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Ultraviolet Selective Sensor

SFH 530

Wesentliche Merkmale Features


• Hohe UV-Empfindlichkeit • High UV sensitivity
• Speziell geeignet für Anwendungen bei 310 nm • Suitable esp. for applications at 310 nm
• Geringe Empfindlichkeit bei sichtbarem und • Low sensitivity for visible and infrared light
IR-Licht • Single supply voltage
• Eine Versorgungsspannung • Low current consumption
• Geringe Stromaufnahme • Hermetically sealed metal package (TO-39)
• Hermetisch dichte Metallbauform (TO-39)

Anwendungen Applications
• Flammenmelder • Flame detector
• Chem. und biomedizinische Analyse • Chemical and biomedical analysis
• Photometrie • Photometry
• Excimerlasersteuerung und -überwachung • Excimer laser control and monitoring
• Umwelt-Kartierung • Environment mapping
• Hautbestrahlungsforschung • Skin irradiation studies
• Überwachung von UV-Sterilisierungsgeräten • Monitoring of UV sterilising equipment
• Medizinische Fehlerdiagnose • Medical diagnostic
• Schweißprozeßüberwachung • Welding monitoring

Typ Bestellnummer
Type Ordering Code
SFH 530-Y/R/B/G Q62702-P5079

2000-12-18 1
SFH 530

Grenzwerte
Maximum Ratings
Bezeichnung Symbol Wert Einheit
Parameter Symbol Value Unit
Betriebs- und Lagertemperatur Top; Tstg – 40 … + 85 °C
Operating and storage temperature range
Versorgungsspannung VS 8 V
Supply voltage

Kennwerte (TA = 25 °C)


Characteristics
Bezeichnung Symbol Wert Einheit
Parameter Symbol Value Unit
min. typ. max.
Versorgungsstrom IS 50 65 90 µA
Supply current
5 V, 20 °C, dark, no load
Max. Ausgangsstrom Iout 35 51 72 µA
Max. output current
5 V, 20 °C, saturation, 1.4 kΩ load
Schwingungsbreite für die Ausgangsspannung –
Output swing
5 V, 20 °C, saturation, no load 2.1 2.6 3.1 V
5 V, 20 °C, dark, no load 0 0.2 1 mV
PSRR (50 … 100 Hz) – 40 – 62 dB
5 V, 20 °C, no load
Offsetspannung Voff mV
Offset voltage
5 V, 25 °C, no load –5 0 1
5 V, 60 °C, no load – 10 –2 0
5 V, 80 °C, no load – 60 – 10 –1
Halbwinkel ϕ – ± 7.5 – Grad
Half angle Deg.
NEP at 310 nm NEP – 7×10-14 – W
5 V, 20 °C, no load ------------
Hz
Nachweisgrenze, λ = 310 nm D* – 5×1011 –
m × Hz
Detection limit -----------------------
W
5 V, 20 °C, no load

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Kennwerte (TA = 25 °C)


Characteristics (cont’d)
Bezeichnung Symbol Wert Einheit
Parameter Symbol Value Unit
min. typ. max.
Aktive Fläche A 10 11 12 mm2
Active area1)
Transimpedanz – 1.1 1.3 1.5 GΩ
Transimpedance
1)
Aufgrund der Lichtbündelung der Linse.
Due to the light concentration of the lens.

Kennwerte (TA = 25 °C)


Characteristics
Bezeichnung Symbol Wert Einheit
Parameter Symbol Value Unit
SFH 530-Y SFH 530-R SFH 530-B SFH 530-G
Empfindlichkeit bei 310 nm – 160 … 300 260 … 370 330 … 430 390 … 500 mV
Responsivity at 310 nm nW/mm2
5 V, 20 °C, no load
Selectivity1) – < 10-4 –
5 V, 20 °C, no load
Responsivity to a 2856 K – < 0.5 mV/lx
quartz-halogen lamp without
UV (glass filter GG400)
5 V, 20 °C, no load
1)
max { Empfindlichkeit von 400 nm bis 1200 nm }
Selektivität = -------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
Empfindlichkeit bei 310 nm
max { Responsivity in the range of 400 ... 1200 nm }
Selectivity = ----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
Responsivity at 310 nm

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SFH 530

Typ. Spektr. Verhalten des UV Sensors Empfangscharakteristik


Typ. Spectr. Response of the UV Sensor Response Characteristic Vout = f (ϕ)
OHF00262 OHF00425
10 2 10 2 1.0
mV %
nW V out rel 0.9
10 1 10 1
0.8
Responsivity

Quantum Efficiency
0.7
10 0 10 0
0.6

10 -1 10 -1 0.5

0.4
-2 -2
10 10
0.3

0.2
10 -3 10 -3
0.1

10 -4 10 -4 0
200 400 600 800 1000 nm 1300 -15 -10 -5 0 5 10 ( ) 15
Wavelength ϕ

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SFH 530

Ultraviolet Selective Sensor Ultraviolet Selective Sensor

Allgemeines General
Der SFH 530, ein ultraviolett (UV)-selektiver opti- The SFH 530, an ultraviolet (UV) selective optical
scher Sensor, wurde speziell für die hohen Anfor- sensor has been specially developed for the ex-
derungen an die Flammenüberwachung in Öl- acting requirements placed on flame monitoring in
brennern (Blaubrenner) entwickelt und ist für viele oil burners and can be used for many other impor-
weitere anspruchsvolle Meßaufgaben im Bereich tant measuring tasks in the UV detection area. The
der UV-Detektion einsetzbar. Die Fotodiode und photodiode and the amplifier circuit (amplification
die Verstärkerschaltung (Verstärkung des Foto- of the photocurrent, conversion to a voltage signal)
stromes, Umsetzung in ein Spannungssignal) be- are housed in a hermetically sealed TO-39 pack-
finden sich in einem hermetisch dichten TO-39 age with three terminal pins (GND, Vs: operating
Gehäuse mit drei Anschlußpins (GND, Vs: Be- voltage, VOUT: output voltage). The package is
triebsspannung, VOUT: Ausgangsspannung). Das specially protected against electromagnetic inter-
Gehäuse bietet besonderen Schutz vor Störungen ference and moisture over the entire operating
durch elektromagnetische Felder und vor Feuch- temperature range of – 40 °C to + 85 °C.
tigkeit über den gesamten Betriebstemperaturbe-
reich von – 40 °C bis + 85 °C.

Optisches Verhalten Optical Characteristics


Das optische Verhalten des SFH 530 wird durch The optical behavior of the SFH 530 is determined
die Kombination aus einer UV-durchlässigen by the combination of a UV-permeable focusing
Sammellinse, einem UV-Filterglas und einer Si- lens, a UV filter glass and a Si photodiode with
Fotodiode mit hoher Selektivität für UV-Strahlung high selectivity for UV radiation. The selectivity in
bestimmt. Die Selektivität im Wellenlängenbereich the wavelength range 290 to 350 nm is achieved
von 290 nm bis 350 nm wird durch eine definierte by means of a defined doping of the photodiode
Dotierung der Fotodiode und ein aufgedampftes and a vapor-deposited interference filter. This
Interferenzfilter erreicht. Dadurch wird der Einfluß heavily suppresses the effect of visible and infra-
sichtbarer und infraroter Strahlung auf das Nutzsi- red radiation on the signal. The sensitivity to wave-
gnal stark unterdrückt. Die Empfindlichkeit für lengths ≥ 400 nm is always less than one ten-thou-
Wellenlängen ≥ 400 nm ist stets kleiner als ein sandth of the maximum sensitivity at
Zehntausendstel der maximalen Empfindlichkeit approximately 310 nm.
bei ca. 310 nm.

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Elektrisches Verhalten Electrical Characteristics


• Betrieb mit nur einer Versorgungsspannung • Operated from a single supply voltage.
• Der Fotostrom der UV-Diode liegt • The photocurrent of the UV diode is typically
typischerweise bei Iph = 100 pA. Für ein hohes Iph = 100 pA. For a high output signal the value
Ausgangssignal muß der Rückkopplungs- of the feedback resistor R1 in the amplifier
widerstand R1 der Verstärkerschaltung sehr circuit must be very high typ. 1 GΩ.
hochohmig typ.1 GΩ sein.
Die wesentlichen elektrischen Funktionen des UV- The main electrical functions of the UV sensor are
Sensors zeigt das Ersatzschaltbild (Bild 1). shown in the equivalent circuit diagram (Figure 1).

Bild 1 Figure 1
• Vout = (Iph – IL) Rk + Voff (1 + R1/Rd) • Vout = (Iph – IL) Rk + Voff (1 + R1/Rd)
• Für oszillierende Beleuchtungsstärken stellt die • For oscillating illuminances the circuit
Schaltung einen Tiefpaß erster Ordnung mit constitutes a first-order lowpass filter with a
einer Grenzfrequenz von typisch 100 Hz dar. cutoff frequency of typically 100 Hz.
Temperaturverhalten: Temperature behavior:
IL: ist bei Raumtemperatur typisch < 1 pA und IL: is typically < 1 pA at room temperature and
verdoppelt sich alle 12 °C doubles every 12 °C
Rd: ist bei Raumtemperatur typisch > 10 GΩ, Rd: is typically > 10 GΩ (at room temperature,
besteht aus der Parallelschaltung der consisting of the parallel connection of the
entsprechenden Widerstände des corresponding resistances of the
– Rekombinationsstromes – recombination current
(verdoppelt sich alle 12 °C), (doubles every 12 °C),
– Diffusionsstromes – diffusion current
(verdoppelt sich alle 5.6 °C) (doubles every 5.6 °C)

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• Das Temperaturverhalten zeigt großen Einfluß • The temperature behavior shows the marked
auf das Ausgangssignal des Sensors. Der effect on the sensor’s output signal. The ASIC
ASIC ist so ausgelegt, daß er bei is so designed that it exhibits a 0 to – 1 mV
Raumtemperatur 0 … – 1 mV Offset und einen offset and a negative temperature coefficient at
negativen Temperaturkoeffizienten aufweist. room temperature. Even any leakage currents
Auch auftretende Leckströme würden das present would only reduce the wanted signal
Nutzsignal nur verringern (der Leckstrom ist (the leakage current is always subtractive with
stets subtraktiv bezüglich des Ausgangssig- respect to the output signal).
nals).

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Maßzeichnung
Package Outlines

15 (0.591) 9.3 (0.366)


13 (0.512) 8.3 (0.327)
6.7 (0.264) 9.5 (0.374)
OUT GND
6.3 (0.248) 9.0 (0.354)

0.75 (0.030)
0.55 (0.022)

3.6 (0.142)
spacing
ø6.5 (0.256)
ø6.2 (0.244)
0.9 (0.035)
0.7 (0.028)
((2.4) (0.094)) VS 3.6 (0.142)
((1.8) (0.071)) spacing
2.5 (0.098)
Chip position
2.0 (0.079) GEOY6954

Maße werden wie folgt angegeben: mm (inch) / Dimensions are specified as follows: mm (inch).

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