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März 2002

ICS 03.120.10; 87.020 VDI-RICHTLINIEN March 2002

VEREIN Qualitätssicherung bei der VDI 3824


DEUTSCHER PVD- und CVD-Hartstoffbeschichtung
INGENIEURE Eigenschaftsprofile und Anwendungsgebiete von
Hartstoffbeschichtungen Blatt 1 / Part 1

PVD and CVD hard coatings


Quality assurance
Former edition: 9/99 draft, in German only
Frühere Ausgabe: 9.99 Entwurf, deutsch

Characteristic profiles and fields of application Ausg. deutsch/englisch


of hard coatings Issue German/English

Die deutsche Version dieser Richtlinie ist verbindlich. The German version of this guideline shall be taken as authorita-
tive. No guarantee can be given with respect to the English trans-
lation.

Inhalt Seite Contents Page

1 Vorwort . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2 1 Preliminary note . . . . . . . . . . . . . . . . . 2


2 Geltungsbereich . . . . . . . . . . . . . . . . . 3 2 Scope . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
3 Anwendungsbereiche von Hartstoffschichten 4 3 Applications of hard coatings . . . . . . . . . 4
3.1 Werkzeuge . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 3.1 Tools . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
3.2 Bauteile und Bauteilkomponenten . . . . . 6 3.2 Components and parts . . . . . . . . . . . . 6
3.3 Medizintechnische Anwendungen . . . . . 6 3.3 Medical-technology applications . . . . . . 6
3.4 Dekorative Anwendungen . . . . . . . . . 6 3.4 Decorative applications . . . . . . . . . . . 6
4 Eigenschaften von PVD- und 4 Characteristics of PVD and
CVD-Hartstoffschichten . . . . . . . . . . . . 7 CVD hard coatings . . . . . . . . . . . . . . . . 7
4.1 Grundlegende Eigenschaften . . . . . . . . 7 4.1 Basic characteristics . . . . . . . . . . . . . 7
4.2 Wesentliche Eigenschaften dünner 4.2 Essential characteristics of
Hartstoffschichten . . . . . . . . . . . . . . 8 thin hard coatings . . . . . . . . . . . . . . 8
Schrifttum . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13 Bibliography . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13

VDI-Gesellschaft Werkstofftechnik
Fachausschuss Qualitätssicherung PVD/CVD
Fachbereich Oberflächen/Beschichtungen

VDI-Handbuch Werkstofftechnik
VDI-Handbuch Betriebstechnik, Teil 1
VDI-Handbuch Konstruktion
–2– VDI 3824 Blatt 1 / Part 1

1 Vorwort 1 Preliminary note


Der Fachausschuss „Qualitätssicherung“ des Fachbe- The technical committee ”Quality Assurance“ of the
reichs „Oberflächen/Beschichtungen“ in der VDI- section ”Surface/Coatings“ within the VDI Society
Gesellschaft Werkstofftechnik hat diese Richtlinie er- for Materials Technology has prepared this guideline
arbeitet, um zur Qualitätssicherung PVD- oder CVD- in order to contribute to the quality assurance in the
beschichteter Werkzeuge und Bauteile beizutragen. field of PVD- and CVD-coated tools and compo-
Sie greift produktspezifische Aspekte des Qualitäts- nents. It focuses on product-specific aspects of qual-
managements (QM) bei der Hartstoffbeschichtung ity management (QM) in hard coating. On the one
heraus und kann einerseits als Leitfaden für die Ver- hand, this guideline may serve as a reference for the
ständigung zwischen Anwendern und Beschichtern communication between users and coaters; on the
dienen, andererseits werden notwendige Vorausset- other hand, it explains the requirements to be met by
zungen an eine anforderungsgerechte Hartstoffbe- a hard coating. The guideline thus contributes to
schichtung verdeutlicht. Die Richtlinie trägt so zur quality assurance in accordance with the current
Qualitätssicherung im Sinne der aktuellen Be- standardized meaning of the term: It helps to explain
griffsnormung bei, nämlich zur Darlegung von QM- elements of quality management to the user so that he
Elementen dem Anwender gegenüber mit dem Ziel, may gain confidence in the fulfilment of his quality
Vertrauen in die Erfüllung seiner Qualitätsanforde- requirements.
rungen zu schaffen.
Die Richtlinie umfasst folgende Teile: The guideline VDI 3824 comprises the following
parts:
Blatt 1: Eigenschaftsprofile und Anwendungsge- Part 1: Characteristics profiles and fields of ap-
biete von Hartstoffbeschichtungen plication of hard coatings
Blatt 2: Anforderungen an zu beschichtende Werk- Part 2: Requirements to be met by tools and com-
zeuge und Bauteile ponents to be coated
Blatt 3: Fertigungsabläufe und -tätigkeiten Part 3: Production processes and procedures
Blatt 4: Prüfplanung für Hartstoffschichten Part 4: Inspection planning for hard coatings
Aufgabe von Blatt 1 der Richtlinie ist es, die in der The purpose of Part 1 of this series of guidelines is to
heutigen industriellen Praxis wichtigsten Hartstoff- allocate the most important hard-coating systems of
Schichtsysteme ihren wesentlichen Anwendungsfel- current industrial practice to their essential fields of
dern zuzuordnen und die unterschiedlichen Eigen- application, and to describe their different character-
schaften darzulegen. Hierbei sind Verallgemeinerun- istics. Generalisations, which are intended, will, of
gen angestrebt, die natürlich im konkreten Anwen- course, have to be verified in each individual case.
dungsfall überprüft werden müssen.
Vor allem den Anwendern sollen Anregungen und Suggestions and guidance shall be given to the users
Unterstützung bei der Auswahl der für den gegebe- in particular, in order to assist them in selecting the
nen Anwendungsfall am besten geeigneten Hartstoff- hard coating best suited for the application in ques-
schicht gegeben werden. Die Beschichter werden bei tion. The coaters are given support in presenting the
ihrer Darstellung der Anwendungsmöglichkeiten von possible applications of hard coatings.
Hartstoffschichten unterstützt.
Werkstoffoberflächen sind solch unterschiedlichen Material surfaces are subject to such different
Beanspruchungen wie Verschleiß (DIN 50 323-2) stresses as wear (DIN 50 323-2) and corrosion
und Korrosion (DIN EN ISO 8044) ausgesetzt. Der (DIN EN ISO 8044). Wear limits the life of machine
Verschleiß begrenzt die Lebensdauer von Maschi- parts, the service life of tools, and the usability of
nenteilen, die Einsatzzeit von Werkzeugen sowie die products from the consumer-goods industry. With in-
Verwendbarkeit von Produkten aus dem Konsum- creasing automation and interconnection of produc-
güterbereich. Bei zunehmender Automatisierung und tion processes, the machine down-time due to wear-
Vernetzung von Produktionsprozessen ist der durch ing of individual components becomes an ever grow-
Verschleiß einzelner Komponenten bedingte Maschi- ing cost factor.
nenstillstand ein ständig steigender Kostenfaktor.
Dem Verschleißschutz kommt daher eine zuneh- Wearing protection is thus gaining more and more
mende wirtschaftliche Bedeutung zu. Hier haben sich economic relevance. Here, thin hard coatings with
in den letzten Jahren Beschichtungen mit dünnen thicknesses in the range of few micrometers have
Hartstoffschichten, deren Dicken im Bereich weniger proven an excellent solution in recent years. The life
VDI 3824 Blatt 1 / Part 1 –3–

Mikrometer liegen, hervorragend bewährt. Mit Hilfe of components can be prolonged considerably by us-
unterschiedlicher Schichtsysteme, die sich jeweils ing different coating systems which can be optimised
für die Beanspruchungen durch die verschiedenen with respect to the stresses caused by the different
Verschleißarten optimieren lassen, kann die Lebens- types of wear.
dauer von Bauteilen deutlich erhöht werden.

2 Geltungsbereich 2 Scope
Hauptanwendungsbereich der Hartstoffschichten ist The coating of tools is currently the principal applica-
derzeit die Werkzeugbeschichtung. Im zunehmenden tion of hard coatings. Also, hard coatings are increas-
Maße werden Hartstoffschichten auch auf Bauteilen ingly applied to components and parts in the fields of
und Bauteilkomponenten in den Bereichen des allge- general mechanical engineering, medical technology,
meinen Maschinenbaus, der Medizintechnik und im and in the consumer-goods industry, in order to pro-
Konsumgüterbereich zum Verschleißschutz, zur Ver- tect them from wear, to reduce friction, and for deco-
ringerung der Reibung sowie zur Dekoration einge- rative purposes.
setzt.
Hartstoffschichten bestehen aus Werkstoffen, deren Hard coatings consist of materials the hardness of
Härte im Allgemeinen auf Grund des Fehlens einer which is typically higher than that of hard metal be-
vergleichsweise weichen Metallmatrixphase höher cause of the lack of a relatively soft metal matrix
als die von Hartmetall ist. Diese Werkstoffe werden phase. These materials are mainly produced from the
vorrangig auf der Basis von Nitriden, Carbiden, vapour phase, using nitrides, carbides, borides, and
Boriden und Oxiden der Metalle Ti, Cr, W, Al und Zr oxides of the metals Ti, Cr, W, Al, and Zr, and mix-
sowie deren Mischungen aus der Dampfphase er- tures of these. Furthermore, hard carbon coatings
zeugt. Darüber hinaus haben harte Kohlenstoff- have gained great importance.
schichten eine große Bedeutung erlangt.
Zur Abscheidung von Hartstoffschichten werden For the deposition of hard coatings, PVD (physical
PVD-Verfahren (Physical Vapour Deposition = phy- vapour deposition) and CVD (chemical vapour depo-
sikalische Abscheidung aus der Dampfphase) und sition) processes are applied, with and without
CVD-Verfahren (Chemical Vapour Deposition = che- plasma enhancement. The processes are described in
mische Abscheidung aus der Dampfphase) mit oder the guideline VDI 3198 ”Coating (CVD, PVD) of
ohne Plasmaunterstützung eingesetzt. Die Verfahren cold forging tools“, and, in greater detail, in the
werden in der Richtlinie VDI 3198 „Beschichten von guidelines VDI 3824 Part 2 ”Requirements to be met
Werkzeugen der Kaltmassivumformung – CVD- und by tools and components to be coated“, and Part 3
PVD-Verfahren“ sowie ausführlicher in der Richt- ”Production processes and procedures“.
linie VDI 3824 Blatt 2 „Anforderungen an zu be-
schichtende Werkzeuge und Bauteile“ und Blatt 3
„Fertigungsabläufe und -tätigkeiten“ beschrieben.
Das Einsatzverhalten des durch die Beschichtung The application performance of the hard-coating/sub-
materialtechnisch geschaffenen Verbunds Hartstoff- strate composite created by the coating process is a
schicht-Substrat ist eine Systemeigenschaft und er- system characteristic resulting from the combination
klärt sich aus dem Zusammenspiel der Eigen- of the characteristics profiles of the coating and sub-
schaftsprofile von Schicht- und Substratmaterial. Das strate materials. The characteristics profile of the
Eigenschaftsprofil der Schicht wird bestimmt durch coating is determined by the characteristics of the
die Eigenschaften des Schichtmaterials und durch coating material and by the performance of the coat-
das Verhalten der Schicht als Teil des Verbunds im ing as part of the composite in the relevant applica-
Anwendungsfall (zum Beispiel in einem bestimmten tion (e.g. in a specific tribological system consisting
tribologischen System bestehend aus Grundkörper, of body, counter body, interfacial medium, and sur-
Gegenkörper, Zwischenstoff und Umgebungsme- round medium; DIN 50 323-2). The composite cre-
dium; DIN 50 323-2). Der durch die Beschichtung ated by coating allows a functional distinction be-
geschaffene Verbund ermöglicht eine Funktionsauf- tween surface and volume characteristics. For this
teilung in Oberflächen- und Volumeneigenschaften. reason, the basis material and its surface condition
Aus diesem Grund ist eine sorgfältige Abstimmung shall be matched with the coating system carefully.
zwischen dem Grundwerkstoff, dessen Oberflächen- For instance, the surface condition of the basis mate-
zustand und dem Schichtsystem vorzunehmen. Bei- rial directly influences the transition zone, and thus
spielsweise wirkt sich der Oberflächenzustand des the adhesion between hard coating and substrate.
–4– VDI 3824 Blatt 1 / Part 1

Grundwerkstoffs direkt auf die Übergangszone und


somit auf die Haftung zwischen Hartstoffschicht und
Substrat aus.

3 Anwendungsbereiche von 3 Applications of


Hartstoffschichten hard coatings
Der erfolgreiche Einsatz von Hartstoffschichten zur In many cases already, the successful use of hard
Verringerung von Verschleiß und Reibung sowie zur coatings, aiming at reduced wear and friction and at
Veränderung des dekorativen Eindrucks führte be- changing the decorative impression, has led to in-
reits in vielen Fällen zur Erhöhung der Produktivität creased productivity and improved reliability and op-
und zur Verbesserung der Zuverlässigkeit und Pro- erational safety as well as to the development of new,
duktionssicherheit sowie zur Entwicklung neuer, in- innovative products.
novativer Produkte.
Bei den folgenden Gruppen von Applikationen In the following groups of applications, a considera-
konnte durch Einsatz von Hartstoffschichten eine ble reduction of wear and friction could be achieved
deutliche Verringerung des Verschleißes und der Rei- thanks to the use of hard coatings:
bung erreicht werden:
• Verringerung von Abrasionsverschleiß • Reduction of abrasion
Zum Beispiel: Verschleiß an Spritzgusswerkzeu- For example: wearing of injection moulds for
gen für abrasiv wirkende Kunststoffe, Kolben in abrasive plastics, compressor pistons, working of
Verdichtern, Bearbeitung von Gusswerkstoffen, materials for casting, wood working, working of
Bearbeitung von Holz, Bearbeitung von AlSi- AlSi alloys, printed-circuit boards (microbores),
Legierungen, Leiterplatten (Mikrobohrer), Bear- working of ceramics
beitung von Keramiken
• Verringerung von Adhäsionsverschleiß • Reduction of wear due to adhesion
Zum Beispiel: Belagsbildung bei Werkzeugen in For example: formation of deposits on tools used
der Kunststoffverarbeitung, Adhäsions- und in plastics processing, wearing of forming tools
Ermüdungsverschleiß bei Umformwerkzeugen, due to adhesion and fatigue, prevention of the for-
Verhinderung der Aufbauschneidenbildung bei mation of built-up edges in metal-cutting tools,
Zerspanungswerkzeugen, Verhinderung von prevention of seizing e.g. in valve components
Fresserscheinungen zum Beispiel bei Ventilkom-
ponenten
• Verringerung von physiko-chemischem Ver- • Reduction of physico-chemical wear
schleiß
Zum Beispiel: „Lösungsverschleiß“ bei erhöhten For example: ”wear due to diffusion“ at elevated
Temperaturen wie das „Wandern“ von Werkzeug- temperatures like, in the case of carbide indexable
material in den Span bei Hartmetallwende- inserts, the ”diffusing“ of tool material into the
schneidplatten, Oxidationsverschleiß durch Mate- chip, wear due to oxidation, caused by material
rialveränderung während des Oxidationsprozesses changes during the oxidation process and by the
und dem damit verbundenen verstärkten Abtrag associated increased removal of material in highly
bei hochbeanspruchten zerspanenden Werkzeugen stressed metal-cutting tools
• Verringerung von Kavitationsverschleiß • Reduction of wear due to cavitation
Zum Beispiel: Verschleiß bei Kolben in der Fluid- For example: wearing of pistons in fluid technol-
technik, Pumpenflügel für Einspritzpumpen ogy, pump vanes for injection pumps
• Verringerung der Reibung • Reduction of friction
Zum Beispiel: Lager, Wellen, Verminderung des For example: bearings, shafts, reduction of the
Stick-Slip-Effekts bei Führungsteilen stick/slip effect in guiding components
Bei starker korrosiver Belastung müssen Komponen- In the case of high corrosive stress, components
ten, die mit Hartstoffschichten gegen Verschleiß ge- which are protected from wear by means of hard
schützt sind, über eine hinreichende Korrosions- coatings shall feature sufficient corrosion resistance.
beständigkeit verfügen. Diese kann bei korrosions- For corrodible basis materials, this may be obtained
anfälligen Grundwerkstoffen mit einer geeigneten by applying an appropriate additional anticorrosive
VDI 3824 Blatt 1 / Part 1 –5–

zusätzlichen Korrosionsschutzschicht eingestellt layer. For example, combinations of hard coatings


werden. In der Praxis haben sich zum Beispiel Kom- with, underneath, anticorrosive layers obtained by
binationen von Hartstoffschichten mit darunter lie- galvanic deposition or chemical vapour deposition,
genden, galvanotechnisch oder chemisch abgeschie- or with metallic or oxidic layers also obtained by
denen Korrosionsschutzschichten oder mit ebenfalls PVD, and multi-layer hard coatings are proven prac-
durch PVD abgeschiedenen metallischen oder oxidi- tical solutions.
schen Schichten sowie mehrlagige Hartstoffschich-
ten bewährt.
Bei der Auswahl eines geeigneten Schichtsystems ist When selecting the appropriate coating system, mind
zu beachten, dass sich die Eigenschaften der ver- that the characteristics of the various coating systems
schiedenen Schichtsysteme bei Erhöhung der Ein- can change differently with increased operating tem-
satztemperatur in unterschiedlicher Weise ändern peratures.
können.

3.1 Werkzeuge 3.1 Tools


Die Auswahl der Hartstoffschichten, des Werkzeug- The selection of the hard coatings, the tool material
materials (meist ein gehärteter Werkzeugstahl oder (typically a hardened tool steel or hard metal), and the
Hartmetall) und die Einstellung bestimmter Eigen- adjustment of certain characteristics of the hard-coat-
schaften des Hartstoff-Substrat-Verbunds richten sich ing/substrate depend on the dominating wear mecha-
nach den dominierenden Verschleißmechanismen. nisms. Further examples determining the selection
Weiterhin ist zum Beispiel die Art und Menge der are the type of cooling and lubrication and the
Kühlung und Schmierung von Werkzeugen (Zwi- amount of coolants and lubricants required for the
schenmedium) für die Auswahl bestimmend. Hart- tools (interfacial medium). Hard coatings applied to
stoffschichten auf geeigneten Werkzeugen können appropriate tools can reduce the use of lubricants
den Einsatz von Schmiermitteln deutlich reduzieren considerably, or even eliminate it.
bzw. eliminieren.
Es ist wichtig zu beachten, dass die erhöhte Standzeit It is important to take heed of the fact that the pro-
zur Ermüdung des Grundwerkstoffs führt und zu dar- longed service life leads to fatigue of the basis mate-
aus folgendem Versagen führen kann. Daher erlaubt rial, which may result in subsequent failure. There-
eine Hartstoffbeschichtung meist nicht die Verwen- fore, a hard coating does not usually allow the use of
dung eines geringerwertigen Grundwerkstoffs. a basis material of inferior quality.
Die in vielen Fällen mögliche Nach- oder Wieder- The re-coating of coated tools is often possible and
beschichtung von beschichteten Werkzeugen führt zu leads to a further increase in productivity.
einer weiteren Steigerung der Produktivität.
In folgenden Bereichen werden Hartstoffbeschich- Hard coatings are successfully applied in the follow-
tungen erfolgreich eingesetzt: ing fields:
• Spanende Werkzeuge • Metal-cutting tools
Zum Beispiel: Drehen, Fräsen, Bohren, Räumen, For example: turning, milling, drilling, broaching,
Sägen, Gewindeschneiden, Stoßen, Verzahnen sawing, thread-cutting, slotting, gear-cutting
• Umform- und Stanzwerkzeuge • Forming and blanking tools
Zum Beispiel: Stempel, Matrizen, Gesenke, Wal- For example: punches, forging dies and tools,
zen, Ziehwerkzeuge, Niederhalter rolls, drawing dies, hold-down devices
• Werkzeuge für die Kunststoffverarbeitung • Tools for plastics processing
Zum Beispiel: Spritzgießwerkzeuge, Kerne, For example: injection moulds, mandrels, push-
Schieber, Auswerfer, Rückstromsperren, Extru- ers, ejectors, anti-backflow devices, extrusion
sionswerkzeuge tools
• Werkzeuge für den Druckguss • Tools for diecasting
Zum Beispiel: Formen, Kerne For example: moulds, mandrels
• Werkzeuge für die Textilverarbeitung • Tools for textile processing
Zum Beispiel: Messer For example: knives
• Werkzeuge für die Glasverarbeitung • Tools for glass processing
Zum Beispiel: Stempel, Messer, Formen For example: punches, knives, moulds
–6– VDI 3824 Blatt 1 / Part 1

3.2 Bauteile und Bauteilkomponenten 3.2 Components and parts


Für Anwendungen im allgemeinen Maschinenbau For applications in general mechanical engineering
und im Fahrzeugbau sind außer der Verschleißfestig- and in car manufacture, the resistance to wear, but
keit auch der Korrosionsschutz sowie niedrige Reib- also the protection against corrosion, and low friction
werte von entscheidender Bedeutung. Die im Ma- coefficients are of essential importance. With the
schinenbau eingesetzten Bauteile erlauben oft keine components used in mechanical engineering, high
hohen Beschichtungstemperaturen (zum Beispiel ge- coating temperatures are often impossible (e.g. low
ringe Umwandlungstemperaturen der eingesetzten conversion temperatures of the materials used, high
Materialien, hohe Anforderungen an die Maßhaltig- requirements with respect to the dimensional stability
keit der Bauteile). Gerade im Maschinenbau kommen of the components). In addition to the actual hard
neben den eigentlichen Hartstoffschichten vermehrt coatings, mechanical engineering, in particular,
speziell zur Reibungsminderung entwickelte Schich- makes more and more use of coatings which have
ten zum Einsatz. been specially developed to reduce friction.
In folgenden Bereichen werden Hartstoffbeschich- Hard coatings are successfully applied in the follow-
tungen erfolgreich eingesetzt: ing fields:
• Antriebstechnik • Drive technology
Zum Beispiel: Motorenkolben, Lager, Ventil- For example: engine pistons, bearings, valve
triebe, Einspritzsysteme, Steuerkolben drives, injection systems, control pistons
• Verfahrenstechnik • Process engineering
Zum Beispiel: Ventile, Armaturen, Pumpenkom- For example: valves, fittings, pump components,
ponenten, Verdichterschrauben, Düsenplatten für compressor screws, nozzle plates for spinning ma-
Spinnmaschinen, Knet- und Rührwerksteile, chines, components of kneading and agitating ma-
Spritzgießmaschinenteile, Zahnscheibenmühlen chines, injection-moulding press parts, toothed
disk mills
• Mess- und Prüftechnik • Metrology and test engineering
Zum Beispiel: Lehren, Tast- und Prüfköpfe For example: gauges, probes
• Textilverarbeitung • Textile processing
Zum Beispiel: Nadeln, Garnführungen For example: needles, guide wires

3.3 Medizintechnische Anwendungen 3.3 Medical-technology applications


Beim Einsatz von Hartstoffschichten in diesem Be- Special compatibility requirements shall be fulfilled
reich sind besondere Bedingungen zur Verträglich- by hard coatings used in this field (Medical Products
keit zu erfüllen (Medizinproduktegesetz, Bundesge- Act, Federal Law Gazette, Part Ι, No. 52). Hard coat-
setzblatt, Teil I, Nr. 52). Hartstoffschichten weisen ings are favourable in this respect thanks to their high
auf Grund ihrer hohen chemischen Stabilität diesbe- chemical stability.
züglich günstige Voraussetzungen auf.
Zum Beispiel: Implantate, Instrumente For example: implants, instruments

3.4 Dekorative Anwendungen 3.4 Decorative applications


Hartstoffschichten verfügen über folgende Farbspek- Hard coatings feature the following colour spectra:
tren: Goldtöne, Anthrazittöne, schwarz, violett, gold tones, anthracite tones, black, violet, brown, me-
braun, metallisch. Diese Farbspektren sind erweiter- tallic. These colour spectra can be extended by, e.g.,
bar zum Beispiel durch Interferenzfarbeneffekte so- interference colour effects and hard transparent ox-
wie durch harte transparente Oxide mit eingebetteten ides with embedded pigments. In the field of decora-
Farbstoffen. Im Bereich der dekorativen Hartstoff- tive hard coatings, processes are often used in combi-
schichten werden oft Verfahrenskombinationen ein- nation. In particular, the protection of corrodible ba-
gesetzt. Insbesondere der Schutz korrosionsgefährde- sis materials is ensured by coating systems applied by
ter Grundwerkstoffe wird durch den Einsatz von gal- galvanic deposition or chemical vapour deposition,
vanotechnisch oder chemisch abgeschiedenen on which the hard coating is then deposited.
Schichtsystemen gewährleistet, auf denen dann die
Hartstoffschicht abgeschieden wird.
Zum Beispiel: Uhrengehäuse, Armbänder, Brillen- For example: clock and watch cases, bracelets, spec-
fassungen, Schreibgeräte, Feuerzeuge, Beschläge tacle frames, writing utensils, lighters, ornamental
fittings
VDI 3824 Blatt 1 / Part 1 –7–

4 Eigenschaften von PVD- und 4 Characteristics of PVD and CVD hard


CVD-Hartstoffschichten coatings
4.1 Grundlegende Eigenschaften 4.1 Basic characteristics
Wie bei allen Werkstoffen werden auch die Materi- As with all materials, also the material characteristics
aleigenschaften dünner Hartstoffschichten durch ihre of thin hard coatings are determined by their chemi-
chemische Zusammensetzung sowie durch ihre cal composition and their structure and configuration.
Struktur und ihren Aufbau bestimmt. Diese können These can be influenced by the selection of the coat-
durch die Wahl des Beschichtungsverfahrens beein- ing method.
flusst werden.
Die Beschichtungstemperatur liegt bei den PVD-Ver- In the PVD processes, the coating temperature typi-
fahren in der Regel im Temperaturbereich von ca. cally ranges from approximately 200 to approxi-
200 bis ca. 500 °C. Einige Verfahren ermöglichen es, mately 500 °C. Some processes allow to lower the
die Beschichtungstemperatur weiter abzusenken. coating temperature further. For instance, galvanised
Beispielsweise werden galvanisierte Kunststoffteile plastic parts are hard-coated at approximately 60 °C.
bei ca. 60 °C mit Hartstoffschichten beschichtet. CVD processes work in the temperature range from
CVD-Verfahren arbeiten im Temperaturbereich von approximately 700 to approximately 1000 °C. Coat-
ca. 700 bis 1000 °C. Beschichtungstemperaturen ing temperatures below 700 °C are achieved with
unterhalb 700 °C werden hier mit angepassten Ver- modified processes. Plasma-enhanced CVD proc-
fahren erreicht. Plasmaunterstützte CVD-Verfahren esses (PE-CVD or PA-CVD) still work at tempera-
(PE-CVD oder PA-CVD) arbeiten noch bei Tempera- tures below 200 °C (e.g. coating of plastics).
turen unter 200 °C (zum Beispiel Beschichtung von
Kunststoffen).
Die Werkstoffe der kommerziell für den Verschleiß- The materials of hard coatings commercially used for
schutz eingesetzten Hartstoffschichten lassen sich in wearing protection can be divided in the following
folgende Kategorien einteilen: categories:
• Hartstoffschichten mit überwiegend metallischen • Hard coatings with mainly metallic bonds
Bindungen
Zum Beispiel: Nitride, Carbide und Boride der For example: nitrides, carbides, and borides of
Metalle der 4. bis 6. Nebengruppe des Perioden- metals in groups of IV B to VI B of the periodic
systems sowie deren Mischung (zum Beispiel Ti- table, and their mixtures (e.g. titanium nitride
tannitrid TiN, Chromnitrid CrN, Titancarbid TiC, TiN, chromium nitride CrN, titanium carbide TiC,
Titankarbonitrid TiCN, Titanaluminiumnitrid titanium carbonitride TiCN, titanium aluminium
TiAlN, Titandiborid TiB2) nitride TiAlN, titanium diboride TiB2)
• Hartstoffschichten mit überwiegend heteropolaren • Hard coatings with mainly heteropolar (ionic)
(ionischen) Bindungen bonds
Zum Beispiel: Aluminiumoxid Al2O3, Zirkonoxid For example: aluminium oxide Al2O3, zirconium
ZrO2 oxide ZrO2
• Hartstoffschichten mit überwiegend kovalenten • Hard coatings with mainly covalent bonds
Bindungen
Zum Beispiel: Boride, Carbide und Nitride der For example: borides, carbides, and nitrides of the
Elemente Al, B und Si (zum Beispiel Aluminium- elements Al, B, and Si (e.g. aluminium nitride
nitrid AlN, Bornitrid BN, Carbid, Silicium SiC) AlN, boron nitride BN, carbide, silicon SiC) and
sowie amorpher Kohlenstoff und Diamant amorphous carbon and diamond.
Hartstoffschichten werden bezüglich ihres Aufbaus Hard coatings are distinguished according to their
folgendermaßen unterschieden: structure as follows:
• einphasige Schichten (z.B.TiN) • single-phase coatings (e.g. TiN)
• mehrphasige Schichten (z.B. TiN + Ti2N) • multi-phase coatings (e.g. TiN + Ti2N)
• mehrlagige Schichten (z.B. Ti/TiN/Ti(C,N), TiC/ • multi-layer coatings (e.g. Ti/TiN/Ti(C,N), TiC/
TiCN/TiN/TiON/TiO2) TiCN/TiN/TiON/TiO2)
• gradierte Schichten, d.h. Schichten, deren chemi- • graded coatings, i.e. coatings whose chemical
sche Zusammensetzung einen Gradienten aufwei- composition features a gradient (e.g. TiAlN coat-
sen (z.B. TiAlN-Schichten mit steigendem Al-Ge- ings with increasing content in Al)
halt)
–8– VDI 3824 Blatt 1 / Part 1

• Kombinationen aus den genannten Schichten und • combinations of the above-mentioned coatings
Schichtsystemen and coating systems
Für das Verhalten der Schicht im Verbund Substrat- For the performance of the coating in the substrate/
Hartstoffschicht ist die Schichthaftung von zentraler hard-coating composite, the adhesion of the coating
Bedeutung. Diese kann durch entsprechende Wahl is of utmost importance. This can be considerably in-
der Beschichtungsparameter sowie durch die Vorbe- fluenced by selection of the appropriate coating pa-
handlung der Oberflächen der Werkzeuge und Bau- rameters and by preliminary treatment of the surfaces
teile wesentlich beeinflusst werden. In der Richtlinie of tools and components. The guideline VDI 3824
VDI 3824 Blatt 2 wird darauf besonders eingegan- Part 2 deals with this in greater detail.
gen.
CVD-Prozesse führen, wenn sie bei höheren Tempe- CVD processes, if run at higher temperatures than
raturen als PVD-Prozesse gefahren werden, zu güns- PVD processes, yield more favourable conditions for
tigeren Voraussetzungen für die Erreichung einer ho- obtaining strong adhesion of the coating. Typical
hen Schichthaftung. Die typischen Schichtdicken lie- coating thicknesses are 1 to 12 µm for PVD and CVD
gen für PVD- und CVD-Schichten bei 1 bis 12 µm. coatings. In special applications, the thickness may
Bei speziellen Anwendungsfällen können die also lie below or above these values. PVD and CVD
Schichtdicken auch darunter oder darüber liegen. coatings are extraordinarily true to contour. The
PVD- und CVD-Beschichtungen sind außerordent- guideline VDI 3824 Part 2 deals with this in greater
lich konturtreu. In der Richtlinie VDI 3824 Blatt 2 detail.
wird darauf besonders eingegangen.
Reibwerte von 0,4 bis 0,6 gegen Stahl sind typisch Friction coefficients of 0,4 to 0,6 against steel are typ-
für die meisten im Verschleißschutz eingesetzten ical of most hard coatings used for the purpose of
Hartstoffschichten (zum Vergleich: Stahl gegen Stahl wearing protection (compare: steel against steel 0,6
0,6 bis 0,9). Niedrigere Reibwerte werden mit ange- to 0,9). Lower friction coefficients are obtained using
passten oder mit kohlenstoffbasierten Gleitschichten adapted or carbon-based sliding coatings.
erreicht.
In Tabelle 1 und Tabelle 2 sind einige Kennwerte In Table 1 and Table 2, some quantities character-
für die Schichteigenschaften und das Schichtverhal- ising the coating and the coating performance have
ten der wichtigsten verfügbaren mit PVD- und CVD- been compiled for the most important available hard
Verfahren hergestellten Hartstoffschichten zusam- coatings produced by PVD and CVD processes. Car-
mengestellt. Auf Grund ihrer breiten Eigenschafts- bon-based coatings are listed in a separate table be-
spektren sind die kohlenstoffbasierten Schichten in cause of their wide ranges of characteristics. The ta-
einer gesonderten Tabelle aufgeführt. Die Tabellen bles can only provide references for possible applica-
können nur Anhaltspunkte für mögliche Einsatz- tions.
gebiete geben.

4.2 Wesentliche Eigenschaften dünner 4.2 Essential characteristics of


Hartstoffschichten thin hard coatings
TiN-Schichten (Titannitrid) TiN coatings (titanium nitride)
TiN-Schichten lassen sich sowohl mit CVD- als auch TiN coatings can be produced by either CVD or PVD
mit PVD-Verfahren herstellen. Die TiN-Schichten, processes. The TiN coatings have a characteristic
die eine charakteristische Goldfarbe aufweisen und gold colour and are therefore also used in numerous
deshalb auch vielfältige Anwendungen im dekorati- decorative applications. Their hardness typically lies
ven Bereich finden, haben in der Regel Härten im Be- in the range of 2000 HV 0,05 to 2500 HV 0,05 (de-
reich von 2000 bis 2500 HV 0,05 (abhängig von Zu- pending on composition, structure, and configura-
sammensetzung, Struktur und Aufbau). TiN-Schich- tion). The toughness of TiN coatings is high. Silver-
ten besitzen eine gute Zähigkeit. Silberfarbene TiN- coloured TiN coatings consist of a phase mixture of
Schichten bestehen aus einem Phasengemisch von Ti2N and TiN, with the Ti2N-phase dominating.
Ti2N und TiN, wobei die Ti2N-Phase dominiert. These coatings are harder, but also more brittle than
Diese Schichten weisen eine höhere Härte, aber auch pure TiN coatings. They are used in applications
eine größere Sprödigkeit als reine TiN-Schichten auf. where wear is mainly due to abrasion.
Sie werden bei überwiegend abrasivem Verschleiß
eingesetzt.
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Tabelle 1. Einige Kennwerte für die Schichteigenschaften und das Schichtverhalten der wichtigsten verfügbaren mit
PVD- und CVD-Verfahren hergestellten Hartstoffschichten
TiN TiCN TiC TiAIN CrN AI2O3
Herstellungsverfahren PVD/CVD PVD/CVD CVD PVD PVD CVD/PVD

Schichtdicke in µm 1 bis 5 1 bis 5 1 bis 5 1 bis 5 1 bis 10 1 bis 5


1
Mikrohärte in HV 0,05 ) 2300 3000 3100 3000 1900 2100 HV 0,1
2
Oxidationstemperatur in °C ) > 450 > 350 > 350 > 700 > 600 – 3)

Thermische Barrierewirkung 4) +++ ++ + ++++ + +++++

Widerstand gegen Abrasivverschleiß ++ +++ +++ +++ ++ ++

Widerstand gegen Adhäsivverschleiß (gegenüber Stahl) ++ ++ + ++ ++ +++

Widerstand gegen Diffusions-Verschleiß (gegenüber Stahl) ++ + + +++ ++ +++


5
Schutz des Grundmaterials gegen Korrosion ) + + + + ++ +
1
) Für die Mikrohärte werden Mittelwerte aus berichteten Messwerten angegeben, die sich auf Grund unterschiedlicher Zusammensetzung, Schicht-
dicke und Eigenspannungen ergeben.
2
) Die Oxidationstemperatur bezeichnet die Temperatur, bei der eine Oxidation des Schichtmaterials beginnt, welche die Eigenschaften der Schicht
maßgeblich beeinträchtigt.
3
) Al2O3 ist bereits ein Oxid.
4
) Als schlechter Wärmeleiter bilden die Schichten eine thermische Barriere für die entstehende Zerspanungswärme, so dass die meiste Wärme über
den Span abgeführt werden kann.
5
) Da die genannten Hartstoffschichten selbst nicht korrodieren, bilden sie eine korrosionshemmende Schicht für das Grundmaterial. (Wenn die Hart-
stoffschichten nicht dicht sind, kann es zur Ausbildung lokaler galvanischer Elemente und zur Lochkorrosion kommen.)

Table 1. Some quantities characterising the coating and the coating performance of the most important available
hard coatings produced by PVD and CVD processes
TiN TiCN TiC TiAIN CrN AI2O3

Production process PVD/CVD PVD/CVD CVD PVD PVD CVD/PVD

Coating thickness in µm 1 to 5 1 to 5 1 to 5 1 to 5 1 to 10 1 to 5
1
Microhardness in HV 0,05 ) 2300 3000 3100 3000 1900 2100 HV 0,1
2
Oxidation temperature in °C ) > 450 > 350 > 350 > 700 > 600 – 3)
Thermal barrier effect 4) +++ ++ + ++++ + +++++

Resistance to abrasion ++ +++ +++ +++ ++ ++

Resistance to wear due to adhesion (against steel) ++ ++ + ++ ++ +++


Resistance to wear due to diffusion (to steel) ++ + + +++ ++ +++
5
Protection of basis material against corrosion ) + + + + ++ +
1
) For the microhardness, mean values are indicated. They are obtained from reported measured values resulting from different compositions, coating
thicknesses and internal stresses.
2
) The oxidation temperature is the temperature at which oxidation of the coating material begins, considerably affecting the characteristics of the
coating.
3
) Al2O3 already is an oxide.
4
) Being poor conductors of heat, the coatings act as a thermal barrier to the heat produced during metal-cutting so that most of the heat can be
removed through the chip.
5
) As the aforementioned hard coatings themselves do not corrode, they protect the basis material from corrosion. (Leaks in hard coatings may lead to
the development of local galvanic elements and to pitting corrosion.)

Die verringerte Reibung zwischen TiN und Stahl The reduced friction between TiN and steel or other
oder anderen metallischen Werkstoffen reduziert die metallic materials reduces the cutting and forming
Schnitt- und Umformkräfte sowie die bei der Bear- forces as well as the heat to be removed during work-
beitung abzuführende Wärme. TiN hat eine geringe ing. TiN has little tendency to become stuck or
Neigung, mit metallischen Werkstoffen zu verkleben welded together with metallic materials, which
oder zu verschweißen, d.h. Schneidkanten und Funk- means that cutting edges and functional surfaces take
tionsflächen bleiben länger frei von Aufbauschnei- longer to develop built-up edges and cold welds. The
den und Kaltverschweißungen. TiN-Schichten besit- toughness of TiN coatings is high. Their ductile be-
– 10 – VDI 3824 Blatt 1 / Part 1

Tabelle 2. Einige Kennwerte für die Schichteigenschaften und das Schichtverhalten der wichtigsten verfügbaren mit
PVD- und CVD-Verfahren hergestellten kohlenstoffbasierten Hartstoffschichten (MeC: Metallhaltiger Kohlenstoff,
auch Me-C:H; DLC: „Diamond-Like Carbon“, auch a-C:H; a-C: amorpher Kohlenstoff, auch tetragonal amorpher
Kohlenstoff taC oder amorpher Diamant)
MeC:H a-C:H a-C Diamant
Herstellungsverfahren PVD CVD PVD CVD
Schichtdicke in µm 1 bis 10 1 bis 5 1 bis 3 3 bis 10
Mikrohärte in HV 0,05 1) 800 bis 1800 1500 bis 3500 3000 bis 7000 10000
Eigenspannungen in GPa 0,1 bis 1,5 1 bis 3 2 bis 6 –
2
Graphitisierungstemperatur in °C ) 350 400 450 >600
Widerstand gegen Abrasivverschleiß + +++ ++++ ++++
Widerstand gegen Adhäsivverschleiß (gegenüber Stahl) +++ +++ +++ (+++)
bei guter Kühlung
Schutz des Grundmaterials gegen Korrosion 3) + +++ +++ +++
1
) Für die Mikrohärte werden Mittelwerte aus berichteten Messwerten angegeben, die sich auf Grund unterschiedlicher Zusammensetzung, Schicht-
dicke und Eigenspannungen ergeben.
2
) Die Grafitisierungstemperatur bezeichnet die Temperatur, bei der der amorphe Kohlenstoff beginnt, sich in von einem dreidimensionalen Netzwerk
in Grafit umzuwandeln, welches die Eigenschaften der Schicht maßgeblich beeinträchtigt.
3
) Da die genannten Hartstoffschichten selbst im Wesentlichen nicht korrodieren (außer MeC), bilden sie eine korrosionshemmende Schicht für das
Grundmaterial. (Wenn die Hartstoffschichten nicht dicht sind, kann es zur Ausbildung lokaler galvanischer Elemente und zur Lochkorrosion kom-
men.)

Table 2. Some quantities characterising the coating and the coating performance of the most important available
carbon-based hard coatings produced by PVD and CVD processes (MeC: carbon with metal content, also called
Me-C:H, DLC: diamond-like carbon, also called a-C-H, a-C: amorphous carbon, also called tetragonal amorphous
carbon taC or amorphous diamond)
MeC:H a-C:H a-C diamond
Production process PVD CVD PVD CVD
Coating thickness in µm 1 to 10 1 to 5 1 to 3 3 to 10
Microhardness in HV 0,05 1) 800 to 1800 1500 to 3500 3000 to 7000 10000
Internal stresses in GPa 0,1 to 1,5 1 to 3 2 to 6 –
2
Graphitising temperature in °C ) 350 400 450 >600
Resistance to abrasion + +++ ++++ ++++
Resistance to wear due to adhesion (against steel) +++ +++ +++ (+++)
with good cooling
Protection of basis material against corrosion 3) + +++ +++ +++
1
) For the microhardness, mean values are indicated. They are obtained from reported measured values resulting from different compositions, coating
thicknesses and internal stresses.
2
) The graphitising temperature is the temperature at which amorphous carbon begins to convert from a three-dimensional lattice into graphite, consi-
derably affecting the characteristics of the coating.
3
) As the aforementioned hard coatings themselves do not essentially corrode (except for MeC), they protect the basis material from corrosion. (Leaks
in hard coatings may lead to the development of local galvanic elements and to pitting corrosion.)

zen eine gute Zähigkeit. Ihr duktiles Verhalten ver- haviour avoids cracks and shelling at cutting edges
meidet Risse und Ausbrüche an Schneidkanten und and functional surfaces, even with high pressing and
Funktionsflächen, auch bei hohen Pressungen oder cutting forces.
Schnittkräften.

TiC-Schichten (Titancarbid) TiC coatings (titanium carbide)


TiC-Schichten werden typischerweise im CVD-Ver- TiC coatings are typically applied by chemical va-
fahren aufgebracht. Herausragende Eigenschaften pour deposition. Its distinctive characteristics are
sind die hohe Haftfestigkeit auf Hartmetall- und strong adhesion to hard-metal and steel substrates as
Stahlsubstraten sowie die hohe Härte (ca. 3100 HV well as high hardness (approximately 3100 HV 0,05)
VDI 3824 Blatt 1 / Part 1 – 11 –

0,05), die einen sehr guten Widerstand gegen abrasi- ensuring very good resistance to abrasion. However,
ven Verschleiß gewährleistet. Der Widerstand gegen the resistance to wear due to adhesion, oxidation sta-
adhäsiven Verschleiß, die Oxidationsbeständigkeit bility, and chemical stability are somewhat less than
und die chemische Stabilität sind jedoch verglichen is the case with, e.g., TiN. Because of the character-
zum Beispiel mit TiN etwas geringer. Auf Grund der istics mentioned above, TiC is preferably used as sin-
genannten Eigenschaften wird TiC vorzugsweise als gle-layer coating if wear is mainly due to abrasion, or
Einlagenschicht bei vorherrschend abrasivem Ver- in multi-layer coatings together with TiN and TiCN
schleiß sowie in Mehrlagenschichten zusammen mit or with Al2O3.
TiN und TiCN oder mit Al2O3 eingesetzt.

TiCN-Schichten (Titankarbonitrid) TiCN coatings (titanium carbonitride)


TiC und TiN sind in jedem Verhältnis mischbar. Die TiC and TiN can be mixed at any ratio. The charac-
Eigenschaften der Titankarbonitride (TiCN) sind teristics of the titanium carbonitrides (TiCN) can be
durch die Variation der C/N-Verhältnisse einstellbar. adjusted by varying the C/N ratios. With increasing
Mit steigendem Kohlenstoff-Gehalt verändert sich carbon content, the colour of the TiCN coatings
die Farbe der TiCN-Schichten von kupferfarben über changes from copper to violet, bluish grey and, fi-
violett, blaugrau zu grau. Die Schichten weisen Här- nally, grey. The hardness of the coatings lies between
ten im Bereich von 2600 bis 3400 HV 0,05 auf. 2600 HV 0,05 and 3400 HV 0,05.
TiCN-beschichtete Werkzeuge haben gegenüber TiN TiCN-coated tools have an advantage over TiN in the
Vorteile bei der Stahlbearbeitung (zum Beispiel auf working of steel (e.g. on HSS milling cutters), with
HSS-Fräsern) und bei schwer bearbeitbaren Werk- materials difficult to work, and with stainless steel.
stoffen wie rostfreier Stahl. Auch hochfeste Stähle Even high-tensile steel can be worked effectively,
können effektiv und mit hoher Oberflächengüte bear- achieving high surface qualities. The resistance of
beitet werden. TiCN weist gegenüber TiN einen hö- TiCN to abrasion is higher than that of TiN. On the
heren Abrasionswiderstand auf. Demgegenüber steht other hand, its toughness is less, but may be improved
eine verringerte Zähigkeit, die durch einen mehrlagi- by means of a multi-layer configuration of the coat-
gen Schichtaufbau verbessert werden kann. ing.

CrN-Schichten (Chromnitrid) CrN coatings (chromium nitride)


CrN-Schichten zählen zu den zähen Verschleiß- CrN coatings belong to the group of tough wearing-
schutzschichten. Sie zeigen Härten im Bereich von protection coatings. Hardnesses range from 1800 HV
1800 bis 2000 HV 0,05 und sind chemisch und ther- 0,05 to 2000 HV 0,05 and their chemical and thermal
misch sehr stabil (günstige Kombination von Korro- stabilities are very high (favourable combination of
sions- und Oxidationsbeständigkeit). Sie lassen sich corrosion resistance and oxidation stability). For the
zur Erhöhung der Korrosionsresistenz auch in größe- purpose of increased corrosion resistance, it is also
ren Schichtdicken abscheiden, als dies zum Beispiel possible to deposit thicker coatings than would be the
bei TiN-Schichten der Fall ist. CrN-Schichten wer- case with, e.g., TiN coatings. CrN coatings are pro-
den nur mittels PVD-Verfahren hergestellt. duced exclusively by physical vapour deposition.
CrN-Schichten sind einsetzbar gegen Verschleiß, CrN coatings can be used against wearing, corrosion,
Korrosion sowie zur Verringerung der Werkstoffad- and to reduce material adhesion and the forces re-
häsion und Entformkräfte (zum Beispiel zur Verbes- quired for removal from the mould (e.g. for improved
serung der Entformung in der Kunststoff- und Elasto- removal from the mould in plastics and elastomer
merverarbeitung sowie bei der Metallumformung). processing and in metal forming).

TiAlN-Schichten (Titanaluminiumnitrid) TiAlN coatings (titanium aluminium nitride)


TiAlN-Schichten sind eine Weiterentwicklung von TiAlN coatings are a further development of TiN,
TiN, wobei Ti zu ca. 20 bis 60 At.% durch Al substi- where Ti is substituted with aluminium by approxi-
tuiert wird. Je nach Zusammensetzung sind die mately 20 to 60 % of the atoms. Depending on the
Schichten braun (geringer Al-Gehalt) bis hin zu composition, the coatings are brown (low Al content)
schwarz-violett (hoher Al-Gehalt). Kennzeichnende to black-violet (high Al content). Distinctive charac-
Eigenschaften dieser Schicht sind die hohe Oxida- teristics of this type of coating are high oxidation sta-
tionsbeständigkeit, Warmhärte und thermische Isola- bility, hardness at elevated temperatures, and thermal
tionswirkung. Deshalb sind bevorzugte Anwen- insulation. Therefore, preferred applications are dry
dungsgebiete Trockenzerspanung, Hartbearbeitung metal-cutting, hard-metal working, and high-speed
– 12 – VDI 3824 Blatt 1 / Part 1

und HSC-Bearbeitung. Die Besonderheit der TiAlN- cutting. TiAlN coatings are special in that a thin alu-
Schichten besteht darin, dass sich auf der Schicht- minium-oxide layer evolves at the coating surface.
oberfläche eine dünne AIuminiumoxidschicht ausbil- This layer renews itself, thus preventing further oxi-
det. Diese Schicht erneuert sich selbst und verhindert dation and wear. TiAlN coatings are deposited as
so, dass Oxidation und Verschleiß weiter fortschrei- multi-layer coatings, or as graded coatings. They are
ten. TiAlN-Schichten werden als mehrlagige Schicht typically produced by physical vapour deposition.
oder aber auch als Gradientenschicht abgeschieden. Hardness values lie between 2400 HV 0,05 and
Sie werden typischerweise mittels PVD-Verfahren 3500 HV 0,05.
hergestellt. Sie weisen Härtewerte im Bereich von
2400 bis 3500 HV 0,05 auf.

Al2O3-Schichten (Aluminiumoxid) Al2O3 coatings (aluminium oxide)


Im CVD-Verfahren abgeschiedene Alumniumoxid- As a rule, aluminium-oxide coatings obtained from
schichten kommen im Allgemeinen nicht als Einzel- chemical vapour deposition are not applied as single
schichten, sondern in Kombination mit anderen Hart- layers, but are combined with other hard materials to
stoffen in Mehrlagenschichten zur Anwendung. Eine give multi-layer coatings. Important characteristics
wichtige Eigenschaft des Aluminiumoxids sind die of aluminium oxide are high thermal stability and
hohe thermische Beständigkeit und chemische Stabi- chemical stability, high hardness at elevated temper-
lität sowie die hohe Warmhärte und die auf Grund des atures, and, as a result of heteropolar bonds, very low
heteropolaren Bindungscharakters sehr geringe Nei- tendency to adhesive effects. Al2O3 coatings are
gung zu Adhäsionserscheinungen. Al2O3-Schichten therefore mainly used for metal-cutting tasks where
werden daher hauptsächlich für Zerspanungsauf- high requirements have to be met in this respect.
gaben eingesetzt, bei denen diesbezüglich entspre-
chend hohe Anforderungen bestehen.

Kohlenstoffschichten Carbon coatings


Unter dem Begriff Kohlenstoffschichten werden The term of carbon coatings comprises coatings and
Schichten und Schichtsysteme zusammengefasst, die coating systems which are also often called diamond-
oft auch als diamantähnliche Kohlenstoffschichten like carbon or DLC coatings. Depending on the pro-
oder DLC-Schichten (von „diamond-like carbon“) duction process and parameters used, these carbon-
bezeichnet werden. Diese auf Kohlenstoff basieren- based, amorphous coatings feature a wide variation
den amorphen Schichten zeigen in Abhängigkeit von of the hydrogen content (which explains the designa-
Herstellungsverfahren und verwendeten Parametern tion a-C:H). These coatings are produced using
auch einen breiten Bereich des Gehalts an Wasser- plasma-enhanced PVD and CVD processes. Depend-
stoff (daher auch die Bezeichnung a-C:H). Diese ing on the production conditions, these coatings, un-
Schichten werden durch plasmaaktivierte PVD- und like pure diamond coatings, contain varying propor-
CVD-Verfahren hergestellt. Sie weisen in Abhängig- tions of carbon with sp2- (graphite-like) and sp3-
keit von den Herstellungsbedingungen im Gegensatz bonds (diamond-like), which leads to variations in
zu reinen Diamantschichten unterschiedliche Anteile the coating hardness, and in other parameters (see Ta-
der beiden Bindungszustände des Kohlenstoffs – gra- ble 2).
fitische sp2-Bindung und sp3-Bindung (Diamantbin-
dung) – auf, so dass unter anderem die Schichthärte
entsprechend variiert (Tabelle 2).
Auf Grund des breiten Spektrums der Zusammenset- Due to the widely differing compositions of these
zung dieser Schichten lassen sich für die Eigenschaf- coatings, their characteristics can only be indicated in
ten nur Bereiche angeben. Die im Vergleich zu allen terms of ranges. What distinguishes these coatings
anderen Hartstoffschichten herausragende Eigen- from all other hard coatings are the extremely low
schaft dieser Schichten liegt in ihren extrem niedri- friction coefficients for dry friction. Because of the
gen Reibwerten bei Festkörperreibung. Infolge der comparatively low depositing temperatures
vergleichsweise niedrigen Abscheidetemperaturen (< 250 °C), these coatings are preferably used for the
(< 250 °C) werden diese Schichten vorzugsweise im coating of components in order to reduce friction and
Bereich der Bauteilbeschichtung zur Verminderung wear.
von Reibung und Verschleiß eingesetzt.
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Eine besondere industrielle Bedeutung für den Ver- Carbon coatings with metal content, also called metal
schleißschutz und die Reibungsminderung erlangten carbon coatings (Me-C:H) have gained special indus-
die metallhaltigen Kohlenstoffschichten, auch Me- trial importance for wearing protection and reduction
tall-Kohlenstoffschichten (Me-C:H) genannt. of friction.

Diamantschichten Diamond coatings


Diamantschichten werden mit thermisch oder plas- Diamond coatings are applied to hard-metal or ce-
maaktivierten CVD-Verfahren auf Hartmetall- oder ramic tools by means of thermal or plasma-enhanced
Keramikwerkzeugen aufgebracht. Die Abscheide- CVD processes. The depositing temperature is ap-
temperaturen liegen im industriellen Einsatz bei ca. proximately 700 to 800 °C in industrial applications.
700 bis 800 °C. Kennzeichnende Eigenschaften von Characteristics of diamond are utmost hardness and
Diamant sind die extrem hohe Härte und der damit the resulting high resistance to abrasion, low ten-
verbundene hohe Abrasionswiderstand, die geringe dency to adhesion, and the low friction coefficient.
Adhäsionsneigung sowie der geringe Reibkoeffizi-
ent.
Die Anwendungsbereiche diamantbeschichteter Applications of diamond-coated tools are the work-
Werkzeuge liegen in der Bearbeitung von verstärkten ing of reinforced plastics, graphite, hard-metal and
Kunststoffen, Grafit, Hartmetall- und Keramikgrün- ceramic green compacts, non-ferrous heavy metals,
lingen, Buntmetallen sowie in der Zerspanung von and the cutting of abrasive materials such as AlSi al-
abrasiv wirkenden Werkstoffen wie AlSi-Legierun- loys.
gen.
Diamantbeschichtete Werkzeuge sind zur Bearbei- Due to the solubility of carbon in iron, diamond-
tung von Stahl und anderen eisenhaltigen Werkstof- coated tools are not suitable for the working of steel
fen auf Grund der Löslichkeit des Kohlenstoffs im and other ferrous materials at elevated contact tem-
Eisen bei höheren Kontakttemperaturen nicht ein- peratures.
setzbar.

Schrifttum/Bibliography
DIN 50 323-2 : 1997-08 Tribologie – Verschleiß – Teil 2: Begriff.
Berlin: Beuth Verlag
VDI 3198 : 1992-08 Beschichten von Werkzeugen der Kaltmassiv-
umformung – CVD- und PCD-Verfahren
DIN EN ISO 8044 : 1999-11 Korrosion von Metallen und Legie-
rungen – Grundbegriffe und Definitionen (ISO 8044:1999). Berlin:
Beuth Verlag