LT2020 - 04 CO2-Laser

VORLESUNG LASERTECHNIK
CO2 - Laser
CO2 - Laser
02.05.2020 Lasertechnik - CO2 - Laser Folie 2

Optik
l [cm]
100 10-2 10-4 10-6 10-8
Wellenlänge l = c0 / n
1mm 10 mm 100 nm 1A
E [eV]
10-4 10-2 100 102 104
Photonenenergie E=hn
Molekül- Molekül äußere innere
rotation schwingung Atomhülle Atomhülle
V ν (Licht)Frequenz
FIR NIR I UV VUV XR
S
FIR Fernes Infrarot
NIR Nahes Infrarot Excimer Laser, 249 nm, 1.2 1015 s -1
VIS Sichtbarer Bereich He- Ne -, Ar – Laser, Diodenlaser, 633 nm, 4.7 1014 s -
1
UV Ultraviolett
VUV Vakuum UV Nd - YAG- Laser / Diodenlaser, 1,06 mm, 2.8 1014 s -1
XR Röntgenstrahlen CO2 – Laser, 10,6 mm, 2.8 1013 s -1
02.05.2020 Lasertechnik - Einführung Folie 3
Marktanalyse

Marktanalyse
2,5
Weltmarkt für Laser-Materialbearbeitung in US Mrd $ Quelle: Prof. G. Herziger, DLR
(nach Optec Consulting, Laser Focus World 2000) DLR
2,0
1,5
1,0
0,5
0,0
1990 1995 2000 2005 2010
Jahr
Marktanalyse

Optik
Stimulierte Emission
Stimulierte
Emission
Stoß
Kern hn
Stoß
hn
Stoß
Video

CO2 – Laser Prinzip
Schwingungsanregung des CO2- Moleküls durch einen e-- Stoß
Grundzustand asymm. Schwingung
O C O O C O
Knickschwingung
symm. Schwingung
O O
O C O C

Grundzustand
Schwingungsanregung des CO2-
O C O Moleküls durch einen e-- Stoß
symm. Schwingung
O C O
asymm. Schwingung
O C O
Knickschwingung
O O
C Video

1. Schwingungsanregung des CO2-

C
Moleküls durch einen e-- Stoß
CO2 000 n
Besetzungsdichte der
Schwingungsenergie
Schwingungsniveaus t ~ 200 ns
entsprechend einer CO2 000 l
CO2 000 4 Boltzmannverteilung
CO2 000 3
Elektronen-
Stoß-
CO2 000 2 anregung
4.2 × 102 s-1
t ~ 200 ns
CO2 000 l
CO2 000 0
Grundzustand CO2
Teilchendichte

C
2. Strahlungsemission durch Übergang
von der asymmetrischen in den C
CO2 000 n
symmetrischen Schwingungsmodus t ~ 200 ns
CO2 000 l
Laserübergang t ~ 0,4 ms
t < 100 ms
CO2 100 0
Elektronen-
Stoß-
anregung
4.2 × 102 s-1
Grundzustand CO2

Besetzungsdichte der
Schwingungsniveaus C
nach unterschiedlichen
Schwingungsenergie E
Boltzmannverteilungen
C
CO2 000 n
t ~ 200 ns
CO2 000 l
000 2
t ~ 0,4 ms
t < 100 ms
CO2 100 0
200 0
Elektronen-
000 1 Stoß-
anregung
DE 4.2 × 102 s-1
100 0 DE = h n
Dn
000 0
Teilchendichte n Grundzustand CO2

1. Schwingungsanregung des CO2- C

CO2 000 n
CO2 000 l
t ~ 0,4 ms
3. Entleeren des unteren Laserniveaus resonanter Energie-
durch Stöße und Übergang in den übertrag 00
t < 100 ms
t < 1 ms CO 2 10
Grundzustand der Biegeschwingung
CO2 022 0 t < 600 ns Elektronen-
Stoß-
CO2 0200 anregung
t < 200 ns 4.2 × 102 s-1
C
CO2 011 0
t < 18 ms
Grundzustand CO2
1. Schwingungsanregung des CO2- C

CO2 000 n
CO2 000 l
t ~ 0,4 ms
3. Entleeren des unteren Laserniveaus resonanter Energie-
durch Stöße und Übergang in den übertrag 00
t < 100 ms
t < 1 ms CO 2 10
Grundzustand der Biegeschwingung
CO2 022 0 t < 600 ns Elektronen-
4. Entleeren durch Stöße mit He – Atom CO2 0200
Stoß-
anregung
(Kühlung) 4.2 × 102 s-1
t < 200 ns
C
CO2 011 0
Stoß-
abregung t < 18 ms
(Kühlung)
Grundzustand CO2

C N N
Moleküls durch einen e-- Stoß resonanter
2. Strahlungsemission durch Übergang Energieübertrag
t ~ 65 ms
CO2 000 n Vibrations-
symmetrischen Schwingungsmode t ~ 200 ns schwingung
CO2 000 l N2
3. Entleeren des unteren Laserniveaus t ~ 0,4 ms
durch Stöße und Übergang in den resonanter Energie-
Grundzustand der Biegeschwingung übertrag t < 100 ms
CO 10 00
t < 1 ms 2
4. Entleeren durch Stöße mit He – Atom CO2 022 0 t < 600 ns Elektronen- Elektronen-
Stoß- Stoß-
(Kühlung) CO2 0200 anregung anregung
t < 200 ns 4.2 × 102 s-1 3 × 103 s-1
5. Verstärkte Anregung durch Stöße C
mit N2-Molekül CO2 011 0
Stoß-
Typisches Gasgemisch: He : N2 : CO2 abregung
t < 18 ms
(Kühlung)
80 : 12 : 8 Grundzustand CO2 Grundzustand N2


CO2 – Laser
Typischer CO2-Laser-Aufbau
Elektroden Lasergas
HV

CO2 – Laser
Elektroden Lasergas
HV

CO2 – Laser
Fenster
Elektroden HV
Lasergas
Lasergasplasma
Resonator- Glasrohr Resonator-

spiegel spiegel
CO2 – Laser
Wasserkühlung
Elektrode

CO2 – Laser
Wasserkühlung
Elektrode

CO2 – Laser
Wasserkühlung
Laserstrahl
Elektrode

CO2 – Laser
Gleichstromentladung Hochfrequenzentladung
dc-Entladung
Multi-pin Elektroden
mit Stabilisierungs- HF-Entladung mit
widerständen kapazitiver Einkopplung
Dielektrikum
dc-Entladung (Dicke d)
+
ac-Vorionisierung
Metall
Stabilisierungs-
widerstände
segmentierte
Metallelektroden

CO2 – Laser
Axial geströmter CO2-Laser

CO2 – Laser
Technische Grundkonzepte von schnell geströmten CO2 - Hochleistungslasern
Längsgeströmter Laser
Resonatorachse ll Strömung
Gasströmung Plasma
HF-Entladung mit
DC kapazitiver Einkopplung
Elektroden ~
HF Dielektrikum
Plasma Metall

CO2 – Laser
Technische Grundkonzepte von schnell geströmten CO2 - Hochleistungslasern
Längsgeströmter Laser
Resonatorachse ll Strömung
Gasströmung Plasma
DC Elektroden HF
Elektroden ~
HF
Plasma
Plasma

CO2 – Laser
kaltes Lasergas
heißes Lasergas
 Resonator 1x gefaltet
 4 Entladungsstrecken
 schnellgeströmt
 1700 W Ausgangsleistung

CO2 – Laser
Aufbau Resonatorträger
Stangenaufbau Rohraufbau
Umlenk-
kopf
Entladungs-
strecke
Resonator-
Verbindungs- träger (Rohr)
Träger- Umlenk-
stange (Rohr)
Endplatte kopf

Konzept „Rohrlaser"
Laserstrahl
Resonatorträger
Gasströmung
Ein- und Ausgang
Entladungs-
röhren
 Laserleistung
 kompakter, robuster Aufbau
 HF- Anregung für hohe Zuverlässigkeit m³/kW kg/kW
und Flexibilität
30 kW Laser 0,5 150
 Axiale Gasströmung,
konv. Axial 1,0 350
Hochleistungs-Gasverdichter
konv. Transversal 2,6 550
Belastung des Resonatorträgers
Ursache Störung Größe der Störung Mögliche Auswirkung Gegenmaßnahme
Eigengewicht M t L Verlagerung der Große Trägheits-

Bewegung des Torsion  [rad ] Resonatorachse momente
G  Ip
Unterbaus Dejustierung der leichte und
Verspannung bei Spiegel feste Materialien
F  L3
Montage Biegung ymax  K  [mm] Verminderte Strahlqualität
E Iy Verminderte Leistung
Erwärmung durch Längenänderung a) Veränderung der Materialwahl, z.B.

Entladung, Gas- a) symmetrisch L    L  T [mm ] Resonatorlänge, d.h. Invar, CFK, Zerodur
kreislauf, äußere b) unsymmetrisch Frequenzverschiebung Kühlung,
Umgebungseinflüsse Leistungsänderung symm. Aufbau des
b) Wie bei Torsion/Biegung Resonatorträgers
Anbauaggregate Eigenschwingung 1.Ord. Wie Längenänderung, Material mit

Anregung aus der Schwingungen n Re s  5 / Ymax [1 / s] aber in period. Form hoher Dämpfung,
Umgebung (Halle) große Trägheits-
Strömungsablösung f = Durchbiegung momente
F = Störkraft [N] L = Länge [m]

G = Schubmodul ( » 0,39 E) [N/mm²] Mt = Torsionsmoment [Nm]
Ip = Polares Trägheitsmoment (für Kreisform 1/2 Iy)[m4] Iy = Axiales Trägheitsmoment [m4]
K = Beiwert, abhängig von der Einspannung [-] a = Längenausdehnungskoeffizient [K-1]
E = Elastizitätsmodul [N/mm²] T = Temperatur [K]
Resonatorspiegel
1 3 Auflager 60° 2 3 Auflager 90° Ansicht Justierung nach 2

y y 3
3
R
R
x x
R/2 R/2
1 2 1 2
3 Auflager 60° 3 Auflager 90°
1 2 3 Justierung um: 1 2 3
s s x-Achse s s
   s    s
2 2 2 2
s s y-Achse s s s
  0   
2 2 2 2 2
x-Achse
0 0  s (vereinfacht) 0 0  s
y-Achse
 s 0 0
(vereinfacht)
CO2 – Laser
kaltes Lasergas
heißes Lasergas
kaltes Lasergas
Resonator-
auskoppel
spiegel
CO2 – Laser
Axial schnell geströmter CO2 – Laser mit mehrfach gefaltetem Resonator
heißes Lasergas
kaltes Lasergas
Resonator- Turbogebläse
auskoppel
spiegel
Resonatorendspiegel

Winkelabhängige Absorption
Absorptionsgrad von Kupfer als Funktion des Einstrahlwinkels
Kupfer
0,4
zirkular polarisiert
senkr. polarisiert
0,3
parallel polarisiert s
Wellenlänge = 10 mm
P
Absorptionsgrad
0,2
0,1
0
O° 22,5° 45° 67,5° 90°
Einfallswinkel / Grad
Strahlungsabsorption
Absorptionsgrad von Kupfer als Funktion des Einstrahlwinkels
Kupfer heißes Lasergas

0,4
zirkular polarisiert
senkr. polarisiert
parallel polarisiert
0,3
Wellenlänge = 10 mm
kaltes Lasergas
Absorptionsgrad
Resonator-
0,2
Turbogebläse
auskoppel
spiegel
0,1
0
O° 22,5° 45° 67,5° 90° Resonatorendspiegel
Einfallswinkel / Grad
CO2 – Laser
20 kW Laser
HF - Anregung
Aerowindow
Ringmode M3

CO2 – Laser
Technische Grundkonzepte von schnellgeströmten

CO2-Hochleistungslasern
Längsgeströmter Laser Quergeströmter Laser
Resonatorachse  Strömung Resonatorachse ^ Strömung
      
 
 
 

Elektroden Entladungsraum Resonatorspiegel Kühler Gebläse

typische Strömungsgeschwindigkeit
vS = 200 - 300 m/s vS = 50 m/s
CO2 – Laser
Wärme- Polarisations-
tauscher spiegel
Richtung des rückwärtiger
Quergeströmter CO2 - Laser Resonatorspiegel
Gasstroms
mit Tangentialgebläse Kathode
Tangential-
Spannung : 1000 - 3000 Volt gebläse
Druck : 0,02 × 105 - 0,1 × 105 Pa

(20 - 100 mbar)
Gas : He : N2 : CO2
80 : 12 : 8 Faltspiegel
Strömungsgeschwindigkeit: segmentierte Anode

30 - 50 m/s Strahlaustritt
Auskoppelspiegel
Verschluss
Austrittsfenster Leistungsmesser
CO2 – Laser
Quergeströmter CO2 - Laser

mit Tangentialgebläse
Spannung : 1000 - 3000 Volt
Druck : 0,02 × 105 - 0,1 × 105 Pa

(20 - 100 mbar)
Gas : He : N2 : CO2
80 : 12 : 8
Strömungsgeschwindigkeit:
30 - 50 m/s
Video

CO2 – Laser
Wärme- Polarisations-
tauscher spiegel
Richtung des rückwärtiger
Quergeströmter CO2 - Laser Gasstroms Resonatorspiegel
mit Tangentialgebläse Kathode
Tangential-
Spannung : 1000 - 3000 Volt gebläse
Druck : 0,02 × 105 - 0,1 × 105 Pa

(20 - 100 mbar)
Gas : He : N2 : CO2
80 : 12 : 8
Strahl- Faltspiegel
Strömungsgeschwindigkeit: falle
segmentierte Anode
30 - 50 m/s
Strahlaustritt
Auskoppelspiegel
Verschluss
Austrittsfenster Leistungsmesser
Optische Resonatoren
R1 L R2
charakteristische Größen:
L = Spiegelabstand
R = Krümmungsradius der
Spiegel
a = Spiegelradius
planar hemifokal
werden zusammengefasst zu: R1 = R2 = ¥ R1 = ¥, R2 = 2L
g1g2 = 1 g1g2 = 0,5
g = Parameter
g1 = 1 - L / R 1
g2 = 1 - L / R 2
Fresnelzahl:
F = a1a2 / Ll konzentrisch konfokal
R1 = R2 = L / 2 R1 = R2 = L
g1g2 = 1 g1g2 = 0
Sphärisch instabile Resonatoren

r2
 charakteristische Größe ist Vergrößerung M, das Verhältnis von Strahlradius r2 am

Auskoppelspiegel zu Spiegelradius a2
M = r2 /a2.
 Vergrößerung gibt gleichzeitig in geometrischer Näherung die Verluste DVB pro
Durchgang an 1
VB  1  2
.
M
konfokal
pos. Zweig
Typ g-Parameter Krümmungsradien 2
instabil g2 instabil
stabil 0<g1g2<1
symmetrisch g1 = g2 R1 = R 2 plan - plan
semikonfokal g1 = 1; g2 = 0.5 R 1 = ; R 2 = 2L
sym. 1
g1 = 0.5; g2 = 1 R 1 = 2L; R 2 =  semi
konfokal konfokal
instabil
positiver Ast g1 × g2 > 1 stabil
negativer Ast g1 × g2 < 0
allgem. g1 + g2 = 2g1g2 R 1 + R2 = 2L -2 -1 1 2
konfokal stabil
g1 × g2 = 0; 1
Grenzfälle -1
sym. konfokal g1 = g2 = 0 R1 = R2 = L
g1
sym.
allg. konzentr. g1 × g2 = 1 R1 + R2 = L konzentrisch
sym. konzentr. g1 = g2 = -1 R1 = R2 = L/ 2
plan g1 = g2 = +1 R1 = R2 =  instabil instabil
-2

CO2 – Laser
Aerodynamisches Fenster zur Auskopplung von Hochleistungslaserstrahlen
sphärischer
Spiegel
aerodynamisches
Scraper
Fenster
sphärischer
Spiegel

CO2 – Laser
Axiale aerodynamische Fenster Transversale aerodynamische Fenster

CO2 – Laser
 Schema eines diffusionsgekühlten Plattenlasers (slab-laser)

 die Leistungsauskopplung erfolgt mittels eines instabilen Resonators mit
Zylinderspiegeln
Kühlwasser HF
Auskoppler
Endspiegel
Elektroden-
Wellenleiter
Hochfrequenz-
gasentladung
Laserstrahl
CO2 – Laser
 Schema eines diffusionsgekühlten Plattenlasers (slab-laser)

 die Leistungsauskopplung erfolgt mittels eines instabilen Resonators mit
Zylinderspiegeln
Kühlwasser HF
Auskoppler
Endspiegel
Elektroden-
Wellenleiter
Resonatorspiegel y
Hochfrequenz-
X
gasentladung
Laserstrahl
Elektroden-Wellenleiter

CO2 – Laser
Kühlwasser HF
Strahlprofil
x-Richtung: Rechteck Gauß
beugungsbegrenzt
y-Richtung: Gauß Auskoppler
Endspiegel
Elektroden-
Wellenleiter
I y
Hochfrequenz-
X
I gasentladung
Laserstrahl
y x
y x

CO2 – Laser
Strahlverteilung Beugungs-
Leistungs- spiegel
Sphärischer sensor
Strahlfalle Spiegel
Sphärischer
Spiegel
Fenster
Shutter
Raumfilter
Zylinderspiegel
Quelle: Rofin Sinar

CO2 – Laser
Strahlverteilung
Baugruppen
Zentralelektronik Interner Strahlabsorber
Strahlverschluss
5 4
3 Strahlaustritt
1
Integrierte Gasversorgung
Quelle: Rofin Sinar Resonator-
gehäuse
Strahlführung
Bewegte Fokussieroptik mit konstanter Strahlführungslänge
Video

Strahlführung
 Schweißen mit CO2-Laser und

Strahlführungsarm, der durch einen Roboter
geführt wird
Video

Laserstrahlschweißen und -schneiden
100 Schnittfuge
Schweißkapillare
Plasma 80
Reflexionsgrad R [%]
Stahl
Schmelze 60
lCO2 = 10.6 mm Düse
Gasstrahl
40
s-polarisiert
20 z-polarisiert
p-polarisiert
v 0
0 30 60 90
Einstrahlwinkel j [°] Schmelz-
austrieb

Strahlungsreflexion
 durch Drehung des Spiegelsystemes um q folgt

eine Drehung der Polarisation um 2 q
Spiegel
Spiegel
Spiegel

Strahlungsreflexion
 Polarisationsebene des
Spiegel
Strahles ist um 45° zur
Einfallsebene geneigt
+ 45°
90°
45°
Coating
Spiegel
 Strahl wird in s- und p-Anteil

zerlegt und zeitverschoben
wieder überlagert  der unter 45° einfallender polarisierter
 hierdurch entsteht zirkular Laserstrahl wird in seine x-, y-
Komponenten zerlegt
polarisierte Strahlung
Strahlungsreflexion
 Polarisationsebene des
Spiegel
Strahles ist um 45° zur
Einfallsebene geneigt
+ 45°
90°
Video
45°
Coating
Spiegel
 Strahl wird in s- und p-Anteil

zerlegt und zeitverschoben wieder
überlagert
 hierdurch entsteht zirkular
polarisierte Strahlung Video
CO-Laser
 CO2-Laser  Wellenlänge λ = 10,6 μm

 CO-Laser  von 2,5 bis 8,3 μm [Budilova, et al., 2016].
 Wellenlänge λ = 5 μm
 umso kühler, umso effizienter
[Maisenhälder]
CO-Laser
 4-Niveau-System
 Translation, Vibration und Rotation [Maisenhälder, 1989]
 CO2-Laser deutlich größere Anwendungsvielfalt

 CO-Laser  z. B. Schneiden von Glas  größere Tiefenwirkung; reduzierte Spannungen
trotz geringer Einkopplung (CO2)

Lasertechnik
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Ursache Störung Größe der Störung Mögliche Auswirkung Gegenmaßnahme

Eigengewicht M t L Verlagerung der Große Trägheits-

Erwärmung durch Längenänderung a) Veränderung der Materialwahl, z.B.

Anbauaggregate Eigenschwingung 1.Ord. Wie Längenänderung, Material mit

F = Störkraft [N] L = Länge [m]

1 3 Auflager 60° 2 3 Auflager 90° Ansicht Justierung nach 2

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Elektroden Entladungsraum Resonatorspiegel Kühler Gebläse

Druck : 0,02 × 105 - 0,1 × 105 Pa

Strömungsgeschwindigkeit: segmentierte Anode

Quergeströmter CO2 - Laser

Spannung : 1000 - 3000 Volt

Druck : 0,02 × 105 - 0,1 × 105 Pa

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Druck : 0,02 × 105 - 0,1 × 105 Pa

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 charakteristische Größe ist Vergrößerung M, das Verhältnis von Strahlradius r2 am

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