um, para después seleccionar y utilizar los mas
convenientes.
• Se determino que la concentración de "0.04" fue la mas optima en mor-

fología y concentración para depositarse en arreglo por litografía.
En el proceso de grabado por haz de electrones podemos decir que:
• El aluminio responde mejor que el cobre ya que presenta una menor ox-
idación ante los depósitos prolongados de síntesis de ZnO (4 días) y su
color grisáceo facilita su observación en un microscopio óptico y su menor
costo lo hacen una mejor opción.
• Se confirmó que la litografía facilita el control y diseño sobre el sustrato

tratándose de estructuras tan específicas como estas.
• Se encontraron los tiempos ideales para: el asentamiento de ZnO calen-

tamiento y de exposición a la Acetona (liftoff) en un material como el
aluminio.
En cuanto a la caracterización:
Se llevaron a cabo 3 caracterizaciones, una por medio de SEM para cono-

cer la morfología de nuestra muestra y cerciorarnos de la creación de estructuras
hexagonales de ZnO, otra caracterización vía EDS que nos asegura la presencia
de ZnO en los hexágonos y por último una caracterización eléctrica que nos
arrojó los siguientes resultados:
• Max Voltaje: 0.6481 V
• Max Corriente: 0.5563 µA
• Max Potencia: 156.24 µW
• Se determino una eficiencia de 3.375
Y se comparo con otros dispositivos publicados en la actualidad con-

statando que puede ser una idea viable si se desea profundizar en un futuro
46
Capitulo 4
Conclusiones y trabajos a futuro
Figura 4.1: Propuestas a futuro.
En base a los resultados obtenidos podemos proponer varios cambios y aspectos

a futuro para la mejora de este dispositivo
• Ya dominado el proceso de fabricación de hexágonos, se propone incre-

mentar el área para obtener una mayor respuesta eléctrica. Se propone
una nueva área de 1 cm x 1 cm.
47
48 CAPITULO 4. CONCLUSIONES Y TRABAJOS A FUTURO
• Modificar el tamaño de los hexágonos para observar su comportamientos

a diferentes dimensiones.
• Ya que vemos que el dispositivo tiene un desempeño particular a diferentes

temperaturas se siguiere que se use como un sensor auto alimentado de
monitoreo de temperatura.
• El uso de otros materiales Piroeléctricos como PZT y PVDF.
• Ya que todos los materiales Piroeléctricos son Piezoeléctricos implementar

un dispositivo flexible sensible a la temperatura y al estrés físico para una
mayor captura de energía.
48
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Generador Piroeléctrico basado en ZnO

Tesis Profesional para obtener el grado de:

Bernardo Rangel Ramírez

Universidad Autónoma de San Luis Potosí

Laboratorio Nacional de Ciencias y Tecnología de Terahertz

A mis padres, hermanas y familia por su apoyo incondicional.

A los doctores Gabriel Gonzáles y Francisco Javier Gonzáles por dejarme

A mis amigos, compañeros de universidad y compañeros de laboratorio.

1.3 Materiales piroeléctricos . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19

4 Conclusiones y trabajos a futuro 47

1 Diferentes tipos de dispositivo electrónicos . . . . . . . . . . . . . 2

1.1 Componentes básicos de recolectores de energía. . . . . . . . . . . 9

2.1 Diagrama de Proceso de fabricación de Dispositivo . . . . . . . . 25

2.7 Flujo de proceso de grabado de Hexágonos 1/3 . . . . . . . . . . 33

3.1 Microscopio de barrido electrónico Inspect F50 . . . . . . . . . . 36

4.1 Propuestas a futuro. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47

1.1 Demanda potencial eléctrica de algunos implantes médicos. . . . 14

2.1 Tabla con las diferentes morfologías y concentraciones de nano-

El mundo que conocemos en los últimos años ha presentado grandes cambios

• El tiempo de vida útil limitado.

• La dificultad para desecharlos correctamente sin hacer un daño a nuestro

A estos inconvenientes se le puede agregar la creciente preocupación en el

es la energía eólica la energia solar y la energía hidráulica. Sin embargo, estas

Figura 1: Diferentes tipos de dispositivo electrónicos

Las grandes revoluciones tecnológicas, como la industrial del S. XVIII y

teriales y componentes en electrónica, y avances fundamentales y aplicaciones

Figura 2: Escala de medidas

Nanociencia es el estudio de los fenómenos y la manipulación de ma-

encuentran la química, la física, la biología, la medicina y la ingeniería, entre

Los nanogeneradores Piezoeléctricos (PENG, por su siglas en inglés) gen-

temperatura en energía eléctrica utilizando el efecto Seebeck el cual consiste

Figura 3: Energías Renovables

Recientemente los PYNGs han desarrollado métodos de recolección de en-

El objetivo de este trabajo es diseñar, fabricar y caracterizar un disposi-

dispositivo haciendo usos de sus propiedades físicas como su buena conductivi-

• Evaluar el potencial de distinto materiales piroeléctricos que permitan un

• Síntesis del Material piroeléctrico.

• Diseño y fabricación de PYNG.

• Caracterización vía SEM. (Scanning Electron Microscope)Caracterización

Planteamiento del problema

Debido a la demanda energética de los hidrocarburos y la búsqueda de

Los problemas ecológicos causados por las tecnologías de los hidrocar-

cual nos permite aprovechar la energía calorífica excedente en el ambiente. El

1.1 Recolectores de energía

y requerir pocos o ningún servicio durante muchos años. Además, la potencia

1.1.1 Partes de un sistema recolector de energía

Figura 1.1: Componentes básicos de recolectores de energía.

1. Transductor / cosechadora: esta es la cosechadora de energía que recolecta

2. Almacenamiento de energía: como una batería o un supercondensador.

3. Administración de energía: esto condiciona la energía eléctrica en una

reguladores y circuitos de control complejos que pueden administrar la

1.1.2 Diferentes tipos de recolectores de energía

1.1.2.1 Recolectores de energía mecánica

Los transductores piezoeléctricos producen electricidad cuando se someten a en-

Figura 1.2: Diferentes tipos de energía y sus respectivos transductores para su

Figura 1.3: Circuito de recolección de energía piezoeléctrica

Algunos ejemplos prácticos son:

• Una unidad de control remoto sin batería: la potencia se obtiene de la

• Sensores de presión para neumáticos de automóviles: sensores de recolec-

• Baldosas piezoeléctricas: la energía cinética de las personas que caminan

1.1.2.2 Recolectores de energía electromagnética

Este tipo de recolectores funciona, con una antena receptora de potencia de

Figura 1.4: Esquema de bloques de un recolector electromagnético.

1.1.2.3 Recolectores de energía óptica