Juli 2000

ICS 17.040.30 VDI/VDE-RICHTLINIEN July 2000

VEREIN DEUTSCHER
INGENIEURE Genauigkeit von Koordinatenmeßgeräten VDI/VDE 2617
VERBAND DER
Kenngrößen und deren Prüfung
ELEKTROTECHNIK Formmessung Blatt 2.2 / Part 2.2
ELEKTRONIK
INFORMATIONSTECHNIK Accuracy of coordinate measuring machines
Former edition: 6/98 draft, in German only

Parameters and their reverification

Frühere Ausgabe: 6.99 Entwurf, deutsch

Ausg. deutsch/englisch
Form measurement Issue German/English

Vervielfältigung – auch für innerbetriebliche Zwecke – nicht gestattet / Reproduction – even for internal use – not permitted
Zu beziehen durch / Available from Beuth Verlag GmbH, 10772 Berlin – Alle Rechte vorbehalten / All rights reserved © Verein Deutscher Ingenieure, Düsseldorf 2000

Die deutsche Version dieser Richtlinie ist verbindlich. No guarantee can be given with respect ot the English transla-
tion. The German version of this Guideline shall be taken as
authoritative.

Inhalt Seite Contents Page

Vorbemerkung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2 Preliminary note . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2

1 Zweck und Geltungsbereich . . . . . . . . . . 3 1 Purpose and scope of application . . . . . . . 3
2 Prinzip und Einflußgrößen . . . . . . . . . . . 4 2 Principles and parameters . . . . . . . . . . . 4
2.1 Prinzip der Formmessung mit KMG . . . . 5 2.1 Principle of CMM form measurement . . . . 5
2.2 Filter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6 2.2 Filters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2.3 Tastkugelradius . . . . . . . . . . . . . . . 6 2.3 Stylus tip radius. . . . . . . . . . . . . . . . 6
3 Annahmeprüfung . . . . . . . . . . . . . . . . 11 3 Acceptance testing . . . . . . . . . . . . . . . 11
3.1 Prüfkörper . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11 3.1 Artifacts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
3.2 Durchführung . . . . . . . . . . . . . . . . 13 3.2 Performance . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
3.3 Auswertung . . . . . . . . . . . . . . . . . 14 3.3 Evaluation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
3.4 Bewertung . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15 3.4 Assessment . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
4 Überwachung . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15 4 Interim checks . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
4.1 Prüfkörper . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16 4.1 Artifacts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
4.2 Durchführung . . . . . . . . . . . . . . . . 16 4.2 Performance . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
4.3 Auswertung . . . . . . . . . . . . . . . . . 17 4.3 Evaluation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
4.4 Überwachungsintervall und Dokumentation 18 4.4 Checking intervals and documentation. . . . 18
Schrifttum . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18 References . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18

VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik (GMA)

Fachausschuß Koordinatenmeßtechnik

VDI/VDE-Handbuch Meßtechnik II
VDI-Handbuch Betriebstechnik, Teil 3
VDI/VDE-Handbuch Mikro- und Feinwerktechnik
–2– VDI/VDE 2617 Blatt 2.2 /Part 2.2
Vorbemerkung
In der Richtlinie VDI/VDE 2617 werden Kenngrö-
ßen zur Beurteilung der Genauigkeit von Koordi-
natenmeßgeräten (KMG) festgelegt und Verfahren
zur Prüfung von Genauigkeitsangaben beschrieben.
Bisher sind folgende Blätter veröffentlicht:
Blatt 1 Grundlagen
Blatt 2.1 Längenmeßunsicherheit
Blatt 3 Komponenten der Meßabweichung des
Gerätes
Blatt 4 Drehtische auf Koordinatenmeßgeräten
Blatt 5 Überwachung durch Prüfkörper
Blatt 5.1 Überwachung mit Kugelplatten
Blatt 6 Koordinatenmeßgeräte mit optischer An-
tastung, Grundlagen
Blatt 6.1 Koordinatenmeßgeräte mit optischer An-
tastung, Sensoren zur 2D-Messung
Blatt 6.2 Koordinatenmeßgeräte mit optischer An-
tastung, Optische 1D-Abstandssensoren
In den bisher vorliegenden Blättern werden Kenngrö-
ßen zur Prüfung der Genauigkeit von KMG aus-
schließlich für den Bereich der Längenmessung defi-
niert.
KMG sind jedoch Universalmeßgeräte zur Maß-,
Form- und Lagemessung. Sie ermöglichen umfas-
sende, automatisierte Messungen der Werkstücke in
einer Aufspannung auch an schiefliegenden oder un-
regelmäßigen Formelementen. KMG werden deshalb
bei geeigneten Anforderungen zunehmend auch für
Formmessungen herangezogen.
Neben den speziellen Formmeßgeräten und KMG
werden konventionelle Formmeßverfahren z.B. mit
Feinzeigern eingesetzt. Jedes dieser Meßverfahren
bietet in einem bestimmten Anwendungsbereich die
kleinste Meßabweichung und stellt damit das opti-
male Verfahren dar. Die Verfahren unterscheiden sich
hinsichtlich Genauigkeit, Funktionalität, Fertigungs-
tauglichkeit und Automatisierungsgrad. Anhand die-
ser Kriterien wird die Auswahl des für die jeweilige
Anwendung optimalen Geräts getroffen.
Die heute verfügbaren Normen zur Formmessung
orientieren sich an den Möglichkeiten und den Eigen-
schaften von Spezial-Formmeßgeräten mit Dreh-
achse und Meßkopf. Der Einsatz von KMG und an-
deren zur Formmessung geeigneten Einrichtungen
werden in diesen Normen nicht berücksichtigt. Des-
halb befaßt sich das vorliegende Blatt 2.2 mit der
Formmessung auf Koordinatenmeßgeräten. Um die
Auswahl zwischen den unterschiedlichen Verfahren
zu ermöglichen, sind in dieser Richtlinie die Voraus-
setzungen beschrieben, bei deren Einhaltung die
Meßergebnisse untereinander vergleichbar sind.
All rights reserved © Verein Deutscher Ingenieure, Düsseldorf 2000
Preliminary note
The VDI/VDE 2617 guideline defines parameters for
evaluating the accuracy of coordinate measuring ma-
chines (CMM) and describes procedures for verify-
ing accuracy specifications.
The following Parts have so far been published:
Part 1 Principles
Part 2.1 Length measuring uncertainty
Part 3 Components of CMM measuring errors
Part 4 Rotary tables on coordinate measuring
machines
Part 5 Monitoring using artifacts
Part 5.1 Monitoring using ball plates
Part 6 CMMs with optical probing, principles
Part 6.1 CMMs with optical probing, sensors for 2D
measurement
Part 6.2 CMM with optical probing, optical 1D dis-
tance sensors
In the presently available parts, parameters for verify-
ing CMM accuracy are defined for length measure-
ment only.
However, CMMs are universal measuring devices for
determining dimension, form and position. They per-
mit comprehensive and automatic workpiece meas-
urement without reclamping, also of skew or irregu-
lar form elements. Where they meet the require-
ments, CMMs are therefore increasingly also used
for form measurement.
In addition to special form testers and CMMs, con-
ventional form measuring procedures are adopted,
for example using precision dial gages. Each of these
procedures has a minimum measuring error in a spe-
cific field of application and therefore constitutes the
optimum technique. The procedures differ with a
view to accuracy, functionality, shopfloor suitability
and level of automation. The perfect instrument for a
specific purpose is selected on the basis of these cri-
teria.
Form measurement standards available today are ori-
ented on the possibilities and properties of dedicated
form testers featuring an axis or rotation and a meas-
uring head. No allowance is made in these standards
for the use of CMMs and other devices suited for
form measurement. Therefore, the present Part 2.2
deals with the subject of form measurement on coor-
dinate measuring machines. To allow the user to se-
lect between the different procedures, this guideline
describes the different conditions which must be met
in order to permit the measuring results to be com-
pared.
Alle Rechte vorbehalten © Verein Deutscher Ingenieure, Düsseldorf 2000
Zur Zeichnungsangabe der Formtoleranz gehört auf
der Zeichnung oder in Begleitdokumenten die An-
gabe der Meßbedingungen, d.h. die Angabe des Tast-
kugelradius als alleinigen (mechanischen) Filters
oder, wenn zusätzlich ein weiteres Filter angewendet
werden soll, die Angabe über die Art1) und Grenz-
wellenlänge2) des Filters.
1 Zweck und Geltungsbereich
Diese Richtlinie gilt für KMG beliebiger Bauart und
Genauigkeit mit mechanischer oder optischer An-
tastung. Auch manuelle KMG sind teilweise zur Auf-
nahme der zur Formmessung notwendigen hohen
Meßpunktzahlen geeignet und deshalb nicht generell
ausgeschlossen.
Einschränkungen im Geltungsbereich ergeben sich
aus der Fähigkeit des KMG, in akzeptabler Meßzeit
ausreichend viele Antastpunkte aufzunehmen. Für
die Rundheitsmessung sind 3600 bzw. 4000 Punkte
pro Schnitt üblich. Eine Meßpunktanzahl dieser Grö-
ßenordnung ist nicht mit allen KMG mit wirtschaft-
lich vertretbarem Aufwand erfaßbar. Formmessun-
gen auf KMG mit lückenhafter Datenerfassung fallen
nicht in den Geltungsbereich dieser Richtlinie, da
durch sie die Vergleichbarkeit der Ergebnisse nicht
gewährleistet ist.
In der Richtlinie VDI/VDE 2631 wird detailliert die
Messung von Rundheit und Geradheit auf Formmeß-
geräten beschrieben. Durch die Orientierung dieser
Richtlinie und auch der entsprechenden Normen auf
solche Spezial-Formmeßgeräte ist ihre Anwendung
auf die Formmessung mit KMG nur eingeschränkt
möglich. Hauptsächlich können nur die Grundlagen
entnommen werden.
KMG eignen sich neben der Messung von Rundheit,
Zylinderform, Geradheit und Ebenheit auch für die
Messung von Linien- und Flächenformtoleranzen.
Diese Richtlinie schließt deshalb alle Formtoleranzen
ein, setzt aber die Kenntnis der in VDI/VDE 2631
dargestellten Grundlagen der Formmeßtechnik vor-
aus.
Diese Richtlinie hat den Zweck, die Vergleichbarkeit
der Formmeßergebnisse auf KMG und deren Rück-
führbarkeit zu gewährleisten. Dazu werden keine
neuen Definitionen geschaffen, sondern es werden
Regeln zur Formmessung auf KMG aufgestellt, die –
aufbauend auf den vorhandenen Normen zur Form-
messung – die speziellen Fähigkeiten der Koordina-
tenmeßgeräte berücksichtigen. Zum Verständnis der
1 1
) RC-Filter nach DIN 4771 oder Gaußfilter nach ISO 11562
2 2
) 15; 50; 150; 500 oder 1500 Wellen/Umfang bzw. 0,025; 0,08; 0,25;
0,8; 2,5 oder 8 mm Grenzwellenlänge
VDI/VDE 2617 Blatt 2.2 /Part 2.2 –3–
The form tolerance specifications in the drawing or
accompanying document must include the measuring
conditions, i.e., the stylus tip radius as the sole (me-
chanical) filter or, if an additional filter is to be used,
information on the type1) and cut-off wavelength2) of
the filter.
1 Purpose and scope of application
This guideline applies to CMMs of any type and ac-
curacy with mechanical or optical probing. Some
manual CMMs are also suitable for acquiring the vast
number of measuring points required for form meas-
urement and can therefore not generally be excluded.
Limitations in the scope of application are a result of
the CMMs capability to pick up an adequate number
of points within an acceptable measuring time. For
roundness measurement, the usual number of points
per profile lies between 3600 and 4000. Not all
CMMs permit the acquisition of so many points with
an acceptable outlay. Form measurement on CMMs
providing incomplete data acquisition is not covered
by the scope of application of this guideline, as the
comparability of results is not guaranteed in this case.
The VDI/VDE 2631 gives a detailed description of
the measurement of roundness and straightness on
form measuring instruments. Due to the focusing of
this guideline and appropriate standards on such ded-
icated form measuring instruments, they can only be
applied to a limited extent to form measurement us-
ing a CMM. Basically, only the principles can be
used.
In addition to the measurement of roundness, cylin-
dricity, straightness and flatness, CMMs are suitable
for measuring line and surface form tolerances. This
guideline therefore includes all form tolerances, but it
is assumed that the principles of form measurement
illustrated in VDI/VDE 2631 are known.
It is the purpose of this guideline to ensure the com-
parability of CMM form measurement results and
their traceability. For this, no new definitions are cre-
ated, but rules for form measurement on CMMs are
established which take into account the special capa-
bilities of coordinate measuring machines on the ba-
sis of existing form measurement standards. For bet-
ter understanding of CMM properties, the machine
) RC-Filter as per DIN 4771 or Gaussian filter as per ISO 11562.
) 15; 50; 150; 500 or 1500 upr, or 0.025; 0.08; 0.25; 0.8; 2.5 or 8 mm
cut-off wavelength.
–4– VDI/VDE 2617 Blatt 2.2 /Part 2.2 All rights reserved © Verein Deutscher Ingenieure, Düsseldorf 2000

Eigenschaften von KMG werden Geräteaufbau, Prin-
zip der Formmessung und die Auswirkung von Ein-
flußgrößen auf die Meßabweichung beschrieben. Für
die Annahmeprüfung und für die Überwachung von
KMG im Einsatz zur Formmessung werden Prüfkör-
per und Verfahren definiert.
design, the principle of form measurement and the ef-
fects which parameters have on the measuring devia-
tions are described. Artefacts and procedures for ac-
ceptance testing and monitoring of CMMs used for
form measurement are defined.

2 Prinzip und Einflußgrößen 2 Principles and parameters

In der Richtlinie VDI/VDE 2631 Blatt 1 sind die Ein-
flüsse auf das Ergebnis einer Formmessung beschrie-
ben. Bei der Formmessung mit KMG sind generell
die gleichen Einflüsse wirksam (Bild 1).
The guideline VDI/VDE 2631 Part 1 describes the
parameters influencing the results of form measure-
ment. In form measurement using a CMM, it is gen-
erally the same influences which come to bear
(Fig. 1).

M eßobjekt O bject to
Site of be m easured C lam ping
Aufstellort Spannm ittel Installation
F o rm a b w eichu n g , F orm error, P oint of device
S chw in g un g e n, M eß ste lle Ve rfo rm un g , Vibrations, m easurem ent
L ag e siche ru n g D eform ation,
Tem pe ra tu r Tem perature F ixturing

Anwender U ser M easuring

M eßgerät
M eß- S etup, Instru- R esult of instrum ent
G e rä tee in ste llu ng , ergebnis P o sition ieru n g , m ent cleaning, m easure- P ositioning,
R e inig un g , O bject to be M easuring axes
M eß o b je kt M eß a ch sen m ent
m easured

Evaluation Probing
Auswertung Filter Tastsystem Filter system
M in im a le Z o ne , Tastele m e n t, M inim al zone, N um ber of P robe,
M eß p u nk tan zah l, E nvelope
E inh ü lle n de Typ M eß kraft m easuring points, M easuring
Type force

Bild 1. Einflüsse auf das Meßergebnis bei der Formmessung Fig. 1. Influences on measuring results obtained in form measu-
(Quelle: VDI/VDE 2631 Blatt 1) rement (source: VDI/VDE 2631 Part 1)

Bei diesen Einflüssen ist bezüglich der Formmessung
auf KMG besonders zu beachten:
• Der Ausbildungsstand und das Pflichtbewußtsein
des Meßgeräteanwenders haben zwar auch bei
einem KMG Einfluß auf das Meßergebnis. Bei
Geräten mit ausgetestetem, automatischem Meß-
ablauf werden jedoch einige Fehlerquellen ver-
mieden.
• Bei der Aufspannung ist keine mechanische Aus-
richtung notwendig. Durch die enthaltenen Steue-
rungsmöglichkeiten kann in der Regel eine voll-
ständige Messung ohne Umspannen durchgeführt
werden. Die Festlegung der Bezugskoordinaten
am Werkstück beeinflußt aber direkt die Meß-
ergebnisse und muß deshalb besonders sorgfältig
geschehen.
• Als Auswertemethoden werden auch mit KMG die
in VDI/VDE 2631 Blatt 1 für Rundheit und Ge-
radheit beschriebenen Methoden verwendet. Da
diese Richtlinie aber alle Formtoleranzen behan-
delt, sind in den Abschnitten Filter und Annahme-
prüfung außer den Auswertemethoden für Rund-
heit und Geradheit auch Zylinderform, Ebenheit,
Linienform und Flächenform aufgeführt.
The following must be taken into account when per-
forming form measurement with a CMM:
• Although training and diligence of the CMM op-
erator still have an influence on the results ob-
tained with a CMM, some error sources are elimi-
nated in machines having a thoroughly tested, au-
tomatic measuring run.
• No mechanical alignment is required for clamping
the workpiece. The implemented control options
normally permit a complete measurement to be
performed without reclamping. However, the defi-
nition of the reference coordinates on the work-
piece has a direct influence on the measured re-
sults and must therefore be carried out with ut-
most care.
• The evaluation methods for roundness and
straightness described in VDI/VDE 2631 Part 1
are also applied to CMM evaluation. However, as
this guideline takes into account all form toler-
ances, the sections Filter and Acceptance Testing
lists not only the evaluation modes for roundness
and straightness, but also for cylindricity, flatness,
linearity and surface form.
Alle Rechte vorbehalten © Verein Deutscher Ingenieure, Düsseldorf 2000
• Eine Auswirkung auf das Formprüfergebnis ha-
ben der Geräteaufbau, die Filterung und der Tast-
kugelradius.
In den nachfolgenden Abschnitten werden diese Ein-
flußgrößen beschrieben.
2.1 Prinzip der Formmessung mit KMG
Wesentliche Komponenten eines CNC-Koordinaten-
meßgeräts mit Scanning-Ausrüstung sind:
• drei rechtwinklig zueinander stehende Linearfüh-
rungen
• lineares, digitales Längenmeßsystem pro Achse
und motorischer Antrieb
• 3D-Scanning-Meßkopf
• numerische Steuerung
• gleichbleibende Empfindlichkeit der Anzeige
• keine Meßbereichsumschaltung und analoge Kali-
brierung der Verstärkung
• alle Einstellungen mit der Meßsoftware am Aus-
werterechner
• Drehtisch als optionale, vierte Geräteachse
KMG unterscheiden sich von den in VDI/VDE 2631
beschriebenen Formmeßgeräten durch den Aufbau
des Gerätekoordinatensystems, das in der Regel
durch drei Linearführungen gebildet wird. Bild 2
zeigt das Prinzip dieses Geräteaufbaus. Es werden
auch kombinierte Anordnungen aus rotatorischen
und linearen Führungen eingesetzt. Die numerische
Steuerung führt über die Achsenantriebe den 3D-
Scanning-Meßkopf auf einer Sollbahn auf dem
Werkstück entlang. In bestimmten Fällen kann dies
auch manuell erfolgen.
Bild 2. Prinzipielle Anordnung zur Formmessung auf KMG
S Scanningbahn bezogen auf die Tastkugelmitte
VDI/VDE 2617 Blatt 2.2 /Part 2.2 –5–
• Form measurement results are influenced by the
machine design, the filtering and the stylus tip ra-
dius.
These influences are described in the following para-
graphs.
2.1 Principle of CMM form measurement
Essential components of a CNC coordinate measur-
ing machine with a scanning device are:
• three orthogonal linear guideways
• linear, digital length measuring system in each
axis, motorized drive system
• 3D scanning head
• numeric control
• consistent sensitivity of display
• no switching of measuring range and analog cali-
bration of amplification
• all settings made per software on computer
• rotary table as an optional, fourth machine axis
The difference between CMMs and the form measur-
ing instruments described in VDI/VDE 2631 lies in
the structure of their machine coordinate system
which is normally formed by three linear guideways.
Fig. 2 shows the principle of this machine design.
Combined configurations consisting of rotary and
linear guideways are also possible. Via the axial
drives, the numeric control guides the 3D scanning
head along a nominal path on the workpiece. In some
cases this may also be performed manually.
Fig. 2. Basic principle for form measurement on CMM
S scanning path referred to stylus tip center
–6– VDI/VDE 2617 Blatt 2.2 /Part 2.2
Zum Gerätekoordinatensystem darf das Werkstück
beliebig geneigt sein. Auch die Sollbahn kann zum
Bezugskoordinatensystem des Werkstücks eine be-
liebige Lage und Neigung annehmen.
Die Abweichungen von der Sollbahn werden durch
den Meßkopf erfaßt. Diese Abweichungen bilden zu-
sammen mit den Koordinaten der KMG-Meßsysteme
die Meßpunkte auf der Werkstückoberfläche. Im
Scanning-Verfahren werden die Meßpunkte dyna-
misch in zyklischen Abständen während des Abfah-
rens der Sollbahn erfaßt.
Insbesondere zur Messung rotationssymmetrischer
Werkstücke werden auch auf KMG Drehtische einge-
setzt. Auch hier entfällt die mechanische Ausrich-
tung. Wie am Formprüfgerät können Tastelemente
mit sehr kleinem Durchmesser benutzt werden. Da
die Verwendung von Drehtischen nicht der Standard-
fall ist, bezieht sich diese Richtlinie nur auf die Form-
messung mit KMG bei ruhendem Werkstück.
2.2 Filter
In der Formmeßtechnik werden zur digitalen Filte-
rung von Meßprofilen üblicherweise Tiefpaßfilter
verwendet. Diese Filter lassen langwellige Signal-
anteile fast ungedämpft passieren. Kurzwellige
Signalanteile, z.B. hervorgerufen durch Rauheit,
werden stark gedämpft. Die Art der verwendeten Fil-
ter hat großen Einfluß auf das Prüfergebnis. Anstelle
der früher üblichen 2RC-Filter werden heute Gaußfil-
ter (siehe ISO 11562) eingesetzt, die sich in ihrer
Übertragungscharakteristik unterscheiden.
Deshalb ist zu jedem Formmeßergebnis außer der Fil-
terstufe auch der Filtertyp anzugeben und bei einem
Ergebnisvergleich zu beachten. Die Filterstufe wird
bei Messungen an Rotationskörpern als Grenzwel-
lenzahl in Wellen pro Umdrehung (W/U) angegeben.
Bei Messungen an ebenen Körpern erfolgt die An-
gabe als Grenzwellenlänge lc in mm. Üblich sind die
Grenzwellenzahlen 15 W/U, 50 W/U, 150 W/U und
500 W/U sowie die Grenzwellenlängen 8,0 mm,
2,5 mm, 0,8 mm und 0,25 mm. In den ISO-Normen
zur Formmessung ist ein Vorgabe-Filter (Default)
von lc = 0,8 mm definiert. Darauf aufbauend enthält
ISO 12181-2 Empfehlungen für die Auswahl der
Grenzwellenzahlen für die Rundheitsmessung in Ab-
hängigkeit vom Werkstückdurchmesser.
2.3 Tastkugelradius
Bei KMG mit mechanischer Antastung werden üb-
licherweise Kugeln als universelle Tastelemente be-
nutzt. Die Tastkugel übt eine mechanische Filterwir-
kung auf das Formprüfergebnis aus (siehe VDI/VDE
2631 Blatt 1, Bild 5). Zusammenhängend mit dem
Standard (Default)-Filter lc = 0,8 mm ist beabsich-
All rights reserved © Verein Deutscher Ingenieure, Düsseldorf 2000
The workpiece may be inclined at any angle to the
machine coordinate system. The orientation and
slope of the nominal path with respect to the work-
piece reference coordinate system is also arbitrary.
Deviations from the nominal path are determined by
the probe. These deviations and the coordinates of the
CM measuring system together form the measuring
points on the workpiece surface. In the scanning
mode, the measuring points are then picked up dy-
namically at periodic intervals while the nominal
path is being scanned.
Rotary tables are also used on CMMS particularly for
the measurement of rotationally symmetrical work-
pieces. No mechanical alignment is required. As on
form testers, probe elements with an extremely small
diameter can be used. As the use of rotary tables is
not a standard application, this guideline only deals
with form measurement using a CMM with a station-
ary workpiece.
2.2 Filters
Low-pass filters are normally used in form measuring
technology for the digital filtering of measured pro-
files. These filters allow long-wave signal compo-
nents to pass virtually undamped. Short-wave signal
components, as caused by roughness, for example,
are very strongly damped. The type of filter used has
a marked effect on the test result. Today, Gaussian fil-
ters (see ISO 11562) are used instead of the former
2RC filters. They have different transmission charac-
teristics.
Therefore, the filter type and the filter stage must be
identified for each form measurement result and
when comparing results. For the measurement of ro-
tational bodies, the filter stage is specified as cut-off
frequency for undulations per revolution. For flat
geometries, the cut-off wavelength is specified as lc
in mm. Standard cut-off frequencies are 15 upr,
50 upr, 150 upr and 500 upr, and cut-off wavelengths
8.0 mm, 2.5 mm, 0.8 mm and 0.25 mm. The ISO
standards for form measurement define a default fil-
ter of lc = 0.8 mm. Based on this, ISO 12181-2 in-
cludes recommendations for selecting the undula-
tions per revolution for roundness measurement as a
function of the workpiece diameter.
2.3 Stylus tip radius
Spherical tips are normally used as universal probe
elements in CMMs with mechanical probing. The
stylus tip acts as a mechanical filter on the form
inspection result (see VDI/VDE 2631-1, Fig. 5). In
connection with the standard (default) filter lc =
0.8 mm, it is intended to define a standard tip radius
Alle Rechte vorbehalten © Verein Deutscher Ingenieure, Düsseldorf 2000
tigt, in den ISO-Normen einen Standard-Tastkugel-
radius von 0,5 mm zu definieren. Davon abweichend
sind bei KMG meist Tastkugeln mit einem größeren
Radius als 0,5 mm erforderlich. Dies ist durch den
Geräteaufbau bedingt, um – z.B. beim Eintauchen in
tiefe Bohrungen – Schaftantastungen zu vermeiden.
Andere KMG, besonders mit optischen Sensoren, er-
lauben dagegen sehr kleine Tastkugeldurchmesser.
Es gilt die Regel, den Tastkugeldurchmesser so klein
wie möglich zu wählen. Der Tastkugeldurchmesser
sollte im Regelfall noch unter der Grenze bleiben, bei
deren Überschreitung eine mechanische Filterwir-
kung auftritt. Die untere Grenze ist andererseits
durch den jeweils realisierbaren Schaftdurchmesser
des Tasters gegeben.
Die beiden Diagramme Bild 3 und Bild 4 zeigen
bei einer angenommenen sinusförmigen Welligkeit
den Zusammenhang [1] zwischen
• Anzahl der Wellen pro Umfang
• erwarteter größter Wellentiefe des Meßprofils
• Innen- oder Außendurchmesser des zu messenden
kreisförmigen Formelements
• größtmöglichem Tastkugeldurchmesser ohne
mechanische Filterwirkung
Bild 3. Größter zulässiger Tastkugeldurchmesser Dk bei der
Formmessung von Innendurchmessern mit dem Durchmesser D
in Abhängigkeit von der Anzahl n der Wellen pro Umfang und
der Wellentiefe wt bei sinusförmigem Wellenverlauf
VDI/VDE 2617 Blatt 2.2 /Part 2.2 –7–
of 0.5 mm in the ISO standards. However, frequently
CMMs require stylus tips with larger diameters than
0.5 mm. This is due to the machine design, to ensure
that shaft contacts, for example, be can avoided when
probing deep boreholes. Other CMMs, particularly
those with an optical sensor, permit the use of very
small tip diameters.
The probe tip diameter should generally be as small
as possible. It should normally remain below the limit
which, when exceeded, produces mechanical filter-
ing. The minimum tip diameter is also defined by the
shaft diameter of the stylus in question.
Assuming that the waviness is sinusoidal, Figs. 3
and 4 show the relationship [1] between
• number of undulation per revolution upr
• expected maximum wave height wt of waviness
profile
• internal or external diameter D of the circular
form element to be measured
• maximum stylus tip diameter Dk with no mechan-
ical filtering effect
W/U = upr
Fig. 3. Maximum permissible stylus tip diameter Dk for form
measurement of internal diameters with a diameter D being a
function of undulations per revolution upr and the wave height wt
with sinusoidal waves
–8– VDI/VDE 2617 Blatt 2.2 /Part 2.2
Bild 4. Größter zulässiger Tastkugeldurchmesser Dk bei der
Formmessung von Außendurchmessern mit dem Durchmesser
D in Abhängigkeit von der Anzahl n der Wellen pro Umfang und
der Wellentiefe wt bei sinusförmigem Wellenverlauf
So ist z.B. die Rundheitsprüfung einer 38-mm-Boh-
rung mit 10 µm Wellentiefe und einer Grenzwellen-
zahl von 150 W/U noch mit einem Tastkugeldurch-
messer bis zu 5,5 mm ohne Einfluß auf das Form-
meßergebnis möglich.
Aus den in den Diagrammen angegebenen Gleichun-
gen sind die Tabellen in den Bildern 5 und 6 abge-
Bild 5. Kleinste meßbare Innendurchmesser in Abhängigkeit von
Wellenzahl, Wellentiefe und Tastkugeldurchmesser
All rights reserved © Verein Deutscher Ingenieure, Düsseldorf 2000
W/U = upr
Fig. 4. Maximum permissible stylus tip diameter Dk for form
measurement of external diameters with a diameter D being a
function of undulations per revolution upr and the wave height wt
with sinusoidal waves
Roundness measurement of an 38 mm bore with a
wave height of 10 µm and a undulation per revolution
of 150 upr, for example, is still possible with a tip
diameter of as much as 5.5 mm without influencing
the form measurement result.
The tables shown in Figs. 5 and 6 have been derived
from the equations shown in the diagrams. They indi-
Fig. 5. Smallest measurable internal diameter as a function of
undulations per revolution upr, wave height and stylus tip diame-
ter
Alle Rechte vorbehalten © Verein Deutscher Ingenieure, Düsseldorf 2000
Bild 6. Kleinste meßbare Außendurchmesser in Abhängigkeit
von Wellenzahl, Wellentiefe und Tastkugeldurchmesser
leitet, die für bestimmte Tastkugeldurchmesser die
jeweils noch meßbaren Innen- bzw. Außendurchmes-
ser bei einer bestimmten Wellenzahl und der zu er-
wartenden Wellentiefe angeben. Sie ermöglichen
einen schnelleren Überblick als die Grafiken in den
Bildern 3 und 4.
Für sehr kleine Tastkugeldurchmesser, die z.B. mit
optischer Sensorik realisiert werden können, ermög-
licht Bild 7 das Ermitteln der meßbaren Innen-
durchmesser mit höherer Auflösung.
Aus Bild 8 kann der zulässige Tastkugeldurchmes-
ser für Geradheits- und Ebenheitsmessungen ent-
nommen werden. Er liegt etwa in der Mitte zwischen
den Werten für Innen- und Außendurchmesser. Das
folgende Beispiel zeigt den Zusammenhang:
Annahme: Wellenzahl n = 150 W/U
Wellentiefe wt = 10 µm
Wellenlänge λc = 0,8 mm
Mit Wellenzahl und Wellenlänge ergibt sich ein Um-
fang von 120 mm und damit:
Durchmesser D = 38 mm
Aus den Diagrammen in den Bildern 3, 8 und 4 kön-
nen die folgenden, zulässigen Tastkugeldurchmesser
abgelesen werden:
Dk = 5,5 mm für Innendurchmesser
Dk = 6,5 mm für Geradheit
Dk = 7,8 mm für Außendurchmesser
Die Werte sind in den Diagrammen durch Hilfslinien
markiert.
VDI/VDE 2617 Blatt 2.2 /Part 2.2 –9–
Fig. 6. Smallest measurable external diameter as a function of
undulations per revolution upr, wave height and stylus tip diame-
ter
cate for different stylus tip diameters which internal
or external diameters can still be measured with a
specific cut-off frequency and the expected wave
height. They provide a more direct overview than the
graphs in Figs. 3 and 4.
For very small stylus tip diameters as implemented,
for example, in optical sensor systems, the internal
diameters which can be measured with a higher reso-
lution can be taken from Fig. 7.
Fig. 8 indicates the permissible tip diameter for
straightness and flatness measurements. It lies ap-
proximately in the middle between the internal and
external diameters. The following example shows the
relationship:
Supposition: Cut-off frequency fc = 150 upr
Wave height wt = 10 µm
Wave length λc = 0.8 mm
The wave number and wave length result in a circum-
ference of 120 mm and thus a
diameter D = 38 mm
The following permissible stylus tip diameters can be
derived from the diagrams in Figs. 3, 8 and 4:
Dk = 5.5 mm for internal diameter
Dk = 6.5 mm for straightness
Dk = 7.8 mm for external diameter
These values are marked in the diagrams as subsidi-
ary lines.
– 10 – VDI/VDE 2617 Blatt 2.2 /Part 2.2
Bild 7. Größter zulässiger Tastkugeldurchmesser Dk bei der
Formmessung von sehr kleinen Innendurchmessern mit dem
Durchmesser D in Abhängigkeit von der Wellentiefe wt bei sinus-
förmigem Wellenverlauf und der Anzahl n der Wellen pro
Umfang
Bild 8. Größter zulässiger Tastkugeldurchmesser Dk für Gerad-
heits- und Ebenheitsmessungen in Abhängigkeit von Wellen-
länge lc und Wellentiefe wt bei sinusförmigem Wellenverlauf
All rights reserved © Verein Deutscher Ingenieure, Düsseldorf 2000
W/U = upr
Fig. 7. Maximum permissible stylus tip diameter Dk in form
measurement of very small internal diameters with the diameter
D being a function of the wave height wt with sinusoidal waves
and undulations per revolution upr
Fig. 8. Maximum permissible stylus tip diameter Dk for straight-
ness and flatness measurement as a function of the wavelength
lc and wave height wt with sinusoidal waves
Alle Rechte vorbehalten © Verein Deutscher Ingenieure, Düsseldorf 2000
3 Annahmeprüfung
Die Annahmeprüfung dient zum Nachweis der Lei-
stungsfähigkeit eines KMG. Der Nachweis wird er-
bracht durch die Messung kalibrierter Formnormale.
Dabei wird geprüft, ob die Meßabweichungen inner-
halb der vom Hersteller festgelegten Grenzen (größte
zulässige Meßabweichung MPE) liegen. Die Verant-
wortung bei der Annahmeprüfung liegt beim Geräte-
hersteller. Der Hersteller definiert die Randbedingun-
gen und die Nennwerte für die Durchführung der An-
nahmeprüfung und für die Auswertung in Überein-
stimmung mit den Empfehlungen in ISO 12180-3,
ISO 12181-3 und ISO 12780-3, soweit diese für
KMG zutreffend sind. Dazu gehört auch die Defini-
tion der Geometrie der Taster, da der Durchmesser
des Tastelements und die Steifigkeit des Schaftes
Einfluß auf die Meßabweichung haben.
Soll die Annahmeprüfung unter anderen Bedingun-
gen stattfinden, bedarf dies einer gesonderten Verein-
barung zwischen Anwender und Hersteller.
3.1 Prüfkörper
Zur Gewährleistung der Rückführbarkeit der Meßer-
gebnisse werden kalibrierte Formnormale für Rund-
heit, Zylinderform, Geradheit, Ebenheit, Linienform
und Flächenform wie z.B. Einstellringe, Zylinder-,
Ebenheits- oder Kugelnormale verwendet.
Die Normale verkörpern Formabweichungen mit be-
kanntem Wert und definierter Struktur. Es kann
zweckmäßig sein, kalibrierte Formnormale mit
Formabweichungen in der Größenordnung der zu
messenden Formtoleranzen einzusetzen.
Die Formnormale müssen so beschaffen sein, daß sie
eine gute Reproduzierbarkeit der Meßflächen bzw.
der zu erfassenden Datenmengen gewährleisten. Dies
stellt hohe Genauigkeitsanforderungen an die zur
Ausrichtung dienenden Bezugselemente. Es ist auch
wichtig, daß die Formabweichung zwischen den de-
finierten Meßflächen möglichst gleichbleibend ist.
Weitere Forderungen an die Formnormale sind:
• Vergleichbarkeit des Annahmetests mit den an
den Werkstücken auftretenden Formmeßaufgaben
• stabile, reproduzierbare Aufspannmöglichkeit,
ohne zu verspannen
• für alle Meßebenen und im Raum einsetzbar
• für Innen- und Außenmessungen verwendbar
• einfache Handhabung
• kurze Rüst- und Prüfzeiten
• Schutz gegen Handwärme und gegen Beschädi-
gung
• Langzeitstabilität, verschleißbeständig
VDI/VDE 2617 Blatt 2.2 /Part 2.2 – 11 –
3 Acceptance testing
Acceptance testing serves to prove the performance
of a CMM. This proof is implemented by measuring
calibrated material standards. It is tested whether the
form errors remain within the limits specified by the
manufacturer (maximum permissible error MPE).
The machine manufacturer is responsible for accept-
ance testing. The manufacturer defines the conditions
and nominal values for the acceptance test and the
subsequent evaluation conforming to ISO 12180-3,
ISO 12181-3 and ISO 12780-3 recommendations, to
the extent as these apply to CMMs. This also includes
the definition of the stylus geometry, as the diameter
of the probing element and the rigidity of the shaft
have an influence on the measuring error.
If different conditions are to apply to acceptance test-
ing, this must be laid down in a separate agreement
between the user and the manufacturer.
3.1 Artifacts
To ensure traceability of the measured data, cali-
brated material standards for roundness, cylindricity,
straightness, flatness, linearity and surface are used,
such as setting ring gages, reference cylinders, flat-
ness and sphere standards.
The standards represent form deviations of a known
magniture and defined structure. It may be advisable
to use calibrated material standards with form devia-
tions in the magnitude of the form tolerances to be
measured.
The form standards must guarantee good reproduci-
bility of the measured surfaces and of the data quan-
tity to be determined. This makes very high demands
on the accuracy of the reference elements used for
alignment. It is also important that the form deviation
between the defined measuring surfaces remains as
consistent as possible.
Other demands made on material standards are:
• It must be possible to compare acceptance testing
with the form measurements performed on the
parts
• Stable, repeatable clamping without causing strain
• Suitable for all measuring planes and for 3D
measurement
• Applicable to internal and external measurements
• Easy operation
• Short setup and test times
• Protection against hand heat and damage
• Long-term stability, wear resistant
– 12 – VDI/VDE 2617 Blatt 2.2 /Part 2.2
• kostengünstig
• einfach zu beschaffen und zu kalibrieren
Mit den üblicherweise verwendeten Formnormalen
lassen sich folgende Merkmale prüfen:
• Einstellring mit Durchmesser 30 bis 50 mm oder
dem Werkstück angepaßten Durchmesser. Über-
prüfbare Merkmale sind Rundheit und Innen-
durchmesser.
• Zylindernormal mit Durchmesser 50 mm oder
dem Werkstück angepaßten Durchmesser.
• Meßbare Merkmale sind Zylinderform außen,
Rundheit außen, Ebenheit an der Stirnfläche, Ge-
radheit der Mantellinien und Außendurchmesser.
• Kugelnormal aus Stahl mit Durchmesser 25 mm
entsprechend Entwurf ISO/DIS 10360-4 für die
Überwachung der Scanning-Eigenschaften eines
KMG. Meßbare Merkmale sind Regelverhalten,
Rundheit außen, Linienform, Flächenform und
Außendurchmesser.
• Flick-Standard (Verstärkungsnormal) Zylindri-
scher Grundkörper mit zwei Abflachungen unter-
schiedlicher Tiefen. Meßbare Merkmale sind
Rundheit außen, die Maße der Abflachungen und
die Filtereigenschaften.
• Mehrwellennormal (zylindrischer Grundkörper,
auf dessen Mantelfläche eine Überlagerung meh-
rerer sinusförmiger Wellen aufgebracht ist mit
z.B. fünf verschiedenen Sinuswellen der Frequen-
zen 5, 15, 50, 150 und 500 W/U. Die Amplituden
können je nach Anwendungsfall erschieden groß
gewählt werden. Mehrwellennormale ermög-
lichen neben der Messung der Rundheit insbeson-
dere die exakte Überprüfung der Filtereigenschaf-
ten und der Signalübertragungskette des KMG in
einem breiten Frequenzbereich.
Die aufgeführten Normale sind z.T. in der Richtlinie
VDI/VDE 2631 Blatt 2 beschrieben. Für den Annah-
metest von KMG werden entweder einzelne Normale
oder mehrere Normale, zu einem Prüfkörper zusam-
mengefaßt, verwendet.
Wird ein KMG ausschließlich für eine spezielle Meß-
aufgabe eingesetzt (KMG im speziellen Einsatz),
kann zwischen dem Anwender und dem Hersteller
auch vereinbart werden, den Annahmetest an einem
speziellen Prüfkörper (Meisterteil) durchzuführen,
der die Anforderungen des Werkstücks widerspie-
gelt. Auch dieser Prüfkörper muß prinzipiell den
oben beschriebenen Anforderungen entsprechen. Er
muß nicht alle Meßelemente des Werkstücks umfas-
sen, sondern es genügen die kritischen Elemente in
den verschiedenen Meßebenen.
Solche Prüfkörper sind hinsichtlich Herstellung und
Kalibrierung oft aufwendig. Sie können jedoch später
All rights reserved © Verein Deutscher Ingenieure, Düsseldorf 2000
• Low cost
• Easy to procure and calibrate
The following conventional material standards exist
for checking the following characteristics:
• Setting rings with diameters between 30 and 50
mm or diameter matching the workpiece. Charac-
teristics to be measured: roundness and internal
diameter.
• Cylinder gage with diameter of 50 mm or diame-
ter matching the workpiece.
• Characteristics to be measured: external cylindric-
ity, external roundness, flatness of front face,
straightness of generatrix and external diameter.
• Test sphere made of steel with diameter of 25 mm,
conforms to draft ISO 10360-4 for monitoring the
scanning characteristics of a CMM. Characteris-
tics to be measured: control behavior, external
roundness, linearity, surface form, and external di-
ameter.
• Flick standard (amplification standard) and two
flattenings with depths of 10 µm and 300 µm.
Characteristics to be measured: external round-
ness, flattening dimensions and filter characteris-
tics.
• Multi-wave standard (a cylindrical body carrying
a superposition of several e.g. five sinusoidals
with the frequencies 5, 15, 50, 150 and 500 upr).
The amplitudes may be chosen in different heights
depending on the application. Multi-wave stand-
ards allow roundness measurement an particularly
the exact assessment of the filter characteristics
and the signal transmission chain of the CMM
within a broad frequency band.
The above standards are described in parts in VDI/
VDE 2631 Part 2. For CMM acceptance testing, indi-
vidual standards or several standards combined to a
test fixture are used.
If a CMM is used exclusively for dedicated measur-
ing tasks, the user and the manufacturer can mutually
agree to perform acceptance testing on a special test
fixture (master part) which simulates the require-
ments of the workpiece. This test fixture must also
basically meet the above demands. It does not have to
incorporate all measurement elements of the work-
piece, but only the critical ones in the different meas-
uring planes.
Such test fixtures frequently involve high production
and calibration costs. However, they can subse-
Alle Rechte vorbehalten © Verein Deutscher Ingenieure, Düsseldorf 2000
auch für die regelmäßige Überwachung der KMG
verwendet werden. Es wird empfohlen, zur Messung
des Prüfkörpers die werkstückspezifischen Taster
einzusetzen. Diese müssen entweder den Spezifika-
tionen des Herstellers entsprechen, oder es muß zwi-
schen Hersteller und Anwender ein Grenzwert der
aufgabenspezifischen Meßabweichung vereinbart
werden.
3.2 Durchführung
Entsprechend den Herstellerangaben sind die zulässi-
gen Umgebungsbedingungen einzuhalten. Auch ist
auf absolute Sauberkeit der Tastelemente und der
Formnormale zu achten. Die Meßkraft ist, falls ein-
stellbar, entsprechend den Herstellerangaben zu wäh-
len. Das Einmessen der Taster ist nach der Betriebs-
anleitung durchzuführen. Insbesondere ist auf eine
korrekte Ermittlung der Tasterdurchbiegung zu ach-
ten. Bei komplexen Tastergeometrien oder bei beson-
ders hohen Genauigkeitsanforderungen ist auch ein
Einmessen der Taster durch Messung an Normalen
mit der Substitutionsmethode, die nicht nur die jewei-
lige Durchbiegung, sondern das Gesamtergebnis kor-
rigiert, gebräuchlich.
Der Annahmetest eines KMG für universellen Einsatz
ist in mindestens einer raumschrägen Aufspannung
und in einer vom Anwender wählbaren ebenen Auf-
spannung durchzuführen. Zusätzlich können Messun-
gen in weiteren Ebenen abhängig vom Teilespektrum
des Anwenders durchgeführt werden. Unabhängig
von der Positionierung des Prüfkörpers in maßstabs-
naher oder maßstabsferner Lage müssen die Spezifi-
kationen des Herstellers erfüllt sein. Für die Annahme
eines KMG im speziellen Einsatz wird der Prüfkörper
möglichst in der gleichen Position wie das Werkstück
aufgespannt. Die rechnerische Ausrichtung des Prüf-
körpers muß für Wiederholmessungen gut reprodu-
zierbare Daten gewährleisten und auch zu vergleich-
baren Datenmengen wie bei der Kalibrierung führen.
Die Anzahl und die Lage der Meßpunkte sind ver-
gleichbar mit der bei der Kalibrierung zu wählen. Bei
zu geringer Punkteanzahl würden die höherfrequen-
ten Anteile der Formabweichung verlorengehen oder
langwellige Formabweichungen vorgetäuscht werden
(Aliasing). Es sind die vom Hersteller vorgegebenen
Meßmethoden und Geräteeinstellungen zu verwen-
den. Insbesondere die Scanning-Geschwindigkeit hat
einen starken Einfluß auf die Meßabweichung.
Das Formnormal wird in jeder Aufspannung drei-
mal gemessen, um auch eine Aussage über die
Reproduzierbarkeit zu erhalten.
Für den Annahmetest stehen zur Formmessung pro
Merkmal zum Teil mehrere Formnormale zur Aus-
wahl:
VDI/VDE 2617 Blatt 2.2 /Part 2.2 – 13 –
quently also be used for cyclic interim checking of
the CMM. It is recommended to use workpiece re-
lated stylus configurations for measuring the test fix-
ture. These must either conform to the manufacturer's
specifications, or a limit value for the task-related
measuring error must be agreed between the manu-
facturer and the user.
3.2 Performance
The permissible ambient conditions specified by the
manufacturer must be observed, and the probe ele-
ments and material standards must be absolutely
clean. The measuring force, if optional, must be se-
lected according to the manufacturer’s specifications.
The styluses must be calibrated in accordance with
relevant operating instructions. Special care must be
taken to ensure that probe deflection is determined
correctly. With complex stylus geometries or particu-
larly high demands on accuracy, the styluses can be
calibrated by measuring standards using the substitu-
tion method, which provides correction of not only
the deflection but also of the overall result.
Acceptance testing of a CMM for universal use must
be performed with the testpiece oriented at least once
at an angle and clamped in one plane selected by the
user. Measurement can additionally be performed in
other planes, depending on the part spectrum of the
user. The manufacturer’s specifications must be met
irrespective of whether the testpiece is located near or
away from the measuring scale. For acceptance of a
dedicated CMM, the artifact must be clamped in as
similar a position as that of the workpiece. The math-
ematical alignment of the material standard must
guarantee reproducible data for all repeat measure-
ments and provide data quantities which can be com-
pared to those in calibration.
The number and position of measuring points should
be selected similar to the ones in calibration. If the
point number is too low, the higher-frequency com-
ponents of the form error would be lost or long-wave
form errors would be faked (aliasing). The measuring
methods and machine settings specified by the man-
ufacturer must be used. The scanning speed in partic-
ular has a strong effect on the measuring error.
The material standard is measured three times in
each clamping set-up to provide information on
repeatability.
For acceptance testing, several material standards are
available for the form measurement of each feature:
– 14 – VDI/VDE 2617 Blatt 2.2 /Part 2.2
• Rundheit
Die Datenerfassung erfolgt in einem Schnitt wahl-
weise an einem Einstellring für Innenmessungen
oder an einem Zylindernormal für Außenmessun-
gen. Alternativ ist die Rundheit für Außenmes-
sungen auch in einem Schnitt am Äquator eines
Kugelnormals erfaßbar. Wegen der großen Aus-
sagekraft ist zu empfehlen, für den Rundheits-
Annahmetest zusätzlich einen Schnitt an einem
Flick-Standard oder an einem Mehrwellennormal
aufzunehmen.
• Zylinderform
An einem Einstellring werden drei achssenkrechte
Schnitte (Radialschnitte) und vier um jeweils 90°
versetzte Mantellinien gemessen. Zur Außenmes-
sung dient ein Zylindernormal.
• Geradheit
Zur Datenerfassung können entweder Linien be-
liebiger Richtung auf einem Ebenheitsnormal ab-
gefahren oder Mantellinien entlang eines Zylin-
dernormals erfaßt werden.
• Ebenheit
Es können entweder mehrere Linien verteilt auf
einem Ebenheitsnormal aufgenommen oder es
kann die (kalibrierte) Stirnfläche eines Zylinder-
normals auf einer Kreisbahn abgefahren werden.
• Linienform
An einem Kugelnormal wird ein beliebig gerich-
teter Schnitt aufgenommen.
• Flächenform
An einem Kugelnormal werden mehrere beliebig
gerichtete Schnitte aufgenommen.
3.3 Auswertung
Für die Formmessung wird üblicherweise nach der
Tschebyscheff-Methode ein Minimumelement be-
stimmt. Damit ergibt sich die kleinstmögliche Form-
abweichung und die Minimumbedingung nach
DIN ISO 1101 wird erfüllt. Abhängig vom Anwen-
dungsfall sind alternativ die Berechnung des Aus-
gleichselements nach Gauß oder von Tangentialele-
menten (Hüll- oder Pferch-Elemente) möglich. Mit
jedem Berechnungsverfahren ergeben sich aber an-
dere Koordinatenwerte, Winkel und Durchmesser
sowie auch andere Formabweichungen (siehe
VDI/VDE 2631 Blatt 1, Bild 10 mit den Berech-
nungsverfahren am Beispiel Kreis). Deshalb ist eine
Dokumentation des verwendeten Berechnungsver-
fahrens notwendig und das angewendete Verfahren
ist bei Ergebnisvergleichen zu berücksichtigen.
Die Formnormale sollten mit mehreren genormten
Filtern kalibriert sein, damit auch für den bei der
Messung eingesetzten Filter kalibrierte Werte vorlie-
gen. Für den Annahmetest ist das benutzte Filter zu
All rights reserved © Verein Deutscher Ingenieure, Düsseldorf 2000
• Roundness
Data capture is performed in one profile either on
a setting ring for internal measurement or a cylin-
der standard for external measurement. As an al-
ternative, external roundness can also be meas-
ured in one profile on the equator of a spherical
standard. Due to the high information content, it is
recommended to include one additional profile on
a Flick standard or a multi-wave standard in
roundness acceptance testing.
• Cylindricity
Three orthogonal radial sections and four genera-
trices each displaced by 90° are measured on a
setting ring. A cylinder gage is used for external
measurement.
• Straightness
For data acquisition, it is possible to scan lines in
any direction on a flatness gage, or to measure
surface lines on a cylinder gage.
• Flatness
It is possible to measure several lines distributed
over a flatness standard, or the (calibrated) front
face of a cylinder gage in a circular path.
• Linearity
On a spherical standard, one section oriented in
any direction is measured.
• Surface form
On a spherical standard, several sections oriented
in any direction are measured.
3.3 Evaluation
For form measurement, a minimum element is nor-
mally determined according to the Tschebyscheff
method. Thus, the minimum form deviation is ob-
tained and the minimum conditions as per DIN
ISO 1101 are met. Depending on the application, the
Gaussian best fit elements or the tangential elements
(maximum inscribed and minimum circumscribed el-
ements) can be computed. However, as different co-
ordinate values, angles, diameters and other form er-
rors (see also VDI/VDE 2631 Part 1, Fig. 10 showing
computation with a circle as an example) are obtained
in each computation process, it is necessary to docu-
ment the computation procedure used and to take it
into account when comparing results.
The material standards should be calibrated using
several standardized filters, so that calibration data is
also available for the filter used in measurement. The
filter used in acceptance testing must be documented.
Alle Rechte vorbehalten © Verein Deutscher Ingenieure, Düsseldorf 2000
dokumentieren. Eine grafische Darstellung in einem
Profildiagramm ermöglicht zusätzlich zum Zahlen-
wert der Formmessung auch eine Beurteilung des
Profilverlaufs.
Anmerkungen zur Auswertung:
• Rundheit
Berechnung der Spannweite (Range) der Radien aller Einzel-
punkte, bezogen auf das Zentrum des Minimumkreises. Zusätz-
lich erlaubt die Auswertung eines Flick-Normals, die Reaktion
des KMG auf abrupte Profiländerungen zu beurteilen. Neben
dem Zahlenwert ist hier ein Profildiagramm besonders aussage-
kräftig. Das Flick-Normal ist weiterhin geeignet, durch wieder-
holte Auswertungen mit unterschiedlichen Filterstufen und
-typen die Filterfunktion zu überprüfen.
• Zylinderform
Berechnung der Spannweite der Radien aller Einzelpunkte, be-
zogen auf die Achse des Minimumzylinders.
• Geradheit
Berechnung der Spannweite der Abweichung aller Einzelpunkte
senkrecht zur Minimumgeraden bei einer ebenen Toleranzzone.
Bei einer zylinderförmigen Toleranzzone Multiplikation der
Spannweite der Abweichung aus allen Einzelpunkten mit dem
Faktor 2.
• Ebenheit
Berechnung der Spannweite der Abweichung aller Einzelpunkte
senkrecht zur Minimumebene.
• Linienform
Berechnung der Spannweite der Abweichung aller Einzelpunkte
senkrecht zur Sollinie.
• Flächenform
Berechnung der Spannweite der Abweichung aller Einzelpunkte
zueinander senkrecht zur Sollfläche.
3.4 Bewertung
Vom Hersteller müssen die größten zulässigen Meß-
abweichungen für alle Formelemente unter Angabe
von Filtertyp, Filterstufe und der Meßtechnologie
spezifiziert sein. Kenngrößen sind definiert in ISO/
DIS 12181-1 für Rundheit, in ISO/DIS 12180-1 für
Zylinderform und in ISO/DIS 12780-1 für Gerad-
heit. ISO/DIS 12781-1 für die Ebenheit.
Die Ergebnisse aller drei Messungen in einer Auf-
spannung müssen für den Annahmetest innerhalb der
spezifizierten zulässigen größten Abweichungen lie-
gen. Falls ein Wert außerhalb der Spezifikation liegt,
sollte zunächst anhand der Dokumentation und des
Profildiagramms das Resultat überprüft werden. Sind
keine Ursachen ersichtlich, sind das Normal und das
Tastelement zu säubern, auf Beschädigungen zu
überprüfen und die betreffende Messung ist dreimal
zu wiederholen. Diese Ergebnisse müssen danach
alle innerhalb der Spezifikation liegen, andernfalls ist
der Test nicht bestanden.
VDI/VDE 2617 Blatt 2.2 /Part 2.2 – 15 –
A graphic presentation in the form of a profile dia-
gram permits the profile curve to be evaluated in ad-
dition to the numeric form measurement values.
Notes on evaluation:
• Roundness
Computation of the radius range of all discrete points referred to
the center of the minimum circle. Evaluation of a Flick standard
also provides an evaluation of the CMM’s reaction to abrupt pro-
file changes. In addition to the numeric value, a profile diagram is
particularly informative in this case. The Flick standard is also
suitable for checking the filter functions by repeating the evalua-
tion with different filter stages and types.
• Cylindricity
Computation of the radius range of all discrete points referred to
the axis of the minimum cylinder.
• Straightness
Computation of the error range of all discrete points perpendicu-
lar to the minimum line of a flat tolerance zone. With a cylindri-
cal tolerance zone, the error range of all discrete points is multi-
plied by two.
• Flatness
Computation of the error range of all discrete points perpendicu-
lar to the minimum plane.
• Linearity
Computation of the error range of all discrete points perpendicu-
lar to the nominal line.
• Surface form
Computation of the error range of all discrete points with respect
to each other, perpendicular to the nominal surface.
3.4 Assessment
The manufacturer must specify the maximum per-
missible measuring error for all form elements, indi-
cating filter type, cut-off frequency and measuring
technology. The parameters for roundness are de-
fined in ISO/DIS 12181-1, for cylindricity in ISO/CD
12180-1 and for straightness in ISO/CD 12780-1. For
flatness, ISO/CD 12781-1 is in the process of being
prepared.
For the acceptance test, the results of all three meas-
urements taken in one clamping set-up must be
within the specified maximum permissible error lim-
its. If one value exceeds these limits, the result should
first be checked on the basis of the documentation
and the profile diagram. If no causes can be identi-
fied, the standard and the probe element must be
cleaned, checked for damages and the measurement
in question repeated three times. The measured data
must then all lie within the specification, otherwise
the test has not been passed.
– 16 – VDI/VDE 2617 Blatt 2.2 /Part 2.2
4 Überwachung
Die Überwachung der zur Formmessung eingesetz-
ten KMG dient der langfristigen Einhaltung der vom
Anwender festgelegten Grenzwerte. Der Vergleich
der Ergebnisse aufeinanderfolgender, unter gleich-
artigen Bedingungen durchgeführter Überwachun-
gen gestattet eine Trendanalyse hinsichtlich der Ver-
änderungen der Geräteeigenschaften. Hieraus kön-
nen sowohl Rückschlüsse auf vorsorgliche Wartungs-
arbeiten als auch auf das Überwachungsintervall ab-
geleitet werden.
Vor der Überwachung ist das KMG gemäß Betriebs-
anleitung in Betrieb zu nehmen. Wichtig ist, daß die
Überwachung unter Umgebungsbedingungen statt-
findet, die der Gerätespezifikation entsprechen. Die
Überwachung kann auf dieselbe Weise durchgeführt
werden wie der Annahmetest, jedoch mit den vom
Anwender festgelegten zulässigen Grenzwerten für
die Meßabweichung.
4.1 Prüfkörper
Zur Überwachung können dieselben Formnormale
oder Prüfkörper verwendet werden wie für den An-
nahmetest. Auch die Anforderungen an die Normale
sind identisch. Es ist insbesondere auf eine stabile
Aufspannung zu achten, ohne jedoch eine Verspan-
nung hervorzurufen.
Es sollten Prüfzertifikate für die Formnormale für
alle üblichen Filtergrenzwellen vorliegen, um sie für
verschiedene Anwendungsfälle mit unterschiedli-
chen Anforderungen verwenden zu können.
Für KMG im speziellen Einsatz finden alternativ
kalibrierte Meisterteile Verwendung. Damit liegen
vergleichbare Geometrieverhältnisse und Oberflä-
cheneigenschaften vor wie am Werkstück. Mit dieser
Methode wird nicht die allgemein gültige Genauig-
keit der Formmessung ermittelt, sondern die merk-
malspezifische Meßabweichung. Es ist darauf zu
achten, daß die Aufspannung, der Aufspannort und
die Tastergeometrie den Verhältnissen am Werkstück
entsprechen.
4.2 Durchführung
Die Überwachung von KMG kann weitgehend wie
der Annahmetest durchgeführt werden.
Hinsichtlich der Sauberkeit der Tastelemente und der
Formnormale, der zulässigen Umgebungsbedingun-
gen und der zu wählenden Meßkraft gelten die glei-
chen Anforderungen wie beim Annahmetest.
Das Einmessen der Taster erfolgt entsprechend den
Herstellerangaben. Insbesondere ist auf eine korrekte
Ermittlung der Tasterdurchbiegung zu achten. Bei
komplexen Tastergeometrien oder bei besonders
All rights reserved © Verein Deutscher Ingenieure, Düsseldorf 2000
4 Interim checks
Interim checking of the CMM used for form meas-
urement serves to retain on the long term the limit
values defined by the user. By comparing the results
of interim checks performed in succession under sim-
ilar conditions, a trend analysis of the changes in ma-
chine properties is obtained. This provides informa-
tion on preventive maintenance requirements and on
the intervals at which the interim checks should be
performed.
The CMM must be started up in accordance with the
operating manual prior to interim checking. It is es-
sential that the checks are performed under environ-
mental conditions which conform to the machine
specifications. Interim checking can be performed in
the same manner as acceptance testing, whereby the
permissible measuring error limits defined by the
user must be retained.
4.1 Artifacts
For interim checking, the same material standards
and inspection gages can be used as for acceptance
testing. The requirements on the standards are also
identical. Care must be taken to securely clamp the
artifacts without causing strain.
For the material standards, inspection certificates
should be available for all standard cut-off filter
wavelengths, so that they can be used for different ap-
plications involving different requirements.
For dedicated CMMs, alternatively calibrated master
parts are used. This creates geometrical conditions
and surface properties which are comparable to those
on the workpiece. This method is used to determine
not the generally applicable form measuring accu-
racy, but the feature-related measuring errors. Care
must be taken to ensure that the type of clamping, the
clamping location and the probe geometry corre-
spond to those used for the workpiece.
4.2 Performance
Interim checking of CMMs can be performed in vir-
tually the same way as acceptance testing.
The same demands are made on cleanness of probe
elements and material standards, permissible ambient
conditions and measuring force selection as in ac-
ceptance testing.
The stylus is calibrated in compliance with the man-
ufacturer’s specifications. Special care must be taken
to correctly determine the probe bend. For complex
stylus geometries or particularly exacting accuracy
Alle Rechte vorbehalten © Verein Deutscher Ingenieure, Düsseldorf 2000
hohen Genauigkeitsanforderungen ist auch ein Ein-
messen der Taster durch Messung an Normalen mit-
tels der Substitutionsmethode gebräuchlich.
Die benutzte Tastergeometrie erlaubt zwei unter-
schiedliche Aussagen für die Überwachung eines
KMG:
• Mit der vom Hersteller spezifizierten steifen
Tasteranordnung werden die Fehlergrenzen des
KMG zur Formmessung ermittelt. Dagegen liefert
eine Wiederholungsmessung am selben Prüfkör-
per mit einer werkstückspezifischen Tasteranord-
nung den zusätzlichen Einfluß der Tastergeome-
trie auf die Meßabweichung. Alle anderen Ein-
flußgrößen müssen dabei konstant gehalten wer-
den. Insbesondere ist auf eine ausreichende Tem-
perierung der Taster zu achten.
• Die räumliche oder ebene Anordnung des Prüf-
körpers, die Positionierung im Meßvolumen und
die Anzahl der in die Überwachung einbezogenen
Meßebenen wählt der Anwender entsprechend
seinem zu messenden Teilespektrum. Für eine
Überwachung von KMG im speziellen Einsatz
wird der Prüfkörper an einer ähnlichen Position
wie üblicherweise das Werkstück aufgespannt.
Die Anzahl und die Lage der Meßpunkte sind ver-
gleichbar mit der Kalibrierung des Normals zu wäh-
len. Es ist sinnvoll, zur Überwachung eines KMG
Meßmethoden und Geräteeinstellungen zu verwen-
den, die auch für die Teilemessung benutzt werden.
Alle Methoden und Einstellungen müssen konform
zur Betriebsanleitung sein. Insbesondere die Scan-
ning-Geschwindigkeit hat einen starken Einfluß auf
die Meßabweichung.
Wie beim Annahmetest ist jedes Normal in jeder
Aufspannung dreimal zu messen, um auch eine
Aussage über die Reproduzierbarkeit zu erhalten.
Es müssen nicht alle Formtoleranzen in die Über-
wachung eines KMG einbezogen werden. Der An-
wender kann den Überwachungsumfang auf die An-
forderungen seines Teilespektrums beschränken.
4.3 Auswertung
Die für den Annahmetest definierten Auswertekrite-
rien gelten in analoger Weise auch für die Über-
wachung. Die Formabweichungen werden mit dem-
selben Filter und mit denselben Auswertemethoden
berechnet, wie sie zur Messung des Teilespektrums
verwendet werden. Eine Orientierung an den für die
Messung des Teilespektrums verwendeten Methoden
und Parameter ist sinnvoll, um deren Eignung durch
die Überwachung sicherzustellen.
Der Anwender legt Grenzwerte für die Formabwei-
chungen fest. Die Ergebnisse aller drei Messungen
VDI/VDE 2617 Blatt 2.2 /Part 2.2 – 17 –
demands, the calibration can be performed by meas-
uring gages by the substitution method.
The probe geometry used provides two different
kinds of information for interim checking of CMMs:
• The rigid stylus configurations specified by the
manufacturer are used to determine the error lim-
its of the CMM for form measurement. A repeat
measurement on the same calibration standard us-
ing a workpiece-specific stylus configuration pro-
vides the added influence of the probe geometry
on the measuring error. All other influencing pa-
rameters must be kept constant. Adequate temper-
ature control of the stylus is of utmost importance.
• The user selects the three- or two-dimensional ori-
entation of the artifact, its position within the
measuring volume and the number of measuring
planes involved in the interim check to suit the
part spectrum he wants to measure. For interim
checking of a CMM used for special purposes, the
artifact is clamped in a similar position as the
workpiece will normally be in.
The number and position of measuring points should
be similar those selected for calibrating the standard.
For the interim check of a CMM it is recommended to
adopt the same measuring methods and settings used
for measuring the workpieces. All methods and set-
tings must conform to the operating instructions. The
scanning speed in particular has a pronounced influ-
ence on the measuring error.
As in acceptance testing, each material standard is
measured three times in each clamping set-up to
provide information on repeatability.
It is not necessary to include all form tolerances in the
interim check of a CMM. The user can restrict the
checking scope to the requirements of his part spec-
trum.
4.3 Evaluation
The evaluation criteria defined for acceptance testing
also apply to the interim check . Form deviations are
calculated using the same evaluation methods as ap-
plied when measuring the part spectrum. Filter must
also be selected accordingly. It is advised to base the
evaluation on the methods and parameters used for
measuring the part spectrum, in order to ensure that
these are suitable for the interim check.
The user defines limit values for the form deviations.
The results of all three measurements must be within
– 18 – VDI/VDE 2617 Blatt 2.2 /Part 2.2
müssen innerhalb der festgelegten Grenzen liegen.
Falls ein Wert außerhalb liegt, sollte zunächst anhand
der Dokumentation und eines Profildiagramms das
Ergebnis geprüft werden. Sind keine Ursachen für die
Überschreitung der Grenzen ersichtlich, sind das
Normal und das Tastelement zu säubern, Beschädi-
gungen zu überprüfen und die betreffende Messung
dreimal zu wiederholen. Die Ergebnisse müssen da-
nach alle innerhalb der Grenzen liegen. Im Fall einer
erneuten Überschreitung sind geeignete Maßnahmen
zur Fehlerbeseitigung zu ergreifen und das KMG ist
als nur bedingt einsatzfähig zu kennzeichnen.
Es ist empfehlenswert, die Ergebnisse der Überwa-
chung statistisch auszuwerten, um eventuelle Trends
frühzeitig erkennen zu können. Dazu ist eine regel-
mäßige Überwachung unter gleichen Bedingungen
Voraussetzung.
4.4 Überwachungsintervall und Dokumentation
Das Überwachungsintervall muß vom Anwender
eines KMG individuell festgelegt werden. Es wird
bestimmt durch die geforderte Meßabweichung so-
wie die Einsatz- und Umgebungsbedingungen am
Aufstellungsort.
Die Überwachung eines KMG ist nach einem festzu-
legenden Prüfplan, abhängig von der Stabilität des
Geräts, durchzuführen und schließt auch Sichtprü-
fungen (Prüfung auf Beschädigungen) mit ein. Eine
erneute Überwachung ist nach jeder Justage an den
Führungselementen und am Tastsystem erforderlich.
Nach Abschluß der Messung ist ein Protokoll zu er-
stellen, welches das summarische Prüfergebnis ent-
hält. Es ist weiterhin sinnvoll, im Überwachungspro-
tokoll alle gemessenen Werte zu dokumentieren.
All rights reserved © Verein Deutscher Ingenieure, Düsseldorf 2000
the defined limits. If one value exceeds these limits,
the result should first be checked on the basis of the
documentation and a profile diagram. If no causes
can be identified, the standard and the probe element
must be cleaned, checked for damages and the meas-
urement in question repeated three times. The meas-
ured data must then all lie within the specified limits,
otherwise suitable measures for eliminating this error
must be taken and the CMM must be labeled as being
fit for operation only to a limited extent.
Statistical evaluation of the results is recommended
to obtain early information on possible trends. For
this, it is necessary to perform the interim checks reg-
ularly and under identical conditions.
4.4 Checking intervals and documentation
The interval for checking the CMM must be stipu-
lated individually by the user. It depends on the spec-
ified measuring error and the ambient and operational
conditions at the site of installation.
Interim checking of a CMM must be performed in ac-
cordance with a test schedule which depends on the
stability of the machine and also includes visual
checking (for damages). A new check is required
every time a guide element or the probe system has
been adjusted. On conclusion of the measurement a
protocol must be prepared, indicating the overall test
result. In addition, the inspection protocol should in-
clude all measured values.
Alle Rechte vorbehalten © Verein Deutscher Ingenieure, Düsseldorf 2000
Schrifttum/References
[1] Bosse, H.: Aspekte der Filterung in der Formmeßtechnik. PTB-
Bericht PTB-F-13, 1994
DIN V ENV 13 005 Leitfaden zur Angabe der Unsicherheit beim
Messen
VIM Internationales Wörterbuch der Metrologie. Beuth-Bestell-Nr.
13086
ISO 12 180-1 Geometrische Produktspezifikation (GPS) – Zylin-
drizität – Teil 1: Begriffe, Definitionen und Kenngrößen der Zy-
lindrizität
ISO 12 180-2 Geometrische Produktspezifikation (GPS) – Zylin-
drizität – Teil 2: Regeln und Verfahrensweisen für die Ermittlung
von Zylinderformabweichungen
ISO 12 181-1 Geometrische Produktspezifikation (GPS) – Rund-
heit – Teil 1: Begriffe, Definitionen, Kenngrößen der Rundheit
ISO 12 181-2 Geometrische Produktspezifikation (GPS) – Rund-
heit – Teil 2: Regeln und Verfahrensweisen zur Ermittlung von
Rundheitsabweichungen
VDI/VDE 2617 Blatt 2.2 /Part 2.2 – 19 –
ISO 12 780-1 Geometrische Produktspezifikation (GPS) – Gerad-
heit – Teil 1: Begriffe, Definitionen und Kenngrößen der Gerad-
heit
ISO 12 780-2 Geometrische Produktspezifikation (GPS) – Gerad-
heit – Teil 2: Regeln und Verfahrensweisen zur Ermittlung von
Geradheitsabweichungen
ISO 12 781-1 Geometrische Produktspezifikation (GPS) – Ebenheit
– Teil 1: Begriffe, Definitionen und Kenngrößen der Geradheit
ISO 12 781-2 Geometrische Produktspezifikation (GPS) – Ebenheit
– Teil 2: Regeln und Verfahrensweisen zur Ermittlung von Eben-
heitsabweichungen
ISO 14 253-1 Geometrische Produktspezifikation (GPS) – Prüfen
von Werkstücken und Messgeräten durch Messen – Teil 1: Ent-
scheidungsregeln für die Feststellung von Übereinstimmung
oder Nichtübereinstimmung mit Spezifikationen
DIN ISO 1101 Technische Zeichnungen;
Geometrische Tolerierung
VDI/VDE 2631 ff. Formmessung