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ICS 25.060.20, 39.

020 VDI-RICHTLINIEN August 2012

VEREIN Palettierung für die VDI 5584


DEUTSCHER mechanische Ultrapräzisionsfertigung
INGENIEURE Palletisation for Ausg. deutsch/englisch
mechanical ultraprecision manufacturing Issue German/English

Die deutsche Version dieser Richtlinie ist verbindlich. The German version of this guideline shall be taken as authori-
tative. No guarantee can be given with respect to the English
translation.
Frühere Ausgabe: 04.11 Entwurf
Former edition: 04/11 Draft

Inhalt Seite Contents Page


Vorbemerkung ......................................................... 2 Preliminary note....................................................... 2
Einleitung ................................................................. 2 Introduction.............................................................. 2
1 Anwendungsbereich ......................................... 3 1 Scope ................................................................. 3
2 Begriffe .............................................................. 3 2 Terms and definitions ...................................... 3
3 Palettierung in Produktionsketten der 3 Palletisation in ultraprecision production
Ultrapräzisionsbearbeitung.............................. 3 chains ................................................................ 3
3.1 Mechanische 3.1 Ultraprecision mechanical
Ultrapräzisionsfertigung............................. 3 manufacturing ............................................ 3
3.2 Allgemeine Prinzipien passiver 3.2 General principles of passive
Ausrichtung ................................................ 4 alignment ................................................... 4
3.3 Systemgenauigkeit/ 3.3 System accuracy/
Wiederholgenauigkeit ................................ 8 repeatability ............................................... 8
3.4 Einrichten von Einspannfuttern.................. 9 3.4 How to set up chucks ................................. 9
Schrifttum .............................................................. 12 Bibliography .......................................................... 12

VDI-Gesellschaft Produktion und Logistik (GPL)


VDI-Fachbereich Produktionstechnik und Fertigungsverfahren

VDI-Handbuch Produktionstechnik und Fertigungsverfahren, Band 2: Fertigungsverfahren


–2– VDI 5584

Vorbemerkung Preliminary note


Der Inhalt dieser Richtlinie ist entstanden unter The content of this guideline has been developed in
Beachtung der Vorgaben und Empfehlungen der strict accordance with the requirements and rec-
Richtlinie VDI 1000. ommendations of the guideline VDI 1000.
Alle Rechte, insbesondere die des Nachdrucks, der All rights are reserved, including those of reprint-
Fotokopie, der elektronischen Verwendung und der ing, reproduction (photocopying, micro copying),
Übersetzung, jeweils auszugsweise oder vollstän- storage in data processing systems and translation,
dig, sind vorbehalten. either of the full text or of extracts.
Die Nutzung dieser VDI-Richtlinie ist unter Wah- The use of this guideline without infringement of
rung des Urheberrechts und unter Beachtung der copyright is permitted subject to the licensing con-
Lizenzbedingungen (www.vdi-richtlinien.de), die ditions specified in the VDI Notices (www.vdi-
in den VDI-Merkblättern geregelt sind, möglich. richtlinien.de).
Allen, die ehrenamtlich an der Erarbeitung dieser We wish to express our gratitude to all honorary
VDI-Richtlinie mitgewirkt haben, sei gedankt. contributors to this guideline.

Einleitung Introduction
Diese Richtlinie wurde im Rahmen des EU- This guideline has been established in the EU-
Projektes „Production for Microtechnology – P4µ“ project “Production for Microtechnology – P4µ”.
erstellt.
Dank weitgehender Fortschritte in Maschinen- und Due to major advances in machine and machining
Bearbeitungstechnologie lassen sich heute auch technology, today, mechanical manufacturing
mit mechanischen Bearbeitungsverfahren wie Frä- processes like milling and turning are capable to
sen und Drehen Genauigkeiten weit unterhalb ei- achieve accuracies far below one micron. It is dif-
nes Mikrometers erreichen. Es ist jedoch schwie- ficult, however, to obtain these accuracies in auto-
rig, diese Genauigkeiten in automatisierten, mehr- mated multistep production chains because an ex-
stufigen Produktionsketten zu erreichen, da eine act alignment of the work piece is necessary in
genaue Ausrichtung des Werkstücks in jedem Pro- every production step.
duktionsschritt erforderlich ist.
Eine Herstellung aus einem Stück auf nur einer Manufacturing from the solid on only one machine
Maschine ist nur in einzelnen Fällen und meist mit is possible only in few cases with special ma-
Spezialmaschinen möglich. Automatisierte Refe- chines. Automated referencing is not sufficient
renzierung ist (derzeit) für Ultrapräzisionsbearbei- (yet) for ultraprecision machines (UP machines).
tungsmaschinen (UP-Bearbeitungsmaschinen) noch Manual alignment by iteratively adjusting and
nicht ausreichend. Manuelle Ausrichtung durch measuring is very time consuming. Morever, it is
iteratives Justieren und Kontrollmessungen ist zu difficult to perform with submicron accuracy and
zeitaufwendig. Darüber hinaus ist dies bei Sub- requires highly skilled operators. Even then, it is
mikrometergenauigkeit schwierig und verlangt not a well defined robust process with appropriate
äußerst geschultes Personal, ist aber auch dann repeatability and is difficult to integrate in quality
kein robuster, wohldefinierter Prozess mit ausrei- management.
chender Wiederholbarkeit und damit schwierig im
Qualitätsmanagement zu erfassen.
Eine Lösung bietet die Palettierung der Werkstü- The palletisation of the work pieces can provide a
cke. Die Palette und das Werkstück bilden wäh- solution. The pallet and the work piece represent a
rend der gesamten Produktionskette eine Einheit. fixed unit within the complete production chain.
Durch reproduzierbare Einspannung der Palette in By a reproducible clamping of the pallet in a chuck
ein Einspannfutter wird die Palette (und das Werk- the pallet (and the work piece) is aligned with
stück) im Referenzkoordinatensystem der Maschi- submicron accuracy in the reference coordinate
ne, welches durch das Spannfutter definiert wird, system of the machine which is defined by the
mit Submikrometergenauigkeit ausgerichtet. chuck.
VDI 5584 –3–

1 Anwendungsbereich 1 Scope
Diese Richtlinie bezieht sich auf das reproduzier- This guideline refers to the reproducible alignment
bare Einspannen von Werkstücken in der mechani- of work-pieces in mechanical micro production
schen Mikrofertigung mit Genauigkeiten unter with submicron accuracy by the use of palletisation
einem Mikrometer durch die Nutzung von Palettie- systems.
rungssystemen.

2 Begriffe 2 Terms and definitions


In der vorliegenden Richtlinie werden die nach- For the purposes of this guideline, the following
folgend aufgeführten Begriffe verwendet: terms and definitions apply:
Palette (Werkstückträger) Pallet
Vorrichtung, welche das Werkstück durch die ge- Device which carries the workpiece throughout the
samte automatisierte Produktionskette trägt. entire automated production chain.
Anmerkung: Die Palette hat einem Klemmanschluss an ein Note: The pallet has a clamping interface towards the chuck.
Spannfutter.

Referenz Reference
Vektor, der die Position eines Werkzeugs oder Vector which defines the position of a tool or a
eines Werkstücks in Relation zu einem festen workpiece in relation to a fixed point in the ma-
Punkt im Koordinatensystem der Werkzeugma- chine tool coordinate system.
schine angibt
Spannfutter Chuck
Klemmvorrichtung, die auf die Werkzeugmaschine Clamping device which is mounted on the machine
montiert ist und das x,y,z-Referenzkoordinaten- tool and which defines the x,y,z-reference coordi-
system für die Bearbeitung definiert. nate system for machining.
Anmerkung: Die mechanische Kopplungsvorrichtung des Note: The mechanical coupling interface of the chuck aligns
Spannfutters richtet die Palette innerhalb des x,y,z-Referenz- the pallet within the x,y,z-reference coordinate system with
koordinatensystems mit einer Wiederholgenauigkeit unter submicron repeatability.
einem Mikrometer aus.

3 Palettierung in Produktionsketten der 3 Palletisation in ultraprecision


Ultrapräzisionsbearbeitung production chains
3.1 Mechanische Ultrapräzisionsfertigung 3.1 Ultraprecision mechanical manufacturing
Mittels mechanischer Ultrapräzisionsbearbeitungs- With ultraprecision mechanical machining proc-
verfahren (UP-Bearbeitungsverfahren) wie Dia- esses (UP mechanical machining processes) such
mantdrehen, Einzahnfräsen oder Ultrapräzisions- as diamond turning, fly-cutting or ultraprecision
schleifen können Werkstücke mit Abmessungstole- grinding, work pieces with dimensional accuracies
ranzen im Submikrometerbereich gefertigt werden. in the sub micrometer range can be manufactured.
Neben der Verwendung von Ultrapräzisionswerk- Besides the use of ultraprecision machine tools
zeugmaschinen mit Positionierungsgenauigkeiten with positioning accuracies of 0,1 µm per 100 mm,
von 0,1 µm bei 100 mm sind die Aufnahme der the clamping and alignment of workpieces within
Werkstücke und Ausrichtung im Koordinatensys- the machine tool coordinate system is an important
tem der Maschine zum Erreichen der Genauigkeit step to accuracy.
wichtig.
Die genaue Kenntnis der Werkstückposition ist The exact knowledge of the workpiece position is
wesentlich, um Strukturen mit Genauigkeiten im essential to machine structures with sub micron
Bereich unterhalb eines Mikrometers zu fertigen. precision. In the so-called referencing procedure,
Bei der sogenannten Referenzierung werden die the position of the diamond tool and the workpiece
Positionen des Diamantwerkzeugs und des Werk- is defined relative to a fixed point (reference point)
stücks relativ zu einem definierten Fixpunkt (Refe- in the machine tool coordinate system. The refer-
renzpunkt) im Koordinatensystem der Werkzeug- ence point may be a point on the surface of a sam-
maschine festgelegt. Der Referenzpunkt kann ein ple or on the workpiece itself, a characteristic point
Punkt auf der Oberfläche einer Probe oder auf dem within the working space of the machine tool (e.g.
Werkstück, ein charakteristischer Punkt im Ar- centre of a rotational axis) or a point which is de-
–4– VDI 5584

beitsraum der Maschine (z. B. Zentrum einer Dreh- fined by a metrology device (e.g. the crosshair of a
achse) oder ein messtechnisch definierter Punkt CCD camera). Knowing the exact references of the
sein (z.B. Fadenkreuz einer Kamera). Bei Kenntnis tool and the workpiece, the tool can be positioned
der exakten Referenzen von Werkzeug und Werk- to any point on the workpiece surface with sub
stück kann das Werkzeug mit Genauigkeit unter- micrometer accuracy.
halb eines Mikrometers an einen Punkt auf der
Werkstückoberfläche positioniert werden.
Die Referenz geht verloren, wenn das Werkstück Once the workpiece is removed from the machine
der Werkzeugmaschine entnommen wird. Dies tool, its reference is lost. This is a major problem
stellt ein bedeutendes Problem bei der Realisierung for the realisation of iterative quality loops, where
von Qualitätsschleifen dar. Dort wird das Werk- alternating metrology and machining process steps
stück alternierend bearbeitet und vermessen um are carried out in order to obtain form accuracies
Formgenauigkeiten im Submikrometerbereich und with sub micrometer precision and optical surface
optische Oberflächenqualitäten < 10 nm Ra zu qualities < 10 nm Ra.
erreichen.
Die Umdefinieren der Referenz oder das aktive Redefining the reference or actively aligning the
Ausrichten des Werkstücks auf seine Anfangsposi- work piece to its initial position is a time-
tion sind zu zeitaufwendig. Die Reproduzierbarkeit consuming procedure. The repeatability of this
hängt stark von den Handfertigkeiten des Maschi- procedure depends on the manual skills of the ma-
nenbedieners ab. chine operator.
Die durchgängige Fertigungsqualität der mechani- The usage of a sub micron referencing system
schen Ultrapräzisionsbearbeitung kann durch ein which is based on passive alignment assures a con-
auf passiver Ausrichtung basierenden Referen- sistent machining quality in ultraprecision me-
zierungssystem mit Submikrometergenauigkeit chanical manufacturing. Furthermore, the usage of
sichergestellt werden. Darüber hinaus erlaubt eine passive alignment enables a quick and efficient
passive Ausrichtung einen schnellen und effizien- exchange of work pieces without the use of any
ten Austausch der Werkstücke, ohne dass Sensoren sensors and actuators.
und Aktuatoren benötigt werden.
3.2 Allgemeine Prinzipien passiver 3.2 General principles of passive alignment
Ausrichtung
Ein Objekt das nicht beschleunigt, wenn Kräfte auf Any object is balanced if it does not accelerate
es ausgeübt werden, ist im Kräftegleichgewicht. when forces are exerted on the object. In his case,
Die resultierende Kraft und das resultierende Mo- the resulting force and the resulting momentum at
ment bezüglich jedes Punkts verschwinden. Ein any point are zero. Any unconstrained object pos-
Objekt ohne Zwangsbedingungen hat sechs Frei- sesses six degrees of freedom. It can move in a
heitsgrade. Geradlinige Bewegung in drei Raum- straight line (translate) along the three directions in
richtungen, üblicherweise x, y und z sowie Dreh- space, typically labelled x, y, and z. It can also
bewegungen um diese drei Achsen mit Winkeln ijx rotate around each of these axes, resulting in a ijx-
(Rollwinkel), ijy (Nickwinkel) und ijz (Gierwinkel) (roll), ijy-(pitch) and ijz-motion (yaw).
sind möglich.
Ein Objekt, das mit einer geeigneten Auflagerung An object which is held in a fixed position with a
in einer festen Position gehalten wird ist im suitable support is balanced no matter which forces
Gleichgewicht, gleichgültig welche Kräfte darauf are exerted on the object. An object can be fixed
ausgeübt werden. Ein Objekt kann mit verschiede- with diverse supporting elements. The distinctive
nen Auflagerungen fixiert werden. Entscheidend feature is the number of degrees of freedom which
dabei ist, wie viele Freiheitsgrade mit einem Ele- can be bound with one supporting element. A sup-
ment eingeschränkt werden. Ein Auflager heißt porting element is called n-valent if it binds n de-
n-wertig, wenn es n Freiheitgrade einschränkt. Die grees of freedom. The spatial fixation of an object
räumliche Fixierung eines Objekts verlangt eine requires a hexavalent support. This can be realised
hexavalente Auflagerung. Dies kann durch jede with any combination of supporting elements
Kombination von Fixierungselementen erreicht which feature an according valence e.g. bars, float-
werden, die eine entsprechende Wertigkeit aufwei- ing bearings or fixed bearings.
sen, z. B. Stäbe, Loslager, Festlager usw.
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Bei einer statisch bestimmten Auflagerung ent- In a statically determined support, the valence of the
spricht die Summe der Wertigkeit der Lagerelemen- supporting elements accords to the degrees of free-
te der Anzahl der Freiheitsgrade des Objekts, bei dom of the object. In a statically indeterminate sup-
einer statisch unbestimmten Lagerung ist dies nicht port, the sum of valences of the supporting elements
der Fall. Wenn Die Summe der Wertigkeiten der is unequal to the number of degrees of freedom of
Lagerelemente die Anzahl der Freiheitsgrade des the object. If the sum of valence of the supporting
Objekts übersteigt, ist die Lagerung statisch überbe- elements exceeds the degrees of freedom of the
stimmt. Die Lagerung verursacht daher eine Ver- object, the support is statically over constrained.
formung des Objekts. In realistischen Anwendungen Thus, the support causes a deformation of the ob-
hat eine überbestimmte Lagerung den Vorteil, dass ject. In real applications, the advantage of statically
das Versagen eines einzelnen Lagerelements nicht over-constrained supports is that the failure of a
das Versagen der gesamten Lagerung verursacht. single supporting element does not cause the break-
Die Verformung des Objekts ist üblicherweise sehr down of the whole support. The deformation of the
klein im elastischen Bereich der Materialeigenschaf- object is usually very small and within the elastic
ten [1]. limit of the material properties [1].
Die Strategie der passiven Ausrichtung erhält ihre The passive alignment strategy obtains its accuracy
Genauigkeit durch geometrische Anpassung von by matching, geometrical components. Typical
Komponenten. Typische Elemente für passive passive alignment elements are V-grooves and
Ausrichtung sind V-Nuten und Kugelelemente, spherical elements as they are used in kinematic
z. B. in kinematischen Kupplungen [2; 3]. couplings [2; 3].
Das Prinzip der elastischen Mittelung stellt eine The elastic averaging principle represents a subset
Unterklasse der Oberflächenkupplungen dar, wo- of surface coupling types where improved accu-
bei die gesteigerte Genauigkeit aus einer Mittelung racy is derived from the averaging of error over a
der Abweichungen einer großen Zahl von Kontakt- large number of contacting surfaces. Contrary to
flächen entsteht. Im Gegensatz zum kinematischen kinematic design, elastic averaging is based on
Design beruht elastische Mittelung auf der Überbe- significantly over-constraining the solid bodies
stimmung eines Körpers durch eine Vielzahl mit- with a large number of relatively compliant mem-
einander verträglicher Lagerungen. Wird eine sol- bers. As the system is preloaded, the elastic proper-
che Halterung beladen, erlauben die elastischen ties of the material allow for the size and position
Eigenschaften des Materials, dass die Größen und error of each individual contact feature to be aver-
Positionsfehler der einzelnen Auflage über die aged out over the sum of contact features through-
Summe der Auflagen für den gesamten Körper out the solid body. Although the repeatability and
gemittelt werden. Obwohl die mittels elastischer accuracy obtained through elastic averaging may
Mittelung erreichbare Wiederholbarkeit und Ge- not be as high as in deterministic systems, elastic
nauigkeit nicht so hoch wie in eindeutig bestimm- averaging design allows for higher stiffness and
ten Systemen ist, zeigen diese Systeme eine höhere lower local stress when compared to kinematic
Steifigkeit und geringere lokale Spannungen als couplings [4].
kinematische Kopplungen [4].
3.2.1 Prinzipien der passive Ausrichtung bei 3.2.1 Principles of passive alignment in
Einspannung und Palettierung clamping and palletisation
Ein System zur UltrapräzisionsPalettierung besteht In general, an ultraprecision palletisation system
aus einem Spannfutter, einer Palette und einer comprises of a chuck, a pallet and a drawbar, see
Zugstange, siehe Bild 1. Die Zugstange wird Figure 1. The drawbar is losely connected to the
schwimmend mit der Palette verbunden und über- pallet and transmit the pulling force from the
trägt die Zugkraft der Klemmvorrichtung im Futter clamping balls inside the chuck over to the pallet.
auf die Palette. Dadurch wir die Palette auf dem The pallet is by that clamped onto the chuck. The
Futter festgeklemmt. Die Zugkraft ist Vorausset- pulling force is a prerequisite for the accurate pal-
zung dafür, dass die Position der Palette während let position is being kept during machining or at
des Bearbeitungsvorgangs oder bei anderer Belas- other loadings of the workpiece.
tung des Werkstücks eingehalten wird.
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Bild 1. Beispiel eines Systems zur Ultrapräzisions- Figure 1. Realisation of UP palletisation system [5]
Palettierung [5]
1 Palette 1 pallet
2 Zugstange 2 drawbar
3 Futter 3 chuck

In UP-Anwendungen, wo nur geringere Kräfte In UP applications, where the loads are minor, the
auftreten, wird die Position mit Genauigkeiten im submicron position is kept by z-plane friction pro-
Submikrometerbereich durch aus der Zugkraft re- vided by the pulling force.
sultierende Reibungskräfte in der z-Ebene gehalten.
Aufgrund der Zugkraft müssen geeignete Vorrich- The existence of the pulling force puts demands on
tungsprinzipien zur passiven Ausrichtung einige suitable principles for the passive alignment. Such
Anforderungen erfüllen. So muss eine Referenzflä- principle is that the reference surface in z-direction
che senkrecht zur axialen Zugkraft existieren (z. B. i.e. the z-plane must be perpendicular to the axial
eine z-Referenz), um Verschiebungen in Richtung pulling force. In other cases there would be com-
der Klemmkraft zu unterbinden. Die Zugkraft er- pliance and displacements in z-direction during
möglicht andererseits, die z-Ebene überzubestim- clamping. The pulling force allows, on the other
men. Ein Vierpunkt- Kontakt der z-Ebene erzeugt hand, the z-plane to be over-constrained. At a four
bei ausreichender Ebenheit zwischen den Auflage- point z-plane contact, with sufficient flatness be-
punkten den gleichen Anpressdruck an den Aufla- tween the points, the pulling force ensures equal
geflächen infolge mikroskopischer Deformationen contact pressure at the contact spots. This is due to
der z-Ebene der Palette. Die Ebenheit der z-Ebene a micro level elastic deformation of the z-plane of
ist entscheidend für die Genauigkeit des Systems. the pallet. The flatness of the z-plane is essential to
Daher wird bei solchen UP-Systemen die z-Ebene the accuracy of the system. A UP palletising sys-
sowohl auf dem Futter als auch auf der Palette tem has therefore lapped z-plane on both the chuck
geläppt. and the pallet.
Die z-Ebene ist die erste grundlegende Referenz- The z-plane is the first basic reference plane in a
ebene in einem UP-Palettierungssystem. Die zwei- UP palletisation system. The second and third ref-
ten und dritten Referenzebenen müssen so orien- erence plane shall be oriented to reach maximum
tiert sein, dass maximale Genauigkeit und Steifig- accuracy and stiffness in all directions. The opti-
keit in allen Richtungen erreicht werden. Die opti- mal orientation is reached having an x- and y-plane
male Orientierung liegt vor, wenn diese als x- und in an orthogonal coordinate system. By that, they
y-Ebene in einem orthogonalen Koordinatensystem also coincide with the machine axes. Hence, the
vorliegen. Die orthogonalen x,y,z-Ebenen definie- orthogonal x,y,z-reference planes define the three
ren damit die drei grundlegenden Referenzebenen basic reference planes in a UP palletisation system.
in einem UP-Palettierungssystem.
Die passive Ausrichtung in der x- bzw. y-Ebene Passive alignment in the x- respectively y-plane
muss ohne zusätzliche Zugkräfte geleistet werden, must be done without any additional pulling forces,
da nur eine Zugstange benutzt wird. Als Lösung as only one drawbar is used. The solution is to
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kann eine Kreuzschiene auf dem Futter zur Aus- utilise a cross bar on the chuck for alignment of a
richtung einer Kreuznut auf der Palette dienen. Die cross groove in the pallet. The result is a pallet
entstehende Aufspannung der Palette variiert zwi- clamping and positioning varying between a small
schen kleinem Spiel und kleiner Haftung. Die Grö- play and a small grip. The level of play and grip is
ßen hängen von den Fertigungstoleranzen ab. In depending on the manufacturing tolerances. How-
UP-Systemen sind jedoch weder Spiel noch feste ever, in UP systems neither play nor solid grip is
Haftung erlaubt. Da UP-Maschinen und -Mess- allowed. The latter may lead to wear due to the
stationen mit geringer oder ohne Schmierung ar- poor or absence of lubrication in UP machines and
beiten, kann dies zu Verschleiß führen. Daher wird measurement stations. The applied solution is in-
als Lösung eine elastische Kreuznut verwendet. stead to have an elastic cross groove. This is
Dazu werden vier Paare elastischer, frei schwin- achieved by having four pair of elastic and free
gender Federzungen im gleichen Materialstück wie swinging tongues in the same piece of material as
die Palette vorgesehen. Die Vorderenden der Fe- the pallet. The front end of the tongues is accu-
dern werden sehr genau geschliffen, die vier Fe- rately ground. The grinding of the four pair of
derpaare werden mit einer hochgenauen 90°- tongues is done with a 90° indexing of high accu-
Teilung versehen. Die Federn biegen sich beim racy. The result is a very well defined elastic cross
Einspannen leicht in z-Richtung, da die Schienen groove in the pallet. The tongues bend themself
am Futter etwas breiter sind als die elastischen slightly in z-direction at clamping. This is due to
Nuten, das heißt der Abstand der Federn. Dadurch the chuck bars being slightly wider than the elastic
werden kreisförmig geschlossene Kraftverteilun- grooves i.e. the distance between the tongues. By
gen in der Palette aufgebaut. Diese geschlossenen that, closed loop force distributions are built up in
Verteilungen sind symmetrisch und beeinflussen the pallet. Those loops are symmetrical and don´t
die Genauigkeit nicht. affect the accuracy.
Die dem Futter zugewandten Kanten der Federn The tongue edges, facing the chuck side, are rest-
ruhen auf den angeschrägten Seitenflächen der ing against and aligned by the tapered walls of the
Kreuzschienen und werden dadurch ausgerichtet. cross bars. The edges are straight and accurate as
Diese Kanten sind gerade da, sie durch die ge- being defined by the ground z-plane and the
schliffene z-Ebene und Stirnseite der Federn defi- ground front end of the tongues. However, on
niert werden. Abweichungen vom geraden Verlauf submicron level there are still deviations from a
existieren zwar im Submikrometerbereich, doch straight line. This will not affect the accuracy as
diese stören die Genauigkeit nicht, da die Federn the tongues are aligned by the principle of elastic
durch elastische Mittelung ausgerichtet werden. averaging. This leads to an even line contact along
Dies führt zu einem gleichmäßigen Linienkontakt the tongue edge. Each tongue is, on submicron
entlang jeder Federkante. Im Submikrometerbe- level, freely movable in all directions except along
reich ist jede Feder in alle Richtungen außer ent- its centre axis. This allows them to take their posi-
lang ihrer Mittelachse beweglich. Sie können so tions as given by the even line contact. At clamp-
die durch den gleichmäßigen Linienkontakt vorge- ing, uneven side forces are quickly balanced out
gebenen Positionen einnehmen. Beim Einspannen and thus ensuring the final equilibrium position.
werden ungleichmäßige seitliche Kräfte schnell That final position is thereby repeatable with sub-
ausgeglichen und so die endgültige Gleichge- micron accuracy. Further, the reference system is
wichtsposition sichergestellt. Diese endgültige completely symmetrical.
Position ist dadurch mit Submikrometergenauig-
keit wiederholbar. Darüber hinaus ist das Refe-
renzkoordinatensystem vollständig symmetrisch.
Der Ursprung des x,y,z-Systems liegt im Schnitt- The origin of the x,y,z-system is placed in the in-
punkt der z-Ebene und der x,y-Ebenen der Kreuz- tersection point of the z-plane and the x,y-planes
schiene. Die ausrichtenden Kanten der Federn from the cross bar. The tongue aligning edges are
liegen in der gleichen Ebene wie die z-Referenz- in the same plane as the Z reference plane. These
ebene. Dies führt zu einer extrem hohen Teilungs- features lead to an extremely high indexing accu-
genauigkeit. Die Teilungsgenauigkeit wird durch racy. The indexing accuracy is defined by the de-
die Abweichung von einer exakten 90°-Teilung der viation from an exact 90° indexing of the pallet at
Palette beim Einspannen in die vier Teilungsposi- clamping in the four index positions. Indexing
tionen definiert. Die Teilungsgenauigkeit umfasst accuracy does also comprise the accuracy of the
auch die Genauigkeit der Mittenposition der Palet- centre position of the pallet being kept at indexing.
te, die bei der Teilung eingehalten wird. Die Ge- The indexing accuracy is at submicron level for UP
–8– VDI 5584

nauigkeit der Teilung wird bei UP-Anwendungen palletisation systems. The indexing accuracy is
für die Referenzierung des Futters in Bezug auf das utilised for referencing of the table chuck in rela-
Werkzeug benutzt, vgl. Abschnitt 5.4. tion to the tool in UP applications, cf. Section 5.4.
Ein UP-Palettierungssystem richtet die Palette auf A UP palletisation system aligns the pallet onto the
einem Futter in drei orthogonalen x,y,z-Ebenen chuck in three orthogonal x,y,z-planes. The submi-
aus. Submikrometergenauigkeit wird durch Aus- cron repeatability is achieved by alignment of four
richtung von vier Paaren elastischer Federn gegen pair of elastic tongues against a solid cross bar of
eine feste Kreuzschiene auf dem Futter erreicht. the chuck. All alignment surfaces are accurately
Alle an der Ausrichtung beteiligten Oberflächen ground respectively lapped for the z-surfaces.
werden hochgenau geschliffen bzw. geläppt.

3.2.2 Realisierungsbeispiel 3.2.2 Example of realisation


Im Folgenden wird eine Realisierung wie in Bild 1 In the following the realisation of Figure 1 is de-
beschrieben [5]. scribed [5].
Das Palettierungssystem ermöglicht die im Mik- The palletisation system enables the reproducible
rometerbereich reproduzierbare Positionierung positioning of workpieces in the micrometer range.
eines Werkstücks. Die Ausrichtung der Palette, die The alignment of the pallet, which carries the
das Werkstück trägt wird durch Funktionsflächen workpiece, is made by functional surfaces at dis-
an diskreten Hebelarmen erreicht. In der x,y-Ebene crete leverages. In the x,y-plane the alignment is
wird die Ausrichtung durch polierte Anschläge made by polished blocks, which interlock into
erreicht, die in geeignete Vertiefungen des Gegen- appropriate slots of the counterpart which is
stücks unter der Palette (dem Referenzelement) mounted under the pallet (reference element). Two
eingreifen. Zwei Translations- und ein Rotations- translative and one rotatory degree of freedom are
freiheitsgrad werden so fixiert. In vertikaler Rich- bound in this way. In vertical direction the refer-
tung wird das Referenzelement so fixiert, dass der ence element is fixed in a way that it retains the
dritte Translations- und zwei Rotationsfreiheits- third translative and two rotatory degrees of free-
grade festgehalten werden. Indem eine Halterung dom. By clamping a retainer to the reference ele-
an das Referenzelement eingespannt wird, kann ment, a reproducable positioning of the workpieces
eine reproduzierbare Positionierung der Werkstü- can be realised. In the highest accuracy class accu-
cke realisiert werden. In der höchsten Genauig- racies in the submicron range can be achieved in
keitsklasse können Genauigkeiten in Submikrome- this way [5].
terbereich erreicht werden [5].
In Bild 1 stellt die Spannvorrichtung den Kraft- In Figure 1 the clamping device works with the
schluss her. Die Palette wird gehalten durch die principle of closed linkage. The pallet is held by
Kraft von Sperrkugeln, die eine Metallzugstange the force of locking balls that clamp a metal re-
einspannen, die in die Halterung eingesteckt wird. tainer which is inserted into the clamping device.
Um die Palette zu lösen werden die Sperrkugeln To release the pallet, compressed air lifts the ball
mit Pressluft gegen vorgespannte Spiralfedern fixture against pre-stressed helical springs. The
angehoben. Die Zugstange kann dann leicht ent- metal retainer can then be removed easily.
nommen werden.

3.3 Systemgenauigkeit/Wiederholgenauigkeit 3.3 System accuracy/repeatability


Um das Palettierungssystems effektiv nutzen zu For the effective use of the palletisation system it
können, ist es wichtig zwischen System- und Wie- is important to differentiate between the terms
derholgenauigkeit zu unterscheiden. system accuracy and repeatability.
Die Systemgenauigkeit gibt die ungünstigste zu The system accuracy describes the worst reloca-
erwartende Positionierungsgenauigkeit an, wenn tion precision which can be expected when a mul-
viele verschiedene Paletten A auf verschiedenen tiple number of pallets is clamped on different
Futtern B eingespannt werden. Werden verschie- chucks. Assuming that a number A of different
dene Paletten in verschiedene Futter gespannt, pallets is clamped on a number B of different
kann die Positionsgenauigkeit jeder Kombination chucks, the relocation precision of each combina-
mit einem Absolutwert, beispielsweise dem Mit- tion may be compared with one absolute value, e.g.
telwert aller Messungen, verglichen werden. Die the mean value of all measurement results. The
Systemgenauigkeit ist durch die Kombination Pa- system accuracy is then characterised by the pallet-
VDI 5584 –9–

lette-Futter mit der größten Positionsabweichung chuck combination for which the largest relocation
gegeben. deviation is measured.
Die Wiederholbarkeit beschreibt die Positionier- The repeatability describes the relocation preci-
genaugkeit beim mehrfachen Einspannen einer sion of one single pallet on one single chuck. Ap-
Palette in ein Futter. Es hat für einen Satz von Pa- plied to a batch of pallets and a batch of chucks, it
letten und Futtern keinen Sinn, in Datenblättern does not make much sense to provide a value for
einen Wert für die Wiederholbarkeit anzugeben. the repeatability on data sheets. This is a character-
Dies ist ein charakteristischer Wert für jede indivi- istic value for each individual pallet-chuck combi-
duelle Kombination aus Palette und Futter. Die nation. Therefore, the system accuracy is usually
Hersteller von Palettierungssystemen geben daher provided by the manufacturer of the palletisation
üblicherweise die Systemgenauigkeit an, um zu system in order to give a guarantee for what relo-
spezifizieren, welche Genauigkeit das System zu- cation precision can be expected from the system.
lässt.
Im täglichen Gebrauch kann jedoch eine höhere However, in daily use a higher repeatability can be
Genauigkeit als die Systemgenauigkeit erwartet expected compared to the value which is provided
werden. Bei der Durchführung von Iterationen, wo by the system accuracy. For the realisation of itera-
die Palette für Mess- und Bearbeitungsschritte von tion loops, where the pallet is released and re-
der Bearbeitungsmaschine gelöst und wieder ein- clamped on the machine tool for alternating meas-
gespannt wird, ist die Wiederholgenauigkeit des urement and machining steps, the clamping repeat-
Spannens der Palette der entscheidende Faktor. ability of the pallet is the decisive factor.
Für die Nutzung verschiedener Paletten und Futter, For the usage of various pallets and various
z.B. in einer automatisierten Produktionslinie, ist chucks, e.g. in an automated production line, the
die Systemgenauigkeit der entscheidende Faktor. system accuracy is the decisive factor.
Wie in Abschnitt 3.4 beschrieben wird, wird jedes As described in Section 3.4, each chuck is refer-
Futter gegenüber dem Koordinatensystem der ence to the machine tool coordinate system using a
Werkzeugmaschine mittels einer kalibrierten Mas- calibrated master pallet. The absolute position of
terpalette referenziert. Die absolute Position jedes each chuck is therefore characterised by the clamp-
Futters ist durch die Wiederholgenauigkeit des ing repeatability of the master pallet on this chuck.
Einspannens der Masterpalette auf diesem Futter For the clamping precision of any other pallet, the
charakterisiert. Bei Einspannpräzision jeder ande- system accuracy must be taken into account.
ren Palette muss die Systemgenauigkeit berück- Therefore, it is crucial not to mix pallets and
sichtigt werden. Es ist wesentlich, Paletten und chucks from different quality levels.
Futter verschiedener Genauigkeitsklassen nicht
auszutauschen.

3.4 Einrichten von Einspannfuttern 3.4 How to set up chucks


Spezielle Sorgfalt muss auf das Einrichten der Special care has to be provided in the set up of the
Einspannfutter auf Bearbeitungsmaschinen ver- chucks in machines. The precision of the set up is
wendet werden. Die Präzision des Einrichtens ist most decisive for the obtainable manufacturing
entscheidend für die erreichbare Bearbeitungsprä- accuracy.
zision.
Die Einspannfutter werden auf Bearbeitungsma- The set-up of chucks in machines (milling, grinding,
schinen (Fräs-, Schleif- oder Funkenerosionsma- EDM, etc.) is done in a procedure of repeated
schinen usw.) durch wiederholtes Ausrichten, alignment, measuring, fine adjusting, measuring
Messen, Feinjustierung und Messen eingerichtet until the desired accuracy is reached. The measure-
bis die gewünschte Genauigkeit erreicht ist. Die ment is done against reference surfaces of a master
Messungen werden an Referenzflächen einer Mas- pallet, clamped in the chuck. The fine adjustments
ter-Palette, die in das Futter gespannt ist, vorge- are done by very light manual knocking. Setting up
nommen. Die Feinjustierung wird durch leichtes chucks in UP machines, for submicron machining,
manuelles Klopfen erreicht. Beim Einrichten von requires however often special methods that deviate
Futtern in UP-Maschinen für die Bearbeitung im from this normal method, e.g. for the realisation of
Submikrometerbereich sind oft spezielle Methoden Figure 1. For special methods of set-up, auxiliary
erforderlich, die vom normalen Vorgehen abwei- equipment like check mandrels is often used.
chen, beispielsweise für die Realisierung gemäß
– 10 – VDI 5584

Bild 1. Für spezielle Methoden der Einrichtung


werden oft zusätzliche Vorrichtungen wie Prüfdor-
ne gebraucht.
Detaillierte Beschreibungen der Einrichtungspro- Detailed descriptions of the set up procedures de-
zeduren hängen vom System ab. Es sollten dafür pend on the system and the manufacturer’s hand-
die Handbücher der Hersteller herangezogen wer- books must be consulted. Proper set up procedures
den. Geeignete Einrichtungsprozeduren sind eine are an essential prerequisite to obtain submicron
wesentliche Voraussetzung für das Erreichen von system accuracies [5].
Genauigkeiten im Submikrometerbereich [5].
Der Zustand der Montageflächen des Futters ist The condition of the mounting surfaces at chuck
von großer Wichtigkeit. Jegliche Verformung, z. B. mounting is of great importance. Any distortion
eine oberflächliche Beschädigung oder Ablagerun- e.g. a surface damage or debris will affect the
gen beeinflussen die Einspanngenauigkeit infolge clamping accuracy. This is due to the appeared
der auftretenden mikroelastischen Deformationen micro elastic deformation of the chuck at tighten-
des Futters beim Anziehen der Befestigungs- ing of the mounting screws.
schrauben.
Die Ebenheit der Montageoberfläche für das Futter The flatness of the chuck mounting surface must
muss im Mikrometerbereich liegen, für Submikro- be on micron level and even better for submicron
metergenauigkeit sogar darunter [5]. Für UP- accuracy [5]. However, in UP applications it must
Anwendungen muss beachtet werden, dass Tisch be ensured that the flatness of the table or spindle
oder Spindeloberflächen ebenfalls im Mikrometer- surface also is on micron level or better. In UP
bereich oder besser sein müssen. Es ist empfeh- lathes it is recommendable to turn the spindle sur-
lenswert, die Spindeloberflächen z. B. in UP- face flat just before chuck mounting.
Drehmaschinen unmittelbar vor der Futtermontage
abzudrehen.
Ist für UP-Anwendungen der Tisch nicht ausrei- In UP applications where the table is not suffi-
chend eben, kann eine Montageplatte mit Submik- ciently flat a mounting plate [5] could be placed
rometergenauigkeit zwischen Tisch und Futter between the table and the chuck. The flatness of
platziert werden [5]. the mounting plate is on submicron level.
3.4.1 Kalibrierung 3.4.1 Calibration
Präzisionsspannfutter wie in [5] müssen regelmä- Precision chucks as shown in [5] have to be cali-
ßig kalibriert werden. Das Intervall hängt von der brated regularily. The interval depends on the re-
geforderten Genauigkeit und den Umgebungsbe- quired accuracy and the chuck environment. Nor-
dingungen des Futters ab. Normale Intervalle sind mal intervals are three to twelve months and de-
drei bis zwölf Monate in Abhängigkeit von vor- pend on the results from previous calibrations.
hergehenden Kalibrierungen.
Kalibrierungen werden meist durch den Anwender Calibrations are most often done by the user and
mithilfe des für die Einrichtung des Futters benutz- by the help of the same master as used for the
ten Masters vorgenommen. Für Mikrojustierungen chuck mounting. Micro adjustments are done in the
werden wie bei der Futtermontage vorgegangen. same way as at chuck mounting. In cases where the
Falls Dejustierungen, das heißt nicht verschwin- misalignment, i.e. the result from the calibration
dende Resultate der Kalibriermessung, durch eine measurement, could be corrected by a micro mo-
Mikrobewegung oder Kompensation einer Servo- tion/compensation of a servo axis, this method is
achse behoben werden können, geht man übli- used.
cherweise so vor.
Unter abrasiven Umgebungsbedingungen (Schlei- In abrasive environments (grinding) the cross bar
fen) zeit die Kreuzschiene des Futters mit der Zeit of the chuck will be micro worn with time and
Mikroverschleiß und ein Austausch wird einiger chuck replacement is necessary after some time. It
Zeit erforderlich. Es ist empfehlenswert, Futter aus is recommendable that chucks in such environment
solcher Umgebung oder wo Submikrometergenau- or where submicron accuracy is needed are sent to
igkeit gefordert wird zur Wartung, Kalibrierung und the manufacturer for calibration, wear measure-
Verschleißmessung an den Hersteller zu senden. ment and service.
VDI 5584 – 11 –

In UP-Anwendungen spielt die Temperatur eine In UP applications, the temperature plays an im-
wichtige Rolle. Submikrometergenauigkeit erfor- portant role. Submicron accuracy requires an accu-
dert eine genaue Temperaturkontrolle und oft eine rate temperature control and often also temperature
Temperaturkompensation in den UP-Maschinen. In compensation within the UP machines. The chuck
Relation zur UP-Maschine hat das Futter kleine system has small dimensions in relation to the UP
Abmessungen und ist hinsichtlich der Einspannung machine and is also symmetrical in its clamping
symmetrisch. Daher trägt Einspannsystem nur interface. Due to this, the chuck system does only
wenig zur durch Temperaturgradienten bedingten contribute with a very small part of the displace-
Verzug bei. Das Futter mit aufgespanntem Master ment due to temperature gradients. Hence, the
kann deshalb mit Vorteil für eine schnelle Kali- chuck system with a clamped master is favourably
brierung der kompletten UP-Maschine genutzt used for quick calibration of the complete UP ma-
werden. UP-Maschinen erlauben danach die Kom- chine. UP machines allow therafter submicron
pensation der Maschinenachsen im Submikrome- compensation of the machine axes i.e. the chuck
terbereich, das heißt, das Futter muss nicht mecha- must not be mechanically displaced.
nisch verschoben werden.
Kalibrierung von UP-Maschinen mit eingespann- Calibration of UP machines with a clamped master
tem Master ist bis in den höheren Submikrometer- is possible down to the upper range of the submi-
bereich möglich. Für höhere Genauigkeiten bis in cron level. For higher accuracies in the lower range
den niedrigeren Submikrometerbereich wird emp- of the submicron level it is recommendable to util-
fohlen, UP-Referenzbearbeitung durchzuführen. ise the UP machining.
3.4.2 Instruktionen für Gebrauch und 3.4.2 Instructions for use and maintenance
Instandhaltung
Präzisionsspannsysteme wie in [5] werden für den Precision chuck systems as shown in [5] are con-
täglichen Gebrauch in der Serienproduktion unter structed to be used in workshop environment in
Betriebsbedingungen konstruiert. Sie sind für au- daily serial production. They are designed for
tomatisches und manuelles Einspannen von Palet- automatic or manual clamping of pallets.
ten ausgelegt.
Bei manuellen Futtern ist es wichtig zunächst When using manual chucks it is important to first
vorsichtig die Führung der Palette durch das Futter gently find the course pallet guidance from the
zu finden. Wenn die Winkelorientierung gefunden chuck. When this angular orientation has been
ist, wird die Palette vorsichtig von Hand auf das found, the pallet is gently moved by hand towards
Futter gedrückt. Wenn die Palette mit ihren Federn the chuck until it stops. It stops in a position where
auf dem Futter aufgesetzt ist endet dies. Das Futter the pallet is resting on its tongues against the chuck
wird aktiviert und die Palette wird durch die Zug- cross. The chuck is then activated and the pallet is
kraft fixiert. clamped by the pulling force.
Automatische Futter werden durch Pressluft be- Automatic chucks are driven by compressed air
trieben und haben eine Pressluftreinigung der and have air cleaning of the z-surface. Manual
z-Fläche. Manuelle Futter müssen von Hand gerei- chucks must be cleaned by hand to avoid debris on
nigt werden, um Ablagerungen auf den Referenz- the reference surfaces.
flächen zu vermeiden.
Die Reinigung kann mit Pressluft und/oder einem Cleaning could be done by compressed air and/or a
weichen, fusselfreien Viskosevlies erfolgen. Die piece of linen. The frequency depends on the envi-
Häufigkeit hängt von der Umgebung ab, z. B. Be- roment, e.g. workshop or measurement room.
triebsumgebung oder Messraum. Bei Platzierung When placing pallets on tables or in a storage shelf
von Paletten auf Tischen oder in Regalen ist es it is important not to place the pallets directly on
wichtig, die Paletten nicht auf die z-Ebene zu legen. the z-surface. This could damage the surface and/or
Die könnte die Oberflächen beschädigen und/oder debris could get stuck. The exception is on a dia-
Verschmutzungen können sich festsetzen. Dies gilt bas/granite plate for measurement. Careful place-
nicht für Referenzmessungen auf einer Diabas-/ ment on such plate will not damage the z-surface.
Granitplatte. Sorgfältiges Ablegen auf einer solchen
Platte beschädigt die z-Oberfläche nicht.
Detailliertere Anweisungen für die Instandhaltung More detailed maintenance instructions are given
finden sich in den Datenblättern der Systemliefe- in the datasheets of the system supplier.
ranten.
– 12 – VDI 5584

Für UP-Anwendungen gelten dieselben grundle- In UP applications the same basic recommenda-
genden Empfehlungen für Gebrauch und Instand- tions for usage and maintenance are applied. It is
haltung. Es wird jedoch empfohlen, die Referenz- however recommended to clean the reference sur-
flächen vor jedem Aufspannen mit einem Viskose- faces with a piece of linen before each clamping.
flies zu reinigen. Dies verhindert das Risiko, dass This is to minimise the risk for any debris being
Verunreinigungen sich auf der Referenzfläche stuck on a reference surface. It shall also be noted
festsetzen. Es sollte ebenfalls beachtet werden, that every handling by hand affects the temperature
dass jede manuelle Handhabung die Temperatur of the pallet and workpiece. This could require a
der Palette und des Werkstücks beeinflusst. Dies waiting time after clamping.
kann nach dem Aufspannen Wartezeiten erforder-
lich machen.
3.4.3 Montage des Werkstücks auf die Palette 3.4.3 Mounting workpiece to pallet
Die Montage des Werkstücks auf die Palette ist The mounting of the workpiece onto the pallet
systemabhängig [5]. depends on the system [5].
Eine schnelle und genaue Positionierung des A quick and accurate positioning of the workpiece
Werkstücks auf der Palette kann mit Fixierungs- on the pallet can be achieved by using fixing man-
dornen erreicht werden [5]. Jeder Dorn richtet eine drels [5]. Each mandrel aligns a borehole in the
Bohrung an der Unterseite des Werkstücks gegen bottom of the work piece to a borehole in the pal-
eine Bohrung in der Palette aus. Die Oberseite der let. The top surface of the pallet has to be grinded
Palette muss mit einer Toleranz von 3 µm geschlif- with a tolerance of 3 µm to ensure a minimum
fen werden, um eine minimale Abweichung des deviation of the workpiece from the chuck’s refer-
Werkstücks von den Referenzen des Futters si- ences.
cherzustellen.
Durch zwei Dorne wird die Zentrierung und Orien- By the use of two mandrels, the centring and the
tierung des Werkstücks auf der Palette gewährleis- orientation of the workpiece on the pallet may be
tet. Die Ausrichtungsgenauigkeit der Dorne hängt defined. The alignment accuracy of the mandrels is
von der Belastung, Sauberkeit und Schmierung der depending on the load they are exposed to as well
Kontaktflächen ab. Die zulässige Belastung ist as the cleanness and lubrication of the contact sur-
begrenzt. Um beste Resultate zu erhalten sollte faces. The admissible load is limited. To achieve
weitestmöglich während der Ausrichtung Kräfte the best results, as much load as possible should be
am Werkstück vermieden werden. Das Werkstück removed from the work piece during the alignment
wird endgültig mit Schrauben auf der Palette fi- procedures. The final fixation of the work piece on
xiert. Bei Submikrometergenauigkeit muss das the pallet is then achieved by screws. The tighten-
Drehmoment für die Befestigung der Schrauben ing torque of the screw connection has to be ap-
sorgfältig eingebracht werden. Um Die Verzerrung plied carefully for sub micron precision machining.
des Werkstücks unter 0,25 µm zu halten sollte ein In order to keep the workpiece distortion below
Drehmoment von 0,5 N·m nicht überschritten wer- 0,25 µm a tightening torque of 0,5 N·m should not
den (vorausgesetzt, dass die Unterseite des Werk- be exceeded (given that the bottom of the work
stücks präzisionsgeschliffen oder ultrapräzisions- piece is precision ground or ultraprecision ma-
bearbeitet ist). chined).

Schrifttum / Bibliography [2] Albatal, S.: Herstellung von geprägten Polymer-Wellen-


leitern für die optische Nachrichtentechnik. Diss. Uni-
versität Karlsruhe, 2003
Technische Regeln / Technical rules
[3] Fischer, S.: Fertigungssysteme zur spanenden Herstel-
VDI 1000:2010-06 VDI-Richtlinienarbeit; Grundsätze und lung von Mikrostrukturen. Diss. RWTH-Aachen, 2000
Anleitungen (VDI Guideline Work; Principles and proce-
dures). Berlin: Beuth Verlag [4] Weber, A.C.: Precision passive alignment of Wafers.
Master of Science in Mechanical Engineering at the
Massachusetts Institute of Technology. February, 2002
Literatur / Literature
[5] system 3R: Precision production ,
[1] Dieker, S.; Reimerdes, H.G.: Elementare Festigkeitslehre http://www.system3r.com/3r/en/products-
im Leichtbau. Bremen: Donat Verlag, 1992, S. 13–17 services/products/precision-production.aspx (zuletzt
ISBN 3-924444-58-7 aufgerufen am: 20.06.2012)