IO Kap7

Institut für Physik und Physikalische Technologien der TU Clausthal Mai 2006
Integrierte Optik SS 2006
7. Grundbauelemente
7.1 Gekrümmte Wellenleiter
Gekrümmte Wellenleiter sind immer dann erforderlich, wenn der Abstand benachbarter
Wellenleiterkanäle variiert werden muss. Beispiele sind die Einkopplung mehrerer
Lichtsignale über Glasfasern mit ihrem durch die Faserummantelung definierten
Mindestabstand von meist 125 μm, oder integriert-optische Mach-Zehnder-Interferometer, bei
denen der Abstand der beiden Armen des Interferometers z.B. zum Anbringen von koplanaren
Elektroden entsprechend vergrößert werden muss.
An den Wellenleiterknicken sowie im gekrümmten Bereich selbst kommt es zu einer Störung

der Wellenausbreitung, die zur Anregung von Strahlungsmoden und damit zu Verlusten
führt. Im Rahmen des Zick-Zack-Modells lässt sich leicht abschätzen, dass es schon für sehr
kleine Knickwinkel von typischerweise unter 1° zu Verlusten kommt, da Moden nahe des
Cut-Off in diesem Fall nicht mehr totalreflektiert und damit abgestrahlt werden. Eine
Verringerung der Verluste ist möglich, wenn man den erforderlichen Knick auf viele kleine
Winkel aufteilt; im Grenzfall unendlich vieler ‚kleiner’ Knicke landet man so beim
gekrümmten Wellenleiter.
Eine analytische Behandlung gekrümmter Wellenleiter ist nur in wenigen Spezialfällen

möglich. Für Anwendungen greift man daher meist wieder auf BPM Rechnungen zurück. Das
einfache folgende Modell liefert eine gute Abschätzung der auftretenden Verluste und eine
zufrieden stellende Übereinstimmung mit experimentellen Ergebnissen. Betrachtet wird ein
Wellenleiter mit dem Krümmungsradius R, der Breite d und dem Brechungsindex n2. Das
Modell geht davon aus, dass ab einem bestimmten kritischen Radius (R + xR) die
Phasengeschwindigkeit der Lichtverteilung E(x) größer als die Lichtgeschwindigkeit c/n1 im
Substratbereich (n1 = n3) wird. Dieser Feldanteil wird daher abgestrahlt und bildet die
Verluste. Mit der Winkelgeschwindigkeit γ& gilt für xR
dγ c
( R + xR ) =
dt n1
Vorlesung IO Kap.7 Version 1.1.doc 1 von 1 31.05.06

Für die geführte Mode mit der Ausbreitungskonstante β und der Phasengeschwindigkeit c/neff
erhält man entsprechend
dγ c
R =
dt neff
und damit den kritischen Radius
⎛ βc ⎞ ⎛ neff − n1 ⎞
x R = R ⎜⎜ − 1⎟⎟ = R ⎜⎜ ⎟⎟
⎝ n1 ω ⎠ ⎝ n1 ⎠
Zur Berechnung der Dämpfung wird angenommen, dass von der Gesamtleistung P0 der
Leistungsanteil Pv auf der Strecke zv abgestrahlt wird. Für die Dämpfung gilt dann
1 d P ( z) 1 Pv
α =− =
P ( z ) dz z v P0
∞ ∞
P0 ∝ ∫ | E ( x) | dx , Pv ∝ ∫ | E ( x) |
2 2
mit dx
−∞ xR
Der Leistungsanteil Pv wird auf der Strecke zv abgestrahlt. Die Größe von zv erhält man aus
der Beugung einer Mode der effektiven Breite deff and einer Öffnung der gleichen Breite deff.
1. Beugungs-
ordnung
d eff 0. Be ugungs-
ordnung
ZV
Als Beispiel wird ein Schichtwellenleiter mit Stufenprofil (siehe Kap. 3.1) betrachtet. Wählt
man für x = 0 die Wellenleitermitte, so lautet das elektrische Feld der Mode
d d
E ( x) = B cos (u x) , − ≤ x≤
2 2
⎛ud ⎞
⎟ exp ( − ( x − d / 2 ) v )
d
E ( x) = B cos ⎜ , x≥
⎝ 2 ⎠ 2

Einsetzen und Integration liefert dann den Dämpfungskoeffizienten
λ ⎛ud ⎞ ⎛ neff − n1 ⎞
cos 2 ⎜ ⎟ exp (v d ) exp ⎜⎜ − 2 v R ⎟⎟
n1 v ⎝ 2 ⎠ ⎝ n ⎠
α = 1
2
⎛d 1 1 ⎛ u d ⎞⎞ ⎛ 2⎞
⎜⎜ + sin (u d ) + cos 2 ⎜ ⎟ ⎟⎟ ⎜ d + ⎟
⎝ 2 2u v ⎝ 2 ⎠⎠ ⎝ v⎠
mit der effektiven Breite deff = d + 2/v. Der Dämpfungskoeffizient hat also die Form
α ( R ) = C1 exp (− C 2 R)
2 2 n eff − n1 8 (n eff − n1 ) 3
mit C2 = 2 k0 n eff − n1 ≈ k0
n1 n1
Zu beachten ist, dass neben C2 auch C1 mit (neff – n1) anwächst. Die hier gewonnenen
Ergebnisse für planare Wellenleiter lassen sich weitgehend auf Streifenwellenleiter
übertragen.
Für einen LiNbO3:Ti-Wellenleiter mit λ = 1.3 μm, neff – n1 = 8.6×10-4 erhält man die
Konstanten C1 = 108 cm-1 und C2 = 2.3 cm-1. Für einen Radius R = 2 cm beträgt die
Dämpfung 1 dB/rad, d.h. es sind sehr große Substratdimensionen erforderlich. Deutlich
geringere Radien bei ähnlicher Dämpfung erhält man für protonenausgetauschte LiNbO3-
Wellenleiter. Der größere Brechungsindexsprung von neff – n1 ≅ 0.1 erlaubt für Radien von
R = 400 μm Dämpfungen von 1.5 dB/rad. Um kleinere Krümmungsradien zu erzielen, können
in transversaler Richtung inhomogene Brechzahlprofile verwendet werden:
⎛ d ⎞ ⎛ d ⎞
n2 ⎜ x + ⎟ > n2 ⎜ x − ⎟
⎝ 2⎠ ⎝ 2⎠
Ein Beispiel ist die so genannte Crowning-Technik, bei der zusätzlich eine weitere
Titanschicht in Form eine Krone eindiffundiert wird. Hierdurch wird der
Brechungsindexsprung an der Innenseite des gekrümmten Wellenleiters relativ zur
Außenseite erniedrigt. Mit dieser Methode lassen sich bei gleicher Dämpfung die
Krümmungsradien um etwa eine Größenordnung erniedrigen. Eine Alternative stellt die
Eindiffusion von Magnesium außerhalb der äußeren Begrenzung des Wellenleiters dar.
Magnesium erniedrigt den Brechungsindex in LiNbO3 und führt so zu einem höheren
Brechzahlsprung.

7.2 Wellenleiterübergänge
Durch Wellenleiterübergänge sollen die Feldverteilungen in verschiedenen Teilen einer

integriert-optischen Komponente so miteinander verbunden werden, dass möglichst geringe
Verluste auftreten. Ein wichtiges Beispiel ist die Ankopplung von Laserdioden oder optischen
Fasern. In anderen Anwendungen muss der Querschnitt eines Monomodewellenleiters so
verbreitert werden, dass auch höhere Moden ausbreitungsfähig werden.
Für einen Schichtwellenleiter lässt sich ein Wellenleiterübergang ("Taper") folgendermaßen

darstellen:
Bei einer Änderung der Dicke d des Wellenleiters werden Strahlungsmoden angeregt. Um
diese Verluste, die hauptsächlich in Vorwärtsrichtung erfolgen, gering zu halten, ist zu
fordern, dass sich die Beiträge von verschiedenen Stellen des Tapers durch destruktive
Interferenz auslöschen oder zumindest schwächen. Mit den Ausbreitungskonstanten
β = k 0 neff im Wellenleiter und β s = k 0 n1 für die Strahlungsmoden im Substrat mit dem
Brechungsindex n1 erhält man auf der Strecke Δz eine Phasenverschiebung
!
Δz (β − β s ) = π
π L
⇔ Δz = =
β − βs 2
Hier ist L die (Mindest-) Länge des Tapers, die sicherstellt, dass es zu jeder
Strahlungsmodenkomponente eine weitere gibt, die um π phasenverschoben ist.
Für einen Wellenleiter mit schwacher Führung kann man in guter Näherung annehmen
n1 + n 2
β = k 0 neff = k 0
2
mit dem Brechungsindex n1 im Wellenleiter. Damit erhält man als notwendige Taperlänge
2λ
L≥
n 2 − n1

Für das Beispiel eines LiNbO3:Ti-Wellenleiters mit Δn = n 1 = n 2 = 8 ×10 −3 bekommt man

so eine Taperlänge von 325 μm für eine Wellenlänge λ = 1.3 μm.
Die Konversion einer geführten Mode in andere geführte Moden sowie Strahlungsmoden in
einem Wellenleiterübergang kann mit Hilfe der Theorie der gekoppelten Moden beschrieben
werden. Dazu werden im Folgenden zunächst die grundlegenden Gleichungen hergeleitet.
Betrachtet wird die Ausbreitung einer beliebigen Lichtverteilung E in einem

eindimensionalen Wellenleiter. Der Wellenleiter besitzt ferner eine Störung Δε der
Dielektrizitätskonstante. Dies kann z.B. ein periodisches Gitter, eine Brechzahländerung oder
eine Dickenänderung des Wellenleiters sein. Als Folge der Störung wird sich das Feld E bei
Ausbreitung ändern. Es sei
∞
E= ∑l
a l ( z ) E l ( x, z ) + ∫ a (l , x, z ) dl
o
Die Summe über alle geführten und Strahlungsmoden. Das Feld E muss die gestörte
Wellengleichung erfüllen
(Δ + k 2
0 ε')E = 0
mit ε ' = ε + Δε ≈ n2 + 2 n Δ n
Die Moden breiten sich entlang z aus:
El ( x, z ) = El0 ( x) exp (i βll z )
E (l , x, z ) = E 0 (l , x) exp ( i β (l ) z )
mit den Ausbreitungskonstanten βe bzw. β (l). Ferner erfüllen die (transversalen) Amplituden
El0 ( x) und E 0 (l , x) die Modengleichungen
⎛ ∂2
(
⎜⎜ 2 + k 02 ε − k 02 β l2 ) ⎞⎟⎟ E 0
( x) = 0
⎝ ∂x
l
⎠
⎛ ∂2
bzw. (
⎜⎜ 2 + k 02 ε − k 02 β 2 (l ) ) ⎞⎟⎟ E 0
(l , x) = 0
⎝ ∂x ⎠
Die gesamten Moden bilden ein vollständiges orthogonales System mit
1
2 ∫E l H m* dx = δ l m
1
∫ E (l ) H (m) dx = δ (l − m)
*
bzw.
2

Mit der Beziehung
β ω μ0
H =− E ⇔ E=− H
ω μ0 β
folgt hieraus
ω μ0
∫E l E m* dx = − 2
βl
δlm
ω μ0
∫ E (l ) E (m) dx = − 2 δ (l − m)
*
bzw.
β (l )
Das gesamte Feld E wird in die gestörte Wellengleichung eingesetzt:
⎛ ∂2 ∂2 ⎞⎡ ⎤
⎜⎜ 2 + 2 + k 02 (ε + Δε ) ⎟⎟ ⎢ ∑ a l El + ∫ a (l ) E (l ) dl ⎥⎦ = 0
⎝ ∂x ∂z ⎠⎣ l
Da alle Feldanteile die Modengleichung erfüllen folgt
∂2
∑ al β l E l + 2 (al E l ) + k 02 a l Δε l E l
2
l ∂z
∂
+ ∫ a (l ) β
2
(l ) E (l ) + (a (l ) E (l ) ) + k 02 a (l ) Δε E (l ) dl = 0
∂z 2
Es ist ferner
∂2 ⎡ ∂ 2 al ∂ al ⎤
( a E ) = ⎢ + 2i βl − β l2 al ⎥ E l
∂z 2
⎣ ∂z
2
∂z
l l
⎦
wobei sich die Koeffizienten ae(z) nur langsam mit z ändern
∂ al ∂ 2 al
2i βl >>
∂z ∂z 2
Eine entsprechende Abschätzung gilt für die Strahlungsmoden. Damit folgt
∂ al ∂ a (l )
∑ 2i β
e
l
∂z
El + ∫ 2 i β (l ) ∂z
E (l )
= − k 02 ∑a l
l Δε El − k 02 ∫ a (l ) Δε E (l ) dl

Die gesamte Gleichung wird von links mit E m* (l ) , d.h. der Feldamplitude der geführten Mode
m, multipliziert und anschließend über dx integriert. Nutzt man nun die
Orthogonalitätsrelation aus, so erhält man
⎛ ⎞
∂ am ⎜ − 2 ω μ0 ⎟ = − k 02 ∑ al
2i β m ∫E Δε El dx − k 02 ∫ a (l ) ∫ E Δε E (l ) dx dl
* *
∂z ⎜ βm ⎟ m m
⎝ ⎠ l
oder
∂ am
= ∑a κ exp (i ( β l − β m ) z ) + ∫ a (l ) κ m (l ) exp (i (β (l ) − β (m) ) z ) dl
∂z
l ml
l
mit den Kopplungskoeffizienten
i k 02
κ ml = − ∫E Δε El0 dx
0*
4ω μ 0
m
i k 02
κ m (l ) = − ∫E Δε E 0 (l ) dx
0*
bzw.
4ω μ 0
m
Die Amplitude der geführten Mode m ändert sich also aufgrund der Störung Δε entsprechend
der Größe der Kopplungskoeffizienten κ.
Zur weiteren Berechnung des Wellenleiterübergangs wird angenommen, dass die

Kopplungskoeffizienten klein sind, d.h. dass die Beziehung κml << βm erfüllt ist. Außerdem
soll nur die Anregung von geführten Moden betrachtet werden; Strahlungsmoden werden
vernachlässigt
∂ am
= ∑aκ exp ( i ( β l − β m ) z )
∂z
l ml
Aufgrund der schwachen Kopplung kann man in der Summe al ( z ) = al (0) setzen. Eine
Integration der Gleichung liefert dann
z
a m ( z ) = a m ( 0) + ∑ a l ( 0) ∫κ ml exp ( i ( β l − β m ) z ' ) dz '
l o
Diese Gleichung beschreibt die Konversion der Moden l in die Mode m. Für den umgekehrten
Prozess, also die Kopplung einer angeregten Moden m in andere Moden l gilt entsprechend
z
a l ( z ) = a m (0) ∫κ ml exp ( − i ( β l − β m ) z ' ) dz '
o

Betrachtet man wie zuvor κ m l und Δβ l m = β l − β m als Konstanten, so erhält man für das
Amplitudenverhältnis
al ( z ) κ ml
~
a m (0) Δβ l m
Danach ist die Kopplung umso schwächer, je kleiner die Störung des Wellenleiters ist und je
stärker sich die beiden Ausbreitungskonstanten der Moden unterscheiden.
Für die Wellenzahl βl eines planaren Schichtwellenleiters gilt
βl = k o2 n 22 − u l2
wobei ul aus der Dispersionsrelation (siehe Kap. 3.1) berechnet werden kann. Man findet für
ul, dass sich das Produkt u l d bei Ausbreitung im Taper mit variierender Dicke d(z) nur
schwach ändert, d.h. es gilt u l d ≈ const. . Eine Reihenentwicklung der Wellenzahl βl liefert
dann
1
Δ βl m ~ 2
d ( z)
Man kann weiter zeigen, dass bei einer schwachen Störung durch den Taper für die
Kopplungskoeffizienten die folgende Beziehung gilt
1 ∂ d ( z)
κ ml ~
d ( z ) ∂z
Dann folgt aus
κ ml
= const.
Δβ l m
∂ d ( z) ∂ d 2 ( z)
⇔ d ( z) ~ = const. = c
∂z ∂z
für die Taperform eine Parabel
d 2 ( z ) − d 02 = c z
Um Störungen an Anfang und Ende des Übergangs zu minimieren, wird der Taper dort
abgerundet. Meist benutzt man allerdings anstatt eines parabolischen Verlaufs für die
Wellenleiterbreite eine lineare Abhängigkeit, da die Auswirkungen auf die Dämpfung gering
sind, vorausgesetzt der Taperbereich wird hinreichend lang gewählt.

7.3 Koppler und Verzweiger
Koppler und Verzweiger werden in fast jeder integriert-optischen Komponente benötigt, um

Lichtsignale zu trennen oder zu kombinieren, analog einem Strahlteiler in der diskreten Optik.
Zur Realisierung gibt es eine große Anzahl verschiedener Konzepte, mit denen symmetrische
und asymmetrische Aufspaltung sowie das Einstellen vorgegebener Phasenbeziehungen
möglich ist. Die folgende Abbildung zeigt einige Beispiele.
Von besonderem Interesse sind die symmetrischen Y-Verzweiger, die die Basis für
1×N-Kaskadenverzweiger bilden. Solche Verzweiger bestehen aus einem Taperbereich, bei
dem die Breite der Grundmode so verbreitert wird, dass sie am Ort z = 0 einen optimalen
Überlapp mit der Summe der einzelnen Feldverteilungen in beiden Armen des Verzweigers
hat. Eine Modellierung ist fast ausschließlich mit BPM Rechnungen möglich.

Deutlich einfacher ist die theoretische Beschreibung von so genannten Streifenkopplern. Im

folgenden Beispiel wird die Kopplung zweier benachbarter Streifenwellenleiter betrachtet.
Die Brechungsindizes im Wellenleiter und Substrat sind n2 und n1. Der Abstand g der beiden
Streifen wird so gewählt, dass die Feldverteilungen teilweise überlappen. Die Feldverteilung
einer sich in z-Richtung ausbreitenden Mode lautet
E1, 2 ( x, y, z ) = A1, 2 ( z ) U 1, 2 ( x, y ) = A1, 2 ( z ) exp ( − i β 1, 2 z ) U 1, 2 ( x, y )

0
Hier ist β die Ausbreitungskonstante der Mode; gegebenenfalls lässt sich eine mögliche
Dämpfung α mit Im(β) = −α/2 hierin berücksichtigen. Die zugehörige Differentialgleichung
für die Änderung von A mit z lautet dann
d A( z )
= − i β A ( z)
dz
Alternativ könnte man auch die Entwicklung von A0 mit z betrachten und bekäme dann eine
mit den Kopplungsgleichungen aus Abschnitt 7.2 übereinstimmende Form. Zwei Moden 1
und 2 in den beiden benachbarten Wellenleitern mit den Amplituden A1 und A2 können sich
gegenseitig beeinflussen, wenn die Kopplungskonstanten κ12 bzw. κ21 ungleich Null sind
d A1 ( z )
= − i β A1 ( z ) + κ 12 A2 ( z )
dz
d A2 ( z )
= − i β A2 ( z ) + κ 21 A1 ( z )
dz
Da das Problem symmetrisch ist gilt weiterhin κ12 = κ21 = −iκ. Setzt man z.B. als
Anfangsbedingung A1(0) = A2(0) und berücksichtigt ferner, dass aufgrund der Symmetrie in
diesem Fall kein Energietransfer von einer Mode zur anderen erfolgt, so erhält man κ ∈ℜ .
Eine Kopplung der Moden setzt gleiche Phasengeschwindigkeiten voraus, so dass β1 =β2 = β
gilt. Damit lauten die gekoppelten Modengleichungen
d A1 ( z )
= − i β A1 ( z ) − i κ A2 ( z )
dz
d A2 ( z )
= − i β A2 ( z ) − i κ A1 ( z )
dz

Betrachtet wird die Kopplung von Mode 1 zu Mode 2 mit den Anfangsbedingungen A1(0) = 1
und A2(0) = 0. Lösungen des Differentialgleichungssystem sind dann
A1 ( z ) = cos (κ z ) exp ( − i β z )
A2 ( z ) = sin (κ z ) exp ( − i β z )
bzw. für die Leistungen mit P ( z ) = | Ai ( z ) | 2 und der Beziehung β = β ' + i β ' ' = β ' − i α / 2
P1 ( z ) = cos 2 (κ z ) exp(− α z ) , P2 ( z ) = sin 2 (κ z ) exp( − α z )
Bei gegebenem Koeffizienten κ bestimmt also die Kopplerlänge das Koppelverhalten. Für
einen Drei-Streifen-Verzweiger mit symmetrischer Aufspaltung der Leistung in beide
Ausgänge gilt dann
π π
κL= ⇔ L=
2 2κ
Typische Werte für den Kopplungskoeffizienten liegen bei κ = 1 mm-1 und lassen sich über
den Abstand der Wellenleiterkanäle definieren. Die Größe lässt sich berechnen (ähnlich wie
beim Taper) als Überlappintegral der beiden Modenverteilungen U1(x,y) und U2(x,y) mit der
Störung Δε (x,y)
Δε = ε 2 − ε 1 = n2 − n1
2 2
2
k0
κ = ∫∫U
* 2 2
(n2 − n1 ) U 2 dx dy
4ω μ 0
1
Das exakte Verhalten eines Kopplers unter Berücksichtigung der Randeffekte lässt sich am
besten mit Strahlausbreitungsrechnungen (BPM) ermitteln. Die folgende Abbildung zeigt ein
Ergebnis für einen Drei-Streifen-Verzweiger.

7.4 Interferometer
Die aus der Volumenoptik bekannten Typen von Interferometern lassen sich auch in der
integrierten Optik verwirklichen, z.B. das Michelson-Interferometer, das Mach-Zehnder-
Interferometer oder das Sagnac-Interferometer. Am häufigsten kommen Mach-Zehnder-
Interferometer in Form von Streifenwellenleitern zum Einsatz, etwa als Phasenschieber,
Modulatoren, Schalter oder als optische Sensoren.
Als Beispiel wird ein Mach-Zehnder-Interferometer mit symmetrischer Teilung τ = 0.5 und
gleicher Dämpfung in den beiden Armen des Interferometers betrachtet. Mit der
Eingangsleistung Pe, der relativen Phasenverschiebung Φ, der Armlänge L erhält man für die
transmittierte Leitung Pa
Pe
Pa = exp (− α L ) ( 1 + cos (Φ ) )
2
⎛Φ⎞
= Pe exp ( − α L ) cos 2 ⎜ ⎟
⎝2⎠
Der Anteil Pe – Pa wird im Koppelbereich T2 durch Anregung von Substratmoden abgestrahlt.

7.5 Moden- und Polarisationsfilter
Für verschiedene Anwendungen müssen bestimmte Moden eines Wellenleiters unterdrückt,

eine bestimmte Polarisation eingestellt oder Moden bzw. ihre Polarisation ineinander
umgewandelt werden. Ein einfaches Beispiel ist die Umwandlung einer TE0-Mode in die
nächste höhere TE1-Mode, wie sie mit einer Interferometeranordnung möglich ist. Bei einer
eingestellten Phasendifferenz von Φ = π wird die eingekoppelte Mode vollständig in TE1
umgewandelt.
7.5.1 TE/TM-Modenkonverter
Eine Modenkonversion vom Typ TE-TM setzt eine Störung des dielektrischen Tensors
voraus, wobei von Null verschiedene Außerdiagonalelemente erforderlich sind. Der
Störungstensor ist symmetrisch mit Δεij = Δεji
⎛ Δε 11 Δε 12 Δε 13 ⎞
⎜ ⎟
Δε = ⎜ Δε 21 Δε 22 Δε 23 ⎟
⎜ Δε Δε 32 Δε 33 ⎟⎠
⎝ 31
Als Beispiel wird ein y-Schnitt Streifenwellenleiter mit einer Ausbreitung entlang der
z-Richtung betrachtet, in welchem die beiden TE- und TM-Moden miteinander gekoppelt
werden sollen
ETE = ( E x , 0 , 0 ) , E x = aTE U TE , x ( x, y ) exp ( − i β TE z )
ETM = ( 0 , E y , E z ) , E y = aTM U TM , y ( x, y ) exp ( − i β TM z )

E z = aTM U TM , z ( x, y ) exp ( − i β TM z )
Die Kopplung der Moden erfolgt über die passenden Außerdiagonalelemente der Störung
Δε. Benutzt werden wieder die gekoppelten Wellengleichungen
d aTE
= κ TE aTE + κ aTM exp ( i ( β TM − β TE ) z )
dz
d aTM
= κ TM aTM + κ aTE exp (− i ( β TM − β TE ) z )
dz
(∫ U )
2
ik
κ =− 0 Δε 12 U TM , y dx dy + ∫U Δε 13 U TM , z dx dy
* *
4ω μ 0
TE , x TE , x
2
i k0
κ TE ∫U Δε 11 U TE , x dx dy
*
=−
4ω μ 0
TE , x
( ∫U )
2
i k0
κ TM Δε 22 U TM , y dx dx + ∫ U TM , z Δε 33U TM , z dx dy
* *
=−
4ω μ 0
TM , y

Für eine vollständige Konversion ist die Phasenanpassungsbedingung δ = 0 zu erfüllen
!
δ = ( κ TM − κ TE + β TM − β TE ) = 0
Die vollständige Konversion einer bei z = 0 einfallenden TM-Mode in eine TE-Mode erfolgt
(in analoger Weise wie beim Streifenkoppler) für eine optimale Koppellänge L = Lopt
π π
κL= ⇔ Lopt =
2 2κ
Für größere Koppellängen L > Lopt koppelt die Leistung der TE-Mode wieder in die
TM-Mode zurück.
Nichtdiagonalelemente Δε lassen sich unter anderem durch elektrooptische, magnetooptische,

akustooptische oder nichtlinear-optische Effekte erzeugen. Für Anwendungen ist besonders
der elektrooptische Effekt von Bedeutung. Hierzu wird der inverse dielektrische
(Suszeptibilitäts-) Tensor nach Potenzen des elektrischen Feldes E entwickelt:
(ε ) ( )
r −1 r −1
ij ( E ) = ε ij ( E = 0) + rijk E k + g ijkl E k El + ...
Hier sind rijk und gijkl die linearen bzw. quadratischen elektrooptischen Tensorelemente. Ist E
ein (quasi-statisches) äußeres elektrisches Feld, so ändert sich bei Vernachlässigung
quadratischer Effekte der Dielektrizitätstensor um
r r r
ε ij ( E ) = ε ij ( E = 0) + Δε ij ( E )
r
mit Δε ij ( E ) = − ε ik rklm E m ε lj
In dieser Darstellung muss für Δε die Einsteinsche Summenkonvention angewendet werden,

die besagt, dass über doppelt (oder vierfach usw.) auftretende Indizes summiert wird. Für die
Hauptdiagonalelemente εij mit i = j geht diese Darstellung über in die bekannte Schreibweise
des elektrooptischen Effekts
Δε 1
(ε + Δε ) = (n + Δn )2 ≈ n 2 + 2nΔn ⇔ Δn = = − n3 r E
2n 2
Als Beispiel soll LiNbO3 mit der Kristallsymmetrie 3m betrachtet werden. Aufgrund der
Symmetrie gibt es vier unabhängige, von Null verschiedene Tensorelelemente. Die
Größenangaben beziehen sich auf freie statische Werte für die Wellenlänge λ = 632.8 nm:
r112 = − r222 = r121 = − r22 ≈ 6 pm/V

r113 = r223 = r13 ≈ 10 pm/V
r333 = r33 ≈ 30 pm/V
r131 = r232 = r51 = r42 ≈ 30 pm/V

Bei der Berechnung der Tensorelemente muss die obige Summenkonvention beachtet werden.
Als Beispiel wird das Element Δε11 in LiNbO3 berechnet:
Δε 11 = ∑ −ε
k ,l , m
1k rlkm E m ε l1 ε ij = 0 für i ≠ j
= ∑ m
− ε 11 r11m E m ε 11
= − ε 11 (r111 E1 + r112 E 2 + r113 E3 )ε 11 r111= 0, r112= −r22, r113=r13
= − no ( − r22 E y + r13 E z )
4
Hier ist no der ordentliche Brechungsindex und Ey,z die Komponenten des elektrischen Feldes
in y- bzw. z-Richtung. Der gesamte Tensor Δε für LiNbO3 lautet dann
⎛ − r22 E y + r13 E z − r22 E x r51 E x ⎞

⎜ ⎟
Δε = − n ⎜ 4
− r22 E x r22 E y + r13 E z r51 E y ⎟
⎜ r51 E x r51 E y r33 E z ⎟⎠
⎝
Hier ist n entweder der ordentliche oder außerordentliche Brechungsindex, bzw. für die
Außerdiagonalelemente das geometrische Mittel aus beiden.

In dem Beispiel b) der obigen Abbildung mit verschiedenen Konzepten für TE/TM-
Modenkonverter in LiNbO3 erzeugen Interdigitalelektroden über die angelegte Spannung U
ein räumlich moduliertes elektrisches Feld in x-Richtung. Eine Kopplung der TE- und
TM-Moden erfolgt über den Koeffizienten r51 des elektrooptischen Tensors
Δε 13 = − no ne r51 E x
2 2
Für den Kopplungskoeffizienten κ = − i κ~ erhält man dann
⎛ 4 U ⎞ ⎛ 2ω μ 0 ⎞
2
k0 π U
κ~ = ⎜⎜ − n r51 ⎟⎟ ⎜⎜ − ⎟⎟ Γ = n 3 r51 Γ
4ω μ 0 ⎝ g ⎠ ⎝ n k0 ⎠ λ g
Hier stellt die erste Klammer den elektrooptischen Effekt dar und die zweite Klammer enthält
den Vorfaktor aus der Orthogonalitätsrelation der TE- und TM-Moden. Der Überlappfaktor Γ
mit Γ ≤ 1 berücksichtigt den Überlapp der Felderverteilungen der TE- und TM-Mode mit dem
elektrischen Feld. Hierbei wird insbesondere berücksichtigt, dass das elektrische Feld im
Allgemeinen nicht über den gesamten Wellenleiterquerschnitt homogen sein wird. Weiter ist
zu beachten, dass für dünne koplanare Elektroden das elektrische Feld näherungsweise (wenn
der Elektrodenabstand g groß ist gegen die Wellenleiterdicke d) den Wert E = U / π g
annimmt.
Über die Interdigitalelektroden mit der Gitterperiode Λ und dem Gittervektor K = 2π / Λ ist
eine Phasenanpassung des Konverters möglich. Hierzu muss die Bragg-Bedingung erfüllt
werden:
κ TM − κ TE + β TM − β TE = K
Für die Zahlenwerte Lopt = 6 mm, Λ = 7 μm, die Wellenlänge λ = 632.8 nm und einen
Überlappfaktor Γ = 0.16 (dieser enthält unter anderem den Faktor 1/π aus der Größe des
E-Feldes) bekommt man einen Konversionsgrad von größer 99 %.
7.5.2 Polarisationsfilter
Für die Realisierung von Polarisationsfiltern gibt es zwei prinzipielle Möglichkeiten. Zum
einen ist dies eine Dämpfung der unerwünschten Polarisation durch absorbierende Schichten.
Zum anderen kann die Aufhebung der Wellenleitereigenschaften genutzt werden.
Eine dünne Metallbeschichtung auf der Oberfläche eines Wellenleiters (Superstrat) führt zur
Anregung einer Oberflächenplasmawelle. Hierdurch wird insbesondere die TM0-Mode als
oberflächennahe Welle geführt, wobei ein nicht unerheblicher Teil des elektrischen Feldes in
der Metallschicht verläuft. Hierdurch kommt es aufgrund der hohen elektrischen Leitfähigkeit
zu einer starken Dämpfung der TM0-Mode, während die TE-Moden kaum beeinflusst werden.
Für einen LiNbO3:Ti-Wellenleiter erhält man experimentell einen Dämpfungskoeffizienten
von αTM = 100 dB/cm, während αTE nicht messbar erhöht wird.

In LiNbO3 ist durch eine Kombination von Titaneindiffusion und Protonenaustausch eine
Aufhebung der Wellenleitung für ordentlich polarisierte Moden möglich:
Ti-Diffusion Δne > 0 , Δno > 0

⇒ Δne > 0 , Δno ≈ 0
Protonenaustausch Δne > 0 , Δno < 0
Für LiNbO3-Wellenleiter mit z-Schnitt erhält man experimentell die Werte αTM > 200 dB/cm
und αTE ≈ 1.5 dB/cm.
7.6 Wellenleitergitter
Zwei Moden eines Wellenleiters mit den Ausbreitungskonstanten βl und βm können über eine
gitterförmige Störung des Wellenleiters miteinander gekoppelt werden
r
βl − βm = m | k | , m = ± 1, ± 2, ...
v v
Hier ist k der Gittervektor mit | k | = 2 π / Λ mit der Gitterkonstante Λ.

Man unterscheidet dicke und dünne Gitter, wobei für dicke Gitter der Länge L die Beziehung
λL
>> 1
Λ2
erfüllt sein muss. Man spricht in diesem Fall von Bragg-Beugung am Gitter. Eine
gitterförmige Modulation der Ausbreitungseigenschaften kann auf verschiedene Arten
erreicht werden. Zum einen kann die Wellenleiterdicke Δd moduliert werden, z.B. durch
Anätzen der Oberfläche. Zum anderen kann der Brechungsindex Δn moduliert sein, was sich
durch Elektronenstrahlschreiben in geeigneten Materialien, UV-Belichtung von Germanium-
dotierten Gläsern oder in photorefraktiven Materialien erzielen lässt. Eine weitere
Möglichkeit stellt die Modulation der Absorption Δα dar, wie sie in photochromen
Materialien erreicht werden kann.
Als Beispiel wird ein Reflexionsgitter mit einer Brechzahlvariation Δn betrachtet, wie man es
in photorefraktiven LiNbO3-Streifenwellenleitern realisieren kann. Für die Größe der
Beugungseffizienz, d.h. den Beugungswirkungsgrad als Verhältnis aus abgebeugter und
gesamter einfallender Leistung bzw. Intensität, gilt die allgemeine Kogelnik-Gleichung in der
Form
⎛ 1− χ 2 / Φ 2 ⎞
⎜
η (λ ) = 1 + ⎟
⎜ sinh 2 (Φ 1 − χ 2 / Φ 2 ) ⎟
⎝ ⎠
π Δn L (λ − λ 0 ) π L
Φ= , χ =
λ λ0 Λ
Hier ist λ0 die Zentralwellenlänge, für die die Beugung am Gitter maximal ist. Für den Fall
der exakten Wellenlängenanpassung λ = λ0 erhält man die vereinfachte Beziehung
⎛ π Δn L ⎞
η (λ = λ0 ) = tanh 2 ⎜ ⎟
⎝ λ ⎠
Für große Brechzahlamplituden Δn oder große Gitterlängen L geht der

Beugungswirkungsgrad gegen eins.

Für den Einsatz solcher schmalbandiger Filter in der optischen Nachrichtentechnik

(Wellenlängendemultiplexer) sind die für λ ≠ λ0 auftretenden Seitenbanden für
Wellenlängen unerwünscht. Abhilfe kann hier durch Gitter mit variabler Gitterperiode Λ(x)
(„Chirp“) sowie durch eine räumlich veränderliche Brechzahlamplitude Δn(x) („Apodising“)
geschaffen werden. Durch eine Kombination beider Methoden können nahezu rechteckige
Filterkurven mit starker Unterdrückung der Seitenbanden erzielt werden.
Optimierte Filterkurven für Gitter mit Chirp und Apodisierung in logarithmischer (links) und linearer Darstellung (rechts).
7.7 Resonatoren
Integriert-optische Resonatoren finden ihre Anwendung als Wellenlängenfilter, für Laser und
Spektralanalysatoren sowie als optische Sensoren. Der Aufbau des Resonators erfolgt dabei
analog zur Volumenoptik mit der zusätzlichen Bedingung, dass das Licht im Resonator eine
Wellenleitermode sein muss. Eine grundsätzliche Unterscheidung findet zwischen
Resonatoren in planaren Wellenleitern und solchen in Streifenwellenleitern statt. Im ersten
Fall sind zusätzliche fokussierende Elemente notwendig, wie sie z.B. in Form von
gekrümmten Reflexionsgittern realisiert werden können. Weiter ist für das Resonatordesign
die aus der Volumenoptik bekannte Stabilitätsbedingung zu erfüllen.

In Streifenwellenleitern lassen sich relativ einfach Fabry-Perot-Resonatoren herstellen, indem

die polierten Endflächen mit einer metallischen oder dielektrischen Schicht verspiegelt
werden. Für einen geraden Wellenleiter der Länge L mit den Spiegelreflektivitäten
R1 = R2 = R, der Dämpfung α und der Wellenzahl β der geführten Mode erhält man die
bekannte Transmissionsfunktion
Pa (1 − R) 2
=
Pe 1 + R 2 exp (−2α L) − 2 R exp (−α L) cos (2 β L)
Der Resonator ist in Resonanz, wenn die folgende Bedingung für Phasenkonsistenz bei einem
vollen Umfang erfüllt ist
2 π neff
2L = m 2π , m = 1, 2, 3, ...
λ
mλ
L=
2 neff
Eine Anwendung eines solchen Resonators ist ein in LiNbO3 integrierter Laser für die
Wellenlänge 1.55 μm. Solche Laser sind von großem Interesse, da sich in diesem Material
hervorragende Modulatoren realisieren lassen. Hierzu benutzt man einen durch
Titaneindiffusion hergestellten Streifenwellenleiter in Erbium-dotiertem LiNbO3. Erbium
besitzt eine breite Absorptionsbande bei 1480 nm und kann daher mit preisgünstigen
Laserdioden in diesem Wellenlängenbereich optisch gepumpt werden. Hierfür muss
mindestens einer der Resonatorspiegel für 1480 nm tranparent sein, aber eine hohe
Reflektivität für die Laserlinie besitzen. Die Emissionslinien von LiNbO3:Er für den
Laserbetrieb liegen im Bereich von 1.53 bis 1.64 μm. Zur Abstimmung der
Resonatorwellenlänge können koplanare Elektroden als Phasenmodulator verwendet werden.
Es ist sowohl ein kontinuierlicher als auch gepulster Betrieb solcher Laser möglich.

IO Kap7

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Institut für Physik und Physikalische Technologien der TU Clausthal Mai 2006

Integrierte Optik SS 2006

7.1 Gekrümmte Wellenleiter

An den Wellenleiterknicken sowie im gekrümmten Bereich selbst kommt es zu einer Störung

Eine analytische Behandlung gekrümmter Wellenleiter ist nur in wenigen Spezialfällen

Vorlesung IO Kap.7 Version 1.1.doc 1 von 1 31.05.06

und damit den kritischen Radius

Vorlesung IO Kap.7 Version 1.1.doc 2 von 2 31.05.06

Einsetzen und Integration liefert dann den Dämpfungskoeffizienten

Vorlesung IO Kap.7 Version 1.1.doc 3 von 3 31.05.06

Durch Wellenleiterübergänge sollen die Feldverteilungen in verschiedenen Teilen einer

Für einen Schichtwellenleiter lässt sich ein Wellenleiterübergang ("Taper") folgendermaßen

Vorlesung IO Kap.7 Version 1.1.doc 4 von 4 31.05.06

Für das Beispiel eines LiNbO3:Ti-Wellenleiters mit Δn = n 1 = n 2 = 8 ×10 −3 bekommt man

Betrachtet wird die Ausbreitung einer beliebigen Lichtverteilung E in einem

Die Moden breiten sich entlang z aus:

El ( x, z ) = El0 ( x) exp (i βll z )

Die gesamten Moden bilden ein vollständiges orthogonales System mit

Vorlesung IO Kap.7 Version 1.1.doc 5 von 5 31.05.06

Mit der Beziehung

Das gesamte Feld E wird in die gestörte Wellengleichung eingesetzt:

Da alle Feldanteile die Modengleichung erfüllen folgt

wobei sich die Koeffizienten ae(z) nur langsam mit z ändern

Eine entsprechende Abschätzung gilt für die Strahlungsmoden. Damit folgt

Vorlesung IO Kap.7 Version 1.1.doc 6 von 6 31.05.06

mit den Kopplungskoeffizienten

Zur weiteren Berechnung des Wellenleiterübergangs wird angenommen, dass die

Vorlesung IO Kap.7 Version 1.1.doc 7 von 7 31.05.06

Für die Wellenzahl βl eines planaren Schichtwellenleiters gilt

Dann folgt aus

für die Taperform eine Parabel

Vorlesung IO Kap.7 Version 1.1.doc 8 von 8 31.05.06

7.3 Koppler und Verzweiger

Koppler und Verzweiger werden in fast jeder integriert-optischen Komponente benötigt, um

Vorlesung IO Kap.7 Version 1.1.doc 9 von 9 31.05.06

Deutlich einfacher ist die theoretische Beschreibung von so genannten Streifenkopplern. Im

E1, 2 ( x, y, z ) = A1, 2 ( z ) U 1, 2 ( x, y ) = A1, 2 ( z ) exp ( − i β 1, 2 z ) U 1, 2 ( x, y )

Vorlesung IO Kap.7 Version 1.1.doc 10 von 10 31.05.06

P1 ( z ) = cos 2 (κ z ) exp(− α z ) , P2 ( z ) = sin 2 (κ z ) exp( − α z )

Vorlesung IO Kap.7 Version 1.1.doc 11 von 11 31.05.06

Vorlesung IO Kap.7 Version 1.1.doc 12 von 12 31.05.06

7.5 Moden- und Polarisationsfilter

Für verschiedene Anwendungen müssen bestimmte Moden eines Wellenleiters unterdrückt,

ETM = ( 0 , E y , E z ) , E y = aTM U TM , y ( x, y ) exp ( − i β TM z )

Vorlesung IO Kap.7 Version 1.1.doc 13 von 13 31.05.06

Für eine vollständige Konversion ist die Phasenanpassungsbedingung δ = 0 zu erfüllen

Nichtdiagonalelemente Δε lassen sich unter anderem durch elektrooptische, magnetooptische,

In dieser Darstellung muss für Δε die Einsteinsche Summenkonvention angewendet werden,

r112 = − r222 = r121 = − r22 ≈ 6 pm/V

Vorlesung IO Kap.7 Version 1.1.doc 14 von 14 31.05.06

= − ε 11 (r111 E1 + r112 E 2 + r113 E3 )ε 11 r111= 0, r112= −r22, r113=r13

⎛ − r22 E y + r13 E z − r22 E x r51 E x ⎞

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Für den Kopplungskoeffizienten κ = − i κ~ erhält man dann

Vorlesung IO Kap.7 Version 1.1.doc 16 von 16 31.05.06

Ti-Diffusion Δne > 0 , Δno > 0

Vorlesung IO Kap.7 Version 1.1.doc 17 von 17 31.05.06

Für große Brechzahlamplituden Δn oder große Gitterlängen L geht der

Vorlesung IO Kap.7 Version 1.1.doc 18 von 18 31.05.06

Für den Einsatz solcher schmalbandiger Filter in der optischen Nachrichtentechnik

Vorlesung IO Kap.7 Version 1.1.doc 19 von 19 31.05.06

In Streifenwellenleitern lassen sich relativ einfach Fabry-Perot-Resonatoren herstellen, indem

Vorlesung IO Kap.7 Version 1.1.doc 20 von 20 31.05.06