G E B R A U C H S A N L E I T U N G

O P E R A T I N G M A N U A L
tina27d2

VSA100

Artikelnummer /
Part Number
399-000

Vacuum Switch

G E B R A U C H S A N L E I T U N G
O P E R A T I N G M A N U A L
tina27d2

VSA100

Artikelnummer /
Part Number
399-000

Vacuum Switch
Inhalt Allgemeine Hinweise
Seite Eine Änderung der Konstruktion und der angegebenen
1 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ...3 Daten behalten wir uns vor.
1.1 Allgemeine Angaben . . . . . . . . . . . . . . . . ...3 Die Abbildungen sind unverbindlich.
1.1.1 Verwendungszweck . . . . . . . . . . . . . . . . ...3
1.2 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . ...3
1.3 Wirkungsweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ...4
1.4 Ausstattung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ...4
1.4.1 Lieferumfang . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ...4
2 Inbetriebnahme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
2.1 Montage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
2.2 Elektrischer Anschluß . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
3 Wartung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
3.1 Service bei INFICON . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
4 Produkt entsorgen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
EG-Konformitätserklärung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
Kontaminationserklärung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9

The English Operating Manual

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2 tina27d2 (0105) VSA100.ga

Inhalt Allgemeine Hinweise

Seite Eine Änderung der Konstruktion und der angegebenen
1 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ...3 Daten behalten wir uns vor.
1.1 Allgemeine Angaben . . . . . . . . . . . . . . . . ...3 Die Abbildungen sind unverbindlich.
1.1.1 Verwendungszweck . . . . . . . . . . . . . . . . ...3
1.2 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . ...3
1.3 Wirkungsweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ...4
1.4 Ausstattung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ...4
1.4.1 Lieferumfang . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ...4
2 Inbetriebnahme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
2.1 Montage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
2.2 Elektrischer Anschluß . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
3 Wartung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
3.1 Service bei INFICON . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
4 Produkt entsorgen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
EG-Konformitätserklärung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
Kontaminationserklärung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9

The English Operating Manual

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2 tina27d2 (0105) VSA100.ga

1 Beschreibung
1.1 Allgemeine Angaben 1.1.1 Verwendungszweck
Den Vacuum Switch VSA100 bitte sofort auspacken, Der Vacuum Switch VSA100 dient als Sicherheitsab-
auch wenn er zu einem späteren Zeitpunkt in Betrieb schalter in Vakuumsystemen. Er wird z.B. eingesetzt, um
genommen wird. beim Belüften von Vakuumanlagen mit einem Schutzgas
die Gaszufuhr bei einem Druck von 5 mbar unterhalb
Transportverpackungs-Behälter auf äußere Schäden un- Atmospährendruck automatisch zu unterbrechen.
tersuchen. Verpackungsmaterial vollständig entfernen.
Hinweis
Fur eventuelle Schadensersatzforderungen den Trans-
portbehälter und das Verpackungsmaterial gut aufbe- 1.2 Technische Daten
wahren.
Schaltdruck 6 ± 0,2 mbar
Den Vacuum Switch VSA100 einer sorgfältigen Sicht- (unterhalb Atmosphärendruck)
prüfung unterziehen, um sicherzustellen, daß auf dem Rückschaltdruck 3 ± 0,2 mbar
Transportweg keine Schäden entstanden sind. (unterhalb Atmospharendruck)
Werden Beschädigungen festgestellt, ist umgehend eine Schaltungsgenauigkeit 1 mbar
Schadensmeldung an den Spediteur und den Versiche-
rer zu leiten. Falls es notwendig ist, das beschädigte Teil Max. zul. Betriebsdruck (abs) 2000 mbar
zu ersetzen, bitte mit der Auftragsabteilung in Verbin- Temperaturfehler 5%/K
dung setzen.
Betriebstemperatur 0 bis 85 °C
Minimaler Betriebsdruck 1 mbar abs.
Schaltkontakt Wechselkontakt

tina27d2 (0105) VSA100.ga 3

1 Beschreibung
1.1 Allgemeine Angaben 1.1.1 Verwendungszweck
Den Vacuum Switch VSA100 bitte sofort auspacken, Der Vacuum Switch VSA100 dient als Sicherheitsab-
auch wenn er zu einem späteren Zeitpunkt in Betrieb schalter in Vakuumsystemen. Er wird z.B. eingesetzt, um
genommen wird. beim Belüften von Vakuumanlagen mit einem Schutzgas
die Gaszufuhr bei einem Druck von 5 mbar unterhalb
Transportverpackungs-Behälter auf äußere Schäden Atmospährendruck automatisch zu unterbrechen.
untersuchen. Verpackungsmaterial vollständig entfer-
nen.
Hinweis
Fur eventuelle Schadensersatzforderungen den Trans- 1.2 Technische Daten
portbehälter und das Verpackungsmaterial gut aufbe-
wahren. Schaltdruck 6 ± 0,2 mbar
(unterhalb Atmosphärendruck)
Den Vacuum Switch VSA100 einer sorgfältigen Sicht- Rückschaltdruck 3 ± 0,2 mbar
prüfung unterziehen, um sicherzustellen, daß auf dem (unterhalb Atmospharendruck)
Transportweg keine Schäden entstanden sind.
Schaltungsgenauigkeit 1 mbar
Werden Beschädigungen festgestellt, ist umgehend eine
Schadensmeldung an den Spediteur und den Versiche- Max. zul. Betriebsdruck (abs) 2000 mbar
rer zu leiten. Falls es notwendig ist, das beschädigte Teil Temperaturfehler 5%/K
zu ersetzen, bitte mit der Auftragsabteilung in Verbin-
dung setzen. Betriebstemperatur 0 bis 85 °C
Minimaler Betriebsdruck 1 mbar abs.
Schaltkontakt Wechselkontakt

tina27d2 (0105) VSA100.ga 3

Schaltvermögen 220 VAC / 5 A / 1200 VA 1.4 Ausstattung
Elektrischer Anschluß Flachstecker 6,3 mm
(Standardleitung 3 m) 1.4.1 Lieferumfang
Vakuumanschluß DN 16 KF Vacuum Switch VSA100
Schutzart IP 44 kpl. mit Leitung 3 m Artikelnummer 399-000
Medienberührende Werkstoffe Gebrauchsanleitung tina27d2
Edelstahl 1.4305,
EPDM, Polyamid mit Glasfaser
Klebstoff Araldit

1.3 Wirkungsweise
Bei einem Differenzdruck von ca. 6 mbar unterhalb At-
mosphärendruck betätigt eine elastische Membrane ei-
nen leistungsfähigen Schaltkontakt (Wechselkontakt),
mit dem Folgegeräte direkt angesteuert werden können.
Die elektrischen Anschlüsse befinden sich unter einer
Plastikabdeckung.

4 tina27d2 (0105) VSA100.ga

Schaltvermögen 220 VAC / 5 A / 1200 VA 1.4 Ausstattung

Elektrischer Anschluß Flachstecker 6,3 mm
(Standardleitung 3 m) 1.4.1 Lieferumfang
Vakuumanschluß DN 16 KF Vacuum Switch VSA100
Schutzart IP 44 kpl. mit Leitung 3 m Artikelnummer 399-000
Medienberührende Werkstoffe Gebrauchsanleitung tina27d2
Edelstahl 1.4305,
EPDM, Polyamid mit Glasfaser
Klebstoff Araldit

1.3 Wirkungsweise
Bei einem Differenzdruck von ca. 6 mbar unterhalb At-
mosphärendruck betätigt eine elastische Membrane ei-
nen leistungsfähigen Schaltkontakt (Wechselkontakt),
mit dem Folgegeräte direkt angesteuert werden können.
Die elektrischen Anschlüsse befinden sich unter einer
Plastikabdeckung.

4 tina27d2 (0105) VSA100.ga

2 Inbetriebnahme
Hinweis
Bei Lecksuche mit Helium-Lecksuchgeräten kann beim
80
Besprühen des Druckschalters mit Helium ein Nachweis
erfolgen. Dieser beruht i.a. nicht auf einer Leckage des
VSA100, sondern auf Diffusion des Heliums durch die 58
FPM-Membrane.

2.1 Montage DN 16 KF
Der VSA100 wird mit einem Kleinflansch DN 16 KF an ∅ 48,5
der Vakuumanlage verbunden.
Abb. 1 Maßzeichnung VSA100
Der VSA100 sollte vorzugsweise auf dem Flansch ste-
hend montiert werden. Eine geneigte Montage, max. ho-
rizontal, ist möglich. Nicht gestattet ist eine hängende
Montage, da sich dann Kondensate im Druckschalter
sammeln können. Dadurch wird die Messung beeinflußt 3 (br)
Atmosphärendruck
und eventuell der Druckschalter beschädigt. 1 (sw)
2 (bl) (Ruhelage)

Maßzeichnung des VSA100 siehe Abb. 1.

3 (br) Unterdruck
1 (sw)
2.2 Elektrischer Anschluß 2 (bl)
(Arbeitslage)

Die Kontaktbelegung ist der Abb. 2 zu entnehmen.

Der VSA100 wird mit angeschlossener Standardleitung Abb. 2 Kontaktbelegung des Mikroschalters

tina27d2 (0105) VSA100.ga 5

2 Inbetriebnahme
Hinweis
Bei Lecksuche mit Helium-Lecksuchgeräten kann beim
80
Besprühen des Druckschalters mit Helium ein Nachweis
erfolgen. Dieser beruht i.a. nicht auf einer Leckage des
VSA100, sondern auf Diffusion des Heliums durch die 58
FPM-Membrane.

2.1 Montage DN 16 KF
Der VSA100 wird mit einem Kleinflansch DN 16 KF an ∅ 48,5
der Vakuumanlage verbunden.
Abb. 1 Maßzeichnung VSA100
Der VSA100 sollte vorzugsweise auf dem Flansch ste-
hend montiert werden. Eine geneigte Montage, max. ho-
rizontal, ist möglich. Nicht gestattet ist eine hängende
Montage, da sich dann Kondensate im Druckschalter
sammeln können. Dadurch wird die Messung beeinflußt 3 (br)
Atmosphärendruck
und eventuell der Druckschalter beschädigt. 1 (sw)
2 (bl) (Ruhelage)

Maßzeichnung des VSA100 siehe Abb. 1.

3 (br) Unterdruck
1 (sw) (Arbeitslage)
2.2 Elektrischer Anschluß 2 (bl)

Die Kontaktbelegung ist der Abb. 2 zu entnehmen.

Der VSA100 wird mit angeschlossener Standardleitung Abb. 2 Kontaktbelegung des Mikroschalters

tina27d2 (0105) VSA100.ga 5

von 3 m geliefert. Eine Änderung der Leitungslänge ist
möglich. 3 Wartung
Die elektrischen Anschlulßklemmen und die Zugentla- Der VSA100 ist wartungsfrei.
stung sind nach Abschrauben der Kreuzschlitzschrau-
ben und Abklappen der Haube zugänglich.
Die Kontakte sind am VSA100 mit 1, 2 und 3 bezeichnet.
3.1 Service bei INFICON
Vorsicht Kontaminierte Produkte (z.B. radioakti-
ver, toxischer, ätzender oder mikrobiolo-
gischer Art) können Gesundheits- und
Umweltschäden verursachen.

Eingesandte Produkte sollen nach Möglichkeit frei von

Schadstoffensein. Versandvorschriften der beteiligten
Länder und Transportunternehmen beachten. Ausgefüll-
te Kontaminierungserklärung (siehe Anhang) beilegen.
Nicht eindeutig als „frei von Schadstoffen“ deklarierte
Produkte werden kostenpflichtig dekontaminiert.
Ohne ausgefüllte Kontaminierungserklärung eingesand-
te Produkte werden kostenpflichtig zurückgesandt.

6 tina27d2 (0105) VSA100.ga

von 3 m geliefert. Eine Änderung der Leitungslänge ist

möglich. 3 Wartung
Die elektrischen Anschlulßklemmen und die Zugentla- Der VSA100 ist wartungsfrei.
stung sind nach Abschrauben der Kreuzschlitzschrau-
ben und Abklappen der Haube zugänglich.
Die Kontakte sind am VSA100 mit 1, 2 und 3 bezeichnet.
3.1 Service bei INFICON
Vorsicht Kontaminierte Produkte (z.B. radioakti-
ver, toxischer, ätzender oder mikrobiolo-
gischer Art) können Gesundheits- und
Umweltschäden verursachen.

Eingesandte Produkte sollen nach Möglichkeit frei von

Schadstoffensein. Versandvorschriften der beteiligten
Länder und Transportunternehmen beachten. Ausgefüll-
te Kontaminierungserklärung (siehe Anhang) beilegen.
Nicht eindeutig als „frei von Schadstoffen“ deklarierte
Produkte werden kostenpflichtig dekontaminiert.
Ohne ausgefüllte Kontaminierungserklärung eingesand-
te Produkte werden kostenpflichtig zurückgesandt.

6 tina27d2 (0105) VSA100.ga

4 Produkt entsorgen
Vorsicht Kontaminierte Teile mikrobiologisch usw.) müssen entsprechend den län-
derspezifischen Vorschriften dekontaminiert, entspre-
Kontaminierte Teile können Gesund- chend ihrer Materialart getrennt und entsorgt werden.
heits- und Umweltschäden verursachen.
Nicht kontaminierte Bauteile
Diese Bauteile sind entsprechend ihrer Materialart zu
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über trennen und der Wiederverwertung zuzuführen.
eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit konta-
minierten Teilen die einschlägigen Vorschriften beachten
und die Schutzmassnahmen einhalten.

Vorsicht Umweltgefährdende Stoffe

Produkte oder Teile davon (mechani-
sche und Elektrokomponenten, Be-
triebsmittel usw.) können Umweltschä-
den verursachen.
Umweltgefährdende Stoffe gemäss den örtlichen Vor-
schriften entsorgen.
Unterteilen der Bauteile
Nach dem Zerlegen des Produkts sind die Bauteile ent-
sorgungstechnisch in folgende Kategorien zu untertei-
len:
Kontaminierte Bauteile
Kontaminierte Bauteile (radioaktiv, toxisch, ätzend,

tina27d2 (0105) VSA100.ga 7

4 Produkt entsorgen
Vorsicht Kontaminierte Teile Kontaminierte Bauteile (radioaktiv, toxisch, ätzend,
mikrobiologisch usw.) müssen entsprechend den län-
Kontaminierte Teile können Gesund- derspezifischen Vorschriften dekontaminiert, entspre-
heits- und Umweltschäden verursa- chend ihrer Materialart getrennt und entsorgt werden.
chen.
Nicht kontaminierte Bauteile
Diese Bauteile sind entsprechend ihrer Materialart zu
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über trennen und der Wiederverwertung zuzuführen.
eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit konta-
minierten Teilen die einschlägigen Vorschriften beachten
und die Schutzmassnahmen einhalten.

Vorsicht Umweltgefährdende Stoffe

Produkte oder Teile davon (mechani-
sche und Elektrokomponenten, Be-
triebsmittel usw.) können Umweltschä-
den verursachen.
Umweltgefährdende Stoffe gemäss den örtlichen Vor-
schriften entsorgen.
Unterteilen der Bauteile
Nach dem Zerlegen des Produkts sind die Bauteile ent-
sorgungstechnisch in folgende Kategorien zu untertei-
len:
Kontaminierte Bauteile

tina27d2 (0105) VSA100.ga 7

 EG-Konformitätserklärung
Im Sinne der Maschinenrichlinie 98/37/EG, Anhang IIb. Artikelnummern
Hiermit erklären wir, INFICON, daß die nachfolgend 399-000
bezeichneten Produkte aufgrund ihrer Konzipierung und
Normen
Bauart sowie in der von uns in Verkehr gebrachten Aus-
Harmonisierte und internationale / nationale Normen
führung den einschlägigen grundlegenden Sicherheits-
sowie Spezifikationen:
und Gesundheitsanforderungen der EG-Richtlinien ent-
sprechen. • DIN VDE 0630
Gleichzeitig bestätigen wir Konformität zur Niederspan-
nungsrichtlinie 73/23/EWG.

Produkt:
Vacuum Switch VSA100

Balzers, den 10.05.2001 Balzers, den 10.05.2001

————————————————————— —————————————————————
Hannes Fischer, Product Manager Dr. Georg Sele, Technical Support Manager;
Quality Representative
8 tina27d2 (0105) VSA100.ga

EG-Konformitätserklärung
Im Sinne der Maschinenrichlinie 98/37/EG, Anhang IIb. Artikelnummern
Hiermit erklären wir, INFICON, daß die nachfolgend 399-000
bezeichneten Produkte aufgrund ihrer Konzipierung und
Normen
Bauart sowie in der von uns in Verkehr gebrachten Aus-
Harmonisierte und internationale / nationale Normen
führung den einschlägigen grundlegenden Sicherheits-
sowie Spezifikationen:
und Gesundheitsanforderungen der EG-Richtlinien ent-
sprechen. • DIN VDE 0630
Gleichzeitig bestätigen wir Konformität zur Niederspan-
nungsrichtlinie 73/23/EWG.

Produkt:
Vacuum Switch VSA100

Balzers, den 10.05.2001 Balzers, den 10.05.2001

————————————————————— —————————————————————
Hannes Fischer, Product Manager Dr. Georg Sele, Technical Support Manager;
Quality Representative
8 tina27d2 (0105) VSA100.ga
Kontaminationserklärung

tina27d2 (0105) VSA100.ga 9

Kontaminationserklärung

tina27d2 (0105) VSA100.ga 9

Contents General Note
Page The right of alterations in the design and the technical
1 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11 data is reserved.
1.1 General . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11 The illustrations are not binding.
1.1.1 Purpose . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.2 Technical Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.3 Function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
1.4 Equipment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
1.4.1 Standard Specification . . . . . . . . . . . . . . . . 12
2 Start-up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.1 Assembly . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.2 Electrical Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
3 Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
3.1 Service at INFICON . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
4 Disposal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
EEC Declaration of Conformity . . . . . . . . . . . . . . 16
Declaration of Contamination . . . . . . . . . . . . . . . 17

Die deutsche Gebrauchsanleitung

beginnt auf Seite . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2

10 tina27d2 (0105) VSA100.ga

Contents General Note

Page The right of alterations in the design and the technical
1 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11 data is reserved.
1.1 General . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11 The illustrations are not binding.
1.1.1 Purpose . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.2 Technical Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.3 Function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
1.4 Equipment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
1.4.1 Standard Specification . . . . . . . . . . . . . . . . 12
2 Start-up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.1 Assembly . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.2 Electrical Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
3 Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
3.1 Service at INFICON . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
4 Disposal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
EEC Declaration of Conformity . . . . . . . . . . . . . . 16
Declaration of Contamination . . . . . . . . . . . . . . . 17

Die deutsche Gebrauchsanleitung

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10 tina27d2 (0105) VSA100.ga

1 Description
1.1 General 1.1.1 Purpose
Unpack the Vacuum Switch VSA100 immediately after The Vacuum Switch VSA100 is used as a safety switch
delivery, even if it is to be put into operation at a later in vacuum systems. It is used e.g. to automatically inter-
date. rupt the gas supply when venting vacuum sy-stems with
a purge gas at a pressure of 5 mbar below atmospheric
Examine the transport box for any external damage. pressure.
Then completely remove the packaging materials.
Note
The transport box and packaging materials must be kept
in the event of complaints about damage. 1.2 Technical Data
Check that the Vacuum Switch VSA100 is complete and Switching pressure 6 ± 0.2 mbar
carefully examine it visually to ensure that no dam-age (below atmospheric pressure)
has occurred during transport. Return switching pressure 3 ± 0.2 mbar
If any damage is discovered, report it immediately to the (below atmospheric pressure)
forwarding agent and insurer. If the damaged part has to Switching inaccuracy 1 mbar
be replaced, please get in touch with the orders depart-
ment. Max. operating pressure (abs) 2000 mbar
Temperature error 5%/K
Operating temperature 0 to 85 °C
Minimum operating pressure 1 mbar abs.
Switching contact changeover contact

tina27d2 (0105) VSA100.ga 11

1 Description
1.1 General 1.1.1 Purpose
Unpack the Vacuum Switch VSA100 immediately after The Vacuum Switch VSA100 is used as a safety switch
delivery, even if it is to be put into operation at a later in vacuum systems. It is used e.g. to automatically inter-
date. rupt the gas supply when venting vacuum sy-stems with
a purge gas at a pressure of 5 mbar below atmospheric
Examine the transport box for any external damage. pressure.
Then completely remove the packaging materials.
Note
The transport box and packaging materials must be kept
in the event of complaints about damage. 1.2 Technical Data
Check that the Vacuum Switch VSA100 is complete and Switching pressure 6 ± 0.2 mbar
carefully examine it visually to ensure that no dam-age (below atmospheric pressure)
has occurred during transport. Return switching pressure 3 ± 0.2 mbar
If any damage is discovered, report it immediately to the (below atmospheric pressure)
forwarding agent and insurer. If the damaged part has to Switching inaccuracy 1 mbar
be replaced, please get in touch with the orders depart-
ment. Max. operating pressure (abs) 2000 mbar
Temperature error 5%/K
Operating temperature 0 to 85 °C
Minimum operating pressure 1 mbar abs.
Switching contact changeover contact

tina27d2 (0105) VSA100.ga 11

Switching capacity
Electrical connection
Vacuum connection
Protection type
220 VAC / 5 A / 1200 VA 1.4 Equipment
flat plug 6.3 mm
(standard cable 3 m) 1.4.1 Standard Specification
DN 16 KF Vacuum Switch VSA100
IP44 complete with cable, 3 m Part Number 399-000

Materials in contact with the medium Operating Instructions tina27d2

Stainless steel 1.4305,
EPDM, Polyamide with glass fibre
Adhesive Araldite

1.3 Function
At a differential pressure of 6 mbar below atmospheric
pressure an elastic diaphragm actuates a high current
changeover contact which in turn may be used to direct-
ly switch any ancillary equipment. The electrical connec-
tions are placed under a plastic cover.

12 tina27d2 (0105) VSA100.ga

Switching capacity 220 VAC / 5 A / 1200 VA 1.4 Equipment

Electrical connection flat plug 6.3 mm
(standard cable 3 m) 1.4.1 Standard Specification
Vacuum connection DN 16 KF Vacuum Switch VSA100
Protection type IP44 complete with cable, 3 m Part Number 399-000

Materials in contact with the medium Operating Instructions tina27d2

Stainless steel 1.4305,
EPDM, Polyamide with glass fibre
Adhesive Araldite

1.3 Function
At a differential pressure of 6 mbar below atmospheric
pressure an elastic diaphragm actuates a high current
changeover contact which in turn may be used to direct-
ly switch any ancillary equipment. The electrical connec-
tions are placed under a plastic cover.

12 tina27d2 (0105) VSA100.ga

2 Start up
Note
When leak detecting with helium leak detectors spraying
80
the pressure switch with helium may result in a helium
proof. This is in general not due to a leak of the VSA100,
but is a diffusion of helium through the FPM diaphragm. 58

2.1 Assembly
The VSA100 is connected to the vacuum system via a DN 16 KF
DN 16 KF small flange. ∅ 48.5
The VSA100 should preferably be mounted standing on Fig. 1 Dimensional diagram VSA100
its flange. Inclined mounting is also permissible, includ-
ing the horizontal position. Suspended installation is not
permissible because in such a case condensate may
collect in the pressure switch. This affects the measure-
ments and may damage the pressure switch. 3 (brown)
Atmospheric pressure
1 (black)
2 (blue) (rest position)
Dimensional diagrams of VSA100, see Fig. 1.

3 (brown)
2.2 Electrical Connection Low pressure
1 (black) (operating position)
2 (blue)
The contact assignment is given in Fig. 2.
The VSA100 is supplied with a connected 3 m long stan-
dard cable. The length of this cable may be changed. Fig. 2 Contact assignment of microswitch

tina27d2 (0105) VSA100.ga 13

2 Start up
Note
When leak detecting with helium leak detectors spraying
80
the pressure switch with helium may result in a helium
proof. This is in general not due to a leak of the VSA100,
but is a diffusion of helium through the FPM diaphragm. 58

2.1 Assembly
The VSA100 is connected to the vacuum system via a DN 16 KF
DN 16 KF small flange. ∅ 48.5
The VSA100 should preferably be mounted standing on Fig. 1 Dimensional diagram VSA100
its flange. Inclined mounting is also permissible, includ-
ing the horizontal position. Suspended installation is not
permissible because in such a case condensate may
collect in the pressure switch. This affects the measure-
ments and may damage the pressure switch. 3 (brown)
Atmospheric pressure
1 (black)
2 (blue) (rest position)
Dimensional diagrams of VSA100, see Fig. 1.

3 (brown)
2.2 Electrical Connection Low pressure
1 (black) (operating position)
2 (blue)
The contact assignment is given in Fig. 2.
The VSA100 is supplied with a connected 3 m long stan-
dard cable. The length of this cable may be changed. Fig. 2 Contact assignment of microswitch

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The electrical connection terminals and the strain relief
are accessible after unscrewing the cross head screws 3 Maintenance
and folding out the cap. The VSA100 requires no maintenance.
The contacts at the VSA100 are marked 1, 2 and 3.

3.1 Service at INFICON

Warning Contaminated products (e.g. radioac-
tive, toxic, caustic or microbiological
hazard) can be detrimental to health and
environment.

Products returned to Inficon should preferably be free of

harmful substances. Adhere to the forwarding regulati-
ons of all involved countries and forwarding companies
and enclose a duly completed declaration of contamina-
tion (see Annex).
Products that are not clearly declared as „free of harmful
substances“ are decontaminated at the expense of the
customer.
Products not accompanied by a duly completed declara-
tion of contamination are returned to the sender at his
own expense.

14 tina27d2 (0105) VSA100.ga

The electrical connection terminals and the strain relief

are accessible after unscrewing the cross head screws 3 Maintenance
and folding out the cap. The VSA100 requires no maintenance.
The contacts at the VSA100 are marked 1, 2 and 3.

3.1 Service at INFICON

Warning Contaminated products (e.g. radioac-
tive, toxic, caustic or microbiological
hazard) can be detrimental to health and
environment.

Products returned to Inficon should preferably be free of

harmful substances. Adhere to the forwarding regulati-
ons of all involved countries and forwarding companies
and enclose a duly completed declaration of contamina-
tion (see Annex).
Products that are not clearly declared as „free of harmful
substances“ are decontaminated at the expense of the
customer.
Products not accompanied by a duly completed declara-
tion of contamination are returned to the sender at his
own expense.

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4 Disposal
Warning Contaminated parts accordance with the relevant national regulations,
separated according to their materials, and disposed
Contaminated parts can be detrimental of.
to health and environment.
Other components
Such components must be separated according to
Before beginning to work, find out whether any parts are their materials and recycled.
contaminated. Adhere to the relevant regulations and
take the necessary precautions when handling contami-
nated parts.

Warning Substance detrimental to the environ-

ment
Products or parts thereof (mechanical
and electric components, operating
fluids etc.) can be detrimental to the
environment.
Dispose of such substance in accordance with the rele-
vant local regulations.
Separating the components
After disassembling the product, separate its compo-
nents according to the following criteria:
Contaminated components
Contaminated components (radioactive, toxic, caustic
or biological hazard etc.) must be decontaminated in

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4 Disposal
Warning Contaminated parts accordance with the relevant national regulations,
separated according to their materials, and disposed
Contaminated parts can be detrimental of.
to health and environment.
Other components
Such components must be separated according to
Before beginning to work, find out whether any parts are their materials and recycled.
contaminated. Adhere to the relevant regulations and
take the necessary precautions when handling contami-
nated parts.

Warning Substance detrimental to the environ-

ment
Products or parts thereof (mechanical
and electric components, operating
fluids etc.) can be detrimental to the
environment.
Dispose of such substance in accordance with the rele-
vant local regulations.
Separating the components
After disassembling the product, separate its compo-
nents according to the following criteria:
Contaminated components
Contaminated components (radioactive, toxic, caustic
or biological hazard etc.) must be decontaminated in

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 EEC Declaration of Conformity
as defined by the Directive relating to machinery Part Number
98/37/EG, Appendix IIb.
399-000
We -INFICON - herewith declare that the products defined
Standards
below meet the basic requirements regarding safety and
Harmonized and international / national standards and
health of the relevant EEC directives by design, type and
specifications:
the versions which are brought in to circulation by us.
• DIN VDE 0630
We also declare that the equipment mentioned below
complies with the provisions of the Directive relating to
electrical equipment designed for use within certain vol-
tage limits 73/23/ EEC.

Product:
Vacuum Switch VSA100

Balzers, 10 May 2001 Balzers, 10 May 2001

————————————————————— —————————————————————
Hannes Fischer, Product Manager Dr. Georg Sele, Technical Support Manager;
Quality Representative
16 tina27d2 (0105) VSA100.ga

EEC Declaration of Conformity

as defined by the Directive relating to machinery Part Number
98/37/EG, Appendix IIb.
399-000
We -INFICON - herewith declare that the products defined
Standards
below meet the basic requirements regarding safety and
Harmonized and international / national standards and
health of the relevant EEC directives by design, type and
specifications:
the versions which are brought in to circulation by us.
• DIN VDE 0630
We also declare that the equipment mentioned below
complies with the provisions of the Directive relating to
electrical equipment designed for use within certain vol-
tage limits 73/23/ EEC.

Product:
Vacuum Switch VSA100

Balzers, 10 May 2001 Balzers, 10 May 2001

————————————————————— —————————————————————
Hannes Fischer, Product Manager Dr. Georg Sele, Technical Support Manager;
Quality Representative
16 tina27d2 (0105) VSA100.ga
 Declaration of Contamination Declaration of Contamination

tina27d2
tina27d2

(0105)
(0105)

VSA100.ga
VSA100.ga

17
17
 INFICON LIMITED:

FL-9496 Balzers, Principality of Liechtenstein

Tel.: +423 388 3111 Fax: +423 388 3700 www.inficon.com

UNITED STATES FRANCE GERMANY LIECHTENSTEIN UNITED KINGDOM CHINA JAPAN KOREA SINGAPORE TAIWAN

Due to INFICONÕs continuing program of product improvements, specifications are subject to change without notice.
Vi s i t o u r w e b s i t e f o r c o n t a c t i n f o r m a t i o n a n d o t h e r s a l e s o ff i c e s w o r l d w i d e . w w w. i n f i c o n . c o m

18 tina27d2 (0105) VSA100.ga

INFICON LIMITED:

FL-9496 Balzers, Principality of Liechtenstein

Tel.: +423 388 3111 Fax: +423 388 3700 www.inficon.com

UNITED STATES FRANCE GERMANY LIECHTENSTEIN UNITED KINGDOM CHINA JAPAN KOREA SINGAPORE TAIWAN

Due to INFICONÕs continuing program of product improvements, specifications are subject to change without notice.
Vi s i t o u r w e b s i t e f o r c o n t a c t i n f o r m a t i o n a n d o t h e r s a l e s o ff i c e s w o r l d w i d e . w w w. i n f i c o n . c o m

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