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Entwicklung einer durch Piezoaktoren

angetriebenen Mechanik für die Micoroscan-


Vorrichtung eines Telecine - Filmscanners
Diplomarbeit

von

Nicoletti, Michele
Geb. am 25.10.1974

Fachhochschule München
Fachbereich 06 Feinwerk- und Mikrotechnik
Studiengang Feinwerk- und Mikrotechnik
Studienrichtung Medizintechnik

Referent: Prof. Dr.-Ing. O. Wallrapp


Koreferent: Prof. Dr. A. Fuchsberger
Externer Betreuer Michael Cieslinski
bei Arnold und Richter Cine Technik
Türkenstraße 89
80799 München

Tag der Einreichung: 15.03.2005

München 2005
Erklärungen des Diplomanden:
Nicoletti Michele
Name Vorname

1) Ich erkläre hiermit, dass ich die vorliegende Diplomarbeit selbständig


verfasst und noch nicht anderweitig zu Prüfungszwecken vorgelegt
habe.

Sämtliche benutzte Quellen und Hilfsmittel sind angegeben, wörtliche und


sinngemäße Zitate sind als solche gekennzeichnet.

München, 15.03.05
Ort, Datum Unterschrift

2) Ich erkläre mein Einverständnis, dass die von mir erstellte


Diplomarbeit in die Bibliothek der Fachhochschule München
eingestellt wird.

Ich wurde darauf hingewiesen, dass die Fachhochschule in keiner Weise für die
missbräuchliche Verwendung von Inhalten durch Dritte infolge der Lektüre der Arbeit
haftet. Insbesondere ist mir bewusst, dass ich für die Anmeldung von Patenten,
Warenzeichen oder Geschmacksmuster selbst verantwortlich bin und daraus resultierende
Ansprüche selbst verfolgen muss.

München, 15.03.05
Ort, Datum Unterschrift

3
4
Bibliographische Beschreibung

Entwicklung einer durch Piezoaktoren angetriebenen Mechanik für die Micoroscan-Vorrichtung eines Telecine
Filmscanner

Michele, Nicoletti –178 S., 88 Bilder, 23 Tabellen, 38 Lit.

Fachhochschule München
Fachbereich 06 Feinwerk & Mikrosystemtechnik

Diplomarbeit 2005

Stichworte
- Bildsensoren - Mikromechanik
- Compliant Mechanisms - Modelbildung
- Federgelenke - Optimierung
- FEM Analyse - Piezoaktoren
- Flexure joints - Simulation
- Mechanischer Anti Alias - Schwingungsmoden
- Microscan

Abstrakt

Die vorliegende Arbeit beinhaltet die Entwicklung eines durch Piezowandler angetriebenen
Mechanismus zur Positionierung eines Bildsensors. Die Positionierung soll im
Mikrometerbereich erfolgen und zur Erzeugung zusätzlicher virtuellen Pixel dienen. Dieser
Vorgang nennt man in der Fachsprache „Microscannen“ und findet seine Anwendung in
einem telecine Filmscanner der Firma „ARRI“. Der Mechanismus besitzt neben der
Eigenschaft, den Sensor zu führen, auch die Möglichkeit, den vom Piezowandler erzeugten
Hub durch eine Übersetzung zu vergrößern. Das Design der Mechanik orientiert sich an
zweidimensionalen X-Y-Positioniereinheiten, bestehend aus Federgelenken (Flexure joints)
und Federführungen. Bei der Übersetzung wird das Prinzip des Hebelarms angewandt, wobei
die Gesamtübersetzung auf zwei Stufen verteilt wird. Diese Arbeit setzt den Schwerpunkt im
Wesentlichen auf das Design der mechanischen Komponenten. Dabei kommen analytische
Methoden, Ersatzmodellen und die Finite-Elemente-Methode zum Einsatz.
Im ersten Teil der Arbeit wird auf das Entwerfen, Modellieren, Auslegen und Simulieren so
genannter „Compliance“ Mechanismen (elastische Mechaniken) eingegangen. Es wird ein
methodisches Vorgehen beim Entwickeln elastischer Mechanismen vorgestellt und am
Beispiel der Positioniermechanik durchgeführt.
Ein wesentlicher Bestandteil der Arbeit ist die Anwendung methodischer Designstrategien in
der Praxis beim Entwerfen elastischer und teilelastischer Mechanismen.
Darüber hinaus wird gezeigt, wie durch mikromechanischen Maßnahmen Einfluss auf
signaltechnische Größen der Bildverarbeitung genommen werden kann.

5
Development of a piezo-actuator driven micro scan mechanism of a telecine film
scanner.

Abstract:

The study displays the development of a piezo-actuator powered mechanism for the
alignment of a picture sensor. The adjustment should take place in the micrometer range and
aid with the generation of additional virtual pixels improving resolution of the digitised
image. The process in the jargon is called micro scanning and has its use in telecines film
scanners developed by the company ARRI GmbH, Munich. The mechanism, besides having
the ability to position the sensor, also has the possibility to enlarge the range produced by the
piezo-actuator through a transmission process.
The design of the mechanism is based on a two dimensional x-y positioning axis, consisting
of flexure joints and flexure controls. In the conversion process the principle of the lever is
used to position the overall range which is split into two-grade.
This study is centred on the design of the mechanical component, hereby analytical methods,
analogous models and the finite-element-method are used.
The first part of the study focuses on the designing, modelling, outlay and simulation of so
called compliance mechanisms. A methodical approach is used to develop elastic
mechanisms that can be visualised through the positioning mechanism.
A main part of the study is the application of a methodical design strategy in practice, that can
aid in the development of elastic and partly-elastic joints and mechanisms. Furthermore the
study shows how one can influence the signal size of the picture processing mechanism
through micro mechanical processes.

6
Inhaltsverzeichnis

Inhaltsverzeichnis

ABKÜRZUNGSVERZEICHNIS........................................................................................... 9
VORWORT ............................................................................................................................. 10
1. EINLEITUNG.................................................................................................................... 11
1.1 MOTIVATION ................................................................................................................... 11
1.2 ZIELSETZUNG UND GLIEDERUNG DER ARBEIT ................................................................. 12
1.3 KONTEXT DER ARBEIT .................................................................................................... 13
1.4 DIGITALE BILDVERARBEITUNG ....................................................................................... 15
1.4.1 Bildsensoren ........................................................................................................... 15
1.4.2 Microscannen ......................................................................................................... 17
1.5 STARRE UND ELASTISCHE MECHANISMEN ....................................................................... 19
1.5.1 Klassifizierung........................................................................................................ 19
1.5.2 Elastizitätstheorie.................................................................................................... 20
1.5.3 Die Biegung............................................................................................................ 23
1.5.4 Die Feder ................................................................................................................ 25
1.6 AKTORIK ......................................................................................................................... 28
1.6.1 Piezoaktoren ........................................................................................................... 29
2. DESIGNSTRATEGIE ...................................................................................................... 35
2.1 ENTWURFSPROZESS ......................................................................................................... 35
2.2 DESIGNSTRATEGIE NACH SALOMON ................................................................................ 36
3. DESIGN-SPEZIFIKATION............................................................................................. 39
3.1 ERMITTLUNG DER ALLGEMEINEN GRUNDANFORDERUNGEN ........................................... 39
3.1.1 Ermittlung der Bildsensorversetzung ..................................................................... 39
3.1.2 Registrierung und Kalibrierung .............................................................................. 41
3.2 ERMITTLUNG DES DYNAMIKBEREICHES .......................................................................... 42
3.3 ERMITTLUNG DER TECHNOLOGISCHEN GRUNDVORAUSSETZUNGEN ................................ 43
3.3.1 Piezo- Wandler ....................................................................................................... 43
3.3.2 Federwerkstoff........................................................................................................ 48
3.4 SPEZIFIKATIONSPARAMETER ........................................................................................... 51
4. GETRIEBETOPOLOGIE................................................................................................ 53
4.1 ANORDNUNG DER AKTOREN ........................................................................................... 53
4.2 FÜHRUNGSPRINZIPIEN ..................................................................................................... 55
4.3 ÜBERTRAGUNGSPRINZIPIEN ............................................................................................ 57
4.4 TOPOLOGIESYNTHESE ..................................................................................................... 58
4.5 ANALYSE DER KINEMATIK .............................................................................................. 60
5. PSEUDO-RIGID-BODY-MECHANISMS ..................................................................... 71
5.1 ELASTISCHE GELENKE .................................................................................................... 71
5.2 KINETOSTATISCHE ANALYSE .......................................................................................... 74

7
Inhaltsverzeichnis

5.3 FOLGEN FÜR DAS MECHANIKDESIGN ............................................................................... 79


6. FERTIGUNG ..................................................................................................................... 89
6.1 FUNKENEROSIONSVERFAHREN EDM............................................................................... 89
6.2 AUSWIRKUNG DES ERODIEREN AUF DIE MECHANISCHEN EIGENSCHAFTEN ...................... 91
6.3 KONSTRUKTIVE MAßNAHMEN ......................................................................................... 93
7. KONSTRUKTIVE UMSETZUNG .................................................................................. 95
7.1 AUSWAHL UND ZUWEISUNG DER GELENKE ..................................................................... 96
7.2 DIE RÜCKSTELLFEDER ..................................................................................................... 97
7.3 DIE FERTIGUNGSUNTERLAGEN ........................................................................................ 98
8. FEM-ANALYSE ................................................................................................................ 99
8.1 VERFORMUNGS- UND SPANNUNGSANALYSE.................................................................. 100
8.2 STRUKTURDYNAMISCHE ANALYSE ................................................................................ 102
8.3 ERMITTLUNG DER MECHANIKKENNLINIE ...................................................................... 106
9. MESSUNG DER EIGENMODEN ................................................................................. 109
9.1 DIE LASERVIBROMETRIE ............................................................................................... 109
9.2 MESSUNG ZUR ANPASSUNG DER FEM-MODELLE.......................................................... 111
9.3 DIE KONTROLLMESSUNG ............................................................................................... 114
10. ZUSAMMENFASSUNG, DISKUSSION UND AUSBLICKE .................................. 117
10.1 ZUSAMMENFASSUNG ................................................................................................... 117
10.2 DISKUSSION ................................................................................................................. 118
10.3 AUSBLICKE .................................................................................................................. 121
ABBILDUNGSVERZEICHNIS ......................................................................................... 117
TABELLENVERZEICHNIS.............................................................................................. 126
LITERATURVERZEICHNIS............................................................................................ 127
ANHANG A: DEFINITIONEN.......................................................................................... 131
ANHANG B: ERGÄNZUNGEN ........................................................................................ 134
ANHANG C: PIEZO DATENBLATT............................................................................... 137
ANHANG D: DATENBLÄTTER MARAGING STAHL................................................ 145
ANHANG E: MAPLE-BERECHNUNGEN...................................................................... 151
ANHANG F: TECHNISCHE ZEICHNUNGEN & MONTAGEANLEITUNG............ 169

8
Abkürzungsverzeichnis

Abkürzungsverzeichnis
Zeichen Bedeutung SI Einheit
A Fläche m²
d() Gewöhnliches Differenziationssymbol -
∂ () Partielles Differenziationssymbol -
det() Determinante einer Matrix od. Vektors -
di,j Piezomodul m/V
E Elastizitäts-Modul Gpa
F Kraft N
FEM Finite Elemente Methode -
Fps Frame pro second s 1/s
FFT Fast Fourie Transformiert -
g Anzahl der Gelenke -
Hr Relative Feuchte %
I Flächenträgheit m3
k Federkonstante (Federrate) N/m (N/rad)
Lp Linienpaare -
M Moment Nm
MKA Mehrkörpersystem
MTF Modular-Transfer-Funktion Lp/mm
MTTFr Lebensdauer Stunden
PRB Pseudo Rigid Body -
r Radius m
r Ortsvektor -
Sλ Elektromechanische Dehnung eines Piezos m
S Sicherheitsfaktor bei dyn. Beanspruchung -
Re Streckgrenze Mpa
Rm Zugfestigkeit (Bruchgrenze) Mpa
RGB Rot, Grün, Blau -
Tr Umgebungstemperatur °C
U Elektrische Spannung V
w Biegung m
W Arbeit W
γ Übersetzung -
εi,j Permitivitätszahl -
ε Dehnung %
κ Wärmeausdehnungskoeffizient m/K
υ Poisson´sche Zahl -
ρ Dichte Kg/m³
σ Mechanische Spannung Mpa
σ bw Wechselbiegefestigkeit Mpa
τ Schubspannung Mpa
τj Gelenkverdrehung °
ϑ Temperatur °C
φ Lagewinkel °

9
Vorwort

Vorwort
Die vorliegende Arbeit entstand während meiner Tätigkeit bei der Firma Arnold & Richter
Cine Technik, in der Abteilung Forschung und Entwicklung. In meiner nun schon
dreijährigen Tätigkeit in der Abteilung für Digitaltechnik konnte ich mein Wissen über
digitale Bildverarbeitung und feinwerktechnische Konstruktion erweitern und vertiefen.
Meinen besonderen Dank gilt da meinem Betreuer Michael Cislinski, der mich in der
Vergangenheit immer mit neuen anspruchvollen Aufgaben betreut hat und mir immer neue
Denkanstösse gab, um mich weiter zu entwickeln. Aus dieser Tätigkeit heraus ist das Thema
dieser Diplomarbeit entstanden.

Weiter danke ich Prof. Dr.-Ing. O. Wallrapp für die wertvollen Hinweise und die engagierte
Betreuung meiner Arbeit.

Des Weiteren möchte ich Prof. Dr. N. Stokhausen danken für die Bereitstellung der
messtechnischen Einrichtungen.

Letztendlich möchte ich meiner Frau Alexandra Nicoletti (geb. Matsel) danken für ihre
Geduld und Unterstützung.

10
Einleitung

1. Einleitung

1.1 Motivation
Der Wunsch nach mehr Mobilität und Komfort, gepaart mit dem Drang nach immer
leistungsfähigeren Systemen, hat in den letzten Jahren zu einem Umdenken, ja schon fast zu
einem Paradigmenwechsel in den technischen Disziplinen geführt.
Die klassischen Disziplinen wie Mechanik, Elektronik und Optik werden immer mehr von
interdisziplinär geprägten Fachgebieten wie der Mechatronik verdrängt. Wie in Abbildung 1-
1 dargestellt, entstehen diese Fachgebiete durch Überlappung von verschiedener klassischen
Disziplinen. Diese erfordern aber neue Ansätze in der Betrachtung und Gestaltung daraus
entstehender hybriden Systeme. In den letzten Jahren entstanden mehrere Ansätze für solche
Modellbetrachtungen, wie z.B. in der elektromechanischen Netzwerktheorie [Ise 14].

Abbildung 1-1 Interdisziplinarietät von mechatronischen Systemen

Auf der anderen Seite steht die fortschreitende Miniaturisierung der Systemkomponenten, die
den Motor der Entwicklung vorantreibt. Auch bei kraft- und bewegungsübertragenden
Mechanismen und Getrieben macht der Trend zur Miniaturisierung keinen Halt und somit die
Verschmelzung mit anderen Disziplinen. So werden die Kinetik und die Dynamik des
Mikrokosmos immer stärker in den Vordergrund treten und uns vor neuen Herausforderungen
stellen. Neue Fachgebiete wie Mikro- und Nanomechanik bringen neue Fertigungs- und
Montageanforderungen mit sich, die ganz neue Ansätze erfordern. Eine große Herauforderung
bildet da der Entwurf solcher Mechanismen, die nicht selten durch ihre Komplexität ins Auge
fallen. Hier eine Systematik und effiziente Vorgehensweise zu erarbeiten, die auf die
Anforderungen eines mikroskopischen Maßstabes anlehnt, ist eins der wichtigsten Anliegen,
um ein wirtschaftliches Entwickeln zu gewährleisten. Die Simulation sowohl elektronischer
als auch mechanischer Systeme nimmt hier eine zentrale Rolle ein. Sie ermöglicht eine hoch
optimierte Voruntersuchung, ohne dass man aufwendige Fertigungsverfahren unnötig in
Anspruch nimmt.

Höchste Präzision und minimaler Aufwand werden die Ziele der Mechanik in der Zukunft
sein. Mikroroboter, Mikropositionierung, Mikromotorik sind nur einige Schlagworte, die uns
in nächster Zukunft begegnen werden.

11
Einleitung

1.2 Zielsetzung und Gliederung der Arbeit


Ziel dieser Arbeit ist eine mechanische, durch Piezoaktoren angetriebene, Vorrichtung zu
entwickeln, mit der beim Microscanen ein Bildsensor hochgenau positioniert wird. Das
System soll hinsichtlich minimaler Baugröße, Robustheit und maximaler Zyklusfrequenz
optimiert werden. Es soll ein Konzept, die Zeichnungen zur Fertigung und das System
charakterisiert werden. Hierbei sind folgende Forderungen zu beachten:

• es soll ein geeignetes Übersetzungsgetriebe entworfen werden, das sich aus den
signaltechnischen Anforderungen ableitet
• es sollen geeignete Federgelenke entworfen werden
• es sind fertigungstechnische Aspekte zu berücksichtigen die vorzugsweise
firmeninterne Ressourcen nutzen
• ein geeignetes Material soll gefunden werden.

Die Arbeit gliedert sich wie folgt:

Abschnitt 1 gibt einen Überblick über die Umgebung, in der die Arbeit entsteht. Hier
werden auch die theoretischen Vorrausetzungen, die für das Verständnis nötig
sind, gelegt und die Problematik aufgezeigt.

Abschnitt 2 erläutert die Vorgehensweise beim Design elastischer bzw. teilelastischer


Mechanismen.

Abschnitt 3 behandelt die Randbedingungen des Mechanismus und seiner Bestandteile.

Abschnitt 4 widmet sich der Synthese eines starrgliedrigen Mechanismen und dessen
Analyse.

Abschnitt 5 behandelt die Erweiterung des im Abschnitt 4 synthetisierten Mechanismus


um den elastischen Teil und analysiert ihn.

Abschnitt 6 beinhaltet die fertigungstechnischen Parameter, die bei der Konstruktion des
Mechanismus zu berücksichtigen sind.

Abschnitt 7 widmet sich der konstruktiven Umsetzung der Ergebnisse aus dem Abschnitt 5.

Abschnitt 8 behandelt die Frage, ob der Mechanismus im Rahmen seiner Anforderungen


ist, unter Anwendung einer FEM- Analyse.

Abschnitt 9 beinhaltet die Ergebnisse aus den Messungen der Eigenmoden mit einem
Laservibrometer.

Abschnitt 10 beinhaltet die Bewertung der erlangten Ergebnisse und die Zusammenfassung
mit Ausblick.

12
Einleitung

1.3 Kontext der Arbeit


Die entwickelte Mechanik soll Bestandteil eines Telecine Film Scanner der Firma Arnold und
Richter (ARRI) werden. Der Arriscan findet seine Anwendung in der Filmindustrie als
Antwort auf hochqualitative und effiziente Scannaufgaben (Anwendung für Kameranegativ,
Cut Negativ, Archivierung & Restauration, Digital Dailies).
Die wesentlichen Merkmale sind eine filmmaterial schonende LED- Beleuchtung, ein planer
Filmtransport und ein CMOS Bildsensor mit 3300 X 2600 Pixel.

Distribution
Aufnahme Produktion
Projektion

Analoge Filmkette

IP Intermediate

Negativ
Digitale Filmkette
Print
Digitale Effekte
Restaurierung
Digital
0101 1001
Intermediate Kopierwerk

ARRI CMS ARRILASER


ARRISCAN Film
Projection

Abbildung 1-2 Digitale Prozesskette

Der Arriscan ist nach dem Arrilaser ein weiterer Beitrag zur Homogenisierung der digitalen
Prozesskette. Diese nimmt, wie in Abbildung 1-2 dargestellt, ihren Anfang bei der Aufnahme
der Filmszenen und erstreckt sich bis weit über die Distribution des Filmmaterials hinweg.
Ziel von ARRI ist es, eine durchgängige Lösung anzubieten, die die Schnittstellenproblematik
zwischen den einzelnen Prozessschritten minimiert.
Beim Arriscan handelt es sich um einen so genannten Filmabtaster zur Umsetzung von
Filmbildern in elektrische bzw. digitale Daten. Dazu wird der Film durchleuchtet und das
Licht über eine Optik auf einen Bildwandler geleitet.
Im Wesentlichen besteht ein Filmabtaster aus vier Hauptbestandteilen: einem Filmtransport
zur Auf- und Abwinklung der Filmrollen, einer leistungsfähigen Beleuchtung, die das
gesamte Farbspektrum ausreichend abdeckt, einer hochgenauen Optik und einem
Bildwandler.

Bei den Bildwandlern wird allgemein unterschieden zwischen Bildpunkt-, zeilenweiser und
bildweiser Abtastung. Beim Arriscan handelt es sich um eine bildweise Abtastung, die über
einen CMOS Halbleitersensor mit flächiger Ausdehnung erbracht wird.
Der Bildwandler (Sensor) befindet sich, wie in Abbildung 1-4 b) angedeutet, auf der
Positioniereinheit, die ihrerseits ein Teil des in Abbildung 1-3 b) dargestellten Kamerakopfes
ist.

13
Einleitung

a) b)
1
Abbildung 1-3 Der ARRISCAN: a) Prototyp 1 für die NAB b) Schnitt durch den ARRI Scanner

a)
b)
Abbildung 1-4 a) Positioniermechanik mit Piezoaktoren (Grün)
b) Sensormodul

1
National Association of Broadcasters. Weltweit größte Messe der Filmindustrie

14
Einleitung

1.4 Digitale Bildverarbeitung


Am Anfang der digitalen Bildverarbeitung steht das Abtasten eines Objektes. Im
zweidimensionalen Fall bezeichnet man den Abtastvorgang als Scannen. Somit ist der
Scanner die direkte Schnittstelle zwischen realer und elektronischer bzw. digitaler Welt.
Beim Scannen wird ein Objekt mittels Helligkeitsmessung einzelner Bildabschnitte
zweidimensional abgetastet. Die sich aus der Helligkeitsmessung ergebenden Werte werden
als diskrete Zahlenwerte abgespeichert und als so genannte Pixel dargestellt.
Die so erzeugten Pixel können auf einem Rechner als Pixelgrafik oder als ASCII- Datensatz
weiterverarbeitet werden. Bei der Weiterverarbeitung wird die Pixeldarstellung von einem
Segmentierungsprogramm in Pixelbereiche zerlegt und anschließend von einem ORC2
klassifiziert und dargestellt.
Dieser Abschnitt soll einen kleinen Überblick über die Schnittstelle Scanner geben und den
Aufbau seiner Komponenten ein wenig näher bringen.

1.4.1 Bildsensoren

Kernstück eines jeden Scanners ist der Bildsensor. Wie er funktioniert und was er tut, soll im
Folgenden erläutert werden.
Ein moderner Bildsensor besteht im Wesentlichen aus einer Aneinaderreihung von
Fotodioden, die auf einer Fläche (Array) oder in einer Zeile angeordnet werden. Man
unterscheidet bei Bildaufnahmegeräten zwischen zwei Typen von Sensortechnologien, der

• CCD (Charge Coupled Device) und der


• CMOS (Complementary Metal Oxyde Semiconductors)

Technologie. Das physikalische Prinzip, auf dem die Fotodiode aufbaut, ist bei beiden
Technologien der Fotoeffekt in Halbleitern. Bei diesem werden wie in Abbildung 1-5 a) die
Elektronen durch Lichtquanten (hf) angeregt, aus dem Valenzband in das Leitungsband
gehoben, wobei sich Elektronen-Loch-Paare bilden. Durch Kurzschließen der Diode, wie in
Abbildung 1-5 c) angedeutet, werden die Elektronenlochpaare rekombiniert. Die Sperrichtung
der Diode führt dazu, dass dieser Vorgang nur in Durchlassrichtung geschieht und einen
messbaren Strom zur Folge hat, der seinerseits äquivalent zur auftreffenden Lichtmenge ist.
hλ hλ
Iphoto

p n
A
Raumladungszone

a) b) c)
Abbildung 1-5 Photoeffekt in einer Photodiode:
a) Ladungserzeugung in einer p-n Diode dargestellt im Energieniveauschema
b) Aufbau einer p-n Diode
c) kurzgeschaltete Diode in Durchlassrichtung zur Messung des Photostroms

2
ORC : Optical character recompilation (z.B. Photoshop)

15
Einleitung

Fotodiode

a) b)
Abbildung 1-6 Pixel als integriertes Bauteil: (Quelle: Fa. FillFactory N.V)
a) Schaltungsarchitektur eines Dreitransistor- CMOS- Pixels
b) Layout des Dreitransistor- CMOS- Pixels

Ein Pixel setzt sich aus Sicht eines Sensors, wie in Abbildung 1-7 dargestellt, aus aktiven und
inaktiven Flächen zusammen. Die aktive Pixelfläche ist die eigentliche Fotodiode, die
einfallende Lichtintensität in eine Ladung wandelt. Die inaktive Pixelfläche beherbergt bei
CMOS- Sensoren integrierte Bauteile, die zur Verarbeitung und Weitergabe des
Ladungssignals dienen (siehe Abbildung 1-6). Das Verhältnis zwischen aktiver und inaktiver
Pixelfläche bezeichnet man als Fill-Faktor. Durch anschließende Analog- Digitalwandlung
wird jedem Pixel ein diskreter Zahlenwert zugeordnet, der Zahlenwert entspricht der
Helligkeit des auf dem Pixel einfallenden Lichtes.

a) b)

Abbildung 1-7 Bildsensorarchitektur : a) Pixelaufbau b) Microscann eines Frames

16
Einleitung

1.4.2 Microscannen

Wozu wird eigentlich microgescannt und wie funktioniert das?


Um die Auflösung eines digitalen Bildes zu erhöhen, wendet man beim Scannen das
Microscannverfahren an. Das Microscannverfahren geht auf Dr. Reimar Lenz zurück und
wird bei Aufnahmen statischer Bilder angewandt. Es findet Anwendung sowohl in den
Rückteilen von professionellen Fotokameras, wie z.B. der Sinar (Sinarbak), als auch in
Kameras von Jenoptik im high-end Bereich. Das Mikroscannen von Bildern verfolgt im
Wesentlichen zwei Ziele: zum ersten die Erhöhung der Auflösung, zum zweiten das
Unterdrücken von Morie (Alias) Artefakte durch mechanisches Tiefpassfiltern.

Erhöhung der Auflösung

Um die Auflösung eines Bildes zu erhöhen, muss das Bild in feine Abschnitte unterteilt
werden. Diese Unterteilung kann entweder durch Erhöhung der Pixel pro Flächeneinheit, oder
durch mathematische Interpolation erreicht werden. Bei der mathematischen Interpolation
werden die vorhandenen benachbarten Pixel herangenommen, um zusätzliche Pixel über
mathematische Operationen, wie der Mittelwertbildung zu erzeugen. Der Nachteil dieser
Vorgehensweise ist, dass Informationen die im Originalbild schon verloren gegangen sind,
nicht mehr zurückgeholt werden können. Die bessere Alternative wäre die, den Abstand
zwischen den Pixel zu verkleinern und somit mehr aktive Pixelflächen pro Flächeneinheit
unterzubringen. Diese Variante hat den Vorteil, dass die Information des aufgenommenen
Objektes erheblich detailreicher ist, als das „Originalbild“ des mathematisch interpolierten
Bildes. Die Grenzen dieser Alternativen liegen im technologisch möglichen sowie im nicht
unerheblichen Preis eines höher auflösenderen Sensors.
Das Microscanverfahren könnte man als Hybrid beider Vorgehensweisen auffassen. Hierbei
wird der Sensor, wie in Abbildung 1-6 b) angedeutet, im Subpixelbereich (ca. ~ 4 µm) so
verschoben, das sich die aktiven Pixelflächen anschließend genau dort wieder finden, wo sich
einst die inaktiven Pixelflächen befanden. Durch mehrmaliges zweidimensionales Versetzen
und Belichten des Sensors in diesen verschobenen Positionen werden mehrere Bilder erzeugt.
Diese Bilder werden im Anschluss mathematisch übereinander gelegt und optimiert. Das
Ergebnis sind durch die Versetzung erzeugte virtuelle Pixel, die wie in Abbildung 1-8
dargestellt, im Gegensatz zum nicht microgescanten Bild eine Erhöhung der Auflösung zur
Folge haben.

Microscan

Abbildung 1-8 Schematische Darstellung der Pixelvervielfältigung durch Erzeugung virtueller


Pixel

17
Einleitung

Tiefpassfilterung

Zerlegt man ein Bild nach einem regelmäßigen Schema, so kann das unter Umständen mit der
Entstehung von Alias-Strukturen verbunden sein. Die bei einem Bildsensor regelmäßig
angeordneten Pixelstrukturen, wie sie schon in Abbildung 1-7 a) dargestellt wurden, erfordern
unter Beachtung des Abtasttheorems eine Tiefpassfilterung, um ein Alias auszuschießen.
Nach dem Abtasttheorem müssen die Abtaststrukturen doppelt so fein sein wie die feinsten
aufzulösenden Bildelemente. Der Tiefpassfilter hat nun die Aufgabe, die feinsten Strukturen
im Bild soweit zu verwischen, das sie mindestens doppelt so grob aufgelöst werden wie die
der Abtaststruktur des Sensors. In Gegensatz zur den gängigen Verfahren, bei denen die
Tiefassfilterung entweder optisch oder über mathematische Operationen an der Bildmatrix
geschieht, wird bei den mechanischen Tiefpassfilterungen das Prinzip der
Bewegungsunschärfe ausgenutzt.
In Abbildung 1-9 wird der Vergleich zwischen optischem und mechanischem Tiefpassfilter
mit einer Versetzung von 8 µm gezeigt. Hierbei wird die Modulations-Transfer-Funktion
(MTF)3 über die Ortsfrequenz4 aufgetragen. Wie man sehen kann, ist der Unterschied zum
optischen Tiefpass gering.

V e rg le ic h P ie z o - o p tis c h e r T ie f p a s s f ü r d ie B ild h ö h e 1 2 m m

0 ,9

0 ,8 O p tis c h e r T ie fp a s s
P ie z o
0 ,7

0 ,6
MTF

0 ,5

0 ,4

0 ,3

0 ,2

0 ,1

0
0 10 20 30 40 50 60 70

O r ts fr e q u e n z (L p /m m )

(Quelle: Fa. ARRI)


Abbildung 1-9 Vergleich zwischen optischem und Piezo- Tiefpass [Kha 17]

3
Siehe Anhang A
4
Siehe Anhang A

18
Einleitung

1.5 Starre und elastische Mechanismen

Was versteht man eigentlich unter einem elastischen Mechanismus und wie beschreibt man
solche Mechanismen? Diese Frage soll hier kurz beantwortet werden, um die Vorgehensweise
bei der Synthese5 des Positioniermechanismus zu verstehen.

1.5.1 Klassifizierung

In der klassischen Auffassung eines mechanischen Getriebes bzw. Mechanismus wird eine
bewegliche Verbindung von Gliedern verstanden, die Kräfte, Bewegungen bzw. Leistungen
überträgt. Als Schnittstelle zwischen den Gliedern stehen Gelenke, sie gewährleisten die
eigentliche Übertragung der Leistung von einem Glied zum anderen. Aus der Konstruktion
sind drei Arten von Verbindungen bekannt, in die auch die Gelenke eingeteilt werden können:

• kraftschlüssige Verbindungen
• formschlüssige Verbindungen
• und stoffschlüssige Verbindungen.

Die meist verbreitetste Art der Gelenkverbindung ist die formschlüssige Verbindung.
Beispiele hierfür sind Dreh- und Schubgelenke. Daher ist auch ein Grossteil der Methoden zur
Analyse und Synthese auf diese Gelenke ausgerichtet. Kraftschlüssige Gelenke erhalten ihre
Zwangsbedingung aus dem Prinzip „der Aktio gleich Reaktio“ einer gerichteten Kraft.
Beispiele für kraftschlüssige Gelenkeverbindung sind Passivgelenke6. Ein Sonderfall dieser
Gelenkklasse sind reibschlüssige Gelenke wie in Riemenantrieben. Das stoffschlüssige
Gelenk wird in der klassischen Getriebelehre zwar in Form von Federgelenken erwähnt,
führen da aber ein Schattendasein. Dies ist der Grund dafür, dass mit den konventionellen
Analyse- und Synthesemethoden Mechanismen mit solchen Gelenke nur unbefriedigend
bearbeitet werden können. Dieser Nachteil bei Federgelenkmechanismen währt daher, dass
man in der Betrachtung der Kinetik und Statik immer von der Annahme ausgeht, dass die
Glieder des Mechanismus ideal steif sind. Diese Voraussetzung der klassischen Getriebelehre
ist aber bei elastischen und teilelastischen Mechanismen nicht gegeben. So definierte z.B.
Salomon 1989 in seiner Dissertation zum Thema Compliance Mechanism und Howell in
seinem erstmals 1994 erschienenen Aufsatz zur Klassifizierung von elastischen Mechanismen
ein elastisch nachgebenden Mechanismus als:
„ A compliant mechanism is one which gains all or part of its mobility from the relative
flexibility of its members unlike as in rigid body mechanisms” 7
Diese sehr umfassende Definition wehrt daher, dass bei vielen Mechanismen eine diskrete
Einteilung zwischen Gelenken und Gliedern nicht immer möglich ist.
Die in der Tabelle 1-1 dargestellte Klassifizierung geht sogar einen Schritt weiter und
erweitert sie um die Annahme, dass der Aktor als Teil des Mechanismus auch deformierbar
ist, zu einem adaptiven System.

5
Unter der Synthese eines Mechanismus versteht man das theoretische Erzeugen eines Getriebes.
6
Siehe Abschnitt 6.2 Abbildung 6-3.
7
„Ein Mechanismus, bei dem die ganze oder ein Teil der Mobilität von der relativen Flexibilität seiner Glieder
bestimmt wird“.

19
Einleitung

Tabelle 1-1 Erweiterung klassischer mechanischer Modelle

Klassischer Mechanismus Compliance Mechanismus Adaptiver Mechanismus


Starre Glieder Flexible Glieder Flexible Glieder
Starre (flexible) Gelenke Flexible Gelenke Flexible Gelenke
Starre Aktoren Starre Aktoren Flexible Aktoren

1.5.2 Elastizitätstheorie

Um Funktionsweise und Eigenarten von elastischen Mechanismen zu verstehen, muss man


die Natur elastischer Körper begreifen. Im folgenden Abschnitt soll eine kleine
Zusammenfassung der wesentlichen Züge der Elastizitätstheorie gegeben werden.
Die Elastizitätstheorie beschreibt den Zustand von verformbaren Körpern unter Einwirkung
von Kräften. Eines der Hauptbetätigungsfelder ist die Vorhersage von Spannungen und
Verzerrungen als Folge von Deformationen. Ziel ist es, Bauteile so auszulegen, dass sie die
geforderten Funktionen im Rahmen des Zulässigen erfüllen. Abbildung 1-10 zeigt
schematisch die Vorgehensweise bei solchen Problemen.

Äußere Belastung Abmessungen Werkstoffkennwerte Sicherheitsbeiwert


(Abhängig von der Problemstellung i)
[ F od. M ] [A] [ Ri ] [S]

Wirkende Spannung Zulässige Spannung

F Ri
σ = σ zul =
A S

Festigkeitsbedingung

σ ≤ σ zul

Abbildung 1-10 Vorgehensschema bei der Festigkeitsuntersuchung

Wird ein Bauteil von außen mit einer Kraft oder einem Moment belastet, so treten im Inneren
des Bauteils infolgedessen Beanspruchungen auf, die als Spannungen bezeichnet werden.
Darüber hinaus ist die Größe und Richtung der Spannungen noch von der Geometrie und
Größe des Bauteils abhängig, sie wird in Abbildung 1-10 als Abmessung A bezeichnet. Für
die zulässige Spannung, die ein Bauteil aufnehmen kann, werden materialabhängige Größen
herangezogen. Welche man nimmt, ist abhängig von der Problemstellung. Wie aus Abbildung
1-11a zu entnehmen ist, können das z.B. die Elastizitätsgrenze Reh, die Plastizitätsgrenze Rel
oder die maximale Belastungsgrenze Rm sein. Diese Werkstoffwerte werden in der Regel nie
vollständig ausgenutzt, aus lebensdauertechnischen Gründen, in die im Abschnitt 3.3 näher
eingegangen wird, werden diese meist noch mit einem Sicherheitsfaktor S beaufschlagt. Die
Festigkeitsbedingung ist dann erfühlt, wenn die Ungleichung von SOLL (σ) und IST(σzul)
erfüllt ist.
Man unterscheidet bei der Festigkeitsberechnung fünf Grundbelastungsfälle, die alle auf eine

20
Einleitung

Kraft F bzw. auf ein Moment M zurückzuführen sind:

• die Zugbelastung
• die Druckbelastung
• die Biegebelastung
• die Schubbelastung
• die Torsionsbelastung.

Die Grundlage der Elastizitätstheorie bildet das Hooke’sche8 Gesetz.

F = k ∆l [1.1]
Es beschreibt den linearen Zusammenhang zwischen einer Kraft F und der Elongation ∆l an
einer elastischen Feder. Die lineare Proportionalitätskonstante k wird in der Technik als
Federkonstante bezeichnet und ist sowohl vom Material, als auch von der Geometrie der
Feder abhängig. Durch Normierung der Elongation, indem man sie durch die unbelastete
Länge l0 dividiert, erhalten wir die Dehnung ε als Maß für die Deformation. Für die Kraft F
wird nun die Spannung σ, als Verhältnis von Kraft pro Flächeneinheit, eingeführt. Dies bringt
uns somit zur allgemeinen Form des Hookshen Gesetzes.

σ =Eε [1.2]

Die lineare Proportionalitätskonstante E wird als E- Modul bezeichnet und ist eine rein
materialspezifische Größe. Die allgemeine Form beschreibt somit den linearen
Zusammenhang zwischen der Spannung σ, die aufgrund einer Belastung auftritt, und der
Formänderung ε eines Körpers. In Abbildung 1-11 a) wird der Spannungsverlauf eines
Körpers dargestellt, wobei der gerade Verlauf zwischen Nullpunkt und der Elastizitätsgrenze
Reh als elastisch reversibel im Hooke`schen Sinne angesehen werden kann. Bei der Spannung
muss, wie in Abbildung 1-11 b), vorzeichnen bedingt, zwischen positiver Zugspannung und
negativer Druckspannung unterschieden werden. Da die Spannung eine vektorielle Größe
darstellt, wird zusätzlich noch eine weitere Unterscheidung nach der Richtung vorgenommen,
die sie bezüglich dem Körper hat. Wie in Abbildung 1-11 c) dargestellt, werden die
Spannungen an einem Körper in die Normalspannungen σij, die normal zur Fläche wirken,
und in die Schubspannungen τij die parallel zur Fläche wirken, eingeteilt.

(Quelle: [Dem 6])


a) b) c)

Abbildung 1-11 Spannungen a) Spannungs- Dehnungs- Diagramm


b) Spannungen an einem Kragträger
c) Spannungszustände an einem Volumenelement

Befindet sich nun der Körper in einem Euklidischen Raum R(3), so können die Spannungen,

8
Hooke, Robert (1635 bis 1703)

21
Einleitung

die in einen Volumenelement dV wirken, als Spannungstensor S dargestellt werden.


σ x τ xy τ xz 
 
S = τ yx σ y τ yz  [1.3]
τ zx τ zy σ z 
 

Bei der mechanischen Auslegung eines Bauteils muss auf materialabhängige Besonderheiten
des Werkstoffes eingegangen werden. So können Materialien sehr unterschiedlich auf
Spannungsrichtungen reagieren. So sind einige Werkstoffe empfindlicher gegen
Schubspannungen, andere mehr gegen Normalspannungen oder Druckspannungen, andere
wiederum mehr gegen Zugspannungen. Dieses unterschiedliche Verhalten gegenüber
Spannungen läst sich mit dem unterschiedlichen Aufbau von Festkörpern erklären, wobei die
Orientierung der Kristallstruktur von Festkörpern wohl die häufigste Ursache hierfür sein
mag. Dieses Verhalten führt dazu, dass bei der Auslegung eines Bauteils spezielle
Spannungshypothesen aufgestellt werden müssen. Sie entstehen durch Überlagerung der
einzelnen Spannungskomponenten, wobei je nach Hypothese die einzelnen
Spannungskomponenten verschieden gewichtet werden. Aus diesen Spannungshypothesen
geht eine Vergleichsspannung σv hervor. Mit dieser Vergleichsspannung lassen sich nun auch
durch mehrachsige Belastungen verursachte Spannungen beschreiben. Somit können
mehrachsige Spannungszustände in einen virtuellen einachsigen Zustand überführt werden.
Die bekanntesten (zweiachsigen) Hypothesen im x-z Koordinatensystem sind hier:

• Die Normalspannungshypothese
2
σ x +σ z  σ +σ z 
σv = +  x  + τ xz = σ max
2
[1.4]
2  2 
• Die Schubspannungshypothese
(σ x − σ z )
2
σ v = 2τ max = σ max − σ min = + 4τ 2 xz [1.5]

• Dehnungshypothese
2
σx +σy 
2
σx +σz σx −σz  σx −σz 
σv = +   + τ xz − 
2
−µ   + τ 2 xz [1.6]
2  2   2   2 

• Die Gestaltänderungshypothese (auch Huber- Mises- Henky` sches Fliesskriterium)9

σ v = σ 2 x + σ 2 z − σ xσ z + 3τ 2 zx [1.7]

Hierbei sind σx und σz die beiden Normalspannungen, τxz und τxz die Schubspannungen und µ
die Querkontraktionszahl. Es muss daher darauf geachtet werden, dass für das verwendete
Material die dazupassende Hypothese gewählt wird, so dass die kritischen
Spannungskomponenten auch angemessen gewertet werden. So ist die
Normalspannungshypothese geeignet für spröde Materialien wie Grauguss oder Beton. Die
Schubspannungshypothese eignet sich mehr für kristallin aufgebaute Werkstoffe. Die
Dehnungshypothese eignet sich mehr für spröde Materialien oder verschlissene Bauteile. Die
Gestaltänderungshypothese ist für zähe Werkstoffe wie Stahl geeigneter.

9
unter ANSYS als von Mises Spannung definiert (Richard von Mises (1883-1953))

22
Einleitung

1.5.3 Die Biegung

Eine der zentralsten Fragen dieser Arbeit ist: „Unter welchen Bedingungen verbiegt sich ein
Festkörper?“
Die ersten Überlegungen zur Biegung von Körpern stammen von Leonardo da Vinci10 , er
stellte bei Untersuchungen an Balken fest, dass die Durchbiegung des Balkens sowohl von
seiner Länge, als auch von der Querschnittsfläche und deren Geometrie abhängt. Diese
Erkenntnis führte später zum Begriff der Flächenträgheitsmomente Iij, in dem die
Auswirkungen der Querschnittsfläche und deren Geometrie zusammengefasst sind. Sie wird
definiert, wenn x- Achse gleich Balkenachse als:

I yy = ∫ z 2 dA I zz = ∫ y 2 dA [1.8]
A A

Wobei die Indizes an I die Biegeachse angibt, auf die sich das Flächenträgheitsmoment
bezieht. Hinzu kommen materialabhängige Faktoren, die durch den E- Modul beschrieben
werden. Aus diesen Erkenntnissen läst sich sagen, dass die Auslenkung w in z- Richtung
unter einer Belastung F (sei hier eine Kraft) einer Funktion des E- Moduls E, der Länge l, des
Flächenträgheitsmomentes Iyy, und der Kraft F ist. Nimmt man nun die Durchbiegung w als
Funktion an, so kann man ihre Änderung als Verschiebung ansehen, wie in Abbildung 1-12 a)
dargestellt. Bei der Ableitung der Funktion w nach dem Ort x, kann man wie in Abbildung
1-12 b) gezeigt von einer Neigung gegenüber x sprechen. Die zweite Ableitung nach dem Ort
liefert (Abbildung 1-11 c)) eine Näherung für die Krümmung.

y x M b ( x) M b (x + l)
1
z
w( x) w '( x) 1
r ≈∼
w ''( x)

a) b) c)
Abbildung 1-12 Ableitung der elastischen Linie aus den Ableitungen der Versetzung w(x)

Die Berechnung von Biegungen mit beliebigen Querschnitten kann sehr kompliziert werden
und sehr oft nur noch numerisch erfolgen. Dies führt dazu, dass eine Vereinfachung der
Randbedingungen zur Berechnung von Biegungen unablässig ist. Den einfachsten Fall einer
Vereinfachung in der Mechanik bietet die Euler- Bernoulli11- Hypothese. Sie gibt eine gute
Nähehrung für kleine Versetzungen w bezüglich der Länge l eines Balken12. Die Euler-
Bernoulli-Hypothese besagt nun, das die Querschnitte zur neutralen Faser auch unter
Belastung senkrecht zur neutralen Faser bleiben.
Mathematisch werden Teilstücke des gebogenen Balkens, wie in Abbildung 1-13 dargestellt,
durch Kreisbögen beschrieben (die Kreisbögen sind nur eine Näherung). Für die Länge l
ergibt sich somit für die Biegung ein Krümmungsradius r.

10
(1452-1519)
11
Leonhard Euler (1707-1783) Johan Bernoulli (1667-1748)
12
Mechanisch wird ein Balken definiert: als ein prismatischer Körper, bei dem die Längsausdehnung wesentlich
größer als seine Querschnittabmessung ist.

23
Einleitung

h dz neutrale Fase
z

∆l

20
x z=0
y
l

l =rϕ
−σ
r
ϕ

Abbildung 1-13 Definition der Biegung

Wie man aus Abbildung 1-13 ersehen kann, erfolgt an der Oberkante des Balkens (bei Z =h/2)
eine Dehnung, analog an der Unterkante (bei z =-h/2) eine Stauchung, wobei die neutrale Fase
(bei Z=0) ihre Länge l beibehält. Der Betrag, der durch die Stauchung bzw. Dehnung
erzeugten Längenänderung ∆l ergibt sich aus:
l
∆l ( z ) = z ϕ = z [1.9]
r
Damit ein Festkörper so eine Längenänderung mitmacht, müssen für alle infinitesimal dünnen
Schichten entsprechend Gleichung 1-2 die zugehörigen Spannungen aufgebracht werden. Aus
Gleichung 1-2 folgt für den Betrag der Normalspannungen:
∆l z
σ =Eε =E =σ =E [1.10]
l r
Auf eine infinitesimal dünne Schicht dz wirkt somit eine Kraft:
b
dF = σ b dz = E z dz [1.11]
r
Hierbei ist b die Querschnittsbreite des Balkens. Das durch die Kraft erzeugte Moment in y-
Richtung ergibt sich somit aus:
b
dM y = E z 2 dz [1.12]
r
Summiert man nun die Momente der einzelnen schichten über die Höhe h des Balkens auf
ergibt sich:
h
1 2
M y = E ∫ z 2 dz b [1.13]
r −h
2
Dieses von der Biegung erzeugte Moment, wirkt also dem Moment entgegen das die Biegung
verursacht. Daraus folgt das wen die Biegung durch ein Biegemoment Mb erzeugt wird, die
Biegung dem Moment Mb ein Moment -My entgegnet, so dass eine Gleichgewichtssituation
entsteht. Wird eine Biegung durch ein Biegemoment Mb erzeugt, so kann man für den
Krümmungsradius r in Gleichgewicht aus Gleichung (Mb = -My) 1-13und 1-8 folgende
Beziehung aufstellen.
1 Mb Mb
=− h/2
=− [1.14]
r E I yy
E ∫ z dz b
2

−h / 2

24
Einleitung

Somit ist der Krümmungsradius r eines unter der Last Mb gebogenen Balkens, abhängig von
seinem E- Modul und einem Flächenträgheitsmomentes Iyy.
In der Mathematik [Sas 32] wird die Krümmung einer Kurve beschrieben durch:

1 w′′( x)
= [1.15]
r (1 + w′( x) 2 )3

Unter Anwendung der Taylor-Entwicklung kann nun, für kleine Auslenkungen w(x) in Bezug
zur Länge l, für den Krümmungsradius die folgende Nähehrung gemacht werden (siehe
Abbildung 1-12).
1
≈ w′′( x) [1.16]
r

Beim Gleichsetzen der Gleichungen 1-14 und 1-16 ergibt sich für kleine Biegungen folgende
Beziehung:
Mb
w′′( x) = − [1.17]
E I yy

Diese Beziehung ist in der Mechanik als Gleichung für die elastische Biegelinie für gerade
Balken bekannt. Sie gibt in guter Näherung die Biegung eines Balkens bei kleinen
Auslenkungen wieder.

1.5.4 Die Feder

Die Grundlage für die Betrachtung jeglicher Federn bildet das oben in Gleichung 1-1 schon
eingeführte Hookesche Gesetz.
In Abbildung 1-14 werden einige Federkennlinien dargestellt, die das Verhalten einer Feder
charakterisieren. Hierbei ist F die Kraft in Newton13, die zur Formänderung der Feder benötigt
wird und s die Stauchung bzw. Streckung in Metern. Da man bei den Kennlinien nicht
zwischen Stauchung und Streckung unterscheidet, ist das Hock´sche Gesetz unabhängig von
der Art bzw. Richtung der Belastung (Druck oder Zug). Die Steigung der Kennlinie entspricht
der Konstanten k aus Gleichung 1-1 und wird nach DIN 2089 als Federrate oder
Federkonstante bezeichnet. Je nach Kennlinienverlauf unterscheidet man zwischen linearen
und nichtlinearen Kennlinienverläufen. Bei den nicht linearen wird zwischen progressiven,
degressiven und Hystereseverläufen unterschieden (Abbildung 1-14 b) u. c)). Die Steifheit
einer Feder erkennt man an der Steilheit der Kennlinie, wobei eine flachere Kennlinie eine
weiche Feder charakterisiert und eine steilere eine härtere Feder beschreibt.
Bei der Beschreibung von Feder die rotatorische Formänderungen vollziehen, wird analog zur
Gleichung 1-1 die Beziehung für Drehfedern wie folgt formuliert:

M = k D ∆ϕ [1.18]

Hierbei ist ∆φ der Verdrehwinkel und kD die Drehfederkonstante.

13
Isaak Newton 1642- 1727 (Hauptwerk: Philosophiae naturalis principia mathematica)

25
Einleitung

F[ N ] F[ N ] F[ N ]
harte Feder progressiv Hysterese

Federarbeit linear

degressiv Verlustarbeit

s [ m] s [m] s [m]
weiche Feder
a) b) c)
Abbildung 1-14 Federkennlinien:
a) Kennlinien zur Steifigkeit einer idealen Feder und die dazugehörige Arbeit
b) lineare und nicht lineare Federn
c) Verlauf einer realen Feder und ihre Verlustarbeit

Die an einer Feder verrichtete Arbeit berechnet sich aus der in Abbildung 1-14 a)
schraffierten Fläche unter der Kennlinie und ist wie folgt definiert:

W feder = ∫ F ds [1.19]

Für lineare Federn wie in Abbildung 1-14 a) gilt folglich:

1 1 F2
Wlin. feder = k ∆l 2 = [1.20]
2 2 k

Für ideale Federn wie in Abbildung 1-14 a) und b) gilt: die Kennlinien für Be- und Entlastung
sind gleich. Daraus folgt, dass die zur Verformung der Feder benötigte Arbeit vollständig
gespeichert (konserviert14) und bei Entlastung vollständig wieder abgegeben wird.
Bei realen Federn ist dies nicht der Fall, da bei genauerer Betrachtung der Kennlinie immer
ein Hystereseverlauf zu erkennen ist (siehe Abbildung 1-14 c). Die Fläche, die von der
Hystereseschleife umschlossen wird, bezeichnet die Arbeit bzw. Energie, die bei der Be- und
Entlastung einer Feder verloren geht (z.B. thermisch).
Die in Gerätebau am häufigsten vorkommenden Federausfürungen sind:

• die zylindrische Schraubenfeder


• die Tellerfeder
• die Biegefeder und
• die Drehstabsfeder.

In dieser Arbeit werden wir uns auf die Betrachtung von Biegefedern beschränken.
Die Biegefeder leitet sich aus der oben betrachteten Balkenbiegung ab. In ihrer einfachsten
Ausführung stellt sie einen Kragbalken dar (siehe Abbildung 1-11 b).
Nach VDI 2252 Blatt 9 [VDI 37] ergibt sich die Federkonstante einer einfachen Biegefeder
aus:

14
Ein System bestehend aus Federn wird daher auch als konservatives System bezeichnet

26
Einleitung

E h3 b
k= [1.21]
12 l
Das an einer Biegefeder maximal zulässige Biegemoment ermittelt sich aus:
h2b
M z = σ zul . [1.22]
6
In diesem Zusammenhang werden im Abschnitt 5.1 die Steifigkeiten von Biegefedern in der
Ausführung als elastische Gelenke näher betrachtet. Die Federwerkstoffe werden in Abschnitt
3.3.2 näher erläutert.

Beim Zusammenschluss von Federn zu einem Federsystem unterscheidet man in der Technik
zwei Schaltungsformen:

• die Parallelschaltung
• die Reihenschaltung.

Die Parallelschaltung, wie in Abbildung 1_15 b) dargestellt, ist dadurch gekennzeichnet,


dass alle Federn den gleichen Weg zurücklegen. Die Gesamtsteifigkeit eines solchen Systems
berechnet sich wie folgt:
n
k ges = k1 + k2 + ... + kn = ∑ ki [1-23]
i =1
Die Reihenschaltung, wie in Abbildung 11-15 a) dargestellt, ist ihrerseits dadurch
gekennzeichnet, dass auf alle Federn die gleiche Kraft einwirkt. Die Gesamtsteifigkeit eines
in Reihe geschalteten Systems berechnet sich wie folgt:

n
1 1 1 1
k ges = + + ... + = ∑ [1-24]
k1 k2 kn i =1 ki

k1

k2 k1 k2 kn

kn F x

F x
a) b)
Abbildung 1-15 Schaltungsformen von Federn: a) Reihenschaltung
b) Parallelschaltung

27
Einleitung

1.6 Aktorik

Was sind Aktoren und wie funktionieren sie? Diese zentrale Frage soll hier beantwortet
werden, wobei der Schwerpunkt auf den in der Positioniereinheit verbauten Piezoaktoren
liegt.
Eine der gängigsten Definitionen des Begriffs „Aktor“ stammt aus der Steuerungstechnik und
besagt, dass Aktoren die Bindeglieder zwischen der Steuerung und dem Prozess an sich sind
[Hüt 13]. Wie in Abbildung 1-16 gezeigt, werden die Prozesse von Aktoren nach
vorgegebenen Programmen gesteuert. Der größte Teil der gängigen Aktore wird elektrisch
angesteuert und wandelt die zugeführte elektrische Energie in mechanische Arbeit um. Der
Aktor lässt sich grob in drei Funktionsglieder unterteilen, die in Reihe geschaltet einen Aktor
bilden.

Sensor

Hilfsenergie Aktor

Programm Energiesteller Energiewandler Getriebe Prozeß


- VHDL - Elektrische Energie - Festkörperwandler - Mechanisch - Positionieren
- C - Chemische Energie - Motoren - Hydraulisch - Greifen
Z.B - LabView - Thermische Energie - Shape Memory Alloy - Adaptive Strukturen - Schließen
- Hardware - Strömungsenergie - Bimetalle - Hybride Systeme - Drehen

Abbildung 1-16 Der Aktor: Aufbau und seine Bedeutung im steuerungstechnischen


Zusammenhang

Die Funktionsglieder sind Energiesteller, Energiewandler und Getriebe.


Unter dem Begriff des Energiestellers verbirgt sich eigentlich nichts anderes, als ein
Leistungsverstärker, mit dem die vom Programm stammenden Steuersignale in
leistungsstarke signalmodulierte Einspeisgrößen für den Energiewandler erstellt werden.
Als Energiewandler werden verschiedene Wechselwirkungen zwischen physikalischen
Größen ausgenutzt, um Energie bzw. Leistung von einer Form (z.B. elektrisch) in die andere
(z.B. mechanisch) zu transformieren.
Das Getriebe wandelt, formt um und überträgt Bewegungen und Kräfte, und somit auch
Energie. Dies kann z.B. über mechanische, hydrostatische oder hybride Systeme geschehen.
Grob gesagt, besteht ein Aktor aus einem Vorverstärker, einem Wandler und einem
Nachverstärker.
Im Allgemeinen beschränkt sich die Anwendung des Wortes „Aktor“ häufig nur auf den
Wandler. So bezeichnet man z.B. einen Piezowandler sehr oft als Aktuator oder Aktor. Nach
der obigen Definition wäre dementsprechend die gesamte Positioniereinheit mit
Vorverstärkern und Stellmechanik als Aktor anzusehen. Zur Beschreibung der Piezoaktoren
in diesem Kapitel wird daher noch zwischen dem Aktor als System und dem Wandler als Teil
dieses Systems unterschieden. In den folgenden Kapiteln wird dann dazu übergegangen, als
Aktor nur den Wandler zu bezeichnen, was in englischsprachiger Literatur durchaus eine
gängige Praxis ist.

28
Einleitung

1.6.1 Piezoaktoren

Die Piezoaktoren15 basieren auf dem inversen piezoelektrischen Effekt16. Legt man nun eine
Spannung an ein Piezokristall an, kommt es zu einer Formänderung, was den Aufbau von
Aktoren erlaubt. Piezoaktoren zeichnen sich in erster Linie durch ihre präzisen Bewegungen
mit Auflösungen im Nanometerbereich aus. Die kurze Ansprechzeit und die damit gepaarte
hohe Stellgeschwindigkeit erlauben darüber hinaus einen dynamischen Betrieb von mehreren
MHz. Die Translations- und Krafterzeugung geschieht bei Piezoaktoren völlig reibungsfrei,
was zu einem verschleißfreien Betrieb im Vergleich zu anderen Aktoren führt. Mit einem
Wirkungsgrad von ca. 60% erzeugen sie schon im Niedervoltbetrieb bei 100 V Kräfte bis zu
1000 N. Diese Eigenschaften machen den Piezoaktor zu einem idealen Energiewandler für
hoch dynamische Positionieraufgaben.
Piezoaktoren gehören zur Klasse der Festkörperaktoren und ihre Eigenschaften leiten sich
somit aus der Festkörperphysik ab.

Die größten Nachteile der Piezoaktoren sind die in Abbildung 1-17 dargestellten Effekte. So
sind Piezoaktoren stark hysteresebehaftet, was dazu führt, dass sie für genaue
Versetzungsaufgaben nur geregelt angewandt werden können. Des Weiteren neigen sie dazu,
bei gleich bleibender Spannung mit zunehmender Zeit ihre Größe zu verändern, was man als
„Kriechen des Aktors“ bezeichnet.

a) b)
(Quelle: Fa. Tokin/NEC)

Abbildung 1-17 Parasitäre Eigenschaften eines Piezoaktors a) Hysterese


b) Kriechverhalten

1.6.1.1 Physikalischer Hintergrund

Der inverse piezoelektrische Effekt tritt in Kristallen auf, die eine Perowskit-Struktur, wie in
Abbildung 1-18 dargestellt, aufweisen. Hierzu zählen unter anderen Stoffe wie Quarz, PZT
und Zinkblende. Perowskit-Strukturen sind kristalline Strukturen, die kein Symmetriezentrum
besitzen und somit anisotrop sind. Dies erlaubt eine Wechselwirkung zwischen angelegter
Feldstärke und der Form des Kristalls.

15
gr. Piezo: ich drücke
16
1880 von Gebrüder Curie entdeckt

29
Einleitung

(Quelle: [Her 11])


Abbildung 1-18 Perowskit- Struktur eines Kristalls

Die Wechselwirkung zwischen elektrischen und mechanischen Zuständen in einem Kristall


bezeichnet man als Piezoelektrizität, sie ist beschränkt auf polarisierte Dielektrika17. In einem
polarisierten Kristall wird durch Anlegen eines elektrischen Feldes ein elektrisches
Dipolmoment induziert, das zu einem Verschieben der positiven und negativen Ionen
gegeneinander führt und so ein Verformen des Kristalls zur Folge hat. Der piezoelektrische
Effekt kann neben seiner Anwendung als Aktor auch als Sensor (direkter piezoelektrischer
Effekt) genutzt werden. Ansätze, in denen Piezoelemente gleichzeitig als Sensoren und
Aktoren genutzt werden, finden sich unter Smarte Aktoren [Jen 15]. Der Piezoaktor
verbraucht nur beim Heben Energie. Da das Aufrechthalten eines elektrischen Feldes außer
einem geringen Leckstrom kaum Strom in Anspruch nimmt, ergibt sich der niedrige
Energieverbrauch und der hohe Wirkungsgrad. Die Curietemperatur ist der Punkt, ab dem in
ferroelektrischen Materialien keine spontane Polarisation mehr möglich ist.
Bei keramischen polykristallinen Materialien, wie z.B. PZT18, muss das Material erst
polarisiert werden. Dies geschieht knapp unter der Curietemperatur unter Einfluss eines
starken elektrischen Feldes. Hierbei werden die ungeordneten Dipolmomente entlang der
elektrischen Feldlinien orientiert.

Der Piezoeffekt ist aufgrund seiner Abhängigkeit von der Kristallgeometrie stark
richtungsabhängig, diese Abhängigkeit wird mit den Indizes i und j beschrieben. Die so
genannten Bravais- Miller- Indizes stammen aus der Kristallographie und orientieren sich an
ein kartesisches Koordinatensystem, in dem wie in Abbildung 1-19 a) gezeigt
definitionsgemäß die Z-Achse mit 3 die Y-Achse mit 2 und die X-Achse mit 1 bezeichnet
wird. Zusätzlich werden die Rotationen um die Z-Achse mit 6, um die Y-Achse mit 5 und um
die X-Achse mit 4 bezeichnet. Wie in Abbildung 1-19 b) dargestellt, werden je nach
Polarisations- und Translationsrichtung verschiedene Teileffekte unterschieden und durch die
Indizes markiert. Dabei orientiert sich der Polarisationsvektor definitionsgemäß in Richtung
der positiven Z-Achse. Wenn i die Richtung des elektrischen Feldes angibt und j die der
Auslenkung, ergeben sich folgende Indizes für die verschiedenen Teileffekte:

33 für den Längseffekt


31 für den Quereffekt
15 für den Schereffekt

So ist z.B. das Piezomodul dij für den Längsdehnungseffekt mit d33 indiziert.

17
Elektrisch isolierendes Material
18
PZT: Blei-Zirkon-Titan

30
Einleitung

d33

d31

d35
(Quelle: [Her 11])
a) b)
Abbildung 1-19 Darstellung der Bravais-Miller-Indizierung und den dazugehörigen
Auslenkungseffekten: a) Bravais-Miller-Indizierung
b) Auslenkungseffekte Abhängig von der
Polarisationsrichtung P

In Tabelle 1-2 werden die wichtigsten piezoelektrischen Werkstoffe aufgezählt. Verglichen


werden die Längseffekte 33 bei folgenden Kennwerten:
Kopplungsfaktor kij: Maß für die Umwandlung elektrischer in mechanische Energie
(geeignet zum Vergleichen von Piezomaterialien).
Permitivitätszahl εij: Fähigkeit, elektrische Ladung zu speichern.
Piezomodul dij: Zusammenhang zwischen aufgebrachter Ladung und resultierender
Dehnung .
Tabelle 1-2 Wichtigste piezoelektrische Werkstoffe (Quelle: [Jen 15])

Werkstoff Kristallstruktur Kopplungsfaktor Piezomodul Permitivitätszahl Curietemperatur


k33 [-] d33 [10-12m/V] ε33 [-] ϑc [°C]
Quarz Einkristall 0,09 2- 7 5 570
PZT Polykristallin 0,15- 0,72 50- 765 300- 4000 180- 400
PVDF Teilkristallin 0,12 20 12 100

1.6.1.2 PZT- Keramiken

Bei den in dieser Arbeit verwendeten Piezoaktoren handelt es sich um Multilayer-PZT-


Keramik-Aktoren. Die Vorteile der keramischen PZT-Piezoaktoren gegenüber Einkristallinen
und Plymerren (PVDF) liegt in vergleichsweise niedrigem Preis (ca. 50 €), der hohen
Stetigkeit, der hohen Dielektrizitätszahl, dem hohen Koppelfaktor (vgl. Tabelle 1-2) und nicht
zuletzt der guten Verfügbarkeit bei den Zulieferern. Zu den oben erwähnten Nachteilen wie
die Hysterse und das Kriechen kommen noch eine starke Materialalterung und ein
Temperaturdriften hinzu. Die handelsüblichen Formen sind:

• Multilayer od. Stapelwandler


• Streifenwandler
• Tubuswandler
• Biegewandler

31
Einleitung

Für die Leerlaufauslenkung eines Multilayerstapelaktors mit Längsausdehnung gilt:

x0 = n ⋅ d33 ⋅U , [1.25]

wobei x0 der vom Stapel erzeugte Hub ist, n die Anzahl der Layers19 angibt, U die am Stapel
angelegte Spannung ist und d33der Piezo-Modul des verwendeten Werkstoffes ist.

Mechanische Eigenschaften von PZT-Stapelaktoren

Da PZT-Aktoren für sich auch als elastische Bauteile gesehen werden können, ist eine
Betrachtung ihres elastischen Verhaltens sehr wichtig. Aufgrund ihres keramischen Aufbaus
kann man von ihrem E- Modul auf ihre Steifigkeit kAktor schließen. Bei der Anwendung von
PZT-Stapelaktoren unterscheidet man folgende Betriebsfälle:

• die Ausdehnung gegen eine konstante Last


• die Ausdehnung gegen eine wegabhängige Last
• die Ausdehnung gegen eine unendlich steife Wand

Bei der Ausdehnung gegen eine konstante Last Fkonst. kommt es aufgrund der Stauchung s des
Aktors zu einer Nullpunktsverschiebung. Aus der Gleichung 1-1 ergibt sich der Betrag ∆l für
die Nullpunktsverschiebung wie folgt:

Fkonst .
∆l = [1.26]
k Aktor

Bei Überschreitung einer kritischen Last ist darüber hinaus zusätzlich mit einem Rückgang
des erzeugten Hubes zu rechnen. In Abbildung 1-20 ist dieser Vorgang für Stapelaktoren
verschiedener Hersteller aufgezeigt. Bei den hier gezeigten Verläufen spielt nur die Last eine
Rolle, das zeitliche Verhalten entspricht dem in Abbildung 1-17 b) gezeigten Kriechverhalten.

a) b)
Abbildung 1-20 Stapelaktoren unterschiedlicher Anbieter unter konstanter Last:
a) Hub des Aktors in µm bei 0 Kg, 4,5 Kg und 9 Kg bei 0,2 Hz
b) Hub des Aktors in µm bei 0 Kg, 4,5 Kg und 9 Kg bei 11 Hz

19
eng. Layer : Schicht. In diesem Fall die Keramikschichten (PZT)

32
Einleitung

Bei der Ausdehnung gegen eine wegabhängige Last, wie es z.B. bei einer Feder mit der
Federrate kFeder der Fall ist, reduziert sich der vom Aktor erzeugte Hub ∆h wie folgt:
k Aktor
∆h = ∆hF = 0 [1.27]
(k Aktor + k Feder )

Hierbei ist l ∆h F=0 der Hub des Aktors im unbelasteten Zustand.


Bei der Ausdehnung gegen eine unendlich steife Wand wird der vom Aktor generierte Hub
gleich Null, und die vom Aktor erzeugte Arbeit wandelt sich komplett in Kraft um. Diese
maximal vom Aktor erreichbare Kraft bezeichnet man auch als Blockierkraft. In Abbildung 1-
21 wird der Zusammenhang zwischen Blockierkraft und Hub dargestellt.

(Quelle: Fa.Tokin/NEC)

Abbildung 1-21 Zusammenhang zwischen Hub und Blockierkraft

Handhabung mit PZT-Stapelaktoren

Bei der Handhabung mit Piezoakoren müssen einige Punkte berücksichtigt werden, um einen
einwandfreien Betrieb der Aktoren zu garantieren.

• Curietemperatur
Die PZT-Keramik darf die angegebene Curietemperatur nicht übersteigen, da sie sonst
depolarisiert und somit an Leistung verliert. Für den Dauerbetrieb wird eine
Betriebstemperatur von 0,5- bis 0,75- fache der Curietemperatur empfohlen [Jen 15] .

• Depolarisationsdruck
PZT- Keramiken können aufgrund des direkten piezoelektrischen Effektes unter
Anwendung mechanischen Druckes depolarisieren. Der dazu benötigte Druck liegt je
nach Sorte zwischen 100 und 150 Mpa weit unter der Bruchgrenze von etwa 700 bis
800 Mpa. Daher muss durch gezielte konstruktive Maßnahmen dies verhindert
werden.

• Zugbelastungen
Wie alle keramischen Werkstoffe, sind auch PZT-Keramiken sehr empfindlich gegen
Zug-, Scher- und Torsionskräfte, sie dürfen somit nur axial belastet werden. So dürfen
PZT- Keramiken unter Zug eine Dehnung von 1‰ nicht überschreiten, andere
Anbieter geben als Wert 20 bis 50% der maximal erzeugten Kraft an. Da Keramiken
gegen Druck unempfindlicher sind, sollten konstruktive Maßnahmen wie eine
Vorspannung vorgesehen werden.

33
Einleitung

• Lebensdauer
Die Lebensdauer von PZT-Keramiken ist abhängig von der Betriebsspannung, der
Temperatur und vor allem der Luftfeuchtigkeit. Hierbei sollte man beachten, den
Aktor nicht mit der maximal angegebenen Versorgungsspannung zu betreiben,
sondern bei Dauerbetrieb mit ca. 50% der empfohlenen Spannung. Bei der Temperatur
sollte man darauf achten, dass der Aktor im Betrieb nicht wärmer, als 40°C wird, da
sonst die Lebensdauer nachlässt.
Das größte Problem für die Aktoren bildet die Feuchtigkeit. Sie diffundiert zwischen
den Elektroden und bringt sie zum Korrodieren. Zwar gibt es mittlerweile speziell
gekapselte Stapelaktoren, aber dieses Problem ist noch nicht vollständig gelöst. Zu
empfehlen ist es daher, die Aktoren so trocken wie möglich zu halten.

34
Designstrategie

2. Designstrategie

Der folgende Abschnitt befasst sich mit der systematischen Herangehensweise an die
Fragestellungen aus Mechatronik und elastischen Mechanik.

2.1 Entwurfsprozess

Abbildung 2-1 Einflussfaktoren auf den Entwurf: Unterteilung in primäre und sekundäre
Faktoren

Beim Entwerfen eines Mechanismus, der ein Teil eines mechatronischen Systems ist, wurde
wie in Abbildung 2.1 dargestellt, zwischen primären und sekundären Einflussfaktoren
unterschieden.
Die primären Einflussfaktoren setzen sich zusammen aus dem Design, der Kinematik, der
Dynamik und den fertigungstechnologischen Aspekten. Hierbei umfasst das Design die
räumlichen Gesichtspunkte, mit denen die Abmessungen des Bauteils eingegrenzt werden.
Die kinetischen Aspekte umfassen die Bewegung des Bauteiles. Die Dynamik umfasst hier
das Schwingverhalten und dessen Auswirkung. Letztendlich muss natürlich auch die
Fertigbarkeit des Bauteils gewährleistet werden.
Neben den primären Einflussfaktoren beeinflussen auch nicht direkt beteiligte Größen den
Entwurf der Mechanik. Dies können sein: Thermik, Elektronik, Messverfahren und
Regelungs- bzw. steuerungstechnische Aspekte. Die Thermik bezieht sich hierbei darauf, dass
die vom Sensor abgegebene Wärme abgeleitet werden kann, darüber hinaus ist bei
verschiedenen Werkstoffpaarungen auf die Kombination der Wärmeausdehnungs-
koeffizienten zu achten. Die Wechselwirkungen mit der peripheren Elektronik ist gerade bei
mechatronischen Systemen sehr groß. Die Art der Wegmessung hat einen Einfluss auf das
Aussehen der Mechanik. Schließlich ist die Frage, ob die Mechanik nur gesteuert oder
zusätzlich geregelt wird, ein entscheidender Faktor für die Güte der Bewegung und somit für
die Auslegung der Getriebestruktur und der Gelenkauswahl. Wie Abbildung 2-1 zeigt, spielen
sich die sekundären Einflussfaktoren nur peripher ab, müssen aber mit größter Sorgfalt
beachtet werden.

35
Designstrategie

2.2 Designstrategie nach Salomon

Wie im Abschnitt 1.5 schon gezeigt, ist im Gegensatz zu klassischen starren Mechanismen
ein Compliant-Mechanismus bei größeren Versetzungen von nichtlinearen konservativen
Eigenschaften geprägt, die sich auf den Wirkungsgrad des Mechanismus auswirken.

Die von Salamon (1989) [Sal 31] vorgeschlagene Designstrategie, wie in Abbildung 2-2
dargestellt, führt eine methodische Vorgehensweise zum iterativen Entwickeln auch
komplexerer Mechanismen vor.
Ausgehend vom Pflichtenheft, werden die für das Design maßgebenden Randbedingungen
definiert und in der Spezifikation dokumentiert. Darauf aufbauend wird ein erster
Mechanismus entworfen, bestehend aus konventionellen Gliedern und Gelenken, und
anschließend analysiert.
Als nächster Schritt werden die elastischen Komponenten definiert und in Form von
Ersatzfedern an den Gelenken angebracht. Das daraus entstandene Modell entspricht einem
Meta-Modell zwischen elastischem und starrem Modell, auch bekant als Pseudo-Rigid-Body-
Mechanismus.
Die konservativen Eigenschaften, die aufgrund der Federgelenke auftreten, können nun mit
guter Nährung in die topologische Auslegung des Mechanismus einbezogen werden. Die
anschließende Analyse gibt Aufschluss, ob der Mechanismus konform mit den geforderten
Spezifikationen ist.
Bei Abweichungen greift die erste iterative Schleife, wobei eine Änderung der elastischen
Gelenke oder die Veränderung der mechanischen Topologie zur Option steht.
Am Ende der Iterationsschleife stehen Designparameter zur Verfügung, die zur Konstruktion
eines elastischen Modells herangezogen werden, was seinerseits einer erneuten Analyse
unterzogen werden muss. Die vollelastische Analyse geschieht numerisch unter Verwendung
eines FEM-Programms (Ansys 7.1). Wobei neben der kinematischen und dynamischen
Untersuchung ein besonderes Augenmerk auf die Spannungsverteilungen innerhalb des
Bauteils in Hinblick auf die Lebensdauer gelegt wird. Im letzten Design-Review wird erneut
die Konformität mit der Spezifikation geprüft und eventuell erneut iterativ nach der Trial-
and-Error Methode20 vorgegangen.

Dieses methodische Vorgehen unter Inanspruchnahme der Pseudo-Rigid-Body-Modelle


macht ein ökonomischeres Entwerfen von elastischen Mechanismen möglich.
Vor allem Pseudo-Rigid-Body-Modelle ermöglichen es, im Voraus eine Topologie zu
designern, in der elastische Verformungseigenschaften berücksichtigt werden und
mathematisch erfasst werden. Die langwierige Trial-and-Error Vorgehensweise, die heute
noch beim Design von Compliant-Mechanismen angewandt wird, verkürzt sich um ein
Wesentliches und erlaubt somit ein schnelleres Entwickeln.

20
engl.: Versuch- und Fehlermethode (Besser bekannt unter der Ausprobiermethode)

36
Designstrategie

Design Spezifikation

Synthese des
Starrkörper- Mechanismus

Definition der elastischen


Strukturen

Pseudo-Starrkörper-
Mechanismus

Analyse des Mechanismus

Nein Ja

Verbesserung durch
Änderung des
Nein Design Review
Pseudo-Starrkörper vgl. mit Spec. und
Modell ? Zwangsbedingungen

OK

Vollelastischer Mechanismus

Analyse des Mechanismus


(FEM Ansys)

Nein Ja

Verbesserung durch
Nein Design Review
Änderung des
vollelastischen vgl. mit Spec. und
Modells ? Zwangsbedingungen

OK

Endgültiges Design

Abbildung 2-2 Vorgehensweise beim Design eines elastischen Mechanismus nach Salamon
(1989) [How 12][Sal 31]

37
Designstrategie

38
Design-Spezifikation

3. Design-Spezifikation

In der Spezifikation werden die Randbedingungen erfasst, die zum Erstellen der Mechanik
notwendig sind. Hierbei unterscheidet man zwischen allgemeinen und technologischen
Randbedingungen.
Die allgemeinen Randbedingungen erfassen alle durch den Auftraggeber vorgegebenen
Größen wie Versetzungsweite und Abtastfrequenz.
In den technologischen Randbedingungen werden die Größen berücksichtigt, die aus den
Aktorkomponenten selbst entstehen, z.B. die den Piezowandler betreffen.

Falls die Vorgaben nicht ausreichend sind, müssen zusätzliche Parameter aus den
vorhandenen Daten extrapoliert werden und in eine für das Design verwertbare Form
gebracht werden.

3.1 Ermittlung der allgemeinen Grundanforderungen

In den allgemeinen Anforderungen werden die Randbedingungen erfasst und charakterisiert,


die vom Auftraggeber gefordert bzw. gewünscht werden.
Die Forderungen, meist nur allgemein formuliert, müssen in quantitative Parameter
umformuliert werden, um eine Bewertung der Zielerreichung zu gewährleisten.
Andrerseits, bilden sie den Ausgangspunkt für die Auslegung des Designs der Mechanik und
grenzen den Entwicklungsraum ab. Die Eingrenzung des Entwicklungsspielraums ist
dahingehend von Bedeutung, da eine Über- bzw. Unterauslegung die Entwicklung und das
Endprodukt unnötig verteuern bzw. die Qualität nicht der gewünschten entspricht.
Eine genaue Erfassung der Forderungen bzw. Wünsche geschieht im Allgemeinen durch das
Lastenheft. Die Umformulierung in die technischen Parameter erfolgt im Pflichtenheft. Beide
sind firmenintern und dürfen im Rahmen dieser Arbeit nicht vollständig veröffentlicht
werden. In der Spezifikation werden die Parameter zusammengefasst, die zur Berechnung
und Auslegung der Mechanik notwendig sind.

3.1.1 Ermittlung der Bildsensorversetzung

Der Ausgangspunkt für die Ermittlung der Maximalversetzung ist zum einen der Aufbau des
Bildsensors und zum zweiten der Aufnahmemodus21.
Der verwendete Bildsensor der FillFactory N.V hat einen Pixelabstand von 8 µm (siehe
Abbildung 1-7), woraus sich für das Microscannen eine Versetzung von 4 µm ergibt. Da der
Bildsensor aber fehlerhafte Pixel aufweist, wird eine Versetzung von 12 µm (1,5 Pixel)
benötigt. Diese zusätzliche Versetzung dient der frequenzunabhängigen Korrektur von
fehlerhaften Pixeln durch Interpolation aus der Umgebung. Zum Tiefpassfiltern wird eine
Kreisbahn (siehe Abbildung. 3.1) mit einem Durchmesser 7 µm durchlaufen. Zusätzlich zu
den o. g. Versetzungen werden noch 8 µm (1 Pixel) zur Registrierung benötigt. Die
Registrierung orientiert sich an den Perforationen am Filmrand und soll gewährleisten, dass

21
Aufnahmemodus: Telecine bzw. HDTV siehe Anhang A

39
Design-Spezifikation

eine Bildregion beim erneuten Scannen mit demselben Pixel wie beim ersten Scannen
aufgenommen wird.
Aus den erwähnten Bedingungen ergibt sich für das Microscannen eine Maximalversetzung
des Sensors von:

Microscann 12 µm
+ Registrierung 8 µm
------------------------------------
max. Versetzung 20 µm

Für das Microscannen einschließlich Tiefpassfilterung (Abbildung 3-1) folgt:

Microscann 12 µm
+ Tiefpass- Radius 7 µm
+ Registrierung 8 µm
----------------------------------
max. Versetzung 27 µm

19 µm

2
7 µm
12 µm

Ø
1 3

4
Abbildung 3-1 Bahn für Microscann mit Tiefpassfilterung

40
Design-Spezifikation

3.1.2 Registrierung und Kalibrierung

Wie im oberen Abschnitt erwähnt, wird für die Registrierung und Kalibrierung des
Filmmaterials eine zusätzliche Verschiebung benötigt. Diese hat neben dem quantitativen
Aspekt noch einen qualitativen, der einen zusätzlichen Freiheitsgrad mit sich bringt. Neben
der Translation in Y- und Z-Richtung soll wie in Abbildung 3-2 dargestellt zur Korrektur des
Bildstandes noch eine minimale Rotation um die X-Achse ermöglicht werden, um eventuelle
Fehlstellungen des Filmmaterials zu kompensieren.
Die Filmstandskorrektur wurde bisher, wie in Abbildung 3-2 a) dargestellt über eine
Glasplatte realisiert. Der an der Glasplatte gebrochene Lichtstrahl wurde durch Verkippen der
Glassplatte so abgelenkt, dass die Fehlstellung korrigiert wurde. Bei der vorgesehenen neuen
Bildstandskorrektur wird die Fehlstellung, wie in Abbildung 3-2 b) angedeutet, durch
Verdrehen des Sensors um die X-Achse und durch Versetzen entlang der Y- und Z-Achse
realisiert.

Lichtstrahl

Glasplatte
∆ϕ y Mx
y

Filmtransport ∆x
z

a) b)

Abbildung 3-2 Filmregistrierung und –kalibrierung:


a) bisherige Filmstandkorrektur
b) Filmstandkorrektur durch Positioniermechanik

41
Design-Spezifikation

3.2 Ermittlung des Dynamikbereiches

Der Dynamikbereich wird von der Belichtungszeit und vom Aufnahmemodus begrenzt. Aus
den Belichtungsmoden ergeben sich die in Tabelle 3-1 tabellierten Belichtungszeiten:
Tabelle 3-1 Belichtungsmoden

Belichtungsmodus Belichtungszeit [ms]


kurze Belichtung 2,4
lange Belichtung 24

Aus den Aufnahmemoden ergeben sich die in Tabelle 3-2 tabellierten Frequenzen:
Tabelle 3-2 Aufnahmemoden

Aufnahmemodus Frequenz [Hz]


Telecine bei 24 Fps 24
Telecine bei 24 Fps RGB 72
Telecine bei 24 Fps IR RGB 96

Bei der RGB-Aufnahme läuft pro Farbe (rot, grün, blau) ein Zyklus durch. Bei der IR-RGB-
Aufnahme kommt zusätzlich noch ein Zyklus für die Infrarotbelichtung hinzu. Dieser Modus
wird für die Archivierung von den Filmaufnahmen benötigt, wo eine Dynamik von 24 Fps22
nicht zwingend notwendig ist.
Bei den ersten Maschinen wird eine Dynamik von 1 Fps RGB verwendet, was einer Frequenz
von 3 Hz entspricht.
Die Auslegung der Mechanik soll aber schon jetzt die Anforderungen der nächsten
Generation erfüllen und somit eine telecine Aufnahme in RGB und Real-Timen mit 72Hz
ermöglichen.

22
FPS: (engl.) Frame pro second; (deu.) Bild pro Sekunde

42
Design-Spezifikation

3.3 Ermittlung der technologischen Grundvoraussetzungen

In den technologischen Anforderungen werden die Randbedingungen erfasst und


charakterisiert, die von den Aktor-Subsystemen (Bestandteilen) ausgehen.
Diese sind aus den Angaben der Hersteller zu entnehmen. Dabei sind neben quantitativen
Parametern auch qualitative Vorgaben, die maßgeblichen Einfluss auf die Gestaltung haben,
zu berücksichtigen. Vor allem bei dem elektromechanischen Wandler sind konstruktive
Maßnahmen für einen zuverlässigen Dauerbetrieb zu beachten.
Diese Maßnahmen müssen hier ermittelt und ebenfalls in technischen Parametern umgesetzt
werden.

3.3.1 Piezo- Wandler

Als Teil des Aktors sind die Anforderungen des Wandlers beim Design der Mechanik zu
berücksichtigen. Bei verwendetem Piezo-Wandler handelt es sich um eine Multilayer-PBZ-
Keramik der Nec/Tokin Corporation, Modell AE0203D16 (siehe Anhang C). Die benötigten
Parameter für das Mechanikdesign wurden dem beigefügten Datenblatt entnommen (siehe
Anhang C, Seite 138)
Tabelle 3-3 Mechanische Daten des Piezowandlers

Parameter Werte
E- Modul 44 [Gpa]
Zugfestigkeit (1/10 der max. Kraft) 20 [N]
Resonanzfrequenz 69 [KHz]
Maximalhub ( bei 150 [V]) 17,4 ± 2 [µm]
Empfohlener Hub ( bei 100 [V] ) 11,6 ± 2 [µm]
Maximale Kraft ( bei 0 [µm] Hub) 200 [N]
Arbeitstemperatur -25°C bis 85° C

Aufgrund der geringen Zugfestigkeit wird vom Hersteller eine Vorspannung auf Druck von
20 bis 50 % der maximalen Kraft vorgeschlagen. Für das Modell AE0203D16 folgt daraus
eine Vorspannung Fv von 40 [N].

3.3.1.1 Ermittlung des Maximalhubes des Piezowandlers unter Vorspannung

Zur Ermittlung des Maximalhubes des Piezowandlers unter Vorspannung wird ein lineares
Modell für den Wandler entwickelt.
Ausgehend von der linearen piezoelektrischen Zustandsgleichung [Jen 15] für die
mechanische Dehnung23 S eines Piezoaktors ergibt sich folgender Zusammenhang:

Sλ = α λE ⋅ ∆ϑ + d ϑj ,λ ⋅ E j + sλϑ,,µE ⋅ Tµ [3.1]

mit ∆ϑ : Temperatur [K]


E : elektrisches Feld [N/C]
T : mechanische Spannung [pa]
α, d, s : Zugehörige Materialkoeffizienten.

23
Anders als in der Mechanik wird die mechanische Dehnung nicht mit ε bezeichnet, sondern mit S. Grund
dafür ist, dass ε bei der Beschreibung von Piezoaktoren für die Permitivitätszahl verwendet wird.

43
Design-Spezifikation

Bei den Indizes λ und µ handelt es sich um eine Tensorindizierung. Aufgrund der Symmetrie
der indizierten Tensoren wird auf die übliche Doppelindizierung Ti,j verzichtet und
stattdessen die einfachere Matrix-Einzelindizierung angewandt. Bei der Einzelindizierung
sind λ = 1...3, z.B. beim Spannungstensor, die Normalspannungen und λ = 4...6 die
Scherspannungen.
Die Indizes im Exponenten geben zusätzlich Auskunft, von welchen physikalischen Größen
die Materialkoeffizienten noch abhängig sind. Insgesamt werden zur Beschreibung eines
Piezoaktors 55 Materialkoeffizienten24 definiert.

Zusammen mit dem vom Hersteller angegebenen Graphen (siehe Anhang B) unter
Vernachlässigung der Hysterese und unter der Annahme des Isothermen Fall ( ∆ϑ = 0), wird
wie in Abbildung 3-3 dargestellt ein stark vereinfachtes lineares Ersatzmodell für den
Piezowandler aufgestellt. In Abbildung 3-3 a) wird schematisch der Betriebszustand des
Aktors aufgezeigt. Hierbei hängt der erzeugte Piezohub h nur von der angelegten elektrischen
Spannung U und der Vorlast Fv ab. Systemtechnisch kann man, wie in Abbildung 3-3 b)
dargestellt, den Wandler als Übertragungsglied ansehen, an dessem Eingang eine elektrische
Spannung U und die Vorspannung Fv sich befinden und als Ausgang der Piezohub h erzeugt.
Das Verhalten des Übertragungsgliedes wird mit dem in Abbildung 3-3 c) dargestellten
mechanischen Ersatzmodell beschrieben. Dabei sind EEp die expansive Einheit und kAktor die
Steifigkeit des Wandlers.

Fv
h
i= const.
Fv EEp k
CAktor
p

~U G(Fv;U) h
U
Piezowandler

a) b) c)
Abbildung 3-3 Ersatzmodell für den Piezoaktor:
a) schematische Darstellung des Piezowandlers unter Vorspannung Fv [N]
b) Systemtechnische Darstellung der relevanten Größen
c) Mechanisches Ersatzmodell für den Piezowandler

Die expansive Einheit wandelt die Spannung in einen Hub um, wobei dies hier als linear
angenommen wird, der Proportionalitätsfaktor ist dabei das Piezomodul d33. Da dieser vom
Hersteller nicht angegeben wird, wird als Proportionalitätsfaktor Ku,h berechnet. Bei einem
geschlossen polarisierten Element, wird für die als linear angenommene Abhängigkeit
zwischen erzeugtem Hub und angelegter Spannung folgender Proportionalitätsfakto Ku,h
angenommen:
∆h 17, 6 ⋅10−6 m m µm
Ku ,h = = = 1.16 ⋅10−7 = 0,116 [3.2]
∆U 150 V V V
24
Die Materialkoeffizienten ergeben sich aus der 10x10 Zustandsmatrix des Piezoaktors. Aufgrund der
Achsensymmetrie der Zustandsmatrix reichen 55 Koeffizienten für die Beschreibung völlig aus. (Siehe [Jen 15])

44
Design-Spezifikation

Für die Abhängigkeit zwischen Hub und angelegter Blockierspannung ergibt sich aus
Gleichung 1-26 für die Proportionalitätsfaktor KPZT folgender Wert:

∆FBlockier 200 N N
K PZT = = −6
= 1.1⋅107 [3.3]
∆h 17, 6 ⋅10 m m

Für die Abhängigkeit zwischen erzeugter Blockierkraft Fp und angelegter Spannung gilt
folgender Proportionalitätsfaktor KF,U:

∆FBlockier 200 N N
K F ,U = = = 1,3 [3.4]
∆U 150 V V

Die Kräftebilanz zwischen angelegter Vorspannkraft Fv und vom Wandler erzeugten Kraft Fp
ergibt die resultierende Kraft FT, die in eine Translationsbewegung übergeführt wird:

FT = Fp − Fv [3.5]
Die resultierende Kraft FT in Abhängigkeit von der angelegten Spannung U ergibt sich aus
folgender Beziehung:
FT (U ) = 1,3U [V ] − Fv [3.6]

Für den Piezohub in Abhängigkeit von der angelegten Spannung U und der Vorspannung Fv
lassen sich nun die folgenden näherungsweisen Abhängigkeiten ermitteln:

hT (U ; Fv ) = FT (U ) K −1PZT = ( K F ,U U − Fv ) K −1PZT = (1,3 U − Fv ) 9,1⋅10−8 [m] [3.7]

In der Literatur findet sich eine Reihe von Ersatzmodelle für Piezowandler [Len 21][Ise 14],
die aber den Rahmen des Geforderten sprengen würde. Für das konstruktive Auslegen der
Mechanik ist das lineare Modell aus Gleichung 3-7 vollkommen ausreichend.

3.3.1.2 Konstruktive Maßnahmen

Konstruktiv ist die Art, wie die Vorspannung aufgebracht wird, zu erörtern. In Abbildung 3-4
werden einige Möglichkeiten dargestellt, um eine Vorspannung anzubringen.

a) b) c)
Abbildung 3-4 Vorspannungsprinzipien: a) Geometrische Vorspannung
b) Federvorspannung
c) Einstellbare Federvorspannung

45
Design-Spezifikation

Die Vorspannung sollte laut Hersteller nicht unter 40 N liegen. Für die Prototypen sollte eine
variable Spannvorrichtung, wie in Abbildung 3-4 c) gezeigt, eingesetzt werden, um im
Versuch die ideale Vorspannung ermitteln zu können. Für die Serienfertigung ist eine
geometrische Vorspannung zu bevorzugen, da sie keiner Einstellung bedarf. Wenn jedoch die
Piezoaktoren in ihren Toleranzen stark abweichen oder nicht immer vom selben Hersteller
bezogen werden können, sollte die einstellbare Variante c) auch für die Serie beibehalten
werden.
Wie aus Abschnitt 1.5 hervorgeht, sind keramische PTZ- Aktoren sehr empfindlich gegen
Quer- und Scherkräfte. Zur Vermeidung von Schäden wird der Piezoaktor von diesen Kräften
entkoppelt. Hierzu werden wie in Abbildung 3-5 b) dargestellt an den beiden Enden des
Aktors zusätzliche Gelenke angebracht, die es erlauben, dass der Aktor in Querrichtung
nachgibt.
Fσ x
F
F

Piezowandler
σx
σy τ xy

a) b) c)
Abbildung 3-5 Scherkraftkompensation: a) nicht erlaubte Spannungsrichtungen
b) Gelenkkompensation
c) Kurvenschleifenersatzmodell

3.3.1.3 Lebensdauerbetrachtung des Piezoaktors

Wie lange ist die Lebenserwartung eines Piezoaktors und wovon hängt sie ab?
Auf einige Aspekte der Lebensdauer wurde schon in Abschnitt 1.6.1.2 eingegangen. Hier soll
anhand einer vom Aktorhersteller angegebenen empirisch ermittelten Formel die Lebensdauer
berechnet werden.

MTTFr = MTTFs Av Ah At [3.8]


Wobei:
MTTFr : die Lebenserwartung in Stunden,
MTTFs: eine Referenzgröße von 500 Stunden,
Av : der Faktor für die spannungsabhängige Alterungsbeschleunigung,
Ah : der Faktor für die feuchtigkeitsabhängige Alterungsbeschleunigung,
At : der Faktor für die temperaturabhängige Alterungsbeschleunigung ist.

Die Korrekturfaktoren ihrerseits errechnen sich folgendermaßen:

3,2
 150 
Av =   [3.9]
 Vr 

46
Design-Spezifikation

4,9
 90 
Ah =   [3.10]
 Hr 

40 −Tr
At = 1,5 10
[3.11]

Hierbei sind:
Vr: die am Piezoaktor angelegte Spannung in [V],
Hr: die relative Feuchtigkeit in der Umgebung des Piezoaktor in [%],
Tr: die am Piezoaktor herrschende Umgebungstemperatur in [°C].

Ausgehend von der Annahme, dass der Scanner 10 Jahre im Betrieb gehalten wird bei einem
16 Stunden-Tag entspricht dies einer zu erfüllenden Lebensdauer von 58400 Stunden.

Tabelle 3-4 Lebensdauer der Piezoaktoren in Stunden bei konstanter Temperatur Tr=40°C
mit variabler Spannung U und relative Feuchte Hr

Hr in [%] 70 50 30 10
U in[ V]
150 1784 9277 113364 24681266
100 6529 33955 414921 90335709
75 16394 85253 1041764 226810634
50 60003 312034 3812952 830147839

Aus der Tabelle 3-4 und der Gleichung 3-10 läst sich schliessen, dass die relative Feuchte den
größten Einfluss auf die Lebensdauer des Piezoaktors hat. Daher wird der Sensor
feuchtigkeitsdicht mit Trocknungsmittel gekapselt. Somit wird erreicht, dass die Aktoren
keine höhere Feuchte als 30% erfahren. Darüber hinaus wird die Ansteuerspannung auf
90 [V] maximal begrenzt, was zu einer Reduzierung des möglichen Piezohubes führt.

47
Design-Spezifikation

3.3.2 Federwerkstoff

Der Wahl des richtigen Werkstoffes kommt gerade bei Mechanismen mit hoher Lebensdauer
und hoher dynamischen Beanspruchung eine zentrale Rolle zu.
Bei einer Lebensdauer von mindestens 10 Jahren (was der Qualitätsphilosophie von ARRI
entspricht) und einer angenommenen 16 Stunden betrieb pro Tag bei einem telecine-RGB-
Belichtungsmodus (72 Hz) ergibt sich eine Lastwechselzahl von ca. ~

72 ⋅ (10 ⋅ 365 ⋅ 16 ⋅ 3600) ≈ 19 ⋅ 109 Lastwechsel

Weitere Anforderungen an das Material sind:

• Passender Wärmeausdehnungskoeffizient (α)


Da verschiedene Materialien miteinander verklebt werden, ist ein Temperatur-
Ausdehnungskoeffizient α von 9 bis 10 µm/K wünschenswert.
• Korrosionsbeständigkeit
• Gute Verarbeitbarkeit
Dies bezieht sich auf die fräsende Bearbeitung, aber vor allem auf die EMD-
Bearbeitung.
• Hohe Dehnbarkeit
Ein guter Anhaltspunkt hierfür ist das Verhältnis aus Dehngrenze und dem
Elastizitätsmodul σ/E, wobei ein großer Wert einen großen elastischen Bereich bei
geringer Krafteinwirkung darstellt
• Eine hohe Dauerbiegewechselfestigkeit

Aus den genannten Eigenschaften fiel die Wahl auf 1.6358 (vgl. Tabelle 3-5).
Ausschlaggebend hierfür war die hohe Dauerbiegewechselfestigkeit von 730 Mpa bei 10
hoch 7 Lastwechseln, die gute Verarbeitbarkeit des Werkstoffes und das gute σ/E-Verhältnis
von 9,2. Werkstoffe aus Titanlegierungen fielen trotz ihrer guten σ/E Verhältnisse aufgrund
ihrer schlechten funkenerosiven Verarbeitbarkeit heraus. Werkstoffe wie CuBe 2 hingegen
waren schlicht zu teuer.
Tabelle 3-5 Kenngrößen von metallischen Werkstoffen

Dichte ρ E-Modul σ 0.2 α σ bW σ/E


Werkstoff -6
[kg/m³] [Gpa] [Gpa] 10 m/k [Mpa] [10-3]

CuBe 2 8,9 127 1,12 - - 10

Ti Legierung 4,4 115 1,4 7,5 420 12,2

1.6358 (Marange Stahl) 8,2 193 1,815 10,2 730 9,4

XC75 (Federstahl) - 210 1,1 - - 5,2

1.4104 (Vergüteter Stahl) 7,7 210 0,45 10 - 2,1

1.8159 (Werkzeugstahl) - 206 1,18 - - -

48
Design-Spezifikation

3.3.2.1 Lebensdauerabschätzung

Für das Werkstück sind folgende möglichen Schädigungen zu berücksichtigen:


• bleibende plastischen Verformungen
• Brüche
• Verschleiß bzw. Materialermüdung
• Korrosion
• fertigungstechnisch bedingte Minderung der Werkstofffestigkeit.

Bei der Charakterisierung von Brüchen wird in der Technik zwischen folgenden Arten
unterschieden:
• Gewaltbrüchen
• Schwingungsbrüchen.

Die Gewaltbrüche sind die Folge einer Überbelastung, die oberhalb der Bruchfestigkeit Rm
liegt. Um diesem Typus vom Materialversagens entgegen zu wirken, muss darauf geachtet
werden, dass der Mechanismus nie einer Belastung >Rm ausgesetzt wird.
Der schwingungsbedingte Bruch tritt dagegen schon bei Beanspruchungen unterhalb der
Bruchfestigkeitsgrenze Rm auf. Die Ursachen hierfür sind sich ständig wiederholende
Belastungen, die eine plastische Verformung im mikroskopischen Bereich an der Oberfläche
des Werkstoffes zur Folge haben. Dabei können Versetzungen an der Oberfläche lokal
austreten und somit zur Mikrorissbildung und folglich zur Ermüdung des Mechanismus
führen. Wie man sehen konnte, haben die durch Wechselbelastungen bedingten Risse ihren
Ursprung an der Oberfläche des Werkstückes. Diese Rissausbildung an der Oberfläche kann
daher stark durch fertigungstechnisch bedingte Oberflächenstruktur, wie sie beim Fräsen oder
Erodieren entstehen, gefördert werden. So geben raue oder grob bearbeitete Oberflächen
Keime zur Entstehung von Mikrorissen. Diese Keime findet man gehäuft da, wo lokale
Gebiete auf der Oberfläche einen relativ hohen Spannungsgradient aufweisen. Wie man in
Abschnitt 6.2 sehen kann, ist die Oberfläche von EMD bearbeiteten Werkstücken durch eine
kerbige Struktur gekennzeichnet. Solche Oberflächen bieten ideale Ausgangspunkte für die
Ausbreitung von Ermüdungsbrüchen und muss folglich etwas genauer unter die Lupe
genommen werden.
Gerade beim Design von Federgelenken ist darauf zu achten, dass die Übergänge zwischen
Gelenke und Gliedern nicht zu scharf sind, da wie in Abbildung 3-6 gezeigt an diesen Stellen
Spannungsspitzen auftreten.

Abbildung 3-6 Spannungsspitzen an scharfen Übergängen

49
Design-Spezifikation

Hierbei haben statisch auftretende Belastungen bei zu scharfen Übergängen, wie z.B. bei
scharfen Kerben, nur einen sehr geringen Einfluss auf die Festigkeit, wobei hingegen
dynamische Beanspruchungen umso fatalere Auswirkungen an solchen Lokalitäten haben.
Einer Abschätzung der Lebensdauer unter Berücksichtigung dieser Faktoren kommt bei
dynamisch hoch Beanspruchten Systemen eine zentrale Bedeutung zu. Nur so kann
gewährleistet werden, dass der Mechanismus den gewünschten Lebenszyklus mit hoher
Wahrscheinlichkeit unbeschadet übersteht.
Um einen Mechanismus bezüglich seiner Lebensdauer auszulegen, werden zwei Arten von
dynamischer Belastung unterschieden:

• stochastisch auftretende Belastungen


• periodisch auftretende Belastungen.

Für unseren Anwendungsfall beschränken wir uns auf die Untersuchung von periodisch
wiederkehrenden Belastungen, da sie beim Microscannen überwiegen. Sehr anschaulich ist
das Verhalten von Werkstoffen unter periodischen Belastungen an den so genannten Wöhler-
Kurven zu beobachten. Die Wöhler- Kurven geben den Zusammenhang zwischen den
ertragbaren Lastwechselzahlen (LW) und den zugehörigen Oberspannungen σo wieder (siehe
Abbildung 3-7).

(Quelle: [Sip 35])

Abbildung 3-7 Wöhler- Kurve eines Metalls

Die in Abbildung 3-7 dargestellte Wöhler- Kurve lässt sich in drei Sektoren einteilen:

I. der Kurzfestigkeitsbereich (bis ca. ~ 104 Lastwechsel)


II. der Zeitfestigkeitsbereich (bis ca. ~ 107 Lastwechsel)
III. der Dauerfestigkeitsbereich (ab ca. ~ 107 Lastwechsel).

Für eine hoch dynamische beanspruchte Mechanik muss daher gewährleistet werden, dass die
maximal zulässigen mechanischen Spannungen an den Federgelenken unter denen im
Dauerfestigkeitsbereich bleiben.
Weitere Einflussfaktoren, die sich auf die Festigkeitsbereiche auswirken, sind zum Beispiel:
• Die Bauteilgröße.
So haben größere Bauteile bei gleicher Belastung eine geringere Lastwechselzahl, als
kleinere (aufgrund der größeren Oberfläche)
• Einfluss von Kerben.
So ist bei weicheren (nicht spröden) Werkstoffen der oben erwähnte negative Einfluss
von Kerben geringer. Dies ist dahingehend wichtig, da eine Erhöhung der
Werkstoffsteifigkeit keine Erhöhung der Schwingfähigkeit mit sich bringt.

50
Design-Spezifikation

Dies führt dahin, dass zur Gewährleistung der Lebensdauer bei der Festlegung der zulässigen
Spannungen in Dauerbetrieb ein Sicherheitsfaktor zugeschlagen werden muss. Der
Sicherheitsfaktor richtet sich hierbei entweder an die maximal zugelassene Spannung
(Dauerfestigkeit) oder an die maximal zugelassenen Lastwechsel (Zeitfestigkeit). Bei der
Dauerfestigkeit wird bei bekannter Beanspruchung ein Sicherheitsfaktor [Sip 35] von

σ zul .
S= ≈ 1, 2...1, 5 [3.12]
σ Betrib

empfohlen. Bei Rücksprache mit dem Werkstoffhersteller25 und unter Berücksichtigung der
funkenerosiven (EMD) Fertigung wurde ein Sicherheitsfaktor von

S =3
gewählt.
Für die maximal zulässige Spannung im Betrieb folgen

σ zul . 730 Mpa


σ Betrieb = = = 243 Mpa [3.13]
S 3

3.4 Spezifikationsparameter

Aus dem vorhergegangenen Betrachten lassen sich folgende Parameter bestimmen:

Da der vom Piezo-Wandler erzeugte Hub hPiezo kleiner ist, als der für die Sensorversetzung
hSensor benötigte, ist eine mechanische Verstärkung mit einem Verstärkungsfaktor Ü
(Übersetzung) wie folgt notwendig:

Ausgang h Sensor 27µm


Ü= = = ≈3 [3.14]
Eingang h Piezo 8,5µm

Dieser Wert ist für die Kombination aus Tiefpassfilter und Microscann gedacht.

Die Freiheitsgrade des Mechanismus setzten sich zusammen aus zwei translatorischen und
einem rotatorischen, woraus sich F = 3 Freiheitsgrade für die Mechanik ergeben.

Der Dynamikbereich befindet sich zwischen 4 Hz und 72 Hz.

Beim Piezowandler ist darauf zu achten, dass er permanent unter Druck gehalten wird, hierfür
ist eine Vorspannvorrichtung zu konstruieren.

Für den Werkstoff 1.6358 ist eine maximal zulässige Spannung von σzul = 243 Mpa
vorgesehen.

In der Tabelle 3-6 werden die wichtigsten Anforderungen an die Mechanik noch einmal
übersichtlich zusammengefasst.

25
Fa. Vakuum Schmelze (später die Fa. Böhler)

51
Design-Spezifikation

Tabelle 3-6 Zusammenfassung der wichtigsten Anforderungen an den


Positioniermechanismus

Anwendung Anforderung Beschreibung


Kinematik Mindestens 3 FHG Mind. zwei translatorische in
X- und Y-Richtung und
eine rotatorische um die Z-
Achse
Stabil gegen Längskräfte Darf sich nicht unter seinem
Gewicht verbiegen
Dynamik Hohe Steifigkeit Durch parallel angeordnete
Federgelenke
Geringe Masse Erhöhung der Eigenfrequenz
durch Minimierung der
Trägheit
Geometrie Kompakte Bauweise Falten der Strukturen
Fertigung EMD- kompatibel Da firmeninterne Ressourcen
ausgenutzt werden sollen
Werkstoff Werkstoff mit hoher Mechanik muss mehrere
Dauerbiegewechselfähigkeit Milliarden Lastwechsel
aushalten

52
Getriebetopologie

4. Getriebetopologie

Die kinematische Kette ist eine geeignete Abstraktionsform zur systematischen Erzeugung
von Getriebemechanismen. Sie beschränkt sich nur auf dem strukturellen Zusammenhang der
Glieder, gibt aber keine Auskunft über die Funktion der Glieder. Die kinematische Struktur
dient beim Positionieren vor allem der Bewegungsübertragung. Zusammen mit dem Aktor hat
die kinematische Struktur einen wesentlichen Einfluss auf die Eigenschaften des
Gesamtsystems. Die zu klärende Punkte in diesem Zusammenhang sind:

• der Verlauf der Koppelkurve in der Ebene,


• die Art des Getriebes.

Hierzu wird das Getriebe in seine Submechanismen unterteilt:

• der Anordnung der Aktoren,


• dem Führungsmechanismus und
• dem Übertragungsmechanismus.

Der Übertragungsmechanismus sorgt für die Übertragung von Bewegungen und Energie,
wobei er bei Bedarf sie verstärkt bzw. wandelt. Der Führungsmechanismus hingegen dient
der Führung des Sensors entlang der vorgesehenen Bahn. Die Anordnung der Aktoren ist für
die Stabilität und mögliche Einflussnahme bzw. Korrektur der Bahn von Bedeutung. Die
Entwicklung eines Starkörpermechanismus verläuft im Wesentlichen in zwei Schritten ab:

• der Synthese der topologischen Struktur und


• der Maßsynthese.

Bei der Synthese der topologischen Struktur werden die Getriebetypen ausgewählt, deren
Topologie die gewünschten Freiheits- und Laufgrade erfüllen. Bei der anschließenden
Maßsynthese werden die Abmessungen des Getriebes festgelegt, so dass es den
Anforderungen der Spezifikation entspricht.
In der ersten Hälfte dieses Abschnittes werden die Teilaspekte der Aktoranordnung der
Führung und der Übertragung betrachtet, wobei mit Hilfe von Konstruktionskatalogen die in
Frage kommenden feinwerktechnischen Konstruktionsprinzipien und Getriebetypen
ausgewählt werden. Anschließend werden die einzelnen Prinzipien kombiniert und zu einer
geschlossenen kinematischen Kette zusammengefügt.
Im zweiten Teil wird die erzeugte Kette analysiert und iterativ auf die geforderten
Anforderungen angepasst.

4.1 Anordnung der Aktoren

Die Freiheitsgrade bzw. der Laufgrad eines Mechanismus entspricht im Wesentlichen der
Anzahl der benötigten Aktoren, um einen Zwangslauf in den gewünschten Richtungen zu
gewährleisten.
In Designspezifikation werden 3 Freiheitsgrade gefordert, die sich aus 2 Translatorischen in
X-Y-Richtung und einen Rotatorischen um die Z-Achse zusammensetzen.

53
Getriebetopologie

Aus der reinen Laufgradbetrachtung heraus ist der Zwangslauf und somit die Anforderung
aus der Spezifikation mit drei Aktoren erfüllt. Mögliche Anordnungen der Aktoren sind in
Abbildung 4-1 dargestellt. Hierbei sind als Pfeile die Aktoren und ihre Versetzungsrichtung
darstellen. Die strichgepunkteten Pfeile stellen die Rotation dar, wobei die verursachenden
Piezoaktoren farblich hervorgehoben sind.

Y
Z
(a) (b) (c) (d) (e)

Abbildung 4-1 Aktoranordnungen: a) Zweiaktorbetrieb b) c) d) Dreiaktorbetrieb


e) Vieraktorbetrieb

Für die Translation entlang der X- und Y-Achse wird jeweils ein Aktor benötigt. Die
zusätzliche Rotation um die Z-Achse kann, wie in Abbildung 4-1 b) und c) dargestellt, durch
einen zusätzlichen Aktor entlang einer der beiden translatorischen Achsen oder wie in
Abbildung 4-1 c) durch einen Aktor quer dazu realisiert werden. Bei der in Abbildung 4-1 b)
und c) dargestellten Variante wird eine Verdrehung um die Z-Achse durch entgegengesetztes
Ansteuern der parallel gegenüberliegenden Aktoren hervorgerufen. Bei der Anordnung in
Abbildung 4-1 d) wird die Verdrehung um die Z-Achse durch einem schräg angeordneten
Aktor hervorgerufen.
Aus früheren Untersuchungen, die an Mechaniken durchgeführt worden sind, die nur für das
Microscannen ohne dynamischen Tiefpass ausgelegt waren, konnten folgende Erkenntnisse
gewonnen werden:
Bei der in Abbildung 4-2 a) dargestellten Mechanik mit nur zwei Freiheitsgraden wurden die
Zwangsläufe durch zwei Aktoren (hellgrün) mit der Anordnung aus Abbildung 4-1 a)
realisiert.

a) b)

Abbildung 4-2 Referenzmechaniken: a) im Zweiaktorbetrieb (BMA02a)


b) im Vieraktorbetrieb (BMA02b)

Bei Messungen stellte sich aber heraus, dass eine ungewollte Verkippung des Sensors um die
Z- Achse zu beobachten war. Die Ursache hierfür ist wahrscheinlich eine ungleichmäßige

54
Getriebetopologie

Verteilung der Formänderungsenergie auf die verschiedenen Gelenke des Mechanismus. Die
daraus folgenden unterschiedlichen Auslenkungen der Glieder waren die Ursache für das
Verkippen. Als Konsequenz wurde die Aktoranordnung symmetrisch, wie in Abbildung 4-1
e) konzipiert. Die daraus hervorgegangene Vieraktormechanik aus Abbildung 4-2 b) konnte
das Verkippen des Bildsensors nicht nur kompensieren, sie war darüber hinaus auch in der
Lage eine Verdrehung gezielt zu erzeugen. Zur Verdrehung wurden die Aktoren wie in
Abbildung 4-1 b) und c) schon gezeigt gegeneinander angesteuert.

Aus dieser Erfahrung heraus wird für den Entwurf des Mechanismus eine symmetrische
Anordnung der Aktoren gewählt, was auf einen Vieraktorbetrieb (Abbildung 4-1 e)) führt.

4.2 Führungsprinzipien

Da die Aktoren, in unserem Fall Piezowandler, nur translatorishe Verschiebungen erzeugen,


muss die Translation zum einen auf das gewünschte Objekt übertragen, zum anderen in die
gewünschte Bahn gelenkt werden. Diese Aufgabe übernehmen die Führungsgelenke.
Schon bei der Wahl des Führungsprinzips sollte neben den klassischen (starren)
kinematischen Ketten auch elastische in Betracht genommen werden. Eine gute Hilfe sind
hierfür Lösungskataloge [Bre 4][VDI 37], wo schon bewährte Konstruktionselemente aus der
Feinwerktechnik entnommen werden können.
In Abbildung 4-3 werden einige technologisch realisierbare Federführungen für die benötigte
Translation dargestellt, wobei die gewünschte Translation um ∆y durch eine Kraft F erzeugt
wird.
Bei der Federabstützung handelt es sich um eine Versteifung der Feder in einem
vorgegebenen Bereich. Hierdurch können der Feder diskrete Drehpunkte bzw. Drehpole
zugewiesen werden.

Fy ; ∆y Fy ; ∆y Fy ; ∆y

∆x ϕz ∆x ϕz

a) Biegefeder b) Parallelführung c) Membranfürung


(Vierblattführung)
Federabstützung
y Fy ; ∆y Fy ; ∆y
∆x ϕz

x
z
d) Parallelführung e) Parallel Geschaltete
mit Federabstützung Parallelführung mit Federabstützung
(Vierblattführung mit Federabstützung)

Abbildung 4-3 Federführungsprinzipien

Die Güte des Verlaufs ist daran zu messen, ob neben der Versetzung um ∆y auch eine
unerwünschte Versetzung um ∆x bzw. eine Rotation (Verkippen) um ϕz vorhanden ist. Bei
der Wahl des geeignetsten Führungsprinzips ist neben der Verlaufgüte auch die dynamische
Güte zu berücksichtigen. So haben sowohl die Parallelführung aus Abbildung 4-3 b) als auch

55
Getriebetopologie

die Parallelführung mit Federabstützung aus Abbildung 4-3 d) eine hohe Verlaufsgüte
bezüglich der Gradenführung, jedoch einen schlechte dynamische Güte.
Die zur Abbildung 4-3 dazugehörigen Beziehungen bezüglich der Güte der Bewegungstreue
finden sich in Tabelle 4-1. Hier wird die Bahnkurve als die Funktion der Form f(x)-> y
angegeben. Die Güte der Führung wird als Abweichung von der Geraden angegeben. Die zur
Auslenkung benötigte Kraft wird als Funktion der Federgeometrie angegeben. Die Quer- und
Scherkräfte werden als resultierende der Kraft angegeben.
26
Tabelle 4-1 Zeigt die Güte der in Abbildung 4-3 dargestellten Führungen [Bre 4]

Da die zu entwickelnde Mechanik nicht nur eine Bahnkontur durchläuft, ist eine
Getriebestruktur alleine nicht ausreichend. Die Erweiterung auf beliebige ebene
Bahnkonturen wird durch Überlagerung von zwei translatorischen Bewegungen erreicht. Mit
Hilfe eines Positionsmesssystems wird die momentane Lage des Sensors erfasst und mit einer
geregelten Steuerungssoftware die gewünschte Bahnkontur durchlaufen.

26
Achtung Koordinatensystem nicht konform mit dem in dieser Arbeit angewandten System (x, y- Richtung
vertauscht).

56
Getriebetopologie

4.3 Übertragungsprinzipien

Wie schon in Abschnitt 3.4 erläutert, reicht der vom Wandler erzeugte Hub nicht aus, um die
benötigte Sensorversetzung zu gewährleisten. Somit ist eine Verstärkung des Hubes um
mindestens Faktor 3 notwendig.
Bei der Wahl der Stellwegvergrößerung stehen mehrere Konstruktionsprinzipien zur
Auswahl, in Tabelle 4-2 wird eine kleine Übersicht über mögliche Prinzipien geben.

Tabelle 4-2 Übertragungsprinzipien in der Feinwerktechnik

Übertragungsprinzipien Beschreibung Beispiele


Mechanische Siehe Beispiele • Gelenkgetriebe (Hebelarm)
• Zahnrad
• Schraubgetriebe
• Kurvengetriebe
Adaptive Aktor als Teil der Führung Bimorphe Aktormechanismen

Wegen der niedrigen Ansprechzeit und des geringen konstruktiven Aufwands, beschränkt
sich die Betrachtung auf mechanische Stellwegvergrößerungen [Jen 15]. Untersucht werden
die in Abbildung 4-4 dargestellte Varianten.

La

Le Le he
ha
he ha he a
La ha

b
a) b) c)
Abbildung 4-4 Mechanische Verstärkungsvarianten: a) der einseitige Hebel
b) der beidseitige Hebel c) das Parallelogramm

Die in Abbildung 4-4 a) und b) gezeigten Varianten basieren auf dem Prinzip des
Hebelarmes, wobei a) einen einfachen und b) einen beidseitigen Hebelarm darstellen. Die
Übertragungsfunktion ergibt sich für kleine Stellwege aus:

La
γz = . [4.1]
Le
Für die Kräfteübertragung ergibt sich:
Le −1
γF = =γz . [4.2]
La

57
Getriebetopologie

γF weist ein entgegengesetztes Verhalten zu γz auf, was auch die Grenze des Möglichen vor
Augen hält. Dabei nimmt die zur Auslenkung der Gelenke benötigte Kraft mit größer
werdender Stellwegübersetzung umgekehrt proportional ab. Gerade bei Federgelenken, wo
zur Auslenkung Kraft benötigt wird, macht sich dieser Effekt nachteilig bemerkbar.
Die in Abbildung 4-4 c) dargestellte Dreiecksanordnung von Aktor und Viergelenkskette
erzeugt ihre Stellwegvergrößerung über die Verlängerung der Hypotenuse (Aktor) im Dreieck
und ist umso höher, je flacher die Hypotenuse gegenüber der Gegen- und Ankatete liegt. Für
die Übertragungsfunktion gilt:

b2
γ z = 1− 2
, [4.3]
Le
wobei Le 2 = a 2 + b 2 ist.

4.4 Topologiesynthese

Wie kann man nun ein Getriebe synthetisieren?


Bei der Synthese von Getriebestrukturen unterscheidet man zwischen drei Arten von
Getriebegenerierung:

• der Bewegungsgenerierung
• der Funktionsgenerierung
• der Bahn bzw. Pfadgenerierung

Für welches der Prinzipe man sich entscheidet hängt von der Problemstellung ab. Bei der
Bewegungsgenerierung sind die absoluten und relativen Lagen der Ebenen gegeben. Bei der
Funktionsgenerierung ist ein gewünschter Zusammenhang zwischen Eingangsgröße und
Ausgangsgröße gegeben. Bei der Pfadgenerierung ist eine bestimmte Koppelkurve zu
durchlaufen.
In unserer Problemstellung werden alle drei Arten der Generierung gefordert. Wobei die
Pfadgenerierung nur zum Teil angewandt wird, da wie in Abschnitt 4.2 schon beschrieben,
die eigentliche Bahngenerierung durch Überlagerung zweier geraden Führungsbahnen von
der Steuerung übernommen wird.
Die Synthese der Getriebetopologie geschieht im Wesentlichen durch Superposition mehrerer
Einzelprinzipien. Wie in Abbildung 4-5 dargestellt, werden die in den vorhergehenden
Kapitel ausgewählten Konstruktionsprinzipien miteinander zu einer geschlossenen
kinematischen Kette kombiniert.

+ + =
Abbildung 4-5 Superposition konstruktiver Elemente

58
Getriebetopologie

Bei Betrachtung des Laufgrades F des Mechanismus ergibt sich nach Grübler[Wal 38]:
g
F = b( n − 1 − g ) + ∑ f i [4.4]
i =1
mit
b = 3(für ebene Mechanismen b=3, für räumliche Mechanismen b=6)
n = 10 (Anzahl der Glieder)
g = 14 (Anzahl der Gelenke)
g

∑f
i =1
i = 14 (Summe der Freiheitsgrade der einzelnen Gelenke)

ein Laufgrad von F = -1 für den in Abbildung 4.6 a) dargestellten Mechanismus.


Aus Symmetriegründen wurde nur der Teil des in Abbildung 4-5 generierten Mechanismus,
untersucht, der die Translation in X- Richtung verursacht.
Wie sich hier zeigt, ist der Mechanismus einfach überbestimmt und lässt sich folglich nicht
mit den Mitteln der starren Kinetik analysieren. Der Grund für die Überbestimmung des
Mechanismus liegt in der elastisch gelagerten Vierblattfederführung. Bei Einführung zweier
zusätzlicher Freiheitsgrade als Folge der elastischen Nachgiebigkeit an den
Führungsgelenken, wie in Abbildung 4-6 b) angedeutet folgt, ein Laufgrad von F = 1.
Für die folgende kinematische Analyse wird aus Symmetriegründen nur der in Abbildung 4-6
c) dargestellte Teil der Mechanik betrachtet.

K K
Bildsensor

a) b) c)
Abbildung 4-6 Auflösung der Mechanik in ihren Grundtopologien:
a) kinematische Kette für die Versetzung in X-Richtung
b) Kette aus (a) mit zusätzlichen Freiheitsgraden aus der elastischen
Nachgiebigkeit der Führungsgelenke
c) Grundtopologie der Getriebestruktur

59
Getriebetopologie

4.5 Analyse der Kinematik


Bei der kinematischen Analyse werden die Lage, Geschwindigkeit und Beschleunigung der
Glieder einer kinematischen Kette berechnet. Hierbei beschränken wir uns auf die
Betrachtung von ebenen Koppelgetrieben mit einwertigen Drehgelenken mit nur einem
Freiheitsgrad. Die Kinematik eines geschlossenen Getriebes ist bekannt, wenn alle
Lagewinkel der Glieder und deren Ableitungen bekannt sind. Zur Berechnung dieser Größen
werden folgende Methoden angeboten:

• die analytisch iterative Methode


• die Modulmethode nach VDI 2729
• die Lösung über Matrizengleichungen
• die grafisch konstruktive Methode

Die grafische Methode eignet sich nur für einfache Mechanismen, sie wird aber bei
komplexeren Systemen schnell unübersichtlich. Die Lösung über Matrizengleichungen ist
aufgrund des hohen Abstraktionsgrades unanschaulich und lässt sich kaum per Hand
bewältigen. Eine Alternative sind MKS-Programme, die im Hintergrund mit
Matrizengleichungen arbeiten, bieten aber auf der Oberfläche eine graphische Umgebung an.
Die Modulmethode nach VDI 2729 bietet kochbuchartige Lösungswege für eine Reihe
gängiger Grundmechanismen an. Bei der analytischen Iterationsmethode [Pit 29] wird die
kinematische Kette durch eine Vektorkette ersetzt. Ausgehend von der Schließbedingung für
geschlossene Gliederketten [Wal 38], ergibt sich eine Reihe von nichtlinearen Gleichungen
mit den Lagewinkeln als Unbekannte. Die unbekannten Winkel werden nacheinander iterativ
bestimmt. Der Vorteil dieser Methode ist zum einen die Anschaulichkeit, die ein tieferes
Verständnis für den Mechanismus zulässt, zum anderen die universelle Anwendbarkeit auf
alle Getriebe.
Wegen des besseren Verständnisses wird auf die Darstellung mit Vektoren zurückgegriffen.
Diese Darstellung erlaubt darüber hinaus auch die Implementierung des Piezoaktors in Form
einer Vektorfunktion. Ein zusätzliches mechanisches Ersatzmodell für den Piezoaktor wie
z.B. durch einen Zweischlag ist somit nicht mehr nötig. Für den Piezoaktor wird folgender
Zusammenhang als Vektorfunktion rA0 A ( ∆h ) definiert (siehe Abbildung 4-7 und 4-8):
rA0 A = l p + ∆h(U )
 cos ϕ II , I  [4.5]
rA0 A = ( l p + ∆h ) ⋅  
 sin ϕ II , I 

Hierbei ist die Länge des Vektors rA0 A abhängig von der Länge lp des Piezoaktor (siehe
Anhang 2) im elektrisch ungeladenen Zustand und vom Hub des Aktors ∆h im geladenen
Zustand unter einer Spannung U.
Zur Minimierung des Schreibaufwandes wird die Vektorkette in der Gauss`schen
Zahlenebene als komplexer Term dargestellt. Hierzu werden die folgenden aus der
komplexen Vektoralgebra bekannten Umrechnungen angewandt:

 cos ϕ  iϕ
r = l ⋅  = l ⋅ (cos ϕ + i ⋅ sin ϕ ) = l ⋅ e
 sin ϕ  [4.6]
l = r = rx 2 + ry 2

60
Getriebetopologie

Hierbei sind die kartesischen Koordinaten in Polarkoordinaten zu transformieren.


Bei dem im Abschnitt 4.4 eingeführten Mechanismus handelt es sich um eine starre ebene
Struktur mit drei Systemfreiheitsgraden F = 3. Auf Grund der im Prinzip gleichen Topologie
der X- und Y- bewegungserzeugenden Modalitäten ist eine Analyse der Kinematik für nur
eine Modalität ausreichend. Des Weiteren lässt sich die kinematische Analyse aufgrund der
symmetrischen Anordnung der Aktoren weiter vereinfachen und die Überbestimmtheit der
Führung (vgl. Abschnitt 4.4) umgehen. Als unabhängige Koordinate soll der vom Piezoaktor
erzeugte Hub ∆h angenommen werden, woraus sich die Abhängigkeit f(∆h) für die restlichen
Koordinaten ergibt. Ausgehend von ∆h soll die Position sämtlicher Getriebeglieder bestimmt
werden.
Bei dem in Abbildung 4-7 dargestellten Mechanismus handelt es sich um eine geschlossene
kinematische Kette, bestehend aus sieben Gliedern. Der Mechanismus lässt sich grob in zwei
Subsysteme unterteilen, bestehend aus einem Hebermechanismus als Stellsystem und einem
Viergelenkgetriebe als Führungssystem (vgl. Abschnitt 4.2 u. 4.3).
C0 C
ϕIV ,V ϕV ,VI
V
I ϕV , I B0
IV E E
A ϕIII , I
ϕII ,III ϕIII ,IV K
III C VI
∆h B D
VI B IV V
I Cp K rD0
II I III rc0
EEp A VII
B0 C0
rB0
l p + ∆h I
II A0 D0
A0 ϕII ,I

I
ϕVII ,I VII ϕVI ,VII

D0 D
a) b)
Abbildung 4-7 Die mit einem Aktor II angetriebene Antriebseinheit mit einem Freiheitsgrad:
a) Positioniermechanismus
b) Zugehörige kinematische Kette

Ausgehend von den drei Schließbedingungen für geschlossene kinematische Ketten an den
Punkten B0, C0 und D0 folgt:

 rx   rx   rx 
rB0 =   = 0 rC0 =   = 0 rD0 =   = 0 .
 ry   ry   ry 

Durch die drei Schließbedingungen bleibt nur noch eine unabhängige Koordinate zu besetzen
(1 FHG). Mit dem Piezohub ∆h als unabhängige Koordinate lassen sich die Winkelstellungen
sämtlicher Glieder explizit aus der Schließbedingung ableiten. Hierzu werden die
Koordinaten der Auflager A0, B0, C0, und D0 als Bestandteile des Gestells I (siehe
Abbildung 4-7 b) als gegeben angenommen. Zur Berechnung der Vektorketten rB , rC0 und
0

61
Getriebetopologie

rD0 aus der Schließbedingungen werden die Ortsvektoren für A, B, C, D, E und des
Koppelpunktes K bestimmt. Des Weiteren werden die zu den Gliedern i II bis VII
zugehörigen Lagewinkel φi,I relativ zum Gestell I bestimmt. Die Winkel der
Gelenksverdrehung werden mit τj bezeichnet, wobei der Index j das Gelenk angibt (z.B. τA für
die Verdrehung des Gelenkes A). Diese Konvention dient der übersichtlicheren Zuordnung
der Gelenke. Die Gelenksverdrehungen τj ergeben sich aus den Lagewinkeln φ der Glieder
zueinander; sie sind für Berechnungen in anschließenden Kapiteln (siehe Abschnitt 5) von
Bedeutung und werden daher auch ermittelt. Die Berechnung des Koppelpunktes K bezieht
sich auf die Mitte des Sensors und gibt Auskunft über den Bahnverlauf des Sensors.

Betrachtung der ersten Übersetzungsstufe (aus der ersten Schließbedingung ):

ϕ III , I A
A′ rAB0 = l1
ϕ III , II
rAB0 ϕ III , I III
A Ψ B0 B0
III
II rA0 A = (l p + ∆h)
B0
rA rA0 A rA0 B0
II Ψ A0 rA0 B0 = l A0 B0
rB0
ϕ II , I
rA0 A0
A0
y

x
z a) b)

Abbildung 4-8 Kinematische Kette des Stellglieds a) Vektorkette b) Hilfsfigur A0 B0 A

Für den Punkt A gilt der in Abbildung 4-8 a) dargestellte vektoriele Zusammenhang mit rA0 A
als Vektor des Pizoaktors:
rA0 A = ( l p + ∆h ) e II ,I .

Für den Vektor rA bezüglich des Intetialsystems folgen:

rA = rA0 + rA0 A = rA0 + ( l p + ∆h ) e


iϕ II ,I

iϕ III ,I
rA = rB0 + rB0 A = rB0 + l1 e

Hierbei ist l1, wie aus Abbildung 4-8 b) hervorgeht, die Länge des ersten Hebels am Glied III.
Die unbekannten Winke ϕ II , I und ϕ III , I werden über die Hilfsfigur A0 B0 A nach Abbildung 4-8
b) ermittelt. Unter Anwendung des Kosinussatzes folgt:

2 2 2 2
l A0 B0 2 = rA0 B0 = rB0 − rA0 = rA0 A + rAB0 − 2 rA0 A rAB0 cos ϕ III , II
= (l p + ∆h) 2 + l12 − 2 (l p + ∆h) l1 cos ϕ III , II

62
Getriebetopologie

Nach ϕ II , III aufgelöst folgt:


 ( l + ∆h )2 + l 2 − l 2 
= arccos  .
p 1 A0 B0
ϕ III , II [4.7]
 2 (l p + ∆h) l1 
 

Für den Winkel Ψ A lässt sich mit dem Sinussatz die folgende Beziehung aufstellen.
0

sin ϕ III , II sin Ψ A0


= .
l A0 B0 rB0 A

Nach Ψ A aufgelöst und mit l1 = rB A (siehe Abbildung 4-8 b)) eingesetzt folgt:
0 0 0

 l sin ϕ III , II 
Ψ A0 = arcsin  1
 lA B  . [4.8]
 0 0 

Für den Winkel Ψ B folgt aus Abbildung 4-8 b):


0

Ψ B0 = 180 − ϕ III , II − Ψ A0 . [4.9]

Aus den Winkeln Ψ A und der Hilfsfigur A0 B0 A nach Abbildung 4-8 b) folgen nun die
0

Lagewinkel:
 lp 
ϕ III , I = 180° −  Ψ B − arctan  [4.10]

0
l1 
lp
ϕ II , I = Ψ A + arctan . [4.11]
0
l1

Betrachtung der zweiten Übersetzungsstufe (aus der zweiten Schließbedingung ):

ϕV , I rC0C
C0 C C0
V V rC0C = l4
ϕV , I C
rC C′
rC0 B = ∆ ϕV , IV
rC0
IV
rBC
rC0 B0 IV
ϕ III , I rB0 B ϕ IV , I rBC = l3
y rB0 B0 III ΨB
III B
B0 rB0 B = γ 1 ⋅ l1 = l2 ϕ∆,I
x rB B′
z B
a) b)

Abbildung 4-9 Kinematische Kette der Koppelung zwischen Stellglied und Führung
a) Vektorkette b) Hilfsfigur B0 BC0C

63
Getriebetopologie

Für die Vektoren rB und rC aus Abbildung 4-9 a) bezüglich des Intertiallsystems gilt:

iϕ III ,I
rB = rB0 + rB0 B = rB0 − γ 1 l1 e [4.12]
iϕ III ,I iϕ IV ,I
rC = rB0 + rB0 B + rBC = rB0 + γ 1 l1 e + l3 e
iϕV ,I
rC = rC0 + rC0C = rC0 + l4 e

Wobei γ 1 der Faktor für die Übersetzung des Hebelarms der ersten Übersetzungsstufe am
Glied III und l4 die Länge der ersten Hebelstrecke der zweiten Übersetzungsstufe am Glied V
ist (siehe Abbildung 4-9 b)). Die unbekannten Winkel ϕ IV , I und ϕV , I werden mit der Hilfsfigur
B0 BC0C aus Abbildung 4-9 b) ermittelt, unter Anwendung des Kosinussatzes folgt:

rC0 B = rC0 − rB [4.13]


2 2 2
∆ 2 = rC0 B = rC0C + rCB − 2 rC0C rCB cos ϕ IV ,V
= l4 + l3 − 2 l4 l3 cos ϕ IV ,V .
2 2

Nach ϕ IV ,V aufgelöst folgt:

 l4 2 + l32 − ∆ 2  l 2 +l 2 − r −r 2

 = arccos  .
4 3 C0 B
ϕ IV ,V = arccos  [4.14]
 2 l4 l3   2 l4 l3 
 

Bei Anwendung des Sinussatzes auf die Hilfsfigur BC0C lässt sich folgende Beziehung
aufstellen:

sin ϕ IV ,V sin Ψ B
= .
∆ rC0C

Nach Ψ B aufgelöst und l4 = rC C (siehe Abbildung 4-9b)) eingesetzt folgt:


0

 l sin ϕ IV ,V 
Ψ B = arcsin  4 . [4.15]
 ∆ 

Aus den Winkeln Ψ B und ϕ IV ,V der Hilfsfigur nach Abbildung 4-9 b) folgen die Lagewinkel:

 rC B 
ϕ ∆ , I = arccos ( )
rC0 B , ex = arccos  0
 rC B


[4.16]
 0 
ϕ IV , I = 180 − Ψ B − ϕ ∆ , I [4.17]
ϕV , I = 360 − ϕ IV ,V − Ψ B − ϕ ∆, I . [4.18]

64
Getriebetopologie

Betrachtung des Führungssystems (aus der dritten Schließbedingung ):

ϕV , I rC0 E C0
E rC0 E = γ 2 ⋅ l4 = l5 a
C0 V
ϕVI , I rEK
V
rE E ΨE
rC0 rK K
VI rEK
ϕVII , I rED VI b
rD0 D rDK K′ K
D0 rD0 D = l6 = l5
VII D D0
y rD 0
VII D
rD
x
z a) b)

Abbildung 4-10 Kinematische Kette der Führung a) Vektorkette b) Hilfsfigur C0 EKD0 D

Für die Vektoren rE , rD und rK aus Abbildung 4-10 a) bezüglich des Intertillsystems gilt:

iϕV ,I
rE = rC0 + rC0 E = rC0 + γ 2 l4 e [4.19]
iϕV ,I a iΨ E
rK = rC0 + rC0 E + rEK = rC0 + γ 2 l4 e + e
2 [4.20]
iϕVII ,I a
rK = rD0 + rD0 D + rDK = rD0 + l5 e + e iΨ E .
2

Wobei γ 2 der Faktor für die Übersetzung des Hebelarms der zweiten Übersetzungsstufe an
Glied V und l5 die Länge der zweiten Hebelstrecke in der zweiten Übersetzungsstufe am
Glied V ist (siehe Abbildung 4-10 b)). Die unbekannten Winkel ϕVI , I und ϕVII , I werden mit der
Hilfsfigur C0 EKD0 D aus Abbildung 4-10 b) wie folgt ermittelt:

ϕVI , I = const. = 270° [4.21]


ϕVII , I = ϕV , I [4.22]
b
Ψ E = arctan   . [4.23]
a

Für die Analysen in dem nachfolgenden Kapitell werden die Winkelverdrehungen τj(∆h) der
einzelnen Gelenke in Abhängigkeit vom Piezohub benötigt. Diese ergeben sich aus folgenden
Beziehungen:
τ A0 ( ∆h) = ϕ II , I (0) − ϕ II , I (∆h) = 90° − ϕ II , I (∆h) [4.24]
τ A ( ∆h) = ϕ III , II (0) − ϕ III , II (∆h) = 90° − ϕ III , II (∆h) [4.25]
τ B0 ( ∆h) = ϕ III , I (0) − ϕ III , I (∆h) = 180° − ϕ III , I (∆h) [4.26]
τ B ( ∆h) = ϕ III , IV = ϕ III , I − ϕ IV , I = 270° − Ψ B (∆h) − ϕ ∆ , I (∆h) − ϕ III , I (∆h) [4.27]
τ C ( ∆h) = ϕ IV ,V (0) − ϕ IV ,V (∆h) = 90° − ϕ IV ,V (∆h) [4.28]
τ C0 ( ∆h) = τ D0 (∆h) = τ D (∆h) = τ E (∆h) = ϕV , I (0) − ϕV , I (∆h) = 180° − ϕV , I (∆h) [4.29]

65
Getriebetopologie

Unter Anwendung der in Tabelle 4-3 tabellierten Abmessungen für die einzelnen Glieder
folgt der in Abbildung 4-11 dargestellte Vektorplot.
Tabelle 4-3 Geometrieparameter der Glieder für den ersten Rechendurchgang

γ1 2
γ2 3/2
a 30 mm
b 35 mm
lp 20 mm
l1 10 mm
l2 32 mm

Glied IV Glied V

Glied III
Glied VI

Koppelpunkt K
Vektor des Piezoaktor

Glied VII

Abbildung 4-11 Vektorplot der Getriebetopologie bei 1 mm Hub am Aktorangriffspunkt

Die Graphen in Abbildung 4-12 zeigen die Winkelauslenkung τj der Federgelenke an den
Gelenkenpunkten in Abhängigkeit von Piezoaktorhub. Hierbei sind, die in Abbildung 4-12 b)
dargestellten Graphen, die Gelenkauslenkungen im Arbeitsbereich zwischen 0 und 15 µm
Aktorauslenkung.

τA
τB0
τB,τB ,τA0

τB
τC 0
τC , τC
0

τC

τA0
τA0

a) b)
Abbildung 4-12 Graphen der Winkelauslenkung τj

66
Getriebetopologie

Wie aus Abbildung 4-12 zu ersehen ist die Winkelauslenkung für die Gelenke im
Arbeitsbereich27 linear. Beim Gelenk A0 ist die Auslenkung vernachlässigbar, somit könnte
konstruktiv auf das Gelenk A0 verzichtet werden.
Der in Abbildung 4-13 dargestellte Graph zeigt den Verlauf der durchlaufenen Bahn vom
Koppelpunkt K bzw. der Sensormitte.
Hierbei ergibt sich die Versetzung von Punkt K = ∆rK wie folgt:
∆rK = rK (0) − rK (∆h) [4-30]
Aus dem Graphen lässt sich entnehmen, dass die Versetzung in y-Richtung um drei zehner
Potenzen größer ist als die in x- Richtung. Für unseren Arbeitsbereich ist die Abweichung
von der Gerade folglich im 0/00 Bereich.

-3
Abbildung 4-13 Bahnverlauf von Punkt K für einen Aktorhub zwischen 0 und 20 10 [m]

In Abbildung 4-14 wird der in Abbildung 4-13 dargestellte Bahnverlauf in seine x- und y-
Komponenten über den Hub aufgezeichnet. Der Vergleich zwischen der roten Gerade für den
Ky-Verlauf und der blauen Gerade für den Kx-Verlauf zeigt, wie sehr die Größenordnungen
sich unterscheiden.

∆rKy

∆rKx

Abbildung 4-14 Bahnverlauf des Punktes K in x-Richtung (blau) und in y-Richtung (rot)

27
Sensorversetzung im Punkt K (Sensormitte) zwischen 0 und 27 µm (siehe Abschnitt 3.1.1)

67
Getriebetopologie

Der in Abbildung 4-14 dargestellte Bahnverlauf in x-Richtung gibt die Abweichung des
berechneten Getriebes von der Geradenführung in y-Richtung an. Wie man aus Abbildung 4-
15 a) sehen kann, beträgt die Abweichung bei einem Hub von 10 µm gerade 0,037 µm (37
nm).
Bei dem in Abbildung 4-14 dargestellten Bahnverlauf in y-Richtung handelt es sich um die
Übertragungsfunktion des Getriebes, hier interessiert der Linearitätsbereich der Funktion.
Wie man aus Abbildung 4-15 b) erkennen kann fängt die Funktion bei einem theoretischen
Aktorhub von 1 mm an von der Gerade merklich abzuweichen. Für den von der Mechanik
genutzten Arbeitsbereich mit einem Aktorhub zwischen 0 und 15µm kann die Übertragung
als linear angesehen werden.

a) b)
Abbildung 4-15 Kinetische Übertragungsfunktionen der Mechaniktopologie:
a) Abweichung (x-Richtung) des Punktes K von der Geradenführung
(y-Richtung) in Abhängigkeit vom Aktorhub
b) Abweichung der Übertragungskennlinie von linearem Bereich in
Abhängigkeit vom Aktorhub

Für den Übertragungswert 0. Ordnung28, aus dem Graphen in Abbildung 4-15 b), folgt:

rK y
γ= = 3.
∆h

Die Übertragungsfunktion 1. Ordnung29 läst sich aus dem Vektor rK wie folgt berechnen:

∂ rK (∆h) ∂ ∆h ∂ rK (∆h)
∆v K = = ∆v Aktor = γ v y (∆h) ∆v Aktor . [4-31]
∂ ∆h ∂t ∂ ∆h

In Abbildung 4-16 sind die jeweiligen x- und y-Komponenten der Geschwindigkeit


aufgetragen. Gerade die Geschwindigkeit in y-Richtung ist für die Übertragungsfunktion der
Kraft von Bedeutung. Aus der Leistungsbilanz

PAktor + Pversetzung = FAktor v Aktor + Fout vK = 0 [4-32]

28
Wegübersetzung
29
Geschwindigkeitsübersetzung

68
Getriebetopologie

folgt für die Kraftübersetzung


1 FAktor vK y
γF = =− = . [4-33]
γv y
Fout vAktor

vKy

vKx

Abbildung 4-16 Geschwindigkeit des Punktes K in x- und y-Richtung, abhängig von der
Aktorgeschwindigkeit

Aus den Graphen für die Geschwindigkeit in y-Richtung (Abbildung 4-16) folgt eine
kinematische Kraftübersetzung von:
1
γF =
3
für kleine ∆h (bzw. für kleine ϕ (∆h) ).

69
Getriebetopologie

70
Pseudo-Rigid-Body-Mechanisms

5. Pseudo-Rigid-Body-Mechanisms

In diesem Abschnitt wird im Wesentlichen die im Abschnitt 4 entwickelte kinematische Kette


um die elastischen Gelenke erweitert. Hierzu werden an den Drehgelenken Drehfedern
modelliert; die Steifigkeit der Drehfedern entspricht den der Federgelenke. Im ersten Teil
dieses Abschnittes wird näher auf die elastischen Gelenke eingegangen, wobei Arten und
Eigenschaften solcher Gelenke vorgestellt werden. Im zweiten Teil wird die kinematische
Kette auf die Anteile der PRB30 erweitert und kinetostatisch analysiert.

5.1 Elastische Gelenke

Was ist eigentlich ein elastisch nachgebendes Gelenk?


Im folgenden Abschnitt werden die vier am geläufigsten Biegegelenke betrachtet. Das aus der
Biegefeder hervorgegangene einfache Biegegelenk ist das älteste angewandte Gelenk des
Typus „stoffschlüssig“. Wurde es anfangs nur als Aufhängung für Messgeräte angewandt, so
findet es heute immer mehr Anwendung in der Mikromechanik. Gerade in der
Mikromechanik ist das Kerbgelenk, in seiner einfachen oder in seiner symmetrischen
Ausführung, ein sehr verbreitetes stoffschlüssige Gelenk. Der Begriff des stoffschlüssigen
Gelenkes [Pit 29] ist eine Erweiterung der in der Getriebetechnik schon bekannten kraft- und
formschlüssigen Gelenkverbindungen. Da es in der Literatur noch keine einheitliche
Nomenklatur für Gelenke nachgiebiger Natur gibt, wird im Folgenden von Federgelenken die
Rede sein. Des Weiteren finden sich im deutschsprachigen Gebrauch Bezeichnungen wie:

• Federgelenke [Ban]
• Elastische Gelenke [Bau]
• Nachgiebige Gelenke

Im angelsächsischen Sprachgebiet findet man Bezeichnungen wie

• flexible beam [How]


• flexible hinges [Pen]
• flexible joint [Che]
• elastic hinge[Keo]

Diese Aufzählung soll einen Überblick über die verwirrende Nomenklatursituation geben.

Bei den in Abbildung 5-1 dargestellten Gelenken handelt es sich bei a) um ein rechtwinkliges
Biegegelenk, bei b) um ein elliptisches Gelenk, bei c) um ein symmetrisches Kerbgelenk und
bei d) um ein einseitiges Kerbgelenk.
Das Prinzip der Federgelenke basiert darauf, dass in einer definierten Richtung durch
Verjüngung des Querschnittes ein niedrigerer Steifigkeitsgradient herrscht, als in den anderen
Richtungen. Wird nun die Steifigkeit in dieser Richtung klein genug, kommt es zu einen
Nachgeben des Gelenkes um einen definierten Drehpunkt.

30
PRB: Pseudo- Rigid- Body (im folgenden wird diese Abkürzung angewandt)

71
Pseudo-Rigid-Body-Mechanisms

a) b)

c) d)
Abbildung 5-1 Elastische Gelenke mit einem FHG:
a) Biegegelenk b) elliptisches Gelenk
c) symmetrisches Kerbgelenk d) einseitiges Kerbgelenk

In Tabelle 5-1 werden Vor- und Nachteile von elastischen Gelenken gegenübergestellt
[Bau 1].
Tabelle 5-1 Vor- und Nachteile von elastischen Gelenken (+ : Vorteil; - : Nachteil) [Bau 1]

Eigenschaft Bemerkung Bewertung


Spielfreiheit Elastische Gelenke garantieren bei minimaler ++
Reibung absolute Spielfreiheit
Reibung Die Reibung reduziert sich auf die innere +
Werkstoffreibung
Wenige Teile Es ist ein monolithischer Aufbau von ++
Mechanismen möglich
Miniaturisierbarkeit Eine Anwendung der Gelenke in der Mikro- -
und Nanotechnik ist möglich
Kleine Belastung Aufgrund der relativ kleinen Gelenksteifigkeit -
vertragen die Gelenke keine großen Lasten
Kleiner Arbeitsraum Der Arbeitsraum ist abhängig von der -
Geometrie und von der Steifigkeit
Grosse Stellkräfte Je nach Mechanismussteifigkeit müssen beim ---
Verstellen relativ große Kräfte einwirken

Bei der Geometrie der elastischen Gelenke sollte man sich auf einfache geometrische
Strukturen wie Radien und Geraden beschränken, da diese in der Fertigung leichter
handhabbar sind und zudem bessere Oberflächentoleranzen ermöglichen.
Eine wichtige Kennzahl ist wie bei allen Federn die Federkonstante k, sie gibt Auskunft über
die Steifigkeit der Feder. So kann die gesamte Steifigkeit des Mechanismus als System von
Einzelfedern aufgefasst werden. Die Federkonstante bildet somit das Bindeglied zwischen
Starrkörperkinematik und elastischer Kinematik, die als Pseudo-Rigid-Body-Mechanism
bezeichnet wird.

72
Pseudo-Rigid-Body-Mechanisms

Für die Steifigkeit eines Federgelenkes kann allgemein der folgende Zusammenhang
angenommen werden:

E ⋅ I yy E ⋅ I yy  Nm 
k = θ (t , l ) = θ (t , r )  rad  [5-1]
l r

Somit ist die Steifigkeit von Federgelenken im Wesentlichen abhängig vom Elastizitätsmodul
E des Werkstoffes, der Länge l bzw. dem Radius r und vom Flächenträgheitsmoment Iyy. Die
für die Geometrie abhängigen Parameter sind hier im Vorfaktor θ (t , l ) zusammengefasst,
wobei θ die Funktion der beiden maßgeblichsten Größen aus Abbildung 5-1 der Stegdicke t
und der Steglänge l bzw. des Radius r ist.
Für die Steifigkeit der elastischen Gelenke können die folgenden Näherungsformeln [Gao 8]
für Kerbgelenke angenommen werden. Für die einseitigen Kerbgelenke, wie in Abbildung
5-1 d) dargestellt, ergibt sich eine Steifigkeit von:

5
2Ebt 2
kj = 1
. [5-2]
9 2π r 2

Für die beidseitig symmetrischen Kerbgelenke, wie in Abbildung 5-1 c) dargestellt, ergibt
sich eine Steifigkeit von:
5
2 E b t2
kj = 1
. [5-3]
9π r 2

Für die Biegegelenke, wie in Abbildung 5-1 a) dargestellt, ergibt sich eine Steifigkeit von:

E b t 3 (1 − υ 2 )
kj = [5-4]
12 l1

hierbei sind
E der Elastizitätsmodul des Gelenkwerkstoffes
b, l1, r, t die Geometrieparameter aus Abbildung 5-1
υ die Poisson`sche Zahl
c ein Korrekturfaktor.

Für die Rückstellmomente an den einzelnen Gelenken ergibt sich aus den Gleichungen 5-2
bis 5-4 und den Gelenkauslenkungen τj in [rad] der Gleichungen 4-26 bis 4-31 die folgende
Beziehung:

M j = kj τ j . [5-5]

73
Pseudo-Rigid-Body-Mechanisms

5.2 Kinetostatische Analyse

Im Unterschied zur Starrkörpermechanismen sind bei der kinetostatischen Analyse von


elastischen Mechanismen die von den Federgelenken erzeugten Rückstellkräfte zu
berücksichtigen. Dies wird, wie in Abbildung 5-2 dargestellt, durch Anbringen von
Torsionsfedern an den Gelenken realisiert. Die Torsionsfedern erzeugen ihrerseits durch die
Auslenkung τ des jeweiligen Gelenkes ein nach Gleichung 5-5 der Auslenkungsrichtung
entgegengesetztes Moment M.

kC0 kC
V kE
I
k B0 IV
kA III kB
II b VI
kv K
I Fout
Fin
II a
k A0

I
k D0 VII kD
Abbildung 5-2 Erweiterte kinematische Kette mit angebrachten Schraubenfedern an den
Gelenken und einen vereinfachten Piezoaktor.

Die Berechnung der Kräfte kann nach den folgenden Verfahrensprinzipien erfolgen [Luc 22]:

• nach dem Prinzip der virtuellen Leistung,


• nach dem Schnittprinzip (synthetische Methode),
• mit dem Polkraftverfahren nach Hain,
• graphisch, durch Zerlegung in Gliedergruppen.

Beim Prinzip der virtuellen Leistung wird ausgehend von den Geschwindigkeiten vi und der
Winkel φj der einzelnen Glieder und unter Berücksichtigung der äußeren Kräfte die
Leistungssumme gleich null gesetzt.

∑ P = ∑ v ⋅ F + ∑ϕ
i
i i
j
j ⋅M j = 0 [5-6]

74
Pseudo-Rigid-Body-Mechanisms

Bei diesem Verfahren werden die inneren Kräfte nicht berücksichtigt. Vorteil dieser Methode
ist der geringe zeichnerische Aufwand und das gezielte Berechnen der gewünschten
unbekannten Kräfte ohne Kenntnis der anderen Unbekannten.
Beim Polkraftverfahren werden von den Momentanpolen des Mechanismus ausgehend die
resultierenden äußeren Kräfte ermittelt. Durch Eintragen der Wirkungslinien der An- und
Abtriebskräfte lassen sich in einem Kräfteplan in Zuhilfenahme der Culmann- Kraft
(Culmann- Gerade) die Resultierenden ermitteln und daraus die Gleichgewichtsbedingung an
jedem Glied ermitteln.

Bei der graphischen Zerlegung in Gliedergruppen werden Koppelgetriebe in sogenannte


Assur’sche Klassen (I bis IV) zerlegt. Die Kräfte werden an den einzelnen Gliedern (Klassen)
betrachtet. Anschließend werden die einzelnen Kräftepolygone in einem gemeinsamen
Kräfteplan zusammengefügt, über die Gleichgewichtsbedingungen an den Schnittpunkten
wird auf die gesuchten Größen geschlossen.

Das Schnittprinzip zerlegt den Mechanismus in seine Einzelglieder, wobei die Gelenkkräfte
und Momente an den Schnittufern angebracht werden. Aus der Gleichgewichtsbedingung der
Kräfte und Momente lassen sich lineare Gleichungssysteme bestimmen, aus denen wiederum
die unbekannten Größen errechnet werden können. Neben der Übertragung von Kräften
werden bei elastischen Mechanismen auch die Drehmomente aus der in den Ersatzfedern
erzeugten Rückstellkraft übertragen.

FC0Y V MC ME
FC0 X FEX
FCX
M C0 FCY FEY
y
FCY FEY
ϕ
MC
x FCX ME FEX
z
FB0Y
III FBX IV
FBY MB
MA MB
FAX FB0 X FBY
FAY FBX
FAY M B0 Fout
MA
FAX Fv VI
K
IIb
Mg
Fg
Fin
Mg
Fg
FDX
MD
II a FDY

M D0 VII FDY
FD0 X FDX
M A0
FA0 X FD0Y MD
FA0Y

Abbildung 5-3 Freigeschnittener Mechanismus mit allen Gliedern

75
Pseudo-Rigid-Body-Mechanisms

Für die Maßsynthese des Mechanismus ist das Schnittprinzip dahingehend geeignet, da es
von vornherein alle Gelenkkräfte liefert.
Wie aus Abbildung 5.2 hervorgeht, wurde die kinematische Kette um Torsionsfedern an den
Gelenken ergänzt. Des Weiteren wurde der Piezoaktor als Kurvenschleife modelliert, an
deren Schleifglied die Kraft Fin angreift. Hierdurch wurden die FHG auf einen reduziert,
wodurch ein Zwangslauf hervorgeht.
Durch Freischneiden31 der kinematischen Kette in Abbildung 5-3 ergeben sich ausgehend von
den Gleichgewichtsbedingungen

∑F =0 X

∑F =0 y [5-7]
∑M = 0 z( P )

die folgenden Gleichungssysteme für die jeweiligen Glieder32:

Glied IIa:
∑F X = 0 = − FXA0 + Fg sin ϕ II , I

∑F y = 0 = − FYA0 − Fg cos ϕ II , I [5-8]


lp
∑M z( A0 ) = 0 = M A0 − M g −
2
Fg

Glied IIb:
∑F X = 0 = FXA − Fg sin ϕ II , I + Fin cos ϕ II ;I
∑F y = 0 = FYA + Fg cos ϕ II , I + Fin sin ϕ II , I [5-9]
lp lp
∑M z( g ) = 0 = MA + Mg −
2
FXA sin ϕ II , I +
2
FYA cos ϕ II , I
Glied III:

∑ F = 0 = −F + F + F
X XA XB0 XB

∑ F = 0 = −F + F + F + F
y YA YB0 YB F

∑ M = 0 = −M + M + M + l F sin (180° − ϕ ) +
z( A ) A B0 B 1 XB0 III , I [5-10]
+ l F cos (180° − ϕ ) + l γ F cos (180° − ϕ ) +
1 YB0 III , I 1 v v III , I

+ l γ F sin (180° − ϕ ) + l γ F cos (180° − ϕ )


1 1 XB III , I 1 1 YB III , I

Glied IV:
∑ F = 0 = −F + F
X XB XC

∑ F = 0 = −F + F
y YB YC [5-11]
∑ M = 0 = −M + M z( B ) B C − l3 FXC sin ϕ IV , I + l3 FYC cos ϕ IV , I

31
Das göttliche Prinzip der technischen Mechanik ☺
32
Die Zuordnung der Gliederlängen l1, l2, l3 und l4 gehen aus den Abbildungen 4-8, 4-9 und 4-10 hervor.

76
Pseudo-Rigid-Body-Mechanisms

Glied V:
∑ F = 0 = −F + F − F
X XC XC0 XE

∑ F = 0 = −F + F − F
y YC YC0 YE

∑ M = 0 = −M + M + M
z( C0 ) C C0 E − l4 FXC sin(180° − ϕV , I ) − [5-12]
− l4 FYC cos(180° − ϕV , I ) − l4γ 2 FXE sin(180° − ϕV , I ) −
− l4γ 2 FYE cos(180° − ϕV , I )

Glied VI:
∑F =0= F −F
X XE XD

∑F =0= F −F −F
y YE YD out [5-13]

∑ M = 0 = −M − M
z( E ) E D − 2a FXD + a 2 + b 2 Fout cos Ψ E

Glied VII:
∑F =0= F −F X XD XD0

∑F =0= F −F y YD YD0
[5-14]
∑M = 0 = M + M z( D ) D D0 + l4γ 2 FXD0 sin(180° − ϕVII , I ) +
+ l4γ 2 FYD0 cos(180° − ϕVII , I )

Aus den linearen Gleichungen gehen Fout , FXD , FXD , FYD , FYD , FXE , FYE , FXC , FXC , FYC , FYC , FXB ,
0 0 0 0

FYB , FXA , FXB0 , FYA , FYB0 , Fg , M g , FXA0 , FYA0 als Unbekannten hervor. Die 21 Unbekannten
erfordern 21 lineare Gleichungen, um gelöst zu werden, die 7 Glieder liefern jeweils 3
Gleichgewichtsbedingungen in Form von linearen Gleichungen, woraus folglich 21
Unbekannten hergeleitet werden können. Da das Gleichungssystem mit 21 Unbekannten
ziemlich umfangreich ist, empfiehlt sich hier die Anwendung des Gauss-Algorithmus oder
der Matrixschreibweise zur Lösung dieses Gleichungssystems.
Bei Anwendung von Computer-Algebra-Systemen empfiehlt sich das Lösen von
Matrixgleichungen. In unserem Fall wird die Matrixgleichung G s - b = 0 nach s aufgelöst
wobei G die Geometriematrix ist, s der Spaltenvektor mit den Unbekannten und b die
Spaltenmatrix mit den Bekannten ist. Daraus folgt für die Unbekannten:

s = G −1b [5-15]

Zur Vereinfachung von Gleichung 5-15 werden folgende funktionale Beziehungen


eingeführt:
A0 x = sin ϕ II , I BX = sin ϕ IV , I
A0Y = cos ϕ II , I BY = cos ϕ IV , I D0 X = sin(180° − ϕVII , I )
Ax = sin(180° − ϕ III , I ) C0 X = sin(180° − ϕV , I ) D0Y = cos(180° − ϕVII , I )
AY = cos(180° − ϕ III , I ) C0Y = cos(180° − ϕV , I )

Daraus folgt:

77
Pseudo-Rigid-Body-Mechanisms 78

G s b

-1 0 A0 X 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 
0 -1 − A0Y 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0   FXA0   0 
  F   0

0 0 lp / 2 -1 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0   YA0   
   Fg   − M A0 
0 0 - A0 X 0 1 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0  M   − A F

0 0 A0Y 0 0 1 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0   g   0Y in 
   FXA   − A0 X Fin 
 lp lp     
0 0 0 1 - A0 X A0Y 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0   FYA   − M A 
2 2
   FXB   0 
0 0 0 0 -1 0 1 0 1 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0   0
  
0 0 0 0 0 -1 0 1 0 1 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0   FYB0   Ff 
   F   M A − M B − M B − Ff l1γ 1 AY 
0 0 0 0 0 0 l1 AX l1 AY l1γ 1 AX l1γ 1 AY 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0   XB   0 
0 0 0 0 0 0 0 0 -1 0 1 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0   FYB   0 
  ⋅ F  =  0

0 0 0 0 0 0 0 0 0 -1 0 1 0 0 0 0 0 0 0 0 0   XC   
0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 -l3 BX l3 BY 0 0 0 0 0 0 0 0 0   FYC   M B − MC 
     
0 F
  XC0   0 
0 0 0 0 0 0 0 0 0 -1 0 1 0 -1 0 0 0 0 0 0
   FYC   0 
0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 -1 0 1 0 -1 0 0 0 0 0   0
  
0   FXE   M C − M C0 − M E 
0 0 0 0 0 0 0 0 0 -l4C0 X -l4C0Y 0 0 −l4γ 2C0 X -l4γ 2C0Y 0 0 0 0 0
   FYE   0 
0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 1 0 -1 0 0 0 0     
0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 1 0 -1 0 0 −1   FXD   0 
  F   M + M

0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 2a ⋅ E X 2a ⋅ EY 0 0 − a 2 + b 2 cos Ψ E  
YD   E D 
   FXD0   0 
0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 1 0 -1 0 0  F   0

0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 1 0 -1 0   YD0   
   Fout   − M D − M D0 

 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 l4γ 2 D0 X l4γ 2 D0Y 0  

Das Berechnen der Inversen G-1 und das Auflösen nach s wird mit einem Maple V33 bewerkstelligt. Die vollständige Berechnungsprozedur
befindet sich im Anhang D.

33
Computer-Algebra-Systemen
Pseudo-Rigid-Body-Mechanisms

5.3 Folgen für das Mechanikdesign

Wie wir in Abschnitt 3.3.1.1 schon gesehen haben, ist der Hub des Aktors stark abhängig von
der Federsteifigkeit der gegen den Piezoaktor arbeitenden Feder. Bei der in Abbildung 5-2
dargestellten Version setzt sich die Mechanik aus den Drehfedern an den Gelenken und der
Rückstellfeder zusammen. Somit setzt sich die Gesamtsteifigkeit der auf an Piezoaktor
wirkenden Federn wie folgt zusammen (Parallelschaltung siehe Gleichung 1-23):

k sys = kr + kmech. [5-16]

Dabei ist kr die resultierende Steifigkeit der Vorspannfeder und kmech. die Steifigkeit der
Mechanikgelenke.

Resultierende Federsteifigkeit der Ruckstellfeder

Die resultierende Steifigkeit kr ergibt sich aus den Anforderungen an die Vorspannung (siehe
Abschnitt 3.3.1). Bei einer Hubübersetzung von γv = 2 und eine Federkraft Fv von 20 N folgt
eine Piezovorspannung von 40 N (siehe Abbildung 5-4).
1 : 2
∆h hv′ Fv

γv = 2

k kv
EEp piezo

hv

Abbildung 5-4 In Reihe geschaltete Feder kv mit Übersetzung γv

Die Federkraft soll durch Anziehen einer Schraube um hv = 0,2 mm generiert werden. Die
benötigte Federsteifigkeit kv wird durch Auflösen der Gleichung 1-1 nach k berechnet.
h 20[ N ] [kN ]
kv = v = = 100 [5-17]
Fv 0, 2[mm] [ m]
Die Vorspannung hat auf den Hub keinen Einfluss, da sie statischer Natur ist (siehe Abschnitt
3.3.1.1) und nur eine Nullpunktsverschiebung zur Folge hat. Die Nullpunktsverschiebung
wird wie in Abbildung 5-5 dargestellt durch Kalibrierung des Verschiebeweges, nach dem
Vorspannen der Feder, eliminiert.
Piezo unbelastet h[ µm]
Hysterese
h[ µm]

Kalibrirung

U [V ] U [V ]
Piezo unter konstanter Last
Nulpunkt Verschiebung

Piezo unter konstanter Last

Abbildung 5-5 Schematische Darstellung der Kalibrierung zur Kompensation der


Nullpunktverschiebung, verursacht durch das Vorspannen der Feder

79
Pseudo-Rigid-Body-Mechanisms

Der dynamische Anteil der Vorspannfeder hat hingegen einen bleibenden Einfluss auf die
Hubhöhe ∆h des Aktors. Dieser Anteil ist, wie in Abbildung 5-6 zu sehen, vom Piezohub
abhängig.
Piezo unbelastet
h[ µm]

hverlust
kv

∆hF = 0 Fv (hv )
∆hF ( kv )
wegabhängige Last (zb. Feder
mit einstelbarer Federkraft)

U [V ]

Piezo unter wegabhängiger Last

Abbildung 5-6 Schematische Darstellung der Piezohubreduzierung um ∆hverlust infolge einer


wegabhängigen Last wie z.B. einer Vorspanfeder

Durch die Übersetzung γv zwischen Feder und Aktor ist die am Aktor resultierende
Federsteifigkeit kr größer, als die ursprüngliche Federsteifigkeit kv. Aus den Gleichungen 4.1
und 4.2 lassen sich für den in Abbildung 5-4 dargestellten Aufbau folgende Zusammenhänge
herleiten:
hv′ = ∆h γ v [5-18]
Fv = Fγ v−1 . [5-19]
Durch Einsetzen von Gleichung 5-18 und 5-19 in Gleichung 1-1 folgt
Fv F γ v−1 F
kv = = = γ v−2 . [5-20]
hv′ ∆h γ v ∆h
Da kv aus Gleichung 5-17 bekannt ist, lässt sich die resultierende Federsteifigkeit aus
Gleichung 5-20 für wie folgt ermitteln:
[kN ] [kN ]
kr = kv γ v2 = 200 4 = 400 [5-21]
[ m] [ m]
Steifigkeit der Mechanik

Die Steifigkeit der Mechanik ermittelt sich aus der Steigung der Eingangskennlinie in
Abbildung 5-7. Zur Ermittlung der Eingangskennlinie wurde die aus Gleichung 5-15
ermittelte Matrixgleichung so umgestellt, dass Fin als Unbekannte in s übergeführt wurde,
dabei wird Fout als Bekannte gleich 0 gesetzt und in b übergeführt. Darüber hinaus wurde die
Federkraft Fv = 0 gesetzt. Die verwendete Matrixgleichung ist im Anhang B dargestellt.
Der erste Rechendurchgang wurde mit den in Tabelle 5-2 dokumentierten Abmessungen für
die Glieder begonnen.
Tabelle 5-2 Geometrieparameter der Glieder für den ersten Rechendurchgang

γ1 2
γ2 3/2
γv 2
a 35 mm
b 30 mm
lp 20 mm
l1 2 mm
L4 8 mm

80
Pseudo-Rigid-Body-Mechanisms

Als Gelenke wurden die in Abbildung 5-1 c) dargestellten symmetrischen Kerbgelenke


verwendet und nach Gleichung 5-3 berechnet. Die benutzten Maße sind Tabelle 5-3 zu
entnehmen.
Tabelle 5-3 Geometrieparameter der Kerbgelenke für den ersten Rechendurchgang

t 0,15 mm
r 0,5 mm
b 5,5 mm

In Abbildung 5-7 sind die Eingangskennlinien der Mechanik mit Rückstellfeder (ksys) und
ohne Rückstellfeder (kmech) dargestellt.
Zum Vergleich wurde das PRB- Modell einmal analytisch aus Gleichung 5-15 berechnet und
einmal mit einem MKS-Programm34 berechnet. Die MKS Modellierung befindet sich in
Anhang B. Aus Abbildung 5-7 erkennt man, dass die benötigte Kraft Fin, zur Erzeugung des
Hubes hin am Eingang der Mechanik mit zunehmenden Hub steigt.

MKS mit
Rückstellfeder

Mechanik mit
Rückstellfeder
(analytisch)
Mechanik ohne
Rückstellfeder
(analytisch)

Abbildung 5-7 Eingangskennlinie der Mechanik bestehend aus Kerbgelenken

Die Abweichung zwischen MKS und analytischer Rechnung ist auf das Weglassen der
Gelenke A0 und A bei der MKS-Modellierung zurückzuführen, wodurch das MKS-Modell
weicher ist.
Aus der Steigung der analytisch gerechneten Geraden ohne Rückstellfeder ergibt sich die
folgende Mechanik-steifigkeit:
kmech. =
6,36[ N ]
= 317,9
[ kN ]
20[ µm] [ m]
Daraus folgt für das gesamte System eine Steifigkeit von

[kN ] [kN ] [kN ]


k sys = 400 + 317,9 = 717,9 .
[ m] [ m] [ m]

34
MKS: Mehrkörpersystem (verwendete Software WorkingModell)

81
Pseudo-Rigid-Body-Mechanisms

Diese entspricht der Steigung der Geraden für die Mechanik mit Rückstellfeder aus
Abbildung 5-7.

Steifigkeit des Piezoaktors

Die Steifigkeit des Aktors wird mit dem aus Tabelle 3-3 entnommenen E-Modul wie folgt
berechnet:
A
kaktor = E .
l
Mit einer Stirnfläche von A= 6 mm² und einer Aktorlänge von l= 20mm folgt für die
Steifigkeit der Piezokeramik kaktor= 13200 [kN/mm].

Resultierender Aktorhub

Für den resultierenden Piezohub ergibt sich nach Gleichung 1-25:

[kN ]
13200
[ m]
∆h = 11, 6[ µm] = 11, 0[ µm] .
[kN ] [kN ]
13200 + 717, 9 )
[m] [ m]

Hierbei wurde für kfeder die Systemsteifigkeit ksys eingesetzt.


Dies entspricht einer Hubreduzierung von ca. ~6%, die durch Erhöhung der kinematischen
Übersetzung auszugleichen ist.

Betrachtung der Führung

Wie aus Abschnitt 4.2 hervorgeht, handelt es sich bei der Mechanik nicht um eine
Parallelführung (mit Federabstützung), wie in Abbildung 5-2 dargestellt, sondern um zwei
symmetrisch angeordnete Parallelführungen (mit Federabstützung) die miteinander
verbunden sind, wie in Abbildung 5-8 dargestellt. Dies hat zur Folge, dass die
Kraftkomponente Fout einen von der Führung bestimmten Wert hat.

τC
ϕV , I ∆e
0

k NC0 FN ′ 0
k NC
k NE ′
k NE

Fout
k ND0 ′ 0
k ND

k ND ′
k ND

Abbildung 5-8 Symmetrisch angeordnete Parallelführungen (mit Federabstützung)

82
Pseudo-Rigid-Body-Mechanisms

Bei einer Versetzung des Punktes K in y Richtung um ∆Ky (vgl. Abschnitt 4.5), führt dies an
den Gelenken C0, E, D0 und D zu einer Elongation von ∆e.
∆e = (l 2 γ 2 ) 2 + ∆K K2 − l 2 = 0, 24 [ µm] [5-22]

Aus Gleichung 1-1 folgt für die Kraft entlang der Glieder V und VII:

FN = ∆e k N .

Die Steifigkeit kN setzt sich zusammen aus der Längsdehnung zweier in Reihe geschalteter
Federn. Unter Anwendung der Gleichung 1-44 und der Annahme, dass KNC0 = KNE = KND0 =
KND folgt:
1 1 1 1
= + =2 .
k N k NC0 k NE k NC0
Bei der Betrachtung der Gelenksteifigkeit in Längsrichtung, beschränken wir uns auf die in
der Abbildung 5-9 dargestellten Gelenke.

FN FN

a) b)
Abbildung 5-9 Kraftrichtung bei Längsdehnung bei a) Biegegelenk
b) Symmetrischem Kerbgelenk

Für die Steifigkeit der elastischen Gelenke können die folgenden Näherungsformeln [Gao 8]
angenommen werden.
Für das symmetrische Kerbgelenk wie in Abbildung 5-9 b) dargestellt ergibt sich eine
Steifigkeit von:
r
π − 2,57
kN j = t . [5-23]
Eb

(Beim rechnen mit SI-Einheiten müssen E mit 10-9 und der Korrekturfaktor 2,57 mit 103
multipliziert werden).
Für das Biegegelenk wie in Abbildung 5-9 a) dargestellt ergibt sich aus Gleichung 1-1 und 1-
2 eine Steifigkeit von:
Ebt
kN j = [5-24]
l

Unter Anwendung von Kerbgelenke und den in Tabelle 5-3 tabellierten Geometrieparameter
folgt für kn:
r
π − 2,57
1 1 t N 
k N = k NC0 = = 100,3103   .
2 2 Eb m

83
Pseudo-Rigid-Body-Mechanisms

Für eine Verlängerung der in Reihe geschalteten Gelenke an einem Führungsglied mit den in
Tabelle 5-2 tabellierten Geometrieparameter bedarf es somit einer Längskraft FN von:
N 
FN = 100,3103   0, 24 10−6 [m] = 2, 4110−2 [ N ] .
m

Die in Punkt K benötigte Kraft Fout berechnet sich wie folgt:

Fout = 4 FN sin τ C0 = 2,89 10−4 [ N ] [5-25]

Im Vergleich zu den anderen Kräften ist Fout somit zu vernachlässigen (Fout ≈ 0).

Anpassung der Gelenke

Unter Einbeziehung der Gleichung 1-22 aus Abschnitt 1.5.4 werden nun die
Biegespannungen an den Gelenken ermittelt. In Abbildung 5-10 werden die auftretenden
Spannungen an den einzelnen Gelenken in Abhängigkeit vom Aktorhub dargestellt. Die
maximal zulässige Spannung ist mit einer roten Linie gekennzeichnet. Bei den Gelenken
handelt es sich um Kerbgelenke wie in Abbildung 5-1 c dargestellt. Die gewählten Parameter
sind in Tabelle 5-2 dokumentiert.
Tabelle 5-4 Geometrieparameter der Kerbgelenke

r 0,5 mm
b 5,5 mm
t 0,15 mm

Gelenke C, C0, E, D0, D

Maximal zulässige Gelenke A, B0, B


Spannung bei 250 [Mpa]

Gelenk A0

Abbildung 5-10 Die Biegespannung an den einzelnen Gelenken

Wie man erkennen kann, überschreiten die Gelenke A, B0 und B die maximal zulässige
Spannung. Die Gelenke C, C0, E, D0 und D sind sehr knapp unter dem Grenzwert. Wenn

84
Pseudo-Rigid-Body-Mechanisms

man die in Längsrichtung wirkende Kraft hinzuzieht, die wie oben gezeigt aus der Dehnung
der Führungsgelenke in Längsrichtung her wirkt, sind die Führungsgelenke C0, E, D0 und D
ebenfalls zu modifizieren.
Aufgrund der einfacheren Fertigung werden die Kerbgelenke durch Biegegelenke ersetzt.
Diese bieten zusätzlich die Möglichkeit bei den Führungsgelenken die Längsspannungen
durch verlängern der Steglänge zu verringern.
In Abbildung 5-8 wird die Mechanik mit Biegegelenken, wie in Abbildung 5-1 a) dargestellt,
berechnet, wobei die Steglängen den Umständen entsprechend variiert werden. Die
verwendeten Steglängen sind aus Tabelle 5-3 zu entnähmen.

Tabelle 5-5 Geometrieparameter der Biegegelenke

Gelenk Bezeichnung Parameter Größe


A0, A l 0,5 mm
C0, D0, D, E, B, C l 2 mm
B0 l 1 mm
alle t 0,15 mm
Alle B 5,5 mm

Gelenke A, B0

Gelenke C, C0, E, D0, D

Gelenk B

Gelenk A0

Abbildung 5-11 Die Biegespannung an den einzelnen angepassten Gelenken

Wie man erkennen kann, liegen alle Gelenke deutlich unter der maximal zulässigen
Spannung. Hierdurch ist die in Abschnitt 1.5.4 Abbildung 1-10 geforderte
Festigkeitsbedingung erfühlt. Somit können diese Gelenkgeometrien für die konstruktive
Umsetzung der Mechanik übernommen werden.

85
Pseudo-Rigid-Body-Mechanisms

Vergrößerung der Übersetzung

Hier wird die Auswirkung einer größeren Übersetzung untersucht.


Hierzu werden die in Tabelle 5-6 tabellierte Geometrieparameter für die Gliederabmessung
verwendet. Als Gelenke wurden die Biegegelenke angewandt, mit den in Tabelle 5-5
tabellierten Abessungen.
Tabelle 5-6 Geometrieparameter der Glieder für den ersten Rechendurchgang

γ1 3
γ2 4/3
γv 2
a 35 mm
b 30 mm
lp 20 mm
l1 2,5 mm
L4 10 mm

Der sich daraus ergebende Vektorplot der Getriebetopologie bei 1 mm Hub am


Aktorangriffspunkt ist in Abbildung 5-12 a) dargestellt. Der Bahnverlauf und die Linearitäts-
abweichung sind in Abbildung 5-12 b) und c) dargestellt. Die Geschwindigkeit des Punktes k
ist in Abbildung 5-12 d) dargestellt.

b)
a)

c) d)
Abbildung 5-12 Kinematische Eigenschaften der modifizierten Mechanik:
a) Vektorplot der Getriebetopologie b) Bahnverlauf von Punkt K
c) Versetzung in y-Richtung des Punktes k d) Geschwindigkeit des Punktes K

86
Pseudo-Rigid-Body-Mechanisms

Die Spannung an den Gelenken wird in Abbildung 5-12 dargestellt.

Abbildung 5-13 Die Biegespannung an den einzelnen angepassten Gelenken mit vergrößerter
Übersetzung.

MKS mit
Rückstellfeder

Mechanik mit
Rückstellfeder

Mechanik ohne
Rückstellfeder

Abbildung 5-14 Eingangskennlinie der Mechanik bestehend aus Biegelenken.

Aus der Steigung der Geraden ohne Rückstellfeder ergibt sich die folgende Mechanik-
steifigkeit:
kmech. =
3, 07[ N ]
= 153, 29
[ kN ]
20[ µm] [ m]
Daraus folgt für das gesamte System eine Steifigkeit von

[kN ] [kN ] [kN ]


k sys = 400 + 153, 29 = 553, 29 .
[ m] [ m] [ m]

Für das weitere Vorgehen in den kommenden Abschnitten wird mit der hier ermittelten
Topologie gearbeitet. Der Grund für diese Untersuchung und warum eine kinematische

87
Pseudo-Rigid-Body-Mechanisms

Gesamtübersetzung von γ =4 bei der PRB-Modellierung gewählt wurde, wird in Abschnitt


8.3 näher erläutert.

88
Fertigung

6. Fertigung

Die Fertigung hochgenauer Mechaniken erfordert spezielle Fertigungsverfahren, die den


Ansprüchen an Genauigkeit und Reproduzierbarkeit entsprechen. Darüber hinaus ist eine
wirtschaftliche Fertigung im Endeffekt das entscheidende Kriterium für den Erfolg des
Produktes. Dem Konstrukteur obliegt daher eine besondere Verantwortung dahin, das zu
entwickelnde Objekt nicht unnötig zu verteuern. Im Rahmen dieser Arbeit wird deswegen
etwas näher auf das Drahterodieren (Funkenerosion) eingegangen.

35
6.1 Funkenerosionsverfahren EDM

Das aus dem Werkzeugbau stammende Verfahren findet heute immer mehr Einzug in der
Feinwerktechnik. Dies ist weitgehend auf die nichtmechanische und folglich kräftefreie
Bearbeitung der Werkstücke zurückzuführen. Es ermöglich eine sehr hohe
Bearbeitungsgenauigkeit auch in härtesten Materialien. Dabei sind typischerweise folgende
Werkstückqualitäten erreichbar:

• Schnittbreiten von bis zu 0,04 mm


• Konturtoleranzen von ± 1,5 µm
• Rauheiten bis zu Ra 0,1 µm.

Man unterscheidet bei den Funkenerosionsverfahren zwei Arten:

• das funkenerosive Senken


• das funkenerosive Schneiden, auch Drahterodieren genannt (siehe Abbildung 6-1).

Für die Erstellung monolithischer Mechaniken wird dabei fast ausschließlich das
funkenerosive Schneiden angewandt.

(Quelle: BTG Gelsenkirchen )

Abbildung 6-1 Schematische Darstellung des funkenerosiven Schneidens

35
EMD : Electro Discharge Machining (B.I, N.R. Lazarenko 1943)

89
Fertigung

Abtragungsprinzip

Der Materialabtrag beruht auf der Erodierwirkung elektrischer Gasentladungen zwischen


zwei Elektroden. Dies ist vergleichbar mit der Entladung eines Blitzes, der die Umgebung um
den Entladungskanal schlagartig erwärmt und anschließend in sich zusammen fällt. Somit ist
das EMD ein elektrothermisches Abtragungsverfahren. Abbildung 6-2 a) zeigt das Prinzip
des funkenerosiven Abtragens.
Wie man in Abbildung 6-2 b) sehen kann, vollzieht sich die Funkenentladung in drei Phasen:

1. Die Aufbauphase
In der Aufbauphase wird an den zwei Elektroden (Anode und Kathode) eine
Spannung angelegt. Um nun einen Funken zu zünden, muss die angelegte Spannung
größer, als die Durchbruchspannung des Spaltes sein. Durch die Spannung bildet sich
ein Stromfluss durch das Dielektrikum.

2. Die Entladungsphase
Die durch die Spannung erzeugte Entladung führt dazu, dass sich zwischen den
Elektroden ein Plasmakanal bildet. Der Plasmakanal erhitzt (8000-12000°C)
seinerseits das Dielektrikum, wodurch es peripher zur Bildung einer Gasblase kommt.

3. Die Abbauphase
In der Abbauphase wird nun die Spannung abgeschaltet, was zur Unterbrechung des
Stromflusses und somit des Plasmakanals führt. Der somit erzeugte Unterdruck in
Plasmakanal führt dazu, dass die periphere Gasblase implodiert. Die bei der Implosion
freiwerdende Energie (Druck) führt schließlich zum Abtrag von Material.

a) b) (Quelle: [Fuc 7])

Abbildung 6-2 Funktionsweise des EMD:


a) schematische Prinzipdarstellung des EMD-Verfahrens
b) schematische Darstellung der Vorgänge während einer
Funkenentladung

Erodieranlagen

Eine Erodieranlage besteht, wie in Abbildung 6-3 dargestellt, im Wesentlichen aus vier
Bestandteilen:
• Gestell mit Antrieb
• CNC- Steuerung
• Generator zur Erzeugung der Entladungsspannung
• Filteranlage für das Dielektrikum.

90
Fertigung

(Quelle: [Fuc 7])

Abbildung 6-3 Schematische Darstellung einer Drahterodieranlage

6.2 Auswirkung des Erodieren auf die mechanischen


Eigenschaften
Wie in Abschnitt 3.2.2 schon angesprochen, spielt die Oberflächenrauheit bei dynamisch
belasteten Bauteilen eine entscheidende Rolle. Die Oberflächenbeschaffenheit eines
erodierten Werkstückes hängt im Wesentlichen von zwei Faktoren ab:

• den vorschubsbedingten Einflüssen,


• den verfahrensbedingten Einflüssen.

Bei der vorschubsbedingten Oberflächenbeeinflussung werden, wie in Abbildung 6-4


dargestellt, bedingt durch den Vorschub und den Drahtelektrodendurchmesser wellige
Verläufe erzeugt.

DN
60
7,6

Rt

e40

Abbildung 6-4 Schematische Darstellung des Zusammenhangs zwischen Vorschub e und der
resultierenden Rautiefe Rt bei einem Elektrodendrahtdurchmesser Dn.

Die sich daraus ergebende Rautiefe Rt errechnet sich nach folgender Gleichung:

DN  e2 
Rt = 1 − 1 − 2 . [6-1]
2  DN 
 

91
Fertigung

DN ist der Durchmesser des Elektrodendrahtes plus zweimal die materialabhängige


Entladungsspaltdicke. Der Parameter e gibt die Vorschubsgeschwindigkeit wieder. An den
Spitzen der in Abbildung dargestellten Kontur können wie in Abschnitt 3.3.2.1 angesprochen
Spannungsspitzen entstehen, die zu einem Werkstoffversagen führen können.
Die verfahrensbedingte Oberflächenbeeinflussung ist eine Folge des Entladungsprozesses an
sich. Wie man in der REM36- Aufnahmen in Abbildung 6-5 zu erkennen ist, erzeugt das
Abtragen über Funkenentladung eine kraterähnliche Struktur auf der Oberfläche des
bearbeiteten Werkstückes.

a)
b)

(Quelle: [Fuc 7])

c)
Abbildung 6-5 REM- Aufnahmen einer erodierten Oberfläche: a) Krater einer Einzelentladung
b) Struktur über eine größere Ausdehnung von mehrerer Entladungen
c) schematische Darstellung der erodierten Oberfläche

In Abbildung 6-5 a) wird die Struktur eines solchen Kraters näher dargestellt. Diese entstehen
aufgrund der hohen Temperatur im Plasmakanal, bei der die Oberfläche des Werkstückes
aufgeschmolzen wird und anschließend durch die Implosion wegsprengen wird. Der in
Abbildung 6-5 c) Schnitt senkrecht zur Oberfläche zeigt, wie sich an der Oberfläche Poren
und Mikrorisse bilden. Diese Mikrorisse können die Lebensdauer des Bauteils stark
einschränken. Darüber hinaus können je nach verwendetem Material nahe an der Oberfläche
Phasenumwandlungen im Metallgitter stattfinden, die ihrerseits das Materialversagen
beschleunigen können.
Was kann man nun dagegen tun?
Um die Oberflächengüte zu verbessern, bieten sich beim Erodieren folgende Möglichkeiten
an:

36
REM : Raster Elektronen Mikroskopie

92
Fertigung

• Ein mechanisches Entfernen der obersten Schichten bis zur Eigenspannungszone


(siehe Abbildung 6-5 c)). Dies ist aber bei den kritischen Konturen unserer Mechanik
nicht möglich. Da sie an Gelenkkonturen, wie z.B. in Abbildung 6-6 dargestellt, der
Abstand der Konturen zueinander in der Größenordnung von wenige Zehntel mm ist.
• Das Kugelstrahlen der Oberfläche, was einer Kaltumformung nahe kommen würde.
Ist aber aus denselben Gründen wie das mechanische Abtragen nicht anwendbar.
• Das metallurgische Umwandeln der Randzonen. Dieses Verfahren kann bei unserer
Mechanik nur im Ansatz angewandt werden. So wird das Bauteil nicht nach dem
Erodieren behandelt, sondern davor. Hierbei wird das Metall gehärtet, was zur Folge
hat, dass die Krater an der Oberfläche moderater ausfallen.
• Das schichtweise Erodieren. Hierbei wird an kritischen Stellen der Abtrag
schichtweise vorgenommen. Dabei fährt die Drahtelektrode mehrmals über die zu
erodierende Stelle.
Neben den hier genanten Vorgehensweisen wird eine Verbesserung der Oberfläche durch
elektrolytisches Ätzen untersucht. Wobei die Kratererhebungen durch Billdung von
Potentialspitzen (elektrisch) stärker abgetragen werden, als flache bzw. glatte Flächen.

6.3 Konstruktive Maßnahmen

Was ist nun für das Design der Stellmechanik zu berücksichtigen?


Wie oben schon erwähnt, sind die wirtschaftlichen Aspekte einer Konstruktion wesentlich
vom fertigungstechnischen Verfahren und seiner Beherrschbarkeit abhängig. Da das
Erodieren mehr für Kleinserien oder Einzelanfertigung gedacht ist, versteht es sich von selbst,
dass es im Verhältnis zu anderen Verfahren wie das Fräsen oder das Drehen ein relativ teures
Verfahren ist. Daher ist das Bestreben, die Durchlaufzeiten eines Werkstückes so gering wie
möglich zu halten. Schon bei der Konstruktion sollten demnach wirtschaftliche Aspekte
berücksichtigt werden.
Im Fall der Stellmechanik wurden in enger Zusammenarbeit mit der Fertigung zwei
Optimierungsansätze erarbeitet, die in die Konstruktion mit eingeflossen sind.
Beim Mechanikdesign werden die von Draht durchlaufenen Konturen geometrisch so einfach
wie möglich gehalten. Dabei wird versucht, die Konturen so zu legen, dass jeweils lange
gerade Verfahrenswege entstehen. Soweit die mechanische Festigkeit es zulässt, wird auf
Radien verzichtet. Die Radien an den Innenkanten entsprechen somit den des
Elektrodendrahtes37. Die durch diese Maßnahmen gewonnene Durchlaufersparnis beträgt
ca. ~10% gegenüber den in Abschnitt 2-3 in Abbildung 2-11 erwähnten voruntersuchten
Mechaniken.
Der zweite Ansatz zielt auf die Automatisierbarkeit der Konstruktion ab. Dabei wird das Ziel
verfolgt, das Werkstück im Nachtbetrieb ohne den Operator fertigen zu können. Um dieses
Ziel zu realisieren, muss die Konstruktion auf die Bedürfnisse der EMD- Anlage angepasst
werden. So werden Startbohrungen strategisch so angelegt, dass ein automatisches Einfädeln
des Elektrodendrahtes ermöglicht wird.
Eine weitere Optimierung der Automatisierbarkeit besteht im Eliminieren von Fallteilen.
Fallteile entstehen immer dann, wenn Flächenkonturen herausgeschnitten werden. Ein
Problem bilden hier kleine Fallteile, die sich zwischen Elektrodendraht und Werkstück
verkeilen. Dieses Verkeilen führt zu einem Stoppen des Bearbeitungsvorgangs und kann nur
37
Entspricht dem Radius des Drahtes plus den von der Entladung erzeugtem Spalt. Wobei die Spaltbreite vom
Werkstückmaterial abhängt.

93
Fertigung

manuell vom Operator behoben werden. Konstruktiv werden an solchen kritischen Stellen,
wie in Abbildung 6-8 b) dargestellt, die Fallteile an der Mechanik stehen gelassen. Wenn dies
aus mechanischen Gründen nicht möglich ist, müssen diese vollständig abgetragen werden.
Diese Maßnahmen führen zu einer Durchlaufersparnis von ca. ~ 30 % bezüglich den in
Abbildung 2-11 vorgestellten Mechaniken.

(a) (b)
Abbildung 6-6 Konstruktive Maßnahmen zur Automatisierung und Durchlaufersparnis
a) Darstellung des Fallteilproblems b) Lösungsansätze

Insgesamt wird durch die erwähnten Maßnahmen die Standzeit des Werkstückes auf fast die
Hälfte reduziert. Zusätzlich wurde die Auslastung der Anlage durch den autarken
Nachtbetrieb erhöht, was indirekt zu einer zusätzlichen Kostenreduzierung des Bauteiles mit
beiträgt.

94
Konstruktive Umsetzung

7. Konstruktive Umsetzung

Nachdem die Topologie der kinematischen Kette in Abschnitt 5.3 (8.3) korrigiert wurde, wird
nun die Getriebetopologie in ein konkretes Bauteil transformiert. Hierbei müssen die
verschiedenen Aspekte implementiert werden, die in den vorangegangenen Abschnitten
besprochen worden sind.
Die wichtigsten Betrachtungen bei der Konstruktion der Mechanik sind:
• die fertigungstechnische Aspekte
• die Umsetzung der Getriebetopologie
• die Handhabung bezüglich der Montage der mechanischen und elektronischen
Komponenten.
In Abbildung 7-1 wird die Baugruppe der Positioniereinheit dargestellt. Sie setzt sich
zusammen aus einer Stellmechanik, vier Vorspannungsvorrichtungen und vier Piezoaktoren.

Abbildung 7-1 Die Positioniereinheit mit ihren Bestandteilen

Im Anhang F finden sich Explosionszeichnungen und die Montageanleitung, aus denen der
Aufbau der einzelnen Baugruppen hervorgeht. So ist die Positioniereinheit ein Bestandteil der
übergeordneten Baugruppe „Sensoreinheit“ (siehe auch Abbildung 1-5 b)), die ihrerseits ein
Bestandteil der Baugruppe „Kameraeinheit“ ist.
Die Umsetzung der Getriebetopologie in eine monolithische Biegegelenkskonstruktion wird
in Abbildung 7-2 a) verdeutlicht. Hierzu wurde die kinematische Kette über die konstruierte
Mechanik gelegt; zu erkennen sind die zugehörigen Glieder und Gelenke. In Abbildung 7-2
b) werden zur Veranschaulichung die einzelnen Glieder und die zugehörigen Hebelarmlängen
aus Tabelle 7-1, nochmals zugeordnet.
Tabelle 7-1 Hebelarmzuordnung zur Abbildung 6-2 b

Glied Nr.: Hebelarm: Länge in [mm]


III l1 2,5
l2 7,5
lv 5
V l4 10

95
Konstruktive Umsetzung
C0 C
A
∆h
E

B0 B
EEp Cp K

A0 D
9

D0
a) b)
Abbildung 7-2 Topologiezuordnung a) Zuordnung der kinematischen Kette b) Zuordnung der
Gliedern mit den entsprechenden Hebelarmlängen

7.1 Auswahl und Zuweisung der Gelenke

Bei der Zuweisung der Gelenke wurden fast ausschließlich Biegegelenke eingesetzt, wie in
Abschnitt 5.1 beschrieben, und in Abbildung 5-1 a) dargestellt. Einzige Ausnahme macht hier
das Passivgelenk an der Rückstellfeder. Dieses wird separat in Abschnitt 7-2 behandelt. In
Abbildung 7-3 wird die Umsetzung der Gelenke aus der kinematischen Kette in
Federgelenken dargestellt. Wie man erkennen kann, variieren die Gelenke in ihrer Steglänge
L1 und im Radius des Auslaufes.
Die Stegdicke t beträgt bei allen 0,15 mm, dieses Maß wurde aus fertigungstechnischen
Erwägungen heraus gewählt (siehe Tabelle 5-5).
Die Gelenkssteglänge l1 wurde so gewählt, dass die maximal auftretenden Spannungen im
Gelenk nicht die maximal zulässigen übersteigen (siehe Abschnitt 1.5.2). Wie wir aus
Abschnitt 1.5.3 wissen, nimmt die Spannung im gebogenen Balken bei gleicher Belastung
mit zunehmender Länge ab. Bei den Gelenken C0, E, D0 und D kommt hierzu noch die
Betrachtung aus Abschnitt 4.2 für Parallelführungen mit Federabstützung, woraus ein relativ
langer Steg entstand. Am Gelenk B0 greift ebenfalls ein relativ großer Verdrehwinkel an,
diesem kann aber aus mechanischen Gründen (wie der Gefahr zu verknicken) nicht eine
beliebige Länge L1 zugewiesen werden. Er wird daher so gewählt, dass die maximal zulässige
Spannung σzul gerade einmal erreicht wird. In Abschnitt 5.3 kann man erkennen, wie dieses
Gelenk letztendlich auch das ist das der höchste Spannung unterworfen ist.
Die Größe der Auslaufradien R orientiert sich da an der Steglänge L1.
In der Tabelle 5-2 werden die Längen der Gelenkstege und die zugehörigen Auslaufradien
tabelliert (vgl. Tabelle 5-5).

Tabelle 7-2 Steglängen- und Radienzuweisung der Gelenke

Gelenk L1 in [mm] R in [mm]


C0, E, D0, D 2 0,6
A0, A 0,5 0,5
B0 1 0,25

96
Konstruktive Umsetzung

L1

a) b) c)
Abbildung 7-3 Angewandte Varianten des Biegegelenks: a) Für das Gelenk B0
b) Für die Gelenke C0, E, D0 und D c) Für die Gelenke A0 und A

Die Gelenke B und C (Abbildung 5-2 Glied IV) wurden aufgrund ihrer unmittelbaren Nähe
aufgelöst und durch eine flexible Membran, bestehend aus einem einzigen Steg, ersetzt.

7.2 Die Rückstellfeder

Beim Betrachten der Rückstellfeder in Abbildung 5-2 stellt sich die Frage, warum eine so
komplizierte Federkonstruktion, wie in Abbildung 7-4, nötig ist? Um diese Frage zu
beantworten, muss erst die Aufgabe der Feder verstanden werden. Sie besteht primär darin,
den Piezoaktor unter Druckspannung zu halten, sekundär dient sie der schnellen Rückführung
der ausgelenkten Mechanik in die Ausgangslage (unausgelenkt). Das Vorspannen des Aktors
geschieht, wie in Abbildung 7-4 dargestellt, über eine Madenschraube, mit der die Feder
gestaucht wird. Die gestauchte Feder erzeugt eine Kraft von 20 N, die über eine Übersetzung
γv = 2 auf den Piezoaktor übertragen wird (siehe Abbildung 5-4). So wird der Piezoaktor bei
einer Stauchung der Feder um 0,2mm mit einer Kraft von 40 N auf Druck belastet (vergleiche
Abschnitt 5.3).
Die Feder wurde so konzipiert, dass sie bei Inbetriebnahme des Aktors nicht einknickt. Das
Verknicken der Feder würde nämlich einen nichtlinearen Verlauf aufweisen, der nur schwer
zu regeln wäre.
Der relativ große Verdrehwinkel beim Anziehen der Madenschraube am Spannhebel hat zur
Folge, dass an dieser Stelle auf Federgelenke verzichtet wurde. Für dieses Gelenk wurde ein
Passivgelenk verwendet. Beim Anziehen der Madenschraube entsteht hier kein Verbiegen,
sondern ein Wälzen. Die spitze Form am Berührpunkt des Passivgelenkes soll die
Berührfläche klein halten, um reibungsbedingte Störungen zu unterdrücken.
Die Vorspannungsvorrichtung wurde aus fertigungstechnischen Gründen als separates Bauteil
realisiert. Grund hierfür war, dass ein Anbringen von Bohrungen, die für die Spannschraube
nötig sind, anders nicht möglich ist. Die Vorspannungsvorrichtung wird daher an
Schwalbenschwanzführungen fixiert und an ihnen mit der Stellmechanik verklebt.

97
Konstruktive Umsetzung

Schwalbenschwanzführungen

Passivgelenk

Einstellschraube
(Madenschraube)

Abbildung 7-4 Rückstellfeder mit Federspanner

7.3 Die Fertigungsunterlagen

Die Fertigungszeichnungen für die Stellmechanik wurden aufgrund der zwei verschiedenen
Fertigungsverfahren in zwei Teilzeichnungen unterteilt, wobei die eine zur Erzeugung eines
Halbzeugs verwendet wird und die zweite zur Erzeugung der Erodierkonturen dient.
Dieses Halbzeugteil wird ausschließlich spanabhebend bearbeitet. Anschließend wird das
Halbzeugteil zur Härten weitergeleitet. Als Algemeintoleranz wird die DIN7168-f-r38
angewandt.
Die Erodierkonturen werden als DXF-File39 der Fertigung übergeben. Die Zeichnungen
dienen daher nur der Kontrolle. Als Algemeintoleranz wird für alle Maß-, Winkel-, Form-
und Lagetoleranzen ein Wert von ± 0,05 mm angegeben. Diese Toleranz ist angesichts der in
Abschnitt 6-1 erwähnten Werkstückqualitäten angebracht.
Zusätzlich werden noch Zeichnungen der restlichen Bestandteile der Baugruppe „Kamera“
sowie Stückliste und Montageanleitung beigefügt. Diese Dokumente sind im Anhang F zu
finden.

38
Wurde von der ISO2768 abgelöst. Wird aber firmenintern (ARRI) noch angewandt.
39
Zweidimensionales CAD-Format

98
FEM-Analyse

8. FEM-Analyse

Die Finite-Elemente-Methode, auch FEM genannt, ist eine mathematisch numerische


Methode zur Berechnung von Kontinuumproblemen wie Feld-, Fluid- oder
Festkörperberechnungen. Aus mathematischer Sicht werden bei der FEM partielle
Differentialgleichungen gelöst. Solche Differentialgleichungen können beispielsweise
Navier-Stokes-Gleichungen für Fluidströmungen, Maxwell-Gleichungen für
elektromagnetische Felder oder die in Abschnitt 1.6 besprochenen Gleichungen der
Elastizitätstheorie sein. Mathematisch lassen sich diese Gleichungen für einfache Systeme
lösen; bei komplexeren Systemen ist dies aber nur schwer oder überhaupt nicht möglich. Hier
setzen numerische Approximationsverfahren wie die FEM an. Somit liegen die Wurzeln der
FEM in der angewandten Mathematik. Der Begriff „finite Elemente“ wurde 1960 von
Clough40 und Argyris eingeführt. Waren FEM-Berechnungen in den 70er Jahren aufgrund
ihrer großen Datenmengen noch eine Domäne spezialisierter Rechenzentren, können im Zuge
der steigenden Rechnerleistung heute auch kommerzielle PC´s aufwendige FEM-
Berechnungen durchführen. Dies ist ein Grund für die rasante Ausbreitung dieses mächtigen
Werkzeugs in den Ingenieurswissenschaften.
Die FEM geht vom römischen Prinzip des „ Teilen und Herrschen“ aus. Hierbei wird ein
komplexes System, durch Aufteilung in endliche „finite“ Elemente einfacher Natur,
idealisiert. Diese Teilsysteme lassen sich dann meist mit linearen Zusammenhängen
beschreiben. Die Vorgehensweise der FEM lässt sich somit in drei Punkten zusammenfassen:

• die Zerlegung des Systems in endliche Elemente (Preprozess41)


• das Aufstellen und lösen eines idealisierten Gleichungssystems (Solve1)
• und die Ergebnisdarstellung (Postprozess1).

Die oben genannten Kontinuumprobleme werden so in diskrete Probleme überführt und


näherungsweise gelöst. Die Abweichung zwischen numerischer und analytischer Lösung wird
mit zunehmender Elementezahl immer kleiner.
Die FEM unterscheidet zwei Arten von Problemstellungen: der geometrischen und
materiellen Linearität des Systems und der zeitlichen Abhängigkeit des
Systemgleichgewichtes.
In dieser Arbeit werden die Verformung, die Spannung und die Eigenmoden der
Stellmechanik aus linearen, zeitinvarianten Gleichungen untersucht.

40
Tätig bei Boeing in Seattle, wo die FEM (im Rahmen der Ingenieurswissenschaften) 1956 erstmals für die
Berechnung gepfeilter Flugzeugtragflügel zum Einsatz kam.
41
Bezeichnung der Schritte im FEM Programmsystem ANYS V.7.0
FEM-Analyse

8.1 Verformungs- und Spannungsanalyse

Zur Simulation der Verformung wurde das Programmsystem ANSYS V.7.0 verwendet. Zur
Vereinfachung des Modells wurde das Volumenmodell in ein Flächenmodell umgewandelt.
Die Modellparameter wurden als Flächeninformationen im CAD- Format IGS von der CAD-
Anwendung SolidWorks auf die ANSYS-Plattform transferiert. Als Schalenelement wurde
das Shell 63 Element gewählt (siehe Abbildung 8-1).
Das Shell 63 Element besteht aus 4 Knoten und wird im dreidimensionalen Raum mit sechs
Freiheitsgraden definiert. Dem Flächenmodell wird daher über eine Realkonstante eine Dicke
zugewiesen.

Abbildung 8-1 Spezifikation des Shell 63 Elementes

Spannungsanalyse
Die Struktur wurde, wie in Abbildung 8-2 a) dargestellt, an den Piezo-Angriffsstellen um 20
µm in x-Richtung versetzt. Beim benutzten Modell wurde die Vorspannfeder abgestürzt um
deren Einfluss mitzuberücksichtigen (siehe Abschnitt 5.4).

Versetzungspfeil mit je
20 µm in X-Richtung

a) b)

c) d)
Abbildung 8-2 Ergebnisse der Spannungsanalyse: a, b) Verschiebung in X- Richtung
c, d) Van Mieses Spannung in verschiedenen Ansichten

100
FEM-Analyse

In Abbildung 8-2 a) ist zu erkennen, dass der Rahmen im Zentralbereich42 eine Versetzung in
die entgegengesetzte Richtung vollzieht. Aus Abbildung 8-2 b) ist der Zahlenwert der
vollzogenen Translation zu entnehmen. Somit erzeugt eine Versetzung von 20 µm an den
Piezoangriffspunkten eine Versetzung von ca. ~30 µm (rot eingekreist) am Sensor, was einer
Übersetzung von Ü = 3 entspricht.
Die hierdurch erzeugten Spannungen werden als van-Mieses-Vergleichspannungen in
Abbildung 8-2 c) und d) dargestellt. In Abbildung 8-3 c) ist zu erkennen, dass die
Spannungsspitzen hauptsächlich im Bereich der Biegegelenke zu finden sind. In Abbildung
8-3 d) erkennt man deutlich das Gelenk mit der höchsten Belastung. Nach der in Abschnitt
4.5 angewandten Nomenklatur handelt es sich hierbei um das Gelenk B0.
Die maximal auftretende Spannung ist in Abbildung 8-2 rot eingekreist, sie beträgt hier
93,075 Mpa.
Somit liegen die Spannungen am Gelenk B0 mit 93 Mpa unterhalb der in Abschnitt 3.3
geforderten Grenzspannung von 243 Mpa.

42
Aus Abschnitt 4 und 5 bekannt als Punkt K, entspricht dem Ort, an dem sich der Sensor befindet.

101
FEM-Analyse

8.2 Strukturdynamische Analyse

Da die Struktur unter statischer Belastung keine Spannungen aufweist, die über der in
Abschnitt 3.3.21 geforderten liegen, wird nun das dynamische Verhalten der Struktur
untersucht. Zu diesem Zweck wird die Struktur einer Modalanalyse unterzogen, bei der die
Eigenmoden43 mit dem dazugehörenden Eigenformen ermittelt werden. Das Ziel der
Modalanalyse ist, die Struktur so abzustimmen, dass die Eigenfrequenzen der Struktur nicht
mit den Lastfrequenzen (Dynamikbereich aus Abschnitt 3.2) zusammenfallen. Somit kann der
dynamische Einfluss reduziert und teilweise sogar eliminiert werden.
Der Ausgangspunkt der Betrachtung ist folgende DGL für mechanische Systeme:

M w + Dw + K w = F (t ) [8-1]

Wobei M die Maßenmatrix, D Dämpfungsmatrix, K Steifigkeitsmatrix ist. Bei w handelt


es sich um den Vektor der Knotenverschiebung und bei F(t) um den Vektor der Gesamtlast
in Abhängigkeit von der Zeit. Mit Gleichung 8-1 lässt sich nun das Verhalten einer Struktur
auf äußere Beanspruchungen berechnen.
Zur Bestimmung der Eigenfrequenzen und Eigenformen wird eine Modalanalyse
durchgeführt. Bei der Modalanalyse wird der folgende Ansatz verwendet:
M w+ Kw = 0 [8-2]
Diese Gleichung beschreibt das Verhalten einer freien ungedämpften Struktur. Mit dem
harmonischen Ansatz
w = w sin(ωi t + θ )
in Gleichung 8-2 folgt:
( K − ωi M ) w = 0
2
[8-3]
Wenn nun die Determinante
det( K − ωi M ) = 0
2

ist, existieren für die Gleichung 8-4 nicht-triviale Lösungen. Diese nach ωi aufgelöst, ergeben
nun die n Eigenfrequenzen44 der betrachteten Struktur, wobei n die Anzahl der Freiheitsgrade
der Struktur ist. Setzt man nun ωi in die Gleichung 8-4 ein, kann man die dazugehörigen
Eigenformen w i ermitteln.
Um das Verhalten einer schwingenden Mechanik zu verstehen, betrachten wir einen
eindimensionalen ungedämpften Masseschwinger, wie in Abbildung 8-2 dargestellt.

m x
Abbildung 8-3 Eindimensionaler ungedämpfter Masseschwinger

43
Werden im Folgenden als Eigenfrequenzen bezeichnet.
44
Feigenfrequenz fi=ωi/2π [Hz].

102
FEM-Analyse

Für dieses System berechnet sich die Eigenfrequenz wie folgt:

1 k
f0 = [8-4]
2π m

Somit kann man sagen, dass die Eigenschwingung eine Mechanik mit zunehmender
Steifigkeit k ansteigt. Anders beim Gewicht, nimmt nun die schwingende Maße m zu, so
erniedrigen sich die Eigenfrequenzen.
In der hier betrachteten Mechanik ist man daher bestrebt, die ersten Eigenfrequenzen so hoch
wie möglich zu halten. Dazu werden über die Modalanalyse die Eigenformen bestimmt.
Diese geben ihrerseits darüber Auskunft, welche Teile der Strukturen verstärkt bzw. versteift
werden müssen, und welche Strukturkomponenten die schwingenden Maße ausmachen und
somit leichter gemacht werden können.

Da die hier berechnete Mechanik aus mehreren Massen gekoppelt mit Federn besteht, besitzt
sie auch mehrere Resonanzfrequenzen, die als Moden bezeichnet werden.
Zur Berechnung der Eigenfrequenzen wurden ebenfalls das Schell 63 Elemente angewandt.
Diese Elemente bieten 6 Freiheitsgrade, zwei Translatorische und drei Rotatorische. Bei der
Vernetzung des Modells wurden 57000 Knoten generiert. Hierdurch wird ein 342000
dimensionales Modell generiert, das es zu lösen gilt.

Auswertung

Bei der Auswertung der Schwingungsmoden wurden die ersten 6 berechneten


Schwingungsmoden weggelassen, da sie keine physikalische Bedeutung haben (z.B. bei
0 Hz). Diese Moden ergeben sich aus dem Lösungsalgorithmus und folgen den
Freiheitsgraden des Modellelements. Die für unsere Betrachtung relevanten Moden
reduzieren sich somit auf drei. In Abbildung 8-5 sind die errechneten Eigenmoden zu sehen
und in Tabelle 8-1 die zugehörigen Frequenzen tabelliert.

Tabelle 8-1 Frequenzen der ersten drei Moden

Mode Eigenfrequenz Bemerkung


1 f01 215 [Hz] Translatorisches Schwingen entlang der y- Achse
2 f02 323 [Hz] Translatorisches Schwingen entlang der x- Achse
3 f03 961 [Hz] Rotatorisches Schwingen um die z- Achse

Wie zu sehen ist, befindet sich schon die erste Schwingungsmode weit außerhalb des von der
Mechanik genutzten Frequenzbereiches45. Somit ist eine Störung der Bewegungsmechanik
durch Eigenfrequenzen ausgeschlossen.

45
Siehe hierzu Abschnitt 3.2

103
FEM-Analyse

a) b)

c) d)
Abbildung 8-4 Ergebnisse der Modalanalyse der Mechanik ohne Vorspannung:
a) vernetzte Struktur
b) erste Schwingmode bei 215 Hz
c) zweite Schwingmode bei 323Hz
d) dritte Schwingmode bei 961 Hz.

Um zu untersuchen, wie sich das Anspannen der Rückstellfeder auf das Schwingverhalten der
Mechanik auswirkt, wurde analog zur oben durchgeführten Analyse eine mit eingespannter
Feder durchgeführt. Die sich hieraus ergebenden Moden sind in Tabelle 8-2 tabelliert und die
dazugehörigen Eigenfiguren in Abbildung 8-6 dargestellt.

Tabelle 8-2 Frequenzen der ersten drei Moden bei eingespannter Rückstellfeder

Mode Eigenfrequenz Bemerkung


1 f01 268 [Hz] Translatorisches Schwingen entlang der y- Achse
2 f02 389 [Hz] Translatorisches Schwingen entlang der x- Achse
3 f03 953 [Hz] Rotatorisches Schwingen um die z- Achse

Die Mechanik wird steifer und somit erhöht sich auch die Resonanzfrequenz.

104
FEM-Analyse

a) b)

d)
Abbildung 8-5 Ergebnisse der Modalanalyse der Mechanik mit Vorspannung:
a) erste Schwingmode bei 268 Hz
b) zweite Schwingmode bei 389Hz
d) dritte Schwingmode bei 953 Hz

Eine Analyse mit eingespanntem Piezoaktor wird nicht durchgeführt. Zwar erhöht der
Piezoaktor die bewegte Masse der Mechanik einerseits, andrerseits fällt die Versteifung der
Mechanik stärker ins Gewicht. Somit währe auch hier eine weitere Erhöhung der
Resonanzfrequenzen zu erwarten.

105
FEM-Analyse

8.3 Ermittlung der Mechanikkennlinie

Bei dieser Betrachtung wurde das Modell mit abgestützter Feder angewandt wie in Abbildung
8-2 und 8-6 dargestellt. Als Vernetzungselement wurde das Schalenelement Schell 63 mit
einer Realkonstante46 von 5,5 mm verwendet.
Zur Ermittlung der Mechanikkennlinie wurde das FEM-Modell mit einer schrittweise
abnehmenden Kraft an den Piezoangriffsstellen belastet. Die berechneten Werte sind in
Tabelle 6-1 tabelliert und in Abbildung 8-7 dargestellt. Hierbei wurde die Auslenkung am
Piezoangriffspunkt für die Eingangskennlinie hergenommen und die Auslenkung am Rahmen
im Zentralbereich (siehe Abschnitt 8.1) für die Ausgangskennlinie verwendet.
Tabelle 8-3 Berechnete Werte für verschiedene Lastschritte

Eingangskraft Last Schritt Auslenkung Sensor in Auslenkung Eingang


in [N] Nr. y-Richtung in [m] in y-Richtung in [m]
180 1 0,000330687 0,001035011
160 2 0,000293831 0,000925246
140 3 0,000257201 0,000809859
120 4 0,000220487 0,000681907
100 5 0,000183715 0,000578483
80 6 0,000146891 0,000462544
60 7 0,000110148 0,000346839
40 8 0,000073472 0,000231347
20 9 0,000036726 0,000115632
0 10 0 0

0,0012 Mechanikkennlinie
Piezoangriffsflächnversetzung [m]
Sensorversetzung [m]

0,001
Ausgangskennlinie: y = 5,761E-06x
2
R = 9,999E-01
0,0008
Eingangskennlinie: y = 1,837E-06x
2
R = 1,000E+00 Ausgangskennlinie

0,0006

Eingangskennlinie

0,0004

0,0002

0
0 20 40 60 80 100 120 140 160 180 200
Eingangskraft Fin [N]

Abbildung 8-6 Mechanikkennlinie

Die zwei Kennlinien geben einerseits Auskunft über die Übersetzung und andererseits über
die Mechaniksteifigkeit.

46
entspricht der Dicke des Bauteils

106
FEM-Analyse

Die Steifigkeit der Mechanik entspricht der Steigung der Eingangskennlinie. Der aus der
Eingangskennlinie in Abbildung 8-1 ermittelte Wert für die Steifigkeit der Mechanik Km
beträgt:

−1 m [8.5]
K m = 1,837 10−6  
N 
N 
K m = 544365  
m
Die Übersetzung ermittelt sich wie folgt:

Steigung AK
γ= = 3,14 [8-6]
Steigung EK

Die ermittelte Übersetzung γ ist mit 3,14 geringer, als die in Abschnitt 5.3 kinematisch
errechnete. Dieser Unterschied lässt sich dadurch erklären, dass die modifizierten Gelenke
(siehe Abschnitt 5.3) sich bezüglich ihres Drehpunktes nicht mehr eindeutig diskretisieren
lassen. Dies ist besonders bei den Gelenken C0, E, D0, D und den verschmolzenen Gelenken
B und C (siehe Abschnitt 7.1) zu beobachten. Bei der konstruktiven Umsetzung wurde
angenommen, dass der Drehpunkt der Gelenke sich in der Mitte des Steges befindet. Diese
Annahme hat sich als falsch herausgestellt. Dies ist auch der Grund, warum im PRB-Modell
die Übersetzung γ nach dem Anpassen der Gelenke auf 4 vergrößert wurde, obwohl nur eine
Übersetzung γ von 3 gefordert ist.
Abbildung 8-7 zeigt die Auswirkung, die ein längeres Gelenk auf die Gelenkverdrehung τ
hat. Diese Diskrepanz wirkt sich schließlich auch auf die Lagewinkel der betroffenen Glieder
aus, was zu einer Verfälschung der Kinematik im PRB-Modell führt.

z τ1 τ2
τ1 ≥ τ 2
a) b)
Abbildung 8-7 Auswirkung größer werdender Gelenkstege auf die Kinematik:
a) Auslenkung um z mit kurzem Gelenksteg
b) Auslenkung um z mit langem Gelenksteg

107
FEM-Analyse

108
Messung der Eigenmoden

9. Messung der Eigenmoden


In Abschnitt 7.1 haben wir den Begriff der Eigenmode schon kennengelernt. Hier sollen nun
die Moden gemessen werden.
Warum wollen wir eigentlich die Moden messen?

• Zur Verifizierung der berechneten FEM-Ergebnisse und ggf. Modifizierung des FEM-
Modells durch geeignete finite Elemente.

Die Elementbibliothek in einem hochwertigen FEM-Programm kann sehr umfangreich sein.


Bei der Entscheidung, welches Element zur Vernetzung eines Modells ausgewählt werden
soll, bedarf es einer großen Erfahrung. Ob nun ein Flächenelement, ein Schalenelement oder
gar ein Solid-Element gewählt wird, hängt maßgeblich von der Problemstellung ab und von
der gewünschten Genauigkeit. Eine Hilfe kann da die Untersuchung schon vorhandener
Bauteile sein. In unserem Fall wird das die in Abbildung 9-1 a) dargestellte Mechanik sein.
Beim Vergleich der gemessenen Größen mit den errechneten kann geschlussfolgert werden,
ob das Element für die Berechnung solcher Problemstellungen geeignet ist. Das Element mit
der größten Übereinstimmung wird schließlich zur Berechnung der Mechanik
herangenommen.
Die Kontrolle hingegen wird an der in Abbildung 9-1 b) dargestellter Mechanik durchgeführt.
Hierbei handelt es sich um die erste aus der Fertigung kommende Mechanik. Ziel dieser
Messung ist es, letzte Zweifel hinsichtlich der geforderten Spezifikationen auszuräumen.

a) b)

Abbildung 9-1 Untersuchte Mechaniken : a) Version BME02e


b) Version BME02b

9.1 Die Laservibrometrie

Zur Messung der Moden wurde die Laservibrometrie angewandt, dabei wurden mit einem
Gerät der Firma Polytec gearbeitet.
Mit einem Laservibrometer lässt sich ein Oberflächenbereich der Mechanik auswählen und
punktweise mit einem Laserstrahl abtasten. Aus diesen Messdaten kann man nun die
Eigenmoden der Mechanik errechnen. Das Messen geschieht hier berührungslos.

109
Messung der Eigenmoden

Das Messprinzip

Der Laservibrometer arbeitet nach dem Prinzip der Dopplerfrequenzverschiebung47 . Wie der
Name schon sagt, wird zur Messung ein Laserstrahl verwendet. Dabei wird die Information
über das zu messende Objekt aus dem an der Objektoberfläche gestreuten Licht entnommen.
Abbildung 9-2 zeigt schematisch den prinzipiellen Strahlengang im Laservibrometer. Das
Licht des Lasers wird an Strahlteiler BS1 in einen Messstrahl und einen Referenzstrahl
geteilt. Dabei durchläuft der Messstrahl den Strahlenteiler BS2 und wird anschließend an der
Linse L auf das Objekt fokussiert. Das an der Objektoberfläche rückgestreute Licht gelangt
über die Linse L an den Strahlteiler BS2, wo es auf den Strahlteiler BS3 abgelenkt wird. Hier
werden nun die Strahlen vom Mess- und Referenzstrahl überlagert, wodurch eine
Intensitätsmodulation entsteht, die auf den Detektoren D1 und D2 erfasst wird. Die Frequenz
dieser Modulation ist ihrerseits proportional zur Schwinggeschwindigkeit des Messobjektes.
Die Braggzelle im Strahlengang des Referenzstahls dient zur Bestimmung der
Schwingrichtung des Objektes. Dabei wird die Frequenz optoakustisch um 40 Mhz
verschoben. Je nachdem, ob größere oder kleinere Frequenzen als 40 MHz detektiert werden,
bewegt sich das Objekt auf den Laser zu oder weg.

Abbildung 9-2 Strahlengang eines Laservibrometers (Bild: Fa. Polytec)

Der Messaufbau

Der Messaufbau besteht aus zwei Laser und einer computergestützten Verarbeitungseinheit.
Der Aufbau wird in Abbildung 9-3 dargestellt. Der Laser 1 dient der Referenzmessung eines
Punktes bezüglich dessen die Schwingung gemessen wird. Im unseren Fall wurde die
Außenkontur der Mechanik gewählt. Der Laser 2 misst die schwingende Struktur der
Mechanik. Hierzu wurde er auf die Mechanikstruktur gerichtet, auf der sich der Bildsensor
befinden wird. Um ein besseres Messsignal zu gewinnen, wurde an den Stellen an die der

47
Vergleichbar mit der Frequenzverschiebung des vom Martinshorn angesandten Schalls beim Vorbeifahren
einer Ambulanz

110
Messung der Eigenmoden

Laser auf die Mechanik auftrifft diffus reflektierende Marker aufgeklebt. Nach dem
Einspannen der Mechanik in einem Schraubstock und der Einjustierung der Laser wurde die
Mechanik mit einem kurzen breitbandigen Impuls in Schwingung versetzt. Der Impuls wurde
wie in Abbildung 9-3 dargestellt auf die zu messende Mechanikstruktur gegeben.

Abbildung 9-3 Messaufbau zur Messung der Eigenmoden an der Mechanik

Unterstützt wurde die Messung von einem von Prof. Dr. N. Stokhausen in LabVIEW
geschriebenen Programm, das in Hintergrund die Aufbereitung der Messwerte sowie ihre
graphische Darstellung übernimmt. Die einzustellenden Parameter reduzieren sich somit auf
die Eingabe der Abtastrate, mit der das analoge Messsignal digitalisiert wird und die Eingabe
der Anzahl der Punkte die zur FFT48 übernommen werden. Bei dieser Messung wird die
Geschwindigkeit der Schwingung gemessen. Das Geschwindigkeitssignal wird durch das
Programm in Betrag genommen, dieses anschließend durch eine Fourie-Transformation in
den Frequenzbereich überführt. Die Frequenzdarstellung der Impulsantwort erlaubt nun das
Erkennen von Eigenmoden.

9.2 Messung zur Anpassung der FEM-Modelle

Mit der in Abbildung 9-1 a) dargestellten Mechanik (BME02c), werden nun durch Anpassung
der FEM-Modelle (Randbedingungen, Kraftangriffspunk und Elementtyp) die
Voraussetzungen für die in Abschnitt 8 durchgeführten Berechnungen gesetzt.
Die Signale wurden mit 5000 Hz abgetastet. Das Geschwindigkeitssignal wird in Betrag
genommen und anschließend an 2049 Stellen einer FFT unterzogen. Aus dem hieraus
ermittelten Spektrum lassen sich nun die einzelnen Moden herauslesen.
Bei der Ermittlung der Impulsantwort der Mechanik wurde mit einem Impulshammer ein
schmaler Impuls mit breitem Spektrum auf die Mechanik übertragen.
Das ermittelte Impulsantwortspektrum ist in Abbildung 9-3 a) dargestellt. Da die Breite des
vom Impulshammer erzeugen Spektrums die hochfrequenten Anteile des Spektrums nicht
befriedigend erreicht hat, wurde zusätzlich mit einer steifen Schlagfeder ein sehr kurzer Puls
erzeugt, der auch die höheren Frequenzen anspricht (siehe Abbildung 9-3b)).
48
Fast-Fourie-Transformation

111
Messung der Eigenmoden

f [Hz]
a)

f [Hz]
b)

f [Hz]
c)
Abbildung 9-4 Impulsantwort der Mechanik BME02b mit einer Mode bei ca. ~350 [Hz]:
a) Mehrfachmessung mit einen breitbandigen Impuls mit mittleren
Frequenzanteilen
b) Messung mit einen breitbandigen Impuls mit hohen Frequenzanteilen
c) der zu (a) gehörende Realanteil des Spektrums

Zusätzlich zur Impulsantwort wurde noch ein Vergleich mit der Sprungantwort der Mechanik
durchgeführt. Diese ist in Abbildung 9-4 sowohl im Zeitbereich als auch im Frequenzbereich
dargestellt.

t [s]
a)

f [Hz] b)

Abbildung 9-5 Die Sprungantwort der Mechanik BME02b: a) im Zeitbereich


b) im Frequenzbereich

112
Messung der Eigenmoden

Wie Abbildung 9-4 und 9-5 zu erkennen ist, besitzt die Analysierte Mechanik eine eindeutige
Schwingungsmode bei 350 Hz. Wie aus der Sprungantwort aus Abbildung 9-5 zu erkennen
ist, handelt es sich hier um ein gedämpft schwingendes System 2 Ordnung (PT2). Somit kann
es mit den Gleichungen 8-1 und 8-2 aus Abschnitt 7 beschrieben werden.

In Abbildung 9-6 ist die mit FEM berechnete erste Eigenmode dargestellt. Abbildung 9-6 a)
zeigt ein mit Solid 4549- Elementen gerechnetes Modell, Abbildung 9-6 b) - eins mit Shell 63
gerechnetes. Beide kommen an die gemessenen Eigenfrequenzen im Rahmen der
Messgenauigkeit und der Modelltreue gut heran.

a) b)
Abbildung 9-6 Vergleich zwischen: a) Solid 45 - Volumenelement
b) Shell 63 - Schalenelement

Aufgrund der erheblich kürzeren Rechenzeit wurden die in Abschnitt 8 mit Shell 63 -
Elementen gerechnet.

49
Hierbei handelt es sich um dreidimensionale Volumenelemente

113
Messung der Eigenmoden

9.3 Die Kontrollmessung

Analog zur oben durchgeführten Messung verlief auch die Messung an der Mechanik aus
Abbildung 9-1 b). Hierbei wurde auch der Einfluss der Vorspannung untersucht. Die
Mechanik wurde wie in Abbildung 9-3 im vormontierten Zustand untersucht. Hierbei waren
sowohl die Piezoaktoren als auch der hintere Wärmeleiter und das Peltierelement aufmontiert.
Dies für dazu das die Schwingende Masse erhöht wird und somit die Resonanzfrequenz
erniedrigt wird (vgl. Abschnitt 7).
Bei den in Abbildung 9-7 dargestellten Ergebnissen wurde die Mechanik (BME02e) mit
vorgespannter Rückstellfeder gemessen, wobei die Rückstellfeder um 0,2 mm gestaucht
wurde.

f [Hz]
a)

f [Hz]
b)

Abbildung 9-7 Impulsantwort der Mechanik BME02e:


a) Messung mit einen breitbandigen Impuls mit hohen Frequenzanteilen
b) der dazugehörige Realanteil.

Wie man aus der Abbildung 9-7 a) entnähmen kann hat die Mechanik eine Eigenmode bei
100 Hz. Diese Annahme wird durch Betrachtung des Realanteils aus dem Spektrum der
Impulsantwort in Abbildung 9-7 b) nochmals bestätigt.

Abbildung 9-8 zeigt die Ergebnissen bei Änderung der Stauchung der Rückstellfeder. An der
Mechanik (BME02e) wurde eine Messung mit loser Vorspannung (Federstauchung = 0 mm)
und eine mit erweiterter Vorspannung (Federstauchung = 0,4 mm) durchgeführt.

114
Messung der Eigenmoden

f [Hz]
a)

f [Hz] b)

Abbildung 9-8 Impulsantwort der Mechanik BME02e:


a) Messung mit einen breitbandigen Impuls mit hohen Frequenzanteilen
und loser Feder
b) Messung mit einen breitbandigen Impuls mit hohen Frequenzanteilen
und steif Feder (schraube um 0,4 mm angezogen)

Wie man aus Abbildung 9-8 entnehmen kann hat die Vorspannung Einfluss auf die Steifigkeit
der Mechanik. Bei Erhöhung der Federstauchung (Abbildung 9-8 b)) bzw. Erniedrigung
(Abbildung 9-8 a)) um 0,2 mm bezüglich der in Abbildung 9-7 gemessenen Einstellung ist
eine Frequenzverschiebung der ersten Mode um ca. ~20 Hz zu beobachten.
Somit ist erwiesen dass eine Einflussnahme des Schwingverhaltens der Mechanik über die
Madenschrauben an der Vorspannvorrichtung möglich ist.

115
Messung der Eigenmoden

116
Zusammenfassung, Diskussion und Ausblicke

10. Zusammenfassung, Diskussion und Ausblicke

10.1 Zusammenfassung

Aus der Betrachtung des Pseudo-Rigid-Body-Modells und der FEM-Analyse, sowie aus
Messungen an den vorangegangenen Mechaniken kann man sagen, dass eine reine
kinematische Betrachtung elastischer (Compliant) Mechanismen nicht ausreichend ist, um
deren Koppelkurve zu ermitteln. Folglich ist die Synthese eines solchen Mechanismus nur auf
Basis kinematischer Betrachtungen nicht möglich. Der Grund hierfür sind die konservativen
Kräfte, die von den Federgelenken ausgehen. Sie nehmen einen Teil der vom Aktor
verrichteten Arbeit auf, um sich zu verformen.
Hier setzt nun die Pseudo-Rigid-Body-Methode an, sie schließt nämlich diese Rückstellkräfte
in ihre Betrachtung mit ein. Dies geschieht dadurch, dass an den Gelenken der kinematischen
Kette zusätzliche Torsionsfedern angebracht werden. Diese Torsionsfedern erzeugen
ihrerseits ein der Versetzung entgegengesetztes Moment. Nach der kinetostatischen Analyse
des Pseudo-Rigid-Body-Modells zeigt sich, dass die benötigte Kraftübersetzung unter
Verwendung des gleichen Aktors größer ist, als bei der reinen kinematischen Betrachtung
(die Trägheit wird wegen den geringen bewegten Massen vernachlässigt).
Bei der Abschätzung der Zuverlässigkeit ist aber auch beim Pseudo-Rigid-Body-Modell die
Grenze erreicht. Hier kommen nun numerisch lösbare Kontinuumsmodelle wie die der FEM
zum Einsatz. Diese sind gerade dann zwingend, wenn der zu untersuchende Mechanismus
sehr komplex oder hohen Belastungen unterworfen ist, sei es statischer oder dynamischer
Natur. In unserer Aufgabenstellung ist die hohe Lebenserwartung und die damit verbundene
hohe Lastwechselzahl der Grund für den Einsatz der FEM.
Unter Einbeziehung der Werkstoffcharakteristika wird zusammen mit fertigungstechnischen
Betrachtungen ein Sicherheitsfaktor ermittelt, der seinerseits auf die Dauerbiege-
wechselfestigkeit aufgeschlagen wird. Der hieraus entstandene Wert entspricht der
maximalen zulässigen Spannung im ausgelenkten Mechanismus. Um ein optimales FEM-
Modell zu generieren, wurden die schon vorhandenen Mechaniken mit einem Laser-
vibrometer untersucht. Die FEM-Modelle dieser Mechaniken wurden anschließend auf die
Ergebnisse der Messung hin angepasst. Die somit gewonnenen Randbedingungen werden
anschließend auf das Modell der zu entwickelnden Mechanik übertragen.
Ausgehend von dieser Analyse wurden die Federgelenke so ausgelegt, dass die von Mises-
Vergleichspannung die maximal zulässige Spannung nicht übersteigt. Darüber hinaus wurde
auch das Frequenzverhalten der Mechanik untersucht, um eventuelle Eigenmoden im
Arbeitsbereich der Mechanik vorzubeugen.

117
Zusammenfassung, Diskussion und Ausblicke

10.2 Diskussion

Die entwickelte Mechanik entspricht den in Abschnitt 3 definierten Spezifikationen. Dies


wurde durch die Messungen in dieser Arbeit bezüglich der Dynamik (Abschnitt 9) und
Messungen bei ARRI50 bezüglich der Sensorversetzung bestätigt.
Zu den in dieser Arbeit angewandten Analysemethoden lässt sich folgendes sagen:

FEM:
Die FEM birgt hinter viel Farbe auch sehr viele Tücken. So wurden die importierten iges-
Modelldaten der Mechanik nicht in mm sondern in m übernommen, was anfangs zu absurden
Werten führte. Ein anderer Punkt ist die geschickte Anbringung der Kräfte und
Randbedingungen, was dazuführt, dass man unterschiedliche Ergebnisse durch minimale
Änderungen erhält. Als Fazit ist zu sagen, dass die FEM ein mächtiges Tool ist, dessen
Ergebnisse man aber kritisch betrachten sollte.

Der analytische Weg mit dem Pseudo-Rigid-Body-Modell:


Der analytische Weg über ein Pseudo-Rigid-Body-Modell vereinfacht die Mathematik sehr
drastisch. Hat aber den Nachteil, dass bei komplexeren Modellen, wie hier der Fall ist, die
Berechnung sehr schnell unübersichtlich wird. Sie erfordert ein sehr diszipliniertes Vorgehen,
da der kleinste Vorzeichnefehler sich gravierend auf das Endergebnis auswirken kann.

Der MKS-Analyse des Pseudo-Rigid-Body-Modell:


Die Betrachtung eines Pseudo-Rigid-Body-Modells mit einer MKS-Software hat sich als die
schnellste und zuverlässigste Methode herausgestellt. Sie ermittelt alle gewünschten Daten,
wie der Hubübersetzung, der Kraftübersetzung und der Mechaniksteifigkeit. Sie ist darüber
hinaus wegen ihrer grafischen Oberfläche sehr anschaulich.

PRB-Modelle:
Die Modellierung eines elastischen Mechanismus als Pseudo-Starrkörper hat den Vorteil,
dass man bei der Synthese eines Mechanismus wie beim Starköpermechanismen vorgehen
kann. Sie bietet die Möglichkeit, schnell eine geeignete Getriebetopologie zu finden. Nachteil
ist die Genauigkeit der ermittelten Werte, sie hängen stark von der Qualität der verwendeten
empirisch ermittelten Formeln für die Gelenksteifigkeiten ab. Diese enthalten meist
Korrekturfaktoren, deren Dimension in den meisten Publikationen nicht weiter erläutert wird.
Ein weiterer Nachteil sind die uneinheitlichen Einheiten, mit denen diese empirischen
Formeln arbeiten (z.B. E-Modul in [pa], [Mpa] oder [Gpa]).
Bei größer werdenden Gelenken, wie in Abschnitt 5-3 bei den Gelenken C0, E, D0 und D der
Fall war, ist eine Diskretisierung des Gelenkdrehpunktes am realen Bauteil sehr schwer, was
zu Abweichungen in der Übersetzung führt, wie in Abschnitt 8.3 gezeigt. Erst durch den
Einsatz der FEM konnte eine Anpassung des PRB- Modells, auch für längere Gelenkstege
gewährleistet werden. Somit kann man sagen, dass das PRB-Modell für Mechanismen
bestehend aus Kerbgelenken gut geeignet ist, bei Biegegelenken mit größer werdenden
Steglänge L1 gelangt das Modell an seine Grenzen.

In Abbildung 10-1 werden die Ergebnisse der verschiedenen Berechnungsmethoden


gegenübergestellt. Wie zu erwarten war, sind Abweichungen zu erkennen.

50
Die Messung wurde durch Belichten eines Streifenmusters in zwei Sensorpositionen durchgeführt. Da diese
Messung darüber hinaus Auskunft über die optischen und sensorischen Eigenschaften des Sensors gibt, können
diese Messungen zu diesem Zeitpunkt nicht veröffentlicht werden.

118
Zusammenfassung, Diskussion und Ausblicke

Ausgangskennlinie:

Versetzung am Piezo- Angriffspunkt [m]


0,00045
PRB-Analytisch
0,0004
FEM schell 64

0,00035
MKS mit Angepassten
Gelenken und Übersetzung
0,0003

0,00025
MKS mit
Kkerbgelenken
0,0002
Mechanik wird
0,00015 Steifer

0,0001

0,00005

0
0 20 40 60 80 100 120 140 160 180 200
Eingangskraft Fin [N]

Abbildung 10-1 Vergleich der Eingangskennlinien, berechnet mit FEM und PRB

In Tabelle 10-1 sind die Ergebnisse für die Mechaniksteifigkeit aus den verschiedenen
Berechnungsmethoden noch einmal zusammengefasst.
Tabelle 10-1 Ergebnisse zu den Berechnungen der Mechaniksteifigkeit

Berechnungs- Steifigkeit Fehler [%]


Mechanik Bemerkung
methode [N/m] bez. FEM
Mechanik mit MKS ohne Gelenk A und A0 528157 3
Biegegelenken Analytisch - 553287 1,6
und
vergrößerter
Übersetzung FEM ohne Gelenk A0 544365 0
Mechanik mit
Kerbgelenken MKS ohne Gelenk A und A0 722577 -51
und einer
Übersetzung Analytisch - 71788 -
von γ = 3

Dynamik
Die Ergebnisse aus der dynamischen Messung zeigen, dass die ermittelten Ergebnissee durch
die FEM Modalanalyse sehr nahe der Realität sind. Ein direkter Vergleich der simulierten
und der gemessenen Mechanik war aufgrund des schon montierten Zustandes der gemessenen
Mechanik nicht möglich. Die Ergebnisse lassen jedoch den Schluss zu, dass die berechneten
Moden korrekt waren. Die Mechanik kann somit der geforderten Dynamik gerecht werden
und hat darüber hinaus sogar noch Spielraum. Dies ist besonders im Bezug auf die Steuerung
und Regelung der Mechanik von Vorteil.

51
Für die Mechanik mit Kerbgelenken wurde keine FEM-Analyse durchgeführt da sie schon bei der
analytischen Betrachtung zu steif war.

119
Zusammenfassung, Diskussion und Ausblicke

Fazit
Die entwickelte Mechanik war ein voller Erfolg, sie konnte alle Erwatungen nicht nur
erfüllen, sondern sogar übertreffen. Neben den technischen Anforderungen hat die Mechanik
dazu beigetragen, die Auslastung der bei ARRI verwendeten Erodieranlage durch
automatisierungsfreundliche Gestaltung zu erhöhen. Somit war die entwickelte Mechanik
auch vom wirtschaftlichen Standpunkt ein Erfolg. Die gesamten Kosten für die Erstellung
einer Mechanik liegen bei zirka 800 €, dem gegenüber stehen 5000 € die eine zugekaufte
Lösung kostet.
Die Mechanik war ursprünglich als Prototyp gedacht, wird aber in der Serienfertigung des
ARRI-Scanns bereits eingesetzt.

120
Zusammenfassung, Diskussion und Ausblicke

10.3 Ausblicke

Was könnte man noch tun, um auf ein besseres Ergebnis zu kommen, und wie sieht die
Zukunft von elastischen Mechanismen aus?
Die Anforderungen an die Genauigkeit von Positioniermechanismen werden angesichts der
zunehmenden Miniaturisierung mechatronischer Bauteile in Zukunft zunehmen. Eine optimal
an solche Aufgaben angepasste Mechanik zu entwickeln wird das Ziel sein. Bei der Synthese
von mechanischen Bauelementen bieten Optimierungsverfahren ein großes Potenzial. Ein
Beispiel hierfür sind die von C. Ertl in ihrer Diplomarbeit „ Entwicklung einer
Optimierungsumgebung für mechanische Probleme“ (2003) vorgestellten Algorithmen wie
SLSQP oder der Hooke Jeeves, die auf die Optimierung von kinematischen Ketten
ausgerichtet wurden. Einen Schritt weiter gehen die Optimierungsansätze, die L. L. Howell in
seinem Buch „Compliant Mechanisms“ und G. K Ananthasuresh in seinen zahlreichen
Publikationen vorstellen. Bei diesen Verfahren geschieht die Synthese einer elastischen
Mechanik über eine FEM-Optimierung der Getriebetopologie. Unter Angabe der
Randbedingungen generiert dieser Algorithmus eine „optimale“ Topologie.
Die Schwäche dieser Algorithmen ist, dass die erzeugten Topologien den wirtschaftlichen
Fertigungsaspekten kaum gerecht werden. Diese wirtschaftlichen Aspekte in die
Nebenbedingungen der Optimierungsalgorithmen zu implementieren wird über die Zukunft
solcher Synthesewerkzeuge in der Industrie entscheiden.

121
Zusammenfassung, Diskussion und Ausblicke

122
Abbildungsverzeichnis

Abbildungsverzeichnis
ABBILDUNG 1-1 INTERDISZIPLINARIETÄT VON MECHATRONISCHEN SYSTEMEN ................. 11
ABBILDUNG 1-2 DIGITALE PROZESSKETTE ......................................................................... 13
ABBILDUNG 1-3 DER ARRISCAN ..................................................................................... 14
ABBILDUNG 1-5 PHOTOEFFEKT IN EINER PHOTODIODE ....................................................... 15
ABBILDUNG 1-6 PIXEL ALS INTEGRIERTES BAUTEIL ........................................................... 16
ABBILDUNG 1-7 BILDSENSORARCHITEKTUR ....................................................................... 16
ABBILDUNG 1-8 SCHEMATISCHE DARSTELLUNG DER PIXELVERVIELFÄLTIGUNG DURCH
ERZEUGUNG VIRTUELLER PIXEL .............................................................. 17
ABBILDUNG 1-9 VERGLEICH ZWISCHEN OPTISCHEM UND PIEZO- TIEFPASS ........................ 18
ABBILDUNG 1-10 VORGEHENSSCHEMA BEI DER FESTIGKEITSUNTERSUCHUNG ................... 20
ABBILDUNG 1-11 SPANNUNGEN .......................................................................................... 21
ABBILDUNG 1-12 ABLEITUNG DER ELASTISCHEN LINIE AUS DEN ABLEITUNGEN DER
VERSETZUNG W(X) .................................................................................. 23
ABBILDUNG 1-13 DEFINITION DER BIEGUNG ....................................................................... 24
ABBILDUNG 1-14 FEDERKENNLINIEN ................................................................................. 26
ABBILDUNG 1-15 SCHALTUNGSFORMEN VON FEDERN ................................................ 27
ABBILDUNG 1-16 DER AKTOR: AUFBAU UND SEINE BEDEUTUNG IM
STEUERUNGSTECHNISCHEN ZUSAMMENHANG ........................................ 28
ABBILDUNG 1-17 PARASITÄRE EIGENSCHAFTEN EINES PIEZOAKTORS .............................. 29
ABBILDUNG 1-18 PEROWSKIT- STRUKTUR EINES KRISTALLS ............................................... 30
ABBILDUNG 1-19 DARSTELLUNG DER BRAVAIS-MILLER-INDIZIERUNG UND DEN
DAZUGEHÖRIGEN AUSLENKUNGSEFFEKTEN ............................................ 31
ABBILDUNG 1-20 STAPELAKTOREN UNTERSCHIEDLICHER ANBIETER UNTER KONSTANTER
LAST ........................................................................................................ 32
ABBILDUNG 1-21 ZUSAMMENHANG ZWISCHEN HUB UND BLOCKIERKRAFT ........................ 33
ABBILDUNG 2-1 EINFLUSSFAKTOREN AUF DEN ENTWURF: UNTERTEILUNG IN PRIMÄRE UND
SEKUNDÄRE FAKTOREN ........................................................................... 35
ABBILDUNG 2-2 VORGEHENSWEISE BEIM DESIGN EINES ELASTISCHEN MECHANISMUS NACH
SALAMON ................................................................................................ 37
ABBILDUNG 3-1 BAHN FÜR MICROSCANN MIT TIEFPASSFILTERUNG .................................. 40
ABBILDUNG 3-2 FILMREGISTRIERUNG UND –KALIBRIERUNG ............................................. 41
ABBILDUNG 3-3 ERSATZMODELL FÜR DEN PIEZOAKTOR ................................................... 44
ABBILDUNG 3-4 VORSPANNUNGSPRINZIPIEN ..................................................................... 45
ABBILDUNG 3-5 SCHERKRAFTKOMPENSATION ................................................................... 46
ABBILDUNG 3-6 SPANNUNGSSPITZEN AN SCHARFEN ÜBERGÄNGEN .................................. 49
ABBILDUNG 3-7 WÖHLER- KURVE EINES METALLS ........................................................... 50
ABBILDUNG 4-1 AKTORANORDNUNGEN ............................................................................. 54
ABBILDUNG 4-2 REFERENZMECHANIKEN) .......................................................................... 54
ABBILDUNG 4-3 FEDERFÜHRUNGSPRINZIPIEN .................................................................... 55
ABBILDUNG 4-4 MECHANISCHE VERSTÄRKUNGSVARIANTEN ............................................ 57

123
Abbildungsverzeichnis

ABBILDUNG 4-5 SUPERPOSITION KONSTRUKTIVER ELEMENTE............................................ 58


ABBILDUNG 4-6 AUFLÖSUNG DER MECHANIK IN IHREN GRUNDTOPOLOGIEN ...... 59
ABBILDUNG 4-7 DIE MIT EINEM AKTOR II ANGETRIEBENE ANTRIEBSEINHEIT MIT EINEM
FREIHEITSGRAD ....................................................................................... 61
ABBILDUNG 4-8 KINEMATISCHE KETTE DES STELLGLIEDS ................................................. 62
ABBILDUNG 4-9 KINEMATISCHE KETTE DER KOPPELUNG ZWISCHEN STELLGLIED UND
FÜHRUNG ................................................................................................. 63
ABBILDUNG 4-10 KINEMATISCHE KETTE DER FÜHRUNG .................................................... 65
ABBILDUNG 4-11 VEKTORPLOT DER GETRIEBETOPOLOGIE BEI 1 MM HUB AM
AKTORANGRIFFSPUNKT ........................................................................... 66
ABBILDUNG 4-12 GRAPHEN DER WINKELAUSLENKUNG ΤJ ................................................... 66
ABBILDUNG 4-13 BAHNVERLAUF VON PUNKT K FÜR EINEN AKTORHUB ZWISCHEN 0 UND 20
10-3 [M] .................................................................................................... 67
ABBILDUNG 4-14 BAHNVERLAUF DES PUNKTES K IN X-RICHTUNG (BLAU) UND IN Y-
RICHTUNG (ROT) ...................................................................................... 67
ABBILDUNG 4-15 KINETISCHE ÜBERTRAGUNGSFUNKTIONEN DER MECHANIKTOPOLOGIE . 68
ABBILDUNG 4-16 GESCHWINDIGKEIT DES PUNKTES K IN X- UND Y-RICHTUNG, ABHÄNGIG
VON DER AKTORGESCHWINDIGKEIT ......................................................... 69
ABBILDUNG 5-1 ELASTISCHE GELENKE MIT EINEM FHG .................................................... 72
ABBILDUNG 5-2 ERWEITERTE KINEMATISCHE KETTE MIT ANGEBRACHTEN
SCHRAUBENFEDERN AN DEN GELENKEN UND EINEN VEREINFACHTEN
PIEZOAKTOR. ........................................................................................... 74
ABBILDUNG 5-3 FREIGESCHNITTENER MECHANISMUS MIT ALLEN GLIEDERN ................... 75
ABBILDUNG 5-4 IN REIHE GESCHALTETE FEDER KV MIT ÜBERSETZUNG ΓV ........................ 79
ABBILDUNG 5-5 SCHEMATISCHE DARSTELLUNG DER KALIBRIERUNG ZUR KOMPENSATION
DER NULLPUNKTVERSCHIEBUNG, VERURSACHT DURCH DAS VORSPANNEN
DER FEDER ............................................................................................... 79
ABBILDUNG 5-6 SCHEMATISCHE DARSTELLUNG DER PIEZOHUBREDUZIERUNG UM
∆HVERLUST INFOLGE EINER WEGABHÄNGIGEN LAST WIE Z.B. EINER
VORSPANFEDER ....................................................................................... 80
ABBILDUNG 5-7 EINGANGSKENNLINIE DER MECHANIK BESTEHEND AUS KERBGELENKEN 81
ABBILDUNG 5-8 SYMMETRISCH ANGEORDNETE PARALLELFÜHRUNGEN ............................ 82
ABBILDUNG 5-9 KRAFTRICHTUNG BEI LÄNGSDEHNUNG BEI ......................................... 83
ABBILDUNG 5-10 DIE BIEGESPANNUNG AN DEN EINZELNEN GELENKEN.............................. 84
ABBILDUNG 5-11 DIE BIEGESPANNUNG AN DEN EINZELNEN ANGEPASSTEN GELENKEN ...... 85
ABBILDUNG 5-12 KINEMATISCHE EIGENSCHAFTEN DER MODIFIZIERTEN MECHANIK ....... 86
ABBILDUNG 5-13 DIE BIEGESPANNUNG AN DEN EINZELNEN ANGEPASSTEN GELENKEN MIT
VERGRÖßERTER ÜBERSETZUNG................................................................ 87
ABBILDUNG 5-14 EINGANGSKENNLINIE DER MECHANIK BESTEHEND AUS BIEGELENKEN. .. 87
ABBILDUNG 6-1 SCHEMATISCHE DARSTELLUNG DES FUNKENEROSIVEN SCHNEIDENS ...... 89
ABBILDUNG 6-2 FUNKTIONSWEISE DES EMD .................................................................... 90
ABBILDUNG 6-3 SCHEMATISCHE DARSTELLUNG EINER DRAHTERODIERANLAGE .............. 91

124
Abbildungsverzeichnis

ABBILDUNG 6-4 SCHEMATISCHE DARSTELLUNG DES ZUSAMMENHANGS ZWISCHEN


VORSCHUB E UND DER RESULTIERENDEN RAUTIEFE RT BEI EINEM
ELEKTRODENDRAHTDURCHMESSER DN. .................................................. 91
ABBILDUNG 6-5 REM- AUFNAHMEN EINER ERODIERTEN OBERFLÄCHE ........................... 92
ABBILDUNG 6-6 MAßNAHMEN ZUR AUTOMATISIERUNG UND DURCHLAUFERSPARNIS ..... 94
ABBILDUNG 7-1 DIE POSITIONIEREINHEIT MIT IHREN BESTANDTEILEN ............................. 95
ABBILDUNG 7-2 TOPOLOGIEZUORDNUNG .......................................................................... 96
ABBILDUNG 7-3 ANGEWANDTE VARIANTEN DES BIEGEGELENKS .................................... 97
ABBILDUNG 7-4 RÜCKSTELLFEDER MIT FEDERSPANNER ................................................... 98
ABBILDUNG 8-1 SPEZIFIKATION DES SHELL 63 ELEMENTES ............................................ 100
ABBILDUNG 8-2 ERGEBNISSE DER SPANNUNGSANALYSE ................................................ 100
ABBILDUNG 8-3 EINDIMENSIONALER UNGEDÄMPFTER MASSESCHWINGER ..................... 102
ABBILDUNG 8-4 ERGEBNISSE DER MODALANALYSE DER MECHANIK OHNE VORSPANNUNG
.............................................................................................................. 104
ABBILDUNG 8-5 ERGEBNISSE DER MODALANALYSE DER MECHANIK MIT
VORSPANNUNG………………………………………………………...105
ABBILDUNG 8-6 MECHANIKKENNLINIE ........................................................................... 106
ABBILDUNG 8-7 AUSWIRKUNG GRÖßER WERDENDER GELENKSTEGE AUF DIE
KINEMATIK…………………………………………………………….107
ABBILDUNG 9-1 UNTERSUCHTE MECHANIKEN ................................................................ 109
ABBILDUNG 9-2 STRAHLENGANG EINES LASERVIBROMETERS......................................... 110
ABBILDUNG 9-3 MESSAUFBAU ZUR MESSUNG DER EIGENMODEN AN DER MECHANIK .... 111
ABBILDUNG 9-4 IMPULSANTWORT DER MECHANIK BME02B ......................................... 112
ABBILDUNG 9-5 DIE SPRUNGANTWORT DER MECHANIK BME02B ................................ 112
ABBILDUNG 9-6 VERGLEICH ZWISCHEN .......................................................................... 113
ABBILDUNG 9-7 IMPULSANTWORT DER MECHANIK BME02E ....................................... 114
ABBILDUNG 9-8 IMPULSANTWORT DER MECHANIK BME02E ..................................... 115
ABBILDUNG 10-1 VERGLEICH DER EINGANGSKENNLINIEN, BERECHNET MIT FEM UND PRB
.............................................................................................................. 119
ABBILDUNG A-1 DARSTELLUNG VON LINIENPAAREN MIT ZUNEHMENDER
ORTSFREQUENZ UND MODULATION……………………........................131
Abbildung A-2 Abnahme der MTF durch ein optisches System oder einen Tiefpass… 131

125
Tabellenverzeichnis

Tabellenverzeichnis
TABELLE 1-1 ERWEITERUNG KLASSISCHER MECHANISCHER MODELLE .............................. 20
TABELLE 1-2 WICHTIGSTE PIEZOELEKTRISCHE WERKSTOFFE ............................................ 31
TABELLE 3-1 BELICHTUNGSMODEN ................................................................................... 42
TABELLE 3-2 AUFNAHMEMODEN ....................................................................................... 42
TABELLE 3-3 MECHANISCHE DATEN DES PIEZOWANDLERS ............................................... 43
TABELLE 3-4 LEBENSDAUER DER PIEZOAKTOREN .............................................................. 47
TABELLE 3-5 KENNGRÖßEN VON METALLISCHEN WERKSTOFFEN ...................................... 48
TABELLE 3-6 ZUSAMMENFASSUNG DER WICHTIGSTEN ANFORDERUNGEN AN DEN
POSITIONIERMECHANISMUS .......................................................................... 52
TABELLE 4-1 ZEIGT DIE GÜTE DER IN ABBILDUNG 4-3 DARGESTELLTEN FÜHRUNGEN ...... 56
TABELLE 4-2 ÜBERTRAGUNGSPRINZIPIEN IN DER FEINWERKTECHNIK ............................... 57
TABELLE 4-3 GEOMETRIEPARAMETER DER GLIEDER FÜR DEN ERSTEN
RECHENDURCHGANG ................................................................................... 66
TABELLE 5-1 VOR- UND NACHTEILE VON ELASTISCHEN GELENKEN .................................. 72
TABELLE 5-2 GEOMETRIEPARAMETER DER GLIEDER FÜR DEN ERSTEN
RECHENDURCHGANG ................................................................................... 80
TABELLE 5-3 GEOMETRIEPARAMETER DER KERBGELENKE FÜR DEN ERSTEN
RECHENDURCHGANG .................................................................................... 81
TABELLE 5-4 GEOMETRIEPARAMETER DER KERBGELENKE ................................................ 84
TABELLE 5-5 GEOMETRIEPARAMETER DER BIEGEGELENKE ............................................... 85
TABELLE 5-6 GEOMETRIEPARAMETER DER GLIEDER FÜR DEN ERSTEN
RECHENDURCHGANG ................................................................................... 86
TABELLE 7-1 HEBELARMZUORDNUNG ZUR ABBILDUNG 6-2 B ........................................... 95
TABELLE 7-2 STEGLÄNGEN- UND RADIENZUWEISUNG DER GELENKE ................................ 96
TABELLE 8-1 FREQUENZEN DER ERSTEN DREI MODEN ..................................................... 103
TABELLE 8-2 FREQUENZEN DER ERSTEN DREI MODEN BEI EINGESPANNTER
RÜCKSTELLFEDER ....................................................................................... 104
TABELLE 8-3 BERECHNETE WERTE FÜR VERSCHIEDENE LASTSCHRITTE .......................... 106
TABELLE 10-1 ERGEBNISSE ZU DEN BERECHNUNGEN DER MECHANIKSTEIFIGKEIT ............ 119

126
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129
Literaturverzeichnis

[VDI 37] VDI/VDE: Feinwerkelemente Führungen Federgelenke VDI/VDE 2252Blatt 9


VDI/VDE- Handbuch Feinwerktechnik
Berlin: Beuth Verlag, VDI/VDE – Richtlinie Juni 1990

[Wal 38] Wallrapp, O.: Entwurf von Mechanismen.


Manuskript zur Vorlesung Getriebetechnik.
München: Fachhochschule München, Fachbereich 06 Feinwerk- &
Mikrotechnik,
2004.

130
Anhang A: Definitionen

Anhang A: Definitionen

Ortsfrequenz

Die Ortsfrequenz (räumliche Frequenz) ist die Anzahl der periodisch wiederkehrenden
Linienpaare (hell- dunkel- Abschnitte), bezogen auf die Länge.
1  1 
f = [G-7]
∆x  mm 

Abbildung A-1 Darstellung von Linienpaaren mit zunehmender Ortsfrequenz und Modulation

Die Abbildung zeigt eine zunehmende Ortsfrequenz und Modulation.

Modulations- Transfer- (Übertragungs-) Funktion MTF

Zur Qualitätsbestimmung eines aufgenommenen Bildes bedient man sich der MTF, die über
die Ortsfrequenz die Übertragungsgüte angibt.
Die Modulation (Kontrast) ist wie folgt definiert:
I −I
M = max min [G-8]
I max + I min
wobei I die Intensität ist.
Die MTF ist der Quotient aus Bildkontrast und Objektkontrast:

Abbildung A-2 Abnahme der MTF durch ein optisches System oder einen Tiefpass

131
Anhang A: Definitionen

HDTV

HDTV steht für High Definition Television (hochauflösendes Fernsehen). Dabei handelt es
sich um ein digitales Format. Die Auflosung ist höher, als beim Standartfernsehen (PAL),
aber üblicherweise niedriger, als eine Filmauflösung (Telecine).
Für die Digitale Filmproduktion gilt:
• Abtastung mit 2048 oder 4096 Samples/Zeile („2k“ und „4k“)
z. B. „MPEG 4 Studio Profile“;
bis zu 4096 x 4096 Pixel
auch 4:4:4 Sampling von RGB-Signalen
Datenraten bis zu 2,4 Gbit/s

Telecine

Unter Telecine versteht man das Überführen von Film auf Video.
Filme werden normalerweise mit Bildraten von 24 fps aufgenommen. Fernsehsysteme wie
NTSC gebrauchen Bildraten von 29.97fps. Filmbildraten müssen daher angepasst werden, um
die Aufnahme auf dem Fernsehapparat glatt erscheinen zu lassen. Der Prozess, in dem im
Studios zusätzliche Abbildungen hinzugefügt werden, um die Bildrate zu erhöhen, wird
telecine genannt.

Matrizen

Unter Matrizen bezeichnet man ein System aus m mal n Elementen (Zahlen) der Form:
 a11 … a1n 
 
A=  [G-9]
a 
amn 
 m1

Ist n = m, so nennt man die Matrix „quadratische Matrix“.


Eine quadratische Matrix der Form:
 1 0 0
 
E =  0 1 0 [G-10]
 0 0 1
 
bezeichnet man als Einheitsmatrix.
Die Multiplikation und Addition einer Matrix mit einem Skalar ist kommutativ, assoziativ
und distributiv. Die Multiplikation zweier Matrizen jedoch nicht.

Die Matrix A−1 mit der Eigenschaft:


AA−1 = A−1 A = E [G-11]
bezeichnet man als inverse Matrix.

Determinanten

Determinanten sind reelle oder komplexe Zahlen, die eindeutig einer (n,n) Matrix
(quadratisch) zugeordnet werden.

132
Anhang A: Definitionen

Der Wert einer Determinante lässt sich wie folgt berechnen:

a11 a12
= a11a22 − a12 a21 [G-12]
a21 a22

Für Determinanten n-ter Ordnung wendet man die Determinantenentwicklung an:

a11 a12 a13


a a23 a21 a23 a21 a22
a21 a22 a23 = a11 22 − a12 + a13 [G-13]
a32 a33 a31 a33 a31 a32
a31 a32 a33

Tensoren

(lat.:
tendo, ich spanne)
Wenn ein Ingenieur von Tensoren spricht, so meint er für gewöhnlich kartesische Tensoren.
So kann die Tensoranalysis als Verallgemeinerung der Vektoranalysis verstanden werden.
Je nach ihrer Stufe lassen sie sich wie folgt darstellen:
o Tensor nullter Stufe als Skalar,
o Tensor erster Stufe als Vektor,
o Tensor zweiter Stufe als Matrix (z.B. Spannungstensor).

133
134 Anhang B: Ergänzungen

Anhang B: Ergänzungen
Ergänzung zu Abschnitt 5.3

Verwendete Matrixgleichung zur Ermittlung von Fin bei den Eingangskennlinien

G s b

-1 0 A0 X 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0   FXA0   0 
0 -1 − A0Y 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0     
   FYA0   0 
0 0 −(l p / 2) -1 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0   F   − M A0 
   g   
0 0 - A0 X 0 A0Y 1 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0   Mg   0 
0 0 A0Y 0 A0 X 0 1 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0   F   
   in   0
lp lp 
    
0 0 0 0 1 - A0 X A0Y 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0   FXA  
−M A 
2 2 
   FYA   0 
0 0 0 0 0 -1 0 1 0 1 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0  F   Ff 
0    
XB0
0 0 0 0 0 0 -1 0 1 0 1 0 0 0 0 0 0 0 0 0 
   FYB
  M A − M B0 − M B − F f l1γ 1 AY 
0 0 0 0 0 0 0 l1 AX l1 AY l1γ 1 AX l1γ 1 AY 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0   0   
F 0
0 0 0 0 0 0 0 0 0 -1 0 1 0 0 0 0 0 0 0 0 0   XB  
=

 ⋅ F 0 
0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 -1 0 1 0 0 0 0 0 0 0 0   YB   
  F   M B − MC 
0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 -l3 BX l3 BY 0 0 0 0 0 0 0 0   XC  
F 0 
0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 -1 0 1 0 -1 0 0 0 0 0   YC   
   FXC0   − F0ut 
0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 -1 0 1 0 -1 0 0 0 0     
M C − M C0 − M E
0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 -l4 C0 X -l4 C0Y 0 0 −l4γ 2 C0 X -l4γ 2 C0Y 0 0 0 0   FYC0   
     0 
0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 1 0 -1 0 0 0   FXE   
0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 1 0 -1 0 0   FYE   0 
     ME + MD 
0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 2b 0 0   FXD   
0   
 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 1 0 -1 0   FYD  
0 
0 
0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 1 0 -1   FXD0   
     − M D − M D0 
 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 l4γ 2 D0 X l4γ 2 D0Y   FYD0   
„Working Model“-Modell des in Abschnitt 5.3 besprochenen Mechanismus mit einer Übersetzung γ =4

Anhang B: Ergänzungen 135


136 Anhang B: Ergänzungen

„Working Model“- Modell des in Abschnitt 5.3 besprochenen Mechanismus mit einer Übersetzung γ =3
Anhang C: Piezo Datenblatt

Anhang C: Piezo Datenblatt 137


138 Anhang C: Piezo Datenblatt
Anhang C: Piezo Datenblatt 139
140 Anhang C: Piezo Datenblatt
Anhang C: Piezo Datenblatt 141
142 Anhang C: Piezo Datenblatt
Anhang C: Piezo Datenblatt 143
144 Anhang C: Piezo Datenblatt
Anhang D: Datenblätter Maraging Stahl

Anhang D: Datenblätter Maraging Stahl 145


146 Anhang D: Datenblätter Maraging Stahl
Anhang C: Piezo Datenblatt 147
148 Anhang D: Datenblätter Maraging Stahl
Anhang C: Piezo Datenblatt 149
150 Anhang D: Datenblätter Maraging Stahl
Anhang E: Maple-Berechnungen

Anhang E: Maple-Berechnungen
> restart;
Wahl der benötigten Bibliotheken
> with(linalg):with(plots):with(plottools):with(Units[Standard]):
Warning, the protected names norm and trace have been redefined and unprotected

Warning, the name changecoords has been redefined

Warning, the name arrow has been redefined

Warning, the assigned name polar now has a global binding

Warning, these protected names have been redefined and unprotected: *, +, -, /, <, <=, <>, =,
Im, Re, ^, abs, add, arccos, arccosh, arccot, arccoth, arccsc, arccsch, arcsec, arcsech,
arcsin, arcsinh, arctan, arctanh, argument, ceil, collect, combine, conjugate, convert, cos,
cosh, cot, coth, csc, csch, csgn, diff, eval, evalc, evalr, exp, expand, factor, floor, frac,
int, ln, log, log10, max, min, mul, normal, root, round, sec, sech, seq, shake, signum,
simplify, sin, sinh, sqrt, surd, tan, tanh, trunc, type, verify

Lagervektoren
Angaben in [m] (mm = 10^(-3); µm = 10^(-6) )
Eingabe der Übersetzungsverhältnisse [-]
> gamma_2:= 4/3: gamma_1:=3:
Eingabe der Länge des Piezoaktors lp[m], der Sensorhalterabmessungen a und b in [m], der Hebellängen l1und l4(ergibt sich aus
L1+l1*gamma1+ Versatz) in [m], Abstand von Glied III und V l3
> lp:=20*10^(-3): b:=30*10^(-3): a:=35*10^(-3): l1:=2.5*10^(-3): l4:=10*10^(-3):
l3:=5*10^(-3):
Einheitsvektoren des Intertialsystems
> ex:=<1, 0>:
> ey:=<0, 1>:
Festlegung des Lagers A0 als Ursprung des Intertialsystems
> r_a0:=<0, 0>:
Hier werden die Koordinaten der Festlager eingegeben in [m]
> r_b0:=<l1, lp>;
0.002500000000 
 
r_b0 :=  1 

 50 
 
> r_c0:=<-0*10^(-3), lp+l3>;
 0 
 
r_c0 :=  1 
 40 
 
> r_d0:=<-0*10^(-3), -(b-(lp+l3))>;
 0 
 
r_d0 :=  -1 
 200 
 
Berechnung von l3 aus r_c0 und r_b0 nach Abbildung 4-8:
> l3:=dotprod(r_c0-r_b0, ey);
l3 := 0.005000000000
Berechnung von l2 aus r_b0b nach Abbildung 4-8:
> l2:=l1*gamma_1;
l2 := 0.007500000000
Berechnung von l5 :
> l5:=gamma_2*l4;
1
l5 :=
75
Kontrollplot der Stützpunkte
> with(plots): with(plottools):
with(plots):

151
Anhang E: Maple-Berechnungen

z1 := arrow(r_a0, shape=double_arrow,width = 0.2*10^(-3), head_length=0.4*10^(-3),


color=red):
z2 := arrow(r_b0, shape=double_arrow,width = 0.2*10^(-3), head_length=0.4*10^(-3),
color=blue):
z3 := arrow(r_c0, shape=double_arrow,width = 0.2*10^(-3), head_length=0.4*10^(-3)):
z4 := arrow(r_d0, shape=double_arrow,width = 0.2*10^(-3), head_length=0.4*10^(-3)):
c1 := circle([0,0], 0.5*10^(-3)):
display( z1, z2, z3 ,z4, c1, scaling=CONSTRAINED, axes=FRAMED);
Warning, the name arrow has been redefined

Warning, the name arrow has been redefined

Warning, the name arrow has been redefined

Gelenkkoordinatenbestimmung aus den Hilfsfiguren über die Winkel phi &Psi


Aus den in Abschnitt 4.5 ermittelten Zusammenhängen werden hier die Lagewinkel der einzelnen Glieder berechnet.
Dabei werden zwei Plausibilitätsberechnungen durchgeführt um eventuelle Tippfehler zu erkennen. dazu wird Lagewinkel bei der
Auslenkung Delta_h =0 Berechnet und mit denen in den Abbildungen 4-7 bis 4-9 verglichen.
Berechnung von Phi_III,II aus der Gleichung 4-7:
> Phi_III_II:=arccos(((lp+Delta_h)^2+l1^2-(norm(r_b0-r_a0,2))^2)/(2*(lp+Delta_h)*l1)):
> eval(Phi_III_II,Delta_h=0):
> evalf(convert(%,degrees));
90.00000000 degrees
> eval(Phi_III_II,Delta_h=10^(-3)):
> evalf(convert(%,degrees));
67.01586738 degrees
Berechnung von PSI_a0 aus der Gleichung 4-8:
> Psi_a0:=arcsin((l1*sin(Phi_III_II))/norm(r_b0-r_a0,2)):
> eval(Psi_a0,Delta_h=0):
> evalf(convert(%,degrees));
7.125016351 degrees
> eval(Psi_a0,Delta_h=10^(-3)):
> evalf(convert(%,degrees));
6.556791919 degrees
Berechnung von PSI_b0 aus der Gleichung 4-9:
> Psi_b0:=Pi-Phi_III_II-Psi_a0:
> eval(Psi_b0,Delta_h=0):
> evalf(convert(%,degrees));
82.87498363 degrees
> eval(Psi_b0,Delta_h=10^(-3)):
> evalf(convert(%,degrees));
106.4273407 degrees
Berechnung Gelenkswinkel phi_III,I aus der Gleichung 4-10:
> phi_III_I:=Pi-(Psi_b0-arctan(lp/l1)):
> eval(phi_III_I,Delta_h=0):
> evalf(convert(%,degrees));
180.0000000 degrees
> eval(phi_III_I,Delta_h=10^(-3)):
> evalf(convert(%,degrees));
156.4476429 degrees
Berechnung Gelenkswinkel phi_II,I aus der Gleichung 4-12:

152
Anhang E: Maple-Berechnungen

> phi_II_I:=Psi_a0+(arctan(lp/l1)):
> eval(phi_II_I,Delta_h=0):
> evalf(convert(%,degrees));
90.00000000 degrees
> eval(phi_II_I,Delta_h=10^(-3)):
> evalf(convert(%,degrees));
89.43177551 degrees
Berechnung des Vektors r_b aus der Gleichung 4-13:
> r_b:=r_b0-gamma_1*l1*<cos(phi_III_I),sin(phi_III_I)>:
> eval(r_b,Delta_h=0):
> evalf(%);
0.01000000000 
 
0.02000000000 
> eval(r_b,Delta_h=10^(-3)):
> evalf(%);
0.009375214850 
 
 0.01700309814 
Berechnung des Hilfsvektors r_C0 B = Delta nach der Gleichung 4-14:
> r_bc0:=r_c0-r_b:
> eval(r_bc0,Delta_h=0):
> evalf(%);
 -0.01000000000 
 
0.004999999997 
> eval(r_bc0,Delta_h=10^(-3)):
> evalf(%);
-0.009375214850 
 
 0.007996901862 
Berechnung von Phi_IV,V aus der Gleichung 4-15:
> Phi_IV_V:=arccos( ( l3^2 +l4^2 -(norm(r_bc0, 2))^2 ) / (2*l4*l3) ):
> eval(Phi_IV_V,Delta_h=0):
> evalf(convert(%,degrees));
90.00000000 degrees
> eval(Phi_IV_V,Delta_h=10^(-3)):
> evalf(convert(%,degrees));
105.5721088 degrees
Berechnung von PSI_B aus der Gleichung 4-16:
> Psi_b:=arcsin((l4*sin(Phi_IV_V))/(norm(r_bc0, 2))):
> eval(Psi_b,Delta_h=0):
> evalf(convert(%,degrees));
63.43494877 degrees
> eval(Psi_b,Delta_h=10^(-3)):
> evalf(convert(%,degrees));
51.41947934 degrees
Berechnung von phi_Delta,I aus der Gleichung 4-17:
> phi_DELTA_I:=Pi-(angle(r_bc0,ex)):
> eval(phi_DELTA_I,Delta_h=0):
> evalf(convert(%,degrees));
26.56505122 degrees
> eval(phi_DELTA_I,Delta_h=10^(-3)):
> evalf(convert(%,degrees));
40.46362513 degrees
Berechnung von phi_IV_I aus der Gleichung 4-18:
> phi_IV_I:=Pi-Psi_b-phi_DELTA_I:
> eval(phi_IV_I,Delta_h=0):
> evalf(convert(%,degrees));
90.00000000 degrees

153
Anhang E: Maple-Berechnungen

> eval(phi_IV_I,Delta_h=10^(-3)):
> evalf(convert(%,degrees));
88.11689546 degrees
Berechnung von phi_V,I aus der Gleichung 4-19:
> phi_V_I:=2*Pi-Phi_IV_V-Psi_b-phi_DELTA_I:
> eval(phi_V_I,Delta_h=0):
> evalf(convert(%,degrees));
180.0000000 degrees
> eval(phi_V_I,Delta_h=10^(-3)):
> evalf(convert(%,degrees));
162.5447866 degrees
Berechnung von phi_VI,I aus der Gleichung 4-23:
> phi_VI_I:=(3/2)*Pi;

phi_VI_I :=
2
> eval(phi_VI_I,Delta_h=0):
> evalf(convert(%,degrees));
270. degrees
Berechnung von PSI_e aus der Gleichung 4-25:
> Psi_e:=arctan(b/a):
> eval(Psi_e,Delta_h=0):
> evalf(convert(%,degrees));
40.60129464 degrees
Berechnung des Hilfsvektoe Vektors r_a0b0 :
>
> r_a0b0:=r_b0-r_a0;
0.00250000000000000006 
r_a0b0 :=  
 0.0200000000000000004 
Berechnung des Vektors r_e aus der Gleichung 4-21:
> r_e:=r_c0-gamma_2*l4*<cos(phi_V_I),sin(phi_V_I)>:
> eval(r_e,Delta_h=0):
> evalf(%);
0.01333333333 
 
0.02500000001 
> eval(r_e,Delta_h=10^(-3)):
> evalf(%);
0.01271935618 
 
0.02100053051 
Berechnung des Vektors r_K aus der Gleichung 4-22:
>

> r_k:=r_e+sqrt((b/2)^2+(a/2)^2)*<cos(2*Pi-Psi_e), sin(-Psi_e)>:


> eval(r_k,Delta_h=0):
> evalf(%);
0.03083333333 
 
0.01000000001 
> eval(r_k,Delta_h=10^(-3)):
> evalf(%);
 0.03021935618 
 
0.006000530513 
Vektorkettenplot
Der Vektorkettenplot soll zeigen, ob die errechnete Vektorkette mit den in Abbildung 4-7.a) übereinstimmt
Arrow
> r_d:=r_d0-gamma_2*l4*<cos(phi_V_I),sin(phi_V_I)>:
eval(r_d,Delta_h=0):
> evalf(%);

154
Anhang E: Maple-Berechnungen

 0.01333333333 
 
-0.004999999995 
> r_a:=(Delta_h+20*10^(-3))*<cos(phi_II_I),sin(phi_II_I)>:
eval(r_d,Delta_h=0):
> evalf(%);
 0.01333333333 
 
-0.004999999995 
> Delta_h:=1*10^(-3);
1
Delta_h :=
1000
> with(plots): with(plottools):
with(plots):
a1 := arrow(r_a0, shape=double_arrow,width = 0.1*10^(-3), head_length=0.6*10^(-3),
color=red):
a2 := arrow(r_b0, shape=double_arrow,width = 0.1*10^(-3), head_length=0.6*10^(-3),
color=blue):
a3 := arrow(r_c0, shape=double_arrow,width = 0.1*10^(-3), head_length=0.6*10^(-3),
color=green):
a4 := arrow(r_d0, shape=double_arrow,width = 0.1*10^(-3), head_length=0.6*10^(-3)):
a41 := arrow(r_a, shape=double_arrow,width = 0.5*10^(-3), head_length=0.6*10^(-3),
color=red):
a5 := arrow(r_b, shape=double_arrow,width = 0.1*10^(-3), head_length=0.6*10^(-3),
color=red):
a6 :=arrow([r_a],(r_b0-r_a), shape=double_arrow,width = 0.5*10^(-3), head_length=0.6*10^(-
3)):
a7 :=arrow([r_b0],(r_b-r_b0), shape=double_arrow,width = 0.5*10^(-3),
head_length=0.6*10^(-3)):
a8 :=arrow(r_e, shape=double_arrow,width = 0.1*10^(-3), head_length=0.6*10^(-
3),color=yellow):
a9 :=arrow([r_c0],(r_e-r_c0), shape=double_arrow,width = 0.5*10^(-3),
head_length=0.6*10^(-3)):
a10 :=arrow([r_c0],((r_e-r_c0)/gamma_2), shape=double_arrow,width = 0.5*10^(-3),
head_length=0.6*10^(-3)):
a11 :=arrow([r_b],((((r_e-r_c0)/gamma_2)+r_c0)-r_b), shape=double_arrow,width = 0.5*10^(-
3), head_length=0.6*10^(-3)):
a12 :=arrow(r_k, shape=double_arrow,width = 0.2*10^(-3), head_length=0.6*10^(-3),
color=orange):
a13 :=arrow(r_d, shape=double_arrow,width = 0.1*10^(-3), head_length=0.6*10^(-
3),color=yellow):
a14 :=arrow([r_d0],(r_d-r_d0), shape=double_arrow,width = 0.5*10^(-3),
head_length=0.6*10^(-3)):
a15 :=arrow([r_e],(r_d-r_e), shape=double_arrow,width = 0.5*10^(-3), head_length=0.6*10^(-
3)):
a16 :=arrow([r_e],((r_d-r_e)/2), shape=double_arrow,width = 0.5*10^(-3),
head_length=0.6*10^(-3)):
a17 :=arrow([r_k],(((r_d-r_e)/2)+r_e)-r_k, shape=double_arrow,width = 0.5*10^(-3),
head_length=0.6*10^(-3)):
display( a1, a2, a3, a4, a41, a5, a6, a7, a8, a9, a10, a11, a12, a13, a14, a15, a16, a17,
scaling=CONSTRAINED, axes=NORMAL);
Warning, the name arrow has been redefined

Warning, the name arrow has been redefined

> Delta_h:='Delta_h'; Delta_h;


Delta_h := Delta_h
Delta_h

155
Anhang E: Maple-Berechnungen

Plots der Kinetik des Punktes K


> evalf(r_k):
> r_kx:=dotprod(r_k,ex):
> r_ky:=dotprod(r_k,ey):

> evalf(r_kx):
> evalf(r_ky):
> f_x:=unapply(r_kx,Delta_h):
> f_y:=unapply(r_ky,Delta_h):
>
Abweichung von der Geradenführung bei 20µm
> Abw_x:=f_x(0)-f_x(Delta_h):
> eval(Abw_x,Delta_h=10*10^(-6)):evalf(%);
0.6000 10 -7
>
> p1:=plot((f_x(0)-f_x(Delta_h)), Delta_h=0..2*10^(-3), color=blue):
> p2:=plot((f_y(0)-f_y(Delta_h)), Delta_h=0..2*10^(-3)):

> display([p1, p2], title=`Bahnverlauf des Punktes K in x-Richtung und in y-Richtung


`,labels=[`Aktor Hub in [m]`, `Delta_r_kx (blau) und Delta_r_ky (rot) in [m]`], axes=FRAMED);

> display([p1], title=`Abweichung in x-Richtung `,labels=[`Aktor Hub Delta_h in [m]`,


`delta_r_kx in [m]`], axes=NORMAL);

> p2:=plot(f_y(0)-f_y(Delta_h), Delta_h=0..3*10^(-3)):


p3:= line([1*10^(-3),0], [1*10^(-3),4*10^(-3)], color=green, linestyle=3):
p4:= line([1*10^(-3),4*10^(-3)], [0,4*10^(-3)], color=green, linestyle=3):
p5:= line([2*10^(-3),8*10^(-3)], [0,8*10^(-3)], color=green, linestyle=3):
p6:= line([2*10^(-3),0], [2*10^(-3),8*10^(-3)], color=green, linestyle=3):
p7:= line([0,0], [2*10^(-3),8*10^(-3)], color=green, linestyle=3):
> display([ p2, p3, p4, p5, p6, p7], title=`Übertragungskenlinie für die Auslenkung des
Punktes K in y Richtung`,labels=[`Aktor Hub in [m]`, `r_ky (rot) in [m]`], axes=NORMAL);

> p5:=plot([f_x(Delta_h)-f_x(0), f_y(Delta_h)-f_y(0),Delta_h=0..20^(-3)], axes=NORMAL):


> display([ p5], title=`Bahnverlauf des Punkt K `,labels=[`Delta_x in [m]`, `Delta_y in [m]`],
axes=NORMAL);

156
Anhang E: Maple-Berechnungen

Geschwindigkeiten
> Delta_h:='Delta_h';
Delta_h := Delta_h
> with(VectorCalculus):
Warning, these names have been rebound: *, +, diff, int

Warning, the assigned names <,>, <|> and Wronskian now have a global binding

Warning, these protected names have been redefined and unprotected: ., Vector, limit, series

> dr_k:=diff(r_k, Delta_h):


> v_k:=dr_k*v_Delta_h:
> Delta_h:=10^(-3);
1
Delta_h :=
1000
> evalf(v_k):
> v_kx:=dotprod(v_k,ex):
> v_ky:=dotprod(v_k,ey):
> evalf(v_kx):
> evalf(v_ky):
> v_x:=unapply(v_kx,v_Delta_h):
> v_y:=unapply(v_ky,v_Delta_h):
> P1:=plot((v_x(0)-v_x(v_Delta_h)), v_Delta_h=0..2, color=blue):
> P2:=plot((v_y(0)-v_y(v_Delta_h)), v_Delta_h=0..2):
P3:= line([1,4], [0,4], color=green, linestyle=3):
P4:= line([1,0], [1,4], color=green, linestyle=3):
> display([P1, P2, P3, P4], title=`Geschwindigkeit des Punktes K in x- und y-Richtung
`,labels=[`Aktor Geschwindigkeit Delta_v in [m/s]`, `v_kx (blau) und v_ky (rot) in [m/s]`],
axes=FRAMED);

> Delta_h:='Delta_h'; Delta_h;


Delta_h := Delta_h
Delta_h

Gelenkverdrehwinkel tao
Bei der Berechnung der Gelenkverdrehungen Tau werden einmal die Verdrehung bei Delta_h=0 und bei Delta_h=10µm Berechnet. Diese
sind auf Plausibilität mit
den Abbildungen 4-7..9 zu überprüfen.
Darüber hinaus werden nur die Beträge der Winkel übernommen da die Richtung der Momente aus Abbildung 5_3 hervorgeht

Berechnung von tao_a0 aus der Gleichung 4-26:


> tao_a0:=abs((Pi/2)-phi_II_I):
> eval(tao_a0,Delta_h=0):
eval(tao_a0,Delta_h=10^(-3)):

157
Anhang E: Maple-Berechnungen

> evalf(convert(%,degrees));evalf(convert(%%%,degrees));
0.5682244761 degrees
0.
Berechnung von tao_a aus der Gleichung 4-27:
> tao_a:=abs((Pi/2)-Phi_III_II):
> eval(tao_a,Delta_h=0):
eval(tao_a,Delta_h=10^(-3)):
> evalf(convert(%,degrees));
evalf(convert(%%%,degrees));
22.98413263 degrees
0.
Berechnung von tao_b0 aus der Gleichung 4-28:
> tao_b0:=abs(Pi-phi_III_I):
eval(tao_b0,Delta_h=0):
> eval(tao_b0,Delta_h=10^(-3)):
evalf(convert(%,degrees));
> evalf(convert(%%%,degrees));
23.55235709 degrees
0.
Berechnung von tao_b aus der Gleichung 4-29:
> tao_b:=abs(Pi*3/2-phi_DELTA_I-Psi_b-phi_III_I):
eval(tao_b,Delta_h=0):
> eval(tao_b,Delta_h=10^(-3)):
evalf(convert(%,degrees));
evalf(convert(%%%,degrees));
21.66925259 degrees
0.
Berechnung von tao_c aus der Gleichung 4-30:

> tao_c:=abs(Pi/2-Phi_IV_V):
> eval(tao_c,Delta_h=0):
eval(tao_c,Delta_h=10^(-3)):
> evalf(convert(%,degrees));
evalf(convert(%%%,degrees));
15.57210885 degrees
0.
Berechnung von tao_c0 aus der Gleichung 4-31:
> tao_c0:=abs(Pi-phi_V_I):
eval(tao_c0,Delta_h=0):
> eval(tao_c0,Delta_h=10^(-3)):
evalf(convert(%,degrees));
> evalf(convert(%%%,degrees));
17.45521337 degrees
0.
> tao_d:=tao_c0:
> tao_e:=tao_d:
> tao_d0:=tao_c0:
>

Plot der Gelenkverdrehwinkel

> t_a0:=unapply(tao_a0,Delta_h):
> t_a:=unapply(tao_a,Delta_h):
> t_b0:=unapply(tao_b0,Delta_h):
> t_b:=unapply(tao_b,Delta_h):
> t_c:=unapply(tao_c,Delta_h):
> t_c0:=unapply(tao_c0,Delta_h):
> t10:=plot(t_a0(Delta_h), Delta_h=0..20*10^(-6), color=blue):
t20:=plot(t_a(Delta_h), Delta_h=0..20*10^(-6), color=green):
t30:=plot(t_b0(Delta_h), Delta_h=0..20*10^(-6), color=black):
t40:=plot(t_b(Delta_h), Delta_h=0..20*10^(-6), color=grey):

158
Anhang E: Maple-Berechnungen

t50:=plot(t_c(Delta_h), Delta_h=0..20*10^(-6), color=orange):


t60:=plot(t_c0(Delta_h), Delta_h=0..20*10^(-6), color=turquoise):
display([t10, t20, t30 ,t40, t50, t60], title=`Winkelauslenkung an den Gelenken
`,labels=[`Aktor Hub in [m]`, `|tao| in [rad]`], axes=FRAMED);

> t10:=plot(t_a0(Delta_h), Delta_h=0..2*10^(-3), color=blue):


t20:=plot(t_a(Delta_h), Delta_h=0..2*10^(-3), color=green):
t30:=plot(t_b0(Delta_h), Delta_h=0..2*10^(-3), color=black):
t40:=plot(t_b(Delta_h), Delta_h=0..2*10^(-3), color=grey):
t50:=plot(t_c(Delta_h), Delta_h=0..2*10^(-3), color=orange):
t60:=plot(t_c0(Delta_h), Delta_h=0..2*10^(-3), color=turquoise):
display([t10, t20, t30 ,t40, t50, t60], title=`Winkelauslenkung an den Gelenken
`,labels=[`Aktor Hub in [m]`, `|tao| in [rad]`], axes=FRAMED);

Die Gelenksteifigkeit
Federsteifigkeit der Gelenke

Berechnung von K_ aus der Gleichung 5-2 für beidseitiges symmetrisches Kerbgelenk:
> K_kerb:=(2*E*b_1*t1^(5/2))/(9*Pi*r^(1/2));
( 5/2 )
2 E b_1 t1
K_kerb :=
9π r
Berechnung von K_ aus der Gleichung 5-4 für Biegegelenke:
> K_bieg:=E*b_1*(1-nu^2)*t1^3/(12*lg1);
E b_1 ( −ν 2 + 1 ) t1 3
K_bieg :=
12 lg1
Berechnung von K_ aus der Gleichung 5-4 b VDI für Biegegelenke:
> K_vdi:=E*t1^3*b_1/(12*lg1);
E t1 3 b_1
K_vdi :=
12 lg1
Eingabe der Materialkenngrößen:
E = E- Modul [pa], nu= Querkontraktionszhal
Eingabe der Geometriekenngrößen:
Siehe hierzu Abbildung 5-1
Abweichungen: lg1=l1,
> E:=193*10^(9): b_1:=5.5*10^(-3): t1:=0.15*10^(-3): r:=0.5*10^(-3): lg1:=1*10^(-3): nu:=0.29:
> lg2:=2*10^(-3): lg3:=0.5*10^(-3):

> evalf(K_kerb);
0.9253387656
> evalf(K_bieg);
0.2734390828

159
Anhang E: Maple-Berechnungen

> evalf(K_vdi);
0.2985468750
> KFEM_1:=1/(arctan(2,959/1.25));
1
KFEM_1 :=
arctan ( 2 )
> evalf(KFEM_1);
0.9032210251

Führungssteifigkeit

Steifigkeit der Führung


> k_c0_X:=((Pi*(r/t1)^(1/2))-2,57*10^3)/(E*10^(-9)*b_1):
> evalf(%);
200600.1141
> k_c0_Xb:=(E*(b_1*t1))/(lg1):
evalf(%);
0.1592250000 10 9
Aus der FEM
> KFEM:=50/(0.3088*10^(-3));
KFEM := 161917.0984
Hub am Punkt k
> Delta_K_Y:=(f_y(0)-f_y(Delta_h)):
> eval(Delta_K_Y,Delta_h=20*10^(-6)):
evalf(%);

0.00008000000452
Elongation Delta e am Führungsglied (V)
> Delta_el:=(sqrt((l4*gamma_2)^2+(Delta_K_Y)^2))-(l4*gamma_2):
> eval(Delta_el,Delta_h=20*10^(-6)):
evalf(%);
-6
0.24000 10
Längskraft F_N zwei in Reihe geschalteter Kerbgelenke
> F_N:=Delta_el*KFEM*0.5:
eval(F_N,Delta_h=20*10^(-6)):
evalf(%);
0.019430
Benötigte Kraft am Punkt F_out
> F_out:=4*F_N*sin(tao_c0):
> eval(F_out,Delta_h=20*10^(-6)):
evalf(%);
0.0004663200458
Zugspannungen an den Führungsgelenken
> sigma_N:=F_N/(b_1*t1):
> ps_N:=plot(sigma_N, Delta_h=0..20*10^(-6), color=blue):

> display([ps_N], title=`Biegespannung am den Gelenken in Abhängigkeit vom Hub


`,labels=[`Aktorhub in [m]`, `sigma in [pa]`], axes=FRAMED);

Kinetostatik

Rückstellmomente
Angepasste Steifigkeiten
> K_a0:=E*b_1*(1-nu^2)*t1^3/(12*lg3);
K_a0 := 0.5468781658
> K_b0:=E*b_1*(1-nu^2)*t1^3/(12*lg1);
K_b0 := 0.2734390828
> K_c0:=E*b_1*(1-nu^2)*t1^3/(12*lg2);

160
Anhang E: Maple-Berechnungen

K_c0 := 0.1367195414
Berechnung der Rückstellmomente aus den oben ermittelten Tau` und der Steifigkeit K_a0
K`s können je nach gewünschtem Gelenktyp (Siehe Abbildung 5-1) variieren.
> F_f:=0;
F_f := 0
> gamma_f:=2;
gamma_f := 2
> M_a0:=tao_a0*K_a0:
eval(M_a0,Delta_h=10^(-6)):
eval(M_a0,Delta_h=0):
evalf(%%);
evalf(%%);
0.55 10 -8
0.
> M_a:=tao_a*K_a0:
eval(M_a,Delta_h=10^(-6)):
eval(M_a,Delta_h=0):
evalf(%%);
evalf(%%);
0.0002187458
0.
> M_b0:=tao_b0*K_b0:
eval(M_b0,Delta_h=10^(-6)):
eval(M_b0,Delta_h=0):
evalf(%%);
evalf(%%);
0.0001093756
0.
> M_b:=tao_b*K_c0:
eval(M_b,Delta_h=10^(-3)):
eval(M_b,Delta_h=0):
evalf(%%);
evalf(%%);
0.0517073038
0.
> M_c:=tao_c*K_c0:
eval(M_c,Delta_h=10^(-3)):
eval(M_c,Delta_h=0):
evalf(%%);
evalf(%%);
0.0371582619
0.
> M_c0:=tao_c0*K_c0:
> eval(M_c0,Delta_h=10^(-3)):
eval(M_c0,Delta_h=0):
evalf(%%);
evalf(%%);
0.0416517375
0.
> M_e:=tao_e*K_c0:
> eval(M_e,Delta_h=10^(-3)):
eval(M_e,Delta_h=0):
evalf(%%);
evalf(%%);
0.0416517375
0.
> M_d:=tao_d*K_c0:

161
Anhang E: Maple-Berechnungen

> eval(M_d,Delta_h=10^(-3)):
eval(M_d,Delta_h=0):
evalf(%%);
evalf(%%);
0.0416517375
0.
> M_d0:=tao_d0*K_c0:
eval(M_d0,Delta_h=10^(-3)):
eval(M_d0,Delta_h=0):
evalf(%%);
evalf(%%);
0.0416517375
0.
> pm1:=plot(M_a0, Delta_h=0..25*10^(-6), color=magenta):
> pm2:=plot(M_a, Delta_h=0..25*10^(-6), color=black):
> pm3:=plot(M_b0, Delta_h=0..25*10^(-6), color=green):
> pm4:=plot(M_b, Delta_h=0..25*10^(-6), color=red):
> pm5:=plot(M_c, Delta_h=0..25*10^(-6), color=yellow):
> pm6:=plot(M_c0, Delta_h=0..25*10^(-6), color=maroon):
> pm7:=plot(M_e, Delta_h=0..25*10^(-6), color=cyan):
> pm8:=plot(M_d, Delta_h=0..25*10^(-6), color=coral):
> pm9:=plot(M_d0, Delta_h=0..25*10^(-6), color=blue):
> display([pm1,pm2,pm3,pm4,pm5,pm6,pm7,pm8,pm9], title=`Ablenkmoment in abh. vom Hub
`,labels=[`Aktor Hub in [m]`, `M in [Nm]`], axes=FRAMED);

>

Spannungen an den Gelenken


Zulässige Spannung an den Gelenken unter Einbeziehung der Gleichung 1-22 und nach Auflösung nach Sigma folgt
> sigma:=(M*6)/(t1^2*b_1);
11
σ := 0.4848484849 10 M
> s_a0:=subs(M=M_a0,sigma):
> eval(s_a0,Delta_h=10^(-3)):
eval(s_a0,Delta_h=10^(-19)):
evalf(%%);
evalf(%%);
0.26296255 10 9
20.
> s_a:=subs(M=M_a,sigma):
eval(s_a,Delta_h=10^(-3)):
eval(s_a,Delta_h=0):
evalf(%%);
evalf(%%);
0.1063658250 10 11
20.
> s_b:=subs(M=M_b,sigma):
eval(s_b,Delta_h=10^(-3)):
eval(s_b,Delta_h=0):
evalf(%%);
evalf(%%);

162
Anhang E: Maple-Berechnungen

0.2507020793 10 10
0.
> s_c0:=subs(M=M_c0,sigma):
eval(s_c0,Delta_h=10^(-3)):
eval(s_c0,Delta_h=0):
evalf(%%);
evalf(%%);
0.201947818 10 10
0.
> s_c:=subs(M=M_c,sigma):
eval(s_c,Delta_h=10^(-3)):
eval(s_c,Delta_h=0):
evalf(%%);
evalf(%%);
0.1801612703 10 10
0.
> s_e:=subs(M=M_e,sigma):
eval(s_e,Delta_h=10^(-3)):
eval(s_e,Delta_h=0):
evalf(%%);
evalf(%%);
0.201947818 10 10
0.
> s_d:=subs(M=M_d,sigma):
eval(s_d,Delta_h=10^(-3)):
eval(s_d,Delta_h=0):
evalf(%%);
evalf(%%);
0.201947818 10 10
0.
> s_d0:=subs(M=M_d0,sigma):
eval(s_d0,Delta_h=10^(-3)):
eval(s_d0,Delta_h=0):
evalf(%%);
evalf(%%);
0.201947818 10 10
0.
> ps1:=plot(s_a0, Delta_h=0..20*10^(-6), color=magenta):
ps2:=plot(s_a, Delta_h=0..20*10^(-6), color=black):
ps3:=plot(s_b0, Delta_h=0..20*10^(-6), color=green):
ps4:=plot(s_b, Delta_h=0..20*10^(-6), color=red):
ps5:=plot(s_c, Delta_h=0..20*10^(-6), color=yellow):
ps6:=plot(s_c0, Delta_h=0..20*10^(-6), color=maroon):
ps7:=plot(s_e, Delta_h=0..20*10^(-6), color=cyan):
ps8:=plot(s_d, Delta_h=0..20*10^(-6), color=coral):
ps9:=plot(s_d0, Delta_h=0..20*10^(-6), color=blue):
l := line([0,250*10^6], [20*10^(-6),250*10^6], color=red, linestyle=3):
ps10:=plots[display](l):

display([ps1,ps2,ps3,ps4,ps5,ps6,ps7,ps8,ps9,l], title=`zul. Spannung in abh. vom Hub


`,labels=[`Aktor Hub in [m]`, `sigma in [pa]`], axes=FRAMED);

163
Anhang E: Maple-Berechnungen

Parameter Vereinfachung und Belegung


Hier werden einige Parameter vereinfacht, damit die Matrix nicht zu unübersichtlich wird
> A0x := (sin(phi_II_I)):
eval(A0x,Delta_h=10^(-3)):
eval(A0x,Delta_h=0):
evalf(%%);
evalf(%%);
0.9999508231
1.
> A0y := (cos(phi_II_I)):
eval(A0y,Delta_h=10^(-3)):
eval(A0y,Delta_h=0):
evalf(%%);
evalf(%%);
0.009917225226
-0.2051033808 10 -9
> Ax := (sin(Pi-phi_III_I)):
eval(Ax,Delta_h=10^(-3)):
eval(Ax,Delta_h=0):
evalf(%%);
evalf(%%);
0.3995869149
-0.4102067615 10 -9
> Ay := (cos(Pi-phi_III_I)):
eval(Ay,Delta_h=10^(-3)):
eval(Ay,Delta_h=0):
evalf(%%);
evalf(%%);
0.9166953133
1.
> Bx := (sin(phi_IV_I)):
eval(Bx,Delta_h=10^(-3)):
eval(Bx,Delta_h=0):
evalf(%%);
evalf(%%);
0.9994599494
1.
> By := (cos(phi_IV_I)):
eval(By,Delta_h=10^(-3)):
eval(By,Delta_h=0):
evalf(%%);
evalf(%%);
0.03286045708
-0.2051033808 10 -9
> C0x := (sin(Pi-phi_V_I)):
eval(C0x,Delta_h=10^(-3)):
eval(C0x,Delta_h=0):
evalf(%%);
evalf(%%);

164
Anhang E: Maple-Berechnungen

0.2999602115
-0.4102067615 10 -9
> C0y := (cos(Pi-phi_V_I)):
eval(C0y,Delta_h=10^(-3)):
eval(C0y,Delta_h=0):
evalf(%%);
evalf(%%);
0.9539517134
1.
> phi_VII_I:=phi_V_I:
> D0x := (sin(Pi-phi_VII_I)):
eval(D0x,Delta_h=10^(-3)):
eval(D0x,Delta_h=0):
evalf(%%);
evalf(%%);
0.2999602115
-0.4102067615 10 -9
> D0y := (cos(Pi-phi_VII_I)):
eval(D0y ,Delta_h=10^(-3)):
eval(D0y ,Delta_h=0):
evalf(%%);
evalf(%%);
0.9539517134
1.

Solve
>
Hier werden die Unbekannten über ein lineares Gleichungssystem, durch Lösen der folgenden Matrix gelöst
> with(linalg):
Warning, the previous binding of the name Wronskian has been removed and it now has an
assigned value

Eingabe der Unbekannten (gesuchte Größen):


> alpha :=
vector([Fx_a0,Fy_a0,F_g,M_g,F_in,Fx_a,Fy_a,Fx_b0,Fy_b0,Fx_b,Fy_b,Fx_c,Fy_c,Fx_c0,Fy_c0,Fx_e,Fy
_e,Fx_d,Fy_d,Fx_d0,Fy_d0]);
α := [ Fx_a0 , Fy_a0 , F_g , M_g, F_in , Fx_a , Fy_a , Fx_b0 , Fy_b0 , Fx_b , Fy_b , Fx_c ,
Fy_c , Fx_c0 , Fy_c0 , Fx_e , Fy_e , Fx_d , Fy_d , Fx_d0 , Fy_d0 ]
Eingabe der Randbedingungen (gegebene Größen):
> beta := vector([0,0,-M_a0,0,0,-M_a,0,-F_f,M_a-M_b0-M_b-F_f*l1*gamma_f*Ay,0,0,M_b-
M_c,0,0,M_c-M_c0-M_e,0,-F_out,M_e+M_d-F_out*(a/2),0,0,-M_d-M_d0]):
Eingabe der der geometrischen Parameter (topologische Größen):

> G := evalf(matrix([[-1, 0, A0x, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0],


[0, -1, -A0y, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0],
[0, 0,-(lp/2), -1, 0, 0, 0, 0, 0,0,0,0,0,0,0,0,0,0,0,0,0],
[0, 0,-A0x, 0, A0y, 1, 0, 0, 0,0,0,0,0,0,0,0,0,0,0,0,0],
[0, 0, A0y, 0, A0x, 0, 1, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0],
[0, 0, 0, 1,0,-(lp/2)*A0x,(lp/2)*A0y, 0,0,0,0,0,0,0,0,0,0,0,0,0,0],
[0, 0, 0, 0, 0, -1, 0, 1, 0, 1, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0],
[0, 0, 0, 0, 0, 0, -1, 0, 1, 0, 1, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0],
[0, 0, 0, 0, 0, 0, 0,l1*Ax,l1*Ay,l2*Ax,l2*Ay,0,0,0,0,0,0,0,0,0,0],
[0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, -1, 0, 1, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0],
[0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, -1, 0, 1, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0],
[0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0,-l3*Bx, l3*By, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0],
[0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0,-1, 0, 1, 0,-1, 0, 0, 0, 0, 0],
[0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0,-1, 0, 1, 0,-1, 0, 0, 0, 0],
[0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, -l4*C0x,-l4*C0y, 0, 0,-l5*C0x,-l5*C0y,0,0,0 ,
0],
[0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 1, 0,-1, 0, 0, 0],
[0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 1, 0,-1, 0, 0],
[0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0,-2*b,0, 0, 0],
[0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 1, 0,-1, 0],
[0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 1, 0,-1],
[0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, l5*D0x,l5*D0y]])):

165
Anhang E: Maple-Berechnungen

Überprüfung ob die Matrix lösbar ist über die Betrachtung der Determinante
> det(G):
Erzeugung der inversen
> inverse(G):
Lösen der Gleichungen
> Gb:=evalf(multiply(inverse(G),beta)):
Numerisches Ergebnis des Ausgangssignals in Form einer Kraft in [N]:
> Kraft_in:=eval(Gb[5],Delta_h=20*10^(-6)):
evalf(%);

3.0657410101
Zurücksetzen der Eingangsgrößen:
> Liste:=[Kraft_aus,Delta_h]:
> p1:=plot(Gb[1], Delta_h=0..20*10^(-6), color=aquamarine):
p2:=plot(Gb[2], Delta_h=0..20*10^(-6), color=black):
p3:=plot(Gb[3], Delta_h=0..20*10^(-6), color=blue):
p4:=plot(Gb[4], Delta_h=0..20*10^(-6), color=navy):
p5:=plot(Gb[5], Delta_h=0..20*10^(-6), color=coral):
p6:=plot(Gb[6], Delta_h=0..20*10^(-6), color=cyan):
p7:=plot(Gb[7], Delta_h=0..20*10^(-6), color=brown):
p8:=plot(Gb[8], Delta_h=0..20*10^(-6), color=gold):
p9:=plot(Gb[9], Delta_h=0..20*10^(-6), color=magenta):
p10:=plot(Gb[10], Delta_h=0..20*10^(-6), color=maroon):
p11:=plot(Gb[11], Delta_h=0..20*10^(-6), color=orange):
p12:=plot(Gb[12], Delta_h=0..20*10^(-6), color=green):
p13:=plot(Gb[13], Delta_h=0..20*10^(-6), color=gray):
p14:=plot(Gb[14], Delta_h=0..20*10^(-6), color=grey):
p15:=plot(Gb[15], Delta_h=0..20*10^(-6), color=khaki):
p16:=plot(Gb[16], Delta_h=0..20*10^(-6), color=red):
p17:=plot(Gb[17], Delta_h=0..20*10^(-6), color=plum):
p18:=plot(Gb[18], Delta_h=0..20*10^(-6), color=pink):
p19:=plot(Gb[19], Delta_h=0..20*10^(-6), color=violet):
p20:=plot(Gb[20], Delta_h=0..20*10^(-6), color=yellow):
p21:=plot(Gb[21], Delta_h=0..20*10^(-6), color=sienna):
> display([p1,p2,p3,p4,p5,p6,p7,p8,p9,p10,p11,p12,p13,p14,p15,p16,p17,p18,p19,p20,p21],
title=`Abtriebs kraft in abh. vom Hub `,labels=[`Aktor Hub in [mm]`, `F in [N]`],
axes=FRAMED);

Warning, the name arrow has been redefined

> p40:=plot(P, Delta_h=0..20*10^(-6), color=red):


>
> display([p5], title=`Abtriebs kraft in abh. vom Hub `,labels=[`Aktor Hub in [m]`, `F_in
[N]`], axes=FRAMED);

Berechnung der Steigung des Graphen aus Abbildung 5-7 zur Ermittlung der Mechaniksteifigkeit k_mech
> Kraft_in:=Gb[5]:
> k_mech:=abs(Kraft_in/(20*10^(-6))):
> eval(k_mech,Delta_h=20*10^(-6)):
evalf(%);
153287.05500

166
Anhang E: Maple-Berechnungen

Steifigkeit der Rückstellfeder am Piezoangriffspunkt


> k_v:=(20)/(0.2*10^(-3));
k_v := 100000.0000
> k_r:=((20)/(0.2*10^(-3)))*gamma_f^2;
k_r := 400000.0000
Systemsteifigkeit
> k_sys:=k_r+k_mech:
eval(k_sys,Delta_h=20*10^(-6)):
evalf(%);

553287.0000

Piezoaktor
Eingabe der Aktorparameter
Eingabe Abmaße der Stirnfläche des Piezos a_p und b_p in [m]
> a_p:=3*10^(-3): b_p:=2*10^(-3):
Eingabe des Piezo E_Modul
> E_aktor:=44*10^(9):
Angesteuerter Piezohub ohne Last (empfohlen vom Hersteller)
> Delta_h_a:=11.6*10^(-6):
Steifigkeit der Aktorstapel;

> k_aktor:=E_aktor*a_p*b_p/lp;
k_aktor := 13200000
Ermöglichbarer Piezohub

> Delta_h_real:=Delta_h*(k_aktor/(k_aktor+k_sys)):
> eval(Delta_h_real,Delta_h=Delta_h_a):
evalf(%);

0.00001113333852
>
>
> p42:=plot(Delta_h_real, Delta_h=0..20*10^(-6), color=red):
> p333:= line([11.6*10^(-6),0], [11.6*10^(-6),0.00001110819724], color=green, linestyle=3):
p444:= line([0,0.00001110819724], [11.6*10^(-6),0.00001110819724], color=green, linestyle=3):
>
> display([p42, p333, p444], title=`Hubreduzierung ufgrund der Mechaniksteifigkeit
`,labels=[`Piezoaktor_Hub ohne Last in [m]`, `Piezoaktor_Hub_real mit Last in [m]`],
axes=FRAMED);
>

Piezomodell aus Abschnitt 3.3.1


Piezokraft zu Piezohub unbelastet
> P:=200-(1.1*10^7)*Delta_h:
> p40:=plot(P, Delta_h=0..15*10^(-6), color=red):
>
> display([p40], title=`Abtriebs kraft in abh. vom Hub `,labels=[`Piezoaktor_Hub in [mm]`,
`F_piezo [N]`], axes=FRAMED);

167
Anhang E: Maple-Berechnungen

Piezokraft zu Piezohub belastet

> P:=200-(1.1*10^7)*Delta_h_real:
> p41:=plot(P, Delta_h=0..20*10^(-6), color=red):
>
> display([p41], title=`Abtriebs kraft in abh. vom Hub `,labels=[`Piezoaktor_Hub in [mm]`,
`F_piezo [N]`], axes=FRAMED);

>
Vergleich zwischen PRB und FEM

> f_PRB:=plot(abs(Gb[5]), Delta_h=0..20*10^(-6), color=coral):


> f_FEM:=plot(((0.0009*10^(-3))^(-1))*Delta_h, Delta_h=0..20*10^(-6), color=red):
F_sys:=plot(k_sys*Delta_h, Delta_h=0..20*10^(-6), color=blue):
> F_MKS:=plot((5.2*10^(5))*Delta_h, Delta_h=0..20*10^(-6), color=green):
> display([f_PRB, F_MKS, F_sys], title=`Abtriebs kraft in abh. vom Hub `,labels=[`Aktor Hub
in [m]`, `F_in [N]`], axes=FRAMED);

>
>

>

168
Anhang F: Technische Zeichnungen & Montageanleitung

Anhang F: Technische Zeichnungen & Montageanleitung 169


170 Anhang F: Technische Zeichnungen & Montageanleitung
Anhang F: Technische Zeichnungen & Montageanleitung 171
172 Anhang F: Technische Zeichnungen & Montageanleitung
Anhang F: Technische Zeichnungen & Montageanleitung 173
Anhang F: Technische Zeichnungen & Montageanleitung

174
Anhang F: Technische Zeichnungen & Montageanleitung

175
Montageanleitung: Dokument: BME
Sensoreinheit Revision: A

Titel: Montageanleitung
1145-71-05-00-00
Projekt: Arri-Scan

Autor: Nicoletti Michele

Revision History:
Revision Changes Editor Date
A Erstausgabe Nicoletti, 23.03.2005
01:51:00
00 Erstfreigabe Nicoletti 23.03.2005
01:51:00

Dokument:

Erstellt von Nicoletti Michele TÜRKENSTR. 89 . D-80799 MÜNCHEN . TEL. (089) 3809-0 Seite
Telex 524317 ARRI D . FAX (089) 39 97 46

176
Montageanleitung: Dokument: BME
Sensoreinheit Revision: A

Stückliste

Ident Nr. Zchg.-Nr.


Anzahl Benennung wenn bekannt
1 Piezotisch vorm. D4.14429.0 1145-71-06-00-00
1 Sensorstellmechanik D5.13926.0 1145-71-06-00-01
2 ZYLINDERSTIFT 05.01390.0 DIN6325-1M6X10
4 Federspanner D5.13927.0 1145-71-06-00-02
4 Mutter DIN939-M2
4 GEWINDESTIFT 05.04378.0 DIN913-M2X4-A2-70
4 Piezoaktuator Glyn Jones AE0203D16
1 FLACHKOPFSCHRAUBE DIN920-M2X4-A2-70
3 FLACHKOPFSCHRAUBE 05.15042.0 DIN920-M2X6-A2-70

1 Piezotisch justiert D4.14432.0 1145-71-05-00-00


1 Sensorwanne D5.13996.0 1145-71-03-00-01
1 Wärmeverteiler unten D5.14104.0 1145-71-05-00-02
1 Piezotisch vorm. D4.14429.0 1145-71-06-00-00
4 Distanzhülse D5.14107.0 1145-71-05-00-03
4 ZYLINDERSCHRAUBE 05.04117.0 DIN912-M2X10-A4-70
1 PELTIERELEMENT --x--x3,6 05.20320.0 ---------------
1 Wärmeverteiler oben D5.14105.0 1145-71-05-00-04

1 Sensoreinheit gebondet D4.14428.0 1145-71-04-00-00


1 Sensorflex D4.14342.0 1145-71-92-00-00

1 Sensoreinheit kpl. D4.14300.0 1145-71-03-00-00


1 Sensoreinheit gebondet D4.14428.0 1145-71-04-00-00
1 Messplatine D4.14341.0 1145-71-91-00-00
8 Schraube DIN84-M2x10
2 O-Ring d2,5X29
2 Flexklemme klein D5.13997.0 1145-71-03-00-02
8 ZYLINDERSCHRAUBE 05.04602.0 DIN912-M2,5X5-A4-70
2 O-Ring d3X47.5
2 Flexklemme gros D5.13998.0 1145-71-03-00-03
8 ZYLINDERSCHRAUBE 05.04695.0 DIN912-M2,5X6-A4-70
1 O-Ring d2,5X155

4 Schraube DIN912-M6x18

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177
Montageanleitung: Dokument: BME
Sensoreinheit Revision: A

Montage Anweisung
1) Mutter (DIN939-M2) mit Federspanner
(D5.13927) verkleben siehe Abb.2.1.
Es ist darauf zuachten, dass die Mutter konzentrisch
zum Durchgangsloch des Federspanners liegt. Abb.2.1

2) Nach der Aushärtung des Klebers wird die


Madenschraube (DIN913-M2X4-A2-70) in das
Gewinde der Mutter eingeschraubt.
Schraube nicht bis zum Anschlag schrauben (siehe Abb.2.2
Abb.2.2).

3) Federspanner und Sensorstellmechanik miteinander an


den Pilzführungen verkleben (siehe Abb.2.3).

3) Piezo-Aktoren in die Sensorstellmechanik einsetzen Abb.2.3


und verkleben, dabei ist darauf zu achten, dass die
Litzen der Piezo-Aktoren nicht über die Fläche der
Vorderseite der Sensorstellmechanik ragen siehe Abb.2.4
Abb.2.4).

4) Madeschraube anziehen.
Die Madenschraube um 0.2 mm über den Anschlag
anziehen (siehe Abstand in Abb.2.5), von 2,6 mm
(entspannt) auf 2,8 mm (angezogen) bringen. Abb.2.5

5) Die Litzen der Piezo-Aktoren mit der Klemmschraube


DIN920-M2X4-A2-70 und
DIN920-M2X6-A2-70 fixieren (siehe Abb.2.6).
Achtung !! Die Schrauben nur leicht anziehen, da sonst
Litzen beschädigt werden (Kurzschlussgefahr). Abb.2.6

6) Passstifte (DIN6325-1M6X10) anbringen und


verkleben, darauf achten, dass sie bündig mit der
Unterseite der Sensorstellmechanik sind (siehe Abb.2.7).

7) Alle Schrauben sind mit Lack oder Loktite zu


sichern, auch die Madenschrauben. Abb.2.7

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Montageanleitung: Dokument: BME
Sensoreinheit Revision: A

Material
Bezeichnung X2NiCoMo18-9-5
(1.2709)
Werkstoff-Nr. 1.6358
E-Modul [N/mm2] 193x10³
Spezifisches Gewicht. [g/cm3] 8.2
R0,2% [N/mm2] 1815
Rm [N/mm2] 1860-2260
Wärmeausdehnung [10-6K-1] 10,2

1.6358 (1.2709 / X2NiCoMo18-9-5) Edelbaustahl legiert


Bezugsquelle: STM Stahl Vertriebs GmbH
Bussardstr. 10
82166 Gräfelfing bei München
Tel.: 089-898147-0
Fax.: 089-898147-31
http://www.stm-stahl.de/
Wärmebehandlung

Wärmebehandlung Temperatur Abkühlung

Warmformgebung
verarbeitung
Warm-

Normalglühen

Weichglühen

Härten
behandlung
Wärme-

Anlassen

Spannungsarmglühen

Erwünschte Härte : 55 HRC

(1) Thermospalt Montage Anleitung

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