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Calcium-oxygen modified amorphous and nanocrystalline carbon layers as

biomaterials

Article  in  Biomedizinische Technik · February 2002

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Annett Dorner-Reisel Gert Irmer

University of Applied Sciences Schmalkalden Technische Universität Bergakademie Freiberg
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 Tissue Engineering

a
' AMORPHE UND -
KRISTALLINE KOHLENSTOFFSCfflCHTEN ALS BIOMATERIAL
A. Domer-Reisel1, C. Schüret, C. Nischan3, V. Klemm4, G. fanei5, E. Müller1
- 'Institut für Keramische Werkstoffe, TU Bergakademie Freiberg, Deutschland
Institut ftr Physikalische und Mechanische Technologien Chemnitz, Deutschland
Institut für Biomedizinische Technik, TU Rostock, Deutschland
5 Institut für Metallkunde, TU Bergakademie Freiberg, Deutschland
Institut für Theoretische Physik, TU Bergakademie Freiberg, Deutschland
dorner@ikw.tu-freiberg.de

Abstract— Undoped and Ca-O-modified diamond-like und deren Nanostrukturelle Anordnung spielen eine
carbon coatings were deposited by a direct current dis- wesentliche Rolle für die Eigenschaften der Schicht.
charge. Hardness and Young's modulus of Ca-O- Hierbei sind die Herstellungsparameter und die Dotie-
modified DLCs were reduced in comparison with the rung der Kohlenstoffschichten wesentlich.
undoped DLC, but the adherence ofthe Ca-O-modified
films is improved. Ca-O-modified DLCs have a higher Materialien
fraction of nano-crystalline regions with carbon in sp2
Hybridisation. In addition, an increased oxygen content Amorphe bzw. nano-kristalline Kohlenstoffschichten mit
and CaCO3 was identified in Ca-O-modified DLCs. While diamant-ähnlichen Eigenschaften (DLC: Diamond-like
mouse fibroblasts ofthe type L929 attach and grow on carbon) können durch Zerstäuben fester Kohlenstofflargets
unmodified diamond-like carbon coatings synthesized oder durch Zersetzung und Anregung von gasförmigen
by the decomposition of hydrocarbont the addition of Ausgangsstoffen hergestellt werden. Bei der Verwendung
CaO-H2O into the precursor gas improves the coatings von Kohlenwasserstoffen als gasförmige Vorstufe wird
biological acceptance by the cells. auch Wasserstoff in die Schicht eingebaut Der Anteil von
Wasserstoff kann bis zu 50 Atom% betragen.
Die vorliegende Studie stellt DLC-Schichten vor, die aus
Keywords—Diamond-like carbon, Ca-O-dopingt celltests gasförmigen Vorstufen erzeugt werden. Methangas oder
andere Kohlenwasserstoff, werden im Plasma einer un-
Einleitung selbständigen Gleichstromentladung (Arbeitsdruck: 0,007
Amorphe oder nano-kristalline KohlenstofFschichten bis 0,04 Pa) zersetzt Die im energiereichen Plasma ange-
mit diamant-ähnlichen Eigenschaften sind als Oberflä- regten Kohlenstofffragmente (Ionen, Atome, Cluster,
chenmodifikation für chirurgische Instrumente und Elektronen) erfahren zum Teil aufgrund der negativen
Implantate Gegenstand zahlreicher Untersuchungen Vorspannung der zu beschichtenden Ti4AJ6V-Substrate
bzw. bereits im praktischen Einsatz [1-3]. (UBIAS' UO bis 3,5 kV) eine gerichtete Beschleunigung auf
Aisenberg und Chabot [4] schieden 1971 erstmals aus die Probenoberfläche. Hier findet unter andauerndem Teil-
einem lonenstrahl harte und amorphe Kohlenstoff- chenauiprall das Wachstum der DLC-Schicht statt
schichten auf Silizium-Substraten ab. Aufgrund der sehr
hohen Härte erhielten die Schichten den Namen „dia- Tabelle l: Relative Partialdrücke von CaO-H2O und CH4
mond-like" oder „diamant-ähnliche" Kohlenstoffschich- DLC Relativer Relativer Abschei-
ten. Allerdings zeigen die Schichten im Vergleich zum Paitialdruck von Partialdruck dezcit
Diamanten eine deutlich geringere Sprödigkeit und CaO-H2O vonCH4
finden daher als Verschleißschutz vielfaltige Anwen- [Pa] [Pa] [min]
dungen. Zudem zeichnen sie sich durch hohe Biover- DLC1 0 >10' 30
träglichkeit, chemische Resistenz und geringe (ohne Ca-O)
Permeabilität aus. DLC2 '1 10' 30
Mechanische, tribologische und physikalische Eigen- (mit Ca-O)
schaften von amorphen Kohlenstoffschichtcn sowie DLCS 5x10·' - 30
deren chemische und biologische Wirkungen können (mit Ca-O)
durch nano- und mikrostrukturclle Modifizierungen DLC4 1.5x10* O'1 30
stark verändert werden. Im Nahordnungszustand liegt (mit Ca-O)
der Kohlenstoff als sp3, sp2 und evtl. sp1-Hybrid vor.
Eine Fernordnung besteht nicht, da die Kohlenstoff- Um die Biokompatibilitat der DLC-Schicht /u verbessern,
schicht aus einem cncrgiercichcn Zustand auf gekühlten wurden die Schichten mit Ca-O-modifi/icrt. Ocr Minhau
Substraten abgeschieden und somit die ungeordnete von Ca-O in die DLC-Struktur gelang durch /usat/li
Struktur „eingefroren" wird. Die Anteile der C-Hybridc ches Einleiten von Ca-O-Verbindungen in den Plasma

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Biomedizinische Technik · Band 47 * Bigünzungsband l · Teil
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/'/ -stu* Engineering

Rczipicntcn. CaO-Pulvcr wurde in destilliertem Wasser
gelöst (Konzentration: 0,2 g CaO, 100 ml H2O) und der
Dampf über ein Nadelventil in den Re/ipicntcn einge-
leitet. Aufgrund der Druckdifferenz setzt spontane Teil-
chenströmung ein. Im Entladungsplasma erfolgt die
Ionisation und/oder Anregung der CaO-Tcilchcn und
schließlich deren Einbau in die Schicht. Der relative
Partialdruck des Ca-O-Prekursors im Rezipientcn wurde
systematisch erhöht (Tabelle I).
che Krypton-Ionen lokal Teilchen von der Substratoberflä-
che ab, wobei es zum nano-skaügen Aufrauhen der
Oberfläche kommt (Abb. 1). Die anschließend aus dem C-
H-Plasma bzw. aus dem durch Ca-O-modifizierten C-H-
Plasma aufwachsende Schicht füllt die entstandenen Rau-
heiten aus und ist auf diese Weise mit dem Substrat gut
verklammert.

Methoden
Die mechanischen Schichteigenschaften wie Universal-
harte 11 U, Elastizitätsmodul und elastische Rückfede-
rung der Dünnschichten wurden mit einem Fischerscope
M100 bestimmt. Durch Registrieren der Eindringtiefe
des Vickersdiamanten können der elastische und der
plastische Anteil der Deformation unterschieden und
ausgewertet werden. An jeder DLC-Schicht wurden 10
Härtemessungen mit einer Last von 4 mN in jeweils 24
s und 25 Schritten durchgeführt. Hierbei betrug die
maximale Eindringtiefe 70 nm. Dieser Wert liegt unter
einem Sechstel der Schichtdicke (ca. 500 nm).
Ritztests erfolgten mit dem Gerät Revetest (CSEM In-
struments). Hierbei wird eine Diamantstift (Rockwell-
C-Profil: Spitzenradius 200 , Öffiiungswinkel 120 °)
mit einer Geschwindigkeit von 10 mm-min"1 unter an- Abbildung l: Grenzzone zwischen DLC und Ti6A14V-
steigender Last (1.67 N-s"1) bis zu einer maximalen Substrat, HR-TEM
Belastung von 50 N über die beschichtete Probe gezo-
Die Ca-O-modifizierten DLC-Schichten besitzen gegen-
gen. Jede Schicht wurde fünfmal geritzt.
über dem undotierten DLC l eine deutlich verbesserte
Für Aussagen zur Nanostruktur der Ca-O-modifizierten
Haftung auf den Ti6A14V-Substraten [5]. Während undo-
diamant-ähnlichen Kohlenstoffschichten stellt die
tiertes DLC bereits bei einer Belastung des Diamantstiftes
Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) ein wich-
von 35 N erste Enthaftungen zeigt, treten bis zur Endlast
tiges Instrument dar. Nach dem mechanischen und lo-
von 50 N keine Abplatzungen der Ca-O-modifizierten
nenabdünnen von Querschliffen wurden diese mit dem
DLCs auf.
Gerät JEOL JEM 2010 FEF bei einer Beschleunigungs-
In Tabelle 2 sind die Ergebnisse der Härtemessung
spannung von 200 kV untersucht.
dargestellt. Konventionelle DLC-Schichten ohne Ca-O-
Raman Spektroskopie wurde mit dem Gerät T 64000
Inkorporation (DLC1) besitzen Härten um 30 GPa. Ca-
der Firma Jobin Yvon bei einer Wellenlänge von 488
O-DLCs (DLC2, 3 und 4) zeigen dagegen eine deutlich
nm und einer Leistung des Ar-Lasers von 2 mW durch-
geringere Universalhärte. Steigender relativer Partial-
geführt. Röntgen-Photoelektronen-Spektroskopie (XPS)
druck des CaO-H2O-Dampfes im Plasma-Rezipienten
erfolgte mit einem AXIS ULTRA Gerät der Firma Kra-
während der Schichtabscheidung (vgl. Tab. 1) korreliert
tos Analytical, England, wobei AI Ka-Strahlung (1486.6 mit eine Verringerung der Härte der Dünnschichten. Die
eV) zur Anregung genutzt wurde. gleiche Tendenz kann für Elastizitäts-Modul und relati-
Qualitative Vergleiche der Biokompatibilität sind durch ve elastische Rückfederung beobachtet werden. Es kann
Zelltests mit Mausfibroblasten möglich. Auf den Proben daher angenommen werden, dass der Anteil starker und
werden 3 l O"4 L929-Mausfibroblasten in 3 ml Nährlö- steifer Bindungen zwischen den schichtbildenden Ato-
sung ausgesät. Das Wachstum der Zellen findet über men mit steigendem relativen Partialdruck des CaO-
einen Zeitraum von 4 Tagen statt. Nach dem Waschen H2O-Dampfes in der Plasmakammer reduziert wird.
und der Fixation erfolgt ein Entwässerung und die Kri- Ergebnisse der Untersuchungen mittels Raman Spektro-
tisch-Punkt-Trocknung. Das Zellwachstum auf Gold skopie verweisen auf eine Erhöhung des Anteils oder
besputterte Schichten konnte visuell im Rasterelektro- der Größe sp2-hybridisierter und geordneter Bereiche
nenmikroskop (REM) geprüft werden. mit steigendem relativen Partialdruck des CaO-H2O-
Ergebnisse Dampfes im Plasma-Rezipienten. Dies äußert sich u.a.
in einer deutlichen Zunahme des Intensitätsverhältnisses
Eine wichtige Maßnahme, um gute Haftung der DLCs zu von D-Peak zu G-Peak der DLC-Schichten (Tab. 3).
realisieren, besteht in der Erzeugung einer mechanischen Mittels Röntgen-Photoelektronen-Spektroskopie sind
Verklammerung an der Grenzzone zwischen Schicht und für alle Ca-O-modifizierten DLCs die Präsenz von Ca-
Substrat. Vor der eigentlichen Abscheidung der DLC- sowie ein gegenüber undotiertem DLC erhöhter
Schicht findet lonenätzen statt. Hierbei stäuben energierei-

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Sauerstoffanteil nachweisbar. Karbide, bspw. CaC2

wurden nicht gefunden [5].

Tabelle 2: Universalhärte HU unter Last (4 mN Endlast)

DLC- HU Elastizitäts- Relative elasti-
Schieht Modul sche Rückfede-
[GPal [GPa] rung f%l
DLC1 30 ±3 201 ±8 66 + 4
DLC2 10±1 91 ±4 43 + 1
DLC3 16±1 121 ±4 56+1
DLC4 17±1 126 ±6 52+1

Tabelle 3: Ergebnisse der Raman Spektroskopie

DLC- Peak Position Peak Intensitäts-
Schicht [cm·1] Intensität verhältnis
ID/IG
DLC1 1367 ±1,9 2032 ± 25 0,79 Abbildung 3: Nano-kristalliner Bereich im Ca-O-modifi-
1546 ±0,1 2564 + 22 zierten DLC, HR-TEM
DLC2 1382 + 0,9 4975 ± 30 1,12 Mit zunehmendem relativen Partialdruck des CaO-H2O-
1556 + 0,1 4440 ±22 Dampfes im Plasma-Rezipienten wächst die Größe der
DLC3 1373 ±1,4 3300 + 30 0,95 kristallinen Bereiche. Abbildung 4 stellt eine breite kristal-
1554 ±0,1 3481 ±25 line Zone in DLC2 dar.
DLC4 1365 ±1,9 2411 ±30 0,88
1548 + 0,1 2736 + 25

Abbildungen 2 bis 4 zeigen HR-TEM-Aufhahmen der

Nanostruktur der DLCs. Typisch für die Kohlenstoff-
schichten ist eine amorphe Struktur (Abb. 2).

Abbildung 4: Nano-skaliger kristalliner Bereich in DLC2,

HR-TEM

Gegenüber dem undotierten DLC weisen alle Ca-O-

modifizierten DLCs eine verbesserte Besiedlung mit
Zellen auf, die sich in höherer Zellenanzahl und verän-
derter -morphologie äußert (Abb. 5-7).
Abbildung 2: Amoiphe Struktur von DLC, HR-TEM
Zellen auf Ca-Omodifiziertcn DLCs (Abb. 7) ragen
gegenüber undotiertem DLC (Abb. 6) erkennbar stärker
Da sich eine Nahordnung des sp3-, sp2 bzw. sp1- ausgeprägte Mikrovillis, ein Anzeichen für Wohlbefin-
koordinierten Kohlenstoffs i.R. nur über wenige den, und deutlichere zytoplasmatischc Ausläufer
Angström erstreckt, erscheint die Schicht im Transmis-
sionselektronenmikroskop amorph.
In Ca-O-modifaierten DLC-Schichtcn treten kristalline
Bereiche mit Abmessungen von einigen 5 bis 10 nm auf
(Abb. 3).

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l * 200:
AM
// //r

Diskussion
Doticrungsclcmente, wie in der vorgestellten Untersu-
chungsreihc Kalzium und Sauerstoff, weiten das aus sp3-,
sp2- und evtl. sp'-koordiniertem Kohlenstoff sowie Was-
serstoff bestehende Netzwerk auf und verringern damit die
fiir DLC-Schichten typischen Druckeigenspannungen,

> · ' · v^ji^^if Cifel^^
200 pm
Abbildung 5: /ollen au undotiertem DLC1, REM
Abbildung 6: Zellen auf Ca-O-modifiziertem DLC2, REM
wodurch die beobachtete Verbesserung der Schichthaftung
erklärbar ist. Netzwerkwcitung- und -modifizierung durch
Ca-O-Anteile bedingen ebenfalls eine Verringerungen
starker und starrer Bindungen des sp3-hybridisierten C-
Tetraeders und somit die Reduzierung der mechanischen
Eigenschaften, wie Härte und Elastizitätsmodul. Die Er-
gebnisse der Strukturuntersuchungen mittels Raman Spekt-
roskopie belegen eine Zunahme der Anzahl und der Größe
sp2-koordinierter nano-kristalliner Bereiche infolge der
Erhöhung des relativen Partialdruckes des CaO-H2O-
Dampfes im Plasmarezipienten, Im Transmissionselektro-
nenmikroskop werden diese nano-skaligen kristallinen
Bereiche gefunden und eine Zunahme ihres Anteils bzw.
ihrer Größe in Abhängigkeit vom relativen Partialdruck
des CaO-H2O-Dampfes in der Plasmakammer bestätigt
Zelltests mit Mausfibroblasten L929 verweisen auf eine
verbesserte Bioverträglichkeit der Ca-O-modifizierten
DLCs. Hierzu könnten verschiedene Faktoren beitragen.
Eine Zunahme der sp2-koordinierten Bereiche wurde u.a.
von Li et al. [6] mit einer höheren Adhärenz von Zellen
korrelierL Auch die Präsenz von bioverträglichen Ca-
Verbindungen, wie bspw. dem gefundenen CaCO3, oder
ein verändertes Benetzungsverhalten sind Aspekte, denen
in weiteren Untersuchungen Aufmerksamkeit geschenkt
werden soll.

Literaturverzeichnis
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Herstellung, Eigenschaften und Anwendung", Vakuum
L Forschung u, Praxis, vol. 8-3, pp. 163-169,1996
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[4] S. Aisenberg, R. Chabot, ,Jon-beam deposition of thin
films of diamondlike carbon",J. Appl Phys,. vol. 42-7,
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[5] A. Domer-Reisel, C. Schürer, G. Reisel, F. Simon, G.
Irmer, E. Müller, "Ca-O-modified diamond-like carbon
coatings synthesised by a direct current discharge",
Thin Solid Films, vol. 398-399, pp. 180-186,2001
[6] D.J. Li, F.Z. Cui, H.Q. Gu, "Diamond-like carbon coatings
on poly(methmethylacrylate) prepared by ion beam depo-
sition and ion beam-assisted deposition and its effect on
cell adhesion", J. Adhesion Sei. TechnoL, vol. 13-2, pp.
160-169,1999

Abbildung 7: Zellmorphologie auf Ca-O-modifiziertem

DLC2, REM

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