第 44 卷 第 5 期：1605-1611 高电压技术 Vol.44, No.

5: 1605-1611
2018 年 5 月 31 日 High Voltage Engineering May 31, 2018
DOI: 10.13336/j.1003-6520.hve.20180211003

基于有源气室结构的光声光谱技术
李志军 1,2，陈伟根 1，邓 硕 3，曹玲燕 2，万 福 1，张建学 2
（1. 重庆大学输配电装备及系统安全与新技术国家重点实验室，重庆 400030；
2. 江苏国电南自海吉科技有限公司，南京 211153；3. 武汉理工大学，武汉 430070）

摘 要：针对基于光声光谱技术的变压器油中溶解气体在线监测系统存在光声池体积庞大、光源校准工艺复杂、
斩波器调制技术影响稳定性等问题，提出了一种基于有源气室结构的光声光谱技术，构建了有源气室结构的光声
光谱检测实验装置，对有源气室光声池、共振管、麦克风、光电探测器进行了一体化设计，并利用实验装置对不
同体积分数的 C2H2、CH4、CO 气体进行了测量。实验和现场运行的结果表明：3 种气体的光声信号与待测气体体
积分数间线性拟合度可达 0.998 9、0.999 9、0.998 4，气体体积分数检测下限可达到 0.5×10−6，平均测量偏差<2%；
采用基于有源气室结构的光声光谱技术，免去了光准直镜的影响，简化了光源校准工艺，提高了光源强度；同时，
结合波长数字调制方式，避免了机械斩波器的使用，实现了光声检测系统的小型化，提高了测量精度和运行稳定
性。理论和实验结果为光声光谱在线监测系统的工程应用提供了技术支持与方法参考。
关键词：变压器；溶解气体分析；有源气室结构；分布反馈式激光器；光声光谱；纵向共振光声池

Photoacoustic Spectroscopy Technology Based on Active Photoacoustic Cell

LI Zhijun1,2, CHEN Weigen1, DENG Shuo3, CAO Lingyan2, WANG Fu1, ZHANG Jianxue2
(1. State Key Laboratory of Power Transmission Equipment & System Security and New Technology, Chongqing University,
Chongqing 400030, China; 2. Jiangsu Guodian Nanjing Automation Haiji Technology Co., Ltd., Nanjing 211153, China;
3. Wuhan University of Technology, Wuhan 430070, China)

Abstract：An on-line monitoring system of dissolved gas in transformer oil which is based on photoacoustic spectroscopy
has disadvantages of photoacoustic pool huge volume, complex light calibration process, and chopper modulation tech-
nology affecting stability problem. Consequently, we proposed a photoacoustic spectroscopy based on active air chamber
structure, built the active air chamber structure of photoacoustic spectrum detection experiment device, the active air
chamber photoacoustic pool, resonance tube, a microphone, photoelectric detector for integration design. Moreover, the
experimental devices were employed to measure different volume fraction of C2H2, CH4 and CO gas. The results of ex-
periments and field operation show that three kinds of the photoacoustic signal of the gas and gas volume fraction under
test between linear fitting degree can reach 0.998 9, 0.999 9, and 0.998 4, respectively, and the gas volume fraction detec-
tion threshold can reach 0.5×10−6, the average measurement error <2%. The photoacoustic spectroscopy based on active
gas chamber is used to reduce the influence of optical collimation, simplify the light source calibration process and im-
prove the intensity of the light source. At the same time, combined with wavelength digital modulation method, the use of
mechanical chopper is avoided, the miniaturization of the optical acoustic detection system is realized, and the measure-
ment accuracy and operation stability are improved. The theoretical and experimental results provide technical support
and reference for engineering applications of the optical acoustic spectrum online monitoring system.
Key words：transformer; dissolved gases analysis; active photoacoustic call; distributed-feedback laser; photoacoustic
spectroscopy; longitudinal resonant photoacoustic

和局部放电的情况下会逐渐老化并分解出少量的烃
0 引言1
类气体，如乙炔（C2H2）
、甲烷（CH4）和一氧化碳
大型油浸式电力变压器内部的绝缘油在高温 (CO)等[1-3]。通过检测这些气体的体积分数能分析和
判断变压器的潜在故障。当前主要采用气相色谱法
———————
基金资助项目：国家自然科学基金(61605020；U1766217)；重庆市基础 进行检测[4-6]，该方法存在消耗载气、气路复杂和长
与前沿研究计划（cstc2016jcyjA0427） 。
Project supported by National Natural Science Foundation of China
期运行不稳定等缺点，
给运行维护带来了诸多不便。
(61605020, U1766217), Chongqing Foundation and Frontier Research Pro- 光声光谱检测技术通过测量物质吸收光能转变成声
gram of China(cstc2016jcyjA0427).
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场强度的方式来进行物质的分析，
它具有灵敏度高、 约了光声光谱检测部件的小型化发展。
稳定性强、响应速度快等优点，在工业领域具有极 本文提出了一种基于有源气室结构的光声光
大的发展潜力[7-9]。1968 年，Kerr E 和 Atwood J 首 谱技术，将 DFB 与光声池直接耦合成一体，使输出
次提出了基于激光光源的光声光谱微量气体检测方 光信号能直接入射到光声池中，这种耦合方式既确
案[10]。1971 年，Kreuzer L 等以氦氖激光器为光源 保了输出光的平行度，免去了光准直镜的影响，又
对氮气(N2)中的 CH4 体积分数进行了测量，精度达 能获得较强的光源信号。同时，光源波长调制采用
到 100×10−9，并从理论上证明了激光光源和高灵敏 直接将 DFB 的调制程序写入到 DFB
数字调制方式，
度麦克风的引入能够使气体体积分数检测灵敏度达 芯片中，避免了机械斩波器的使用，实现了光声光
到 10−12 量级以下[11-12]。1998 年，Moeckli M A 等人 （长度为 10 cm，质量为 100 g）
谱检测部件的小型化 ，
采用二氧化碳激光光声光谱仪在不同环境下进行大 减少了气体检测的气量，提高了测量精确度和运行
气中的氨气、乙烯、臭氧和乙醇等污染气体的监测， 可靠性。
分 析出 多组分 气体 的体积 分数 动态响 应范 围 为
1 光声光谱检测原理
10−9~10−12 量级[13]。从 2004 年到 2008 年，红外光
谱在各个研究及应用领域的研究成果不断增加，尤 光声光谱检测原理是利用一束强度可调制的
其是近红外光谱应用研究发展更快[14-15]。 单色光源照射到密闭光声池的被测样品上，样品吸
半导体激光器具有集成度高、工作稳定性好、 收光能，并立即以释放热能的方式退激。释放的热
使用成本低等优点，并能实现宽波长范围内 能使样品和周围介质按光的调制频率产生周期性加
（20~100 nm）的连续调谐输出[16-18]。伴随着光通 热，从而导致介质产生周期性压力波动，这种压力
信产业的成熟与壮大，大批高性能光器件的成本不 波动可用微音拾音器和压电陶瓷传声器检测，并通
断 降低 ，尤其 是近 红外通 信波 段（波 长范 围 为 过放大得到光声信号。由于每种化合物都有其特有
800~1 700 nm）的分布反馈式激光器（DFB）
，其输 的红外光谱，所以采用特定的单色光波长进行照射
出功率和线宽特性都得到极大提升，使得实现工业 时可以检测到随波长变化的光声信号图谱，从而实
应用所需的高精度和在线监测成为可能。例如，利 现对被测物的类型检测以及定性定量分析。
用近红外通信波段（波长范围为 800~1 700 nm）的 根据气体定律，气体分子吸收调制光能而形成
DFB 结合光声光谱检测技术可实现气体体积分数 的热功率密度源 H 将在光声池内激发出声波。 声
测量精度高达 0.1×10−6 的实时测量。虽然目前某些 场中气体分子的运动方程可利用牛顿定律与质量守
气体（如乙烷）在近红外通信波段并无明显吸收， 恒定律推导出，
再由热力学的基本关系和物态方程，
但在中红外区域波长为 3 400 nm 附近的量子级联 即可建立波动方程来描述声传播过程。时域中光声
DFB 光源的量产也指日可待[19]，为实现气体体积分 池内为理想气体时的含源波动方程式为[21]
数高灵敏度检测提供了新的助力。自 2000 年起，英 1 ∂ 2 p(r , t ) (γ − 1) ∂H (r , t )
∇ 2 p(r , t ) − =− (1)
国凯尔曼(Kelman)公司将光声光谱技术应用于绝缘 υ 2
∂t
2
υ2 ∂t
油中气体及微水检测，并研发出便携式在线监测系 式中：p 为声压；r 为位移矢量；υ 为光声池内气体
统。该系统利用抛物面反射镜结合光纤准直镜进行 声速；γ=Cp, m/CV, m 为气体热容比；CV, m 和 Cp, m 分别
光源与光声气室的耦合，并以恒定速率转动的斩波 为摩尔定容热容和摩尔定压热容；H(r, t)为热功率
器对入射光进行波长调制。凯尔曼公司光声光谱检 密度。此方程不含气体传输过程中的黏滞损耗项和
测系统的光源与光声池分开，在光源的输出端需要 热传导损耗项。
1 个机械斩波器对光源波长进行调制[20]。这种结构 当光源调制为正弦波时，声压变化 p 可用“归
的不足有 2 点：①由于激光器和光声池分开，所以 一化声模 p j ”Fourier 变换表示为：
在激光器的输出端需要 1 个光准直镜来将激光器的 ω2 (γ − 1)
(∇ 2 + ) p(r , ω ) = jω H ( r , ω ) (2)
输出光信号耦合到光声池中。这种耦合方式不仅对 υ2 υ2
耦合光的平行度提出了较高要求，而且因耦合损耗 p (r , ω ) = ∑ Aj (ω ) p j (r ) (3)
j
的影响而降低了注入到光声池中的光源强度。②机
械斩波器的存在使检测系统的稳定性下降，并且制 式(3)表明，对于某一特定角频率 ω，声场
李志军，陈伟根，邓 硕，等：基于有源气室结构的光声光谱技术 1607

p (r , ω ) 可看成是很多种声压分布的重叠。声振动简
正模式 p j (r ) 的大小取决于光声池的形状，用它来
表示光声池内允许的驻波形式，其系数 Aj(ω)与调制
角频率 ω 有关。 p j (r ) 是下述波动方程的解
ω 2j
(∇ + 2 ) p j (r ) = 0
2
(4)
υ
本系统设计的光声气室为圆柱形，在这一前提 图 1 圆柱形光声池的柱坐标系
下，建立如图 1 所示的柱坐标系(r, θ , z)，来对长度 Fig.1 Cylindrical coordinate system of cylindrical
为 Lc、半径为 Rc、池轴为 Zc 的圆柱形光声池里的 photoacoustic cell
声场进行分析，在柱坐标系中，池的左端面为坐标
原点，池轴为 z 轴，取半径方向为 r 轴。
在 柱 坐 标 系 r = r (r ,θ , z ) 中 ， 式 (4) 中 的
Helmholtz 方程可简化为
1 ∂ ∂p j 1 ∂ pj ∂ pj
2 2
2
(r )+ 2 + + kj pj = 0 (5)
r ∂r ∂r r ∂θ 2 ∂z 2

其简正模式解 p j 可表示为[22]

p j = cos(mθ )( AJ m (k r r ))( D cos(k z z )) (6) 图 2 圆柱形光声气室的 1 阶简正模式

式中：Jm 为第 1 类贝塞尔函数；参数 kr、kz 和 m 是 Fig.2 First eigenmodes of a cylindrical acoustic cavity
由边界条件决定的；A、D 为系数。
对于一个无损耗的圆柱形光声气室，它的共振
频率可表示为
υ α jm q 2
f jmq = ( )2 + ( ) (7)
2 Rc Lc
式中：Rc、Lc 分别为圆柱形光声气室的半径、长度；
j、m、q 分别为简正模式 p j (r ) 的径向、角向、纵向
的特征值，表示光声池声场的分布特征； α jm 是 π
除以第 m 阶贝塞尔方程的 j 阶根。
圆柱形光声气室 1 阶简正模式如图 2 所示。
图 3 实验装置图
对于 1 阶纵向谐振式光声池，当工作在谐振模
Fig.3 Schematic diagram of the experimental setup
式时，光声信号 SPA 可表示为
S PA = CcellαP0 (8)
式中：Ccell 为 1 阶纵向谐振光声池常数，与谐振光 谱检测系统包括有源气室光声池、麦克风、光电探

声池的品质因素、体积、长度和光声池内气体的声 测器、光源控制器和计算机。系统采用 1 阶纵向单

速、热容比有关，反映了光声系统将气体吸收的光 次反射式光声池。共振管的两端是 2 个缓冲室，缓

能转化为声能的能力； α 为被测气体的吸收系数； 冲室长度为声共振管的 1/2[23]。集成光源直接与光

P0 为入射光的有功功率。式（8）表明，光声信号 声池的一端封装为一体而构成整体光声气室。麦克

SPA 与被测气体的吸收系数 α 及入射光的有功功率 风安装在光声池的外侧并与光声池的内表面水平。

P0 成正比，且由于吸收系数与气体体积分数线性相 光电探测器的光敏面对准光声池的出光端。光电探

关，因此气体光声信号也与气体体积分数成正比。 测器及麦克风的输出端均连接至计算机的输入端，
计算机的输出端与光源控制器相连。
2 实验装置 3 种待测气体所用 DFB 的输出光谱如图 4 所
实验装置如图 3 所示。有源气室结构的光声光 示。图 4 中：横轴为波长，单位为 nm；纵轴为输
1608 高电压技术 2018, 44(5)

出有功功率，单位为 dB，其基准值为 0 dB 对应
1 mW。本系统利用 DFB 调制技术来产生具有声学
调制特征的光脉冲信号，并直接注入到光声池中。
光声池中的待测气体分子吸收光能后被激发，从而
跃迁到振动能级的高能态，最后通过无辐射跃迁来
将能量转化为动能，从而在光声池中形成压力波。
利用麦克风来检测光声池中形成的压力波信号的强
度，并转化为电信号。光电探测器将接收到的光信
号转化成电信号并交由计算机进行数据处理。计算
机对接收到的电信号进行滤波及放大处理，并利用
输出端来对光源控制器进行负反馈调节，确保光源 图 4 3 种待测气体对应 DFB 输出光谱图
输出稳定。
本文通过计算声压信号幅度与入射光强、 Fig.4 Output spectrum of three DFB lasers
气体分子吸收系数以及体积分数的关系，从而确定
光声气室内受激发气体的分子体积分数，最终将待
测气体体积分数计算显示出来。

3 实验结果与分析
3.1 C2H2 气体体积分数测量
利用图 3 所搭建的测量系统，本文对 C2H2 气体
体积分数进行了测量。实验中用高纯 N2 和 C2H2 气
体、气体流量控制器、混合盘管等组成配气系统。
使用高纯 N2 气体与 C2H2 气体按一定体积分数混
合，即可得到不同体积分数的 C2H2 气体。实验中光
源调制频率为 7 880 Hz，等于光声池的谐振频率， 图 5 光声信号与 C2H2 气体体积分数的关系曲线
它可直接写入到激光器的控制芯片中。在检测中将 Fig.5 Relationship between the photoacoustic signal and acet-
激光器的输出波长锁定在待测气体特征吸收谱线的 ylene volume fraction
中心波长处，有利于获得更强的光声信号。本系统
C2H2 气体选用波长为 1 532 nm 的 DFB，在工作温 表 1 C2H2 气体不同体积分数实验值与标准值的对比
度为 23 ℃、注入电流为 60 mA 时，该激光器的温 Table 1 Comparison between experimental value and standard
度调谐率为 0.1 nm/℃，
电流调谐率为 0.007 nm/mA。 value of acetylene in different volume fraction
因此在调整激光器输出波长时本文先利用温度控制 C2H2 气体体积分数/10−6
测量偏差/%
器对激光器输出波长进行粗调，再利用电流控制器 标准值 实验值

对其进行精调，最终使得 DFB 输出信号的中心波长 1 000 995.00 0.5

500 496.00 0.8
对应 C2H2 气体吸收峰 1 532 nm 处的激光脉冲信号。
50 49.50 1.0
C2H2 气体不同体积分数时对应的光声信号电
10 10.15 1.5
压幅值测量结果如图 5 所示。由图 5 可知：光声信
5 5.10 2.0
号电压幅值与 C2H2 气体体积分数成正比，对该结果 1 1.02 2.0
进行 1 维线性拟合；x 表示横轴标目即不同气体的 0.5 0.51 2.0

体积分数，y 表示纵轴标目即电压幅值，R2 表示拟

合度，下同；图 5 所得的拟合度 R2=0.998 9。表 1 3.2 CH4 气体体积分数测量
为 C2H2 气体不同体积分数实验值与标准值的对比 利用图 3 所搭建的测量系统，本文同样对 CH4
数据。从表 1 可知：C2H2 气体体积分数检测下限可 气体体积分数进行了测量。系统结构与配气方式如
到 0.5×10−6，平均测量偏差为 1.4%。 3.1 节所述。本系统 CH4 选用波长为 1 653 nm 的
李志军，陈伟根，邓 硕，等：基于有源气室结构的光声光谱技术 1609

DFB，在工作温度为 23 ℃、注入电流为 60 mA 时， 加，对测量结果进行 1 维线性拟合，图 7 所得的拟

该激光器的温度调谐率为 0.1 nm/℃，电流调谐率为 合度 R2=0.998 4。CO 气体不同体积分数实验值与标
0.006 8 nm/mA。CH4 气体不同体积分数时对应的光 准值的对比数据如表 3 所示。由表 3 可知：CO 气
声信号电压幅值测量结果见图 6。随着待测气体体 体体积分数检测下限可达 10−6 ，平均测量偏差为
积分数升高，光声信号强度也随之增大。对该结果 1.9%。
进行 1 维线性拟合，图 6 所得的拟合度 R2=0.999 9。 3.4 实验误差分析
CH4 气体不同体积分数实验值与标准值的对比数据 本系统的检测精度 Δc 为
如表 2 所示。由表 2 可知：CH4 气体体积分数检测 nϕ
Δc = b (9)
下限可达到 0.5×10−6，平均测量偏差为 1.8%。 S − Sb
3.3 CO 气体体积分数测量 式中：ϕ 、nb、S、Sb 分别为待测气体体积分数、无
CO 气体测量系统的结构与工作方式与前两种 吸收时 N2 气体背景信号的强度、 充入待测气体时
本系统 CO 选用波长为 1 567 nm 的 DFB，
气体相同。 信号幅值、待测信号的基底噪声。
在工作温度为 23 ℃、注入电流为 60 mA 时，该激 实验中实测数据点在拟合直线附近略有波动，
光器的温度调谐率为 0.1 nm/ ℃，电流调谐率为 其原因有 3 点：①实验中每次对光声气室进行充放
0.006 5 nm/mA。CO 气体不同体积分数的光声信号 气时，气室内气流的运动以及气流与气室壁相互碰
电压幅值测量结果如图 7 所示。与前 2 种待测气体 撞均会产生噪声，从而影响麦克风的信号采集。②
相同，光声信号强度随 CO 气体体积分数升高而增 在用标准气体冲洗气室时无法将上次实验中的气体

图 6 光声信号与 CH4 气体体积分数的关系曲线 图 7 光声信号与 CO 气体体积分数的关系曲线

Fig.6 Relationship between the photoacoustic signal and Fig.7 Relationship between the photoacoustic signal and car-

methane volume fraction bon monoxide volume fraction

表 2 CH4 气体不同体积分数实验值与标准值的对比 表 3 CO 气体不同体积分数实验值与标准值的对比

Table 2 Comparison between experimental value and standard Table 3 Comparison between experimental value and standard

value of methane in different volume fraction value of carbon monoxide in different volume fraction
CH4 气体体积分数/10−6 CO 气体体积分数/10−6
测量偏差/% 测量偏差/%
标准值 实验值 标准值 实验值

2 000 2 010.00 0.5 5 000 5 024.00 0.48

1 000 1 007.00 0.7 2 500 2 509.00 0.36

50 49.80 1.6 1 000 998.00 0.20

10 10.09 0.9 500 502.00 0.40

5 5.30 3.0 50 49.00 2.00

1 0.98 2.0 25 24.70 1.20

0.5 0.52 4.0 1 0.95 5.00

1610 高电压技术 2018, 44(5)

完全冲洗干净，在气室内有一定的残留，从而最终 System Technology, 2002, 26(2): 32-36.

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李志军(通信作者) 邓 硕
1981—，男，博士生，高工 1990—，男，博士生
目前正在重庆大学电气工程专业在职攻读博士学 目前正在武汉理工大学理学院物理科学与技术系
位，主要从事光声光谱技术在电气设备在线监测 攻读博士学位，主要从事微纳器件的设计与分析
应用、电气设备评估诊断及状态检修技术等方面 和光学传感的研究
的研究 E-mail: 1320122179@qq.com
E-mail: lzj_nzkj@126.com
LI Zhijun DENG Shuo
Ph.D. candidate Ph.D. candidate
Senior engineer
Corresponding author

陈伟根 曹玲燕
1967—，男，博士，教授，博导，长江学者特聘 1986—，女，硕士，工程师
教授 主要从事光声光谱技术在电气设备在线监测应用
主要从事电气设备绝缘监测的智能传感、电气设 研究
备评估诊断及状态检修技术等方面的研究 E-mail: 574640353@qq.com
E-mail: weigench@cqu.edu.cn

CHEN Weigen CAO Lingyan

Ph.D., Professor

收稿日期 2017-12-19 修回日期 2018-01-03 编辑 李 东