Sie sind auf Seite 1von 78

Mediciones de sonido y vibración

Acelerómetro basado en tecnología MEMS


• Diseño de un acelerómetro capacitivo
• Proceso de diseño completo: – Cálculo de dimensiones y
parámetros –
• Proceso de fabricación –
• Dibujo de máscaras –
• Presupuesto de fabricación

Das könnte Ihnen auch gefallen