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FE-Simulation von Mikropillar-Kompressionsexperimenten mit

elektrischer Charakterisierung

Student
Kevin D. Silva
Fachgebiet:
Werkstoffe der Elektrotechnik

Betreuer:
M. Sc. Hauke-Lars Honig

Doktorand

Magnetische dünne Schichten für die Anwendung in
Magnetfeldsensoren

2 Kevin Silva
Gliederung

1. Ziele

2. Beschreibung der Experimente

3. Software und Analyse des Problems

4. Simulationen

5. Zusammenfassung

3 Kevin Silva
1. Ziele
1. Ziele

→ Untersuchung der verschiedenen physikalischen Phänomene bei


der plastischen Verformung

→ Vorschläge für optimale Versuchsbedingungen, um den Einfluss


zu minimieren

5 Kevin Silva
2. Beschreibung der Experimente
Mikropillars

Indenter Indenter

Mikropillar
Mikropillar

vor Verformung nach Verformung

Au/Cu System REM Bilde: Hauke Honig


7 Kevin Silva
Mikromanipulator

Probe

8 Kevin Silva
Mikromanipulator

9 Kevin Silva
Mikromanipulator

Indenter

10 Kevin Silva
Indenter

REM Bild: Hauke Honig


11 Kevin Silva
Mikromanipulator – REM

12 Kevin Silva
3. Software und Analyse des Problems
Software

14 Kevin Silva
Geometrie

Indenter

Mikropillar

Substrat

2D achsensymmetrische Geometrie 3D Geometrie

15 Kevin Silva
Elektrischer Stromkreis

Bedingungen
Ströme: 1 – 10 – 100 – 1000 μA

Durchmesser: 0,3 – 1 – 2 μm

Multilayer Systeme
Al/Ni
10 Schichten

16 Kevin Silva
Physikalische Phänomene
F

Qcond 1) Joule-Heizung
Rc
2) Seebeck-Effekt Wegen des Stroms
3) Kontaktwiderstand
I Qrad
4) Verformung Wegen des Krafts

Qcond

17 Kevin Silva
4. Simulationen
Meshing

Dreieckiges Netz

19 Kevin Silva
Mechanisches Verhalten
Verformung: Von Misses Spannung [N/m²]

20 Kevin Silva
Mechanisches Verhalten
Verformung: Von Misses Spannung [N/m²]

21 Kevin Silva
Mechanisches Verhalten
Verformung: Von Misses Spannung [N/m²]

22 Kevin Silva
Kombination von Phänomenen:
Temperatur (K)

F ≈ 0 mN Tmax = 293.26 K

Kontaktwiderstand [mΩ]
niedriger Kraft

hoher Kontaktwiderstand

Kraft [mN]

vor Verformung
23 Kevin Silva
Kombination von Phänomenen:
Temperatur (K)

Tmax = 293.17 K

F = 1 mN

Kontaktwiderstand [mΩ]
hoher Kraft

niedriger Kontaktwiderstand

Kraft [mN]
Rc(1 mN) = 52 mΩ
nach Verformung
24 Kevin Silva
Kombination von Phänomenen:
Elektrisches Potential (V)

F ≈ 0 mN Vmax = 30 mV Vmax = 0.4 mV

F ≈ 1 mN

niedriger Kraft hoher Kraft

hoher Kontaktwiderstand niedriger Kontaktwiderstand

vor Verformung nach Verformung

25 Kevin Silva
5. Zusammenfassung
Zusammenfassung


Theoretisches Modell, um das Zusammenspiel von der
verschiedene Phänomene während der Experimente zu
verstehen.


Vorschläge von optimale Versuchsbedingungen, um den
Einfluss von den Phänomene zu minimieren.

27 Kevin Silva
Zusammenfassung

- Seebeck Effekt ist vernachlässigbar.



Simulationen - Rc ist der stärkere Effekt.
- Temperatur für kleine Stromwerte ist nicht zu hoch.

- Kleine F erzeugen hohe Rc → F > 0.25 mN



Vorschläge
- Strom bis zu ≈ 1 mA

Analyse der Veränderung der



Nächste Schritte
elektrischen Eigenschaften

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Vielen Dank für Ihre Aufmerksamkeit!