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Solução: CRISTAIS FOTÔNICOSpodem guiar a luz através de estruturas de elevada curvatura sem apresentar perdas
Béquer
Esferas de poliestiremo
depositadas
Substrato
(vidro ou silício oxidado)
Pt
béquer
Al
(a) (b)
(c) (d)
Figura 4. Esquema do processo de obtenção das máscaras metálicas (Au). Está representado:
o substrato de silício (em cinza), o SiO2 (em verde), as esferas de poliestireno (em azul) e o
Au (em amarelo). (a) indica a etapa de oxidação, (b) a etapa de deposição das esferas, (c) a
etapa de deposição de metal e (d) a remoção das esferas.
Fabricação de estruturas organizadas de silício
amorfo a partir de estruturas tridimensionais
(multicamadas) de esferas de poliestireno
(a) (b)
Figura 6. Imagens SEM de estruturas de esferas de poliestireno obtidas sobre substratos de
silício oxidados, a 65oC e utilizando-se uma monodispersão de concentração 1.72wt%. As
estruturas foram obtidas nas configurações (a) horizontal e (b) vertical
Estruturas auto-organizadas de esferas de poliestireno
Figura 7. Imagem SEM de uma estrutura de esferas de poliestireno obtidas sobre um substrato de
vidro a 50oC, utilizando-se uma monodispersão de concentração 1.72wt%.
Estruturas auto-organizadas de esferas de poliestireno
obtidas sobre substratos de vidro - 1
A= 100
m2
(2) camadas
(a) (b)
(c)
Estruturas auto-organizadas de esferas de poliestireno
obtidas sobre substratos de vidro - 2
A= 400
m2
(3) camadas
(a) (b)
(c)
Estruturas auto-organizadas de esferas de poliestireno
obtidas sobre substratos de vidro - 3
A= 200
m2
(3) camadas
(a) (b)
(a) (b)
(a) (b)
(a) (b)
Figura 13. Imagens SEM das estruturas de esferas de poliestireno obtidas sobre substratos de
silício oxidados, a 65oC e utilizando-se monodispersões de concentrações (a) 1.72wt% e (b)
0.43wt%.
Estruturas auto-organizadas de esferas de poliestireno
obtidas sobre substratos de vidro através do controle da
umidade relativa (RH) do ambiente
(a) A= 600
(b) A= 800 (c) A= 300
m2 m2 m2
(a) A= 800
(b) A= 800 (c) A= 1200
m2 m2
m2
70 70
60 60
Transmitância (%)
Transmitância (%)
50
50
40
40
30 Vidro-ref
v1 30
vidro-ref
20 v2
20 v4
v3
10 v5
10 v6
0
400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000 0
Comprimento de Onda (nm) 400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000
Comprimento de Onda (nm)
80
Figura 16. Espectros de transmitância em função do
70 comprimento de onda das estruturas auto-organizadas
60
de poliestireno obtidas sobre substrato de vidro a 65oC
Transmitância (%)
50
10
v8
v9 de concentrações 1,72%wt (v4), 0,86%wt (v5) e
0
400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000
0,43%wt (v6) e a 35oC com dispersões de
Comprimento de Onda (nm)
concentrações 1,72wt% (v7), 0,86wt% (v8) e 0,43wt%
(v9).
Resultados de Simulações realizadas no software
Translight
1,0
0,8
TE Mode
Transmitance
One layer
0,6
Two Layers
Three Layers
Four Layers
0,4
0,2
80
Transmitância (%)
60
40 Vidro - ref
V50
V60
V70
20
V80
V90
0
400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000
Comprimento de Onda (nm)
Figura 17. Espectros de transmitância em função do comprimento de onda das estruturas auto-
organizadas de poliestireno obtidas sobre substrato de vidro a 50oC, com dispersões de
concentração 2,13wt%, e com umidades relativas do ambiente de 50% (V50), 60% (V60), 70%
(V70), 80% (V80) e 90% (V90).
Estruturas de óxido de alumínio poroso (Al2O3-p )
com poros auto-organizados - 1
(a) (b)
Figura 18. Imagens SEM da estrutura final de óxido de alumínio poroso formado (a) sem
eletropolimento prévio e (b) com eletropolimento prévio.
Estruturas de óxido de alumínio poroso (Al2O3-p )
com poros auto-organizados - 2
D= 111 nm D= 143 nm
(a) (b)
(c)
Estruturas de óxido de alumínio poroso (Al2O3-p )
com poros auto-organizados – 3 (Ácido sulfúrico)
D= 136 nm
d= 95 nm
(a) (b)
(c)
Estruturas de óxido de alumínio poroso (Al2O3-p )
com poros auto-organizados – 4 (Ácido oxálico)
D= 146 nm
d= 97 nm
(a) (b)
(c)
Estruturas de óxido de alumínio poroso (Al2O3-p )
com poros auto-organizados – 5 (Ácido fosfórico)
D= 193 nm
d= 130 nm
(a) (b)
(a) (b)
(c) (d)
Figura 24. Imagens SEM das estruturas bidimensionais de Si-amorfo obtidas sobre substratos de
silício oxidados. A estrutura é apresenta em diversos aumentos e vistas em diversos ângulos.
Estruturas organizadas de Au (máscaras metálicas)
(a) (b)
Figura 25. Imagens SEM de uma máscara de Au obtida sobre substrato de silício oxidado
utilizando-se as esferas de poliestireno de 660nm de diâmetro.
Conclusões - 1
• Sistemas auto-organizados: baixo custo, fácil implementação
(para substituirem os processos convencionais na
Microeletrônica).
• Esferas de poliestireno apresentam fatores determinantes na
boa qualidade do filme: concentração da monodispersão, pre-
condição da superfície, temperatura, tipo de deposição e
umidade relativa do ambiente.
• Boa qualidade cristalina para ambos substratos (vidro e silício
termicamente oxidado).
• Vantagem do silício: dipositivos ópticos e eletrônicos na
tecnologia do silício.
• Utilização das esferas de poliestireno como cristal fotônico
Conclusões - 2
• Apresenta banda estreita (130nm) devido ao pequeno
contraste entre os índices de refração dos poliestireno
(n=1.54) e ar (n=1.00).
• Moldes para estruturas tridimensionais de Si-amorfo e
estruturas bidimensionais de Au (máscaras metálicas).
• A partir dos resultados da alumina porosa verificou-se que:
a) Propagação de poros de forma cilíndrica (intensificação do
campo elétrico na máxima curvatura).
b) 2 ou 3 subcamadas de óxido: (2 ou 1) com impurezas e 1
livre de impurezas.
c) Utilizar a temperatura de 0oC.
Conclusões - 3
• Máscaras em corrosões eletroquímicas.
• Sensores de gases e sensores eletroquímicos.
• Deposição de materias semicondutores, cerâmicos e
poliméricos para a aplicação na tecnologia de moldes.
• Biosensores (incorporaçao de agentes biológicos nos poros):
cultura de células e fabricação de chips de DNA.
• Substituição da fibra óptica por cristais fotônicos,
inicialmente para sistemas de curtas distâncias.