Micropalanca De Silicio

Iván Aníbal Zuluaga Bernal, Juan Pablo Ramirez

Universidad Distrital Francisco José de Caldas
Facultad de ingeniería - 2019

Abstract: The simulation was per- éste diferencial posee una vibración inde-
formed by LISA of a Silicon micro lever; pendientemente de fuerzas externas que
which is crucial to study because there incidan sobre la barra (por ejemplo su vi-
are multiple devices whose operation lies bración natural), esta vibración significa
in part to torsion of beams of nanometric un momento de inercia y un modulo de
sizes (as for example in atomic force mi- Young, la ecuación diferencial que de-
croscopes). To study this phenomenon, scribe el movimiento de la barra es:
the vibration modes of a bar were studied
using mechanical theory and the results ∂ 4 ψ ρwd ∂ 2 ψ
obtained were compared with the results + =0 (1)
∂x4 Y I ∂t2
of the simulation.
Donde:
Resumen: Se realizo la simulación me-
diante LISA de una micropalanca de Si- Densidad de la barra: ρ
licio; la cual es crucial estudiar debido
Modulo de Young: Y
a que existen múltiples dispositivos cuyo
funcionamiento radica en parte a tor- Ancho de la barra: w
siones de vigas de tamaños nanométri-
cos (como por ejemplo en los microsco- Grosor (altura de la barra): d
pios de fuerza atómica). Para estudiar Momento de inercia: I
este fenómeno se estudiaron los modos de
vibración de una barra mediante la teoría La solución de (1) se toma de la forma:
mecánica y se contrastaron los resultados
obtenidos con los resultados de la simu- ψ(x, t) = y(x)sen(ωt) (2)
lación.
Introducción: (1) se convierte:

Tal y como en la teoría de estudio del

d4 y ρwd 2
movimiento ondulatorio de una cuerda, 4
− ω y=0 (3)
una barra esta constituida longitudinal- dx Y I
mente por diferenciales de masa en un es- La solución de la ecuación diferencial se
pacio diferencial (densidad de la barra); da por la forma:

1
 r4 − q 4 = 0 (4) C1 + C3 = 0 (10)

  14 * El extremo derecho esta libre, su mo-

ρwd 2
q= ω (5) mento y fuerza son cero:
YI

La solución de la ecuación diferencial es

d2 y(L) d3 y(L)
entonces: x=L; = 0 ; =0
dx2 dx3

Por lo que se igualan a cero las expre-

y(x) = C1 eqx + C2 e−qx + C3 ejqx + C4 e−jqx siones:
(6)

C1 (senh(qL)+sen(qL))+C2 (cosh(qL)+cos(qL))
y(x) = C1 senh(qx) + C2 cosh(qx)
(11)
+ C3 sen(qx) + C4 cos(qx) (7)

C1 (cosh(qL)+cos(qL))+C2 (senh(qL)−sen(qL))
dy(x) (12)
= q(C1 cosh(qx) + C2 senh(qx)
dx Sabiendo que se cumple (9) y (10), (11)
+ C3 cos(qx) − C4 sen(qx)) (8) y (12) se cumplen sí:

Uno de los extremos de la barra esta cosh(qL)cos(qL) = −1 (13)

fijo mientras el otro libre, por lo que las
condiciones de contorno establecen que: Esta igualdad es periódica ya que existen
* El extremo izquierdo esta sujetado, su varios números del producto entre q y L
velocidad es cero: que la cumplen, por lo que existen n nu-
mero de q’s que satisfacen las condiciones
de frontera de la ecuación diferencial:
dy(0)
x=0; =0
dx
q n L = rn (14)
Por lo que:
Despejando la frecuencia angular de (5)
C2 + C4 = 0 (9) obtenemos:

2
 s
rn2 YI
ωn = 2 (15) Y = 47Gpa ; p = 0.28 ; ρ = 2330Kg/m3
L ρwd

Lo que significa que existen múltiples fre- Resultados:

cuencias de oscilación de la barra; existen El momento de inercia de la barra es a
múltiples modos de acuerdo al n tomado. partir de (17):
Finalmente la frecuencia angular resulta
sustituyendo el coeficiente r por una serie
que satisface la solución de (13): I = 4 ∗ 10−16 m4

A partir de (16) podemos saber los val-

s ores de las frecuencias angulares de cada
(2n + 1)2 π 2 1 YI
ωn = (16) modo, solucionando esta frecuencia para
4 L2 ρwd los 8 primeros modos y comparándola con
la obtenida mediante LISA:
Donde el momento de inercia para un
diferencial de una barra maciza con las n ω(L)[rad/s] ω(T )[rad/s] %error
características como la que estamos estu- 0 – 6398 –
diando es: 1 – 57582 –
2 – 159950 –
wd3
I= (17) 3 106.4959 313502 99
12
4 280.524 518238 99
Metodología: 5 800842 774158 3.5
Se realizo en freeCAD una barra con las 6 1230889 1081262 13.8
siguientes dimensiones: 7 1935597 1439550 34.5
Tabla 1. Comparación frecuencia angular
de cada modo entre LISA y la teoría
L = 10mm ; w = 0.6mm ; d = 0.2mm

Luego se uso LISA para simular la torsión

usando la herramienta "modal vibration
3D solid and truss" para 8 modos, con
un modulo de Young (del Silicio), radio
de Poisson y densidad (la del Silicio) de:

3
 Figura 1. Simulación resul-
tante en LISA de la frecuencia
angular del cuarto modo

4
 Figura 1. Simulación resul-
tante en LISA de la frecuencia
angular del quinto modo

5
Figura 1. Simulación resultante en LISA
de la frecuencia angular del sexto modo

6
 Figura 1. Simulación resul-
tante en LISA de la frecuencia
angular del séptimo modo

7
 Figura 1. Simulación resul-
tante en LISA de la frecuencia
angular del octavo modo

8
A partir de la tabla 1 podemos analizar
dos cosas; primero que todo, para los
primeros modos la simulación no arroja
un valor de la frecuencia, y es que el
movimiento de la barra bajo las condi-
ciones de escala que posee nos permite
inferir la existencia de deformidades en
sus movimientos, deformidades que pro-
ducen inexistencia de periodicidad de la
vibración. Y segundo; para los primeros
modos en donde se ve periodicidad de vi-
bración, hay un alto porcentaje de er-
ror entre lo calculado y la simulación,
puesto que la barra empieza a resonar dé-
bilmente debido a su escala; ya luego, más
exactamente por el quinto modo, vibra
según lo esperado teóricamente.
a vibrar a frecuencias cercanas a las
predichas teóricamente; sin embargo el
porcentaje de error entre la frecuencia
obtenida mediante teoría y la obtenida
con la simulación, crece con forme aumen-
tamos los modos.
* Claramente podemos apreciar según
lo predicho por la teoría mecánica que,
mientras más pequeña sea la escala de la
barra, mayores serán las frecuencias de
vibración de la misma.
Referencias:
[1] H. Aya, NANOTECNOLOGÍA II,
"GUÍA PARA APLICACIÓN DEL MEF
- MICROPALANCA DE SILICIO".

Conclusiones: [2] W. Rodriguez y J. Meneses y L. Men-

doza , "DETERMINACIÓN DE LOS
* Debido a la escala de la barra, esta no MODOS DE VIBRACIÓN DE UNA
vibra normalmente para todos los modos, VIGA DE AFM": Instituto Tecnológico
en los primeros modos no posee periodi- de Querétaro.
cidad su vibración y cuando empieza a
poseerla (por el tercer modo), ésta es de [3] Curso interactivo de física en inter-
una frecuencia muy baja respecto a la net (2016). Modos normales de vibración
predicción teórica. de una barra elástica [Online]. Available:
http://www.sc.ehu.es/sbweb/fisica3/ondas/
* Por el quinto modo la barra empieza