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VORLESUNG LASERTECHNIK

CO2 - Laser

CO2 - Laser

02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 2


Optik

l [cm]
100 10-2 10-4 10-6 10-8
Wellenlänge l = c0 / n
1mm 10 mm 100 nm 1A
E [eV]
10-4 10-2 100 102 104
Photonenenergie E=hn
Molekül- Molekül äußere innere
rotation schwingung Atomhülle Atomhülle

V ν (Licht)Frequenz
FIR NIR I UV VUV XR
S
FIR Fernes Infrarot
NIR Nahes Infrarot Excimer Laser, 249 nm, 1.2 1015 s -1
VIS Sichtbarer Bereich He- Ne -, Ar – Laser, Diodenlaser, 633 nm, 4.7 1014 s -
1
UV Ultraviolett
VUV Vakuum UV Nd - YAG- Laser / Diodenlaser, 1,06 mm, 2.8 1014 s -1
XR Röntgenstrahlen CO2 – Laser, 10,6 mm, 2.8 1013 s -1
02.05.2020 Lasertechnik - Einführung Folie 3
Marktanalyse

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Marktanalyse

2,5
Weltmarkt für Laser-Materialbearbeitung in US Mrd $ Quelle: Prof. G. Herziger, DLR
(nach Optec Consulting, Laser Focus World 2000) DLR

2,0

1,5

1,0

0,5

0,0
1990 1995 2000 2005 2010
Jahr
02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 5
Marktanalyse

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Optik

Stimulierte Emission

Stimulierte
Emission
Stoß

Kern hn

Stoß
hn

Stoß

Video

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CO2 – Laser Prinzip

Schwingungsanregung des CO2- Moleküls durch einen e-- Stoß

Grundzustand asymm. Schwingung

O C O O C O

Knickschwingung
symm. Schwingung
O O
O C O C

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CO2 – Laser Prinzip

Grundzustand
Schwingungsanregung des CO2-
O C O Moleküls durch einen e-- Stoß

symm. Schwingung
O C O

asymm. Schwingung

O C O

Knickschwingung
O O
C Video

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CO2 – Laser Prinzip

1. Schwingungsanregung des CO2-


C
Moleküls durch einen e-- Stoß

CO2 000 n
Besetzungsdichte der
Schwingungsenergie

Schwingungsniveaus t ~ 200 ns
entsprechend einer CO2 000 l
CO2 000 4 Boltzmannverteilung

CO2 000 3
Elektronen-
Stoß-
CO2 000 2 anregung
4.2 × 102 s-1
t ~ 200 ns
CO2 000 l

CO2 000 0
Grundzustand CO2
Teilchendichte
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CO2 – Laser Prinzip

1. Schwingungsanregung des CO2-


C
Moleküls durch einen e-- Stoß
2. Strahlungsemission durch Übergang
von der asymmetrischen in den C
CO2 000 n
symmetrischen Schwingungsmodus t ~ 200 ns
CO2 000 l
Laserübergang t ~ 0,4 ms
t < 100 ms
CO2 100 0
Elektronen-
Stoß-
anregung
4.2 × 102 s-1

Grundzustand CO2

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CO2 – Laser Prinzip

Besetzungsdichte der
Schwingungsniveaus C
nach unterschiedlichen
Schwingungsenergie E

Boltzmannverteilungen
C
CO2 000 n
t ~ 200 ns
CO2 000 l
000 2
t ~ 0,4 ms
t < 100 ms
CO2 100 0
200 0
Elektronen-
000 1 Stoß-
anregung
DE 4.2 × 102 s-1
100 0 DE = h n

Dn
000 0
Teilchendichte n Grundzustand CO2

02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 12


CO2 – Laser Prinzip

1. Schwingungsanregung des CO2- C


Moleküls durch einen e-- Stoß
2. Strahlungsemission durch Übergang
von der asymmetrischen in den C
CO2 000 n
symmetrischen Schwingungsmodus t ~ 200 ns
CO2 000 l
t ~ 0,4 ms
3. Entleeren des unteren Laserniveaus resonanter Energie-
durch Stöße und Übergang in den übertrag 00
t < 100 ms
t < 1 ms CO 2 10
Grundzustand der Biegeschwingung
CO2 022 0 t < 600 ns Elektronen-
Stoß-
CO2 0200 anregung
t < 200 ns 4.2 × 102 s-1
C
CO2 011 0

t < 18 ms

Grundzustand CO2
02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 13
CO2 – Laser Prinzip

1. Schwingungsanregung des CO2- C


Moleküls durch einen e-- Stoß
2. Strahlungsemission durch Übergang
von der asymmetrischen in den C
CO2 000 n
symmetrischen Schwingungsmodus t ~ 200 ns
CO2 000 l
t ~ 0,4 ms
3. Entleeren des unteren Laserniveaus resonanter Energie-
durch Stöße und Übergang in den übertrag 00
t < 100 ms
t < 1 ms CO 2 10
Grundzustand der Biegeschwingung
CO2 022 0 t < 600 ns Elektronen-
4. Entleeren durch Stöße mit He – Atom CO2 0200
Stoß-
anregung
(Kühlung) 4.2 × 102 s-1
t < 200 ns
C
CO2 011 0
Stoß-
abregung t < 18 ms
(Kühlung)
Grundzustand CO2
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CO2 – Laser Prinzip

1. Schwingungsanregung des CO2-


C N N
Moleküls durch einen e-- Stoß resonanter
2. Strahlungsemission durch Übergang Energieübertrag
t ~ 65 ms
von der asymmetrischen in den C
CO2 000 n Vibrations-
symmetrischen Schwingungsmode t ~ 200 ns schwingung
CO2 000 l N2
3. Entleeren des unteren Laserniveaus t ~ 0,4 ms
durch Stöße und Übergang in den resonanter Energie-
Grundzustand der Biegeschwingung übertrag t < 100 ms
CO 10 00
t < 1 ms 2

4. Entleeren durch Stöße mit He – Atom CO2 022 0 t < 600 ns Elektronen- Elektronen-
Stoß- Stoß-
(Kühlung) CO2 0200 anregung anregung
t < 200 ns 4.2 × 102 s-1 3 × 103 s-1
5. Verstärkte Anregung durch Stöße C
mit N2-Molekül CO2 011 0
Stoß-
Typisches Gasgemisch: He : N2 : CO2 abregung
t < 18 ms
(Kühlung)
80 : 12 : 8 Grundzustand CO2 Grundzustand N2

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CO2 – Laser Prinzip

02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 16


CO2 – Laser

Typischer CO2-Laser-Aufbau

Elektroden Lasergas
HV

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CO2 – Laser

Typischer CO2-Laser-Aufbau

Elektroden Lasergas
HV

02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 18


CO2 – Laser

Typischer CO2-Laser-Aufbau

Fenster
Elektroden HV
Lasergas

Lasergasplasma

Resonator- Glasrohr Resonator-


spiegel spiegel
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CO2 – Laser

Wasserkühlung

Elektrode

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CO2 – Laser

Wasserkühlung

Elektrode

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CO2 – Laser

Wasserkühlung

Laserstrahl

Elektrode

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CO2 – Laser

Gleichstromentladung Hochfrequenzentladung

dc-Entladung
Multi-pin Elektroden
mit Stabilisierungs- HF-Entladung mit
widerständen kapazitiver Einkopplung

Dielektrikum
dc-Entladung (Dicke d)
+
ac-Vorionisierung
Metall

Stabilisierungs-
widerstände
segmentierte
Metallelektroden

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CO2 – Laser

Axial geströmter CO2-Laser

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CO2 – Laser

Technische Grundkonzepte von schnell geströmten CO2 - Hochleistungslasern

Längsgeströmter Laser

Resonatorachse ll Strömung
Gasströmung Plasma

HF-Entladung mit
DC kapazitiver Einkopplung
Elektroden ~
HF Dielektrikum

Plasma Metall

02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 25


CO2 – Laser

Technische Grundkonzepte von schnell geströmten CO2 - Hochleistungslasern

Längsgeströmter Laser

Resonatorachse ll Strömung
Gasströmung Plasma

DC Elektroden HF
Elektroden ~
HF

Plasma
Plasma

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CO2 – Laser

kaltes Lasergas

heißes Lasergas

 Resonator 1x gefaltet

 4 Entladungsstrecken

 schnellgeströmt

 1700 W Ausgangsleistung

02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 27


CO2 – Laser
Aufbau Resonatorträger
Stangenaufbau Rohraufbau

Umlenk-
kopf

Entladungs-
strecke
Resonator-
Verbindungs- träger (Rohr)
Träger- Umlenk-
stange (Rohr)
Endplatte kopf

02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 28


Konzept „Rohrlaser"

Laserstrahl

Resonatorträger
Gasströmung
Ein- und Ausgang
Entladungs-
röhren

 Laserleistung
 kompakter, robuster Aufbau
 HF- Anregung für hohe Zuverlässigkeit m³/kW kg/kW
und Flexibilität
30 kW Laser 0,5 150
 Axiale Gasströmung,
konv. Axial 1,0 350
Hochleistungs-Gasverdichter
konv. Transversal 2,6 550
02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 29
Belastung des Resonatorträgers

Ursache Störung Größe der Störung Mögliche Auswirkung Gegenmaßnahme

Eigengewicht M t L Verlagerung der Große Trägheits-


Bewegung des Torsion  [rad ] Resonatorachse momente
G  Ip
Unterbaus Dejustierung der leichte und
Verspannung bei Spiegel feste Materialien
F  L3
Montage Biegung ymax  K  [mm] Verminderte Strahlqualität
E Iy Verminderte Leistung

Erwärmung durch Längenänderung a) Veränderung der Materialwahl, z.B.


Entladung, Gas- a) symmetrisch L    L  T [mm ] Resonatorlänge, d.h. Invar, CFK, Zerodur
kreislauf, äußere b) unsymmetrisch Frequenzverschiebung Kühlung,
Umgebungseinflüsse Leistungsänderung symm. Aufbau des
b) Wie bei Torsion/Biegung Resonatorträgers

Anbauaggregate Eigenschwingung 1.Ord. Wie Längenänderung, Material mit


Anregung aus der Schwingungen n Re s  5 / Ymax [1 / s] aber in period. Form hoher Dämpfung,
Umgebung (Halle) große Trägheits-
Strömungsablösung f = Durchbiegung momente

F = Störkraft [N] L = Länge [m]


G = Schubmodul ( » 0,39 E) [N/mm²] Mt = Torsionsmoment [Nm]
Ip = Polares Trägheitsmoment (für Kreisform 1/2 Iy)[m4] Iy = Axiales Trägheitsmoment [m4]
K = Beiwert, abhängig von der Einspannung [-] a = Längenausdehnungskoeffizient [K-1]
E = Elastizitätsmodul [N/mm²] T = Temperatur [K]
02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 30
Resonatorspiegel

1 3 Auflager 60° 2 3 Auflager 90° Ansicht Justierung nach 2


y y 3
3
R
R
x x
R/2 R/2
1 2 1 2
3 Auflager 60° 3 Auflager 90°
1 2 3 Justierung um: 1 2 3
s s x-Achse s s
   s    s
2 2 2 2
s s y-Achse s s s
  0   
2 2 2 2 2
x-Achse
0 0  s (vereinfacht) 0 0  s

y-Achse
 s 0 0
(vereinfacht)
02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 31
CO2 – Laser

kaltes Lasergas

heißes Lasergas

kaltes Lasergas
Resonator-
auskoppel
spiegel
02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 32
CO2 – Laser

Axial schnell geströmter CO2 – Laser mit mehrfach gefaltetem Resonator

heißes Lasergas

kaltes Lasergas
Resonator- Turbogebläse
auskoppel
spiegel

Resonatorendspiegel

02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 33


Winkelabhängige Absorption

Absorptionsgrad von Kupfer als Funktion des Einstrahlwinkels

Kupfer
0,4
zirkular polarisiert
senkr. polarisiert

0,3
parallel polarisiert s
Wellenlänge = 10 mm
P
Absorptionsgrad

0,2

0,1

0
O° 22,5° 45° 67,5° 90°
Einfallswinkel / Grad
02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 34
Strahlungsabsorption

Absorptionsgrad von Kupfer als Funktion des Einstrahlwinkels

Kupfer heißes Lasergas


0,4
zirkular polarisiert
senkr. polarisiert
parallel polarisiert
0,3
Wellenlänge = 10 mm
kaltes Lasergas
Absorptionsgrad

Resonator-
0,2
Turbogebläse
auskoppel
spiegel

0,1

0
O° 22,5° 45° 67,5° 90° Resonatorendspiegel
Einfallswinkel / Grad
02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 35
CO2 – Laser

20 kW Laser
HF - Anregung
Aerowindow
Ringmode M3

02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 36


CO2 – Laser

Technische Grundkonzepte von schnellgeströmten


CO2-Hochleistungslasern
Längsgeströmter Laser Quergeströmter Laser
Resonatorachse  Strömung Resonatorachse ^ Strömung
      

 
 
 

Elektroden Entladungsraum Resonatorspiegel Kühler Gebläse


typische Strömungsgeschwindigkeit
vS = 200 - 300 m/s vS = 50 m/s
02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 37
CO2 – Laser

Wärme- Polarisations-
tauscher spiegel
Richtung des rückwärtiger
Quergeströmter CO2 - Laser Resonatorspiegel
Gasstroms
mit Tangentialgebläse Kathode
Tangential-
Spannung : 1000 - 3000 Volt gebläse

Druck : 0,02 × 105 - 0,1 × 105 Pa


(20 - 100 mbar)

Gas : He : N2 : CO2
80 : 12 : 8 Faltspiegel

Strömungsgeschwindigkeit: segmentierte Anode


30 - 50 m/s Strahlaustritt
Auskoppelspiegel
Verschluss
Austrittsfenster Leistungsmesser
02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 38
CO2 – Laser

Quergeströmter CO2 - Laser


mit Tangentialgebläse

Spannung : 1000 - 3000 Volt

Druck : 0,02 × 105 - 0,1 × 105 Pa


(20 - 100 mbar)

Gas : He : N2 : CO2
80 : 12 : 8

Strömungsgeschwindigkeit:
30 - 50 m/s

Video

02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 39


CO2 – Laser

Wärme- Polarisations-
tauscher spiegel
Richtung des rückwärtiger
Quergeströmter CO2 - Laser Gasstroms Resonatorspiegel
mit Tangentialgebläse Kathode

Tangential-
Spannung : 1000 - 3000 Volt gebläse

Druck : 0,02 × 105 - 0,1 × 105 Pa


(20 - 100 mbar)

Gas : He : N2 : CO2
80 : 12 : 8
Strahl- Faltspiegel
Strömungsgeschwindigkeit: falle
segmentierte Anode
30 - 50 m/s
Strahlaustritt
Auskoppelspiegel
Verschluss
Austrittsfenster Leistungsmesser
02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 40
Optische Resonatoren

R1 L R2
charakteristische Größen:

L = Spiegelabstand
R = Krümmungsradius der
Spiegel
a = Spiegelradius
planar hemifokal
werden zusammengefasst zu: R1 = R2 = ¥ R1 = ¥, R2 = 2L
g1g2 = 1 g1g2 = 0,5
g = Parameter
g1 = 1 - L / R 1
g2 = 1 - L / R 2

Fresnelzahl:
F = a1a2 / Ll konzentrisch konfokal
R1 = R2 = L / 2 R1 = R2 = L
g1g2 = 1 g1g2 = 0
02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 41
Optische Resonatoren

Sphärisch instabile Resonatoren


r2

 charakteristische Größe ist Vergrößerung M, das Verhältnis von Strahlradius r2 am


Auskoppelspiegel zu Spiegelradius a2
M = r2 /a2.
 Vergrößerung gibt gleichzeitig in geometrischer Näherung die Verluste DVB pro
Durchgang an 1
VB  1  2
.
M
02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 42
Optische Resonatoren

konfokal
pos. Zweig
Typ g-Parameter Krümmungsradien 2
instabil g2 instabil
stabil 0<g1g2<1
symmetrisch g1 = g2 R1 = R 2 plan - plan
semikonfokal g1 = 1; g2 = 0.5 R 1 = ; R 2 = 2L
sym. 1
g1 = 0.5; g2 = 1 R 1 = 2L; R 2 =  semi
konfokal konfokal
instabil
positiver Ast g1 × g2 > 1 stabil
negativer Ast g1 × g2 < 0
allgem. g1 + g2 = 2g1g2 R 1 + R2 = 2L -2 -1 1 2
konfokal stabil
g1 × g2 = 0; 1
Grenzfälle -1
sym. konfokal g1 = g2 = 0 R1 = R2 = L
g1
sym.
allg. konzentr. g1 × g2 = 1 R1 + R2 = L konzentrisch
sym. konzentr. g1 = g2 = -1 R1 = R2 = L/ 2
plan g1 = g2 = +1 R1 = R2 =  instabil instabil
-2

02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 43


CO2 – Laser

Aerodynamisches Fenster zur Auskopplung von Hochleistungslaserstrahlen

sphärischer
Spiegel

aerodynamisches
Scraper
Fenster

sphärischer
Spiegel

02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 44


CO2 – Laser

Axiale aerodynamische Fenster Transversale aerodynamische Fenster

02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 45


CO2 – Laser

 Schema eines diffusionsgekühlten Plattenlasers (slab-laser)


 die Leistungsauskopplung erfolgt mittels eines instabilen Resonators mit
Zylinderspiegeln
Kühlwasser HF

Auskoppler
Endspiegel

Elektroden-
Wellenleiter

Hochfrequenz-
gasentladung
Laserstrahl
02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 46
CO2 – Laser

 Schema eines diffusionsgekühlten Plattenlasers (slab-laser)


 die Leistungsauskopplung erfolgt mittels eines instabilen Resonators mit
Zylinderspiegeln
Kühlwasser HF

Auskoppler
Endspiegel

Elektroden-
Wellenleiter
Resonatorspiegel y
Hochfrequenz-
X
gasentladung
Laserstrahl

Elektroden-Wellenleiter

02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 47


CO2 – Laser

Kühlwasser HF
Strahlprofil
x-Richtung: Rechteck Gauß
beugungsbegrenzt
y-Richtung: Gauß Auskoppler
Endspiegel

Elektroden-
Wellenleiter
I y
Hochfrequenz-
X
I gasentladung
Laserstrahl

y x
y x

02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 48


CO2 – Laser

Strahlverteilung Beugungs-
Leistungs- spiegel
Sphärischer sensor
Strahlfalle Spiegel

Sphärischer
Spiegel

Fenster

Shutter
Raumfilter
Zylinderspiegel

Quelle: Rofin Sinar

02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 50


CO2 – Laser

Strahlverteilung

Baugruppen

Zentralelektronik Interner Strahlabsorber

Strahlverschluss
5 4
3 Strahlaustritt
1

Integrierte Gasversorgung
Quelle: Rofin Sinar Resonator-
gehäuse
02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 51
Strahlführung

Bewegte Fokussieroptik mit konstanter Strahlführungslänge

Video

02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 52


Strahlführung

 Schweißen mit CO2-Laser und


Strahlführungsarm, der durch einen Roboter
geführt wird

Video

02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 53


Laserstrahlschweißen und -schneiden

100 Schnittfuge
Schweißkapillare
Plasma 80

Reflexionsgrad R [%]
Stahl
Schmelze 60
lCO2 = 10.6 mm Düse
Gasstrahl
40
s-polarisiert
20 z-polarisiert
p-polarisiert

v 0
0 30 60 90
Einstrahlwinkel j [°] Schmelz-
austrieb

02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 54


Strahlungsreflexion

 durch Drehung des Spiegelsystemes um q folgt


eine Drehung der Polarisation um 2 q

Spiegel

Spiegel

Spiegel

02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 55


Strahlungsreflexion

 Polarisationsebene des
Spiegel
Strahles ist um 45° zur
Einfallsebene geneigt
+ 45°

90°
45°
Coating

Spiegel

 Strahl wird in s- und p-Anteil


zerlegt und zeitverschoben
wieder überlagert  der unter 45° einfallender polarisierter
 hierdurch entsteht zirkular Laserstrahl wird in seine x-, y-
Komponenten zerlegt
polarisierte Strahlung
02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 56
Strahlungsreflexion

 Polarisationsebene des
Spiegel
Strahles ist um 45° zur
Einfallsebene geneigt
+ 45°

90°
Video
45°
Coating

Spiegel

 Strahl wird in s- und p-Anteil


zerlegt und zeitverschoben wieder
überlagert
 hierdurch entsteht zirkular
polarisierte Strahlung Video
02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 57
CO-Laser

 CO2-Laser  Wellenlänge λ = 10,6 μm


 CO-Laser  von 2,5 bis 8,3 μm [Budilova, et al., 2016].
 Wellenlänge λ = 5 μm

 umso kühler, umso effizienter

[Maisenhälder]
02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 58
CO-Laser

 4-Niveau-System
 Translation, Vibration und Rotation [Maisenhälder, 1989]

 CO2-Laser deutlich größere Anwendungsvielfalt


 CO-Laser  z. B. Schneiden von Glas  größere Tiefenwirkung; reduzierte Spannungen
trotz geringer Einkopplung (CO2)

02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 59


Lasertechnik

Ende der Vorlesung


„CO2 - Laser“

02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 60