NIKON METROLOGY MESSLÖSUNGEN

RÖNTGEN- UND CT-INSPEKTIONSSYSTEME

KMG-LASERSCANNEN

HANDGEFÜHRTES LASERSCANNEN

MESSSOFTWARE

MESSTECHNIK FÜR GROSSVOLUMIGE TEILE

ROBOTERBASIERTE MESSTECHNIK

VIDEOMESSSYSTEME

MESSMIKROSKOPE

INDUSTRIEMIKROSKOPE

MESSTECHNISCHE DIENSTLEISTUNGEN

NIKON METROLOGY I VISION BEYOND PRECISION

 NIKON METROLOGY MESSLÖSUNGEN

4
RÖNTGEN- UND
CT-INSPEKTIONSSYSTEME

24 MESSINSTRUMENTE
iNEXIV VMA Multi-Sensor-Messsystem
Röntgenquellen NEXIV VMZ Videomesssysteme
Industrielle CT-Systeme der Baureihe XT H Messmikroskope
Konfigurierbare Röntgen/CT-Systeme Profilprojektoren
Das Metrology CT der MCT Serie Digimicro Digitalzähler
Röntgenprüfung für Elektronikkomponenten mit Autokollimatoren
der Baureihe XT V
CT-Automation

 13 MULTI-SENSOR-MESSTECHNIK
KMG-basierte Scanner
Handgeführte ModelMaker Scanner
MCAx – Handgeführter KMG-Arm
Lageunabhängiger K-Scan MMDx Scanner
Focus-Software für Punktewolken Bildverarbeitungssoftware
Messsoftware CMM-Manager
Integration von Software anderer Hersteller
30
MIKROSKOPE FÜR INDUSTRIELLE
ANWENDUNGEN
Stereomikroskope
Mikroskope für industrielle Anwendungen
BW-Baureihe – Weißlichtinterferometer-Mikroskopsysteme
NeoScope – das leistungsstarke Table Top SEM

35 KUNDENDIENST UND SUPPORT
 20
PRODUKTIONSINTEGRIERTE
MESSTECHNIK / ROBOTERBASIERTE
MESSTECHNIK

Prüfung großvolumiger Objekte mit Laser Radar
KMG für den Einsatz in der Werkstattumgebung

NIKON METROLOGY I VISION BEYOND PRECISION

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RÖNTGEN- UND CT-INSPEKTIONSSYSTEME

Untersuchen Sie komplexe Elektronik- oder Industriebauteile, indem Sie buchstäblich einen Blick in das Innenleben werfen.
Nutzen Sie die CT-Funktion, um innere oder äußere Strukturen in einem durchgängigen Prozess zerstörungsfrei zu untersuchen

RÖNTGENQUELLEN

XT H 225 / 225 ST INDUSTRIELLES CT-SCANNEN

XT H 320 INDUSTRIELLES CT-SCANNEN

XT H 450 HOCHLEISTUNGSFÄHIGE CT

CT-SYSTEME FÜR EXTRAGROSSE MESSVOLUMINA

MCT225 für MESSTECHNISCHE CT-Anwendungen

XT V 130C / XT V 160 RÖNTGENPRÜFSYSTEM FÜR ELEKTRONIKKOMPONENTEN

CT-AUTOMATION
3
 RÖNTGENQUELLEN

Planung und Konstruktion im eigenen Hause

Die von Nikon Metrology entwickelten Röntgenröhren sind das Herzstück der Röntgen- und
CT-Technologie. Schon ab 1987 wurden sie im eigenen Hause entwickelt und hergestellt – das
bedeutet ein Know-how von mehr als 30 Jahren. Aufgrund dieser fundierten praktischen
Erfahrung in der Röntgentechnik kann Nikon Metrology schnell auf Marktveränderungen
reagieren und universelle, innovative Lösungen für neue Anforderungen und Anwendungen
entwickeln. Bei allen Röntgensystemen kommt eine offene Röntgenröhre zum Einsatz
(Open-Tube-Technologie), die sehr wirtschaftlich im Betrieb ist. Sie sind in verschiedenen
Leistungsvarianten von niedrig (180 kV), mittel (225 kV) bis hoch (450 kV) erhältlich und bieten
allesamt Auflösungen im Mikrometerbereich.

180 kV Transmissionstarget-Röhre
Die Transmissionstarget-Röhre kann bei Prüfobjekten eingesetzt werden,
die kleiner als 10 mm sind, wie kleinen Gesteins- oder Knochenproben.
Sie erreicht eine Leistung von bis zu 180 kV bei einer kleinsten
Brennfleckgröße von 1 µm für die hochauflösende CT-Darstellung.

225 kV Reflexionstarget
Mit 225 kV Leistung und einer Minimum-Brennfleckgröße von
3 µm bildet die 225 kV Mikrofokus-Röntgenröhre das Herzstück
der Nikon XT H 225 Serie. Sie bietet genügend Flexibilität für die
Handhabung unterschiedlichster Probengrößen und Materialdichten.

225 kV Rotationstarget (optional)

Statische 450 kV Röhre für
hohe Bildbrillanz
Die 450 kV Mikrofokusröntgenröhre zählt
zu den marktführenden Röntgenquellen der
Industrie, wenn es um die Prüfung von filigranen
Gussteilen mit einer hohen Dichte geht.
Die 450 kV Röhre für hochbrillante Bilder
liefert eine Dauerleistung von 450 W – ohne
Einschränkung der Messzeit. Gleichzeitig bietet
sie eine kleine Brennfleckgröße für schnellere
CT-Aufnahmen. In derselben Aufnahmezeit wie
die standardmäßige 450 kV Röhre erfasst sie
Daten bis zu fünf Mal schneller bzw. mit höherer
Genauigkeit.
Nikon Metrology ist das einzige Unternehmen, das eine 225 kV-
Mikrofokus-Röntgenröhre mit rotierendem Target für den industriellen
Einsatz herstellt. Bei Verwendung eines rotierenden Targets trifft der
Elektronenstrahl auf eine bewegliche statt auf eine statische Fläche,
sodass eine insgesamt effektivere Kühlung erreicht wird. Auf diese
Weise können Objekte schneller oder dichtere Objekte mit höherer
Genauigkeit gemessen werden als jene, die mit einer herkömmlichen
statischen 225 kV-Röhre gemessen werden.
320 kV Mikrofokusröntgenröhre
Die 320 kV Röhre ist eine einzigartige Mikrofokusröntgenröhre. Sie ist
für Prüfobjekte geeignet, die zu groß oder zu dicht für 225 kV Röhren
sind, und bietet gleichzeitig eine kleine Brennfleckgröße. Diese ideale
Lösung für die Prüfung von Steinkernen und kleinen Gussformen ist
optional für das XT H 320 System in Kabinenausführung erhältlich.
Multimetall-Target
Für die Analyse bestimmter Materialien ist es häufig besser, den
charakteristischen Emissionsstrom niedriger zu halten. Man erreicht
dies mit dem Multimetall-Target. Neben dem Wolfram (W)-
Standardtarget kann der Bediener einfach drei andere Materialien im
Target anwählen: Silber (Ag), Molybdän (Mo) und Kupfer (Cu).

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XT H 225 / 225 ST
ERLEBEN SIE DIE WELT DER RÖNTGEN-COMPUTERTOMOGRAFIE
Merkmale
• Auswahl verschiedener Mikrofokus-Röntgenröhren aus dem Hause Nikon Metrology
- 180 kV Transmissionstarget
- 225 kV Reflexionstarget
- Optional Röhre mit rotierendem Target (nur in „ST“-Version verfügbar)
• Auswahl an Varex Flachdetektoren
• Röntgenvisualisierung in Echtzeit, schnelle CT-Rekonstruktion • Hochauflösende, digitale Bildgebung und -verarbeitung
• CT Messvolumen bis X: 450 mm, Y: 350 mm, Z: 750 mm (ST Version)
• Vollständig programmierbarer 5-Achsen-Teilemanipulator
• Kundenspezifische Makros zur Automatisierung der Messabläufe
• Kleine Aufstellfläche
Computertomografie
Zur Erstellung eines dreidimensionalen CT-Volumens wird nacheinander
eine Reihe von 2D-Röntgenbildern von dem Objekt aufgenommen, das
um 360 Grad gedreht wird. Diese Bilder werden dann rekonstruiert, um
eine dreidimensionale Darstellung des Objekts zu generieren. Neben
den Informationen zu den Außenflächen enthält das rekonstruierte
Volumenmodell alle Daten zu innenliegenden Flächen und Strukturen –
sowie Informationen zur Materialstruktur.. Das CT-Modell kann an jedem
Punkt, durch alle Ebenen hinweg, angesteuert werden. Daher können
selbst innenliegende Messungen problemlos durchgeführt werden.
Gleichzeitig können strukturelle Materialfehler und Montagefehler
lokalisiert werden, die normalerweise nicht mit den traditionellen
zerstörungsfreien Messverfahren sichtbar gemacht werden können.
RÖNTGEN- UND CT-INSPEKTIONSSYSTEME
Die detailgetreue Erfassung und Messung von
innenliegenden Bauteilen und Montagebauteilen
ist oft ein entscheidender Faktor bei der
Qualitätskontrolle, Fehleranalyse und der
Materialforschung.
Die XT H 225 Einsteigermodelle bieten eine
Mikrofokusröntgenröhre mit hoher Bildauflösung.
Das XT H 225 ST ist eine erweiterte Variante,
die für größere oder schwerere Prüfobjekte
geeignet ist. Das System bietet eine Auswahl
untereinander austauschbarer Röhren, wie die
180 kV Transmissionstarget-Röhre und die 225 kV
Röhre mit rotierendem Target. Es deckt ein breites
Spektrum an Anwendungen ab, einschließlich
der Prüfung von Kunststoffteilen, kleinen
Gussteilen und komplexen Mechanismen sowie
Materialforschung und Prüfobjekte aus der Natur.
Vorteile
• Flexibilität kombiniert in einem einzigen System: Röntgen
für die schnelle visuelle Prüfung, CT für tiefergehende
Analysen
• Schnelle Datenaufnahme und Bilder hoher Qualität
• Schnelle Bedienung durch interaktive Joystick-Steuerung
• Vollschutzsystem, das keine speziellen Schutzvorkehrungen
oder Strahlenschutzplaketten erfordert
• Nahtlose Integration mit nachgelagerten industriellen
Bearbeitungsverfahren
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 XT H 320
MIKROFOKUS-CT IN GROSSER KABINENAUSFÜHRUNG
Verblüffende Bilder
Unterschiedliche Materialien oder Objekte mit geringerer
Röntgenschwächung werden aufgrund der höheren dynamischen
Bandbreite dieses Detektortyps besser mit Varex Flachdetektoren
vermessen. Bei CT-Aufnahmen werden hochauflösende
Voxel-Daten erfasst, wenn hochauflösende Flachdetektoren
mit flächenmäßig hoher Pixelanzahl eingesetzt werden. Die
größeren Schutzkabinen sind mit Varex Detektoren eines höheren
Auflösungsvermögens von 4000 x 4000 Pixeln konfigurierbar, die
äußerst detailgetreue Bilder liefern.
Mit Nikon Metrology CT-Systemen können Sie
• komplexe innenliegende Strukturen überprüfen
• eingeschlossene Bauteile isolieren und prüfen
• Maße nachmessen, ohne das Objekt zerteilen zu müssen
• interne Lunker/Volumina automatisch auffinden und messen
• innen- und außenliegende Flächen einfach sichtbar machen
• die gesamte Prüfzeit verkürzen
• die Anzahl der Wiederholungen zur Feinabstimmung der (Vor-)
Produktionsparameter verringern
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Das XT H 320 ist ein System in großer
Kabinenausführung für das Röntgen, CT-
Scannen und die Vermessung großvolumiger
Bauteile. Das System ist mit einer 320 kV
Mikrofokusröntgenröhre ausgestattet, die bis
zu 320 W Leistung bietet.
Unter Verwendung eines hochauflösenden
Flachdetektors werden hochwertige Bilder
des Prüfobjektes erstellt. Die Steuerung
des Systems erfolgt durch Inspect-X, ein
Programm, das die Erfassung von CT-Daten
und die Einrichtung von Messungen zu
einer einfachen Angelegenheit macht. Das
Programm kann Volumendaten an eine Viewer-
Software nach Industriestandard ausgeben.
320 kV-Mikrofokus
Die meisten Systemanbieter bieten lediglich Mikrofokusröhren
mit einer Leistung von 225 kV an, während die
leistungsstärkeren Röntgenröhren mit Minifokus ausgestattet
sind. Größere Objekte erfordern häufig eine intensivere
Durchdringung. Aus diesem Grund bietet Nikon Metrology
die einzigartige 320 kV Mikrofokus-Röntgenröhre an. Da
die Brennfleckgröße dieser Röntgenröhren im Vergleich zu
Minifokusröhren um einige Größenordnungen kleiner ist,
profitieren die Endbenutzer von einer höheren Auflösung und
vielfältigeren Möglichkeiten für die Teilemessung.
Schneckenfossil Akku
Dosierspender Auswertung der Wanddicke eines
Impellers

XT H 450
HOCHLEISTUNGSFÄHIGE 450 kV MIKROFOKUS-CT
Anwendungen
• Detailanalyse der Wandstärke und inneren Struktur von
Turbinenschaufeln
• Automatisierte Freigabe-/Ausschussprüfung von Turbinenschaufeln
• Prüfung hochdichter Teile (z.B. von Metall und Gussteilen) mit
Genauigkeitsanforderungen im Mikrometerbereich
Die 450 kV hochauflösende Bildquelle bietet die Röntgenbild und CT Schnitte einer Turbi-
gleichen Vorteile wie eine Quelle mit rotierendem nenschaufel, aufgenommen mithilfe eines
Target: schnellere Datenaufnahme oder höhere gekrümmten Zeilendetektors (CLDA)
Datenqualität bei gleichbleibender Leistung
Röntgenbild eines Kettensägen- Röntgenbild eines Motorblocks
motors
RÖNTGEN- UND CT-INSPEKTIONSSYSTEME
Das XT H 450 System setzt einen neuen Maßstab
für die Messung von Turbinenschaufeln und
die zerstörungsfreie Prüfung (NDT) von kleinen
bis mittelgroßen Gussteilen. Kernstück dieser
leistungsstarken Anlage ist die 450 kV Mikrofokus-
Röntgenquelle, die für eine hohe Auflösung und
Genauigkeit sorgt.
Der gekrümmte Zeilendetektor optimiert die Erfassung
der Röntgenstrahlen, indem er das Messen der
Streuungen, die normalerweise die 2D-Radiografien von
Turbinenschaufeln und sonstigen Metallteilen stören,
drastisch reduziert.
Merkmale
• Einzigartige 450 kV Mikrofokusquelle mit Open-Tube-Technologie
(offene Röntgenröhre)
• Röntgenquelle für hohe Bildbrillanz (optional)
• Wahlweise verschiedene Bildgebungsverfahren
- Digitaler Varex Flachbilddetektor (XT H 450 3D)
- Gekrümmter Zeilendetektor CLDA (XT 450 2D)
- Kombination aus Flachbilddetektor und CLDA
• Messvolumen von bis zu 600 mm Durchmesser und 600 mm Höhe
• Vollständig programmierbarer 5-Achsen-Plattenmanipulator mit
Präzisionskugelumlaufspindeln und Linearführungen
• Spezielle Anwendung für die automatische Freigabe-/Ausschussprüfung
von Turbinenschaufeln
Schnellerer Messdurchsatz bzw. hohe
Datenqualität durch die Röntgenquelle für hohe
Bildbrillanz
Die neue (optional erhältliche) 450 kV Röntgenquelle für hohe
Bildbrillanz liefert außerordentliche Ergebnisse. Bei einer vorgegebenen
Brennfleckgröße und Leistung können Daten mit drei- bis fünffacher
Geschwindigkeit aufgenommen werden: Ein höherer Messdurchsatz wird
erzielt. Alternativ kann eine höhere Auflösung bei einer vorgegebenen
Leistung und Messzeit erreicht werden. Das Ergebnis ist eine
ausgezeichnete Datenqualität. Die Röntgenquelle für hohe Bildbrillanz
versorgt das System mit einer kontinuierlichen Leistung von 450 W ohne
zeitliche Messeinschränkung.
CT Volumenmodell eines
Motorblocks
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 Konfigurierbare CT-Systeme

UNENDLICHE KONFIGURATIONSMÖGLICHKEITEN FÜR DAS

CT PRÄZISIONSSCANNEN

Die konfigurierbaren Röntgen/CT-Systeme von Nikon Metrology bieten ein großes Messvolumen und Unterstützung
für verschiedenste Röntgenröhren und Detektoren und sind zu verschiedensten Einsatzzwecken individuell für
den Kunden konfigurierbar. Die modularen Mikrofokus-CT-Systeme von Nikon Metrology können in vorhandene
Röntgenkabinen oder -räume eingebaut werden, um ältere Anlagen, die mit Film- oder Minifokussystemen
betrieben werden, aufzurüsten.

Herzstück dieser konfigurierbaren Systeme sind die im Hause Nikon hergestellten Röntgenröhren mit bis 450 kV
Leistung. Die Brennfleckgröße dieser Mikrofokus-Röntgenröhren im Vergleich zu Minifokus-Modellen ist um einige
Größenordnungen kleiner, mit dem Resultat einer deutlich höheren Auflösung und Genauigkeit.

SCANNENDES CT-PRÄZISIONSPRÜFSYSTEM
FÜR GROSSE MESSVOLUMINA
Das C2 Scanningsystem ist ideal für dichte und unhandliche Objekte.
In der Konfiguration mit zwei Röntgenquellen, zwei Detektoren und
mehrfachen Verstellmöglichkeiten kann dieses System Objekte bis
zu 150 kg Gewicht präzise scannen. Mittels einer synchronisierten
vertikalen Röntgenröhre und Detektorpositionierung bietet das C2 ein
unvergleichlich großes Messvolumen. Das Fundament des Systems,
eine 4,3 m lange Granitplatte, sorgt für perfekte Präzision in Verbin-
dung mit einem Flächendetektor und Nikon Metrologys Curved Linear
Diode Array (CLDA)-Technologie, die Streustrahlung reduziert und die
Bildwiedergabe deutlich verbessert.

Kompakte Präzisions-CT
Das M2 setzt neue Maßstäbe für das industrielle CT-Scannen. In
der Konfiguration mit zwei Röntgenquellen, zwei Detektoren und
mehrfachen Verstellmöglichkeiten kann dieses System Objekte aller
Formen und Größen präzise scannen. Das M2 ist mit einem vertikalen
Manipulator sowie einem schwenkbaren Drehtisch mit beidseitiger
Probenhalterung für eine optimale
Positionierung und Genauigkeit ausgestattet.

Individuell konfigurierte Kabinen oder

Messräume
Diese konfigurierbare CT-Systeme können in (vorhandenen) Kabinen
oder Messräumen eingebaut werden. Sie können Ihre Röntgen/
CT-Einrichtungen daher ganz nach eigenem Wunsch gestalten oder
sogar vorhandene Einrichtungen mit der neuesten Röntgen/CT-Tech-
nik modernisieren.

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 RÖNTGEN- UND CT-INSPEKTIONSSYSTEME

MCT225 für messtechnische CT-Anwendungen

ABSOLUTE GENAUIGKEIT FÜR INNENLIEGENDE MESSUNGEN

Das MCT225 ermöglicht die effiziente Messung von

innen- und außenliegenden Geometrien in einem einzigen
zerstörungsfreien Prüfverfahren, ohne Referenzmessungen.
Wir vereinen auf uns 50 Jahre Erfahrung in der
Koordinatenmesstechnik und mehr als 30 Jahren Erfahrung
in der Röntgentechnik und sind daher ein führender
Anbieter von zuverlässiger CT-Messtechnik erster Qualität.

Absolute Genauigkeit
Das MCT225-Prüfsystem wird mit Genauigkeitsstandards vorkalibriert,
die auf das britische National Measurement Institute (NPL) rückführbar
und gemäß der Richtlinie VDI/VDE 2630 „Computertomografie in der
dimensionellen Messtechnik“ verifiziert sind. Die absolute Genauigkeit
garantiert Messgenauigkeit, ohne zeitraubende vergleichende Aufnahmen
oder Referenzmessungen durchführen zu müssen. Die Prüfobjekte werden
einfach auf einem Drehtisch in der Kabine platziert und gemessen.
Verschiedene wichtige Messfunktionen sorgen für Temperaturstabilität und
gewährleisten, dass das MCT225 eine eindrucksvollen MPE von 9+L/50 µm
erzielt.

Merkmale
Materialdurchdringung
• Von Nikon Metrology entwickelte Mikrofokusröntgenröhre
KUNSTSTOFF 170 mm • Temperaturkontrollierte Kabine
ALUMINIUM 75 mm • Lineare Präzisionsführungen
EISEN 15 mm • Korrektur von Achsenverfahrfehlern
• Flüssigkeitsgekühlte Röntgenquelle
Weitere geeignete Materialien: • Hochauflösende optische Wegmesssysteme
STAHL, KERAMIK, KOHLEFASER, HOLZ • Hochauflösender 4 Megapixel-Detektor
• Per Finite-Elemente-Analyse (FEA) optimierter Manipulator

Der CT-unterstützte Messprozess

F1 Fahrzeug CT-Volumen Direktvergleich Schnitt einer Messprotokoll mit Form- und

Mehrteiliges Hydraulikteil Rekonstruktion zum CAD-Modell Innengeometrie Lagetoleranz

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 XT V 160

EIN RÖNTGENINSPEKTIONSSYSTEM DER PREMIUMKLASSE

Die Montageverbindungen auf den kompakten und dicht

besetzten Leiterplatten (PCBs) von heute werden durch
die elektronischen Bauteile selbst verdeckt, sodass die
Röntgentechnik die einzig realisierbare Messlösung ist.
Der XT V 160 ist ein einfach bedienbares, kostengünstiges
PCB-Prüfsystem hoher Qualität, das direkt auf den
Bedarf von Fertigungsanlagen und Fehleranalyselaboren
abgestimmt ist.

Im automatischen Betrieb können Objekte in der höchsten Durchsatzrate

geprüft werden. Im manuellen Betrieb können die Bediener mithilfe der
intuitiven Software und äußerst präzisen Steuerung der Prüfobjekte kleinste
innenliegende Schäden und Mängel sichtbar machen und auswerten.

Merkmale
• 160 kV Röntgenröhre von Nikon Metrology mit Brennfleckgröße im
Submikrometerbereich
• Echter Neigungswinkel von 72° für die optimale Prüfung von BGAs
• Schnelle Datenaufnahme und Bilder hoher Qualität
• Große Ablage zum Laden mehrerer Schaltungen
• Benutzerdefinierbare Makros zur Automatisierung der Messabläufe
• Validierungsstation auf separatem Rechner optional erhältlich

Vorteile
• Flexibilität kombiniert in einem einzige System
- Interaktive Anzeige
- Vollautomatische Röntgenprüfung
- CT-Option für die tiefergehende Analyse
• Maximale Vergrößerung unter jedem Blickwinkel (bis 72°)
• Schneller Betrieb mit intuitiver Benutzeroberfläche und interaktiver
Joystick-Steuerung
• Kostengünstige Wartung durch Open-Tube-Technologie (offene
Röntgenröhre)
• Vollschutzsystem, das keine speziellen Schutzvorkehrungen oder
Strahlenschutzplaketten erfordert
• Kleine Aufstellfläche

Anwendungen
• Solder Reflow-Analyse
• BGA Analyse
• Lunkerberechnung (Solder Void)
• Through Hole Vermessung und Untersuchung
• Lunkermessung im Mikromontagebereich
• Ballbond-Analyse
• Stitchbond-Analyse
• Mikro BGA / Chip on Chip-Analyse
In allen Kombinationen von Drehungen, Neigungen und Vergrößerungen bleibt der für • Pad Array-Analyse
Sie interessante Bereich (ROI) in der Mitte des Sichtfelds fixiert • Erkennung und Analyse von kalten Lötstellen

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XT V 130C
VIELSEITIGES UND BEDIENERFREUNDLICHES SYSTEM ZUR
QUALITÄTSKONTROLLE VON ELEKTRONISCHEN KOMPONENTEN
Anwendungen
• Elektronische und elektrische Komponenten
- Prüfung/Auffinden von gebrochenen Verbindungen, erhöhten
Lötverbindungen, Leitungsdurchgängen (Wire Sweep),
Mikromontagen, Trockenverbindungen, Brücken-/Kurzschlussbildung,
Lunkern, BGA usw.
• Bestückte und unbestückte PCBs
- Anzeige von Oberflächendefekten, d.h. fehlausgerichteten Teilen,
porösen Durchgangslochverbindungen und Brücken
- Detailprüfung von Durchgangsleitungen (Vias), Durchkontaktierung
und Mehrlagenausrichtung
- Wafer-level Chip Scale Packages (WLCSP)
- BGA- und CSP-Prüfung
- Prüfung von bleifreien Lötverbindungen
• Mikrosysteme (Micro-Electro/Opto-Mechanical Systems, MEMS,
MOEMS)
• Kabel, Leitungssätze, Kunststoffe u.v.m.
Einfacher Zugang zum Prüfbereich
RÖNTGEN- UND CT-INSPEKTIONSSYSTEME
Das XT V 130C ist ein sehr vielseitiges und
kostengünstiges Röntgensystem, das in der Elektronik-
und Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Es verfügt
über eine 130 kV/10 Watt Röntgenquelle aus dem
Hause Nikon Metrology im Open-Tube-Design (offene,
einfach zugängliche Röntgenröhre) mit integriertem
Hochspannungsgenerator und ein hochauflösendes
Bildgebungsverfahren.
Durch diverse Upgrades, die sowohl im Herstellerwerk als auch
vor Ort stattfinden könnnen, kann der Nutzer das System für seine
Anforderungen konfigurieren: ob eine leistungsstärkere Röntgenquelle,
ein Drehtisch, Software für die automatisierte Inspektion, ein digitaler
Flachbilddetektor oder Integration der zukunftssicheren CT-Technologie.
Dank der hervorragenden Vergrößerung kann der Bediener jeden Bereich
von Interesse heranzoomen
Merkmale
• 20-130 kV Nikon Metrology Mikrofokus-Röntgenröhre mit
2 µm-Merkmalserkennung
• Messvolumen von 406 x 406 mm
• Manipulator mit echtem 72°-Neigungswinkel zur einfachen Prüfung von
innenliegenden Merkmalen (Schrägansicht)
• Schwenkbare Beladetür für einen einfachen Zugang zum Messvolumen
• Einfache Zugänglichkeit der zu wartenden Systemkomponenten
Vorteile
• Online-Bedienung mit intuitiver Joystick-Steuerung
• Kostengünstige Wartung durch Open-Tube-Technologie (offene Röntgenröhre)
• Vollschutzsystem erübrigt das Tragen von Schutzkleidung oder
Strahlenschutzplaketten
• Geringe Aufstellfläche und niedriges Systemgericht erleichtern die Installation
• CT-Option ist möglich
Ein Neigungswinkel von bis zu 72° bietet hinreichende Flexibilität, um Verbindungsfehler
schnell aufzuspüren
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 NIKON CT AUTOMATION – BEREIT FÜR DIE FERTIGUNG

Die Steigerung der Produktqualität ist für Hersteller eine bedeutende Herausforderung. Mit einer
hundertprozentigen Teileprüfung kann dieses Ziel erreicht werden. Die jüngsten Fortschritte in der Entwicklung
hochauflösender, rotierender Highflux-Targets in Verbindung mit einfach automatisierbaren CT-Scanparametern
und Analyseverfahren ermöglichen das Scannen, Rekonstruieren und die Auswertung von Prüfobjekten
in weniger als zwei Minuten. Dadurch eröffnen sich Möglichkeiten für vielfältige Anwendungen in der
Automatisierungstechnik, von der einfachen Qualitätsprüfung bis hin zur automatisierten CT-Prüfung mit
vollständiger Integration in der Fertigungsstraße und Rückmeldungen zum Fertigungsprozess.

CT-Prüfung von Losen

In der Standardversion bietet die Software Inspect-X die Möglichkeit, Profile
mit Scan- und Rekonstruktionsparametern zu speichern und gewährleistet
somit die Wiederholgenauigkeit des gesamten CT-Verfahrens.

Vorteile
• Keine Programmierkenntnisse erforderlich
• Inspect-X lädt die passenden Programme für Analysen und Messprotokolle
• Der Bediener hat Zeit für andere Aufgaben, wie beispielsweise die
Vorbereitung von Prüfobjekten

Die Serienprüfung ermöglicht die Automatisierung

mehrerer Scanvorgänge mit manueller Teilehandhabung.

Halbautomatische CT-Prüfung
Bei halbautomatischen CT-Systemen sind das Laden des Bauteils oder die
Bestückung eines Probenhalters mit mehreren Objekten die einzigen Vorgänge,
die manuell ausgeführt werden. Alle übrigen Arbeitsschritte, wie das Scannen
und die Auswertung von Gut-/Schlechtteilen erfolgen vollautomatisch.

Vorteile
• Eine kundenspezifische, vereinfachte Benutzeroberfläche führt den
Bediener durch den kompletten Prozess
• Werkstückerkennung per Strich- oder QR-Code-Lesegerät
• Integration in die Produktionsdatenbank Die halbautomatische Messung ermöglicht die Automatisierung aller Aufgaben
• Wiederholgenauer Prozess mit mehrfacher Teilebestückung.

CT-Prüfung direkt in der Fertigungslinie

Das Inline-CT-Prüfsystem ist eine 100%ige Messlösung für die vollautomatisierte
Fertigungsumgebung, in der kritische Teile mit komplexen innenliegenden
Geometrien geprüft werden müssen. Roboter laden bzw. entladen die Teile
Förderbandern und positionieren sie über eine automatische Tür im CT-System.

Vorteile
• Verbesserte Qualitätskontrolle
• Gesteigerte Effizienz
• Integration in Roboter- und Fördersysteme
• Vollständige Rückführbarkeit Die Inline-Automatisierung ermöglicht eine vollständige Integration in Ihre
Fertigungslinie

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MULTI-SENSOR-MESSTECHNIK

L100 LC15Dx XC65Dx-LS H120 MCAx

3D-LASERSCANNER ADAPTIERT AUF KOORDINATENMESSGERÄTE

HANDGEFÜHRTES LASERSCANNEN

MULTI-SENSOR-MESSSOFTWARE

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 Digitale KMG-Laserscanner

DIGITALE LASERSCANNER STEIGERN DIE MESSLEISTUNG

L100 – Der ultimative KMG-Laserscanner der

Produktivität und Präzision vereint
Der L100 KMG-Laserscanner bietet die bestmögliche Kombination aus Geschwindigkeit,
Präzision und Bedienerfreundlichkeit. Der L100 eignet sich sowohl für Oberflächen- als
auch Merkmalsmessungen. Er liefert schnell präzise Daten und aufschlussreiche Teil-
gegen-CAD-Prüfberichte, selbst bei Oberflächen, die spiegeln oder aus verschiedenen
Werkstoffen bestehen.

Der L100 eignet sich ideal für die Prüfung großvolumiger Komponenten, bei denen die
Produktivität vorrangig ist, ohne jedoch Zugeständnisse an die Genauigkeit machen zu
müssen. Der L100 ist mit einem hochwertigen Nikon-Objektiv ausgestattet, das speziell
für das Laserscannen optimiert wurde. Zusammen mit der hochauflösenden Digitalkamera
wird eine Punktauflösung von 42 µm und die beste Datenqualität des Marktes erreicht.
Damit ist die Erfassung kleinster Strukturen und die Messung schärferer Kanten möglich.

LC60Dx – Universell einsetzbarer digitaler Scanner

Der LC60Dx ist ein universell einsetzbarer Scanner für die Digitalisierung von
Freiformflächen mit schwer zu scannenden Oberflächen. Wie alle anderen digitalen
Scanner von Nikon ist der LC60Dx mit der leistungsstarken ESP-Technik (verbesserte
Sensorperformance) ausgestattet. Sie regelt in Echtzeit die Laserintensität für jeden
aufgenommenen Punkt und ermöglicht eine fortlaufende Anpassung an wechselnde
Oberflächenmaterialien.

Vorteile von KMG-basierten Laserscannern

• Bessere Einblicke in Abweichungen
- Messberichte über Oberflächen-/Profil-/Merkmalsvergleiche des
Teils gegen CAD in Farbe bieten ausführliche Informationen zur
Produktkonformität auf einen Blick
- Entscheidungen und Korrekturmaßnahmen können somit schneller
getroffen werden
- Das Ergebnis sind weniger und schnellere Entwurfsüberarbeitungen
und kürzere Vorlaufzeiten
- Ausfallzeiten in der Produktion werden dank einer schnelleren
Fehlersuche minimiert
• Steigern Sie die Leistungsfähigkeit Ihres vorhandenen KMGs
- Rüsten Sie Ihr vorhandenes System auf ein vielseitiges Multisensor-
KMG für berührungslose und taktile Messanwendungen nach
- Rüsten Sie die Steuerung und Software von vorhandenen KMGs nach
Sie erhalten Nachrüstsätze für die meisten führenden KMG-Marken
• Gesteigerter Messdurchsatz
- Laserscanner erfassen mehr Informationen in kürzerer Zeit
- Schnellere Merkmalsmessung aufgrund weniger KMG-Bewegungen
- Einfache CAD-basierte Offline-Programmierung spart Zeit bei der
Vorbereitung und Änderung von Messprogrammen
• Messen Sie kleine und weiche Teile
- Messen Sie empfindliche Oberflächen, die nicht berührt werden
sollten
- Keine Verformung von weichen Materialien wie Schaumstoffen,
Gummi, Membranen usw.
- Scannen Sie beliebige Werkstoffe – Dunkle oder glänzende Teilen
bedürfen keiner besonderen Vorbehandlung

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 MULTI-SENSOR-MESSTECHNIK

VOLLE 3D-ERFASSUNG KOMPLEXER ELEMENTE

UND OBERFLÄCHEN

LC15Dx – Holt den Genauigkeitsvorsprung taktiler Messsysteme ein

Der vollständig digital arbeitende Nikon LC15Dx Scanner ermöglicht die 3D-Digitalisierung
im Genauigkeitsbereich taktiler Messsysteme. Gleichzeitig bietet er den Vorteil, ein
Vielfaches an Messpunkten erfassen zu können. Dank des hochwertigen Nikon-Objektivs
erzielt der LC15Dx eine Messgenauigkeit von 1,9 µm und eine Genauigkeit von 3,9 µm in
mit EN/10360-2 und -5 vergleichbaren Mehrfachtaster-Tests.

Mit seinem kleineren Sichtfeld eignet er sich ideal für die Digitalisierung kleiner oder
detaillierter Objekte mit höherer Punktdichte und engeren Toleranzen.

XC65Dx(-LS) Cross Scanner – für die produktive Merkmalsprüfung

Durch die kreuzförmige Integration von drei Lasern erfasst der XC65Dx mit einem
einzigen Scan die kompletten 3D-Details von Merkmalen, Kanten, Taschen, Rippen und
Freiformflächen. Der Cross Scanner digitalisiert komplexe Elemente von drei Seiten und
erfasst so die komplette 3D-Geometrie der Merkmale. Auf diese Weise werden Positionen
und Abmessungen genau extrahiert.

Der XC65Dx-LS hat einen größeren Arbeitsabstand für die optimale Aufnahme von tief
liegenden Taschen und Langlöchern sowie anderen schwer zugänglichen Merkmalen. Der
Cross Scanner eignet sich zur Prüfung von Rohkarossen mit 2D- oder 3D-Merkmalen,
Gussteilen (Motorblöcke) und komplexen Kunststoffformen usw.

Technische Daten
L100 LC15Dx LC60Dx XC65Dx XC65Dx-LS
Sichtfeld Ca. 100 x 60 mm 18 x 15 mm 60 x 60 mm 65 x 65 mm (3x) 65 x 65 mm (3x)
Antastabweichung
6,5 µm 1,9 µm 9 µm 12 µm 15 µm
(MPE )P
1

Datenerfassungsrate
200.000 70.000 77.000 3 x 25.000 3 x 25.000
(Punkte/s ca.)
Erweiterte
ESP4 ESP3 ESP3 ESP3 ESP3
Sensorleistung
1
Nikon Metrology Test vergleichbar mit EN/ISO 10360-2

15
 Ortsunabhängige Scannen

EXTREM SCHNELLES SCANNEN UND DETAILTREUE OHNE

KOMPROMISSE

Der manuelle Koordinatenmessarm MCAx ist ein

präzises, zuverlässiges, bedienerfreundliches, mobiles
7-Achsen Messsystem. Er ist die perfekte Ergänzung zu den
digitalen handgeführten ModelMaker Laserscannern. Er eignen sich
ideal für mobile 3D-Messungen und Reverse-
Engineering-Anwendungen.

Der ModelMaker H120 bietet Blaulicht-Lasertechnik, eine extrem

schnelle Bildwiederholfrequenz, eine speziell von Nikon entwickelte
Optik und Messfähigkeit an schwierigsten Materialien. Mit 2 000
Punkten pro Scanzeile können winzige Details an großen Flächen
gemessen werden, selbst wenn die Zykluszeit ein kritischer Punkt ist.
Eine punktweise Interpolation, um die Datendichte in die Höhe zu
treiben, ist nicht erforderlich.

Das Einsteigermodell des ModelMaker MMDx bietet Streifenbreiten

von 50 bis 200 mm, eine extrem schnelle Datenerfassung und
ESP3 (verbesserte Sensorperformance), eine Funktion, die eine
Digitalisierung nahezu aller glänzenden oder verschiedenfarbigen
Anwendungen Oberflächen ohne besondere Vorbereitung ermöglicht.
• Vollständige Prüfung des Teils gegen CAD
• Prüfung geometrischer Elemente
• Spalt- & Bündigkeitsmessung Merkmale
• Flächenrückführung (RE)
MODELMAKER H120
• Fehlersuche direkt vor Ort
• Input für schnelle Prototypenerstellung • Blaulicht-Lasertechnik
• Extrem scharfe Nikonlinsen
• Streifenbreiten bis zu 120 mm
• Extrem schnelle Bildrate von über 450 Hz
• Scannergenauigkeit bis 7 µm (1σ)
• Systemgenauigkeit in Kombination mit MCAx Gelenkmessarmen von bis zu 28 μm (2σ)
• Die verbesserte Sensorleistung (ESP4) ermöglicht die Messung schwieriger Materialien,
wie Teilen aus Carbonfaser oder mit glänzenden schwarzen, reflektierende oder
vielfarbigen Oberflächen.

ModelMaker MMDx
Größere Bedienerfreundlichkeit beim Scannen mit dem
• Streifenbreiten zwischen 50 und 200 mm erhältlich
ModelMaker H120 • Genauigkeit bis zu 10 µm (1σ)
• Verbesserte Sensorleistung für das Scannen von Oberflächen mit unterschiedlichen
Strukturen und Reflexionsgraden

MMDx Scanner sind in Streifenbreiten von 50/100/200 mm erhältlich
MCAx Gelenkarm
• Für vielfältige Messaufgaben
• Intuitive Software zum Scannen und Messen
• Verfügbar in Längen zwischen 2 m und 4,5 m
• Hochentwickelte Konstruktion: für die Luft- und Raumfahrt entwickelte Carbonfaser –
robust, sehr leicht, mit lebenslanger Garantie
• Unbegrenzte Rotation aller Hauptachsen für einen uneingeschränkten Einsatz.

16
 MULTI-SENSOR-MESSTECHNIK

FOCUS-SOFTWARE FÜR PUNKTEWOLKEN

Focus point cloud software
Streamlining CMM and handheld laser scanning inspection
tive industry, is one of the target
spected, but also features, edges,
l matching, GD&T, and flush & gap
ction job. Automation capabilities
ses, in-line or off-line.
Focus-Software für Punktewolken unterstützt den digitalen Messprozess.
Focus_EN_0117 – Copyright Nikon Metrology NV 2017. All rights reserved. The materials presented here are summary in nature and intended for general information only.

Kernstück dieses Prozesses ist das 3D-Softwaremodul Inspection, das

einfach verständliche CAD-Vergleiche und eine erweiterte Merkmalsprüfung
terized by a strict inspection of the surface
s pre-series samples require detailed
ermöglicht. Darüber hinaus steuert Focus die Datenaufnahme des
Laserscanners an KMGs und Gelenkmessarmen, einschließlich Offline-
roduction. Serial production also needs
o detect wear early on in the process.
uick and complete 3D digital copies for
d with touch probe point and scanning

Vorbereitung zur Automatisierung von Scanaufgaben am KMG.

s knee or hip implants and hearing aids,

ximum comfort. By digitizing a patient-
Vorteile
r diagrams

Die Focus Inspection Software deckt ein breites Spektrum an Messanwendungen ab und
bietet eine sensationelle Performance, eine intuitive Benutzeroberfläche und standardisierte
ISO 14001 Certified
for NIKON CORPORATION

ISO 9001 Certified

for NIKON CORPORATION

Makrofunktionen zur Automatisierung des gesamten Prüfprozesses.

Microscope Solutions Business Unit
Industrial Metrology Business Unit

• Bietet Bedienern und Konstrukteuren vollintegrierte Scanning- und Messfunktionen für

NIKON METROLOGY I VISION BEYOND PRECISION

Prüfvorgänge an KMGs und handgeführten Laserscannern

• Neue Multifunktionsleiste vereinfacht Prüfvorgänge
20/02/17 16:37

• Intelligente Merkmalserkennung und Analysealgorithmen sorgen für hohe Produktivität und

schlüssige Ergebnisse
• Zahlreiche Funktionen für die digitale Oberflächen- und Merkmalsprüfung
• Leicht zu interpretierende und interaktive Berichterstellung für eine einfachere
Entscheidungsfindung
• Automatisierung des Prüfprozesses ohne Programmierkenntnisse
Teil-gegen-CAD-Vergleich
• Nutzen Sie 3D-Ergebnisse gemeinsam mit Ihren Kollegen und Kunden mit dem kostenlosen
Focus-Viewer

Oberflächenprüfung
Die Teil-gegen-CAD-Prüfung vergleicht die erfasst Punktewolke mit den CAD-Solldaten und
verdeutlicht die geometrischen Abweichungen in einem Grafikbericht. Oberflächenprüfungen
dienen dazu, das Rückfedern von Teilen und Phänomene wie Schrumpfen zu analysieren und
sicherzustellen, dass die Teileform dem Entwurf entspricht.
• Komplette Teil-gegen-CAD-Prüfung
Auswertung von Form- und Lagetoleranzen • 2D- und 3D-Schnitte
• Wandstärke, Kantenanalyse etc.
• Benutzerdefinierte Fähnchen für eine eindeutige Interpretation

Prüfung von Merkmalen

Die Überprüfung der Lage und Maßhaltigkeit zusammengesetzter Merkmale ist sehr wichtig, um
die optimale Passung im späteren Verlauf des Zusammenbauprozesses sicherzustellen.
• Automatische und halbautomatische Merkmalserkennung
- 2D-Merkmale: Oberflächenpunkt, Loch, Langloch, Ebene etc.
Spalt- und Bündigkeitsprüfung - 3D Basiselemente: Zylinder, Kugel etc.
- 3D erweiterte Elemente: T-Bolzen, Keilstift, Tannenbaum etc.
• Querschnittsprüfung von Bündigkeit & Spaltmaß an Zusammenbauteilen
(Karosserie, Tür, Haube etc.)
- Definition kundenspezifischer Bund- & Spaltlehren
- Kombi-Stoßkante: Erstellung virtueller Kantenpunkte
• Importiert Form- und Lagetoleranzen aus Soll-CAD
• Umfassende Funktionen, um Toleranzen zu
Form, Ausrichtung und Lage zu definieren
• PTB-zertifizierte Algorithmen zur Merkmalsberechnung
Protokollierung von Ausschnitten

17
 Messsoftware CMM-Manager

UMFASSENDE FUNKTIONEN FÜR MANUELLE,

CNC- UND PORTABLE KOORDINATENMESSGERÄTE

CMM-Manager, die Messsoftware für ausschließlich

taktile Messaufgaben, ist Windows-basiert und
bietet ein optimales Preis-Leistungs-Verhältnis. Die
Software kann nahezu überall betrieben werden: ob
auf manuellen, CNC gesteuerten und portablen KMGs.
Bediener bewerkstelligen Messaufgaben schneller
mit CMM-Manager, indem sie die Serienprüfung
automatisieren oder lediglich einige Messpunkte vor
Ort aufnehmen.

Diese aufgabenorientierte, selbsterklärende Software liefert schnelle

Messergebnisse. Außerdem bietet sie u.a. Im CAD System folgende
Funktionen: Click & Measure, Kollisionsbetrachtung, virtuelle
Simulation, Echtzeitermittlung sowie RPS Ausrichtung. Durch die
grafische Windows 7 Benutzeroberfläche – intuitive Icons, neue
Multifunktionsleiste und grafische Tipps zur Werkzeugverwendung –
ist CMM-Manager bedienerfreundlicher denn je.
Merkmale
• CAD-basiertes grafisches Programmieren
• Automatische Kollisionserkennung
• Clevere Ausrichtungsfunktionen
• Automatische Tastererkennung
• Leapfrog-Bewegungen zur Erweiterung des Messvolumens für portable Messungen
• Best Fit-Analyse für verbesserte Inspektionsgenauigkeit
• Webfähige Grafikberichterstellung per Drag & Drop

Vorteile
• Schnelle und genaue Messergebnisse stehen im Mittelpunkt
• Bedienerfreundliche und doch umfassende Messsoftware
• Ein einziges Softwarepaket für CNC-, manuelle und portable Messungen

Retrofit-Möglichkeiten
• CNC oder manuelle KMG: Nikon Metrology, Sheffield, Mitutoyo, Brown & Sharpe,
DEA, Zeiss, Starrett, Numerex, Helmel, Wenzel, Renishaw
• Umrüstungen portabler KMGs: MCA (I, II, x), optische KMG der K-Serie, Faro,
Romer/CimCore, Sheffield, Brown & Sharpe, Mitutoyo, Renishaw
• iNEXIV Videomesssysteme

Bedienerfreundliche Software zur Messung komplexer Teile Schnelle Interpretation der Daten durch farblich CMM-Manager ist auch für iNEXIV Videomesssys-
hervorgehobene Geometrieabweichungen teme erhältlich

18
 MULTI-SENSOR-MESSTECHNIK

INTEGRATION VON SOFTWARE ANDERER HERSTELLER

Nikon Metrology bietet Lösungen für die Integration einiger Messprogramme von anderen Herstellern.
Anwender können unsere KMGs, Gelenkmessarme oder Laser Radar-Systeme daher mit der Software ihrer
Wahl betreiben. Inwieweit die Software integrierbar ist, hängt von der Software selbst ab und beinhaltet
Funktionen wie Online-/Offline-Programmierung, komplett native Erfassung, Prüfung gegen CAD/ohne CAD,
Messung mit taktilem Messsystem oder Laserscanner. Die daraus resultierenden Messdaten werden mit
speziellen Analyseprogrammen weiterverarbeitet.

Kompatible Software
KMG GELENKMESSARME OPTICAL KMG
Automatisiertes Automatisiertes Handgeführtes Handgeführtes Handgeführtes Handgeführtes
Laserscannen taktiles Messen Laserscannen taktiles Messen Laserscannen taktiles Messen

Camio ✓ ✓ ✓ ✓ ✓ ✓
InnovMetric PolyWorks ✓ ✓ ✓ ✓ ✓ ✓
Metrologic Metrolog X4 ✓ ✓ ✓ ✓ ✓ ✓
3D Systems Geomagic ✓ ✓ ✓ ✓
Autodesk PowerInspect ✓ ✓ ✓ ✓
Verisurf X ✓ ✓ ✓ ✓ ✓
NRK SpatialAnalyzer ✓ ✓ ✓ ✓

LK Metrology CAMIO: Simulation des Scanpfades InnovMetric Polyworks: Teil-gegen-CAD-Vergleich

3D Systems Geomagic Metrologic Metrolog X4

19
 PRODUKTIONSINTEGRIERTE MESSTECHNIK /
ROBOTERBASIERTE MESSTECHNIK

Nikon Metrology unterstützt die Kunden beim Einsatz von messtechnisch gesteuerten Fertigungsprozessen. Die produktionsintegrierte Messtechnik
sammelt genaue Geometriedaten, um die Präzision und Geschwindigkeit der Konstruktions-, Fertigungs- und Zusammenbauprozesse kontinuierlich
zu steigern.

LASER RADAR

KMG FÜR DEN EINSATZ IN DER WERKSTATTUMGEBUNG

20

Laser Radar MV331/351
AUTOMATISIERTE, BERÜHRUNGSLOSE PRÜFUNG
GROSSER OBJEKTE
Anwendungen
• Inspektion von Flugzeugrümpfen, Tragflächen, Verbindungen
zwischen Tragfläche/Flugzeugkörper, Fahrwerksklappen und
Düsentriebwerken
• Spalt- & Bündigkeitsprüfung an Düsentriebwerkverkleidungen
• Automatisierte Messung von Nietlochpositionen
• Formen-, Erstmuster- und Serienprüfung von Verbundteilen
• Prüfung von großvolumigen Fertigteilen direkt am Messsystem
• Maßhaltigkeitsprüfung an Schmiede- und Pressteilen, bevor das
Fräsverfahren startet
• Messen von Turbinenschaufeln und Solarzellen
• Hardware-Kontrolle an Raumteleskopen, Parabolantennen und
erhitzten Oberflächen
Das Laser Radar wird für das Messen großvolumiger Bauteile in Größenordnungen von der Flugzeugtür bis hin zum kompletten Flugzeug eingesetzt. Es ist
kostensparend und verbessert gleichzeitig die Produkt- und Prozessqualität.
PRODUKTIONSINTEGRIERTE MESSTECHNIK / ROBOTERBASIERTE MESSTECHNIK
Laser Radar ist ein vielseitiges Messsystem, das berührungslose
Messungen mit tatsächlich nur einem Systembediener
ermöglicht. Durch die Möglichkeit der CNC-Programmierung
ist es auch im vollständig mannlosen Betrieb einsetzbar. Laser
Radar arbeitet mit einer patentierten Technologie, die nur das
Rücksignal des milliardsten Teils des reflektierten Laserstrahls
benötigt und eine direkte Flächen- und Merkmalerfassung bei
bei hohen Datenraten ermöglicht. Kurz gesagt, das Laser Radar
kommt ohne den aufwändigen Einsatz von optischen Targets,
Retroreflektoren (SMR – Spherically mounted Retroreflectors)
oder Handtastern aus. Messzeiten und Bedienungskosten
werden daher erheblich reduziert. Das erklärt, warum Laser
Radar in der Lage ist, dunkle diffuse und hochglänzende
Werkstoffe und Oberflächenfinishs unter schwierigsten
Einfallswinkeln zu messen.
Merkmale
• Messbereich für MV351 max. 50 m, MV330 max. 30 m
• Mit bis zu 2.000 Punkten pro Sekunde schnelle Datenerfassung im Vision
Scan Prüfmodus
• Genauigkeit ab 24 µm (2 m Abstand)
• Leistungsstarke Funktionen für die Bohrloch- und Kantenmessung
• Erweitertes Sichtfeld durch den Einsatz von Spiegelm
• Alle Messdaten werden automatisch auf ein einziges angrenzendes
Koordinatensystem bezogen
• Unterstützung verschiedenster Softwareprogramme für großvolumige
Messanwendungen
Vorteile
• Höhere Produktivität durch schnelle Messzeiten und niedrige Bedienerkosten
• Berührungslose Messung: ideal für weiche, empfindliche oder unzugängliche
Prüfobjekte
• Sinkende Kosten und Wegfall von Bedienfehlern durch Automatisierung
• Zuverlässige Entfernungsmessungen an Verbundwerkstoffen
• Nahtlose Integration in den Messprozess
21
 FERTIGUNGS-KMG FÜR DIE KAROSSERIEPRÜFUNG

Das auf Industrierobotern installierten Laser Radar ist

ein innovativer Ansatz der Karosseriemessung.
Dieses für die Fertigungsumgebung entwickelte
System ermöglicht präzise Maßhaltigkeitsmessungen
innerhalb des Fahrzeugkoordinatensystems und einen
direkten Vergleich mit dem CAD-Modell, ohne eine
Referenz zu benötigen. Anders als ein Horizonalarm-
KMG führt es Hochgeschwindigkeitsmessungen durch,
die auf einen kurzen Produktionszyklus abgestimmt
sind. Gleichzeitig ist dies eine flexible Lösung, die sich
problemlos an Änderungen im Modelldesign und in der Das an einem Roboter installierte Laser Radar ist eine einzigartige
Alternative zu traditionellen Horizontalarm-KMGs
Fertigungsplanung anpasst.

Merkmale
• Flexible, automatisierte Inspektion
• Absolute Messungen im Fahrzeugkoordinatensystem
• <0,1 mm Genauigkeit über das gesamte Fahrzeugvolumen
• Ein großer Arbeitsabstand beugt Kollisionen vor
• Vollständig (offline) programmierbar
Merkmale wie Lochbohrungen, Langlöcher, Bolzen etc. werden automatisch mit einer
• Erhältlich als eigenständige oder roboterintegrierte Lösung Scangeschwindigkeit von 2.000 Punkten/s gemessen
für den Einsatz im Messraum, außerhalb oder innerhalb in
der Fertigungslinie
• Kompatibel mit Industrierobotern führender Hersteller
• Anwendungssoftware führender Anbieter (Metrolog, Polyworks etc.) integrierbar

Inline-Karosserieprüfung: An jeder Rohkarosse werden verschiedene Merkmale in der Taktzeit der Montagestraße geprüft. Nach einigen Durchgängen sind alle kritischen Merkmale vermessen.

22
 PRODUKTIONSINTEGRIERTE MESSTECHNIK / ROBOTERBASIERTE MESSTECHNIK

QUALITÄT 4.0 AUF DEM VORMARSCH

Mit der Umstellung der Karosserieprüfung auf Qualität 4.0 entsteht ein vollautomatischer, berührungsloser
und absolutgenauer Messprozess mit direkter Integration in die Fertigungslinie. Herkömmliche Prüfverfahren,
wie Koordinatenmessgeräte (KMGs), werden durch neuere, automatisierte Ansätze ersetzt, wie Laser Radar-
Systeme sie bieten. Je besser und einheitlicher die gelieferten Messdaten sind, desto engmaschiger kann eine
Fertigungslinie überwacht werden. Dies gilt insbesondere für die Automobilindustrie, wo die gesteigerte Qualität
und Wiederholpräzision sich in den Produktions-, Prototypen- und Vorserienphasen bemerkbar macht. Dadurch
werden die Vorlaufzeiten für ein neues Fahrzeug deutlich verkürzt.

Messung neben der Montagestraße: Eine Karosserie wird von der Montagestraße Messung neben der Montagestraße mit Drehtisch: Eine Karosserie wird von
genommen und vollständig geprüft. Zwei oder vier Roboter gewährleisten höchste der Montagestraße auf einen Drehtisch geladen. Ein auf einem stationären Lift
Messproduktivität. Nach der Prüfung wird die Karosserie wieder der Montagestraße installiertes Laser Radar misst die Karosserie von verschiedenen Seiten.
zugeführt.

Horizontalarm-KMG wird ersetzt: Eine roboter-installierte Laser Radar-Einheit misst sechs Teilemessung: Eine auf einem Lift installierte Laser Radar-Einheit prüft die Vorder-
Mal schneller als ein herkömmliches Horizontalarm-KMG. Durch die deutlich schnellere und Rückseiten mehrerer Bauteile auf Drehtischen.
Erfassung von Karosserie-Messdaten können mehr Rohkarossen geprüft werden und man
erhält schneller Rückmeldungen zum Fertigungsprozess.

€ DIE KUNDENVORTEILE
Da die Produktionszyklen immer kürzer und flexibler gestaltet werden müssen, sind die Automobilhersteller stets bestrebt, den Zeit- und
Kostenaufwand zu reduzieren, ohne Abstriche bei der Qualität machen zu müssen. Das automatisierte Laser Radar an einem Roboter ist
die richtige Lösung für die Messung von Fahrzeugkomponenten direkt in der Fertigungslinie, da es die Anforderungen nach flexiblen und
absoluten Messungen erfüllt. Für Fahrzeughersteller bedeutet dies:

Kürzere Anlaufzeiten für neue Produktionslinien oder bei Modelländerungen: Während der Anlaufphase können
die ursprünglich produzierten Fahrzeuge in kurzer Zeit vollständig gemessen und mit CAD verglichen werden. Bessere Einblicke in die
Konformität der Produkte, gleichzeitig schnellere Abstimmung der Fertigungsprozesse.
Weniger Qualitätsprobleme: Durch die intensive Überwachung der Produktqualität lässt sich der Fertigungsprozess bei
Abweichungen sofort korrigieren.
Zukunftssichere Daten: In absoluten Koordinaten erfasste Messwerte eignen sich am Besten für den digitalen Fertigungsprozess,
in dem große Datenmengen als Grundlage für den Vergleich von Daten über längere Zeiträume verwendet werden. Sie verbessern den
Einblick, die Entscheidungsfindung und Prozessautomation und beschleunigen gleichzeitig die Produktentwicklung.

23
 MESSINSTRUMENTE

Der Einsatz von Präzisionsmessinstrumenten garantiert Qualitätssicherung auf höchstem Niveau innerhalb des gesamten
Produktionsprozesses. Basierend auf der Erfahrung von Nikon im optischen Bereich setzen Videomesssysteme,
Messmikroskope, Profilprojektoren und optische Komparatoren neue Standards für die Qualitätsprüfung, selbst für kleinste Messobjekte.

VIDEOMESSSYSTEME

MESSMIKROSKOPE

PROFILPROJEKTOREN

DIGITALE LÄNGENMESSSYSTEME

AUTOKOLLIMATOREN

24

iNEXIV VMA-2520 / VMA-4540 / VMA-6555
MULTISENSORFÄHIGE CNC-VIDEOMESSSYSTEME
iNEXIV VMA-4540
Merkmale
• Geringe Aufstellfläche und geringes Systemgewicht von nur
72 kg (VMA-2520)
• Verfügbare Messbereiche:
- 250 x 200 mm Messweg in XY und 200 mm in Z (VMA-2520)
- 450 x 400 mm Messweg in XY und 200 mm in Z (VMA-4540)
- 650 x 550 mm Messweg in XY und 200 mm in Z (VMA-6555)
• Modernste VMA AutoMeasure-Software
• Schneller und hochleistungsfähiger Laser-Autofokus (optional)
• Multisensorfähig: optische Messaufnehmer, Laser und
schaltende Messtaster
Vorteile
• Hohe Präzision durch weiße LED-Beleuchtung und den Einsatz
von Aluminiumlegierungen in der Konstruktion
• Schnelle und präzise Messtischsteuerung für einen höheren
Messdurchsatz
• Neue Zoomoptik, die 3D-Teilemessungen einfacher macht
• Fortschrittliche Bildverarbeitungsalgorithmen und intelligente
Suchfunktionen
iNEXIV VMA-2520
MESSINSTRUMENTE
Unter Einsatz einer optischen Mess- und
Bildverarbeitungstechnik prüfen iNEXIV CNC
Videomesssysteme automatisch die Maßhaltigkeit
verschiedenster Präzisions- und Elektronikteile. Die Bilder
der CCD Kamera und die Datenverarbeitung sorgen für eine
präzise Kantenerkennung am Messobjekt und ermöglichen
die Messung komplexer Formen
Das iNEXIV VMA-2520 ist ein neues Multisensor-Videomesssystem, das so
leicht und kompakt ist, dass es in Fabrikumgebungen auf der Werkbank
verwendet werden kann. Aufgrund seiner schnellen, vollautomatischen
und hochpräzisen Funktionen eignet es sich ideal für eine Vielzahl
von Anwendungen im Bereich industrieller Messung, Prüfung und
Qualitätssicherung. Das iNEXIV, das für die Vermessung dreidimensionaler
Proben entwickelt wurde, kann Messtaster aufnehmen und wartet mit der
neuesten Bildverarbeitungssoftware, der neuen 10x-Zoom-Optik und einer
Laser Autofokus-Option auf.
Die kostengünstige VMA-4540V/4540 Variante dagegen bietet ein
größeres Messvolumen, sodass auch größere und höhere mechanische
und elektronische Komponenten geprüft werden können. Während das
VMA-4540V ausschließlich für Videomessungen konzipiert ist, kann das
VMA-4540 System zusätzlich einen schaltenden Taster aufnehmen.
Das VMA-6555 eignet sich für die Vermessung großer Objekte (bis zu
650 x 550 x 200 mm) oder mehrerer kleiner Bauteile gleichzeitig. Es zeichnet
sich durch ein optimales Preis-Leistungs-Verhältnis aus. Dies zeigt sich bei der
Ausstattung: Der Systemkörper sowie die Führungslager sind identisch zu den
High-End-Modellen. Das VMA-6555V ist ausschließlich für Videomessungen
konzipiert, während das VMA-6555 System mit einem Taster ausgestattet ist.
Anwendungen
• Mechanische Werkstücke (wie z.B. Metall- und Spritzgussteile)
• Elektronische Baugruppen
• Gussteile
• Spritzgussformen
• Medizinprodukte
iNEXIV VMA-6555 Modell mit großem Messbereich Aluminiumgussteil
25
 NEXIV VMZ-R

DIE NEUESTEN TECHNOLOGIEN DER RENOMMIERTEN

NEXIV-BAUREIHE

Die genaue Vermessung von hochentwickelten Produkten

(d. h. Smartphones und Tablets) und die extrem schnelle
Bildverarbeitungstechnik für die Massenproduktion sind
in der Messtechnik zum Standard geworden. Diese NEXIV
Systeme der nächsten Generation wurden speziell für
die schnelle und präzise Maß- und Formkontrolle von
hochdichten, mehrschichtigen Elektronikbauteilen entwickelt.

Äußerst präzise und schnelle Messungen

Das im Hause Nikon entwickelte Wegmesssystem ermöglicht eine höhere
Genauigkeit beim Messen. Außerdem wurde die Gesamtmesszeit dank einer
VMZ-R4540 optimierten Bildübertragungstechnik und Änderungen an der Lichtquelle verkürzt.

Flexibilität beim Messen

Merkmale
• Laser-Autofokus, entwickelt zum Detektieren der Oberfläche von
dünnen, transparenten Werkstoffen.
• 6 Modellvarianten optischer Zoomsysteme
• 8-segmentige Ringbeleuchtung mit drei Neigungswinkeln
• Gesteigerte Messgenauigkeit durch hochauflösendes Wegmesssystem
• Das System ist in verschiedenen Größen erhältlich (VMZ-R3020,
VMZ-R4540, VMZ-R6555)
• Bedienerfreundliche Benutzeroberfläche der Software: Jeder
Anwender kann das System einfach bedienen und automatisierte
Messprogramme erstellen
Eine dritte Ringbeleuchtung wartet mit einer erweiterten
Kantenerkennungsfunktion auf. Gleichzeitig wurde die Fähigkeit des Systems,
transparente Bauteile messen zu können, durch den optimierten TTL (Through
The Lens) Laser-Autofokus verbessert.
Größere Bedienerfreundlichkeit
Das Gerät ist nun deutlich schneller einsatzbereit, da jetzt mit nur wenigen
Schritten Teaching-Dateien erstellt werden können. Das Hauptprogramm
wurde durch die neue Funktion der „Anleitungsseite“ verbessert, die
Lernprozesse vereinfacht und verständlicher macht.

8-segmentige Ringbeleuchtung mit drei

Neigungswinkeln
Die Auflicht-, Durchlicht- und Ringbeleuchtung arbeitet mit weißen LED-
Lichtquellen und bietet Stabilität und Langlebigkeit.
Ringbeleuchtung mit drei Neigungswinkeln für eine präzise
Kantenerkennung.

VMZ-R3020 VMZ-R6555

Schützende
Glasoberfläche
37 ° Messabstand: 50 mm 55 ° Messabstand:36 mm 78 ° Messabstand:10 mm
Substrat
Niedriger Neigungswinkel/langer Hoher Neigungswinkel/kurzer
Neuer Laser-Autofokus, entwickelt zum Detektieren der Oberfläche von Messabstand Messabstand
dünnen, transparenten Werkstoffen. Der neue Sensor erkennt sowohl
Ober- als auch Unterseiten. Neues 8-segmentige Ringbeleuchtung mit drei Neigungswinkeln für eine optimale Kantenerkennung

26
 MESSINSTRUMENTE

KONFOKALES NEXIV

ERSTELLUNG VON 3D MESSUNGEN MITTELS

KONFOKALER BILDER

Das konfokale NEXIV Videomesssystem, das durch

revolutionäre Multifunktionalität besticht, wurde auf
Basis der marktführenden Erfahrung von Nikon im
Bereich der Opto-Mechatronik (optische, mechanische
und elektronische Technologien) entwickelt. Es
umfasst konfokale Optiken für die schnelle und
genaue Auswertung detaillierter 3D-Oberflächen
und eine Hellfeld-Optik mit 15-fachem Zoom. In ein
und demselben FOV können gleichzeitig 2D- und
Höhenmessungen durchgeführt werden. Das konfokale
NEXIV Videomesssystem kommt bei der Prüfung
hochkomplexer Strukturen wie Kontaktierungshöhen
(Bumps) an Halbleiterbauteilen der neusten
Technologie, Prüfkarten, Lasermarkierungen auf
Wafern und anderen anspruchsvollen Anwendungen
optimal zum Einsatz.
Anwendungen
• Kontaktierungshöhen an Halbleiterbauteilen der neuesten Merkmale
Technologien
• Prüfkarten • Simultane Weitwinkel-Höhenmessungen mit von Nikon entwickelter
• Optische Präzisionsteile (Mikrolinsen, Kontaktlinsen) konfokaler Optik
• Lasermarkierungen auf Halbleiter-Wafern • 2D-Messung mit Hellfeld-Zoomoptik in 15-facher Vergrößerung
• MEMS • Vollständige Kompatibilität für die Prüfung von 300 mm Wafern
• Drahtbonden • Erhältlich in verschiedenen Größen: VMZ-K3040 und VMZ-K6555

VMZ-K6555

Betrachtung der Waferebenen Feine Kontaktierungsflecken und

In Z aufgenommene konfokale Bilder werden in Echtzeit in Form von 3D Konturgrafi- von oben und 3D-Darstellung Muster auf Substraten
ken und tiefenscharfen (EDF – Extended Depth of Focus) Bildern rekonstruiert. (Softwareoption)

27
 Messmikroskope der Modellreihen MM-800/400/200

VERBINDEN DIGITALE BILDERFASSUNG UND INDUSTRIELLE

MESSTECHNOLOGIE

Die Messmikroskope von Nikon überzeugen durch Leistung,

Bedienkomfort und eine beispiellose Flexibilität, wenn
es um Upgrades und Erweiterungsmöglichkeiten geht.
Die MM400/800 Serie liefert komplette digitale Kontrolle
für ein Maximum an Messgenauigkeit in einem stetig in
den Anforderungen wachsenden industriellen Umfeld.
Messmikroskope sind hervorragend zur Inspektion und
Messung von kleinen 2D- und 3D-Messobjekten geeignet.

Das MM-200 ist ein kompaktes und leichtgewichtiges

Messmikroskop und wird zu einem optimalen Preis-Leistungs-
Verhältnis angeboten. Testobjekte aus den verschiedensten
Industriebereichen, ob aus Metall oder Kunststoff sowie
Elektronikbauteile werden mit Präzision und Genauigkeit
gemessen. Das Messmikroskop wird hauptsächlich in der
MM-800 Messmikroskop Automobil- und Elektronikindustrie eingesetzt.

PGA - Einfügestift
Merkmale
• Nikon Digitalkameras und E-Max Messsoftware nahtlos integrierbar
• Leistungsstarke, weiße LED Beleuchtung als Grundausstattung für ein
optimal ausgeleuchtetes Sehfeld
• Integrierte Schnittstelle vereinfacht die automatisierte Beleuchtung, XY- und
Z-Verfahrweg können von der Software E-Max aufgenommen werden
Bildergebnis eines optimal
ausgeleuchteten Sichtfelds • Optionaler TTL Laser-Autofokus
• Messtische sind bis zu einer Größe von 300 x 200 mm für größere
Testobjekte erhältlich

Vorteile
• Herausragende geometrische Datenverarbeitung und –sicherung
• Benutzerfreundlichkeit durch verschiedene motorisierte Kontrollfunktionen
CCD Kunststoffzahnrad und das ergonomische Design
• Aufnahme größerer Messtische durch verstärkten Korpus
• Erweiterte Beobachungsverfahren durch den Einsatz von verschiedenen
Beleuchtungs- und Lichtquellenoptionen
Anwendungen
• Optional ist ein vollständig motorisiertes Hochleistungs-Messmikroskop mit
• Lab-on-a-Chip digitalen Bildverarbeitungsfunktionen erhältlich
• MEMS
• Kunststofffertigung (z. B. beim Spritzgussverfahren)
• Medizinprodukte
• Mikroelektronik und Optoelektronik
• Mikrotooling
• Oberflächenanalyse
• Bruch- und Fehleranalyse

Verwandte Produkte
• NEXIV und iNEXIV Videomesssysteme
• Mikroskope für industrielle Anwendungen
MM-200 MM-400

28
 MESSINSTRUMENTE

Profilprojektoren, digitale Längenmesssysteme, Autokollimatoren

HÖCHSTE PRÄZISION UND LEISTUNG

Profilprojektoren

Die Profilprojektoren von Nikon wenden das optische Prüfprinzip auf die
Inspektion von gefertigten Werkstücken an. Dabei wird die vergrößerte
Abbildung des Testobjekts auf die Mattscheibe projiziert. Um allen
Kundenanforderungen gerecht zu werden, wird der Profilprojektor mit
einer Anzahl an verschiedenen Projektionslinsen geliefert. Jede Linse ist
in puncto Vergrößerung, Arbeitsbereich und Sehfeld unterschiedlich.

Der V-20B hat einen großen effektiven Bildschirmdurchmesser von

V-20B V-12B
Verwandte Produkte
Folgende Profilprojektoren stehen zur Auswahl:
• V-20B (Durchmesser der Mattscheibe 500 mm)
• V-12 B (Durchmesser der Mattscheibe 300 mm)
• Horizon 16E (Durchmesser der Mattscheibe 400 mm, nur USA)
500 mm. Sein herausragendes Auflichtbild und die hohe Genauigkeit
ermöglichen das präzise Messen von Profilen, Oberflächen und größeren
Werkstücken.
Die Horizon-Reihe der Tisch-Komparatoren in horizontaler Bauweise
liefert eine leistungsstarke, zuverlässige Beleuchtung für die
Überprüfung und Messung von Oberflächen und Profilen.
Anwendungen
• Profilerstellung (Werkstücke aus Metall oder Kunststoff)
• Kontrolle von Oberflächenbeschaffenheiten
• Kontrolle von Teilemerkmalen
• Bruch- und Fehleranalysen

MF-1001/MF-501 Digimicro

Das MF-1001 und das MF-501 sind digitale Mikrometer, die Überprüfungen von
Abmessungen, Breite und Tiefe per Kontaktmessung durchführen. Sie weisen eine
Messlänge von 100 mm bzw.

Digitales Mikrometer MF-1001
50 mm und ihre Genauigkeit bei 20° C beträgt 1 µm. Für erhöhte Stabilität sind die
Ständer in Keramik, Stahl oder Granit erhältlich. Ebenso stehen unterschiedlichste
Tastspitzenkonfigurationen zur Verfügung, um maximale Vielseitigkeit zu
gewährleisten.
Digitales Mikrometer MF-501

6B/6D Autokollimatoren

Die Autokollimatoren aus dem Hause Nikon Metrology messen und überprüfen die
Parallelität von Endflächen, die Rechtwinkligkeit, Ebenheit oder Geradlinigkeit von
Bewegungen (Richtungsprüfungen). Die Dunkelfeld-Ausführung eignet sich ideal
für die Messung kleiner, flacher Spiegel. Die Hellfeld-Ausführung bedient sich der
legendären Nikon Optik zur Beleuchtung von Oberflächendetails.

Anwendungsbereiche: Prüfung von Oberflächenenbenheiten, Fluchtungsprüfung von

Komponenten mit reflektierenden Oberflächen (z.B.

Pick-Up Linsen von CD Playern) sowie Winkel- und Schrittmessungen von beweglichen
Maschinenkomponenten
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 MIKROSKOPE FÜR INDUSTRIELLE ANWENDUNGEN

Als ein weltweit führendes Unternehmen in optischen Technologien fertigt Nikon optische und digitale Mikroskopsysteme mit vielfältigen
Einsatzmöglichkeiten, herausragender Leistung und hoher Produktivität.

STEREOMIKROSKOPE

MIKROSKOPE FÜR INDUSTRIELLE ANWENDUNGEN

RASTERELEKTRONENMIKROSKOPE

SOFTWARE

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 MIKROSKOPE FÜR INDUSTRIELLE ANWENDUNGEN

Umfassende Auswahl an Stereomikroskopen

EIN MEILENSTEIN FÜR DIE STEREOMIKROSKOPIE

Die SMZ25 und SMZ18 Mikroskope revolutionieren

die Stereomikroskopie. Die Vorteile: ein einzigartiger
Vergrößerungsbereich, eine extrem leistungsfähige Optik,
Bedienerfreundlichkeit und hohe Flexibilität durch den
modularen Aufbau.

Die neue SMZ-Serie bietet eine große Funktionsvielfalt – von einfachen

stereoskopischen Bildern bis hin zu komplexesten Beobachtungsverfahren
in beispielloser Qualität.

Merkmale
• Weltweit höchster Zoombereich (25:1 - SMZ25) und höchste Auflösung
in der SMZ-Serie (SMZ25)
• Motorisierter Fokus und Zoom (SMZ25)
• Extrem klare Bilder mit Fluoreszenz oder normaler Beleuchtung
• Einfach zu bedienende LED DIA Basis mit OCC Beleuchtung (die
Methode der „Schrägbeleuchtung“ wurde von Nikon entwickelt)

Injektionsnadel Leiterplatte (Hellfeld) Leiterplatte (Fluoreszenz) Uhrwerk

Das Stereomikroskop SMZ1270/SMZ1270i bietet den

höchsten Zoomfaktor seiner Klasse. Das SMZ800N
verfügt über eine herausragende Optik und hohe
Bedienerfreundlichkeit.

Diese Stereomikroskope bestechen sowohl durch eine exzellente

optische Performance mit weitem Vergrößerungsbereich, großem
Zoombereich und hohem Auflösungsvermögen als auch Bedienkomfort.
Die Bildbrillanz und verbesserte Bedienbarkeit ist Anwendern in vielen
SMZ800N Bereichen – von medizinischen bis hin zu industriellen Anwendungen –
von Nutzen.
SMZ1270i SMZ745T
Nikon Metrology bietet eine umfangreiche Auswahl an
Stereomikroskopen mit vielfältigen Funktionen, vom kostengünstigen,
ergonomischen Modell bis hin zur Variante für komplexe
Untersuchungen. Folgende Modelle stehen zur Auswahl:

• SMZ 25/18
• SMZ 1270i/1270/800N
• SMZ 745/745T
• SMZ 445/460
• SMZ-2

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 Industrielle Mikroskope der Eclipse Serie

OPTISCHE UND TECHNOLOGISCHE INNOVATION DER SPITZEN-

KLASSE
SPITZENKLASSE

Nikon Metrology bietet eine umfangreiche Auswahl an

Industriemikroskopen für vielfältige Anwendungsbereiche, von Modellen
in Grundausstattung bis zu äußerst hoch entwickelten Systemen
für High-End-Prüfungen. Die Eclipse Serie umfasst optische und
digitale Mikroskope, die sich durch vielseitige Einsatzmöglichkeiten,
Leistungsfähigkeit und Produktivität auszeichnen.

Die kompakte Eclipse LV100N Serie bietet eine unübertroffene

Eclipse LV100ND Eclipse LV150N
Optik und Ergonomie
Nikon Mikroskope der Eclipse Serie sind berühmt für ihre scharfen und kontrastreichen Bilder.
Das LV100N liefert hellere Bilder bei geringerem Stromverbrauch und wirkt aufgrund der
verminderten Wärmeabstrahlung der temperaturinduzierten Defokussierung entgegen.

LV150N für industrielle Prüfanwendungen

Die Mikroskope der Eclipse LV150 Serie liefern hervorragende Ergebnisse bei der Prüfung
von Halbleitern, Flachbildschirmen, IC Gehäusen, elektronischen Substraten, Werkstoffen,
medizinischen Geräten und zahlreichen anderen Objekten.

L200N für die Prüfung von 200 mm Wafern und Masken

Eclipse L200N Eclipse L300N In Verbindung mit dem CFI60-2, der legendären Optik aus dem Hause Nikon, und dem neuesten
Beleuchtungssystem, bieten die Mikroskope dieser Baureihe hellere, kontrastreichere Bilder. Die
L200 Serie ist besonders für die Inspektion von Wafern, Photomasken und Substraten geeignet.

L300N für die fehlerfreie Prüfung von großvolumigen LCDs und

Wafern
Konfiguriert für 300 mm Wafer- und Maskeninspektion, erfüllt die Eclipse L300 Serie auch
die Anforderungen für die Endkontrolle von Flachbildschirmen. Die L300 Baureihe ist mit der
bewährten Nikon CFI60-2 Optik ausgestattet und bietet höchste Auflösung und Kontrast sowie
bestmögliche Transmission.
MA100N Eclipse MA200

Inverses, metallurgisches Mikroskop Eclipse MA200 / MA100N

Das MA200 ist ein inverses, metallurgisches Mikroskop, das für die digitale Bildgebung und
ergonomische Effizienz optimiert wurde. Dank seiner einzigartigen Boxenkonstruktion sind alle
wichtigen Elemente leicht zugänglich: das Prüfobjekt auf dem Messtisch, der Objektivrevolver,
die Filter und Schieber. Das System benötigt etwa 1/3 weniger Stellfläche als ein herkömmliches
Modell. Das Eclipse MA100N ist ein kompaktes, inverses Mikroskop für die Hellfeldbeobachtung
und einfache Polarisationsmikroskopie.

NWL200 Wafer Loader System für IC Prüfmikroskope

Wafer-Einspannsystem NWL200
Der NWL200 Wafer Loader kann Wafer mit einer Dicke von 100 Mikrometer aufnehmen.
Mit einem neuen Einspannsystem können die NWL200 Systeme zuverlässige Ladevorgänge
ausführen und eignen sich für die Inspektion von Halbleitern der nächsten Generation.

Verwandte Produkte
• Modulbauweise, erweiterbar mit zahlreichem Zubehör wie z.B. verschiedene
Kontrastverfahren, Linsen, Messtischen, Wafer Loadern, ganz auf die Bedürfnisse der
Messaufgabe zugeschnitten
Mikroskop-Kameras
• Auswahl an speziellen Mikroskopvarianten für spezifische Inspektionsaufgaben (Polarisation
und metallurgische Nutzung)
• Motorisierte Objektivrevolver und digitale Bildbearbeitung sind optional erhältlich

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 MIKROSKOPE FÜR INDUSTRIELLE ANWENDUNGEN

Mikroskopsysteme der BW-S/D Serie für die Weißlichtinterferometerie

HOCHGENAUE VERTIKALE AUFLÖSUNG VON 1 PICOMETER

Mikroskope der BW-S/D Serie eignen sich für die

schnelle und präzise Messung von Oberflächenprofilen
mit Höhenunterschieden vom Subnanobereich bis hin zu
Millimetern.

• Hohe Genauigkeit und Wiederholpräzision – Kalibrierung durch ein

8 nm oder 8 µm VLSI Standard-Stufenendmaß, zertifziert durch die
US-amerikanische Akkreditierungsstelle NIST
• Hochpräzise/extrem schnelle Bilderfassung durch ein
Interferenzobjektiv mit Strahlteiler
• 1 pm Höhenauflösung in 2,5- bis 100-facher Vergrößerung
• Konfigurationsanalyse eines großen Bereichs dank Stitching-Funktion
(Zusammenführung mehrerer Bilder)
• Sechs Modelle stehen zur Wahl – für unterschiedliche Einsatzzwecke
und Budgets

VLSI Standard-Schritthöhe: 8 nm Planarer SiC Wafer

NeoScope – das leistungsstarke Table-Top REM

DIE EINFACHHEIT OPTISCHER MIKROSKOPIE UND LEISTUNG EINES

RASTERELEKTRONENMIKROSKOPS (REM) IN EINEM SYSTEM
Das neue JCM-6000Plus „NeoScope™“ ist ein
multifunktionales Table-Top Rasterelektronenmikroskop,
das über Touchscreen bedienbar ist. Es stellt
die Antwort auf die zunehmend wechselnden
Anforderungen von Anwendern weltweit dar. Mit der
hohen Auflösung und der ausgezeichneten Tiefenschärfe
des leistungsstarken REMs ist das NeoScope in der
Lage, eine schnelle Fehleranalyse von Proben zu liefern.
NeoScope REM
Funktionen wie Auto Fokus, Auto Kontrast und Auto Helligkeit machen
das NeoScope einfach zu bedienen. Proben können in weniger als
drei Minuten eingeführt und analysiert werden. Die Probe muss in den
meisten Fällen vorher nicht präpariert werden. Voreingestellte Settings
können leicht wiederverwendet werden, um eine schnelle Automation
des Inspektionsprozesses der verschiedenen Proben zu gewährleisten.
Das NeoScope ermöglicht zwei verschiedene Betriebsmodi:
Hochvakuum und Niedervakuum und bietet drei Einstellungen für die
Kieselalgen Schaum
Betriebsspannung (5 kV, 10 kV, 15 kV).
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SOFTWARE – ÜBERBLICK

Software NIS-Elements
Bildanalyse und Bilddatenbanken, Steuerung von
Mikroskop-Systemen
Die Software NIS-Elements von Nikon setzt neue Standards für den Mikroskopmarkt,
da sie in der Lage ist, Mikroskope, Kameras, Zubehör und Peripheriegeräte mit
automatisierter Intelligenz und leistungsfähigen Funktionen für die Archivierung,
Analyse und Visualisierung von Bildern zu verbinden. Die intuitive Bedieneroberfläche
der Software vereinfacht Arbeitsabläufe und beschleunigt die Bilderfassungsrate.
Gleichzeitig bietet sie vielfältige Funktionen wie Stitching (Zusammenfügen von
Einzelbildern), Objektzählung und Volumendarstellung.

Software AutoMeasure (Messinstrumente)

Benutzerfreundliche Software für automatisierte
Messungen
AutoMeasure verfügt über ein intuitives Hilfemenü, eine anpassbare
Benutzeroberfläche, einen Anwendungs- und Programmiermodus und ist in
verschiedenen Landessprachen erhältlich.
Die AutoMeasure Software wird auf den iNEXIV VMA und NEXIV VMZ-R
Videomesssystemen betrieben.

Auto MeasureEyes (iNEXIV)

Auto MeasureEyes ermöglicht die einfache Ausführung von Messprogrammen, die mit
nur wenigen Klicks programmierbar sind. Die Software bietet außerdem umfassende
Berichterstellungsfunktionen und somit tieferen Einblick in die Produktqualität.

Datenverarbeitungssoftware E-Max (Messinstrumente)

FOV (Field-of-View) Messungen mit fortschrittlicher
digitaler Bildverarbeitungstechnologie
Die E-Max Messsoftware bietet die neueste Bildverarbeitungstechnologie. Sie
wird für eine Vielzahl an Messaufgaben eingesetzt und kann in Verbindung mit
Messmikroskopen und Profilprojektoren betrieben werden.

CMM-Manager für die iNEXIV

Erweiterte Möglichkeiten der Multisensormessung
Erweitern Sie die 3D-Messfähigkeit Ihrer taktilen und bildbasierten 3D-Messsysteme
mit dem CMM-Manager, der nun auch für die Nikon iNEXIV erhältlich ist.
Der CMM-Manager bietet eine aufgabenorientierte, selbsterklärende Messumgebung
mit leistungsfähigen Funktionen für die Messung und Berichterstellung. Die
Software zeichnet sich durch Funktionen aus, wie die CAD-basierte Definition von
kollisionsfreien Tasterwegen, die virtuelle Simulation von Tasterwegen und die präzise
taktile und optische Merkmalsmessung.
KUNDEN
Nikon Metrology bietet Messtechniklösungen gemäß ISO
9001/2000 und UKAS für unterschiedlichste Branchen
und führende Kunden in einem globalen Markt und
bedient sich dabei eines weltweiten Netzwerks von
hervorragend ausgebildeten Messtechnikexperten. Die
komplette Bandbreite des Kundendienstes umfasst den
Helpdesk-Support, Schulungen, Wartungsprogramme,
Nachrüstmöglichkeiten und Auftragsarbeiten, sodass
unsere Kunden den maximalen Gewinn aus ihren Nikon
Metrology-Lösungen erzielen oder ihre Messproblematiken
in kürzester Zeit lösen können.

HELPDESK AUF- UND NACHRÜSTUNGEN

Direkthilfe – die Fähigkeiten und das technische Fachwissen, um Ihre
Anwendungs-/Softwareprobleme durch spezielle Helpdesk-Techniker zu lösen.
MESSTECHNIK PRODUKTSCHULUNGEN/SEMINARE
Wissensdatenbank – Basierend auf langjähriger Erfahrung führt unser
Fachpersonal bei uns im Haus oder vor Ort beim Kunden Software- und
Hardwareschulungen und Seminare für Anfänger und Fortgeschrittene durch.
Eine Nachrüstung mit einem Nikon Metrology Scanner
kann die Produktivität vorhandener KMGs steigern und ihre
Einsatzmöglichkeiten erweitern. Passend für all Ihre derzeitigen
und künftigen Bedürfnisse steht Ihnen ein komplettes Angebot an
Scannern und Anwendungssoftware zur Verfügung.

PROGRAMMIERBERATUNG
Operative Unterstützung – hochqualifizierte Techniker liefern
Werkstückprogramme oder Beratung beim Programmieren. Durch dieses
Fachwissen können Sie die Zeiten für Ihre Produktprüfung verringern.

WARTUNG UND KALIBRIERUNG

Kundendienst – das Personal, die modernste Technologie und Logistik,
um die Zuverlässigkeit, Laufzeit und Leistungsfähigkeit Ihres Systems zu
maximieren.

LOHNMESSUNGEN
Nikon Metrology bietet Lohnmessungen verschiedenster Art an. Das
umfassende Produktportfolio enthält das richtige Werkzeug für jede
Messaufgabe des Kunden. Zusätzlich zu Nikon Metrology eigenen
Messdienstleistungen verfügt Nikon Metrology über ein ausgedehntes
Netz an Nikon Metrology-Kundendienstzentren, die von Nikon Metrology
für Lohnmessungen zertifiziert wurden.

• Messungen mit Laserscantechnik für Prüfungen des Teils gegen CAD

oder die Flächenrückführung.
• Röntgen- oder CT-Messungen für Elektronik- oder industrielle Bauteile

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 Nikon_Metrology_Solutions_DE_0219 – Copyright Nikon Metrology NV 2019. Alle Rechte vorbehalten. Angaben sind gekürzt und dienen lediglich der allgemeinen Information. Änderungen vorbehalten.

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