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Finite Elemente Methode (FEM) Analyse in


der Vakuummechanik
FEM-basierte Optimierung mechanischer Vakuumkomponenten
René Bauer, Stephan Wolfgramm, Michael Flämmich, Ute Bergner

Die Finite-Elemente-Methode (FEM),


eine numerische Berechnungsme-
thode zur Lösung komplexer physikali-
scher Fragestellungen, hat sich beson-
ders im Ingenieurwesen zur Simulation
strukturmechanischer Gegebenheiten
ein breites Anwendungsfeld erschlos-
sen. Der Einsatz FEM-basierter Werk-
zeuge eröffnet Entwicklern die Mög-
lichkeit, selbst komplexe mechanische
Baugruppen bereits während der Kon-
struktionsphase hinsichtlich ihrer me-
chanischen Eigenschaften virtuell zu
optimieren. Insbesondere für die Struk-
turanalyse gewinnen FEM-basierte Op-
timierungsstrategien zunehmend an Abbildung 1: vollständiges CAD-Modell (links) und reduziertes sowie berechnetes FEM-Modell einer
bei VACOM entwickelten QCF-Flanschverbindung.
Bedeutung. Moderne FEM Programm-
systeme werden meist vom Konstruk-
teur eingesetzt, um das ideale Verhält- Häufig erhält man dabei einen vielfach Ausheizprozesse zu konditionieren.
nis zwischen Gewicht und Steifigkeit überdimensionierten Behälter, der mit Dazu wird die Anlage auf Temperatu-
mechanischer Strukturen zu finden [1]. sehr großer Sicherheit alle nötigen Sta- ren von 200 bis 400 °C, aufgeheizt und
In der Vakuummechanik, die alle bilitätskriterien erfüllt. für mehrere Stunden bis Tage gehalten.
mechanischen Vakuumkomponenten In einigen Fällen ist es sinnvoll, hö- Durch Physisorption oder Chemisorp-
wie Kammern, Flanschsysteme (Abb.1), here Ansprüche an einen Vakuum- tion an der Kammerinnenoberfläche
Ventile, Membranbälge, Schrauben behälter zu stellen. Diese Ansprüche gebundene Atome oder Moleküle er-
etc. beinhaltet, ergeben sich eine Viel- können sich zum Beispiel aus Aspekten halten durch das Ausheizen thermische
zahl an Fragestellungen, die mit einem der Energieeffizienz ergeben. In vielen Energie, lösen sich aus der Bindung
FEM-Werkzeug untersucht werden Vakuumanwendungen ist es notwen- und desorbieren in das „freie“ Volumen
können. Bei der Konstruktion von Va- dig, die gesamte Vakuumanlage durch des Vakuumsystems. Von dort werden
kuumbehältern sind Anforderungen
bezüglich ihrer mechanischen Stabilität
sowohl gegenüber dem äußeren Luft- Zusammenfassung
druck als auch gegenüber am Behälter
angebrachter Lasten wie Pumpen, Ma- Die Finite-Elemente-Methode (FEM) XHV jedoch äußerst vorteilhaften Alu-
nipulatoren oder sonstiger Anbauten ist als Standardwerkzeug zur Festkör- miniumwerkstoffe wird mittels FEM
zu berücksichtigen. Flanschanschlüsse persimulation in den Ingenieurwissen- anwendungssicher erschlossen. Bei
müssen derart gestaltet sein, dass die schaften etabliert. Moderne FEM-Pro- der Neu- und Weiterentwicklung von
geforderte Leckdichtheit auch bei zu- gramme ermöglichen in Verbindung Vakuumflanschsystemen trägt die FEM
sätzlichen Belastungen gewährleistet mit einem CAD-System schon in der wichtige Erkenntnisse zur Funktions-
ist. Der klassische Ansatz zur Umsetzung virtuellen Entwicklungsphase ein für weise bei, woraus Montageparameter
einer solchen Konstruktionsaufgabe ist die spätere Anwendung optimiertes und zulässige Betriebsbedingungen
das Zurückgreifen auf Erfahrungswerte Design mechanischer Systeme. In der abgeleitet werden können.
zur Dimensionierung der Wandstärken Vakuummechanik befähigt FEM den Der vorliegende Artikel gibt Einblick
und zur Auslegung der notwendigen Konstrukteur, Vakuumbehälter auf in die grundlegenden Prinzipien einer
Verschweißungen. Besonders bei der spezifische mechanische und thermi- FEM-Analyse und zeigt die Vorgehens-
Fertigung von Vakuumbehältern aus sche Eigenschaften anzupassen. Der weise an praktischen Beispielen aus
nicht rostenden Edelstählen wird dieser Einsatz der im Vakuumbehälterbau der Vakuummechanik.
Ansatz in den meisten Fällen verfolgt. noch wenig verbreiteten, im UHV /

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sie über die Vakuumpumpen aus dem Druckbereichen die Ausgaseigenschaf-


System entfernt. Abhängig von der Aus- ten der Materialien von entscheidender
heiztemperatur und der Ausheizdauer Bedeutung [3]. Es ist bekannt, dass Alu-
werden so das häufig den Endddruck minium, abhängig von der angewen-
begrenzende Wasser oder sogar lang- deten Oberflächenbehandlung, eine
kettige Kohlenwasserstoffe von der niedrigere Ausgasrate als Edelstahl auf-
Oberfläche entfernt. [2] Im Resultat ver- weisen kann [4].
ringert sich die Ausgasrate der Behälte- Diese Eigenschaften zusammen
rinnenwände bei Raumtemperatur, es mit der Möglichkeit, durch Extrudie-
wird ein niedrigerer Enddruck erreicht ren auch komplizierte Formen und
und die Desorption prozessschädlicher Rohre herzustellen, erlaubten die Ver-
Stoffe wird vermindert [3]. Um einen Abbildung 2: FEM-optimierte, vollständig aus wendung in Hochenergie-Teilchenbe-
Vakuumbehälter aus rostfreiem Edel- Aluminium gefertigte Kammer mit 800 mm schleunigern wie SPEAR, PETRA, PEP,
stahl bei den nötigen Temperaturen Kantenlänge. DCI, CESR, SRS, NSLS, Photon Factory,
homogen und vollständig auszuheizen etc. [5].
ist wegen der schlechten Wärmeleitfä- Beim Einsatz von Aluminium als Ersetzt man den im Vakuumbehäl-
higkeit und der vergleichsweise hohen Werkstoff für Rezipienten (Abb. 2) kön- terbau bewährten Edelstahl durch Alu-
Wärmekapazität des Stahls ein sehr ho- nen die Stärken einer FEM-basierten minium müssen wegen der typischer-
her Energieaufwand nötig. Durch eine Konstruktion besonders gut ausge- weise geringeren Festigkeit im ersten
konsequente Optimierung der Behäl- spielt werden. Aluminiumlegierungen Ansatz wesentlich dickere Wandstärken
terkonstruktion hinsichtlich geringst- erfahren wegen ihrer guten Verarbeit- beim Bau der Behälter gewählt werden.
möglichen Materialeinsatzes kann der barkeit, der geringen Dichte und ihres Ein Gewichts- und Preisvorteil durch
Energieverbrauch für die Ausheizvor- allgemein günstigen Beschaffungsprei- niedrigeren Werkstoffeinsatz entsteht
gänge drastisch reduziert werden. Als ses eine stetig steigende Verbreitung im dadurch zunächst nicht. Erst durch die
positiver Nebeneffekt wird eine deutli- Anlagenbau. In der Vakuumtechnik fin- oben geschilderte Geometrieoptimie-
che Gewichtsersparnis erreicht, was be- det dieser Werkstoff üblicherweise eher rung können diese Vorteile effizient er-
sonders bei großen Behältern eine nicht für Komponenten im Grob- und Hoch- schlossen werden.
mehr zu vernachlässigende Rolle spielt. vakuumbereich Verwendung. „Neuere
Um weiterhin die oben genannten me- Anwendungen stellen UHV-Bauteile
Die FE-Methodik kurz erklärt
chanischen Stabilitätskriterien zu er- aus Aluminiumlegierungen dar“ [2].
füllen, kann die Dimensionierung des Getrieben von Bedürfnissen besonders Im Gegensatz zu Berechnungsansät-
Behälters nicht mehr „intuitiv“ erfolgen. beim Bau von Teilchenbeschleunigern zen der klassischen Mechanik, die mit-
Die Nutzung eines FEM-Werkzeuges ist gewinnt der Einsatz von Aluminium- tels analytischer Verfahren eine exakte
für solche Fälle geradezu prädestiniert. werkstoffen seit einigen Jahren zuneh- Lösung strukturmechanischer Frage-
Es erlaubt eine hinsichtlich des Mate- mend in der Vakuummechanik an Be- stellungen verfolgt, stellt die Finite-
rialeinsatzes optimierte Konstruktion deutung. Die Gründe dafür liegen z. B. Element-Methode eine Möglichkeit
des Behälters unter Vermeidung später in der extrem niedrigen magnetischen zur numerischen, näherungsweisen
auftretender, unzulässiger Deformatio- Permeabilität (µr < 1,0001) und der gu- Berechnung dar. Entwickelt wurde die-
nen und daraus resultierender Beschä- ten thermischen Leitfähigkeit. Darüber ser Berechnungsansatz in seiner heuti-
digungen bzw. Vakuumlecks. hinaus sind beim Einsatz in sehr tiefen gen Form in den 1960er Jahren [6]. Die
zugrunde liegende Idee, eine Gesamt-
Summary funktion höherer Komplexität durch die
bereichsweise Anwendung einfacher
Finite element method analysis in vacuum mechanics Funktionen zu ersetzen und so eine
In engineering sciences the finite ele- aluminum. FEM is an easy to use me- hinreichend genaue Näherungslösung
ment method (FEM) is widely accepted thod to enable this, regarding safety zu erhalten, wurde jedoch schon vor
as standard for the simulation of solid and low cost aspects. In the context of mehr als 2000 Jahren durch Archime-
body characteristics. Modern FEM- the new development and advance- des von Syrakus beschrieben. Beim ver-
Software, used with a CAD-system, ment of vacuum-flange-systems, FEM geblichen Versuch, das Verhältnis zwi-
enables the optimization of mechani- can be conducive to gain important schen Durchmesser und Umfang eines
cal systems in an early development insight to their functionality. Assembly Kreises, also die Zahl Pi, analytisch zu
stage. Vacuum-mechanic engineers parameters and operating conditions bestimmen, bediente sich Archimedes
can use FEM to adapt vacuum vessels can be derived with such investiga- schließlich eines Näherungsansatzes.
on specific mechanical and thermal tions. Er ersetzte den Kreis zunächst durch ein
requirements. The use of aluminum The following article describes the Vieleck und beschrieb so die Kreislinie
alloys for vacuum components, espe- basic principles of an FEM-analysis durch eine begrenzte Anzahl benach-
cially vessels for UHV / XHV, needs to and presents the respective procedure barter, gleichlanger und einfach zu be-
consider the mechanical properties of using examples of vacuum mechanics. rechnender Strecken, also quasi durch
finite Elemente. Durch das Anlegen

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eines innen und eines außen den Kreis sung der Fragestellung für das gesamte der Balkenquerschnittsfläche erfolgen,
begrenzenden Vielecks konnte er eine Fachwerk zu erhalten muss noch eine die Form des Balkenquerschnitts kann
obere und eine untere Grenze der ge- geometrische Verknüpfung der Knoten geändert werden oder die Anzahl der
suchten Funktion finden. Durch stetige erfolgen. Erreicht wird das über eine Balken wird erhöht. Auch eine Ände-
Verfeinerung dieses Näherungsansat- Transformation der Knotenkoordinaten rung des Werkstoffes ist denkbar, in den
zes gelang es ihm auf diese Weise, ganz von den lokalen in ein globales Koor- meisten Fällen aber nicht praktikabel.
ohne Taschenrechner, die Zahl Pi auf die dinatensystem. Aus der algebraischen Das Fachwerk kann nun so angepasst
vierte Nachkommastelle genau zu be- Verknüpfung der Ansatzfunktionen werden, dass es in jedem Fall und unter
stimmen. und der Koordinatentransformation Berücksichtigung der vorgeschriebe-
Die Zerlegung eines mechanischen entsteht die globale Steifigkeitsmatrix nen Sicherheitsfaktoren den einwirken-
Systems in eine endliche Anzahl finiter des gesamten Fachwerks, die dessen den Lasten standhält. Die Optimierung
Elemente ist eine dazu äquivalente Vor- strukturmechanische Eigenschaften, muss an diesem Punkt aber noch nicht
gehensweise. Es wird nicht mehr auf also die Reaktion auf einwirkende abgeschlossen sein. Wird beispiels-
das gesamte System eine analytische Kräfte, beschreibt. Alle auf das Fach- weise zusätzlich noch Wert darauf ge-
Berechnungsgleichung, sondern es werk einwirkenden Kräfte werden im legt, möglichst wenig Material zu ver-
werden einfache Ansatzfunktionen auf sogenannten Lastvektor zusammenge- brauchen, kann die Geometrie auch
die endlichen Elemente des Systems fasst. Aus der Kombination von Lastvek- unter diesen Gesichtspunkten weiter
angewendet. Die Ansatzfunktionen tor und Steifigkeitsmatrix entsteht ein verfeinert werden. So kann mithilfe der
beschreiben die Reaktion der Elemente symmetrisches Gleichungssystem in FEM das Fachwerk unter Berücksichti-
auf äußere Einflussgrößen, die sich aus Matrixform, dass zunächst vereinfacht gung verschiedenster Anforderungen
der zu untersuchenden Fragestellung und anschließend durch einen geeig- optimal auf die zu erfüllende Aufgabe
ergeben. Über physikalisch zwingende neten Algorithmus gelöst werden kann. designt werden.
Stetigkeitsbedingungen an den Kop- Die entstandene Lösung enthält
pelstellen der Elemente, den Knoten, sämtliche Informationen darüber, wie
Vorgehensweise
werden die einzelnen Ansatzfunktio- das Fachwerk auf die äußeren Belas-
nen miteinander verknüpft. tungen reagiert. Es kann zum Beispiel In den meisten ingenieurtechnischen
Ein einfaches und anschauliches Bei- abgeleitet werden, welche Knoten- Bereichen wird die FEM zur Optimie-
spiel für diese Vorgehensweise ist ein verschiebungen sich ergeben, welche rung deutlich komplexerer mechani-
ebenes Fachwerk, das aus mehreren an mechanischen Spannungen an den scher Systeme als einfacher Fachwerke
den Enden miteinander verbundenen Elementen anliegen oder welche Re- verwendet. Üblicherweise liegt dem In-
Balken besteht. Die zu lösende Frage- aktionskräfte an den Außenknoten des genieur ein zu untersuchendes Bauteil
stellung besteht in der mechanischen Fachwerks zu erwarten sind. Die ge- oder eine Baugruppe als CAD-Modell
Stabilität gegenüber auf das Fachwerk wonnenen Informationen müssen zur vor, das dessen geometrische Verhält-
einwirkender Kräfte. Die Balken reprä- Bewertung der mechanischen Stabilität nisse exakt beschreibt. Zur Übergabe
sentieren die finiten Elemente des ge- des Fachwerks nun entsprechend klug an eine FEM-Software wie zum Beispiel
samten mechanischen Systems Fach- interpretiert werden. Zur Beurteilung Autodesk Simulation wird das Modell
werk. Für jeden Balken werden aus den der mechanischen Integrität, also der zunächst vereinfacht. Unwichtige De-
Grundgleichungen der technischen Feststellung ob die Dimensionierung tails mit vernachlässigbarem Einfluss
Mechanik unter Einsetzen der geome- für die Aufnahme der Lasten ausrei- auf die zu untersuchenden struktur-
trischen Kenngrößen des Balkens und chend ist, werden die ermittelten me- mechanischen Eigenschaften werden
der mechanischen Kenngrößen des chanischen Spannungen heran gezo- unterdrückt. Durch die Nutzung vor-
Balkenwerkstoffes die Ansatzunktio- gen. Diese sollten an keinem Punkt des handener Spiegel- und Rotationssym-
nen gebildet. Sie beschreiben, wie sich Fachwerks, die für den vorgesehenen metrien kann die Modellgröße zusätz-
der Balken unter Einwirken einer Kraft Werkstoff maximal zulässigen Zug- lich drastisch reduziert werden (Abb. 1).
deformiert, genauer gesagt, wie sich bzw. Druckspannungen überschreiten. Diese Idealisierungen werden im späte-
die den Balken begrenzenden Knoten Ist das der Fall, so muss die Geometrie ren Verlauf den Berechnungsaufwand
verschieben. Eine zwingende Stetig- an den betreffenden Stellen angepasst und damit die Berechnungsdauer deut-
keitsbedingung ergibt sich aus der werden. Dabei kann eine Vergrößerung lich verringern.
Verbindung der Balken untereinander.
Verschiebt sich der Endknoten eines
Balkens, so muss diese Verschiebung
für den benachbarten Balken ebenso
wirken. Daraus ergeben sich die alge-
braischen Verknüpfungen der Ansatz-
funktionen. Die Verschiebungen der
Knoten werden durch die Ansatzfunkti-
onen zunächst innerhalb eines lokalen,
nur den Balken betreffenden Koordi- Abbildung 3: für eine FEM-Berechnung vollständig vernetztes CAD-Modell eines QCF-Flansches –
natensystems dargestellt. Um eine Lö- die Schneidkante ist feiner vernetzt als der Rest des Flansches.

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vakuumtechnologie

Eine derartige Reduzierung des


CAD-Modells muss bei der nun folgen-
den Eingabe der Randbedingungen
berücksichtigt werden. Sie umfasst
die Festlegung der kinematischen
Freiheitsgrade und der gegenseitigen
Abhängigkeiten aller im Modell befind-
lichen Einzelteile. Dazu zählen neben
geometrischen Beziehungen auch die
Kontaktsteifigkeit sich berührender
Oberflächen und eventuell zu berück-
sichtigende Reibungsparameter. Für
ein vollständiges FEM-Modell sind noch Abbildung 4: Darstellung der berechneten Verformung nach Evakuieren an einer Aluminium-
alle nötigen Materialdaten sowie die Rechteckkammer, links: Ausgangsgeometrie, Masse: 213 kg, rechts: verrippte Geometrie mit opti-
auf das Modell einwirkenden Beanspru- mierter Wandstärke, Masse: 178 kg.
chungen wie Kräfte, Momente, Drücke
und Spannungen, Beschleunigungen
und dergleichen zu definieren.
Vor der Ausführung der eigentlichen
FEM-Berechnung wird nun die Diskre-
tisierung des entstandenen Modells
durchgeführt: es wird in die finiten
(endlichen) Elemente zerlegt. Die dabei
verwendeten finiten Elemente (FE) sind
geometrische Grundformen wie Bal-
ken (1D), Dreiecke (2D) oder Hexaeder
(3D), die über ihre End- bzw. Eckpunkte
miteinander verknüpft sind. Wegen
Abbildung 5: Darstellung der berechne- Abbildung 6: Darstellung der mechanischen
der entstehenden netzartigen Struktur ten Verformung nach Evakuieren an der Spannungen an der Rechteckkammer nach
wird dieser Diskretisierungsvorgang endgültigen Geometrie der Aluminium- Evakuierung.
auch Vernetzung (engl. Meshing) ge- Rechteckkammer, Masse: 163 kg.
nannt. Bei Betrachtung des entstande-
nen Netzes (Abb. 3) erkennt man das im Mechanik, deren Verknüpfung sowie designen, die in den mittleren Berei-
vorherigen Abschnitt beschriebene die Koordinatentransformation und chen der Kammerwände bei möglichst
Fachwerk wieder. Die Wahl geeigneter die Überführung in das numerische geringem Materialeinsatz eine maxi-
Elementformen und -größen ist ent- Gleichungssystem, all das führt die male Deformation von 0,25 mm auf-
scheidend für die spätere Genauigkeit Software für den Anwender automa- weisen sollte. Zunächst wurde in einer
der Berechnungsergebnisse. Ziel ist es tisiert aus. Der eigentliche FEM-Solver CAD-Umgebung die benötigte Grund-
dabei, ein FE-Netz mit möglichst ge- löst schließlich das Gleichungssystem. geometrie entworfen und an das FEM-
ringen Abweichungen zum geometri- Als Ergebnis erhält man die von den System übergeben. Die zu berücksich-
schen Modell zu erstellen, dessen Ele- Beanspruchungen verursachten Verfor- tigende Randbedingung ist der äußere
mente an besonders relevanten Stellen mungen der Bauteile sowie die in den Luftdruck, der im evakuierten Zustand
eine ausreichend kleine Kantenlänge Bauteilen auftretenden Spannungen. als Belastung auf die Kammer wirkt
besitzen (Abb. 3). Mit diesen Informationen kann eine und zu einer Deformation der Wände
Am so vorbereiteten FEM-Modell Beurteilung der Konstruktion bezüglich führt (Abb. 4, links). Ausgehend von den
wird nun die Berechnung ausgeführt, ihrer Stabilität und mechanischer Inte- Ergebnissen wurde eine geeignete Ver-
die mit der Überprüfung der Plausibi- grität erfolgen. In nachfolgenden Opti- rippung an den Kammerwänden ange-
lität des Modells anhand der vorgege- mierungsschritten wird die Geometrie bracht und die nun hervorgerufenen
benen Berechnungskriterien beginnt. derart angepasst, dass die gewünschte Deformationen erneut berechnet (Abb.
Fehlen beispielsweise Materialkenn- Funktion bestmöglich erfüllt wird. 4, rechts). Durch die sukzessive Anpas-
werte oder sind finite Elemente zu sung der geometrischen Gestaltung
stark verzerrt, kann die Berechnung und erneute Berechnung der Durchbie-
Beispiele zur Nutzung der FEM in
bereits an dieser Stelle abgebrochen gung wurde schließlich ein Optimum
der Vakuummechanik
werden. Nach erfolgreicher Prüfung zwischen Wandstärke und Durchbie-
erfolgt die Umwandlung des physika- Die Abb. 4 bis 6 zeigen die Optimierung gung gefunden (Abb. 5). Der erfahrene
lischen Modells in ein mathematisches eines Vakuumbehälters. Hier war zu- Ingenieur wirft bei der Interpretation
Gleichungssystem. Die Bildung der ver- nächst die Aufgabe gestellt, eine wür- der Ergebnisse auch einen Blick auf die
einfachten Ansatzfunktionen aus den felförmige Aluminiumkammer mit in den Kammerwänden auftretenden
Grundgleichungen der technischen einer Kantenlänge von ca. 800 mm zu mechanischen Spannungen, um unzu-

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lässige Spannungsüberhöhungen zu pressung von 319 MPa ermittelt. Direkt Ergebnissen der FEM-Berechnungen
vermeiden (Abb. 6). Im Ergebnis entsteht unter der Schneidkante wurde ein Ma- konnten sowohl Rückschlüsse auf die
eine auf die Aufgabenstellung opti- ximalwert von 968 MPa identifiziert [7]. optimalen Montageparameter als
mierte Kammergeometrie die dann zur Die Betrachtung solcher theoretisch auch auf zulässige Betriebsbedingun-
weiteren Ausarbeitung der Konstruk- gewonnener Erkenntnisse eröffnet gen gezogen werden. So kann z. B. das
tion in das CAD-System zurückgegeben Möglichkeiten, das CF-Flanschsystem Verhalten der QCF-Verbindung beim
wird (Abb. 2). hinsichtlich seiner Dichtwirkung zu op- Aufbringen von externen Lasten zuver-
Nicht nur beim Bau anspruchsvol- timieren oder sogar hinsichtlich Monta- lässig vorhergesagt werden. Das umfas-
ler Vakuumrezipienten kann ein FEM- gezeit und -komfort zu revolutionieren. sende Verständnis der mechanischen
Werkzeug nützlich sein. Auch bei der Das von VACOM entwickelte Quick- Gegebenheiten des QCF-Flanschsys-
Weiterentwicklung in der Vakuum- CF (QCF) Flanschsystem vereint das tems ermöglicht eine vollständige Be-
mechanik seit Jahrzehnten etablierter voll UHV-taugliche Dichtprinzip der schreibung des Systems und eröffnet
Technologien können dessen Vorteile CF-Flansche mit dem einfachen Mon- dem Anwender eine Nutzung unter
genutzt werden. FEM-basierte Untersu- tageprinzip des KF-Flanschsystems [8]. optimalen Bedingungen und damit
chungen an CF-Flanschverbindungen Die Dichtkraft wird nicht, wie bei CF üb- eine größtmögliche Sicherheit bei der
leisten einen wichtigen Beitrag zum lich, über Schrauben sondern über eine Verwendung von QCF-Flanschen mit
Verständnis der mechanischen Gege- VaCFix®-Spannkette auf die konischen VaCFix®-Spannketten. Zur Erweiterung
benheiten beim Eindringen der CF- Flanken der QCF-Flansche aufgebracht. des technischen Verständnisses der
Schneidkante in die metallische Dich- Das erlaubt dem Anwender die Monta- QCF-Verbindungstechnik werden im
tung. Solche Untersuchungen wurden gezeit um über 90 % zu senken und die nächsten Schritt thermomechanische
in der Vergangenheit beispielsweise am Flanschverbindungen auch bei engen FEM-Untersuchungen der Flanschver-
Europäischen Forschungszentrum für Platzverhältnissen zu montieren [9]. bindungen erfolgen. Aus diesen Unter-
Kernforschung CERN durchgeführt, mit Wegen der Verwendung der genorm- suchungen können die beim Einsatz in
dem Ziel ein besseres Verständnis für ten CF-Schneidkantengeometrie kön- einer Hochtemperatur- bzw. Kryoum-
den Dichtmechanismus einer CF-Ver- nen auch bei diesem Flanschsystem gebung auftretenden Auswirkungen
bindung zu erlangen. Mit einem 2-di- handelsübliche CF-Kupferdichtungen auf die Flanschverbindungen und da-
mensionalem FEM-Modell wurde die genutzt werden. raus resultierende Montage- und Be-
Verteilung der Flächenpressung unter- Durch FEM-Berechnungen wurden triebsparameter abgeleitet werden.
halb einer in die Kupferdichtung einge- die beim Erzeugen der Verbindung ent-
pressten CF-Schneidkante quantitativ stehenden Deformationen und Span-
Fazit und Ausblick
berechnet, um die eigentliche Dichtwir- nungen im Flanschsystem quantitativ
kung innerhalb der Flanschverbindung beurteilt (Abb.  1). Dabei musste einer- Der konsequente Einsatz FEM-unter-
genau zu lokalisieren. Die für eine vaku- seits die Reibung zwischen der VaCFix®- stützter Konstruktion ermöglicht eine
umdichte Verbindung nötige hohe Flä- Spannkette und dem QCF-Flansch auf die Anwendung zugeschnittene
chenpressung zwischen Schneidkante und andererseits das Fließverhalten Auslegung mechanischer Vakuum-
und Kupferdichtung wurde unterhalb der Kupferdichtung so berücksichtigt komponenten. Der wesentliche Vorteil
der flachen CF-Schneidkantenflanke werden, dass die am Modell gewon- strukturmechanischer FEM-Simula-
lokalisiert. Aus den FEM-berechnungen nenen Ergebnisse möglichst exakt die tionen liegt dabei darin, dass bereits
wurde eine durchschnittlich Flächen- realen Verhältnisse abbilden. Aus den während der Konstruktion der Vaku-
umkammer oder -komponente, das
Autoren Verhalten in der Praxis vorhergesagt,
gegebenenfalls nachjustiert und somit
Dipl. Ing. (FH) Dr. Michael Flämmich das Bauteil optimal ausgelegt werden
René Bauer ist Leiter der Abteilung Forschung und kann. Das diskutierte Beispiel zur Op-
ist bei VACOM als Entwicklung bei VACOM timierung einer Rechteckkammer aus
Produktlinienmanager Aluminium veranschaulicht, dass eine
verantwortlich für die Dr. Ute Bergner Optimierung der Wandstärke durch die
Produktlinie ist Gründerin und Geschäftsführerin der VACOM Einbeziehung von Verstrebungen erfol-
Vakuummechanik Vakuum Komponenten und Messtechnik GmbH gen kann. Dadurch wurde der gesamte
Materialeinsatz verringert und letztlich
M.Sc. Stephan Wolfgramm wurde eine gewichtsreduzierte, res-
fertigte bei VACOM seine Masterarbeit zum sourcenschonende und, bezogen auf
Thema FEM an und führt heute strukturmecha- mögliche Ausheizvorgänge, energieef-
nische FEM-Simulationen bei VACOM durch
fiziente Umsetzung der gestellten Auf-
gabe erzielt. Die beschriebenen Simu-
lationen mechanischer Komponenten
Dipl. Ing. (FH) René Bauer, VACOM Vakuum Komponenten & Messtechnik GmbH, Gabelsberger- am Beispiel der der VaCFix®-Spannkette
straße 9, 07749 Jena, Tel. +493641 8734 108, Fax: +493641 8734 349, und dem QCF-Flanschsystem ver-
E-Mail: rene.bauer@vacom.de deutlicht, dass die Montage- und Be-

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triebsparameter mechanischer Kom- Werkstoffe untersucht werden. Dem


ponenten zuverlässig ermittelt werden Entwickler ermöglicht das, zunächst
können. Darüber hinaus kann das Ver- ohne praktische Einschränkungen, ei-
halten von Komponenten und Kam- nen theoriegetriebenen Lösungsansatz
mern unter zusätzlicher Einwirkung für gegebene Aufgabenstellungen zu
externer Lasten vorhergesagt werden verfolgen. Anhand der theoretisch er-
und somit ein wichtiger Beitrag zum si- mittelten, notwendigen mechanischen
cheren Umgang mit Vakuumbauteilen Eigenschaften kann dann die Auswahl
geleistet werden. eines geeigneten Werkstoffs für die je-
Die im vorliegenden Artikel darge- weilige Komponente erfolgen.
stellte Verwendung von FEM-unter- Die Verwendung numerischer Lö-
stützter Konstruktion zur Geometrie­ sungsverfahren wie der Finiten Ele-
optimierung von Aluminiumkammern mente Methode beschränkt sich bei der
oder zur Ableitung von Montage- und Technologieentwicklung nicht nur auf
Betriebsparametern mechanischer mechanische Fragestellungen. Es exis-
Komponenten, wie z. B. der VaCFix®- tieren ebenso Werkzeuge, die theoreti-
Spannkette und dem QCF-Flansch- sche Untersuchungen zum Beispiel auf
system, stellen nur zwei Beispiele der dem Gebiet des Elektromagnetismus
wesentlich umfangreicheren Anwen- ermöglichen. Sie erlauben beispiels-
dungsgebiete dar. Moderne FEM- weise die Simulation der Flugbahnen
Softwaresysteme bieten neben der Be- geladener Teilchen innerhalb eines Va-
rechnung reiner strukturmechanischer kuummeters und ermöglichen so die
Fragestellungen auch Möglichkeiten Weiterentwicklung und Optimierung
zur Betrachtung weiterer physikali- von Sensoren für die Vakuummesstech-
scher Zusammenhänge. So kann mit nik [11, 12].
den heute gängigen FEM-Programmen
beispielsweise standardmäßig die Tem- [1] K.-H. Grote und J. Feldhusen: Dubbel Taschenbuch für
peraturverteilung in mechanischen Sys- den Maschinenbau, Springer-Verlag
temen bei Wärmeeintrag bestimmt wer- [2] K. Jousten: Wutz Handbuch Vakuumtechnik, Vieweg+
Teubner Verlag
den, was weitere Optimierungsschritte
[3] O. Posth, H.Wunderlich, M. Flämmich, U. Bergner:
von Vakuumkammern bezüglich des Reinigung von Vakuumbauteilen für UHV- und UCV-
thermischen Designs ermöglicht. In ge- Anwendungen. Vakuum in Forschung und Praxis 24
koppelten Simulationen können gleich- (2012) 6, 18-25.
zeitig Temperaturverteilung und die [4] J. R. Young: Journal of Vacuum Science and Technol-
durch Wärmeeintrag hervorgerufenen ogy 6.3 (1969) 398-400.
Deformationen ermittelt werden. [5] Hajime Ishimaru: All-aluminum-alloy ultrahigh
vacuum system for a large-scale electron-positron
Die Anwendung von FEM-Simu- collider, National Laboratory for High Energy Physics,
lationen in der Konstruktionsphase Journal of Vacuum Science and Technology
kann darüber hinaus auch völlig neue [6] Ray W. Clough: The finite element method in plane
Anwendungsfelder erschließen. So ist stress analysis. In: Proceedings, 2nd Conference on
es beispielsweise möglich, Vakuumbe- Electronic Computation, A.S.C.E. Structural Division.
Pittsburgh, Pennsylvania, Sept. 1960.
hälter und komponenten für optische
[7] P. Lutkiewicz und Ch. Rathjen: Finite element modeling
Anwendungen derart zu designen, dass and experimental validation of the sealing mecha-
die notwendigen optischen Parame- nism of the ConFlat® joint, Journal of Vacuum Science
ter schon während der Konstruktions- and Technology
phase des Bauteils berücksichtigt wer- [8] http://www.vacom.de/produkte/standardkompo-
den [10]. Unzulässige Deformationen nenten/flanschsysteme/qcf-komponenten
an mechanischen Schnittstellen zu op- [9] http://www.vacom.de/produkte/standardkompo-
nenten/flanschsysteme/vergleich-qcf-verbindung-
tischen Komponenten sowohl inner- als
stechnik-mit-klassischer-cf-flanschmontage
auch außerhalb des Behälters können
[10] T. Rietmann, S. Gottschall, C. Sahib, M. Flämmich, U.
so im Vorfeld auf einen für die Anwen- Bergner: Optik braucht Vakuum, Vakuum in Forschung
dung unkritischen Wert reduziert wer- und Praxis 25 (2013) 1, 18-26.
den. [11] N. von Freyhold, M. Walter, H. Wunderlich, J. Iwicki,
Der Einsatz alternativer Werkstoffe M. Flämmich, U. Bergner: Innovativer Bayard-Alpert
Sensor mit ausgetrickster Röntgengrenze. Vakuum in
für verschiedenste Vakuumkomponen-
Forschung und Praxis 24 (2012) 5, 12-16.
ten kann durch einen FEM-basierten
[12] J. Iwicki, I. Pongrac, P. Gottschalk, R. Bauer, A. Schlotter,
Entwicklungsansatz frühzeitig hinsicht- M. Flämmich, U. Bergner: Sicher zündende, langzeit-
lich der grundsätzlichen Eignung und stabile Kaltkathode, Vakuum in Forschung und Praxis
der späteren Einsatzbedingungen der 25 (2013) 2, 48-51.

© 2013 WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim www.vip-journal.de Vol. 25  Nr. 3   Juni 2013 ViP 25